DE102019129057B4

DE102019129057B4 - Vakuumanordnung, Verfahren und Steuervorrichtung

Info

Publication number: DE102019129057B4
Application number: DE102019129057.0A
Authority: DE
Inventors: Jochen Krause; Götz Großer
Original assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2019-10-28
Filing date: 2019-10-28
Publication date: 2023-12-14
Anticipated expiration: 2039-10-29
Also published as: DE102019129057A1

Abstract

Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400), aufweisend:einen Vakuumkammerdeckel (802d), welcher auf einer Unterseite eine umlaufende Dichtstruktur (1402) aufweist; und eine Kupplungsvorrichtung (100 bis 700), aufweisend:• ein Gestell (102),• einen von dem Gestell (102) getragenen Linearantrieb (104) ;• mehrere Kontaktkupplungen (110), von denen jede Kontaktkupplung (110) entlang einer Kontaktrichtung von einer Öffnung (106) durchdrungen ist,• eine Haltevorrichtung (108), welche die mehreren Kontaktkupplungen (110) ortsfest relativ zueinander hält;• wobei der Linearantrieb (104) eingerichtet ist, die Haltevorrichtung (108) entlang der Kontaktrichtung relativ zu dem Gestell (102) zu verschieben;• mehrere Leitungsanschlüsse (112) zum Anschließen einer Fluidleitung, von denen jeder Leitungsanschluss einer der mehreren Kontaktkupplungen (110) zugeordnet ist, wobei jeder der Leitungsanschlüsse (112) fluidleitend mit der Öffnung der ihm zugeordneten Kontaktkupplung (110) verbunden ist; wobei der Vakuumkammerdeckel (802d) ferner eine Gegen-Kupplungsvorrichtung (704) aufweist, die neben der Dichtstruktur (1402) angeordnet ist,wobei die Gegen-Kupplungsvorrichtung (704) mehrere Gegen-Kontaktkupplungen (810) aufweist;wobei jede der Gegen-Kontaktkupplungen (810) einer Kontaktkupplung (110) der Kupplungsvorrichtung (100 bis 700) zugeordnet ist und derart eingerichtet und angeordnet ist, dass die Gegen-Kontaktkupplung (810) und die ihr zugeordnete Kontaktkupplung (110) einander berühren, wenn die Gegen-Kupplungsvorrichtung und die Kupplungsvorrichtung (100 bis 700) zusammengefügt sind.

Description

Im Allgemeinen kann ein Substrat, beispielsweise ein Glassubstrat, ein Metallsubstrat und/oder ein Polymersubstrat, im Vakuum behandelt (prozessiert), z.B. beschichtet werden, so dass die chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften des Substrats verändert werden können. Zum Beschichten eines Substrats können verschiedene Beschichtungsverfahren im Vakuum durchgeführt werden. Beispielsweise kann eine Vakuumbeschichtungsanlage genutzt werden, um eine Schicht oder mehrere Schichten mittels einer chemischen und/oder physikalischen Gasphasenabscheidung auf einem Substrat oder auf mehreren Substraten abzuscheiden.
Um die dabei frei werdende thermische Energie abzuführen, können verschiedene Komponenten der Vakuumbeschichtungsanlage, die beispielsweise an einem Kammerdeckel abgebracht sind, flüssigkeitsgekühlt sein. Müssen diese gewartet werden, ist herkömmlicherweise ein aufwändiger und komplexer Montageprozess nötigt, um den Kammerdeckel von dem Kühlkreislauf zu trennen. Beispielsweise wird diese Aufgabe herkömmlicherweise von Hand durchgeführt, was den Menschen als Fehlerquelle einbringt und zeitaufwändig ist.
DE 10 2015 117 449 A1 beschreibt eine Prozessieranordnung die ein Wandelement zum Verschließen einer Vakuumkammeröffnung aufweist, wobei das Wandelement einen Befestigungsbereich aufweist, welcher zum Befestigen einer Prozessierquelle eines ersten Prozessierquellen-Typs oder eines zweiten Prozessierquellen-Typs an dem Wandelement eingerichtet ist. DE 10 2004 006 419 A1 beschreibt ein Energie- und Medienanschlussmodul für Beschichtungsanlagen, das zur Versorgung mit Kühlwasser, Druckluft, Prozessgasen, Signal-, Steuer- und Kathodenstrom dient. Eine Mehrfachverbindungs-Sockelanordnung zum operativen Verbinden einer Halbleiterbauelement-Fertigungsausrüstung mit einer Mehrzahl von externen Einrichtungen. US 6 598 279 B1 beschreibt eine Mehrfachverbindungsbuchsenanordnung, die eine Verbindungsstruktur aufweist, welche konfiguriert ist, um im Wesentlichen gleichzeitig mindestens zwei verschiedene externe Vorrichtungen anzuschließen, z.B. um eine Leistung, und/oder eine Vakuum bereitzustellen. DE 33 09 555 C2 beschreibt eine Einrichtung zum Spannen bzw. Abspannen von Werkstücken in bzw. von einer Werkstück-Spannvorrichtung, die von einer zwischen einer Spannstation und einer Bearbeitungsstation bewegbaren Werkstück-Palette getragen wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen werden eine Vakuumanordnung mit einer Kupplungsvorrichtung, ein Verfahren und eine Steuervorrichtung bereitgestellt, welche diesen Vorgang erleichtern. Die Kupplungsvorrichtung bzw. das Verfahren können anschaulich ein maschinenangetriebenes Verbinden/Trennen des Kammerdeckels und des Kühlkreislaufs miteinander/voneinander ermöglichen. Die Steuervorrichtung kann einen automatischen Ablauf des Verbindens oder Trennens ermöglichen.
Anschaulich ermöglicht die Kupplungsvorrichtung, dass das Verbinden/Trennen des Kammerdeckels und des Kühlkreislaufs erfolgen kann, wenn der Kammerdeckel auf dem Kammergehäuse aufliegt. Dazu weist die Kupplungsvorrichtung eine Antriebsvorrichtung auf, welche die Kontaktkupplungen des Wasserkreislaufs gegen die entsprechenden Kontaktkupplungen an dem Kammerdeckel presst. Mit anderen Worten werden die Kontaktkupplungen des Wasserkreislaufs zu dem Kammerdeckel bewegt, nicht andersherum. Dadurch werden Kupplungsfehler reduziert, die beispielsweise entstehen, da der Kammerdeckel ein hohes Gewicht aufweist und dementsprechend unpräzise zu bewegen ist.
Beispielsweise werden die benötigten Kathoden-Medien (Elektrik, Kühlwasser, Prozessgase, Steuerleitungen, Pneumatik, Vorvakuum) nach dem Auflegen des Kathodendeckels auf das Vakuumkammergehäuse mittels der Kupplungsvorrichtung (auch als Multikupplung bezeichnet) angeschlossen. Dies erleichtert ein selbstständiges Ankoppeln der Medien mittels der Multikupplung, indem manuelle Bedienhandlungen eingespart und durch automatische Abläufe ersetzt werden. Ferner ermöglichen maschinengetriebene bzw. automatisierte Vorgänge, die Sicherheit zu erhöhen und Bedienfehler zu reduzieren. Es kann auch die Energieeffizienz gesteigert werden, da beispielsweise weniger Kühlwasser verbraucht wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vakuumanordnung bereitgestellt, die aufweist: einen Vakuumkammerdeckel, welcher auf einer Unterseite eine umlaufende Dichtstruktur aufweist; und eine Kupplungsvorrichtung, die aufweist: ein Gestell, einen von dem Gestell getragenen Linearantrieb; mehrere Kontaktkupplungen, von denen jede Kontaktkupplung entlang einer Kontaktrichtung von einer Öffnung durchdrungen ist, eine Haltevorrichtung, welche die mehreren Kontaktkupplungen ortsfest (d.h. in einer ortsfesten Position) relativ zueinander hält; wobei der Linearantrieb eingerichtet ist, die Haltevorrichtung (z.B. bidirektional) entlang der Kontaktrichtung relativ zu dem Gestell zu verschieben; mehrere Leitungsanschlüsse zum Anschließen einer Fluidleitung, von denen jeder Leitungsanschluss einer der mehreren Kontaktkupplungen zugeordnet ist, wobei jeder der Leitungsanschlüsse fluidleitend mit der Öffnung der ihm zugeordneten Kontaktkupplung verbunden ist, wobei der Vakuumkammerdeckel ferner eine Gegen-Kupplungsvorrichtung aufweist, die neben der Dichtstruktur angeordnet ist, wobei die Gegen-Kupplungsvorrichtung mehrere Gegen-Kontaktkupplungen aufweist; wobei jede der Gegen-Kontaktkupplungen einer Kontaktkupplung der Kupplungsvorrichtung zugeordnet ist und derart eingerichtet und angeordnet ist, dass die Gegen-Kontaktkupplung und die ihr zugeordnete Kontaktkupplung einander berühren, wenn die Gegen-Kupplungsvorrichtung und die Kupplungsvorrichtung zusammengefügt sind.
Es zeigen

1 bis 7 und 19 jeweils eine Kupplungsvorrichtung in verschiedenen schematischen Ansichten gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
8 bis 14 und 18 jeweils eine Vakuumanordnung in verschiedenen schematischen Ansichten gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
15 einen Kammerdeckel in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
16 und 17 jeweils ein Verfahren in einem schematischen Ablaufdiagramm gemäß verschiedenen Ausführungsformen; und
20 eine Steueranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung (z.B. einer fluidleitfähigen Verbindung), eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Begriff „gekoppelt“ oder „Kopplung“ im Sinne einer (z.B. mechanischen, hydrostatischen, thermischen und/oder elektrischen), z.B. direkten oder indirekten, Verbindung und/oder Wechselwirkung verstanden werden. Mehrere Elemente können beispielsweise entlang einer Wechselwirkungskette miteinander gekoppelt sein, entlang welcher die Wechselwirkung (z.B. ein Fluid) übertragen bzw. ausgetauscht werden kann. Beispielsweise können zwei miteinander gekoppelte Elemente eine Wechselwirkung miteinander austauschen, z.B. eine mechanische, hydrostatische, thermische und/oder elektrische Wechselwirkung. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann „gekuppelt“ im Sinne einer mechanischen (z.B. körperlichen bzw. physikalischen) Kopplung verstanden werden, z.B. mittels eines direkten körperlichen Kontakts. Eine Kupplung kann eingerichtet sein, eine mechanische Wechselwirkung (z.B. Kraft, Drehmoment, etc.) zu übertragen und/oder einen physischen Kontakt herzustellen.
Mehrere Fluidleitungen eines Fluidkreislaufs können fluidleitend miteinander verbunden sein, z.B. mittels Ventilen, Dichtungen, Kupplungen und dergleichen. Der Fluidkreislauf kann nach außen im Wesentlichen fluiddicht abgeschlossen sein, so dass das Fluid des Fluidkreislaufs in diesem verbleibt. Entlang der Fluidleitungen kann ein oder mehr als ein in sich geschlossener Pfad (auch als Strömungspfad bezeichnet) bereitgestellt sein, entlang dessen das Fluid strömen kann. Der Fluidkreislauf kann mehrere Fluidpumpen aufweisen, welche den Fluidleitungen ein Fluid (z.B. Gas oder Flüssigkeit) zuführen und/oder entziehen können, so dass durch diese hindurch das Fluid strömt. Eine Kontaktkupplung (auch Leitungskupplung bezeichnet) kann ermöglichen, verschiedene Komponenten eines Fluidkreislaufs miteinander zu verbinden, so dass diese das Fluid (ein gasförmiges und/oder flüssiges Material) miteinander austauschen können.
Im Allgemeinen können zwei Leitungskupplungen derart eingerichtet sein, dass diese zusammengefügt eine fluidleitende Verbindung bereitstellen, so dass zwischen diesen und/oder durch diese hindurch ein Fluid ausgetauscht werden kann. Dazu können die zwei Leitungskupplungen miteinander in Kontakt gebracht werden, z.B. zusammengepresst und/oder ineinandergesteckt werden. Jede der zwei Leitungskupplungen kann eine Dichtstruktur aufweisen, die aneinander anliegen, wenn die zwei Leitungskupplungen zusammengefügt sind. Die aneinander liegenden Dichtstrukturen können den Spalt zwischen den beiden Leitungskupplungen abdichten. Eine Dichtstruktur kann beispielsweise eine Nut zum Aufnehmen einer Polymerdichtung (z.B. aus einem Elastomer) aufweisen oder eine dazu korrespondierende Dichtfläche, an welcher die Polymerdichtung anliegt. Die Polymerdichtung kann beispielsweise ein Dichtring oder eine Lippendichtung sein.
