DE102021128369A1

DE102021128369A1 - Elektrodenanordnung und Verfahren zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht und Verwendung einer Elektrodenanordnung

Info

Publication number: DE102021128369A1
Application number: DE102021128369.8A
Authority: DE
Inventors: Bernd Steinhauser; Martin Hermle
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 2021-10-29
Filing date: 2021-10-29
Publication date: 2023-05-04

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Elektrodenanordnung zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht, mit zumindest zwei parallel angeordneten Flächenelektroden (1a,1b) und zumindest einem Abstandhalter, wobei die zwei Flächenelektroden (1a,1b) durch den Abstandhalter beabstandet sind und der Abstandhalter zumindest einen elektrisch isolierenden Isolatorbereich aufweist, um eine elektrisch leitende Verbindung der Flächenelektroden durch den Abstandhalter zu vermeiden, wobei der Abstandhalter mit einer Seite an einer der zwei Flächenelektroden (1a,1b) und mit einer gegenüberliegenden Seite an der anderen der zwei Flächenelektroden (1a,1b) angeordnet ist. Wesentlich ist, dass der Abstandhalter mindestens eine Abschirmung (3) aufweist, wobei die Abschirmung (3) derart angeordnet ist, dass zumindest ein Teilbereich des Isolatorbereichs mittels der Abschirmung (3) abgeschirmt ist, wobei die Abschirmung (3) zu zumindest einer der beiden Flächenelektroden (1a,1b) beabstandet ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht und eine Verwendung einer Elektrodenanordnung.

Description

Die Erfindung betrifft eine Elektrodenanordnung und ein Verfahren zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht gemäß der Oberbegriffe der Ansprüche 1 und 13 sowie eine Verwendung einer Elektrodenanordnung gemäß Anspruch 15.
Zur Beschichtung von flächigen Werkstücken, insbesondere von Halbleiterbauelementen sind Verfahren bekannt, bei welchen zwei gegensätzlich polarisierte Flächenelektroden eingesetzt werden. Ein Beispiel für solche Verfahren ist die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), insbesondere die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD).
Werden bei solchen Verfahren elektrisch leitfähige Schichten abgeschieden, wird mit zunehmender Anzahl der Prozessdurchläufe eine Verringerung der Effizienz der Abscheideverfahren, insbesondere der Abscheiderate beobachtet sofern isolierende Elemente der Beschichtung ausgesetzt sind. Auch kann die Prozesstabilität beeinträchtigt werden.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Effizienzverlust bei der Abscheidung elektrisch leitfähiger Schichten zu vermeiden oder zumindest zu verringern sowie die Prozessstabilität zu erhöhen.
Gelöst ist diese Aufgabe durch eine Elektrodenanordnung zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht gemäß Anspruch 1, ein Verfahren zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht gemäß Anspruch 13 sowie eine Verwendung einer Elektrodenanordnung gemäß Anspruch 15.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Elektrodenanordnung finden sich in den Unteransprüchen 2 bis 12 und des erfindungsgemäßen Verfahrens in Anspruch 14.
Die erfindungsgemäße Elektrodenanordnung ist bevorzugt zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, insbesondere einer bevorzugten Ausführungsform hiervon, ausgebildet. Das erfindungsgemäße Verfahren ist bevorzugt zur Durchführung mit der erfindungsgemäßen Elektrodenanordnung, insbesondere einer bevorzugten Ausführungsform hiervon, ausgebildet.
Es ist bekannt, zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht eine Elektrodenanordnung zu verwenden, welche zumindest zwei parallel angeordnete Flächenelektroden und zumindest einem Abstandhalter aufweist. Die beiden Flächenelektroden sind durch den Abstandhalter beabstandet.
Die flächigen Werkstücke, insbesondere Halbleiterwafer zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, insbesondere von photovoltaischen Solarzellen, werden typischerweise auf oder an den Flächenelektroden angeordnet. Die Flächenelektroden werden gegensätzlich polarisiert, wobei der Abstandhalter elektrisch nicht leitend ausgebildet ist und einen Kurzschluss zwischen den gegensätzlich polarisierten Elektroden verhindert.
Untersuchungen der Erfinder zeigen, dass während des Abscheideprozesses auch an dem Abstandhalter eine elektrisch leitende Schicht abgeschieden wird, welche eine elektrisch leitende Verbindung zwischen den parallel angeordneten Flächenelektroden ausbildet. Mit zunehmender Anzahl der durchgeführten Prozessdurchläufe erhöht sich die Dicke dieser Schicht, sodass der elektrische Widerstand zwischen den zwei parallel angeordneten Flächenelektroden abnimmt und der Potenzialunterschied bei den gegensätzlich polarisierten Flächenelektroden hierdurch verringert wird, sodass eine Verringerung der Effizienz und/oder Prozessstabilität des Abscheideverfahrens die Folge ist.
Die Erfindungsgemäße Elektrodenanordnung zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht weist zumindest zwei parallel angeordneten Flächenelektroden und zumindest einen Abstandhalter auf, wobei die zwei Flächenelektroden durch den Abstandhalter beabstandet und elektrisch isoliert sind. Der Abstandhalter ist mit einer Seite an einer der zwei Flächenelektroden und mit einer gegenüberliegenden Seite an der anderen der zwei Flächenelektroden angeordnet.
Bei der erfindungsgemäßen Elektrodenanordnung ist wesentlich, dass ein Abstandhalter zum Beabstanden der Flächenelektroden verwendet wird, wobei der Abstandhalter zumindest einen elektrisch isolierenden Isolatorbereich aufweist, um eine elektrisch leitende Verbindung der Flächenelektroden durch den Abstandhalter zu vermeiden, wobei der Abstandhalter mit einer Seite an einer der zwei Flächenelektroden und mit einer gegenüberliegenden Seite an der anderen der zwei Flächenelektroden angeordnet ist.
Wesentlich ist, dass der Abstandhalter mindestens eine Abschirmung aufweist, wobei die Abschirmung derart angeordnet ist, dass zumindest ein Teilbereich des Isolatorbereichs mittels der Abschirmung abgeschirmt ist, wobei die Abschirmung zu zumindest einer der beiden Flächenelektroden beabstandet ist.
Bei der erfindungsgemäßen Elektrodenanordnung ist einerseits durch den elektrisch nicht leitenden Abstandhalter, welcher mit einer Seite an einer der zwei Flächenelektroden und mit einer gegenüberliegenden Seite an der anderen der zwei Flächenelektroden angeordnet ist, die dauerhafte Beabstandung der Flächenelektroden gewährleistet. Es ist nicht zwingend notwendig, dass der Abstandshalter vollständig elektrisch nicht leitend ausgebildet ist. Der Abstandshalter muss jedoch zumindest in einem Teilbereich (Isolatorbereich) elektrisch nicht leitend ausgebildet sein, um einen Kurzschluss zwischen den beiden Flächenelektroden zu vermeiden. Da die Abschirmung derart angeordnet ist, dass zumindest ein Teilbereich des Isolatorbereichs mittels der Abschirmung abgeschirmt ist, wird eine Beschichtung des elektrisch nicht leitenden Bereichs des Abstandhalters vermieden oder zumindest die Abscheiderate durch die Abschirmung erheblich verringert.
Weiterhin ist die Abschirmung zumindest zu einer der zwei Flächenelektroden beabstandet. Auch bei Abscheiden einer elektrisch leitenden Schicht auf der Oberfläche der Abschirmung ist somit sichergestellt, dass durch eine eventuell elektrisch leitende Abschirmung kein Kurzschluss zwischen den zwei Flächenelektroden ausgebildet wird, da die Abschirmung zu zumindest einer der zwei Flächenelektroden beabstandet ist.
Die eingangs gestellte Aufgabe ist weiterhin durch ein Verfahren zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht gelöst. Das erfindungsgemäße Verfahren weist folgende Verfahrensschritte auf:

