DE102021204223A1

DE102021204223A1 - Musterinspektionseinrichtung und Musterinspektionsverfahren

Info

Publication number: DE102021204223A1
Application number: DE102021204223.6A
Authority: DE
Inventors: Makoto Yabe; Takafumi Inoue
Original assignee: Nuflare Technology Inc
Current assignee: Nuflare Technology Inc
Priority date: 2020-06-26
Filing date: 2021-04-28
Publication date: 2021-12-30
Also published as: JP2022007375A; CN113848215A; US20210407061A1; JP7440354B2; US11688058B2

Abstract

Eine Muster-Inspektionseinrichtung beinhaltet einen Optikbild-Erfassungsmechanismus zum Erfassen eines optischen Bilds jeder einer Vielzahl von Regionen auf dem Inspektionssubstrat, wo ein Muster gebildet ist, eine Vielzahl von Vergleichsschaltungen zum individuellen Vergleichen des optischen Bilds mit einem dem optischen Bild entsprechenden Referenzbild, eine Abnormalitäts-Bestimmungsschaltung zum Bestimmen, basierend auf Vergleichsergebnissen, ob es eine Region gibt, die eine Inspektions-Abnormalität aufweist, in der Vielzahl von Regionen, eine Fehlfunktions-Diagnoseschaltung zum Diagnostizieren, ob eine Vergleichsschaltung, die Vergleich für die Region, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, in der Vielzahl von Regionen, durchgeführt wurde, eine Fehlfunktion aufweist, und eine Zuweisungs-Verarbeitungseinheit zum individuellen Zuweisen von Regionen der Vielzahl von Regionen, wo der Vergleich durchzuführen ist, zu Vergleichsschaltungen, die nicht als Fehlfunktionen diagnostiziert sind, und eine Vergleichsschaltung auszuschließen, die als eine Fehlfunktion diagnostiziert ist, aus dem Regions-Zuweisungsziel.

Description

QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNG
Diese Anmeldung basiert auf und beansprucht den Nutzen der Priorität aus der vorhergehenden japanischen Patentanmeldung JP 2020-110303 , eingereicht am 26. Juni 2020 in Japan, deren gesamte Inhalte hierin unter Bezugnahme inkorporiert werden.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beziehen sich auf eine Musterinspektionseinrichtung und ein Musterinspektionsverfahren. Beispielsweise beziehen sie sich auf eine Einrichtung und ein Verfahren zum Inspizieren eines der Defektes eines Musters einer Belichtungsmaske, die bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen Verwendung findet.
Beschreibung verwandten Stands der Technik
Mit jüngsten Fortschritten bei hohen Integrationen und großen Kapazitäten von LSI (Large Scale Integrated circuits, integrierte Schaltung großen Maßstabs), wird die Linienbreite (kritische Abmessung), die für Schaltungen von Halbleiterelementen erforderlich ist, zunehmend schmaler. Solche Halbleiterelemente werden durch Schaltungsbildung durch Exponieren und Übertragen eines Musters auf einen Wafer mittels einer als ein Stepper bekannten Verkleinerungs-Projektions-Belichtungsvorrichtung unter Verwendung eines Original- oder „Master“-Musters (auch eine Maske oder ein Reticle genannt, nachfolgend allgemein als Maske bezeichnet), auf welcher ein Schaltungsmuster gebildet worden ist, hergestellt.
Da eine LSI-Herstellung enorme Produktionskosten verlangt, ist es essentiell, die Ausbeute zu verbessern. Einer der Hauptfaktoren, welche die Ausbeute der LSI-Herstellung senkt, liegt an Musterdefekten auf einer Maske zum Exponieren/Übertragen eines ultrafeinen Musters auf einen Halbleiterwafer durch die Photolithographie-Technologie. In den letzten Jahren sind mit Miniaturisierung von Abmessungen von auf einem Halbleiter-Wafer gebildeten LSI-Mustern als ein Musterdefekt zu detektierende Abmessungen extrem klein geworden. Daher muss die Musterinspektionseinrichtung zum Inspizieren von Defekten einer bei der Herstellung von LSI verwendeten Übertragungsmaske extrem genau sein.
Als Inspektionsverfahren gibt es beispielsweise eine „Die-zu-Die-Inspektion“ oder eine „Die-zu-Datenbank-Inspektion“. Das „Die-zu-Die-Inspektions“-Verfahren vergleicht Daten von optischen Bildern identischer Muster an unterschiedlichen Positionen auf derselben Maske. Das Die-zu-Datenbank-Inspektionsverfahren gibt in eine Inspektionseinrichtung Schreibdaten (Entwurfsdaten), welche durch Umwandeln von Muster-entworfenen CAD-Daten erzeugt sind, in ein Schreibeinrichtungs-spezifisches Format, die an der Schreibeinrichtung einzugeben sind, ein, wenn ein Muster auf die Maske geschrieben wird, erzeugt ein Referenzbild, basierend auf den Eingangsschreibdaten und vergleicht das erste erzeugte Referenzbild mit einem optischen Bild, das Messzieldaten ist, die durch Bildgebung des Musters erhalten werden.
Die Zeit zur Inspektion kann durch Durchführen parallel der oben beschriebenen Vergleichsverarbeitung unter Verwendung einer Vielzahl von Verarbeitungsschaltungen reduziert werden.
Als ein Inspektionsergebnis, falls es sich herausstellt, dass Defekte häufig aufgetreten sind, kann die Ursache ein Fall sein, bei dem die Inspektionsmaske selbst ein Problem aufweist, oder ein Fall, bei dem die Inspektionseinrichtung eine Fehlfunktion aufweist (außer Betrieb ist). Wenn beispielsweise Defekte häufig an einem Feiertag oder nachts auftreten, muss der Hersteller der Einrichtung dringende Maßnahmen ergreifen, um eine lange Ausfallzeit der Inspektionseinrichtung zu vermeiden. Entsprechend ist in einem Fall solch häufiger Defekte ein Verfahren erforderlich, welches die Ursache durch die Inspektionseinrichtung selbst diagnostiziert und eine lange Ausfallzeit vermeidet, sogar falls die Einrichtung selbst eine Fehlfunktion aufweist.
Auch wenn nicht in Bezug auf die Diagnose einer Fehlfunktion (Ausfall) einer Inspektionseinrichtung, wird ein Verfahren des Durchführens des Schreibens auf das Substrat unter drei Bedingungen offenbart: normale Bedingungen, sichere Bedingungen und beschleunigte Bedingung, und des Deduzierens, das, falls es eine Differenz zwischen der Anzahl von Defekten in einer unter den sicheren Bedingungen geschriebenen Region und der Anzahl von Defekten in einer unter den beschleunigten Bedingungen geschriebenen Region gibt, die Defekte durch die Elektronenstrahl-Schreibeinrichtung verursacht werden (siehe beispielsweise japanische Patentanmeldung, Veröffentlichungs-Nr. JP 2011-129624 A ). Jedoch basiert dieses Verfahren auf einer Voraussetzung, dass die Inspektionseinrichtung in einem Normalzustand arbeitet und daher ist es schwierig, Maßnahmen gegen eine Fehlfunktion der Inspektionseinrichtung selbst zu ergreifen.
KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung beinhaltet eine Muster-Inspektionseinrichtung einen Optikbild-Erfassungsmechanismus, der konfiguriert ist, ein optisches Bild jeder einer Vielzahl von Regionen auf einem zu inspizierenden Substrat, auf welchem ein Muster ausgebildet wird, zu erfassen, eine Vielzahl von Vergleichsschaltungen, die konfiguriert sind, individuell eine Vergleichsverarbeitung des Vergleichens des optischen Bilds mit einem Referenzbild entsprechend dem optischen Bild durchzuführen, eine Abnormalitäts-Bestimmungsschaltung, die konfiguriert ist, basierend auf in der Vielzahl von Vergleichsschaltungen erzeugten Vergleichsergebnissen zu bestimmen, ob es eine Region gibt, die eine Inspektions-Abnormalität aufweist, in der Vielzahl von Regionen, eine Fehlfunktions-Diagnoseschaltung, die konfiguriert ist, zu diagnostizieren, ob eine Vergleichsschaltung, die eine Vergleichsverarbeitung für die Region durchführte, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, in der Vielzahl von Regionen eine Fehlfunktion aufweist, und eine Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung, die konfiguriert ist, individuell Regionen der Vielzahl von Regionen, wo eine Vergleichsverarbeitung durchzuführen ist, Vergleichsschaltungen zuzuweisen, die nicht als Fehlfunktionen diagnostiziert sind, in der Vielzahl von Vergleichsschaltungen, und eine Vergleichsschaltung, die als eine Fehlfunktion diagnostiziert ist, von einem Ziel, welchem eine Region zugewiesen ist, auszuschließen.
Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung beinhaltet ein Musterinspektionsverfahren das Erfassen eines optischen Bilds jeder einer Vielzahl von Regionen auf einem zu inspizierenden Substrat, auf welchem ein Muster ausgebildet wird; Durchführen einer Vergleichsverarbeitung des Vergleichens des optischen Bilds mit einem Referenzbild entsprechend dem optischen Bild unter Verwendung jeder einer Vielzahl von Vergleichsschaltungen, und Ausgeben jedes von Vergleichsergebnissen; Bestimmen, basierend auf den in der Vielzahl von Vergleichsschaltungen erzeugten Vergleichsergebnissen, ob es eine Region gibt, die eine Inspektions-Abnormalität aufweist, in der Vielzahl von Regionen; Diagnostizieren, ob eine Vergleichsschaltung, die eine Vergleichsverarbeitung für die Region durchführte, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, in der Vielzahl von Regionen eine Fehlfunktion aufweist; und Ausschließen einer Vergleichsschaltung, die als eine Fehlfunktion diagnostiziert ist, in der Vielzahl von Vergleichsschaltungen, aus einem Ziel, welchem eine Region zugewiesen wird, und Zuweisen von Regionen, wo Vergleichsverarbeitung noch nicht durchgeführt worden ist, in der Vielzahl von Regionen, zu Vergleichsschaltungen, die nicht als Fehlfunktionen diagnostiziert sind.
