DE102017100282A1 - Verwenden eines Spindeltriebes zum Bewegen von Objekten in einer Ultrahochvakuum-Umgebung und Spindeltrieb zum Bewegen von Objekten in einer Hochvakuum-Umgebung - Google Patents
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims description 12
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 235000015095 lager Nutrition 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000009347 mechanical transmission Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000036314 physical performance Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/2003—Screw mechanisms with arrangements for taking up backlash
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H2025/204—Axial sliding means, i.e. for rotary support and axial guiding of nut or screw shaft
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H2025/2062—Arrangements for driving the actuator
- F16H2025/2075—Coaxial drive motors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H2025/249—Special materials or coatings for screws or nuts
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H57/00—General details of gearing
- F16H57/02—Gearboxes; Mounting gearing therein
- F16H57/029—Gearboxes; Mounting gearing therein characterised by means for sealing the gearboxes, e.g. to improve airtightness
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H57/00—General details of gearing
- F16H57/04—Features relating to lubrication or cooling or heating
- F16H57/042—Guidance of lubricant
- F16H57/0421—Guidance of lubricant on or within the casing, e.g. shields or baffles for collecting lubricant, tubes, pipes, grooves, channels or the like
- F16H57/0424—Lubricant guiding means in the wall of or integrated with the casing, e.g. grooves, channels, holes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H57/00—General details of gearing
- F16H57/04—Features relating to lubrication or cooling or heating
- F16H57/048—Type of gearings to be lubricated, cooled or heated
- F16H57/0497—Screw mechanisms
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verwenden eines Spindeltriebes, bestehend aus einem Schrittmotor, einer von dem Schrittmotor angetriebenen Gewindespindel und einem von der Gewindespindel bewegten Schlitten zum Bewegen von Objekten in einer Ultrahochvakuum-Umgebung. Ein hierfür vorgesehener Spindeltrieb zum Bewegen von Objekten in einer Ultrahochvakuum-Umgebung, umfasst einen Schrittmotor, eine von dem Schrittmotor angetriebene Gewindespindel, einen von der Gewindespindel bewegten Schlitten mit einer Führung, wobei die Gewindespindel und mindestens eine mit der Gewindespindel zusammenwirkende Mutter des Schlittens eine Dünnchrombeschichtung mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 20 µm aufweisen.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verwenden eines Spindeltriebes zum Bewegen von Objekten in einer Ultrahochvakuum-Umgebung nach Anspruch 1 und einen Spindeltrieb zum Bewegen von Objekten in einer Ultrahochvakuum-Umgebung nach Anspruch 2.
- Für die Beschichtung oder die prozesstechnische Bearbeitung von Werkstücken unter den Bedingungen eines Ultrahochvakuums (UHV) wird zunehmend ein dynamisches Verhalten in Verbindung mit einer hohen Genauigkeit, Energieeffizienz, kleinen Bauräumen, geringen Gewichten, einer hohen Positioniergenauigkeit bei exakten Fahrprofilen sowie ein Schutz der Prozessräume und der Aktorik zur Lebensdauererhöhung gefordert.
- Bei den derzeit gebräuchlichen Systemen kommen zunehmend Linearmotoren zur Anwendung, um im Ultrahochvakuum vorbestimmte Verfahr- und Prozesswege ohne Einschränkung abbilden zu können. Derartige Systeme sind deshalb in Gebrauch, um den Prozessbereich im Ultrahochvakuum frei von Partikeln aus ausgasenden Elementen sowie auch von Betriebsstoffen wie Schmiermittel zu halten. Die Realisierung dieser Anforderungen werden allerdings durch eine eingeschränkte physikalische Leistungsfähigkeit in Verbindung mit einem vergleichsweise hohen Energieaufwand, einem hohen Gewicht, immer größeren Bauräumen sowie nicht unbeträchtlichen Kosten erkauft, die notwendig sind, um bei derartigen Linearantrieben Fahrprofile und Positionsgenauigkeiten möglichst exakt einhalten zu können.
