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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ultraschallbonden umfassend eine Ultraschallspannungsquelle, welche eingerichtet ist zur Bereitstellung einer elektrischen Wechselspannung mit einer Frequenz von 35 kHz oder mehr, und umfassend einen mit der Ultraschallspannungsquelle wirkverbundenen Ultraschalltransducer mit einem elektromechanischen Wandler, welcher wenigstens ein piezoelektrisches Schwingelement aufweist, wobei das piezoelektrische Schwingelement mittels der elektrischen Wechselspannung zu Ultraschallschwingungen anregbar ist, mit einer Aufnahme für ein Bondwerkzeug und mit einer Halterung zum Festlegen des Ultraschalltransducers.
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Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Ultraschallbonden, wobei ein elektromechanischer Wandler mit wenigstens einem piezoelektrischen Schwingelement mittels einer Wechselspannung, die von einer Ultraschallspannungsquelle mit einer Frequenz von wenigstens 35 kHz bereitgestellt wird, zu Ultraschallschwingungen angeregt wird.
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Üblicherweise sind Vorrichtungen zum Ultraschallbonden heute auf eine einzige Betriebs- beziehungsweise Schwingungsfrequenz ausgelegt, die beispielsweise bei 40 kHz, 60 kHz, 90 kHz oder 120 kHz liegt und der Resonanzfrequenz des elektromechanischen Wandlers entspricht, welcher durch die Ultraschallspannungsquelle zu Ultraschallschwingungen angeregt wird. In der Produktionspraxis ist es dabei bis heute aufwendig, elektromechanische Wandler mit einer exakt gleichen Eigenfrequenz bereitzustellen. Bereits kleine Fertigungstoleranzen oder Varianzen in Bezug auf das piezoelektrische Material können hier zu einer Verschiebung der Resonanzfrequenz führen. Zudem ist zu berücksichtigen, dass auch Eigenschaften der Bondperipherie, beispielsweise die Eigenschaften des Substrats beziehungsweise eines Substratträgers, beziehungsweise die Eigenschaften eines zur Schwingungsentkopplung beziehungsweise thermischen Entkopplung verwendeten weichen Klebstoffs die Schwingungseigenschaften beeinflussen können. Im Extremfall wird die Betriebsfrequenz sich bei jeder einzelnen Bondstelle unterscheiden.
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Da ein Betrieb der Vorrichtung zum Ultraschallbonden in der Resonanzfrequenz erhebliche energetische Vorteile hat, Blindleistung vermeidet und zudem durch die Rückwirkung des Prozesses auf die Resonanzfrequenz eine sensible Prozessüberwachung ermöglicht, ist man bestrebt, die Betriebsfrequenz in den Bereich der Resonanzfrequenz zu legen. Da je nach Anwendung bestimmte Betriebsfrequenzen zu vermeiden sind, um beispielsweise die Anregung von Resonanzschwingungen zu vermeiden oder Vorgaben an die Güte einer Bondverbindung zu erreichen, ist man in der Praxis bemüht, den Betrieb bei unterschiedlichen Betriebs- beziehungsweise Resonanzfrequenzen zu ermöglichen. Beispielsweise ist es hier bekannt, dass Hersteller von Ultraschallbondern für ein und denselben Maschinentyp unterschiedliche Ultraschalltransducer beziehungsweise elektromechanische Wandler anbieten, welche ausgetauscht werden können und unterschiedliche Resonanzfrequenzen aufweisen. Es ist insofern möglich, den Ultraschallbonder bei unterschiedlichen Frequenzen energetisch vorteilhaft zu betreiben.
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Überdies ist aus der
US 5 578 888 A bekannt, einen elektromechanischen Wandler mit zwei nutzbaren Resonanzfrequenzen vorzusehen. Diese sind konstruktiv bedingt und nach der Herstellung des Wandlers aufgrund der konstruktiven Randbedingungen, der Fertigungs- und Montagetoleranzen festgelegt.
