DE10217832B4 - Verfahren zum Kühlen von wärmeabgebenden Teilen eines elektromotorischen Antriebs - Google Patents

Verfahren zum Kühlen von wärmeabgebenden Teilen eines elektromotorischen Antriebs Download PDF

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Abstract

Verfahren zum Kühlen von wärmeabgebenden Teilen eines elektromotorischen Antriebs mittels eines unter Druck zugeführten Gases, insbesondere mittels Druckluft, dessen Gastemperatur unabhängig vom Gasdruck eingestellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Gas so zugeführt wird, dass es in der Nähe der zu kühlenden, wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs (2; 2a, 2b) expandiert und dass der Gasdruck (PK) und/oder die Gastemperatur (TB) so eingestellt werden, dass die sich aus der Mischung der Temperatur des expandierten und dabei abgekühlten Gases und der von den zu kühlenden, wärmeabgebenden Teilen des elektromotorischen Antriebs (2; 2a, 2b) abgegebenen Wärme ergebende Mischtemperatur konstant ist.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Kühlen von wärmeabgebenden Teilen eines elektromotorischen Antriebs gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie auf eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zum Kühlen des stromdurchflossenen Ankers und/oder Rotors eines Elektromotors, insbesondere einer Messmaschine ( US 5 834 862 A )
  • Aus der US 5,834,862 A ist eine Kühleinrichtung für einen Linearmotor mit einer über einen Statorkern bewegten Spule bekannt. An einem Ende der bewegten Spule ist eine Luftaustrittsdüse angeordnet, die aus einem Grundkörper, einer Abdeckplatte und Luftleitflächen besteht, so dass zwei fächerförmige Luftströme über die Außenfläche der bewegten Spule geleitet werden und die von der bewegten Spule abgegebene Wärme zur Stabilisierung der Spulentemperatur abführen. Die aus der Düse austretende Luft wird von einer Luftquelle über eine Einrichtung zur Regelung des Luftdruckes geleitet, und so eingestellt, dass die bei einer Umgebungstemperatur von 20° C innerhalb kurzer Zeit auf 85° C ansteigende Spulentemperatur unter Anhebung der Umgebungstemperatur auf eine für die Spulen und in der Nähe der Spulen angeordnete Teile des Linearmotors akzeptable Temperatur abgesenkt wird.
  • Durch die ständige Ableitung erwärmter Luft von der bewegten Spule stellt sich in der unmittelbaren Nähe des Linearmotors ein Temperaturgleichgewicht ein, das oberhalb der Umgebungstemperatur liegt. Das Anheben des Temperaturniveaus in der unmittelbaren Umgebung eines elektromotorischen Antriebs ist aber dann problematisch, wenn es auf eine Temperaturkonstanz, insbesondere auf eine konstante Umgebungstemperatur auch in der unmittelbaren Nähe des elektromotorischen Antriebs ankommt. Ein Beispiel hierfür ist eine Messmaschine, mit der sehr genau Längenmessgeräte mittels eines Interferometers vermessen werden können.
  • Aus der DE 195 05 388 A1 ist eine rotierende elektrische Maschine bekannt ist, bei der die in den Rotor- und Statorstäben entstehende Verlustwärme in einem offenen Kühlkreislauf an Luft als Kühlmedium abgegeben wird. An einem Ende des Rotors wird eine Turbinenstufe angeordnet, an der komprimierte Luft entspannt und somit abgekühlt wird, wodurch die Kühlleistung der Luft und damit die Leistungsdichte der elektrischen Maschine erhöht wird. Die den Rotor und Stator durchströmende Luft tritt jedoch durch einen Kühlluftaustritt aus und strömt ebenfalls in die Umgebung mit der Folge einer Erwärmung der Umgebung und damit Anhebung der Umgebungstemperatur ab.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabenstellung zugrunde, ein Verfahren zum Kühlen von wärmeabgebenden Teilen eines elektromotorischen Antriebs ohne Erhöhung der Temperatur in der Umgebung des elektrischen Antriebs anzugeben.
  • Diese Aufgabe wird durch die Verfahrensmerkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.
  • Die erfindungsgemäße Lösung gewährleistet eine wirksame Kühlung der wärmeabgebenden Teile eines elektromotorischen Antriebs ohne Erhöhung der Umgebungstemperatur und ermöglicht damit den Einsatz elektromotorischer Antriebe auch in hochgenauen Messeinrichtungen.