Gemäß noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung beinhaltet eine Muster-Inspektionseinrichtung einen Optikbild-Erfassungsmechanismus, der konfiguriert ist, ein optisches Bild einer Vielzahl von Regionen auf einem zu inspizierenden Substrat, auf welchem ein Muster gebildet ist, zu erfassen, eine Vielzahl von Vergleichsschaltungen, die jede konfiguriert ist, eine Vielzahl von Unter-Vergleichsschaltungen zu enthalten, die individuell eine Vergleichsverarbeitung des Vergleichens des optischen Bilds mit einem Referenzbild entsprechend dem optischen Bild durchführen, eine Abnormalitäts-Bestimmungsschaltung, die konfiguriert ist, basierend auf in der Vielzahl von Unter-Vergleichsschaltungen erzeugten Vergleichsergebnissen zu bestimmen, ob es eine Region gibt, die eine Inspektions-Abnormalität aufweist, in der Vielzahl von Regionen; eine Fehlfunktions-Diagnoseschaltung, die konfiguriert ist, zu diagnostizieren, ob eine Unter-Vergleichsschaltung, die eine Vergleichsverarbeitung für die Region durchgeführt hat, die bestimmt ist, die Inspektion-Abnormalität aufzuweisen, in der Vielzahl von Regionen eine Fehlfunktion aufweist, und eine Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung, die konfiguriert ist, individuell Regionen der Vielzahl von Regionen, wo eine Vergleichsverarbeitung durchzuführen ist, Unter-Vergleichsschaltungen, die nicht als Fehlfunktionen diagnostiziert sind, in der Vielzahl von Unter-Vergleichsschaltungen, die eine als eine Fehlfunktion diagnostizierte Unter-Vergleichsschaltung beinhalten, zuzuweisen, und die als eine Fehlfunktion diagnostizierte Unter-Vergleichsschaltung aus einem Ziel, dem eine Region zugewiesen wird, auszuschließen.
Figurenliste

1 illustriert eine Konfiguration einer Muster-Inspektionseinrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform;
2 ist ein Konzeptdiagramm, das eine Inspektionsregion gemäß der ersten Ausführungsform illustriert;
3 ist ein Flussdiagramm, das Hauptschritte eines Inspektionsverfahrens gemäß der ersten Ausführungsform zeigt;
4 illustriert eine Filterverarbeitung gemäß der ersten Ausführungsform;
5 zeigt ein Beispiel einer internen Konfiguration einer Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung gemäß der ersten Ausführungsform;
6 zeigt ein Beispiel von Regionszuweisung gemäß der ersten Ausführungsform;
7 zeigt ein Beispiel der internen Konfiguration jeder Vergleichsschaltung gemäß der ersten Ausführungsform;
8 zeigt ein Beispiel der internen Konfiguration einer Inspektionsabnormalitäts-Bestimmungsschaltung gemäß der ersten Ausführungsform;
9A und 9B illustrieren ein Verfahren zum Diagnostizieren einer Fehlfunktion gemäß der ersten Ausführungsform;
10 zeigt ein Beispiel der Zuweisungsverarbeitung nach Diagnose zur Fehlfunktion gemäß der ersten Ausführungsform;
11A und 11B illustrieren ein Verfahren zum Diagnostizieren einer Fehlfunktion gemäß einer zweiten Ausführungsform;
12 zeigt ein Beispiel der internen Konfiguration jeder Vergleichsschaltung gemäß einem modifizierten Beispiel jeder Ausführungsform;
13A und 13B illustrieren ein Verfahren zum Diagnostizieren einer Fehlfunktion gemäß einem modifizierten Beispiel jeder Ausführungsform; und
14 zeigt ein Beispiel von Zuweisungsverarbeitung nach Diagnose zur Fehlfunktion gemäß einem modifizierten Beispiel jeder Ausführungsform.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Ausführungsformen unten beschreiben eine Inspektionseinrichtung und ein Verfahren, die in der Lage sind, wenn Defekte häufig auftreten, eine lange Ausfallzeit zu vermeiden, selbst in dem Fall, bei dem die Inspektionseinrichtung außer Betrieb ist.
Erste Ausführungsform
1 illustriert eine Konfiguration einer Muster-Inspektionseinrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform. Wie in 1 gezeigt, beinhaltet eine Inspektionseinrichtung 100, die Defekte eines Musters, das auf einem Inspektionszielsubstrat gebildet ist, inspiziert, wie etwa einer Maske, einen Optikbild-Erfassungsmechanismus 150 und eine Steuersystemschaltung 160.
Der Optikbild-Erfassungsmechanismus 150 beinhaltet eine Lichtquelle 103, ein Beleuchtungs-Optiksystem 170, einen XYθ-Tisch 102, der beweglich angeordnet ist, ein Vergrößerungs-Optiksystem 104, einen TDI (Zeitverzögerungs-Integrations-) Sensor 105, eine Sensorschaltung 106, einen Streifenmusterspeicher 123, ein Laserlängen-Messsystem 122 und einen Autolader 130. Ein aus dem Autolader 130 befördertes Substrat 101 wird auf dem XYθ-Tisch 102 platziert. Das Substrat 101 ist beispielsweise eine Belichtungs-Photomaske, die zum Übertragen des Drucks eines Musters auf ein Halbleitersubstrat, wie etwa einen Wafer, verwendet wird. Eine Vielzahl von Figurmustern, die zu inspizieren sind, werden auf der Photomaske gebildet. Das Substrat 101 wird beispielsweise mit seiner musterbindenden Oberfläche abwärts weisend auf dem XYθ-Tisch 102 angeordnet.
In der Steuersystemschaltung 160 ist ein Steuer-Computer 110, der insgesamt die Inspektionseinrichtung 100 steuert, über einen Bus 120 mit einer Positionsschaltung 107, einer Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108 (108a, 108b, 108c und so weiter), einer Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112, einer Autolader-Steuerschaltung 113, einer Tisch-Steuerschaltung 114, einer Inspektionsabnormalitäts-Bestimmungsschaltung 132, einer Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134, einer Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136, einem Magnetplattenlaufwerk 109, einem Speicher 111, einem Magnetbandlaufwerk 115, einem flexiblen Disk-Laufwerk (FD) 116, einem CRT 117, einem Mustermonitor 118 und einem Drucker 119 verbunden. Die Sensorschaltung 106 ist mit dem Streifenmusterspeicher 123 verbunden, der mit der Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108 verbunden ist. Der XYθ-Tisch 102 wird durch die x, y und θ-Achsenmotoren angetrieben und dient als ein Beispiel der Bühne. Die Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112 ist mit der Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108 verbunden. Als Bus 120 wird beispielsweise ein 10 Gbit Ethernet-Kabel verwendet.
Jede „...-Schaltung‟, wie etwa die Positionsschaltung 107, die Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108 (108a, 108b, 108c, und so weiter), die Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112, die Autolader-Steuerschaltung 113, die Tisch-Steuerschaltung 114, die Inspektionsabnormalitäts-Bestimmungsschaltung 132, die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134 und die Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136 beinhalten Verarbeitungsschaltungen. Als Verarbeitungsschaltungen können beispielsweise eine elektrische Schaltung, ein Computer, ein Prozessor, eine Schaltungsplatine, eine Quanten-Schaltung, eine Halbleitervorrichtung oder dergleichen verwendet werden. Jede „...-Schaltung‟ kann gemeinsame Verarbeitungsschaltungen (dieselbe Verarbeitungsschaltung) oder unterschiedliche Verarbeitungsschaltungen (getrennte Verarbeitungsschaltungen) verwenden. Beispielsweise kann jede „...-Schaltung‟, wie etwa die Positionsschaltung 107, die Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108, die Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112, die Autolader-Steuerschaltung 113, die Tisch-Steuerschaltung 114, die Inspektionsabnormalitäts-Bestimmungsschaltung 132, die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134 und die Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136 durch den Steuer-Computer 110 konfiguriert und ausgeführt werden. Für die Positionsschaltung 107, die Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108, die Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112, die Autolader-Steuerschaltung 113, die Tisch-Steuerschaltung 114, die Inspektionsabnormalitäts-Bestimmungsschaltung 132, die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134 und die Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136 notwendigen Eingabedaten und operierte (berechnete) Ergebnisse werden in einem (nicht gezeigten) Speicher oder dem Speicher 111 jedes Mal gespeichert. Ein Programm, um einen Computer zu veranlassen, die Verarbeitung oder dergleichen auszuführen, kann auf einem Aufzeichnungsmedium gespeichert werden, wie etwa einem Festplattenlaufwerk 109, Magnetbandlaufwerk 115, FD 116, ROM (Nurlesespeicher), oder dergleichen.
In der Inspektionseinrichtung 100 ist ein Inspektions-Optiksystem großer Vergrößerung aus der Lichtquelle 103, dem XYθ-Tisch 102, dem Beleuchtungs-Optiksystem 170, dem Vergrößerungs-Optiksystem 104, dem TDI-Sensor 105 und der Sensorschaltung 106 aufgebaut. Der XYθ-Tisch 102 wird durch die Tisch-Steuerschaltung 114 unter der Steuerung des Steuer-Computers 110 angetrieben. Der XYθ-Tisch 102 kann durch ein Antriebssystem bewegt werden, wie etwa einen Drei-Achsen- (X, Y, und θ) Motor, der den Tisch in Richtungen x, y und θ antreibt. Beispielsweise kann ein Schrittmotor als jeder dieser X-, Y- und θ-Motoren verwendet werden. Der XYθ-Tisch 102 ist in horizontaler Richtung und der Rotationsrichtung durch die X-, Y- und 8-Achsenmotoren beweglich. Die Bewegungsposition des auf dem XYθ-Tisch 102 platzierten Substrats 101 wird durch das Laserlängen-Messsystem 122 gemessen und der Positionsschaltung 107 zugeführt. Die Übertragungs-(Zufuhr-)-Verarbeitung des Substrats 101 aus dem Autolader 130 zum XYθ-Tisch 102 und vom XYθ-Tisch 102 zum Autolader 130 wird durch die Autolader-Steuerschaltung 113 gesteuert.
Schreibdaten (Entwurfsdaten), die als eine Basis für das Bilden von Mustern auf dem Inspektionssubstrat 101 verwendet werden, werden von außerhalb der Substrat 101 eingegeben und in dem Festplatten-Laufwerk 109 gespeichert. Die Schreibdaten definieren eine Vielzahl von Figurenmustern und jedes Figurenmuster ist üblicherweise konfiguriert durch Kombinieren einer Vielzahl von Elementfiguren. Solch ein Figurenmuster kann durch eine Figur konfiguriert sein. Dann wird jedes Muster entsprechend zu und basierend auf jedem Figurenmuster, welches durch die Schreibdaten definiert ist, auf dem Inspektionssubstrat 101 gebildet.
