DE102016206264A1

DE102016206264A1 - Bildmessvorrichtung, Bildmessverfahren, Informationsverarbeitungsvorrichtung, Informationsverarbeitungsverfahren und Programm

Info

Publication number: DE102016206264A1
Application number: DE102016206264.6A
Authority: DE
Inventors: Shohei Udo
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2015-04-14
Filing date: 2016-04-14
Publication date: 2016-11-03
Also published as: JP6475552B2; JP2016200551A; US10001368B2; US20160307311A1

Abstract

Bereitgestellt wird eine Bildmessvorrichtung umfassend eine Bildaufnahmeeinrichtung, die Bilder von einem Objekt aufnimmt; einen Bewegungsmechanismus, der eine Bildaufnahmeposition der Bildaufnahmeeinrichtung zum Objekt verändert; und eine Berechnungseinrichtung, die einen Korrekturwert aus einer ersten aufgenommenen Bildgruppe, die durch statisches Platzieren der Bildaufnahmeeinrichtung an einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen erfasst wird, und einer zweiten aufgenommenen Bildgruppe, die durch relatives Bewegen der Bildaufnahmeeinrichtung, so dass jede der Vielzahl von Bildaufnahmepositionen durchfahren wird, erfasst wird, berechnet. Die erste aufgenommene Bildgruppe und die zweite aufgenommene Bildgruppe sind aufgenommene Bildgruppen von Bildern, die an einer Vielzahl der vorbestimmten Bildaufnahmepositionen durch die Bildaufnahmeeinrichtung aufgenommen werden.

Description

KREUZVERWEISUNG AUF VERWANDTE PATENTANMELDUNGEN
Diese Anmeldung beansprucht die Priorität der am 14. April 2015 angemeldeten japanischen Patentanmeldung JP 2015-082239 , deren gesamter Inhalt hiermit durch Verweis einbezogen wird.
Hintergrund der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bildmessvorrichtung, ein Bildmessverfahren, eine Informationsverarbeitungsvorrichtung, ein Informationsverarbeitungsverfahren und ein Programm.
Aus dem Stand der Technik ist eine Bildmessvorrichtung bekannt, die eine Form usw. aus einem Bild, das von einem zu vermessenden Objekt aufgenommen wird, messen kann. Zum Beispiel offenbart die japanische Offenlegungsschrift Nr. 2014-228529 (im Folgenden als „Patentschrift 1” bezeichnet) eine Formenmessvorrichtung, die ein Formenmessgerät umfasst, das eine Bildaufnahmeeinheit, welche ein Bild von einem Verschiebetisch und einem Werkstück auf dem Verschiebetisch aufnimmt, und einen Computer, der eine Form des Werkstücks aus dem durch die Bildaufnahmeeinheit aufgenommenen Bild misst, hat (siehe Abschnitt [0009] usw. der Beschreibung von Patentschrift 1).
Bei der Formenmessvorrichtung werden Schwingungen des Formenmessgerätes während der Messung der Form des Werkstücks detektiert wenn die Bildaufnahmeeinheit bewegt wird. Ein Betrag der Bewegung der Bildaufnahmeeinheit wird gesteuert, so dass die detektierten Schwingungen aufgehoben werden. Auf diese Weise werden Abweichungen durch die Schwingungen der Bildaufnahmeeinheit auf dem Verschiebetisch verhindert und eine Messgenauigkeit wird verbessert (siehe Abschnitt [0019] usw. der Beschreibung von Patentschrift 1).
Kurzdarstellung
Wie oben beschrieben, muss eine Formenmessvorrichtung, die eine Form usw. von einem durch die Bildaufnahmeeinheit aufgenommenen Bild misst, mit einer Technologie bereitgestellt werden, die eine Messgenauigkeit verbessert.
Angesichts der oben beschriebenen Umstände zielt die vorliegende Erfindung darauf ab, eine Bildmessvorrichtung, ein Bildmessverfahren, eine Informationsverarbeitungsvorrichtung, ein Informationsverarbeitungsverfahren und ein Programm bereitzustellen, die dazu fähig sind, ein Objekt mit hoher Genauigkeit zu vermessen.
Um das oben beschriebene Ziel zu erreichen, wird eine Bildmessvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bereitgestellt, die eine Bildaufnahmeeinrichtung, einen Bewegungsmechanismus und eine Berechnungseinrichtung umfasst.
Die Bildaufnahmeeinrichtung kann Bilder von einem Objekt aufnehmen.
Der Bewegungsmechanismus kann eine Bildaufnahmeposition der Bildaufnahmeeinrichtung zum Objekt verändern.
Die Berechnungseinrichtung kann einen Korrekturwert aus einer ersten aufgenommenen Bildgruppe, die durch statisches Platzieren der Bildaufnahmeeinrichtung an einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen erfasst wird, und einer zweiten aufgenommenen Bildgruppe, die durch relatives Bewegen der Bildaufnahmeeinrichtung, so dass jede der Vielzahl von Bildaufnahmepositionen durchfahren wird, erfasst wird, berechnen. Die erste aufgenommene Bildgruppe und die zweite aufgenommene Bildgruppe sind aufgenommene Bildgruppen von Bildern, die an einer Vielzahl der vorbestimmten Bildaufnahmepositionen durch die Bildaufnahmeeinrichtung aufgenommen werden.
Bei der Bildmessvorrichtung wird ein Korrekturwert aus der ersten aufgenommenen Bildgruppe, die durch Bildaufnahme des Objekts mit einer Bildaufnahmeeinrichtung, die statisch an jeder einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen platziert wird, erfasst wird, und einer zweiten aufgenommenen Bildgruppe, die durch Bildaufnahme des Objekts mit der sich relativ bewegenden Bildaufnahmeeinrichtung erfasst wird, berechnet. Durch Verwenden des Korrekturwerts wird ermöglicht, das zu vermessende Objekt mit hoher Genauigkeit zu vermessen, während die Bildaufnahmeeinheit bewegt wird.
Das Objekt kann ein zu vermessendes Objekt sein. In diesem Fall kann die Bildmessvorrichtung ferner eine Korrektureinrichtung umfassen, die ein Messergebnis auf Grundlage des aus der zweiten aufgenommenen Bildgruppe berechneten Korrekturwerts korrigiert.
