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Hintergrund
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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp, die einen induzierten Strom verwendet, um das Ausmaß einer Bewegung zwischen Elementen zu detektieren.
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Stand der Technik
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Allgemein bekannt ist eine Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp, die beinhaltet: eine Skala, die eine Skalenspule beinhaltet, und einen Kopf, der zu der Skala orientiert ist und sich relativ entlang einer Messrichtung bewegt.
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Der Kopf beinhaltet eine Sendeeinrichtung, die eine Sendespule beinhaltet, die einen magnetischen Fluss in der Skalenspule erzeugt, und eine Empfangsvorrichtung, die eine Empfangsspule beinhaltet, die eine Änderung des magnetischen Flusses von der Skalenspule empfängt.
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Bei derartigen Verschiebungsdetektionseinrichtungen vom elektromagnetischen Induktionstyp beinhaltet beispielsweise die in der Druckschrift
JP 2009-186348 A beschriebene Verschiebungsdetektionseinrichtung vom Induktionstyp eine Skala, die mehrere über den magnetischen Fluss gekoppelte Elemente (Skalenspulen) beinhaltet, die entlang der Messrichtung angeordnet sind, und einen Sensorkopf (Kopf), der zu der Skala orientiert ist und sich relativ entlang der Messrichtung bewegt. Der Sensorkopf beinhaltet eine Sendewicklung (Sendespule), die den magnetischen Fluss den mehreren über den magnetischen Fluss gekoppelten Elementen zuleitet, und eine Empfangswicklung (Empfangsspule), die zu einer über den magnetischen Fluss erfolgenden Kopplung mit den mehreren über den magnetischen Fluss gekoppelten Elementen fähig ist.
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Die Empfangswicklung beinhaltet eine erste Verdrahtungsschicht, die mehrere im Wesentlichen die Form eines S aufweisende Verdrahtungsleitungen beinhaltet, die entlang einer Reihenrichtung parallel zur Messrichtung angeordnet sind, und eine zweite Verdrahtungsschicht, die mehrere im Wesentlichen die Form eines umgedrehten S aufweisende Verdrahtungsleitungen beinhaltet, die entlang der Reihenrichtung auf ähnliche Weise wie bei der ersten Verdrahtungsschicht angeordnet sind. Bei der Empfangswicklung sind die erste Verdrahtungsschicht und die zweite Verdrahtungsschicht aufgeschichtet, wodurch mehrere rechteckige Wicklungen gebildet werden. Die Empfangswicklung beinhaltet eine Wicklungsgruppe, die die mehreren Wicklungen beinhaltet, die in der Reihenrichtung angeordnet sind, wobei zwei Reihen von Wicklungsgruppen entlang einer Spaltenrichtung senkrecht zur Reihenrichtung auf einer Oberfläche angeordnet sind, auf der wiederum die erste Verdrahtungsschicht und die zweite Verdrahtungsschicht angeordnet sind. Die Empfangswicklung beinhaltet die zwei Reihen der Wicklungsgruppen, die entlang der Spaltenrichtung angeordnet sind, wodurch die empfangbare Signalstärke verbessert wird.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Von der Erfindung zu lösende Probleme
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Es treten Fälle auf, in denen der Kopf in einer Rollrichtung, einer Nickrichtung und einer Gierrichtung in Bezug auf die Skala geneigt ist, was ein Problem dahingehend verursacht, dass die Änderung des von der Empfangsvorrichtung empfangenen magnetischen Flusses beeinflusst wird.
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Hierbei ist die Rollrichtung eine Richtung, in der sich der Kopf um die Reihenrichtung dreht; die Nickrichtung ist eine Richtung, in der sich der Kopf um die Spaltenrichtung dreht; und die Gierrichtung ist eine Richtung, in der sich der Kopf um eine Richtung senkrecht zur Reihenrichtung und zur Spaltenrichtung dreht.
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Dreht sich der Kopf beispielsweise in der Nickrichtung in Bezug auf die Skala und gelangt eine Endseite entlang der Reihenrichtung an die Skala heran, so gelangt die andere Endseite von der Skala weg. In diesem Fall nimmt auf der einen Endseite der Empfangsvorrichtung der Einfluss der Änderung des empfangenen magnetischen Flusses zu, während auf der anderen Endseite der Empfangsvorrichtung der Einfluss der Änderung des empfangenen magnetischen Flusses abnimmt.
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Demgegenüber gilt: Dreht sich der Kopf beispielsweise in der Nickrichtung in Bezug auf die Skala und gelangt die eine Endseite entlang der Reihenrichtung von der Skala weg, so gelangt die andere Endseite an die Skala heran. In diesem Fall nimmt auf der einen Endseite der Empfangsvorrichtung der Einfluss der Änderung des empfangenen magnetischen Flusses ab, während auf der anderen Endseite der Empfangsvorrichtung der Einfluss der Änderung des empfangenen magnetischen Flusses zunimmt.
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Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung einer Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp, bei der dem Einfluss der Änderung des von der Empfangsvorrichtung empfangenen magnetischen Flusses entgegengewirkt werden kann.
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Mittel zum Lösen der Probleme
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Entsprechend der vorliegenden Erfindung beinhaltet eine Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp: eine Skala, die eine Skalenspule beinhaltet; und einen Kopf, der zu der Skala orientiert ist und sich relativ entlang der Skala in einer Messrichtung bewegt, wobei der Kopf beinhaltet: eine Sendevorrichtung, die eine Sendespule beinhaltet, die einen magnetischen Fluss in der Skalenspule erzeugt; und eine Empfangsvorrichtung, die eine erste Empfangseinheit und eine zweite Empfangseinheit beinhaltet, die jeweils eine Änderung des magnetischen Flusses von der Skalenspule empfangen, und in der die erste Empfangseinheit und die zweite Empfangseinheit entlang der Messrichtung gegeneinander verschoben angeordnet sind, und wobei die erste Empfangseinheit und die zweite Empfangseinheit beinhalten: mehrere Spulenleitungen, die entlang einer Spaltenrichtung parallel angeordnet sind, wobei die mehreren Spulenleitungen mehrere Empfangsspulen beinhalten, die entlang einer Reihenrichtung parallel zur Messrichtung angeordnet sind, und die Empfangsvorrichtung beinhaltet: einen Endabschnitt und einen anderen Endabschnitt, die auf einer Endseite beziehungsweise einer anderen Endseite in Messrichtung positioniert sind und in denen die Dichte der mehreren Empfangsspulen dünner ausgestaltet ist; und einen Zentralabschnitt, der zwischen dem einen Endabschnitt und dem anderen Endabschnitt positioniert ist und in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dichter ausgestaltet ist.