1 zeigt Konfigurationselemente, die zum Beschreiben der ersten Ausführungsform notwendig sind. Es versteht sich, dass andere Konfigurationselemente, die üblicherweise für die Inspektionseinrichtung 100 notwendig sind, auch darin enthalten sein können.
2 ist ein Konzeptdiagramm, das eine Inspektionsregion gemäß der ersten Ausführungsform registriert. Wie in 2 gezeigt, ist eine Inspektionsregion 10 (die gesamte Inspektionsregion) des Substrats 101 virtuell in eine Vielzahl von streifenförmigen Inspektionsstreifen 20 unterteilt, die alle eine Breite W beispielsweise in der Y-Richtung haben, wobei die Breite W eine Abtastbreite des TDI-Sensors 105 ist. Die Inspektionseinrichtung 100 erfasst ein Bild (Streifenregionbild) für jeden Inspektionsstreifen 20. Spezifisch, in Bezug auf jeden der Inspektionsstreifen 20, nimmt die Inspektionseinrichtung 100 ein Bild eines Figurmusters auf (erfasst es), das in der betreffenden Streifenregion angeordnet ist, mit einem Laserlicht (Inspektionslicht) auf, was in der Längsrichtung (der x-Richtung), der betroffenen Streifenregion abbildet. Um ein fehlendes Bild zu verhindern, wird es bevorzugt, dass eine Vielzahl von Inspektionsstreifen 20 so eingestellt werden, dass angrenzende Inspektionsstreifen 20 miteinander um eine vorbestimmte Spannbreite überlappen.
Der TDI-Sensor 105, welcher sich kontinuierlich relativ in der x-Richtung durch die Bewegung des XY0-Tischs 120 bewegt, erfasst ein optisches Bild. Der TDI-Sensor 105 nimmt kontinuierlich optische Bilder auf, die alle die Abtastbreite W aufweisen, wie in 2 gezeigt, Mit anderen Worten, während eine Bewegung relativ in der Integrationsrichtung des TDI-Sensors 105 erfolgt, nimmt der TDI-Sensor 105 optische Bilder einer Vielzahl von Figurenmustern, die auf dem Substrat 101 gebildet sind, auf. Gemäß der ersten Ausführungsform, nach Aufnehmen (Erfassen) eines optischen Bilds in einem Inspektionsstreifen 20, bewegt sich der TDI-Sensor 105 in der Y-Richtung zur Position des nächsten Inspektionsstreifens 20 und nimmt ähnlich ein anderes optisches Bild mit der Abtastbreite W kontinuierlich auf, während er sich in der Richtung entgegengesetzt zur letzten Bildaufnahmerichtung bewegt. Dadurch wird die Bildaufnahme in Vorwärts-(FWD)- und Rückwärts-(BWD)-Richtungen wiederholt, nämlich Ändern der Richtung revers beim Vorgehen und Zurückgehen.
In einer tatsächlichen Inspektion, wie in 2 gezeigt, wird das Streifenregionsbild jedes Inspektionsstreifens 20 in Bilder einer Vielzahl von rechteckigen (einschließlich quadratischen) Rahmenregionen 30 unterteilt. Dann wird die Inspektion für jedes Bild der Rahmenregion 30 durchgeführt. Es wird beispielsweise in die Größe von 512x512 Pixeln unterteilt. Daher wird ein Referenzbild, das mit einem Drain-Rahmenbild 31 der Rahmenregion 30 zu vergleichen ist, ähnlich für jede Rahmenregion 30 erzeugt.
Die Richtung der Bildaufnahme ist nicht begrenzt auf das Wiederholen der Vorwärts-(FWD)- und Rückwärts-(BWD)-Bewegung. Bilder können in einer festen Richtung aufgenommen werden. Beispielsweise kann FWD und FWD wiederholt werden oder kann alternativ BWD und BWD wiederholt werden.
3 ist ein Flussdiagramm, das Hauptschritte eines Inspektionsverfahrens gemäß der ersten Ausführungsform zeigt. In 3 führt das Inspektionsverfahren der ersten Ausführungsform eine Reihe von Schritten aus: einen Abtastschritt (S102), einen Referenzbild-Erzeugungsschritt (S104), einen Regionszuweisungsschritt (S106), eine Vielzahl von Vergleichsschritten (S110), die parallel implementiert werden, einen Inspektions-Abnormalitäts-Bestimmungsschritt (S120), einen Fehlfunktions-Diagnoseschritt (S122) und einen Vergleichsschaltungs-Ausschlussschritt (S140).
Im Abtastschritt (S120), erfasst der Optikbild-Erfassungsmechanismus 150 optische Bilder einer Vielzahl von Regionen auf einem zu inspizierenden Substrat, auf welchem ein Muster gebildet wird. Spezifisch tastet zuerst der Optikbild-Erfassungsmechanismus 150 den Inspektionsstreifen 20 mit Laserstrahlen (Inspektionslicht) ab, um so für jeden Inspektionsstreifen 20 ein Bild der Streifenregion durch den TDI-Sensor 105 zu erfassen. Weitere detaillierte Operationen sind wie folgt: der XYθ-Tisch 102 wird zu der Position bewegt, wo ein Inspektionsstreifen 20 bilderfasst werden kann. Ein auf dem Substrat 101 gebildetes Muster wird mit einem Laserlicht (zum Beispiel DUV-Licht) bestrahlt, das als ein Inspektionslicht dient, dessen Wellenlänge gleich oder kürzer als diejenige eines Lichts in der Ultraviolettregion ist, aus der angemessenen Lichtquelle 103 durch das Beleuchtungs-Optiksystem 170. Ein Licht, welches das Substrat 101 passiert hat, wird durch das Vergrößerungs-Optiksystem 104 vergrößert, um ein Bild auf dem TDI-Sensor 105 (ein Beispiel eines Sensors) als ein daran einzugebendes optisches Bild zu bilden.
Ein auf den TDI-Sensor 105 fokussiertes/gebildetes Musterbild wird photo-elektrisch durch jede Photodiode des TDI-Sensors umgewandelt und weiter durch die Sensorschaltung 106 analogdigital (A/D)-umgewandelt. Dann werden Pixeldaten für den zu messenden Inspektionsstreifen 20 im Streifenmusterspeicher 123 gespeichert. Beim Aufnehmen (Erfassen) eines Bilds der Pixeldaten (Streifenregionsbild), wird beispielsweise ein dynamischer Bereich, wo der Fall von 60% des Beleuchtungslichtbetrags einfallend ist, der maximale Graupegel ist, als der dynamische Bereich des TDI-Sensors 105 verwendet. Messdaten (Pixeldaten) sind beispielsweise vorzeichenlose 8-Bit-Daten, und geben einen Graustufenpegel (Lichtintensität)/Helligkeit für jedes Pixel an.
In dem Referenzbild-Erzeugungsschritt (S104) erzeugt die Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112 ein Referenzbild, das als Referenz dient, unter Verwendung von Figurenmusterdaten (Entwurfsdaten). Spezifisch arbeitet sie wie folgt: Die Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112 gibt Figurenmusterdaten (Entwurfsdaten) in Bezug auf jede Rahmenregion 30 des Inspektionsstreifens 20 ein und wandelt jedes durch die eingegebenen Figurenmusterdaten definierte Figurenmuster in Bilddaten von binären und multiplen Werten um.
Basisfiguren, welche durch die Figurenmusterdaten definiert sind, sind beispielsweise Rechtecke und Dreiecke. Beispielsweise werden Figurendaten, welche die Form, Größe, Position und dergleichen jeder Musterfigur unter Verwendung von Information, wie etwa Koordinaten (x, y) der Referenzposition der Figur, Längen von Seiten der Figur und einen Figurencode, der als ein Identifizierer zum Identifizieren des Figurentyps, wie etwa Rechtecken, Dreiecken und dergleichen dient, definieren, gespeichert.
Wenn als die Figurendaten verwendete Entwurfsmusterdaten an der Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112 eingegeben werden, werden die Daten zu Daten jeder Figur entwickelt. Dann werden der Figurencode, die Figurenabmessungen und dergleichen, welche die Figurenform aller Figurendaten angeben, interpretiert. Dann entwickelt die Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112 alle Figurendaten zu Entwurfsmuster-Bilddaten von binären oder mehreren Werten als einem, in Quadraten in Einheiten von Rastern von vorbestimmten Quantisierungs-Abmessungen anzuordnendem Muster und gibt die entwickelten Daten aus. Mit anderen Worten liest die Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112 Entwurfsdaten aus, berechnet die Besetzung einer Figur im Entwurfsmuster für jede Quadratregion, die durch virtuelles Unterteilen der Rahmenregion im Quadrat in Einheiten von vorbestimmten Abmessungen erhalten werden und gibt n Bit Belegungsdaten (Entwurfs-Bilddaten) aus. Beispielsweise wird es bevorzugt, ein Quadrat als ein Pixel einzustellen. unter der Annahme, dass ein Pixel eine Auflösung von 1/2⁸ (=1/256) aufweist, wird die Belegung in jedem Pixel durch Zuweisen kleiner Regionen berechnet, welche der Region von Figuren entsprechen, die in dem betreffenden Pixel angeordnet sind, und die alle 1/256 Auflösung entsprechen. Dann werden 8-Bit Belegungsdaten erzeugt. Solche Quadratregionen (Inspektionspixel) können Pixeln von Messdaten entsprechen (zu ihnen passen).
Als Nächstes führt die Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112 angemessene Filterverarbeitung durch, unter Verwendung einer Filterfunktion, an Entwurfsbilddaten eines Entwurfsmusters, die Bilddaten einer Figur sind.
