DE102015112140A1 - Transportanordnung und Prozessieranordnung - Google Patents

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Abstract

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung (100a, 200a, 600) Folgendes aufweisen: einen Transportbereich (101), in dem die Transportanordnung (100a, 200a, 600) zum Transportieren von Substraten entlang einer Transportrichtung eingerichtet ist; eine endlos umlaufende Führungsstruktur (102), welche einen geschlossenen Bewegungspfad (102p) definiert, entlang dessen eine Vielzahl Substratauflagen (104) geführt ist; die Vielzahl Substratauflagen (104), von denen jeweils einander benachbarte Substratauflagen (104) in einem Abstand voneinander geführt sind, so dass zwischen diesen ein Spalt zum Aufnehmen eines Substrats gebildet ist, und von denen jede Substratauflage eine räumliche Orientierung aufweist, die in einem Winkel zu dem Bewegungspfad (102p) ausgerichtet ist, zum Halten eines Substrats in der räumlichen Orientierung; wobei die Führungsstruktur (102) derart relativ zu dem Transportbereich (101) angeordnet ist, dass der Bewegungspfad (102p) durch den Transportbereich (101) hindurch verläuft und innerhalb des Transportbereichs (101) in einem Winkel zu der Transportrichtung verläuft zum Übergeben von Substraten zwischen dem Transportbereich (101) und jeweils durch diesen hindurch bewegten Substratauflagen (104).

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Transportanordnung und eine Prozessieranordnung.
  • Im Allgemeinen kann ein Substrat oder können mehrere Substrate, z. B. Gasscheiben, Wafer oder andere Werkstücke, zum Bearbeiten, z. B. während eines Beschichtungsprozesses (oder anderer Prozesse zum Behandeln von Substraten), mittels einer Transportvorrichtung gehalten und transportiert werden. Für großtechnische Prozesse kommen dabei so genannte Durchlaufanlagen zum Einsatz, bei denen die Substrate hintereinander weg (anschaulich als Substratstrom) durch verschiedene Bearbeitungsschritte hindurch geführt werden. Der Durchsatz von Durchlaufanlagen wird dabei von dem Bearbeitungsschritt bestimmt, welcher am meisten Zeit beansprucht bzw. am langsamsten erfolgt. Beispielsweise können Wärmebehandlungen oder andere Bearbeitungsschritte in Kombination mit einer Wärmebehandlung viel Zeit beanspruchen und nur unter Beeinträchtigung der Prozessresultate verkürzt werden.
  • Herkömmlicherweise wird der Substratstrom auf mehrere Behandlungsstrecken aufgeteilt, um mehrere Substrate parallel behandeln zu können. Alternativ oder zusätzlich werden die Behandlungsstrecken verlängert, so dass die Substrattransportgeschwindigkeit an die restliche Durchlaufanlage angepasst werden kann. Diese Maßnahmen führen allerdings zu einer erheblichen Vergrößerung des Prozessbereichs, was zusätzliche Behandlungseinheiten erfordert und so die Anschaffungskosten und Betriebskosten erhöht. Ferner wird die Durchlaufanlage erheblich vergrößert, was zusätzliche Standkosten verursacht und größere Prozesshallen erfordert, deren Bau und Unterhaltung wiederum Kosten verursacht.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Transportanordnung bereitgestellt, welche es ermöglicht Substrate zwischen zwei Transportbereichen zu übergeben. In den zwei Transportbereichen kann die Transportanordnung zum Transportieren von Substraten für unterschiedliche Anforderungen eingerichtet sein, z. B. mit unterschiedlichen räumlichen Orientierungen, Transportgeschwindigkeiten und/oder Substratdichten.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Transportanordnung bereitgestellt, welche es ermöglicht Substrate umzuorientieren, so dass der umorientierte Substratstrom anschaulich eine größere Substratdichte aufweist. Somit kann der Prozessbereich deutlich verkleinert sein oder werden. Anschaulich können die Substrate aus einem Substratband in einen Substratstapel umsortiert werden, so dass mehr Substrate pro Streckeneinheit untergebracht werden können. Der Substratstapel kann dann z. B. längs dessen Stapelrichtung transportiert werden.
  • Anschaulich können die Substrate beim Umorientieren aufgerichtet werden, so dass deren Vorderseite und deren Rückseite frei liegen und von einer gemeinsamen Seite aus bearbeitet werden können. Anschaulich kann z. B. ein Erwärmen erleichtert werden, da sowohl die Vorderseite als auch die Rückseite der Substrate erwärmt werden kann. Dadurch können weniger Bearbeitungseinheiten (Bearbeitungsvorrichtungen) erforderlich sein, was Kosten senkt und das Bearbeiten erleichtert.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird das Umsortieren anschaulich erheblich vereinfacht und beschleunigt, so dass ein Substratstrom mit hoher Geschwindigkeit umsortiert werden kann. Anschaulich wird es ermöglicht die Substrate direkt aus dem Substratstrom herauszugreifen und umzusortieren. Dabei kann auf herkömmliche Umsortierungsroboter, welche teuer und langsam sind, verzichtet werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung Folgendes aufweisen: einen Transportbereich (erster Transportbereich), in dem die Transportanordnung zum Transportieren von Substraten entlang einer Transportrichtung (erste Transportrichtung) eingerichtet ist; eine endlos umlaufende (z. B. beweglich gelagerte) Führungsstruktur, welche einen geschlossenen Bewegungspfad definiert, entlang dessen eine Vielzahl Substratauflagen geführt ist; die Vielzahl Substratauflagen, von denen jeweils einander benachbarte Substratauflagen in einem Abstand voneinander geführt sind, so dass zwischen diesen ein Spalt zum Aufnehmen eines Substrats gebildet ist, und von denen jede Substratauflage eine räumliche Orientierung aufweist, die in einem Winkel (erster Winkel) zu dem Bewegungspfad ausgerichtet ist, zum Halten eines Substrats in der räumlichen Orientierung; wobei die Führungsstruktur derart relativ zu dem Transportbereich angeordnet ist, dass der Bewegungspfad durch den Transportbereich hindurch verläuft und innerhalb des Transportbereichs in einem Winkel (zweiter Winkel) zu der Transportrichtung verläuft zum Übergeben von Substraten zwischen dem Transportbereich und jeweils durch diesen hindurch bewegten Substratauflagen.
  • Die Führungsstruktur kann ferner einen Umorientierungsbereich definieren, wobei durch diesen hindurch bewegte Substratauflagen in deren Orientierung verlagert werden, so dass von den Substratauflagen transportierte Substrate umorientiert werden, z. B. bevor diese in einen weiteren Transportbereich transportiert werden.
  • Der erste Winkel und/oder der zweite Winkel können in einem Bereich von ungefähr 60° bis ungefähr 89° liegen, z. B. in einem Bereich von ungefähr 70° bis ungefähr 89°, z. B. in einem Bereich von ungefähr 80° bis ungefähr 85°. Der erste Winkel kann optional gleich dem zweiten Winkel sein, was das Übergeben von Substraten erleichtert, die entlang der Transportrichtung ausgerichtet sind. Anschaulich können die durch den Transportbereich hindurch bewegten Substratauflagen (zumindest beim Übergeben von Substraten) eine räumliche Orientierung aufweisen, welche einer räumlichen Orientierung der Substrate entspricht. Die Transportrichtung kann z. B. entlang der Horizontalen verlaufen.
  • Anschaulich liegt der Bewegungspfad nicht innerhalb der Substratauflage sondern durchstößt die Substratauflage, bzw. deren räumliche Orientierung. Die räumliche Orientierung kann eine Fläche (z. B. eine Ebene) beschreiben, in welcher die Substratauflage bzw. ein Substrat erstreckt ist (z. B. längserstreckt ist).
  • Der Winkel, in welchem eine räumliche Orientierung bezüglich eines Pfades (z. B. einer Gerade) ausgerichtet ist, kann als Winkel verstanden werden, welcher von dem Pfad und einer Projektion des Pfads auf die räumliche Orientierung (bzw. deren Fläche) eingeschlossen wird. Die Projektion kann in eine Richtung entlang der Normalenrichtung der räumlichen Orientierung (bzw. deren Fläche) erfolgen, z. B. an dem Punkt an dem der Pfad die räumliche Orientierung (bzw. deren Fläche) durchstößt (Durchstoßpunkt). Weist der Pfad eine Krümmung auf, kann der Winkel von der Tangente des Pfades in dem Durchstoßpunkt definiert werden.
  • Der Bewegungspfad kann eine Ebene (Bewegungspfad-Ebene) definieren, innerhalb derer der Bewegungspfad liegt. Der erste Winkel und/oder der zweite Winkel können innerhalb der Bewegungspfad-Ebene liegen, welche durch den Bewegungspfad definiert wird, d. h. innerhalb derer der Bewegungspfad liegt. Die Substratauflagen können quer zu der Bewegungspfad-Ebene orientiert (ausgerichtet) sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die räumliche Orientierung jeder Substratauflage von deren Position auf dem Bewegungspfad definiert sein oder werden. Die räumliche Orientierung jeder Substratauflage kann an jeder Position des Bewegungspfads dieselbe Beziehung zum Bewegungspfad aufweisen, z. B. denselben Winkel mit dem Bewegungspfad einschließen. Mit anderen Worten kann der Winkel, den die Substratauflage und der Bewegungspfad einschließen entlang des Bewegungspfads konstant sein. Mit anderen Worten kann der Verlauf des Bewegungspfads die räumliche Orientierung der Substratauflage definieren.
  • Der Endabschnitt des ersten Transportbereichs kann auch als Übergabebereich bezeichnet werden. Die Führungsstruktur kann derart relativ zu dem Transportbereich angeordnet sein, dass der Bewegungspfad durch den Übergabebereich hindurch verläuft. Mit anderen Worten kann die Führungsstruktur derart eingerichtet sein, dass die Vielzahl Substratauflagen durch den Übergabebereich hindurch geführt werden, z. B. durch eine Transportebene in dem Übergabebereich hindurch. Damit können Substrate aus dem ersten Transportbereich aufgenommen (z. B. von der Transportebene abgehoben) oder in den ersten Transportbereich (z. B. auf die Transportebene abgelegt) abgegeben werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung in dem Transportbereich zum Transportieren von Substraten mit einer ersten räumlichen Orientierung eingerichtet sein; wobei die Führungsstruktur einen weiteren Transportbereich (zweiter Transportbereich) definiert, in dem durch diesen hindurch bewegte Substratauflagen eine zweite räumliche Orientierung aufweisen, zum Transportieren von Substraten mit der zweiten räumlichen Orientierung durch den weiteren Transportbereich hindurch, und wobei die Führungsstruktur zwischen dem Transportbereich und dem weiteren Transportbereich einen Umorientierungsbereich definiert, in dem durch diesen hindurch bewegte Substratauflagen aus der ersten räumlichen Orientierung in die zweite räumliche Orientierung umorientiert werden.
  • Anschaulich werden die Substrate in dem Umorientierungsbereich in eine zweite Orientierung geschwenkt, bevor diese durch den zweiten Transportbereich transportiert werden. Beispielsweise kann die erste räumliche Orientierung lateral (d. h. parallel zu deren Transportrichtung, z. B. horizontal) ausgerichtet sein, d. h. die Substrate können z. B. als Substratband transportiert werden. Beispielsweise kann die zweite räumliche Orientierung im Wesentlichen vertikal ausgerichtet sein, d. h. die Substrate können aufgerichtet, z. B. als Substratstapel, transportiert werden, z. B. entlang deren Stapelrichtung. Im Wesentlichen vertikal kann verstanden werden, dass die Substrate auch leicht geneigt (schräg) bezüglich der Vertikalen ausgerichtet sein können, z. B. in einem Winkel zur Vertikalen in einem Bereich von ungefähr 0° bis ungefähr 20°, z. B. in einem Bereich von ungefähr 0° bis ungefähr 10°, z. B. in einem Bereich von ungefähr 5° bis ungefähr 10°.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Bewegungspfad einen geradlinig verlaufenden Abschnitt und einen gekrümmt verlaufenden Abschnitt zwischen dem Transportbereich und dem geradlinig verlaufenden Abschnitt aufweisen. Optional kann sich der gekrümmt verlaufende Abschnitt durch den Transportbereich hindurch erstrecken. Der geradlinig verlaufende Abschnitt kann den weiteren Transportbereich definieren.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Führungsstruktur die Vielzahl Substratauflagen jeweils paarweise gegeneinander auslenkbar miteinander koppeln, d. h. jeweils die einander benachbarten Substratauflagen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Führungsstruktur eine Vielzahl Führungsglieder aufweisen oder daraus gebildet sein, welche jeweils paarweise gegeneinander auslenkbar miteinander gekoppelt sind, z. B. mittels einer Gliederkupplung. Anschaulich kann die Führungsstruktur eine endlos umlaufende Kettenstruktur aufweisen oder bilden. Die Gliederkupplung kann z. B. Gelenke und/oder Kettenglieder aufweisen. Mit anderen Worten können Führungsglieder z. B. mit Gelenken miteinander verbunden sein oder ineinandergreifen, z. B. ineinandergefügt sein.
