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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Testvorrichtung zur Beaufschlagung von elektronischen Bauteilen mit einem vorgebbaren Luftdruck, eine Druckverteileinheit für eine entsprechende Testvorrichtung und die Verwendung einer Testvorrichtung.
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Testvorrichtungen ermöglichen es, ein elektronisches Bauteil, beispielsweise ein Halbleiterbauteil, auf dessen Funktionsfähigkeit zu testen. Dazu kann das elektronische Bauteile durch die Testvorrichtung aufgenommen werden und anschließend einem Funktionstest unterzogen werden. Für einen Funktionstest kann es notwendig sein, das elektronische Bauteil bei bestimmten Umwelteinflüssen, wie beispielsweise einem bestimmten Luftdruck, einer bestimmten Temperatur oder einem bestimmten Temperaturbereich, und/oder einer bestimmten Luftfeuchtigkeit, zu testen.
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Um das Testen elektronischer Bauteile effizient durchzuführen, ist es wünschenswert, mehrere elektronische Bauteile gleichzeitig testen zu können. Des Weiteren ist es wünschenswert, die mehreren elektronischen Bauteile denselben gewünschten Umwelteinflüssen auszusetzen uns dabei eine möglichst einfach aufgebaute Testvorrichtung zu verwenden.
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Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Testvorrichtung zur Beaufschlagung von elektronischen Bauteilen mit einem vorgebbaren Luftdruck bereitzustellen, die es ermöglicht eine Vielzahl von elektronischen Bauteilen unter vergleichbaren Bedingungen zuverlässig zu testen.
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Diese Aufgabe wird gemäß einem ersten Aspekt durch einen Testvorrichtung zur Beaufschlagung von elektronischen Bauteilen, insbesondere Drucksensoren, mit einem vorgebbaren Luftdruck gelöst, wobei die Testvorrichtung aufweist:
- - mindestens eine erste und zweite Bauteilaufnahmeeinheit, die dazu ausgebildet sind, jeweils mindestens ein elektronisches Bauteil zur Beaufschlagung mit einem vorgebbaren Luftdruck aufzunehmen,
- - eine Druckverteileinheit aufweisend:
- - einen Eingangsanschluss, der fluidisch mit einer den vorgebbaren Luftdruck bereitstellenden Druckerzeugungsvorrichtung verbindbar ist, und
- - für jede Bauteilaufnahmeeinheit einen separat zugeordneten Ausgangsanschluss, der fluidisch mit dem Eingangsanschluss verbunden ist, und
- - jeweils eine fluidführende Verbindungsleitung zwischen jeder Bauteilaufnahmeeinheit und derer zugeordneten Ausgangsanschluss.
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Vorteilhafterweise ermöglicht die vorliegende Erfindung, dass sowohl in der ersten und zweiten Bauteilaufnahmeeinheit auf einfache Weise der vorgebbare Luftdruck einfach einstellbar ist, in dem an dem Eingangsanschluss der Druckverteileinheit der vorgebbare Luftdruck angelegt wird. Somit können die durch die erste und zweite Bauteilaufnahmeeinheit aufgenommenen elektronischen Bauteile unter einen im Wesentlichen gleichen Luftdruck getestet werden. Vorzugsweise kann der vorgebbare Luftdruck in Abhängigkeit des zu testenden elektronischen Bauteils eingestellt werden. Beispielsweise kann der Luftdruck mehr als 1 bar, insbesondere mehr als 2 bar betragen. Des Weiteren ermöglicht die vorgeschlagene Erfindung eine einfache Skalierbarkeit der Testkapazität, in dem weitere Bauteilaufnahmeeinheiten vorgesehen werden können, wobei diese mit entsprechend weiteren separaten Ausgangsanschlüsse der Druckverteileinheit, fluidisch verbunden werden können, beispielsweise über weitere fluidführende Verbindungsleitungen.
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Die Testverrichtung kann insbesondere zum Testen von Halbleiterbauteilen, beispielsweise Drucksensoren, verwendet werden. Die Erfindung ist aber nicht ausschließlich auf die Verwendung mit Drucksensoren beschränkt. Vielmehr kann die Testvorrichtung für jegliche elektronische Bauteile verwendet werden, deren Funktionsfähigkeit unter einem vorgebbaren Luftdruck getestet werden soll.
