DE202020101005U1

DE202020101005U1 - Vakuumkammeranordnung

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Publication number: DE202020101005U1
Application number: DE202020101005.0U
Authority: DE
Original assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2020-02-25
Filing date: 2020-02-25
Publication date: 2020-03-13
Anticipated expiration: 2030-02-26

Abstract

Vakuumkammeranordnung (100), aufweisend:• eine Kammerseitenwand (3002), welche eine erste Verbindungsvorrichtung (3302) aufweist;• eine Prozessbox (1810b), welche eine zweite Verbindungsvorrichtung (3304) aufweist;• wobei die erste Verbindungsvorrichtung (3302) und die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) zusammengefügt eine Drehverbindung bilden, mittels welcher die Prozessbox (1810b) relativ zu der Kammerseitenwand (3002) geschwenkt werden kann.

Description

Verschiedene Ausführungsbeispiele betreffen eine Vakuumkammeranordnung.
Verschiedene Ausführungsbeispiele betreffen eine Vakuumkammeranordnung.
Im Allgemeinen kann ein Substrat, beispielsweise ein Glassubstrat, ein Metallsubstrat und/oder ein Polymersubstrat, behandelt (prozessiert), z.B. beschichtet werden, so dass die chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften des Substrats verändert werden können. Zum Beschichten eines Substrats können verschiedene Beschichtungsverfahren durchgeführt werden. Beispielsweise kann eine Vakuumbeschichtungsanlage genutzt werden, um eine Schicht oder mehrere Schichten mittels einer chemischen und/oder physikalischen Gasphasenabscheidung auf einem Substrat oder auf mehreren Substraten abzuscheiden.
Grundsätzlich kann das Substrat liegend oder aufrechtstehend prozessiert werden. Wird das Substrat aufrechtstehend prozessiert, ist es üblich, dass auch die Beschichtungsvorrichtung in einer entsprechenden Orientierung gehalten wird, beispielsweise an einer Kammerseitenwand (auch als Vertikal-Konfiguration bezeichnet).
Anschaulich wurde gemäß verschiedenen Ausführungsformen erkannt, dass herkömmlicherweise ein hoher Aufwand nötig ist, um die Vertikal-Konfiguration auszurüsten und/oder umzurüsten. Genau gesagt wird eine Vakuumbeschichtungsanlage in Vertikal-Konfiguration geöffnet, indem diese seitlich geöffnet wird, um einen Zugang zu der Beschichtungsvorrichtung zu erlangen. Dabei wird die Kammerseitenwand, an welcher eine Beschichtungsvorrichtung befestigt ist, in seitliche Richtung verlagert. Soll die Beschichtungsvorrichtung getauscht entfernt oder anderweitig modifiziert werden, sind häufig viele Montageschritte nötig, um zwischen der Kammerseitenwand und der Beschichtungsvorrichtung eine Verbindung herzustellen, die Verbindung zu lösen und/oder diese relativ zueinander auszurichten.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen weist eine Vakuumkammeranordnung auf: eine Kammerseitenwand, welche eine erste Verbindungsvorrichtung aufweist; eine Prozessbox, welche eine zweite Verbindungsvorrichtung aufweist; wobei die erste Verbindungsvorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung zusammengefügt eine Drehverbindung bilden, mittels welcher die Prozessbox relativ zu der Kammerseitenwand geschwenkt werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen weist eine Vakuumkammeranordnung auf: eine Kammerseitenwand, welche eine erste Verbindungsvorrichtung aufweist; ein Gestell zum Tragen einer Prozessiervorrichtung, wobei das Gestell eine zweite Verbindungsvorrichtung aufweist; wobei die erste Verbindungsvorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung zusammengefügt eine Drehverbindung bilden, mittels welcher das Gestell relativ zu der Kammerseitenwand geschwenkt werden kann.
Anschaulich erleichtert die Prozessbox bzw. das Gestell die Montage einer Prozessiervorrichtung an der Kammerseitenwand. Beispielsweise kann die Prozessiervorrichtung an dem Gestell vormontiert sein oder werden. Die Prozessbox bzw. das Gestell stellt somit eine universelle Plattform bereit, welche an die konkrete Bauform der Kammerseitenwand angepasst ist, ohne dass die Prozessiervorrichtung selbst angepasst werden muss. Ferner erreicht die Drehverbindung, dass die Prozessbox bzw. das Gestell auch dann mit der Kammerseitenwand verbunden werden kann, wenn beide nicht exakt zueinander ausgerichtet sind. Dies erleichtert beispielsweise die Montage an einer schräg stehenden, Seitenwand.
Dazu können die Verbindungskomponenten beispielsweise derart eingerichtet sein dass diese aus verschiedenen Richtungen bzw. in verschiedenen Ausrichtungen (z.B. Winkelstellungen) zueinander zusammengefügt (auch als bezeichnet) voneinander gelöst werden können. Beispielsweise kann das Zusammenfügen erfolgen unabhängig davon, welche Ausrichtung (z.B. Winkelstellungen) die Prozessbox bzw. das Gestell relativ zu der Kammerseitenwand hat, beispielsweise innerhalb der Grenzen eines Drehwinkelbereichs. Der Drehwinkelbereich kann beispielsweise mehr als ungefähr 1° sein, z.B. mehr als ungefähr 5°, z.B. mehr als ungefähr 10°.

