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Stand der Technik
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Aus dem Stand der Technik ist eine Vielzahl von Sensorelementen und Verfahren zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum bekannt. Dabei kann es sich grundsätzlich um beliebige physikalische und/oder chemische Eigenschaften des Messgases handeln, wobei eine oder mehrere Eigenschaften erfasst werden können. Die Erfindung wird im Folgenden insbesondere unter Bezugnahme auf eine qualitative und/oder quantitative Erfassung eines Anteils einer Gaskomponente des Messgases beschrieben, insbesondere unter Bezugnahme auf eine Erfassung eines Sauerstoffanteils in dem Messgasteil. Der Sauerstoffanteil kann beispielsweise in Form eines Partialdrucks und/oder in Form eines Prozentsatzes erfasst werden. Alternativ oder zusätzlich sind jedoch auch andere Eigenschaften des Messgases erfassbar, wie beispielsweise die Temperatur.
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Aus dem Stand der Technik sind insbesondere keramische Sensorelemente bekannt, welche auf der Verwendung von elektrolytischen Eigenschaften bestimmter Festkörper basieren, also auf Ionen leitenden Eigenschaften dieser Festkörper. Insbesondere kann es sich bei diesen Festkörpern um keramische Festelektrolyte handeln, wie beispielsweise Zirkoniumdioxid (ZrO2), insbesondere yttriumstabilisiertes Zirkoniumdioxid (YSZ) und scandiumdotiertes Zirkoniumdioxid (ScSZ), die geringe Zusätze an Aluminiumoxid (Al2O3) und/oder Siliziumoxid (SiO2) enthalten können.
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Beispielsweise können derartige Sensorelemente als so genannte Lambdasonden oder als Stickoxidsensoren ausgestaltet sein, wie sie beispielsweise aus K. Reif, Dietsche, K-H. et al., Kraftfahrtechnisches Taschenbuch, Springer Vieweg, Wiesbaden, 2014, Seiten 1338 -1347, bekannt sind. Mit Breitband-Lambdasonden, insbesondere mit planaren Breitband-Lambdasonden, kann beispielsweise die Sauerstoffkonzentration im Abgas in einem großen Bereich bestimmt und damit auf das Luft-Kraftstoff-Verhältnis im Brennraum geschlossen werden. Die Luftzahl λ (Lambda) beschreibt dieses Luft-Kraftstoff-Verhältnis. Stickoxidsensoren bestimmen sowohl die Stickoxid- als auch die Sauerstoffkonzentration im Abgas.
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Trotz der Vorteile der aus dem Stand der Technik bekannten Sensorelemente beinhalten diese noch Verbesserungspotenzial. So wird bei den Sensorelementen aus dem genannten Stand der Technik die Schutzschicht mit dem Gettermaterial ausschließlich auf einer dem Festelektrolytkörper abgewandten Seite der Elektroden vorgesehen, die dem Messgas aussetzbar ist, um eine Vergiftung durch kritische Bestandteile von Abgas von Verbrennungsmotoren vorzusehen. Gemäß heutigem Stand der Technik werden Sinterhilfsmittel, wie zum Beispiel Siliziumoxid, dem zu sinternden Grünköper des Festelektrolyten hinzugefügt, um beim Sintern eine viskose Glasphase zwischen den einzelnen Partikeln (Matrix) zu erzeugen. Diese sorgt bei hohen Temperaturen für eine bessere Sinterung, da die Körner aneinander vorbeigleiten können. Eine wesentliche Schwachstelle, insbesondere in Hinsicht auf die Robustheit gegen Vergiftung, bilden dabei allerdings die Elektroden, die von den Sinterhilfsmitteln angegriffen werden können. So sorgt zum Beispiel Siliziumdioxid an Elektroden, zum Beispiel aus Platin, zu einer Vergiftung in Form einer Verringerung der Dreiphasengrenzen, da sich die viskose Glasphase auf die Elektroden setzt.
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Offenbarung der Erfindung
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Es werden daher ein Sensorelement zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum und ein Verfahren zum Herstellen desselben vorgeschlagen, welche die Nachteile bekannter Sensorelemente zumindest weitgehend vermeiden und die insbesondere geeignet sind, eine Vergiftung von Elektroden durch Sinterhilfsmittel zu vermeiden.