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Aus der
DE 10 2004 057 423 B4 ist bekannt, den Ultraschalltransducer beziehungsweise den elektromechanischen Wandler mit einem zusätzlichen piezoelektrischen Schwingelement auszustatten. Das zusätzliche Schwingelement wird separat angesteuert und zum Abstimmen beziehungsweise Einstellen der Resonanzfrequenz des Ultraschalltransducers verwendet.
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Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein Verfahren für das Ultraschallbonden so weiterzubilden, dass ein resonanter Betrieb bei einer einstellbaren Arbeitsfrequenz möglich ist.
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Zur Lösung der Aufgabe ist die Erfindung in Verbindung mit dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 dadurch gekennzeichnet, dass parallel und/oder in Reihe zu dem elektromechanischen Wandler eine kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe angeordnet ist, welche eingerichtet ist zum Bereitstellen einer Gesamtresonanzfrequenz und/oder einer Gesamtantiresonanzfrequenz eines den elektromechanischen Wandler und die Schaltungsbaugruppe umfassenden Anregesystems oberhalb und/oder unterhalb einer Resonanzfrequenz und/oder einer Antiresonanzfrequenz des elektromechanischen Wandlers.
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Der besondere Vorteil der Erfindung besteht darin, dass durch die Hinzunahme der kapazitiv und/oder induktiv wirkenden Schaltungsbaugruppe ein diese Baugruppe sowie den elektromechanischen Wandler umfassendes Anregesystem mit einer Gesamtresonanzfrequenz und/oder einer Gesamtantiresonanzfrequenz bereitgestellt wird, welche von der Resonanzfrequenz beziehungsweise Antiresonanzfrequenz des elektromechanischen Wandlers abweicht. Es ist insofern möglich, durch Änderungen an der Schaltungsbaugruppe die Gesamtresonanzfrequenz beziehungsweise Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems zu variieren. Auf Modifikationen an dem elektromechanischen Wandler oder einen Austausch desselben kann insofern verzichtet werden. Beispielsweise kann die erfindungsgemäße Vorrichtung dazu dienen, nominell gleiche Ultraschalltransducer, die aufgrund von Fertigungstoleranzen unterschiedliche Resonanzfrequenzen aufweisen, durch die geeignete Gestaltung der kapazitiv und/oder induktiv wirkenden Schaltungsbaugruppe einander anzugleichen und mit gleichen Gesamtresonanz- und/oder Gesamtantiresonanzfrequenzen zu realisieren. Zugleich bedarf es keiner Erweiterung des elektromechanischen Wandlers um weitere Schwingelemente, so dass die auch durch das piezoelektrische Material getriebenen Kosten des Ultraschalltransducers vergleichsweise gering gehalten werden können.
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Die Betriebsfrequenz der erfindungsgemäßen Vorrichtung für das Ultraschallbonden kann im Bereich der Gesamtresonanzfrequenz des Anregesystems gerade so gewählt werden, dass kritische Schwingungsfrequenzen, bei denen beispielsweise das Bondgut oder eine Bondgutaufnahme zu Schwingungen angeregt wird, vermieden werden. Beim Betrieb in der Gesamtantiresonanzfrequenz können bei geringen Strömen hohe Spannungen und damit hohe Leistungen vorgesehen werden.
