DE102015210619A1

DE102015210619A1 - Dreidimensional-Formmessapparatur, Messdaten-Verarbeitungseinheit, Messdaten-Verarbeitungsverfahren und Computerprogramm

Info

Publication number: DE102015210619A1
Application number: DE102015210619.5A
Authority: DE
Inventors: Shunsuke Tanaka; Kengo Yanase
Original assignee: Keyence Corp
Current assignee: Keyence Corp
Priority date: 2014-06-13
Filing date: 2015-06-10
Publication date: 2015-12-17
Also published as: JP2016003871A; JP6359350B2

Abstract

Bereitgestellt wird eine Dreidimensionalform-Messapparatur, eine Messdaten-Verarbeitungseinheit, ein Messdaten-Verarbeitungsverfahren und ein Computerprogramm, die den Typ von Parameter zum quantitativen Evaluieren der Differenz in dem Oberflächenzustand einer Mehrzahl von Proben im Falle des Analysierens der Differenz in der Oberfläche derselben spezifizieren kann. Eingabe von Messdaten wird als eine Mehrzahl von Messdatenteilen, die in eine Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert ist, empfangen, und entsprechende Parameterwerte für eine Mehrzahl von Parametern bezüglich eines Oberflächenzustands der Probe werden in Bezug auf jeden der Mehrzahl von Abschnitten, mit welchen die Probe empfangen wird, berechnet. Ein Klassifikationsparameter zum Klassifizieren der Messdaten in eine Mehrzahl von Abschnitten wird aus der Mehrzahl von Parametern spezifiziert, basierend auf der Mehrzahl von berechneten Parameterwerten. Zumindest der spezifiziere Klassifikationsparameter wird auf einer Anzeige angezeigt.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Dreidimensional-Form-Messapparatur, eine Messdaten-Verarbeitungseinheit, ein Messdaten-Verarbeitungsverfahren und ein Computerprogramm, welche den Parametertyp zum konsekutiven Evaluieren der Differenz im Oberflächenzustand einer Mehrzahl von Proben im Falle des Analysierens der Differenz in der Oberfläche derselben spezifizieren kann.
2. Beschreibung verwandten Stands der Technik
Konventionelle Dreidimensionalform-Messapparaturen, welche optische Mikroskopie wie etwa konfokale Mikroskope und digitale Mikroskope beinhalten, führen eine Vielzahl von Analyseverarbeitungen unter Verwendung von Messdaten durch, die Höheninformationen aufweisen, welche durch Messen einer dreidimensionalen Form einer Probe ermittelt werden.
Die Analyseverarbeitung bedeutet beispielsweise Anzeigen eines Profilgraphen längs einer Profillinie, die auf einem zweidimensionalen Probenbild eingestellt ist, oder Analysieren der Linienrauheit längs der Profillinie oder dergleichen.
Im Falle des Analysierens der Differenz in der Oberfläche einer Mehrzahl von Proben wird eine Rauheitsanalyse ausgeführt, wie sie in der ungeprüften japanischen Patentveröffentlichung Nr. 2013-201399 gezeigt ist. Wenn die Rauheitsanalyse auszuführen ist, wird ein Analyseergebnis mittels 30 oder mehr Rauheitsparametern wie etwa Ra, Rz, Sa und Std evaluiert.
Jedoch, im Falle des Analysierens der Differenz bei der Oberfläche einer Mehrzahl von Proben, beispielsweise im Falle des Vergleichens von Zuständen einer Oberflächenbearbeitung zwischen einem Hauptprodukt und einem Probenprodukt oder ein anderer Fall, weil verständlich ist, dass es eine sensorische Differenz oder eine qualitative Differenz hinsichtlich Berühren, Helligkeit, Reibungseigenschaften, elektromagnetischer Charakteristik oder dergleichen gibt, ist es schwierig, den Typ von Parameter zum quantitativen Evaluieren der Differenz beim Oberflächenzustand zu spezifizieren, was problematisch gewesen ist.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung ist im Hinblick auf solche Umstände gemacht worden und eine Aufgabe ist es, eine dreidimensionale Formmessapparatur, eine Messdaten-Verarbeitungseinheit, ein Messdaten-Verarbeitungsverfahren und ein Computerprogramm bereitzustellen, die den Parametertyp zum quantitativen Evaluieren der Differenz beim Oberflächenzustand einer Mehrzahl von Proben im Falle des Analysierens der Differenz bei der Oberfläche derselben spezifizieren können.
