DE102016125815A1

DE102016125815A1 - Horizontal-Prozessieranordnung und Verfahren

Info

Publication number: DE102016125815A1
Application number: DE102016125815.6A
Authority: DE
Inventors: Michael Hentschel
Original assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2016-12-28
Filing date: 2016-12-28
Publication date: 2018-06-28

Abstract

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b) Folgendes aufweisen: eine Vakuumkammer (802); eine Transportvorrichtung (402, 100a bis 300d), welche mehrere Transportrollen (104, 104a, 104b) und eine Linearführung-Anordnung (106) aufweist; wobei die mehreren Transportrollen (104, 104a, 104b) eine Transportfläche (111f) und eine Transportrichtung (101) definieren; eine Beschichtungsvorrichtung, welche über der Transportfläche (111f) angeordnet und eingerichtet ist, ein Beschichtungsmaterial in Richtung der Transportfläche (111f) zu emittieren; eine Abstützanordnung (404, 406), mittels welcher die Vakuumkammer (802) auf einem Untergrund (411) oder mittels welcher die Transportvorrichtung (402, 100a bis 300d) in der Vakuumkammer (802) abgestützt ist; wobei die Abstützanordnung (404, 406) derart eingerichtet ist, dass die Transportfläche (111f) schräg zur Horizontalen (H) ist zum seitlichen Ablenken eines auf der Transportfläche (111f) transportierten Trägers (102, 102t) quer zu der Transportrichtung (101); wobei die Linearführung-Anordnung (106) das seitliche Ablenken begrenzt, so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung (106) entlang eines geradlinigen Transportpfades geführt wird.

Description

Die Erfindung betrifft eine Horizontal-Prozessieranordnung und ein Verfahren.
Im Allgemeinen kann ein Substrat, beispielsweise ein Glassubstrat, ein Metallsubstrat und/oder ein Polymersubstrat, behandelt (prozessiert), z.B. beschichtet werden, so dass die chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften des Substrats verändert werden können. Zum Beschichten eines Substrats können verschiedene Beschichtungsverfahren durchgeführt werden. Beispielsweise kann eine Vakuumbeschichtungsanlage genutzt werden, um eine Schicht oder mehrere Schichten mittels einer chemischen und/oder physikalischen Gasphasenabscheidung auf einem Substrat oder auf mehreren Substraten abzuscheiden. Um ein großflächiges Abscheiden auf entsprechend großflächigen Substraten effizient zu realisieren, kann eine sogenannt In-Line-Anlage genutzt werden, bei der ein Substrat beispielsweise mittels Rollen (auch als Transportrollen bezeichnet) durch die gesamte Anlage transportiert wird, wobei während des Substrattransports durch die In-Line-Anlage hindurch in einem oder mehreren Bereichen der In-Line-Anlage ein Beschichtungsprozess durchgeführt werden kann.
Generell lassen sich In-Line-Anlagen in zwei Typen unterteilen, nämlich horizontal prozessierende In-Line-Anlagen, in denen das Substrat in einer flach liegenden Position transportiert und prozessiert wird, und vertikal prozessierende In-Line-Anlagen, in denen das Substrat in einer aufrecht stehenden Position transportiert und prozessiert wird.
In einer horizontal prozessierenden In-Line-Anlage (auch als Horizontal-Anlage bezeichnet) wird ein plattenförmiges Substrat in einer liegenden Position auf einer Vielzahl Transportrollen aufliegend transportiert (auch als horizontal-Transport bezeichnet), welche eine im Idealfall planare Transportfläche bereitstellen. Um ein Abdriften oder Drehen des Substrats beim Transportieren zu verhindern, wird die Transportfläche herkömmlicherweise möglichst waagerecht ausgerichtet, so dass möglichst wenig seitliche Kräfte entstehen oder sich diese im Mittel möglichst ausgleichen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wurde erkannt, dass selbst eine perfekt waagerecht ausgerichtete Transportfläche aufgrund von Fertigungstoleranzen noch immer Unebenheiten aufweist, welche den Transport des Substrats stören. Ebenso können Ablagerungen auf den Transportrollen aufgrund von parasitärer Beschichtung zu Unebenheiten in der Transportfläche führen. Diese Ablagerungen können im Laufe des Beschichtungsbetriebs den Transport zunehmend stören, so dass eine regelmäßige Reinigung der Transportrollen erforderlich ist, was aufwändig und kostenintensiv ist.
Diese Unebenheiten können den Transportweg, welchen das Substrat über die Transportrollen nimmt, und ebenso die Orientierung, mit welcher das Substrat transportiert wird, beeinflussen (anschaulich kann sich das Substrat drehen und/oder es kann schlingern). Beispielsweise kann der reale Transportweg von einem ideal geradlinigen Transportpfad abweichen, so dass die Position und Orientierung des Substrats, in der dieses beschichtet wird, unvorhersehbar wird. Diese Abweichung kann zu einem ungleichmäßigen Beschichtungsergebnis führen und sogar die Bildung von Ablagerungen auf den Transportrollen begünstigen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen werden eine Horizontal-Prozessieranordnung und ein Verfahren bereitgestellt, welche weniger oder kaum empfindlich auf Unebenheiten der Transportfläche sind. Dadurch wird das Einrichten (z.B. Nivellieren) der Prozessieranordnung erleichtert und/oder die Transportrollen müssen seltener gereinigt werden.
Anschaulich wird oder ist die Transportfläche gemäß verschiedenen Ausführungsformen einseitig aus der Waagerechten herausgehoben, so dass das transportierte Substrat eine seitliche Driftbewegung erfährt (anschaulich hangabwärts). Die seitliche Driftbewegung wird mittels einer seitlichen Linearführung (z.B. seitliche Bordscheiben aufweisend) begrenzt, so dass das Substrat entlang eines geradlinigen Transportweges geführt wird.
Die Kraft (Hangabtriebskraft), welche die Driftbewegung bewirkt, kann die Kräfte, welche von den Unebenheiten der Transportfläche bewirkt werden, übersteigen. Dadurch werden die Auswirkungen von Unebenheiten in der Transportfläche reduziert oder verhindert.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Horizontal-Prozessieranordnung Folgendes aufweisen: eine Vakuumkammer; eine Transportvorrichtung, welche mehrere Transportrollen und eine Linearführung-Anordnung aufweist; wobei die mehreren Transportrollen eine Transportfläche und eine Transportrichtung definieren; eine Beschichtungsvorrichtung, welche über (z.B. oberhalb) der Transportfläche (z.B. über der Transportvorrichtung) angeordnet und eingerichtet ist, ein Beschichtungsmaterial in Richtung der Transportfläche zu emittieren; eine Abstützanordnung, mittels welcher die Vakuumkammer auf einem Untergrund oder mittels welcher die Transportvorrichtung in der Vakuumkammer abgestützt (z.B. gelagert) ist; wobei die Abstützanordnung derart eingerichtet ist, dass die Transportfläche schräg zur Horizontalen ist zum seitlichen Ablenken eines auf der Transportfläche transportierten Trägers (z.B. eines Substrats, eines Substratträgers oder eines anderen Werkstücks) quer zu der Transportrichtung; wobei die Linearführung-Anordnung das seitliche Ablenken begrenzt (z.B. eine gradlinige Begrenzungsfläche, z.B. quer zur Horizontalen oder zur Transportfläche ausgerichtet, bereitstellt), so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang der gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Abstützanordnung, mittels welcher die Vakuumkammer abgestützt (z.B. gelagert) ist, mehrere Nivellierelemente aufweisen (welche z.B. mit dem Untergrund in körperlichem Kontakt sind), welche eine Ausrichtung der Vakuumkammer relativ zu der Horizontalen definieren.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können mehrere erste Nivellierelemente auf einer ersten Seite der Vakuumkammer und mehrere zweite Nivellierelemente auf einer zweiten Seite der Vakuumkammer angeordnet sein, wobei sich die Nivellierelemente zwischen den zwei Seiten in ihrer vertikalen Ausdehnung und/oder Nivellierstellung unterscheiden (diese können beispielsweise unterschiedlich eingestellt sein).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Abstützanordnung mehrere Gelenke aufweisen, von denen jedes Gelenk ein Nivellierelement der mehreren Nivellierelemente mit der Vakuumkammer (z.B. deren Unterseite) oder mit dem Untergrund kuppelt.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jedes Gelenk der mehreren Gelenke einen Rotationsfreiheitsgrad bereitstellen, um welchen das Gelenk beispielsweise eine Relativbewegung der mit dem Gelenk gekuppelten Elemente zueinander ermöglicht.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jedes Gelenk der mehreren Gelenke einen Rotationsfreiheitsgrad um einen Winkel von mehr als ungefähr 3° (z.B. mehr als 5°, mehr als 10°, mehr als 15°) bereitstellen. Damit können Höhenunterschiede des Untergrunds ausgeglichen und zusätzlich eine Schrägstellung der Vakuumkammer ermöglicht werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer eine Oberseite und eine Unterseite aufweisen (wobei Ober- und Unterseite einander gegenüberliegen); wobei die Abstützanordnung, mittels welcher die Transportvorrichtung abgestützt ist, derart eingerichtet ist, dass die Transportfläche schräg zu der Unterseite ist (z.B. mit der Unterseite einen größeren Winkel einschließend als die Unterseite mit der Horizontalen), oder wobei die Abstützanordnung, mittels welcher die Vakuumkammer abgestützt ist, derart eingerichtet ist, dass die Unterseite schräg zu der Horizontalen ist (z.B. mit der Horizontalen einen größeren Winkel einschließend als mit der Transportfläche).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Horizontal-Prozessieranordnung Folgendes aufweisen: eine Vakuumkammer, welche eine Oberseite und eine Unterseite aufweist; eine Transportvorrichtung, welche mehrere Transportrollen und eine Linearführung-Anordnung aufweist; wobei die mehreren Transportrollen eine Transportfläche und eine Transportrichtung definieren; eine Beschichtungsvorrichtung, welche über der Transportfläche (z.B. über der Transportvorrichtung) angeordnet und eingerichtet ist, ein Beschichtungsmaterial in Richtung der Transportfläche zu emittieren; eine Abstützanordnung, mittels welcher die Transportvorrichtung in der Vakuumkammer abgestützt (z.B. gelagert) ist; wobei die Abstützanordnung derart eingerichtet ist, dass die Transportfläche schräg zu der Unterseite ist zum seitlichen Ablenken eines auf der Transportfläche transportierten Trägers quer zu der Transportrichtung; wobei die Linearführung-Anordnung das seitliche Ablenken begrenzt, so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Linearführung-Anordnung oberhalb der Transportfläche angeordnet sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Linearführung-Anordnung ein Federelement oder mehrere Federelemente (welche beispielsweise die Begrenzungsfläche bereitstellen) aufweisen, mittels welchen das seitliche Ablenken begrenzt wird, wobei das oder jedes Federelement der Linearführung-Anordnung eine geringere Steifigkeit aufweist als ein Rollenmantel (anschaulich das Material aus dem die Mantelfläche gemacht ist) jeder Transportrolle der mehreren Transportrollen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Linearführung-Anordnung eine Vielzahl Borsten und/oder mehrere Bürstenrollen aufweisen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Linearführung-Anordnung eine Gleitschiene aufweisen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Betreiben einer Horizontal-Prozessieranordnung bereitgestellt sein oder werden, wobei die Horizontal-Prozessieranordnung aufweist: eine Vakuumkammer; eine Transportvorrichtung, welche mehrere Transportrollen und eine Linearführung-Anordnung aufweist; wobei die mehreren Transportrollen eine Transportfläche und eine Transportrichtung definieren; eine Beschichtungsvorrichtung, welche über der Transportfläche (z.B. über der Transportvorrichtung) angeordnet ist; eine Abstützanordnung, mittels welcher die Vakuumkammer auf einem Untergrund oder mittels welcher die Transportvorrichtung in der Vakuumkammer abgestützt (z.B. gelagert) ist; wobei die Abstützanordnung derart eingerichtet ist, dass die Transportfläche schräg zur Horizontalen ist zum seitlichen Ablenken eines auf der Transportfläche transportierten Trägers quer zu der Transportrichtung; und wobei das Verfahren aufweist: Transportieren des Trägers auf der Transportfläche in die Transportrichtung; Begrenzen des seitlichen Ablenkens mittels der Linearführung-Anordnung, so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird; und Emittieren eines Beschichtungsmaterials in Richtung der Transportfläche mittels der Beschichtungsvorrichtung.