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Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind zur Bildung der kapazitiven und/oder induktiv wirkenden Schaltungsbaugruppe eine Kapazität und/oder eine Induktivität in Reihe und/oder parallel zu dem elektromechanischen Wandler des Transducers verschaltet. Dabei kann durch das Anordnen einer Kapazität in Reihe zu dem elektromechanischen Wandler die Gesamtresonanzfrequenz des Anregesystems gegenüber der Resonanzfrequenz des elektromechanischen Wandlers angehoben werden, wohingegen das Anordnen einer Induktivität in Reihe zu dem elektromechanischen Wandler ein Sinken der Gesamtresonanzfrequenz des Anregesystems gegenüber der Resonanzfrequenz des elektromechanischen Wandlers bewirkt. Wird eine Induktivität parallel zu dem elektromechanischen Wandler verschaltet, steigt die Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems im Vergleich zur Antiresonanzfrequenz des elektromechanischen Wandlers. Eine parallel zu dem elektromechanischen Wandler verschaltete Kapazität bewirkt demgegenüber ein Sinken der Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems unter das Niveau der Antiresonanzfrequenz des elektromechanischen Wandlers. Darüber hinaus ist es möglich, die Parallelverschaltung beziehungsweise Reihenanordnung von Kapazitäten und Induktivitäten zu kombinieren. Beispielsweise können eine Induktivität in Reihe zu dem elektromechanischen Wandler und eine Kapazität parallel zu dem elektromechanischen Wandler verschaltet werden. In diesem Fall sinken die Gesamtresonanz- und die Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems gegenüber der Resonanz- und Antiresonanzfrequenz des elektromechanischen Wandlers.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung kann die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe einen Operationsverstärker aufweisen und/oder als Gyratorschaltung realisiert sein. Insbesondere kann vorgesehen sein, dass die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe Einstellmittel vorsieht zum Bereitstellen einer einstellbaren Kapazität und/oder Induktivität. Als Einstellmittel kann beispielsweise ein einstellbarer Widerstand dienen. Vorteilhaft wird es hierdurch möglich, die Gesamtresonanzfrequenz einzustellen und/oder während des Betriebs zu verändern. So ist es möglich, die optimale Betriebsfrequenz für jede Bondstelle individuell zu ermitteln beziehungsweise zu wählen oder die Betriebsfrequenz im laufenden Prozess zu ändern.
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Zur Lösung der Aufgabe weist die Erfindung die Merkmale des nebengeordneten Patentanspruchs 10 auf. Demzufolge wird eine kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe parallel und/oder in Reihe zu dem elektromechanischen Wandler verschaltet und eine Gesamtresonanzfrequenz und/oder Gesamtantiresonanzfrequenz eines den elektromechanischen Wandler und die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe umfassenden Anregesystems gegenüber einer Resonanzfrequenz und/oder Antiresonanzfrequenz des elektromechanischen Wandlers verschoben, das heißt angehoben und/oder abgesenkt.
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Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird die Gesamtresonanzfrequenz und/oder die Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems durch ein Einstellmittel der kapazitiv und/oder induktiv wirkenden Schaltungsbaugruppe eingestellt, verändert beziehungsweise justiert. Insbesondere kann als Einstellmittel ein einstellbarer beziehungsweise variabler Widerstand vorgesehen sein.
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Die erfindungsgemäße Vorrichtung und/oder das erfindungsgemäße Verfahren für das Ultraschallbonden werden insbesondere für das Ultraschalldrahtbonden verwendet. Insbesondere werden die erfindungsgemäße Vorrichtung und/oder das erfindungsgemäße Verfahren für das Ultraschalldünndrahtbonden bei Betriebsfrequenzen von 55 kHz bis 250 kHz und Leistungen bis 5 W verwendet.
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Aus den weiteren Unteransprüchen und der nachfolgenden Beschreibung sind weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung zu entnehmen. Dort erwähnte Merkmale können jeweils einzeln für sich oder auch in beliebiger Kombination erfindungswesentlich sein. Erfindungsgemäß beschriebene Merkmale und Details der Vorrichtung gelten selbstverständlich auch im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und umgekehrt. So kann auf die Offenbarung zu den einzelnen Erfindungsaspekten stets wechselseitig Bezug genommen werden. Die Zeichnungen dienen lediglich beispielhaft der Klarstellung der Erfindung und haben keinen einschränkenden Charakter.