  • Mit der erfindungsgemäßen Lösung, ein Gas, vorzugsweise Druckluft; dem elektromotorischen Antrieb so zuzuführen, dass es in der Nähe der zu kühlenden, wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs expandiert, nutzt die Erfindung den Joule-Thomson-Effekt, wonach der Energieinhalt eines realen, unter Druck stehenden Gases sich bei der Entspannung des Gases ändert. Dabei wird beispielsweise bei Kohlendioxyd (CO2) und Luft eine Temperatursenkung von ¾K bzw. ¼K pro bar Druckdifferenz erzielt.
  • Das sich beim Ausströmen expandierende und dabei abkühlende Gas trifft auf die zu kühlenden, wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs, woraus bei entsprechender Einstellung der Temperatur des unter Druck zugeführten Gases und des Gasdruckes eine Mischtemperatur resultiert, die auf einen konstanten Wert und insbesondere auf die Umgebungstemperatur eingestellt werden kann. Dadurch tritt trotz wirksamer Kühlung der wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs in der unmittelbaren Umgebung des elektromotorischen Antriebs keine Temperaturerhöhung auf, so dass auch bei einer Verwendung eines derart gekühlten elektromotorischen Antriebs in einer Messmaschine den hohen Anforderungen an eine Temperaturstabilität genügt wird.
  • Mit der erfindungsgemässen Lösung ist es somit möglich, die wärmeabgebenden Teile eines elektromotorischen Antriebs zu kühlen, obwohl die zugeführte Luft und die Abluft Umgebungstemperatur aufweisen. Nur dadurch wird ein Minimum an Störeinflüssen auf die Messmaschine erzielt. Die zum Kühlen nötige Temperaturdifferenz zwischen den wärmeabgebenden Teilen des elektromotorischen Antriebs und der zugeführten Luft wird durch den Joule-Thomson-Effekt bewirkt. Damit wird die Voraussetzung dafür geschaffen, die Gastemperatur konstant und insbesondere auf dem Niveau der Umgebungstemperatur zu halten, wenn der Druck im Gasbehälter der jeweils anfallenden Verlustleistung angepasst wird.
  • Die Einstellung des Gasdruckes und damit die Einstellung der unter Ausnutzung des Joule-Thomson-Effektes erzielten Kühlleistung kann sowohl manuell erfolgen als auch in Abhängigkeit von der im bzw. am elektromotorischen Antrieb erfassten Temperatur und/oder in Abhängigkeit von der dem elektromotorischen Antrieb zugeführten Leistung, insbesondere des dem elektromotorischen Antrieb zugeführten Stromes, geregelt werden.
  • Sowohl eine manuelle Einstellung als auch eine Regelung des Gasdruckes eignet sich besonders für elektromotorische Antriebe mit konstanter oder nahezu konstanter Verlustleistung, da mit dem jeweils eingestellten Gasdruck die aus dem Joule-Thomson-Effekt resultierende Kühlleistung exakt eingestellt und eine hohe Temperaturkonstanz und damit ein Wärmegleichgewicht in der Umgebung des elektromotorischen Antriebs erzielt wird.
  • Bei variabler Verlustleistung kann nach einem weiterführenden Merkmal der erfindungsgemäßen Lösung in Abhängigkeit vom Motorstrom der Gasdruck so variiert werden, dass ebenfalls ein Wärmegleichgewicht hergestellt wird.
  • Eine vorteilhafte Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, das Gas in Abhängigkeit von der erforderlichen Kühlleistung vorzukühlen. Damit kann insbesondere bei größeren Verlustleistungen unter Ausnutzung des Joule-Thomson-Effektes in Verbindung mit einer leistungsabhängigen Vorkühlung des Gases ein Wärmegleichgewicht und damit eine konstante Umgebungstemperatur erreicht werden.
  • Eine vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, das Gas über eine Drosselstelle in der Nähe der zu kühlenden, wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs austreten zu lassen, so dass auch bei elektromotorischen Antrieben, bei denen eine Durchlaufkühlung vorgesehen ist, der durch die Expansion eines unter Druck stehenden Gases auftretende Joule-Thomson-Effekt zur Wärmeabfuhr ohne Anhebung der Umgebungstemperatur ausgenutzt werden kann, da das hinter der Drosselstelle entspannte Gas durch den Joule-Thomson-Effekt kälter als das unter Druck zugeführte Gas ist.
