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Hintergrund der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auch einen Drucksensor, der den Druck eines Druckfluides erfasst, welches in einem Fluiddurchgang fließt, sowie auf ein Herstellungsverfahren für den Drucksensor.
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Bisher wird in einer Produktionslinie, in der Wasser, Öl, chemische Lösungen oder dergleichen eingesetzt werden, ein Drucksensor verwendet, um den Druck dieser Fluide zu messen. Der Drucksensor, wie er beispielsweise in dem europäischen Patent
EP 2 175 252 B1 beschrieben ist, umfasst einen keramischen Sensor, auf dessen Oberfläche mehrere Widerstandskörper angeordnet sind. In einem Zustand, in welchem der Sensor im Inneren eines Körpers aufgenommen ist, erfahren die Widerstandskörper durch den Druck eines Druckfluides, das durch einen Anschluss in das Innere des Körpers eingeführt wird, eine Deformation. Der Druck wird anhand einer Ausgangsspannung, welche der Deformation entspricht, erfasst. Die Widerstandskörper werden beispielsweise dadurch ausgebildet, dass sie aufgedruckt werden, wobei sie relativ zu der Oberfläche des Sensors im Wesentlichen in einer Rautenform angeordnet sind. Das Aufdrucken erfolgt durch Dickschichtbedruckung, wie Siebdruck oder dergleichen. Anschließend erfolgt ein Brennen.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Da aber bei dem oben beschriebenen Drucksensor mehrere Widerstandskörper in einer Rautenform vorgesehen sind, können aufgrund ihrer Anordnung die Widerstandskörper nicht gleichzeitig aufgedruckt werden, wenn die Widerstandskörper bei Verwendung einer Siebmaske während des Siebdruckens als Paste aufgedruckt werden. Daher können kleine Abweichungen bei der Bedruckung auftreten.
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Aufgrund dieser Abweichungen beim Timing des Aufdruckens der Widerstandskörper können Unterschiede in den Druckbedingungen der jeweiligen Widerstandskörper auftreten und die Dicke der Widerstandskörper wird ungleichmäßig. Hierdurch können Variationen der Widerstandswerte der jeweiligen Druckkörper auftreten. Dementsprechend wird das Verfahren zum Einstellen der Widerstandswerte sehr komplex und führt zu einer Verringerung der Produktivität.
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Es ist daher eine allgemeine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Drucksensor vorzuschlagen, bei dem mehrere Widerstandskörper einfach und gleichförmig hergestellt werden können, wodurch die Produktqualität verbessert und die Herstellung vereinfacht wird. Außerdem soll ein Herstellverfahren für einen solchen Drucksensor vorgeschlagen werden.
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Diese Aufgabe wird mit der Erfindung im Wesentlichen durch die Merkmale der Ansprüche 1 und 3 gelöst.
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Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
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Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist gekennzeichnet durch einen Drucksensor mit einem Körper, der einen Fluiddurchgang aufweist, in den ein Druckfluid eingeführt wird, und einen keramischen Sensor, der an einem Ende des Körpers angeordnet ist und einen dünnfilmigen Membranabschnitt aufweist, welcher dem Fluiddurchgang zugewandt ist. An dem Membranabschnitt sind mehrere Widerstandskörper, die durch Dickschichtbedruckung aufgedruckt werden, in einer geraden Linie vorgesehen und mit einem festgelegten Abstand voneinander getrennt.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung sind bei dem Drucksensor mit einem an einem Ende des Körpers vorgesehenen Keramiksensor die mehreren Widerstandskörper, die durch Dickschichtbedruckung aufgedruckt sind, auf dem dünnfilmigen Membranabschnitt des Keramiksensors in einer geraden Linie vorgesehen und voneinander mit einem festgelegten Abstand separiert. Wenn die mehreren Widerstandskörper durch Dickschichtbedruckung aufgedruckt werden, werden dementsprechend die Druckbedingungen und die Filmdicke gleichförmig, da alle Widerstandskörper gleichzeitig gedruckt werden können. Dadurch lässt sich die Produktqualität verbessern, wobei gleichzeitig auch die Herstellung vereinfacht wird, weil kein Einstellvorgang für die Widerstandskörper mehr notwendig ist.
