DE102015119335B4 - Kammeranordnung, Servicevorrichtung, Serviceanordnung und Verfahren - Google Patents

Kammeranordnung, Servicevorrichtung, Serviceanordnung und Verfahren Download PDF

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Abstract

Kammeranordnung (100a), aufweisend:
• ein Kammergehäuse (802), welches mehrere Prozessierbereiche (803a, 803b) aufweist, von denen jeder Prozessierbereich eine Übergabeposition (813a, 813b) definiert und von jeweils einer Öffnung in dem Kammergehäuse (802) freigelegt ist;
• mehrere Positionierung-Kammerstrukturen (833a, 833b), von denen jede Positionierung-Kammerstruktur genau einem Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche (803a, 803b) zugeordnet ist und zum Positionieren einer dazu passenden Servicevorrichtung in dessen Übergabeposition (813a, 813b) eingerichtet ist;
• wobei das Kammergehäuse (802) derart eingerichtet ist, dass, wenn die Servicevorrichtung (100b) mittels einer Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen (833a, 833b) positioniert ist, eine Prozessiereinheit durch die jeweilige Öffnung hindurch zwischen dem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich und der Servicevorrichtung (100b) bewegt werden kann von der Servicevorrichtung (100b) in den der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung (100a) hinein oder aus dem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung (100b) heraus auf die Servicevorrichtung (100b).

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Kammeranordnung, eine Servicevorrichtung, eine Serviceanordnung und ein Verfahren.
  • Im Allgemeinen kann ein Substrat oder können mehrere Substrate, z.B. Gasscheiben, Wafer oder andere Werkstücke, zum Bearbeiten (Prozessieren), z.B. während eines Beschichtungsprozesses (oder anderer Prozesse zum Prozessieren von Substraten), mittels einer Transportvorrichtung gehalten und transportiert werden. Für großtechnische Prozesse kommen dabei so genannte Durchlaufanlagen zum Einsatz, bei denen die Substrate hintereinander weg (anschaulich als Substratstrom) durch verschiedene Prozessschritte hindurch geführt werden. Die Durchlaufanlage kann ein Kammergehäuse mit mehreren Prozesssektionen aufweisen, von denen jede Prozesssektion zum Aufnehmen einer Prozessiereinheit eingerichtet ist.
  • Herkömmlicherweise lässt sich das Kammergehäuse mittels eines Kammerdeckels öffnen und die Prozessiereinheit nach oben herausnehmen. Aufgrund des Gewichts der Prozessiereinheit ist dazu allerdings ein Kran erforderlich, was besondere Anforderungen an den Aufstellungsort der Durchlaufanlage stellt. Eine Halle, in der die Durchlaufanlage untergebracht ist, benötigt beispielsweise eine massive Trägerkonstruktion, so dass von dieser ein Kran getragen werden kann, was Kosten und Aufwand erfordert.
  • Alternativ werden kleinere Anlagen, bei denen nur wenige Prozessiereinheiten zum Einsatz kommen, seitlich geöffnet. Dabei ist eine Kammerwand aufgrund ihres Gewichts auf Schienen gelagert, um diese und daran befestigte Prozessiereinheiten stabil und sicher zu lagern. Dazu müssen am Aufstellungsort der Durchlaufanlage allerdings geeignete Schienen verlegt sein oder werden, was Kosten und Aufwand erfordert. Durch die Schienen besteht eine unmittelbare Abhängigkeit zur Position der Schiene und somit zur bedienbaren Position an der Anlage. Ferner muss der Bereich, in dem die Schienen angeordnet sind, großräumig frei bleiben, was - neben der Anlage an sich - einen enormen Platzbedarf erfordert.
  • Wird die Anlage verändert oder verschoben, müssen diese Veränderungen auch auf die Schienen übertragen werden. Daher sind die Schienen nicht flexibel einsetzbar. Die Prozessiereinheiten können ferner nur gemeinsam und nicht einzeln bewegt werden. Sollen die Prozessiereinheiten an einen anderen Ort gebracht werden (z.B. zur Wartung, zum Austausch, oder zum Umsetzen an eine andere Prozesssektion o.ä.), erfordert dies zusätzlichen Aufwand bzw. zusätzliche Technik, wie z.B. einen Kran.
  • In EP 1698715 A1 wird eine Anlage zum Beschichten eines Substrats beschrieben, welche eine Beschichtungskammer und eine Sputterkathode aufweist. Die Sputterkathode ist mit Anlagenkomponenten, die prozessbedingt verschmutzen, beispielsweise Blenden, Abdeckungen oder Transportrollen, in einem Einschub integriert, welcher durch eine seitliche Öffnung in der Kammerwand in den Innenraum der Kammer schubladenartig einschiebbar ist mittels eines Hubwagens.
  • In DE 20 2014 101 468 U1 wird eine Prozessierkammer beschrieben, deren Prozessiervorrichtung an eine vertikal verlaufende seitliche Kammerwand der Prozesskammer als vormontierte Baugruppe montiert werden kann, wobei dazu kein Hallenkran notwendig ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen werden eine Kammeranordnung, eine Servicevorrichtung, eine Serviceanordnung und ein Verfahren bereitgestellt, welche es anschaulich ermöglichen, den Aufwand für Arbeiten an den Prozessiereinheiten zu verringern.
  • Anschaulich wird eine fahrbare Servicevorrichtung bereitgestellt, welche an die Kammeranordnung angedockt, eine Prozessiereinheit direkt aus der Kammeranordnung heraus aufnehmen kann und fahrbar lagert. Die Servicevorrichtung und die Kammeranordnung können anschaulich ein Verlagern der Prozessiereinheit unter normalem körperlichem Krafteinsatz ermöglichen. Damit kann auf zusätzliche Technik verzichtet werden, was Kosten, Personal und Aufwand einspart.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen ist die fahrbare Servicevorrichtung frei auf Rollen gelagert, so dass keine Schienen benötigt werden. Optional kann die Servicevorrichtung zusätzlich abgestützt werden, so dass eine darauf gelagerte Prozessiereinheit sicher gelagert werden kann, selbst in erdbebengefährdeten Regionen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die auf der Servicevorrichtung gelagerte Prozessiereinheit vor Ort gelassen werden, um z.B. an dieser zu arbeiten, oder die Prozessiereinheit kann auch an einen beliebigen Ort gebracht werden, z.B. um diese vorerst abzustellen. Anschaulich kann ein variabler Einsatz der Servicevorrichtung bereitgestellt sein oder werden, welche für verschiedene Anlagentypen verwendbar ist und keine besonderen Untergrund oder keine besondere Wartungsfläche benötigt bzw. variable Fahrwege ermöglicht, was zusätzliche Technik, Aufwand und Personal einspart.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Servicevorrichtung ein abkoppelbares Fahrgestell aufweisen, mittels dessen die außerhalb der Anlage gelagerten Prozessiereinheiten nach Belieben umgestellt, z.B. an eine andere Stelle in der Umgebung der Anlage transportiert und/oder dort bereit gestellte Prozesseinheiten abgeholt und zur Anlage befördert, werden können. Das Fahrgestell kann dabei frei auf dem jeweiligen Untergrund oder Wartungsfläche bzw. den entsprechenden Fahrwegen beweglich sein, was die Gestaltungsmöglichkeiten der Anlagenumgebung erhöht.
  • Eine Kammeranordnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse, welches mehrere Prozessierbereiche aufweist, von denen jeder Prozessierbereich eine Übergabeposition definiert und von jeweils einer Öffnung (Prozessierbereich-Öffnung) in dem Kammergehäuse freigelegt ist; mehrere Positionierung-Kammerstrukturen, von denen jede Positionierung-Kammerstruktur genau einem Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche zugeordnet ist und zum Positionieren einer dazu passenden Servicevorrichtung in dessen Übergabeposition eingerichtet ist; wobei das Kammergehäuse derart eingerichtet ist, dass, wenn die Servicevorrichtung mittels einer Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen positioniert (z.B. daran angekuppelt) ist, eine Prozessiereinheit durch die jeweilige Öffnung hindurch zwischen einem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich (der mehreren Prozessierbereiche) und der Servicevorrichtung bewegt werden kann von der Servicevorrichtung in den der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung hinein oder aus dem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung heraus auf die Servicevorrichtung. Anschaulich kann die Kammeranordnung für jeden der Prozessierbereiche eine Positionierung-Struktur aufweisen, welche die Servicevorrichtung zum Verlagern der Prozessiereinheit relativ zu dem Prozessierbereich in dessen Übergabeposition bringt. Somit kann ein reproduzierbares und reversibles Verlagern der Prozessiereinheit bereitgestellt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen sind zumindest zwei Prozessierbereiche (d.h. zwei oder mehr Prozessierbereiche, z.B. drei, vier, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn oder mehr als zehn Prozessierbereiche) der mehreren Prozessierbereiche derart eingerichtet, dass mittels (z.B. genau) einer Servicevorrichtung eine Prozessiereinheit zwischen diesen verlagert werden kann, z.B. von einen in den anderen Prozessierbereich. Dazu können die Übergabepositionen derart bereitgestellt sein oder werden, dass die Servicevorrichtung in einer gleichen Lage und/oder Ausrichtung relativ zu den jeweiligen Prozessierbereichen positioniert wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jede Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen zumindest eine Führungsstruktur aufweisen, welche beim Annähern der Servicevorrichtung an einen Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche ein Führen dieser (der Servicevorrichtung) in dessen Übergabeposition (d.h. in die von diesem definierte Übergabeposition) bewirkt, d.h. ein Führen in die Übergabeposition des Prozessierbereichs hinein. Die Führungsstruktur kann ein spitz zulaufendes Profil aufweisen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jede Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen eine erste Führungsstruktur und eine zweite Führungsstruktur aufweisen; wobei die erste Führungsstruktur ein Führen der Servicevorrichtung (beim Annähern der Servicevorrichtung an einen Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche) in die zweite Führungsstruktur hinein bewirkt und die zweite Führungsstruktur ein Führen (der Servicevorrichtung) in die Übergabeposition bewirkt. Anschaulich kann die erste Führungsstruktur eine Grob-Führungsstruktur sein, welche die Servicevorrichtung (z.B. eine Positionierung-Servicestruktur der Servicevorrichtung) in einen Bereich führt, in welcher die Servicevorrichtung (z.B. deren Positionierung-Servicestruktur) in die zweite Führungsstruktur greift.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jeder Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche eine Profilführung (z.B. eine Linearführung) aufweisen, welche einen Pfad definiert, entlang dessen eine Prozessiereinheit beim Verlagern geführt wird. Der Pfad kann sich von der Öffnung in den Prozessierbereich hinein erstrecken.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung ferner die Prozessiereinheit aufweisen, wobei jeder Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche zum Aufnehmen der Prozessiereinheit eingerichtet ist (z.B. so dass die Prozessiereinheit in einem der Prozessierbereiche aufgenommen werden kann). Anschaulich können die Prozessierbereiche zumindest insoweit gleich eingerichtet sein, dass die Prozessiereinheit in jeden der Prozessierbereiche hinein passt (Prozessiereinheit-konform).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessiereinheit ein Wandelement zum Abdichten einer Prozessierbereich-Öffnung der Kammeranordnung aufweisen. Mit anderen Worten kann das Wandelement derart eingerichtet sein, dass es die Prozessierbereich-Öffnung abdichtet, wenn das Wandelement die Prozessierbereich-Öffnung abdeckt. Optional kann die Prozessiereinheit an dem Wandelement befestigt sein. Dann kann die Prozessiereinheit in dem Prozessierbereich angeordnet sein, wenn das Wandelement die Prozessierbereich-Öffnung abdeckt.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Servicevorrichtung Folgendes aufweisen: ein Trägergestell; ein Fahrgestell zum Tragen des Trägergestells; eine Positionierung-Servicestruktur, welche zum Positionieren der Servicevorrichtung in eine von einer Kammeranordnung definierten Übergabeposition eingerichtet ist; wobei das Trägergestell derart eingerichtet ist, dass, wenn die Servicevorrichtung an der Kammeranordnung positioniert (z.B. angekuppelt) ist, eine Prozessiereinheit zwischen dem Trägergestell und der Kammeranordnung bewegt werden kann von dem Trägergestell in einen Prozessierbereich der Kammeranordnung hinein oder aus dem Prozessierbereich der Kammeranordnung heraus auf das Trägergestell.