1 bis 5 jeweils eine Vakuumanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in verschiedenen Ansichten; und
6 eine Kammerseitenwand gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung (z.B. ohmsch und/oder elektrisch leitfähig, z.B. einer elektrisch leitfähigen Verbindung), eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Begriff „gekoppelt“ oder „Kopplung“ im Sinne einer (z.B. mechanischen, hydrostatischen, thermischen und/oder elektrischen), z.B. direkten oder indirekten, Verbindung und/oder Wechselwirkung verstanden werden. Mehrere Elemente können beispielsweise entlang einer Wechselwirkungskette miteinander gekoppelt sein, entlang welcher die Wechselwirkung (z.B. ein Signal) übertragen werden kann. Beispielsweise können zwei miteinander gekoppelte Elemente eine Wechselwirkung miteinander austauschen, z.B. eine mechanische, hydrostatische, thermische und/oder elektrische Wechselwirkung. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann „gekuppelt“ im Sinne einer mechanischen (z.B. körperlichen bzw. physikalischen) Kopplung verstanden werden, z.B. mittels eines direkten körperlichen Kontakts. Eine Kupplung kann eingerichtet sein, eine mechanische Wechselwirkung (z.B. Kraft, Drehmoment, etc.) zu übertragen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessiervorrichtung zum Prozessieren eines oder mehr als eines Substrats eingerichtet sein. Beispiele für das Prozessieren können aufweisen: Erwärmen, Bestrahlen, Beschichten, Reinigen, Dotieren, usw. Zum Beschichten kann beispielsweise eine Beschichtungsvorrichtung als Prozessiervorrichtung verwendet werden.
Die Beschichtungsvorrichtung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen zum Beschichten zumindest eines Substrats (d.h. eines Substrats oder mehrere Substrate) eingerichtet sein, welches z.B. in dem Kammergehäuse transportiert wird. Beispielsweise kann die Beschichtungsvorrichtung zum Bereitstellen eines gasförmigen Beschichtungsmaterials (Materialdampf) und/oder flüssigen Beschichtungsmaterials eingerichtet sein, welches z.B. auf dem zumindest einen Substrat zum Bilden einer Schicht abgeschieden werden kann. Eine Beschichtungsvorrichtung kann zumindest eines von Folgendem aufweisen: eine Sputtervorrichtung, eine thermisch-Verdampfen-Vorrichtung (z.B. einen Laserstrahlverdampfer, einen Lichtbogenverdampfer, einen Elektronenstrahlverdampfer und/oder einen thermischen Verdampfer), eine Präkursorgasquelle, einen Flüssigphasenzerstäuber. Eine Sputtervorrichtung kann zum Zerstäuben des Beschichtungsmaterials mittels eines Plasmas eingerichtet sein. Eine thermisch-Verdampfen Vorrichtung kann zum Verdampfen des Beschichtungsmaterials mittels thermischer Energie eingerichtet sein. Je nach der Beschaffenheit des Beschichtungsmaterials kann alternativ oder zusätzlich zu dem thermischen Verdampfen, d.h. ein thermisches Überführen eines flüssigen Zustands (flüssige Phase) in einen gasförmigen Zustand (gasförmige Phase), auch ein Sublimieren, d.h. ein thermisches Überführen eines festen Zustands (feste Phase) in einen gasförmigen Zustand, auftreten. Mit anderen Worten kann die thermisch-Verdampfen-Vorrichtung das Beschichtungsmaterial auch sublimieren. Ein Flüssigphasenzerstäuber kann zum Aufbringen eines Beschichtungsmaterials aus der Flüssigphase eingerichtet sein, z.B. eines Farbstoffs.
Im Folgenden wird auf eine Prozessbox Bezug genommen. Die Prozessbox kann zumindest eine Prozessiervorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung aufweisen, welche unmittelbar an der Prozessiervorrichtung befestigt ist, z.B. an dem Rahmen der Prozessiervorrichtung. Die Prozessbox kann allerdings auch ein Gestell und die zweite Verbindungsvorrichtung aufweisen, welche unmittelbar an dem Gestell befestigt ist. Das Gestell kann dann wahlweise mit der Prozessiervorrichtung bestückt sein oder leer sein, je nach Konfiguration. Mit anderen Worten muss die Prozessbox nicht notwendigerweise die Prozessiervorrichtung aufweisen, z.B. wenn das Gestell unbestückt ist. Ebenso muss die Prozessbox nicht notwendigerweise ein Gestell aufweisen, z.B. wenn die Prozessiervorrichtung integraler Bestandteil der Prozessbox ist. Im Folgenden wird unter anderem auf die Prozessbox Bezug genommen, welche das Gestell aufweist. Das Beschriebene kann in Analogie die Prozessbox gelten, welche kein Gestell aufweist.