  • Mit der durch das erfindungsgemäße Verfahren erzielbaren konstanten Umgebungstemperatur bei wirksamer Kühlung wärmeabgebender Teile eines elektromotorischen Antriebs eignet sich das Verfahren vorzugsweise zum Kühlen des stromdurchflossenen Ankers und/oder Rotors eines Elektromotors mit mindestens einer in der Nähe des stromdurchflossenen Ankers und/oder Rotors des elektromotorischen Antriebs angeordnete Gasaustrittsöffnung und voneinander unabhängige Einrichtungen zur Steuerung oder Regelung der Temperatur und des Druckes des zugeführten Gases, insbesondere zum Kühlen der bewegten Spulen eines feste Permanentmagneten aufweisenden eisenlosen Linearmotors.
  • Da der aufgrund des Joule-Thomson-Effektes auftretende Kühleffekt eine Temperatureinstellung oder Temperaturregelung im Milli-Kelvin-Bereich ermöglicht, eignet sich das erfindungsgemäße Verfahren insbesondere zum Kühlen der bewegten Spulen eines feste Permanentmagneten aufweisenden eisenlosen Linearmotors einer luftgelagerten Messmaschine mit einem Maßstab, einem über den Maßstab mittels des Linearmotors geführten Messschlittens mit einem Abtastkopf, einem Interferometer und einer Einrichtung zum Vergleich eines vom Interferometer abgegebenen ersten Positionssignals, das die vom Interferometer ermittelte Position des Messschlittens angibt, mit einem zweiten Positionssignal, das die vom Abtastkopf erfasste Position angibt.
  • Dabei werden beidseitig eines die bewegten Spulen enthaltenden Spulenkörpers Arme angeordnet, die Düsenbohrungen aufweisen und über eine Gaszufuhrleitung mit einem Gasbehälter verbunden sind, wobei die Düsenbohrungen an den Armen so ausgerichtet sind, dass sie den Spulenkörper umströmen.
  • Wird über die Gaszufuhrleitung ein temperaturgeregeltes Gas zugeführt, so kühlt das aus dem Düsenbohrungen ausströmende und dabei expandierende Gas infolge des Joule-Thomson-Effektes ab. Das abgekühlte Gas umströmt den Spulenkörper und nimmt dabei die von den bewegten Spulen abgegebene Wärme auf, so dass die abgegebene Wärme nicht wie beim Stand der Technik abgeführt, sondern durch die Zufuhr des unterkühlten Gases kompensiert wird.
  • Durch die Anordnung einer Heiz- und/oder Kühleinrichtung in dem Gasbehälter kann eine vom Gasdruck unabhängige Gastemperatur eingestellt werden, die insbesondere der Umgebungstemperatur entspricht, da die Zuleitungen zu den bewegten Spulen üblicherweise keine Wärmesenken oder Wärmequellen darstellen.
  • Mittels einer Einrichtung zur Steuerung oder Regelung des Gasdruckes in Abhängigkeit von der von den bewegten Spulen in Form von Wärme abgegebenen Verlustleistung kann der Druck in der Zufuhrleitung so eingestellt werden, dass die von den bewegten Spulen abgegebene Wärme gerade ausreicht, das entspannte und durch den Joule-Thomson- Effekt abgekühlte Gas wieder auf die Umgebungstemperatur zu bringen, so dass ein die Umgebungstemperatur nicht veränderndes Wärmegleichgewicht erzielt wird.
  • Durch eine Erhöhung des Gasdruckes wird eine verstärkte Kühlwirkung sowohl durch die höhere Abkühlung infolge des Joule-Thomson-Effektes als auch infolge des größeren Volumens des ausströmenden Gases pro Zeiteinheit bewirkt.
  • Zur Steuerung oder Regelung der Gastemperatur kann der Gasbehälter sowohl eine Heizeinrichtung zum Erhitzen des im Gasbehälter gespeicherten Gases als auch eine Kühleinrichtung zum Vorkühlen des Gases aufweisen, so dass die Temperatur des der Gasaustrittsstelle unter Druck zugeführten Gases der jeweils anfallenden Verlustleistung angepasst werden kann.
  • Anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen soll der der Erfindung zugrundeliegenden Gedanke weiter erläutert werden. Es zeigen:
  • 1 – eine schematisch-perspektivische Darstellung einer Messmaschine;
  • 2 – einen Längsschnitt durch die Messmaschine gemäß 1;
  • 3 – eine teilweise geschnittene Seitenansicht der relativ zueinander bewegten Teile eines Linearmotors mit einer Druckluft-Kühleinrichtung;
  • 4 – einen Schnitt durch die Anordnung gemäß 3;
  • 5 – eine schematische Darstellung einer Einrichtung zur Steuerung der Kühlleistung einer Kühleinrichtung gemäß den 3 und 4 und
  • 6 – eine schematische Darstellung einer Regelung der Kühlleistung einer Kühleinrichtung gemäß den 3 und 4.
  • In den 1 und 2 ist in einer perspektivischen Darstellung und in einem Längsschnitt eine Messmaschine 1 dargestellt, mit der ein Längenmessgerät in Form eines Maßstabes 9 hochgenau vermessen wird. Dazu wird der Maßstab 9 auf einem Tisch 10 vorzugsweise aus Granit angebracht und ein von einem Linearmotor 2a angetriebener Messschlitten 12a mit einem Abtastkopf 12b über den Maßstab 9 geführt. Mit dem Messschlitten 12a wird ein ebenfalls durch einen Linearmotor 2b angetriebener Hilfsschlitten 13 mitgeführt, wobei zwischen dem Hilfsschlitten 13 und dem Messschlitten 12a ein Luftspalt 16 besteht. Der Hilfsschlitten 13 ist über einen Faltenbalg 14 mit einem Interferometer 11 verbunden, so dass die von dem Interferometer 11 abgegebenen Lichtstrahlen durch den Faltenbalg 14, über den Hilfsschlitten 13 und den Luftspalt 16 zu einer im Messschlitten 12a angeordneten Prismeneinrichtung 17 geführt und zum Interferometer 11 zurückgeleitet werden.
  • Durch einen Vergleich der vom Interferometer 11 ermittelten Position des Messschlittens 12a mit der vom Abtastkopf 12b ausgegebenen Position können beispielsweise Teilungsfehler des Maßstabes 9 überprüft werden. Wegen der hierfür geforderten Genauigkeit ist es erforderlich, die Messmaschine 1 und deren unmittelbare Umgebung auf einer stabilen Temperatur zu halten, um Ausdehnungseffekte und damit Messungenauigkeiten zu vermeiden.
  • Die Genauigkeitsanforderungen betragen bei einer Umgebungstemperatur von beispielsweise 20° C wenige Milli-Kelvin (mK). Eine Luftkühlung wie beim Stand der Technik gemäß der US-A 5,834,862 würde dagegen zu einer Anhebung der Umgebungstemperatur im Bereich der Messmaschine 1 führen, die für die geforderte Temperaturstabilität nicht akzeptabel ist.
  • In den 3 und 4 ist in einer teilweise geschnittenen Seitenansicht und in einem Längsschnitt ein Ausschnitt aus einem Linearmotor dargestellt, der beispielsweise als Antrieb für einen Messschlitten bzw. Hilfsschlitten einer in den 1 und 2 dargestellten Messmaschine eingesetzt werden kann. Die relativ zueinander bewegten Teile des Linearmotors sind in diesem Ausführungsbeispiel die in einem Spulenkörper 21 angeordneten bewegten Spulen und die feststehenden Magnete 22. Zur Kühlung der von im Spulenkörper 21 angeordneten stromdurchflossenen Spulen ist eine Kühlvorrichtung 3, 3' vorgesehen, die einen Arm 30 mit einer Längsbohrung 31, die an eine Gaszufuhrleitung 33 angeschlossen ist, aufweist. Auf den Spulenkörper 21 ausgerichtet sind von den Längsbohrungen 31 der Arme 30 ausgehend Düsenbohrungen 32 vorgesehen, die ein unter Druck über die Gaszufuhrleitung 33 und die Längsbohrung 31 zugeführtes Gas derart auf den Spulenkörper 21 richten, dass dieser von dem aus den Düsenbohrungen 32 austretenden Gas umspült wird.