  • Beispielsweise kann jedes Führungsglied ein Kettenglied aufweisen oder daraus gebildet sein. Anschaulich können die Führungsglieder (bzw. deren Kettenglieder) zu einer Kettenstruktur zusammengefügt sein, welche endlos umlaufend eingerichtet ist, z. B. beweglich gelagert. Beispielsweise kann die Kettenstruktur zumindest zwei Ketten (z. B. Rollenketten, z. B. Duplex-Rollenketten, oder Hohlbolzenketten) aufweisen, welche parallel zueinander geführt werden. Die Führungsstruktur, z. B. deren Führungsglieder, kann dann optional mehrere Verbindungselemente aufweisen, welche die zwei Ketten, z. B. an jeweils ein Kettenglied der zwei Ketten, miteinander verbindet.
  • Alternativ oder zusätzlich kann die Führungsstruktur eine endlos umlaufende Bandstruktur (anschaulich wie ein Riemen oder ein Gurt) aufweisen oder daraus gebildet sein. Die Bandstruktur kann zumindest eines (d. h. eines oder mehreres) von Folgendem aufweisen: ein Gewebeband, ein Metallband, ein Federband. Optional können die Führungsglieder mittels der Bandstruktur miteinander gekuppelt sein. Anschaulich kann in dem Fall z. B. auf eine Kette verzichtet werden. Beispielsweise kann die Führungsstruktur als Zugmittel eingerichtet sein, z. B. mittels der Führungsglieder, der Gliederkupplung und/oder der Bandstruktur.
  • Mittels der Führungsstruktur, z. B. deren Bandstruktur und/oder deren Vielzahl Führungsglieder, können die Substratauflagen jeweils paarweise (d. h. jeweils einander benachbarte Substratauflagen) gegeneinander auslenkbar gelagert sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Führungsstruktur, z. B. deren Vielzahl Führungsglieder und/oder die Bandstruktur, eine geschlossene, z. B. in dem weiteren Transportbereich planare, Fläche bilden. Die geschlossene Fläche kann einen Stoffaustausch (z. B. einen gasförmigen Stoffstrom) entlang der Führungsstruktur, z. B. in horizontaler Richtung, erleichtern und gleichzeitig einen Stoffaustausch durch die Führungsstruktur hindurch, z. B. in vertikaler Richtung, blockieren. Beispielsweise kann der gasförmige Stoffstrom anschaulich besser (z. B. in eine horizontale Richtung) über die Führungsstruktur hinweg oder um die Führungsstruktur herum geführt werden. Die geschlossene Fläche kann auch als Gastrennfläche bezeichnet werden. In dem Fall kann die Führungsstruktur, z. B. deren Gastrennfläche, den Bearbeitungsbereich begrenzen.
  • Alternativ kann die Führungsstruktur von Öffnungen, z. B. Spalten, durchdrungen sein, welche z. B. in und/oder zwischen deren Führungsgliedern und/oder in der Bandstruktur gebildet sind. Dadurch kann die Führungsstruktur, z. B. deren Vielzahl Führungsglieder, eine teilweise geöffnete, z. B. in dem weiteren Transportbereich planare, Fläche aufweisen oder bilden. Die Öffnungen können z. B. einen Stoffaustausch durch die Führungsstruktur hindurch, z. B. in vertikaler Richtung, erleichtern bzw. ermöglichen. In dem Fall können ein gasförmiger Stoffstrom entlang der Fläche und ein gasförmiger Stoffstrom durch die Fläche hindurch einander überlagert sein. Alternativ kann hauptsächlich oder lediglich ein gasförmiger Stoffstrom (anschaulich Gasströmung) durch die Fläche hindurch erzeugt werden.
  • Die Substratauflagen können an der Führungsstruktur, z. B. deren Führungsglieder und/oder deren Bandstruktur, befestigt sein, z. B. gefügt oder monolithisch. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jede Substratauflage der Vielzahl Substratauflagen mehrere Halteelemente aufweisen, welche sich entlang deren räumlichen Orientierung und/oder von der Führungsstruktur weg erstrecken. Beispielsweise können die mehreren Balken an der Führungsstruktur befestigt sein, z. B. gefügt oder monolithisch. Die mehreren Balken können sich von der Führungsstruktur weg erstrecken. Die mehreren Balken können ermöglichen, dass eine Substratrückseite freigelegt ist, z. B. zum Bearbeiten dieser.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung ferner eine Antriebsvorrichtung zum Antreiben der Führungsstruktur aufweisen, wobei die Antriebsvorrichtung eingerichtet ist entlang eines ersten Abschnitts des Bewegungspfads (bzw. der Führungsstruktur) eine erste Kraft auf die Führungsstruktur zu übertragen und entlang eines zweiten Abschnitts des Bewegungspfads (bzw. der Führungsstruktur) eine zweite Kraft auf die Führungsstruktur zu übertragen, wobei die erste Kraft verschieden zu der zweiten Kraft ist (z. B. in deren Betrag und/oder in deren Richtung entlang des Bewegungspfades), so dass die Führungsstruktur zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt (z. B. im zweiten Transportbereich) vorgespannt wird.
  • Beispielsweise kann die Antriebsvorrichtung mehrere drehbar gelagerte Relief aufweisen auf denen die Führungsstruktur gelagert ist. Von den mehreren drehbar gelagerten Rollen können zumindest zwei Rollen als Antriebsrollen (erste und zweite Antriebsrolle) eingerichtet sein. Eine erste Antriebsrolle kann zum Übertragen der ersten Kraft auf die Führungsstruktur eingerichtet sein und eine zweite Antriebsrolle kann zum Übertragen der zweiten Kraft auf die Führungsstruktur eingerichtet sein. Die erste Antriebsrolle und/oder die zweite Antriebsrolle können optional als Umlenkrolle eingerichtet sein. Die erste Antriebsrolle und die zweite Antriebsrolle können auf gegenüberliegenden Seiten des zweiten Transportbereichs angeordnet sein.
  • Die erste Kraft und die zweite Kraft können entlang einer gemeinsamen Umlaufrichtung (des Bewegungspfades) ausgerichtet sein. In dem Fall kann die Antriebsvorrichtung die Führungsstruktur im ersten Abschnitt und im zweiten Abschnitt antreiben. Beispielsweise können die zwei Antriebsrollen unterschiedlich schnell und/oder stark angetrieben werden (z. B. mittels entsprechender Antriebe, z. B. Motoren). Anschaulich kann ein Antrieb zum Erzeugen der ersten Kraft langsamer laufen als ein Antrieb zum Erzeugen der zweiten Kraft.
  • Alternativ können die erste Kraft und die zweite Kraft entlang einer gemeinsamen Umlaufrichtung verschieden voneinander (d. h. entgegengesetzt bezüglich des Bewegungspfads) ausgerichtet sein. In dem Fall kann die Antriebsvorrichtung die Führungsstruktur im ersten Abschnitt oder im zweiten Abschnitt bremsen. Dann kann zumindest eine Rolle der mehreren Rollen als Bremsrolle zum Erzeugen einer Bremskraft eingerichtet sein.
  • Die Differenz der zweiten Kraft und der ersten Kraft kann größer sein als eine Reibungskraft zwischen der Führungsstruktur und deren Lagerung, z. B. Wesentlich größer. Dies kann ein kontinuierliches Bewegen der Führungsstruktur ermöglichen (d. h. anschaulich ruckelfrei). Zum Einstellen der Differenz kann die Antriebsvorrichtung eine Kraftjustiervorrichtung aufweisen zum Einstellen der ersten Kraft, der zweiten Kraft und/oder deren Differenz. Die Kraftsteuerung kann zumindest eines von Folgendem aufweisen: eine Rutschnabe zum Einstellen einer Bremskraft; eine Magnetpulverbremse zum Einstellen einer Bremskraft; eine Antriebssteuerung zum Steuern der Antriebe (und von diesen erzeugten Drehmomente bzw. Kräfte).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung ferner ein Transportmittel (erstes Transportmittel) aufweisen, welches eine Transportfläche in dem (ersten) Transportbereich definiert, zum Transportieren von Substraten in einer räumlichen Orientierung der Transportfläche. Mit anderen Worten können die transportierten Substrate entlang der Transportfläche ausgerichtet sein. Anschaulich können die Substrate beispielsweise als Substratband transportiert werden, welches entlang der Transportfläche ausgerichtet ist. Beispielsweise kann das erste Transportmittel den ersten Transportbereich definieren.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung ferner Folgendes aufweisen: einen noch weiteren Transportbereich (dritten Transportbereich), in dem die Transportanordnung zum Transportieren von Substraten entlang einer Transportrichtung (dritte Transportrichtung, welche z. B. parallel zur ersten Transportrichtung sein kann) eingerichtet ist, wobei die Führungsstruktur zwischen dem Transportbereich und dem noch weiteren Transportbereich erstreckt ist und wobei die Transportanordnung ferner eingerichtet ist zum Übergeben von Substraten zwischen dem noch weiteren Transportbereich und der Vielzahl Substratauflagen, z. B. jeweils durch den noch weiteren Transportbereich hindurch bewegten Substratauflagen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung ferner Folgendes aufweisen: ein weiteres Transportmittel (drittes Transportmittel), welches eine Transportfläche in dem dritten Transportbereich definiert, zum Transportieren von Substraten in einer räumlichen Orientierung der Transportfläche. Das dritte Transportmittel kann den dritten Transportbereich definieren.
  • Die Transportfläche des dritten Transportbereichs kann parallel zu der Transportfläche des ersten Transportbereichs verlaufen. Alternativ können die zwei Transportflächen in einem Winkel zueinander verlaufen. Alternativ oder zusätzlich kann die Transportrichtung des dritten Transportbereichs parallel zu der Transportrichtung des ersten Transportbereichs verlaufen. Alternativ können die zwei Transportrichtungen in einem Winkel zueinander verlaufen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung ferner eine Umorientierungsvorrichtung (aufweisend z. B. einen Greifer, z. B. in Form eines Umorientierungsroboters) aufweisen, welche zum Umorientieren von Substraten zwischen der Vielzahl Substratauflagen und dem dritten Transportmittel eingerichtet ist. Die Umorientierungsvorrichtung kann beispielsweise zum Umorientieren von Substraten nach dem Transport durch den zweiten Transportbereich eingerichtet sein. Die Umorientierungsvorrichtung kann eine Kontaktlos-Substratauflage (anschaulich eine berührungsfreie Substratauflage) aufweisen, welche zum kontaktlosen (berührungsfreien) Aufnehmen und/oder Transportieren von Substraten, z. B. auf deren Vorderseite, eingerichtet ist.
  • Die Kontaktlos-Substratauflage kann zum kontaktlosen Halten eines Substrate eingerichtet sein. Dazu kann die Kontaktlos-Substratauflage ein Gasströmungslager (z. B. Gasdüsenlager) aufweisen, welches ein Gas (z. B. Druckluft) bereitstellt, das aus einen oder mehreren Gasauslässen (z. B. Düsen) in Richtung des Substrats austreten kann. Das Substrat wird dann von einer Gasschicht (anschaulich ein Luftpolster) gehalten, welche das Substrat von der Substratauflage trennt. Mit anderen Worten kann die Kontaktlos-Substratauflage zum Erzeugen eines Luftpolsters eingerichtet sein (anschaulich als Luftlager-Substratauflage). Alternativ kann die Kontaktlos-Substratauflage auf eine andere Weise eine kontaktlose Lagerung ermöglichen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung Folgendes aufweisen: eine Transportanordnung wie hierin beschrieben ist; und eine Bearbeitungsvorrichtung, welche eingerichtet ist Substrate zu bearbeiten.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung kann zum Bearbeiten von Substraten eingerichtet sein, z. B, zumindest zum Beschichten, zum Bestrahlen, zum Abtragen, zum Reinigen, zum Erwärmen, zum Kühlen, zum Umwandeln (z. B. chemisch und/oder strukturell), zum Dotieren (z. B. chemisch) und/oder zum Polieren.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung kann zum Beschichten zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine physikalische Materialdampfquelle (zum Beschichten mittels physikalischer Gasphasenabscheidung), wie z. B. ein Magnetron (auch als Sputterquelle bezeichnet, optional in Verbindung mit einer Reaktivgasquelle zum reaktiven Sputtern), einen Laserstrahlverdampfer, einen Lichtbogenverdampfer, einen Elektronenstrahlverdampfer und/oder einen thermischen Verdampfer; oder eine chemische Materialdampfquelle (zum Beschichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung), wie z. B. eine Reaktionsgasquelle optional in Verbindung mit einer Plasmaquelle (zum Beschichten mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung). Die chemische Materialdampfquelle kann optional eine Gasführungsstruktur aufweisen.