- Es ergibt sich daher die Aufgabe, eine Vorrichtung zum Bewegen von Objekten unter Ultrahochvakuum-Bedingungen anzugeben, mit der eine im Vergleich zu den derzeit bekannten Linearantrieben kostengünstigere und im Masse-Leistungsverhältnis verbesserte Positionierung möglich ist.
- Die Aufgabe wird mit einer Verwendung eines Spindeltriebes mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und mit einem Spindeltrieb zum Bewegen von Objekten in einer Ultrahochvakuum-Umgebung mit den Merkmalen des Anspruchs 2 gelöst. Die Unteransprüche beinhalten zweckmäßige und/oder vorteilhafte Ausführungsformen.
- Erfindungsgemäß erfolgt das Verwenden eines Spindeltriebes, bestehend aus einem Schrittmotor, einer von dem Schrittmotor angetriebenen Gewindespindel und einem von der Gewindespindel bewegten Schlitten zum Bewegen von Objekten in einer Ultrahochvakuum-Umgebung.
- Die erfindungsgemäße Verwendung des Spindeltriebes verfolgt somit nicht den Weg der bisherigen Entwicklungen sondern nutzt einen völlig anderen Lösungsansatz der bisher bei Ultrahochvakuumanwendungen und Ultrahochvakuumumgebungen ausscheidet und verworfen wird. Erfindungsgemäß wird nicht auf ein mechanisches Getriebe und dessen vermeintlich negative Wirkung verzichtet, sondern es wird das Getriebe auf die Forderungen hin für den UHV-Einsatz entwickelt und mittels einer speziellen Konstruktion vom Prozessraum getrennt. Es entsteht somit ein UHV Handling mit den oben beschriebenen Eigenschaften, welches sich ganz erheblich von den bisherigen Lösungen abgrenzt.
- Vorrichtungsseitig umfasst der Spindeltrieb zum Bewegen von Objekten in einer Ultrahochvakuum-Umgebung einen Schrittmotor, eine von dem Schrittmotor angetriebene Gewindespindel, einen von der Gewindespindel bewegten Schlitten mit einer Führung, wobei die Gewindespindel und mindestens eine mit der Gewindespindel zusammenwirkende Mutter des Schlittens eine Dünnchrombeschichtung mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 20 µm aufweisen.
- Bei einer Ausführungsform ist die mindestens eine mit der Gewindespindel zusammenwirkende Mutter des Gewindetriebes über eine Vorspannfeder vorgespannt, wobei die Vorspannfeder innerhalb eines über eine Dichtvorrichtung gegenüber der Ultrahochvakuumumgebung abgedichteten Vorspanngehäuses angeordnet ist. Durch die Vorspannfeder wird ein die Positionsgenauigkeit negativ beeinflussendes Gewindespiel ausgeschlossen, während das Vorspanngehäuse eine erste Verkapselung der im Spindeltrieb reibenden Gewindekomponenten gegenüber der Ultrahochvakuumumgebung bildet.
- Bei einer weiteren Ausführungsform ist in dem Vorspanngehäuse ein Schmierkanal zum bedarfsweisen Zuführen eines Schmiermittels in das Innere des Vorspanngehäuses vorgesehen. Über den Schmierkanal können dosierte, hinreichend kleine Schmiermittelmengen zugeführt werden, wobei hierdurch eine Kontrolle über die Schmierung möglich ist und eine Verunreinigung des Ultrahochvakuums vermieden wird.
- Bei einer weiteren Ausführungsform ist der Schrittmotor mit der Gewindespindel über einen Motorwellenflansch gelagert, wobei der Motorwellenflansch ein Festlager aufweist.
- Bei einer Ausführungsform ist eine Bandführung vorgesehen, welche dazu dient den aktiven Antriebsbereich an den Öffnungen der Führungsbahn nach außen abzudichten und damit die Einhausung zu schließen. Der Bandlauf wird dabei in einer speziellen Konstruktion nicht wie bei bisherigen Lösungen über oder um den Schlitten geführt sondern in diesen mit einer Bandlaufdurchführung integriert.