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Ein erfindungsgemäßes Sensorelement zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum, insbesondere zur Erfassung eines Anteils einer Gaskomponente in dem Messgas oder einer Temperatur des Messgases, umfasst einen Festelektrolytkörper, mindestens eine Elektrode und mindestens eine Funktionsschicht, wobei die Elektrode mittels der Funktionsschicht mit dem Festelektrolytkörper verbunden ist, wobei die Funktionsschicht zumindest auf einer dem Festelektrolytkörper zugewandten Seite der Elektrode angeordnet ist, wobei die Funktionsschicht aus einem Material hergestellt ist, das ein Gettermaterial umfasst.
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Durch das Vorsehen der Funktionsschicht mit dem darin enthaltenen Gettermaterial zumindest auf der dem Festelektrolytkörper zugewandten Seite der Elektrode wird die Elektrode zuverlässig vor Vergiftung durch Bestandteile des Festelektrolytkörpers, wie beispielsweise Sinterhilfsmittel, zuverlässig vor Vergiftung geschützt.
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Die Elektrode kann in der Funktionsschicht eingebettet sein. Dadurch kann die Elektrode zuverlässiger vor Vergiftung durch Bestandteile des Festelektrolytkörpers, wie beispielsweise Sinterhilfsmittel, geschützt werden, da diese an mehr als einer Seite von der Funktionsschicht abgedeckt ist. Beispielsweise ist die Elektrode derart in der Funktionsschicht eingebettet, dass die Elektrode allseitig von der Funktionsschicht bedeckt ist. Dadurch ist die Elektrode allseitig vor Vergiftung geschützt.
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Die Funktionsschicht umfasst bevorzugt weiterhin ein Material, das identisch zu einem Material des Festelektrolytkörpers ist. Dadurch weisen das Material des Festelektrolytkörpers und der Funktionsschicht im Wesentlichen identische Sintereigenschaften auf, wodurch eine dauerstabile und feste Verbindung der Funktionsschicht mit dem Festelektrolytkörper realisiert ist.
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Das Gettermaterial kann in einem Anteil von 10 bis 35 Gew.-% und bevorzugt 15 bis 30 Gew.-% in die Funktionsschicht eingebracht sein. Dieser Anteil ist ausreichend für einen zuverlässigen Schutz vor Vergiftung.
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Das Gettermaterial umfasst mindestens ein Element ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Alkalimetall, Erdalkalimetall, Seltenerdenmetall und Übergangsmetall.
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Der Festelektrolytkörper kann zumindest teilweise aus Zirkoniumdioxid, insbesondere yttriumstabilisierten Zirkoniumdioxid, hergestellt sein, wobei das Gettermaterial Barium ist.
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Der Festelektrolytkörper kann mindestens ein Sinterhilfsmittel umfassen, wobei das Gettermaterial das Sinterhilfsmittel in einer energetisch stabilen Phase bindet. Eine solche Phase ist immobil und fließt auch bei hohen Temperaturen nicht weiter zu den Elektroden. Somit wird zuverlässig sichergestellt, dass keine kritischen Bestandteile des Festelektrolytkörpers zur Elektrode gelangen.
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Das Sinterhilfsmittel kann Silizium sein, wobei das Gettermaterial Barium umfasst, wobei die energetisch stabile Phase Celsian ist. Mit anderen Worten kann Barium in der Funktionsschicht zum Beispiel in Form von Bariumcarbonat das Silizium in einer energetisch stabilen und immobilen Phase von Celsian (Barium-Alumosilikat-Mineral) gebunden werden.
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Die Funktionsschicht kann eine Schichtdicke von 1µm bis 200µm und bevorzugt 2 µm bis 50 µm aufweisen.
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Die mindestens eine Funktionsschicht kann wiederum selbst aus mehreren Funktionsschichten hergestellt sein.