A. Bereitstellen von zumindest zwei parallelen Flächenelektroden, welche durch mindestens ein Abstandhalter voneinander beabstandet sind;
B. Anordnen zumindest eines Werkstücks auf zumindest einer Flächenelektrode;
C. Ausbildeneines alternierenden elektrischen Feldes zwischen den Elektroden und Beschichten der Werkstücke mit einer elektrisch leitfähigen Schicht;

Wesentlich ist, dass ein Abstandhalter zum Beabstanden der Flächenelektroden verwendet wird, wobei der Abstandhalter zumindest einen elektrisch isolierenden Isolatorbereich aufweist, um eine elektrisch leitende Verbindung der Flächenelektroden durch den Abstandhalter zu vermeiden, wobei der Abstandhalter mit einer Seite an einer der zwei Flächenelektroden und mit einer gegenüberliegenden Seite an der anderen der zwei Flächenelektroden angeordnet ist. Wesentlich ist, dass der Abstandhalter mindestens eine Abschirmung aufweist, wobei die Abschirmung derart angeordnet ist, dass zumindest ein Teilbereich des Isolatorbereichs mittels der Abschirmung abgeschirmt ist, wobei die Abschirmung zu zumindest einer der beiden Flächenelektroden beabstandet ist.
Hierdurch ergeben sich die zu dem erfindungsgemäßen Abstandhalter genannten Vorteile, insbesondere wird das Risiko, dass sich eine elektrisch leitende Schicht am Abstandhalter zwischen den Flächenelektroden ausbildet vermieden oder zumindest erheblich verringert.
Die Abschirmung erfüllt somit die wesentliche Funktion, während des Beschichtungsvorgangs einen Teilchenstrom der im Beschichtungsvorgang verwendeten Teilchen zu dem abgeschirmten Isolatorbereich zu verhindern oder zumindest zu verringern. Die Abschirmung ist daher bevorzugt an einer außenliegenden Seite des Isolatorbereichs angeordnet. Insbesondere ist es vorteilhaft, dass die Abschirmung den Isolatorbereich in einer Schnittebene parallel zu den Flächelektroden umfasst.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung bilden der Abstandhalter und die Abschirmung einen Kanal aus. Hierdurch wird ein Teilchenstrom an die Oberfläche des Abstandhalters innerhalb des Kanals verringert und somit das Risiko einer Ausbildung einer elektrisch leitenden Schicht an den Innenwänden des Kanals verringert. Insbesondere ist es vorteilhaft, dass der Kanal einseitig geschlossen ist, so dass die Ausbildung eines den Kanal durchdringenden Teilchenstroms vermieden oder zumindest die Flussrate eines solchen Teilchenstroms erheblich verringert wird.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung überlappt die Abschirmung mit dem Isolatorbereich des Abstandhalters.
Hieraus ergeben sich der Vorteil, dass in dem Überlappungsbereich ein Teilchenstrom und somit eine Ausbildung einer elektrisch leitenden Schicht vermieden oder zumindest die Ausbildungsrate erheblich verringert wird.
Vorteilhafterweise überlappt die Abschirmung mit einem elektrisch nicht leitenden Isolatorbereich des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung. Hierdurch wird der elektrisch nicht leitende Bereich des Abstandhalters zumindest für Teilchenströme, welche sich parallel zu den Flächenelektroden bewegen, durch die Abschirmung von dem Teilchenstrom abgeschirmt und somit eine Beschichtung vermieden oder zumindest die Beschichtungsrate verringert.
Um einen Teilchenstrom zwischen Abschirmung und dem elektrisch nicht leitenden Isolatorbereich des Abstandhalters zu vermeiden oder zumindest die Teilchenanzahl oder Flussrate zu verringern ist es vorteilhaft, dass der Abstand zwischen Abschirmung und Isolatorbereich < 10 mm, bevorzugt < 1 mm, insbesondere bevorzugt < 0,5 mm ist.
Um einen Kontakt zwischen Abschirmung und Isolatorbereich, insbesondere bei einer etwaigen Beschichtung zu vermeiden oder zumindest das Risiko hierfür zu verringern, ist es vorteilhaft, dass der Abstand zwischen Abschirmung und Isolatorbereich> 0,01 mm, bevorzugt > 0,05 mm ist.
Alternativ oder bevorzugt zusätzlich ist es vorteilhaft, den Teilchenstrom zwischen Abschirmung und Isolatorbereich zu verringern, indem der Abstand zwischen Abschirmung und Flächenelektrode < 10 mm, bevorzugt < 1 mm, insbesondere bevorzugt < 0,5 mm ist.
Ein geringer Abstand zwischen Abschirmung und Flächenelektrode vermeidet oder verringert somit einen Teilchenstrom zwischen Abschirmung und Flächenelektrode in den Zwischenraum zwischen Abschirmung und Isolatorbereich.
Bei einer etwaigen Beschichtung der Abschirmung und/oder der Flächenelektrode und aufgrund von Toleranzen in der Materialausdehnung ist es vorteilhaft, dass der Abstand zwischen Abschirmung und Flächenelektrode > 0,01 mm, bevorzugt > 0,05 mm ist. Hierdurch wird auch das Risiko eines elektrischen Überschlags zwischen Abschirmung und Flächenelektrode verringert.
In einer vorteilhaften Ausführungsform erstreckt sich die Abschirmung sich zumindest bis an den Isolatorbereich des Abstandhalters. Hierdurch ergibt sich der Vorteil, dass in dem Teilbereich des Isolatorbereiches, an welchen die Abschirmung angrenzt, in besonders effizienter Weise eine Ausbildung einer elektrisch leitenden Schicht vermieden oder zumindest ein solches Risiko erheblich verringert wird.
In einer vorteilhaft konstruktiv einfachen Ausgestaltung ist die Abschirmung zylindrisch, bevorzugt kreiszylindrisch, ausgebildet.
Alternativ oder bevorzugt zusätzlich ist für eine konstruktiv einfache Ausgestaltung ist der Isolatorbereich zylindrisch, bevorzugt kreiszylindrisch, ausgebildet.
Alternativ oder bevorzugt zusätzlich ist für eine konstruktiv einfache Ausgestaltung der Abstandshalter zylindrisch, bevorzugt kreiszylindrisch, ausgebildet.
Die Zylinderachse der Abschirmung und/oder des Abstandhalters, bevorzugt der Abschirmung und des Isolatorbereichs, ist bevorzugt senkrecht zu den Flächenelektroden angeordnet.
Um einen Kontakt zwischen Isolatorund Abschirmung, insbesondere bei einer mechanischen Einwirkung auf die Abschirmung, zu vermeiden ist es vorteilhaft, dass zwischen Abschirmung und Isolatorbereich ein Stützelement angeordnet ist. Das Stützelement ist bevorzugt elektrisch nicht leitend ausgebildet.
Das Risiko einer Beschichtung des elektrisch nicht leitenden Bereichs des Abstandhalters wird zusätzlich verringert, indem in einer vorteilhaften Ausgestaltung der Abstandhalter eine zweite Abschirmung aufweist. Die zweite Abschirmung überlappt mit der erster Abschirmung und ist zu der erster Abschirmung beabstandet. Weiterhin ist die zweite Abschirmung zumindest zu einer Flächenelektrode beabstandet.