  • Optional kann das Trägergestell verstellbar, z.B. ausrichtbar, von dem Fahrgestell gehalten oder auf diesem gelagert werden, z.B. so dass das Trägergestell in eine von der Kammeranordnung definierte Übergabehöhe und/oder in eine von der Kammeranordnung definierte Übergabeneigung gebracht werden kann. Damit kann erreicht werden, dass Unebenheiten im Untergrund vor jedem Prozessierbereich ausgeglichen werden können und die Servicevorrichtung mit einer großen Breite an Untergründen kompatibel ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Fahrgestell zumindest zwei Translationsfreiheitsgrade (linear voneinander unabhängige Bewegungsrichtungen) bereitstellen entlang denen das Fahrgestell zum Positionieren beweglich ist. Somit kann eine freie Beweglichkeit bereitgestellt werden und/oder ein Ausrichten der Servicevorrichtung an der Kammeranordnung erleichtert werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Fahrgestell mehrere Rollen aufweisen, von denen jede Rolle zwei Translationsfreiheitsgrade bereitstellen kann. Optional kann das Fahrgestell einen Rotationsfreiheitsgrad bereitstellen, z.B. um eine Rotationsachse herum, welche senkrecht zu den zwei Translationsfreiheitsgraden steht.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können ein erster Translationsfreiheitsgrad der zwei Translationsfreiheitsgrade und ein zweiter Translationsfreiheitsgrad der zwei Translationsfreiheitsgrade unterschiedlich zueinander sein, z.B. senkrecht zueinander stehen. Die zwei Translationsfreiheitsgrade können beispielsweise entlang einer von dem Untergrund definierten Fläche verlaufen, z.B. horizontal. Der zweite Translationsfreiheitsgrad kann beispielsweise entlang einer Längserstreckung der Kammeranordnung, z.B. entlang deren Transportrichtung, verlaufen. Alternativ oder zusätzlich kann der erste Translationsfreiheitsgrad von der Kammeranordnung weg gerichtet sein, z.B. entlang des Pfades verlaufen, der von der Profilführung (z.B. der Linearführung) definiert wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Servicevorrichtung zum Annähern an die Kammeranordnung entlang zumindest des ersten Translationsfreiheitsgrades bewegbar sein bzw. bewegt werden und zum Positionieren entlang zumindest des zweiten Translationsfreiheitsgrades bewegbar sein bzw. bewegt werden. Mit anderen Worten kann z.B. das Führen in die zweite Führungsstruktur und/oder in die Übergabeposition aufweisen, die Servicevorrichtung zumindest entlang des zweiten Translationsfreiheitsgrades zu bewegen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Positionierung-Servicestruktur eine Führungsstruktur aufweisen, welche beim Annähern der Servicevorrichtung an die Kammeranordnung ein Führen der Servicevorrichtung (z.B. des Fahrgestells) in die Übergabeposition bewirkt. Die Führungsstruktur kann ein spitz zulaufendes Profil aufweisen. Beispielsweise kann die Führungsstruktur an dem Fahrgestell und/oder an dem Trägergestell befestigt sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Positionierung-Servicestruktur eine erste Führungsstruktur und eine zweite Führungsstruktur aufweisen; wobei die erste Führungsstruktur ein Führen (der Kammeranordnung, z.B. einer Positionierung-Kammerstruktur der Kammeranordnung) in die zweite Führungsstruktur bewirkt und die zweite Führungsstruktur ein Führen (der Servicevorrichtung) in die Übergabeposition bewirkt. Anschaulich kann die erste Führungsstruktur eine Grob-Führungsstruktur sein, welche die Servicevorrichtung in einen Bereich führt, in welcher die Servicevorrichtung in die zweite Führungsstruktur greift.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trägergestell eine Lastübertragungsstruktur aufweisen, welche zum schrittweisen Übertragen einer von der Prozessiereinheit bewirkten Last auf das oder von dem Trägergestell während des Verlagerns der Prozessiereinheit eingerichtet ist. Die Lastübertragungsstruktur kann eingerichtet sein, die Last in einer vordefinierten Position der Prozessiereinheit zu übertragen, z.B. aufzunehmen und/oder abzugeben.
  • Die Lastübertragungsstruktur kann z.B. mehrere Stellungen aufweisen, in welche die Lastübertragungsstruktur gebracht werden kann. Wird die Lasttransferstruktur von einer ersten Stellung der mehreren Stellungen in eine zweite Stellung der mehreren Stellungen gebracht, kann zumindest ein Teil der Last (Teillast) der Prozessiereinheit auf die oder von der Lasttransferstruktur übergehen, z.B. die komplette Last. Beispielsweise kann die Lastübertragungsstruktur eingerichtet sein, die Prozessiereinheit von der Profilführung (z.B. der Linearführung) abzuheben oder auf diese abzusetzen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Lasttransferstruktur zumindest eine vertikal verstellbare Auflage aufweisen, welche, wenn die Prozessiereinheit auf dem Trägergestell angeordnet ist, mit der Prozessiereinheit in Kontakt gebracht werden kann, so dass die Auflage zumindest eine Teillast der Prozessiereinheit aufnimmt. Beispielsweise kann die verstellbare Auflage gegen die Prozessiereinheit gepresst werden, so dass ein Teil der Last der Prozessiereinheit auf die Lasttransferstruktur übergeht und/oder die Prozessiereinheit angehoben wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trägergestell mehrere verstellbare Abstützstrukturen (z.B. Stützbeine) aufweisen, welche zum Abstützen auf einem Untergrund mit diesem in Kontakt gebracht werden können. Beispielsweise können die Abstützstrukturen zumindest in eine vertikale Richtung verstellbar sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können von den mehreren Abstützstrukturen zumindest zwei Abstützstrukturen zum Verstellen einer Abstützweite in ihrem Abstand voneinander verstellbar sein. Beispielsweise kann zumindest eine Abstützstruktur der zwei Abstützstrukturen zumindest in eine vertikale Richtung verstellbar sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können das Trägergestell und das Fahrgestell zum Entkuppeln voneinander (d.h. zum Bringen in einen voneinander entkuppelten Zustand) und zum Kuppeln miteinander (d.h. zum Bringen in einen miteinander gekuppelten Zustand) eingerichtet sein. In dem voneinander entkuppelten Zustand kann das Fahrgestell unabhängig von dem Trägergestell sein, d.h. z.B. relativ zu diesem bewegt sein oder werden. In dem miteinander gekuppelten Zustand kann das Trägergestell von dem Fahrgestell gestützt sein oder werden, z.B. mittels des Fahrgestells befördert werden.
  • Werden das Trägergestell und das Fahrgestell voneinander entkuppelt, kann das Trägergestell vorher auf einem Untergrund abgestützt sein oder werden, z.B. mittels der Abstützstrukturen. Beispielsweise können die Abstützstrukturen eingerichtet sein, ein stabiles Stehen des Trägergestells auf dem Untergrund zu ermöglichen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Servicevorrichtung zumindest ein weiteres Trägergestell (d.h. ein weiteres Trägergestell oder mehrere weitere Trägergestelle, z.B. zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, oder mehr als zehn Trägergestelle) aufweisen, wobei das zumindest eine weitere Trägergestell und das Fahrgestell zum Kuppeln miteinander eingerichtet sind.
  • Das zumindest eine weitere Trägergestell kann analog zu dem Trägergestell eingerichtet sein. Das zumindest eine weitere Trägergestell kann eingerichtet sein, die Prozessiereinheit aufzunehmen, z.B. zum Verlagern der Prozessiereinheit.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Serviceanordnung Folgendes aufweisend: ein Kammergehäuse, welches mehrere Prozessierbereiche aufweist, von denen jeder Prozessierbereich eine Übergabeposition definiert und von jeweils einer Öffnung in dem Kammergehäuse freigelegt ist; mehrere Positionierung-Kammerstrukturen, von denen jede Positionierung-Kammerstruktur genau einem Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche zugeordnet ist; eine Servicevorrichtung, welche ein Fahrgestell und eine Positionierung-Servicestruktur aufweist; wobei die Positionierung-Servicestruktur und jede der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen zum Positionieren aneinander (z.B. zum Kuppeln miteinander und/oder zum Ausrichten relativ zueinander) eingerichtet sind, wodurch die Servicevorrichtung in die jeweilige Übergabeposition (des Prozessierbereichs, welcher der Positionierung-Kammerstruktur zugeordnet ist, an dem die Servicevorrichtung positioniert ist) gebracht wird; wobei das Kammergehäuse und die Servicevorrichtung derart eingerichtet sind, dass, wenn die Servicevorrichtung mittels einer Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen positioniert (z.B. daran angekuppelt) ist, eine Prozessiereinheit durch die jeweilige Öffnung hindurch zwischen dem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich und der Servicevorrichtung bewegt werden kann von der Servicevorrichtung in den der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung hinein oder aus dem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung heraus auf die Servicevorrichtung.
  • Die Servicevorrichtung kann eingerichtet sein, wie vorangehend beschrieben ist.
  • Die Kammeranordnung kann eingerichtet sein, wie vorangehend beschrieben ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren Folgendes aufweisen: Positionieren einer Servicevorrichtung relativ zu einer Kammeranordnung, wobei mittels des Positionierens die Servicevorrichtung in eine von der Kammeranordnung definierte Übergabeposition gebracht wird; und Bewegen einer Prozessiereinheit zwischen der Servicevorrichtung und der Kammeranordnung von der Servicevorrichtung in einen Prozessierbereich der Kammeranordnung hinein oder aus dem Prozessierbereich der Kammeranordnung heraus auf die Servicevorrichtung.
  • Die Übergabeposition kann von einem Prozessierbereich der Kammeranordnung definiert sein oder werden in den hinein oder aus dem heraus die Prozessiereinheit verlagert wird.
  • Das Positionieren der Servicevorrichtung kann aufweisen, die Servicevorrichtung (z.B. deren Positionierung-Servicestruktur) mittels der Kammeranordnung (z.B. mittels einer Positionierung-Kammerstruktur der Kammeranordnung, welche dem Prozessierbereich zugeordnet ist) in die Übergabeposition zu führen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Servicevorrichtung mittels einer Führungsstruktur (z.B. der Servicevorrichtung und/oder der Kammeranordnung) in die Übergabeposition geführt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Servicevorrichtung mittels einer ersten Führungsstruktur (z.B. der Servicevorrichtung und/oder der Kammeranordnung) in eine zweite Führungsstruktur (z.B. der Kammeranordnung) geführt werden und mittels der zweiten Führungsstruktur in die Übergabeposition geführt werden.