Zwei ineinandersteckbare Komponenten (z.B. zwei Leitungskupplungen oder zwei elektrische Kontaktvorrichtungen) können zueinander korrespondierende Konturen an ihrer Kontaktfläche aufweisen. Im Allgemeinen kann eine der Komponenten eine Aussparung aufweisen, in welche ein Vorsprung der anderen Komponente hineinpasst. Die Aussparung und der Vorsprung (beides allgemeiner als Formschlussstruktur bezeichnet) können derart zueinander dimensioniert sein, dass diese gleitend ineinanderpassen. Anders ausgedrückt, können die Komponenten ineinandergesteckt mittels ihrer Formschlussstrukturen (Vorsprung und Aussparung) als Kontaktfläche einen Formschluss bilden (der beispielsweise genau einen Translationsfreiheitsgrad und alternativ oder zusätzlich genau einen Rotationsfreiheitsgrad übrig lässt). Beispielsweise kann ein Spalt zwischen den ineinandergesteckten Komponenten (der den Vorsprung umläuft) derart klein eingerichtet sein, dass die beiden Komponenten an ihrer Formschlussstruktur sich einander berühren, wenn diese ineinandergesteckt werden, so dass diese aufeinander abgleiten. Die aneinander liegenden Dichtstrukturen können den Spalt zwischen den beiden Komponenten, der den Vorsprung umläuft, fluiddicht (z.B. vakuumdicht) abdichten.
Als Flansch kann hierin ein Hohlkörper verstanden werden, mittels dessen eine Verbindung zu einem Bauteil (z.B. dessen Flansch) hergestellt werden kann. Der Flansch kann eine Durchgangsöffnung aufweisen und eine Dichtstruktur, welche die Durchgangsöffnung umgibt. Im montieren Zustand kann die Durchgangsöffnung an das Bauteil angrenzen und mittels der Dichtstruktur kann ein Spalt zwischen dem Bauteil und dem Flansch abgedichtet sein oder werden (z.B. fluiddicht, z.B. vakuumdicht). Eine gute Dichtheit kann bereitgestellt werden, indem der Flansch mittels eines Anpressdrucks gegen das andere Bauteil gepresst (z.B. daran festgeschraubt) wird.
Der Flansch kann dazu Montagemittel aufweisen, z.B. Bohrungen oder Gewinde, welche um die Durchgangsöffnung herum verteilt angeordnet sind. Mittels der Montagemittel kann der Flansch zerstörungsfrei montiert und/oder demontiert werden, bzw. der Anpressdruck aufgebracht werden. Der Anpressdruck kann beispielsweise mit Schrauben aufgebracht werden, die durch Bohrungen des Flansches gesteckt sind. Der Flansch kann beispielsweise in Form eines Kragens (z.B. eine ringförmige Platte) bereitgestellt sein, welcher eine Hülse umgibt oder an diese angrenzt. Die Hülse kann beispielsweise Teil einer Rohrleitung oder Vakuumdurchführung sein und/oder an dem Flansch angeschweißt sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine flüssigkeitsgekühlte Komponente (z.B. eine Prozessiervorrichtung, eine Pumpe oder eine Abschirmblech) einer Vakuumanordnung eine Kühlvorrichtung aufweisen oder mit dieser thermisch leitfähig gekoppelt sein, so dass der Komponente mittels der Kühlvorrichtung thermische Energie entzogen werden kann. Die Kühlvorrichtung kann mit der entsprechenden Kupplungsvorrichtung des Kammerdeckels gekoppelt sein, so dass diese mittels des Kammerdeckels mit einer Kühlflüssigkeit (z.B. Wasser) versorgt werden kann. Das hierin für die Kühlflüssigkeit bzw. Kühlvorrichtung beschriebene kann in Analogie auch für eine Heizflüssigkeit bzw. Heizvorrichtung gelten (beides allgemeiner als Temperierflüssigkeit bzw. Temperiervorrichtung bezeichnet).
Eine Steueranordnung (aufweisend elektropneumatische Ventile) kann die Versorgungsankopplung und Versorgungsabkopplung der Medien durchführen, das Ausblasen der Kühlkreisläufe für Wartungszwecke und die Abschaltprozeduren des Kathodenplatzes. Dies kann für verschieden Bedienmodalitäten der Kathode (Stand-by, Wartung, Inspektion, Betriebsfall) ermöglicht werden. Die Inbetriebnahme kann ein Anschalten der Vakuumpumpen und Andocken der Multikupplung aufweisen, beispielsweise mittels einer Vorwärtssteuerung und/oder auf getaktete Weise. Das Stand-by-halten kann ein Spülen der Fluidleitungen aufweisen. In der Wartungsbereitschaft kann eine Überwachung erfolgen, dass der Kammerdeckel abnehmfertig ist. Beispielsweise können Näherungssensoren den Kammerdeckel und/oder den Linearantrieb (auch als Hebemechanismus bezeichnet) überwachen. Alternativ oder zusätzlich kann eine Programmroutineüberwachung erfolgen, die beispielsweise ermittelt, dass der Kammerdeckel entkuppelt, stromlos, ausgeblasen, und druckfrei ist. In einem Inspektionsmodus kann der Kammerdeckel nur teilweise ausblasen (ohne Turbinen in der Kathode anzuschalten, die einen Wasserhebemechanismus implementieren) und druckfrei, entkuppelt, stromlos sein.
Als elektropneumatischer Steuermechanismus kann die Steuerung von Bauteilen der Pneumatik (beispielsweise pneumatisch betriebene Ventile) mittels elektrischer Bauteile (beispielsweise elektrisch betriebener Ventile) verstanden werden. Die Druckluft als Arbeitsmedium der Pneumatik kann somit mittels elektrischer Signale gesteuert werden. Werden mehrere Ventile in einem kleinen Raumbereich benötigt, können diese als Ventilinsel zusammengefasst werden, die mittels Feldbus angesteuert werden kann (z.B. von einer Steuervorrichtung). Im Gegensatz zu einem rein pneumatischen Steuermechanismus erlaubt ein elektropneumatischer Steuermechanismus wesentlich komplexere Funktionen, insbesondere durch Verwendung elektronischer Schaltungen wie beispielsweise speicherprogrammierbare Steuerungen. Der Vorteil der Pneumatik liegt in der einfachen und kostengünstigen Realisierung von Aktoren, beispielsweise mit Pneumatikzylindern.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Ventil mittels eines rein elektrisch betrieben Ventils oder mittels eines rein pneumatisch betriebenen Ventils bereitgestellt sein oder werden. Ein Ventil kann aber ebenso mittels eines Paars aus elektrisch betriebenem Ventil (auch als elektrisch-schaltbares Ventil bezeichnet) und davon angesteuertem pneumatisch betriebenem Ventil (auch als Steuergas-schaltbares Ventil bezeichnet) bereitgestellt werden (hierin als elektropneumatisches Ventil oder vereinfacht auch als Ventil bezeichnet).
Als Steuern kann eine beabsichtigte Beeinflussung eines Systems verstanden werden. Dabei kann der momentane Zustand des Systems (auch als Ist-Zustand bezeichnet) gemäß einer Vorgabe (auch als Soll-Zustand bezeichnet) verändert werden. Anschaulich kann die Steuerung eine nach vorn gerichtete Steuerstrecke aufweisen und somit anschaulich eine Ablaufsteuerung implementieren, welche eine Eingangsgröße (z.B. die Vorgabe) in eine Ausgangsgröße umsetzt. Die Steuerstrecke kann aber auch Teil eines Regelkreises sein, so dass eine Regelung implementiert wird. Bei der Ablaufsteuerung wird der Ist-Zustand des Systems mittels einer entsprechenden Stellgröße (unter Verwendung eines Stellglieds) derart beeinflusst, dass dieses in einen Soll-Zustand gebracht wird, z.B. in Reaktion auf ein erfasstes Ereignis. Das Ereignis kann beispielsweise eine Benutzereingabe aufweisen oder kann aufweisen, dass der Ist-Zustand einer oder mehr als einer Komponente der Vakuumanordnung ein vordefiniertes Kriterium erfüllt.
1 veranschaulicht eine Kupplungsvorrichtung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. mit Blickrichtung quer zur Richtung 105. Die Richtung 105 kann im Betrieb der Kupplungsvorrichtung 100 beispielsweise entgegen der Gravitationsrichtung ausgerichtet sein.
Die Kupplungsvorrichtung 100 kann ein Gestell 102, einen Linearantrieb 104, mehrere Kontaktkupplungen 110 und eine Haltevorrichtung 108 aufweisen. Die Haltevorrichtung 108 kann die mehreren Kontaktkupplungen 110 in fester räumlicher Anordnung zueinander halten. Beispielsweise können die mehrere Kontaktkupplungen 110 gemäß einem Muster räumlich verteilt angeordnet sein. Beispielsweise kann die Haltevorrichtung 108 ein Terminal aufweisen, an welchem die mehreren Kontaktkupplungen 110 befestigt sind.
Im Allgemeinen können die mehreren Kontaktkupplungen 110 ein oder mehr als ein Paar (anschaulich für den Zulauf und den Rücklauf) Kontaktkupplungen 110 aufweisen, z.B. zwei Paare Kontaktkupplungen 110 oder mehr, z.B. drei Paare Kontaktkupplungen 110, oder mehr, z.B. vier Paare Kontaktkupplungen 110, oder mehr, z.B. fünf Paare Kontaktkupplungen 110 oder mehr. Je mehr Kontaktkupplungen 110 verwendet werden, umso mehr Funktion können bereitgestellt werden, wie später noch genauer beschrieben wird.
Jede Kontaktkupplung 110 kann von einer Öffnung 106 durchdrungen sein, z.B. entlang der Richtung 105 (auch als Kontaktrichtung 105 bezeichnet).
Jede Kontaktkupplung 110 kann derart eingerichtet sein, dass diese mit einer entsprechenden Gegen-Kontaktkupplung (anschaulich das passende Gegenstück) zusammengefügt werden kann, wie später noch genauer beschrieben wird. Die Kontaktkupplung 110 und die Gegen-Kontaktkupplung können zusammengefügt einander mit ihrer Kontaktfläche berühren. Die Kontaktfläche kann beispielsweise eine Dichtstruktur aufweisen zum Abdichten eines Spalts zwischen der Kontaktkupplung 110 und der Gegen-Kontaktkupplung.
Beispielsweise können die Kontaktkupplung 110 und die Gegen-Kontaktkupplung zum Zusammenfügen (z.B. zusammengefügt) gegeneinander gepresst werden, z.B. mittels der von dem Linearantrieb 104 erzeugten Kraft. Alternativ oder zusätzlich können die Kontaktkupplung 110 und die Gegen-Kontaktkupplung derart zueinander eingerichtet sein, dass diese ineinandersteckbar sind (dann auch als Steckkupplung und Gegensteckkupplung bezeichnet). Beispielsweise kann die Steckkupplung eine Aussparung als Formschlussstruktur aufweisen, in welche die Gegensteckkupplung mit ihrem hervorstehenden Endabschnitt (der einen Vorsprung bereitstellt) als Formschlussstruktur hineinpasst, oder andersherum.
Der Linearantrieb 104 kann eingerichtet sein, eine Translation (d.h. eine gradlinige Bewegung) zu erzeugen und auf die Haltevorrichtung 108 zu übertragen, so dass die Haltevorrichtung 108 verschoben wird (d.h. eine lineare Bewegung erfährt), z.B. entlang eines Translationspfades 111. Der Translationspfad 111 kann parallel zur Kontaktrichtung 105 sein, so dass das Verschieben 111 entlang (d.h. in und/oder entgegen) der Kontaktrichtung 105 erfolgen kann. Somit kann der Linearantrieb ein Stellglied für das Verschieben der Haltevorrichtung 108 bereitstellen.
Der Linearantrieb 104 kann im Allgemeinen eingerichtet sein, die Translation mittels einer linear gerichteten Kraft (z.B. eine Schubkraft und/oder eine Zugkraft) zu übertragen. Der Linearantrieb kann auf verschiedene Weisen realisiert sein oder werden. Beispielsweise kann ein Antrieb verwendet werden, welcher aufgrund seines Funktionsprinzips eine Translation erzeugt, z.B. ein Hubkolben (z.B. ein Pneumatikzylinder) oder ein elektrischer Linearmotor. Es können allerdings auch ein Motor, der eine Rotationsbewegung erzeugt, und zusätzlich ein Getriebe, welches die Rotationsbewegung in eine Translation übersetzt, verwendet werden. Mit anderen Worten kann das Getriebe (auch als Rotation-Translation-Wandler bezeichnet) eingerichtet sein, ein Drehmoment des Motors in die linear gerichtete Kraft zu überführen. Optional kann die erzeugte Translation mittels des oder eines anderen Getriebes (auch als Übersetzungsgetriebe bezeichnet) übersetzt werden, so dass ein kleinerer Antrieb verwendet werden kann. Das Übersetzungsgetriebe kann eingerichtet sein, eine erste Bewegungsgröße (z.B. Kraft, Drehmoment oder Bewegungsstrecke) in eine zweite davon verschiedene Bewegungsgröße zu übersetzen.
Mittels Verschiebens 111 der Haltevorrichtung 108 kann diese zwischen mehreren Positionen verlagert werden, z.B. in eine erste Position und eine zweite Position. Beispielsweise kann die Haltevorrichtung 108 in der zweiten Position einen größeren Abstand von dem Gestell 102 aufweisen als in der ersten Position. Alternativ oder zusätzlich kann die Haltevorrichtung 108 in der zweiten Position eine größere Höhe (z.B. bezüglich eines Nullniveaus) aufweisen als in der ersten Position. Die Höhe kann auf das Nullniveau bezogen sein. Unter dem Nullniveau versteht man eine Fläche, der die Höhe null zugewiesen wird, z.B. gemäß dem sogenannten „European Vertical Reference System“ (EVRS). Im Folgenden wird das einfacher verständliche anlagenspezifische Nullniveau verwendet, welches dem Untergrund, auf welchem die Vakuumanordnung oder deren Komponenten abgestützt sind, die Höhe null zuweist. Das Beschriebene kann aber auch für ein anderes Nullniveau gelten, z.B. das geodätische Nullniveau (z.B. Meeresspiegelhöhe, Normalhöhennull oder Wiener Null).