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Einrichten einer Horizontal-Prozessieranordnung bereitgestellt sein oder werden, wobei die Horizontal-Prozessieranordnung aufweist: eine Vakuumkammer; eine Transportvorrichtung, welche mehrere Transportrollen und eine Linearführung-Anordnung aufweist; wobei die mehreren Transportrollen eine Transportfläche und eine Transportrichtung definieren (optional ferner eine Beschichtungsvorrichtung, welche über der Transportfläche angeordnet und eingerichtet ist, ein Beschichtungsmaterial in Richtung der Transportfläche zu emittieren); und wobei das Verfahren aufweist: Lagern mittels einer Abstützanordnung der Vakuumkammer auf einem Untergrund oder der Transportvorrichtung in der Vakuumkammer; Einrichten der Abstützanordnung derart, dass die Transportfläche schräg zur Horizontalen ist zum seitlichen Ablenken eines auf der Transportfläche transportierten Trägers quer zu der Transportrichtung; Bereitstellen der Linearführung-Anordnung derart, dass diese das seitliche Ablenken begrenzt, so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Horizontal-Prozessieren Folgendes aufweisen: Bereitstellen eines Vakuums in einem Transportbereich; Transportieren eines Trägers in einer liegenden Position durch den Transportbereich hindurch in eine Transportrichtung; Emittieren eines Beschichtungsmaterials in den Transportbereich hinein; Bereitstellen einer Hangabtriebskraft zum seitlichen Ablenken des Trägers quer zur Transportrichtung, wobei die Hangabtriebskraft innerhalb des Transportbereichs einen einheitlichen Ablenkungssinn (z.B. nach rechts oder nach links) bezüglich der Transportrichtung bewirkt; und Begrenzen des seitlichen Ablenkens am Rand des Transportbereichs, so dass das Transportieren entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer eine Substrattransferöffnung aufweisen, durch welche ein Transportbereich, in dem Substrat transportiert werden soll, hindurch verläuft. Die mehreren Transportrollen können den Transportbereich nach unten hin begrenzen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Substrattransferöffnung horizontal längserstreckt sein. Mit anderen Worten kann die Substrattransferöffnung eine erste Ausdehnung entlang der Horizontalen aufweisen, welche größer ist als eine zweite Ausdehnung der Substrattransferöffnung entlang der Vertikalen. Mit anderen Worten kann die Vakuumkammer eine Substrattransferöffnung aufweisen, welche entlang einer Horizontalen eine größere Ausdehnung aufweist als quer zu der Horizontalen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jede Transportrolle der mehreren Transportrollen entlang einer Horizontalen eine größere Ausdehnung aufweisen als quer zu der Horizontalen (z.B. deren Durchmesser).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jede Transportrolle der mehreren Transportrollen eine Drehachse aufweisen, deren Winkelabweichung von der Horizontalen kleiner als oder gleich zu ungefähr 15° ist (z.B. kleiner als ungefähr 10°, z.B. kleiner als ungefähr 5°) und/oder größer als ungefähr 1° (z.B. größer als ungefähr 2° oder größer als oder gleich zu ungefähr 3°), z.B. in einem Bereich von ungefähr 2° bis ungefähr 4°.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die mehreren Transportrollen zum Transport eines liegend transportierten Trägers (z.B. eines Substrats oder eines Substratträgers) eingerichtet sein. Mit anderen Worten kann der Träger, z.B. mit seiner längsten Seite, auf den mehreren Transportrollen aufliegend transportiert werden (d.h. nicht stehend oder hochkant).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transport-Führungsvorrichtung den Transportbereich in Richtung der Hangabtriebskraft begrenzen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportfläche mit der Horizontalen (d.h. der horizontalen Ebene) einen Winkel einschließen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Winkel in einem Bereich von ungefähr 1° bis ungefähr 15° sein, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 2° (z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 3°) und/oder kleiner als oder gleich zu ungefähr 10° (z.B. kleiner als oder gleich zu ungefähr 5°), z.B. in einem Bereich von ungefähr 2° bis ungefähr 4°.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Linearführung-Anordnung das seitliche Ablenken durch Aufnehmen der Hangabtriebskraft begrenzen (d.h. die Transportrichtung ausrichten), so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Horizontal-Transportvorrichtung Folgendes aufweisen: mehrere Transportrollen, von denen jede Transportrolle eine Drehachse aufweist, zum Transportieren eines Trägers (z.B. eines Substrats und/oder eines Substratträgers) in eine Transportrichtung; wobei die Drehachse jeder Transportrolle der mehreren Transportrollen in einer Ebene liegt, wobei die Ebene gegenüber der Horizontalen schräg ist (d.h. mit der horizontalen Ebene einen Winkel einschließt) zum Bereitstellen einer Hangabtriebskraft parallel zu der Drehachse; und eine Linearführung-Anordnung, welche ein seitliches Ablenken des Transportierens durch Aufnehmen der Hangabtriebskraft begrenzt, so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Horizontal-Prozessieranordnung Folgendes aufweisen: eine Vakuumkammer; mehrere in der Vakuumkammer angeordnete Transportrollen, welche eine Transportfläche definieren, zum Transportieren eines (z.B. liegenden) Trägers auf den mehreren Transportrollen; wobei die Drehachse jeder Transportrolle der mehreren Transportrollen in einer Ebene (auch als Drehachsenebene bezeichnet) liegt, wobei die Ebene gegenüber der Horizontalen schräg ist (d.h. mit der horizontalen Ebene einen Winkel einschließt) zum Ablenken des Transportierens entlang der Drehachse; und eine Linearführung-Anordnung, welche das Ablenken des Transportierens begrenzt, so dass eine Richtung des Transportierens (auch als Transportrichtung bezeichnet) senkrecht zu der Drehachse und/oder parallel zu der Drehachsenebene ausrichtet ist. Beispielsweise kann die Begrenzungsfläche senkrecht zu der Drehachse und/oder der Drehachsenebene ausrichtet sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Linearführung-Anordnung eingerichtet sein, eine Schwankung des Transportierens in zumindest eine horizontale Richtung (auch als Begrenzungsrichtung bezeichnet) zu begrenzen. Anschaulich können die Transportfläche und/oder die Ebene gegenüber der Horizontalen schräg sein zum gerichteten Ablenken des Transportierens in die horizontale Richtung, in der eine Schwankung des Transportierens von der Linearführung-Anordnung begrenzt wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Linearführung-Anordnung, z.B. deren Linearführung-Element(e) (z.B. deren Mantelfläche und/oder deren Begrenzungsseite), ein Metall, eine Keramik oder ein Polymer aufweisen oder daraus gebildet sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Linearführung-Anordnung temperaturstabil sein bis mindestens ungefähr 250°C, z.B. bis mindestens ungefähr 560°C. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann als temperaturstabil im Zusammenhang mit einer Temperatur verstanden werden, als dass eine Struktur oder ein Material zumindest bis zu der Temperatur belastet werden können, ohne ihre Funktion zu verlieren. Beispielsweise kann die Struktur oder das Material zumindest bis zu der Temperatur keine oder kaum chemische Reaktionen mit deren Umgebung eingehen und/oder chemisch stabil bleiben. Beispielsweise kann die Struktur oder das Material zumindest bis zu der Temperatur ihren Aggregatszustand und/oder ihre chemische Zusammensetzung beibehalten. Beispielsweise kann die Struktur oder das Material zumindest bis zu der Temperatur ihre Form und/oder ihr Volumen beibehalten (d.h. ohne sich strukturell zu verändern). Beispielsweise kann die Temperatur, bis zu welcher die Struktur oder das Material temperaturstabil ist, eine Temperatur sein, bei der sich der Aggregatszustand der Struktur oder des Materials ändert, oder kann eine Übergangstemperatur sein, z.B. ein Glasübergangstemperatur.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Horizontal-Transportanordnung Folgendes aufweisen: mehrere Transportrollen und eine Linearführung-Anordnung; wobei die mehreren Transportrollen eine Transportfläche und eine Transportrichtung definieren; eine Abstützanordnung zum Abstützen der mehrere Transportrollen in einer Vakuumkammer; wobei die Abstützanordnung derart eingerichtet ist, dass die Transportfläche schräg zu einer Unterseite der Vakuumkammer ist zum seitlichen Ablenken eines auf der Transportfläche transportierten Trägers quer zu der Transportrichtung; wobei die Linearführung-Anordnung das seitliche Ablenken begrenzt, so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Horizontal-Transportieren Folgendes aufweisen: Bereitstellen eines Vakuums in einem Transportbereich; Transportieren eines Trägers in einer liegenden Position durch den Transportbereich hindurch in eine Transportrichtung; Bereitstellen einer Hangabtriebskraft zum seitlichen Ablenken des Trägers quer zur Transportrichtung, wobei die Hangabtriebskraft innerhalb des Transportbereichs einen einheitlichen Ablenkungssinn bezüglich der Transportrichtung bewirkt; und Begrenzen des seitlichen Ablenkens am Rand des Transportbereichs, so dass das Transportieren entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird.
Das Verfahren kann ferner aufweisen: Emittieren eines Beschichtungsmaterials in den Transportbereich hinein.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.
Es zeigen

1A und 1B jeweils eine Transportvorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
2A und 2B jeweils eine Transportvorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
3A, 3B, 3C und 3D jeweils eine Transportvorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in verschiedenen Ansichten;
4A und 4B jeweils eine Horizontal-Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht;
5A, 5B und 5C jeweils eine Abstützanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
6A und 6B jeweils eine Horizontal-Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer perspektivischen Ansicht;
7 eine Transportvorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer perspektivischen Ansicht;
8A und 8B jeweils eine Horizontal-Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
9, 10, 11 und 12 jeweils ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagramm;

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
In der folgenden ausführlichen Beschreibung kann die Transportrichtung auch entgegen der dargestellten Richtung ausgerichtet sein. Beispielsweise kann eine Transportvorrichtung zum bidirektionalen Transport eingerichtet sein.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung (z.B. ohmsch und/oder elektrisch leitfähig, z.B. einer elektrisch leitfähigen Verbindung), eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Begriff „gekoppelt“ oder „Kopplung“ im Sinne einer (z.B. mechanischen, hydrostatischen, thermischen und/oder elektrischen), z.B. direkten oder indirekten, Verbindung und/oder Wechselwirkung verstanden werden. Mehrere Elemente können beispielsweise entlang einer Wechselwirkungskette miteinander gekoppelt sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann „gekuppelt“ im Sinne einer mechanischen (z.B. körperlichen bzw. physischen) Kopplung verstanden werden, z.B. mittels eines direkten körperlichen Kontakts. Eine Kupplung kann eingerichtet sein, eine mechanische Wechselwirkung (z.B. Kraft, Drehmoment, etc.) zu übertragen.