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Hierbei bezeichnet ein Zustand, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dünner ausgestaltet ist, beispielsweise einen Zustand, in dem die Anzahl der Windungen der Empfangsspulen verringert ist, wobei ein Abschnitt, der nicht als Empfangsspule wirkt, nicht zur Erzeugung des magnetischen Flusses vorgesehen ist, oder in dem die Fläche der Empfangsspulen verringert ist, wodurch bewirkt wird, dass die Einrichtung weniger empfindlich gegenüber dem Einfluss des von der Empfangsvorrichtung empfangenen magnetischen Flusses ist. Zusätzlich bezeichnet ein Zustand, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dünner ausgestaltet ist, beispielsweise einen Zustand, in dem die Anzahl der Windungen durch Überlappung der Empfangsspulen erhöht ist oder in dem die Fläche der Empfangsspulen erhöht ist, wodurch bewirkt wird, dass die Einrichtung empfindlicher gegenüber dem Einfluss des von der Empfangsvorrichtung empfangenen magnetischen Flusses ist.
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Entsprechend der vorliegenden Erfindung gemäß vorstehender Beschreibung ist sogar dann, wenn sich der Kopf in der Nickrichtung dreht und nahe an die Skala heran oder weiter von dieser weg gelangt, die Änderung des erzeugten magnetischen Flusses in dem einen Endabschnitt und dem anderen Endabschnitt, in denen die Dichte der mehreren Empfangsspulen dünner ausgestaltet ist, im Vergleich zu dem Zentralabschnitt, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dichter ausgestaltet ist, kleiner, wodurch ermöglicht wird zu bewirken, dass die Einrichtung weniger empfindlich gegenüber dem Einfluss der Änderung des von der Empfangsvorrichtung empfangenen magnetischen Flusses wird.
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Zusätzlich ist sogar dann, wenn sich der Kopf in der Nickrichtung dreht und nahe an die Skala heran oder weiter von dieser weg gelangt, die Größe des erzeugten magnetischen Flusses in dem Zentralabschnitt, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dichter ausgestaltet ist, im Vergleich zu dem einen Endabschnitt und dem anderen Endabschnitt, in denen die Dichte der mehreren Empfangsspulen dünner ausgestaltet ist, größer, wodurch es möglich wird zu bewirken, dass die Einrichtung empfindlicher gegenüber dem Einfluss der Änderung des von der Empfangsvorrichtung empfangenen magnetischen Flusses wird. Im Ergebnis kann bei der Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Typ die Änderung des von der Empfangsvorrichtung empfangenen magnetischen Flusses stabilisiert werden.
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Daher kann bei der Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp dem Einfluss der Änderung des von der Empfangsvorrichtung empfangenen magnetischen Flusses entgegengewirkt werden.
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Im vorliegenden Fall wird bevorzugt, wenn in dem einen Endabschnitt und dem anderen Endabschnitt die Dichte der mehreren Empfangsspulen dadurch dünner ausgestaltet wird, dass einige der Empfangsspulen in wenigstens einer Spulenleitung von den mehreren Spulenleitungen entfernt werden.
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Hierbei sind die Empfangsspulen derart ausgestaltet, dass mehrere Verdrahtungsschichten, in denen mehrere Verdrahtungsleitungen ausgebildet sind, auf einem Substrat aufgeschichtet sind.
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Durch ein Verfahren zur Aufschichtung wenigstens dreier Verdrahtungsschichten kann beispielsweise bewirkt werden, dass die Empfangsspulen in einem Zustand befindlich sind, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dünner ausgestaltet ist. Insbesondere kann ein Verfahren zum Einsatz kommen, bei dem zusätzlich zu den zwei die Empfangsspulen bildenden Verdrahtungsschichten eine neue Verdrahtungsschicht aufgeschichtet wird, die eine Verdrahtungsleitung zum Neutralisieren der Funktionen der Empfangsspulen beinhaltet. In diesem Fall tritt ein Problem dahingehend auf, dass die Empfangsspulen durch Aufschichten wenigstens dreier Verdrahtungsschichten gebildet werden müssen.
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Darüber hinaus kann beispielsweise durch das Verfahren zur Aufschichtung wenigstens dreier Verdrahtungsschichten bewirkt werden, dass die Empfangsspulen in einem Zustand befindlich sind, in dem die Dichte der mehreren Spulen dichter ausgestaltet ist. Insbesondere kann ein Verfahren zum Einsatz kommen, bei dem zusätzlich zu den zwei die Empfangsspulen bildenden Verdrahtungsschichten eine Verdrahtungsschicht aufgeschichtet wird, die eine Verdrahtungsleitung zum miteinander erfolgenden Verbinden der zwei Verdrahtungsschichten zur Erhöhung der Anzahl der Windungen beinhaltet. In diesem Fall tritt ein Problem dahingehend auf, dass die Empfangsspulen durch Aufschichten wenigstens dreier Verdrahtungsschichten gebildet werden müssen.
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Entsprechend der vorliegenden Erfindung wird jedoch bewirkt, dass der eine Endabschnitt und der andere Endabschnitt jeweils in einem Zustand befindlich sind, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dadurch dünner ausgestaltet wird, dass einige der Empfangsspulen in wenigstens einer Spulenleitung von den mehreren Spulenleitungen entfernt werden. Aus diesem Grund können, ohne dass die Verdrahtungsschicht zum Neutralisieren der Funktionen der Empfangsspulen oder die Verdrahtungsschicht zum miteinander erfolgenden Verbinden der zwei Verdrahtungsschichten zur Erhöhung der Anzahl von Windungen aufgeschichtet werden müssen, die Empfangsspulen dadurch gebildet werden, dass die zwei Verdrahtungsschichten in einem Zustand, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dünner ausgestaltet ist, und in einem Zustand, in dem die Dichte dichter ausgestaltet ist, aufgeschichtet werden.
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Da die Empfangsspulen dadurch gebildet sind, dass die zwei Verdrahtungsschichten aufgeschichtet werden, ist die Anzahl der verwendeten Verdrahtungsschichten zudem kleiner als in einem Fall, in dem drei Verdrahtungsschichten zur Bildung der Empfangsspule aufgeschichtet sind. Daher kann der Herstellungsprozess der Empfangsspulen vereinfacht werden, und es kann eine Kostenverringerung bei einer Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp verwirklicht werden.