  • Das Positionieren einer Servicevorrichtung kann aufweisen, die Servicevorrichtung mit der Kammeranordnung zu kuppeln, z.B. mittels einer Ankuppel-Struktur. Die Ankuppel-Struktur kann in einen Formschluss gebracht werden, welcher die Servicevorrichtung in einer Lage und/oder Ausrichtung relativ zu der Kammeranordnung festhält, z.B. in der Übergabeposition fixiert.
  • Das Ankuppeln kann aufweisen, die Servicevorrichtung (z.B. deren Positionierung-Servicestruktur) beim Annähern der Servicevorrichtung mit der Kammeranordnung (z.B. mit einer Positionierung-Kammerstruktur) zu verbinden (z.B. lösbar).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren aufweisen, eine Prozessierbereich-Öffnung der Kammeranordnung, z.B. beim Verlagern der Prozessiereinheit in die Kammeranordnung hinein, abzudichten.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren aufweisen, eine Prozessierbereich-Öffnung der Kammeranordnung, z.B. zum Verlagern der Prozessiereinheit aus der Kammeranordnung heraus, zu öffnen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren ferner aufweisen: Ausrichten eines Trägergestells der Servicevorrichtung relativ zu einem Fahrgestell der Servicevorrichtung, so dass das Trägergestell in eine von der Kammeranordnung definierte Übergabehöhe und/oder in eine von der Kammeranordnung definierte Übergabeneigung gebracht wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verlagern aufweisen, die Prozessiereinheit aus einem Prozessierbereich der Kammeranordnung heraus auf das Trägergestell der Servicevorrichtung zu verlagern.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verlagern aufweisen, die Prozessiereinheit von dem Trägergestell der Servicevorrichtung in den Prozessierbereich der Kammeranordnung hinein oder in einen weiteren Prozessierbereich der Kammeranordnung hinein zu verlagern. Anschaulich kann die Prozessiereinheit wieder zurück in den Prozessierbereich gebracht werden, aus dem diese heraus gebracht wurde, oder die Prozessiereinheit kann in einen anderen Prozessierbereich gebracht werden (umverlagern).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Positionieren der Servicevorrichtung aufweisen, die Servicevorrichtung entlang zumindest eines ersten Translationsfreiheitsgrades an die Kammeranordnung anzunähern, und entlang zumindest eines zweiten Translationsfreiheitsgrades, verschieden zu dem ersten Translationsfreiheitsgrad, auszurichten, z.B. in eine Übergabeposition zu bringen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren ferner aufweisen: Abstützen des Trägergestells der Servicevorrichtung auf einem Untergrund (z.B. mittels der Abstützstrukturen); Entkuppeln eines Fahrgestells der Servicevorrichtung von dem Trägergestell; und Verlagern des Fahrgestells von dem Trägergestell weg. Anschaulich kann das Trägergestell abgestellt werden und das Fahrgestell frei von dem Trägergestell relativ zu diesem bewegt werden. Das Fahrgestell kann verwendet werden um ein weiteres Trägergestell zu verlagern. Damit werden weniger Fahrgestelle benötigt, was Platz, Material und Kosten spart.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren ferner aufweisen: Kuppeln des Fahrgestells der Servicevorrichtung mit einem weiteren Trägergestell der Servicevorrichtung.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren ferner aufweisen: Positionieren der Servicevorrichtung an der Kammeranordnung, wobei mittels des Positionierens die Servicevorrichtung in eine von der Kammeranordnung definierte weitere Übergabeposition (auch als zweite Übergabeposition bezeichnet) gebracht wird; und Verlagern einer Prozessiereinheit zwischen der Servicevorrichtung und der Kammeranordnung. Anschaulich kann die Prozessiereinheit umverlagert werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren ferner aufweisen: Ankuppeln und Ausrichten der Servicevorrichtung an der Kammeranordnung; und Verlagern einer weiteren Prozessiereinheit zwischen dem weiteren Trägergestell der Servicevorrichtung und der Kammeranordnung.
  • Eine Positionierung-Struktur (z.B. zumindest eine Positionierung-Kammerstruktur der Kammeranordnung und/oder die Positionierung-Servicestruktur der Servicevorrichtung) kann eine Ankuppel-Struktur (z.B. eine Ankuppel-Kammerstruktur der Kammeranordnung und/oder eine Ankuppel-Servicestruktur der Servicevorrichtung) aufweisen, welche zum Kuppeln (Ankuppeln) der Servicevorrichtung mit der Kammeranordnung eingerichtet ist. Die Ankuppel-Struktur kann optional einen Kraft-Übersetzer (z.B. einen Hebel und/oder ein Gewinde) aufweisen, welcher eingerichtet ist, eine erste Kraft zum Ankuppeln der Servicevorrichtung an die Kammeranordnung in eine zweite Kraft zum Betätigen der Ankuppel-Struktur zu wandeln, wobei die zweite Kraft kleiner als die erste Kraft ist. Somit lässt sich die Ankuppel-Struktur beispielsweise von Hand betätigen. Das Betätigen der Ankuppel-Struktur kann ein Ankuppeln der Servicevorrichtung an die Kammeranordnung bewirken.
  • Eine Führungsstruktur (z.B. die erste Führungsstruktur und/oder die zweite Führungsstruktur), z.B. der Kammeranordnung und/oder der Servicevorrichtung, kann ein Ausrichten der Servicevorrichtung relativ zu der Kammeranordnung bewirken, wenn die Servicevorrichtung in die Übergabeposition gebracht wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Übergabeposition eine Lage (z.B. ein, zwei oder drei Koordinaten im Raum) und/oder eine Ausrichtung (z.B. ein, zwei oder drei Winkel im Raum) aufweisen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessiereinheit zumindest eine Prozessiervorrichtung (eine oder mehrere Prozessiervorrichtungen) aufweisen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zum Betrieb der Prozessiereinheit in der Kammeranordnung ein Vakuum bereitgestellt sein oder werden. Ein Vakuum kann einen Druck aus dem Grobvakuum (Grobvakuumbereich), d.h. in einem Bereich von ungefähr 10 mbar bis ungefähr 1 mbar, aufweisen, einen Druck aus dem Feinvakuum (Feinvakuumbereich), d.h. in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10-3 mbar, aufweisen oder einen Druck aus dem Hochvakuum (Hochvakuumbereich), d.h. in einem Bereich von ungefähr 10-3 mbar bis ungefähr 10-7 mbar, aufweisen. Beispielsweise kann das Vakuum in der Vakuumkammer bereitgestellt sein oder werden.
  • Es zeigen
    • 1A eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 1B eine Servicevorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 2A eine Servicevorrichtung und eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 2B eine Servicevorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 3 eine Servicevorrichtung und eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 4 eine Servicevorrichtung und eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 5 eine Servicevorrichtung und eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 6 eine Servicevorrichtung und eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 7 eine Servicevorrichtung und eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 8 eine Servicevorrichtung und eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 9 eine Positionierung-Struktur gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 10 eine Positionierung-Struktur gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht oder Schnittansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 11A eine Prozessiereinheit gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 11B eine Servicevorrichtung und eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 12A eine Servicevorrichtung und eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 12B eine Servicevorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 13A und 13B jeweils eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 14 eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 15 eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 16 ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram.
  • In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
  • Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird zumindest ein Servicegestell (Trägergestell) zum Be- und Entstücken von Prozesseinheiten an den jeweiligen Anbaupositionen (Prozessstationen) an eine Kammeranordnung (z.B. einer Vakuumkammeranordnung) bereitgestellt. Das zumindest eine Servicegestell kann ein oder mehrere Servicegestelle aufweisen.
  • 1A veranschaulicht eine Kammeranordnung 100a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht.
  • Die Kammeranordnung 100a kann ein Kammergehäuse 802 aufweisen, in dem mehrere Prozessierbereiche 803a, 803b angeordnet sind, von denen ein erster Prozessierbereich 803a eine erste Übergabeposition 813a definiert und ein zweiter Prozessierbereich 803b eine zweite Übergabeposition 813b definiert. Analog kann zumindest ein weiterer Prozessierbereich zumindest eine weitere Übergabeposition definieren.
  • Die Übergabeposition 813a, 813b kann anschaulich eine Lage und/oder Ausrichtung relativ zu dem Prozessierbereich 803a, 803b beschreiben, z.B. einen Abstand von diesem. Beispielsweise kann die Übergabeposition 813a, 813b eines Prozessierbereichs 803a, 803b auf einer Ebene 111 liegen, welche quer zur Transportrichtung 111r (z.B. Richtung 101) der Kammeranordnung 100a verläuft, z.B. mittig (räumlich gemittelt) durch den jeweiligen Prozessierbereich 803a, 803b hindurch. Die Transportrichtung 111r kann von einer Transportanordnung definiert sein, welche in der Kammeranordnung 100a angeordnet ist, z.B. von einem Transportpfad, welcher durch jeden Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche 803a, 803b hindurch verläuft (vergleiche 13A und 13B).
  • Das Kammergehäuse 802 kann mehrere Prozessierbereich-Öffnung 823a, 823b aufweisen, von denen eine erste Prozessierbereich-Öffnung 823a (z.B. genau) den ersten Prozessierbereich 803a und eine zweite Prozessierbereich-Öffnung 823b (z.B. genau) den zweiten Prozessierbereich 803b freigelegt (d.h. zugänglich macht).
  • Ferner kann die Kammeranordnung 100a mehrere Positionierung-Kammerstrukturen 833a, 833b aufweisen, von denen eine erste Positionierung-Kammerstruktur 833a (z.B. genau) dem ersten Prozessierbereich 803a und eine zweite Positionierung-Kammerstruktur 833b (z.B. genau) dem zweiten Prozessierbereich 803b zugeordnet ist.
  • Die erste Positionierung-Kammerstruktur 833a kann zum Positionieren einer dazu passenden Servicevorrichtung 100b (vergleiche 1B) in der ersten Übergabeposition 813a eingerichtet sein, z.B. wenn die Servicevorrichtung 100b an den ersten Prozessierbereich 803a angenähert wird. Die zweite Positionierung-Kammerstruktur 833b kann zum Positionieren der Servicevorrichtung 100b in der zweiten Übergabeposition 813b eingerichtet sein, z.B. wenn die Servicevorrichtung 100b an den zweiten Prozessierbereich 803b angenähert wird.
  • Beispielsweise kann jede Positionierung-Kammerstruktur 833a, 833b eine Führungsstruktur (z.B. aufweisend eine Zentrierstruktur) aufweisen, welche zum Führen (bzw. Zentrieren) in die jeweilige Übergabeposition 813a, 813b eingerichtet ist, z.B. wenn die Servicevorrichtung 100b an den jeweiligen Prozessierbereich 803a, 803b angenähert wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse 802 derart eingerichtet sein, dass, wenn die Servicevorrichtung 100b an der ersten Positionierung-Kammerstruktur 833a positioniert (z.B. daran angekuppelt) ist, eine Prozessiereinheit 302 (vergleiche 3) durch die erste Prozessierbereich-Öffnung 823a hindurch zwischen dem erste Prozessierbereich 803a und der Servicevorrichtung 100b verlagert werden kann. Alternativ oder zusätzlich kann das Kammergehäuse 802 derart eingerichtet sein, dass, wenn die Servicevorrichtung 100b an der zweiten Positionierung-Kammerstruktur 833b positioniert (z.B. daran angekuppelt) ist, eine Prozessiereinheit 302 durch die zweite Prozessierbereich-Öffnung 823b hindurch zwischen dem zweiten Prozessierbereich 803b und der Servicevorrichtung 100b verlagert werden kann.