- Bei einer Ausführungsform ist der gesamte Spindeltrieb mit einer Einhausung umgeben. Die Einhausung stellt eine weitere umgrenzende Barriere zwischen dem Spindeltrieb und der Ultrahochvakuumumgebung dar.
- Bei einer weiteren Ausführungsform weist der Schrittmotor eine indirekte Flüssigkeitskühlung auf. Diese führt die entstehende Wärmeenergie aus dem Motor und dem Gewindetrieb ab, um damit den Betrieb zu sichern und Schädigungen aller Elemente der Anlagen zu verhindern.
- Das Festlager ist bei einer Ausführungsform als ein schwimmend gelagertes Festlager ausgeführt.
- Bei einer Ausführungsform ist der Schrittmotor kupplungslos direkt mit der Gewindespindel verbunden. Die kupplungslose Verbindung sichert bei dynamischen Lastwechseln ein präzises Fahrprofil, da eine spielausgleichende Kupplung im System bei auftretenden Torsionskräften immer auf Torsionsbiegung beansprucht wird und diese dynamisch in Fahrprofilfehler übertragen werden.
- Der erfindungsgemäße Spindeltrieb und dessen Verwendung im Ultrahochvakuum sollen nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Zur Verdeutlichung dienen die
1 bis9 . Es werden für gleiche bzw. gleichwirkende Teile dieselben Bezugszeichen verwendet. Es zeigt: -
1 eine perspektivische Gesamtansicht des Spindeltriebs, -
2 eine Schnittdarstellung des Spindeltriebs in einer Seitenansicht, -
3 eine Schnittdarstellung des Spindeltriebs in einer Draufsicht, -
4 eine Seitenansicht des Spindeltriebs mit Blick auf den Antriebsblock, -
5 eine Schnittdarstellung des Vorspanngehäuses mit Vorspannfeder am Schlitten des Spindeltriebs, -
6 eine Schnittdarstellung eines ersten Lagers der Gewindespindel, -
7 eine Schnittdarstellung eines zweiten Lagers der Gewindespindel, -
8 eine Darstellung verschiedener verkapselter Spindeltriebachsen im Zusammenbau, -
9 eine Darstellung der Spindeltriebachsen aus8 im zerlegten Zustand. - Nachfolgend soll für den Begriff „Ultrahochvakuum“ die Abkürzung UHV verwendet werden.
-
1 zeigt eine perspektivische Ansicht des Spindeltriebs,2 zeigt eine Schnittdarstellung des Spindeltriebs in einer Seitenansicht,3 eine Schnittdarstellung des Spindeltriebs in einer Draufsicht. - Der Spindeltrieb enthält einen Schrittmotor
1 , eine durch den Schrittmotor angetriebene Gewindespindel2 und einen durch die sich drehende Gewindespindel verschiebbaren Schlitten3 . Weiterhin ist eine Führung4 für den Schlitten vorhanden. Der Schlitten weist eine in dessen Körper verborgene Mutter5 auf, durch die die Gewindespindel geführt und hier in einem Vorspanngehäuse7 verborgen ist. Die gesamte Anordnung aus Schrittmotor, Gewindespindel, Schlitten und Führung ist in einem stabilisierenden Käfig6 untergebracht. Dieser dient gleichzeitig als Träger für eine hier nicht gezeigte Einhausung. - Mit dieser Gerätekombination des Spindeltriebs ist ein Getriebe für den Einsatz im UHV realisiert, dass unter geschützten Bedingungen eingesetzt werden kann.