4 illustriert Filterverarbeitung gemäß der ersten Ausführungsform. Pixeldaten des aus dem Substrat 101 erfassten optischen Bilds sind in einem Zustand, der durch Filtern aufgrund von Auflösungs-Charakteristika etc. des für die Bildaufnahme verwendeten optischen Systems beeinträchtigt wird, mit anderen Worten, in einem analogen Zustand, der sich kontinuierlich ändert. Daher, wie beispielsweise in 4 gezeigt, unterscheidet sich das optische Bild von dem entwickelten Bild (Entwurfsbild), dessen Bild-Intensität (Grauskalenwert) durch Digitalwerte repräsentiert wird. Andererseits können in Figurmusterdaten, die aus Konturdaten umgewandelt sind, da Mustercodes etc. zum Definieren wie oben beschrieben verwendet werden, Bild-Intensität (Grauskalenpegel) von entwickelten Entwurfsbildern Digitalwerte sein. Entsprechend führt die Referenzbild-Erzeugungsschaltung 112 Bildverarbeitung (Filterverarbeitung) am entwickelten Bild durch, um ein Referenzbild nahe am optischen Bild zu erzeugen. Dadurch ist es möglich, Entwurfs-Bilddaten, die Bilddaten auf der Entwurfsseite sind, deren Bild-Intensität (Graustufenpegel) in Digitalwerten ist, mit Bilderzeugungs-Charakteristika von Messdaten (optisches Bild) abzugleichen.
5 zeigt ein Beispiel einer internen Konfiguration einer Zuweisungsverarbeitungs-Schaltung gemäß der ersten Ausführungsform. Wie in 5 gezeigt, sind eine Speichervorrichtung 57, wie etwa ein Magnetdisk-Laufwerk, eine Zuweisungsverarbeitungseinheit 56 und eine Fehlfunktions-Bestimmungseinheit 58 in der Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136 angeordnet. Jede der „Einheiten“ wie etwa die Zuweisungsverarbeitungseinheit 56 und die Fehlfunktions-Bestimmungseinheit 58 beinhaltet Verarbeitungsschaltungen. Als die Verarbeitungsschaltungen können beispielsweise eine elektrische Schaltung, ein Computer, ein Prozessor, eine Schaltungsplatine, eine Quantenschaltung, eine Halbleiterschaltung oder dergleichen verwendet werden. Jede der „Einheiten“ kann gemeinsame Verarbeitungsschaltungen (dieselben Verarbeitungsschaltungen) oder unterschiedliche Verarbeitungsschaltungen (getrennte Verarbeitungsschaltungen) verwenden. In der Zuweisungsverarbeitungseinheit 56 und der Fehlfunktions-Bestimmungseinheit 58 benötigte Eingabedaten und berechnete Ergebnisse werden in einem (nicht gezeigten) Speicher in der Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136 oder im Speicher 118 jedes Mal gespeichert.
Im Regions-Zuweisungsschritt (S106) weist die Zuweisungsverarbeitungseinheit 56 die Strukturkörper 20 (Region), wo eine Vergleichsverarbeitung durchzuführen ist, der Vergleichsschaltung 108 zu, die nicht als Fehlfunktion (Ausfall) diagnostiziert worden ist, in einer Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108.
6 zeigt ein Beispiel von Regionszuweisung gemäß der ersten Ausführungsform. 6 zeigt den Fall, bei dem zehn Vergleichsschaltungen 108 in der Inspektionseinrichtung 100 installiert sind. In 6 sind beispielsweise Inspektionsstreifen 20 individuell entsprechend einer Vergleichsschaltung 108 zugewiesen. Beispielsweise wird der Inspektionsstreifen 1 der Vergleichsschaltung 1 zugewiesen. Der Inspektionsstreifen 2 wird der Vergleichsschaltung 2 zugewiesen. Der Inspektionsstreifen 3 wird der Vergleichsschaltung 3 zugewiesen. Nachfolgend werden ähnlich die Inspektionsstreifen 4 bis 10 den Vergleichsschaltungen 4 bis 10 individuell zugewiesen.
Unter der Steuerung des Steuer-Computers 110 wird ein in dem Abtastschritt erfasstes Streifenregionsbild (Streifendaten) gesendet, mit Daten, welche die Position des Substrats 101 auf dem XYθ-Tisch 102 angeben, die aus der Positionsschaltung 107 ausgegeben werden, an die Vergleichsschaltung 108, welcher der Inspektionsstreifen 20 zugewiesen worden ist, dessen Streifenregionsbild erfasst worden ist. Da der Abtastschritt für jeden Inspektionsstreifen 20 durchgeführt wird, jedes Mal wenn ein Abtasten für den Inspektionsstreifen 20 ausgeführt wird, wird ein Streifenregionsbild des betreffenden Inspektionsstreifen 20 an die Vergleichsschaltung 108 gesendet, welcher der betreffende Inspektionsstreifen 20 zugewiesen worden ist. Ähnlich werden Daten eines erzeugten Referenzbilds jeder Rahmenregion 30 sequentiell an die Vergleichsschaltung 108 gesendet, welcher der Inspektionsstreifen 20, wo die betreffende Rahmenregion lokalisiert ist, zugewiesen worden ist. Beispielsweise jedes Mal, wenn ein Referenzbild für einen Inspektionsstreifen 20 erzeugt wird, werden Daten des Referenzbilds des betreffenden Inspektionsstreifen 20 an die Vergleichsschaltung 108 gesendet, welcher der betreffende Inspektionsstreifen 20 zugewiesen worden ist.
In der Vielzahl von Vergleichsschritten (S110) führt eine Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108 individuell Vergleichsverarbeitung des Vergleichens eines optischen Bilds (Bilder) und eines Referenzbilds (Bilder) entsprechend dem optischen Bild (Bilder) durch, um entsprechende ein oder mehrere Inspektionsstreifen 20 in einer Vielzahl von Strukturkörpern 20 (Regionen) zugewiesen.
7 zeigt ein Beispiel der internen Konfiguration jeder Vergleichsschaltung gemäß der ersten Ausführungsform. Wie in 7 gezeigt, gibt es in jeder Vergleichsschaltung 108 angeordnete Speichervorrichtungen 70, 71, 72 und 76, wie etwa Magnetdisk-Laufwerke, eine Rahmenbild-Erzeugungseinheit 74, eine Ausrichtungseinheit 78 und eine Vergleichsverarbeitungseinheit 79. Jede der „Einheiten“, wie etwa die Rahmenbild-Erzeugungseinheit 74, die Ausrichtungseinheit 78 und die Vergleichsverarbeitungseinheit 79, beinhaltet Verarbeitungsschaltungen. Als die Verarbeitungsschaltungen können beispielsweise eine elektrische Schaltung, ein Computer, ein Prozessor, eine Schaltungsplatine, eine Quantenschaltung, eine Halbleitervorrichtung oder dergleichen verwendet werden. Jede der „Einheiten“ können gemeinsame Verarbeitungsschaltungen (dieselben Verarbeitungsschaltungen) oder unterschiedliche Verarbeitungsschaltungen (getrennte Verarbeitungsschaltungen) verwenden. Bei der Rahmenbild-Erzeugungseinheit 74, der Ausrichtungseinheit 78 und der Vergleichsverarbeitungseinheit 79 benötigte Daten und berechnete Ergebnisse werden in einem (nicht gezeigten) Speicher in der Vergleichsschaltung 108 oder einem Speicher 111 jedes Mal gespeichert.
Streifendaten (Streifenregionsbild), die an jeder Vergleichsschaltung 108 eingegeben werden, werden in der Speichervorrichtung 70 in der betreffenden Vergleichsschaltung 108 gespeichert. An jeder Vergleichsschaltung 108 eingegebene Referenzbilddaten werden in der Speichervorrichtung 72 in der betreffenden Vergleichsschaltung 108 gespeichert.
In jeder Vergleichsschaltung 108 erzeugt zuerst die Rahmenbild-Erzeugungseinheit 74 eine Vielzahl von Rahmenbildern 31 durch Unterteilen des Streifenregionbilds (optisches Bild) durch eine vorbestimmte Breite. Spezifisch, wie in 2 gezeigt, wird das Streifenregionsbild in Rahmenbilder einer Vielzahl von rechteckigen Rahmenregionen 30 unterteilt. Beispielsweise wird es in die Größe von 512 × 512 Pixeln unterteilt. Daten jeder Rahmenregion 30 werden in der Speichervorrichtung 76 gespeichert.
Als Nächstes liest die Ausrichtungseinheit 78 für jede Rahmenregion 30 ein entsprechendes Rahmenbild 31 und ein entsprechendes Referenzbild aus den Speichervorrichtungen 72 und 76 aus und führt eine Ausrichtung (Positionsjustierung) des Rahmenbilds 31 und des entsprechenden Referenzbilds durch, basierend auf einem vorbestimmten Algorithmus. Beispielsweise wird die Ausrichtung anhand des Verfahrens kleinster Quadrate durchgeführt.
Die Vergleichsverarbeitungseinheit 79 (Vergleichseinheit) vergleicht das Rahmenbild 31 mit dem Referenzbild entsprechend dem betreffenden Rahmenbild 31. Beispielsweise wird das Vergleichen für jedes Pixel durchgeführt. Hier vergleicht die Vergleichsverarbeitungseinheit 79 für jedes Pixel sowohl die Bilder, die auf vorbestimmten Bestimmungsbedingungen basieren, um zu bestimmen, ob es einen Defekt, wie etwa einen Formdefekt, gibt oder nicht. Als die Bestimmungsbedingungen wird beispielsweise ein vorbestimmter Algorithmus verwendet, basierend auf welchem die beiden Bilder miteinander verglichen werden für jedes Pixel, um zu bestimmen, ob ein Defekt existiert oder nicht. Beispielsweise wird für jedes Pixel eine Differenz zwischen dem Pixelwert des optischen Bilds und dem Pixelwert des Referenzbilds berechnet und es wird bestimmt, dass es einen Defekt gibt, wenn der Differenzwert größer als ein Schwellenwert Th ist. Dann wird das Vergleichsergebnis an die Speichervorrichtung 71 ausgegeben. Darüber hinaus kann das Vergleichsergebnis beispielsweise an das Magnetplattenlaufwerk 109, das Magnetbandlaufwerk 115, das flexible Disk-Laufwerk (FD) 116, den CRT 117, den Mustermonitor 118 ausgegeben werden oder alternativ aus den Drucker 119 ausgegeben werden.