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Es zeigen:
- 1 ein Schaltbild einer aus dem Stand der Technik bekannten Vorrichtung für das Ultraschallbonden mit einer Ultraschallspannungsquelle und einem elektromechanischen Wandler, der als Teil eines Ultraschalltransducers realisiert ist,
- 2 ein Graph mit dem Verlauf der über der Frequenz aufgetragenen Admittanz des elektromechanischen Wandlers nach 1,
- 3 das Verhältnis zwischen benötigter Spannung außerhalb der Resonanz und der Spannung im resonanten Betrieb für konstante mechanische Amplituden,
- 4 die frequenzabhängige Zunahme der Blindleistung bezogen auf die Wirkleistung des elektromechanischen Wandlers,
- 5 das Schaltbild einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung für das Ultraschallbonden mit der Ultraschallspannungsquelle, dem elektromechanischen Wandler und einer kapazitiv und/oder induktiv wirkenden Schaltungsbaugruppe,
- 6 die über der Frequenz aufgetragene Admittanz eines die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe sowie den elektromechanischen Wandler umfassenden Anregesystems der Vorrichtung nach 5,
- 7 das Schaltbild einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung für das Ultraschallbonden mit der Ultraschallspannungsquelle, dem elektromechanischen Wandler und einer kapazitiv und/oder induktiv wirkenden Schaltungsbaugruppe,
- 8 die über der Frequenz aufgetragene Admittanz des die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe sowie den elektromechanischen Wandler umfassenden Anregesystems der Vorrichtung nach 7,
- 9 das Schaltbild einer dritten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung für das Ultraschallbonden mit der Ultraschallspannungsquelle, dem elektromechanischen Wandler und einer kapazitiv und/oder induktiv wirkenden Schaltungsbaugruppe,
- 10 die über der Frequenz aufgetragene Admittanz des die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe sowie den elektromechanischen Wandler umfassenden Anregesystems der Vorrichtung nach 9,
- 11 das Schaltbild einer vierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung für das Ultraschallbonden mit der Ultraschallspannungsquelle, dem elektromechanischen Wandler und einer kapazitiv und/oder induktiv wirkenden Schaltungsbaugruppe,
- 12 die über der Frequenz aufgetragene Admittanz des die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe sowie den elektromechanischen Wandler umfassenden Anregesystems der Vorrichtung nach 11,
- 13 das Schaltbild einer fünften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung für das Ultraschallbonden mit der Ultraschallspannungsquelle, dem elektromechanischen Wandler und einer kapazitiv und/oder induktiv wirkenden Schaltungsbaugruppe,
- 14 die über der Frequenz aufgetragene Admittanz des die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe sowie den elektromechanischen Wandler umfassenden Anregesystems der Vorrichtung nach 13,
- 15 das Schaltbild einer sechsten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung für das Ultraschallbonden, wobei eine Gyratorschaltung als kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe vorgesehen ist und
- 16 die über der Frequenz aufgetragene Admittanz des die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe sowie den elektromechanischen Wandler umfassenden Anregesystems der Vorrichtung nach 15.
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Eine konventionelle, aus dem Stand der Technik bekannte Vorrichtung für das Ultraschallbonden gemäß 1 umfasst eine Ultraschallspannungsquelle 1 und einen elektromechanischen Wandler 2, der als Teil eines Ultraschalltransducers realisiert ist und wenigstens ein piezoelektrisches Schwingelement aufweist. Der elektromechanische Wandler 2 ist wirkverbunden mit der Ultraschallspannungsquelle 1.
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Beim Betrieb der Vorrichtung wird mittels der Ultraschallspannungsquelle 1 eine elektrische Wechselspannung mit einer Frequenz von 35 kHz oder mehr bereitgestellt. Das piezoelektrische Schwingelement wird mittels der elektrischen Wechselspannung zu Ultraschallschwingungen angeregt und regt seinerseits ein in einer Aufnahme des Ultraschalltransducers vorgesehenes Bondwerkzeug zu Schwingungen an. Beispielsweise ist das Bondwerkzeug langgestreckt ausgebildet und führt Biegeschwingungen aus. Der Ultraschalltransducer ist über eine Halterung desselben an einem die Vorrichtung aufweisenden Ultraschallbonder und insbesondere an einem verfahrbaren Bondkopf des Ultraschallbonders festgelegt.
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Eine Arbeits- beziehungsweise Betriebsfrequenz der Vorrichtung ist üblicherweise so gewählt, dass eine resonante Anregung des elektromechanischen Wandlers 2 im Bereich einer Resonanzfrequenz fro des elektromechanischen Wandlers 2 erfolgt. In der Resonanz ist eine durch das Verhältnis des Stroms zur Anregespannung definierte Admittanz besonders hoch. Oberhalb der Resonanzfrequenz fr0 liegt eine Antiresonanzfrequenz fao des elektromechanischen Wandlers.