So wird es möglich, das zu vermessende Objekt mit hoher Genauigkeit zu vermessen.
Die Bildmessvorrichtung kann ferner eine Speichereinrichtung umfassen, die den berechneten Korrekturwert speichert. In diesem Fall kann die Korrektureinrichtung das Messergebnis anhand des gespeicherten Korrekturwerts korrigieren.
So wird es möglich, das zu vermessende Objekt mit hoher Genauigkeit zu vermessen.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird ein Bildmessverfahren angegeben, das einen Schritt des Erfassens einer ersten aufgenommenen Bildgruppe durch Bilderfassung eines Objekts mit einer Bildaufnahmeeinrichtung, die statisch an jeder einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen platziert wird, umfasst.
Eine zweite aufgenommene Bildgruppe wird durch Bildaufnahme des Objekts mit der Bildaufnahmeeinrichtung, die relativ bewegt wird, so dass jede einer Vielzahl der Bildaufnahmepositionen durchfahren wird, erfasst.
Aus der ersten und zweiten erfassten aufgenommenen Bildgruppe wird ein Korrekturwert berechnet.
Durch Verwenden des berechneten Korrekturwerts wird ermöglicht, das zu vermessende Objekt mit hoher Genauigkeit zu vermessen, während die Bildaufnahmeeinheit bewegt wird.
Das Erfassen der ersten aufgenommenen Bildgruppe kann an dem zu vermessenden Objekt ausgeführt werden. In diesem Fall kann das Erfassen der zweiten aufgenommenen Bildgruppe jeweils an dem zu vermessenden Objekt und an einer Vielzahl von anderen gleichartigen zu vermessenden Objekten ausgeführt werden. Das Bildmessverfahren kann Korrigieren eines Messergebnisses von jeder einer Vielzahl der anderen zu vermessenden Objekte auf Grundlage der zweiten aufgenommenen Bildgruppe anhand des für die zu vermessenden Objekte berechneten Korrekturwerts umfassen.
So wird es möglich, die anderen zu vermessenden Objekte effektiv auf die gleiche Weise zu vermessen.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird eine Informationsverarbeitungsvorrichtung bereitgestellt, die eine Bewegungssteuerungseinrichtung und eine Berechnungseinrichtung umfasst.
Die Bewegungssteuerungseinrichtung kann eine Bildaufnahmeposition einer Bildaufnahmeeinrichtung, die Bilder eines Objekts aufnimmt, steuern.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird ein Informationsverarbeitungsverfahren, das von einem Computer ausgeführt wird, angegeben, das einen Schritt des Erfassens einer ersten aufgenommenen Bildgruppe durch Bilderfassung eines Objekts mit einer Bildaufnahmeeinrichtung, die statisch an jeder einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen platziert wird, umfasst.
Eine zweite aufgenommene Bildgruppe wird durch Bildaufnahme des Objekts mit der Bildaufnahmeeinrichtung, die relativ bewegt wird, so dass jede einer Vielzahl der Bildaufnahmepositionen durchfahren wird, erfasst.
Aus der ersten und zweiten erfassten aufgenommenen Bildgruppe wird ein Korrekturwert berechnet.
Ein Programm gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bewirkt, dass ein Computer das Informationsverarbeitungsverfahren ausführt.
Wie oben beschrieben, wird es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, das zu vermessende Objekt mit hoher Genauigkeit zu vermessen. Es wird angemerkt, dass die hierin beschriebenen Wirkungen nicht notwendigerweise eingeschränkt sind, und dass jegliche in der vorliegenden Offenbarung beschriebenen Wirkungen erreicht werden können.
Diese und andere Gegenstände, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden im Lichte der folgenden ausführlichen Beschreibung der Ausführungsformen, wie in den begleitenden Zeichnungen dargestellt, ersichtlich.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
1 ist eine schematische Darstellung einer Bildmessvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2 ist Funktionsblockschaltbild, das ein Konfigurationsbeispiel einer in 1 gezeigten Messungssteuerungseinrichtung zeigt;
3A und 3B sind jeweils Diagramme, die zeigen, dass ein Bild in einem Zustand aufgenommen wird, in dem eine Bildaufnahmeeinheit statisch an einer Bildaufnahmeposition ist;
4A und 4B sind jeweils Diagramme, die zeigen, dass ein Bild in einem Zustand aufgenommen wird, in dem eine Bildaufnahmeeinheit an einer Bildaufnahmeposition beschleunigt wird;
5A und 5B sind jeweils Diagramme zum Veranschaulichen einer Zeiteinteilung einer Bilderfassung während der Bewegung;
6 ist ein Flussdiagramm, das ein Betriebsbeispiel einer statischen Messung zeigt;
7 ist ein Flussdiagramm, das ein Betriebsbeispiel einer Bewegungsmessung zeigt;
8 ist ein Flussdiagramm, das ein Beispiel des Berechnens eines Korrekturwerts durch eine Einrichtung zum Berechnen von Bildkoordinatenunterschieden zeigt.
9 ist ein Flussdiagramm, das ein Betriebsbeispiel einer Bewegungsmessung mit Verwendung eines Korrekturwerts zeigt.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen ausführlich beschrieben.
Konfiguration der Bildmessvorrichtung
1 ist eine schematische Darstellung einer Bildmessvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Bildmessvorrichtung 100 weist ein Bildmessgerät 10 der berührungslosen Art und einen PC („Personal Computer”, Rechner) 20 als Informationsverarbeitungsvorrichtung auf. In der Informationsverarbeitungsvorrichtung gemäß der derzeitigen Technologie können weitere Rechner verwendet werden.
Das Bildmessgerät 10 umfasst einen Verschiebetisch 11, einen Bewegungsmechanismus 12 und eine Bildaufnahmeeinheit (Bildaufnahmeeinrichtung) 13. An einer vorbestimmten Position des Verschiebetischs 11 wird ein Werkstück W, das ein zu vermessendes Objekt ist, platziert. Das Werkstück W wird auch mit einem Objekt verwendet, dessen Bild durch die Bildaufnahmeeinheit 13 aufgenommen wird.