  • Das aus den Düsenbohrungen 32 austretende Gas expandiert an der Austrittsstelle und verringert seine Temperatur in Abhängigkeit von der Druckdifferenz zwischen dem Gasdruck in der Gaszufuhrleitung 33 vor den Düsenbohrungen 32 und dem Umgebungsdruck hinter den Düsenbohrungen 32 infolge des Joule-Thomson-Effektes, so dass die auf die im Spulenkörper 21 angeordneten bewegten Spulen auftreffende Gasströmung die von den bewegten Spulen abgegebene Wärme aufnimmt. Das sich dabei einstellende Temperaturgleichgewicht entspricht der Umgebungstemperatur des Linearmotors, so dass im Bereich des Linearmotors angeordnete Funktionselemente keiner Temperaturänderung ausgesetzt sind.
  • Steht beispielsweise das Gas in der Gaszufuhrleitung 33 unter einem Gasdruck von 1 bis 6 bar, so ergibt sich beim Gasaustritt und der daraus folgenden Expansion des Gases infolge des Joule-Thomson-Effektes eine Temperaturabsenkung um 1,5K für Luft. Das so abgekühlte Gas kann die von den bewegten Spulen abgegebene Wärme aufnehmen, wobei durch exakte Einstellung des Gasdruckes die zu kompensierende Wärmemenge bestimmt und infolge des Joule-Thomson-Effektes eine sehr feinfühlige Temperaturregelung durchgeführt werden kann.
  • Zu diesem Zweck wird der Gasdruck so gesteuert bzw. geregelt, dass die von den bewegten Spulen abgegebene Wärmemenge ausreicht, die pro Zeiteinheit abgegebene Gasmenge, die durch den Joule-Thomson-Effekt abgekühlt wurde, wieder auf die Umgebungstemperatur des Linearmotors zu bringen.
  • Ist die Verlustleistung des elektromotorischen Antriebs im Wesentlichen konstant, so kann durch Einstellen eines geeigneten Gasdruckes die von den bewegten Spulen abgegebene Wärmemenge pro Zeiteinheit und damit ein Wärmegleichgewicht erzielt werden, das insbesondere die Temperatur in der Umgebung des Linearmotors konstant hält.
  • Zu diesem Zweck ist entsprechend dem in 5 dargestellten Schaltschema in dem elektromotorischen Antrieb 2 ein Temperatursensor 51 vorzugsweise in der Nähe der wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs 2 angeordnet und mit einer Temperaturanzeige 58 zur Anzeige der Temperatur TM im Bereich der wärmeabgebenden Teile verbunden. Ein Temperatursensor 52 erfasst die Umgebungstemperatur TU des elektromotorischen Antriebs 2 und zeigt diese in einer Temperaturanzeige 57 an. Die vorstehend anhand der 3 und 4 erläuterte Kühlvorrichtung 3, 3' im Bereich der wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs 2 ist über ein Ventil 6 mit einer Druckluftleitung verbunden und in der Zuleitung zur Kühleinrichtung 3 ein Druckmesser 55 angeordnet, der mit einem Druckanzeiger 59 verbunden ist.
  • Durch Einstellung der Gasströmung bzw. des Gasdruckes PK am Ausgang des Ventils 6 wird die Kühlleistung der Kühlvorrichtung 3 infolge des Joule-Thomson-Effektes und des Volumenstromes des aus der Kühlvorrichtung 3 austretenden Gases pro Zeiteinheit so gesteuert, dass die in dem elektromotorischen Antrieb 2 gemessene Temperatur TM der Umgebungstemperatur TU des elektromotorischen Antriebs 2 entspricht bzw. übereinstimmt.
  • 6 zeigt ein Regelschema einer Kühleinrichtung, bei der die Kühlleistung in Abhängigkeit von verschiedenen Parametern geregelt wird.