Die Kupplungsvorrichtung 100 kann ferner mehrere Leitungsanschlüsse 112 aufweisen zum Anschließen jeweils einer Fluidleitung, wie später noch genauer beschrieben wird. Jede der Leitungsanschlüsse 112 kann mit der Öffnung 106 einer entsprechend zugeordneten Kontaktkupplung 110 fluidleitend verbunden sein, so dass zwischen der Öffnung 106 und dem Leitungsanschluss 112 ein Fluid (d.h. eine Flüssigkeit und/oder ein Gas aufweisend) ausgetauscht werden kann.
Der oder jeder Leitungsanschluss 112 kann beispielsweise ein Gewinde oder Ähnliches aufweisen, so dass daran eine Fluidleitung aufgeschraubt oder eingeschraubt werden kann. Die Fluidleitung kann beispielsweise einen flexiblen Schlauch aufweisen.
Optional kann die Haltevorrichtung 108 eine Zentrierkontur aufweisen, welche in die Kontaktrichtung 105 hervorsteht. Die Zentrierkontur kann es erleichtern die Haltevorrichtung 108 richtig zu positionieren relativ zu der Gegen-Kupplungsvorrichtung des Kammerdeckels (die eine entsprechende Gegen-Zentrierkontur aufweisen kann).
2 veranschaulicht eine Kupplungsvorrichtung 200 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder Querschnittsansicht (z.B. aus Richtung 105), welche beispielsweise eingerichtet ist wie die Kupplungsvorrichtung 100. Zumindest zwei Kontaktkupplungen (z.B. aus verschiedenen Paaren) können sich voneinander unterscheiden, zum Beispiel in einer oder mehr als einer der folgenden Eigenschaften: der Ausdehnung (quer zur Richtung 105) ihrer Öffnung 106, einer Kontur der Kontaktfläche, dem Außenumfang, dem Innenumfang (quer zur Richtung 105) ihrer Öffnung 106.
3 veranschaulicht eine Kupplungsvorrichtung 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung quer zur Richtung 105), welche beispielsweise eingerichtet ist wie die Kupplungsvorrichtung 100 oder 200, mit dem Unterschied, dass eine oder mehr als eine (z.B. jede) der Kontaktkupplungen 110 eine Aussparung 210 oder einen Vorsprung 220 aufweist, in welche(n) die Öffnung 106 mündet.
4 veranschaulicht eine Kupplungsvorrichtung 400 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung quer zur Richtung 105), welche beispielsweise eingerichtet ist wie eine der Kupplungsvorrichtungen 100 bis 300, mit dem Unterschied, dass ein oder mehr als ein (z.B. jeder) der Leitungsanschlüsse 112 abgewinkelt oder gekrümmt verlaufend ist. Dies erleichtert das Anschließen der Fluidleitungen.
5 veranschaulicht eine Kupplungsvorrichtung 500 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung quer zur Richtung 105), welche beispielsweise eingerichtet ist wie eine der Kupplungsvorrichtungen 100 bis 400, mit dem Unterschied, dass die Kupplungsvorrichtung 500 in einer Zug-Konfiguration eingerichtet ist. Dies erlaubt eine andere (z.B. eine dichtere) räumliche Anordnung der Kontaktkupplungen 110. In der Zug-Konfiguration kann der Linearantrieb 104 derart ausgerichtet sein, dass dieser eine in die Richtung 105 gerichtete Zugkraft auf die Haltevorrichtung 108 überträgt.
Passend zu der Zug-Konfiguration kann die Haltevorrichtung 108 einen ersten (z.B. plattenförmigen) Abschnitt 108a, einen zweiten (z.B. plattenförmigen) Abschnitt 108b und ein Gestänge 108g aufweisen. Das Gestänge 108g kann den ersten Abschnitt 108a und den zweiten Abschnitt 108b miteinander kuppeln, beispielsweise derart, dass der erste Abschnitt 108a mittels des Gestänges 108g auf dem zweiten Abschnitt 108b abgestützt ist.
Der erste Abschnitt 108a kann die mehreren Kontaktkupplungen 110 halten. Der zweite Abschnitt 108b kann mit dem Linearantrieb 104 gekuppelt sein. Der Linearantrieb 104 kann zwischen dem ersten Abschnitt 108a und dem zweiten Abschnitt 108b angeordnet sein.
6 veranschaulicht eine Kupplungsvorrichtung 600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung quer zur Richtung 105), welche beispielsweise eingerichtet ist wie eine der Kupplungsvorrichtungen 100 bis 500, mit dem Unterschied, dass ferner eine Kontaktvorrichtung 602 von dem Gestell 102 getragen wird. Die Kontaktrichtung 602 kann mehrere in Richtung 105 freiliegende elektrische Kontakte 602k (z.B. Kupfer aufweisend oder daraus gebildet) aufweisen. Ferner kann die Kontaktvorrichtung 602 ein elektrisches Anschlussterminal 602t aufweisen zum Anschließen eines elektrischen Versorgungsanschlusses. Beispielsweise kann das Anschlussterminal 602t eine Buchse aufweisen, in welche ein Stecker eingesteckt werden kann. Beispielsweise kann das Anschlussterminal 602t mindestens genauso viele Terminalkontakte aufweisen, wie elektrische Kontakte 602k freiliegen.
Beispielsweise können die elektrischen Kontakte 602k zumindest drei Kontakte 602k aufweisen, z.B. einen Massekontakt, einen Erdkontakt und/oder einen oder mehr als einen (z.B. drei) Phasenkontakt. Der oder jeder Phasenkontakt kann beispielsweise hochspannungstauglich ausgelegt sein und/oder ausgelegt sein, eine Leistung von mehr als einem Megawatt zu übertragen.
7 veranschaulicht eine Kupplungsvorrichtung 700 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung quer zur Richtung 105), welche beispielsweise eingerichtet ist wie eine der Kupplungsvorrichtungen 100 bis 600, mit dem Unterschied, dass ferner eine Verriegelungsvorrichtung 702 von der Haltevorrichtung gehalten wird. Die Verriegelungsvorrichtung 702 kann eingerichtet sein in verschiedene Zustände gebracht zu werden, von denen die Haltevorrichtung 108 in einem ersten Zustand der Verriegelungsvorrichtung (auch als Verriegelt-Zustand bezeichnet) in die Gegen-Kupplungsvorrichtung hineingreift (beispielsweise formschlüssig) und in einem zweiten Zustand die Gegen-Kupplungsvorrichtung freigibt (zum Beispiel einen Abstand davon aufweist). Die Verriegelungsvorrichtung 702 kann somit das Stellglied des Verriegelns sein.
In dem Verriegelt-Zustand kann mittels der Verriegelungsvorrichtung 702 eine Relativbewegung der Gegen-Kupplungsvorrichtung 704 relativ zu der Haltevorrichtung 108 gehemmt (z.B. begrenzt) oder blockiert werden. Dies erreicht, dass die Gegen-Kupplungsvorrichtung 704 räumlich in einer festen Position relativ zu der Haltevorrichtung 108 bleibt, so dass ein physischer Kontakt der entsprechenden Kontaktkupplungen 110 bestehen bleibt.
8 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 800 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung quer zur Richtung 105) in einem ersten Betriebszustand 900a der Vakuumanordnung 800. Die Vakuumanordnung 800 kann die Kupplungsvorrichtung 801 aufweisen, die eingerichtet ist, wie eine der Kupplungsvorrichtungen 100 bis 700.
Die Vakuumanordnung 800 kann einen Vakuumkammerdeckel 802d (vereinfacht auch als Kammerdeckel bezeichnet) zum Auflegen auf ein Vakuumkammergehäuse 802k (vereinfacht auch Kammergehäuses als bezeichnet) aufweisen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine oder mehr als eine Vakuumkammer 802 mittels eines Kammergehäuses 802k bereitgestellt sein oder werden, in welchem ein Vakuum erzeugt und/oder erhalten werden kann. Das Kammergehäuse 802k kann dazu beispielsweise luftdicht, staubdicht und/oder vakuumdicht eingerichtet und/oder verschlossen sein oder werden mittels des Kammerdeckels 802d. Die Vakuumkammer 802 kann ein Kammerinneres 802i in dem Kammergehäuse 802k aufweisen, welches von den Kammerwänden des Kammergehäuses 802k begrenzt wird.
Ferner kann der Kammerdeckel 802d auf dem Vakuumkammergehäuse 802k aufliegen, z.B. nur mit seinem (z.B. plattenförmigen) Bereich 811 (auch als Abdeckbereich 811 bezeichnet). In oder an dem Abdeckbereich 811 kann der Kammerdeckel 802d alle zum Betrieb der Vakuumanordnung 800 benötigten Komponenten aufweisen, z.B. eine oder mehr als eine Dichtstruktur, einen oder mehr als einen Vakuumpumpenanschluss und/oder eine oder mehr als eine Vakuumdurchführung.
Der Kammerdeckel 802d kann eine Kupplungsvorrichtung 704 (zur besseren Unterscheidung als Gegen-Kupplungsvorrichtung 704 bezeichnet) aufweisen, die neben dem Abdeckbereich 811 angeordnet ist. Die Gegen-Kupplungsvorrichtung 704 kann eine Haltevorrichtung 808 (zur besseren Unterscheidung als Gegen-Haltevorrichtung 808 bezeichnet) aufweisen, welche mehrere Kontaktkupplungen 810 (zur besseren Unterscheidung als Gegen-Kontaktkupplungen 810 bezeichnet) in fester räumlicher Anordnung zueinander hält.
Beispielsweise kann die Gegen-Haltevorrichtung 808 ein Terminal aufweisen, an welchem die mehreren Gegen-Kontaktkupplungen 810 befestigt sind. Beispielsweise können die mehrere Gegen-Kontaktkupplungen 810 gemäß dem gespiegelten Muster räumlich verteilt angeordnet sein.
Im Allgemeinen können die mehreren Gegen-Kontaktkupplungen 810 ein oder mehr als ein Paar (anschaulich für den Zulauf und den Rücklauf) Gegen-Kontaktkupplungen 810 aufweisen, z.B. zwei Paare Kontaktkupplungen 810 oder mehr, z.B. drei Paare Kontaktkupplungen 810, oder mehr, z.B. vier Paare Kontaktkupplungen 810, oder mehr, z.B. fünf Paare Kontaktkupplungen 810. Beispielsweise kann pro Kontaktkupplungen 110 der Kupplungsvorrichtung 801 eine Gegen-Kontaktkupplungen 810 vorhanden sein, welche der Kontaktkupplung 110 der Kupplungsvorrichtung 801 zugeordnet ist.
Jede Gegen-Kontaktkupplung 810 kann von einer Öffnung 106 durchdrungen sein, z.B. entlang der Kontaktrichtung 105. Die Gegen-Kupplungsvorrichtung 704 kann ferner mehrere Leitungsanschlüsse 812 (zur besseren Unterscheidung als Gegen-Leitungsanschlüsse 812 bezeichnet) aufweisen zum Anschließen jeweils einer Fluidleitung, wie später noch genauer beschrieben wird. Jeder der Gegen-Leitungsanschlüsse 812 kann mit der Öffnung 106 einer entsprechend zugeordneten Gegen-Kontaktkupplung 810 fluidleitend verbunden sein, so dass zwischen der Öffnung 106 und dem Gegen-Leitungsanschluss 812 ein Fluid (d.h. eine Flüssigkeit und/oder ein Gas aufweisen) ausgetauscht werden kann.
Der Kammerdeckel 802d kann ferner eine elektrische Kontaktvorrichtung 682 aufweisen (zur besseren Unterscheidung als Gegen-Kontaktvorrichtung 682 bezeichnet). Die Gegen-Kontaktvorrichtung 682 kann entgegen Richtung 105 freiliegende elektrische Kontakte (z.B. Kupfer aufweisend oder daraus gebildet) aufweisen. Ferner kann die Gegen-Kontaktvorrichtung 682 ein elektrisches Anschlussterminal aufweisen zum Verbinden dieser mit zu versorgenden Komponenten des Kammerdeckels 802d. Mittels der Gegen-Kontaktvorrichtung 682 können beispielsweise eine Pumpe und/oder eine Beschichtungsvorrichtung des Kammerdeckels 802d mit elektrischer Energie versorgt werden.
Das Gestell 102 kann optional mit dem Kammergehäuse 802k gekuppelt sein oder auch Teil dessen sein, was eine integrale Konfiguration erleichtert. Alternativ kann das Gestell 102 separat von dem Kammergehäuse 802k bereitgestellt sein, was eine modulare Konfiguration erleichtert.