Der Bewegungsmechanismus 12 kann eine Bildaufnahmeposition der Bildaufnahmeeinheit 13 zum Werkstück W in drei Raumrichtungen xyz verändern. Die Bildaufnahmeposition ist eine relative Position der Bildaufnahmeeinheit 13 zum Werkstück W wenn ein Bild aufgenommen wird. Entsprechend ist es möglich, durch relatives Bewegen der Bildaufnahmeeinheit 13 und des Werkstücks W die Bildaufnahmeposition zu verändern.
Wie in 1 gezeigt umfasst der Bewegungsmechanismus 12 einen x-Bewegungsmechanismus 14, einen y-Bewegungsmechanismus 15 und einen z-Bewegungsmechanismus 16. Der z-Bewegungsmechanismus 16 bewegt die Bildaufnahmeeinheit 13 entlang einer z-Richtung. Der x-Bewegungsmechanismus 14 bewegt die Bildaufnahmeeinheit 13 und den z-Bewegungsmechanismus gemeinsam entlang einer x-Richtung. Der y-Bewegungsmechanismus 15 bewegt den Verschiebetisch 11 entlang einer y-Richtung. Eine bestimmte Konfiguration jedes Bewegungsmechanismus ist nicht beschränkt und kann frei gestaltet werden.
An jedem der xyz-Bewegungsmechanismen ist ein Achsenverschiebungssensor 17 wie zum Beispiel ein Linearmaßstab angeordnet. Aus detektierten Werten eines Achsenverschiebungssensors 17x und eines z-Achsenverschiebungssensors 17z werden x- und z-Koordinaten der Bildaufnahmeeinheit 13 berechnet. Außerdem wird aus einem detektierten Wert eines y-Achsenverschiebungssensors 17y eine y-Koordinate des Verschiebetischs 11 berechnet.
Auf der Bildaufnahmeeinheit 13 ist eine Digitalkamera (einschließlich einer Videokamera) mit einer Objektivlinse 18 (siehe 3A) und einem Bildaufnahmegerät (nicht gezeigt) montiert. Licht, das durch das Werkstück W reflektiert wird, trifft über eine Objektivlinse 18 auf das Bildaufnahmegerät und erzeugt hierdurch ein digitales Bild des Werkstück W. Als Bildaufnahmegerät wird ein CMOS-(„Complementary Metal-Oxide Semiconductor”, sich ergänzender Metall-Oxid-Halbleiter)Sensor, ein CCD-(„Charge-Coupled Device”, ladungsgekoppeltes Bauteil)Sensor oder ähnliches verwendet.
Der PC 20 ist auf eine beliebige Weise mit dem Bildaufnahmegerät 10 verbunden. Der PC 20 weist notwendige Hardware für die Konfiguration des Rechners wie zum Beispiel einen Prozessor („Central Processing Unit”, CPU), einen Festwertspeicher („Read Only Memory”, ROM), einen Direktzugriffsspeicher („Random Access Memory”, RAM), eine Festplatte („Hard Disk Drive”, HDD) (jeweils nicht dargestellt) oder ähnliches auf.
Auf der ROM und HDD sind von der CPU ausgeführte Programme und eine Vielfalt von Daten und Formdaten gespeichert. Ferner wird das RAM durch die CPU als temporärer Arbeitsbereich und als Bereich zum temporären Speichern von Daten verwendet.
Informationsverarbeitung durch den PC 20 wird durch eine Zusammenarbeit von auf der ROM gespeicherten Software oder ähnlichem und Hardwareressourcen im PC 20 realisiert. In dieser wie in 1 gezeigten Ausführungsform wird eine Messungssteuerungseinrichtung 21 als ein funktioneller Block durch Ausführen eines vorbestimmten Programms durch die CPU konfiguriert. Man beachte, dass dezidierte Hardware zum Bilden der Messungssteuerungseinrichtung 21 verwendet werden kann.
Das Programm ist zum Beispiel über eine Vielfalt von Aufzeichnungsmedien auf dem PC 20 installiert. Alternativ kann das Programm über das Internet oder ähnliches auf dem PC 20 installiert werden.
2 ist Funktionsblockschaltbild, das ein Konfigurationsbeispiel der Messungssteuerungseinrichtung 21 zeigt. Die Messungssteuerungseinrichtung 21 umfasst eine Bildaufnahmekoordinaten-Speichereinrichtung 22, eine Bildaufnahmekoordinaten-Zusammenführungseinrichtung 23, eine Bildaufnahmesignal-Ausgabeeinrichtung 24, eine Kamerabild-Erfassungseinrichtung 25, eine Koordinaten-Detektionseinrichtung 26 und eine Achsenbewegung-Steuereinrichtung 27. Ferner umfasst die Messungssteuerungseinrichtung 21 eine Koordinaten-Speichereinrichtung 28, eine Koordinaten- und Bild-Speichereinrichtung 29, eine Bildkoordinaten-Detektionseinrichtung 30, eine Statische-Messung-Bildkoordinaten-Speichereinrichtung 31, eine Bewegungsmessung-Bildkoordinaten-Speichereinrichtung 32, eine Bildkoordinaten-Finite-Differenz-Berechnungseinrichtung 33 und eine Bildkoordinaten-Finite-Differenz-Speichereinrichtung 34. Ferner umfasst die Messungssteuerungseinrichtung 21 eine Bildkoordinaten-Korrektureinrichtung 35 und eine Detektionskoordinaten-Ausgabeeinrichtung 36.
Die Bildaufnahmekoordinaten-Speichereinrichtung 22 speichert einen Koordinatenwert an einer Bildaufnahmeposition (im Folgenden als ”Bildaufnahmepositions-Koordinate” bezeichnet). In der vorliegenden Ausführungsform werden x- und z-Koordinaten der Bildaufnahmeeinheit 13, an denen ein Bild aufgenommen wird, und eine y-Koordinate des Verschiebetischs 11 im Voraus als die Bildaufnahmepositions-Koordinate gespeichert.
Die Koordinaten-Detektionseinrichtung 26 detektiert eine Koordinate an einer aktuellen Messposition (im Folgenden als „Messposition-Koordinate” bezeichnet) aus dem Detektionswert an jedem der xyz-Achsenverschiebungssensoren 17. Die Messposition-Koordinate umfasst aktuelle x- und z-Koordinaten der Bildaufnahmeeinheit 13 und eine aktuelle y-Koordinate des Verschiebetischs 11.