Im Rahmen dieser Beschreibung können Begriffe wie „schräg“, „Winkel“ oder Winkelrelationen in Verbindung mit einer Seite oder einem Körper verstanden werden, als dass der Seite bzw. dem Körper eine Ebene zugeordnet wird, welche die größte Querschnittsfläche mit der Seite bzw. dem Körper (oder deren Oberfläche) aufweist, wobei das „schräg“ der „Winkel“ oder die Winkelrelation auf die Ebene bezogen sein oder werden können.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die mehreren Transportrollen, oder zumindest eine (d.h. ein oder mehr als eine) davon, mit einem Transportantrieb gekuppelt sein, zum Antreiben der oder jeder mit dem Transportantrieb gekuppelten Transportrolle. Die oder jede mit dem Transportantrieb gekuppelte Transportrolle kann als Vortriebrolle (auch als Friktionsrolle bezeichnet) eingerichtet sein oder werden, indem diese angetrieben wird (d.h. ein Drehmoment oder eine Drehzahl auf diese übertragen wird).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Linearführung-Anordnung mehrere Führungsrollen (z.B. Bürstenrollen) aufweisen, welche drehbar gelagert sind. Die mehreren Führungsrollen können passiv gelagert sein, d.h. frei drehend.
Eine oder jede Transportrolle der mehreren Transportrollen kann beispielsweise eine Metalloberfläche aufweisen (z.B. eine Stahlwalze), geschliffen und/oder poliert sein. Damit kann eine mechanische Belastung des Trägers (z.B. Substrats) durch die Transportrolle und/oder durch Schlupf minimiert sein oder werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat auf den Transportrollen aufliegend oder in einem Substratträger eingelegt transportiert werden. Der Substratträger kann auf den Transportrollen aufliegend transportiert werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in zumindest einer Sektion des Transportbereichs (z.B. in mehreren Sektionen des Transportbereichs) ein Prozessieren des Substrats erfolgen, z.B. mittels einer jeweiligen Prozessierquelle. Der Transportbereich kann als der Bereich verstanden werden, in dem das Substrat sich aufhalten soll (anschaulich eine SollPosition), z.B. mit einer einheitlichen Orientierung und/oder einer einheitlichen Transportrichtung.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat mit seiner Außenkannte parallel zu der Transportrichtung transportiert werden (z.B. durch alle Sektionen hindurch), z.B. an der Linearführung-Anordnung anliegend (d.h. an deren Begrenzungsseite).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Prozessieren (auch als Behandeln bezeichnet) eines Substrats (z.B. eines plattenförmigen Substrats) mindestens eines von Folgendem aufweisen: Reinigen des Substrats, Beschichten des Substrats, Bestrahlen (z.B. mittels Licht, kohärentes Licht, UV-Licht, Teilchen, Elektronen, Ionen, usw.) des Substrats, Modifizieren der Oberfläche des Substrats, Erwärmen des Substrats, Ätzen des Substrats und Glimmen des Substrats. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Oberseite des Substrats prozessiert werden, z.B. verändert werden. Das Substrat kann mit seiner Unterseite in Gravitationsrichtung orientiert transportiert werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat (z.B. ein plattenförmiges Substrat) mit einem Beschichtungsmaterial beschichtet sein oder werden, z.B. auf einer Oberseite des Substrats und/oder mittels zumindest einer (d.h. einer oder mehr als einer) Beschichtungsmaterialquelle. Das Beschichtungsmaterial kann zumindest ein Material der folgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: ein Metall; ein Übergangsmetall, ein Oxid (z.B. ein Metalloxid oder ein Übergangsmetalloxid); ein Dielektrikum; ein Polymer (z.B. ein Kohlenstoff-basiertes Polymer oder ein Silizium-basiertes Polymer); ein Oxinitrid; ein Nitrid; ein Karbid; eine Keramik; ein Halbmetall (z.B. Kohlenstoff); ein Perowskit; ein Glas oder glasartiges Material (z.B. ein sulfidisches Glas); einen Halbleiter; ein Halbleiteroxid; ein halborganisches Material, und/oder ein organisches Material. Das Beschichtungsmaterial zum Beschichten des Substrats kann mittels einer Beschichtungsmaterialquelle bereitgestellt sein oder werden, z.B. in einem gasförmigen Zustand.
Die Beschichtungsmaterialquelle kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen zum Beschichten zumindest eines Substrats (d.h. genau eines Substrats oder mehr als eines Substrats) eingerichtet sein, welches z.B. durch eine oder jede Sektion des Transportbereichs hindurch transportiert wird. Beispielsweise kann die Beschichtungsmaterialquelle zum Bereitstellen eines gasförmigen Beschichtungsmaterials (z.B. ein Materialdampf) und/oder flüssigen Beschichtungsmaterials eingerichtet sein, welches z.B. auf dem zumindest einen Substrat zum Bilden einer Schicht abgeschieden werden kann. Eine Beschichtungsmaterialquelle kann zumindest eines von Folgendem aufweisen: eine Sputtervorrichtung, eine thermisch-Verdampfen-Vorrichtung (z.B. einen Laserstrahlverdampfer, einen Lichtbogenverdampfer, einen Elektronenstrahlverdampfer und/oder einen thermischen Verdampfer), eine Präkursorgasquelle, einen Flüssigphasenzerstäuber. Eine Sputtervorrichtung kann zum Zerstäuben des Beschichtungsmaterials mittels eines Plasmas eingerichtet sein. Eine thermisch-Verdampfen Vorrichtung kann zum Überführen des Beschichtungsmaterials in einen gasförmigen Aggregatszustand mittels thermischer Energie eingerichtet sein. Je nach der Beschaffenheit des Beschichtungsmaterials können ein Sublimieren und/oder ein Verdampfen des Beschichtungsmaterials erfolgen. Mit anderen Worten kann die thermisch-Verdampfen-Vorrichtung das Beschichtungsmaterial auch sublimieren. Ein Flüssigphasenzerstäuber kann zum Aufbringen eines Beschichtungsmaterials aus der Flüssigphase eingerichtet sein, z.B. einen Farbstoff aufweisend oder daraus gebildet.
Die oder jede Beschichtungsmaterialquelle kann beispielsweise oberhalb der Transportfläche angeordnet sein. Alternativ oder zusätzlich kann die oder jede Beschichtungsmaterialquelle eingerichtet sein, ein Beschichtungsmaterial in Richtung nach unten (z.B. Richtung Untergrund) und/oder in Richtung der Transportfläche zu emittieren.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat (z.B. ein plattenförmiges Substrat) zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Keramik, ein Glas, einen Halbleiter (z.B. einen amorphen, polykristallinen oder einkristallinen Halbleiter, z.B. Silizium oder einen Tellurit-basierten Halbleiter), ein Metall (z.B. Aluminium, Kupfer, Eisen, Stahl, Platin, Gold, etc.), ein Polymer (z.B. Kunststoff) und/oder eine Mischung verschiedener Materialien, wie z.B. ein Verbundwerkstoff (z.B. Kohlenstofffaserverstärkter-Kohlenstoff, oder Kohlenstofffaser-verstärkter-Kunststoff). Beispielsweise kann das Substrat einen Wafer aufweisen oder daraus gebildet sein.
Im Rahmen dieser Beschreibung kann ein Metall (auch als metallischer Werkstoff bezeichnet) zumindest ein metallisches Element (d.h. ein oder mehrere metallische Elemente) aufweisen (oder daraus gebildet sein), z.B. zumindest ein Element aus der Folgenden Gruppe von Elementen: Kupfer (Cu), Eisen (Fe), Titan (Ti), Nickel (Ni), Silber (Ag), Chrom (Cr), Platin (Pt), Gold (Au), Magnesium (Mg), Aluminium (Al), Zirkonium (Zr), Tantal (Ta), Molybdän (Mo), Wolfram (W), Vanadium (V), Barium (Ba), Indium (In), Calcium (Ca), Hafnium (Hf), Samarium (Sm), Silber (Ag), und/oder Lithium (Li). Ferner kann ein Metall eine metallische Verbindung (z.B. eine intermetallische Verbindung oder eine Legierung) aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine Verbindung aus zumindest zwei metallischen Elementen (z.B. aus der Gruppe von Elementen), wie z.B. Bronze oder Messing, oder z.B. eine Verbindung aus zumindest einem metallischen Element (z.B. aus der Gruppe von Elementen) und mindestens einem nichtmetallischen Element (z.B. Kohlenstoff), wie z.B. Stahl.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Substrat in der Vakuumkammer prozessiert werden. Die Vakuumkammer kann mittels eines Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden, wobei das Kammergehäuse optional genau eine oder mehr als eine zusätzliche Vakuumkammer bereitstellen kann. Mehrere Vakuumkammern können beispielsweise Teil eines gemeinsamen Vakuumsystems sein können optional gegeneinander gassepariert sein.
Mit anderen Worten kann ein Kammergehäuse eine Kammer oder mehrere Kammern aufweisen. Die oder jede Kammer kann optional in mehrere gasseparierte Sektionen unterteilt sein. Das Kammergehäuse kann beispielsweise zum Bereitstellen eines Unterdrucks oder eines Vakuums (d.h. als Vakuumkammergehäuse eingerichtet) mit einer Pumpenanordnung, z.B. einer Vakuumpumpenanordnung, (z.B. gasleitend) gekoppelt sein und derart stabil eingerichtet sein, dass diese dem Einwirken des Luftdrucks im abgepumpten Zustand standhält. Die Pumpenanordnung (aufweisend zumindest eine Vakuumpumpe, z.B. eine Hochvakuumpumpe, z.B. eine Turbomolekularpumpe) kann es ermöglichen, einen Teil des Gases aus dem Inneren der Vakuumkammer abzupumpen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammergehäuse, z.B. eine darin bereitgestellte Vakuumkammer, derart eingerichtet sein, dass darin ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10 mbar bis ungefähr 1 mbar (mit anderen Worten Grobvakuum) bereitgestellt werden kann, und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10^-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum), und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10^-3 mbar bis ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) und/oder ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10^-7 mbar.
Die Breite (Ausdehnung quer zur Transportrichtung entlang der Horizontalen H) des Transportbereichs kann kleiner sein als eine dazu parallele Ausdehnung zumindest einer oder jeder Transportrolle der mehreren Transportrollen und/oder eine dazu parallele Ausdehnung der Transportvorrichtung selbst.
1A veranschaulicht eine Transportvorrichtung 100a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (Beispiel mit Blick parallel zur Transportrichtung 101).
Die Transportvorrichtung 100a kann mehrere Transportrollen 104 und eine Linearführung-Anordnung 106 aufweisen. Mittels der mehreren Transportrollen 104 kann eine Transportfläche 111f bereitgestellt sein oder werden, z.B. parallel zu den Drehachsen 104d der mehrere Transportrollen 104.
Die Transportfläche 111f und die Horizontale H (z.B. parallel zu einer horizontalen Richtung 103 und/oder zur Transportrichtung 101) können einen Winkel 111w einschließen. Der Winkel 111w kann in einem Bereich von ungefähr 1° bis ungefähr 15° sein, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1° bis ungefähr 10°, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1° bis ungefähr 5°, z.B. in einem Bereich von ungefähr 2° bis ungefähr 4°. Die Horizontale H kann senkrecht zur Richtung 105 der Gravitation (Gravitationsrichtung 105 oder Vertikale) sein.
