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Die Erfindung betrifft eine verstellbare Blende gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs sowie eine optische Anordnung mit einer verstellbaren Blende und ein Verfahren zum Betrieb einer solchen Blende.
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In optischen Strahlengängen, sowohl in Beleuchtungsstrahlengängen als auch in Detektionsstrahlengängen optischer Geräte werden oftmals Blenden verwendet, deren Öffnungsweite und gegebenenfalls deren Form der (Blenden-)Öffnung verstellt und an unterschiedliche Anwendungen angepasst werden können.
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Insbesondere bei der Durchführung von Mikroskopierverfahren, bei denen eine zu beobachtende Probe durch eine zu intensive Beleuchtungsstrahlung geschädigt (Phototoxizität) und/oder nachteilige Abbildungswirkungen bedingt sind, ist eine Anpassung der aktuellen Beleuchtungsstrahlung von großer Bedeutung. Dabei kann der Beleuchtungsstrahlengang mittels einer verstellbaren Blende beschnitten werden.
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Derartige Blenden erfüllen unterschiedliche Aufgaben. Zum einen wird durch die Größe einer Öffnung der Blende (Blendenöffnung) der Anteil der Beleuchtungsstrahlung bestimmt, der bis zur Probe gelangt. Außerdem kann die Beleuchtungsstrahlung so eingestellt werden, ., dass nur in einem aktuell beobachteten Bereich der Probe Beleuchtungsstrahlung auftrifft. Weiterhin kann mittels der Form der Öffnung sowohl die Form eines beleuchteten Bereichs der Probe beeinflusst werden als auch der beleuchtete Bereich an eine Form eines im Detektionsstrahlengang vorhandenen Detektors zur Erfassung von Detektionsstrahlung angepasst werden. Beispielsweise weisen übliche Kamerachips vorrangig rechteckige Abmessungen auf. Daher ist der Einsatz von Rechteckblenden insbesondere in einer Leuchtfeldblendenebene (Zwischenbild) sinnvoll.
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Verstellbare Blenden bieten zudem die Möglichkeit, durch eine aktuelle Positionierung der Öffnung eine resultierende Position eines beleuchteten Bereichs der Probe zu beeinflussen. Andererseits kann zum Beispiel aufgrund mechanischen Spiels der beteiligten Bauteile eben ein ungewollter Versatz der Öffnung relativ zur optischen Achse beispielsweise des Beleuchtungsstrahlengangs auftreten.
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Aus dem Stand der Technik sind eine Reihe verstellbarer Blenden bekannt. So offenbart die DD 57 720 eine verstellbare Rechteckblende mit zwei um 90° zueinander versetzten Blendenschieberpaaren. Häufig werden auch Lamellen verwendet, die symmetrisch um eine optische Achse angeordnet sind und die je nach Bedarf gleichzeitig in den Strahlengang hinein- oder aus diesem heraus bewegt werden (siehe zum Beispiel DT
25 57 885 A1 ;
DE 80 16 658 U1 und
DE 2053 089 A .
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Nachteilig an den Lösungen gemäß dem Stand der Technik ist, dass eine Zentrierung der Öffnung der verstellbaren Blende zur optischen Achse nur mit einer zusätzlichen Justiereinrichtung möglich ist. Außerdem sind Größe und Position der Öffnung nur innerhalb enger Grenzen frei wählbar. Dies trifft insbesondere dann zu, wenn mindestens zwei Blendenelemente miteinander mechanisch zwangsgekoppelt sind. Zudem können durch das Spiel in den Koppelstellen größere Positionierungenauigkeiten auftreten (z. B. durch Umkehrspiel).
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde eine verstellbare Blende vorzuschlagen, die insbesondere gegenüber dem Stand der Technik erweiterte Einstellmöglichkeiten der Größe und/oder der Form einer Blendenöffnung erlaubt. Außerdem soll die Zentrierung der Blendenöffnung beziehungsweise die Beibehaltung einer erfolgten Zentrierung vereinfacht werden. Es soll zudem ein Verfahren zum Betrieb einer verstellbaren Blende vorgeschlagen werden.
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Die Aufgabe wird mit einer verstellbare Blende für einen optischen, insbesondere lichtoptischen, Strahlengang gelöst. Die verstellbare Blende umfasst eine Mehrzahl von Blendenelementen, die jeweils in einer sich lateral, im Wesentlichen orthogonal, zu einer Durchgangsachse erstreckenden Blendenebene beweglich sind. Die Durchgangsachse fällt üblicherweise mit einer optischen Achse des Strahlengangs zusammen. Abschnitte der Blendenelemente, insbesondere jeweils ein Segment eines Randes (Außenkontur und/oder Innenkontur; siehe unten) des betreffenden Blendenelements, begrenzen in Abhängigkeit ihrer jeweils aktuellen Stellposition jeweils abschnittsweise eine Öffnung (Blendenöffnung) um die Durchgangsachse. Außerdem sind Antriebe zur Einstellung einer jeweiligen Stellposition der Blendenelemente vorhanden.
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Eine erfindungsgemäße verstellbare Blende ist dadurch gekennzeichnet, dass jedes Blendenelement als eine Kurvenscheibe oder als ein Sektor einer Kurvenscheibe ausgebildet ist, die um jeweils eine im Wesentlichen parallel zur Durchgangsachse gerichtete Drehachse rotierbar ist. Die Kurvenscheibe weist eine Anzahl unterschiedlich geformter Abschnitte ihres jeweiligen Randes auf, sodass zum Zwecke der Einstellung einer ausgewählten Größe, Form und/oder Position der Öffnung eine aktuelle Stellposition des betreffenden Blendenelements ausgewählt und angefahren ist, in der ein ausgewähltes Randsegment einen Abschnitt der Begrenzung der Öffnung bildet. Eine resultierende Größe, Form und/oder Position der Öffnung ist durch das Zusammenwirken aller Blendenelemente in ihrer jeweiligen aktuellen Stellpositionen bedingt. Die Blendenelemente sind so gestaltet, dass ein radialer Abstand der Randsegmente, insbesondere aufeinanderfolgender Randsegmente, eines Blendenelements zur Drehachse zumindest über einen Winkelbereich der Kurvenscheibe zunimmt.