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Hierbei kann in einem Fall, in dem mehrere Empfangseinheiten, so beispielsweise die erste Empfangseinheit und die zweite Empfangseinheit, gegeneinander verschoben angeordnet sind, bewirkt werden, dass die Empfangsspulen in einem Zustand befindlich sind, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dadurch dünner ausgestaltet ist, dass zwei Verdrahtungsschichten und nicht drei Verdrahtungsschichten verwendet werden. Insbesondere sind die mehreren effektiv wirkenden Empfangsspulen entlang der Messrichtung beabstandet voneinander angeordnet und in einem Zustand befindlich, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dünner ausgestaltet ist. Sodann kann ein Verfahren eingesetzt werden, bei dem die Verdrahtungsleitung derart angeordnet ist, dass sie sich in einen Bereich außerhalb eines Bereiches erstreckt, in dem die effektiv wirkenden Empfangsspulen ausgebildet sind, wobei die mehreren Empfangsspulen, die beabstandet voneinander angeordnet sind, miteinander verbunden sind. Da die Empfangsspulen in diesem Fall derart angeordnet sind, dass sich die Verdrahtungsleitung nach außerhalb des Bereiches erstreckt, in dem die effektiv wirkenden Empfangsspulen ausgebildet sind, tritt ein Problem dahingehend auf, dass der Bereich (Fläche), der zum Bilden der Empfangsspulen erforderlich ist, zunimmt. Zudem tritt ein Problem dahingehend auf, dass bei den Empfangsspulen eine Verdrahtungsleitung, die nicht als eine der Empfangsspulen wirkt, zum miteinander erfolgenden Verbinden der mehreren beabstandet voneinander angeordneten Empfangsspulen verwendet werden muss.
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Entsprechend der vorliegenden Erfindung wird jedoch bewirkt, dass der eine Endabschnitt und der andere Endabschnitt jeweils in einem Zustand befindlich sind, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dadurch dünner ausgestaltet ist, dass einige der Empfangsspulen entfernt sind. Aus diesem Grund kann bewirkt werden, dass die Empfangsspulen in einem Zustand befindlich sind, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dünner ausgestaltet ist, ohne dass die Verdrahtungsleitung, die sich nach außerhalb des Bereiches erstreckt, in dem die effektiv wirkenden Empfangsspulen ausgebildet sind, vorhanden ist. Zusätzlich kann bei den Empfangsspulen, ohne dass die Verdrahtungsleitung verwendet wird, die nicht als eine der Empfangsspulen wirkt, um die mehreren beabstandet voneinander angeordneten Empfangsspulen miteinander zu verbinden, bewirkt werden, dass alle Verdrahtungsleitungen effektiv als Empfangsspulen wirken. Daher kann bei der Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Typ die Effizienz der Empfangsspulen verbessert werden.
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Im vorliegenden Fall wird bevorzugt, wenn die erste Empfangseinheit und die zweite Empfangseinheit drei oder mehr Reihen von Spulenleitungen beinhalten, wobei in dem einen Endabschnitt und dem anderen Endabschnitt die Dichte der mehreren Empfangsspulen dadurch dünner ausgestaltet ist, dass einige der Empfangsspulen einer jeden der Spulenleitungen, die auf beiden Seiten in der Spaltenrichtung angeordnet sind, von den mehreren Spulenleitungen achsensymmetrisch in Bezug auf eine Symmetrieachse entlang der Messrichtung entfernt werden.
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Bei der vorliegenden Ausgestaltung sind in dem einen Endabschnitt und dem anderen Endabschnitt von den mehreren Spulenleitungen einige der Empfangsspulen einer jeden der Spulenleitungen, die auf beiden Seiten in der Spaltenrichtung angeordnet sind, entlang der Messrichtung achsensymmetrisch in Bezug auf die Symmetrieachse entfernt. Im Ergebnis sind in einem Fall, in dem sich der Kopf in Rollrichtung in Bezug auf die Skala dreht, in dem einen Endabschnitt und dem anderen Endabschnitt die Anzahl der mehreren Empfangsspulen, die nahe an der Skala sind, und die Anzahl der Empfangsspulen, die von der Skala entfernt sind, wechselseitig gleich, sodass der Einfluss der Änderung des magnetischen Flusses neutralisiert und gesenkt werden kann.
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Im vorliegenden Fall wird bevorzugt, wenn in dem einen Endabschnitt und dem anderen Endabschnitt die Dichte der mehreren Empfangsspulen dadurch dünner ausgestaltet wird, dass eine identische Anzahl von Empfangsspulen entfernt wird.
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Bei der vorliegenden Ausgestaltung sind die mehreren Empfangsspulen der Empfangsvorrichtung entlang der Messrichtung in einer im Wesentlichen sechseckigen Form angeordnet. Insbesondere sind in einem Zustand, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dichter ausgestaltet ist, Abschnitte in einer im Wesentlichen rechteckigen Form angeordnet. In einem Zustand, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen dünner ausgestaltet ist, sind Abschnitte in einer im Wesentlichen dreieckigen Form mit jeder Seite auf der dem einen Endabschnitt zu eigenen Seite und der dem anderen Endabschnitt zu eigenen Seite der im Wesentlichen rechteckigen Form als Basis angeordnet. Im Ergebnis stehen in einem Fall, in dem sich der Kopf in Gierrichtung in Bezug auf die Skala dreht, die Empfangsspulen in dem einen Endabschnitt und dem anderen Endabschnitt nicht ohne Weiteres über die Skala hinaus vor, sodass der Einfluss der Änderung des magnetischen Flusses verringert werden kann.
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Ein Messinstrument der vorliegenden Erfindung beinhaltet eine Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp entsprechend der vorliegenden Erfindung, wobei ein Messergebnis auf Grundlage des Ausmaßes einer zwischen einer Skala und einem Kopf erfolgenden Bewegung, die von der Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp detektiert wird, ausgegeben wird.
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Entsprechend der vorliegenden Erfindung gemäß vorstehender Beschreibung beinhaltet das Messinstrument die Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp entsprechend der vorliegenden Erfindung, wobei hier dem Einfluss der Änderung des von der Empfangsvorrichtung empfangenen magnetischen Flusses entgegengewirkt wird und die Stabilität des Messergebnisses verbessert werden kann.
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Figurenliste
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- 1 ist eine perspektivische Ansicht zur Darstellung einer Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp entsprechend einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
- 2 ist eine Draufsicht zur Darstellung einer Skala entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
- 3 ist eine Draufsicht zur Darstellung eines Kopfes entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
- 4A bis 4C sind Diagramme jeweils zur Darstellung einer Empfangseinheit entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
- 5A und 5B sind Diagramme jeweils zur Darstellung von Empfangsspulen bildenden Verdrahtungsleitungen entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
- 6 ist eine Draufsicht zur Darstellung eines Kopfes entsprechend einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
- 7 ist ein Diagramm zur Darstellung einer Empfangseinheit entsprechend einer Abwandlung.