Obwohl im obigen Beispiel der Fall der Durchführung der Die-zu-Datenbank-Inspektion beschrieben ist, kann auch die Die-zu-Die-Inspektion verwendet werden. In diesem Fall verwendet in Bezug auf Rahmenregionen von Dies 1 und 2 für die Die-zu-Die-Inspektion die Vergleichsschaltung 108 ein Rahmenbild (optisches Bild) des Dies 2 als einer Referenz (Referenzbild). Zuerst liest für jede Rahmenregion 30, an welcher die Die-zu-Die-Inspektion durchgeführt wird, die Ausrichtungseinheit 78 das Rahmenbild 31 des Dies 1 und ein entsprechendes Rahmenbild des Dies 2 aus der Speichervorrichtung 76 aus und führt Ausrichtung zwischen den Rahmenbildern der Dies 1 und 2 durch, basierend auf einem vorbestimmten Algorithmus. Beispielsweise wird die Ausrichtung anhand des Verfahrens kleinster Quadrate durchgeführt. Dann vergleicht für jede Rahmenregion, an welcher die Die-zu-Die-Inspektion durchgeführt wird, die Vergleichsverarbeitungseinheit 79 (Vergleichseinheit) für jedes Pixel das Rahmenbild 31 des Dies 1 mit dementsprechenden Rahmenbild des Dies 2.
Jede einer Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108 startet individuell eine Vergleichsverarbeitung, wenn das Eingeben des Streifenbilds und des Referenzbilds eines zugewiesenen Inspektionsstreifens 20 abgeschlossen worden ist. Daher kann eine Vergleichsverarbeitung parallel durch zwei oder mehr Vergleichsschaltungen in einer Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108 durchgeführt werden.
Im Inspektions-Abnormalitäts-Bestimmungsschritt (S120), basierend auf in einer Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108 erzeugten Vergleichsschaltungen, bestimmt die Inspektionsabnormalitäts-Bestimmungsschaltung 132 (Inspektions-Abnormalitäts-Bestimmungseinheit), ob es in einer Vielzahl von Inspektionsstreifen 20 einen Inspektionsstreifen 20 gibt, in welchem eine Abnormalität beim Vergleich auftritt oder nicht.
8 zeigt ein Beispiel der internen Konfiguration einer Inspektions-Abnormalitäts-Bestimmungsschaltung gemäß der ersten Ausführungsform. Wie in 8 gezeigt, sind eine Anzahl-von-Defekten-im-Rahmen-Recheneinheit 50, eine Anzahl-von-Defekten-im-Streifen-Recheneinheit 52 und eine Inspektions-Abnormalitäts-Bestimmungseinheit 54 in der Inspektionsabnormalitäts-Bestimmungsschaltung 132 angeordnet. Jede der „Einheiten“, wie etwa die Anzahl-von-Defekten-im-Rahmen-Recheneinheit 50, die Anzahl-von-Defekten-im-Streifen-Recheneinheit 52 und die Inspektions-Abnormalitäts-Bestimmungseinheit 54, beinhaltet Verarbeitungsschaltungen. Als die Verarbeitungsschaltungen können beispielsweise eine elektrische Schaltung, ein Computer, ein Prozessor, eine Schaltungsplatine, eine Quantenschaltung, eine Halbleitervorrichtung oder dergleichen verwendet werden. Jede der „Einheiten“ kann gemeinsame Verarbeitungsschaltungen (dieselben Verarbeitungsschaltungen) oder unterschiedliche Verarbeitungsschaltungen (getrennte Verarbeitungsschaltungen) verwenden. In der Anzahl-von-Defekten-im-Rahmen-Recheneinheit 50, der Anzahl-von-Defekten-im-Streifen-Recheneinheit 52 und der Inspektions-Abnormalitäts-Bestimmungseinheit 54 benötigte Eingabedaten und berechnete Ergebnisse werden in einem (nicht gezeigten) Speicher in der Inspektions-Abnormalitäts-Bestimmungsschaltung 132 oder im Speicher 111 jedes Mal gespeichert.
Für jeden Inspektionsstreifen 20 berechnet die Anzahl-von-Defekten-im-Rahmen-Recheneinheit 50 für jede Rahmenregion 30 die Anzahl von Defekten in jedem Rahmen unter Bezugnahme auf ein Ergebnis der Vergleichsverarbeitung. Darüber hinaus berechnet die Anzahl-von-Defekten-im-Streifen-Recheneinheit 52 für jeden Inspektionsstreifen 20 die Anzahl von Defekten in jedem Inspektionsstreifen durch Aufsummieren der Anzahl von Defekten in jeweiligen Rahmen.
Die Inspektions-Abnormalitäts-Bestimmungseinheit 54 bestimmt für jeden Inspektionsstreifen 20, ob die Anzahl von Defekten größer als oder gleich einem Schwellenwert Tth1 ist. Darüber hinaus bestimmt für jeden Inspektionsstreifen 20 die Inspektions-Abnormalitäts-Bestimmungseinheit 54 für jede Rahmenregion 30, ob die Anzahl von Defekten größer als oder gleich einem Schwellenwert Tth2 ist. Dadurch wird der Inspektionsstreifen 20, in welchem die Anzahl von Defekten größer als oder gleich dem Schwellenwert Tth1 ist, als ein Inspektionsstreifen 20 mit einer Inspektions-Abnormalität detektiert. Ähnlich, in dem Fall, bei dem die Defekte, deren Anzahl größer als oder gleich dem Schwellenwert Tth2 ist, in einem vorgespannten Zustand in einem gewissen Bereich im Inspektionsstreifen 20 existieren, wird die einer gewissen Fläche entsprechenden Rahmenregion 30 als eine Rahmenregion 30 mit einer Inspektions-Abnormalität detektiert.
Wenn der Inspektionsstreifen 20 mit einer Inspektions-Abnormalität oder die Rahmenregion 30 mit einer Inspektions-Abnormalität detektiert wird, unterbricht (Stellt ein) der Steuercomputer 110 prompt die durch alle Vergleichsschaltungen 108 durchgeführte Vergleichsverarbeitung. Alternativ, wenn eine Vergleichsverarbeitung, die aktuell in dem Inspektionsstreifen 20 durchgeführt wird, abgeschlossen ist, wartet der Steuercomputer oder ist „in Bereitschaft“, ohne Durchführen einer Vergleichsverarbeitung des nächsten Inspektionsstreifens 20.
Im Fehlfunktions-Diagnoseschritt (S122) diagnostiziert die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134, ob die Vergleichsschaltung 108, die eine Vergleichsverarbeitung für den Inspektionsstreifen 20 durchgeführt hat, der als eine Inspektions-Abnormalität aufweisend bestimmt worden ist, eine Fehlfunktion hat oder nicht.
9A und 9B illustrieren ein Verfahren zum Diagnostizieren einer Fehlfunktion gemäß der ersten Ausführungsform. 9A zeigt den Fall, bei dem eine Abnormalität im Vergleich in dem Inspektionsstreifen 1, für welchen die Vergleichsschaltung 1 Vergleichsverarbeitung durchführte, auftrat. Gemäß der ersten Ausführungsform, die Vergleichsschaltung 108 (hier als ein Beispiel die Vergleichsschaltung 1) definierend, die Vergleichsverarbeitung für den Inspektionsstreifen 20 (hier als ein Beispiel den Inspektionsstreifen 1) durchführte, bestimmt worden ist, eine Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, als einen Kandidaten für die Fehlfunktion, bringt die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134 zwei oder mehr Vergleichsschaltungen 108, welche den Kandidaten zur Fehlfunktion enthalten, dazu, Vergleichsverarbeitung parallel für den Inspektionsstreifen 20 durchzuführen, der bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen. In 9B werden beispielsweise alle Vergleichsschaltungen 1 bis 10 eine Vergleichsverarbeitung für denselben Inspektionsstreifen 1 durchführen gelassen. Jedoch ist es nicht darauf beschränkt. Wie oben erwähnt, wird es akzeptiert, falls zwei oder mehr Vergleichsschaltungen 108, die eine Vergleichsschaltung enthalten, die der Kandidat für Fehlfunktion ist, gelassen werden, eine Vergleichsverarbeitung für denselben Inspektionsstreifen 1 durchzuführen. Als Daten eines Streifenbilds können diejenigen, die bereits erfasst worden sind, verwendet werden. Ähnlich können als Daten eines Referenzbilds diejenigen, die bereits erzeugt worden sind, verwendet werden. Jedoch ist dies nicht darauf beschränkt. Obwohl es Zeit erfordert, kann das Abtasten wieder durchgeführt werden, um Daten zu erfassen, und kann alternativ ein Referenzbild wieder erzeugt werden.
Dann wird basierend auf parallel in zwei oder mehr Vergleichsschaltungen erzeugten Vergleichsergebnissen diagnostiziert, ob die Vergleichsschaltung (hier als ein Beispiel die Vergleichsschaltung 1), die der Kandidat für Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion aufweist oder nicht. Spezifisch, falls eine Inspektions-Abnormalität in durch die Vergleichsschaltung durchgeführter Vergleichsverarbeitung detektiert wird (hier als ein Beispiel die Vergleichsschaltung 1), welche der Kandidat zur Fehlfunktion ist, und keine Inspektions-Abnormalität in der durch eine andere Vergleichsschaltung 108 durchgeführten Vergleichsverarbeitung detektiert wird, diagnostiziert die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134, dass die Vergleichsschaltung (hier als ein Beispiel die Vergleichsschaltung 1), welche der Kandidat zur Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion aufweist. Darüber hinaus, selbst wenn eine Inspektions-Abnormalität nicht in der Vergleichsverarbeitung bestimmt wird, welche durch die Vergleichsschaltung (hier als ein Beispiel die Vergleichsschaltung 1) durchgeführt wird, die der Kandidat zur Fehlfunktion ist, falls ihre Anzahl von Defekten in der Vergleichsverarbeitung größer als diejenige einer anderen Vergleichsschaltung 108 ist, ist es akzeptabel, zu diagnostizieren, dass die Vergleichsschaltung (hier als ein Beispiel die Vergleichsschaltung 1), welche der Kandidat zur Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion aufweist. Falls eine Inspektions-Abnormalität in der Vergleichsverarbeitung auch in einer anderen Vergleichsschaltung 108 detektiert wird, bestimmt die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134, dass es keine Vorrichtungs-Fehlfunktion (Ausfall) gibt, sondern dass das Substrat 101 selbst einen Defekt aufweist. Information zur Vergleichsschaltung 108, die als eine Fehlfunktion bestimmt wird, wird aus der Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136 ausgegeben und die Information (zum Beispiel Identifikationsinformation), die an der Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136 eingegeben wird, wird in der Speichervorrichtung 57 gespeichert. Dann steuert der Steuer-Computer 110, die Vergleichsverarbeitung wieder aufzunehmen.