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Der Winkelbereich beträgt mindestens 90°, vorteilhaft mindestens 180 oder mindestens 270 . Jedes Blendenelement kann also als eine geschlossene Kurvenscheibe oder in Form eines Segments oder Sektors ausgebildet sein, wobei der Winkelbereich des zunehmenden radialen Abstands der Randsegmente geringer als die gesamte Ausdehnung des Blendenelements sein kann.
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Die Zunahme des radialen Abstands der Randsegmente über den Winkelbereich kann in einer möglichen Ausführungsform der Erfindung kontinuierlich erfolgen. In diesem Fall wird unter einem Randsegment ein Abschnitt des Blendenelements verstanden, das im Wesentlichen einen einheitlichen Kurvenradius aufweist. Dieser verändert sich über die Ausdehnung des Randsegments geringfügig, beispielsweise um nicht mehr als 5% des mittleren radialen Abstands des betreffenden Randsegments. Beginn und Ende eines Randsegments dieser Ausführungsform sind daher nicht von vornherein festgelegt, sondern sind jeweils durch seine aktuelle Beteiligung an der Begrenzung der Öffnung bestimmt.
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In weiteren Ausführungsmöglichkeiten der erfindungsgemäßen verstellbaren Blende sind die Randsegmente jeweils als geradlinige Abschnitte (Linienabschnitte) ausgebildet. Dabei können entweder alle Linienabschnitte in aufeinander folgender Anordnung oder zumindest zwei benachbart liegende Linienabschnitte mit zunehmenden radialen Abständen zur Drehachse ausgebildet sein und zueinander Stufen bilden. Die Linienabschnitte können tangential zum Kurvenradius oder unter einem Winkel ungleich 90° verlaufen, wodurch der Rand des Blendenelements ein sägezahnartiges Aussehen erhält (nachfolgend zusammenfassend als gestufter oder stufenweiser Verlauf bezeichnet). Der radiale Abstand eines unter einem Winkel ungleich 90°C verlaufendem Linienabschnitts zur Drehachse wird beispielsweise in der Mitte des betreffenden Linienabschnitts bestimmt.
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Es ist möglich, dass ein Blendenelement sowohl mindestens ein Segment mit einem kontinuierlichen Verlauf als auch mindestens ein Segment mit einem gestuften beziehungsweise sägezahnartigen Verlauf aufweist.
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Um eine individuelle Ansteuerung aller Blendenelemente zu erlauben und somit eine größtmögliche Variationsbreite der einstellbaren Größen und/oder Formen der Öffnung er erlauben, ist jedes Blendenelement in weiteren Ausführungen der Erfindung unabhängig von den anderen Blendenelementen um jeweils die im Wesentlichen parallel zur Durchgangsachse gerichtete Drehachse rotierbar. Die Drehung kann dabei vorteilhaft gesteuert motorisch oder manuell erfolgen.
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Als motorische Antriebe können beispielsweise Schrittmotoren mit Endlagenschalter (z. B. Hall-Sensor, Gabelkoppler, Reflexkoppler), DC-Motoren mit Encoder/Drehgeber sowie vorgeschaltete Getriebe verwendet sein.
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Es ist jedoch in einer weiteren Ausführung der Erfindung möglich, dass mindestens zwei der Blendenelemente miteinander gekoppelt sind, sodass deren Drehungen und Stellpositionen durch die jeweils gewählten Kopplungsverhältnisse bedingt sind. Bei einer solchen Ausführung ist die Anzahl der Einstellmöglichkeiten der Öffnung gegenüber einem separaten Antrieb jedes Blendenelements eingeschränkt.
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Eine mechanische Kopplung oder eine steuertechnische Kopplung ist beispielsweise dann von Vorteil, wenn mindestens eines der Randsegmente wenigstens eines Blendenelements über die Mitte der Öffnung hinausragt und die Durchgangsachse schneidet. Mit einer solchen Ausführung kann die Öffnung der verstellbaren Blende vollständig geschlossen werden. Eine Kopplung der in einer gemeinsamen Blendenebene angeordneten Blendenelemente kann dabei vorteilhaft so erfolgen, dass eine ungewollte Kollision der Blendenelemente verhindert wird. Beispielsweise kann eine steuertechnische Kopplung verhindern, dass die Blendenelemente gleichzeitig solche Stellpositionen einnehmen können, an denen es zu Berührungen oder gar Kollisionen kommt. Eine mechanische Kopplung zur Vermeidung von Kollisionen kann beispielsweise durch Vorsprünge, Anschläge oder dergleichen realisiert sein, die unerwünschte Kombinationen von Stellpositionen vermeiden.
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Neben der gesteuerten Einstellung von Größe und/oder Form der Öffnung kann mittels der erfindungsgemäßen verstellbaren Blende auch die Position der Öffnung beeinflusst werden. Unter der Position der Öffnung wird insbesondere die laterale Lage des Mittelpunkts, insbesondere der geometrische Mittelpunkt der Öffnung, relativ zur optischen Achse eines durch die Öffnung hindurch gerichteten Strahlengangs verstanden.
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Eine Möglichkeit des Einstellens der Position der Öffnung besteht in der Auswahl von Stellpositionen der einzelnen Blendenelemente. Beispielsweise kann die Position um eine geringe Strecke verschoben werden, wenn die beiden einander gegenüberliegenden Blendenelemente asymmetrisch zueinander eingestellt werden. In diesem Fall ist die Öffnung nicht durch solche Randsegmente begrenzt, die zueinander korrespondieren, sondern durch solche mit unterschiedlichen radialen Abständen.
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Eine weitere Möglichkeit erlaubt eine gezielte Veränderung der Position um eine größere Strecke. Dabei kann mindestens eines der Blendenelemente zusätzlich zur Drehbewegung gesteuert in ihrer jeweiligen Blendenebene verschiebbar sein. Eine solche Verschiebung kann mittels eines weiteren motorischen Antriebs oder manuell bewirkt werden und erlaubt beispielsweise eine Justage der verstellbaren Blende. Die Verschiebung kann entlang einer Führung erfolgen. In weiteren Ausführungen der Erfindung kann eine Verschiebung innerhalb der Blendenebene, also zweidimensional erfolgen. Ebenso kann zusätzlich oder alternativ eine Verschiebung der Blendenelemente in Richtung der z-Achse möglich sein.