In dem ersten Betriebszustand 900a der Vakuumanordnung 800 kann die Haltevorrichtung 108 in der ersten Position sein. In dem ersten Betriebszustand 900a können die Kontaktkupplungen 110 räumlich separiert sein von den Gegen-Kontaktkupplungen 810 (d.h. einen Abstand von diesen aufweisen). Mittels Verschiebens 111 der Haltevorrichtung 108 können die Kontaktkupplung 110 mit den Gegen-Kontaktkupplungen 810 in körperlichen Kontakt gebracht werden (d.h. diese werden zusammengefügt). Jede Gegen-Kontaktkupplung 810 kann derart eingerichtet sein, dass diese mit der ihr zugeordneten Kontaktkupplung 110 zusammengefügt werden kann, wie nachfolgend beschrieben wird. Dasselbe kann in Analogie für die Position bzw. das Zusammenfügen der Kontaktvorrichtung 602 und der Gegen-Kontaktvorrichtung 682 gelten.
Die Kontaktvorrichtung 602 und die Gegen-Kontaktvorrichtung 682 können derart eingerichtet sein, dass diese bereits beim Auflegen bzw. Ablegen des Kammerdeckels 802d auf das Kammergehäuse 802k zusammengefügt werden, z.B. bereits wenn sich der Kammerdeckel 802d dem Kammergehäuse 802k nähert. Dies ermöglicht, dass dazu nicht notwendigerweise ein separates Stellglied angesteuert werden muss. Beispielsweise kann die Kontaktvorrichtung 602 in einer entsprechenden Höhe angeordnet sein, dass die Gegen-Kontaktvorrichtung 682 automatisch in diese hineingreift, wenn sich der Kammerdeckel 802d dem Kammergehäuse 802k nähert.
9 veranschaulicht die Vakuumanordnung 800 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung quer zur Richtung 105) in einem zweiten Betriebszustand 900b der Vakuumanordnung 800.
In dem zweiten Betriebszustand 900b der Vakuumanordnung 800 kann die Haltevorrichtung 108 in der zweiten Position sein. In dem zweiten Betriebszustand 900b können die Kontaktkupplungen 110 körperlich in Kontakt gebracht sein mit den Gegen-Kontaktkupplungen 810 (d.h. diese sind zusammengefügt), so dass deren Öffnung 106 eine fluidleitende Verbindung zwischen den Leitungsanschlüssen 112, 812 bereitstellen.
Die zusammengefügte Kontaktkupplung 110 und Gegen-Kontaktkupplung 812 können einander mit ihrer Kontaktfläche berühren. Dasselbe kann in Analogie für die Kontaktvorrichtung 602 und die Gegen-Kontaktvorrichtung 682 gelten. Die Kontaktfläche kann beispielsweise eine Dichtstruktur aufweisen zum Abdichten eines Spalts zwischen der Kontaktkupplung 110 und der Gegen-Kontaktkupplung 812.
10 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1000 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche eingerichtet sein kann wie die Vakuumanordnung 800, wobei der Kammerdeckel 802d vom Typ eines Pumpdeckels 802d (vereinfacht auch als Pumpdeckel bezeichnet) ist. Der Pumpdeckel kann einen oder mehr als einen Vakuumpumpenanschluss 1004 aufweisen. Der oder jeder Vakuumpumpenanschluss 1004 kann einen Flansch 1004f auf der Oberseite des Pumpdeckels (d.h. der umlaufenden Dichtfläche gegenüberliegend) aufweisen, der hervorsteht. Der oder jeder Vakuumpumpenanschluss 1004 kann ferner eine Durchgangsöffnung 1004o aufweisen, welche den Flansch 1004f und den Abdeckbereich 811 durchdringt.
Ferner kann der Pumpdeckel 802d eine oder mehr als eine Vakuumpumpe 1002 (z.B. Turbomolekularpumpe) aufweisen, welche an einem Vakuumpumpenanschluss 1004 angeschlossen ist (z.B. ist deren Flansch an dem Flansch 1004f des Vakuumpumpenanschluss 1004 befestigt).
Die Vakuumanordnung 1000 kann ein Paar Fluidleitungen 1010 aufweisen, welche die oder jede Vakuumpumpe mit einem Paar Gegen-Leitungsanschlüsse 812 koppelt, so dass ein Fluid zwischen den zwei Gegen-Leitungsanschlüssen 812 ausgetauscht werden kann durch die oder jede Vakuumpumpe 1002 (z.B. deren Kühlvorrichtung) hindurch. In Analogie kann die Vakuumpumpe 1002 elektrisch versorgt werden mittels der Gegen-Kontaktvorrichtung 682.
11 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche eingerichtet sein kann wie die Vakuumanordnung 800 oder 1000, wobei der Kammerdeckel 802d alternativ oder zusätzlich vom Typ eines Prozessierdeckels 802d ist. Der Prozessierdeckel 802d kann eine oder mehr als eine Prozessiervorrichtung 1102 (hier exemplarisch der Endblock einer Sputtervorrichtung dargestellt) aufweisen, welche an einer Unterseite (an welcher auch die umlaufende Dichtfläche des Kammerdeckel 802d angeordnet ist) angeordnet sein. Die Vakuumanordnung 1100 kann ein Paar Fluidleitungen 1010 aufweisen, welche die oder jede Prozessiervorrichtung 1102 mit einem Paar Gegen-Leitungsanschlüsse 812 koppelt, so dass ein Fluid zwischen den zwei Gegen-Leitungsanschlüssen 812 ausgetauscht werden kann durch die oder jede Prozessiervorrichtung 1102 (z.B. deren Kühlvorrichtung) hindurch. In Analogie kann die oder jede Prozessiervorrichtung 1102 elektrisch versorgt werden mittels der Gegen-Kontaktvorrichtung 682.
Die Prozessiervorrichtung 1102 kann beispielsweise eine Beschichtungsvorrichtung aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine Sputtervorrichtung. Die Sputtervorrichtung kann eine Sputterkathode (auch als Kathode bezeichnet) aufweisen, welche elektrisch und/oder mit einer Flüssigkeit versorgt wird. Die Sputterkathode kann ein Beschichtungsmaterial aufweisen, welches zum Beschichten eines Substrats zerstäubt werden kann mittels eines Plasmas. Dem Plasma kann von der Beschichtungsvorrichtung elektrische Leistung zugeführt werden. Es kann allerdings auch eine Prozessiervorrichtung 1102 anderen Typs verwendet werden, beispielsweise zum Erwärmen, Ätzen, oder Bestrahlen des Substrats. Für die Prozessiervorrichtung 1102 des anderen Typs kann in Analogie dasselbe gelten, wie hierin exemplarisch für die Beschichtungsvorrichtung beschrieben ist.
12 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1200 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 800, 1000 oder 1100, wobei der Kammerdeckel 802d alternativ oder zusätzlich vom Typ des Versorgungsdeckels 802d ist. Der Versorgungsdeckel 802d kann eine oder mehr als eine Vakuumdurchführung 1204 aufweisen. Die Vakuumanordnung 1200 kann ein Paar Fluidleitungen 1010 aufweisen, welche die oder jede Vakuumdurchführung 1204 mit einem Paar Gegen-Leitungsanschlüsse 812 koppelt, so dass ein Fluid zwischen den zwei Gegen-Leitungsanschlüssen 812 ausgetauscht werden kann durch die oder jede Vakuumdurchführung 1204 hindurch.
Die Vakuumdurchführung 1204 kann mit einer innerhalb der Vakuumkammer 802 angeordneten Kühlvorrichtung 1202 gekoppelt sein, so dass das Fluid durch die Vorrichtung hindurch geführt wird. Die Kühlvorrichtung 1202 kann beispielsweise mit einer Abschirmvorrichtung (z.B. einer Gegensputterebene) thermisch leitend gekoppelt sein, um dieser thermische Energie zu entziehen. Alternativ oder zusätzlich kann der Abdeckbereich 811 des Kammerdeckels 802d eine Kühlvorrichtung 1202 aufweisen, mittels welcher dem Abdeckbereich 811 thermische Energie entzogen werden kann.
13 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 800 oder 1000 bis 1200, mit dem Unterschied, dass die Kontaktrichtung 105 nicht notwendigerweise entlang der Gravitationsrichtung verlaufen muss. Die Kontaktrichtung 105 kann beispielsweise in einer vertikalen Ebene (die quer zur Gravitationsrichtung ist) liegen oder einen Winkel zu dieser aufweisen. Dementsprechend kann der Kammerdeckel 802d abgewinkelt sein.
14 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1400 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Verschaltungsdiagramm, welche eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 800 oder 1000 bis 1300, wobei die Vakuumanordnung 1400 ferner mehrere Fluidleitungen 1502 aufweist, die an den Leitungsanschlüssen 112 befestigt sind. Jede der Fluidleitungen 1502 kann ein Ventil 1502v als Stellglied aufweisen zum Steuern eines Fluidflusses durch die Fluidleitungen 1502 hindurch.
Die mehreren Fluidleitungen 1502 können ein oder mehr als ein Paar Fluidleitungen 1502 aufweisen, von denen jedes Paar eine Fluidleitung 1502 als Zulauf und eine Fluidleitung 1502 als Rücklauf aufweist. Mittels des Zulaufs kann dem Kammerdeckel 802d ein Fluid zugeführt und mittels des Rücklaufs kann dem Kammerdeckel 802d das Fluid entzogen werden, so dass ein Fluidkreislauf bereitgestellt wird. Die Fluidleitungen 1502 müssen aber nicht notwendigerweise paarweise vorhanden sein, z.B. wenn kein Kreislauf benötigt wird (z.B. im Fall eines Steuergases).
Das Fluid kann je nach Funktion ein Gas oder eine Flüssigkeit sein. Zum Kühlen kann beispielsweise Wasser als Flüssigkeit (dann auch als Kühlflüssigkeit bezeichnet) verwendet werden. Zum Schalten eines Ventils kann beispielsweise Pneumatikluft als Gas verwendet werden (allgemeiner auch als Steuergas bezeichnet). Zum Ausblasen der Flüssigkeitsleitungen kann beispielsweise Ausblasluft als Gas verwendet werden. Die Steuergas kann beispielsweise einen Druck von 4 bar oder mehr (z.B. 6 bar) und/oder einen größeren Druck als die Ausblasluft aufweisen. Die Ausblasluft kann beispielsweise einen Druck von 4 bar oder weniger (z.B. 2 bar) und/oder einen größeren Druck als die Kühlflüssigkeit aufweisen.
Dementsprechend kann die Vakuumanordnung 1400 eine Fluid-Versorgungsanordnung 1702 aufweisen, welche eine oder mehr als eine Gasversorgung 1702a, 1702p aufweist und/oder eine oder mehr als eine Flüssigkeitsversorgung 1702f aufweist. Die Flüssigkeitsversorgung 1702f kann eingerichtet sein, die Flüssigkeit (z.B. Kühlflüssigkeit) einer Flüssigkeitszulaufleitung 1502 zuzuführen und einer Flüssigkeitsrücklaufleitung 1502 wieder zu entziehen.
Die Gasversorgung 1702a, 1702p kann eine Steuergas-Versorgung 1702p (z.B. Pneumatikluft-Versorgung 1702p) und/oder eine Ausblasluft-Versorgung 1702a aufweisen. Die Steuergas-Versorgung 1702p kann eingerichtet sein, das Steuergas zuzuführen, z.B. mittels einer Steuergas-Leitung 1502 (hier ist nicht notwendigerweise ein Rücklauf nötig).
Die Ausblasluft-Versorgung 1702a kann eingerichtet sein, Ausblasluft zuzuführen, z.B. mittels einer Ausblasluft-Leitung 1502 (hier ist nicht notwendigerweise ein Rücklauf nötig). Die mittels der Ausblasluft verdrängte Flüssigkeit kann einer Abwasserleitung 1502 zugeführt werden, welche die Flüssigkeit einer Entsorgung zuführt. Zum Ausblasen können beispielsweise die Ventile 1502v der Wasserzulaufleitung 1502 und der Wasserrücklaufleitung 1502 geschlossen werden und das Ventil 1502v der Abwasserleitung 1502 geöffnet werden. Nach dem Ausblasen kann der Druck in den Kontaktkupplungen 110 auf Atmosphärendruck gebracht werden, was das Separieren und/oder Zusammenfügen der Kontaktkupplungen 110, 810 erleichtert. Das Ausblasen kann beispielsweise automatisiert erfolgen, wie später noch genauer beschrieben wird.
Als Luft kann ein Gas mit atmosphärischer Zusammensetzung verstanden werden. Alternativ zu der atmosphärischen Luft kann auch ein Gas anderer Zusammensetzung verwendet werden, zum Beispiel reiner Stickstoff, getrocknete Luft, oder dergleichen.
Pro Flüssigkeitskreislauf kann die Vakuumanordnung 1400 optional einen Fluidverteiler 1410 aufweisen. Der Fluidverteiler 1410 kann einen ersten Fluidanschluss, einen zweiten Fluidanschluss und ein Fluidfluss-Stellglied aufweisen. Das Fluidfluss-Stellglied kann eingerichtet sein, in einem ersten Zustand die Kupplungsvorrichtung 801 mit dem ersten Fluidanschluss fluidleitend zu verbinden und in einem zweiten Zustand die Kupplungsvorrichtung 801 mit dem zweiten Fluidanschluss fluidleitend zu verbinden. An dem ersten Fluidanschluss kann die Ausblasluft-Versorgung 1702a angeschlossen sein. An dem zweiten Fluidanschluss kann die Flüssigkeitsversorgung 1702f angeschlossen sein, so dass zwischen diesen umgeschaltet werden kann.