- Der zum Einsatz kommende Schrittmotor
1 ist für die Einsatzbedingungen unter UHV-Bedingungen ausgelegt. Dieser weist ein geringes Ausgasungsverhalten auf, welches zum einen durch die Materialwahl oder deren Beschichtung, sowie zum Anderen durch eine Verkapselung erreicht wird. Weiterhin weist der Schrittmotor Wicklungstrennungen sowie entsprechend gestaltete Kabel und Kabelführungen auf. Für den Schrittmotor werden Edelstahllager sowie eine thermische Optimierung eingesetzt. Es erfolgt eine Verwendung spezieller Schmierstoffe und eine Betriebsoptimierung für eine geringe Stromaufnahme. - Der Schrittmotor ist insbesondere mit Kühlkörpern ausgestattet, welche mit einer Kühlflüssigkeit durchlaufen werden und mit dieser Wärmetauscherfunktion für das Abführen der Wärmeenergie des Motors sorgen. Die Gewindespindel
2 ist kupplungslos direkt mit dem Motor verbunden. - Die Gewindespindel
2 und die in dem Schlitten3 vorgesehene Mutter5 sind mit einer Chrombeschichtung versehen. Hierdurch wird eine Flexibilität in der Ausführung und eine exzellente Einsatzfähigkeit für den UHV-Druckbereich erreicht. Diese Beschichtung ist insbesondere eine Dünnchrombeschichtung mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 10 µm. Hierdurch wird eine extrem harte und rissfreie Chromschicht gebildet. Die Überrollbelastungen liegen bei 2800 MPa. - Der Schlitten
3 ist mit einer Banddurchführung16a ausgestattet. Die Banddurchführung bildet ein Gleitlager für einen Bandlauf16 . Der Bandlauf bildet gleichzeitig ein Mittel für die Ankopplung einer weiteren Bewegungsachse an den Spindeltrieb. -
4 zeigt eine Seitenansicht des Spindeltriebs mit Blick auf den Antriebsblock und den darin integrierten Schrittmotor1 . Der Schrittmotor ist fest in den Gerätekäfig6 eingefügt. Zur Sicherung einer hohen Genauigkeit wird der Schrittmotor nicht mit einem Encoder versehen, sondern mit einem optischen Wegmesssystem ausgestattet, das mit seinen Komponenten auf UHV Bedingungen ausgelegt ist. Es wird damit eine hohe Dynamik bei gleichzeitiger Sicherung der Positionsgenauigkeit gewährleistet. Der Spindeltrieb wird jeweils angepasst auf die jeweiligen dynamischen Forderungen und Fahrprofilvorgaben für einen geschützten Aufbau vorbereitet. -
5 zeigt eine Schnittdarstellung eines Vorspanngehäuses7 mit Vorspannfeder 8 am Schlitten des Spindeltriebs. Dargestellt ist die Mutter5 innerhalb des Schlittens3 . Diese ist durch das Vorspanngehäuse7 gegenüber der UHV-Umgebung eingehaust. Die Vorspannfeder8 drückt das Gewinde der Mutter5 gegen das Gewinde der Gewindespindel2 . Sie ermöglicht es, die durch den Schrittmotor1 erzeugten Bewegungsprofile auch an der Mutter spielfrei abzubilden. Die UHV-Vorspannkonstruktion ist mit einer Befettungseinrichtung versehen. Dieses besteht aus einer Schmiermittelzuführung9 und einem Schmiermittelkanal 10, über den von außen das Vorspanngehäuse gezielt mit dosierten Schmiermittelmengen beschickt werden kann. Das Schmiermittel gelangt dabei ausschließlich in das Vorspanngehäuse und wird über das vorgespannte Gewinde in einer sehr dünnen Schicht auf der Gewindespindel aufgebracht. In dem hier vorliegenden Beispiel ist außerdem eine zweite vorgespannte Mutter11 vorgesehen, die sich außerhalb des Vorspanngehäuses aber ebenso eingekapselt im Inneren des Schlittens befindet. Beide Muttern5 und11 sind mit der oben erwähnten Chrombeschichtung versehen. -
6 zeigt eine Schnittdarstellung eines ersten Lagers12 der Gewindespindel im Bereich des Schrittmotors des Spindeltriebs. Um ein Axialspiel zu vermeiden wird eine spielfreie Lagerkombination am Motorwellenflansch als ein Festlager angebracht. Es wird hierdurch ein steifes System geschaffen, das in der Lage ist z.B. bei Beschichtungsvorgängen innerhalb weniger Zehntelsekunden entsprechend schnelle Brems- und Beschleunigungsvorgänge zu vollziehen, ohne das es zu spielbedingten Positionsungenauigkeiten kommt. - In dem hier vorliegenden Beispiel ist ein Motorflansch