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Vorzugsweise sind die Bauteilaufnahmeeinheiten fluiddicht bzw. druckdicht ausgebildet und können jeweils einen Aufnahmeraum aufweisen, der das mindestens eine elektronische Bauteil aufnimmt, wobei das mindestens eine elektronische Bauteil in dem Aufnahmeraum dem vorgebbaren Luftdruck aussetzbar ist. Ferner kann jede Bauteilaufnahmeeinheit einen Anschluss aufweisen, mit dem jede Bauteilaufnahmeeinheit und insbesondere der Aufnahmeraum fluidisch mit der fluidführenden Verbindungsleitung und dem zugeordneten Ausgangsanschluss der Druckverteileinheit verbunden ist. Vorzugsweise können die fluidführenden Verbindungsleitungen lösbar mit dem Ausgangsanschluss und dem Anschluss der Bauteilaufnahmeeinheiten verbunden sein. Insbesondere können die fluidführenden Verbindungsleitungen auf den Ausgangsanschluss und den Anschluss der Bauteilaufnahmeeinheit aufsteckbar sein.
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Vorzugsweise lassen sich die Bauteilaufnahmeeinheiten öffnen, um den Aufnahmeraum freizugeben, so dass in einem geöffneten Zustand der Bauteilaufnahmeeinheiten, der Aufnahmeraum der Bauteilaufnahmeeinheiten mit einem elektronischen Bauteil bestückt werden kann. Ferner können die Bauteilaufnahmeeinheiten geschlossen werden, so dass in einem geschlossenen Zustand der Bauteilaufnahmeeinheiten der Aufnahmeraum fluiddicht bzw. druckdicht ist, um ein in dem Aufnahmeraum befindliches elektronisches Bauteil mit dem vorgebbaren Luftdruck zu beaufschlagen.
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Insbesondere kann jede Bauteilaufnahmeeinheit zwei Gehäuseteile aufweisen, die den Aufnahmeraum der Bauteilaufnahmeeinheit umschließen bzw. diesen bilden. Durch eine Relativbewegung der zwei Gehäuseteile zueinander lassen sich der Aufnahmeraum öffnen oder schließen. Ferner kann in dem Aufnahmeraum ein Sockel vorgesehen sein, auf dem das mindestens eine elektronische Bauteil aufgelegt werden kann.
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In einer bevorzugten Ausführungsform können die fluidführenden Verbindungsleitungen im Wesentlichen gleich lang sein. Entsprechend können Zeitverzögerungen im Druckaufbau der jeweiligen Bauteilaufnahmeeinheiten reduziert werden und es kann konstruktiv sichergestellt werden, dass der vorgebbare Luftdruck in jeder Bauteilaufnahmeeinheit im Wesentlichen gleich ist, sodass die elektronischen Bauteile mit dem gleichen vorgebbaren Luftdruck beaufschlagt werden. Somit kann sichergestellt werden, dass die elektronischen Bauteile unter gleichen Bedingungen getestet werden.
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In einer bevorzugten Ausführungsform kann die Druckverteileinheit einen einstückig ausgebildeten Druckverteileinheitskörper aufweisen. Ferner können der Eingangsanschluss und die Ausgangsanschlüsse an dem Druckverteileinheitskörper lösbar befestigt sein. Vorteilhafterweise lässt sich die Druckverteileinheit somit flexibel an verschiedenste Bauteilaufnahmeeinheiten und Verbindungsleitungen anpassen, indem beispielsweise der Eingangsanschluss und/oder die Ausgangsanschlüsse entsprechend der Druckerzeugungsvorrichtung bzw. der Bauteilaufnahmeeinheiten und der fluidführenden Verbindungsleitungen angepasst werden. Bevorzugt bestehen zwischen den Bauteilaufnahmeeinheiten und den Ausgangsanschlüssen eine 1:1 Zuordnung, so dass jede Bauteilaufnahmeeinheit mit genau einem Ausgangsanschluss fluidisch verbunden ist.
