DE10222130B4 - Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums - Google Patents

Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums Download PDF

Info

Publication number
DE10222130B4
DE10222130B4 DE2002122130 DE10222130A DE10222130B4 DE 10222130 B4 DE10222130 B4 DE 10222130B4 DE 2002122130 DE2002122130 DE 2002122130 DE 10222130 A DE10222130 A DE 10222130A DE 10222130 B4 DE10222130 B4 DE 10222130B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vacuum
speed
pump drive
pump
suction stage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Revoked
Application number
DE2002122130
Other languages
English (en)
Other versions
DE10222130A1 (de
Inventor
Erich Becker
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KNF Neuberger GmbH
Original Assignee
KNF Neuberger GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=29432145&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE10222130(B4) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by KNF Neuberger GmbH filed Critical KNF Neuberger GmbH
Priority to DE2002122130 priority Critical patent/DE10222130B4/de
Priority to PCT/EP2003/004988 priority patent/WO2003098045A1/de
Publication of DE10222130A1 publication Critical patent/DE10222130A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10222130B4 publication Critical patent/DE10222130B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Revoked legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/0009Special features
    • F04B43/0081Special features systems, control, safety measures
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B49/00Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
    • F04B49/20Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00 by changing the driving speed

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums mittels einer Vakuumpumpe, die einen drehzahlumschaltbaren Pumpantrieb hat, wobei der Pumpantrieb in einer ersten Saugstufe mit erhöhter Drehzahl betrieben wird und wobei der Pumpantrieb nach einem vorgegebenen Zeitintervall in eine zweite Saugstufe umgeschaltet wird, in welcher zweiten Saugstufe der Pumpantrieb eine demgegenüber verminderte Drehzahl hat, bei welcher Drehzahl die Vakuumpumpe das niedrigste Endvakuum erreicht.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums mittels einer Vakuumpumpe.
  • Aus der DE 198 16 241 C1 ist bereits eine Vakuumpumpe bekannt, die einen Pumpenantrieb hat, dessen Drehzahl mittels eines Mikroprozessors in Abhängigkeit vom Ansaugdruck selbständig derart variiert werden kann, dass die Drehzahl des Pumpenantriebs auf einen Minimalwert des Ansaugdrucks eingeregelt wird, bei dem das niedrigste Endvakuum erreicht wird. Diesem Stand der Technik liegt die Erkenntnis zugrunde, dass bei Membran- und Kolbenpumpen eine Erhöhung der Drehzahl zunächst eine Zunahme des erreichbaren Enddrucks bewirkt, – dass aber der Enddruck dann einen Minimalwert erreicht und anschließend bei einer weiteren Zunahme der Drehzahl wieder zunimmt. Das Endvakuum nimmt also nicht kontinuierlich zu, sondern geht bei vergleichsweise niedriger Drehzahl durch ein Minimum, bei dem ein bestes Endvakuum erreicht wird. Die zum Stand der Technik zählende Vakuumpumpe gemäß der DE 198 16 241 C1 hat jedoch den Nachteil, dass der zur Drehzahlanpassung erforderliche Mikroprozessor sowie das damit in Steuerverbindung stehende Druckmessorgan einen nicht unerheblichen Aufwand erfordern. Zudem wird bei diesem Stand der Technik der zum Erreichen des niedrigsten Enddrucks erforderliche Zeitaufwand völlig vernachlässigt.
  • Es besteht daher insbesondere die Aufgabe, ein Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums zu schaffen, bei dem sich mit geringstem technischen Aufwand rasch das bestmögliche Endvakuum erreichen lässt.
  • Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe besteht bei dem Verfahren der eingangs erwähnten Art insbesondere darin, dass die verwendete Vakuumpumpe einen drehzahlumschaltbaren Pumpantrieb hat, wobei der Pumpantrieb in einer ersten Saugstufe mit erhöhter Drehzahl betrieben wird und wobei der Pumpantrieb nach einem Zeitintervall in eine zweite Saugstufe umgeschaltet wird, in welcher zweiten Saugstufe der Pumpantrieb eine demgegenüber verminderte Drehzahl hat, bei welcher Drehzahl die Vakuumpumpe das niedrigste Endvakuum erreicht.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass sich der niedrigste Enddruck nur erreichen lässt, wenn die Einlass- und Auslassventile perfekt arbeiten und sich in ihren Öffnungs- und Schließzeiten nicht überschneiden. Ein solches Überschneiden der Ventilöffnungs- und -schließzeiten wird vermieden, wenn die Eigenfrequenz der Ventile mit den Ansaug- und Ausstoßhüben der Pumpe übereinstimmt. Dabei können aufgrund der aus Fertigungsgründen notwendigen Masse des Ventils – je nach Leistungsgröße – bestimmte Drehzahlen nicht überschritten werden. Bei höheren Drehzahlen können aber trotz Ventilzeitenüberschneidungen größere Fördermengen erzielt werden. Die vorliegende Erfindung sieht nun vor, dass die Vakuumpumpe in einer ersten Saugstufe mit einer erhöhten Drehzahl betrieben wird und dass der Pumpantrieb anschließend in eine zweite Saugstufe mit einer demgegenüber verminderten Drehzahl umgeschaltet wird, bei welcher verminderten Drehzahl die Vakuumpumpe das niedrigste Endvakuum erreicht.
  • Der Auspumpvorgang wird also mittels einer ersten Saugstufe begonnen, bei der die verwendete Membran- oder Kolbenpumpe bei hoher Drehzahl die höchste Fördermenge bewegen kann. Nach einem vorgegebenen Zeitintervall kann die Drehzahl der verwendeten Vakuumpumpe dann auf den für die Ventilfunktion optimalen Wert umgeschaltet und abgesenkt werden.
  • In der zweiten Saugstufe wird die verminderte Drehzahl des Pumpantriebs so gewählt, dass sie bei der betreffenden Pumpentype den niedrigsten Enddruck erwarten lässt. Da der Pumpantrieb nur zwischen zwei Drehzahlbereichen umgeschaltet werden muss, ist eine aufwendige mikroprozessorgesteuerte Drehzahlsteuerung nicht zwingend erforderlich.
  • Der mit dem erfindungsgemäßen Verfahren verbundene Aufwand wird noch zusätzlich reduziert, wenn der Pumpantrieb zwischen der ersten und der zweiten Saugstufe mittels Zeitgliedes umschaltbar ist. Stattdessen kann der Pumpantrieb aber auch mittels eines Schalters vom Anwender manuell zwischen der ersten und der zweiten Saugstufe umgeschaltet werden.
  • Die Drehzahlsteuerung kann mechanisch beispielsweise durch eine Keilriemenübersetzung mit variablem Keilriemenscheibendurch messer erfolgen. Bevorzugt wird jedoch eine elektronische Drehzahlsteuerung.
  • Vorteilhaft kann es sein, wenn der Pumpantrieb als Wechselstrommotor ausgebildet ist und wenn zur Drehzahlsteuerung des Pumpantriebs ein Frequenzumrichter vorgesehen ist. Möglich ist aber auch, dass der Pumpantrieb als Gleichstrommotor ausgebildet ist und dass zur Drehzahlveränderung des Pumpantriebs eine Spannungsreduzierung vorgesehen ist.
  • Um das für die erste Saugstufe zur Verfügung stehende Zeitintervall verändern und beispielsweise bei einem größeren Vakuumbehälter derart verlängern zu können, bis rasch ein bestmögliches Endvakuum erreicht wird, ist es vorteilhaft, wenn das Zeitintervall für die erste Saugstufe mittels eines verstellbaren Zeitgliedes variierbar ist.
  • Die vorliegende Erfindung ist bei allen ventilgesteuerten Membran- oder Kolbenpumpen einsetzbar. Mit Hilfe der vorliegenden Erfindung lässt sich mit vergleichsweise geringem technischen Aufwand rasch das bestmögliche Endvakuum erreichen.