Die Bildaufnahmekoordinaten-Zusammenführungseinrichtung 23 wird mit der Messposition-Koordinate, die durch die Koordinaten-Detektionseinrichtung 26 erfasst wird, und einer Bildaufnahmeposition-Koordinate, die in der Bildaufnahmekoordinaten-Speichereinrichtung 22 gespeichert ist, verglichen. Wenn beide Koordinaten übereinstimmen beauftragt die Bildaufnahmekoordinaten-Zusammenführungseinrichtung 23 eine Ausgabe eines Bildaufnahmesignals an die Bildaufnahmesignal-Ausgabeeinrichtung 24.
Die Bildaufnahmesignal-Ausgabeeinrichtung 24 gibt das Bildaufnahmesignal an eine Digitalkamera der Bildaufnahmeeinheit 13 aus. Durch Ausgeben des Signals wird ein Bild durch die Bildaufnahmeeinheit 13 aufgenommen. Die Kamerabild-Erfassungseinrichtung 25 erfasst ein durch die Bildaufnahmeeinheit 13 aufgenommenes Bild.
Die Achsenbewegung-Steuereinrichtung 27 steuert den Bewegungsmechanismus 12 und bewegt die Bildaufnahmeeinheit 13 und den Verschiebetisch 11. Die Koordinaten-Speichereinrichtung 28 speichert die Messposition-Koordinate wenn die durch die Koordinaten-Detektionseinrichtung 26 detektierte Messposition-Koordinate mit der Bildaufnahmeposition-Koordinate übereinstimmt.
Die Koordinaten- und Bild-Speichereinrichtung 29 speichert das durch die Bildaufnahmeeinheit 13 aufgenommene Bild und die Messposition-Koordinate wenn das Bild aufgenommen wird (d. h. die Bildaufnahmeposition-Koordinate).
Die Bildkoordinaten-Detektionseinrichtung 30 detektiert eine Koordinate über eine äußere Form und einen Merkmalspunkt des Werkstücks W in drei Raumrichtungen xyz (in Folgenden als „Messkoordinate” bezeichnet) aus dem aufgenommenen Bild und der Messposition-Koordinate, die in der Koordinaten- und Bild-Speichereinrichtung 29 gespeichert ist. Beispielsweise kann unter Verwendung der bekannten Bildanalysetechnologie, wie zum Beispiel Kantenerkennung, aus der Position in dem aufgenommenen Bild und der Messposition-Koordinate die Messposition-Koordinate in jeweiligen Punkten des Werkstücks W detektiert werden.
Die Bildkoordinaten-Korrektureinrichtung 35 korrigiert die Messkoordinate, die durch die Bildkoordinaten-Detektionseinrichtung 30 detektiert wird. Die Einzelheiten werden später beschrieben. In dieser Ausführungsform wird das Bild aufgenommen, indem die Bildaufnahmeeinheit 13 relativ bewegt wird, so dass jede einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen durchfahren wird. Aus einer Gruppe der aufgenommenen Bilder wird die Messkoordinate des Werkstücks W detektiert. Die Bildkoordinaten-Korrektureinrichtung 35 korrigiert die detektierte Messkoordinate.
Die Detektionskoordinaten-Ausgabeeinrichtung 36 gibt die Messkoordinate, die durch die Bildkoordinaten-Korrektureinrichtung 35 korrigiert wird, aus.
Die Statische-Messung-Bildkoordinaten-Speichereinrichtung 31, die Bewegungsmessungs-Bildkoordinaten-Speichereinrichtung 32, die Bildkoordinaten-Finite-Differenz-Berechnungseinrichtung 33 und die Bildkoordinaten-Finite-Differenz-Speichereinrichtung 34 sind Bausteine zum Berechnen des Korrekturwerts, der für die Korrektur durch die die Bildkoordinaten-Korrektureinrichtung 35 verwendet wird. Die Einzelheiten über jeden Baustein werden später genauer beschrieben.
Betrieb der Bildmessvorrichtung
Wie oben beschrieben ist die Messung durch die Bildmessvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform möglich durch relatives Bewegen der Bildaufnahmeeinheit 13, so dass eine Vielzahl der Aufnahmepositionen ohne Anhalten der Bildaufnahmeeinheit 13 durchfahren wird. Beispielsweise wird die Aufnahmeposition entlang einer vorab festgelegten Strecke auf Grundlage eines auf einem ROM gespeicherten Teilprogramms automatisch verändert (die Bildaufnahmeeinheit 13 wird relativ bewegt). Genau zu jenem Zeitpunkt, falls die Messposition-Koordinate mit der Bildaufnahmeposition-Koordinate übereinstimmt, wird das Bild automatisch aufgenommen. Im Folgenden wird die Messung als „Bewegungsmessung” bezeichnet.
3A, 3B, 4A, 4B, 5A und 5B sind Diagramme, die mögliche Probleme veranschaulichen, die bei der Bewegungsmessung auftreten können. 3A, 4A und 5A sind jeweils Diagramme einer Frontansicht des Bildmessgeräts 10, gesehen aus eine y-Richtung und 3B, 4B und 5B sind jeweils ein Bild, das durch die Bildaufnahmeeinheit 13 aufgenommen wurde.
3A und 3B sind jeweils Diagramme, die zeigen, dass ein Bild in einem Zustand aufgenommen wird, in dem die Bildaufnahmeeinheit 13 statisch an einer Bildaufnahmeposition P ist. In diesem Fall werden die Bildaufnahmeeinheit 13 und der Verschiebetisch 11 an die Aufnahmeposition-Koordinate bewegt und ein Bild des Werkstücks direkt darunter wird aufgenommen. Als Werkstück W wird hier ein plattenartiges Element mit einer weißen Fläche 41 und einer schwarzen Fläche 42 verwendet. Dann, wie in 3B gezeigt, wird die Bildaufnahmeposition P so eingestellt, dass eine Grenzfläche zwischen der weißen Fläche 41 und der schwarzen Fläche 42 mit einem Mittelpunkt 55 des aufgenommenen Bildes 50 überlappen.