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Die als Begrenzung der Öffnung wirkenden Randsegmente können eine Außenkontur des jeweiligen Blendenelements sein. Auf diese Weise können mindestens zwei sich gegenüberliegende Blendenelemente in einer gemeinsamen Blendenebene angeordnet werden, ohne dass diese sich berühren oder überschneiden.
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In weiteren Ausführungen der erfindungsgemäßen verstellbaren Blende bilden die Randsegmente mindestens Abschnitte einer Innenkontur des Blendenelements. Die Blendenelemente sind dabei beispielsweise als Kurvenscheiben ausgebildet, die eine Ausnehmung aufweisen, durch dessen Rand ein Bereich das Randsegment gebildet ist. Die Außenkontur des Blendenelements ist für die Begrenzung der Öffnung in diesem Fall nicht relevant. Ist das Blendenelement wie oben beschrieben in der Blendeneben verschiebbar, kann in weiteren Ausführungsmöglichkeiten die Verschiebung in der Blendenebene so weit erfolgen, dass statt der Innenkontur dann alternativ ein abschnittweise die Außenkontur bildendes Randsegment die Öffnung auf einer Seite begrenzt. Sind in einer erfindungsgemäßen Blende mehrere Blendenelemente vorhanden, deren Innenkontur zur Begrenzung der Öffnung dient, so sind diese in verschiedenen Blendenebenen anzuordnen, um Kollisionen zu vermeiden.
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Aus Gründen des Verlaufs der Strahlwege einzelner Strahlen beispielsweise eines Strahlenbündels einer Beleuchtungsstrahlung können unerwünschte optische Wirkungen wie das Abblenden von Strahlen und Beugungseffekte auftreten, die im Wesentlichen durch den konstruktiv bedingten Versatz der Blendenelemente entlang der optischen Achse bedingt sind.
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Um derartige Wirkungen zu reduzieren, weisen in weiteren Ausführungen der Erfindung die Randsegmente der Blendenelemente jeweils eine Fase auf. Dabei enden die Fasen der Blendenelemente einer Blendenebene an derselben Position entlang der optischen Achse. Die Fasen sind dabei vorteilhaft so ausgeführt, dass diese in derselben Position einer sich in der jeweiligen Blendenebene erstreckenden Seitenfläche des Blendenelements in den Strahlengang ragen (siehe 4). Auf diese Weise werden optische Wirkungen reduziert, die aufgrund der Materialstärke (Dicke) des betreffenden Blendenelements in Richtung der optischen Achse auftreten können. Infolge der recht geringen Dimension der angefasten Blendenkante kann diese sehr genau in einer Zwischenbildebene angeordnet werden. Sind mehrere Blendenelemente in benachbarten Blendenebenen angeordnet, können die jeweiligen Fasen an denjenigen Seitenflächen benachbarter Blendenelemente ausgebildet sein, die unmittelbar nebeneinander liegen.
Die Winkel der Fasen sind vorteilhaft so gewählt, dass reflektierte Strahlen nicht auf die Kamera beziehungsweise den Detektor oder ins Okular gelangen und somit störendes Streulicht erzeugen.
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Bei entsprechender Abstimmung der Dimensionierung der Blendenelemente und deren Anordnung in z-Richtung können mit der erfindungsgemäßen verstellbaren Blende auch gegebenenfalls auftretende Farblängsfehler reduziert werden.
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Wie bereits vorstehend im Zusammenhang mit einer optionalen Fase angesprochen, können in einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende in Richtung der optischen Achse in mindestens zwei zur optischen Achse orthogonalen Blendenebenen Blendenelemente angeordnet sein. Vorteilhaft sind diese in voneinander verschiedene Richtungen in den Strahlengang hinein beziehungsweise aus diesem heraus bewegbar.
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Beispielsweise können die Blendenelemente der verschiedenen Blendenebenen in Richtung der optischen Achse mit ihren aneinander zugewandten Seitenflächen aneinander anliegen. Die derart durch die einander berührenden Bereiche der Seitenflächen bedingten Kontaktflächen können vorteilhaft mit einer Gleitbeschichtung (z. B. PTFE; Polytetrafluorethylen) versehen sein, die ein reibungsarmes Gleiten der Seitenflächen aufeinander ermöglichen und durch deren Wirkung Haftreibungseffekte verringert werden, wie diese zum Beispiel nachteilig zu Beginn einer Gleitbewegung auftreten können.
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In weiteren Ausführungen kann zwischen den Blendenelementen unterschiedlicher Blendenebenen ein Abstand (Luftspalt) eingehalten werden. Mit zunehmendem Abstand wird es jedoch schwieriger, möglichst sämtliche an der optischen Wirkung der verstellbaren Blende beteiligte Blendenelemente beziehungsweise die entsprechende Randsegmente in einer gemeinsamen Ebene beziehungsweise innerhalb einer geringen Strecke in Richtung der Durchgangsachse zu positionieren. Die gemeinsame Ebene ist insbesondere eine Zwischenbildebene.
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Die erfindungsgemäße verstellbare Blende kann in einer optischen Anordnung, zum Beispiel in einem Beleuchtungsstrahlengang, vorhanden und verwendet sein. Ein Beleuchtungsstrahlengang kann zum Formen und Führen einer Strahlung dienen und umfasst zu diesem Zwecke beispielsweise optische Elemente zum Abbilden der Strahlung in eine Zwischenbildebene. Weiterhin ist eine erfindungsgemäße verstellbare Blende vorhanden, die insbesondere in einer Zwischenbildebene angeordnet ist. Außerdem ist wenigstens ein optisches Element (Objektiv) zum Abbilden des Bildes der verstellbaren Blende in einen Probenraum vorhanden. Das Bild der verstellbaren Blende kann auf beziehungsweis in ein zu beleuchtendes und/oder abzubildendes Objekt, beispielsweise eine biologische Probe oder eine Materialprobe, abgebildet werden. Sind zudem motorische Antriebe zur gesteuerten Bewegung der Blendenelemente vorhanden, ist eine Steuereinheit vorhanden, die zum Generieren von Stellbefehlen an die einzelnen Antriebe ausgebildet und konfiguriert ist. Ein wie oben beschriebener Beleuchtungsstrahlengang kann in einem Mikroskop vorhanden sein.