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Beim Betrieb der Vorrichtung für das Ultraschallbonden ist eine resonante Anregung vorteilhaft. Beispielsweise ist in den 3 und 4 dargestellt, dass bei der Resonanzfrequenz die Spannung zum Anregen der Schwingung gering ist, wohingegen die Anregespannung außerhalb der Resonanzfrequenz deutlich steigt. Ebenso ist die Blindleistung bei einem resonanten oder antiresonanten Betrieb sehr gering und steigt außerhalb der Resonanz beziehungsweise Antiresonanz deutlich.
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Neben den energetischen Vorteilen bietet der resonante Betrieb darüber hinaus eine gute Voraussetzung für die Prozessbeobachtung. Bereits geringe Abweichungen der Prozessparameter können detektiert werden mit der Folge, dass eine zuverlässige Aussage über die Qualität des Bondprozesses und die elektrische Verbindung hergeleitet werden kann.
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Eine erste erfindungsgemäße Vorrichtung für das Ultraschallbonden nach der 5 sieht nun vor, dass zwischen der Ultraschallspannungsquelle 1 und dem elektromechanischen Wandler 2 des Transducers eine kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe 3 vorgesehen ist. Die Schaltungsbaugruppe 3 ist im vorliegenden Ausführungsbeispiel als Kondensator realisiert.
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Das der erfindungsgemäßen Vorrichtung nach 5 zugeordnete Diagramm nach 6 zeigt die Admittanz über der Frequenz. Zu erkennen ist, dass die Gesamtresonanzfrequenz eines die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe 3 sowie den elektromechanischen Wandler 2 umfassenden Anregesystems zu höheren Frequenzen verschoben ist im Vergleich zu dem Grundsystem nach 1 beziehungsweise der Resonanzfrequenz fr0 des elektromechanischen Wandlers 2 (vgl. 2). Hierfür verantwortlich ist die in Reihe zu dem elektromechanischen Wandler 2 verschaltete Kapazität 3. Die Antiresonanzfrequenz fao des elektromechanischen Wandlers 2 entspricht der Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems. Die Kapazität 3 hat insofern keinen Einfluss auf die Gesamtantiresonanzfrequenz.
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Die 7 zeigt eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung für das Ultraschallbonden. In 8 ist das der zweiten Ausführungsform zugeordnete Diagramm der Admittanz über der Frequenz dargestellt.
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Bei der zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist zwischen der Ultraschallspannungsquelle 1 und dem elektromechanischen Wandler 2 eine Induktivität als kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe 3 vorgesehen. Das Vorsehen der in Reihe geschalteten Induktivität 3 sorgt dafür, dass die Gesamtresonanzfrequenz des Anregesystems gegenüber der Resonanzfrequenz fr0 des elektromechanischen Wandlers 2 sinkt. Die Antiresonanzfrequenz fao des elektromechanischen Wandlers 2 bleibt auch hier unverändert und entspricht der Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems.
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Eine dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung für das Ultraschallbonden nach 9 ist so aufgebaut, dass eine parallel zu dem elektromechanischen Wandler 2 verschaltete Induktivität als kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe 3 vorgesehen ist. Wie in 10 dargestellt verschiebt sich die Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems gegenüber der Antiresonanzfrequenz fao des elektromechanischen Wandlers 2 zu höheren Frequenzwerten.
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In analoger Weise ergibt sich für ein viertes Ausführungsbeispiel der Erfindung nach den 11 und 12, dass eine parallel zu dem elektromechanischen Wandler 2 verschaltete Kapazität als kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe 3 die Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems gegenüber der Antiresonanzfrequenz fao des elektromechanischen Wandlers 2 absenkt.