  • Alternativ oder zusätzlich kann die Bearbeitungsvorrichtung zum Abtragen von Material zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Plasmaquelle, eine Ionenstrahlquelle, eine Ätzgasquelle, ein Gasführungsstruktur. Alternativ oder zusätzlich kann die Bearbeitungsvorrichtung zum Bestrahlen zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Ionenstrahlquelle, eine Elektronenstrahlquelle oder eine Lichtquelle (z. B. Blitzlampen und/oder Laser).
  • Alternativ oder zusätzlich kann die Bearbeitungsvorrichtung zum Erwärmen zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Wärmequelle, eine Stoffstromquelle, eine Gasführungsstruktur. Alternativ oder zusätzlich kann die Bearbeitungsvorrichtung zum Kühlen zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Stoffstromquelle, eine Kühlvorrichtung, eine Gasführungsstruktur. Eine Wärmequelle kann eingerichtet sein dem Stoffstrom thermische Energie zuzuführen und die Kühlvorrichtung kann eingerichtet sein dem Stoffstrom thermische Energie zu entziehen.
  • Die Wärmequelle kann zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Strahlungsquelle (z. B. einen Strahlungsheizer oder z. B. einen Laser) zum Erzeugen von Wärmestrahlung, einen Wärmetauscher zum Übertragen von thermischer Energie (Wärme) zwischen zwei Stoffströmen, einen elektrothermischen Wandler (z. B. einen resistiven Heizer), eine Wärmepumpe. Die Kühlvorrichtung kann zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: einen Wärmetauscher zum Übertragen von thermischer Energie (Wärme) zwischen zwei Stoffströmen; einen elektrothermischen Wandler, eine Wärmepumpe.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Bearbeitungsvorrichtung Folgendes aufweisen: eine Gasführungsstruktur, welche einen umlaufenden Gaskanal definiert, durch welchen sich der Bewegungspfad hindurch erstreckt, so dass ein von der Gasführungsstruktur geführter gasförmiger Stoffstrom (z. B. aufweisend ein strömendes gasförmiges Bearbeitungsmittel und/oder einen strömenden gasförmigen Wärmeträger) zwischen jeweils durch den Gaskanal hindurch bewegten Substratauflagen strömt; und eine Stoffstromquelle (aufweisend z. B. ein Gebläse), welche eingerichtet den gasförmigen Stoffstrom bereitzustellen. Mit anderen Worten kann die Stoffstromquelle eingerichtet sein den gasförmigen Stoffstrom zu erzeugen, z. B. anzutreiben. Beispielsweise kann die Stoffstromquelle eingerichtet sein einen gasförmigen Stoff (z. B. aufweisend ein gasförmiges Bearbeitungsmittel und/oder einen gasförmigen Wärmeträger) kinetische Energie zuzuführen (d. h. diesen anzutreiben).
  • Die Stoffstromquelle kann zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: ein Gebläse zum Erzeugen eines Stromes (Volumenstromes) aus einem gasförmigen Stoff, eine Stoffquelle (anschaulich eine Gasquelle) zum Zuführen eines gasförmigen Stoffes (anschaulich ein Gas).
  • Beispielsweise ist ein Gebläse eingerichtet den gasförmigen Stoff anzutreiben, d. h. diesem kinetische Energie zuzuführen. Ist ein Gebläse ferner eingerichtet dem gasförmigen Stoff thermische Energie zuzuführen (d. h. mit einer Wärmequelle kombiniert), kann dieses auch als Heizgebläse bezeichnet werden. Alternativ oder zusätzlich kann das Gebläse eingerichtet sein, dem gasförmigen Bearbeitungsmittel thermische Energie zu entziehen (d. h. mit einer Kühlvorrichtung kombiniert sein). Dann kann das Gebläse auch zum Kühlen des gasförmigen Bearbeitungsmittels eingerichtet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung Folgendes aufweisen: eine Vielzahl Substratauflagen, von denen jeweils einander benachbarte Substratauflagen in einem Abstand zueinander angeordnet sind, so dass zwischen diesen ein Spalt zum Aufnehmen eines Substrats gebildet ist, und von denen jede Substratauflage eine räumliche Orientierung aufweist, die in einem Winkel zu dem Bewegungspfad ausgerichtet ist, zum Halten eines Substrats in der räumlichen Orientierung; eine endlos umlaufende Führungsstruktur, welche einen geschlossenen Bewegungspfad definiert, entlang dessen die Vielzahl Substratauflagen geführt ist derart, dass deren räumliche Orientierung mit deren Position gekoppelt ist; wobei die Führungsstruktur einen Umorientierungsbereich definiert, in dem durch diesen hindurch bewegte Substratauflagen aus einer ersten räumlichen Orientierung in die zweite räumliche Orientierung umorientiert werden, und wobei die Führungsstruktur einen Transportbereich (zweiter Transportbereich) definiert, in dem durch diesen hindurch bewegte Substratauflagen die zweite räumliche Orientierung aufweisen, ein Transportmittel (erstes Transportmittel), welches eine Transportfläche mit der ersten räumlichen Orientierung definiert, zum Transportieren von Substraten entlang der Transportfläche in den Umorientierungsbereich hinein.
  • Mit anderen Worten kann der erste Transportbereich (bzw. dessen Übergabebereich) in den Umorientierungsbereich hinein erstreckt sein, d. h. diese können einander zumindest teilweise (d. h. teilweise oder vollständig) durchdringen. Anschaulich kann mittels des ersten Transportmittels ein Substrat in den Umorientierungsbereich hinein und darin in eine Übergabeposition (z. B. in der ersten Orientierung) transportiert werden. Anschließend kann das Substrat mittels einer Substratauflage aus der Übergabeposition aufgenommen werden und in die zweite Orientierung umorientiert (z. B. geschwenkt) werden. Anschließend kann das Substrat mittels der Substratauflage in der zweiten Orientierung durch den zweiten Transportbereich hindurch transportiert werden. Analog können weitere Substrate nacheinander (z. B. seriell) in die Übergabeposition transportiert werden und von einer darin transportierten Substratauflage aufgenommen werden.
  • Die zweite Orientierung kann mit dem Bewegungspfad in dem zweiten Transportbereich, d. h. dessen Abschnitt, der durch den zweiten Transportbereich hindurch verläuft (d. h. dessen Transportabschnitt), einen Winkel einschließen in einem Bereich von ungefähr 60° bis ungefähr 89°, z. B. in einem Bereich von ungefähr 70° bis ungefähr 89°, z. B. in einem Bereich von ungefähr 80° bis ungefähr 85°.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung Folgendes aufweisen: ein erstes Transportmittel und ein zweites Transportmittel, welche in einem Umorientierungsbereich derart ineinandergreifen, dass darin transportierte Substrate zwischen diesen übergeben werden; wobei das zweite Transportmittel eine endlos umlaufende Führungsstruktur und eine Vielzahl Substratauflagen aufweist, von denen jede Substratauflage eine räumliche Orientierung definiert zum Halten eines Substrats in der räumlichen Orientierung in einem Spalt zwischen zwei Substratauflagen; wobei die Führungsstruktur einen geschlossenen Bewegungspfad definiert, entlang dessen die Vielzahl Transportglieder geführt wird derart, dass in den Umorientierungsbereich hinein bewegte Substratauflagen eine erste räumliche Orientierung aufweisen, und aus dem Umorientierungsbereich heraus bewegte Substratauflagen eine zweite räumliche Orientierung aufweisen, so dass durch den Umorientierungsbereich hindurch transportierte Substrate umorientiert werden. Damit kann erreicht werden, dass zwischen den zwei Transportmitteln transportierte Substrate umorientiert werden.
  • Eine Transportanordnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: einen ersten Transportbereich zum Transportieren von Substraten mit einer ersten räumlichen Orientierung; einen zweiten Transportbereich zum Transportieren von Substraten mit einer zweiten räumlichen Orientierung; einen Umorientierungsbereich zwischen dem ersten Transportbereich und dem zweiten Transportbereich; eine Vielzahl beweglich gelagerter Substratauflagen, von denen jede Substratauflage eine räumliche Orientierung aufweist, zum Halten eines Substrats in der räumlichen Orientierung; eine Führungsstruktur, welche die Vielzahl Substratauflagen derart entlang eines geschlossenen Bewegungspfades führt, dass deren räumliche Orientierung innerhalb des zweiten Transportbereichs in der zweiten räumlichen Orientierung gehalten wird; und dass deren räumliche Orientierung innerhalb des Umorientierungsbereichs zwischen der ersten räumlichen Orientierung und der zweite räumlichen Orientierung verlagert wird, so dass zwischen dem ersten Transportbereich und dem zweiten Transportbereich transportierte Substrate in dem Umorientierungsbereich umorientiert werden. Mit anderen Worten hängt die räumliche Orientierung der in dem Umorientierungsbereich bewegten Auflageflächen von deren Position ab.
  • Die Transportanordnung kann eine Führungsschienenanordnung aufweisen, in und/oder auf welcher die Führungsstruktur beweglich gelagert und geführt ist. Die Führungsschienenanordnung kann mehrere Führungsschienen aufweisen, von denen jeweils zwei Führungsschienen ein Führungsschienenpaar bilden, und die Führungsstruktur beidseitig stützen. Die Führungsschienen eines Führungsschienenpaars können einen Teil der Führungsstruktur stützen, d. h. entlang eines Abschnitts des Bewegungspfades, z. B. jeweils zwischen zwei drehbar gelagerten Rollen (z. B. zwischen zwei Umlenkrollen), z. B. in dem zweiten Transportbereich. Die Führungsschienen eines Führungsschienenpaars können beispielsweise beidseitig des Teils der Führungsstruktur angeordnet sein. Die Führungsschienenanordnung kann den Bewegungspfad zumindest abschnittsweise definieren. Beispielsweise können die Führungsschienen in dem zweiten Transportbereich geradlinig verlaufen, d. h. in dem zweiten Transportbereich einen geradlinigen Abschnitt (Transportabschnitt) des Bewegungspfades definieren.
  • Der Transportabschnitt kann parallel zu der Transportrichtung des ersten Transportbereichs (erste Transportrichtung) und/oder parallel zu der Transportrichtung des dritten Transportbereichs (dritte Transportrichtung) sein. Anschaulich kann der Transportabschnitt eine Transportrichtung des zweiten Transportbereichs (zweite Transportrichtung) definieren, d. h. die Transportrichtung entlang derer Substrate in dem zweiten Transportbereich transportiert werden.
  • Alternativ kann der Transportabschnitt in einem Winkel zu der ersten Transportrichtung und/oder zu der dritten Transportrichtung verlaufen. Beispielsweise kann der Transportabschnitt eine Richtungskomponente in eine vertikale Richtung aufweisen. Dann können der erste Winkel und/oder der zweite Winkel auch größer sein als 85°, z. B. größer sein als oder gleich sein zu 90°, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 80° bis ungefähr 110° liegen, z. B. in einem Bereich von ungefähr 75° bis ungefähr 95°, z. B. ungefähr 90°.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Führungsanordnung einen Rücklaufbereich definieren, in welchem sich die Führungsstruktur entlang des Bewegungspfads bewegt, wobei eine Bewegungsrichtung der Führungsstruktur im Rücklaufbereich entgegen der Bewegungsrichtung der Führungsstruktur im Transportbereich gerichtet ist. Anschaulich kann die Führungsstruktur im Transportbereich beispielsweise entlang einer geradlinigen Transportstrecke bewegt werden, wobei Substrate, welche auf den Substratauflagen im Transportbereich aufliegen, ebenfalls entlang der Transportrichtung transportiert werden. In dem Rücklaufbereich können dann die Substratauflagen entsprechend außerhalb des Transportbereichs von dem Ende der Transportstrecke wieder zurück zu dem Anfang der Transportstrecke entgegen der Transportrichtung bewegt werden. Beispielsweise kann der Transportbereich oberhalb des Rücklaufbereichs eingerichtet sein. Zwischen dem Transportbereich und dem Rücklaufbereich kann jeweils beidseitig ein Umlenkbereich angeordnet sein. In dem Umlenkbereich kann der Bewegungspfad einen gekrümmt verlaufenden Abschnitt (Umlenkabschnitt) aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Anschaulich kann der Bewegungspfad in dem zweiten Transportbereich einen Transportabschnitt und in dem Rücklaufbereich einen Rücklaufabschnitt aufweisen. Zwischen dem Transportabschnitt und dem Rücklaufabschnitt kann jeweils beidseitig ein Umlenkabschnitt angeordnet sein.