Mittels der Transportvorrichtung 100a kann ein Substrat 102 auf der Transportfläche aufliegend transportiert werden, z.B. in einer aus sich heraus stabilen Position (d.h. dass das Substrat 102 selbst bei Störeinwirkung nicht umkippen kann). Die Transportfläche 111f bzw. das Substrat 102 kann im Wesentlichen horizontal ausgerichtet sein. Im Wesentlichen horizontal kann verstanden werden als weniger als 15° von der Horizontalen H abweichend.
Auf das Substrat 102 kann aufgrund der schrägen Transportfläche 111f eine Hangabtriebskraft F_H (z.B. eine Kraftkomponente entgegen Richtung 103 aufweisend) wirken, welche quer zu Normalkraft F_N und/oder parallel zur Transportfläche 111f ist. Die Normalkraft F_N und/oder die Hangabtriebskraft F_H können im Schwerpunkt des Substrats 102 (auch als Substratschwerpunkt bezeichnet) wirken. Die Normalkraft F_N kann größer als die Hangabtriebskraft F_H sein und/oder in Richtung der Transportfläche 111f wirken.
Der Schwerpunkt des Substrats 102 kann einen Abstand von der Transportfläche 111f aufweisen, welcher kleiner ist als die Substratdicke 102d. Die Substratdicke 102d kann kleiner sein als die Substratbreite (quer zur Substratdicke 102d und quer zur Transportrichtung 101), z.B. um ein Vielfaches.
Die Linearführung-Anordnung 106 kann die Hangabtriebskraft F_H aufnehmen, wenn das Substrat 102 an der Linearführung-Anordnung 106 anliegt (z.B. an deren Begrenzungsseite). Die Linearführung-Anordnung 106 kann über der Transportfläche 111f angeordnet sein, z.B. in einem Abstand von der Transportfläche 111f, welcher kleiner ist als die Substratdicke 102d, z.B. kleiner als der Abstand des Substratschwerpunkt von der Transportfläche 111f.
Die Breite (Ausdehnung quer zur Transportrichtung entlang der Horizontalen H) des Transportbereichs 111b kann kleiner sein als eine dazu parallele Ausdehnung der Transportvorrichtung.
1B veranschaulicht eine Transportvorrichtung 100b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (Beispiel mit Blick parallel zur Transportrichtung 101).
Die Transportvorrichtung 100b kann ähnlich zu der Transportvorrichtung 100a eingerichtet sein, mit dem Unterschied, dass von den mehreren Transportrollen 104a, 104b eine erste Gruppe Transportrollen 104a (anschaulich Rollenstümpfe) auf einer ersten Seite des Transportbereichs 111b und eine zweite Gruppe Transportrollen 104b auf einer zweiten Seite des Transportbereichs 111b und in einem Abstand von der erste Gruppe Transportrollen 104a angeordnet ist, wobei die erste Seite und die zweite Seite einander gegenüberliegen (z.B. in Transportrichtung 101 betrachtet). Die Drehachsen 104d der ersten Gruppe Transportrollen 104a und der zweiten Gruppe Transportrollen 104b können beispielsweise gemeinsam in einer Ebene liegen.
Mittels der Transportvorrichtung 100b kann ein Substratträger 102t transportiert werden, welcher mehrere Aufnahmebereiche (z.B. Aussparungen oder Vertiefungen) zum Aufnehmen je eines Substrats 102 aufweist. Mit anderen Worten kann der Substratträger 102t zum Transportieren mehrerer Substrate 102 gleichzeitig eingerichtet sein.
Auf den Substratträger 102t kann aufgrund der schrägen Transportfläche 111f eine Hangabtriebskraft F_H wirken, welche quer zu Normalkraft F_N und/oder parallel zur Transportfläche 111f ist. Die Normalkraft F_N und/oder die Hangabtriebskraft F_H können im Schwerpunkt des Substratträgers 102t wirken. Die Normalkraft F_N kann größer als die Hangabtriebskraft F_H sein und/oder in Richtung der Transportfläche 111f wirken.
Die Linearführung-Anordnung 106 kann die Hangabtriebskraft F_H aufnehmen, wenn der Substratträger 102t an der Linearführung-Anordnung 106 anliegt (z.B. an deren Begrenzungsseite). Die Linearführung-Anordnung 106 kann über der Transportfläche 111f angeordnet sein, z.B. in einem Abstand von der Transportfläche 111f, welcher kleiner ist als die Substratdicke 102d.
Beispielsweise kann der Substratträger 102t einen Vorsprung 106s aufweisen, mit dem der Substratträger 102t an der Linearführung-Anordnung 106 anliegt.
In anderen Ausführungsformen kann die Linearführung-Anordnung 106 auf einer der gezeigten ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite (in Transportrichtung 101 betrachtet) angeordnet sein. In analoger Weise kann der Substratträger 102t optional einen Vorsprung 106s aufweisen, welcher in Richtung der Hangabtriebskraft F_H an der Linearführung-Anordnung 106 anliegt.
Alternativ oder zusätzlich zu dem Vorsprung 106s können die Linearführung-Anordnung 106 und der Substratträger 102t zum formschlüssigen Ineinandergreifen eingerichtet sein.
2A veranschaulicht eine Transportvorrichtung 200a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (Beispiel mit Blick parallel zur Transportrichtung 101).
Die Transportvorrichtung 200c kann mehrere Transportrollen 104a, 104b aufweisen, ähnlich zu der Transportvorrichtung 100b, wobei die Drehachsen 104d der ersten Gruppe Transportrollen 104a in einer ersten Ebene und die Drehachsen 104d der zweiten Gruppe Transportrollen 104b in einer zweiten Ebene verschieden von der ersten Ebene liegen können. Beispielsweise können die Drehachsen 104d der ersten Gruppe Transportrollen 104a und/oder die Drehachsen 104d der zweiten Gruppe Transportrollen 104b parallel zur Horizontalen H und/oder zueinander sein.
Anschaulich können die erste Gruppe Transportrollen 104a und die zweite Gruppe Transportrollen 104b höhenversetzt zueinander angeordnet sein oder werden, wodurch die schräge Transportfläche 111f bereitgestellt wird. Dies kann beispielsweise das Bereitstellen der schrägen Transportfläche 111f in einer Vakuumkammer mit vertikalen Seitenwänden erleichtern. Optional können die Transportrollen 104a, 104b eine konische Mantelfläche aufweisen, um den Höhenversatz auszugleichen und/oder den Gewichtsdruck zu verteilen.
2B veranschaulicht eine Transportvorrichtung 200b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (Beispiel mit Blick parallel zur Transportrichtung 101) analog zur Transportvorrichtung 200a, wobei die Transportvorrichtung 200b wie die Transportvorrichtung 100b zum Transport eines Transportträgers 102t eingerichtet ist.
3A veranschaulicht eine Transportvorrichtung 300a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht (Beispiel mit Blick auf die Transportfläche 111f), z.B. eine der Transportvorrichtungen 100a bis 200b.
Die Linearführung-Anordnung 106 kann mehrere Linearführung-Elemente 106a, 106b, 106c (z.B. Rollen, Blöcke, Schienen, Bordscheiben, usw.) aufweisen.
Die mehreren Transportrollen 104, 104a können in Transportrichtung 101 hintereinander angeordnet sein. Zwischen einander benachbarten Transportrollen der mehreren Transportrollen 104, 104a kann jeweils ein Linearführung-Element 106a, 106b, 106c der Linearführung-Anordnung 106 angeordnet sein. Dies kann es erleichtern die Linearführung-Elemente 106a, 106b, 106c zu befestigen, zum Beispiel jedes Linearführung-Element 106a, 106b, 106c mittels einer Halterung, welche zwischen den Transportrollen hindurchgreift.
Die Linearführung-Elemente 106a, 106b, 106c können eine gemeinsame gradlinigen Begrenzungsfläche 301 (z.B. auf ihrer Begrenzungsseite) bereitstellen. Die Begrenzungsfläche 301 (siehe Gerade 301) kann beispielsweise mit dem Rand des Transportbereichs 111b zusammenfallen. Alternativ oder zusätzlich kann die Begrenzungsfläche 301 quer zur Horizontalen H und/oder zur Transportfläche 111f eingerichtet sein.
Optional kann das oder jedes Linearführung-Element 106a, 106b, 106c der Linearführung-Anordnung 106 drehbar gelagert sein, z.B. um eine Drehachse, welche z.B. quer zur Transportfläche 111f oder quer zur Horizontalen H ist. Beispielsweise kann das oder jedes Linearführung-Element 106a, 106b, 106c der Linearführung-Anordnung 106 eine Rolle (auch als Führungsrolle bezeichnet) aufweisen oder daraus gebildet sein. Damit kann eine Reibung zwischen dem transportieren Träger und der Linearführung-Anordnung 106 und damit ein Abrieb zwischen diesen reduziert werden, was die Linearführung-Anordnung 106 und den Träger schont.
Optional kann das oder jedes Linearführung-Element 106a, 106b, 106c eine federelastische Struktur (z.B. Außenfläche) aufweisen (z.B. zumindest auf der Begrenzungsseite), welche beispielsweise eingerichtet ist, seine Form entgegen einer Rückstellkraft zu verändern. Damit können impulsartige Kräfte zwischen einem transportieren Träger und der Linearführung-Anordnung 106 aufgenommen und damit eine Beschädigung dieser reduziert werden, was die Linearführung-Anordnung 106 und den Träger schont.
In einem Beispiel kann die federelastische Struktur dem oder jedem Linearführung-Element 106a, 106b, 106c eine Elastizität und/oder Streckgrenze bereitstellen, welche größer ist die Elastizität bzw. Streckgrenze der Transportrollen 104, 104a. Alternativ oder zusätzlich kann die federelastische Struktur ein Elastomer oder Federstahl aufweisen oder daraus gebildet sein (z.B. die Mantelfläche entsprechender Führungsrollen 106a, 106b, 106c).
Die federelastische Struktur kann beispielsweise eine Feder oder einen Bürstenbesatz (d.h. eine Mehrzahl gemeinsam befestigter Borsten) aufweisen oder daraus gebildet sein. Die federelastische Struktur kann beispielsweise ein Metall (z.B. Metallfeder oder Metallborsten) oder ein Polymer (z.B. Polymerfeder oder Polymerborsten) aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. ein Metalldraht oder ein Polymerdraht. Beispielsweise kann die Bürste eine Drahtbürste sein.
Die Borsten können einheitlich zum Transportbereich 111b hin erstreckt sein oder radial bezüglich einer Drehachse des oder jedes Linearführung-Elements 106a, 106b, 106c.
Das Metall der Borsten kann beispielsweise Kupfer aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. in Form von Messing oder Bronze. Alternativ oder zusätzlich kann das Metall der Borsten beispielsweise Eisen aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. in Form von Stahl. Das Polymer der Borsten kann beispielsweise ein Elastomer, Polyamid, Polyethylenterephthalat (PET) und/oder Polytetrafluorethylen (PTFE) aufweisen oder daraus gebildet sein.
In einem Beispiel kann das oder jedes Linearführung-Element 106a, 106b, 106c als eine drehbar gelagerte Bürstenrolle ausgebildet sein.
Ist das oder jedes Linearführung-Element 106a, 106b, 106c der Linearführung-Anordnung 106 feststehend, z.B. nicht drehbar, gelagert, können diese zum Abgleiten (d.h. gleitfähig) eingerichtet sein.