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Die optische Anordnung kann in weiteren Ausführungen ein Detektionsstrahlengang sein, entlang dem eine erfasste Detektionsstrahlung auf einen Detektor gerichtet ist. Ein Detektor kann beispielsweise eine Kamera beziehungsweise ein Kamerachips (z. B. CCD-Chip, CMOS-Chip oder Arrays von Photomultiplieren oder Photolawinendioden wie PMT-arrays; SPAD-arrays) sein.
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Es ist möglich, dass eine erfindungsgemäße verstellbare Blende in einem Beleuchtungsstrahlengang und/oder in einem Detektionsstrahlengang insbesondere eines Mikroskops angeordnet ist.
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Die Steuereinheit kann zum Beispiel ein Rechner oder ein FPGA (field programable grid array), sein.
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In weiteren Ausführungen einer optischen Anordnung kann die erfindungsgemäße verstellbare Blende außerhalb einer Zwischenbildebene, beispielsweise in einem Abschnitt kollimierter Strahlung des Strahlengangs, angeordnet sein.
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Die erfindungsgemäße verstellbare Blende ermöglicht das Einstellen einer Vielzahl von Formen und/oder Größe der Öffnung. Dabei können zumindest einige der möglichen Formen nicht ideal für eine lichtoptische Strahlformung sein. Zum Beispiel ist es möglich, dass bei bestimmten Stellpositionen der vorhandenen Blendenelemente Öffnungen bewirkt sind, die eine Kissenform und/oder lang auslaufende Eckbereiche aufweisen. In einem Strahlengang, insbesondere in einem Beleuchtungsstrahlengang, kann daher mindestens ein optisches Mittel wie zum Beispiel ein AOTF (acousto optic tunable filter) vorhanden sein, durch dessen Wirkung Fehler und Abweichungen des Strahlenbündels korrigiert werden beziehungsweise korrigiert werden können (Korrektureinheit), die infolge solcher Formen der Öffnung auftreten. So können durch den Aufbau des Strahlengangs bedingte Verzeichnungen genutzt und/oder entsprechende Verzeichnungen bewirkt werden, um durch die verstellbare Blende bedingte Fehler zu reduzieren. Beispielsweise kann eine kissenförmige Verzeichnung der verstellbaren Blende durch eine entsprechende tonnenförmige Verzeichnung im Verlauf des Strahlengangs zumindest reduziert werden.
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Die erfindungsgemäße verstellbare Blende nach einer der beschriebenen Ausführungsmöglichkeiten kann betrieben werden, indem je Blendenelement dessen aktuelle Stellposition erfasst wird. Außerdem wird eine tatsächliche Ausbildung des Blendenelements als Kurvenscheibe wiederholt abrufbar gespeichert. Auf diese Weise ist bekannt, welches Randsegment beziehungsweise welche Randsegmente der Durchgangsachse, die üblicherweise mit der optischen Achse zusammenfällt, aktuell zugewandt sind. Außerdem wird eine gewünschte und einzustellende Form und Größe und/oder Position der um die Durchgangsachse von den Blendenelemente abschnittsweise begrenzten Öffnung ermittelt. Es wird also eine Festlegung zur einzustellenden Öffnung getroffen und diese Auswahl mit einer aktuell vorliegenden Einstellung der verstellbaren Blende verglichen.
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Die Ermittlung von Form, Größe und/oder Position der Öffnung kann iterativ erfolgen, indem ausgehend von einer aktuellen Stellsituation die Blendenelemente verstellt werden und zugleich die Wirkung der dadurch jeweils erzeugten Öffnung erfasst und ausgewertet wird. Beispielsweise können jeweils die Signale eines Detektors ausgewertet und in Beziehung zu aktuellen Stellpositionen der Blendenelemente und der daraus resultierenden Öffnung gebracht werden. Für eine solche Vorgehensweise (feedback-Regelung) kann insbesondere eine Probe mit bekannten Eigenschaften, zum Beispiel eine Referenzprobe oder ein Referenzobjekt, beleuchtet werden. Es ist auch möglich, die jeweils erforderlichen Stellpositionen der Blendenelemente und die dafür erforderlichen Steuerbefehle rechnerisch, beispielsweise mittels einer Simulation, zu ermitteln. Weitere Möglichkeiten sind mit vorab erstellten Tabellen (LUT; look-up table) gegeben.
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Das komplexe Zusammenwirken der einzelnen Blendenelemente, insbesondere wenn diese unabhängig voneinander rotierbar sind und gegebenenfalls zudem noch lateral verschiebbar sind, kann dabei vorteilhaft unter Verwendung eines Rechners bewertet werden.
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Sind die aktuellen Ist-Stellpositionen der Blendenelemente bekannt und die gewünschte Größe, Form und/oder Position der Öffnung ermittelt, werden die Blendenelemente entsprechend in die erforderlichen Soll-Stellpositionen bewegt. Wenn dies nicht manuell geschieht, werden entsprechende Steuerbefehle generiert, deren Ausführung die Blendenelemente in die ermittelten Soll-Stellpositionen bringt.
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Wird nur die Form und/oder Größe der Öffnung angepasst, bleibt ein virtueller Mittelpunkt der Öffnung in jeder aktuellen Stellposition ortsfest und wird von der Durchgangsachse durchstoßen. Die Öffnung bleibt also relativ zu der Durchgangsachse zentriert. Zusätzlich oder alternativ ist es möglich, die Blendenelemente derart anzusteuern, dass neben der Form und/oder Größe der Öffnung auch deren laterale Position verändert wird. Der virtuelle Mittelpunkt der Öffnung wird dabei lateral zur Durchgangsachse verschoben.