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Detailbeschreibung der Ausführungsformen
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Erste Ausführungsform
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Nachstehend wird eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnung beschrieben.
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1 ist eine perspektivische Ansicht zur Darstellung einer Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Wie in 1 dargestellt ist, beinhaltet eine Verschiebungsdetektionseinrichtung 1 vom elektromagnetischen Induktionstyp eine Skala 2, die eine Skalenspule beinhaltet, und einen Kopf 3, der zu der Skala 2 orientiert ist und sich relativ entlang einer Messrichtung bewegt, und wird als Messinstrument für einen Messschieber (caliper) vom elektromagnetischen Induktionstyp verwendet.
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Die Verschiebungsdetektionseinrichtung 1 vom elektromagnetischen Induktionstyp ist innerhalb des Messschiebers vom elektromagnetischen Induktionstyp vorgesehen. In dem Messschieber vom elektromagnetischen Induktionstyp werden die Skala 2 und der Kopf 3 entlang der X-Richtung, die die Messrichtung ist, relativ bewegt, wobei das Ausmaß der Bewegung zwischen den Elementen auf Grundlage eines induzierten Stromes von der Verschiebungsdetektionseinrichtung 1 vom elektromagnetischen Induktionstyp detektiert wird und wobei das Messergebnis auf Grundlage des Ausmaßes der detektierten Bewegung an einer Anzeigeeinheit (nicht dargestellt) oder dergleichen ausgegeben wird.
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In der nachfolgenden Beschreibung und in den Zeichnungsfiguren werden Fälle behandelt, in denen die Bewegungsrichtung (Messrichtung) des Kopfes 3, die die Längsrichtung der Skala 2 ist, als X-Richtung bezeichnet wird, während die Breitenrichtung der Skala 2 senkrecht zur X-Richtung als Y-Richtung bezeichnet wird.
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2 ist eine Draufsicht zur Darstellung der Skala entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Wie in 2 dargestellt ist, beinhaltet die Skala 2 ein isolierendes Substrat 21, das aus einem länglichen Glasepoxidharz besteht, und eine Skalenspule 22, die derart vorgesehen ist, dass sie zu dem Kopf 3 orientiert ist.
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Das isolierende Substrat 21 kann anstelle des Glasepoxidharzes auch aus einem Material wie Glas oder Silizium bestehen.
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Die Skalenspule 22 ist aus einem Material mit geringem elektrischem Widerstand gebildet, so beispielsweise aus Aluminium, Kupfer oder Gold, und wird von einem im Wesentlichen rechteckigen linearen Leiter gebildet, der eine Breite W in X-Richtung aufweist.
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Die Skalenspule 22 ist mit derselben Rasterbreite (pitch) W wie die Breite W der Skalenspule 22 entlang der X-Richtung an der Skala 2 vorgesehen, wobei drei Reihen entlang der Y-Richtung vorgesehen sind. Folglich beinhaltet die Skalenspule 22 eine Skalenspule 22a der ersten Reihe, eine Skalenspule 22b der zweiten Reihe und eine Skalenspule 22c der dritten Reihe. Zusätzlich kann die Skalenspule 22 eine Metallplatte mit periodischer Anordnung oder dergleichen sein, anstatt dass sie als linearer Leiter ausgestaltet ist.
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3 ist eine Draufsicht zur Darstellung des Kopfes entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Wie in 3 dargestellt ist, beinhaltet der Kopf 3 auf einem aus Glasepoxidharz bestehenden isolierenden Substrat 31 eine Sendevorrichtung 4, die einen magnetischen Fluss in der Skalenspule 22 (siehe 2) erzeugt, und eine Empfangsvorrichtung 5, die eine Änderung des magnetischen Flusses von der Skalenspule 22 empfängt. Das isolierende Substrat 31 kann anstatt aus Glasepoxidharz auch aus einem Material wie Glas oder Silizium bestehen.
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Die Sendevorrichtung 4 ist derart vorgesehen, dass sie zu der Skala 2 orientiert ist, und beinhaltet eine Sendespule 41, die den magnetischen Fluss in der Skalenspule 22 erzeugt.
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Die Sendespule 41 ist aus einem Material mit geringem elektrischem Widerstand gebildet, so beispielsweise aus Aluminium, Kupfer oder Gold, und ist in rechteckiger Form derart angeordnet, dass sie die Empfangsvorrichtung 5 umgibt.
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Die Sendespule 41 muss jedoch nicht derart, dass sie die Empfangsvorrichtung 5 umgibt, in rechteckiger Form angeordnet sein, sondern kann eine beliebige Ausgestaltung aufweisen, solange der magnetische Fluss in der Skalenspule 22 erzeugt werden kann.
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Die Empfangsvorrichtung 5 ist innerhalb der Sendespule 41 positioniert und beinhaltet Empfangseinheiten 51 bis 53, die mehrere Empfangsspulen 500 beinhalten. Die Empfangseinheit 51 wirkt als erste Empfangseinheit, während die Empfangseinheit 52 als zweite Empfangseinheit wirkt. Die Empfangseinheiten 51 bis 53 sind derart angeordnet, dass die Phasen der drei Einheiten um 120° gegeneinander verschoben sind.
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In einem Fall, in dem zwei beliebige der Empfangseinheiten 51 bis 53 derart angeordnet sind, dass die Phasen der beiden Einheiten gegeneinander verschoben sind, kann die Empfangsvorrichtung 5 die Bewegungsrichtung (Signalrichtung) des Kopfes 3 in Bezug auf die Skala 2 detektieren. In einem Fall, in dem die Empfangseinheiten 51 bis 53 derart angeordnet sind, dass die Phasen der drei Einheiten gegeneinander verschoben sind, kann die Empfangsvorrichtung 5 ein Signal auf Grundlage von zwei Phasen aus einem Signal auf Grundlage von drei Phasen extrahieren und die Verzerrung eines Signals, das erzeugt wird, wenn der Kopf 3 in Bezug auf die Skala 2 bewegt wird, neutralisieren.
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Um die Genauigkeit des zu detektierenden Signals zu verbessern, sind aus demselben Grund bei der Empfangsvorrichtung 5 die drei Empfangseinheiten 51 bis 53, also die Empfangseinheit 51 als erste Empfangseinheit, die Empfangseinheit 52 als zweite Empfangseinheit und die zusätzliche Empfangseinheit 52, entlang der X-Richtung, die die Messrichtung ist, gegeneinander verschoben angeordnet.