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Außerdem ist die vorliegende Erfindung gekennzeichnet durch ein Herstellverfahren zur Herstellung eines Drucksensors mit einem Keramiksensor, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
nach Durchführen einer Oberflächenbearbeitung an dem Sensor Aufdrucken und Brennen von Leitungen an einer Endfläche des Sensors durch Dickschichtbedruckung unter Verwendung eines leitfähigen pastösen Materials, und
durch Schaben eines dickschichtigen resistiven pastösen Materials auf Basis von Ruthenium auf eine Siebmaske, gleichzeitiges Drucken und Brennen mehrerer Widerstandskörper in einer geraden Linie durch Dickschichtbedruckung in einer Richtung senkrecht zu einer Richtung des Schabens des dickschichtigen resistiven pastösen Materials.
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Nach dem Drucken und Brennen der Leitungen (Leiterbahnen) auf der Endfläche des Sensors durch Dickschichtbedruckung unter Verwendung einer leitfähigen Paste werden gemäß der vorliegenden Erfindung die mehreren Widerstandskörper in einer geraden Linie durch Dickschichtbedruckung in einer Richtung senkrecht zu der Schaberichtung des dickschichtigen resistiven pastösen Materials auf die Endfläche des Sensors gedruckt und gebrannt.
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Da die mehreren Widerstandskörper durch die dickschichtige resistive Paste gleichzeitig auf den Sensor gedruckt werden können, ist es dementsprechend möglich, die Druckbedingungen und die Schichtdicke gleichförmig zu gestalten. Gleichzeitig ist es auch möglich, die Widerstandswerte der jeweiligen Widerstandskörper gleichförmig zu machen. Hierdurch kann eine Operation zur Einstellung der Widerstandswerte der Widerstandskörper entfallen. Somit lässt sich bei einer vereinfachten Montage ein Drucksensor mit hoher Produktqualität erhalten.
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Weitere Ziele, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen und der Zeichnung. Hierbei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von der Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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1 ist ein Schnitt durch einen Drucksensor gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
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2 ist ein vergrößerter Schnitt, der die Umgebung eines Sensors des Drucksensors gemäß 1 zeigt;
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3 ist eine Vorderansicht auf den Sensor in dem Drucksensor gemäß 1;
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4A ist eine Vorderansicht des Sensors, wobei eine Anordnung von Widerstandskörpern gemäß 3 dargestellt ist; und
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4B ist eine Vorderansicht eines Sensors, bei dem eine Anordnung von Widerstandskörpern gemäß dem Stand der Technik dargestellt ist.
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Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
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Wie in 1 dargestellt ist, umfasst ein Drucksensor 10 einen Körper 14 mit einem Fluiddurchgang, in welchen ein Druckfluid eingeführt wird, einen Halter 16, der an einem Ende des Körpers 14 angebracht ist, und einen Sensor 18, der im Inneren des Halters 16 zwischen dem Halter 16 und dem Körper 14 angeordnet ist.
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Der Körper 14 wird beispielsweise aus einem metallischen Material hergestellt, wobei ein erster Gewindeabschnitt 20 an einer äußeren Umfangsfläche an seinem einen Ende vorgesehen ist, welches einen kreisförmigen Querschnitt aufweist. Ein Halter 16, der später beschrieben wird, ist durch Aufschrauben integral mit dem Körper 14 verbunden. Außerdem ist ein Dichtring 22 in einer Ringnut an einer Endfläche des einen Endes angeordnet und liegt an einer unteren Fläche des Sensors 18, der unten beschrieben wird, an. Der Dichtring 22 kann kreisförmig oder rechteckig ausgestaltet sein, solange er eine Ringform hat.
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Außerdem sind an dem einen Ende des Körpers 14 Positionierungsstifte 24 (vgl. 3) vorgesehen, die um eine festgelegte Höhe in einer Richtung (der Richtung des Pfeils A) weg von dem einen Ende vorstehen. Die Positionierungsstifte 24 sind in später beschriebene Nuten 54 des Sensors 18 eingesetzt.
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Ähnlich der einen Endseite ist an einer äußeren Umfangsfläche an einem anderen Ende des Körpers 14 ein zweiter Gewindeabschnitt 26 ausgebildet. Der zweite Gewindeabschnitt 26 ist durch Verschrauben beispielsweise mit einem Anschluss einer nicht dargestellten Fluiddruckvorrichtung verbunden. In der Mitte des anderen Endes ist ein Fluidzufuhranschluss 28, der sich in eine Endfläche des anderen Endes öffnet, ausgebildet. Außerdem ist der Fluidzufuhranschluss 28 entlang einer axialen Richtung (der Richtung der Pfeile A und B) in der Mitte des Körpers 14 ausgebildet und steht mit dem Fluiddurchgang 12 in Verbindung, der zu dem einen Ende des Körpers 14 durchtritt.