Durch die zweite Abschirmung wird somit ein Teilchenfluss zu der ersten Abschirmung vermieden oder zumindest verringert. Durch die Beabstandung der zweiten Abschirmung zu zumindest einer Flächenelektrode wird - wie auch bei der ersten Abschirmung - ein elektrischer Kurzschluss zwischen den Flächenelektroden durch die zweite Abschirmung vermieden.
Vorteilhafterweise überlappt die zweite Abschirmung mit der ersten Abschirmung in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung. Hierdurch wird in effektiver Weise für Teilchenströme parallel zu den Flächenelektroden die erste Abschirmung durch die zweite Abschirmung abgeschirmt.
Der Abstand zwischen zweiter Abschirmung und erster Abschirmung ist bevorzugt < 10 mm, bevorzugt < 1 mm, insbesondere bevorzugt < 0,5 mm, um - wie zu der ersten Abschirmung ausgeführt - einen Teilchenstrom zu verringern.
Der Abstand zwischen zweiter Abschirmung und Flächenelektrode ist bevorzugt > 0,01 mm, bevorzugt > 0,05 mm. Hierdurch wird - wie bereits zu der ersten Abschirmung beschrieben - eine elektrisch leitende Verbindung und auch ein elektrischer Überschlag zwischen zweiter Abschirmung und Flächenelektrode vermieden.
Die Verbindung von Flächenelektroden und Abstandshalter erfolgt bevorzugt mittels einer Führungsstange, insbesondere einer geradlinigen Führungsstange. Vorteilhafterweise weisen daher der Abstandhalter und die Flächenelektroden Ausnehmungen (Führungen) auf, um die geradlinige Führungsstange die Ausnehmungen durchdringend anzuordnen.
Vorteilhafterweise sind eine Vielzahl von Elektrodenanordnungen übereinander angeordnet, sodass die Elektrodenanordnung eine Vielzahl von Flächenelektroden, bevorzugt zumindest fünf, weiter bevorzugt zumindest zehn Flächenelektroden aufweist, wobei jeweils zwischen zwei benachbarten Flächenelektroden zumindest ein Abstandhalter wie zuvor beschrieben mit einem elektrisch nicht leitenden Isolatorbereich und einer Abschirmung angeordnet ist. Insbesondere ist es vorteilhaft, zur Stabilisierung zwischen zwei benachbarten Flächenelektroden mehrere Abstandhalter mit jeweils einem elektrisch nicht leitenden Isolatorbereich und eine Abschirmung wie zuvor beschrieben anzuordnen. Vorteilhafterweise wird die Elektrodenanordnung durch eine oder bevorzugt mehrere geradlinige Führungsstange stabilisiert, welche senkrecht zu den Flächenelektroden die Flächenelektroden und die Abstandhalter durchdringen.
Es liegt im Rahmen der Erfindung, dass der Abstandhalter einteilig ausgebildet ist, insbesondere vollständig elektrisch nicht leitend.
Ebenso liegt es im Rahmen der Erfindung, dass der Abstandhalter mehrschichtig ausgebildet ist, mit einer oder mehreren elektrisch nicht leitenden Schichten. Hierbei liegt es im Rahmen der Erfindung, dass der Abstandshalter auch elektrisch leitende Teilbereiche, insbesondere elektrisch leitende Schichten, aufweist.
Wesentlich ist, dass zwischen den Berührungspunkten des Abstandhalters mit der ersten und der zweiten der beiden Flächenelektroden keine elektrisch leitende Verbindung besteht.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist der Isolatorbereich aus mehrteiligen Elementen ausgebildet.
Insbesondere ist es vorteilhaft, dass der Isolatorbereich eine Bodenplatte und ein Stützelement mit einem gegenüber der Bodenplatte geringeren Umfang aufweist. Hierdurch ist es in konstruktiv einfacher Weise möglich, die Abschirmung auf oder an der Bodenplatte anzuordnen, insbesondere, die Abschirmung einstückig mit der Bodenplatte auszubilden. Hierbei liegt es im Rahmen der Erfindung, dass die Bodenplatte, das Stützelement oder bevorzugt die Bodenplatte und das Stützelement elektrisch nicht leitend ausgebildet sind,welches aus Keramik, bevorzugt aus gebrannter Keramik ausgebildet ist.
Vorteilhafterweise sind somit das Stützelement und die Abschirmung an der Bodenplatte angeordnet.
Bei der zuvor beschriebenen vorteilhaften Ausgestaltung, bei welcher der Abstandshalter eine Bodenplatte und ein Stützelement aufweist, sind bevorzugt die Bodenplatte oder das Stützelement, insbesondere die Bodenplatte und das Stützelement aus Keramik, bevorzugt aus gebrannter Keramik ausgebildet.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist insbesondere vorteilhaft, wenn in einer vorteilhaften Ausgestaltung in Verfahrensschritt C eine Abscheidung in einem elektrischen Feld erfolgt und eine Beschichtung des Isolierungselements zwischen den Flächenelektroden nicht ausgeschlossen werden kann.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird bevorzugt in Verfahrensschritt C die Beschichtung mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD), insbesondere bevorzugt mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung durchgeführt (PECVD). Für eine Vielzahl von Abscheideprozessen ist die Verwendung eines PECVD-Prozesses vorteilhaft, da nur so eine gewünschte Schichtdicke erzielt werden kann oder die thermische Belastung geringgehalten werden kann. Insbesondere, da in dem abgeschirmten Bereich der Gasaustausch verringert ist und hierdurch die Ausbildung eines Plasmas verhindert wird oder zumindest weniger wahrscheinlich ist.
Ebenso liegt es im Rahmen der Erfindung, in einer vorteilhaften Ausgestaltung in Verfahrensschritt C eine Beschichtung mittels physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD) erfolgt, insbesondere mittels Sputtern oder Aufdampfen mit Ausbilden eines elektrischen Feldes zwischen den Flächenelektroden.
Die eingangs genannte Aufgabe ist weiterhin durch die Verwendung einer Elektrodenanordnung, insbesondere einer erfindungsgemäßen Elektrodenanordnung, bevorzugt einer vorteilhaften Ausführungsform hiervon, zur Beschichtung eines Werkstücks, insbesondere mittels chemischer Gasphasenabscheidung gelöst.
Zur konstruktiv einfachen Ausgestaltung ist es vorteilhaft, dass die Abschirmung als rotationssymmetrischer Körper ausgebildet ist. Alternativ oder bevorzug zusätzlich ist es vorteilhaft, dass das Stützelement als rotationssymmetrischer Körper ausgebildet ist.
Weitere vorteilhafte Merkmale und Ausgestaltungen werden nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und den Figuren beschrieben. Dabei zeigt:

1 ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Abstandhalters;
2 ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Abstandhalters mit Führung;
3 ein drittes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Abstandhalters mit zwei Abschirmungen;
4 ein viertes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Abstandhalters mit drei Abschirmungen;
5 ein fünftes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Abstandhalters mit zwei Befestigungselementen für die Abschirmung;
6 ein sechstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Abstandhalters mit Bodenplattennutenbefestigung für die Abschirmung;
7 ein siebtes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Abstandhalters mit zwei gegenüberliegenden Abschirmungen;
8 ein achtes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Abstandhalters mit konischen Stützelement;
9 ein neuntes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Abstandhalters mit konischen Stützelement;
10 ein zehntes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Abstandhalters mit Flansch als Abschirmungsbefestigung.

Sämtliche Figuren zeigen schematische, nicht maßstabsgetreue Darstellungen. Gleiche Bezugszeichen in den Figuren bezeichnen gleiche oder gleich wirkende Elemente.
In den 1 bis 10 sind Ausführungsbeispiele eines erfindungsgemäßen Abstandshalters gezeigt. Jeweils die erste Abbildung zeigt den Abstandhalter sowie die Flächenelektroden in einer frontalen Ansicht. Die zweite Abbildung zeigt den Abstandhalter sowie die Flächenelektroden im Schnitt gemäß der gestrichelten Schnittlinie der ersten Abbildung. Die dritte Abbildung zeigt die Draufsicht auf den Abstandhalter ohne die darüber sowie darunter angeordneten Flächenelektroden.
1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Elektrodenanordnung zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht, vorliegend zur Beschichtung von Siliziumwafern bei der Herstellung von photovoltaischen Solarzellen mittels eines PECVD-Verfahrens. Hierzu werden die Siliziumwafer auf die untenliegende Flächenelektrode aufgelegt.
Der gezeigte Abstandhalter in 1 ist zwischen einer ersten Flächenelektrode 1a und einer zweiten Flächenelektrode 1b angeordnet, welche parallel zueinander angeordnet sind.
Der Abstandhalter ist in diesem Ausführungsbeispiel mehrteilig ausgeführt. Der Abstandhalter umfasst eine elektrisch nicht leitende kreisförmige Bodenplatte 6 und ein elektrisch nichtleitendes zylindrisches Stützelement 2. Das Stützelement 2 weist einen geringeren Durchmesser als die Bodenplatte auf. Die Bodenplatte 6 liegt eben auf Flächenelektrode 1b auf. Im Zentrum der Bodenplattenoberseite ist das Stützelement 2 angeordnet. Die Bodenplatte 6 sowie das Stützelement 2 sind in diesem Ausführungsbeispiel aus Keramik, vorliegend aus gebrannter Keramik ausgebildet. Die kreisförmige Oberseite des zylindrischen Stützelement 2 liegt an der Flächenelektrode 1a an. Die Abschirmung 3 ist in diesem Ausführungsbeispiel hülsenförmig ausgeführt. Diese Hülsenform weist denselben Außendurchmesser wie die Bodenplatte 6 auf. Die Abschirmung 3 ist konzentrisch auf der Bodenplatte 6 angeordnet. Die auf der Bodenplatte 6 angeordnete Abschirmung 3 ist zur Flächenelektrode 1a über den Abstand d2 beabstandet. Der Abstand d2 zwischen Abschirmung 3 und der Flächenelektrode 1a ist in diesem Ausführungsbeispiel kleiner 10 mm, vorliegend 1 mm.
Die Abschirmung und das Stützelement 2 zeigen einen Abstand d1 auf. Der Abstand d1 zwischen Abschirmung 3 und den elektrisch nichtleitenden Bereich des Stützelement 2 ist in diesem Ausführungsbeispiel kleiner 10 mm, und größer 0,01 mm, vorliegend 0,5 mm.
Die Abschirmung überlappt mit dem elektrisch nichtleitenden Isolatorbereich des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung im Bereich u1 und die Abschirmung erstreckt sich zumindest bis an den elektrisch nichtleitenden Isolatorbereich des Abstandhalters, vorliegend bis an die Bodenplatte 6.
Hierdurch bildet sich ein Ringkanal aus, der durch die Außenseite des Stützelements 2 und die Innenseite der Abschirmung 3 begrenzt wird. An der untenliegenden Seite ist der Ringkanal verschlossen durch die Bodenplatte 6. Der einseitig verschlossene Ringkanal verringert somit das Risiko, dass bei dem Beschichtungsvorgang sich eine Schicht an der Außenseite des Stützelements 2 im Überlappungsbereich u1 und insbesondere am verschlossenen Ende des Ringkanals in der freiliegenden obenliegenden Seite der Bodenplatte 6 ausbildet. Die isolierende Funktion dieser Isolotarbereiche (Außenseite des Stützelements 2 im Überlappungsbereich und freiliegende obenliegenden Seite der Bodenplatte 6) wird somit nicht oder nur geringfügig durch das Ausbilden einer elektrisch leitfähigen Schicht im Beschichtungsvorgang beeinträchtigt.
In Abwandlungen des gezeigten Ausführungsbeispiel zeigen:

- das Element 2 leitende, die Abschirmung 3 leitende und die Bodenplatte 6 nicht leitende elektrische Eigenschaften auf;
- das Element 2 leitende, die Abschirmung 3 nicht leitende und die Bodenplatte 6 nicht leitende elektrische Eigenschaften auf.

Zudem kann in einer Abwandlung des gezeigten Ausführungsbeispiels die Bodenplatte 6 einstückig mit der Abschirmung 3 ausgebildet sein oder der Abstandhalter einstückig ausgeführt sein, hierbei muss der einstückig ausgeführte Abstandhalter elektrisch nicht leitend ausgeführt sein.
In 2 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel gezeigt, hierbei ist das erste Ausführungsbeispiel um eine Führung erweitert. Die Führung 7 verläuft senkrecht durch den Mittelpunkt des zylindrisch ausgeformten Abstandhalters.
Der mit der Führung 7 versehene Abstandhalter ist mit einer Seite an einer der zwei Flächenelektroden und mit einer gegenüberliegenden Seite an der anderen der zwei Flächenelektroden angeordnet. Die Flächenelektroden in diesem Ausführungsbeispiel sind ebenso mit einer Führung 7a und 7b (Flächenelektrodenführung) versehen. Die Führung 7 des Abstandhalters und der Flächenelektroden sind fluchtend angeordnet. Die Abstandhalterführung und die Flächenelektrodenführung weisen denselben Führungsdurchmesser auf. Die Führungen sind in diesem Beispiel vorteilhaft, da sie es ermöglichen, eine Führungsstange durch den Abstandhalter sowie durch die Flächenelektroden zu führen.
Die Führungsstangen zentriert die Elemente konzentrisch um den Abstandhalter Mittelpunkt. Somit ist der Abstand d1 in jedem Umfangsbereich gleichbleibend. Die Funktionen und Abwandlungen des ersten Ausführungsbeispiels sind auf die Ausführung mit Führung übertragbar.
Dieses Ausführungsbeispiel mit Führungen soll exemplarisch für alle zylindrisch geformten Abstandhalter der folgenden Ausführungsbeispiele gelten: Auch bei diesem Ausführungsbeispiel sind vorteilhafterweise Führungen für eine Führungsstange vorgesehen.
In den 3 bis 7 sind weitere Ausführungsbeispiele eines Abstandshalters dargestellt, welcher in der Mehrzahl der technischen Merkmale mit dem in den 1 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel übereinstimmt. Zur Vermeidung von Wiederholungen werden nachfolgend die wesentlichen Unterschiede der Ausführungen erläutert:
3 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines Abstandshalter welches zwei Abschirmungen aufweist. Die zweite Abschirmung 3b ist in diesem Ausführungsbeispiel als Hülse mit Deckplatte ausgeführt, welche konzentrisch über das Stützelement 2 angeordnet ist, sodass die Deckplatte an der Innenseite des Stützelements 2 anliegt und die Außenseite der Deckplatte an der Flächenelektrode 1a anliegt und der Hülsenmantel parallel zum Stützelementmantel verläuft. Der Durchmesser der zweiten Abschirmung 3b ist kleiner wie der der ersten Abschirmung 3 und ist größer wie der Durchmesser des Stützelements 2.
Die erste Abschirmung 3 ist mit der zweiten Abschirmung 3b des Abstandhalters und dem elektrisch nichtleitenden Isolatorbereich des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung überlappt u1. Die zweite Abschirmung 3b ist mit dem elektrisch nichtleitenden Isolatorbereich des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung überlappt u2.
Die Abschirmung 3b ist zur Flächenelektrode 1b beabstandet, die Abschirmung 3 ist zur Flächenelektrode 1a beabstandet.
Hierdurch wir ein gewundener, einseitig verschlossener Kanal ausgebildet. Durch die gegenüber dem in 1 vergrößerte Länge des Kanals wird das Risiko der Ausbildung einer elektrisch leitenden Schicht an der Außenseite des Stützelementes 2 im Überlappungsbereich u2 weiter verringert.
In 4 ist ein Ausführungsbeispiel eines Abstandhalters mit drei Abschirmungen aufgeführt. Die dritte Abschirmung 3c ist in diesem Ausführungsbeispiel als zweite Hülse an einer Deckplatte nach Ausführungsbeispiel drei 3 ausgeführt, welche konzentrisch über das Stützelement 2 angeordnet ist, sodass die Deckplatte an der Innenseite des Stützelements 2 anliegt und die Außenseite der Deckplatte an der Flächenelektrode 1a anliegt und der Hülsenmantel parallel zum Stützelementmantel verläuft.
Der Durchmesser der dritten Abschirmung 3c ist größer als der der Abschirmung 3, Abschirmung 3b und ist größer als der Durchmesser des Stützelements 2. Die Abschirmung 3c ist mit der Abschirmung 3b und Abschirmung 3 des Abstandhalters und dem elektrisch nichtleitenden Isolatorbereich des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung überlappt u3. Die Abschirmung 3 ist mit der Abschirmung 3b und dem elektrisch nichtleitenden Isolatorbereich des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung überlappt u1. Die Abschirmung 3b ist mit dem elektrisch nichtleitenden Stützelement 2 des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung überlappt u2.
Die Abschirmung 3b und die Abschirmung 3c sind zur Flächenelektrode 1b beabstandet, die Abschirmung 3 ist zur Flächenelektrode 1a beabstandet. Die Beabstandungen der Abschirmungen zu einander und die Beabstandung zu dem Stützelement 2 führen zu einer Kanalausbildung die durch die Mantelflächen der Abschirmungen sowie des Stützelement 2 und der Boden-/ Deckplatte begrenzt ist.