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Die Empfangsvorrichtung 5 beinhaltet einen Endabschnitt 10a und einen anderen Endabschnitt 10b, die auf einer Endseite (Seite in Linksrichtung des Blattes) beziehungsweise auf der anderen Endseite (Seite in Rechtsrichtung des Blattes) in der X-Richtung, die die Messrichtung ist, positioniert sind, wobei die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dünner ausgestaltet ist. Zusätzlich beinhaltet die Empfangsvorrichtung 5 einen Zentralbereich 11, der zwischen dem einen Endabschnitt 10a und dem anderen Endabschnitt 10b positioniert ist und in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dichter ausgestaltet ist.
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Der eine Endabschnitt 10a und der andere Endabschnitt 10b sind dünner ausgestaltete Abschnitte, in denen die Empfangseinheiten 51 bis 53 gegeneinander verschoben angeordnet sind und in denen die Überlappung der mehreren Empfangsspulen 500 kleiner als diejenige in dem Zentralabschnitt 11 ist, wobei die mehreren Empfangsspulen 500 in einer im Wesentlichen dreieckigen Form angeordnet sind.
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Der Zentralabschnitt 11 ist ein dichter ausgestalteter Abschnitt, in dem die Empfangseinheiten 51 bis 53 gegeneinander verschoben angeordnet sind und in dem die Überlappung der mehreren Empfangsspulen 500 größer als in dem einen Endabschnitt 10a und dem anderen Endabschnitt 10b ist, wobei die mehreren Empfangsspulen 500 in einer im Wesentlichen rechteckigen Form angeordnet sind.
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Daher sind die mehreren Empfangsspulen 500 der Empfangsvorrichtung 5 in einer länglichen im Wesentlichen sechseckigen Form entlang der X-Richtung, die eine Reihenrichtung ist, angeordnet.
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4A bis 4C sind Diagramme jeweils zur Darstellung der Empfangseinheit entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Insbesondere ist 4A ein Diagramm zur Darstellung der Empfangseinheit 51, die die erste Empfangseinheit ist. 4B ist ein Diagramm zur Darstellung der Empfangseinheit 52, die die zweite Empfangseinheit ist. 4C ist ein Diagramm zur Darstellung der Empfangseinheit 53.
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Die Empfangseinheiten 51 bis 53 beinhalten jeweils Spulenleitungen 511 bis 513, in denen die mehreren Empfangsspulen 500 entlang der X-Richtung, die die Reihenrichtung ist, parallel zur Messeinrichtung angeordnet sind.
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Drei Reihen einer jeden der Spulenleitungen 511 bis 513 in den Empfangseinheiten 51 bis 53 sind entlang der Y-Richtung, die die Spaltenrichtung ist, parallel angeordnet.
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Wie in 4A dargestellt ist, beinhaltet die Empfangseinheit 51 die Spulenleitung 511, in der die mehreren Empfangsspulen 500 entlang der X-Richtung angeordnet sind.
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Die Spulenleitung 511 beinhaltet eine Spulenleitung 511a, die in der obersten Reihe (Richtung nach oben auf dem Blatt) positioniert ist, eine Spulenleitung 511b, die in der mittleren Reihe positioniert ist, und eine Spulenleitung 511c, die in der untersten Reihe (Richtung nach unten auf dem Blatt) positioniert ist, wobei die Spulenleitungen entlang der Y-Richtung parallel angeordnet sind.
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In dem einen Endabschnitt 10a der Empfangseinheit 51 von den Spulenleitungen 511a und 511c sind jeweils zwei der Empfangsspulen 500, die auf beiden Seiten in der Y-Richtung angeordnet sind, achsensymmetrisch in Bezug auf eine Symmetrieachse L1 entlang der X-Richtung, die die Messrichtung ist, entfernt.
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Wie in 4B dargestellt ist, beinhaltet die Empfangseinheit 52 eine Spulenleitung 512, in der die mehreren Empfangsspulen 500 entlang der X-Richtung angeordnet sind.
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Die Spulenleitung 512 beinhaltet eine Spulenleitung 512a, die in der obersten Reihe positioniert ist, eine Spulenleitung 512b, die in der mittleren Reihe positioniert ist, und eine Spulenleitung 512c, die in der untersten Reihe positioniert ist, wobei die Spulenleitungen entlang der Y-Richtung parallel angeordnet sind.
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In dem anderen Endabschnitt 10b der Empfangseinheit 52 sind von den Spulenleitungen 512a und 512c jeweils zwei der Empfangsspulen 500, die auf beiden Seiten in der Y-Richtung angeordnet sind, achsensymmetrisch in Bezug auf die Symmetrieachse L1 entlang der X-Richtung entfernt.
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Folglich sind in der Empfangseinheit 52 die Empfangsspulen 500 an Positionen angeordnet, in denen die Empfangseinheit 51 achsensymmetrisch in Bezug auf eine Symmetrieachse L2 entlang der Y-Richtung, die die Spaltenrichtung 4st, umgedreht ist.
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Wie in 4C dargestellt ist, beinhaltet die Empfangseinheit 53 eine Spulenleitung 513, in der die mehreren Empfangsspulen 500 entlang der X-Richtung angeordnet sind.
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Die Spulenleitung 513 beinhaltet eine Spulenleitung 513a, die in der obersten Reihe positioniert ist, eine Spulenleitung 513b, die in der mittleren Reihe positioniert ist, und eine Spulenleitung 513c, die in der untersten Reihe positioniert ist, wobei die Spulenleitungen entlang der Y-Richtung parallel angeordnet sind.
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In dem einen Endabschnitt 10a und dem anderen Endabschnitt 10b der Empfangseinheit 53 ist von den Spulenleitungen 513a und 513c jeweils eine der Empfangsspulen 500, die auf beiden Seiten in der Y-Richtung, die die Spaltenrichtung ist, angeordnet sind, achsensymmetrisch in Bezug auf die Symmetrieachse L1 entlang der X-Richtung, die die Messrichtung ist, entfernt.
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Folglich sind in der Empfangseinheit 53 die Empfangsspulen 500 an Positionen angeordnet, die in Bezug auf die Symmetrieachsen L1 und L2 entlang der X- und Y-Richtungen bezugsrichtig achsensymmetrisch sind.