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Ein erfindungsgemäßes Verfahren zum Herstellen eines Sensorelements zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum, insbesondere zur Erfassung eines Anteils einer Gaskomponente in dem Messgas oder einer Temperatur des Messgases, umfasst die folgenden Schritte, bevorzugt in der angegebenen Reihenfolge:
- - Bereitstellen eines Festelektrolytkörpers,
- - Aufbringen mindestens einer Funktionsschicht auf den Festelektrolytkörper, wobei die Funktionsschicht aus einem Material hergestellt ist, das ein Gettermaterial umfasst,
- - Aufbringen mindestens einer Elektrode derart, dass sich die Funktionsschicht zumindest auf einer dem Festelektrolytkörper zugewandten Seite der Elektrode angeordnet ist, und
- - Sintern des Festelektrolytkörpers, der Elektrode und der Funktionsschicht, wobei die Elektrode mittels der Funktionsschicht mit dem Festelektrolytkörper verbunden wird.
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Die Funktionsschicht kann mittels Druckens auf den Festelektrolytköper aufgebracht werden, beispielsweise mittels Siebdruckens.
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Die Elektrode kann in der Funktionsschicht eingebettet werden. Beispielsweise wird die Elektrode derart in der Funktionsschicht eingebettet, dass die Elektrode allseitig von der Funktionsschicht bedeckt ist.
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Die Funktionsschicht umfasst bevorzugt weiterhin ein Material, das identisch zu einem Material des Festelektrolytkörpers ist.
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Das Gettermaterial kann in einem Anteil von 10 bis 35 Gew.-% und bevorzugt 15 bis 30 Gew.-% in die Funktionsschicht eingebracht werden. Dieser Anteil ist ausreichend für einen zuverlässigen Schutz vor Vergiftung.
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Das Gettermaterial umfasst mindestens ein Element ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Alkalimetall, Erdalkalimetall, Seltenerdenmetall und Übergangsmetall.
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Als Gettermaterialien können zu diesem Zweck Alkalimetalloxide, wie beispielsweise Li2O oder K2O, verwendet werden, die mit Silizium reagieren, Schmelzen oder Gläser mit dem Silizium bilden und so die Bindung von Silizium als Sinterhilfsmittel aus dem Festelektrolytköper und seine Immobilisierung unterstützen. Als weitere Gettermaterialien können Erdalkalimetalloxide, wie beispielsweise MgO, CaO, BaO, verwendet werden, die mit Silizium, Phosphoroxid, Schwefeloxid reagieren, Erdalkalimetallsilikate, -phosphate, - sulfate bilden und so die Bindung von anderen bestandteilen des Festelektrolytkörpers und ihre Immobilisierung unterstützen.
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Als weitere Gettermaterialien können Seltenerdenmetalloxide, wie beispielsweise Y2O3 oder Sc2O3, verwendet werden, die mit Silizium und Phosphor reagieren, um stabile Reaktionsprodukte, wie beispielsweise Y2Si2O7 oder YPO4, zu bilden und so die Bindung von diesen Bestandteilen aus dem Festelektrolytkörper und ihre Immobilisierung unterstützen.
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Als weitere Gettermaterialien können Übergangsmetalloxide, wie beispielsweise Titanoxid, Zirkonoxid, Nioboxid, Tantaloxid, verwendet werden, die mit Silizium und Phosphor reagieren, um stabile Reaktionsprodukte, wie beispielsweise Zirkonsilikate oder Niobphosphate, zu bilden und so die Bindung von diesen Bestandteilen aus dem Festelektrolytkörper und ihre Immobilisierung unterstützen.
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Als weitere Gettermaterialien können Al2O3 oder Ga2O3 verwendet werden, die mit basischen Bestandteilen, wie beispielsweise Manganoxid oder Erdalkalimetalloxide, sowie sauren Bestandteilen, wie beispielsweise Siliziumoxid oder Phosphoroxid, reagieren und so die Bindung von diesen Bestandteilen und ihre Immobilisierung unterstützen. Auch Mischungen der in den hier und in den Absätzen zuvor genannten Materialien können als Getter verwendet werden. Beispielsweise ist das Gettermaterial MgO.
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Der Festelektrolytkörper kann zumindest teilweise aus Zirkoniumdioxid, insbesondere yttriumstabilisierten Zirkoniumdioxid, hergestellt werden, wobei das Gettermaterial Barium ist.
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Der Festelektrolytkörper kann mindestens ein Sinterhilfsmittel umfassen, wobei das Gettermaterial eingerichtet ist, das Sinterhilfsmittel in einer energetisch stabilen Phase zu binden.