4A und 4B sind jeweils Diagramme, die zeigen, dass ein Bild in einem Zustand aufgenommen wird, in dem die Bildaufnahmeeinheit 13 an den Bildaufnahmepositionen P beschleunigt wird. In diesem Fall, da eine Beschleunigung auf die Bildaufnahmeeinheit 13 und den z-Bewegungsmechanismus 16 wirkt, kann eine Schieflage oder eine Verformung durch Trägheit dieser Massen auftreten, wie in 4A gezeigt ist. Falls der Verschiebetisch 11 beschleunigt wird, kann das Werkstück W verformt werden.
Wie in 4B gezeigt, weicht in dem durch die Bildaufnahmeeinheit 13 aufgenommenen Bild 50 die Grenzfläche 43 des Werkstücks W ungewollt von dem Mittelpunkt 55 des aufgenommen Bildes 50 ab. Falls die Messkoordinate aus dem aufgenommenen Bild 50 berechnet wird, bildet die Abweichung des Bildes einen Fehler, der genau so groß ist, wie die Abweichung des Bildes im Vergleich mit der aus dem aufgenommenen Bild 50 der in 3B gezeigten statischen Messung berechneten Messkoordinate. Die Abweichung des aufgenommenen Bildes 50 kann während der Beschleunigung oder einer Zentrifugalkraft durch eine gleichzeitige Bogenbewegung zwischen zwei oder mehr Achsen erzeugt werden.
5A und 5B sind jeweils Diagramme zum Veranschaulichen einer Zeiteinteilung einer Bilderfassung während der Bewegung. Die Messposition-Koordinate wird mit der Aufnahmeposition-Koordinate durch die in 2 gezeigte Bildaufnahmekoordinaten-Zusammenführungseinrichtung 23 verglichen. Etwas Zeit ist notwendig bis das Bildaufnahmesignal von der Bildaufnahmesignal-Ausgabeeinrichtung 24 an die Bildaufnahmeeinheit 13 in Reaktion auf das Übereinstimmen der beiden Koordinaten ausgegeben wird. Tatsächlich wird das Bild mit einer Verzögerung zu der Zeiteinteilung durch die Bildaufnahmeeinheit 13 aufgenommen, wenn die Bildaufnahmeeinheit 13 an die Bildaufnahmeposition P bewegt wird (eine Verzögerungs-Bildaufnahmeposition P1 in 5A).
Falls die Zeiteinteilung der Bilderfassung verzögert wird, weicht die Grenzfläche 43 des Werkstücks ungewollt von dem Mittelpunkt 55 des aufgenommenen Bildes in dem aufgenommenen Bild 50 ab, wie in 5B gezeigt ist. Falls die Messkoordinate aus dem aufgenommenen Bild 50 berechnet wird, bildet die Abweichung des Bildes einen Fehler, der genau so groß ist, wie die Abweichung des Bildes.
Dann konzentrierte sich der Erfinder auf das Folgende: Falls die Bewegungsmessung gemäß einer vorab festgelegten Strecke durch dasselbe Teilprogramm ausgeführt wird, werden beispielsweise die Verformung des Bewegungsmechanismus 12 und des Werkstücks und die Abweichung der Zeiteinteilung der Bildaufnahme, die durch Beschleunigung, Verzögerung, die Zentrifugalkraft oder ähnliches bewirkt wird, an jeder Bildaufnahmeposition P jedes Mal unter fast denselben Bedingungen erzeugt. Mit anderen Worten, ein Betrag der Abweichung in dem aufgenommenen Bild 50 an jeder Bildaufnahmeposition ist jedes Mal fast gleich groß.
Die Bildaufnahmeeinheit 13 ist statisch an jeder einer Vielzahl der Bildaufnahmepositionen P, um ein Bild zu messen (im Folgenden als „statische Messung” bezeichnet). Das Messergebnis (d. h. eine Messkoordinate, die durch jedes aufgenommene Bild 50 detektiert wird) wird erfasst. Es wird vorgeschlagen, eine Finite-Differenz zwischen dem Messergebnis durch die statische Messung und dem Messergebnis durch die Bewegungsmessung als Korrekturwert zu berechnen. Konkrete Betriebsbeispiele werden weiter unten beschrieben.
6 ist ein Flussdiagramm, das ein Betriebsbeispiel der statischen Messung zeigt. Die Bildaufnahmeposition-Koordinate, die in der Bildaufnahmekoordinaten-Speichereinrichtung 22 gespeichert ist, wird ausgelesen (ST 101). Die Achsenbewegung-Steuereinrichtung 27 bewegt die Bildaufnahmeeinheit 13 und den Verschiebetisch 11 an die ausgelesene Bildaufnahmeposition-Koordinate (ST 102). Die Bildaufnahmekoordinaten-Zusammenführungseinrichtung 23 bestimmt, ob die Messposition-Koordinate mit der Bildaufnahmeposition-Koordinate übereinstimmt oder nicht (ST 103). Falls die Koordinaten übereinstimmen (Ja in ST 103), wird ein Stoppen der Bewegung an die Achsenbewegung-Steuereinrichtung 27 angezeigt (ST 104).
Die Achsenbewegung-Steuereinrichtung 27 bestimmt, ob der Zustand statisch ist oder nicht (ST 105). Falls erkannt wird, dass der Zustand statisch ist (Ja), wird ein Signal, das die Erkennung anzeigt, an die Bildaufnahmekoordinaten-Zusammenführungseinrichtung 23 ausgegeben. Die Bildaufnahmekoordinaten-Zusammenführungseinrichtung 23 empfängt das Signal und zeigt der Bildaufnahmesignal-Ausgabeeinrichtung 24 eine Ausgabe eines Bilderfassungssignals an. Auf diese Weise findet eine Bildaufnahme des Werkstücks W durch die Bildaufnahmeeinheit 13 statt, um das aufgenommene Bild zu erfassen (ST 106).
Sobald das aufgenommene Bild erfasst ist, speichert die Koordinaten- und Bild-Speichereinrichtung 29 das aufgenommene Bild und die Messposition-Koordinate (Bildaufnahmeposition-Koordinate) in Zusammenhang miteinander (ST 107). Die Bildkoordinaten-Detektionseinrichtung 30 detektiert eine Messkoordinate (X, Y, Z) an jedem Punkt des Werkstücks W von dem aufgenommenen Bild und der gespeicherten Messposition-Koordinate (ST 108).