Ein oder jedes zum Abgleiten (d.h. gleitfähig) eingerichtetes Linearführung-Element 106a, 106b, 106c kann eine dem Transportbereich zugewandte Seite (auch als Begrenzungsseite bezeichnet, an die Gerade 301 angrenzend) aufweisen, welche einen geringeren Reibungskoeffizienten bezüglich des Trägers aufweist als die mehreren Transportrollen 104, 104a. Beispielsweise kann die Begrenzungsseite des oder jedes Linearführung-Elements 106a, 106b, 106c poliert sein und oder ein Polymer (z.B. Polytetrafluorethylen) aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann die Begrenzungsseite einen Borstenbesatz aufweisen oder daraus gebildet sein, welcher das Abgleiten begünstigt.
3B veranschaulicht eine Transportvorrichtung 300b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht (Beispiel mit Blick auf die Transportfläche 111f), z.B. eine der Transportvorrichtungen 100a bis 200b.
Die Linearführung-Anordnung 106 der Transportvorrichtung 300b kann beispielsweise ähnlich eingerichtet sein, wie die Linearführung-Anordnung 106 der Transportvorrichtung 300a, mit dem Unterschied, dass der Abstand einander benachbarter Linearführung-Elemente 106a, 106b, 106c der Linearführung-Anordnung 106 voneinander kleiner ist als der Durchmesser der Transportrollen 104, 104a und/oder deren Abstand voneinander. Dies kann die Fläche, mit der der Träger und die Linearführung-Anordnung 106 in Kontakt miteinander stehen, vergrößern, was die Belastung zwischen diesen reduziert und so die Linearführung-Anordnung 106 und den Träger schont.
Optional können die Linearführung-Elemente 106a, 106b, 106c der Linearführung-Anordnung 106 feststehend, z.B. nicht drehbar, gelagert sein. Damit kann die dem Transportbereich 111b zugewandte Seite (Begrenzungsseite) der Linearführung-Elemente 106a, 106b, 106c immer die gleiche Oberfläche aufweisen, so dass nur eine Oberfläche für den Kontakt mit dem Träger eingerichtet sein muss (z.B. gleitfähig), was Kosten und Auswand spart.
Beispielsweise kann die dem Transportbereich zugewandte Seite der Linearführung-Elemente 106a, 106b, 106c planar, gleitfähig und/oder federelastisch eingerichtet sein.
In einem Beispiel kann die gleitfähige Begrenzungsseite mittels einer polierten Oberfläche oder eines Polymer (z.B. Polytetrafluorethylen) bereitgestellt sein oder werden. Die Begrenzungsseite kann einen geringeren Reibungskoeffizienten bezüglich des Trägers aufweisen als die mehreren Transportrollen 104, 104a. Beispielsweise kann das oder jedes Linearführung-Element 106a, 106b, 106c als Gleitschiene ausgebildet sein.
In einem anderen Beispiel kann die Begrenzungsseite einen Borstenbesatz aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine Kunststoffbürste oder eine Metallbüste (z.B. eine Stahldrahtbürste).
3C veranschaulicht eine Transportvorrichtung 300c gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht (Beispiel mit Blick auf die Transportfläche 111f), z.B. eine der Transportvorrichtungen 100a bis 200b.
Die Linearführung-Anordnung 106 der Transportvorrichtung 300c kann ähnlich eingerichtet sein, wie die Linearführung-Anordnung 106 der Transportvorrichtung 300b, mit dem Unterschied, dass die Linearführung-Anordnung 106 ein durchgehendes Linearführung-Element 106a aufweist, welches beispielsweise eine Vielzahl Transportrollen der mehreren Transportrollen 104, 104a überspannt. Dies kann die Fläche, mit der der Träger und die Linearführung-Anordnung 106 in Kontakt miteinander stehen weiter vergrößern, was die Belastung zwischen diesen reduziert und so die Linearführung-Anordnung 106 und den Träger schont.
Das Linearführung-Element 106a kann optional gleitfähig eingerichtet sein, z.B. mittels einer polierten Oberfläche und/oder mittels eines Polymers. Beispielsweise können das Linearführung-Element 106a als Gleitschiene ausgebildet sein.
Alternativ kann die Begrenzungsseite des Linearführung-Elements 106a optional einen Borstenbesatz aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine Kunststoffbürste oder eine Metallbüste (z.B. eine Stahldrahtbürste).
3D veranschaulicht eine Transportvorrichtung 300d gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht (Beispiel mit Blick auf die Transportfläche 111f), z.B. eine der Transportvorrichtungen 100a bis 200b.
Die Linearführung-Anordnung 106 der Transportvorrichtung 300d kann ähnlich eingerichtet sein, wie die Linearführung-Anordnung 106 der Transportvorrichtung 300a, mit dem Unterschied, dass das oder jedes Linearführung-Element 106a an einer Transportrolle 104, 104a befestigt ist, z.B. einen umlaufenden Vorsprung bereitstellend. Beispielsweise kann das oder jedes Linearführung-Element 106a einen Ring aufweisen, welche die jeweilige Transportrolle 104, 104a umspannt. Dies vereinfacht das Montieren der Linearführung-Anordnung 106, da keine separaten Halterungen benötigt werden. Alternativ kann der Ring monolithisch mit der jeweilige Transportrolle 104, 104a verbunden sein. Beispielsweise kann die Transportrolle 104, 104a eine Bordscheibe aufweisen oder daraus gebildet sein. Die Bordscheibe kann anschaulich einen Vorsprung aufweisen, welcher die Linearführung bereitstellt.
Optional kann das oder jedes Linearführung-Element 106a ein Drehlager (z.B. ein Wälzlager) aufweisen, mit welchem es mit der Transportrolle 104, 104a in Kontakt ist. Beispielsweise kann der Ring drehbar auf der Transportrolle 104, 104a gelagert sein. Damit kann der Geschwindigkeitsunterschied zwischen Träger und Linearführung-Element 106a ausgeglichen werden, was Reibung zwischen diesen und damit den Abrieb reduziert und somit die Linearführung-Anordnung 106 und den Träger schont.
Beispielsweise kann die Drehachse 104d des oder jedes Linearführung-Elements 106a mit der Drehachse 104d der entsprechenden Transportrolle 104, 104a zusammenfallen.
Das Linearführung-Element 106a kann optional gleitfähig eingerichtet sein, z.B. mittels einer polierten Oberfläche oder mittels eines Polymers.
Alternativ kann die Begrenzungsseite des Linearführung-Elements 106a optional einen Borstenbesatz aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine Kunststoffbürste oder eine Metallbüste (z.B. eine Stahldrahtbürste). Der Borstenbesatz kann beispielsweise radial (bezüglich der Drehachse 104d) oder in Richtung des Transportbereichs 111b erstreckte Borsten aufweisen.
4A veranschaulicht eine Horizontal-Prozessieranordnung 400a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht (Beispiel mit Blick auf die Transportfläche 111f) mit einer Transportvorrichtung 402, z.B. eine der Transportvorrichtungen 100a bis 300d.
Die Horizontal-Prozessieranordnung 400a kann eine Vakuumkammer 802, welche eine Oberseite 802o und eine Unterseite 802u aufweist, und eine erste Abstützanordnung 404, mittels dessen die Vakuumkammer 802 auf einem Untergrund 411 (z.B. Boden) abgestützt ist, aufweisen. Die Oberfläche des Untergrunds 411 kann beispielsweise (z.B. im Wesentlichen) parallel zu Horizontalen H sein, z.B. weniger als ungefähr 3° (z.B. 2°, z.B. 1°) mit dieser einschließend. Die erste Abstützanordnung 404 kann beispielsweise ein Gestell und/oder mehrere Abstützstrukturen (z.B. Standbeine) aufweisen oder daraus gebildet sein.
Ferner kann die Horizontal-Prozessieranordnung 400a eine zweite Abstützanordnung 406 aufweisen, mittels welcher die Transportvorrichtung 402 in der Vakuumkammer 802 abgestützt ist.
Die zweite Abstützanordnung 406 kann die Transportvorrichtung 402 derart stützen, dass die Transportfläche 111 schräg zu der Unterseite 802u ist, z.B. mit der Unterseite 802u einen größeren Winkel einschließend als die Unterseite 802u mit der Horizontalen H und/oder die Unterseite 802u mit dem Untergrund 411. Die Unterseite 802u kann beispielsweise (z.B. im Wesentlichen) parallel zu Horizontalen H ausgerichtet sein (z.B. mittels der ersten Abstützanordnung 404), z.B. weniger als ungefähr 3° (z.B. 2°, z.B. 1°) mit dieser einschließend.
Anschaulich kann die Horizontal-Prozessieranordnung 400a eine in Waage stehende Vakuumkammer 802 und eine darin schräg gelagerte Transportvorrichtung 402 aufweisen. Dies kann es beispielsweise erleichtern eine bereits bestehende und/oder betriebsbereite Horizontal-Prozessieranordnung umzurüsten, da beispielsweise deren angeschlossene Peripherie (Vakuumversorgung, Antriebe, elektrische Versorgung, Rohre, Kühlung, usw.) auf diese Weise nicht verändert werden muss.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zweite Abstützanordnung 406 beispielsweise an den zwei Seitenwänden 802s der Vakuumkammer 802 höhenversetzt (bezüglich der Unterseite 802u) angeordnete Befestigungsstrukturen und/oder Drehdurchführungen aufweisen.
4B veranschaulicht eine Horizontal-Prozessieranordnung 400b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht (Beispiel mit Blick auf die Transportfläche 111f) mit einer Transportvorrichtung 402, z.B. eine der Transportvorrichtungen 100a bis 300d.
Die Horizontal-Prozessieranordnung 400b kann ähnlich der Horizontal-Prozessieranordnung 400a eingerichtet sein, mit dem Unterschied, dass die Unterseite 802u schräg zu der Horizontalen H ist, d.h. mit der Horizontalen H einen größeren Winkel einschließend als mit der Transportfläche 111f. Die Unterseite 802u kann beispielsweise (z.B. im Wesentlichen) parallel zu der Transportfläche 111f sein (z.B. mittels der zweiten Abstützanordnung 406 eingerichtet), z.B. mit dieser weniger als ungefähr 3° (z.B. 2°, z.B. 1°) einschließend. Die erste Abstützanordnung 404 kann die Vakuumkammer 404 beispielsweise derart stützen, dass deren Unterseite 802u schräg zu der Horizontalen H ist, z.B. mit dieser einen Winkel von mehr als oder gleich zu ungefähr 2°, z.B. von mehr als oder gleich zu ungefähr 3° (z.B. 5°, z.B. 7°), einschließend, z.B. einen Winkel in einem Bereich von ungefähr 2° bis ungefähr 4°.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zweite Abstützanordnung 406 beispielsweise an den zwei Seitenwänden 802s der Vakuumkammer 802 in gleicher Höhe (bezüglich der Unterseite 802u) angeordnete Befestigungsstrukturen und/oder Drehdurchführungen aufweisen.
Anschaulich kann die Horizontal-Prozessieranordnung 400a eine schräg stehende Vakuumkammer 802 und eine darin bezüglich der Vakuumkammer 802 gerade ausgerichtete Transportvorrichtung 402 aufweisen. Dies kann es beispielsweise erleichtern eine bereits hergestellte oder konzeptionierte Horizontal-Prozessieranordnung umzurüsten, da diese beispielsweise lediglich auf einer Seite (z.B. leicht) angehoben sein oder werden muss, ohne substantielle Änderungen an deren Konstruktion vornehmen zu müssen, was Kosten und Aufwand spart.
Beispielsweise kann die Vakuumkammer 802 in Transportrichtung 101 betrachtet auf ihrer rechten Seite höher stehen als auf ihrer linken Seite oder andersherum.