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In einer bevorzugten Ausführungsform kann der Druckverteileinheitskörper ein fluidführendes Kanalnetz aufweisen, welches sich ausgehend von dem Eingangsanschluss hin zu den Ausganganschlüssen verzweigt. Insbesondere kann der Druckverteileinheitskörper einen fluidführenden Eingangskanal aufweisen, der von dem Eingangsanschluss ausgehend sich in den Druckverteileinheitskörper hinein erstreckt, wobei sich von dem Eingangskanal zu jedem Ausgangsanschluss ein Ausgangskanal, der sich von dem Eingangskanal zu dem entsprechenden Ausgangsanschluss erstreckt, abzweigt. Vorzugsweise sind die Ausgangskanäle gleich lang ausgebildet, sodass ein gleicher Druckaufbau in den Bauteilaufnahmeeinheiten gewährleistet ist. Vorteilhafterweise sind der Eingangskanal und/oder die Ausgangskanäle im Wesentlichen geradlinig ausgebildet. Beispielsweise können der Eingangskanal und/oder die Ausgangskanäle durch Bohren in dem Druckverteileinheitskörper ausgebildet werden. Vorzugsweise kann der Druckverteileinheitskörper im Wesentlichen quaderförmig ausgebildet sein, wodurch sich in der Fertigung der Eingangskanal und/oder die Ausgangskanäle einfach durch Bohren ausbilden lassen. Bevorzugt liegt die Längsrichtung des Eingangskanals senkrecht zur Längsrichtung der Ausgangskanäle.
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Der Eingangsanschluss und/oder die Ausgangsanschlüsse können insbesondere abschnittsweise aus dem Druckverteileinheitskörper herausgeführt sein. Insbesondere können der Eingangsanschluss und oder/die Ausgangsanschlüsse lösbar an dem Druckverteileinheitskörper befestigt sein. Beispielsweise können der Eingangsanschluss und/oder die Ausgangsanschlüsse in den Druckverteileinheitskörper eingeschraubt sein.
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In einer bevorzugten Ausführungsform kann die Testvorrichtung ein vorzugsweise flächig ausgebildetes Substrat, insbesondere eine Leiterplatte, aufweisen. Das Substrat kann auf einer ersten Seite für jede der Bauteilaufnahmeeinheiten eine separate Anordnungsposition aufweisen, an der die entsprechende Bauteilaufnahmeeinheit angeordnet ist. Vorzugsweise kann jede der Bauteilaufnahmeeinheiten mittels eines Verbindungsmittels an der entsprechenden Anordnungsposition bevorzugt lösbar befestigt sein. Beispielsweise können die Bauteilaufnahmeeinheiten an dem Substrat verschraubt sein.
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Vorteilhafterweise ermöglicht die Anordnung der Bauteilaufnahmeeinheiten an einer ersten Seite, dass die Bauteilaufnahmeeinheiten von der gleichen Seite aus zugänglich sind, um die Bestückung der Bauteilaufnahmeeinheiten mit elektronischen Bauteilen zu erleichtern.
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In einer bevorzugten Ausführungsform kann die Druckverteileinheit auf einer zweiten Seite des Substrats, die der ersten Seite des Substrats gegenüberliegt, angeordnet sein. Insbesondere kann die Druckverteileinheit mittels eines Verbindungsmittels an dem Substrat bevorzugt lösbar befestigt sein. Beispielsweise kann die Druckverteileinheit mittels Schrauben an dem Substrat befestigt sein.
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In einer bevorzugten Ausführungsform kann die Testvorrichtung einen Rahmen aufweisen, an dem das Substrat angeordnet ist. Insbesondere kann das Substrat lösbar an dem Rahmen befestigt sein, wobei vorteilhafterweise der Rahmen das Substrat stützt. Insbesondere kann der Rahmen zumindest abschnittsweise das Substrat umgeben.