Im Allgemein kann Prozessbox bzw. das Gestell an einer Außenseite der Kammerseitenwand oder auch an der Innenseite der Kammerseitenwand angeordnet sein oder werden.
Als Außenseite wird diejenige Seite bezeichnet, welche im Betrieb der Vakuumkammeranordnung dem Atmosphärendruck ausgesetzt ist. Die Außenseite der Kammerseitenwand kann einen oder mehr als einen Anschluss zum Anschließen einer Versorgungsstruktur an die Kammerseitenwand aufweisen, beispielsweise einen oder mehr als einen Vakuumpumpen-Anschluss, einen oder mehr als einen Kühlfluid-Anschluss, einen oder mehr als einen Leistungsversorgung-Anschluss, einen oder mehr als einen Steuersignal-Anschluss, und dergleichen.
Als Innenseite wird diejenige Seite bezeichnet, welche im Betrieb der Vakuumkammeranordnung ein Vakuum ausgesetzt ist,, d.h. einem Druck kleiner als 0,3 bar oder weniger, z.B. einem Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10^-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum) oder weniger, z.B. einem Druck in einem Bereich von ungefähr 10^-3 mbar bis ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) oder weniger, z.B. einem Druck von kleiner als ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Ultrahochvakuum).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vakuumkammeranordnung bereitgestellt, in welcher ein oder mehr als ein Substrat prozessiert werden kann.
Soll die Vakuumkammeranordnung besonders platzsparend sein, wird ein aufrechtstehendes Substrat in einer sogenannten Vertikal-Konfiguration beispielsweise mittels eines sogenannten Umlaufförderer-Transportrads (auch als Trommel bezeichnet) im Kreis transportiert. Das so transportiere Substrat durchquert dabei zyklisch dieselben Bereiche der Vakuumkammeranordnung, in denen beispielsweise ein Beschichtungsprozess erfolgen kann. Eine solche Vakuumkammeranordnung ist besonders platzsparend, da die Trommel als transportierende Komponente auf kleinstem Raum angeordnet werden kann und die prozessierenden Komponenten diese umgebend angeordnet werden.
1 veranschaulicht eine Vakuumkammeranordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht. Die Vakuumkammeranordnung 100 kann eine von dem Kammergehäuse abnehmbare Kammerseitenwand 3002 (auch als Kammerdeckel bezeichnet) und eine Prozessbox 1810b aufweisen, welche optional das Gestell 1810 und optional eine Prozessiervorrichtung (auch als Prozessiervorrichtung-Gestell 1810 bezeichnet) aufweist.
Das Kammergehäuse kann eine oder mehr als eine Prozessierkammer 1802 bereitstellen, welche mittels des Kammerdeckels 3002 verschlossen werden kann. Die Prozessierkammer 1802 kann eine oder mehr als eine Kammeröffnung aufweisen und pro Kammeröffnung einen dieser zugeordnet Kammerdeckel 3002. Der Kammerdeckel 3002 kann eingerichtet sein, die Kammeröffnung vakuumdicht zu verschließen, wenn der Kammerdeckel 3002 auf der Kammeröffnung aufliegt.
Der Kammerdeckel 3002 kann einen oder mehr als einen Montagebereich 601 (vgl. 6) aufweisen, wobei pro Montagebereich 601 eine Prozessbox 1810b an dem Kammerdeckel 3002 befestigt werden kann, wie später noch genauer beschrieben wird. Der Kammerdeckel 3002 (z.B. jeder Montagebereich) kann eine oder mehr als eine Durchgangsöffnung 3702 (vgl. 6) aufweisen, durch welche hindurch der Prozessierkammer 1802 Gas entzogen werden kann.
Beispielsweise kann die Vakuumkammeranordnung 100 mehrere Kammerdeckel 3002 aufweisen und/oder pro Kammerdeckel 3002 mehrere Montagebereiche 601.
Optional kann der Kammerdeckel 3002 (z.B. pro Montagebereich) ein Gehäuse 3004 (beispielsweise eine Führung und/oder einen Prozessgasverteiler aufweisend) aufweisen, welches einen Hohlraum 603 (auch als Aufnahmeraum bezeichnet) für die Prozessiervorrichtung 1810p bereitstellt (vgl. 6). Das Prozessgehäuse 3004 kann beispielsweise einen Rahmen aufweisen oder daraus gebildet sein, welcher den Hohlraum umgibt.
In einem geschlossenen Zustand der Prozessierkammer 1802 (d.h. wenn der Kammerdeckel 3002 auf dem Prozessgehäuse 3004 aufliegt bzw. die Kammeröffnung abdeckt) kann der Aufnahmeraum 603 im Inneren des Kammergehäuses angeordnet sein bzw. diesem zugewandt sein. Durch die Durchgangsöffnung 3702 hindurch kann der Aufnahmeraum mit einer Vakuumpumpe (nicht dargestellt) fluidleitend verbunden sein.