Pro Kammerdeckel 802d kann die Vakuumanordnung 1400 einen ersten Flüssigkeitskreislauf (z.B. ein Kühlkreislauf) aufweisen zum Temperieren (d.h. Kühlen und/oder Erwärmen) des Abdeckbereichs 811. Pro Beschichtungsvorrichtung (wenn vorhanden) kann die Vakuumanordnung 1400 beispielsweise einen zweiten Flüssigkeitskreislauf (z.B. ein Kühlkreislauf) aufweisen zum Temperieren (d.h. Kühlen und/oder Erwärmen) der Beschichtungsvorrichtung, z.B. der Sputterkathode. In dem Fall kann die Vakuumanordnung 1400 optional ferner einen dritten Flüssigkeitskreislauf (z.B. ein Kühlkreislauf) aufweisen zum Temperieren (d.h. Kühlen und/oder Erwärmen) der einer innerhalb der Vakuumkammer 802 angeordneten Abschirmvorrichtung 1202. Jeder der Flüssigkeitskreisläufe kann mittels eines Fluidverteilers 1410 mit der Ausblasluft-Versorgung 1702a gekoppelt sein und/oder ein Paar aus Flüssigkeitszulaufleitung 1502 und Flüssigkeitsrücklaufleitung 1502 aufweisen.
Beispielsweise kann ein oder mehr als ein (z.B. jeder) Flüssigkeitskreislauf ein oder mehr als ein Ventil 1502v als Stellglied aufweisen, welches mittels des Steuergases geschaltet werden kann. Dies erfordert allerdings mehr Bauraum und ist kostenintensiver. Alternativ oder zusätzlich kann die Verriegelungsvorrichtung 702 mittels des Steuergases geschaltet werden. Im Allgemeinen kann das Steuergas auch weggelassen werden, z.B. wenn die Ventile 1502v bzw. die Verriegelungsvorrichtung elektrisch geschaltet werden.
Ferner kann die Kontaktvorrichtung 602 mit einer elektrischen Energieversorgung 1704 gekoppelt sein.
15 veranschaulicht einen Kammerdeckel 802d gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht 1500 (z.B. mit Blickrichtung auf dessen Unterseite). Der Kammerdeckel 802d weist eine umlaufende Dichtstruktur 1402 auf, z.B. an dem Abdeckbereich 811. Die Dichtstruktur 1402 kann beispielsweise eine Dichtfläche oder eine Nut zum Aufnehmen einer Dichtung aufweisen.
16 veranschaulicht ein Verfahren 1600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagramm. Beispielsweise kann die hierin beschriebene Vakuumanordnung eine Steuervorrichtung aufweisen, welche eingerichtet ist, das Verfahren 1600 durchzuführen. Dazu kann die Steuervorrichtung beispielsweise einen Prozessor aufweisen, welcher eingerichtet ist, Codesegmente auszuführen, welche das Verfahren 1600 implementieren. Die Codesegmente können von der Steuervorrichtung (z.B. deren Speichermedium) abgespeichert sein oder werden und/oder separat davon, z.B. auf einer Cloud oder einem transportablen Speichermedium. Das Speichermedium kann ein nicht-flüchtiges Speichermedium sein.
Das Verfahren 1600 kann unter anderem aufweisen, den Ist-Zustand der Vakuumanordnung (z.B. die räumliche Lage des Kammerdeckels 802d) ermitteln. Dazu kann im Allgemeinen ein oder mehr als ein Sensor verwendet werden. Der Sensor kann beispielsweise mittels der Steuervorrichtung ausgelesen werden. Dies erleichtert ein Automatisieren des Verfahrens 1600 entlang einer logischen Ablaufkette.
Das Verfahren kann unter anderem aufweisen, eine Vorhersage über eine Veränderung des Ist-Zustands der Vakuumanordnung (z.B. dass die räumliche Lage des Kammerdeckels 802d verändert werden soll) zu ermitteln. Die Vorhersage kann beispielsweise repräsentieren, dass der Kammerdeckel 802d von dem Vakuumkammergehäuse abgehoben und/oder auf dieses aufgelegt werden soll, und/oder dass der Betriebszustand der Vakuumanordnung geändert werden soll. Zum Ermitteln der Vorhersage kann im Allgemeinen ein oder mehr als ein Ereignis erfasst werden, z.B. von der Steuervorrichtung selbst und/oder mittels eines Sensors, und in Antwort auf das Erfassen des Ereignisses die entsprechende Vorhersage getroffen werden. Beispielsweise kann mit dem Ablauf eines Standzeitintervalls als Ereignis ermittelt werden, dass der Kammerdeckel 802d von dem Vakuumkammergehäuse abgehoben werden soll bzw. dass eine Wartungsbereitschaft oder ein Wartungszustand hergestellt werden soll. Auch in anderen Fällen, kann das Ereignis repräsentieren, dass ein Zeitintervall verstrichen ist, z.B. ein Zeitintervall, welches ein Vorgang (z.B. ein Inkontaktbringen oder ein Ausblasen) üblicherweise benötigt. Dies ermöglicht eine wenig komplexe Ablaufkette. Alternativ oder zusätzlich kann mittels einer Nutzereingabe als Ereignis angegeben werden, auf welche Weise der Ist-Zustand der Vakuumanordnung verändert werden soll. Das Ereignis kann alternativ oder zusätzlich eine Veränderung des Ist-Zustands der Vakuumanordnung selbst aufweisen, z.B. wenn deren Ist-Zustand ein vorgegebenes Kriterium erfüllt. Das vorgegebene Kriterium kann beispielsweise repräsentieren, dass das Beschichtungsmaterial verbraucht ist, das Innere der Vakuumkammer gereinigt werden soll, die Prozessiervorrichtung abgeschaltet wurde, oder Ähnliches. Dies erleichtert ein Automatisieren des Verfahrens 1600 entlang einer logischen Ablaufkette.
Entlang der Ablaufkette können verschiedene wenn-dann-Verknüpfungen implementiert werden, so dass beispielsweise eine Antwort auf das Eintreten der Bedingung erfolgt.
Das Verfahren kann unter anderem aufweisen, ein oder mehr als ein Stellglied (z.B. ein Ventil, einen Antrieb oder die Verriegelungsvorrichtung) der Vakuumanordnung anzusteuern. Das Ansteuern 1601 des einen oder mehr als einen Stellglieds 104 kann aufweisen, dem Stellglied ein Steuersignal zuzuführen, welches das Stellglied in einen Soll-Zustand bringt.
Das Verfahren 1600 kann in 1601 aufweisen: Ansteuern des Linearantriebs 104, wenn (d.h. beispielsweise in Antwort darauf) als Ist-Zustand der Vakuumanordnung ermittelt wurde, dass der Kammerdeckel 802d (z.B. mit seinem Abdeckbereich 811) auf einem Vakuumkammergehäuse 802k aufliegt und/oder der Ist-Zustand der Vakuumanordnung verändert werden soll. Dass Ansteuern 1601 des Linearantriebs 104 kann aufweisen, ein Steuersignal zu erzeugen (und dem Linearantrieb zuzuführen). Das Steuersignal kann derart eingerichtet sein, dass der Linearantrieb 104 die von dem Steuersignal repräsentierte Translationsbewegung erzeugt.
Das Ansteuern 1601 des Linearantriebs 104 kann gemäß einer Außerbetriebnahmesequenz oder Inbetriebnahmesequenz erfolgen. Die Außerbetriebnahmesequenz kann aufweisen, dass die Haltevorrichtung 108 (und damit auch die Kontaktkupplungen 110) entgegen der Kontaktrichtung 105 verschoben wird, wenn als Vorhersage ermittelt wurde, dass der Kammerdeckel 802d von dem Vakuumkammergehäuse abgehoben werden soll. Die Inbetriebnahmesequenz kann aufweisen, dass die Haltevorrichtung 108 (und damit auch die Kontaktkupplungen 110) in die Kontaktrichtung verschoben wird, wenn als Ist-Zustands der Vakuumanordnung ermittelt wurde, dass der Kammerdeckel 802d auf das Vakuumkammergehäuse aufgelegt wurde.
Mittels Verschiebens der Haltevorrichtung bzw. der Kontaktkupplungen zu dem Kammerdeckel 802d hin kann der Kammerdeckel 802d (z.B. dessen Gegen-Kontaktkupplungen 810) in Kontakt mit den Kontaktkupplungen 110 gebracht werden (auch als Inkontaktbringen bezeichnet). Mittels Verschiebens der Haltevorrichtung 108 bzw. der Kontaktkupplungen 110 von dem Kammerdeckel 802d weg kann der Kontakt zwischen den Kontaktkupplungen 110 und dem Kammerdeckel 802d (z.B. dessen Gegen-Kontaktkupplungen 810) aufgelöst werden (auch als Kontaktlösen bezeichnet), d.h. diese können räumlich einander separiert werden.
Das Verfahren 1600 kann in 1603 aufweisen: Ansteuern des Ventils 1502v einer oder mehr als einer Fluidleitung 1502, wenn erfasst wurde, dass ein Kammerdeckel 802d auf einem Vakuumkammergehäuse aufliegt. Mittels des Ansteuerns kann das Ventil 1502v geöffnet und/oder geschlossen werden, z.B. um der entsprechenden Kontaktkupplung 110 ein Fluid zuzuführen bzw. das Zuführen zu unterbrechen.
Das Fluid kann beispielsweise ein Ausblasgas sein, mittels welchem eine Flüssigkeit verdrängt wird (auch als Ausblasen bezeichnet), z.B. aus der oder jeder Kontaktkupplung 110 und/oder aus einer Kühlvorrichtung der Vakuumanordnung. Die zu verdrängende Flüssigkeit kann beispielsweise eine Kühlflüssigkeit oder eine Heizflüssigkeit sein, z.B. Wasser.
Das Ansteuern 1603 des Ventils 1502v kann beispielsweise gemäß einer Ausblassequenz erfolgen. Die Ausblassequenz kann beispielsweise Teil der Außerbetriebnahmesequenz sein und vor dem Kontaktlösen erfolgen. Die Ausblassequenz kann aufweisen, dass das Ventil 1502v einer Flüssigkeitszulaufleitung und/oder einer Flüssigkeitsrücklaufleitung geschlossen wird, wenn als Vorhersage ermittelt wurde, dass der Kammerdeckel 802d von dem Vakuumkammergehäuse abgehoben werden soll. Die Ausblassequenz kann aufweisen, dass das Ventil 1502v einer Ausblasluft-Leitung und/oder einer Abwasserleitungen geöffnet wird, wenn das Ventil 1502v der Flüssigkeitszulaufleitung und/oder der Flüssigkeitsrücklaufleitung geschlossen ist oder wurde. Die Ausblassequenz kann aufweisen, dass das Ventil 1502v einer Ausblasluft-Leitung und/oder einer Abwasserleitungen geschlossen wird, wenn ermittelt wurde, dass die entsprechende(n) Kontaktkupplung(en) 110 ausgeblasen wurde(n).
Das Ansteuern 1603 des Ventils 1502v kann beispielsweise gemäß der Außerbetriebnahmesequenz erfolgen. Die Außerbetriebnahmesequenz kann aufweisen, dass das Ventil 1502v einer Flüssigkeitszulaufleitung und/oder einer Flüssigkeitsrücklaufleitung geöffnet wird, wenn als Ist-Zustand ermittelt wurde, dass das Inkontaktbringen erfolgt ist, d.h. dass die Kontaktkupplungen von Kammerdeckel 802d und Kupplungsvorrichtung 801 zusammengefügt sind.
Optional kann das Steuergas als Gas zugeführt werden zum Ansteuern eines pneumatischen Ventils der Vakuumanordnung.
Das Ansteuern 1603 des Ventils 1502v kann derart erfolgen, das Ventil abwechselnd geöffnet und geschlossen wird, wenn ermittelt wurde, dass der Kammerdeckel 802d in einem Bereitschaftszustand ist und/oder während dieser auf dem Vakuumkammergehäuse aufliegt. Der Bereitschaftszustand kann beispielsweise per Benutzereingabe gestartet oder beendet werden. Ebenso kann der Bereitschaftszustand gestartet werden, wenn erfasst wurde, dass die Vakuumanordnung einen Defekt aufweist.
Das Verfahren 1600 kann aufweisen, 1605, Ansteuern eines Hebewerks, wenn als Ist-Zustand ermittelt wurde, dass das Kontaktlösen erfolgt ist. Das Hebewerk kann beispielsweise einen Kran aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. einen Hallenkran. Das Hebewerk kann ein Zugmittel (zum Beispiel einen Haken) aufweisen, das mit dem Kammerdeckel 802d gekuppelt ist.
Das Ansteuern des Hebewerks kann aufweisen, den Kammerdeckel 802d zu verlagern mittels des Zugmittels, z.B. entgegen der Gravitationsrichtung (anschaulich nach anzuheben) oder in die Gravitationsrichtung Gewichtskraft (anschaulich nach unten abzusenken). Damit kann erreicht werden, dass der Kammerdeckel 802d relativ zu dem Kammergehäuse verlagert wird, zum Beispiel zu diesem hin oder von diesem weg. Beispielsweise kann der Kammerdeckel 802d zu dem Kammergehäuse hin verlagert und dann auf dieses abgelegt werden derart, dass der Kammerdeckel 802d die Kammeröffnung abdeckt. In analoger Weise kann der Kammerdeckel 802d von dem Vakuumkammergehäuse abgenommen werden.