  • Die endlos umlaufende Führungsstruktur kann den zweiten Transportbereich, den Umorientierungsbereich (erster Umorientierungsbereich) und einen Rücklaufbereich definieren. Der geschlossene Bewegungspfad kann durch den zweiten Transportbereich, den Umorientierungsbereich und den Rücklaufbereich hindurch verlaufen. Zwischen dem zweiten Transportbereich und dem Rücklaufbereich kann ein weiterer Umorientierungsbereich angeordnet sein, welcher z. B. von einer Umorientierungsvorrichtung definiert wird. Der Rücklaufbereich kann den Bereich bezeichnen, in dem die Substratauflagen ohne Substrat (d. h. frei von Substraten) bewegt werden. Der erste Umorientierungsbereich und der zweite Transportbereich können Bereiche bezeichnen, in denen die Substratauflagen ein Substrat haltend bewegt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung mehrere Transportbereiche aufweisen, von denen die Transportanordnung zumindest in einem ersten Transportbereich zum Transportieren von Substraten in einer ersten räumlichen Orientierung eingerichtet ist und in einem zweiten Transportbereich zum Transportieren von Substraten in einer zweiten räumlichen Orientierung eingerichtet ist. Optional kann die Transportanordnung in einem dritten Transportbereich der mehreren Transportbereiche zum Transportieren von Substraten in einer dritten räumlichen Orientierung eingerichtet sein. Die dritte räumliche Orientierung kann optional gleich zu der ersten räumlichen Orientierung sein.
  • Der erste Transportbereich kann von einem ersten Transportmittel definiert sein oder werden und der zweite Transportbereich kann von einem zweiten Transportmittel definiert sein oder werden. Analog dazu kann der dritte Transportbereich, wenn vorhanden, von einem dritten Transportmittel definiert sein oder werden. Die Transportbereiche bzw. Transportmittel können zumindest paarweise voneinander entkoppelt sein.
  • Beispielsweise kann die Transportanordnung in dem ersten Transportbereich zum Transportieren von Substraten mit einer ersten Transportgeschwindigkeit eingerichtet sein und in dem zweiten Transportbereich zum Transportieren von Substraten mit einer zweiten Transportgeschwindigkeit eingerichtet sein. Optional kann die Transportanordnung in einem dritten Transportbereich der mehreren Transportbereiche zum Transportieren von Substraten mit einer dritten Transportgeschwindigkeit eingerichtet sein. Eine Transportgeschwindigkeit kann z. B. einen zeitlichen Verlauf (z. B. konstant oder schwankend) aufweisen und ein zeitliches Mittel. Die Transportgeschwindigkeiten können zumindest paarweise voneinander entkoppelt sein (z. B. verschieden voneinander), z. B. in deren zeitlichen Mittel und/oder deren zeitlichen Verlauf. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die erste Transportgeschwindigkeit und die dritte Transportgeschwindigkeit zumindest teilweise gleich sein, z. B. in deren zeitlichen Mittel und/oder deren zeitlichen Verlauf.
  • Die zweite Transportgeschwindigkeit kann einen Wert in einem Bereich von ungefähr 0,1 Meter/Minute bis ungefähr 2 Meter/Minute aufweisen, z. B. einen Wert in einem Bereich von ungefähr 0,2 Meter/Minute bis ungefähr 1 Meter/Minute, z. B. ungefähr 0,6 Meter/Minute.
  • Beispielsweise kann die erste Transportgeschwindigkeit einen schwankenden (z. B. getakteten oder kontinuierlichen) zeitlichen Verlauf aufweisen und die zweite Transportgeschwindigkeit kann einen konstanten zeitlichen Verlauf aufweisen.
  • Die Vielzahl Transportglieder kann entlang des geschlossenen Bewegungspfads in einer Umlaufrichtung geführt werden, wobei die Auflageflächen in Umlaufrichtung umorientiert werden, z. B. geschwenkt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine räumliche Orientierung als Ausrichtung im Raum verstanden werden.
  • Durch das Umordnen der Substrate kann deren Packungsdichte (anschaulich Substrate pro Längeneinheit) im Substratstrom verändert werden. Anschaulich können die Substrate in der ersten räumlichen Orientierung eine geringere Packungsdichte aufweisen als in der zweiten räumlichen Orientierung. Dadurch kann es ermöglicht werden die Substrate mit einer anderen Transportgeschwindigkeit zu transportieren. Anschaulich ermöglicht eine größere Packungsdichte, die Substrate mit einer kleineren Transportgeschwindigkeit zu transportieren. Durch die unterschiedlichen Packungsdichten kann die Substrattransportrate (d. h. die Anzahl von Substraten pro Zeiteinheit) konstant gehalten sein oder werden, z. B. wenn die zweite Transportgeschwindigkeit kleiner ist als die erste Transportgeschwindigkeit. Die Substrattransportrate kann von einer Transportgeschwindigkeit und der Packungsdichte der Substrate definiert sein, z. B. von deren Produkt miteinander.
  • Die zweite Orientierung kann einen Winkel mit der ersten Transportrichtung und/oder der zweiten Transportrichtung (z. B. der Horizontalen) einschließen, welcher größer ist, als ein Winkel, den die erste Orientierung mit der ersten Transportrichtung und/oder der zweiten Transportrichtung (z. B. der Horizontalen) einschließt.
  • Das erste Transportmittel kann eingerichtet sein die Substrate mit einer ersten Transportgeschwindigkeit und/oder ersten Packungsdichte zu transportieren und das zweite Transportmittel (z. B. deren Substratauflagen und deren Führungsstruktur) kann eingerichtet sein die Substrate mit einer zweiten Transportgeschwindigkeit und/oder zweiten Packungsdichte zu transportieren. Die erste Transportgeschwindigkeit kann verschieden von der zweiten Transportgeschwindigkeit sein (z. B. in deren Mittel), z. B. größer. Die erste Packungsdichte kann verschieden von der zweiten Packungsdichte sein, z. B. kleiner. Die erste Substrattransportrate (definiert durch die erste Packungsdichte und die erste Transportgeschwindigkeit) kann gleich sein zu der zweiten Substrattransportrate (definiert durch die zweite Packungsdichte und die zweite Transportgeschwindigkeit).
  • Ferner kann die Antriebsvorrichtung mindestens ein Kettenrad (z. B. zwei Kettenräder) aufweisen, wobei die Führungsstruktur, z. B. deren Führungsglieder, mehrere Eingriffe (z. B. aufweisend Bolzen) für das mindestens eine Kettenrad (z. B. zwei Reihen Eingriffe für zwei Kettenräder) derart aufweisen kann, dass die Führungsstruktur mit der Antriebsvorrichtung kuppeln kann. Beispielsweise kann die Führungsstruktur mehrere zu einer Kette zusammengefügte Kettenglieder aufweisen oder daraus gebildet sein, welche in das mindestens eine Kettenrad eingreifen kann. Die Kettenglieder der Führungsstruktur können miteinander gekoppelt sein. Zumindest mehrere Kettenglieder der Kette können einen Befestigungsabschnitt, z. B. eine Lasche (z. B. Winkellaschen) oder Ähnliches, aufweisen, an denen die Substratauflagen befestigt sind. Beispielsweise kann das mindestens eine Kettenrad Teil einer Antriebsrolle der mehreren drehbar gelagerten Rollen sein, z. B. der ersten Antriebsrolle und/oder der zweiten Antriebsrolle.
  • Beispielsweise kann die Führungsstruktur mehrere Bolzen aufweisen, z. B. als Teil einer Kettenglied-Kettenglied-Verbindung oder in einem Verbindungselement aufgenommen, welcher in das mindestens eine Kettenrad eingreifen kann. Somit kann beispielsweise ein Antreiben der jeweiligen Transportglieder (d. h. ein Übertragen einer Antriebskraft auf die Transportglieder mittels des mindestens einen Kettenrads) erfolgen. Die Führungsstruktur, z. B. die Kopplung der Vielzahl Führungsglieder untereinander, und/oder die Führungsschienenanordnung, z. B. deren Kopplung mit der Führungsstruktur bzw. deren Führungsgliedern, kann ein Verkippen und/oder Verkanten der Substratauflagen blockieren, d. h. verhindern.
  • Eine Umlenkrolle kann als eine drehbar gelagerte Rolle verstanden werden, welche einen gekrümmten Abschnitt des Bewegungspfades definiert. Eine Antriebsrolle kann als eine drehbar gelagerte Rolle verstanden werden, welche mit einem Antriebselement (z. B. einem elektromechanischen Wandler, wie einem Motor) gekuppelt ist zum Übertragen eines Drehmoments von dem Motor auf die Antriebsrolle. Der Radius und das Drehmoment können die Antriebskraft definieren, welche die Antriebsrolle auf die Führungsstruktur überträgt, welche jeweils mit der Antriebsrolle gekuppelt sind. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Antriebsrolle auch eine Umlenkrolle sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die in Umlaufrichtung auf die Führungsstruktur wirkende Kraft (z. B. zumindest im Transportabschnitt) der Summe der ersten Kraft und der zweiten Kraft entsprechen (unter Beachtung deren Richtung entlang des Bewegungspfades und deren Betrages).
  • Es zeigen
  • 1A eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht;
  • 1B eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht;
  • 2A und 2B jeweils eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht;
  • 3A und 3B jeweils eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht;
  • 4A eine Substratauflage gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder Querschnittsansicht;
  • 4B und 4C jeweils eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht;
  • 5A eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
  • 5B eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
  • 6 eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht;
  • 7A eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Frontansicht;
  • 7B eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht;
  • 8 eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht;
  • 9 eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht;
  • 10A eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht;
  • 10B eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht;
  • 11A eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Frontansicht;
  • 11B, 11C, 11D, und 11E eine Führungsstruktur gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht;
  • 12A eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht;
  • 12B eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer detaillierten schematischen Seitenansicht;
  • 13A eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht, und
  • 13B eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Frontansicht.
  • In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben”, „unten”, „vorne”, „hinten”, „vorderes”, „hinteres”, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
  • Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe ”verbunden”, ”angeschlossen” sowie ”gekoppelt” verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Substrat plattenförmig ausgebildet sein, mit anderen Worten flächig. Ein Substrat kann ein Substratmaterial aufweisen oder daraus gebildet sein, z. B. eine Keramik, ein Glas (z. B. transparent), ein Metall, ein Kunststoff. Die Flächennormale der Fläche, entlang der sich das Substrat erstreckt, kann die räumliche Orientierung des Substrats definieren, welche quer zu der Flächennormalen ausgerichtet sein.
  • In dem ersten Transportbereich können Substrate mit der ersten Orientierung bereitgestellt sein oder werden, z. B. mit eine horizontalen Ausrichtung.
  • 1A veranschaulicht eine Transportanordnung 100a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht, z. B. quer zum Bewegungspfad 102p, welcher z. B. in einer Ebene liegen kann, die von Richtung 11 und Richtung 15 definiert (aufgespannt) wird. Beispielsweise kann die erste Transportrichtung eine horizontale Ausrichtung aufweisen (z. B. entlang Richtung 11).
  • Die Transportanordnung 100a kann in einem ersten Transportbereich 101 zum Transportieren von Substraten entlang der ersten Transportrichtung eingerichtet sein, z. B. in Umlaufrichtung 102u. Beispielsweise können die Substrate in dem ersten Transportbereich 101 mit einer ersten Orientierung transportiert sein oder werden. Beispielsweise kann die erste Orientierung entlang der ersten Transportrichtung ausgerichtet sein.
  • Die Transportanordnung 100a kann ferner eine endlos umlaufende Führungsstruktur 102, welche einen geschlossenen Bewegungspfad 102p definiert, und eine Vielzahl Substratauflagen 104 aufweisen, welche entlang des Bewegungspfads 102p geführt ist. Die Führungsstruktur 102 kann derart relativ zu dem ersten Transportbereich 101 angeordnet sein, dass der Bewegungspfad 102p durch den ersten Transportbereich 101 hindurch verläuft.