  • Die mehreren Positionierung-Kammerstrukturen 833a, 833b können jede derart eingerichtet sein, dass eine Servicevorrichtung 100b mit und/oder ohne eine eigene Positionierung-Struktur (Positionierung-Servicestruktur) an der Kammeranordnung 100a positioniert (z.B. angekuppelt) werden kann.
  • 1B veranschaulicht eine Servicevorrichtung 100b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Servicevorrichtung 100b ein Trägergestell 104 aufweisen. Das Trägergestell 104 kann eine anschaulich stabile Basis bereitstellen zum Tragen einer Prozessiereinheit 302 (vergleiche 3).
  • Ferner kann die Servicevorrichtung 100b ein Fahrgestell 106 aufweisen, welche das Trägergestell 104 trägt. Das Fahrgestell 106 kann mehrere Rollen 106r (z.B. Räder) aufweisen, welche drehbar gelagert sind.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Fahrgestell 106 an dem Trägergestell 104 befestigt sein, z.B. formschlüssig und/oder stoffschlüssig gefügt, z.B. geschraubt, geschweißt und/oder geklebt. Alternativ kann die Servicevorrichtung 100b (z.B. das Trägergestell 104 und/oder das Fahrgestell 106) eine Kupplung aufweisen, welche zum lösbaren Verbinden des Trägergestells 104 und des Fahrgestell 106 miteinander eingerichtet ist, d.h. zum Kuppeln dieser miteinander und/oder zum Entkuppeln dieser voneinander.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Servicevorrichtung 100b eine Positionierung-Servicestruktur 133 aufweisen, welche zum Positionieren der Servicevorrichtung 100b in eine von einer Kammeranordnung 100a definierten Übergabeposition 813a, 813b eingerichtet ist.
  • Die Positionierung-Servicestruktur 133 kann derart eingerichtet sein, dass die Servicevorrichtung 100b an einer Kammeranordnung 100a mit und/oder ohne eine eigene Positionierung-Kammerstruktur 833a, 833b in einer von der Kammeranordnung 100a definierten Übergabeposition 813a, 813b positioniert werden kann.
  • Das Trägergestell 104 kann derart eingerichtet sein, dass, wenn die Servicevorrichtung 100b in einer von einem Prozessierbereich 803a, 803b definierten Übergabeposition 813a, 813b positioniert (z.B. daran angekuppelt) ist, eine Prozessiereinheit 302 (vergleiche 3) zwischen dem Trägergestell 104 und dem Prozessierbereich 803a, 803b verlagert werden kann.
  • Das Trägergestell 104 kann zum Verlagern (z.B. zum Führen, d.h. zum geführten Verlagern) der Prozessiereinheit 302 zumindest eine von folgenden Verlagerhilfen aufweisen: eine Profilführung (z.B. eine Schienenführung und/oder eine Profilschienenführung), eine Lauffläche 104s, eine oder mehrere Laufrollen 104r, einen Schlitten (z.B. einen geführten Schlitten).
  • 2A veranschaulicht eine Servicevorrichtung 100b und eine Kammeranordnung 100a einer Serviceanordnung 200a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse 802 derart eingerichtet sein, dass, wenn die Servicevorrichtung 100b mittels einer Positionierung-Kammerstruktur 833a, 833b (z.B. der ersten Positionierung-Kammerstruktur 833a oder der zweiten Positionierung-Kammerstruktur 833b) positioniert (z.B. daran angekuppelt) ist, eine Prozessiereinheit 302 durch die jeweilige Prozessierbereich-Öffnung 823a, 823b hindurch zwischen dem Prozessierbereich 803a, 803b und der Servicevorrichtung 100b verlagert 201 werden kann, z.B. entlang einer Richtung, welche innerhalb der Ebene 111 (welche z.B. von der Richtung 103 und der Richtung 105 aufgespannt sein kann) liegt, z.B. entlang einer horizontalen Richtung.
  • Der Prozessierbereich 803a, 803b kann zum Verlagern (z.B. zum Führen, d.h. zum geführten Verlagern) zumindest eine von folgenden Verlagerhilfen aufweisen: eine Profilführung (z.B. eine Schienenführung und/oder eine Profilschienenführung), eine Lauffläche 802s, eine oder mehrere Laufrollen 802r, einen Schlitten (z.B. einen geführten Schlitten).
  • Beispielsweise können die Profilführung der Servicevorrichtung 100b und die Profilführung der Kammeranordnung 100a in der Übergabeposition parallel zueinander ausgerichtet sein und/oder miteinander fluchten.
  • 2B veranschaulicht eine Servicevorrichtung 200b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trägergestell 104 mehrere Abstützstrukturen 104a (z.B. Stützbeine) aufweisen, welche mit einem Untergrund (z.B. im Wesentlichen quer zur Richtung 105 verlaufend) in Kontakt gebracht, das Trägergestell 104 stützen können (z.B. ohne dass eine Prozessiereinheit 302 darauf angeordnet ist). Beispielsweise können die Abstützstrukturen 104a zumindest in eine vertikale Richtung (z.B. Richtung 105) verstellbar sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Fahrgestell 106 in einem von dem Trägergestell 104 entkuppelten Zustand relativ zu diesem verlagert 203 werden. Somit kann das Fahrgestell 106 unabhängig von dem Trägergestell 104 relativ zu diesem bewegt sein oder werden.
  • 3 veranschaulicht eine Servicevorrichtung 100b und eine Kammeranordnung 100a einer Serviceanordnung 300a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann auf der Servicevorrichtung 100b eine Prozessiereinheit 302 angeordnet sein oder werden, welche von der Servicevorrichtung 100b getragen werden kann. Die Servicevorrichtung 100b kann z.B. eingerichtet sein, das Trägergestell 104 in einem Abstand zu der Kammeranordnung 100a auf dem Untergrund abzustützen, z.B. nachdem die Servicevorrichtung 100b (z.B. die Prozessiereinheit 302 tragend) von der Kammeranordnung 100a weg verlagert wurde. Somit kann die Prozessiereinheit 302 von allen Richtungen her zugänglich sein.
  • Beispielsweise kann die Servicevorrichtung 100b (z.B. die Prozessiereinheit 302 tragend) in eine Wartungsposition gebracht sein oder werden, in welcher die Prozessiereinheit 302 von allen Richtungen her zugänglich ist. Alternativ oder zusätzlich kann die Servicevorrichtung 100b (z.B. die Prozessiereinheit 302 tragend) in eine Lagerposition gebracht sein oder werden, in der diese abgestellt sein oder werden kann, z.B. um eine weitere Prozessiereinheit 1402 (vergleiche 14) in den Prozessierbereich 803a, 803b hinein zu bringen, und/oder z.B. während die Kammeranordnung 100a wieder in Betrieb genommen wird.
  • Optional kann in der Lagerposition und/oder in der Wartungsposition das Fahrgestell 106 von dem Trägergestell 104 entkuppelt werden, so dass das Fahrgestell 106 zum Kuppeln mit einem weiteren Trägergestell 1204 (vergleiche 12B) und/oder zum Verlagern des weiteren Trägergestells 1204 verwendet werden kann. Dann kann nur das Trägergestell 104 in der Lagerposition und/oder in der Wartungsposition verbleiben.
  • Optional kann die Servicevorrichtung 100b eine Prozessiereinheit-Kupplung 304 aufweisen, welche zum Ankuppeln der Prozessiereinheit 302 an das Trägergestell 104 eingerichtet sein kann. Im gekuppelten Zustand kann die Prozessiereinheit 302 mittels der Prozessiereinheit-Kupplung 304 mit dem Trägergestell 104 verbunden sein (z.B. lösbar). Somit kann die Prozessiereinheit 302 an dem Trägergestell 104 befestigt sein, was dessen Standsicherheit erhöht, während die Servicevorrichtung 100b, die Prozessiereinheit 302 tragend, verlagert wird. Beispielsweise kann die Prozessiereinheit-Kupplung 304 einen Haken aufweisen und die Prozessiereinheit 302 eine passende Öse und/oder einen passenden Vorsprung, in welche der Haken eingreifen kann. Alternativ oder zusätzlich kann die Prozessiereinheit 302 einen Haken aufweisen und die Prozessiereinheit-Kupplung 304 eine passende Öse und/oder einen passenden Vorsprung, in welche der Haken eingreifen kann.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Abstützstrukturen 104a jede in eine horizontale Richtung verlängerbar sein. Beispielsweise können die Abstützstrukturen 104a jeweils ein Gewinde aufweisen, welches zum Kontaktieren des Untergrunds (in Kontakt bringen mit dem Untergrund) in horizontale Richtung herausgeschraubt werden kann.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zumindest eine Abstützstruktur 104a ein Gelenk 104g aufweisen, welches die Abstützstruktur 104a entlang einer horizontalen Richtung (z.B. in der von Richtung 103 und Richtung 101 aufgespannten Ebene) schwenkbar lagert. Somit kann eine Abstützweite (maximale Ausdehnung der von den Abstützstrukturen 104a aufgespannten Standfläche) vergrößert werden, indem die mittels des Gelenks 104g gelagerte Abstützstruktur 104a von dem Trägergestell 104 weg geklappt wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Servicevorrichtung 100b, z.B. das Fahrgestell 106, eine Blockier-Vorrichtung 106s aufweisen, welche zum Blockieren zumindest eines Freiheitsgrades (z.B. beider Freiheitsgrade) des Fahrgestells 106 eingerichtet ist. Somit kann die Servicevorrichtung 100b in einem Blockier-Zustand der Blockier-Vorrichtung 106s sicher abgestellt sein oder werden. Beispielsweise kann die Blockier-Vorrichtung 106s derart eingerichtet sein, dass diese die Rollen 106r des Fahrgestells 106 blockiert und/oder von Hand betätigt werden kann.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Servicevorrichtung 100b eine Lastübertragungsstruktur 104u aufweisen, welche in einem Zustand, in dem die Prozessiereinheit 302 auf die Servicevorrichtung 100b verlagert ist, eine Teillast der Prozessiereinheit 302 tragen kann. Die Lastübertragungsstruktur 104u kann beispielsweise ein Gewinde aufweisen, welches zum Kontaktieren der Prozessiereinheit 302 (in Kontakt bringen mit der Prozessiereinheit 302) in einer vertikalen Richtung verstellbar (z.B. verlängerbar) ist, z.B. in die vertikale Richtung herausgeschraubt werden kann.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessiereinheit 302 zumindest eine Laufrolle 302r (eine oder mehrere Laufrollen 302r) aufweisen, welche derart eingerichtet ist, dass die Prozessiereinheit 302 mittels der zumindest einen Laufrollen 302r in dem Prozessierbereich 803a, 803b abgestützt werden kann, z.B. auf dessen Verlagerhilfe.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Prozessierbereich 803a, 803b eine Lauffläche 802s aufweisen, welche beispielsweise eine Profilführung (z.B. eine Linearführung) aufweisen oder daraus gebildet sein kann, z.B. zumindest eine Schienenführung und/oder zumindest eine Profilschienenführung (eine oder mehrere Schienenführungen und/oder eine oder mehrere Profilschienenführungen). Optional kann die Profilführung (z.B. die Linearführung) in ihrem Endabschnitt abgeschrägt sein (d.h. in eine Richtung weg von dem Prozessierbereich 803a, 803b), in dem Endabschnitt eine Rampe aufweisen. Damit kann ein Auflegen und/oder ein Einführen der Prozessiereinheit 302 auf die und/oder in die Profilführung erleichtert sein oder werden.