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In einer bevorzugten Ausführungsform kann jede Bauteilaufnahmeeinheit elektrische Kontaktierungsmittel aufweisen, die dazu ausgebildet sind, eine elektrische Verbindung zwischen dem in dem Aufnahmeraum befindlichen elektronischen Bauteil und einem (externen) Testsystem herzustellen. Die elektrischen Kontaktierungsmittel können dabei in den Aufnahmeraum hineinreichen, um die elektronischen Bauteile elektrisch zu kontaktieren. Ferner kann die Testvorrichtung einen elektrischen Anschluss vorsehen, an dem das Testsystem angeschlossen wird und der die elektrischen Kontaktierungsmittel mit dem Testsystem elektrisch verbindet. Folglich ist es möglich, die elektronischen Bauteile unter demselben vorgebbaren Druck elektrisch zu testen. Bevorzugt kann die Testvorrichtung auch das Testsystem mitumfassen.
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In einer bevorzugten Ausführungsform kann die Testvorrichtung ferner ein Gehäuse zum Aufnehmen der ersten und zweiten Bauteilaufnahmeeinheit in einem gehäuseseitigen Aufnahmeraum aufweisen. Der gehäuseseitige Aufnahmeraum kann temperierbar sein. Beispielsweise kann der gehäuseseitige Aufnahmeraum ein Heiz und/oder Kühlelement aufweisen, mit dem der gehäuseseitige Aufnahmeraum temperierbar ist. Alternativ oder optional kann die Testverrichtung einen fluidischen Zugang zu dem gehäuseseitigen Aufnahmeraum aufweisen, über den ein temperiertes Fluid in den gehäuseseitigen Aufnahmeraum zuführbar ist. Ferner kann der gehäuseseitige Aufnahmeraum luftdicht ausgebildet sind. Vorteilhafterweise kann somit gewährleistet werden, dass die Bauteilaufnahmeeinheiten gleichen Testbedingungen ausgesetzt sind. Bevorzugt kann der gehäuseseitige Aufnahmeraum durch das Gehäuse und den Rahmen gebildet werden, sodass das Gehäuse und der Rahmen den gehäuseseitigen Aufnahmeraum ausbilden, der die Bauteilaufnahmeeinheiten luftdicht umgibt.
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Bevorzugt weist der Rahmen eine abdichtende Durchführung auf, durch welche eine von dem Eingangsanschluss zu der den vorgebbaren Luftdruck bereitstellenden Druckerzeugungsvorrichtung fluidführende Verbindungsleitung hindurchgeführt wird. Ferner kann eine elektrische Verbindungsleitung, mit denen ein Testsystem mit den elektronischen Bauteilen elektrisch verbunden werden kann, durch die Durchführung hindurchgeführt werden.
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In einer bevorzugten Ausführungsform können die erste und/oder zweite Bauteilaufnahmeeinheit temperierbar sind. Insbesondere kann jede der Bauteilaufnahmeeinheiten ein Heiz und/oder Kühlelement aufweisen, dass die entsprechende Bauteilaufnahmeeinheit und den Aufnahmeraum der Bauteilaufnahmeeinheit temperiert.
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Bevorzugt kann die Testvorrichtung mindestens vier Bauteilaufnahmeeinheiten, bevorzugt mindestens sechs Bauteilaufnahmeeinheiten und insbesondere mindestens acht Bauteilaufnahmeeinheiten aufweisen. Es versteht sich, dass die Anzahl der an der Druckverteileinheit vorgesehenen Ausgangsanschlüsse entsprechend der Anzahl der Bauteilaufnahmeeinheiten erhöht ist, ebenso die Anzahl der fluidführenden Verbindungsleitungen. Ebenso versteht sich, dass sich die Anzahl der in dem Druckverteileinheitskörper ausgebildeten Ausgangskanäle entsprechend der vorgesehenen Anzahl von Bauteilaufnahmeeinheiten erhöht. Vorteilhafterweise kann die Testvorrichtung einfach erweitert werden, um die Anzahl von gleichzeitig zu testentenden elektronischen Bauteilen zu erhöhen.
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Vorzugsweise kann jede der Bauteilaufnahmeeinheiten dazu ausgebildet sein, mindestens vier elektronische Bauteile, bevorzugt mindestens sechs elektronische Bauteile, insbesondere mindestens acht elektronische Bauteile aufzunehmen, um diese mit dem vorgebbaren Luftdruck zu beaufschlagen.