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Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und Abbildungen näher erläutert. Es zeigen:
- 1 eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Blendenelements mit einem kontinuierlich zunehmenden radialen Abstand;
- 2 eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Blendenelements mit einem stufenweise zunehmenden radialen Abstand;
- 3 eine schematische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Blendenelements mit einem stufenweise zunehmenden radialen Abstand und Randsegmenten mit je einer Fas 4 eine vergrößerte Darstellung eines Ausschnitts eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit gefasten Randsegmenten zweier nebeneinander angeordneter Blendenelemente;
- 5 eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit Blendenelementen mit einem kontinuierlich zunehmenden radialen Abstand in einer ersten Betriebsstellung;
- 6 eine schematische Darstellung des Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit Blendenelementen mit einem kontinuierlich zunehmenden radialen Abstand in einer zweiten Betriebsstellung;
- 7 eine schematische Darstellung des Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit Blendenelementen mit einem kontinuierlich zunehmenden radialen Abstand in einer dritten Betriebsstellung;
- 8 eine schematische vergrößerte Detaildarstellung des Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit Blendenelementen mit einem kontinuierlich zunehmenden radialen Abstand in der dritten Betriebsstellung;
- 9 eine schematische Detaildarstellung eines dritten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit Blendenelementen mit einem stufenweise zunehmenden radialen Abstand in einer Ansicht schräg von hinten;
- 10 eine schematische Darstellung des dritten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit Blendenelementen mit einem stufenweise zunehmenden radialen Abstand in einer ersten Betriebsstellung;
- 11 eine schematische Darstellung des dritten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit Blendenelementen mit einem stufenweise zunehmenden radialen Abstand in einer zweiten Betriebsstellung;
- 12 eine schematische Darstellung des dritten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit Blendenelementen mit einem stufenweise zunehmenden radialen Abstand in einer dritten Betriebsstellung;
- 13 eine schematische Darstellung eines vierten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit Blendenelementen mit einem kontinuierlich zunehmenden radialen Abstand und mit lateral verstellbaren Blendenelementen;
- 14 eine schematische Darstellung eines fünften Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit Blendenelementen mit einem stufenweise zunehmenden radialen Abstand und mit verstellbaren Blendenelementen in vier Blendenebenen;
- 15 eine schematische Darstellung eines sechsten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit Blendenelementen mit einem stufenweise zunehmenden radialen Abstand, wobei die Blendenelemente durch Sektoren einer Kurvenscheibe gebildet sind;
- 16 eine schematische Darstellung eines vierten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Blendenelements mit einem stufenweise zunehmenden radialen Abstand, wobei die Randsegmente eine Innenkontur bilden;
- 17 eine schematische Darstellung eines siebten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende, wobei die Randsegmente der Blendenelements einen stufenweise zunehmenden radialen Abstand aufweisen und eine Innenkontur bilden;
- 18 eine schematische Darstellung eines achten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende mit zwei Blendenelementen, die jeweils mindestens eine spiralförmige Ausnehmung aufweisen;
- 19 eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen optischen Anordnung mit einer verstellbaren Blende im Beleuchtungsstrahlengang; und
- 20 eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen optischen Anordnung mit einer verstellbaren Blende im Detektionsstrahlengang.
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In den nachfolgenden Ausführungsbeispielen werden gleiche technische Elemente mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet.
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In einem ersten Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Blendenelements 1 in Form einer Kurvenscheibe nimmt der Radius zwischen einer Drehachse 2 des Blendenelements 1 und dessen Rand kontinuierlich zu (1). Werden Abschnitte des umlaufenden Randes als Randsegmente 4 betrachtet, nimmt deren radialer Abstand 3 von der Drehachse 2 daher über den gesamten Umfang des Blendenelements 1 zu und springt nach einem Umlauf von 360° wieder auf den anfänglichen radialen Abstand 3 (beispielhaft mit Pfeilen in Volllinie beziehungsweise mit einer unterbrochenen Volllinie gezeigt) zurück. Durch die Randsegmente 4 ist eine Außenkontur 13 des Blendenelements 1 definiert. Das Blendenelement 1 streckt sich im Wesentlichen in einer Ebene, die hier durch die Achsen x und y eines kartesischen Koordinatensystems aufgespannt wird. Die Drehachse 2 ist aus der Zeichenebene heraus entlang der z-Achse gerichtet. Eine derartige Ausführung erlaubt eine Festlegung der jeweils an einer Begrenzung einer Blendenöffnung 9 (siehe unten 4 bis 16) beteiligten Abschnitte des Randes, also der somit jeweils festgelegten Randsegmente 4.
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In einem zweiten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Blendenelements 1 ist dessen Rand aus einzelnen, gegeneinander stufenweise versetzten Randsegmenten 4 gebildet (2). Die Randsegmente 4 weisen daher über den Umfang des Blendenelements 1 einen stufenweise zunehmenden radialen Abstand 3 von der Drehachse 2 auf. Die in einer jeweiligen Stellposition des betreffenden Blendenelements 1 der Blendenöffnung 9 zugewandten Randsegmente 4 begrenzen diese.
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Gemäß eines dritten Ausführungsbeispiels kann das Blendenelement 1 eine Anzahl Randsegmente 4 aufweisen, die mit einer Fase 6 versehen sind (3). Eine solche Ausführung kann sowohl an Blendenelementen 1 mit kontinuierlichen Rand und zunehmenden radialen Abstand 3, an Blendenelementen 1 mit stufenweise zunehmendem radialen Abstand 3 als auch an Blendenelementen 1 mit abschnittsweise kontinuierlich beziehungsweise stufenweise zunehmenden radialen Abstand 3 der Randsegmente 4 umgesetzt sein.
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Die Fase 6 dient der Reflexion von auftreffenden Strahlen einer Beleuchtungsstrahlung beziehungsweise einer Detektionsstrahlung aus dem Strahlengang heraus, um unerwünschtem Streulicht an dem Randsegment 4 und an einer verstellbaren Blende 8 (siehe 4) entgegen zu wirken.