  • 4 veranschaulicht eine Servicevorrichtung 100b und eine Kammeranordnung 100a einer Serviceanordnung 400 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann auf der Servicevorrichtung 100b eine Prozessiereinheit 302 angeordnet sein oder werden, welche von der Servicevorrichtung 100b getragen werden kann. Die Servicevorrichtung 100b kann z.B. eingerichtet sein, das Trägergestell 104 in Kontakt mit der Kammeranordnung 100a auf dem Untergrund abzustützen, z.B. nachdem, während oder bevor die Servicevorrichtung 100b zwischen der Kammeranordnung 100a und der Servicevorrichtung 100b verlagert wurde/wird. Somit kann die Prozessiereinheit 302 in der Übergabeposition (z.B. direkt an der Kammeranordnung 100a) belassen werden und z.B. später wieder in die Kammeranordnung 100a hinein verlagert werden.
  • Optional kann in der Übergabeposition 813a, 813b das Fahrgestell 106 von dem Trägergestell 104 entkuppelt werden, so dass das Fahrgestell 106 zum Kuppeln mit einem weiteren Trägergestell 1204 und zum Verlagern des weiteren Trägergestells 1204 verwendet werden kann. Dann kann nur das Trägergestell 104 in der Übergabeposition 813a, 813b verbleiben.
  • In einer Teillast-Position der Prozessiereinheit 302 kann die Prozessiereinheit 302 in dem Prozessierbereich 803a, 803b abgestützt sein oder werden. Beispielsweise kann die Prozessiereinheit 302 mit ihrer zumindest einen Laufrolle 302r auf dem Prozessierbereich 803a, 803b abgestützt sein oder werden, z.B. auf dessen Lauffläche 802s. Beispielsweise können die zumindest eine Laufrolle 302r (z.B. in der Teillast-Position) und die Profilführung (z.B. die Linearführung) ineinander greifen, z.B. die zumindest eine Laufrolle 302r und die zumindest eine Schienenführung und/oder die zumindest eine Laufrolle 302r und die zumindest eine Profilschienenführung.
  • In der Teillast-Position kann die Lastübertragungsstruktur 104u zum Übernehmen einer Teillast der Prozessiereinheit 302 mit dieser in Kontakt gebracht werden, z.B. zum Verlagern der Prozessiereinheit 302 von dem Prozessierbereich 803a, 803b auf das Trägergestell 104. Die Lastübertragungsstruktur 104u kann eingerichtet sein, die Prozessiereinheit 302 von der Lauffläche 802s abzuheben, d.h. eine auf der Lauffläche 802s aufliegende Teillast der Prozessiereinheit 302 zu übernehmen.
  • Alternativ oder zusätzlich kann die Lastübertragungsstruktur 104u in der Teillast-Position zum Übergeben einer Teillast der Prozessiereinheit 302 von dieser gelöst (d.h. der Kontakt mit dieser) werden, z.B. zum Verlagern der Prozessiereinheit 302 von dem Trägergestell 104 in den Prozessierbereich 803a, 803b.
  • Die Lastübertragungsstruktur 104u kann eingerichtet sein, die Prozessiereinheit 302 auf die Lauffläche 802s aufzulegen, d.h. eine in dem Prozessierbereich 803a, 803b z.B. auf der Lastübertragungsstruktur 104u aufliegende Teillast der Prozessiereinheit 302 an die Lauffläche 802s zu übergeben.
  • Optional kann die Positionierung-Servicestruktur 133 eine Ankuppel-Struktur 133k aufweisen, welche zum Ankuppeln der Servicevorrichtung 100b, z.B. des Trägergestells 104, an die Kammeranordnung 100a eingerichtet sein kann. Im gekuppelten Zustand kann die Servicevorrichtung 100b, z.B. das Trägergestell 104, mittels der Ankuppel-Struktur 133k mit der Kammeranordnung 100a verbunden sein. Somit kann die Servicevorrichtung 100b, z.B. das Trägergestell 104, sicher an der Kammeranordnung 100a befestigt sein, was die Stabilität und Sicherheit erhöht, während die Prozessiereinheit 302 verlagert wird. Beispielsweise kann die Ankuppel-Struktur 133k einen Haken aufweisen und die Kammeranordnung 100a eine passende Öse und/oder einen passenden Vorsprung, in welche der Haken eingreifen kann. Alternativ oder zusätzlich kann die Kammeranordnung 100a einen Haken aufweisen und die Ankuppel-Struktur 133k eine passende Öse und/oder einen passenden Vorsprung, in welche der Haken eingreifen kann.
  • 5 veranschaulicht eine Servicevorrichtung 100b und eine Kammeranordnung 100a einer Serviceanordnung 500 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Servicevorrichtung 100b, z.B. das Trägergestell 104, eine Lauffläche 104s aufweisen, welche beispielsweise eine Profilführung (z.B. eine Linearführung) aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. zumindest eine Schienenführung und/oder zumindest eine Profilschienenführung.
  • Wenn die Prozessiereinheit 302 in den Prozessierbereich 803a, 803b gebracht ist, kann ein Wandelement 112w der Prozessiereinheit 302 die Prozessierbereich-Öffnung 823a, 823b des Prozessierbereichs 803a, 803b verschließen, z.B. vakuumdicht.
  • 6 veranschaulicht eine Servicevorrichtung 100b und eine Kammeranordnung 100a einer Serviceanordnung 600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • In einer ersten Teillast-Position 302a kann eine erste Teillast der Prozessiereinheit 302 von der Servicevorrichtung 100b übernommen werden, z.B. indem die Prozessiereinheit 302 auf die Servicevorrichtung 100b aufgelegt wird. Durch das Verlagern 201 der Prozessiereinheit 302 kann diese aus der ersten Teillast-Position 302a in eine zweite Teillast-Position 302b gebracht werden, in welcher eine zweite Teillast der Prozessiereinheit 302 von der Servicevorrichtung 100b übernommen werden kann, z.B. indem die Lastübertragungsstruktur 104u mit der Prozessiereinheit 302 in Kontakt gebracht wird.
  • Optional kann in der zweiten Teillast-Position 302b eine dritte Teillast der Prozessiereinheit 302 von der Servicevorrichtung 100b übernommen werden, z.B. indem die Prozessiereinheit 302 mittels der Lastübertragungsstruktur 104u von der Kammeranordnung 100a gelöst wird, z.B. indem die Prozessiereinheit 302 mittels der Lastübertragungsstruktur 104u von der Lauffläche 802s des Prozessierbereichs 803a, 803b abgehoben wird.
  • 7 veranschaulicht eine Servicevorrichtung 100b und eine Kammeranordnung 100a einer Serviceanordnung 700 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen 833a, 833b zumindest eine Führungsstruktur 702 (z.B. eine erste Führungsstruktur und optional eine zweite Führungsstruktur) aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ oder zusätzlich kann die Positionierung-Servicestruktur 133 zumindest eine Führungsstruktur 702 (z.B. eine erste Führungsstruktur und optional eine zweite Führungsstruktur) aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Die zumindest eine Führungsstruktur 702 kann ein Führen der Servicevorrichtung 100b in die Übergabeposition 813a, 813b bewirken, z.B. während die Servicevorrichtung 100b an die Kammeranordnung 100a, z.B. deren Prozessierbereich 803a, 803b, angenähert wird.
  • Die zumindest eine Führungsstruktur 702 kann ein spitz zulaufendes Profil (d.h. zumindest zwei Flächen, die in einem spitzen Winkel zueinander verlaufen) aufweisen, z.B. ein prismatisches Profil (eine Prisma-Führungsstruktur, z.B. eine Prismenführung) und/oder ein keilförmiges Profil.
  • Beispielsweise können die Positionierung-Kammerstruktur und die Positionierung-Servicestruktur 133 ein spitz zulaufendes Profil aufweisen (z.B. einmal ein vorstehendes Profil und einmal ein vertieftes Profil), welche zum Führen ineinandergreifen.
  • Die Lastübertragungsstruktur 104u kann alternativ auch an der Prozessiereinheit 302 befestigt sein oder werden, bzw. es kann zumindest eine Lastübertragungsstruktur 104u an der Servicevorrichtung 100b befestigt sein und/oder und zumindest eine Lastübertragungsstruktur 104u kann an der Prozessiereinheit 302 befestigt sein oder werden.
  • 8 veranschaulicht eine Servicevorrichtung 100b und eine Kammeranordnung 100a einer Serviceanordnung 800 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen 833a, 833b zumindest eine Stoppstruktur 812 aufweisen, welche einen Abstand der Servicevorrichtung 100b von der Kammeranordnung 100a definiert, wobei die Übergabeposition 813a, 813b den Abstand aufweist. Alternativ oder zusätzlich kann die Positionierung-Servicestruktur 133 zumindest eine Stoppstruktur 812 aufweisen.
  • 9 veranschaulicht eine Positionierung-Struktur 900 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Die Positionierung-Struktur 900 kann zumindest eine Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen 833a, 833b und/oder die Positionierung-Servicestruktur aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen 833a, 833b eine erste Führungsstruktur 702a und/oder eine zweite Führungsstruktur 702b aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann die Positionierung-Servicestruktur 133 zumindest eine erste Führungsstruktur 702a und/oder eine zweite Führungsstruktur 702b aufweisen.
  • Beispielsweise können die erste Führungsstruktur 702a der Positionierung-Kammerstruktur und die erste Führungsstruktur 702a der Positionierung-Servicestruktur 133 zum Ineinandergreifen miteinander eingerichtet sein. Alternativ oder zusätzlich können die zweite Führungsstruktur 702b der Positionierung-Kammerstruktur und die zweite Führungsstruktur 702b der Positionierung-Servicestruktur 133 zum Ineinandergreifen miteinander eingerichtet sein.
  • Die erste Führungsstruktur 702a (der Positionierung-Kammerstruktur 833a, 833b und/oder Positionierung-Servicestruktur 133) kann einen ersten Bewegungspfad definieren, entlang dessen die Servicevorrichtung 100b beim Annähern an die Kammeranordnung 100a geführt wird, welcher die zweite Führungsstruktur in (der Positionierung-Kammerstruktur 833a, 833b und/oder Positionierung-Servicestruktur 133) in Eingriff bringt. Mit anderen Worten kann die erste Führungsstruktur 702a ein Führen in die zweite Führungsstruktur 702b hinein bewirken.
  • Die zweite Führungsstruktur kann einen zweiten Bewegungspfad definieren, entlang dessen die Servicevorrichtung 100b beim Annähern an die Kammeranordnung 100a geführt wird, welcher die Servicevorrichtung 100b in die Übergabeposition bringt. Mit anderen Worten kann die zweite Führungsstruktur 702b ein Führen der Servicevorrichtung 100b in die Übergabeposition bewirken.
  • Die zweite Führungsstruktur 702b kann eine Lage (z.B. quer zu der Ebene 111) definieren.
  • 10 veranschaulicht eine Positionierung-Struktur 1000 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht oder Schnittansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Die Positionierung-Struktur 900 kann zumindest eine Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen 833a, 833b und/oder die Positionierung-Servicestruktur aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Die erste Führungsstruktur 702a der Positionierung-Struktur 900 kann eine Profilführung 1002 (z.B. eine Linearführung 1002) aufweisen, in welche eine drehbar gelagerte Rolle 1004 eingreift.