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Das Sinterhilfsmittel kann Siliziumdioxid sein, wobei das Gettermaterial Barium umfasst, wobei die energetisch stabile Phase Celsian ist. Mit anderen Worten kann Barium in der Funktionsschicht zum Beispiel in Form von Bariumcarbonat das Siliziumdisoxid in einer energetisch stabilen und immobilen Phase von Celsian (Barium-Alumosilikat-Mineral) gebunden werden.
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Die Funktionsschicht kann eine Schichtdicke von 1µm bis 200µm und bevorzugt 2 µm bis 50 µm aufweisen.
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Die mindestens eine Funktionsschicht kann wiederum selbst aus mehreren Funktionsschichten hergestellt werden.
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Unter einem Festelektrolytkörper ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Körper oder Gegenstand mit elektrolytischen Eigenschaften, also mit Ionen leitenden Eigenschaften, zu verstehen. Der Festelektrolytkörper kann aus mehreren Festelektrolyschichten oder -folien aufgebaut werden.
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Unter einer Funktionsschicht ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine Schicht zu verstehen, die die wesentlichen physikalischen, chemischen, elektrischen bzw. elektrochemischen Funktionen eines derartigen Sensorelements erfüllen kann. Beispiele dafür sind elektronenleitende oder ionenleitende Funktionen ebenso wie katalytische Eigenschaften bzw. Funktionen oder eine Eigenschaft bzw. eine Funktion als Sorptionsmittel bzw. als Getter. Schichten, die ausschließlich mechanische Eigenschaften oder Funktionen wie z.B. ein hohes Elastizitätsmodul oder eine mechanische Stabilität aufweisen sollen dagegen nicht unter den Begriff einer Funktionsschicht fallen.
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Unter einer Schicht ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine einheitliche Masse in flächenhafter Ausdehnung einer gewissen Höhe zu verstehen. Eine Schicht ist somit ein dreidimensionaler Körper, bei dem Abmessungen von zwei Dimensionen, die die flächenhafte Ausbildung der Schicht darstellen, deutlich größer als eine Abmessung der dritten Dimension ist, die die Höhe der Schicht darstellt.
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Unter einem Gettermaterial ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein chemisch reaktives Material zu verstehen, das dazu dient, bestimmte Teilchen, wie beispielsweise Ionen und Salze, zu binden. Dies ist beispielsweise erforderlich, um eine sogenannte „Vergiftung“ der Elektrode durch solche Teilchen aus dem Festelektrolyten zu vermeiden. Eine derartige Vergiftung kann dadurch entstehen, dass diese Teilchen bzw. Ionen bzw. Elemente an chemisch oder physikalisch aktiven Stellen der Elektrode anbinden und so fest gebunden sind, dass sie die Funktionalität blockieren. So führt beim bzw. bedingt durch Sintern zum Beispiel Siliziumdioxid aus dem Festelektrolyten an Elektroden, zum Beispiel aus Platin, zu einer Vergiftung in Form einer Verringerung der Dreiphasengrenzen zwischen Elektronenleiter, lonenleiter und der Gasphase, da sich die bildende viskose Glasphase auf die Elektroden setzt. An der Oberfläche eines Getters gehen die Teilchen mit den Atomen des Gettermaterials ebenfalls eine direkte chemische Verbindung ein oder die Teilchen werden durch Sorption festgehalten. Auf diese Weise werden Teilchen „eingefangen“, bevor sie die aktiven Orte der Funktionsschicht erreichen können. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung werden Getter eingesetzt, die hauptsächlich kritische Bestandteile des Festelektrolyten, wie beispielsweise Si, P, S, Mn, im Kristallgitter des Getteroxides mit dem entsprechenden Sauerstoff als „Bindungspartner“ fest einbauen und dann stabile stöchiometrische Verbindungen bilden.