  • Die Vielzahl Substratauflagen 104 kann beispielsweise drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, oder mehr als zehn, z. B. mehr als zwanzig, z. B. mehr als dreißig, z. B. mehr als vierzig, z. B. mehr als fünfzig, z. B. mehr als sechzig, z. B. mehr als siebzig, z. B. mehr als achtzig, z. B. mehr als neunzig, z. B. mehr als hundert Substratauflagen 104 aufweisen. Die Anzahl der Substratauflagen 104 kann von der Länge des Bewegungspfads 102p abhängen und deren Abstand 104a (d. h. jeweils einander benachbarte Substratauflagen 104) zueinander. Beispielsweise kann eine Anzahl Substratauflagen 104 pro Längeneinheit (entlang des Bewegungspfads 102p an der Führungsstruktur 102 gemessen), z. B. pro Meter (m), einen Wert aufweisen in einem Bereich von ungefähr 5 pro Meter (entspricht ungefähr einem Abstand 104a von ungefähr 0,2 Meter) bis ungefähr 100 pro Meter (entspricht ungefähr einem Abstand 104a von ungefähr 0,01 Meter), z. B. in einem Bereich von ungefähr 10 pro Meter (entspricht ungefähr einem Abstand 104a von ungefähr 0,1 Meter) bis ungefähr 50 pro Meter (entspricht ungefähr einem Abstand 104a von ungefähr 0,02 Meter), z. B. ungefähr 20 pro Meter (entspricht ungefähr einem Abstand 104a von ungefähr 0,05 Meter). Der Abstand 104a kann verstanden werden als Distanz zwischen den von den Substratauflagen 104 definierten Auflageflächen 104f (vergleiche 4A).
  • Zwischen jeweils einander benachbarten Substratauflagen 104 kann somit ein Spalt 104s gebildet sein, dessen Ausdehnung von dem Abstand 104a und der Dicke der Substratauflagen 104 definiert wird.
  • 1B veranschaulicht eine Prozessieranordnung 100b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht, z. B. quer zum Bewegungspfad 102p. Die Prozessieranordnung 100b kann eine Transportanordnung 100a und eine Bearbeitungsvorrichtung 106 aufweisen.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung 106 kann zum Bearbeiten 106a von Substraten eingerichtet sein, welche in dem ersten Transportbereich 101 transportiert werden. Alternativ oder zusätzlich kann die Bearbeitungsvorrichtung 106 zum Bearbeiten 106b von Substraten eingerichtet sein, welche mittels der Substratauflagen 104 transportiert werden, z. B. welche in dem zweiten Transportbereich in dem ersten Umorientierungsbereich und/oder in dem zweiten Umorientierungsbereich transportiert werden. Die Bearbeitungsvorrichtung 106 kann zum Bearbeiten 106c von Substraten eingerichtet sein, welche in einem noch anderen Transportbereich transportiert werden, z. B. in dem dritten Transportbereich.
  • Mit anderen Worten kann die Bearbeitungsvorrichtung 106 zum Bearbeiten von Substraten in zumindest einem Bereich von folgenden Bereichen eingerichtet sein: dem ersten Transportbereich, dem zweiten Transportbereich, dem dritten Transportbereich, dem ersten Umorientierungsbereich, dem zweiten Umorientierungsbereich.
  • 2A veranschaulicht eine Transportanordnung 200a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht, z. B. quer zum Bewegungspfad 102p. Die Führungsstruktur 102 kann eine Vielzahl Führungsglieder 102g aufweisen, welche jeweils paarweise (d. h. jeweils einander benachbarte) gegeneinander auslenkbar miteinander gekoppelt sind, z. B. mittels einer Kettenanordnung.
  • Jede Substratauflage 104 kann einem Führungsglied 102g zugeordnet sein, an welchem die Substratauflage 104 befestigt ist. Somit können die Substratauflagen 104 jeweils paarweise (d. h. jeweils einander benachbarte) gegeneinander auslenkbar gelagert sein.
  • Der Endabschnitt des ersten Transportbereichs 101, durch welchen sich der Bewegungspfad 102p hindurch erstreckt, kann auch als Übergabebereich 101u bezeichnet sein. Die Transportanordnung 200a kann eingerichtet sein ein Substrat in dem Übergabebereich 101u bereitzustellen, z. B. in diesen hinein und/oder heraus zu transportieren 211, zumindest entlang einer ersten Transportrichtung (z. B. parallel zu Richtung 11).
  • Ferner kann die Führungsstruktur 102 einen Umorientierungsbereich 201 definieren, in welchem sich die räumliche Orientierung der Substratauflagen 104 verändert, wenn diese durch diesen hindurch bewegt werden. In dem Umorientierungsbereich 201 kann der Bewegungspfad 102p zumindest einen gekrümmt verlaufenden Abschnitt aufweisen.
  • Wie in 2A veranschaulicht ist, können der Umorientierungsbereich 201 und der Übergabebereich 101u nebeneinander sich Umorientierungsbereich 201 und der Übergabebereich 101u zumindest teilweise gegenseitig durchdringen, z. B. vollständig (vergleiche beispielsweise 6). Dann kann der Bewegungspfad 102p in dem Umorientierungsbereich 201 einen gekrümmt verlaufenden Abschnitt aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann der Bewegungspfad 102p in dem Umorientierungsbereich 201 einen geradlinig verlaufenden Abschnitt aufweisen.
  • 2B veranschaulicht eine Transportanordnung 200b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht, z. B. quer zum Bewegungspfad 102p.
  • Die Transportanordnung 200b kann Folgendes aufweisen: einen erste Transportbereich 101, welcher von einem ersten Transportmittel definiert sein kann, einen zweiten Transportbereich 103, welcher von einem zweiten Transportmittel 202 definiert sein kann, einen dritten Transportbereich 105, welcher von einem dritten Transportmittel definiert sein kann. Das zweite Transportmittel kann die Führungsstruktur 102 und die Vielzahl Substratauflagen 104 aufweisen, wie hierin beschrieben ist.
  • Der zweite Transportbereich 103 kann zwischen dem ersten Transportbereich 101 und dem dritten Transportbereich 103 angeordnet sein, z. B. an diese jeweils angrenzend.
  • 3A veranschaulicht eine Transportanordnung 300a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht, z. B. quer zum Bewegungspfad 102p.
  • Die Transportanordnung 300a kann in den dritten Transportbereich 105 zum Transportieren von Substraten entlang der dritten Transportrichtung eingerichtet sein, z. B. entlang Richtung 11. Beispielsweise können die Substrate in dem dritten Transportbereich 105 mit einer dritten Orientierung transportiert sein oder werden. Beispielsweise kann die dritte Orientierung entlang der dritten Transportrichtung ausgerichtet sein. Die Führungsstruktur 102 kann derart relativ zu dem dritten Transportbereich 101 angeordnet sein, dass der Bewegungspfad 102p durch den dritten Transportbereich 105 hindurch verläuft.
  • Die Transportanordnung 300a kann in dem dritten Transportbereich 105 eingerichtet sein Substrate zwischen dem dritten Transportbereich 105 und der Vielzahl Substratauflagen 104 zu übergeben, z. B. von den Substratauflagen 104 in den dritten Transportbereich 105 hinein. In dem Fall kann die dritte Transportrichtung von der Führungsstruktur 102 weg gerichtet sein.
  • 3B veranschaulicht eine Transportanordnung 300b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht, z. B. quer zum Bewegungspfad 102p.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Bewegungspfad 102p einen geradlinig verlaufenden Abschnitt 302g in dem zweiten Transportbereich 103 aufweisen. Der geradlinig verlaufende Abschnitt 302g kann z. B. von einer Führungsschienenanordnung 302 definiert sein, welche die Führungsstruktur 102 stützt.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen die Transportanordnung 300b mehrere drehbar gelagerte Rollen 304 aufweisen, welche die Führungsstruktur 102 stützen (d. h. auf denen die Führungsstruktur 102 beweglich gelagert ist). Die drehbar gelagerten Rollen 304 können den Bewegungspfades 102p zumindest teilweise definieren. Die drehbar gelagerten Rollen 304 können Umlenkrollen sein, d. h. dass die Führungsstruktur 102 mittels den drehbar gelagerten Rollen 304 umgelenkt wird. Jede Umlenkrolle kann einen gekrümmt verlaufenden Abschnitt 302k des Bewegungspfades 102p definieren, z. B. in dem Umorientierungsbereich.
  • Die Führungsschienenanordnung 302 kann optional segmentiert sein, d. h. mehrere Segment aufweisen, zwischen denen optional jeweils mindestens eine weitere drehbar gelagerte Rolle angeordnet ist. Die Führungsschienenanordnung kann optional zum Kühlen der Führungsstruktur eingerichtet sein. Die Führungsschienen der Führungsschienenanordnung 302 können eine Länge in einem Bereich von ungefähr 0,5 Meter bis ungefähr 5 Meter aufweisen, z. B. ungefähr 2 Meter.
  • Die Führungsstruktur 102 kann eine Gliederkupplung 102k aufweisen, welche die Führungsglieder 102g miteinander kuppelt, z. B. jeweils paarweise zueinander auslenkbar. Die Gliederkupplung 102k kann Gelenke und/oder Kettenglieder aufweisen, welche die Führungsglieder 102g jeweils paarweise miteinander kuppeln.
  • 4A veranschaulicht eine Substratauflage 400a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder Querschnittsansicht, z. B. quer zum Bewegungspfad 102p geschnitten.
  • Weist die Führungsstruktur 102 die Führungsglieder 102g auf, kann die Führungsstruktur 102 zumindest einen Kupplungsbereich 402 aufweisen, z. B. mehrere (z. B. zwei) Kupplungsbereiche 402, an welchen die Führungsglieder 102g miteinander gekuppelt sind. Beispielsweise kann jeder der Kupplungsbereiche 402 ein Gelenk aufweisen oder daraus gebildet sein oder ein Kettenglied aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ oder zusätzlich kann jeder der Kupplungsbereiche 402 an einer Bandstruktur befestigt sein. Optional können zwischen den zwei Kupplungsbereichen 402 weitere Kupplungsbereiche angeordnet sein. Die Kupplungsbereiche 402 können einen Abstand voneinander aufweisen.
  • Die Kupplungsbereiche 402 können miteinander verbunden sein, z. B. durch ein Verbindungselement 404 (z. B. in Form eines Balkens) der Führungsstruktur 102. Weist die Führungsstruktur 102 die Führungsglieder 102g auf, kann jedes Verbindungselement 404 Teil eines Führungsglieds 102g sein. Alternativ oder zusätzlich kann zumindest ein Kupplungsbereich 402 eine lose Lagerung (Loslager) des Verbindungselements 404 ermöglichen, so dass thermische Ausdehnungen ausgeglichen werden können.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann sich die Substratauflage 104 von der Führungsstruktur 102 weg erstrecken. Die Substratauflage 104 weist mehrere, z. B. zwei, Halteelemente 104b auf. Die Substratauflage 104 weist eine Auflagefläche 104f auf, welche z. B. von den Halteelementen 104b definiert wird. Anschaulich kann ein Substrat auf der Substratauflage 104 bzw. den Halteelementen 104b aufliegen. Das Verbindungselement 404 verbinden die Halteelemente 104b miteinander.
  • Die Substratauflage 104 bzw. die Halteelemente 104b können die räumliche Orientierung definieren, in denen ein Substrat mittels der Substratauflage 400a gehalten wird, z. B. die zweite räumliche Orientierung. Anschaulich kann sich die Substratauflage 104 (z. B. die Halteelemente 104b) entlang der räumlichen Orientierung erstrecken.
  • Optional kann die Substratauflage, z. B. deren Halteelemente oder deren Auflagefläche, eine Profilierung aufweisen, z. B. ein U-Profil, eine Mulde, eine Nut einen Winkel oder eine Verdickung (z. B. einen Vorsprung) an deren Endabschnitten (anschaulich unten und oben) aufweisen, was deren Berührungsfläche zu den Substraten verringern kann. Optional kann die die Substratauflage, z. B. deren Halteelemente oder deren Auflagefläche, eine Beschichtung aufweisen, z. B. ein Gewebebeschichtung, z. B. eine Glasfaserbeschichtung (anschaulich eine Glasfaserröhre), welche z. B. die Halteelemente abdeckt.