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Eine mögliche Anordnung solcher Blendenelemente 1 in einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende 8 ist in 4 schematisch als seitlicher Schnitt gezeigt. Im Ausführungsbeispiel sind ein erstes Blendenelement 1.1 und ein zweites Blendenelement 1.2 in einer ersten Blendenebene 5.1 angeordnet. In den aktuellen Stellpositionen der Blendenelemente 1.1 und 1.2 ist jeweils ein Randsegment 4 der mit der optischen Achse des Strahlengangs zusammenfallenden Durchgangsachse 7 zugewandt und begrenzen die Blendenöffnung 9 in der ersten Blendenebene 5.1. Die Fase 6 verläuft dabei schräg abfallend auf die Durchgangsachse 7 zu. Ergänzend zur Anordnung der beiden Blendenelemente 1.2 und 1.2 sind ein drittes Blendenelement 1.3 und ein viertes Blendenelement 1.4 vorhanden (aus zeichnerischen Gründen ist lediglich ein Sektor des dritten Blendenelements 1.3 dargestellt). Die effektive aktuelle Weite der Blendenöffnung 9 ist durch die aktuellen Stellpositionen der Blendenelemente 1.1 bis 1.4 bestimmt. Die Fasen 6 der Blendenelemente 1.1 bis 1.4 laufen auf einen gemeinsamen virtuellen Schnittpunkt innerhalb der Blendenöffnung 9 zu. Diese Ausführung zusammen mit einer räumlich nahe zueinander erfolgten Montage der Blendenelemente 1.1 und 1.2 der ersten Blendenebene 5.1 sowie der Blendenelemente 1.3 und 1.4 der zweiten Blendenebene 5.2 bewirkt eine effektive Weite der Blendenöffnung 9, die insbesondere für die Nutzung in einem Zwischenbild mit geringer Schärfentiefe geeignet ist.
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In weiteren möglichen Ausführungen einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende 8 können auch lediglich drei Blendenelemente 1.1 bis 1.3 vorhanden sein, deren Drehachsen 2 beispielsweise parallel und um 120° zueinander versetzt gerichtet sind.
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In der 5 ist ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen verstellbaren Blende 8 in einer Sicht entlang der z-Achse gezeigt. In der dem Betrachter zugewandten ersten Blendenebene 5.1 sind die ersten beiden Blendenelemente 1.1 und 1.2 angeordnet, während sich in der zweiten Blendenebene 5.2 (für die Darstellung der beiden Blendenebenen siehe auch 4) das dritte und vierte Blendenelement 1.3 und 1.4 befinden. Die dargestellten Blendenelemente 1.1 bis 1.4 sind auf einer Trägerplatte 10 montiert. Alle Blendenelemente 1.1 bis 1.4 weisen einen kontinuierlich zunehmenden radialen Abstand 3 auf. In der dargestellten ersten Betriebsstellung der erfindungsgemäßen verstellbaren Blende 8 ist die Öffnung 9 durch Randsegmente 4 der Blendenelemente 1.1 bis 1.4 begrenzt und hinsichtlich ihrer Form, Größe und Position bezüglich der Durchgangsachse 7 bestimmt. Da die Randsegmente 4 über ihren jeweiligen Verlauf gerundet sind, ist die Öffnung 9 leicht kissenförmig. Die dadurch möglicherweise bedingten Abbildungsfehler oder Verzeichnungen können optional durch eine im Verlauf des Strahlengangs angeordnete Korrektureinheit 22 (siehe zum Beispiel 20) ausgeglichen werden.
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Eine zweite Betriebsstellung der verstellbaren Blende 8 ist in 6 gezeigt. Dabei sind die Übergangsbereiche, an denen jeweils die Randsegmente 4 mit dem geringsten und dem größten radialen Abstand 3 unmittelbar benachbart sind, der Öffnung 9 zugestellt und begrenzen diese.
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In einer beispielhaft gezeigten dritten Betriebsstellung der verstellbaren Blende 8 sind die Stellpositionen der Blendenelemente 1.1 bis 1.4 so gewählt, dass die Übergangsbereiche einander so nah wie möglich zugestellt sind im Ergebnis entlang der Durchgangsachse 7 eine kleinstmögliche Öffnung 9 vorliegt, wie dies in 7 und 8 (vergrößerte Detaildarstellung) gezeigt ist.
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In einem dritten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende 8 sind Blendenelemente 1.1 bis 1.4 vorhanden, die einen stufenweise zunehmenden radialen Abstand 3 aufweisen. In einer Ansicht schräg von hinten (9) ist je Blendenelement 1.1 bis 1.4 ein Antrieb 11 gezeigt, die vorteilhaft motorisch sind und mittels einer Steuereinheit 12 über geeignete Datenleitungen (beispielhaft nur eine gezeigt) ansteuerbar sind. Alternativ können manuell zu bedienende Antriebe 11 vorgesehen sein. Die Blendenelemente 1.1 bis 1.4, beziehungsweise weitere, sind in einer Ausführung durch die Lagerung der jeweiligen Antriebe 11 gelagert. Alternativ können diese ein separates Lager aufweisen. Sie stehen dann mit dem Antrieb 11 über eine Kupplung oder direkt in mechanischer und zur Übertragung von Stellkräften geeigneten Verbindung.
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Die verstellbare Blende 8 gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel ist in 10 in einer ersten, in 11 in einer zweiten und in 12 in einer dritten Betriebsstellung (analog zu den 5 bis 7) gezeigt. Wie beispielsweise in 10 zu sehen ist, bewirkt die Öffnung 9 aufgrund der abschnittsweise geraden Randsegmente 4 in vielen der möglichen Kombinationen von Stellpositionen der Blendenelemente 1.1 bis 1.4 keine zum Beispiel kissenförmigen Verzeichnungen (siehe dagegen 5 und 6).
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In allen Ausführungen der erfindungsgemäßen verstellbaren Blende 8 sind die Blendenelemente 1.1 und 1.2 beziehungsweise 1.3 und 1.4 einer jeweiligen Blendenebene 5.1 beziehungsweise 5.2 so zueinander angeordnet, dass Kollisionen innerhalb der jeweiligen Blendenebenen 5 vermieden werden. In Richtung der Durchgangsachse 7 (Richtung der z-Achse) ist dieser Abstand vorteilhaft möglichst gering eingestellt, um die Randsegmente 4 an der Öffnung 9 innerhalb der Schärfentiefe des Zwischenbildes ZB zu positionieren. Bei einer optional möglichen Initialisierungsfahrt ist auf ein intelligentes Fahrregime zu achten, um Kollisionen zu vermeiden.
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Diese Kollisionsvermeidung ist insbesondere bei einem vierten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen verstellbaren Blende 8 von Bedeutung, bei dem die Blendenelemente 1.1 bis 1.4 jeweils individuell oder zueinander koordiniert lateral verstellbar sind. Eine derartige laterale Verstellmöglichkeit ist in 13 beispielhaft durch Pfeile an den jeweiligen Drehachsen 2 veranschaulicht. Neben der Einstellung unterschiedlicher Größen der Öffnung 9 kann eine solche laterale Verstellmöglichkeit auch dazu genutzt werden, um die Position der Öffnung 9 insbesondere bezüglich der Durchgangsachse 7 zu verändern.