Die detektierte Messkoordinate (X, Y, Z) wird in der in 2 gezeigten Statische-Messung-Bildkoordinaten-Speichereinrichtung 31 als die Messkoordinate an der statischen Messung gespeichert (ST 109). Das oben beschriebene Vorgehen wird an allen einer Vielzahl von vorgegebenen Bildaufnahmepositionen ausgeführt (ST 110).
Die Statische-Messung-Bildkoordinaten-Speichereinrichtung 31 speichert die Messkoordinate (X_S1, Y_S1, Z_S1)–(X_Sn, Y_Sn, Z_Sn) an allen Bildaufnahmepositionen. Der Suffix „n” ist eine Folgenummer der Bildaufnahmeposition-Koordinaten.
Bei der statischen Messung entspricht eine Gruppe der an den jeweiligen Bildaufnahmepositionen aufgenommenen Bilder einer ersten aufgenommenen Bildgruppe gemäß dieser Ausführungsform. Dementsprechend entspricht die Messkoordinate (X_S1, Y_S1, Z_S1)–(X_Sn, Y_Sn, Z_Sn) an allen Bildaufnahmepositionen den auf der ersten aufgenommenen Bildgruppe basierenden Messergebnissen.
7 ist ein Flussdiagramm, das ein Betriebsbeispiel der Bewegungsmessung zeigt. Die Bewegungsmessung wird in einem Zustand ausgeführt, in dem dasselbe Werkstück W nach Ausführen der statischen Messung unverändert auf dem Verschiebetisch 11 montiert ist.
In den Schritten ST 201 bis ST 203 wird die ausgelesene Bildaufnahmeposition-Koordinate mit der Messposition-Koordinate verglichen. Die ausgelesene Bildaufnahmeposition-Koordinate ist dieselbe wie die Bildaufnahmeposition-Koordinate der statischen Messung.
Falls die Bildaufnahmeposition-Koordinate mit der Messposition-Koordinate übereinstimmt (JA in ST 203), gibt die Bildaufnahmesignal-Ausgabeeinrichtung 24 das Bilderfassungssignal an die Bildaufnahmeeinheit 13 aus, um das aufgenommene Bild zu erfassen (ST 204). Das erfasste aufgenommene Bild und die Messposition-Koordinate werden gespeichert (ST 205). Auf Grundlage dessen wird die Messkoordinate (X, Y, Z) an jedem Punkt des Werkstücks W detektiert (ST 206).
Die detektierte Messkoordinate (X, Y, Z) wird in der in 2 gezeigten Bewegungsmessung-Bildkoordinaten-Speichereinrichtung 32 als die Messkoordinate der Bewegungsmessung gespeichert (ST 207). Das oben beschriebene Vorgehen wird an allen einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen ausgeführt (ST 208).
Die Bewegungsmessung-Bildkoordinaten-Speichereinrichtung 32 speichert die Messkoordinate (X_M1, Y_M1, Z_M1)–(X_Mn, Y_Mn, Z_Mn) an allen Bildaufnahmepositionen. Der Suffix „n” ist eine Folgenummer des Messergebnisses bei der statischen Messung. In anderen Worten, die jeweiligen Messergebnisse (X_Sn, Y_Sn, Z_Sn) und (X_Mn, Y_Mn, Z_Mn) mit derselben Nummer werden an derselben Bildaufnahmeposition gemessen.
Bei der Bewegungsmessung entspricht die Gruppe der an den jeweiligen Bildaufnahmepositionen aufgenommenen Bilder einer zweiten aufgenommenen Bildgruppe gemäß dieser Ausführungsform. Dementsprechend entspricht die Messkoordinate (X_M1, Y_M1, Z_M1)–(X_Mn, Y_Mn, Z_Mn) allen Bildaufnahmepositionen den auf der zweiten aufgenommenen Bildgruppe basierenden Messergebnissen.
8 ist ein Flussdiagramm, das ein Beispiel des Berechnens eines Korrekturwerts durch die in 2 gezeigten Berechnungseinrichtung für Finite-Differenzen von Koordinaten 33 zeigt. Aus der Statische-Messung-Bildkoordinaten-Speichereinrichtung 31 wird eine Messkoordinate bei der statischen Messung (X_Sn, Y_Sn, Z_Sn) ausgelesen (ST 301). Aus der Bewegungsmessung-Bildkoordinaten-Speichereinrichtung 32 wir eine Messkoordinate bei der Bewegungsmessung (X_Mn, Y_Mn, Z_Mn) ausgelesen (ST 302).
Anhand der folgenden Gleichungen wird eine Finite-Differenz (ΔX_n, ΔY_n, ΔZ_n) berechnet (ST 303). ΔX_n = X_Mn – X_Sn ΔY_n = Y_Mn – Y_Sn ΔZ_n = Z_Mn – Z_Sn
Die berechnete Finite-Differenz (ΔX_n, ΔY_n, ΔZ_n) wird in der in 2 gezeigten Bildkoordinaten-Finite-Differenz-Speichereinrichtung 34 gespeichert (ST 304). Das Vorgehen wird bis zur letzten Bildaufnahmeposition-Koordinate wiederholt (ST 305). Die Finite-Differenz (ΔX_n, ΔY_n, ΔZ_n) entspricht dem Korrekturwert, der in dieser Ausführungsform aus der ersten aufgenommenen Bildgruppe und der zweiten aufgenommenen Bildgruppe berechnet wird.
9 ist ein Flussdiagramm, das ein Betriebsbeispiel der Bewegungsmessung mit Verwendung eines Korrekturwerts zeigt. Auf dem Verschiebetisch 11 ist ein Werkstück W derselben Art mit derselben Form wie das Werkstück W zum Berechnen des Korrekturwerts montiert. Von Schritt ST 401 bis Schritt ST 406 wird dasselbe Vorgehen wie bei der in 7 gezeigten Bewegungsmessung ausgeführt. Die in Schritt ST 406 per Bildaufnahmeposition-Koordinate berechnete Messkoordinate (X_n, Y_n, Z_n) wird an die in 2 gezeigte Bildkoordinaten-Korrektureinrichtung 35 ausgegeben.