In dem Vergleichsschaltungs-Ausschlussschritt (S140) schließt die Zuweisungsverarbeitungseinheit 56 die Vergleichsschaltung 108 (beispielsweise die Vergleichsschaltung 1), die als eine Fehlfunktion diagnostiziert ist, aus dem Zuweisungsziel aus, welchem ein Inspektionsstreifen zugewiesen wird. Dann weist die Zuweisungsverarbeitungseinheit 56 individuell die Inspektionsstreifen 20, wo die Vergleichsverarbeitung durchzuführen ist, den Vergleichsschaltungen 108 (beispielsweise den Vergleichsschaltungen 2 bis 10) zu, die nicht als Fehlfunktionen diagnostiziert sind, in einer Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108.
10 zeigt ein Beispiel einer Zuweisungsverarbeitung nach Diagnose zur Fehlfunktion gemäß der ersten Ausführungsform. 10 zeigt den Fall, bei dem die Vergleichsschaltung 1 beispielsweise als eine Fehlfunktion diagnostiziert wird. Falls eine Vergleichsverarbeitung prompt unterbrochen wird, wenn eine Abnormalität in der Vergleichsverarbeitung bestimmt wird, ist die Vergleichsverarbeitung in Bezug auf nicht nur den Inspektionsstreifen 1 sondern auch die Inspektionsstreifen 2 bis 10 noch nicht abgeschlossen worden. Daher weist unter Bezugnahme auf Identifikationsinformation zu der Fehlfunktions-Vergleichsschaltung, die in der Speichervorrichtung 57 gespeichert ist, die Zuweisungsverarbeitungseinheit 56 die Inspektionsstreifen 1 bis 9 neu den Vergleichsschaltungen 2 bis 10 zu.
Falls, wenn eine Inspektions-Abnormalität bei der Vergleichsverarbeitung bestimmt wird, der Steuer-Computer wartet, ohne eine Vergleichsverarbeitung des nächsten Inspektionsstreifens 20 nach Abschluss der Vergleichsverarbeitung für die Inspektionsstreifen, die aktuell durchgeführt wird, ist die Vergleichsverarbeitung für die Inspektionsstreifen 2 bis 10 beendet worden. In diesem Fall, da es nicht notwendig ist, die Vergleichsverarbeitung überlappend durchzuführen, weist die Zuweisungsverarbeitungseinheit 56 den Inspektionsstreifen 1 der Vergleichsschaltung 2 neu zu und weist die Inspektionsstreifen 11 bis 18, die vor Vergleichsverarbeitung sind, den Vergleichsschaltungen 3 bis 10 zu.
Die Vergleichsschaltungen 2 bis 10 führen individuell eine Vergleichsverarbeitung für jeden nachfolgenden, zugewiesenen Inspektionsstreifen 20 durch.
Wie oben beschrieben, indem eine Fehlfunktions-Vergleichsschaltung 108 detektiert wird und sie von dem Zuweisungsziel, welchem ein Inspektionsstreifen zugewiesen wird, ausgeschlossen wird, kann die Vergleichsverarbeitung fortgesetzt werden unter Verwendung der verbleibenden Vergleichsschaltungen 108.
Wie oben beschrieben, gemäß der ersten Ausführungsform, wenn Defekte häufig auftreten, selbst falls die Inspektionseinrichtung 100 eine Fehlfunktion aufweist, ist es möglich, eine lange Ausfallzeit zu vermeiden. Daher kann beispielsweise das Ergreifen dringender Gegenmaßnahmen an einem Feiertag oder nachts reduziert werden.
Zweite Ausführungsform
Obwohl in der ersten Ausführungsform zwei oder mehr Vergleichsschaltungen einschließlich einer Vergleichsschaltung, die ein Kandidat zur Fehlfunktion ist, eine Vergleichsverarbeitung für den Inspektionsstreifen 20 durchführen, der bestimmt ist, eine Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, sind Ausführungsformen nicht darauf beschränkt. Eine zweite Ausführungsform beschreibt eine Konfiguration, bei der Regionen zur Vergleichsverarbeitung verschoben werden, um die Vergleichsverarbeitung neu zu machen. Die Konfiguration der Inspektionseinrichtung 100 ist die gleiche wie diejenige von 1. Das Flussdiagramm eines Inspektionsverfahrens ist das gleiche wie das von 3. In der zweiten Ausführungsform sind die Inhalte jedes Schritts, außer dem Fehlfunktions-Diagnoseschritt (S122) die gleichen wie jene der ersten Ausführungsform.
11A und 11B illustrieren ein Verfahren zum Diagnostizieren von Fehlfunktion gemäß der zweiten Ausführungsform. Ähnlich zu 9A zeigt 11A den Fall, bei dem eine Abnormalität im Inspektionsstreifen 1 auftrat, für welchen die Vergleichsschaltung 1 eine Vergleichsverarbeitung durchführte.
Gemäß der zweiten Ausführungsform, im Fehlfunktions-Diagnoseschritt (S122), die Vergleichsschaltung 108 definierend (hier als ein Beispiel die Vergleichsschaltung 1), welche Vergleichsverarbeitung für den Inspektionsstreifen 20 (hier als ein Beispiel der Inspektionsstreifen 1) durchführte, eine Inspektions-Abnormalität zu haben, als ein Kandidat zur Fehlfunktion, verschiebt die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134 das Zuweisungsziel und weist jeden der Vielzahl von Inspektionsstreifen 20 einschließlich des Inspektionsstreifens 20 (hier als ein Beispiel der Inspektionsstreifen 1), der bestimmt ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, neu zu, um nicht den Inspektionsstreifen 20, der bestimmt ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, der Vergleichsschaltung 108 neu zuzuweisen, die der Kandidat für die Fehlfunktion ist. Dann führen eine Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108 parallel Vergleichsverarbeitung für die Inspektionsstreifen 20, die verschoben und zugewiesen worden sind, durch. In 11B führen beispielsweise die Vergleichsschaltungen 1 bis 9 Vergleichsverarbeitung für die Inspektionsstreifen 2 bis 10 durch und führt die Vergleichsschaltung 10 eine Vergleichsverarbeitung für den Inspektionsstreifen 1 durch, der bestimmt ist, eine Inspektions-Abnormalität aufzuweisen. Als Daten eines Streifenbildes jedes Inspektionsstreifens 20 kann das, das bereits erfasst worden ist, verwendet werden.
Ähnlich können als Daten eines Referenzbilds das, das bereits erzeugt worden ist, verwendet werden.
Basierend auf in einer Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108 erzeugten Vergleichsergebnissen, welchen die Inspektionsstreifen 20 zugewiesen worden sind, wird diagnostiziert, ob die Vergleichsschaltung (hier als ein Beispiel die Vergleichsschaltung 1), welche der Kandidat für die Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion hat, oder nicht. Falls beispielsweise eine Inspektions-Abnormalität bei der Vergleichsverarbeitung, die in dem Inspektionsstreifen 1, der bestimmt worden ist, eine Inspektions-Abnormalität zu haben, für welche die Vergleichsschaltung 10 die Vergleichsverarbeitung durchführt, wieder durchgeführt wird, und eine Inspektions-Abnormalität bei der in dem Inspektionsstreifen 2, für welchen die Vergleichsschaltung 1, welche der Kandidat für die Fehlfunktion ist, die die Vergleichsverarbeitung durchführte, detektiert wird, wird diagnostiziert, dass die Vergleichsschaltung (hier als ein Beispiel die Vergleichsschaltung 1), welche der Kandidat für die Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion aufweist. Falls eine Inspektions-Abnormalität in der, im Inspektionsstreifen 2, für welchen die Vergleichsschaltung 1 der Kandidat für die Fehlfunktion ist, die durch die Vergleichsverarbeitung durchgeführt wird, durchgeführte Vergleichsverarbeitung nicht detektiert wird und eine Inspektions-Abnormalität in der Vergleichsverarbeitung für den Inspektionsstreifen 1 detektiert wird, für welchen die Vergleichsschaltung 10 die Vergleichsverarbeitung durchführte, wird bestimmt, dass es keine Vorrichtungs-Fehlfunktion (Ausfall) gibt, sondern dass das Substrat 101 selbst einen Defekt aufweist. Information über die Vergleichsschaltung 108, die als eine Fehlfunktion bestimmt ist, wird an die Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136 ausgegeben.
Wie oben beschrieben, durch Detektieren der Fehlfunktions-Vergleichsschaltung 108 und ihren Ausschluss aus dem Zuweisungsziel, welchem ein Inspektionsstreifen zugewiesen wird, ähnlich zur ersten Ausführungsform, kann die Vergleichsverarbeitung unter Verwendung der verbleibenden Vergleichsschaltungen 108 fortgesetzt werden.
Dritte Ausführungsform
Obwohl in den ersten und zweiten Ausführungsformen die Diagnose zur Fehlfunktionsexistenz nach Überprüfen ausgeführt wird, ob die Vergleichsschaltung, die ein Kandidat für die Fehlfunktion ist, wirklich eine Fehlfunktion aufweist oder nicht, sind Ausführungsformen nicht darauf beschränkt. Die dritte Ausführungsform beschreibt eine Konfiguration, wo die Untersuchung, falls wirklich eine Fehlfunktion gegeben ist, weggelassen wird. Die Konfiguration der Inspektionseinrichtung 100 ist die gleiche wie diejenige von 1. Das Flussdiagramm eines Inspektionsverfahrens ist das gleiche wie das von 3. In der dritten Ausführungsform sind die Inhalte jedes Schritts, außer dem Fehlfunktions-Diagnoseschritt (S122), die gleichen wie jene der ersten Ausführungsform.
Gemäß der dritten Ausführungsform diagnostiziert in dem Fehlfunktions-Diagnoseschritt (S122) die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134 prompt, dass die Vergleichsschaltung, welche die Vergleichsverarbeitung für den Inspektionsstreifen 20 durchführte, der im Vergleich als abnormal bestimmt wurde, eine Fehlfunktion aufweist. Information über die Vergleichsschaltung 108, die als Fehlfunktion bestimmt ist, wird an die Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136 ausgegeben.
Wie oben beschrieben, durch Diagnostizieren der Vergleichsschaltung 108, die eine angenommen Fehlfunktion (Ausfall) aufweist, eine Fehlfunktions-Vergleichsschaltung zu sein, und ihren Ausschluss aus dem Zuweisungsziel, welchem der Inspektionsstreifen 20 zugewiesen wird, ähnlich zu den ersten und zweiten Ausführungsformen, kann die Vergleichsverarbeitung unter Verwendung der verbleibenden Vergleichsschaltungen 108 fortgesetzt werden. Somit kann in der dritten Ausführungsform, da nicht geprüft wird, ob eine Vergleichsschaltung wirklich eine Fehlfunktion aufweist oder nicht, die Zeitperiode zur Wiederaufnahme der Vergleichsverarbeitung reduziert werden.