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5A und 5B sind Diagramme jeweils zur Darstellung von Empfangsspulen bildenden Verdrahtungsleitungen entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Insbesondere sind 5A und 5B Diagramme jeweils zur Darstellung von mehreren Verdrahtungsleitungen 6, die die Empfangsspulen 500 in der Empfangseinheit 51 von 4A bilden. Zusätzlich beinhalten die mehreren Verdrahtungsschichten 6 eine erste Verdrahtungsschicht 61 und eine zweite Verdrahtungsschicht 62, die jeweils mehrere angeordnete Verdrahtungsleitungen beinhalten. 5A ist ein Diagramm zur Darstellung der ersten Verdrahtungsschicht 61. 5B ist ein Diagramm zur Darstellung der zweiten Verdrahtungsschicht 62.
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Die Empfangsspulen 500 sind dadurch gebildet, dass die erste Verdrahtungsschicht 61 und die zweite Verdrahtungsschicht 62 aufgeschichtet sind.
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Wie in 5A dargestellt ist, beinhaltet die erste Verdrahtungsschicht 61 im Wesentlichen die Form eines S aufweisende Verdrahtungsleitungen 611, die die Empfangsspulen 500 des zentralen Abschnittes 11 bilden, der ein dichter ausgestalteter Abschnitt der Empfangseinheit 51 ist, sowie Verdrahtungsleitungen 612, die die Empfangsspulen 500 des einen Endabschnittes 10a, der ein dünner ausgestalteter Abschnitt der Empfangseinheit 51 ist, entlang der X-Richtung, die die Messrichtung ist, bilden.
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Wie in 5B gezeigt ist, beinhaltet die zweite Verdrahtungsschicht 62 im Wesentlichen die Form eines umgedrehten S aufweisende Verdrahtungsleitungen 621, die die Empfangsspulen 500 des Zentralabschnittes 11 bilden, der der dichter ausgestaltete Abschnitt der Empfangseinheit 51 ist, und Verdrahtungsleitungen 622, die die Empfangsspulen 500 des einen Endabschnittes 10a, der der dünner ausgebildete Abschnitt der Empfangseinheit 51 ist, entlang der X-Richtung, die die Messrichtung ist, bilden.
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Die mehreren Verdrahtungsschichten 6 beinhalten Verbindungsabschnitte 7, die die Empfangsspulen 500 dadurch bilden, dass die erste Verdrahtungsschicht 61 und die zweite Verdrahtungsschicht 62 aufgeschichtet und miteinander verbunden sind. Die Verbindungsabschnitte 7 verbinden die erste Verdrahtungsschicht 61 und die zweite Verdrahtungsschicht 62 durchgängig miteinander.
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Insbesondere beinhalten, wie in 5A und 5B dargestellt ist, die Verbindungsabschnitte 7 einen ersten Verbindungsabschnitt 7a bis zu einem achtzehnten Verbindungsabschnitt 7r. Der erste Verbindungsabschnitt 7a bis zu dem dritten Verbindungsabschnitt 7c, der siebzehnte Verbindungsabschnitt 7q und der achtzehnte Verbindungsabschnitt 7r bilden die Verdrahtungsleitungen 611 und die Verdrahtungsleitungen 621 zur Bildung der Empfangsspulen 500 des einen Endabschnittes 10a, der der dünner ausgestaltete Abschnitt der Empfangseinheit 51 ist. Der vierte Verbindungsabschnitt 7d bis zu dem sechzehnten Verbindungsabschnitt 7p verbinden die Verdrahtungsleitungen 611 und die Verdrahtungsleitungen 621 zur Bildung der Empfangsspulen 500 des zentralen Abschnittes 11, der der dichter ausgestaltete Abschnitt der Empfangseinheit 51 ist, miteinander.
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Die mehreren Verdrahtungsschichten 6 sind durchgängig durch den ersten Verbindungsabschnitt 7a bis zu dem achtzehnten Verbindungsabschnitt 7r miteinander verbunden, sodass ein Strom beispielsweise von dem ersten Verbindungsabschnitt 7a als Anfangspunkt zu dem ersten Verbindungsabschnitt 7a als Endpunkt fließt, wobei die Verdrahtungsschichten 6 insgesamt als Empfangseinheit 51, die eine Spule darstellt, wirken.
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Der Anfangspunkt und der Endpunkt des Stromflusses sind nicht auf den ersten Verbindungsabschnitt 7a beschränkt, sondern es kann ein beliebiger der Verbindungsabschnitte 7 von dem ersten Verbindungsabschnitt 7a bis zu dem achtzehnten Verbindungsabschnitt 7r Ausgangspunkt und Endpunkt sein.
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Die Verdrahtungsschichten 6 der Empfangseinheit 52 weisen eine Anordnung auf, die zu derjenigen gleich ist, in der die Verdrahtungsschichten 6 der Empfangseinheit 51 in Bezug auf die Symmetrieachse L2 umgekehrt achsensymmetrisch sind.
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Zusätzlich ist die Empfangseinheit 53 (nicht dargestellt) durchgängig dadurch gebildet, dass die erste Verdrahtungsschicht und die zweite Verdrahtungsschicht aufgeschichtet und die Schichten miteinander durch die Verbindungsabschnitte 7 ähnlich wie bei den Empfangseinheiten 51 und 52 miteinander verbunden sind.
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Die Verbindungsabschnitte 7 sind jeweils ein Durchgangsloch, ein Via-Loch oder dergleichen und können eine beliebige Ausgestaltung aufweisen, solange die Empfangsspulen 500 durch Verbinden der Verdrahtungsleitungen 611, 612, 621 und 622 gebildet werden können.
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Entsprechend der vorliegenden Ausführungsform gemäß vorstehender Beschreibung können die nachfolgenden Funktionen und Wirkungen verwirklicht werden.
- (1) Sogar dann, wenn sich der Kopf 3 in der Nickrichtung dreht und nahe an die Skala 2 heran oder von dieser weg gelangt, ist die Änderung des erzeugten magnetischen Flusses in dem einen Endabschnitt 10a und dem anderen Endabschnitt 10b, in denen die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dünner ausgestaltet ist, kleiner als in dem Zentralabschnitt 11, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dichter ausgestaltet ist, wodurch es möglich wird zu bewirken, dass die Einrichtung weniger empfindlich gegenüber dem Einfluss einer Änderung des von der Empfangsvorrichtung 5 empfangenen magnetischen Flusses wird. Darüber hinaus ist sogar dann, wenn sich der Kopf 3 in der Nickrichtung dreht und nahe an die Skala 2 heran und von dieser weg gelangt, die Größe des erzeugten magnetischen Flusses in dem Zentralabschnitt 11, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dichter ausgestaltet ist, größer als in dem einen Endabschnitt 10a und dem anderen Endabschnitt 10b, in denen die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dünner ausgestaltet ist, wodurch es möglich wird zu bewirken, dass die Einrichtung empfindlicher gegenüber dem Einfluss einer Änderung des von der Empfangsvorrichtung 5 empfangenen magnetischen Flusses wird. Im Ergebnis kann bei der Verschiebungsdetektionseinrichtung 1 vom elektromagnetischen Induktionstyp die Änderung des von der Empfangsvorrichtung 5 empfangenen magnetischen Flusses stabilisiert werden. Daher kann bei der Verschiebungsdetektionseinrichtung 1 vom elektromagnetischen Induktionstyp dem Einfluss einer Änderung des von der Empfangsvorrichtung 5 empfangenen magnetischen Flusses entgegengewirkt werden.