Hierdurch wird die Kanallänge zu dem Überlappungsbereich u3 an der Außenseite des Stützelements 2 gegenüber dem in 3 gezeigten Ausführungsbeispiel nochmals verlängert.
Das Ausführungsbeispiel, welches in 5 dargestellt ist, zeigt einen Abstandshalter mit zwei Befestigungselementen 4a, 4b zur Fixierung der Abschirmung 3.
Der Abstandhalter ist mit einer Seite an einer der zwei Flächenelektroden und mit einer gegenüberliegenden Seite an der anderen der zwei Flächenelektroden angeordnet. Das Stützelement 2 ist in diesem Ausführungsbeispiel zwischen den beiden Flächenelektroden angeordnet. Die Befestigungselemente 4a und 4b, welche mit der Abschirmung 3 verbunden sind, sind auf halber Stützelement Höhe mit dem Stützelement 2 verbunden. Mittels der Befestigungselemente 4a und 4b wird die Abschirmung 3 in einen Abstand d1 zum Stützelement 2 gehalten. Die Abschirmung 3 ist mit dem elektrisch nichtleitenden Stützelement 2 des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung überlappt u1.
Die Abschirmung 3 ist zur Flächenelektrode 1b und von der Flächenelektrode 1a beabstandet. Dieses Ausführungsbeispiel bildet über die Beabstandung der Abschirmung 3 zum Stützelement 2 einen Kanal aus der nur durch das Stützelement 2 und der Abschirmung 3 abgegrenzt ist. Bei diesem Ausführungsbeispiel muss das Stützelement 2 elektrisch nicht leitend ausgeführt werden die Abschirmung 3 sowie die Befestigungselemente können leitend oder nicht elektrisch leitend ausgeführt sein.
Bei diesem Ausführungsbeispiel wird somit ein beidseitig offener Ringkanal ausgebildet. Im Überlappungsbereich u1, insbesondere mittig im Bereich der Befestigungselemente 4a und 4b wird durch die Abschirmung die Ausbildung einer elektrisch leitfähigen Schicht beim Beschichtungsvorgang vermieden oder zumindest die Ausbildungsrate erheblich reduziert.
Eine weitere Möglichkeit der Fixierung der Abschirmung ist in Ausführungsbeispiel in 6 gezeigt. Hierbei besitzt die Bodenplatte 6 eine Ringnut, die dicke der Nut ist so gewählt, dass die Abschirmung 3 über die Ringnut in der Bodenplatte fixiert werden kann. In diesem Ausführungsbeispiel ist die Nut zumindest so dick ausgeführt das die Abschirmung durch die Nut geführt werden kann. Die Abschirmeigenschaften entsprechen denen des ersten Ausführungsbeispiels.
In 7 ist ein siebtes Ausführungsbeispiel gezeigt. Dieses Ausführungsbeispiel zeigt einen Abstandshalter mit zwei Abschirmungen 3a und 3b, welche gegenüberliegend positioniert jeweils einen Teil des Stützelement 2 in einem Abstand d1 überlappen. Der Unterschied zu den vorangegangenen Beispielen ist, dass die Abschirmungen 3a sowie 3b zum Stützelement 2gleich beabstandet sind und somit den gleichen Durchmesser aufweisen. Zudem ist die Abschirmung 3a hülsenförmig an einer Deckplatte wie in Ausführungsbeispiel drei 3 befestigt, welche konzentrisch an der Stützelementoberseite angebracht ist und mit der Deckplattenoberseite an der Flächenelektrode 1a anliegt.
Die Abschirmung 3b ist ebenso hülsenförmig an einer Bodenplatte wie in Ausführungsbeispiel drei 3 befestigt, welche konzentrisch an der Stützelementunterseite angebracht ist und mit der Bodenplattenunterseite an der Flächenelektrode 1b anliegt.
Die Abschirmung 3a ist mit der Abschirmung 3b nicht überlappend ausgebildet, überlappt jedoch mit dem elektrisch nichtleitenden Isolatorbereich des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung u1. Die Abschirmung 3b ist mit der Abschirmung 3a nicht überlappend ausgebildet, überlappt jedoch mit dem elektrisch nichtleitenden Isolatorbereich des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung u2.
Die Abschirmung 3b ist zur Flächenelektrode 1a beabstandet, die Abschirmung 3a ist zur Flächenelektrode 1b beabstandet. Die vertikale Beabstandungen der Abschirmungen zu einander und die Beabstandung zu dem Stützelement 2 führen zu einer Kanalausbildung, die durch die Mantelflächen der Abschirmungen sowie des Stützelement 2 und der Boden-/ Deckplatte begrenzt ist.
Eine Ausbildung einer elektrisch leitenden Schicht wird somit an der Außenseite des Stützelementes 2 in den Überlappungsbereichen u1 und u2 und insbesondere an den verschlossenen Enden der beiden Ringkanäle am oberen und unteren Ende des Stützelementes 2 vermieden oder zumindest die Abscheiderate erheblich verringert.
Das achte Ausführungsbeispiel in 8 zeigt einen Abstandhalter, welcher sich dahingehend von den vorherigen Ausführungsbeispielen unterscheidet, dass er ein zum Teil konisch geformtes Stützelement 2 besitzt, welches an der Spitze eine kugelförmige Auswölbung aufweist. Der Sockel des zum Teil konisch geformten Stützelement 2 ist an der Flächenelektrode 1b angeordnet. Das als Abschirmung 3 ausgeführte Gegenstück des zum Teil konisch geformten Stützelement 2 besitzt eine konisch geformte Ausnehmung welche dieselbe Kegelverjüngung aufweist wie das Stützelement 2. Die Abschirmung 3 ist so platziert das der konisch geformte Teil des Stützelement 2 in die konische Ausnehmung der Abschirmung führt. Die kugelförmige Auswölbung des Stützelement 2 führt zu einer Beabstandung d1. Die Abschirmung 3 ist somit nur über einen Teil der kugelförmigen Auswölbung des Stützelements 2 mit dem Stützelement 2 in Kontakt. Somit erstreckt sich die Abschirmung 3 zumindest bis an den elektrisch nichtleitenden Isolatorbereich des Abstandhalters. Die Oberseite der Abschirmung 3 ist an der Flächenelektrode 1a angeordnet.