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Bevorzugt können die Bauteilaufnahmeeinheiten dazu ausgebildet sein, baugleiche elektronische Bauteile aufzunehmen.
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Gemäß einem zweiten Aspekt wird die zugrunde liegende Aufgabe durch eine Druckverteileinheit für eine Testvorrichtung zur Beaufschlagung von elektronischen Bauteilen, insbesondere Drucksensoren, mit einem vorgebbaren Luftdruck, gelöst, wobei die Druckverteileinheit aufweist:
- - einen Eingangsanschluss, der fluidisch mit einer den vorgebbaren Luftdruck bereitstellenden Druckerzeugungsvorrichtung verbindbar ist, und
- - einen ersten und zweiten Ausgangsanschluss, die jeweils fluidisch mit dem Eingangsanschluss verbunden sind, wobei jeder Ausgangsanschluss mit einer separaten Bauteilaufnahmeeinheit fluidisch verbindbar ist.
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In einer bevorzugten Ausführungsform kann die Druckverteileinheit einen einstückig ausgebildeten Druckverteileinheitskörper aufweisen. Ferner können der Eingangsanschluss und/oder die Ausgangsanschlüsse an dem Druckverteileinheitskörper lösbar befestigt sein. Vorteilhafterweise lässt sich die Druckverteileinheit somit flexibel an verschiedenste Bauteilaufnahmeeinheiten und Verbindungsleitungen anpassen, indem beispielsweise der Eingangsanschluss und/oder die Ausgangsanschlüsse entsprechend der Druckerzeugungsvorrichtung und/oder der Bauteilaufnahmeeinheiten und/oder der fluidführenden Verbindungsleitungen angepasst werden.
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In einer bevorzugten Ausführungsform kann der Druckverteileinheitskörper ein fluidführendes Kanalnetz aufweisen, welches sich ausgehend von dem Eingangsanschluss hin zu den Ausganganschlüssen verzweigt. Insbesondere kann der Druckverteileinheitskörper einen fluidführenden Eingangskanal aufweisen, der von dem Eingangsanschluss ausgehend sich in den Druckverteileinheitskörper hinein erstreckt, wobei von dem Eingangskanal zu jedem Ausgangsanschluss ein Ausgangskanal, der sich von dem Eingangskanal zu dem entsprechenden Ausgangsanschluss erstreckt, abzweigt. Vorzugsweise sind die Ausgangskanäle gleich lang ausgebildet, sodass ein gleicher Druckaufbau in den Bauteilaufnahmeeinheiten gewährleistet ist. Vorteilhafterweise sind der Eingangskanal und/oder die Ausgangskanäle im Wesentlichen geradlinig ausgebildet. Beispielsweise können der Eingangskanal und/oder die Ausgangskanäle durch Bohren in dem Druckverteileinheitskörper ausgebildet werden. Vorzugsweise kann der Druckverteileinheitskörper im Wesentlichen quaderförmig ausgebildet sein, wodurch sich in der Fertigung der Eingangskanal und/oder die Ausgangskanäle einfach durch Bohren ausbilden lassen. Bevorzugt liegt die Längsrichtung des Eingangskanals senkrecht zur Längsrichtung der Ausgangskanäle.
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Der Eingangsanschluss und/oder die Ausgangsanschlüsse können insbesondere abschnittsweise aus dem Druckverteileinheitskörper herausgeführt sein. Insbesondere können der Eingangsanschluss und oder/die Ausgangsanschlüsse lösbar an dem Druckverteileinheitskörper befestigt sein. Beispielsweise können der Eingangsanschluss und/oder die Ausgangsanschlüsse in den Druckverteileinheitskörper eingeschraubt sein.
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Gemäß einem dritten Aspekt wird die zugrunde liegende Aufgabe durch die Verwendung einer Testvorrichtung zur Beaufschlagung von elektronischen Bauteilen, insbesondere Drucksensoren, mit einem vorgebbaren Luftdruck gelöst. Die Verwendung kann vorsehen:
- Aufnehmen elektronischer Bauteile durch die erste und zweite Bauteilaufnahmeeinheit,
- Bereitstellen eines vorgebbaren Luftdrucks an dem Eingangsanschluss, und Testen der elektronischen Bauteile.