Das Prozessgehäuse 3004 (z.B. der Gasverteiler 3004) kann derart eingerichtet sein, dass die Prozessbox 1810b aus dem Prozessgehäuse entnommen bzw. in dieses hineingebracht werden kann. Dies kann beispielsweise mittels einer Tragevorrichtung 3202 erfolgen, welche es ermöglicht, die Prozessbox 1810b anzuheben.
Die Prozessbox 1810b kann (beispielsweise die Prozessiervorrichtung 1810p aufweisend, dann auch als bestückte Prozessbox 1810b bezeichnet) mittels der Tragevorrichtung 3202 getragen und/oder transportiert werden, wie noch genauer erläutert wird. Im Folgenden wird hinsichtlich der Tragevorrichtung 3202 auf die Prozessbox 1810b Bezug genommen, wobei verstanden werden kann, dass wahlweise das Gestell 1810 ohne die Prozessiervorrichtung 1810p (auch als leeres Gestell bezeichnet), das Paar aus Gestell 1810 samt Prozessiervorrichtung 1810p (auch als bestücktes Gestell bezeichnet) oder die Prozessiervorrichtung 1810p als integraler Bestandteil der Prozessbox 1810b gemeint sein kann.
Die Tragevorrichtung 3202 kann beispielsweise als Fahrwagen (auch als Flurförderfahrzeug 3202 bezeichnet) eingerichtet sein, was das Verlagern der Prozessbox 1810b erleichtert. Die Tragevorrichtung 3202 kann beispielsweise einen Hubwagen (d.h. Fahrwagen, der eine Hubvorrichtung aufweist) aufweisen oder daraus gebildet sein. Im Allgemein kann allerdings auch eine andere Tragevorrichtung 3202 verwendet werden, z.B. ein Kran. Die Prozessbox 1810b kann beispielsweise mit einem Hallenkran an den Kammerdeckel gehangen werden.
Im Allgemeinen können die Prozessbox 1810b bzw. die Prozessiervorrichtung 1810p auf der Außenseite des Kammerdeckels 3002 montiert werden, d.h. der dem Prozessierbereich im Inneren der Prozessierkammer 1802 abgewandten Seite des Kammerdeckels 3002. Alternativ kann die Prozessiervorrichtung 1810p auf der Innenseite des Kammerdeckels 3002 montiert werden, d.h. der dem Prozessierbereich im Inneren der Prozessierkammer 1802 zugeordnet Seite des Kammerdeckels 3002.
In einigen Ausführungsformen kann das Prozessgehäuse 3004 auch weggelassen werden. Das Montieren der Prozessbox 1810b muss aber nicht notwendigerweise an einem abnehmbaren Kammerdeckel 3002 der Prozessierkammer erfolgen. Beispielsweise kann die Prozessiervorrichtung auch direkt in oder an die Prozessierkammer gebracht und an eine nicht-abnehmbare Kammerseitenwand des Kammergehäuses montiert werden. Die nicht-abnehmbare Kammerseitenwand kann beispielsweise Teil der Kammerzarge sein.
Noch allgemeiner gesprochen, kann das hierin für den Kammerdeckel 3002 Beschriebene in Analogie auch für eine nicht-abnehmbare Kammerseitenwand der Prozessierkammer gelten.
2 veranschaulicht eine Vakuumkammeranordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen 200 in einer schematischen Querschnittsansicht.
Der Kammerdeckel 3002 und die Prozessbox 1810b können derart eingerichtet sein, dass diese zusammengefügt werden können. Dazu können die Prozessbox 1810b (z.B. deren Gestell) und der Kammerdeckel 3002 entsprechende Verbindungsvorrichtungen 3302, 3304 aufweisen. Beispielsweise kann die eine Verbindungsvorrichtung der zwei zusammenfügbaren Verbindungsvorrichtungen 3302, 3304 (z.B. die der Prozessbox oder die des Kammerdeckels) eine Aussparung (auch als Verbindungsaussparung bezeichnet) aufweisen und die andere Verbindungsvorrichtung kann einen Vorsprung (auch als Verbindungsvorsprung bezeichnet) aufweisen, welcher beim Zusammenfügen in die Verbindungsaussparung eingebracht wird (d.h. in diese hineingreift). Es können selbstverständlich anstatt des Paars aus Verbindungsaussparung und Verbindungsvorsprung auch andere zusammenfügbare Formschlusskonturen als verwendet werden, um die zwei zusammenfügbaren Verbindungsvorrichtungen 3302, 3304 bereitzustellen.
Im Folgenden wird Bezug genommen auf einen Haken 3302 und einen Bolzen 3304 als exemplarische Verbindungsvorrichtungen 3302, 3304, welche die Aussparung und den Vorsprung aufweisen. Mittels des Hakens 3302 und des Bolzens 3304 kann das Bereitstellen einer Haken-Bolzen-Verbindung erfolgen. Das Beschriebene kann selbstverständlich in Analogie für anders eingerichtete Verbindungsvorrichtungen 3302, 3304 des Kammerdeckels 3002 und der Prozessbox 1810b gelten. Es kann eine Verbindungsvorrichtung beispielsweise auch mehrere Bolzen, eine oder mehr als eine Welle, eine oder mehr als eine Stange, oder Ähnliches als Vorsprung aufweisen. Ebenso kann die andere Verbindungsvorrichtung mehr als ein Haken aufweisen, welche die Verbindungsaussparung bereitstellt.