  • 4B veranschaulicht eine Transportanordnung 400b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht, z. B. quer zum Bewegungspfad 102p.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Kupplungsbereiche 402 jeweils ein Kettenglied aufweisen oder daraus gebildet sein. Zwischen den Kupplungsbereichen 402 können weitere Kettenglieder 402k (Kupplungsglieder) angeordnet sein, z. B. jeweils ein Kupplungsglied 402k zwischen zwei einander benachbarten Kupplungsbereichen 402, wie in 4A veranschaulicht ist. Alternativ können mehrere Kupplungsglieder 402k zwischen zwei einander benachbarten Kupplungsbereichen 402 angeordnet sein. Die Kupplungsglieder 402k und die Kupplungsbereiche 402 können Teil der Gliederkupplung sein. Die Kupplungsbereiche 402 und die Kupplungsglieder 402k können miteinander verbunden sein, z. B. mittels eines Bolzens, welcher sich zum Verbinden eines Kupplungsglieds 402k mit einem Kupplungsbereich 402 durch beide hindurch erstreckt. Anschaulich können somit ein Kupplungsglied 402k und ein damit verbundener Kupplungsbereich 402 ein Gelenk bilden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung 400c die Substratauflagen 104 gewinkelt 114g sein, wie in 4B veranschaulicht ist. Der gewinkelte Abschnitt kann ein Substrat abstützen, z. B. in der zweiten Orientierung. Beispielsweise kann der gewinkelte Abschnitt 114g mit einem Verbindungselement 404 verbunden sein oder durch dieses gebildet sein, wie in 4B veranschaulicht ist. Alternativ kann der gewinkelte Abschnitt 114g in einem Abstand zu dem Verbindungselement 404 angeordnet sein. Der gewinkelte Abschnitt 114g kann einen Winkel einschließen, z. B. in einem Bereich von ungefähr 70° bis ungefähr 90°.
  • Optional kann jede Substratauflage 104 einen Vorsprung 104v aufweisen, z. B. an den Halteelementen 104b, auf denen ein Substrat (z. B. in der zweiten Orientierung) abgestützt gelagert werden kann, z. B. in einem Abstand zu der Führungsstruktur 102. Somit kann das zweite Transportmittel nur so hoch sein, wie die Scheibenunterkannte, was eine Gasströmung erleichtert. Anschaulich kann der Vorsprung 104v als Abrutschschutz eingerichtet sein.
  • Die Substratauflage kann ein Federelement aufweisen zum Abfedern eines Substrats, wenn dieses beim Umorientieren in Richtung Führungsstruktur 102 rutscht. Das Federelement kann z. B. an dem Vorsprung und/oder an dem gewinkelten Abschnitt angeordnet sein, z. B. an dem Verbindungselement 404.
  • Optional kann die Substratauflage 104 mehrere Vorsprünge aufweisen, welche eine Profilierung bilden.
  • 4C veranschaulicht eine Transportanordnung 400c gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht, z. B. quer zum Bewegungspfad 102p (welcher z. B. Richtung 11 verlaufen kann). Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Kupplungsbereiche 402 direkt miteinander verbunden sein, z. B. durch Bolzen. Somit kann ein kleinerer Abstand 104a zwischen den Auflageflächen 104f erreicht werden.
  • 5A veranschaulicht eine Transportanordnung 500a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht (z. B. quer zum Bewegungspfad 102p) in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Das Verfahren kann Folgendes aufweisen Bereitstellen einen Substrats 502 in einem Übergabebereich 101u; Bewegen einer Substratauflage 104 entlang eines geschlossenen Bewegungspfades 102p, welcher durch den Übergabebereich 101u hindurch führt, so dass das Substrat 502 zwischen dem Übergabebereich 101u und der Substratauflage 104 übergeben wird; und Umorientieren des Substrats 502, indem eine räumliche Orientierung der Substratauflage 104 verändert wird.
  • Das Bewegen einer Substratauflage 104 entlang eines geschlossenen Bewegungspfades 102p kann aufweisen das Substrat 502 mittels einer Substratauflage 104 aufzunehmen oder abzulegen.
  • Das Umorientieren des Substrats 502 kann aufweisen, die Substratauflage 104 aus einer ersten Orientierung in eine zweite Orientierung zu bringen. Das Umorientieren des Substrats 502 kann in einem Umorientierungsbereich 201 erfolgen. Das Umorientieren des Substrats 502 kann aufweisen die Substratauflage 104 entlang eines gekrümmt verlaufenden Abschnitts 302k des Bewegungspfades 102p zu bewegen.
  • Das Substrat 502 kann in dem Übergabebereich 101u z. B. mit einer ersten Orientierung bereitgestellt sein. Das Bereitstellen des Substrats 502 in dem Übergabebereich 101u kann aufweisen das Substrat 502 in den Übergabebereich 101u hinein zu transportieren, z. B. entlang einer Transportrichtung 504 (erste Transportrichtung 504) und/oder mit einer ersten Orientierung. Der Bewegungspfad 102p kann einen gekrümmt verlaufenden Abschnitt 302k aufweisen, z. B. zumindest in dem Umorientierungsbereich 201.
  • Anschaulich greifen die Substratauflagen 104 in dem ersten Transportbereich unter die Transportfläche zum Abheben von Substraten von der Transportfläche oder zum Auflegen von Substraten auf die Transportfläche.
  • 5B veranschaulicht eine Transportanordnung 500b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht (z. B. quer zum Bewegungspfad 102p) in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Das Verfahren kann Folgendes aufweisen: Bewegen einer Substratauflage 104 mit einer ersten räumliche Orientierung entlang eines geschlossenen Bewegungspfades 102p durch einen Übergabebereich 101u hindurch; Umorientieren der Substratauflage 104 in eine zweite räumliche Orientierung; und Bewegen der Substratauflage 104 mit der zweite räumlichen Orientierung entlang des geschlossenen Bewegungspfades 102p durch einen Transportbereich 103 hindurch.
  • Die Substratauflage 104 kann in einem erster Winkel 501 zu dem Bewegungspfad 102p ausgerichtet sein, z. B. zumindest in dessen Transportabschnitt 302t, dessen gekrümmt verlaufenden Abschnitt 302k (z. B. Teil eines Umlenkabschnitts) und/oder in dessen Rücklaufabschnitt 302r (im Rücklaufbereich 801).
  • In dem Übergabebereich 101u kann ein Substrat 502 bereitgestellt sein. Beispielsweise kann das Substrat 502 entlang einer ersten Transportrichtung 504 in den ersten Übergabebereich 101u hinein transportiert sein oder werden. Der Bewegungspfad 102p kann durch den Übergabebereich 101u hindurch verlaufen und innerhalb des Übergabebereich 101u in einem zweiten Winkel 503 zu der ersten Transportrichtung 504. Die erste Transportrichtung 504 kann auf die Führungsstruktur 102 zu gerichtet sein.
  • 6 veranschaulicht eine Transportanordnung 600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können Substrate 502 in einer horizontalen Orientierung in dem Übergabebereich 101u bereitgestellt sein oder werden. Die Substrate 502 können aus einem Substratstrom in den Übergabebereich 101u transportiert werden, z. B. taktweise.
  • Dazu kann die Transportanordnung 600 ein erstes Transportmittel 601 aufweisen, welches den ersten Transportbereich 101 definiert. Das erste Transportmittel 601 kann eine Transportfläche 601f (erste Transportfläche 601f, vergleiche 9) definieren, welche in dem ersten Transportbereich 101 angeordnet ist. Das erste Transportmittel 601 kann z. B. in Form eines Flachriemenförderers ausgebildet sein, wie in 6 veranschaulicht ist. Dann kann das erste Transportmittel 601 mehrere drehbar gelagerte Wellen aufweisen, wobei auf jeder Welle zwei Riemenscheiben 604 befestigt sind. Auf den Riemenscheiben 604 können mehrere Flachriemen 602 geführt werden. Die erste Transportfläche 601f kann von den Flachriemen 602 definiert sein oder werden.
  • Beispielsweise können die Substrate 502 in dem Übergabebereich 101u horizontal bereitgestellt sein oder werden und von dem ersten Transportmittel 601 taktweise in Übergabeposition (in Falle des Aufnehmens auch als Aufnahmeposition bezeichnet) transportiert werden. Anschließend können die Substrate 502 aus der Übergabeposition von einem Balkenpaar (aufweisend zwei Balken 104b oder Rohre 104b, kann auch als Gabelpaar bezeichnet werden) aus der horizontalen Orientierung (Lage) in eine annähernd vertikale Orientierung geschwenkt werden.
  • Die zweite räumliche Orientierung der Substratauflagen 104 (bzw. deren Auflageflächen), z. B. zumindest in dem zweiten Transportbereich 103, kann einen Winkel mit der Vertikalen (z. B. Richtung 15) einschließen, z. B. in einem Bereich von ungefähr 1° bis ungefähr 20°, z. B. in einem Bereich von ungefähr 5° bis ungefähr 10°. Alternativ oder zusätzlich kann die räumliche Orientierung der Substratauflagen 104 (bzw. deren Auflageflächen), z. B. zumindest in dem zweiten Transportbereich 103, einen Winkel mit dem Bewegungspfad 102p, z. B. mit dessen Transportabschnitt (z. B. Richtung 11) einschließen, z. B. in einem Bereich von ungefähr 60° bis ungefähr 89°, z. B. in einem Bereich von ungefähr 70° bis ungefähr 89°, z. B. in einem Bereich von ungefähr 80° bis ungefähr 85°. Beispielsweise kann der Bewegungspfad 102p in dem Transportbereich 103 einen Abschnitt aufweisen, welcher quer zu der Vertikalen verläuft (d. h. parallel zur Horizontalen).
  • Anschaulich kann das Substrat in dem Transportbereich 105 leicht geneigt transportiert werden. Mit dieser Neigung liegt das Substrat 502 in einer sicheren Lage und wird durch den gesamten zweiten Transportbereich 103 kontinuierlich transportiert. In dem zweiten Transportbereich 103 kann ein Bearbeiten, z. B. ein Beschichten des Substrats 502 erfolgen (d. h. ein Beschichtungsprozess).
  • Der Abstand 104a der Substratauflagen 104, bzw. deren Balkenpaare 104b, kann der Teilung der Kettenstruktur entsprechen. Die Führungsstruktur 102 kann beidseitig angeordnete Duplex-Rollenketten aufweisen, welche die Seitenstabilität erhöht. Beispielsweise kann der Abstand der Balkenpaare 104b in einem Bereich von ungefähr 4 cm bis ungefähr 6 cm liegen. Im Allgemeinen könne es Ketten ermöglichen, die Länge der Führungsstruktur 102 anzupassen, z. B. nachträglich, z. B. an deren Abnutzung.
  • Die Kettenstruktur (bzw. deren Duplex-Rollenketten) kann integriere Laschen (Befestigungslaschen) aufweisen, an denen die Substratauflagen 104 und/oder die Verbindungselemente 404 (anschaulich Querbalken) befestigt sind. An jedem Verbindungselement 404 könne jeweils zwei Balken (d. h. ein Balkenpaar) befestigt sein, z. B. gefügt oder monolithisch.
  • Der Abstand 104a der Substratauflagen 104, bzw. deren Balkenpaare 104b, kann die Packungsdichte der Substrate 502 definieren. Beispielsweise kann bei einem bei einem Abstand 104a von ungefähr 5 cm eine Packungsdichte von ungefähr 20 pro Meter (20 Substrate/Meter) erreicht werden.
  • Eine Umlenkrolle (nicht dargestellt) kann drehbar gelagert sein, z. B. mittels einer drehbar gelagerten Welle 606. An einer ersten drehbar gelagerten Welle 606 kann eine erste drehbar gelagerte Rolle 1012, z. B. eine erste Antriebsrolle, befestigt sein. An einer zweiten drehbar gelagerten Welle 606 eine zweite drehbar gelagerte Rolle 1014, z. B. alternativ oder zusätzlich eine zweite Antriebsrolle, befestigt sein. Die erste drehbar gelagerte Rolle 1012 und die zweite drehbar gelagerte Rolle 1014 können Alternativ oder zusätzlich als Umlenkrollen eingerichtet sein. Zusätzlich kann die Transportanordnung 600 weitere drehbar gelagerte Rollen aufweisen, z. B. als Umlenkrolle und/oder als Antriebsrolle eingerichtet.
  • 7A veranschaulicht eine Transportanordnung 700a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Frontansicht (z. B. entlang des Bewegungspfades 102p in dem zweiten Transportbereich), welche ein drittes Transportmittel aufweisen kann.
  • Das dritte Transportmittel kann eine Umorientierungvorrichtung 702 aufweisen oder daraus gebildet sein, z. B. in Form eines Entlade-Roboters. Anschaulich kann die Umorientierungvorrichtung 702 den dritten Transportbereich 105 z. B. teilweise definieren. Die Umorientierungvorrichtung 702 kann Substrate, welche durch den zweiten Transportbereich 103 hindurch transportiert worden sind, aufnehmen und weiter transportieren. Die Umorientierungvorrichtung 702 kann eingerichtet sein, die Substrate 502 aufzunehmen, z. B. kurz bevor diese den geradlinig verlaufenden Bewegungspfad 102p verlassen. Mit anderen Worten kann die Umorientierungvorrichtung 702 eingerichtet sein, die Substrate 502 aufzunehmen, z. B. kurz bevor die Substratauflage 104 aus der zweiten Orientierung heraus gebracht werden.