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Außerdem ist an der äußeren Umfangsfläche eines im Wesentlichen zentralen Abschnitts des Körpers 14 entlang der axialen Richtung (der Richtung der Pfeile A und B) ein im Querschnitt sechseckig geformter Mutternabschnitt 30 ausgebildet. Durch Ergreifen des Mutternabschnitts 30 mit einem nicht dargestellten Werkzeug und Drehen des Körpers 14 wird der Körper 14 über den zweiten Gewindeabschnitt 26 mit einer nicht dargestellten Fluiddruckvorrichtung oder dergleichen verbunden.
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Der Halter 16 ist beispielsweise aus einem metallischen Material, wie Messing oder Edelstahl oder dergleichen, zu einer zylindrischen Form mit Boden geformt. In dem Zentrum eines Endes des Bodens ist eine Öffnung 32 ausgebildet, die in der axialen Richtung (der Richtung der Pfeile A und B) durchtritt. Außerdem ist an einem äußeren Umfangsabschnitt der Öffnung 32 ein Druckabschnitt 34 ausgebildet. An einer inneren Umfangsfläche an der anderen Endseite (in der Richtung des Pfeils B) ist außerdem in dem Halter 16 ein Innengewindeabschnitt 36 vorgesehen, der mit dem ersten Gewindeabschnitt 20 des Körpers 14 verschraubt ist. Außerdem wird der Halter 16 durch Aufschrauben durch den Innengewindeabschnitt 36 so koaxial angeschlossen, dass er das eine Ende des Körpers 14 abdeckt.
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Wie in den 1 bis 3 gezeigt ist, ist der Sensor 18 aus einem keramischen Material, wie Aluminiumoxid (Al2O3, Tonerde) oder dergleichen, geformt. Der Sensor 18 besteht aus einem Basiskörper 38, der im Wesentlichen in seinem zentralen Bereich einen U-förmigen Querschnitt mit einer Wölbung (Konkavität) 52 aufweist, mehreren Widerstandskörpern 40a bis 40d, die an einer Endfläche 38a des Basiskörpers 38 angebracht sind, Elektroden 44, die über Leitungen (Leiterbahnen) 42 an die Widerstandskörper 40a bis 40d angeschlossen sind, ersten und zweiten Schutzfilmen 46, 48, welche die Widerstandskörper 40a bis 40d als eine zweischichtige Struktur abdecken, und einer Mehrzahl von Vorsprüngen 50, die von der Endfläche 38a vorstehen.
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In einem Zustand, in dem die Wölbung 52 so angeordnet ist, dass sie dem Fluiddurchgang 12 an der Seite des Körpers 14 (in der Richtung des Pfeils B) zugewandt ist, ist der Sensor 18 außerdem zwischen dem Halter 16 und dem Körper 14 aufgenommen und gehalten.
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An einer äußeren Umfangsfläche des Basiskörpers 38 sind, wie in 3 gezeigt ist, beispielsweise mehrere Nuten 54 ausgebildet, die radial nach innen mit halbkreisförmigem Querschnitt zurückgesetzt sind und sich entlang der axialen Richtung (der Richtung der Pfeile A und B) erstrecken. Wenn der Sensor 18 an dem einen Ende des Körpers 14 montiert wird, werden außerdem die Positionierungsstifte 24 jeweils in die Nuten 54 eingesetzt, wodurch der Sensor 18 in der Umfangsrichtung positioniert wird. Anders ausgedrückt wird eine Rotation des Sensors 18 relativ zu dem Körper 14 verhindert.
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Andererseits ist an einem im Wesentlichen zentralen Abschnitt des Basiskörpers 38 ein im Wesentlichen kreisförmiger Membranabschnitt 56 mit einer festgelegten Dicke an der Seite der Endfläche 38a (in der Richtung des Pfeils A) an einer Seite, die der Wölbung 52 entgegengesetzt ist, vorgesehen. Der Membranabschnitt 56 ist dünner ausgebildet als ein äußerer Umfangsbereich des Basiskörpers 38. Mehrere Widerstandskörper 40a bis 40d, die als Dehnmessstreifen dienen, sind an der Oberfläche des Membranabschnitts 56 angeordnet. Die Widerstandskörper 40a bis 40d werden durch Aufdrucken und Brennen beispielsweise mittels einer Dickschichtbedruckung, wie Siebdruck oder dergleichen, ausgebildet. Die Widerstandskörper 40a bis 40d sind in einer geraden Linie angeordnet und weisen voneinander jeweils einen festgelegten Abstand auf.