13 vorgesehen, in welchem die Gewindespindel2 über eine Schraubverbindung14 eingeschraubt und somit starr mit dem Motorflansch verbunden ist. Die gesamte Anordnung ist als ein Festlager ausgebildet, bei dem axiale Bewegungen ausgeschlossen sind. Diese Bewegungen werden einerseits durch die Form des Motorflansches13 und durch den Körper der Gewindespindel2 ausgeschlossen. Der Gewindeabschnitt der Gewindespindel2 weist einen größeren Durchmesser auf als der für die Schraubverbindung14 vorgesehene Abschnitt. Das gesamte Lager ist schwimmend gelagert. -
7 zeigt eine Schnittdarstellung eines zweiten Lagers der Gewindespindel. Dessen Grundaufbau entspricht dem Aufbau des in6 gezeigten Lagers. Vorgesehen ist hier ein Gewindeflansch15 , in den die Gewindespindel2 mittels einer Schraubverbindung15a fest verbunden ist. - Der Schrittmotor wird mit indirekter Flüssigkeitskühlung und direkter Anbindung an eine speziell beschichtete Gewindespindel, welche an beiden Enden gelagert wird, betrieben. Eine Lagerseite wird dabei als schwimmend gelagertes Festlager ausgeführt und sichert dabei eine Präzisionspositionierung bei dynamischen Bewegungen.
-
8 zeigt eine Darstellung verschiedener verkapselter Spindeltriebachsen im Zusammenbau. In dem hier gezeigten Beispiel sind drei Spindeltriebachsen A, B und C vorgesehen. Diese korrespondieren insbesondere mit den x-, y- und z-Achsen in einem dreidimensionalen Koordinatensystem. - Die jeweiligen Spindeltriebachsen bestehen jeweils aus einem Spindeltrieb mit dem Käfig und sind jeweils mit einer kompletten Blecheinhausung
17 versehen. Die Bänder der Blecheinhausungen und die Bleche zu den Fertigungsteilen und dazugehörigen Einführungen können mit dieser Konstruktion auf ein Zehntelmillimeter reduziert werden. Über Anschlüsse18 werden die entsprechenden Spindeltriebe mit Spannung sowie den entsprechenden Steuerdaten versorgt. Einer der Anschlüsse ist mit dem erwähnten Bandlauf gekoppelt. Alle Kabel und Kabelverbindungen werden an den beschriebenen Achtrennstellen mit Steckern versehen, so dass es möglich ist, die Achsen sehr einfach zu trennen und im Servicefall zu ersetzen. Sämtliche Spindeltriebachsen sind daher als Module verwendbar. -
9 zeigt eine Darstellung der Spindeltriebachsen A, B und C aus8 im getrennten Zustand. Die Spindeltriebe sind über Steckverbindungen miteinander koppelbar. Diese Steckverbindung bestehen aus Ausformungen19 an den jeweiligen Schlitten der Spindeltriebe, die durch Schlitze20 aus den Blecheinhausungen herausgeführt sind, sowie aus Ausnehmungen21 , in die die Ausformungen19 eingerastet und somit die Spindeltriebachsen zusammengesteckt werden können. - Die Verwendung und der Spindeltrieb wurden anhand von beispielhaften Ausführungsformen erläutert. Im Rahmen fachmännischen Handelns sind weitere Ausführungsformen möglich. Diese ergeben auch aus den Unteransprüchen.
- Bezugszeichenliste
-
- 1
- Schrittmotor
- 2
- Gewindespindel
- 3
- Verschiebbarer Schlitten
- 4
- Mechanische Führung
- 5
- Mutter
- 6
- Käfig
- 7
- Vorspanngehäuse
- 8
- Vorspannfeder
- 9
- Schmiermittelzuführung
- 10
- Schmiermittelkanal
- 11
- Zweite Mutter
- 12
- Lager
- 13
- Motorflansch
- 14
- Schraubverbindung
- 15
- Gewindeflansch
- 15a
- Schraubverbindung
- 16
- Bandlauf
- 16a
- Banddurchführung
- 17
- Blecheinhausung
- 18
- Anschlüsse
- 19
- Ausformung
- 20
- Schlitz
- 21
- Ausnehmung
Claims (11)
- Verwenden eines Spindeltriebes, bestehend aus einem Schrittmotor, einer von dem Schrittmotor angetriebenen Gewindespindel und einem von der Gewindespindel bewegten Schlitten zum Bewegen von Objekten in einer Ultrahochvakuum-Umgebung.