Die Verbindungsvorrichtungen 3302, 3304, z.B. Haken 3302 und einen Bolzen 3304, können derart eingerichtet sein, dass diese, wenn zusammengefügt, eine Drehverbindung (z.B. ein Drehgelenk) bilden.
Mittels der Drehverbindung kann die Prozessbox 1810b relativ zu dem Kammerdeckel 3002 geschwenkt werden. Beispielsweise kann der Schwerpunkt der bestückten Prozessbox 1810b (d.h. das Paar aus Gestell 1810 samt Prozessiervorrichtung 1810p oder nur die Prozessiervorrichtung 1810p aufweisend) derart relativ zu der Verbindungsvorrichtung 3302 (bzw. deren Drehachse) angeordnet sein, dass die auf die bestückte Prozessbox 1810b wirkende Gewichtskraft die Prozessbox 1810b gegen den Kammerdeckel 3002 presst. Dies erleichtert die Montage, insbesondere, wenn der Kammerdeckel 3002 schräg steht, z.B. in Richtung zu seiner Verbindungsvorrichtung 3304 überhängend.
Eine austauschbare Prozessbox 1810b (ein sogenanntes Drop-In Shield) kann herkömmlicherweise nur erschwert montiert/demontiert werden. Beispielsweise sind die Aufnahmen solcher tauschbarer Drop-In Shields sehr kompliziert und teuer. Dies hat den Grund, dass das Drop-In Shield zuerst grob an die Aufnahme herangefahren, dann seitlich fein ausgerichtet und nachfolgend in kleine Taschen abgesetzt wird. Die ganze Einheit wie dann wie ein Schubkasten in die Endposition fein-verfahren und die das Drop-In Shield verriegelt.
Im Vergleich dazu können gemäß verschiedenen Ausführungsformen die Kosten gesenkt und die Handhabung vereinfacht werden und der Tauschvorgang kann beschleunigt werden.
Das austauschbare Drop-In Shield kann in einem Beispiel nur an den Haken hängen. Wenn ein Magnetron (auch als Sputtervorrichtung bezeichnet) als Prozessiervorrichtung vertikal beschichtet, sind ist das Drop-In Shield auch vertikal (d.h. von oben nach unten längserstreckt) ausgerichtet. Es kann also das Drop-In Shield, das an einem Kran oder Flurförderfahrzeug 3202 hängt, an den Kammerkörper oder den Kammerdeckel abgesetzt werden, vorzugsweise mit einem Haken.
Ein einem Beispiel kann die Aufnahme 3304 (Verbindungsvorrichtung) der Prozessierkammer ein Rundmaterial 3304w (z.B. eine Welle, Stange oder Bolzen) aufweisen und ferner zwei Führungsblöcke 3304b z.B. Seitenholme), welche das Rundmaterial 3304w beispielsweise drehbar lagern, d.h. zwischen den zwei Führungsblöcken 3304b (. Diese Seitenholme stellen gleichzeitig eine seitliche Führung der Prozessbox beim Fügen bereit. Das frei drehend gelagerte Rundmaterial 3304w kann ermöglichen, dass sich die Prozessbox 1810b an der Rückseite abwälzen kann. Durch den Eigenschwerpunkt der Prozessbox 1810b legt sich dieses an den Kammerdeckel 3002 selbsttätig an.
Das Zusammenfügen der Prozessbox 1810b und des Kammerdeckels 3002 kann aufweisen, die Prozessbox 1810b mittels der Tragevorrichtung 3202 (z.B. einen Kran oder ein Flurförderfahrzeug aufweisend) grob an den Kammerdeckel 3002 heranzubringen, die Prozessbox 1810b mit der Rückseite an die Verbindungsvorrichtung 3304 des Kammerdeckels 3002 heranzufahren, und die Prozessbox 1810b abzusenken bis dessen Verbindungsvorrichtung 3302 an der Verbindungsvorrichtung 3304 des Kammerdeckels 3002 eingehängt ist.
3 veranschaulicht eine Vakuumkammeranordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen 300 in einer schematischen Querschnittsansicht, ähnlich wie die Ausführungsformen 200, mit dem Unterschied, dass Haken und Bolzen gegeneinander vertauscht sind.
4 veranschaulicht eine Vakuumkammeranordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen 400 in einer schematischen Perspektivansicht. Wie dargestellt, kann anstatt mehrerer Bolzen eine Stange verwendet ist, um den einen oder mehr als einen Haken als Verbindungsvorrichtung 3304 der Prozessbox 1810b einzuhängen.