Das Verfahren 1600 kann aufweisen, 1607, Ansteuern der Verriegelungsvorrichtung. Das Ansteuern der Verriegelungsvorrichtung kann beispielsweise aufweisen, die Kupplungsvorrichtung und die Gegen-Kupplungsvorrichtung derart miteinander zu verriegeln, dass dieser ortsfest zueinander eingerichtet sind. Dies erreicht, dass die Kontaktkupplungen miteinander in Kontakt bleiben. Das Verriegeln kann beispielsweise erfolgen, wenn ermittelt wurde, dass das Inkontaktbringen erfolgt ist. In analoger Weise kann ein Entriegeln erfolgen, bevor das Kontaktlösen erfolgt (z.B. diesem vorgeschaltet).
17 veranschaulicht ein Verfahren 1700 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagramm. Das Verfahren 1700 kann eingerichtet sein, die Vakuumanordnung anzusteuern gemäß mehrerer Betriebsphasen. Die Vakuumanordnung kann eine Fluidzuführung 1702 aufweisen, welche mittels der Fluidleitungen 1502 mit den Leitungsanschlüssen 112 gekoppelt ist.
In einem ersten Betriebszustand 1711 (auch als Wartungszustand bezeichnet) kann der Kammerdeckel 802d abgenommen sein von dem Vakuumkammergehäuse 802k und von der Kupplungsvorrichtung 704 separiert sein. Ferner können die Ventile 1502k geschlossen sein, so dass der Kupplungsvorrichtung 704 kein Fluid zugeführt wird. Beispielsweise kann eine Wartung des Kammerdeckels 802d und/oder des Vakuumkammergehäuses 802k erfolgen. Beispielsweise kann die Haltevorrichtung 108 in der zweiten Position sein.
Das Verfahren 1700 kann in 1701 aufweisen, die Vakuumanordnung von dem ersten Betriebszustand 1711 in einen zweite Betriebszustand 1713 zu bringen (auch als Inbetriebnahme bezeichnet), z.B. gemäß der Inbetriebnahmesequenz. Die Inbetriebnahmesequenz kann beispielsweise aufweisen, den Kammerdeckel 802d (z.B. eine Sputterkathode dessen) auf das Vakuumkammergehäuse 312 aufzulegen, das Inkontaktbringen durchzuführen, optional das Verriegeln durchzuführen, danach die Ventile 1502v der Abwasserleitung(en) 1502 zu öffnen, danach die Ventile 1502v der Flüssigkeitszulaufleitung(en) 1502 zu öffnen, danach die Ventile 1502v der Abwasserleitung(en) 1502 zu schließen und der Flüssigkeitsrücklaufleitung(en) 1502 zu öffnen, und danach die Ventile 1502v der Flüssigkeitszulaufleitung(en) 1502 wieder zu schließen. Dies erreicht, dass der Gegen-Kupplungsvorrichtung 801 die Flüssigkeit (z.B. Wasser) zugeführt wird, so dass sich die Leitungen mit der Flüssigkeit füllen (und das Gas darin verdrängen).
In dem zweiten Betriebszustand 1713 (auch als Bereitschaftszustand oder Stand-by-halten bezeichnet) kann der Kammerdeckel 802d aufgelegt sein auf das Vakuumkammergehäuse 802k und mit der Kupplungsvorrichtung 704 in Kontakt sein. Ferner können die Ventile 1502v der Flüssigkeitszulaufleitung(en) 1502 abwechselnd geöffnet und geschlossen werden, so dass der Kupplungsvorrichtung 704 schubweise Fluid zugeführt wird. Anschaulich kann der Wasserzulauf in gewissen Zeitabständen geöffnet und wieder geschlossen werden. Dies spart Wasser, reicht aber aus, um beispielsweise die Temperatur der Beschichtungsvorrichtung 1102 zu beherrschen.
In dem zweiten Betriebszustand 1713 kann die Vakuumkammer 802 ferner abgepumpt sein oder werden. Dazu kann die Vakuumkammer 802 mit einem Pumpensystem (aufweisend zumindest eine Grobvakuumpumpe und optional zumindest eine Hochvakuumpumpe 1002) gekoppelt sein. Das Pumpensystem kann eingerichtet sein, dem Inneren der Vakuumkammer ein Gas (z.B. ein Prozessgas) zu entziehen (auch als Abpumpen bezeichnet), so dass innerhalb der Vakuumkammer 802 als Prozessdruck ein Vakuum (d.h. ein Druck kleiner als 0,3 bar) oder weniger bereitgestellt sein oder werden kann, z.B. ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10^-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum) oder weniger, z.B. ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10^-3 mbar bis ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) oder weniger, ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Ultrahochvakuum).
Das Verfahren 1700 kann in 1703 aufweisen, die Vakuumanordnung von dem zweiten Betriebszustand 1713 in einen dritten Betriebszustand 1715 zu bringen. Dies kann beispielsweise aufweisen, die Beschichtungsvorrichtung 1102 in einen Arbeitspunkt zu bringen, die Ventile 1502v der Wasserzulaufleitung(en) zu öffnen, die Ventile 1502v der Prozessgasleitungen zu öffnen (z.B. zum Zuführen von Sauerstoff, Argon und/oder Stickstoff in das Kammerinnere 802i) und/oder eine Energieversorgung 1704 in einen Arbeitspunkt zu bringen.
Die Energieversorgung 1704 kann mittels der elektrischen Kontaktvorrichtung 602 und mittels einer entsprechenden Gegen-Kontaktvorrichtung des Kammerdeckels 802d mit der Beschichtungsvorrichtung 1102 gekuppelt sein, zum Zuführen von elektrischer Energie von der Energieversorgung 1704 zu der Beschichtungsvorrichtung 1102.
In dem dritten Betriebszustand 1715 kann die Vakuumanordnung ähnlich wie in dem zweiten Betriebszustand 1715 eingerichtet sein, mit dem Unterschied, dass die Ventile 1502v der Wasserzulaufleitungen und/oder Prozessgasleitungen kontinuierlich offen sind und die Beschichtungsvorrichtung 1102 in dem Arbeitspunkt gebracht und/oder gehalten wird. In dem Arbeitspunkt kann die Beschichtungsvorrichtung 1102 das Beschichtungsmaterial emittieren. Ferner kann in dem dritten Betriebszustand 1715 ein Substrat in der Vakuumkammer 802 mittels des Beschichtungsmaterials beschichtet werden, z.B. unter dem Einfluss des Prozessgases.
Das Verfahren 1700 kann in 1705 aufweisen, die Vakuumanordnung von dem dritten Betriebszustand 1715 in einen vierten Betriebszustand 1717 zu bringen. Dies kann beispielsweise aufweisen, die Beschichtungsvorrichtung 1102 abzuschalten, die Medienzufuhr schließen (z.B. Gas, Wasser, elektrische Energie), die Ventile der Flüssigkeitsrücklaufleitungen zu schließen, danach der Abwasserleitungen zu öffnen und danach das Ausblasgas in die Leitungen einzubringen, sowie einen Drain-support an der Kathode der Beschichtungsvorrichtung zuzuschalten.
In dem vierten Betriebszustand 1717 (auch als Wartungsbereitschaft bezeichnet) kann die Flüssigkeit mittels des Ausblasgases verdrängt sein (z.B. wasserfreie Kühlkreisläufe bereitgestellt sein), und die Beschichtungsvorrichtung 1102 kann abgeschaltet sein. In dem vierten Betriebszustand 1717 (z.B. einem Inspektionsmodus) muss nicht zwangsläufig die komplette Flüssigkeit ausgeblasen worden sein. Die Flüssigkeitskreisläufe können beispielsweise nur teilweise ausgeblasen werden und/oder zumindest druckfrei gemacht worden sein.
Das Verfahren 1700 kann in 1705 aufweisen, die Vakuumanordnung von dem vierten Betriebszustand 1717 in den ersten Betriebszustand 1717 zu bringen, z.B. gemäß der Außerbetriebnahmesequenz. Dazu kann das Kammerinnere 802i belüftet werden, die Verriegelungsvorrichtung entriegelt werden, die Ventile der Ausblasluftleitung(en) geschlossen werden, dann der Abwasserleitung geschlossen werden, und Kupplungsvorrichtung 704 kann von dem Kammerdeckel 802d separiert werden. Anschließen kann der Kammerdeckel 802d von dem Kammergehäuse abgehoben werden.
18 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1800 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Verschaltungsdiagramm, welche eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 800 oder 1000 bis 1400. Dargestellt sind verschiedene Komponenten der Vakuumanordnung 1800, deren Versorgen mit Kühlflüssigkeit bzw. Ausblasgas mittels Steuergasschaltbaren Ventilen 1802 (auch als pneumatische Ventile bezeichnet) gesteuert werden kann.
Eine Komponente kann mittels eines ersten pneumatischen Ventils mit einer Wasserzulaufleitung (ZL) und mittels eines zweiten pneumatischen Ventils mit einer Wasserrücklaufleitung (RL) gekoppelt sein zum Versorgen dieser mit Kühlflüssigkeit. Die Komponente kann ferner mittels eines dritten pneumatischen Ventils mit einer der Ausblasluft-Versorgung 1702a (über AL, AL*) und mittels eines vierten pneumatischen Ventils mit einer Abwasserleitungen 1502 (AW) gekoppelt sein zum Ausblasen der Kühlflüssigkeit. Das Ausblasen kann aufweisen, mittels der Ausblasluft die Kühlflüssigkeit zu verdrängen aus der Komponente und/oder aus den entsprechenden Kontaktkupplungen.
Ferner kann ein Hubkolben des Linearantriebs 104 mit der Steuergas-Versorgung 1702p gekoppelt sein, so dass der Hubkolben mittels des Steuergases angesteuert werden kann.
Mittels einer ersten Station 1801 kann der Linearantrieb 104 angesteuert sein oder werden zum Durchführen des Inkontaktbringens und/oder des Kontaktlösens. Mittels einer zweiten Station 1803 können die Wasserkupplungen der Beschichtungsvorrichtung (z.B. deren Sputterkathoden) angesteuert werden zum Öffnen der Wasserkupplungen und/oder zum Schließen der Wasserkupplungen.
Mittels einer dritten Station 1805 und/oder einer vierten Station 1807 kann ein erstes bzw. zweites pneumatisches Ventil 1802, das mit der Beschichtungsvorrichtung gekoppelt ist (z.B. jeweils einzeln mit jeder von zwei Sputterkathoden, auch als Target 1 und Target 2 bezeichnet), angesteuert werden. Mittels einer fünften Station 1809 kann ein erstes bzw. zweites pneumatisches Ventil 1802, das mit einer Kühlvorrichtung des Kammerdeckels und/oder innerhalb der Vakuumkammer 802 gekoppelt ist, angesteuert werden. Mittels einer sechsten Station 1811 und/oder einer siebten Station 1813 kann ein drittes bzw. viertes pneumatisches Ventil 1802, das mit der Beschichtungsvorrichtung (z.B. jeweils einzeln mit jeder der zwei Sputterkathoden) gekoppelt ist, angesteuert werden. Mittels einer achten Station 1815 kann ein drittes bzw. viertes pneumatisches Ventil 1802, das mit einer Kühlvorrichtung des Kammerdeckels 802d gekoppelt ist, angesteuert werden. Mittels einer neunten Station 1817 kann ein drittes bzw. viertes pneumatisches Ventil 1802, das mit der Kühlvorrichtung 1202 innerhalb der Vakuumkammer 802 gekoppelt ist, angesteuert werden. Mittels einer optionalen zehnten Station 1817 kann die Verriegelungsvorrichtung 702 angesteuert werden zum Verriegeln des Kontakts der Kupplungsvorrichtung mit dem Kammerdeckel und/oder zum Entriegeln des Kontakts.
19 veranschaulicht die Kupplungsvorrichtung 801 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht 1900 (z.B. mit Blickrichtung auf die Kontaktkupplungen 110). Die Kupplungsvorrichtung 801 kann beispielsweise zwei oder mehr (z.B. drei) Paare Kontaktkupplungen 110 vom Typ der Flüssigkeitskupplung aufweisen, von denen jedes Paar mit der Flüssigkeitsversorgung 1702f (z.B. einen Flüssigkeitszulauf und einen Flüssigkeitsrücklauf bereitstellend) gekoppelt sein oder werden kann. Optional können sich zumindest zwei der Paare voneinander unterscheiden, in der Ausdehnung (quer zur Richtung 105) ihrer Öffnung 106. Dies passt die Kupplungsvorrichtungen 801 besser an den Bedarf an.
Die Kupplungsvorrichtung 801 kann beispielsweise zwei oder mehr (z.B. drei) Kontaktkupplungen 110 vom Typ der Gaskupplung aufweisen, von denen jedes Paar mit einer Gasversorgung 1702a, 1702p gekoppelt sein oder werden kann.
Die Kupplungsvorrichtung 801 kann optional zwei oder mehr Zentrierkonturen 108z an der Haltevorrichtung 108 aufweisen.
Die Kupplungsvorrichtung 801 kann optional zumindest ein Paar elektrischer Kontakte zum Versorgen mit einer Netzspannung (z.B. 400 Volt) aufweisen, zumindest zwei Paare Kontakte zum Versorgen mit einem Netzwerksignal aufweisen, zumindest ein Paar Kontakte zum Versorgen mit einem Steuersignal aufweisen, und/oder zumindest einen Kontakt zum Versorgen mit elektrischer Masse aufweisen.