Obwohl in jeder oben beschriebenen Ausführungsform für jede Vergleichsschaltung 108 diagnostiziert wird, ob es eine Fehlfunktion gibt oder nicht, sind Ausführungsformen nicht darauf beschränkt.
12 zeigt ein Beispiel der internen Konfiguration jeder Vergleichsschaltung gemäß einem modifizierten Beispiel jeder Ausführungsform. Wie in 12 gezeigt, sind in jeder einer Vielzahl von Vergleichsschaltungen 108 Speichervorrichtungen 70, 72 und 76 angeordnet, wie etwa Magnet-Disk-Laufwerke, die Rahmenbild-Erzeugungseinheit 74 und eine Vielzahl von Unter-Vergleichsschaltungen 1 bis 10. In jeder der Unter-Vergleichsschaltungen 1 bis 10 sind die Speichervorrichtung 71, die Ausrichtungseinheit 78 und die Vergleichsverarbeitungseinheit 79, die in 7 gezeigt sind, angeordnet.
Eine Vergleichsverarbeitung für jede Rahmenregion 30 in dem, der Vergleichsschaltung 108 zugewiesenen Inspektionsstreifen 20 wird parallel dezentral individuell durch jede der Unter-Vergleichsschaltungen 1 bis 10 durchgeführt. Dadurch kann die Vergleichsverarbeitungszeit reduziert werden.
13A und 13B illustrieren ein Verfahren zum Diagnostizieren einer Fehlfunktion gemäß einem modifizierten Beispiel jeder Ausführungsform. 13A zeigt den Fall, bei dem eine Vergleichsverarbeitung für den k-ten Inspektionsstreifen 20 durch die Vergleichsschaltung k durchgeführt wird. Rahmenregionen 1 bis 10 in dem k-ten Inspektionsstreifen 20 werden individuell einem Entsprechenden einer Vielzahl von Unter-Vergleichsschaltungen 1 bis 10 in der Vergleichsschaltung k zugewiesen. Dann führt jede der Unter-Vergleichsschaltungen 1 bis 10 Vergleichsverarbeitung für die zugewiesene Rahmenregion 30 durch.
Im Falle von 13A tritt eine Abnormalität in der Vergleichsverarbeitung für die Rahmenregion 1 auf, welche durch die Unter-Vergleichsschaltung 1 durchgeführt wird. Die Abnormalität in der Vergleichsverarbeitung kann durch die Inspektions-Abnormalitäts-Bestimmungseinheit 54 bestimmt werden, basierend auf der Anzahl von Defekten, welche durch die Anzahl-von-Defekten-im-Rahmen-Recheneinheit 50 berechnet wird.
Das Verfahren zum Diagnostizieren einer Fehlfunktion kann ausgeführt werden durch Ersetzen einer in einer der ersten bis dritten Ausführungsformen beschriebenen Vergleichsschaltung durch eine Unter-Vergleichsschaltung. Beispielsweise wird der Fall unten beschrieben, der mit der Verwendung der ersten Ausführungsform assoziiert ist. Die Unter-Vergleichsschaltung 1 definierend, welche die Vergleichsverarbeitung für die Rahmenregion 30 durchführte (hier als ein Beispiel der Rahmen 1), bestimmt, eine Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, als ein Kandidat für eine Fehlfunktion, bringt die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134 zwei oder mehr Unter-Vergleichsschaltungen 1 bis 10 einschließlich dem Kandidaten für die Fehlfunktion, dazu, Vergleichsverarbeitung parallel für die Rahmenregion 30 durchzuführen, die bestimmt ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen. Im Falle von 13B werden beispielsweise alle der Unter-Vergleichsschaltungen 1 bis 10 gelassen, Vergleichsverarbeitung für denselben Rahmen 1 durchzuführen.
Dann wird basierend auf Vergleichsergebnissen, die parallel in zwei oder mehr Unter-Vergleichsschaltungen erzeugt werden, diagnostiziert, ob die Unter-Vergleichsschaltung (hier als ein Beispiel die Unter-Vergleichsschaltung 1), welche der Kandidat für die Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion aufweist oder nicht. Spezifisch, falls eine Inspektions-Abnormalität bei der Vergleichsverarbeitung detektiert wird, welche durch die Unter-Vergleichsschaltung (hier als ein Beispiel die Unter-Vergleichsschaltung 1) durchgeführt wird, welche der Kandidat für die Fehlfunktion ist, und keine Inspektions-Abnormalität in der durch eine andere Unter-Vergleichsschaltung durchgeführten Vergleichsverarbeitung detektiert wird, diagnostiziert die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134, dass die Unter-Vergleichsschaltung (hier als ein Beispiel, die Unter-Vergleichsschaltung 1), welche der Kandidat für die Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion aufweist. Darüber hinaus, selbst wenn eine Inspektions-Abnormalität nicht in der durch die Unter-Vergleichsschaltung (hier als ein Beispiel die Unter-Vergleichsschaltung 1), die der Kandidat für die Fehlfunktion ist, durchgeführten Vergleichsverarbeitung nicht bestimmt wird, falls ihre Anzahl von Defekten in der Vergleichsverarbeitung größer als diejenige einer anderen Unter-Vergleichsschaltung ist, ist es akzeptabel, zu diagnostizieren, dass die Unter-Vergleichsschaltung (hier als ein Beispiel die Unter-Vergleichsschaltung 1), die der Kandidat für die Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion aufweist. Falls eine Inspektions-Abnormalität auch in der durch eine andere Unter-Vergleichsschaltung durchgeführten Vergleichsverarbeitung detektiert wird, bestimmt die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung 134, dass es keine Vorrichtungs-Fehlfunktion (Ausfall) gibt, sondern dass das Substrat 101 selbst einen Defekt aufweist. Information über die als eine Fehlfunktion bestimmte Unter-Vergleichsschaltung wird an die Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136 ausgegeben und die an die Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung 136 eingegebene Information (zum Beispiel Identifikationsinformation) wird in der Speichervorrichtung 57 gespeichert. Dann steuert der Steuer-Computer 110 die Wiederaufnahme der Vergleichsverarbeitung.
Im Vergleichsschaltungs-Ausschlussschritt (S140) schließt die Zuweisungsverarbeitungseinheit 56 die Vergleichsschaltung 108 (beispielsweise die Unter-Vergleichsschaltung 1), die als eine Fehlfunktion diagnostiziert ist, aus dem Zuweisungsziel, welchem die Rahmenregion 30 zugewiesen wird, aus. Dann weist die Zuweisungsverarbeitungseinheit 56 individuell die Rahmenregionen 30, wo Vergleichsverarbeitung durchzuführen ist, den Unter-Vergleichsschaltungen (beispielsweise den Unter-Vergleichsschaltungen 2 bis 10), die nicht als Fehlfunktionen diagnostiziert sind, in einer Vielzahl von Unter-Vergleichsschaltungen 1 bis 10, zu.
14 zeigt ein Beispiel einer Zuweisungsverarbeitung nach Diagnose für eine Fehlfunktion gemäß einem modifizierten Beispiel jeder Ausführungsform. 14 zeigt den Fall, bei dem beispielsweise die Unter-Vergleichsschaltung 1 als eine Fehlfunktion diagnostiziert wird. Falls eine Vergleichsverarbeitung prompt unterbrochen wird, wenn eine Abnormalität in der Vergleichsverarbeitung bestimmt wird, hat die Vergleichsverarbeitung nicht in Bezug auf nur den Rahmen 1 abgeschlossen, sondern auch die Rahmenregionen 2 bis 10. Daher, Bezug nehmend auf Identifikationsinformation über die Fehlfunktions-Vergleichsschaltung, die in der Speichervorrichtung 57 gespeichert ist, weist die Zuweisungsverarbeitungseinheit 56 die Rahmen 1 bis 9 den Unter-Vergleichsschaltungen 2 bis 10 neu zu.
Die Unter-Vergleichsschaltungen 2 bis 10 führen individuell die Vergleichsverarbeitung für jede nachfolgende Rahmenregion 30 durch.
Wie oben beschrieben, indem eine Fehlfunktions-Unter-Vergleichsschaltung detektiert wird und sie von dem Zuweisungsziel ausgeschlossen wird, welchem die Rahmenregion 30 zugewiesen wird, kann die Vergleichsverarbeitung unter Verwendung der verbleibenden Unter-Vergleichsschaltungen fortgesetzt werden.
Ausführungsformen sind Bezug nehmend auf oben beschriebene spezifische Beispiele erläutert worden. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese spezifischen Beispiele beschränkt. Beispielsweise, obwohl in Ausführungsformen ein Transmissions-Beleuchtungs-Optiksystem, welches ein gesendetes Licht verwendet, als das Beleuchtungs-Optiksystem 170 beschrieben ist, ist es nicht darauf beschränkt. Beispielsweise kann auch ein Reflektionsbeleuchtungs-Optiksystem mit einem reflektierten Licht verwendet werden. Alternativ können ein transmittiertes Licht und ein reflektiertes Licht simultan verwendet werden, mittels des Kombinierens eines Transmissions-Beleuchtungs-Optiksystems und eines Reflektionsbeleuchtungs-Optiksystems.
Während die Einrichtungs-Konfiguration, das Steuerverfahren und dergleichen, die nicht direkt notwendig sind für das Erläutern der vorliegenden Erfindung, nicht beschrieben sind, können einige oder alle von ihnen angemessen ausgewählt und auf einer Fall-zu-Fall-Basis nach Bedarf verwendet werden.
Zusätzlich sind jegliche andere Muster-Entwicklungseinrichtung und Muster-Inspektionsverfahren, die Elemente der vorliegenden Erfindung enthalten, und die angemessen durch Fachleute modifiziert werden können, innerhalb des Schutzumfangs der vorliegenden Erfindung beinhaltet.