  • Der als Linearmotor oder rotatorischer Antrieb ausgebildete elektromotorische Antrieb 2 enthält im Bereich seiner wärmeabgebenden Teile eine vorstehend beschriebene Kühlvorrichtung 3 mit Düsenbohrungen oder Drosselstellen, die über eine Gaszufuhrleitung 33 und ein Drosselventil 61 an einen Gasbehälter 4 angeschlossen ist. Der Gasbehälter 4 enthält eine Kühlung und/oder Heizung 7, mit der das im Gasbehälter 4 befindliche Gas temperiert werden kann. Zur Erfassung der Temperatur TB im Gasbehälter 4 ist ein Temperatursensor 53 vorgesehen, während ein Drucksensor 54 den Gasdruck PB im Gasbehälter 4 erfasst. Über ein Ventil 62 ist der Gasbehälter 4 mit einer Gasdruckquelle, beispielsweise einem Kompressor verbunden.
  • Ein im elektromotorischen Antrieb 2 angeordneter Temperatursensor 51 erfasst die Temperatur TM vorzugsweise in der unmittelbaren Umgebung der wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs 2. Weiterhin ist ein Temperatursensor 52 vorgesehen, der die Umgebungstemperatur TU des elektromotorischen Antriebs 2 erfasst und dabei so angeordnet werden kann, dass er sich im Anwendungsfall einer Messmaschine in unmittelbarere Nähe eines zu eichenden Maßstabes befindet.
  • Weiterhin ist in der ein- oder mehrphasigen elektrischen Zuleitung 20 zum elektromotorischen Antrieb 2 ein Stromsensor 56 zur Erfassung des Motorstromes IM angeordnet.
  • Eine prozessorgesteuerte Regeleinrichtung 8 ist eingangsseitig mit den verschiedenen Sensoren 51 bis 56 verbunden und steuert ausgangsseitig das Drosselventil 61, das den Gasbehälter 4 mit einer Gasleitung verbindende Ventil 62 sowie die Heizung und/oder Kühlung 7 an.
  • Zur Regelung der Kühlleistung der Kühlvorrichtung 3 wird in Abhängigkeit von der von den wärmeabgebenden Teilen des elektromotorischen Antriebs 2 abgegebenen Verlustwärme die Temperatur TB im Gasbehälter 4 sowie der Druck PK des der Kühlvorrichtung 3 zugeführten Gases sowie in Abhängigkeit von der im elektromotorischen Antrieb 2 erfassten Temperatur TM und/oder in Abhängigkeit von dem dem elektromotorischen Antrieb 2 zugeführten und über den Stromsensor 56 erfassten Strom-Istwert IM so eingestellt, dass die sich aus der Verlustleistung und der Kühlleistung ergebende Temperatur konstant, insbesondere gleich der vom Sensor 52 erfassten Umgebungstemperatur TU ist.
  • Als zusätzlicher Parameter kann der Gasdruck PB im Gasbehälter 4 erfasst und über das Ventil 62 geregelt werden.
  • Mit dem in 6 dargestellten Regelschema kann beispielsweise die Grundeinstellung der erforderlichen Kühlleistung mittels der Einstellung bzw. Regelung der Gastemperatur im Gasbehälter 4 erfolgen. Je nach geforderter Kühlleistung wird das im Gasbehälter 4 befindliche Gas erwärmt oder abgekühlt, so dass mittels einer Feinregelung des Gasdruckes die Kühlleistung am Ort der wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs 2 feinstufig der Verlustleistung angepasst und die sich aus der Regelung ergebende Mischtemperatur der Umgebungstemperatur TU entspricht.

Claims (18)

  1. Verfahren zum Kühlen von wärmeabgebenden Teilen eines elektromotorischen Antriebs mittels eines unter Druck zugeführten Gases, insbesondere mittels Druckluft, dessen Gastemperatur unabhängig vom Gasdruck eingestellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Gas so zugeführt wird, dass es in der Nähe der zu kühlenden, wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs (2; 2a, 2b) expandiert und dass der Gasdruck (PK) und/oder die Gastemperatur (TB) so eingestellt werden, dass die sich aus der Mischung der Temperatur des expandierten und dabei abgekühlten Gases und der von den zu kühlenden, wärmeabgebenden Teilen des elektromotorischen Antriebs (2; 2a, 2b) abgegebenen Wärme ergebende Mischtemperatur konstant ist.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Gastemperatur (TB) konstant gehalten und der Gasdruck (PK) so eingestellt wird, dass die sich aus der Mischung der Temperatur des expandierten und dabei abgekühlten Gases und der von den zu kühlenden, wärmeabgebenden Teilen des elektromotorischen Antriebs (2; 2a, 2b) abgegebenen Wärme ergebende Temperatur gleich der Umgebungstemperatur (TU) ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Gastemperatur (TB) auf die Umgebungstemperatur (TU) des elektromotorischen Antriebs (2, 2a, 2b) eingestellt wird.