Die Kontaktvorrichtung 602 kann mehrere (z.B. 1, 2, oder 3) Paare Kontaktschwerter (oder entsprechende Aussparungen zum Aufnehmen dieser) aufweisen zum Versorgen mit elektrischer Leistung (z.B. von mehreren hundert Kilowatt oder mehr als einem Megawatt).
20 veranschaulicht eine Steueranordnung 2000 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht, welche die Fluidleitungen 1502 und ein Bedienerterminal 2002 aufweisen kann. Die Steueranordnung 2000 kann beispielsweise die Steuervorrichtung 2004 aufweisen. Das Bedienerterminal 2002 kann eingerichtet sein, eine Benutzereingabe zu empfangen, z.B. zum Ändern des Betriebszustandes.
Im Folgenden werden verschiedene Beispiele beschrieben, die sich auf vorangehend Beschriebene und in den Figuren Dargestellte beziehen.

Beispiel 1 ist eingerichtet gemäß dem Patentanspruch 1, unter anderem eine Kupplungsvorrichtung aufweisend, die aufweist: ein Gestell, einen von dem Gestell getragenen Linearantrieb; mehrere Kontaktkupplungen, von denen jede Kontaktkupplung entlang einer Kontaktrichtung von einer Öffnung durchdrungen ist, eine Haltevorrichtung, welche die mehreren Kontaktkupplungen relativ zueinander ortsfest hält; wobei der Linearantrieb eingerichtet ist, die Haltevorrichtung (z.B. bidirektional) entlang der Kontaktrichtung relativ zu dem Gestell zu verschieben; optional mehrere Leitungsanschlüsse zum Anschließen einer Fluidleitung, von denen jeder Leitungsanschluss einer der mehreren Kontaktkupplungen zugeordnet ist, wobei jeder der Leitungsanschlüsse fluidleitend mit der Öffnung der ihm zugeordneten Kontaktkupplung verbunden ist.
Beispiel 2 ist die Kupplungsvorrichtung gemäß Beispiel 1, wobei sich zumindest zwei Kontaktkupplungen in einer Ausdehnung ihrer Öffnung, deren Innenumfang und/oder deren Öffnungsquerschnitt voneinander unterscheiden.
Beispiel 3 ist eingerichtet gemäß Beispiel 1 oder 2, wobei die mehreren Kontaktkupplungen relativ zu der Kontaktrichtung nebeneinander gehalten werden mittels der Haltevorrichtung.
Beispiel 4 ist eingerichtet gemäß einem der Beispiele 1 bis 3, wobei die Haltevorrichtung eine Platte aufweist, von welcher die Kontaktkupplungen hervorstehen.
Beispiel 5 ist eingerichtet gemäß einem der Beispiele 1 bis 4, wobei der Linearantrieb einen (z.B. pneumatischen) Hubzylinder aufweist.
Beispiel 6 ist eingerichtet gemäß einem der Beispiele 1 bis 5, wobei die Haltevorrichtung einen ersten Abschnitt (z.B. die Platte), einen zweiten Abschnitt und ein Gestänge aufweist; wobei das Gestänge den ersten Abschnitt und den zweiten Abschnitt miteinander kuppelt; wobei der ersten Abschnitt die mehreren Kontaktkupplungen relativ zueinander ortsfest hält; und wobei der Linearantrieb zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt angeordnet ist (und beispielsweise mit dem zweiten Abschnitt gekuppelt ist).
Beispiel 7 ist eingerichtet gemäß einem der Beispiele 1 bis 6, wobei die mehreren Kontaktkupplungen mindestens vier (oder mindestens 6 oder mindestens 8) Kontaktkupplungen aufweisen.
Beispiel 8 ist eingerichtet gemäß einem der Beispiele 1 bis 7, die Kupplungsvorrichtung ferner aufweisend: eine elektrische Kontaktvorrichtung, welche in Kontaktrichtung freiliegende elektrische Kontakte und ein elektrisches Anschlussterminal aufweist, wobei die Kontaktvorrichtung von dem Gestell getragen wird.
Beispiel 9 ist eingerichtet gemäß einem der Beispiele 1 bis 8, wobei von den mehreren Kontaktkupplungen jede Kontaktkupplung eine Dichtstruktur aufweist und/oder zum Hindurchführen eines Fluids eingerichtet ist.
Beispiel 10 ist eingerichtet gemäß einem der Beispiele 1 bis 9, die Kupplungsvorrichtung ferner aufweisend: eine Verriegelungsvorrichtung zum Verriegeln eines (z.B. physischen, z.B. fluidleitenden) Kontakts der Kupplungsvorrichtung mit einer Gegen-Kupplungsvorrichtung.
Beispiel 11 ist eingerichtet gemäß einem der Beispiele 1 bis 10, die Kupplungsvorrichtung ferner eine Steuervorrichtung aufweisend, die eingerichtet ist zum Ansteuern des Linearantriebs, wenn beispielsweise (z.B. mittels eines Sensors) ermittelt wurde, dass ein Vakuumkammerdeckel auf einem Vakuumkammergehäuse aufliegt.
Beispiel 12 ist eingerichtet gemäß Beispiel 11, wobei die Steuervorrichtung eingerichtet ist, zum Ansteuern des Linearantriebs derart, dass die Haltevorrichtung entgegen der Kontaktrichtung verschoben wird, wenn (z.B. mittels eines Sensors) ermittelt wurde, dass der Vakuumkammerdeckel von dem Vakuumkammergehäuse abgehoben werden soll, und/oder die Haltevorrichtung in die Kontaktrichtung verschoben wird, wenn (z.B. mittels eines Sensors) ermittelt wurde, dass der Vakuumkammerdeckel auf das Vakuumkammergehäuse aufgelegt wurde.
Beispiel 13 ist eingerichtet gemäß einem der Beispiele 1 bis 12, die Kupplungsvorrichtung ferner aufweisend: mehrere Fluidleitungen zum Anschließen an die Leitungsanschlüsse; wobei jede der Fluidleitungen ein (z.B. pneumatisches) Ventil aufweist; wobei die Steuervorrichtung beispielsweise eingerichtet ist zum Ansteuern des Ventils einer oder mehr als einer (z.B. jeder) Fluidleitung der Fluidleitungen (z.B. gemäß der Ausblassequenz), beispielsweise wenn erfasst wurde, dass ein Vakuumkammerdeckel auf einem Vakuumkammergehäuse aufliegt, wobei beispielsweise das Ansteuern des Ventils dem Ansteuern des Linearantriebs vorgeschaltet ist, wenn die Haltevorrichtung entgegen der Kontaktrichtung verschoben wird, und/oder nachgeschaltet ist, wenn die Haltevorrichtung in die Kontaktrichtung verschoben wird, wobei beispielsweise das Ansteuern des Ventils dem Ansteuern des Linearantriebs vorgeschaltet (z.B. wenn ermittelt wurde, dass der Vakuumkammerdeckel abgehoben werden soll) und/oder nachgeschaltet (z.B. wenn ermittelt wurde, dass der Vakuumkammerdeckel aufgelegt wurde) ist.
Beispiel 14 ist eingerichtet gemäß Beispiel 13, wobei die Steuervorrichtung eingerichtet ist zum Ansteuern des Ventils derart, dass das Ventil geschlossen wird, bevor die Haltevorrichtung entgegen der Kontaktrichtung verschoben wird, und/oder das Ventil geöffnet wird, nachdem die Haltevorrichtung in die Kontaktrichtung verschoben wird.
Beispiel 15 ist eingerichtet gemäß Beispiel 14, wobei die Steuervorrichtung eingerichtet ist, zum Ansteuern des Ventils der Fluidleitung derart, dass das Ventil (z.B. mehrmals in Folge) abwechselnd geöffnet und geschlossen wird, bevor die Haltevorrichtung entgegen der Kontaktrichtung verschoben wird und/oder nachdem die Haltevorrichtung in die Kontaktrichtung verschoben wird, beispielsweise während (z.B. solange (z.B. mittels eines Sensors) ermittelt wird, dass) der Vakuumkammerdeckel auf dem Vakuumkammergehäuse aufliegt, beispielsweise wenn (z.B. mittels eines Sensors) ermittelt wurde, dass der Vakuumkammerdeckel in einem Bereitschaftszustand ist.
Beispiel 16 die eine Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 15, die unter anderem aufweist: einen Vakuumkammerdeckel, welcher beispielsweise auf einer Unterseite eine umlaufende Dichtstruktur aufweist.
Beispiel 17 die Vakuumanordnung gemäß Beispiel 16, wobei der Vakuumkammerdeckel ferner eine Gegen-Kupplungsvorrichtung aufweist, die beispielsweise neben der Dichtstruktur angeordnet ist, wobei die Gegen-Kupplungsvorrichtung (z.B. auf der Unterseite oder an einer lateralen Seitenfläche) mehrere Gegen-Kontaktkupplungen aufweist; wobei jede der Gegen-Kontaktkupplungen einer Kontaktkupplung der Kupplungsvorrichtung zugeordnet ist und derart eingerichtet und angeordnet ist, dass die Gegen-Kontaktkupplung und die ihr zugeordnete Kontaktkupplung einander berühren, wenn die Gegen-Kupplungsvorrichtung und die Kupplungsvorrichtung zusammengefügt sind.
Beispiel 18 die Vakuumanordnung gemäß Beispiel 16 oder 17, wobei der Vakuumkammerdeckel auf einer Oberseite einen Vakuumpumpenanschluss aufweist, und/oder wobei der Vakuumkammerdeckel eine Vakuumpumpe (z.B. an dem Vakuumpumpenanschluss befestigt) aufweist, wobei die Vakuumpumpe mit der Gegen-Kontaktkupplung (z.B. fluidleitend und/oder elektrisch) gekoppelt ist.
Beispiel 19 die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 16 bis 18, wobei der Vakuumkammerdeckel eine Vakuumdurchführung aufweist, die beispielsweise mit der Gegen-Kontaktkupplung (z.B. fluidleitend und/oder elektrisch) gekoppelt ist.
Beispiel 20 die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 16 bis 19, wobei der Vakuumkammerdeckel (z.B. auf der Unterseite) eine Beschichtungsvorrichtung aufweist, welche beispielsweise von der Dichtstruktur umgeben ist und/oder mit der Gegen-Kontaktkupplung (z.B. fluidleitend und/oder elektrisch) gekoppelt ist.
Beispiel 21 die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 16 bis 20, ferner aufweisend: ein Vakuumkammergehäuse, welches eine Kammeröffnung zum Aufnehmen des Vakuumkammerdeckels aufweist; wobei beispielsweise die Kammeröffnung ein Inneres des Vakuumkammergehäuses entlang der Kontaktrichtung freilegt.
Beispiel 22 ein Verfahren gemäß Patentanspruch 18, das unter anderem aufweist: Verlagern eines Kammerdeckels relativ zu einem Kammergehäuse (z.B. davon weg oder zu diesem hin) derart, dass der Kammerdeckel auf das Kammergehäuse aufgelegt wird oder von diesem abgenommen wird; Verschieben einer Kontaktkupplung mittels eines Linearantriebs relativ zu dem (Kammerdeckel z.B. von diesem weg oder zu diesem hin) derart, dass der Kammerdeckel in (z.B. fluidleitendem und/oder elektrischen) Kontakt mit der Kontaktkupplung gebracht wird, nachdem der Kammerdeckel auf das Kammergehäuse aufgelegt wurde, und der Kontakt aufgehoben wird, bevor der Kammerdeckel von dem Kammergehäuse abgenommen wird.
Beispiel 23 ein Verfahren, aufweisend: Ansteuern (z.B. mittels Erzeugens eines erstes Steuersignals) eines Hebewerks zum Verlagern eines Kammerdeckels einer Vakuumanordnung mittels des Hebewerks relativ zu einem Kammergehäuse (z.B. davon weg oder zu diesem hin), so dass der Kammerdeckel auf das Kammergehäuse aufgelegt wird oder von diesem abgenommen wird; und Ansteuern (z.B. mittels Erzeugens eines zweiten Steuersignals) eines Linearantriebs der Vakuumanordnung zum Verschieben einer Kontaktkupplung mittels des Linearantriebs relativ zu einem Kammerdeckel (z.B. davon weg oder zu diesem hin) derart, dass der Kammerdeckel in (z.B. fluidleitendem und/oder elektrischen) Kontakt mit der Kontaktkupplung gebracht wird, nachdem der Kammerdeckel auf das Kammergehäuse aufgelegt wurde und der Kontakt aufgehoben wird, bevor der Kammerdeckel von dem Kammergehäuse abgenommen wird.
Beispiel 24 das Verfahren gemäß Beispiel 23, ferner aufweisend: Ansteuern (z.B. mittels Erzeugens eines dritten Steuersignals) einer Verriegelungsvorrichtung zum Verriegeln oder Entriegeln des Kontakts des Kammerdeckels mit der Kontaktkupplung; und/oder Ansteuern (z.B. mittels Erzeugens eines vierten Steuersignals) eines Ventils derart, dass das Ventil geöffnet wird, nachdem der Kammerdeckel auf das Kammergehäuse aufgelegt wurde und das Ventil geschlossen wird, bevor der Kammerdeckel von dem Kammergehäuse abgenommen wird.