Die Bildkoordinaten-Korrektureinrichtung 35 liet eine Finite-Differenz (ΔX_n, ΔY_n, ΔZ_n) aus, die dieselbe Nummer n aufweist, welche der akzeptierten Messkoordinate (X_n, Y_n, Z_n) aus der Bildkoordinaten-Finite-Differenz-Speichereinrichtung 34 entspricht (ST 407). Dann wird die Korrekturkoordinate (X_Cn, Y_Cn, Z_Cn) anhand der folgenden Gleichungen berechnet (ST 408). X_Cn = X_n – ΔX_n Y_Cn = Y_n – ΔY_n Z_Cn = Z_n – ΔZ_n
Der Suffix „n” wird mit der Nummer der Messergebnisse bei der statischen Messung und der Bewegungsmessung verglichen.
Die berechneten Korrekturkoordinaten (X_Cn, Y_Cn, Z_Cn) werden von der Detektionskoordinaten-Ausgabeeinrichtung 36 ausgegeben (ST 409). Das oben beschriebene Vorgehen wird bis zur letzten Bildaufnahmeposition wiederholt (ST 410).
Gemäß der Bildmessvorrichtung 100 dieser Ausführungsform wird die Finite-Differenz (ΔX_n, ΔY_n, ΔZ_n) aus der ersten aufgenommenen Bildgruppe, aufgenommen durch Bildaufnahme mit der statisch an einer Vielzahl von vorgegebenen Bildaufnahmepositionen platzierten Bildaufnahmeeinheit 13, und der zweiten aufgenommenen Bildgruppe, aufgenommen durch Bildaufnahme durch die relativ bewegte Bildaufnahmeeinheit 13, berechnet. Durch Verwenden der Finiten-Differenz (ΔX_n, ΔY_n, ΔZ_n) wird der Einfluss der Verformung des Bewegungsmechanismus 12 und des Werkstücks W und der Abweichung der Zeiteinteilung der Bilderfassung, die durch die Beschleunigung, die Verzögerung, die Zentrifugalkraft oder ähnliches am jeder Bildaufnahmeposition bewirkt werden, beseitigt und ein mit jenem der statischen Messung fast gleichwertiges Messergebnis kann erfasst werden. Das bedeutet, dass das Werkstück W mit hoher Genauigkeit durch relatives Bewegen der Bildaufnahmeeinheit 13 vermessen werden kann.
Die Steifheit eines Elements, das den Bewegungsmechanismus 12 usw. bildet, muss nicht bis zum Äußersten erhöht werden, um die Abweichung des Bildes bei der Bewegungsmessung zu verhindern, wodurch Kosten reduziert werden.
Irgendeines einer Vielzahl der zu vermessenden Werkstücke W wird ausgewählt als ein Repräsentatives, und der Korrekturwert wird aus der statischen Messung und der Bewegungsmessung berechnet. Der Korrekturwert wird gespeichert. Falls ein anderes Werkstück W derselben Art der Bewegungsmessung unterworfen wird, wird die Korrektur mit dem gespeicherten Korrekturwert vorgenommen. Auf diese Weise kann eine Vielzahl von Werkstücken W derselben Art effektiv mit hoher Genauigkeit vermessen werden. Anhand eines Beispiels, durch Verwenden des ersten Werkstücks W, wird der Korrekturwert auf einfache Weise berechnet, wodurch die Bewegungsmessung mit hoher Genauigkeit ohne komplexe Verarbeitung ausgeführt werden kann.
Andere Ausführungsformen
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt und andere verschiedene Ausführungsformen sind machbar.
In der obigen Beschreibung wird das zu vermessende Werkstück verwendet, um den Korrekturwert zu berechnen. Ersatzweise wird ein Beweisobjekt verwendet, um den Korrekturwert zu berechnen. Das Beweisobjekt ist nicht beschränkt auf, aber umfasst ein plattenartiges Element, welches zum Beispiel als Werkstück W in 3A beschrieben ist.
Falls das zu vermessende Werkstück feststeht, falls ein Verfahren zum Bewegen der Bildaufnahmeeinheit oder des Verschiebetischs bei der Bewegungsmessung feststeht, falls ein Bewegungsmodus einfach ist (Bewegung mit einer gleichförmigen Geschwindigkeit in einer Achse, usw.) oder falls eine zu hohe Genauigkeit erforderlich ist, kann das Beweisobjekt als das Objekt gemäß der Ausführungsform verwendet werden.
Zum Beispiel wird das Beweisobjekt zum Zeitpunkt des Versandes ab Werk verwendet, um den Korrekturwert zu berechnen und zu speichern. Bei Messung eines tatsächlichen Werkstücks wird die Bewegungsmessung unter Verwendung des Korrekturwerts ausgeführt. Auf diese Weise ist die Bewegungsmessung mit hoher Genauigkeit leicht möglich. Zu beachten ist, dass ausgewählt werden kann, den unter Verwendung des Beweisobjekts berechneten Korrekturwert zu benutzen, oder den Korrekturwert unter Verwendung des Werkstücks vor Ort zu berechnen.
In der obigen Beschreibung wird die Bildaufnahmeeinheit in den x- und y-Richtungen bewegt, um die Bildaufnahmeposition der Bildaufnahmeeinheit zu verändern, und der Verschiebetisch wird in der y-Richtung bewegt. Es gibt jedoch keine Einschränkung diesbezüglich. Die Bildaufnahmeeinheit kann an einer Bildaufnahmeseite in drei Raumrichtungen, d. h. xyz, bewegt werden oder der Verschiebetisch kann auf Seiten eines zu vermessenden Objekts in drei Richtungen, d. h. xyz, bewegt werden.
Andererseits können jene auf Seiten der Bildaufnahme und auf Seiten des zu vermessenden Objekts in derselben Richtung bewegt werden. Jedenfalls entspricht die Bewegung zum Verändern der Bildaufnahmeposition der Bildaufnahmeeinheit der Relativbewegung der Bildaufnahmeeinheit.
Bei der obigen Beschreibung werden das Bildmessgerät und der PC separat bereitgestellt. Das Bildmessgerät und der PC können jedoch auch als eine Einheit bereitgestellt werden, um die Bildmessvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zu realisieren. Damit sei gesagt, dass eine Informationsverarbeitungseinheit, die einen Prozessor und dergleichen umfasst, kann in dem Bildaufnahmegerät bereitgestellt werden und die Informationsverarbeitungseinheit kann eine Messungssteuerungseinrichtung darstellen.