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In einer weitere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung können die Blendenelemente 1 in den jeweiligen Blendenebenen 5 lateral gegeneinander verschoben angeordnet sein. Im Ergebnis betragen die resultierenden Zustellrichtungen der Randsegmente 4 in einer Draufsicht auf die Blende 8 nicht etwa 90° sondern können beispielsweise bis zu 45° davon abweichen. Durch eine derartige Anordnung der Blendenelemente 1 relativ zueinander kann beispielsweise die Ausprägung einer „Kissenform“ der Öffnung 9 gleichmäßig um die optische Achse bewirkt werden, um die nachteilige Wirkung einer solchen Form der Öffnung 9 zu reduzieren. In einer alternativen Ausführung können alle oder ausgewählte vorhandene Blendenelemente 1 als Gesamtheit um die Drehachse 7 rotiert werden, um dadurch eine Form der Öffnung 9 zu erzielen, die geringe Abbildungsfehler bedingt.
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In weiteren Ausführungen der Erfindung können die Blendenelemente 1 lateral, also in einer x-y-Ebene und/oder in Richtung der z-Achse (z-Richtung) verstellt werden. Auf diese Weise können die Blendenelemente gekippt werden, um beispielsweise einen spiralförmigen Verlauf der Randsegmente in einen kreisförmigen Verlauf zu überführen.
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Die bisher gezeigten Ausführungsbeispiele einer verstellbaren Blende 8 wiesen Blendenelemente 1 in zwei Blendenebenen 5.1 und 5.2 auf. In weiteren Ausführungen können mehr Blendenelemente 1 und weiteren Blendenebenen 5 vorhanden sein, wie dies beispielhaft in 14 gezeigt ist. Neben den Blendenelementen 1.1 bis 1.4 in den beiden Blendenebenen 5.1 und 5.2 sind zwei weitere Blendenelemente 1.5 und 1.6 in einer dritten Blendenebene 5.3 und Blendenelemente 1.7 und 1.8 in einer vierten Blendenebene 5.4 angeordnet. Im dargestellten Ausführungsbeispiel nimmt der jeweilige radiale Abstand 3 (siehe 1 bis 3) stufenweise zu. In weiteren Ausführungsmöglichkeiten kann der radiale Abstand 3 kontinuierlich zunehmen. Vorteilhaft sind die Blendenelemente 1.1 bis 1.8 entlang der Durchgangsachse 7 nah zueinander montiert, um beispielsweise innerhalb der Schärfentiefe eines Zwischenbilds zu liegen.
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Es ist auch möglich, dass in einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende 8 jeder Ausführungsmöglichkeit Blendenelemente 1 mit stufenweiser Zunahme und Blendenelementen 1 mit einer kontinuierlichen Zunahme des radialen Abstands 3 kombiniert sind. Beispielsweise kann je eine Ausführungsform in den unterschiedlichen Blendenebenen 5 angeordnet sein. Weiterhin können in allen Ausführungsbeispielen Blendenelemente 1 vorhanden sein, auf denen jeweils sowohl Sektoren mit stufenweiser Zunahme als auch mit kontinuierlicher Zunahme des radialen Abstands 3 vorhanden sind. Alle diese Optionen können außerdem miteinander kombiniert sein.
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Die Blendenelemente 1, beispielsweise 1.1 bis 1.4 (15) können in einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung als Sektoren einer Kurvenscheibe ausgebildet sein. Auf diese Weise wird zwar die Anzahl möglicher Gestaltungen der Öffnung 9 reduziert, aber der erforderliche Bauraum für die verstellbare Blende 8 kann vorteilhaft reduziert werden. Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Blendenelemente 1.1 bis 1.4 jeweils als Viertel einer Kurvenscheibe ausgebildet und weisen eine kontinuierliche Zunahme des radialen Abstands 3 auf.
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In allen bisher beschriebenen Ausführungen der Erfindung ist die Außenkontur 13 des jeweiligen Blendenelements 1 zur Begrenzung der Öffnung 9 ausgebildet und vorgesehen. In weiteren möglichen Ausführungen der erfindungsgemäßen Blendenelemente 1 kann durch die Randsegmente 4 (nur einige beispielhaft bezeichnet) eine Innenkontur 14 gebildet sein, die zur Begrenzung der Öffnung 9 (siehe zum Beispiel 17) vorgesehen ist. In der 16 ist ein solches Blendenelement 1 mit einem stufenweise zunehmenden radialen Abstand 3 der Randsegmente 4 von der Drehachse 2 gezeigt. Das Blendenelement 13 weist natürlich auch eine Außenkontur 13 auf.
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Blendenelemente 1 mit Innenkonturen 14 können in einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende 8 gemäß 17 verwendet sein. In vier Blendenebenen 5.1 und 5.4 (vergleiche auch 14) sind die Blendenelemente 1.1 bis 1.4 so angeordnet, dass deren Randsegmente 4 je nach individueller Stellposition die Öffnung 9 begrenzen und entsprechend eine Form, Größe und/oder Position der Öffnung 9 bestimmen. Eine Drehung der einzelnen Blendenelemente 1.1 bis 1.4 kann mittels individueller Antriebe 11 erfolgen, die beispielsweise mittels eines Zahn- oder Reibrads an der jeweiligen Außenkontur 13 angreifen.
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In weiterführenden Varianten der verstellbaren Blende 8 können die Blendenelemente 1.1 bis 1.4 lateral so weit verstellt werden, dass die Außenkontur 13 wenigstens eines Blendenelements 1.1 bis 1.4 anstatt dessen Innenkontur 14 als Begrenzung der Öffnung 9 dient (nicht gezeigt).