- (2) Der eine Endabschnitt 10a und der andere Endabschnitt 10b sind jeweils in einem Zustand befindlich, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dadurch dünner ausgestaltet ist, dass einige der Empfangsspulen 500 in wenigstens einer Spulenleitung von den mehreren Spulenleitungen 511 bis 513 entfernt sind. Aus diesem Grund können, ohne dass die Verdrahtungsschicht zum Neutralisieren der Funktion der Empfangsspulen 500 oder die Verdrahtungsschicht zum miteinander erfolgenden Verbinden der zwei Verdrahtungsschichten 61 und 62 zur Erhöhung der Anzahl von Windungen aufgeschichtet sind, die Empfangsspulen 500 dadurch gebildet werden, dass die zwei Verdrahtungsschichten 61 und 62 in einem Zustand, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dünner ausgestaltet ist, und in einem Zustand, in dem die Dichte dichter ausgestaltet ist, aufgeschichtet werden.
- (3) Da die Empfangsspulen 500 dadurch gebildet sind, dass die zwei Verdrahtungsschichten 61 und 62 aufgeschichtet sind, ist die Anzahl der verwendeten Verdrahtungsschichten kleiner als in einem Fall, in dem drei Verdrahtungsschichten zur Bildung der Empfangsspulen 500 aufgeschichtet sind. Daher ist der Herstellungsprozess der Empfangsspulen 500 einfacher, und es kann eine Kostenverringerung bei Verschiebungsdetektionseinrichtungen 1 vom elektromagnetischen Typ verwirklicht werden.
- (4) Die Empfangsspulen 500 können in einem Zustand befindlich sein, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen 512 dünner ausgestaltet ist, ohne dass die Verdrahtungsleitung, die sich nach außerhalb des Bereiches erstreckt, in dem die effektiv wirkenden Empfangsspulen 500 ausgebildet sind, vorhanden sein muss.
- (5) Bei den Empfangsspulen 500 kann bewirkt werden, dass alle Verdrahtungsleitungen effektiv als Empfangsspulen 500 wirken. Daher kann bei der Verschiebungsdetektionseinrichtung 1 vom elektromagnetischen Induktionstyp die Effizienz der Empfangsspulen 500 verbessert werden.
- (6) In dem einen Endabschnitt 10a und dem anderen Endabschnitt 10b sind von den mehreren Spulenleitungen 511 bis 513 einige der Empfangsspulen 500 einer jeden der Spulenleitungen 511 bis 513, die auf beiden Seiten in der Spaltenrichtung angeordnet sind, achsensymmetrisch in Bezug auf die Symmetrieachse L1 entlang der Messrichtung entfernt. Im Ergebnis sind in einem Fall, in dem sich der Kopf 3 in der Rollrichtung in Bezug auf die Skala 2 dreht, in dem einen Endabschnitt 10a und dem anderen Endabschnitt 10b die Anzahl der mehreren Empfangsspulen 500 nahe an der Skala 2 und die Anzahl der Empfangsspulen 500 entfernt von der Skala 2 wechselseitig gleich, sodass der Einfluss einer Änderung des magnetischen Flusses neutralisiert und gesenkt werden kann.
- (7) Die mehreren Empfangsspulen 500 der Empfangsvorrichtung 5 sind in einer im Wesentlichen sechseckigen Form entlang der Messrichtung angeordnet. Insbesondere sind Abschnitte in einem Zustand, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dichter ausgestaltet ist, in einer im Wesentlichen rechteckigen Form angeordnet. Abschnitte in einem Zustand, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dünner ausgestaltet ist, sind in einer im Wesentlichen dreieckigen Form mit jeder Seite auf der dem einen Endabschnitt 10a zu eigenen Seite und der dem anderen Endabschnitt 10b zu eigenen Seite der im Wesentlichen rechteckigen Form als Basis angeordnet. Im Ergebnis stehen in einem Fall, in dem sich der Kopf 3 in der Gierrichtung in Bezug auf die Skala 2 dreht, die Empfangsspulen 500 in dem einen Endabschnitt 10a und dem anderen Endabschnitt 10b nicht ohne Weiteres über die Skala hinaus vor, wodurch der Einfluss einer Änderung des magnetischen Flusses gesenkt werden kann.
- (8) Das Messinstrument beinhaltet die Verschiebungsdetektionseinrichtung 1 vom elektromagnetischen Induktionstyp entsprechend der vorliegenden Erfindung, wodurch dem Einfluss einer Änderung des von der Empfangsvorrichtung 5 empfangenen magnetischen Flusses entgegengewirkt und die Stabilität des Messergebnisses verbessert werden kann.
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Zweite Ausführungsform
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Nachstehend wird eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnung beschrieben. In der nachfolgenden Beschreibung werden bereits beschriebene Teile mit denselben Bezugszeichen bezeichnet, und eine Beschreibung derselben unterbleibt.
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6 ist eine Draufsicht zur Darstellung des Kopfes entsprechend der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Der Kopf 3A der vorliegenden Ausführungsform weist, abgesehen von einer Empfangsvorrichtung 5A, im Wesentlichen dieselbe Ausgestaltung wie der Kopf 3 der ersten Ausführungsform auf.
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Wie in 3 dargestellt ist, beinhaltet die Empfangsvorrichtung 5 der ersten Ausführungsform drei Empfangseinheiten 51 bis 53, nämlich die Empfangseinheit 51 als erste Empfangseinheit, die Empfangseinheit 52 als zweite Empfangseinheit und die zusätzliche Empfangseinheit 53, die entlang der X-Richtung, die die Messrichtung ist, gegeneinander verschoben angeordnet sind. Wie in 6 dargestellt ist, ist die Empfangseinheit 5A der vorliegenden Ausführungsform von derjenigen der ersten Ausführungsform dahingehend verschieden, dass die Empfangseinheit 5A zwei Empfangseinheiten 51 und 52 beinhaltet, nämlich die Empfangseinheit 51 als erste Empfangseinheit und die Empfangseinheit 52 als zweite Empfangseinheit, die entlang der X-Richtung, die die Messrichtung ist, gegeneinander verschoben angeordnet sind.