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Außerdem werden die Widerstandskörper 40a bis 40d durch Brennen eines dickschichtigen resistiven pastösen Materials (Paste) beispielsweise auf Ruthenium(Ru)-Basis hergestellt.
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Wie in 3 gezeigt ist, werden außerdem die Leiterbahnen 42, die an die Widerstandskörper 40a bis 40d angeschlossen sind, und die Elektroden 44 gebrannt, nachdem sie mit Hilfe eines leitfähigen pastösen Materials aufgedruckt wurden. Die Leiterbahnen 42 werden jeweils an die Elektroden 44, die an einem Außenkantenabschnitt des Basiskörpers 38 vorgesehen sind, angeschlossen.
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Wie in 2 gezeigt ist, ist der erste Schutzfilm 46 an der Endoberfläche 38a des Basiskörpers 38 so angeordnet, dass er die Widerstandskörper 40a bis 40d abdeckt. Er wird durch Aufdrucken und Brennen eines Glases mit niedrigem Schmelzpunkt gebildet. Hierdurch werden die Widerstandskörper 40a bis 40d geschützt und ihre Feuchtigkeitsdichte und Isolationseigenschaften werden gewährleistet.
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Der zweite Schutzfilm 48 ist so vorgesehen, dass er den ersten Schutzfilm 46 abdeckt. Er wird durch Aufdrucken und Brennen eines organischen Materials, beispielsweise eines Epoxidharzes, eines Phenolharzes oder dergleichen, gebildet.
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Wie in den 2 und 3 gezeigt ist, sind außerdem die mehreren Vorsprünge 50 an der Endfläche 38a des Basiskörpers 38 vorgesehen und stehen mit festgelegten Höhen von der Endfläche 38a an Positionen an der äußeren Endseite in der radialen Richtung des Membranabschnitts 56 vor. Die Vorsprünge 50 haben beispielsweise einen rechteckigen Querschnitt und eine Höhe von etwa 20 bis 40 µm relativ zu dem Membranabschnitt 56. Sie sind aus dem gleichen Material wie die Widerstandskörper 40a bis 40d geformt. Außerdem sollten die Vorsprünge 50 vorzugsweise durch Drucken und Brennen des gleichen Materials wie die Widerstandskörper 40a bis 40d mit der gleichen Höhe wie die Widerstandskörper zur gleichen Zeit ausgebildet werden, wenn auch die Widerstandskörper 40a bis 40d gedruckt werden.
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Die Vorsprünge 50 sind in einer Mehrzahl (beispielsweise vier) mit jeweils gleichen Winkelabständen um das Zentrum des Basiskörpers 38 vorgesehen. Die Positionen (Winkelpositionen) der Vorsprünge 50 sind so gewählt, dass dann, wenn der Halter 16 mit dem Körper 14 verschraubt und an diesem befestigt wird, bei Aufbringen einer Last (Befestigungslast) in einer vertikalen Richtung (der Richtung des Pfeils B) von dem Halter 16 zu der Endfläche des Sensors 18 die an dem Membranabschnitt 56 vorgesehenen Widerstandskörper 40a bis 40d nur mit geringer Wahrscheinlichkeit eine Deformation erfahren. Vorzugsweise sind die Vorsprünge 50 außerdem an Positionen vorgesehen, die radial nach außen so weit wie möglich von dem Membranabschnitt 56 beabstandet sind.
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Hier wird ein Fall beschrieben, bei dem die Vorsprünge 50 an vier Positionen angeordnet sind, die in der Umfangsrichtung um etwa 45° relativ zu den jeweiligen Nuten 54 in dem Basiskörper 38 versetzt (verschoben) sind.
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Wenn der Halter 16 und der Körper 14 aneinander in einem Zustand befestigt werden, in welchem der Sensor 18 im Inneren des Halters 16 aufgenommen ist, wird der Sensor 18 außerdem in einem Zustand befestigt, in dem der Druckabschnitt 34 des Halters 16 an den Vorsprüngen 50 des Sensors 18 anliegt, und eine Befestigungslast, die in einer vertikalen Richtung (axiale Richtung) aufgebracht wird, wird auf die Vorsprünge 50 aufgebracht.