  • Die Umorientierungvorrichtung 702 einen beweglichen Arm (Roboterarm) aufweisen, an welchem die Substratauflage 104 befestigt ist. Optional kann in der Umorientierungvorrichtung 702 einen Vakuumgreifer 904 (vergleiche 9) aufweisen, welche eingerichtet ist ein Substrat anzusaugen und damit zu halten.
  • 7B veranschaulicht eine Transportanordnung 700b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht (z. B. quer zum Bewegungspfad 102p), wobei die Umorientierungvorrichtung 702 eingerichtet ist, die Substrate in dem dritten Transportbereich 105 aufzunehmen, und optional umzuorientieren. In dem Fall kann der Bewegungspfad 102p durch den dritten Transportbereich 105 hindurch verlaufen.
  • Beispielsweise können die Substrate 502 von einer Auflagefläche 704 der Umorientierungvorrichtung 702 aufgenommen 701 werden (anschaulich z. B. drauf fallen 701), wenn die Substratauflagen 104 aus der zweiten Orientierung heraus gebracht werden. Die Umorientierungvorrichtung 702 kann die Substrate 502 dann weiter transportieren 703.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Auflagefläche 704 der Umorientierungvorrichtung 702 als Kontaktlos-Substratauflage, d. h. zum kontaktlosen Halten eines Substrats, eingerichtet sein. In dem Fall kann die Auflagefläche 704 (zum kontaktlosen Halten des Substrats) einen oder mehrere Gasauslässe aufweisen, aus denen ein Gas herausströmen kann, welches zwischen der Auflagefläche 704 der Umorientierungvorrichtung 702 und einem darauf aufgenommenen Substrat 502 ein Luftkissen bilden kann. Somit kann eine Beschädigung empfindlicher Substrate vermieden werden. Die Umorientierungvorrichtung 702 kann Teil eines dritten Transportmittels sein.
  • 8 veranschaulicht eine Transportanordnung 800 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht. 9 veranschaulicht die Transportanordnung 800 gemäß in einer schematischen Seitenansicht.
  • Die Transportanordnung 800 weist ein drittes Transportmittel 603 auf, welches den dritten Transportbereich 105 definiert. Das dritte Transportmittel 603 kann eine Transportfläche 603f (dritte Transportfläche 603f, vergleiche 9) definieren, welche in dem dritten Transportbereich 103 angeordnet ist. Das dritte Transportmittel 603 kann z. B. einen Flachriemenförderer 902 aufweisen. Dann kann das dritte Transportmittel 603 mehrere drehbar gelagerte Wellen aufweisen, wobei auf jeder Welle zwei Riemenscheiben befestigt sind. Auf den Riemenscheiben können mehrere Flachriemen geführt werden, welche die Transportfläche 603f definieren.
  • Mit anderen Worten kann die Transportanordnung 800 einen weiteren Flachriemenförderer (auch als Conveyor bezeichnet) aufweisen, z. B. als Teil des dritten Transportmittels 603. Ferner kann das dritte Transportmittel 603 die Umorientierungvorrichtung 702 aufweisen.
  • Die Umorientierungvorrichtung 702 kann eingerichtet sein die Substrate dem weiteren Flachriemenförderer zuzuführen (z. B. auf diesem abzulegen). Die Umorientierungvorrichtung 702 kann den zweiten Umorientierungsbereich 901 definieren. Die Substratauflagen 104 fahren im unterdrum, d. h. durch den Rücklaufbereich 801 hindurch, zurück zu dem ersten Übergabebereich 101u.
  • 10A veranschaulicht eine Transportanordnung 1000a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht, 10B die Transportanordnung 1000a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht (z. B. quer zum Bewegungspfad 102p) und 11A die Transportanordnung 1000a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Frontansicht (z. B. entlang des Transportabschnitts), wobei die Substratauflagen zur Übersicht nicht dargestellt sind.
  • Das Bewegen der Führungsstruktur 102 kann beispielsweise mittels eines Kettenantriebs erfolgen. Dabei kann die Führungsstruktur 102, bzw. deren Führungsglieder 102g, beispielsweise entlang eines geschlossenen Bewegungspfads 102p bewegt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können jeweils zwei (endlos umlaufende) Ketten 1002 mittels mindestens zweier Wellen 606 mit jeweils zwei Kettenrädern 1004 (Zahnkettenrädern) gelagert und angetrieben werden. Dabei können die Ketten 1002 zusätzlich mittels einer Führungsschienenanordnung 302, aufweisend eine Gleitschiene oder mehrerer Gleitschienen, geführt sein oder werden. Ferner können die Ketten 1002 jeweils Halterungen (z. B. Laschen oder Schellen) zum Halten oder Aufnehmen von Verbindungselementen 404 aufweisen, an denen einen Vielzahl Verbindungselemente 404 befestigt sein kann oder werden kann.
  • Die Führungsstruktur 102, bzw. deren Verbindungselemente 404, kann beispielsweise eine geschlossene Gastrennfläche 310 bilden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Führungsstruktur 102, bzw. deren Verbindungselemente 404, kohlenstofffaserverstärkten Kohlenstoff und/oder eine Keramik aufweisen oder daraus bestehen. Der Antrieb der Führungsstruktur 102, bzw. deren Verbindungselemente 404, kann mittels der Ketten 1002 erfolgen, wobei die Ketten 1002 mittels eines Motors (Antriebs) 1006 und der Welle 606 (Antriebswelle 606) mit zwei Kettenrädern 1004 bewegt werden können. Die zwei Kettenräder 1004 und die Welle 606 können eine drehbar gelagerte Rolle bilden, z. B. eine Antriebsrolle.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Führungsstruktur 102, bzw. deren Verbindungselemente 404, in dem zweiten Transportbereich 103 eine planare Gastrennfläche 310 bilden, welche in eine Richtung quer zum Transportabschnitt (z. B. in vertikaler Richtung 15) im Wesentlichen gasdicht sein kann.
  • Die Führungsstruktur 102 (z. B. deren Verbindungselemente 404) und/oder die Substratauflagen 104 können ein Verbundmaterial (z. B. Kohlenstofffaserverstärkten Kohlenstoff) und/oder ein Metall (z. B. Stahl) aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Ferner können die Führungsstruktur 102 beispielsweise auch in mehreren Bereichen angetrieben oder gebremst werden, oder mittels eines anderen Antriebs in Bewegung gesetzt werden.
  • In 11B, 11C, 11D und 11E veranschaulichen jeweils eine Führungsstruktur 102 in einer schematischen Querschnittsansicht (z. B. quer zum Bewegungspfad). Es sind jeweils verschiedene mögliche Querschnittsformen für die Führungsglieder 102g und/oder deren Verbindungselemente 404 veranschaulicht. Die Führungsglieder 102g bzw. deren Verbindungselemente 404 können beispielsweise derart eingerichtet sein, dass diese beim Umlenken der Führungsglieder 102g bzw. deren Verbindungselemente 404 vor und nach der Transportstrecke in dem zweiten Transportbereich 103 ineinandergreifen, wie in 11B veranschaulicht ist. Damit kann erreicht werden, dass die Führungsglieder 102g bzw. deren Verbindungselemente 404, eine geschlossene Gastrennfläche 310 bilden. Beispielsweise können jeweils einander benachbarte die Führungsglieder 102g bzw. deren Verbindungselemente 404 ineinander greifen oder sich gegenseitig teilweise überlappen.
  • Die Führungsglieder 102g und/oder deren Verbindungselemente 404 können ein Rohr oder Stab aufweisen oder daraus gebildet sein, wie in 11C veranschaulicht ist.
  • Somit kann beispielsweise die Führungsstruktur 102 anschaulich als Teil der Gasführungsstruktur wirken. Anschaulich kann die Führungsstruktur 102 verhindern, dass sich ein gasförmiger Stoff (z. B. ein Bearbeitungsmittel) durch die Führungsstruktur 102 hindurch ausbreitet.
  • 12A veranschaulicht eine Transportanordnung 1200a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht und 12B veranschaulicht die Transportanordnung 1200a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das erste Transportmittel 601 mehrere drehbar gelagerte Rollen 1202 (Transportrollen) aufweisen, deren Umfangsfläche die erste Transportfläche definiert. Mit anderen Worten kann das erste Transportmittel 601 einen Rollenförderer aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Analog dazu kann das dritte Transportmittel 603 mehrere drehbar gelagerte Rollen 1204 (Transportrollen) aufweisen, deren Umfangsfläche die Transportfläche definiert (anschaulich ein Rollenbahn). Mit anderen Worten kann das dritte Transportmittel 603 einen Rollenförderer 1206 aufweisen. Ferner kann das dritte Transportmittel 603 eine Umorientierungvorrichtung 702 aufweisen. Die Umorientierungvorrichtung 702 kann zum Übergeben von Substraten zwischen der Vielzahl Substratauflagen und dem dritten Transportbereich, z. B. dem Rollenförderer 1206, eingerichtet sein.
  • Die Umorientierungvorrichtung 702 kann einen beweglichen Arm aufweisen, an welchem ein Vakuumgreifer 904 befestigt ist. Der Vakuumgreifer 904 kann eingerichtet sein ein Substrat rückseitig anzusaugen und damit zu halten (d. h. die Seite mit der das Substrat auf der Substratauflage 104 aufliegt). Damit kann verhindert werden, dass die Vorderseite des Substrats beschädigt wird, z. B. wenn darauf eine Schicht abgeschieden wurde.
  • Die Führungsstruktur 102 kann zwischen dem zweiten Transportbereich 103 und dem dritten Transportbereich 105 einen zweiten Umorientierungsbereich 901 definieren. In dem zweiten Umorientierungsbereich 901 werden durch diesen hindurch bewegte Substratauflagen 104 aus der zweiten räumlichen Orientierung (z. B. 83° gegenüber der Horizontalen) herausgebracht.
  • Dabei werden die Substratauflagen 104 über durch eine vertikale Orientierung hindurch bewegt. Dabei können die Substrate 502 die Substratauflage 104 verlassen. Die Umorientierungvorrichtung 702 kann eine Kontaktlos-Substratauflage 1208 aufweisen zum Erzeugen eines Luftpolsters, welches die Substrate aufnimmt und hält. Dazu kann die Substratauflage 1208 einen Gasauslass (zumindest eine Gasaustrittsdüse) oder mehrere Gasauslässe (z. B. mehrere Gasaustrittsdüsen) aufweisen, aus denen Gas herausströmen kann.
  • Optional kann die Umorientierungvorrichtung 702 eine weitere Kontaktlos-Substratauflage 1210 aufweisen zum Erzeugen eines weiteren Luftpolsters. Die Substratauflage 1208 und die weitere Substratauflage 1210 können einander gegenüberliegen. Beispielsweise können deren Gasauslässe aufeinander zu ausgerichtet sein. Das Substrat 502 kann zwischen dem Luftpolsters und dem weiteren Luftpolsters gehalten werden. Anschaulich kann das Substrat in einem Luftpolstergleichgewicht gehalten werden.
  • Das mittels des Luftpolsters und des weiteren Luftpolsters gehaltene Substrat kann anschließend mittels des Vakuumgreifers 904 kontaktiert und angekuppelt werden. Dazu kann das weitere Luftpolster, welches der Seite des Vakuumgreifers 904 angeordnet ist, entfernt werden, z. B. abgeschaltet werden. Damit kann erreicht werden, dass das Luftpolster, welches auf der dem Vakuumgreifers 904 gegenüberliegenden Seite angeordnet ist, das Substrat 502 gegen den Vakuumgreifer 904 presst, was das ankuppeln erleichtert.
  • Anschließend kann das Substrat auf die dritte Transportfläche aufgelegt werden, z. B. auf einen Rollenförderer. Anschaulich erfolgt das Entladen des zweiten Transportmittels mittels der Vakuumgreifer 904 auf eine Exit Rollenbahn.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Rollenförderer 1206 bzw. der Flachriemenförderer 902 auch weggelassen werden.
  • 13A veranschaulicht die Transportanordnung 1200a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht. Die Substrate 502 können als Substratband in den ersten Übergabebereich 101u transportiert werden.
  • 13B veranschaulicht eine Prozessieranordnung 1300b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Frontansicht.
  • Prozessieranordnung 1300b kann eine Gasführungsstruktur 1302 aufweisen, welche einen Gaskanal 1304 definiert. Die Gasführungsstruktur 1302 kann eine äußere Gastrennwand 1302a und eine innere Gastrennwand 1302b aufweisen und optional mindestens eine dazwischen angeordnete Gastrennplatte 1302c.