Im Allgemeinen kann die Tragevorrichtung 3202 einen Greifer 3202g aufweisen, mittels welchem die Prozessbox 1810b angehoben werden kann, z.B. an einer Kupplungsvorrichtung der Prozessbox 1810b. Alternativ oder zusätzlich kann der Kammerdeckel 3002 eine Kupplungsvorrichtung 3002g aufweisen, mittels welcher der Kammerdeckel 3002 angehoben werden kann, z.B. ebenso mit einer entsprechenden Tragevorrichtung.
5 veranschaulicht eine Vakuumkammeranordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen 500 in einer schematischen Perspektivansicht. Nach dem Herstellen der Drehverbindung kann die Prozessbox 1810b von der Tragevorrichtung 3202 gelöst werden.
6 veranschaulicht einen Kammerdeckel 3002 gemäß verschiedenen Ausführungsformen 600 in einer schematischen Perspektivansicht. Der Kammerdeckel 3002 kann mehrere Montagebereiche 601 aufweisen, von denen jeder Montagebereich eine oder mehr als eine Durchgangsöffnung und optional das Prozessgehäuse 3004 (oder zumindest einen Teil dessen) aufweisen kann. Beispielsweise kann das Prozessgehäuse 3004 oder zumindest einen Teil dessen vor der Prozessiervorrichtung an dem Kammerdeckel 3002 montiert werden. Der Teil des Prozessgehäuses 3004 kann beispielsweise eine Gehäusezarge (z.B. in Form eines Rahmens) aufweisen.
Im Folgenden werden verschiedene Beispiele beschrieben, die sich auf vorangehend Beschriebene und in den Figuren Dargestellte beziehen.
Beispiel 1 ist eine Vakuumkammeranordnung, aufweisend: eine Kammerseitenwand, welche eine erste Verbindungsvorrichtung aufweist; ein Gestell zum Tragen einer Prozessiervorrichtung, wobei das Gestell eine zweite Verbindungsvorrichtung aufweist; wobei die erste Verbindungsvorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung (z.B. mittels der Gravitationskraft) zusammengefügt eine Drehverbindung bilden, mittels welcher das Gestell relativ zu der Kammerseitenwand geschwenkt werden kann.
Beispiel 2 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß Beispiel 1, wobei die erste Verbindungsvorrichtung einen Vorsprung des Gestells bereitstellt; und/oder wobei die zweite Verbindungsvorrichtung einen Vorsprung der Kammerseitenwand bereitstellt.
Beispiel 3 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß Beispiel 1 oder 2, wobei das Gestell einen Hohlraum zum Aufnehmen der Prozessiervorrichtung aufweist.
Beispiel 4 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 3, wobei die erste Verbindungsvorrichtung einen Haken aufweist; oder wobei die zweite Verbindungsvorrichtung einen Haken aufweist.
Beispiel 5 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 4, wobei die Drehverbindung eine Haken-Bolzen-Verbindung aufweist.
Beispiel 6 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 5, wobei die Drehverbindung dem Gestell genau einen Rotationsfreiheitsgrad bereitstellt.
Beispiel 7 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 6, wobei die erste Verbindungsvorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung derart relativ zueinander eingerichtet sind, die diese ineinander gehangen werden können.
Beispiel 8 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 7, wobei die erste Verbindungsvorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung derart relativ zueinander eingerichtet sind, dass eine Bewegungsrichtung zum Zusammenfügen bzw. zum Voneinanderlösen dieser relativ zueinander im Wesentlichen entlang der Gravitationsrichtung ist (z.B. maximal 10° von dieser abweichend) oder zumindest eine Bewegungsrichtungskomponente aufweist, die entlang der Gravitationsrichtung ist.
Beispiel 9 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 8, wobei die erste Verbindungsvorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung derart relativ zueinander eingerichtet sind, die diese zusammengefügt formschlüssig ineinandergreifen.
Beispiel 10 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 9, wobei die erste Verbindungsvorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung derart relativ zueinander eingerichtet sind, die diese werkzeuglos zusammengefügt werden können.
Beispiel 11 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 10, wobei die erste Verbindungsvorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung derart relativ zueinander eingerichtet sind, diese zusammengefügt und/oder voneinander gelöst werden können, wenn das Gestell relativ zu der Kammerseitenwand verschoben wird, z.B. nach oben bzw. nach unten.
Beispiel 12 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 11, wobei die erste Verbindungsvorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung derart relativ zueinander eingerichtet sind, diese zusammengefügt und/oder voneinander gelöst werden können, wenn diese in einer ersten relativen Ausrichtung zueinander sind und wenn diese in einer zweiten relativen Ausrichtung zueinander sind, wobei sich die erste und zweite relative Ausrichtung voneinander unterscheiden.
Beispiel 13 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 12, wobei die erste Verbindungsvorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung derart relativ zueinander eingerichtet sind, dass diese von der Gewichtskraft zusammengefügt gehalten werden.
Beispiel 14 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 13, wobei die Drehverbindung derart eingerichtet ist, dass das Gestell entgegen einer darauf wirkenden Gewichtskraft von der Kammerseitenwand weg geschwenkt werden kann.