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Außerdem können die oben beschriebenen ersten und zweiten Schutzfilme 46, 48 so ausgebildet sein, dass sie auch die Vorsprünge 50 abdecken.
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Der Drucksensor 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist im Wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Als nächstes wird ein Herstellverfahren für den Sensor 18 mit den Widerstandskörpern 40a bis 40d beschrieben.
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Zunächst wird eine Oberflächenbearbeitung des Basiskörpers 38 durchgeführt, der aus einem keramischen Material, wie Aluminiumoxid oder dergleichen, besteht. Die Oberflächenbearbeitung erfolgt durch Reinigen, Backen, etc.
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Nach Aufdrucken der Leiterbahnen 42 durch Siebdruck oder dergleichen mit Hilfe eines leitfähigen pastösen Materials, welches beispielsweise Au, Ag, Pd, Ni, Cu oder dergleichen aufweist, auf die Endfläche 38a des oben genannten Basiskörpers 38 werden die Leiterbahnen 42 als nächstes durch Brennen gebunden.
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Als nächstes wird ein dickschichtiges resistives pastöses Material auf der Basis von Ruthenium (Ru) auf einer nicht dargestellten Siebmaske angeordnet. Durch Schaben der resistiven Paste in linearer Richtung (der Richtung des Pfeils C in 4A) mit einem nicht dargestellten Abzieher oder Rakel werden die Widerstandskörper 40a bis 40d durch das dickschichtige resistive pastöse Material, das von einem Druckmuster übertragen wird, aufgedruckt.
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Wie in 4A gezeigt ist, wird zu dieser Zeit die Richtung (Richtung des Pfeils C), in welcher das dickschichtige resistive pastöse Material mit dem nicht dargestellten Abzieher geschabt wird, eine Richtung, die senkrecht zu einer Reihe der Widerstandskörper 40a bis 40d, welche nebeneinander in einer geraden Linie angeordnet sind, verläuft.
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Daher werden die mehreren Widerstandskörper 40a bis 40d durch das Druckmuster, das auf der Siebmaske ausgebildet ist, unter Nutzung des dickschichtigen resistiven pastösen Materials gleichzeitig auf die Endfläche 38a des Basiskörpers 38 aufgedruckt.
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In dem Fall, dass die mehreren Widerstandskörper 60a bis 60d beispielsweise im Wesentlichen in einem Rautenmuster und nicht in einer geraden Linie angeordnet sind, wie bei dem Sensor 18a gemäß dem in 4B gezeigten Stand der Technik, wird dagegen beim Schaben des dickschichtigen resistiven pastösen Materials beispielsweise in der Richtung des Pfeils C zunächst der Widerstandskörper 60a gedruckt, als nächstes werden die Widerstandskörper 60b, 60c gleichzeitig gedruckt, und schließlich wird der Widerstandskörper 60d gedruckt. Wenn die mehreren Widerstandskörper 60a bis 60d gedruckt werden, tritt daher eine Zeitdifferenz beim Drucken der einzelnen Widerstandskörper auf, so dass gleichzeitig mit einem Unterschied der Druckbedingungen ein Unterschied der Schichtdicke auftreten kann.
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Durch Drucken und Brennen eines Glases mit niedrigem Schmelzpunkt auf die Endfläche 38a des Basiskörpers 38 wird als nächstes der erste Schutzfilm 46 so auf der Endfläche 38a ausgebildet, dass er die Widerstandskörper 40a bis 40d abdeckt. Hierdurch werden die Widerstandskörper 40a bis 40d geschützt und gleichzeitig können ihre feuchtigkeitsdichten und Isolationseigenschaften gewährleistet werden.
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In dem Fall, dass bei den oben genannten Widerstandskörpern 40a bis 40d Druckvariationen auftreten, wird zur Anpassung einer Varianz der Widerstandswerte eine Nachbehandlung (Trimming) nicht dargestellter Dickschichtwiderstände, die in Reihe oder parallel zu den Widerstandskörpern 40a bis 40d angeordnet sind, durchgeführt. Dies erfolgt beispielsweise durch einen Laser oder dergleichen.
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Schließlich wird der zweite Schutzfilm 48, der aus einem organischen Material, wie einem Epoxidharz, einem Phenolharz oder dergleichen, besteht, so aufgedruckt und gebrannt, dass er den ersten Schutzfilm 46 abdeckt, um dadurch einen Schutz der Nachbehandlungs- oder Trimmingelemente zu erreichen. Damit ist die Herstellung des Sensors 18 abgeschlossen.