Das Bildmessverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung ist nicht auf eine Art des Bildmessgeräts beschränkt, mit dem es ausgeführt wird. Die vorliegende Erfindung kann auf eine beliebige Vorrichtung angewandt werden, die Messungen und Beobachtungen unter Verwendung des durch Bildaufnahme des Werkstücks erfassten Objektbildes ausführt. Beispiele umfassen ein CNC-Bildmessgerät, ein dreidimensionales CNC-Messgerät und einen Härtetester. Die vorliegende Erfindung ist auch auf ein digitales Mikroskop, das ein Bild eines durch ein optisches Mikroskop bereitgestellten vergrößerten Bildes mit einer Digitalkamera aufnimmt, anwendbar.
Von den oben beschriebenen Merkmalen der jeweiligen Ausführungsformen können mindestens zwei miteinander kombiniert werden. Ferner sind die verschiedenen oben beschriebenen Wirkungen lediglich beispielhaft und nicht einschränkend zu verstehen und weitere Wirkungen können erzielt werden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2015-082239 [0001]
JP 2014-228529 [0003]

Claims

Bildmessvorrichtung, umfassend: eine Bildaufnahmeeinrichtung, die Bilder von einem Objekt aufnimmt; einen Bewegungsmechanismus, der eine Bildaufnahmeposition der Bildaufnahmeeinrichtung zum Objekt verändert; und eine Berechnungseinrichtung, die einen Korrekturwert aus einer ersten aufgenommenen Bildgruppe, die durch statisches Platzieren der Bildaufnahmeeinrichtung an einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen erfasst wird, und einer zweiten aufgenommenen Bildgruppe, die durch relatives Bewegen der Bildaufnahmeeinrichtung, so dass jede der Vielzahl von Bildaufnahmepositionen durchfahren wird, erfasst wird, berechnet, wobei die erste aufgenommene Bildgruppe und die zweite aufgenommene Bildgruppe aufgenommene Bildgruppen von Bildern sind, die an einer Vielzahl der vorbestimmten Bildaufnahmepositionen durch die Bildaufnahmeeinrichtung aufgenommen werden.
Bildmessvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Objekt ein zu vermessendes Objekt ist; und die Bildmessvorrichtung ferner eine Korrektureinrichtung umfasst, die ein Messergebnis auf Grundlage des aus der zweiten aufgenommenen Bildgruppe berechneten Korrekturwerts korrigiert.
Bildmessvorrichtung nach Anspruch 2, ferner umfassend: eine Speichereinrichtung, die den berechneten Korrekturwert speichert, wobei die Korrektureinrichtung das Messergebnis anhand des gespeicherten Korrekturwerts korrigiert.
Bildmessverfahren, umfassend: Erfassen einer ersten aufgenommenen Bildgruppe durch Bilderfassung eines Objekts mit einer Bildaufnahmeeinrichtung, die statisch an jeder einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen platziert wird; Erfassen einer zweiten aufgenommenen Bildgruppe durch Bilderfassung des Objekts mit der Bildaufnahmeeinrichtung, die relativ bewegt wird, so dass jede einer Vielzahl der Bildaufnahmepositionen durchfahren wird; und Berechnen eines Korrekturwerts aus der ersten und zweiten erfassten aufgenommenen Bildgruppe.
Bildmessverfahren nach Anspruch 4, wobei das Erfassen der ersten aufgenommenen Bildgruppe an dem zu vermessenden Objekt ausgeführt wird; das Erfassen der zweiten aufgenommenen Bildgruppe jeweils an dem zu vermessenden Objekt und an einer Vielzahl von anderen gleichartigen zu vermessenden Objekten ausgeführt wird; und das Bildmessverfahren Korrigieren eines Messergebnisses von jeder einer Vielzahl der anderen zu vermessenden Objekte auf Grundlage der zweiten aufgenommenen Bildgruppe anhand des für die zu vermessenden Objekte berechneten Korrekturwerts umfasst.
Informationsverarbeitungsvorrichtung, umfassend: eine Bewegungssteuerungseinrichtung, die eine Bildaufnahmeposition einer Bildaufnahmeeinrichtung, die Bilder eines Objekts aufnimmt, steuert; und eine Berechnungseinrichtung, die einen Korrekturwert aus einer ersten aufgenommenen Bildgruppe, die durch statisches Platzieren der Bildaufnahmeeinrichtung an einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen erfasst wird, und einer zweiten aufgenommenen Bildgruppe, die durch relatives Bewegen der Bildaufnahmeeinrichtung, so dass jede der Vielzahl von Bildaufnahmepositionen durchfahren wird, erfasst wird, berechnet, wobei die erste aufgenommene Bildgruppe und die zweite aufgenommene Bildgruppe aufgenommene Bildgruppen von Bildern sind, die an einer Vielzahl der vorbestimmten Bildaufnahmepositionen durch die Bildaufnahmeeinrichtung aufgenommen werden.
Informationsverarbeitungsverfahren, ausgeführt von einem Computer, umfassend: Erfassen einer ersten aufgenommenen Bildgruppe durch Bilderfassung eines Objekts mit einer Bildaufnahmeeinrichtung, die statisch an jeder einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen platziert wird; Erfassen einer zweiten aufgenommenen Bildgruppe durch Bilderfassung des Objekts mit der Bildaufnahmeeinrichtung, die relativ bewegt wird, so dass jede einer Vielzahl der Bildaufnahmepositionen durchfahren wird; und Berechnen eines Korrekturwerts aus der ersten und zweiten erfassten aufgenommenen Bildgruppe.
Ein Programm, um zu bewirken, dass ein Computer ein Verfahren ausführt, umfassend: Erfassen einer ersten aufgenommenen Bildgruppe durch Bilderfassung eines Objekts mit einer Bildaufnahmeeinrichtung, die statisch an jeder einer Vielzahl von Bildaufnahmepositionen platziert wird; Erfassen einer zweiten aufgenommenen Bildgruppe durch Bilderfassung des Objekts mit der Bildaufnahmeeinrichtung, die relativ bewegt wird, so dass jede einer Vielzahl der Bildaufnahmepositionen durchfahren wird; und Berechnen eines Korrekturwerts aus der ersten und zweiten erfassten aufgenommenen Bildgruppe.