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Die Empfangsvorrichtung 5A kann eine Bewegungsrichtung (Signalrichtung) des Kopfes 3 in Bezug auf die Skala 2 dadurch detektieren, dass die beiden Empfangseinheiten 51 und 52 derart angeordnet werden, dass die Phasen der beiden Einheiten gegeneinander verschoben sind.
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Auch bei der vorliegenden Ausführungsform gemäß vorstehender Beschreibung können die Funktionen und Wirkungen gemäß (1) bis (8) entsprechend der ersten Ausführungsform erreicht werden. Zudem können die nachfolgende Funktion und die nachfolgende Wirkung erreicht werden.
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(9) Bei der Empfangsvorrichtung 5a sind die beiden Empfangseinheiten 51 und 52, nämlich die Empfangseinheit 51 als erste Empfangseinheit und die Empfangseinheit 52 als zweite Empfangseinheit, entlang der X-Richtung gegeneinander verschoben angeordnet, sodass die Anzahl der verwendeten Empfangseinheiten kleiner als in einem Fall ist, in dem drei Empfangseinheiten 51 bis 53 entlang der X-Richtung gegeneinander verschoben angeordnet sind. Daher ist der Herstellungsprozess der Empfangsvorrichtung 5A einfacher, und es kann eine Kostenverringerung erreicht werden.
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Abwandlung der Ausführungsform
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die vorbeschriebenen Ausführungsformen beschränkt. Abwandlungen und Verbesserungen innerhalb des Umfanges der zu lösenden Aufgabe der vorliegenden Erfindung sind in der vorliegenden Erfindung beinhaltet.
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Bei den vorbeschriebenen Ausführungsformen wird die Verschiebungsdetektionseinrichtung 1 vom elektromagnetischen Induktionstyp als Messinstrument beispielsweise bei einem Messschieber verwendet. Die Einrichtung kann jedoch auch bei anderen Messinstrumenten verwendet werden, so beispielsweise bei einer Messuhr (dial gauge) (Testanzeiger) und einem Mikromessgerät. Folglich unterliegt die Verschiebungsdetektionseinrichtung 1 vom elektromagnetischen Induktionstyp mit Blick auf die Art und das Verfahren des zu verwendenden Messinstrumentes keiner speziellen Beschränkung und kann auch mit anderen Messinstrumenten und dergleichen verwendet werden, wobei das Instrument, in dem die Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp der vorliegenden Erfindung implementiert ist, keiner speziellen Beschränkung unterliegt.
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Zusätzlich kann die Verschiebungsdetektionseinrichtung 1 vom elektromagnetischen Induktionstyp auch für eine Vorrichtung über ein Messinstrument hinaus, so beispielsweise bei einem Sensor, verwendet werden.
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Bei der ersten Ausführungsform wirkt die Empfangseinheit 51 als erste Empfangseinheit, während die Empfangseinheit 52 als zweite Empfangseinheit wirkt. Es kann jedoch auch die Empfangseinheit 53 die erste Empfangseinheit sein, oder es kann die Empfangseinheit 51 die zweite Empfangseinheit sein. Folglich ist für die erste Empfangseinheit und die zweite Empfangseinheit ausreichend, wenn beliebige der Empfangseinheiten 51 bis 53 als erste Empfangseinheit und zweite Empfangseinheit wirken.
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7 ist ein Diagramm zur Darstellung einer Empfangseinheit entsprechend einer Abwandlung.
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Wie in 7 dargestellt ist, ist eine Empfangseinheit 54 derart ausgestaltet, dass die Empfangsspulen 500 nicht entfernt sind.
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Bei den vorbeschriebenen Ausführungsformen sind die Empfangseinheiten 51 bis 53 entlang der X-Richtung, die die Messrichtung ist, gegeneinander verschoben angeordnet. Empfangseinheiten, die Anordnungen der Empfangsspulen 500 aufweisen, die von denjenigen der Empfangsspulen 500 der Empfangseinheiten 51 bis 53 verschieden sind, können jedoch ebenfalls verschoben gegeneinander angeordnet sein. Darüber hinaus können die Empfangseinheit 54, die derart ausgestaltet ist, dass die Empfangsspulen 500 nicht entfernt sind, und die Empfangseinheiten 51 bis 53 kombiniert und entlang der X-Richtung, die die Messrichtung ist, gegeneinander verschoben angeordnet sein. Folglich ist ausreichend, wenn die Herstellung eines Zustandes, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dünner ausgestaltet ist, und eines Zustandes, in dem die Dichte dichter ausgestaltet ist, dadurch möglich wird, dass die mehreren Empfangseinheiten in X-Richtung gegeneinander verschoben sind.
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Bei den vorbeschriebenen Ausführungsformen sind der eine Endabschnitt 10a und der andere Endabschnitt 10b sowohl in Bezug auf die X-Richtung, die die Messrichtung ist, wie auch in Bezug auf die Y-Richtung, die die Richtung senkrecht zur Messrichtung ist, als Symmetrieachsen achsensymmetrisch angeordnet. Der eine Endabschnitt 10a und der andere Endabschnitt 10b können jedoch auch asymmetrisch sein. Folglich ist ausreichend, wenn der eine Endabschnitt 10a und der andere Endabschnitt 10b in einem Zustand befindlich sind, in dem die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 im Vergleich zu dem Zentralabschnitt 11 dünner ausgestaltet ist.
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Bei den vorbeschriebenen Ausführungsformen wird in dem einen Endabschnitt 10a und dem anderen Endabschnitt 10b die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dadurch dünner ausgestaltet, dass eine identische Anzahl von Empfangsspulen 500 entfernt wird. In dem einen Endabschnitt 10a und dem anderen Endabschnitt 10b kann die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 jedoch auch dadurch dünner ausgestaltet werden, dass jeweils verschiedene Anzahlen von Empfangsspulen 500 entfernt werden. Folglich ist ausreichend, wenn in dem einen Endabschnitt 10a und dem anderen Endabschnitt 10b die Dichte der mehreren Empfangsspulen 500 dadurch dünner ausgestaltet werden kann, dass die Empfangsspulen 500 entfernt werden.
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Gewerbliche Anwendbarkeit
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Wie vorstehend beschrieben worden ist, kann die vorliegende Erfindung passend für eine Verschiebungsdetektionseinrichtung vom elektromagnetischen Induktionstyp verwendet werden, die einen induzierten Strom zum Detektieren des Ausmaßes einer Bewegung zwischen Elementen verwendet.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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