Zusätzliche Vorteile und Modifikationen werden Fachleuten leicht erscheinen. Daher ist die Erfindung in ihren breiteren Aspekten nicht auf die spezifischen Details und repräsentativen Ausführungsformen, die hierin gezeigt und beschrieben sind, beschränkt. Entsprechend können verschiedene Modifikationen vorgenommen werden, ohne vom Geist oder Schutzumfang des allgemeinen erfinderischen Konzepts, wie in den anhängigen Ansprüchen und ihren Äquivalenten definiert, abzuweichen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2020110303 [0001]
JP 2011129624 A [0008]

Claims

Inspektionseinrichtung (100), umfassend: einen Optikbild-Erfassungsmechanismus (150), welcher konfiguriert ist, ein optisches Bild jeder einer Vielzahl von Regionen auf einem zu inspizierenden Substrat, auf welchem ein Muster ausgebildet wird, zu erfassen; eine Vielzahl von Vergleichsschaltungen (108), die konfiguriert sind, individuell Vergleichsverarbeitung des Vergleichens des optischen Bilds mit einem Referenzbild entsprechend dem optischen Bild durchzuführen; eine Inspektionsabnormalitäts-Bestimmungsschaltung (132), die konfiguriert ist, basierend auf in der Vielzahl von Vergleichsschaltungen erzeugten Vergleichsergebnissen, zu bestimmen, ob es eine Region gibt, die eine Inspektions-Abnormalität aufweist, in der Vielzahl von Regionen; eine Fehlfunktions-Diagnoseschaltung (134), die konfiguriert ist, zu diagnostizieren, ob eine Vergleichsschaltung, die eine Vergleichsverarbeitung für die Region durchführte, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, in der Vielzahl von Regionen, eine Fehlfunktion hat; und eine Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung (136), die konfiguriert ist, individuell Regionen der Vielzahl von Regionen, wo eine Vergleichsverarbeitung durchzuführen ist, Vergleichsschaltungen zuzuweisen, die nicht als Fehlfunktionen diagnostiziert sind, in der Vielzahl von Vergleichsschaltungen, und eine Vergleichsschaltung auszuschließen, die als eine Fehlfunktion diagnostiziert ist, aus einem Ziel, welchem eine Region zugewiesen ist.
Einrichtung gemäß Anspruch 1, wobei beim Definieren der Vergleichsschaltung, welche die Vergleichsverarbeitung für die Region durchgeführt hat, die bestimmt ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, als ein Kandidat für die Fehlfunktion, die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung (134) zumindest zwei Vergleichsschaltungen, einschließlich des Kandidaten für die Fehlfunktion, dazu bringt, eine Vergleichsverarbeitung parallel für die Region durchzuführen, die bestimmt ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, und diagnostiziert, basierend auf in den zumindest zwei Vergleichsschaltungen erzeugten Vergleichsergebnissen, ob die Vergleichsschaltung, die der Kandidat für die Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion aufweist.
Einrichtung gemäß Anspruch 2, wobei in einem Fall, bei dem eine Inspektions-Abnormalität in der Vergleichsverarbeitung detektiert wird, welche durch die Vergleichsschaltung durchgeführt wird, welche der Kandidat für die Fehlfunktion ist, und keine Inspektions-Abnormalität in der durch eine andere Vergleichsschaltung durchgeführten Vergleichsverarbeitung detektiert wird, die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung (134) diagnostiziert, dass die Vergleichsschaltung, welche der Kandidat für die Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion aufweist.
Einrichtung gemäß Anspruch 2, wobei in einem Fall, bei dem eine Inspektions-Abnormalität nicht in einer durch die Vergleichsschaltung, die der Kandidat für die Fehlfunktion ist, durchgeführten Vergleichsverarbeitung bestimmt wird, aber die Anzahl von Defekten in der durch die Vergleichsschaltung, welche der Kandidat für die Fehlfunktion ist, durchgeführten Vergleichsverarbeitung größer als die in der durch eine andere Vergleichsschaltung durchgeführten Vergleichsverarbeitung ist, die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung (134) diagnostiziert, dass die Vergleichsschaltung, die der Kandidat für die Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion hat.
Einrichtung gemäß Anspruch 1, wobei die Vergleichsschaltung, welche die Vergleichsverarbeitung für die Region, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, als ein Kandidat für die Fehlfunktion definierend die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung (134) das Zuweisungsziel verschiebt und individuell die Regionen, einschließlich der Region, die bestimmt ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, neu der Vielzahl von Vergleichsschaltungen zuweist, um nicht die Region, die bestimmt ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, der Vergleichsschaltung neu zuzuordnen, welche der Kandidat für die Fehlfunktion ist, und basierend auf den in der Vielzahl von Vergleichsschaltungen, denen die Regionen neu zugewiesen sind, erzeugten Vergleichsergebnissen diagnostiziert, ob die Vergleichsschaltung, welche der Kandidat für Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion aufweist.
Einrichtung gemäß Anspruch 5, wobei in einem Fall, bei dem eine Inspektions-Abnormalität nicht in der Vergleichsverarbeitung detektiert wird, die wieder in der Region durchgeführt wird, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität zu haben, und eine Inspektions-Abnormalität in der Vergleichsverarbeitung detektiert wird, die in einer Region durchgeführt wird, bei einem verschobenen Zuweisungsziel, für welches die Vergleichsschaltung der Kandidat zur Fehlfunktion ist, die Vergleichsverarbeitung durchführte, die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung (134) diagnostiziert, dass die Vergleichsschaltung, die der Kandidat für die Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion aufweist.
Einrichtung gemäß Anspruch 1, wobei die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung (134) diagnostiziert, dass die Vergleichsschaltung, welche die Vergleichsverarbeitung für die Region durchführte, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, eine Fehlfunktion hat.
Musterinspektionsverfahren, umfassend: Erfassen eines optischen Bilds jeder einer Vielzahl von Regionen auf einem zu inspizierenden Substrat, auf welchem ein Muster ausgebildet wird; Durchführen einer Vergleichsverarbeitung des Vergleichens des optischen Bilds mit einem Referenzbild entsprechend dem optischen Bild unter Verwendung jeder einer Vielzahl von Vergleichsschaltungen, und Ausgeben jedes von Vergleichsergebnissen; Bestimmen, basierend auf den in der Vielzahl von Vergleichsschaltungen erzeugten Vergleichsergebnissen, ob es eine Region gibt, die eine Inspektions-Abnormalität aufweist, in der Vielzahl von Regionen; Diagnostizieren, ob eine Vergleichsschaltung, die eine Vergleichsverarbeitung für die Region durchführte, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, in der Vielzahl von Regionen eine Fehlfunktion aufweist; und Ausschließen einer Vergleichsschaltung, die als eine Fehlfunktion diagnostiziert ist, in der Vielzahl von Vergleichsschaltungen, aus einem Ziel, welchem eine Region zugewiesen wird, und Zuweisen von Regionen, wo Vergleichsverarbeitung noch nicht durchgeführt worden ist, in der Vielzahl von Regionen, zu Vergleichsschaltungen, die nicht als Fehlfunktionen diagnostiziert sind.
Muster-Inspektionseinrichtung (100), umfassend: einen Optikbild-Erfassungsmechanismus (150), der konfiguriert ist, ein optisches Bild einer Vielzahl von Regionen auf einem zu inspizierenden Substrat, auf welchem ein Muster gebildet ist, zu erfassen; eine Vielzahl von Vergleichsschaltungen (108), die jede konfiguriert ist, eine Vielzahl von Unter-Vergleichsschaltungen zu enthalten, die individuell eine Vergleichsverarbeitung des Vergleichens des optischen Bilds mit einem Referenzbild entsprechend dem optischen Bild durchführen; eine Abnormalitäts-Bestimmungsschaltung (132), die konfiguriert ist, basierend auf in der Vielzahl von Unter-Vergleichsschaltungen erzeugten Vergleichsergebnissen zu bestimmen, ob es eine Region gibt, die eine Inspektions-Abnormalität aufweist, in der Vielzahl von Regionen; eine Fehlfunktions-Diagnoseschaltung (134), die konfiguriert ist, zu diagnostizieren, ob eine Unter-Vergleichsschaltung, die eine Vergleichsverarbeitung für die Region durchgeführt hat, die bestimmt ist, die Inspektion-Abnormalität aufzuweisen, in der Vielzahl von Regionen eine Fehlfunktion aufweist; und eine Zuweisungs-Verarbeitungsschaltung (136), die konfiguriert ist, individuell Regionen der Vielzahl von Regionen, wo eine Vergleichsverarbeitung durchzuführen ist, Unter-Vergleichsschaltungen, die nicht als Fehlfunktionen diagnostiziert sind, in der Vielzahl von Unter-Vergleichsschaltungen, die eine als eine Fehlfunktion diagnostizierte Unter-Vergleichsschaltung beinhalten, zuzuweisen, und die als eine Fehlfunktion diagnostizierte Unter-Vergleichsschaltung aus einem Ziel, dem eine Region zugewiesen wird, auszuschließen.
Einrichtung gemäß Anspruch 9, wobei das Definieren der Unter-Vergleichsschaltung, welche die Vergleichsverarbeitung für die Region durchgeführt hat, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, als ein Kandidat für die Fehlfunktion, die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung (134) die zumindest zwei Unter-Vergleichsschaltungen, einschließlich des Kandidaten für die Fehlfunktion, dazu bringt, eine Vergleichsverarbeitung parallel für die Region durchzuführen, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, und basierend auf in den zumindest zwei Unter-Vergleichsschaltungen erzeugten Vergleichsergebnisse diagnostiziert, ob die Unter-Vergleichsschaltung, die der Kandidat für die Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion hat.
Einrichtung gemäß Anspruch 9, wobei die Unter-Vergleichsschaltung, welche die Vergleichsverarbeitung für die Region, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, als ein Kandidat für die Fehlfunktion definierend, die Fehlfunktions-Diagnoseschaltung (134) das Zuweisungsziel verschiebt und individuell die Vielzahl von Regionen einschließlich der Region, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, der Vielzahl von Unter-Vergleichsschaltungen neu zuweist, um nicht die Region, die bestimmt worden ist, die Inspektions-Abnormalität aufzuweisen, der Unter-Vergleichsschaltung neu zuzuweisen, welche der Kandidat für die Fehlfunktion ist, und basierend auf dem Vergleichsergebnissen, die in der Vielzahl von Unter-Vergleichsschaltungen erzeugt sind, welchen die Regionen neu zugewiesen worden sind, diagnostiziert, ob die Vergleichsschaltung, die der Kandidat für die Fehlfunktion ist, eine Fehlfunktion hat.