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Nach einer fünften Ausführungsform der Erfindung gemäß der 13 und 14 ist die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe 3 vorgesehen mit einem in Reihe zu dem elektromechanischen Wandler 2 der erfindungsgemäßen Vorrichtung verschalteten Kondensator und einer parallel hierzu angeordneten Induktivität. Die Gesamtresonanzfrequenz ist aufgrund des in Reihe geschalteten Kondensators zu höheren Frequenzen verschoben. Zudem ist die Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems gegenüber der Antiresonanzfrequenz fao des elektromechanischen Wandlers zu höheren Frequenzwerten verschoben. Ursächlich hierfür ist die parallel zu dem elektromechanischen Wandler 2 verschaltete Induktivität der kapazitiv und/oder induktiv wirkenden Schaltungsbaugruppe 3. Die gegenüber der Antiresonanzfrequenz fao erhöhte Gesamtantiresonanz bewirkt einen größeren Abstand zwischen Gesamtresonanz- und Gesamtantiresonanzfrequenz, was die Robustheit einer Frequenzregelung für den Betrieb in der Gesamtresonanzfrequenz erhöht.
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Nach einer sechsten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung für das Ultraschallbonden gemäß der 15 und 16 ist als kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe 3 eine Gyratorschaltung mit einem Operationsverstärker 5 und einem einstellbaren Widerstand 4 vorgesehen. Die Schaltungsbaugruppe 3 erlaubt dabei durch eine Variation des einstellbaren Widerstands 4, eine in Bezug auf ihre Größe variable, in Reihe zu dem elektromechanischen Wandler 2 geschaltete Induktivität nachzubilden. Es ist insofern möglich, die Gesamtresonanzfrequenz des den elektromechanischen Wandlers 2 und die kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe 3 umfassenden Anregesystems gegenüber der Resonanzfrequenz fr0 des elektromechanischen Wandlers 2 zu niedrigeren Frequenzwerten zu verschieben.
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Die Erfindung ist nicht auf die dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt. Beispielsweise kann die Gyratorschaltung so aufgebaut sein, dass sie eine in Reihe zu dem elektromechanischen Wandler 2 geschaltete Kapazität nachbildet, um so die Gesamtresonanzfrequenz gegenüber der Resonanzfrequenz fr0 des elektromechanischen Wandlers 2 zu höheren Frequenzwerten zu verschieben, und/oder sie kann als kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppe 3 parallel zu dem elektromechanischen Wandler 2 verschaltet werden zur Beeinflussung der Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems. Ebenso ist es möglich, in beliebiger Kombination kapazitiv und/oder induktiv wirkende Schaltungsbaugruppen 3 gemeinsam in Reihe und parallel vorzusehen. Darüber hinaus versteht sich der einstellbare Widerstand 4 nur als ein Beispiel für ein erfindungsgemäßes Einstellmittel der Schaltungsbaugruppe 3. Die Gyratorschaltung kann auf den einstellbaren Widerstand 4 verzichten.
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Ein erfindungsgemäßes Verfahren für das Ultraschallbonden kann beispielsweise vorsehen, dass im laufenden Bondprozess über das einstellbare Einstellmittel der kapazitiv und/oder induktiv wirkenden Schaltungsbaugruppe 3 die Gesamtresonanzfrequenz und/oder die Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems verschoben und die Arbeitsfrequenz des Prozesses entsprechend angepasst werden kann. Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass eine Anpassung der Gesamtresonanz- und/oder Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems zu Beginn eines Arbeitszyklus erfolgt und während des Arbeitszyklus eine Veränderung der Gesamtresonanz- und/oder Gesamtantiresonanzfrequenz nicht stattfindet. Beispielsweise kann die Gesamtresonanz- und/oder Gesamtantiresonanzfrequenz für jede Bondstelle neu eingestellt werden. Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass zur Änderung beziehungsweise Einstellung der Gesamtresonanzfrequenz und/oder der Gesamtantiresonanzfrequenz des Anregesystems die Schaltungsbaugruppe 3 ausgetauscht oder modifiziert wird.
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Gleiche Bauteile und Bauteilfunktionen sind durch gleiche Bezugszeichen gekennzeichnet.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- US 5578888 A [0005]
- DE 102004057423 B4 [0006]