  • Die äußere Gastrennwand 1302a kann z. B. zumindest teilweise mittels einer Prozessierkammer bereitgestellt sein oder werden. Die äußere Gastrennwand 1302a kann den Gaskanal 1304 umgeben.
  • Die innere Gastrennwand 1302b kann von der äußeren Gastrennwand 1302a (bzw. dem Gaskanal 1304) umgeben sein. Mit anderen Worten kann zwischen der äußeren Gastrennwand 1302a und der innere Gastrennwand 1302b der Gaskanal 1304 gebildet sein. Die innere Gastrennwand 1302b kann oberhalb des zweiten Transportmittels 202 angeordnet sein. Mit anderen Worten kann sich der zweite Transportbereich 103 zwischen der Führungsstruktur 102 und der innere Gastrennwand 1302b erstrecken. Der Transportbereich 103 und der Gaskanal 1304 können einander durchdringen. Damit kann erreicht werden, dass entlang des Gaskanals 1304 strömendes Material (Stoff) durch den zweiten Transportbereich 103 hindurch strömen kann, z. B. mit einer Richtungskomponente quer zum Transportabschnitt, z. B. mit einer horizontalen Richtung oder Richtungskomponente. Die geschlossene Gastrennfläche der Führungsstruktur 102 kann den Gaskanal nach unten hin begrenzen.
  • Die Gasführungsstruktur 1302 kann optional eine Gastrennplatte 1302c oder mehrere Gastrennplatten 1302c aufweisen, welche innerhalb des Gaskanals 1304 angeordnet sind, d. h. zwischen der äußeren Gastrennwand 1302a und der inneren Gastrennwand 1302b. Die mehreren Gastrennplatten 1302c können den Gaskanal 1304 zumindest abschnittsweise segmentieren (d. h. z. B. als so genannte Strömungsführung eingerichtet sein).
  • Die Prozessieranordnung 1300b kann eine Stoffstromquelle 1312, z. B. in Form eines Gebläses, aufweisen. Die Stoffstromquelle 1312 kann eingerichtet einen gasförmigen Stoffstrom 1314 (anschaulich eine Konvektion) anzutreiben, z. B. derart, dass dieser in dem Gaskanal 1304 zirkuliert, z. B. entlang einer Umlaufrichtung 1314.
  • Die Prozessieranordnung 1300b kann eine Wärmequelle 1316 aufweisen. Die Wärmequelle 1316 kann mehrere Segmente (z. B. plattenförmig) aufweisen, welche den Gaskanal 1304 zumindest teilweise umgeben. Die Wärmequelle 1316 kann an der äußeren Gastrennwand 1302a befestigt sein, z. B. außen (d. h. auf der dem Gaskanal 1304 gegenüberliegenden Seite der äußeren Gastrennwand 1302a, d. h. der Außenseite), wie in 13B dargestellt ist. Alternativ oder zusätzlich kann eine Wärmequelle 1316 auch auf der Innenseite der äußeren Gastrennwand 1302a befestigt sein.
  • Optional kann die Prozessieranordnung 1300b eine Wärmeisolation 1318 aufweisen, welche die äußere Gastrennwand 1302a umgibt. Die Wärmeisolation 1318 kann ein thermisch isolierendes Material aufweisen, z. B. eine Keramik oder ein Glas. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Wärmeisolation 1318 Teil der Gastrennstruktur sein, z. B. kann die Wärmeisolation 1318 zumindest einen Teil der äußeren Gastrennwand 1302a bilden, z. B. wenn die Wärmequelle 1316 auf deren Innenseite angeordnet ist.
  • Ein Transportmechanismus 1308, aufweisend die Führungsschienenanordnung 302, drehbar gelagerte Rollen und/oder die Antriebsvorrichtung, kann außerhalb der äußeren Gastrennwand 1302a angeordnet sein. Somit kann erreicht werden, dass der Transportmechanismus 1308 anschaulich möglichst wenig thermisch belastet wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Gaskannal 1304 auch derart eingerichtet sein, dass der gasförmige Stoffstrom 1314 durch den zweiten Transportbereich 103 strömt, z. B. mit einer Richtungskomponente quer zum Transportabschnitt 302t, z. B. mit einer vertikalen Richtung oder Richtungskomponente. In dem Fall kann die Führungsstruktur 102 Öffnungen oder Spalten (z. B. Spalten zwischen den Führungsgliedern) aufweisen, durch welche der gasförmige Stoffstrom 1314 hindurch strömt. Anschaulich kann der Gaskanal 1304 die Führungsstruktur 102 durchdringen.
  • Die Stoffstromquelle 1312 kann optional eine Stoffquelle (nicht dargestellt) aufweisen. Die Stoffquelle kann einen Gaseinlass oder mehrerer Gaseinlässe aufweisen. Beispielsweise können auf gegenüberliegenden Seiten (z. B. in horizontaler Richtung gegenüberliegend) des zweiten Transportbereich 103 jeweils ein Gaseinlass oder mehrerer Gaseinlässe angeordnet sein. Die Stoffquelle kann eingerichtet sein dem Gaskanal 1304 einen gasförmigen Stoff zuzuführen.
  • Der gasförmige Stoff kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen zumindest eines von Folgendem aufweisen: einen gasförmigen Wärmeträger (z. B. Stickstoff und/oder ein Inertgas wie z. B. Argon), ein gasförmiges Bearbeitungsmittel (z. B. ein Reaktivgas wie z. B. Sauerstoff und/oder Ozon, ein Ätzgas wie z. B. perfluorierte Kohlenwasserstoffe, ein Plasma, ein Präkursorgas). Das Plasma kann z. B. aus einem Inertgas gebildet sein oder werden.
  • Zum Erwärmen der Substrate 502 kann ein gasförmiger Wärmeträger verwendet werden. Das Erwärmen von Substraten kann eine Aufwärmphase (Erwärmen der Temperatur) eine Haltephase (Halten der Temperatur) und eine Abkühlphase (Senken der Temperatur) aufweisen. Die Aufwärmphase, die Haltephase und/oder die Abkühlphase können eine Zeitdauer aufweisen in einem Bereich von ungefähr 1 Minute bis ungefähr 600 Minuten, z. B. in einem Bereich von ungefähr 10 Minuten bis ungefähr 120 Minuten, in einem Bereich von ungefähr 30 Minuten bis ungefähr 60 Minuten, z. B. mehr als 30 Minuten, z. B. mehr als 60 Minuten, z. B. mehr als 120 Minuten. Die Breite (Ausdehnung quer zum Transportabschnitt, z. B. entlang der Horizontalen) der Substratauflage 104 kann in einem Bereich von ungefähr 50 Zentimeter bis ungefähr 4 Meter liegen, z. B. ungefähr 1,20 Meter.
  • Das Erwärmen der Substrate 502 kann eine Aufwärmphase in dem Umorientierungsbereich und/oder in dem zweiten Transportbereich aufweisen. Das Erwärmen der Substrate 502 kann eine Haltephase und eine Abkühlphase in dem zweiten Transportbereich aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann das Erwärmen der Substrate 502 die Abkühlphase in dem zweiten Übergabebereich aufweisen.
  • Alternativ können auch Substratträger 502 transportiert werden, in denen jeweils ein Substrat oder mehrere Substrate aufgenommen und gehalten sein oder werden können.

Claims (10)

  1. Transportanordnung (100a, 200a, 600), aufweisend: • einen Transportbereich (101), in dem die Transportanordnung (100a, 200a, 600) zum Transportieren von Substraten entlang einer Transportrichtung eingerichtet ist; • eine endlos umlaufende Führungsstruktur (102), welche einen geschlossenen Bewegungspfad (102p) definiert, entlang dessen eine Vielzahl Substratauflagen geführt ist; • die Vielzahl Substratauflagen (104), von denen jeweils einander benachbarte Substratauflagen (104) in einem Abstand voneinander geführt sind, so dass zwischen diesen ein Spalt zum Aufnehmen eines Substrats gebildet ist, und von denen jede Substratauflage eine räumliche Orientierung aufweist, die in einem Winkel zu dem Bewegungspfad (102p) ausgerichtet ist, zum Halten eines Substrats in der räumlichen Orientierung; • wobei die Führungsstruktur (102) derart relativ zu dem Transportbereich (101) angeordnet ist, dass der Bewegungspfad (102p) durch den Transportbereich (101) hindurch verläuft und innerhalb des Transportbereichs (101) in einem Winkel zu der Transportrichtung verläuft zum Übergeben von Substraten zwischen dem Transportbereich (101) und jeweils durch diesen hindurch bewegten Substratauflagen (104).
  2. Transportanordnung (100a, 200a, 600) gemäß Anspruch 1, • wobei die Transportanordnung (100a, 200a, 600) in dem Transportbereich (101) zum Transportieren von Substraten mit einer ersten räumlichen Orientierung eingerichtet ist; • wobei die Führungsstruktur (102) einen weiteren Transportbereich (103) definiert, in dem durch diesen hindurch bewegte Substratauflagen (104) eine zweite räumliche Orientierung aufweisen, zum Transportieren von Substraten mit der zweiten räumlichen Orientierung durch den weiteren Transportbereich (103) hindurch, und • wobei die Führungsstruktur (102) zwischen dem Transportbereich (101) und dem weiteren Transportbereich (103) einen Umorientierungsbereich definiert, in dem durch diesen hindurch bewegte Substratauflagen (104) aus der ersten räumlichen Orientierung in die zweite räumliche Orientierung umorientiert werden.
  3. Transportanordnung (100a, 200a, 600) gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei der Bewegungspfad (102p) einen geradlinig verlaufenden Abschnitt aufweist und wobei der Bewegungspfad (102p) einen gekrümmten verlaufenden Abschnitt zwischen dem Transportbereich (101) und dem geradlinig verlaufenden Abschnitt aufweist.
  4. Transportanordnung (100a, 200a, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Führungsstruktur (102) die Vielzahl Substratauflagen (104) jeweils paarweise gegeneinander auslenkbar miteinander koppelt.
  5. Transportanordnung (100a, 200a, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei jede Substratauflage der Vielzahl Substratauflagen (104) mehrere Halteelemente (104b) aufweist, welche sich entlang deren räumlichen Orientierung und/oder von der Führungsstruktur (102) weg erstrecken.
  6. Transportanordnung (100a, 200a, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, ferner aufweisend: ein Transportmittel, welches eine Transportfläche in dem Transportbereich (101) definiert, zum Transportieren von Substraten in einer räumlichen Orientierung der Transportfläche.
  7. Transportanordnung (100a, 200a, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, ferner aufweisend: eine Antriebsvorrichtung zum Antreiben der Führungsstruktur (102), wobei die Antriebsvorrichtung eingerichtet ist entlang eines ersten Abschnitts des Bewegungspfads (102p) eine erste Kraft auf die Führungsstruktur (102) zu übertragen und entlang eines zweiten Abschnitts des Bewegungspfads (102p) eine zweite Kraft auf die Führungsstruktur (102) zu übertragen, wobei die erste Kraft verschieden zu der zweiten Kraft ist, so dass die Führungsstruktur (102) zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt vorgespannt wird.
  8. Transportanordnung (100a, 200a, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, ferner aufweisend: einen noch weiteren Transportbereich (105), in dem die Transportanordnung (100a, 200a, 600) zum Transportieren von Substraten entlang einer Transportrichtung eingerichtet ist, wobei die Führungsstruktur (102) zwischen dem Transportbereich (101) und dem noch weiteren Transportbereich (105) erstreckt ist und wobei die Transportanordnung (100a, 200a, 600) ferner eingerichtet ist zum Übergeben von Substraten zwischen dem noch weiteren Transportbereich (105) und der Vielzahl Substratauflagen (104).
  9. Prozessieranordnung (100b, 1300b), aufweisend: • eine Transportanordnung (100a, 200a, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8; und • eine Bearbeitungsvorrichtung, welche eingerichtet ist Substrate zu bearbeiten.
  10. Prozessieranordnung (100b, 1300b) gemäß Anspruch 9, die Bearbeitungsvorrichtung aufweisend: • eine Gasführungsstruktur (1302), welche einen umlaufenden Gaskanal (1304) definiert, durch welchen sich der Bewegungspfad (102p) hindurch erstreckt, so dass ein von der Gasführungsstruktur (1302) geführter gasförmiger Stoffstrom zwischen jeweils durch den Gaskanal hindurch bewegten Substratauflagen (104) strömt; und • eine Stoffstromquelle (1312), welche eingerichtet ist den gasförmigen Stoffstrom bereitzustellen.
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