5A veranschaulicht eine erste Abstützanordnung 404 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (Beispiel mit Blick entlang der Horizontalen H).
Die erste Abstützanordnung 404 (z.B. ein Kammergestell) kann eine oder mehrere Abstützstrukturen 404b (z.B. Stützbeine) aufweisen, welche (z.B. mit dem Untergrund und/oder der Vakuumkammer 802 in Kontakt gebracht) die Vakuumkammer 802 auf dem Untergrund abstützen können.
Die erste Abstützanordnung 404 kann ferner eine oder mehrere Nivellierelemente 404n aufweisen, z.B. in Form von Nivellierplatten, von denen jedes Nivellierelement 404n zwischen einer Abstützstruktur 404b und dem Untergrund 411 angeordnet ist. Damit kann die Vakuumkammer 802 auf einfache Weise schräg gestellt werden, in dem die Anzahl oder die Dicke der Nivellierelemente 404n an einen angestrebten Winkel 111w angepasst wird.
Beispielsweise kann die erste Abstützanordnung 404 in Transportrichtung 101 betrachtet auf ihrer rechten Seite mehr und/oder dickere Nivellierplatten 404n aufweisen als auf ihrer linken Seite oder andersherum.
5B veranschaulicht eine erste Abstützanordnung 404 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (Beispiel mit Blick auf entlang der Horizontalen H).
Die erste Abstützanordnung 404 kann eine oder mehrere Nivellierelemente 404s aufweisen, z.B. in Form von verstellbaren Maschinenelementen, von denen jedes Nivellierelement 404s zwischen einer Abstützstruktur 404b und dem Untergrund 411 und/oder der Vakuumkammer 802 angeordnet ist. Damit kann die Vakuumkammer 802 auf einfache Weise schräg gestellt werden, in dem eine Stellung der Nivellierelemente 404n an einen angestrebten Winkel 111w angepasst wird, z.B. mittels Verstellens dieser.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein oder jedes Nivellierelement 404s zumindest in seiner vertikalen Ausdehnung verstellbar sein. Beispielsweise können diese ein hydraulisch und/oder pneumatisch verstellbares (z.B. einen Hubzylinder aufweisend), durchschraubbar verstellbares (z.B. eine Gewindestange aufweisend) und/oder ausklappbar verstellbares Maschinenelement aufweisen oder daraus gebildet sein. Das oder jedes Nivellierelement 404s kann beispielsweise in seiner vertikalen Ausdehnung mittels Verstellens des Maschinenelements verändert werden.
Beispielsweise kann die erste Abstützanordnung 404 in Transportrichtung 101 betrachtet auf ihrer rechten Seite stärker ausgefahrene Maschinenelemente aufweisen als auf ihrer linken Seite oder andersherum.
5C veranschaulicht eine erste Abstützanordnung 404 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (Beispiel mit Blick auf entlang der Horizontalen H).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Abstützanordnung 404 mehrere Gelenke 404g aufweisen, von denen jedes Gelenk 404g in einer Abstützstruktur 404b integriert sein kann und/oder ein Nivellierelement der mehreren Nivellierelemente 404s, 404n mit der Vakuumkammer 802 (z.B. deren Unterseite 802u) und/oder mit der Abstützstruktur 404b kuppelt. Alternativ (nicht dargestellt) kann jedes Gelenk 404g ein Nivellierelement der mehreren Nivellierelemente 404s, 404n mit dem Untergrund kuppeln.
Mittel der Gelenke 404g lässt sich das Schrägstellen der Vakuumkammer 802 vereinfachen und/oder die auf die Abstützstrukturen 404b wirkenden Kräfte, welche mit zunehmendem Winkel 111w zunehmen, verringern. Dies schont die erste Abstützanordnung 404.
Beispielsweise kann die erste Abstützanordnung 404 mehrere Gelenkfüße 404b, 404g aufweisen, welche verteilt unter der Vakuumkammer 802 angeordnet sind.
Beispielsweise kann die erste Abstützanordnung 404 in Transportrichtung 101 betrachtet auf ihrer rechten Seite ein erstes Gelenk 404g und auf ihrer linken Seite ein zweites Gelenk 404g aufweisen, wobei das erste und das zweite Gelenk 404g in die gleiche Richtung ausgelenkt sind (z.B. nach rechts oder nach links).
6A veranschaulicht eine Horizontal-Prozessieranordnung 600a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer perspektivischen Ansicht.
Die Horizontal-Prozessieranordnung 600a kann mehrere Vakuumkammern 802 aufweisen, welche gemeinsam mittels eines Kammerkörpers 802k bereitgestellt sein können. Zwei einander benachbarte Vakuumkammern 802 können optional an eine gemeinsame Versteifungsstruktur 802r angrenzen. Der Kammerkörper 802k (z.B. jede Versteifungsstruktur 802) kann in Transportrichtung 101 durchgehend geöffnet 812o sein, um mit anderen Kammerkörpern 802k zu einem gemeinsamen Vakuumsystem verbunden zu werden. Die bereitgestellte Öffnung 812o (z.B. an den Enden des Kammerkörpers 802k und/oder in jeder Versteifungsstruktur 802) kann beispielsweise eine Substrattransferöffnung 812o sein. Die Substrattransferöffnungen 812o können beispielsweise eine Gasseparation zwischen den angrenzenden Vakuumkammern 802 bereitstellen. Alternativ oder zusätzlich können die Substrattransferöffnungen 812o mittels Klappenventilen abgedichtet sein oder werden.
Die erste Abstützanordnung 404 kann eine erste Gruppe 404r Abstützstrukturen auf einer ersten Seite (z.B. einer rechten Seite) der oder jeder Vakuumkammer 802 (bzw. des Kammerkörpers 802k) und eine zweite Gruppe 404l Abstützstrukturen auf einer zweiten Seite (z.B. einer linken Seite) der oder jeder Vakuumkammer 802 (bzw. des Kammerkörpers 802k) aufweisen, wobei die erste Seite und die zweite Seite einander gegenüberliegen.
Die Abstützstrukturen der ersten Gruppe 404r können eine größere Ausdehnung entlang der Vertikalen 105 aufweisen als die Abstützstrukturen der zweiten Gruppe 404l oder andersherum. Beispielsweise können auf der ersten Seite mehr und/oder dickere Nivellierplatten 404n angeordnet sein als auf der zweiten Seite. Damit kann erreicht werden, dass die Unterseite 802u der oder jeder Vakuumkammer 802 (bzw. des Kammerkörpers) schräg zur Horizontalen H ist.
Innerhalb der oder jeder Vakuumkammer 802 (bzw. des Kammerkörpers 802k) kann die Transportvorrichtung 402 (in der Ansicht verdeckt) mittels der zweiten Abstützanordnung 406 (in der Ansicht verdeckt) abgestützt angeordnet sein. Die zweite Abstützanordnung 406 kann die Transportvorrichtung 402 derart abstützen, dass die Transportfläche 111 schräger bezüglich der Horizontalen H ist (d.h. einen größeren Winkel mit dieser einschließend) als bezüglich der Unterseite 802u.
6B veranschaulicht eine Horizontal-Prozessieranordnung 600b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer perspektivischen Ansicht, ähnlich eingerichtet wie die Horizontal-Prozessieranordnung 600a, mit dem Unterschied, dass die Transportfläche 111 schräger bezüglich der Unterseite 802u ist als die Unterseite 802u bezüglich der Horizontalen H.
Die Abstützstrukturen der ersten Gruppe 404r können beispielsweise eine im Wesentlichen gleiche Ausdehnung entlang der Vertikalen 105 aufweisen wie die Abstützstrukturen der zweiten Gruppe 404l (abgesehen Unterschieden zum Ausgleichen von Unebenheiten des Untergrundes). Beispielsweise können auf der ersten Seite gleich viele und/oder gleich dicke Nivellierplatten angeordnet sein wie auf der zweiten Seite. Damit kann erreicht werden, dass die Unterseite 802u der oder jeder Vakuumkammer 802 (bzw. des Kammerkörpers) im Wesentlichen parallel zu Horizontalen H ist, z.B. einen Winkel von kleiner als ungefähr 3° (z.B. 2°, z.B. 1°) mit dieser einschließend.
Innerhalb der oder jeder Vakuumkammer 802 (bzw. des Kammerkörpers 802k) kann die Transportvorrichtung 402 (in der Ansicht verdeckt) mittels der zweiten Abstützanordnung 406 (in der Ansicht verdeckt) abgestützt angeordnet sein. Die zweite Abstützanordnung 406 kann die Transportvorrichtung 402 schräg bezüglich der Unterseite 802u lagern, z.B. einen Winkel 111w größer als oder gleich zu ungefähr 2°, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 3° (z.B. 5°, z.B. 7°), mit dieser einschließend, z.B. einen Winkel in einem Bereich von ungefähr 2° bis ungefähr 4°.
7 veranschaulicht eine Transportvorrichtung 402 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer perspektivischen Ansicht, welche beispielsweise in einer Vakuumkammer (z.B. einer In-Line Anlage) verwendet werden kann.
Zwischen zwei benachbarten Transportrollen 104 kann jeweils ein Linearführung-Element 106a, 106b, 106c, 106d, 106e der Linearführung-Anordnung 106 angeordnet sein, z.B. drehbar gelagerte Bürstenrollen 106a, 106b, 106c, 106d, 106e. Beispielsweise können die Drehachsen 106d der Bürstenrollen 106a, 106b, 106c, 106d, 106e senkrecht zur Horizontalen H oder zur Transportfläche 111 sein.
Jedes Linearführung-Element 106a, 106b, 106c, 106d, 106e kann mittels einer separaten Halterung (z.B. zwischen zwei Transportrollen hindurchgreifend) an einer Seitenwand der Vakuumkammer befestigt sein oder werden. Dies erleichtert ein Nachrüsten und/oder Umrüsten.
8A und 8B veranschaulichen jeweils eine Horizontal-Prozessieranordnung 800a, 800b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht oder Seitenansicht (z.B. quer zu der Horizontalen H geschnitten).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Horizontal-Prozessieranordnung 800a, 800b zumindest eine Vakuumkammer 802 (d.h. eine oder mehr als eine Vakuumkammer 802) zum Prozessieren des Substrats 102 (z.B. zum Durchführen eines Sputterprozesses) aufweisen (auch als Prozessierkammer 802 bezeichnet). Ferner kann die Horizontal-Prozessieranordnung 800a, 800b eine Transportvorrichtung 402 aufweisen zum Transportieren eines Substrats 504 entlang einer Transportfläche 111f durch die und/oder in der zumindest einen Vakuumkammer 802. Ferner kann die Horizontal-Prozessieranordnung 800a, 800b eine Prozessierquelle 206 (z.B. eine Sputtervorrichtung 206) aufweisen. Die Prozessierquelle 206 kann zum Bereitstellen einer Prozessierwirkung (z.B. Emittieren eines Beschichtungsmaterials) in Richtung der Transportfläche 111f eingerichtet sein.
Die Prozessierquelle 206 kann beispielsweise in den Transportbereich 111b hineinwirken, z.B. das Beschichtungsmaterial in den Transportbereich 111b hinein emittieren, wobei das Beschichtungsmaterial optional dabei beispielsweise Bestandteile der Prozessatmosphäre (z.B. Reaktivgasbestandteile) aufnehmen kann.