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Die oben beschriebenen ersten und zweiten Schutzfilme 46, 48 können so ausgebildet sein, dass sie lediglich die Widerstandskörper 40a bis 40d abdecken, oder sie können bis zu der Umgebung eines Außenkantenabschnitts des Sensors 18 vorgesehen sein, um zusätzlich zu den Widerstandskörpern auch die mehreren Vorsprünge 50 abzudecken.
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Als nächstes wird kurz die Verwendung des Drucksensors 10, an dem der Sensor 18 in der oben beschriebenen Weise angebracht wurde, erläutert. Bei dieser Beschreibung wird der Drucksensor 10 in einen Zustand versetzt, in dem das andere Ende des Körpers 14 mit einem Anschluss einer nicht dargestellten Fluiddruckvorrichtung verschraubt und dadurch an dieser angebracht ist.
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Ein Druckfluid wird von einer nicht dargestellten Fluiddruckvorrichtung durch den Fluidzufuhranschluss 28 des Körpers 14 in den Fluiddurchgang 12 eingebracht. Das Druckfluid strömt entlang des Fluiddurchgangs 12 zu der Seite des Sensors 18 (in der Richtung des Pfeils A). Indem es in die Wölbung 52 eingebracht wird, wird der Membranabschnitt 56 durch den Druck des Druckfluides gepresst und gebogen (deformiert).
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In Abhängigkeit von der Biegung (Deformation) des Membranabschnitts wird eine Deformation der Widerstandskörper 40a bis 40d, die auf dem Membranabschnitt 56 angeordnet sind, bewirkt. Die Widerstandskörper 40a bis 40d wandeln die Deformation in elektrische Signale um. Anschließend werden die elektrischen Signale durch die Leiterbahnen 42 an die Elektroden 44 ausgegeben. Außerdem werden Spannungen an eine nicht dargestellte Messvorrichtung oder dergleichen durch entsprechende Leitungen 58, die an die Elektroden 44 angeschlossen sind, ausgegeben. Der Druck des Druckfluides wird dann auf der Basis der Spannungen gemessen.
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Indem gemäß der vorliegenden Ausführungsform die mehreren Widerstandskörper 40a bis 40d mit Hilfe des dickschichtigen resistiven pastösen Materials auf der Basis von Ruthenium (Ru) in einer geraden Linie auf der Endfläche 38a des Sensors 18 des Drucksensors 10 angeordnet sind, ist es möglich, die mehreren Widerstandskörper 40a bis 40d gleichzeitig beispielsweise durch Siebdruck aufzudrucken.
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Auch in dem Fall, dass die mehreren Widerstandskörper 40a bis 40d vorgesehen sind, können hierdurch die Druckbedingungen für die jeweiligen Widerstandskörper 40a bis 40d gleich gemacht werden und ihre Schichtdicken werden ebenfalls gleich. Daher ist es möglich, die Widerstandswerte der mehreren Widerstandskörper 40a bis 40d gleich auszugestalten. Zudem entfällt die Notwendigkeit für einen Trimming- oder Anpassungsvorgang zum Zwecke der Einstellung der Widerstandswerte der Widerstandskörper 40a bis 40d. Da die Herstellungszeit einfach verkürzt werden kann, wird gleichzeitig mit der Verbesserung der Produktqualität auch die Herstellung vereinfacht.
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Die mehreren Widerstandskörper 40a bis 40d sind nicht notwendigerweise auf den oben beschriebenen Fall beschränkt, bei dem die Widerstandskörper 40a bis 40d in einer einzelnen Reihe auf einer geraden Linie vorgesehen sind. Beispielsweise ist es möglich, dass die Widerstandskörper 40a bis 40d auch in dem Fall gleichzeitig gedruckt und ausgebildet werden können, dass sie als zwei Reihen in geraden Linien angeordnet sind. Indem die Druckbedingungen und die Schichtdicke der Widerstandskörper gleich gemacht wird, kann hierdurch die Herstellungszeit weiter reduziert werden.
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Da die Widerstandswerte der mehreren Widerstandskörper 40a bis 40d gleich sind, ändern sich außerdem beispielsweise selbst in dem Fall einer Veränderung der Umgebungstemperatur die Widerstandswerte der jeweiligen Widerstandskörper 40a bis 40d in der gleichen Weise. Dadurch werden auch die Temperatureigenschaften der Widerstandskörper positiv beeinflusst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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