  • Die Profilführung 1002 kann ein Ausrichten (z.B. in einem, zwei oder drei Winkeln im Raum) der Servicevorrichtung 100b relativ zu der Kammeranordnung 100a bewirken, wobei die Übergabeposition 813a, 813b die Ausrichtung aufweist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Führungsstruktur 702a eine aufgeweitete Öffnung 1006 aufweisen, welche ein Eingreifen der Rolle in die Profilführung 1002 erleichtert.
  • 11A veranschaulicht eine Prozessiereinheit 302 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht.
  • Die Prozessiereinheit 302 kann zumindest eine Prozessiervorrichtung 1102 (eine oder mehrere Prozessiervorrichtungen 1102 aufweisen).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessiereinheit 302, z.B. eine Prozessiervorrichtung 1102 der Prozessiereinheit 302, zumindest eine von folgenden Prozessierquellen aufweisen: eine Wärmequelle (z.B. eine Wärmestrahlungsquelle); eine Arbeitsgasquelle, eine Inertgasquelle; eine Reaktivgasquelle; eine Spülgasquelle; eine Präkursorgasquelle; eine Materialdampfquelle; eine Wärmesenke (z.B. eine Wärmestrahlungssenke); eine Lichtquelle; eine Plasmaquelle; eine Teilchenstrahlquelle; eine Ätzgasquelle; eine Lichtbogenquelle; eine Glimmentladungsquelle; eine Wärmeabschirmung; eine Dunkelfeldabschirmung; eine Gasführung.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessiereinheit 302 zumindest eine der folgenden Prozessiervorrichtungen 1102 aufweisen: eine Beschichtungsvorrichtung; eine Kühlvorrichtung; eine Heizvorrichtung; eine Implantationsvorrichtung; eine Reinigungsvorrichtung; eine Ätzvorrichtung; und/oder eine Evakuierungsvorrichtung.
  • Eine Beschichtungsvorrichtung kann zum Beschichten eines Substrats eingerichtet sein und beispielsweise zumindest eine von folgenden Prozessierquellen aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Thermisch-Materialdampfquelle eine Zerstäubung-Materialdampfquelle und/oder Reaktivgasquelle. Die Reaktivgasquelle kann zum Emittieren eines Reaktivgases eingerichtet sein, welches unter einer chemischen Reaktion eine Schicht auf dem Substrat bildet (chemische Gasphasenabscheidung). Eine Materialdampfquelle kann zum Erzeugen und Emittieren eines Materialdampfs eingerichtet sein, z.B. mittels thermischer Verdampfung eines Beschichtungsmaterials (Thermisch-Materialdampfquelle) und/oder mittels Zerstäubens (das so genannte Sputtern) eines Beschichtungsmaterials (Zerstäubung-Materialdampfquelle).
  • Eine Heizvorrichtung kann zum Erwärmen eingerichtet sein und beispielsweise zumindest eine von folgenden Prozessierquellen aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Wärmestrahlungsquelle, eine Gasquelle, eine Gasführungsstruktur. Die Gasquelle kann zum Emittieren eines Inertgases eingerichtet sein, welches z.B. mittels Konvektion einen Wärmetransport zu der Kühlvorrichtung hin bereitstellt. Die Wärmestrahlungsquelle kann zum Erzeugen und Emittieren von Wärmestrahlung eingerichtet sein.
  • Eine Kühlvorrichtung (Kühleinheit) kann zum Kühlen eingerichtet sein und beispielsweise zumindest eine von folgenden Prozessierquellen aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Wärmestrahlungssenke, eine Gasquelle, eine Gasführungsstruktur, einen Wärmetauscher. Die Wärmestrahlungssenke kann eingerichtet sein, mehr Wärmestrahlung zu absorbieren als zu emittieren. Der Wärmetauscher kann beispielsweise zum Übertragen von thermischer Energie (Wärme) zwischen zwei Stoffströmen (z.B. Inertgas und Kühlflüssigkeit) oder zwischen der Wärmestrahlungssenke und der Kühlflüssigkeit eingerichtet sein.
  • Eine Ätzvorrichtung kann zum Abtragen von Material eingerichtet sein und beispielsweise zumindest eine von folgenden Prozessierquellen aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Plasmaquelle, eine Ionenstrahlquelle, eine Ätzgasquelle, ein Gasführungsstruktur. Die Ionenstrahlquelle kann zum Erzeugen und Emittieren eines Ionenstrahls eingerichtet sein. Die Plasmaquelle kann zum Erzeugen und Emittieren eines Plasmas eingerichtet sein. Die Plasmaquelle kann zum Emittieren eines Ätzgases eingerichtet sein, welches derart eingerichtet ist, dass es ein Material des Substrats (Substratmaterial) ätzt (d.h. mit diesem chemisch reagiert).
  • Eine Implantationsvorrichtung kann zum Implantieren eines Dotanten eingerichtet sein und beispielsweise zumindest eine von folgenden Prozessierquellen aufweisen oder daraus gebildet sein: eine chemisch-Dotierstoffquelle, und/oder eine physikalisch-Dotierstoffquelle. Die chemisch-Dotierstoffquelle kann zum Emittieren einer gasförmigen Dotantenquelle (z.B. ein Reaktivgas und/oder ein Präkursorgas) eingerichtet sein, welches eine zu dotierende Atomsorte (mit anderen Worten den Dotanten) aufweist, d.h. die Atomsorte, welche in die Schicht eingebaut wird. Beispielsweise kann die gasförmige Dotantenquelle aus dem Dotanten gebildet sein (z.B. Stickstoff). Eine physikalisch-Dotierstoffquelle kann zum Emittieren eines Ionenstrahls eingerichtet sein, welcher den Dotanten aufweist.
  • Eine Evakuierungsvorrichtung (anschaulich eine Gassenke) kann zum Bilden eines Unterdrucks, z.B. eines Vakuums, eingerichtet sein (z.B. mit einem vorgegebenen Druck und/oder einer vorgegebenen Zusammensetzung) und beispielsweise zumindest eine von folgenden Prozessierquellen aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Kühlfalle, eine Hochvakuumpumpe (z.B. eine Turbomolekularpumpe, eine Sublimationspumpe, eine Sorptionspumpe und/oder eine Kryopumpe), eine Grobvakuumpumpe.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessiervorrichtung 1102 an dem Wandelement 112w befestigt sein.
  • Eine Prozessiereinheit kann optional eine Gasseparationsvorrichtung aufweisen, welche ein oder mehrere Gasseparationsplatten und/oder eine Spülgasquelle (Gasseparationsgasquelle) aufweisen kann. Die Spülgasquelle kann zum Emittieren eines Spülgases (Gasseparationsgases) eingerichtet sein.
  • 11B veranschaulicht eine Servicevorrichtung 100b und eine Kammeranordnung 100a eine Serviceanordnung 1100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Die Serviceanordnung 1100 kann die Prozessiereinheit 302 aufweisen.
  • Ist die Prozessiereinheit 302 in dem Prozessierbereich 803a, 803b angeordnet, z.B. nachdem diese in den Prozessierbereich 803a, 803b (z.B. dem ersten Prozessierbereich 803a oder dem zweiten Prozessierbereich 803b) hinein verlagert wurde und/oder bevor diese aus dem Prozessierbereich 803a, 803b (z.B. dem ersten Prozessierbereich 803a oder dem zweiten Prozessierbereich 803b) heraus verlagert wird, kann das Wandelement 112w die Prozessierbereich-Öffnung 823a, 823b verschließen, z.B. vakuumdicht. Dazu kann das Wandelement 112w die Prozessierbereich-Öffnung 823a, 823b abdecken, z.B. überlappend.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessiereinheit 302 aus dem Prozessierbereich 803a, 803b (z.B. dem ersten Prozessierbereich 803a oder dem zweiten Prozessierbereich 803b) heraus und auf die Servicevorrichtung 100b verlagert 201 werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessiereinheit 302 von der Servicevorrichtung 100b in den Prozessierbereich 803a, 803b (z.B. den ersten Prozessierbereich 803a) hinein verlagert 201 werden, z.B. nachdem diese aus dem ersten Prozessierbereich 803a oder dem zweiten Prozessierbereich 803b herausverlagert wurde.
  • 12A veranschaulicht eine Servicevorrichtung 100b und eine Kammeranordnung 100a eine Serviceanordnung 1200a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessiereinheit 302 von der Servicevorrichtung 100b in den Prozessierbereich 803a, 803b (z.B. dem zweiten Prozessierbereich 803a) hinein verlagert 201 werden, z.B. nachdem diese aus dem ersten Prozessierbereich 803a oder dem zweiten Prozessierbereich 803b herausverlagert wurde.
  • 12B veranschaulicht eine Servicevorrichtung 100b und eine Prozessiereinheit 302 einer Serviceanordnung 1200b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trägergestell 104 mehrere Abstützstrukturen 104a (z.B. Stützbeine) aufweisen, welche mit einem Untergrund (z.B. im Wesentlichen quer zur Richtung 105 verlaufend) in Kontakt gebracht, das Trägergestell 104 stützen können. Beispielsweise können die Abstützstrukturen 104a zumindest in eine vertikale Richtung (z.B. Richtung 105) verstellbar sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Fahrgestell 106 in einem von dem Trägergestell 104 entkuppelten Zustand relativ zu diesem verlagert 203 werden, z.B. wenn eine Prozessiereinheit 302 darauf angeordnet ist. Somit kann das Fahrgestell 106 unabhängig von dem Trägergestell 104 relativ zu diesem bewegt sein oder werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Fahrgestell 106 von dem ersten Trägergestell 104 entkuppelt werden, zu einem zweiten Trägergestell 1204 (auch als weiteres Trägergestell 1204 bezeichnet) gebracht werden und dann mit dem zweiten Trägergestell 1204 gekuppelt werden. Auf dem ersten Trägergestell 104 und/oder auf dem zweiten Trägergestell 1204 kann eine Prozessiereinheit 302 angeordnet sein oder werden. Beispielsweise kann zumindest auf dem ersten Trägergestell 104 und/oder auf dem zweiten Trägergestell 1204 keine Prozessiereinheit 302 angeordnet sein.
  • Optional kann das erste Trägergestell 104 mittels des Fahrgestells 106 von einer Kammeranordnung 100a weg oder zu einer Kammeranordnung 100a hin verlagert werden, z.B. bevor das Fahrgestell 106 von dem ersten Trägergestell 104 entkoppelt wird oder ist. Alternativ oder zusätzlich kann das zweite Trägergestell 1204 mittels des Fahrgestells 106 von einer Kammeranordnung 100a weg oder zu einer Kammeranordnung 100a hin verlagert werden, z.B. nachdem das Fahrgestell 106 mit dem zweiten Trägergestell 104 gekoppelt wird oder ist.
  • 13A und 13B veranschaulichen jeweils eine Kammeranordnung 100a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung 100a zumindest eine Kammer 1302 (eine oder mehrere Kammern 1302) aufweisen, welche mittels des Kammergehäuses 802 bereitgestellt sein oder werden kann. Die zumindest eine Kammer 1302 kann eingerichtet sein, ein Vakuum darin zu erzeugen und zu erhalten. Die zumindest eine Kammer 1302 kann dazu beispielsweise luftdicht, staubdicht und/oder vakuumdicht eingerichtet und/oder verschlossen sein oder werden. Mit anderen Worten kann die zumindest eine Kammer 1302 als Vakuumkammer eingerichtet sein. Optional können die jeweils zwei aneinandergrenzende Kammern 1302 der Kammeranordnung 100a miteinander verbunden sein, z.B. durch eine Substrat-Transferöffnung der Kammeranordnung 100a hindurch.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 100a ein Pumpensystem 804 (aufweisend zumindest eine Hochvakuumpumpe) aufweisen. Das Pumpensystem 804 kann eingerichtet sein, der zumindest einen Kammer 1302 (z.B. eine Vakuumkammer) ein Gas (z.B. das Prozessgas) zu entziehen, so dass innerhalb der zumindest einen Kammer 1302 ein Vakuum (d.h. ein Druck kleiner als 0,3 bar) und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10-3 mbar bis ungefähr 10-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) oder ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10-7 mbar (mit anderen Worten Ultrahochvakuum) bereitgestellt sein oder werden kann.