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Vorzugsweise kann die Verwendung vorsehen, dass der Eingangsanschluss fluidisch mit einer den vorgebbaren Luftdruck bereitstellenden Druckerzeugungsvorrichtung verbindbar ist. Die fluidische Verbindung kann insbesondere durch eine Verbindungsleitung bereitgestellt werden. Ferner kann die Verwendung vorsehen, dass die elektronischen Bauteile elektrisch mit einem Testsystem verbunden sind, und das während der Beaufschlagung mit dem vorgebbaren Luftdruck die elektronischen Bauteile elektrisch getestet werden.
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Diese und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus dem Studium der folgenden detaillierten Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen und der beiliegenden Figuren deutlicher. Es ist ersichtlich, dass, obwohl Ausführungsformen separat beschrieben werden, einzelne Merkmale daraus zu zusätzlichen Ausführungsformen kombiniert werden können.
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Es zeigen:
- 1 eine Darstellung einer Testvorrichtung zur Beaufschlagung von elektronischen Bauteilen mit einem vorgebbaren Luftdruck,
- 2 eine Druckverteileinheit,
- 3 einen Querschnitt der Druckverteileinheit, und
- 4 eine weitere Ausführungsform der Testvorrichtung.
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1 zeigt eine Testvorrichtung 10 zur Beaufschlagung von elektronischen Bauteilen mit einem vorgebbaren Luftdruck, sodass die elektronischen Bauteile einem Funktionstest unterzogen werden können, während der vorgebbare Luftdruck auf die elektronischen Bauteile wirkt. Die Testvorrichtung 10 weist eine erste und zweite Bauteilaufnahmeeinheit 12 auf, die jeweils mindestens ein elektronisches Bauteil aufnehmen können und mit dem vorgebbaren Luftdruck beaufschlagt werden sollen. Die Bauteilaufnahmeeinheiten 12 können geöffnet und geschlossen werden, um einen in der Bauteilaufnahmeeinheit 12 ausgebildeten Aufnahmeraum freizugeben bzw. luftdicht abzuschließen. Der Aufnahmeraum ist ferner dazu ausgelegt die elektronischen Bauteile aufzunehmen, wobei die elektronischen Bauteile in dem Aufnahmeraum dem vorgebbaren Luftdruck ausgesetzt werden können. Ein elektronisches Bauteil kann ein Halbleiterbauteil, insbesondere ein Drucksensor, sein.
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Des Weiteren weist die Testvorrichtung 10 eine Druckverteileinheit 14 auf. Die Druckverteileinheit 14 ist dazu ausgebildet, mit einer den vorgebbaren Luftdruck bereitstellenden Druckerzeugungsvorrichtung (nicht gezeigt) fluidisch verbunden zu werden und den Luftdruck an die Bauteilaufnahmeeinheiten 12, insbesondere deren Aufnahmeräume, weiterzugeben.
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Zum fluidischen Verbinden der Druckverteileinheit 14 mit der Druckerzeugungsvorrichtung weist die Druckverteileinheit 14 einen Eingangsanschluss 16 aus, der mittels einer fluidführenden Verbindungsleitung (nicht gezeigt) mit der Druckerzeugungsvorrichtung verbunden wird. Des Weiteren weist die Druckverteileinheit 14 für jede der Bauteilaufnahmeeinheiten 12 einen separaten Ausgangsanschluss 18 auf, um die Bauteilaufnahmeeinheiten 12 fluidisch mit der Druckerzeugungsvorrichtung zu verbinden. Ferner sind der Eingangsanschluss 16 und die Ausgangsschlüsse 18 innerhalb der Druckverteileinheit 14 miteinander fluidisch verbunden. Des Weiteren ist jede der Bauteilaufnahmeeinheiten 12 mittels einer separaten fluidführenden Verbindungsleitung 20 mit dem entsprechend zugeordneten Ausgangsanschluss 18 der Druckverteileinheit 14, bevorzugt lösbar, verbunden. Bevorzugt können die fluidführenden Verbindungsleitungen 20 gleich lang ausgebildet sein, um zu gewährleisten, dass sich der Luftdruck in den Aufnahmeräumen der Bauteilaufnahmeeinheiten 12 gleichmäßig aufbaut.