  4. Verfahren nach mindestens einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasdruck (PK) manuell eingestellt wird.
  5. Verfahren nach mindestens einem der voranstehenden Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasdruck (PK) in Abhängigkeit von der in dem elektromotorischen Antrieb (2; 2a, 2b) erfassten Temperatur (TM) und/oder der im elektromotorischen Antrieb (2; 2a, 2b) zugeführten elektrischen Energie (IM; NM) geregelt wird.
  6. Verfahren nach mindestens einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gas in Abhängigkeit von der zum Kühlen der wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs (2; 2a, 2b) erforderlichen Kühlleistung vorgekühlt wird.
  7. Verfahren nach mindestens einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gas über eine Drosselstelle (32) in der Nähe der zu kühlenden, wärmeabgebenden Teile des elektromotorischen Antriebs (2; 2a, 2b) austritt.
  8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach mindestens einem der voranstehenden Ansprüche zum Kühlen des stromdurchflossenen Ankers und/oder Rotors eines Elektromotors, gekennzeichnet durch mindestens eine in der Nähe des stromdurchflossenen Ankers und/oder Rotors des elektromotorischen Antriebs (2; 2a, 2b) angeordnete Gasaustrittsöffnung (32) und voneinander unabhängige Einrichtungen (6; 61, 62; 7; 8) zur Steuerung oder Regelung der Temperatur (TB) und des Druckes (PK) des zugeführten Gases.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8 zum Kühlen der bewegten Spulen eines feste Permanentmagneten (22) aufweisenden eisenlosen Linearmotors (2; 2a, 2b).
  10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9 zum Kühlen der bewegten Spulen eines feste Permanentmagneten (22) aufweisenden eisenlosen Linearmotors (2a, 2b) einer luftgelagerten Messmaschine (1) mit einem Maßstab (9), einem über den Maßstab (9) mittels des Linearmotors (2a, 2b) geführten Messschlittens (12a) mit einem Abtastkopf (12b), einem Interferometer (11) und mit einer Einrichtung zum Vergleich eines vom Interferometer (11) abgegebenen ersten Positionssignals, das die vom Interferometer (11) ermittelte Position des Messschlittens (12a) angibt, mit einem zweiten Positionssignal, das die vom Abtastkopf (12b) erfasste Position angibt.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch beidseitig eines die bewegten Spulen enthaltenden Spulenkörpers (21) angeordnete Arme (30), die Düsenbohrungen (32) aufweisen und über eine Gaszufuhrleitung (33) mit einem Gasbehälter (4) verbunden sind.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Düsenbohrungen (32) an den Armen (30) so ausgerichtet sind, dass sie den Spulenkörper (21) umströmen.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasbehälter (4) mit einer Einrichtung (7) zur Einstellung der Gastemperatur versehen ist.
  14. Vorrichtung nach mindestens einem der voranstehenden Ansprüche 8 bis 13, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (8) zur Steuerung oder Regelung des Gasdruckes (PB, PK) in Abhängigkeit von der von den bewegten Spulen abgegebenen Verlustleistung.
  15. Vorrichtung nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (8) zur Regelung des Gasdrucks (PB, PK) in Abhängigkeit von dem vom Linearmotor (2a, 2b) aufgenommenen Strom (IM).
  16. Vorrichtung nach mindestens einem der voranstehenden Ansprüche 8 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasbehälter (4) eine Heizeinrichtung (7) zum Erhitzen des Gases aufweist.
  17. Vorrichtung nach mindestens einem der voranstehenden Ansprüche 8 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasbehälter (4) eine Kühleinrichtung (7) zum Vorkühlen des im Gasbehälter (4) befindlichen Gases in Abhängigkeit von der vom stromdurchflossenen Anker oder Rotor abgegebenen Wärme aufweist.
  18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühleinrichtung (7) aus einer Kälteanlage, einem Wärmetauscher oder aus einem Peltierelement besteht.
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