Beispiel 15 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 14, wobei die Drehverbindung derart eingerichtet ist, dass das Gestell von einer darauf wirkenden Gewichtskraft gegen die Kammerseitenwand gepresst wird.
Beispiel 16 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 15, wobei die Kammerseitenwand eine oder mehr als eine Durchgangsöffnung aufweist, welche unterhalb der ersten Verbindungsvorrichtung angeordnet ist.
Beispiel 17 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß Beispiel 16, wobei die eine Durchgangsöffnung einen Vakuumpumpen-Anschluss bereitstellt und/oder an einen Flansch angrenzt.
Beispiel 18 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß Beispiel 17, wobei eine oder mehr als eine Vakuumpumpe, welche mit dem Vakuumpumpen-Anschluss fluidleitend gekoppelt ist.
Beispiel 19 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 18, wobei die Kammerseitenwand einen Hohlraum aufweist, in welchen das Gestell eingelegt werden kann, wenn die erste Verbindungsvorrichtung und die zweite Verbindungsvorrichtung zusammengefügt sind.
Beispiel 20 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 19, wobei die Kammerseitenwand auf einer Seite, auf welcher die erste Verbindungsvorrichtung angeordnet ist, eine die erste Verbindungsvorrichtung und/oder die einen oder mehr als einen Durchgangsöffnung umlaufende Dichtfläche (z.B. eine Nut und/oder eine Elastomerdichtung aufweisend) aufweist.
Beispiel 21 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 20, wobei die Kammerseitenwand eine oder mehr als eine erste Kupplungsvorrichtung aufweist, an welcher die Kammerseitenwand angehoben und/oder verlagert werden kann.
Beispiel 22 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 21, wobei das Gestell eine oder mehr als eine zweite Kupplungsvorrichtung aufweist, mittels welcher das Gestell angehoben werden kann.
Beispiel 23 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 22, ferner aufweisend: die Prozessiervorrichtung, welche an dem Gestell befestigt ist.
Beispiel 24 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß Beispiel 23, wobei die Prozessiervorrichtung eine Sputtervorrichtung aufweist.
Beispiel 25 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 24, ferner aufweisend: einen Kammerkörper, welcher eine seitliche Kammeröffnung aufweist, welche mittels der Kammerseitenwand abgedeckt (z.B. verschlossen, z.B. vakuumdicht verschlossen) werden kann.
Beispiel 26 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 25, ferner aufweisend: einen oder mehr als einen Linearförderer zum Bereitstellen eines Transportpfads in den Kammerkörper hinein und/oder aus diesem heraus.
Beispiel 27 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 26, wobei das Gestell und die Kammerseitenwand nebeneinander angeordnet sind zum Zusammenfügen der ersten Verbindungsvorrichtung und der zweiten Verbindungsvorrichtung.
Beispiel 28 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 27, ferner aufweisend: einen ersten Fahrwagen, mittels welchem das Gestell verlagert werden kann (z.B. zu der Kammerseitenwand hin oder von dieser weg); wobei der erste Fahrwagen beispielsweise eine Hubvorrichtung aufweist, mittels welcher das Gestell zum Zusammenfügen der ersten Verbindungsvorrichtung und der zweiten Verbindungsvorrichtung abgesenkt werden kann und/oder mittels welcher das Gestell zum Voneinanderlösen der ersten Verbindungsvorrichtung und der zweiten Verbindungsvorrichtung angehoben werden kann.
Beispiel 29 ist die Vakuumkammeranordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 28, ferner aufweisend: einen zweiten Fahrwagen, mittels welchem die Kammerseitenwand verlagert werden kann; wobei der zweite Fahrwagen eingerichtet ist, die Kammerseitenwand hochkant zu halten.