Die zumindest eine Vakuumkammer 802 kann mittels des Kammergehäuses 802k bereitgestellt sein oder werden. Die zumindest eine Vakuumkammer 802 kann eingerichtet sein, ein Vakuum darin zu erzeugen und/oder zu erhalten. Beispielsweise kann die Horizontal-Prozessieranordnung 800a, 800b mehrere Vakuumkammern 802 aufweisen, von denen beispielsweise jeweils zwei einander benachbarte Vakuumkammern 802 aneinandergrenzen. Die aneinandergrenzenden Vakuumkammern 802 können mittels einer Substrat-Transferöffnung miteinander verbunden sein, so dass diese z.B. ein gemeinsames Vakuumsystem bilden. Alternativ oder zusätzlich kann zwischen zwei Vakuumkammern 802 eine andere Kammer angeordnet sein, z.B. eine Gasseparationskammer. Das Vakuumsystem kann nach außen im Wesentlichen luftdicht verschlossen sein, z.B. mittels zumindest eines Ventils, zumindest eines Kammerdeckels und/oder zumindest einer Transferöffnung-Klappe.
Im Zusammenhang mit Vakuumkomponenten (z.B. einer Pumpe, einer Kammer, einer Leitung, einem Ventil, usw.) kann der Begriff „gekoppelt“ oder „Kopplung“ im Sinne einer Verbindung zu einem gemeinsamen Vakuumsystem verstanden werden. Die Komponenten des Vakuumsystems können eingerichtet sein, mittels der Kopplung untereinander ein Gas austauschen, wobei die Kopplung von einem Äußeren des Vakuumsystems gassepariert sein kann, z.B. luftdicht und/oder vakuumdicht.
Ein Ventil kann, zwischen zwei Elemente des Vakuumsystems geschaltet, eingerichtet sein, diese in einem Offen-Zustand gasleitend miteinander zu verbinden oder in einem Geschlossen-Zustand voneinander zu gasseparieren. Mehrere miteinander gekoppelte Vakuumkammern können Teil eines gemeinsamen Vakuumsystems sein, in dem mittels einer oder mehrerer mit den Vakuumkammern gekoppelten Vakuumpumpen ein Vakuum erzeugt werden kann, wobei der Gasfluss zwischen miteinander gekoppelten Vakuumkammer(n) und/oder Vakuumpump(en) mittels optional dazwischen geschalteter Ventile (z.B. Klappenventilen) eingestellt werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Horizontal-Prozessieranordnung 800a, 800b eine Pumpenanordnung 814 (aufweisend zumindest eine Hochvakuumpumpe) aufweisen. Die Pumpenanordnung 814 kann eingerichtet sein, der zumindest einen Prozessierkammer 802 ein Gas (z.B. das Prozessgas) zu entziehen, so dass innerhalb der zumindest einen Prozessierkammer 802 ein Vakuum (d.h. ein Druck kleiner als 0,3 bar) und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10^-3 Millibar (mbar) bis ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) oder ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Ultrahochvakuum) bereitgestellt sein oder werden kann. Das Prozessgas kann das Arbeitsgas und/oder das Reaktivgas aufweisen oder ein Gasgemisch aus mehreren Arbeitsgases und/oder mehreren Reaktivgasen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Horizontal-Prozessieranordnung 800a, 800b die Steuervorrichtung 208 aufweisen, welche mit einem oder mehreren Bestandteilen der Horizontal-Prozessieranordnung 800a, 800b gekoppelt (gestrichelt dargestellt) sein kann zum Steuern und/oder Regeln der Bestandteile.
Ferner kann die zumindest eine Prozessierkammer 802 derart eingerichtet sein, dass die Vakuumbedingungen (die Prozessbedingungen) innerhalb der zumindest einen Prozessierkammer 802 (z.B. Prozessdruck, Prozesstemperatur, chemische Zusammensetzung des Prozessgases, usw.) gestellt oder geregelt werden können, z.B. während des Prozessierens, z.B. mittels der Steuervorrichtung 208 (z.B. gemäß einem Soll-Arbeitspunkt).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Horizontal-Prozessieranordnung 800a, 800b eine Gasversorgung 702 aufweisen. Mittels der Gasversorgung 702 kann der zumindest einen Prozessierkammer 802 ein Prozessgas zugeführt werden zum Bilden der Prozessatmosphäre in der zumindest einen Prozessierkammer 802. Der Prozessdruck kann sich aus einem Gleichgewicht an Prozessgas bilden, welches mittels der Gasversorgung 702 zugeführt und mittels der Pumpenanordnung 814 entzogen wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Reaktivgas mindestens eines von Folgendem aufweisen: Wasserstoff, Wasser (gasförmig, z.B. Wasserdampf), Sauerstoff, Stickstoff, Schwefelwasserstoff, Methan, gasförmige Kohlenwasserstoffe, Fluor, Chlor, oder ein anderes gasförmiges Material. Alternativ oder zusätzlich kann das Arbeitsgas ein Inertgas aufweisen oder daraus gebildet sein, wie beispielsweise ein Edelgas, z.B. Argon. Das Reaktivgas kann eine höhere chemische Reaktivität als das Arbeitsgas aufweisen, z.B. bezüglich des Beschichtungsmaterials.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Steuervorrichtung 208 zum Ermitteln des Ist-Arbeitspunktes und zum Steuern und/oder Regeln des Prozessierens (z.B. des Sputterprozesses) eingerichtet sein basierend auf dem Ist-Arbeitspunkt, z.B. gemäß dem Soll-Arbeitspunkt. Der Soll-Arbeitspunkt kann ein angestrebtes Prozessresultat repräsentieren, z.B. eine chemische Soll-Zusammensetzung, eine Soll-Prozessierungsrate und/oder einen Soll-Prozessierungsmodus (z.B. reaktiv oder inert).
Beispielsweise kann ein Beschichten des Substrats 102 gesteuert und/oder geregelt erfolgen. Der Soll-Arbeitspunkt kann in dem Fall beispielsweise eine Soll-Beschichtungscharakteristik repräsentieren. Die Soll-Beschichtungscharakteristik kann zumindest eines von Folgendem aufweisen: eine Soll-Schichtdicke (z.B. räumlich gemittelt und/oder deren räumliche Verteilung), eine chemische Soll-Zusammensetzung der Schicht (z.B. räumlich gemittelt und/oder deren räumliche Verteilung) und/oder eine Soll-Beschichtungsrate. Beispielsweise kann auf Grundlage einer Plasmacharakteristik (z.B. einer chemischen Zusammensetzung, eines Drucks und/oder einer Temperatur des Plasmas, bzw. einer Verteilung dessen, z.B. räumlich und/oder zeitlich) geregelt und/oder gesteuert werden.
Beispielsweise kann die Steuervorrichtung 208 zum Steuern und/oder Regeln der Vakuumbedingungen eingerichtet sein. Beispielsweise kann mittels der Steuervorrichtung 208 die Gasversorgung 702 und/oder die Pumpenanordnung 814 gesteuert und/oder geregelt werden, z.B. gemäß dem Soll-Arbeitspunkt. Der Soll-Arbeitspunkt kann in dem Fall beispielsweise einen Parameter der Atmosphäre in dem Transportbereich 111b bzw. im Inneren der Vakuumkammer 802 (d.h. der Prozessatmosphäre), repräsentieren (auch als prozessatmosphärischer Betriebsparameter bezeichnet), z.B. deren chemische Zusammensetzung, Druck und/oder räumliche Verteilung.
Alternativ oder zusätzlich kann die Steuervorrichtung 208 zum Steuern und/oder Regeln des Prozessierens (z.B. des Sputterprozesses) eingerichtet sein, z.B. gemäß dem Soll-Arbeitspunkt. Der Soll-Arbeitspunkt kann in dem Fall beispielsweise einen Soll-Betriebsparameter der Prozessierquelle 206 (z.B. aufgenommene elektrische Soll-Leistung, anliegende elektrische Soll-Spannung, aufgenommener elektrischer Soll-Strom und/oder Soll-Zerstäubungsrate) repräsentieren.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Horizontal-Prozessieranordnung 800a eine Transportvorrichtung 402 aufweisen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportvorrichtung 402 der Horizontal-Prozessieranordnung 800a mehrere Transportrollen 104 aufweisen zum Transportieren eines darauf aufliegenden Substrats 102 in einer liegenden Position. Das Substrat 102 kann plattenförmig sein, z.B. ein Halbleiterwafer, eine Glasscheibe oder ein Metallblech. Je nach Material kann das Substrat 102 eine Dicke in einem Bereich von ungefähr wenigen Millimetern (z.B. von ungefähr 1 mm) bis ungefähr einigen Zentimetern (z.B. bis ungefähr 5 cm) aufweisen und/oder eine laterale Ausdehnung (z.B. Breite) in einem Bereich von ungefähr 0,6 m bis ungefähr 2 m.
Alternativ dazu kann die Transportvorrichtung 402 der Horizontal-Prozessieranordnung 800b eine Vielzahl von Transportrollen 104 aufweisen, welche zum Transportieren von mehreren plattenförmigen Substraten 504, welche in einem Substratträger 102t eingelegt sind, eingerichtet sind. Die mittels des Substratträgers 102t transportierten Substrate 102 können kleiner und/oder dünner sein als bei der Horizontal-Prozessieranordnung 800a. Je nach Material kann das Substrat 102 eine Dicke in einem Bereich von ungefähr wenigen Mikrometern (z.B. von ungefähr 1 µm) bis ungefähr einigen Millimetern (z.B. bis ungefähr 5 mm) aufweisen und/oder eine laterale Ausdehnung (z.B. Breite) in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 50 cm.
Ferner kann die Horizontal-Prozessieranordnung 800a, 800b einen Transportantrieb 1602 aufweisen, welcher zumindest mit einem Teil der mehreren Transportrollen 104 gekoppelt ist. Beispielsweise kann der Transportantrieb 1602 mittels Wellen, Ketten, Riemen oder Zahnrädern mit den Transportrollen 104 gekoppelt sein. Die mehreren Transportrollen 104 und der Transportantrieb 1602 können Teil der Transportvorrichtung 402 sein.
Optional kann die Steuervorrichtung 208 zum Steuern und/oder Regeln des Transportantriebs 1602 eingerichtet sein. Beispielsweise kann mittels der Steuervorrichtung 208 ein Transportzustand (z.B. eine Transportgeschwindigkeit, eine Transportposition, ein Substratdurchfluss, usw.) gesteuert und/oder geregelt werden, z.B. gemäß dem Soll-Arbeitspunkt, welcher beispielsweise einen Soll-Transportzustand (z.B. eine Soll-Transportgeschwindigkeit und/oder einen Soll-Substratposition) repräsentiert.
9 veranschaulicht ein Verfahren 900 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagramm.
Das Verfahren 900 kann in 901 aufweisen: Lagern (Abstützen) mittels einer Abstützanordnung der Vakuumkammer auf einem Untergrund oder der Transportvorrichtung in der Vakuumkammer.
Das Verfahren 900 kann in 903 aufweisen: Einrichten der Abstützanordnung derart, dass die Transportfläche schräg zur Horizontalen ist zum seitlichen Ablenken eines auf der Transportfläche transportierten Trägers quer zu der Transportrichtung.
Das Verfahren 900 kann in 905 aufweisen: Bereitstellen der Linearführung-Anordnung derart, dass diese das seitliche Ablenken begrenzt, so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird.
Das Begrenzen des seitlichen Ablenkens kann mittels einer gradlinigen Begrenzungsfläche, welche z.B. quer zur Horizontalen oder zur Transportfläche ausgerichtet ist, bereitstellt werden.
Das Verfahren 900 kann optional aufweisen: Betreiben der Transportvorrichtung (z.B. Transportieren des Trägers auf der Transportfläche in die Transportrichtung).