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Die Testvorrichtung 10 kann ferner ein Substrat 22 aufweisen, welches insbesondere flächig ausgebildet ist. Das Substrat 22 kann beispielsweise als Leiterplatte ausgebildet sein. Auf einer ersten Seite 24 des Substrats 22 können mehrere Anordnungspositionen vorgesehen sein, wobei an jeder Anordnungsposition jeweils eine Bauteilaufnahmeeinheit 12 angeordnet ist. Insbesondere können die Bauteilaufnahmeeinheiten 12 lösbar an dem Substrat 22 befestigt sein, beispielsweise durch Verschrauben. Des Weiteren kann jede Bauteilaufnahmeeinheit 12 einen Anschluss 26 vorsehen, mit dem die fluidführende Verbindungsleitung 20 bevorzugt lösbar verbunden ist, um eine fluidisch Verbindung zwischen der Bauteilaufnahmeeinheit 12 und der Druckverteileinheit 14 herzustellen. Der Anschluss 26 der Bauteilaufnahmeeinheit kann von der ersten Seite 24 des Substrats 22 durch das Substrat 22 hindurchgeführt sein, um auf der zweiten Seite 28 des Substrats 22, welche der ersten Seite 24 gegenüberliegt, zugänglich zu sein.
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Vorzugsweise weist die Druckverteileinheit 14 mindestens die gleiche oder die gleiche Anzahl von Ausgangsanschlüssen 18 auf, die der Anzahl von Bauteilaufnahmeeinheiten 12 entspricht. Insbesondere ist jede Bauteilaufnahmeeinheit 12 mit einer eigenen fluidführenden Verbindungsleitung 20 mit dem entsprechend zugeordneten Ausgangsanschluss 18 fluidisch verbunden.
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Des Weiteren können die Bauteilaufnahmeeinheit 12 elektrische Kontaktierungsmittel aufweisen, um das in dem Aufnahmeraum der Bauteilaufnahmeeinheiten 12 aufgenommene elektronische Bauteile elektrisch zu kontaktieren. Ferner können die elektrischen Kontaktierungsmittel mit einem außerhalb der Testvorrichtung 10 angeordneten Testsystem, welches einen Funktionstest der elektronischen Bauteile durchführen kann, elektrisch verbunden werden.
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2 zeigt eine detaillierte Darstellung der Druckverteileinheit 14. Die Druckverteileinheit 14 kann einen Druckverteileinheitskörper 30 aufweisen. Der Druckverteileinheitskörper 30 kann insbesondere einstückig ausgebildet sein. Des Weiteren können der Eingangsanschluss 16 und/oder die Ausgangsanschlüsse 18 insbesondere lösbar an dem Druckverteileinheitskörper 30 befestigt sein. Des Weiteren ist der Druckverteileinheitskörper 30 bevorzugt lösbar an dem Substrat 22 befestigt. Insbesondere kann die Testvorrichtung 10 Verbindungsmittel 32 aufweisen, mit denen der Druckverteileinheitskörper 30 an dem Substrat befestigt werden kann. Die Verbindungsmittel 32 können beispielsweise Schrauben 32 umfassen, die in den Druckverteileinheitskörper 30 eingeschraubt werden, um diesen an dem Substrat 22 zu befestigen.
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Wie aus 3 ersichtlich, kann der Druckverteileinheitskörper 30 einstückig ausgebildet sein, wobei in dem Druckverteileinheitskörper 30 ein Kanalnetz 34 ausgebildet ist, welches sich von dem Eingangsanschluss 16 zu den Ausganganschlüssen 18 verzweigt. Dabei stellt das Kanalnetz 34 eine fluidisch Verbindung zwischen dem Eingangsanschluss 16 und den Ausganganschlüssen 18 her.