- Spindeltrieb zum Bewegen von Objekten in einer Ultrahochvakuum-Umgebung, umfassend einen Schrittmotor (1), eine von dem Schrittmotor angetriebene Gewindespindel (2), einen von der Gewindespindel bewegten Schlitten (3) mit einer Führung (4), wobei die Gewindespindel (2) und mindestens eine mit der Gewindespindel zusammenwirkende Mutter (5) des Schlittens eine Dünnchrombeschichtung mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 20 µm aufweisen.
- Spindeltrieb nach
Anspruch 2 , dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine mit der Gewindespindel zusammenwirkende Mutter (5) des Schlittens über eine Vorspannfeder (8) vorgespannt ist, wobei die Vorspannfeder (8) innerhalb eines über eine Dichtvorrichtung gegenüber der Ultrahochvakuumumgebung abgedichteten Vorspanngehäuses (7) angeordnet ist. - Spindeltrieb nach
Anspruch 3 , dadurch gekennzeichnet, dass in dem Vorspanngehäuse (7) ein Schmierkanal (10) zum bedarfsweisen Zuführen eines Schmiermittels in das Innere des Vorspanngehäuses vorgesehen ist. - Spindeltrieb nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Schrittmotor (1) mit der Gewindespindel (2) über einen Motorwellenflansch gelagert ist, wobei der Motorwellenflansch ein Festlager aufweist.
- Spindeltrieb nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Schlitten (3) eine Banddurchführung (16) aufweist, wobei die Banddurchführung ein Gleitlager für eine Führungsplatte des Schlittens aufweist und der Bandlauf in die Führungsplatte integriert ist.
- Spindeltrieb nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der gesamte Spindeltrieb mit einer Einhausung (17) umgeben ist.
- Spindeltrieb nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Schrittmotor (1) eine indirekte Flüssigkeitskühlung aufweist.
- Spindeltrieb nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Festlager als ein schwimmend gelagertes Festlager ausgeführt ist.
- Spindeltrieb nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Schrittmotor (1) kupplungslos direkt mit der Gewindespindel verbunden ist.
- Spindeltrieb nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Bandführung vorgesehen ist, die einen Antriebsbereich des Spindeltriebs an Öffnungen der Führungsbahn nach außen abdichtet und damit die Einhausung (17) schließt, wobei ein Bandlauf in den Schlitten (3) mittels einer Bandlaufdurchführung (16a) integriert ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102017100282.0A DE102017100282B4 (de) | 2017-01-09 | 2017-01-09 | Spindeltrieb zum Bewegen von Objekten in einer Hochvakuum-Umgebung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102017100282.0A DE102017100282B4 (de) | 2017-01-09 | 2017-01-09 | Spindeltrieb zum Bewegen von Objekten in einer Hochvakuum-Umgebung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102017100282A1 true DE102017100282A1 (de) | 2018-07-12 |
DE102017100282B4 DE102017100282B4 (de) | 2024-03-21 |
Family
ID=62636452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102017100282.0A Active DE102017100282B4 (de) | 2017-01-09 | 2017-01-09 | Spindeltrieb zum Bewegen von Objekten in einer Hochvakuum-Umgebung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102017100282B4 (de) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2342092A1 (de) * | 1973-08-21 | 1975-05-22 | Schwerionenforsch Gmbh | Hochvakuumdichte schiebedurchfuehrung |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001248708A (ja) | 2000-03-03 | 2001-09-14 | Nsk Ltd | 転動装置 |
-
2017
- 2017-01-09 DE DE102017100282.0A patent/DE102017100282B4/de active Active
Patent Citations (4)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102017100282B4 (de) | 2024-03-21 |
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