  • Ferner kann die zumindest eine Kammer 1302 derart eingerichtet sein, dass die Vakuumbedingungen (die Prozessbedingungen) innerhalb der zumindest einen Kammer 1302 (z.B. Prozessdruck, Prozesstemperatur, chemische Prozessgaszusammensetzung, usw.) gestellt oder geregelt werden können, z.B. während des Prozessierens, z.B. mittels einer Steuerung 116.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Steuerung 116 zum Steuern und/oder Regeln der Prozessiereinheit 302 eingerichtet sein, so dass ein Prozessieren eines Substrats 1304 gesteuert und/oder geregelt werden kann.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung 100a eine Gaszuführung 716 aufweisen. Mittels der Gaszuführung 716 kann der zumindest einen Kammer 1302 ein Prozessgas zugeführt werden zum Bilden einer Prozessatmosphäre in der zumindest einen Kammer 1302. Das Prozessgas kann z.B. ein Inertgas aufweisen oder daraus gebildet sein. Der Prozessdruck kann sich aus einem Gleichgewicht an Prozessgas bilden, welches mittels der Gaszuführung 716 zugeführt und mittels des Pumpensystems 804 entzogen wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung 100a eine Abwickelrolle 502a zum Abwickeln eines bandförmigen Substrats 1304 aufweisen, so dass das Substrat 1304 in den Prozessierbereich 803a, 803b hineingebracht wird. Ferner kann die Kammeranordnung 100a eine Aufwickelrolle 502b zum Aufwickeln des bandförmigen Substrats 1304 aufweisen, welches aus dem Prozessierbereich 803a, 803b herausgebracht wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung 100a eine Vielzahl von Transportrollen 508 aufweisen, welche einen Transportpfad definieren, entlang dessen das bandförmige Substrat 1304 zwischen der Abwickelrolle 502a und der Aufwickelrolle 502b durch den Prozessierbereich 803a, 803b hindurch transportiert wird.
  • Alternativ dazu kann die Kammeranordnung 100a eine Vielzahl von Transportrollen 508 aufweisen, welche zum Transportieren eines plattenförmigen Substrats 1306 eingerichtet sind. Das plattenförmige Substrat 1306 kann, z.B. auf den Transportrollen 508 aufliegend und/oder in einen Substratträger eingelegt, transportiert werden.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 100a ein Antriebssystem 518 aufweisen, welches zumindest mit einem Teil der Vielzahl von Transportrollen 508, und optional mit der Abwickelrolle 502a und der Aufwickelrolle 502b, gekoppelt ist. Beispielsweise kann das Antriebssystem 518 mittels Ketten, Riemen oder Zahnrädern mit den Rollen 508, 502a, 502b gekoppelt sein. Die Transportrollen 508 und das Antriebssystem 518 können Teil der Transportvorrichtung sein.
  • 14 veranschaulicht eine Kammeranordnung 100a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Die Kammeranordnung 100a kann mehrere Prozessierbereiche 803a, 803b (auch als Prozessiersektionen bezeichnet) aufweisen, von denen jeder Prozessierbereich 803a, 803b eine Kammeröffnung 823a, 823b aufweist. In jedem der Prozessierbereiche 803a, 803b kann zum Betrieb der Kammeranordnung 100a eine Prozessiereinheit 302, 1402 (erste Prozessiereinheit 302 und zweite Prozessiereinheit 1402) angeordnet sein.
  • Jede Prozessiereinheit 302, 1402 kann ein Wandelement 112w, 212w aufweisen, von denen jedes Wandelement eine Kammeröffnung 823a, 823b verschließt (z.B. vakuumdicht). Ferner kann die erste Prozessiereinheit 302 zumindest eine erste Prozessiervorrichtung 1102a aufweisen und die zweite Prozessiereinheit 1402 (auch als weitere Prozessiereinheit 1402 bezeichnet) kann zumindest eine zweite Prozessiervorrichtung 1102a aufweisen, wobei sich die Prozessiervorrichtungen 1102a, 1102b optional voneinander unterscheiden können.
  • 15 veranschaulicht eine Kammeranordnung 100a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Wandelement 112w vertikal ausgerichtet sein oder werden. Mit anderen Worten kann die Vakuumkammer 114 eine Prozessierbereich-Öffnung 823a, 823b aufweisen, welche das Innere der zumindest einen Kammer 1302, z.B. ein darin bereitgestellter Prozessierbereich 803a, 803b, entlang einer horizontalen Richtung freilegt. Das Wandelement 112w kann von einer Seite (z.B. entlang der horizontalen Richtung) an eine horizontal verlaufende Transportfläche 111f (z.B. Substrattransportebene) herangefahren werden.
  • Die Prozessiereinheit 302 kann zwei Kragarme 120, 220 aufweisen, welche entlang der Transportfläche 111f (z.B. entlang der horizontalen Richtung) erstreckt sind, und oberhalb bzw. unterhalb der Transportfläche 111f angeordnet sind.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der erste Kragarm 120 eine erste Prozessiervorrichtung 1102a (z.B. eine Beschichtungsvorrichtung, z.B. ein Magnetron) zum Prozessieren der Substratoberseite stützen und der zweite Kragarm 120 eine zweite Prozessiervorrichtung 1102b (z.B. eine Heizvorrichtung) zum Prozessieren der Substratunterseite stützen.
  • 16 veranschaulicht ein Verfahren 1600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram.
  • Das Verfahren 1600 kann in 1602 ein Positionieren einer Servicevorrichtung an einer Kammeranordnung aufweisen, wobei mittels des Positionierens die Servicevorrichtung in eine von der Kammeranordnung definierte Übergabeposition gebracht wird. Ferner kann das Verfahren in 1604 ein Verlagern einer Prozessiereinheit zwischen der Servicevorrichtung und der Kammeranordnung aufweisen.
  • Optional kann das Verfahren 1600 wie folgt bereitgestellt sein oder werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zumindest ein Fahrwagen (Fahrgestell) bereitgestellt sein oder werden, mit dem das Trägergestell (z.B. von Hand) zum jeweiligen Einsatzort an der Kammeranordnung gefahren werden kann. Zum Entstücken, d.h. zum Aufnehmen einer Prozesseinheit an einem Prozessierbereich (einer Prozessstation), wird das Trägergestell zunächst vor der Kammeranordnung in eine Übergabeposition gebracht und optional fixiert.
  • Beispielsweise kann das Trägergestell entsprechend auf die Mittelachse des Prozessierbereichs sowie in horizontaler Richtung (längs und quer) ausgerichtet sein oder werden. Optional kann eine Höhe und/oder eine Neigung des Trägergestells derart angepasst sein oder werden (z.B. an eine Übergabehöhe und/oder an eine Übergabeneigung), dass eine Übernahme der Prozesseinheit erleichtert wird.
  • Optional kann das Trägergestell, z.B. nach erfolgter Ausrichtung, in der Übergabeposition, Übergabeneigung und/oder Übergabehöhe fixiert sein oder werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Servicegestell separat (d.h. ohne Fahrgestell) an der jeweiligen Position abgestellt werden.
  • Die Führungsstruktur (z.B. der Kammeranordnung und/oder Servicevorrichtung) kann ein Führungsprofil (z.B. zwei Flächen, z.B. in einem spitzen Winkel zueinander ausgerichtet) aufweisen, welches in eine vertikale Richtung erstreckt ist, z.B. eine Linearführung. Damit kann zum Verstellen der Höhe des Trägergestells ein vertikales Verschieben des Trägergestells ermöglicht werden, ohne einen Abstand des Trägergestells von der Kammeranordnung zu beeinflussen.
  • Nach dem Lösen der Prozesseinheit von dem Prozessierbereich der Kammeranordnung, kann das Trägergestell die Prozessiereinheit übernehmen. Dazu kann die Prozessiereinheit entlang eines Pfades, z.B. in horizontaler Richtung und/oder entlang eines linearen Pfades, aus dem Prozessierbereich heraus und auf das Trägergestell verlagert werden, z.B. heraus gefahren werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Last der Prozessiereinheit beim Verlagern der Prozessiereinheit auf das Trägergestell zunächst von Stützrollen getragen werden, welche an der Prozessiereinheit und/oder an der Kammeranordnung (z.B. in dem Prozessierbereich) befestigt sind. Beispielsweise kann die Prozessiereinheit mit ihren Laufrollen auf einer Lauffläche des Prozessierbereichs (z.B. an einer Kammerzarge angebracht) abrollen. Alternativ oder zusätzlich kann die Lauffläche der Prozessiereinheit auf den Laufrollen des Prozessierbereichs (z.B. an einer Kammerzarge angebracht) abrollen. Die Laufrollen können z.B. ein Fahrwerk bilden. Die Lauffläche der Prozessiereinheit und/oder der Kammeranordnung kann eine Profilführung (z.B. eine Linearführung) aufweisen, welche beispielsweise zumindest eine Schienenführung, zumindest eine Profilschienenführung, und/oder zumindest eine Nutenführung aufweisen kann.
  • Bei einer vordefinierten Teillast-Verlagerstrecke (d.h. einer Strecke, um welche die Prozessiereinheit verlagert wird, z.B. aus dem Prozessierbereich heraus) und/oder bei einer vordefinierten Teillast-Position (z.B. am Ende der Teillast-Verlagerstrecke) der Prozessiereinheit relativ zu der Kammeranordnung (z.B. deren Prozessierbereich) kann eine Teillast der Prozessiereinheit vollständig auf das Trägergestell übergegangen sein, d.h. dann vollständig auf das Trägergestell wirken.
  • Die Teillast kann ein Teil der Last (d.h. einer Gewichtskraft) der Prozessiereinheit sein, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10% bis ungefähr 90% der Last der Prozessiereinheit, z.B. mehr als ungefähr 20%, z.B. mehr als ungefähr 40%, z.B. mehr als ungefähr 60%, z.B. mehr als ungefähr 80%. Die Last kann mehrere Teillasten aufweisen, d.h. zumindest zwei Teillasten.
  • Die Teillast-Verlagerstrecke und/oder die Teillast-Position können von der Prozessiereinheit, der Servicevorrichtung und/oder der Kammeranordnung definiert sein oder werden.
  • Die Teillast-Verlagerstrecke kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem Bereich von ungefähr 1 cm bis ungefähr 10 cm liegen, z.B. ungefähr 5 cm betragen.
  • Wurde die Prozessiereinheit um die Teillast-Verlagerstrecke verlagert und/oder in die Teillast-Position gebracht, kann eine zweite Teillast (z.B. der Rest der Last) von der Kammeranordnung gestützt sein oder werden. Beispielsweise kann zumindest ein Teil der Laufrollen der Prozessiereinheit mit der Kammeranordnung in Kontakt sein und/oder ein Teil der Laufrollen der Kammeranordnung kann mit der Prozessiereinheit in Kontakt sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessiereinheit einen Träger aufweisen, an welchem die Laufrollen befestigt sind.