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Eine weitere mögliche Ausführung einer erfindungsgemäßen verstellbaren Blende 8 weist beispielsweise zwei Blendenelemente 1.1 und 1.2 auf (18). Das erste Blendenelement 1.1 befindet sich in der ersten Blendenebene 5.1 während das zweite Blendenelement 1.2 in der zweiten Blendenebene 5.2 angeordnet ist. Die Blendenelemente 1.1 und 1.2 weisen jeweils mindestens eine Ausnehmung 23 auf. Die Ausnehmungen 23 sind im Verhältnis zur Grundfläche des jeweiligen Blendenelements 1.1, 1.2 schmal und beispielsweise als spiralförmig angeordnete Schlitze ausgebildet. Der Verlauf jeder der Ausnehmungen 23 zeigt einen sich verändernden radialen Abstand 3 (nur einmal gezeigt) zur Drehachse 2. Zusätzlich kann die lichte Weite jeder Ausnehmung 23 über den Verlauf variieren. Es sind Stege 24 vorhanden, durch die ein innerer Teil des Blendenelements 1.1, 1.2 mit einem äußeren Teil des Blendenelements 1.1, 1.2 mechanisch verbunden ist.
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In weiteren möglichen Ausführungen der Erfindung können mindestens je zwei Ausnehmungen 23 in einem Blendenelement 1.1 und/oder 1.2 ausgebildet sein. Ein Anfahren einer jeweiligen Stellposition der Blendenelemente 1.1, 1.2 muss dann gesteuert so erfolgen, dass sich die Ausnehmungen 23 nicht in einer unerwünschten Weise überschneiden.
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Die erfindungsgemäße Blende 8 in einer ihrer Ausführungen kann Bestandteil einer optischen Anordnung 15 mit einer verstellbaren Blende 8 sein (19). So kann die optische Anordnung 15 ein Beleuchtungsstrahlengang 16 sein, entlang dem eine Strahlung ausgehend von einer Lichtquelle 17 geführt wird. Die divergent von der Lichtquelle 17 kommende Strahlung wird mittels optischer Elemente 18, insbesondere mittels optischer Linsen kollimiert und durch einen optional vorhandenen Farbteiler 19 in ein weiteres optisches Element 18 gerichtet. Durch dessen Wirkung wird die Strahlung in eine Zwischenbildebene ZB gerichtet, in der die verstellbare Blende 8 angeordnet ist. Je nach aktueller Einstellung der Blendenelemente 1 der verstellbaren Blende 8 wird die Strahlung in der Zwischenbildebene ZB abgeschattet. Die so abgeblendete Strahlung wird mittels weiterer optischer Elemente 18 zu einem Objektiv 20 geführt und durch dessen Wirkung beispielsweise in einen Probenraum beziehungsweise auf eine dort befindliche Probe (beide nicht gezeigt) gerichtet.
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Die Antriebe 11 der Blendenelemente 1 sowie die Lichtquelle 17 können mittels der Steuereinheit 12 eingestellt beziehungsweise geregelt werden.
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Die erfindungsgemäße verstellbare Blende 8 kann auch in einem als Detektionsstrahlengang ausgebildeten Strahlengang 16 einer optischen Anordnung 15, beispielsweise eines Mikroskops 15 angeordnet sein (20). Dabei kann die Beleuchtung einer Probe (nicht gezeigt) wie zu 19 beschrieben erfolgen, wobei in der Zwischenbildebene ZB des Beleuchtungsstrahlengangs zwar keine Blende vorhanden sein muss, aber - wie zum Beispiel in 18 angedeutet - vorhanden sein kann.
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Die mittels des Objektivs 20 gesammelte Detektionsstrahlung wird durch Wirkung des Farbteilers 9 in den Detektionsstrahlengang reflektiert (unterbrochene Volllinie) und mittels eines optischen Elements 18 in eine Zwischenbildebene ZB gerichtet, in der die verstellbare Blende 8 angeordnet ist. Entsprechend der aktuellen Stellpositionen der Blendenelemente 1 werden randständige Strahlen der Detektionsstrahlung abgeblendet, wie dies schematisch gezeigt ist. Die verbleibenden Strahlen gelangen durch die Öffnung 9 der verstellbaren Blende 8 zu einer optional im Strahlengang vorhandenen Korrektureinheit 22, mittels der Abbildungsfehler, wie zum Beispiel Verzeichnungen, reduziert werden können. Die korrigierte Detektionsstrahlung wird auf einen Detektor 21 abgebildet und erfasst.
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Die Antriebe 11, die Lichtquelle 17, der Detektor 21 und/oder die Korrektureinheit 22 stehen mit der Steuereinheit 12 in Verbindung und können durch diese geregelt werden. Die Steuereinheit 12 kann zudem derart konfiguriert sein, dass diese die erfassten Bilddaten des Detektors 21 auswertet. Ein Ziel der Auswertung kann sein, Daten zur optischen Wirkung der aktuellen Einstellungen von Lichtquelle 17, verstellbarer Blende 8 und/oder Korrektureinheit 22 zu ermitteln und aufgrund dieser Daten bei Bedarf Steuerbefehle zu generieren, durch deren Ausführung die optischen Wirkungen in gewünschter Weise verändert werden oder auf eine geänderte Abbildungssituation (zum Beispiel eine andere Probe und/oder ein anderes Bildgebungsverfahren) reagiert werden kann.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Blendenelement
- 1.1
- erstes Blendenelement
- 1.2
- zweites Blendenelement
- 1.3
- drittes Blendenelement
- 1.4
- viertes Blendenelement
- 2
- Drehachse
- 3
- radialer Abstand
- 4
- Randsegment
- 5
- Blendenebene
- 5.1
- erste Blendenebene
- 5.2
- zweite Blendenebene
- 6
- Fase
- 7
- Durchgangsachse, optische Achse (Strahlengang)
- 8
- verstellbare Blende
- 9
- Blendenöffnung, Öffnung
- 10
- Trägerplatte
- 11
- Antrieb (für ein Blendenelement)
- 12
- Steuereinheit
- 13
- Außenkontur
- 14
- Innenkontur
- 15
- optische Anordnung, Mikroskop
- 16
- Strahlengang (Beleuchtungsstrahlengang, Detektionsstrahlengang)
- 17
- Lichtquelle
- 18
- optische Elemente, optische Linsen
- 19
- Farbteiler
- 20
- Objektiv
- 21
- Detektor
- 22
- Korrektureinheit
- ZB
- Zwischenbild
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- WO 2557885 A1 [0006]
- DE 8016658 U1 [0006]
- DE 2053089 A [0006]