Die Beabstandung der Abschirmung 3 zu dem Stützelement 2 führen zu einer Kanalausbildung die durch die konischen Mantelflächen der Abschirmungen sowie des Stützelement 2 und der Fläche der kugelförmigen Ausbuchtung des Stützelement 2 begrenzt ist. Die Abschirmung 3 ist mit dem elektrisch nichtleitenden Isolatorbereich des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung u1 überlappend ausgebildet.
Während des Beschichtungsvorgangs wird somit die Ausbildung einer elektrisch leitfähigen Schicht an der Außenseite des konischen Bereichs des Stützelementes 2 insbesondere im oberen Bereich vermieden oder zumindest die Abscheiderate erheblich reduziert.
In 9 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Abstandhalters gezeigt, dieses Ausführungsbeispiel ist dreiteilig ausgeführt. Die drei Elemente besitzen identische Geometrien. Die Geometrie eines Elements lässt sich über einen Kegelstumpf beschreiben, der eine kegelstumpfförmige Ausnehmung aufweist. Die Ausnehmung ermöglicht es, die kegelstumpfförmigen Elemente ineinander zu stapeln.
Die ineinander konzentrisch gestapelten kegelstumpfförmigen Elemente zeigen eine Führung 7 auf. Die Führung 7 verläuft senkrecht durch den Mittelpunkt der kegelstumpfförmigen Elemente welche, den Abstandhalter (Abstandhalterführung) ausbilden. Der mit der Führung 7 versehene Abstandhalter ist mit einer Seite an einer der zwei Flächenelektroden und mit einer gegenüberliegenden Seite an der anderen der zwei Flächenelektroden angeordnet. Die Flächenelektroden in diesem Ausführungsbeispiel sind ebenso mit einer Führung 7a und 7b (Flächenelektrodenführung) versehen. Die Führung des Abstandhalters und der Flächenelektroden sind fluchtend angeordnet. Der Führungsdurchmesser ist in diesem Ausführungsbeispiel so gewählt, dass die Abstandhalterführung und die Flächenelektrodenführung denselben Durchmesser aufweisen. Die Führungen sind in diesem Beispiel Vorteilhaft, da sie es ermöglichen, eine Führungsstange durch den Abstandhalter sowie durch die Flächenelektroden zu führen. Die Führungsstangen zentriert die Elemente konzentrisch um den Abstandhaltermittelpunkt.
In diesem Ausführungsbeispiel ist das oben angeordnete Element elektrisch nicht leiten ausgeführt und somit das Stützelement 2 ausbildet. Das mittlere Element 3a sowie das unten angeordnete Element 3b stellen somit Abschirmungen dar. Bedingt dadurch, dass die Deckfläche der kegenstumpfförmigen Ausnehmung einen größeren Durchmesser aufweist als die Deckfläche des Kegelstumpfes, kommen beim Stapeln der Elemente die Abstände d1 und d2 zustande.
Die Abstände d1 und d2 beschreiben somit die Differenz der Radien von Kegelstumpf und kegelstumpfförmiger Ausnehmung im Verlauf der Verjüngung. Dieser Abstand ist bei der Überlappung von zwei Elementen gleichbleibend da der Grad der Verjüngung an der kegelstumpfförmigen Ausnehmung und am Kegelstumpf gleichbleibend ist. Somit bildet der Mantel der kegelstumpfförmigen Ausnehmung eines Elementes mit einem zweiten Element und dessen Mantels des Kegelstumpfes zusammen mit einem Teil der Deckfläche der kegelstumpfförmigen Ausnehmung einen Kanal aus.
Die Abschirmung 3b und die Abschirmung 3a sind zur Flächenelektrode 1a beabstandet, die Abschirmung 3a ist auch zur Flächenelektrode 1b beabstandet. Die Abschirmung 3a ist mit der Abschirmung 3b und dem elektrisch nichtleitenden Stützelement 2 des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung überlappt u1. Die Abschirmung 3a ist mit dem elektrisch nichtleitenden Stützelement 2 des Abstandhalters in einer senkrecht zu den Flächenelektroden stehenden Richtung überlappt u2. Die Abschirmung 3a erstreckt sich zumindest bis an den elektrisch nichtleitenden Isolatorbereich des Abstandhalters.
Für die Funktion als erfindungsgemäßer Abstandhalter muss zumindest ein Element des gezeigten Beispiels elektrisch nichtleitend ausgebildet sein oder zumindest ein elektrisch nichtleitend Isolatorbereich aufweisen der durch einen Teil einer Abschirmung abgeschirmt ist. Vorliegend sind alle drei Elemente elektrisch nichtleitend aus Keramik ausgebildet.
Die 10 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines Abstandhalters mit einer Abschirmungsbefestigung. Die Abschirmung 3 ist in diesem Beispiel über einen Flansch 5 mit der Flächenelektrode 1b befestigt. Der Flansch 5, insbesondere ein loser Flansch, ist ebenso wie die Flächenelektrode 1b mit Bohrungen ausgeführt, durch diese Bohrungen werden Schrauben hindurchgeführt welche, mit Schraubenmuttern, insbesondere Kontermuttern, zur Befestigung der Abschirmung an der Flächenelektrode dienen. Der Abstandhalter besitzt in diesem Ausführungsbeispiel die gleichen Eigenschaften wie im ersten Ausführungsbeispiel in 1 gezeigt.
Bezugszeichenliste