  • Wurde die Prozessiereinheit um die Teillast-Verlagerstrecke verlagert und/oder in die Teillast-Position gebracht, kann die zweite Teillast von der Lastübertragungsstruktur übernommen werden.
  • Analog kann zumindest eine weitere Teillast-Verlagerstrecke verlagert und/oder eine weitere Teillast-Position definiert sein oder werden. Analog kann jeweils eine Teillast der Prozessiereinheit bei jeder der weiteren Teillast-Verlagerstrecke verlagert und/oder weiteren Teillast-Positionen von der Lastübertragungsstruktur übernommen werden, z.B. schrittweise.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Last der Prozessiereinheit vollständig von dem Trägergestell übernommen sein oder werden, kurz bevor die Prozessiereinheit den Prozessierbereich verlässt, z.B. kurz bevor die Prozessiereinheit den Kontakt zum Prozessierbereich verliert, beispielsweise die letzte Laufrolle von der Lauffläche.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Prozessiereinheit mittels der Servicevorrichtung (d.h. mit aufgenommener Prozesseinheit) und/oder kann das Trägergestell mittels des Fahrgestells auf einem Untergrund, z.B. einem Hallenboden oder auch über größere Entfernungen innerhalb der Anlagenumgebung, verlagert werden.
  • Die Servicevorrichtung kann mehrere Trägergestelle aufweisen, von denen jedes Trägergestell optional eine Prozessiereinheit aufgenommen haben kann. Das Fahrgestell kann zum Verlagern jedes einzelnen Trägergestells eingerichtet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trägergestell nach dem Verlagern von der Kammeranordnung gelöst werden (z.B. wenn dieses an der Kammeranordnung fixiert ist). Nach dem Lösen der Fixierung des Trägergestells an der Kammeranordnung kann die Prozesseinheit mittels der Servicevorrichtung verlagert werden, z.B. verfahren werden.
  • In umgekehrter Richtung wird die Servicevorrichtung, optional mit aufgenommener Prozesseinheit, an den jeweiligen Prozessierbereich heran gefahren und in Quer- und Längsrichtung sowie in der Neigung (z.B. an die Übergabeneigung) ausgerichtet und optional an der Kammeranordnung fixiert.
  • Nach der Positionierung der Servicevorrichtung, und optionalem Anpassen der Höhen und/oder der Neigung des Trägergestells, kann die Prozesseinheit in den Prozessierbereich hinein verlagert werden, z.B. bis zum vollständigen Anliegen des Wandelements (z.B. ein Dichtflansch) an der Kammeranordnung (z.B. an deren Kammerzarge). Die Kammerzarge kann als Rahmen verstanden werden, welche die Prozessierbereich-Öffnung umgibt.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können alle notwendigen Verfahr- und Einstellbewegungen von Hand erfolgen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können alle Sicherheitsvorkehrungen mechanisch erfolgen. Beispielsweise kann das Trägergestell bei maximaler Abstützweite erdbebensicher (zumindest bis 0,8·G) ausgelegt sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zumindest eines von Folgendem bereitgestellt sein oder werden: Eine Trennung zwischen Trägergestell und Fahrgestell, wodurch die Anzahl an benötigten Komponenten reduziert wird, da ein Fahrgestell oder jedes Fahrgestell für alle Trägergestelle verwendet werden kann; es ist keine Anpassung des Untergrunds (z.B. eines Hallenbodens) nötig, d.h. Schienen oder Führungshilfen werden nicht benötigt, was Kosten, Personal und Aufwand spart; eine freie Beweglichkeit des Fahrgestells mit oder ohne Trägergestell und optional auf dieser aufgenommener Prozesseinheit, z.B. innerhalb eines Wartungsbereiches (welcher z.B. von dem Hallenboden definiert wird); eine hohe Flexibilität bei Änderung der Konfiguration der Prozessieranordnung, da jedes Trägergestell mit jeder Prozesseinheit verwendet werden kann und jedes Trägergestell an jedem Prozessierbereich der Kammeranordnung verwendet werden kann; es kann kein Kran zum Verlagern einer Prozessiereinheit aus der Kammeranordnung heraus und/oder in die Kammeranordnung hinein benötigt werden.

Claims (11)

  1. Kammeranordnung (100a), aufweisend: • ein Kammergehäuse (802), welches mehrere Prozessierbereiche (803a, 803b) aufweist, von denen jeder Prozessierbereich eine Übergabeposition (813a, 813b) definiert und von jeweils einer Öffnung in dem Kammergehäuse (802) freigelegt ist; • mehrere Positionierung-Kammerstrukturen (833a, 833b), von denen jede Positionierung-Kammerstruktur genau einem Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche (803a, 803b) zugeordnet ist und zum Positionieren einer dazu passenden Servicevorrichtung in dessen Übergabeposition (813a, 813b) eingerichtet ist; • wobei das Kammergehäuse (802) derart eingerichtet ist, dass, wenn die Servicevorrichtung (100b) mittels einer Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen (833a, 833b) positioniert ist, eine Prozessiereinheit durch die jeweilige Öffnung hindurch zwischen dem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich und der Servicevorrichtung (100b) bewegt werden kann von der Servicevorrichtung (100b) in den der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung (100a) hinein oder aus dem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung (100b) heraus auf die Servicevorrichtung (100b).
  2. Kammeranordnung (100a) gemäß Anspruch 1, wobei jede Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen (833a, 833b) zumindest eine Führungsstruktur aufweist, welche beim Annähern der Servicevorrichtung (100b) an einen Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche (803a, 803b) ein Führen dieser in dessen Übergabeposition (813a, 813b) bewirkt.
  3. Kammeranordnung (100a) gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei jeder Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche (803a, 803b) eine Profilführung aufweist, welche einen Pfad definiert, entlang dessen eine Prozessiereinheit beim Verlagern geführt wird.
  4. Servicevorrichtung (100b), aufweisend: • ein Trägergestell (104); • ein Fahrgestell (106) zum Tragen des Trägergestells (104) ; • eine Positionierung-Servicestruktur (133), welche zum Positionieren der Servicevorrichtung (100b) in eine von einer Kammeranordnung (100a) definierten Übergabeposition (813a, 813b) eingerichtet ist; • wobei das Trägergestell (104) derart eingerichtet ist, dass, wenn die Servicevorrichtung (100b) an der Kammeranordnung (100a) positioniert ist, eine Prozessiereinheit zwischen dem Trägergestell (104) und der Kammeranordnung (100a) bewegt werden kann von dem Trägergestell (104) in einen Prozessierbereich der Kammeranordnung (100a) hinein oder aus dem Prozessierbereich der Kammeranordnung (100b) heraus auf das Trägergestell (104).
  5. Servicevorrichtung (100b) gemäß Anspruch 4, wobei das Fahrgestell (106) zumindest zwei Translationsfreiheitsgrade bereitstellt entlang denen das Fahrgestell (106) zum Positionieren beweglich ist.
  6. Servicevorrichtung (100b) gemäß Anspruch 4 oder 5, wobei die Positionierung-Servicestruktur (133) zumindest eine Führungsstruktur aufweist, welche beim Annähern der Servicevorrichtung (100b) an die Kammeranordnung (100a) ein Führen des Fahrgestells (106) in die Übergabeposition (813a, 813b) bewirkt.
  7. Servicevorrichtung (100b) gemäß einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei das Trägergestell (104) mehrere verstellbare Abstützstrukturen (104a) aufweist, welche zum Abstützen auf einem Untergrund mit diesem in Kontakt gebracht werden können.
  8. Servicevorrichtung (100b) gemäß Anspruch 7, wobei von den mehreren Abstützstrukturen (104a) zumindest zwei Abstützstrukturen zum Verstellen einer Abstützweite in ihrem Abstand voneinander verstellbar sind.
  9. Servicevorrichtung (100b) gemäß einem der Ansprüche 4 bis 8, wobei das Trägergestell (104) und das Fahrgestell (106) zum Entkuppeln voneinander und zum Kuppeln miteinander eingerichtet sind.
  10. Serviceanordnung, aufweisend: • ein Kammergehäuse (802), welches mehrere Prozessierbereiche (803a, 803b) aufweist, von denen jeder Prozessierbereich eine Übergabeposition (813a, 813b) definiert und von jeweils einer Öffnung in dem Kammergehäuse (802) freigelegt ist; • mehrere Positionierung-Kammerstrukturen (833a, 833b), von denen jede Positionierung-Kammerstruktur genau einem Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche (803a, 803b) zugeordnet ist; • eine Servicevorrichtung (100b), welche ein Fahrgestell (106) und eine Positionierung-Servicestruktur (133) aufweist; • wobei die Positionierung-Servicestruktur (133) und jede der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen (833a, 833b) zum Positionieren aneinander eingerichtet sind, wodurch die Servicevorrichtung (100b) in die jeweilige Übergabeposition (813a, 813b) gebracht wird; • wobei das Kammergehäuse (802) und die Servicevorrichtung (100b) derart eingerichtet sind, dass, wenn die Servicevorrichtung (100b) mittels einer Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen (833a, 833b) positioniert ist, eine Prozessiereinheit durch die jeweilige Öffnung hindurch zwischen dem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich und der Servicevorrichtung (100b) bewegt werden kann von der Servicevorrichtung (100b) in den der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung (100a) hinein oder aus dem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung (100b) heraus auf die Servicevorrichtung (100b).
  11. Verfahren (1600), aufweisend: • Positionieren (1602) einer Servicevorrichtung (100b) relativ zu einer Kammeranordnung (100a), wobei mittels des Positionierens die Servicevorrichtung (100b) in eine von der Kammeranordnung (100a) definierte Übergabeposition (813a, 813b) gebracht wird; und • Bewegen (1604) einer Prozessiereinheit zwischen der Servicevorrichtung (100b) und der Kammeranordnung (100a) von der Servicevorrichtung (100b) in einen Prozessierbereich der Kammeranordnung (100a) hinein oder aus dem Prozessierbereich der Kammeranordnung (100b) heraus auf die Servicevorrichtung (100b).
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL2030360B1 (en) * 2021-12-30 2023-07-06 Leydenjar Tech B V Plasma-enhanced Chemical Vapour Deposition Apparatus

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1698715A1 (de) 2005-03-03 2006-09-06 Applied Films GmbH & Co. KG Anlage zum Beschichten eines Substrats und Einschubelement
DE202014101468U1 (de) 2014-03-28 2014-07-08 Von Ardenne Gmbh Prozessiervorrichtung, Beschichtungsvorrichtung und Prozesskammer-Anordnung

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69129695T2 (de) * 1991-04-22 1999-04-15 Asahi Engineering Co. Ltd., Osaka Vielzweck chargenweise herstellungsanlage mit fahrbahrem behälter
US20120024233A1 (en) * 2010-12-22 2012-02-02 Primestar Solar, Inc. Conveyor Assembly with Releasable Drive Coupling
DE102014104363B4 (de) * 2014-03-28 2017-09-21 Von Ardenne Gmbh Prozesskammer-Anordnung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1698715A1 (de) 2005-03-03 2006-09-06 Applied Films GmbH & Co. KG Anlage zum Beschichten eines Substrats und Einschubelement
DE202014101468U1 (de) 2014-03-28 2014-07-08 Von Ardenne Gmbh Prozessiervorrichtung, Beschichtungsvorrichtung und Prozesskammer-Anordnung

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