Das Verfahren 900 kann optional aufweisen: Prozessieren des Trägers (z.B. Beschichten des Trägers) während des Transportierens.
10 veranschaulicht ein Verfahren 1000 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagramm.
Das Verfahren 1000 kann in 1001 aufweisen: Transportieren des Trägers (z.B. eines Substrats oder eines Substratträgers) auf der Transportfläche in die Transportrichtung.
Das Verfahren 1000 kann in 1003 aufweisen: Begrenzen des seitlichen Ablenkens (anschaulich einer Driftbewegung quer zur Transportrichtung) mittels der Linearführung-Anordnung, so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird.
Das Verfahren 1000 kann in 1005 aufweisen: Emittieren eines Beschichtungsmaterials in Richtung der Transportfläche mittels der Beschichtungsvorrichtung.
Das Verfahren 1000 kann optional aufweisen: Prozessieren des Trägers (z.B. Beschichten zumindest eines Substrats) während des Transportierens.
11 veranschaulicht ein Verfahren 1100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagramm.
Das Verfahren 1100 kann in 1101 aufweisen: Bereitstellen eines Vakuums in einem Transportbereich.
Das Verfahren 1100 kann in 1103 aufweisen: Transportieren eines Trägers (z.B. eines Substrats oder eines Substratträgers) in einer liegenden Position durch den Transportbereich hindurch in eine Transportrichtung.
Das Verfahren 1100 kann in 1105 aufweisen: Emittieren eines Beschichtungsmaterials in den Transportbereich hinein.
Das Verfahren 1100 kann in 1107 aufweisen: Bereitstellen einer Hangabtriebskraft zum seitlichen Ablenken des Trägers quer zur Transportrichtung, wobei die Hangabtriebskraft innerhalb des Transportbereichs einen einheitlichen Ablenkungssinn bezüglich der Transportrichtung bewirkt (z.B. nach rechts oder nach links), z.B. eine Driftbewegung mit einheitlicher Driftrichtung innerhalb des Transportbereichs anregt.
Das Verfahren 1100 kann in 1109 aufweisen: Begrenzen des seitlichen Ablenkens am Rand des Transportbereichs, so dass das Transportieren entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird.
Das Verfahren 1100 kann optional aufweisen: Prozessieren des Trägers (z.B. Beschichten des Trägers mit dem Beschichtungsmaterial) in dem Transportbereich.
12 veranschaulicht ein Verfahren 1200 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagramm.
Das Verfahren 1200 kann in 1201 aufweisen: Bereitstellen eines Vakuums in einem Transportbereich.
Das Verfahren 1200 kann in 1203 aufweisen: Transportieren eines Trägers in einer liegenden Position durch den Transportbereich hindurch in eine Transportrichtung.
Das Verfahren 1200 kann in 1205 aufweisen: Bereitstellen einer Hangabtriebskraft zum seitlichen Ablenken des Trägers quer zur Transportrichtung, wobei die Hangabtriebskraft innerhalb des Transportbereichs einen einheitlichen Ablenkungssinn bezüglich der Transportrichtung bewirkt.
Das Verfahren 1200 kann in 1207 aufweisen: Begrenzen des seitlichen Ablenkens am Rand des Transportbereichs, so dass das Transportieren entlang eines geradlinigen Transportpfades (z.B. entlang einer gradlinigen Begrenzungsfläche) geführt wird. Der Rand kann über der Transportfläche und/oder über den mehreren Transportrollen angeordnet sein, z.B. in einem Abstand von einer Seitenwand der Vakuumkammer.
Das Verfahren 1200 kann optional aufweisen: Prozessieren des Trägers (z.B. Beschichten des Trägers mit einem Beschichtungsmaterial) in dem Transportbereich.

Claims

Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b), aufweisend: • eine Vakuumkammer (802); • eine Transportvorrichtung (402, 100a bis 300d), welche mehrere Transportrollen (104, 104a, 104b) und eine Linearführung-Anordnung (106) aufweist; • wobei die mehreren Transportrollen (104, 104a, 104b) eine Transportfläche (111f) und eine Transportrichtung (101) definieren; • eine Beschichtungsvorrichtung, welche über der Transportfläche (111f) angeordnet und eingerichtet ist, ein Beschichtungsmaterial in Richtung der Transportfläche (111f) zu emittieren; • eine Abstützanordnung (404, 406), mittels welcher die Vakuumkammer (802) auf einem Untergrund (411) oder mittels welcher die Transportvorrichtung (402, 100a bis 300d) in der Vakuumkammer (802) abgestützt ist; • wobei die Abstützanordnung (404, 406) derart eingerichtet ist, dass die Transportfläche (111f) schräg zur Horizontalen (H) ist zum seitlichen Ablenken eines auf der Transportfläche (111f) transportierten Trägers (102, 102t) quer zu der Transportrichtung (101); • wobei die Linearführung-Anordnung (106) das seitliche Ablenken begrenzt, so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung (106) entlang eines geradlinigen Transportpfades geführt wird.
Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b) gemäß Anspruch 1, wobei die Abstützanordnung (404, 406), mittels welcher die Vakuumkammer (802) abgestützt ist, mehrere Nivellierelemente (404n, 404s) aufweist, welche eine Ausrichtung der Vakuumkammer (802) relativ zu der Horizontalen (H) definieren.
Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b) gemäß Anspruch 2, wobei die Abstützanordnung (404, 406) mehrere Gelenke (404g) aufweist, von denen jedes Gelenk ein Nivellierelement der mehreren Nivellierelemente (404n, 404s) mit der Vakuumkammer (802) oder mit dem Untergrund (411) kuppelt.
Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b) gemäß Anspruch 1, wobei die Vakuumkammer (802) eine Oberseite (802o) und eine Unterseite (802u) aufweist; und • wobei die Abstützanordnung (404, 406), mittels welcher die Transportvorrichtung (402, 100a bis 300d) abgestützt ist, derart eingerichtet ist, dass die Transportfläche (111f) schräg zu der Unterseite (802u) ist; oder • wobei die Abstützanordnung (404, 406), mittels welcher die Vakuumkammer (802) abgestützt ist, derart eingerichtet ist, dass die Unterseite (802u) schräg zu der Horizontalen ist.
Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Linearführung-Anordnung (106) oberhalb der Transportfläche (111f) angeordnet ist.
Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Linearführung-Anordnung (106) ein Federelement oder mehrere Federelemente aufweist, mittels welchen das seitliche Ablenken begrenzt wird, wobei das oder jedes Federelement der Linearführung-Anordnung (106) eine geringere Steifigkeit aufweist als ein Rollenmantel jeder Transportrolle der mehreren Transportrollen (104, 104a, 104b).
Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Linearführung-Anordnung (106) eine Vielzahl Borsten und/oder mehrere Bürstenrollen aufweist.
Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Linearführung-Anordnung (106) eine Gleitschiene aufweist.
Verfahren (1000) zum Betreiben einer Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b), die Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b) aufweisend: • eine Vakuumkammer (802); • eine Transportvorrichtung (402, 100a bis 300d), welche mehrere Transportrollen (104, 104a, 104b) und eine Linearführung-Anordnung (106) aufweist; • wobei die mehreren Transportrollen (104, 104a, 104b) eine Transportfläche (111f) und eine Transportrichtung (101) definieren; • eine Beschichtungsvorrichtung, welche über der Transportfläche (111f) angeordnet ist; • eine Abstützanordnung (404, 406), mittels welcher die Vakuumkammer (802) auf einem Untergrund (411) oder mittels welcher die Transportvorrichtung (402, 100a bis 300d) in der Vakuumkammer (802) abgestützt ist; • wobei die Abstützanordnung (404, 406) derart eingerichtet ist, dass die Transportfläche (111f) schräg zur Horizontalen (H) ist zum seitlichen Ablenken eines auf der Transportfläche (111f) transportierter Träger (102, 102t) quer zu der Transportrichtung (101); wobei das Verfahren (1000) aufweist: • Transportieren (1001) des Trägers (102, 102t) auf der Transportfläche (111f) in die Transportrichtung (101); • Begrenzen (1003) des seitlichen Ablenkens mittels der Linearführung-Anordnung (106), so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung (106) entlang eines geradlinigen Transportpfades geführt wird; und • Emittieren (1005) eines Beschichtungsmaterials in Richtung der Transportfläche mittels der Beschichtungsvorrichtung.
Verfahren (900) zum Einrichten einer Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b), die Horizontal-Prozessieranordnung (400a, 400b, 800a, 800b) aufweisend: • eine Vakuumkammer (802); • eine Transportvorrichtung (402, 100a bis 300d), welche mehrere Transportrollen (104, 104a, 104b) und eine Linearführung-Anordnung (106) aufweist; • wobei die mehreren Transportrollen (104, 104a, 104b) eine Transportfläche (111f) und eine Transportrichtung (101) definieren; wobei das Verfahren (900) aufweist: • Abstützen (901) mittels einer Abstützanordnung (404, 406) der Vakuumkammer (802) auf einem Untergrund (411) oder der Transportvorrichtung (402, 100a bis 300d) in der Vakuumkammer (802); • Einrichten (903) der Abstützanordnung (404, 406) derart, dass die Transportfläche (111f) schräg zur Horizontalen (H) ist zum seitlichen Ablenken eines auf der Transportfläche (111f) transportierter Träger (102, 102t) quer zu der Transportrichtung (101); • Bereitstellen (905) der Linearführung-Anordnung (106) derart, dass diese das seitliche Ablenken begrenzt, so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung (106) entlang eines geradlinigen Transportpfades geführt wird.
Verfahren (1100) zum Horizontal-Transportieren Prozessieren, das Verfahren aufweisend: • Bereitstellen (1101, 1201) eines Vakuums in einem Transportbereich (111b); • Transportieren (1103, 1203) eines Trägers (102, 102t) in einer liegenden Position durch den Transportbereich (111b) hindurch in eine Transportrichtung (101); • Bereitstellen (1107, 1205) einer Hangabtriebskraft zum seitlichen Ablenken des Trägers (102, 102t) quer zur Transportrichtung (101), wobei die Hangabtriebskraft innerhalb des Transportbereichs (111b) einen einheitlichen Ablenkungssinn bezüglich der Transportrichtung (101) bewirkt; und • Begrenzen (1109, 1207) des seitlichen Ablenkens am Rand des Transportbereichs (111b), so dass das Transportieren entlang eines geradlinigen Transportpfades geführt wird.
Verfahren (1100, 1200) gemäß Anspruch 11, ferner aufweisend: Emittieren (1105) eines Beschichtungsmaterials in den Transportbereich (111b) hinein.
Horizontal-Transportanordnung (402, 100a bis 300d), aufweisend: • mehrere Transportrollen (104, 104a, 104b) und eine Linearführung-Anordnung (106); • wobei die mehreren Transportrollen (104, 104a, 104b) eine Transportfläche (111f) und eine Transportrichtung (101) definieren; • eine Abstützanordnung (404, 406) zum Abstützen der mehrere Transportrollen (104, 104a, 104b) in einer Vakuumkammer (802); • wobei die Abstützanordnung (404, 406) derart eingerichtet ist, dass die Transportfläche (111f) schräg zu einer Unterseite (802u) der Vakuumkammer (802) ist zum seitlichen Ablenken eines auf der Transportfläche (111f) transportierten Trägers (102, 102t) quer zu der Transportrichtung (101); • wobei die Linearführung-Anordnung (106) das seitliche Ablenken begrenzt, so dass das Transportieren mittels der Linearführung-Anordnung (106) entlang eines geradlinigen Transportpfades geführt wird.