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Das Kanalnetz 34 kann insbesondere einen Eingangskanal 36 aufweisen, der sich von dem Eingangsanschluss 16 in den Druckverteileinheitskörper 30 hinein erstreckt. Ausgehend von dem Eingangskanal 36 erstrecken sich zu jedem Ausgangsanschluss 18 jeweils ein Ausgangskanal 38, der den Eingangskanal 36 mit dem zugeordneten Ausgangsanschluss 18 fluidisch verbindet. Vorzugsweise weisen die Ausgangskanäle 38 die gleiche Länge auf, wodurch sich ein gleichmäßiger Druckaufbau in den Bauteilaufnahmeeinheiten 12 einstellt.
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Die Druckverteileinheit 14 kann vorteilhaft einfach hergestellt werden, in dem das Kanalnetz 34 durch entsprechende Bohrungen in dem Druckverteileinheitskörper 30 ausgebildet werden. Die Längsrichtung des Eingangskanals 36 kann dabei im Wesentlichen senkrecht zu den Längsrichtungen der Ausgangskanäle 18 verlaufen. Vorteilhaft für die Fertigung des Druckverteileinheitskörper 30 ist es, wenn der Druckverteileinheitskörper 30 im Wesentlichen quaderförmig ausgebildet ist. So können beispielsweise zwei Ausgangskanäle 38 gebildet werden, in dem durch eine Bohrung der Eingangskanal 36 gekreuzt wird.
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Wie aus 4 ersichtlich, kann die Testvorrichtung 10 einen Rahmen 40 aufweisen, der das Substrat 22 vorzugsweise um dessen längste Umfangsrichtung zumindest abschnittsweise umgibt. Ferner können der Rahmen 40 und zwei nicht gezeigte Gehäuseteil einen Aufnahmeraum bilden, indem die Bauteilaufnahmeeinheiten 12 bevorzugt luftdicht eingeschlossen werden können. Über eine an dem Rahmen 40 vorgesehene Durchführung 42 kann die fluidführende Verbindungsleitung von der Druckerzeugungsvorrichtung zu dem Eingangsanschluss 16 geführt werden, um den Eingangsanschluss 16 mit der Druckerzeugungsvorrichtung fluidisch zu verbinden. Ferner kann durch die Durchführung 42 auch eine elektrische Verbindungsleitung luftdicht hindurchgeführt werden, um die elektrischen Kontaktierungsmittel der Bauteilaufnahmeeinheiten elektrisch mit dem Testsystem zu verbinden.
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Des Weiteren kann vorgesehen sein, dass in den gehäuseseitigen Aufnahmeraum ein Fluid, insbesondere Luft eingeströmt bzw. eingeleitet wird, das vorzugsweise auf eine vorgegebene Temperatur temperiert ist. Vorzugsweise können somit die in dem gehäuseseitigen Aufnahmeraum befindlichen Bauteilaufnahmeeinheiten 12 gleichmäßig temperiert werden. Optional oder alternativ kann jede Bauteilaufnahmeeinheit 12 über ein Kühl und/oder Heizelement verfügen, mit denen jede Bauteilaufnahmeeinheit 12 einzeln temperiert werden kann.
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Wie aus den Figuren eins und vier ersichtlich, weist die Testvorrichtung 10 bevorzugt acht Bauteilaufnahmeeinheiten 12 auf. Entsprechend weist die Druckverteileinheit 12 ebenfalls mindestens acht Ausgangsanschlüsse 18 auf, mit denen jeweils eine Bauteilaufnahmeeinheit 12 fluidisch verbunden ist. Ferner können von jeder Bauteilaufnahmeeinheit 12 acht elektronische Bauteile aufgenommen werden, die dem vorgebbaren Luftdruck ausgesetzt werden können.
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Bezugszeichenliste
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- 10
- Testvorrichtung
- 12
- Bauteilaufnahmeeinheit
- 14
- Druckverteileinheit
- 16
- Eingangsanschluss
- 18
- Ausgangsanschlüsse
- 20
- fluidführende Verbindungsleitung
- 22
- Substrat
- 24
- erste Seite Substrat
- 26
- Anschluss Bauteilaufnahmeeinheit
- 28
- zweite Seite des Substrats
- 30
- Druckverteileinheitskörper
- 32
- Verbindungsmittel
- 34
- Kanalnetz
- 36
- Eingangskanal
- 38
- Ausgangskanal
- 40
- Rahmen
- 42
- Durchführung