1a: erste Flächenelektrode
1b: zweite Flächenelektrode
2: Stützelement
3: Abschirmung
3a: erste Abschirmung
3b: zweite Abschirmung
3c: dritte Abschirmung
4: Halteelement
5: Flansch
6: Bodenplatte
7: Führung
7a: erste Flächenelektrodenführung
7b: zweite Flächenelektrodenführung

Claims

Elektrodenanordnung zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht, mit zumindest zwei parallel angeordneten Flächenelektroden (1a,1b) und zumindest einem Abstandhalter, wobei die zwei Flächenelektroden (1a,1 b) durch den Abstandhalter beabstandet sind und der Abstandhalter zumindest einen elektrisch isolierenden Isolatorbereich aufweist, um eine elektrisch leitende Verbindung der Flächenelektroden durch den Abstandhalter zu vermeiden, wobei der Abstandhalter mit einer Seite an einer der zwei Flächenelektroden (1a,1b) und mit einer gegenüberliegenden Seite an der anderen der zwei Flächenelektroden (1a,1b) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstandhalter mindestens eine Abschirmung (3) aufweist, wobei die Abschirmung (3) derart angeordnet ist, dass zumindest ein Teilbereich des Isolatorbereichs mittels der Abschirmung (3) abgeschirmt ist und wobei die Abschirmung (3) zu zumindest einer der beiden Flächenelektroden (1a,1b) beabstandet ist.
Elektrodenanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (3) mit dem Isolatorbereich des Abstandhalters überlappt, insbesondere in einer senkrecht zu den Flächenelektroden (1a,1b) stehenden Richtung überlappt.
Elektrodenanordnung nach Anspruch einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (3) sich zumindest bis an den Isolatorbereich des Abstandhalters erstreckt.
Elektrodenanordnung nach Anspruch einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen Abschirmung (3) und Isolatorbereich kleiner 10 mm, bevorzugt kleiner 1 mm, insbesondere bevorzugt kleiner 0,5 mm ist und/oder dass der Abstand zwischen Abschirmung (3) Isolatorbereich (2) größer 0,01 mm, bevorzugt größer 0,05 mm ist.
Elektrodenanordnung nach Anspruch einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen Abschirmung (3) und Flächenelektrode (1a, 1b) kleiner 10 mm, bevorzugt kleiner 1 mm, insbesondere bevorzugt kleiner 0,5 mm ist und/oder dass der Abstand zwischen Abschirmung (3) und Flächenelektrode (1a,1b) größer 0,01 mm, bevorzugt größer 0,05 mm ist.
Elektrodenanordnung nach Anspruch einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstandhalter eine zweite Abschirmung (3b) aufweist, die zweite Abschirmung (3b) mit der ersten Abschirmung (3) überlappt, die zweite Abschirmung (3b) zu der ersten Abschirmung (3) beabstandet ist und die zweite Abschirmung (3b) zumindest zu einer Flächenelektrode (1a,1b) beabstandet ist.
Elektrodenanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Abschirmung (3b) mit der ersten Abschirmung (3) in einer senkrecht zu den Flächenelektroden (1a,1 b) stehenden Richtung überlappt.
Elektrodenanordnung nach Anspruch einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstandhalter und die Flächenelektroden (1a,1 b) Führungen (7,7a,7b) aufweisen, um eine geradlinige Führungsstange die Führungen (7,7a,7b) durchdringend anzuordnen.
Elektrodenanordnung nach Anspruch einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstandhalter mehrteilig ausgebildet ist.
Elektrodenanordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstandhalter eine Platte, bevorzugt Bodenplatte (6) insbesondere Deckplatte und ein Stützelement (2) mit einem gegenüber der Platte, bevorzugt Bodenplatte (6) insbesondere Deckplatte geringeren Umfang aufweist, insbesondere, dass das Stützelement (2) und die Abschirmung (3) an der Platte, bevorzugt Bodenplatte (6) insbesondere Deckplatte angeordnet sind.
Elektrodenanordnung nach Anspruch einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstandhalter ein elektrisch nichtleitendes Stützelement (2) aufweist, welches aus Keramik, bevorzugt aus gebrannter Keramik ausgebildet ist.
Elektrodenanordnung nach Anspruch einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstandhalter und die Abschirmung (3) einen Kanal ausbilden der bevorzugt einseitig geschlossen ist.
Verfahren zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht, mit den Verfahrensschritten A. Bereitstellen von zumindest zwei parallelen Flächenelektroden (1a,1b), welche durch mindestens ein Abstandhalter voneinander beabstandet sind; B. Anordnen zumindest eines Werkstücks auf zumindest einer Flächenelektrode (1a,1b); C. Ausbilden eines alternierenden elektrischen Feldes zwischen den Elektroden und Beschichten der Werkstücke mit einer elektrisch leitfähigen Schicht; wobei Abstandhalter verwendet wird, der zumindest einen elektrisch isolierenden Isolatorbereich aufweist, um eine elektrisch leitende Verbindung der Flächenelektroden durch den Abstandhalter zu vermeiden undder Abstandhalter mit einer Seite an einer der zwei Flächenelektroden (1a,1b) und mit einer gegenüberliegenden Seite an der anderen der zwei Flächenelektroden (1a, 1b) angeordnet wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstandhalter mindestens eine Abschirmung (3) aufweist, wobei die Abschirmung (3) derart angeordnet ist, dass zumindest ein Teilbereich des Isolatorbereichs mittels der Abschirmung (3) abgeschirmt ist, wobei die Abschirmung (3) zu zumindest einer der beiden Flächenelektroden (1a,1b) beabstandet ist.
Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass in Verfahrensschritt C die Beschichtung mittels chemischer Gasphasenabscheidung, insbesondere mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung erfolgt.
Verwendung einer Elektrodenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12 zur Beschichtung eines Werkstücks, insbesondere mittels chemischer Gasphasenabscheidung.