Claims

Vakuumkammeranordnung (100), aufweisend: • eine Kammerseitenwand (3002), welche eine erste Verbindungsvorrichtung (3302) aufweist; • eine Prozessbox (1810b), welche eine zweite Verbindungsvorrichtung (3304) aufweist; • wobei die erste Verbindungsvorrichtung (3302) und die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) zusammengefügt eine Drehverbindung bilden, mittels welcher die Prozessbox (1810b) relativ zu der Kammerseitenwand (3002) geschwenkt werden kann.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß Anspruch 1, • wobei die erste Verbindungsvorrichtung (3302) einen Vorsprung der Prozessbox (1810b) bereitstellt; und/oder • wobei die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) einen Vorsprung der Kammerseitenwand (3002) bereitstellt.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Prozessbox (1810b) ein Gestell (1810) und eine Prozessiervorrichtung (1810p) aufweist.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, • wobei die erste Verbindungsvorrichtung (3302) einen Haken aufweist; oder • wobei die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) einen Haken aufweist.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Drehverbindung eine Haken-Bolzen-Verbindung aufweist.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Drehverbindung der Prozessbox (1810b) genau einen Rotationsfreiheitsgrad bereitstellt.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die erste Verbindungsvorrichtung (3302) und die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) derart relativ zueinander eingerichtet sind, die diese ineinander gehangen werden können.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die erste Verbindungsvorrichtung (3302) und die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) derart relativ zueinander eingerichtet sind, dass eine Bewegungsrichtung dieser relativ zueinander zum Zusammenfügen bzw. zum Voneinanderlösen dieser im Wesentlichen entlang einer Gravitationsrichtung ist.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die erste Verbindungsvorrichtung (3302) und die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) derart relativ zueinander eingerichtet sind, die diese zusammengefügt formschlüssig ineinandergreifen.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die erste Verbindungsvorrichtung (3302) und die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) derart relativ zueinander eingerichtet sind, die diese werkzeuglos zusammengefügt werden können.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei die erste Verbindungsvorrichtung (3302) und die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) derart relativ zueinander eingerichtet sind, diese zusammengefügt und/oder voneinander gelöst werden können, wenn die Prozessbox (1810b) relativ zu der Kammerseitenwand (3002) verschoben wird, z.B. nach oben bzw. nach unten.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei die erste Verbindungsvorrichtung (3302) und die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) derart relativ zueinander eingerichtet sind, diese zusammengefügt und/oder voneinander gelöst werden können, wenn diese in einer ersten relativen Ausrichtung zueinander sind und wenn diese in einer zweiten relativen Ausrichtung zueinander sind, wobei sich die erste und zweite relative Ausrichtung voneinander unterscheiden.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12, wobei die erste Verbindungsvorrichtung (3302) und die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) derart relativ zueinander eingerichtet sind, dass diese von der Gewichtskraft zusammengefügt gehalten werden.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei die Drehverbindung derart eingerichtet ist, dass die Prozessbox (1810b) entgegen einer darauf wirkenden Gewichtskraft von der Kammerseitenwand (3002) weg geschwenkt werden kann.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei die Drehverbindung derart eingerichtet ist, dass die Prozessbox (1810b) von einer darauf wirkenden Gewichtskraft gegen die Kammerseitenwand (3002) gepresst wird.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 15, wobei die Kammerseitenwand (3002) eine oder mehr als eine Durchgangsöffnung aufweist, welche unterhalb der ersten Verbindungsvorrichtung (3302) angeordnet ist.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß Anspruch 16, wobei die eine Durchgangsöffnung einen Vakuumpumpen-Anschluss bereitstellt und/oder an einen Flansch angrenzt.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß Anspruch 17, wobei eine oder mehr als eine Vakuumpumpe, welche mit dem Vakuumpumpen-Anschluss fluidleitend gekoppelt ist.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 18, wobei die Kammerseitenwand (3002) einen Hohlraum aufweist, in welchen die Prozessbox (1810b) angeordnet werden kann, wenn die erste Verbindungsvorrichtung (3302) und die zweite Verbindungsvorrichtung (3304) zusammengefügt sind.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 19, wobei die Kammerseitenwand (3002) auf einer Seite, auf welcher die erste Verbindungsvorrichtung (3302) angeordnet ist, eine die erste Verbindungsvorrichtung (3302) und/oder die einen oder mehr als einen Durchgangsöffnung umlaufende Dichtfläche (z.B. eine Nut und/oder eine Elastomerdichtung aufweisend) aufweist.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 20, wobei die Kammerseitenwand (3002) eine oder mehr als eine erste Kupplungsvorrichtung aufweist, an welcher die Kammerseitenwand (3002) angehoben und/oder verlagert werden kann.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 21, wobei die Prozessbox (1810b) eine oder mehr als eine zweite Kupplungsvorrichtung aufweist, mittels welcher die Prozessbox (1810b) angehoben werden kann.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 22, ferner aufweisend: die Prozessiervorrichtung (1810p), welche an der Prozessbox (1810b) befestigt ist.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß Anspruch 23, wobei die Prozessiervorrichtung (1810p) eine Sputtervorrichtung aufweist.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 24, ferner aufweisend: • einen Kammerkörper, welcher eine seitliche Kammeröffnung aufweist, welche mittels der Kammerseitenwand (3002) verschlossen werden kann.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 25, wobei die Prozessbox (1810b) und die Kammerseitenwand (3002) nebeneinander angeordnet sind zum Zusammenfügen der ersten Verbindungsvorrichtung (3302) und der zweiten Verbindungsvorrichtung (3304).
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 26, ferner aufweisend: • einen ersten Fahrwagen, mittels welchem die Prozessbox (1810b) verlagert werden kann (z.B. zu der Kammerseitenwand (3002) hin oder von dieser weg); • wobei der erste Fahrwagen eine Hubvorrichtung aufweist, mittels welcher die Prozessbox (1810b) zum Zusammenfügen der ersten Verbindungsvorrichtung (3302) und der zweiten Verbindungsvorrichtung (3304) abgesenkt werden kann.
Vakuumkammeranordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 27, ferner aufweisend: • einen zweiten Fahrwagen, mittels welchem die Kammerseitenwand (3002) verlagert werden kann; • wobei der zweite Fahrwagen eingerichtet ist, die Kammerseitenwand (3002) hochkant zu halten.