Beispiel 25 das Verfahren gemäß Beispiel 23 oder 24, ferner aufweisend: Durchführen einer Ausblassequenz, wenn (z.B. mittels eines Sensors) ermittelt wurde, dass ein Kammerdeckel einer Vakuumanordnung von einem Kammergehäuse der Vakuumanordnung abgehoben werden soll, die Ausblassequenz aufweisend: erstes Ansteuern (z.B. mittels Erzeugens eines entsprechenden Steuersignals) eines ersten Ventils zum Separieren einer mittels des Kammerdeckels flüssigkeitsversorgten Kühlvorrichtung der Vakuumanordnung von einer Flüssigkeitsversorgung mittels des ersten Ventils; zweites Ansteuern (z.B. mittels Erzeugens eines entsprechenden Steuersignals) eines zweiten Ventils zum Verbinden der Kühlvorrichtung mit einer Gasversorgung mittels des zweiten Ventils, beispielsweise zum Verdrängen von Flüssigkeit aus der Kühlvorrichtung mittels eines von der Gasversorgung zugeführten Gases, wobei beispielsweise das zweite Ansteuern erfolgt, wenn (z.B. mittels eines Sensors) ermittelt wurde, dass das Separieren erfolgt ist und/oder nach dem ersten Ansteuern.
Beispiel 26 ein Verfahren gemäß einem der Beispiele 23 bis 25, ferner aufweisend: eine Kammeröffnungssequenz nach der Ausblassequenz durzuführen, wenn (z.B. mittels eines Sensors) ermittelt wurde, dass ein Kammerdeckel einer Vakuumanordnung von einem Kammergehäuse der Vakuumanordnung abgehoben werden soll, die Kammeröffnungssequenz aufweisend: Ansteuern (z.B. mittels Erzeugens eines entsprechenden Steuersignals) des zweiten Ventils zum Separieren der Kühlvorrichtung von der Gasversorgung, nachdem die Flüssigkeit verdrängt wurde; und/oder Ansteuern (z.B. mittels Erzeugens eines entsprechenden Steuersignals) eines Hebewerks zum Verlagern des Kammerdeckels mittels des Hebewerks von dem Kammergehäuse weg; und/oder Ansteuern (z.B. mittels Erzeugens ein entsprechenden Steuersignals) eines Linearantriebs einer Vakuumanordnung zum Verschieben einer Kontaktkupplung mittels des Linearantriebs von dem Kammerdeckel weg, wobei beispielsweise die Flüssigkeitsversorgung der Kühlvorrichtung mittels der Kontaktkupplung erfolgt.
Beispiel 27 ist eine Steuervorrichtung gemäß dem Patentanspruch 20, die unter anderem eingerichtet ist, das Verfahren gemäß einem der Beispiele 23 bis 26 durchzuführen.
Beispiel 28 ist eine Vakuumanordnung, aufweisend: die Steuervorrichtung gemäß Beispiel 27, und das Ventil, das Kammergehäuse, den Kammerdeckel und/oder die Kupplungsvorrichtung, beispielsweise gemäß einem der Beispiele 1 bis 21.

Claims

Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400), aufweisend: einen Vakuumkammerdeckel (802d), welcher auf einer Unterseite eine umlaufende Dichtstruktur (1402) aufweist; und eine Kupplungsvorrichtung (100 bis 700), aufweisend: • ein Gestell (102), • einen von dem Gestell (102) getragenen Linearantrieb (104) ; • mehrere Kontaktkupplungen (110), von denen jede Kontaktkupplung (110) entlang einer Kontaktrichtung von einer Öffnung (106) durchdrungen ist, • eine Haltevorrichtung (108), welche die mehreren Kontaktkupplungen (110) ortsfest relativ zueinander hält; • wobei der Linearantrieb (104) eingerichtet ist, die Haltevorrichtung (108) entlang der Kontaktrichtung relativ zu dem Gestell (102) zu verschieben; • mehrere Leitungsanschlüsse (112) zum Anschließen einer Fluidleitung, von denen jeder Leitungsanschluss einer der mehreren Kontaktkupplungen (110) zugeordnet ist, wobei jeder der Leitungsanschlüsse (112) fluidleitend mit der Öffnung der ihm zugeordneten Kontaktkupplung (110) verbunden ist; wobei der Vakuumkammerdeckel (802d) ferner eine Gegen-Kupplungsvorrichtung (704) aufweist, die neben der Dichtstruktur (1402) angeordnet ist, wobei die Gegen-Kupplungsvorrichtung (704) mehrere Gegen-Kontaktkupplungen (810) aufweist; wobei jede der Gegen-Kontaktkupplungen (810) einer Kontaktkupplung (110) der Kupplungsvorrichtung (100 bis 700) zugeordnet ist und derart eingerichtet und angeordnet ist, dass die Gegen-Kontaktkupplung (810) und die ihr zugeordnete Kontaktkupplung (110) einander berühren, wenn die Gegen-Kupplungsvorrichtung und die Kupplungsvorrichtung (100 bis 700) zusammengefügt sind.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß Anspruch 1, wobei sich zumindest zwei Kontaktkupplungen (110) in einer Ausdehnung ihrer Öffnung (106) voneinander unterscheiden.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Haltevorrichtung (108) eine Platte aufweist, von welcher die Kontaktkupplungen (110) hervorstehen.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Linearantrieb (104) einen Hubzylinder aufweist.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die mehreren Kontaktkupplungen (110) mindestens vier Kontaktkupplungen (110) aufweisen.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, ferner aufweisend: eine elektrische Kontaktvorrichtung (602), welche in Kontaktrichtung freiliegende elektrische Kontakte (602k) und ein elektrisches Anschlussterminal (602t) aufweist, wobei die Kontaktvorrichtung von dem Gestell (102) getragen wird.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei von den mehreren Kontaktkupplungen (110) jede Kontaktkupplung (110) eine Dichtstruktur aufweist.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, ferner aufweisend: eine Verriegelungsvorrichtung (702) zum Verriegeln eines Kontakts der Kupplungsvorrichtung (100 bis 700) mit einer Gegen-Kupplungsvorrichtung.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, ferner eine Steuervorrichtung (2004) aufweisend, die eingerichtet ist zum Ansteuern des Linearantriebs (104), wenn ermittelt wurde, dass ein Vakuumkammerdeckel (802d) auf einem Vakuumkammergehäuse (802k) aufliegt.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß Anspruch 9, wobei die Steuervorrichtung (2004) eingerichtet ist, zum Ansteuern des Linearantriebs (104) derart, dass • die Haltevorrichtung (108) entgegen der Kontaktrichtung verschoben wird, wenn ermittelt wurde, dass der Vakuumkammerdeckel (802d) von dem Vakuumkammergehäuse (802k) abgehoben werden soll, und/oder • die Haltevorrichtung (108) in die Kontaktrichtung verschoben wird, wenn ermittelt wurde, dass der Vakuumkammerdeckel (802d) auf das Vakuumkammergehäuse (802k) aufgelegt wurde.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß Anspruch 10, ferner aufweisend: • mehrere Fluidleitungen (1502) zum Anschließen an die Leitungsanschlüsse (112), wobei jede der Fluidleitungen (1502) ein Ventil (1502v) aufweist; • wobei die Steuervorrichtung (2004) ferner eingerichtet ist zum Ansteuern des Ventils (1502v) einer oder mehr als einer Fluidleitung der mehreren Fluidleitungen (1502), • wobei das Ansteuern des Ventils (1502v) dem Ansteuern des Linearantriebs (104) vorgeschaltet ist, wenn die Haltevorrichtung (108) entgegen der Kontaktrichtung verschoben wird, und/oder nachgeschaltet ist, wenn die Haltevorrichtung (108) in die Kontaktrichtung verschoben wird.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß Anspruch 11, wobei die Steuervorrichtung (2004) eingerichtet ist, zum Ansteuern des Ventils (1502v) derart, dass das Ventil (1502v) mehrmals in Folge abwechselnd geöffnet und geschlossen wird, • bevor die Haltevorrichtung (108) entgegen der Kontaktrichtung verschoben wird; und/oder • nachdem die Haltevorrichtung (108) in die Kontaktrichtung verschoben wird.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei die eine Steuervorrichtung (2004) ferner eingerichtet ist: eine Ausblassequenz durzuführen, wenn ermittelt wurde, dass der Vakuumkammerdeckel (802d) von einem Vakuumkammergehäuse (802k) der Vakuumanordnung abgehoben werden soll, die Ausblassequenz aufweisend: • erstes Ansteuern (1603) eines ersten Ventils (1502v) zum Separieren einer mittels des Vakuumkammerdeckels (802d) flüssigkeitsversorgten Kühlvorrichtung der Vakuumanordnung von einer Flüssigkeitsversorgung (1702f) mittels des ersten Ventils (1502v); • zweites Ansteuern (1603) eines zweiten Ventils (1502v) zum Verbinden der Kühlvorrichtung mit einer Gasversorgung (1702a) mittels des zweiten Ventils (1502v) zum Verdrängen von Flüssigkeit aus der Kühlvorrichtung mittels eines von der Gasversorgung (1702a) zugeführten Gases, • wobei das zweite Ansteuern erfolgt, wenn ermittelt wurde, dass das Separieren erfolgt ist.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei der Vakuumkammerdeckel (802d) eine Vakuumpumpe aufweist, welche mit der Gegen-Kontaktkupplung (810) gekoppelt ist.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei der Vakuumkammerdeckel (802d) eine Vakuumdurchführung aufweist, die mit der Gegen-Kontaktkupplung (810) gekoppelt ist.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 15, wobei der Vakuumkammerdeckel (802d) auf der Unterseite eine Beschichtungsvorrichtung aufweist, welche von der Dichtstruktur (1402) umgeben ist und mit der Gegen-Kontaktkupplung (810) gekoppelt ist.
Vakuumanordnung (800, 1000 bis 1400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 16, ferner aufweisend: ein Vakuumkammergehäuse (802k), welches eine Kammeröffnung zum Aufnehmen des Vakuumkammerdeckels (802d) aufweist.
Verfahren (1700), aufweisend: • Verlagern eines Vakuumkammerdeckels (802d) relativ zu einem Vakuumkammergehäuse (802k) derart, dass der Vakuumkammerdeckel (802d) auf das Vakuumkammergehäuse (802k) aufgelegt wird oder von diesem abgenommen wird; • Verschieben mehrerer mittels einer Haltevorrichtung (108) ortsfest relativ zueinander gehaltener Kontaktkupplungen (110) mittels eines Linearantriebs (104) relativ zu dem Vakuumkammerdeckel (802d) derart, dass der Vakuumkammerdeckel (802d) in fluidleitenden Kontakt mit den Kontaktkupplungen (110) gebracht wird, nachdem der Vakuumkammerdeckel (802d) auf das Vakuumkammergehäuse (802k) aufgelegt wurde, und der Kontakt aufgehoben wird, bevor der Vakuumkammerdeckel (802d) von dem Vakuumkammergehäuse (802k) abgenommen wird.
Steuervorrichtung (2004), die eingerichtet ist zum: • Ansteuern eines Hebewerks zum Verlagern eines Vakuumkammerdeckels (802d) einer Vakuumanordnung mittels des Hebewerks relativ zu einem Vakuumkammergehäuse (802k) derart, dass der Vakuumkammerdeckel (802d) auf das Vakuumkammergehäuse (802k) aufgelegt wird oder von diesem abgenommen wird; • Ansteuern eines Linearantriebs (104) der Vakuumanordnung zum Verschieben mehrerer mittels einer Haltevorrichtung (108) ortsfest relativ zueinander gehaltener Kontaktkupplungen (110) mittels des Linearantriebs (104) relativ zu dem Vakuumkammerdeckel derart, dass der Vakuumkammerdeckel (802d) in Kontakt mit den Kontaktkupplungen (110) gebracht wird, nachdem der Vakuumkammerdeckel (802d) auf das Vakuumkammergehäuse (802k) aufgelegt wurde und der Kontakt aufgehoben wird, bevor der Vakuumkammerdeckel (802d) von dem Vakuumkammergehäuse (802k) abgenommen wird.
Steuervorrichtung (2004) gemäß Anspruch 19, die ferner eingerichtet ist, eine Ausblassequenz durzuführen, wenn ermittelt wurde, dass der Vakuumkammerdeckel (802d) der Vakuumanordnung von einem Vakuumkammergehäuse (802k) der Vakuumanordnung abgehoben werden soll, die Ausblassequenz aufweisend: • erstes Ansteuern (1603) eines ersten Ventils (1502v) zum Separieren einer mittels des Vakuumkammerdeckels (802d) flüssigkeitsversorgten Kühlvorrichtung der Vakuumanordnung von einer Flüssigkeitsversorgung (1702f) mittels des ersten Ventils (1502v); • zweites Ansteuern (1603) eines zweiten Ventils (1502v) zum Verbinden der Kühlvorrichtung mit einer Gasversorgung (1702a) mittels des zweiten Ventils (1502v) zum Verdrängen von Flüssigkeit aus der Kühlvorrichtung mittels eines von der Gasversorgung (1702a) zugeführten Gases, • wobei das zweite Ansteuern erfolgt, wenn ermittelt wurde, dass das Separieren erfolgt ist.