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Unter einer Anordnung auf oder einem Aufbringen auf ein Bauteil ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine Anordnung oder ein Aufbringen in unmittelbarer oder mittelbarer Weise zu verstehen. Mit anderen Worten kann zwischen den beteiligten Bauteilen ein weiteres Bauteil vorgesehen sein. So bedeutet beispielsweise ein Aufbringen einer Funktionsschicht auf den Festelektrolyten, dass die Funktionsschicht unmittelbar, d. h. ohne weitere Bauteile dazwischen, oder mittelbar, d. h. mit weiteren Bauteilen dazwischen, angeordnet werden kann.
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Ein Grundgedanke der vorliegenden Erfindung ist das Vorsehen mindestens einer Schicht, die um die Elektrode(n), zum Beispiel durch das Siebdruckverfahren aufgebracht wird. Am Beispiel von Yttrium-stabilisiertem Zirkoniumdioxid (YSZ) wird Siliziumdioxid als Sinterhilfsmittel eingesetzt, so dass die zusätzliche Schicht auch aus YSZ bestehen sollte. Um das Siliziumdioxid während des Sintervorgangs von der (den) Elektrode(n) fernzuhalten, muss sich in der zusätzlichen Schicht eine Verbindung befinden, die zusammen mit Siliziumdioxid eine energetisch stabile Phase bildet, die auch bei hohen Temperaturen nicht weiter zu den Elektroden fließt. Im hier dargestellten Fall kann durch Barium in der zusätzlichen Schicht, zum Beispiel in Form von Bariumcarbonat, das Silizium in einer energetisch stabilen und immobilen Phase von Celsian (Barium-Alumosilikat-Mineral) gebunden werden. Wesentlicher Vorteil dieser zusätzlichen Schicht ist, dass man nicht auf Sinterhilfsmittel zur Herstellung von sehr dichten Keramiken verzichten muss, aber dennoch die Elektrode(n) geschützt werden kann (können). Der Nachweis der Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt über Rastelektronenmikroskopie oder über energiedispersive Röntgenspektroskopie, welche die Phase Celsian nach dem Sintern anzeigen würde.
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Figurenliste
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Weitere optionale Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele, welche in den Figuren schematisch dargestellt sind.
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Es zeigen:
- 1 eine Querschnittsansicht eines Verfahrensschrittes bei der Herstellung eines erfindungsgemäßen Sensorelements und
- 2 eine Querschnittsansicht eines abschließenden Verfahrensschritts bei der Herstellung des Sensorelements gemäß der Ausführungsform aus 1.
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Ausführungsformen der Erfindung
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1 zeigt eine Querschnittsansicht eines ersten Herstellungsschritts eines erfindungsgemäßen Sensorelements 10 gemäß einer ersten Ausführungsform. Das erfindungsgemäße Sensorelement 10 kann zum Nachweis von physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften eines Messgases verwendet werden, wobei eine oder mehrere Eigenschaften erfasst werden können. Die Erfindung wird im Folgenden insbesondere unter Bezugnahme auf eine qualitative und/oder quantitative Erfassung einer Gaskomponente des Messgases beschrieben, insbesondere unter Bezugnahme auf eine Erfassung eines Sauerstoffanteils in dem Messgas. Der Sauerstoffanteil kann beispielsweise in Form eines Partialdrucks und/oder in Form eines Prozentsatzes erfasst werden. Grundsätzlich sind jedoch auch andere Arten von Gaskomponenten erfassbar, wie beispielsweise Stickoxide, Kohlenwasserstoffe und/oder Wasserstoff. Alternativ oder zusätzlich sind jedoch auch andere Eigenschaften eines Messgases erfassbar. Die Erfindung ist insbesondere im Bereich der Kraftfahrzeugtechnik einsetzbar, so dass es sich bei dem Messgasraum insbesondere um einen Abgastrakt einer Brennkraftmaschine handeln kann und bei dem Messgas insbesondere um ein Abgas.
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Das erfindungsgemäße Sensorelement 10 kann dabei so ausgebildet sein, dass das Sensorelement 10 einen Festelektrolytkörper 12, mindestens eine Elektrode 14 und mindestens eine Funktionsschicht 16 aufweist. Lediglich beispielhaft befindet sich die Elektrode 14 im Inneren des Festelektrolytkörpers 12, wie beispielsweise einem Hohlraum oder Referenzgaskanal. Die Funktionsschicht 16 verbindet die Elektrode 14 mit dem Festelektrolytkörper 12. Über hier nicht dargestellte elektrische Leitungen ist die Elektrode 14 elektrisch kontaktiert. In 1 ist das Sensorelement 10 in einem Grünlingszustand dargestellt, d.h. vor dem Sintern.