Claims (1)

  1. Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums mittels einer Vakuumpumpe, die einen drehzahlumschaltbaren Pumpantrieb hat, wobei der Pumpantrieb in einer ersten Saugstufe mit erhöhter Drehzahl betrieben wird und wobei der Pumpantrieb nach einem vorgegebenen Zeitintervall in eine zweite Saugstufe umgeschaltet wird, in welcher zweiten Saugstufe der Pumpantrieb eine demgegenüber verminderte Drehzahl hat, bei welcher Drehzahl die Vakuumpumpe das niedrigste Endvakuum erreicht.
DE2002122130 2002-05-17 2002-05-17 Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums Revoked DE10222130B4 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2002122130 DE10222130B4 (de) 2002-05-17 2002-05-17 Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums
PCT/EP2003/004988 WO2003098045A1 (de) 2002-05-17 2003-05-13 Verfahren zur erzeugung eines vakuums und vakuumpumpe zur durchführung dieses verfahrens

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2002122130 DE10222130B4 (de) 2002-05-17 2002-05-17 Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10222130A1 DE10222130A1 (de) 2004-03-04
DE10222130B4 true DE10222130B4 (de) 2007-06-06

Family

ID=29432145

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2002122130 Revoked DE10222130B4 (de) 2002-05-17 2002-05-17 Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE10222130B4 (de)
WO (1) WO2003098045A1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10354205A1 (de) * 2003-11-20 2005-06-23 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zur Steuerung eines Antriebsmotors einer Vakuum-Verdrängerpumpe
DE102006050943B4 (de) * 2006-10-28 2020-04-16 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb derselben

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19816241C1 (de) * 1998-04-11 1999-10-28 Vacuubrand Gmbh & Co Membran- oder Kolbenpumpe oder kombinierte Membran-/Kolbenpumpe mit Einrichtung zur druckabhängigen Reduzierung der Schöpfraumvergrößerungsgeschwindigkeit

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19816241C1 (de) * 1998-04-11 1999-10-28 Vacuubrand Gmbh & Co Membran- oder Kolbenpumpe oder kombinierte Membran-/Kolbenpumpe mit Einrichtung zur druckabhängigen Reduzierung der Schöpfraumvergrößerungsgeschwindigkeit

Also Published As

Publication number Publication date
WO2003098045A1 (de) 2003-11-27
DE10222130A1 (de) 2004-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2002053914A1 (de) Membranpumpe
DE102009056010A1 (de) Flügelzellenpumpe
DE10222130B4 (de) Verfahren zur Erzeugung eines Vakuums
CH674245A5 (de)
EP1628010A3 (de) Verfahren und Schaltungsanordnung zum Betrieb eines Piezoaktors
DE3702435A1 (de) Verfahren zur steuerung des rotationskompressors in einer kaelte- und waermepumpenanlage
DE2736394B2 (de) Gasgemisches
DE102007023858A1 (de) Kühlmittelpumpe für einen Kühlkreislauf einer Brennkraftmaschine
WO1997041373A1 (de) Ventil für flüssigkeiten
DE19913950A1 (de) Seitenkanalverdichter
DE10057383B4 (de) Mehrstufiger Kolbenverdichter und Verfahren zur Kühlung eines elektrischen Motors für einen mehrstufigen Kolbenverdichter
DE2447116A1 (de) Kuehlsystem
EP3268653A1 (de) Dämpfungsvorrichtung
DE112009003662T5 (de) Kühlschrank-Kompressor in Spiralbauart
DE20305937U1 (de) Pumpe mit integriertem Hydraulik-Motor
DE102011116957A1 (de) Multiple Koaxialpumpe
WO1998010192A1 (de) Flügelzellenpumpe
DE112016001228T5 (de) Spiralverdichter
DE10326466B4 (de) Schieber mit Anlaufentlastung
DE3500917A1 (de) Drehschieber-vakuumpumpe
DE1728276A1 (de) Drehfluegelpumpe
DE102005056277A1 (de) Innen-Zahnradpumpe
DE102005060320A1 (de) Kompressoreinheit
DE10191359B4 (de) Medienpumpe
DE4221494C2 (de) Förderstromänderung an einem Schraubenverdichter

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8363 Opposition against the patent
R011 All appeals rejected, refused or otherwise settled
R037 Decision of examining division or of federal patent court revoking patent now final
R107 Publication of grant of european patent rescinded