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Das Sensorelement 10 kann wie folgt hergestellt werden. In an sich bekannter Weise wird ein Festelektrolytkörper 12 bereitgestellt. Der Festelektrolytkörper 12 kann aus mehreren Festelektrolytschichten 18, 20 ausgebildet werden, wie nachstehend ausführlicher beschrieben wird. Der Festelektrolytkörper 12 ist beispielsweise aus Zirkoniumdioxid (ZrO2), insbesondere yttriumstabilisiertes Zirkoniumdioxid (YSZ), hergestellt. Das Material des Festelektrolytkörpers 12 umfasst mindestens ein Sinterhilfsmittel 22, das als fein dispergierte Partikel vorliegen kann. Bei dem hier dargestellten Beispiel ist das Sinterhilfsmittel 22 Siliziumdioxid. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel wird auf eine erste Festelektrolytschicht 18 mindestens eine erste Funktionsschicht 16 aufgebracht, beispielsweise mittels Siebdruckens. Auf die erste Funktionsschicht 16 wird die Elektrode 14 aufgebracht, beispielsweise gedruckt. Die erste Funktionsschicht 16 befindet sich somit auf einer der ersten Festelektrolytschicht 18 bzw. dem Festelektrolytkörper 12 zugewandten Seite 24 der Elektrode 14. Die Elektrode 14 kann dabei in die Funktionsschicht 16 eingebettet werden, beispielsweise durch Aufdrucken einer zweiten Funktionsschicht 26, so dass die Elektrode 14 allseitig von den Funktionsschichten 16, 26 bedeckt ist. Entsprechend kann die Funktionsschicht selbst aus mehreren Funktionsschichten 16, 26 aufgebaut sein. Auf die zweite Funktionsschicht 26 wird eine zweite Festelektrolytschicht 20 aufgebracht, so dass sich die Elektrode 14 im Inneren des Festelektrolytkörpers 12 befindet. Die Funktionsschicht 16, 26 weist eine Schichtdicke von 1 µm bis 200 µm und bevorzugt 2 µm bis 50 µm auf, beispielsweise 45 µm.
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Die mindestens eine Funktionsschicht 16, 26 umfasst ein Gettermaterial und weiterhin ein Material, das identisch zu einem Material des Festelektrolytkörpers 12 ist. Das Gettermaterial ist in einem Anteil von 10 bis 35 Gew.-% und bevorzugt 15 bis 30 Gew.-% in die mindestens eine Funktionsschicht 16, 26 eingebracht. Grundsätzlich umfasst das Gettermaterial mindestens ein Element, das ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus: Alkalimetall, Erdalkalimetall, Seltenerdenmetall und Übergangsmetall. Das Gettermaterial kann dabei als entsprechendes Salz oder Oxid vorliegen. Das Gettermaterial ist ausgebildet, das Sinterhilfsmittel 22 in einer energetisch stabilen Phase 28 zu binden ( 2). Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel umfasst das Gettermaterial Barium, das beispielsweise in Form von Bariumcarbonat in die mindestens eine Funktionsschicht 16, 26 eingebracht ist. Der so gebildete Aufbau des Sensorelements 10, d.h. der Festelektrolytköper 12, die Elektrode 14, die mindestens eine Funktionsschicht 16, 26 werden zusammen gesintert.
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2 zeigt eine Querschnittsansicht eines abschließenden Herstellungsschritts des erfindungsgemäßen Sensorelements 10 gemäß der Ausführungsform aus 1. Das Sensorelement 10 ist insbesondere nach dem Sintern gezeigt. Das Barium als Gettermaterial bindet das Silizium als Sinterhilfsmittel 22 in einer energetisch stabilen und immobilen Phase 28, die auch bei hohen Temperaturen nicht weiter zu der Elektrode 14 fließt. Die energetisch stabile Phase 28 ist bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel Celsian.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 102015226017 A1 [0004]
- DE 102015226563 A1 [0004]
- DE 102006039964 A1 [0004]
- DE 4033388 A1 [0004]