Um die obige Aufgabe zu lösen, beinhaltet gemäß einer Ausführungsform der Erfindung eine Dreidimensional-Form-Messapparatur: eine Dreidimensionalform-Messeinheit zum Messen einer dreidimensionalen Form einer Probe zum Erfassen von Messdaten einschließlich Dreidimensionalform-Information; eine Messdaten-Verarbeitungseinheit zum Ausführen von Analyseverarbeitung bezüglich der dreidimensionalen Form der Probe unter Verwendung der Messdaten zum Anzeigen eines Analyseergebnisses auf einer Anzeige; einen Messdateneingabe-Empfangsteil zum Empfangen einer Eingabe der Messdaten als einer Mehrzahl von Teilen von Messdaten, die in eine Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert sind; einen Parameterwert-Berechnungsteil zum Berechnen, in Bezug auf jeden der Mehrzahl von Abschnitten, mit denen die Eingabe empfangen wird, entsprechender Parameterwerte für eine Mehrzahl von Parametern bezüglich eines Oberflächenzustands der Probe; einen Klassifikationsparameter-Spezifizierungsteil zum Spezifizieren, aus der Mehrzahl von Parametern, eines Klassifikations-Parameters zum Klassifizieren der Messdaten in eine Mehrzahl von Abschnitten, basierend auf der Mehrzahl von berechneten Parameterwerten; und einen Klassifikationsparameter-Anzeigeteil zum Anzeigen zumindest des spezifizierten Klassifikations-Parameters auf der Anzeige.
Weiter führt gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung in der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß dem ersten Aspekt der Klassifikationsparameter-Spezifizierteil eine statistische Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter aus, basierend auf den berechneten Parameterwerten, und bestimmt die Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz in Bezug auf jeden Parameter, um einen Klassifikationsparameter basierend auf dem Bestimmungsergebnis zu spezifizieren.
Weiter, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, bestimmt in der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß dem ersten Aspekt der Klassifikationsparameter-Spezifizierteil, ob eine Differenz nicht kleiner als ein vorgegebener Schwellenwert existiert in Bezug auf jeden Parameter, basierend auf den berechneten Parameterwerten, oder nicht, um einen Klassifikationsparameter basierend auf dem Bestimmungsergebnis zu spezifizieren.
Weiter, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, beinhaltet die Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß einem der ersten bis dritten Aspekte einen Regionsunterteilungsteil zum Unterteilen, in eine Mehrzahl von Regionen, einer Abschnittsregion auf einer zweidimensionalen Ebene, welche dem Abschnitt entspricht, mit welchem die Eingabe empfangen wird, und der Parameterwert-Berechnungsteil berechnet entsprechende Parameterwerte für die Mehrzahl von Parametern in Bezug auf jede der Mehrzahl von unterteilten Regionen.
Weiter, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, beinhaltet die Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß dem vierten Aspekt einen Regionsbezeichnungs-Empfangsteil zum Empfangen der Bezeichnung einer Region auf der zweidimensionalen Ebene, die Region als ein Ziel zum Berechnen des Parameterwerts im Parameterwert-Berechnungsteil.
Weiter, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, beinhaltet die Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß einem der ersten bis fünften Aspekte einen Klassifikationsparameter-Empfangsteil zum Empfangen der Auswahl eines zusätzlich angezeigten Klassifikationsparameters im Falle des Anzeigens von Analyseergebnissen in einer Matrixform.
Weiter, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, zeigt in der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß einem der ersten bis sechsten Aspekte der Klassifikationsparameter-Anzeigeteil einen Graphen an, der einen Klassifikationsgrad der Mehrzahl von Abschnitten in Bezug auf jeden spezifizieren Klassifikationsparameter angibt.
Weiter, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, wird in der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß einem der ersten bis siebten Aspekte eine Prioritäts-Reihenfolge zur Anzeige in Assoziierung mit jedem der Klassifikationsparameter gespeichert, und zeigt der Klassifikationsparameter-Anzeigeteil die Klassifikationsparameter in der Prioritäts-Reihenfolge an.
Als Nächstes, um die obige Aufgabe zu erfüllen, ist gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung eine Messdaten-Verarbeitungseinheit eine Messdaten-Verarbeitungseinheit, welche eine Analyseverarbeitung bezüglich einer dreidimensionalen Form einer Probe unter Verwendung von Messdaten ausführt, welche durch Messen der dreidimensionalen Form der Probe erfasste Dreidimensionalform-Information enthält, um ein Analyseergebnis auf einer Anzeige anzuzeigen, wobei die Einheit beinhaltet: einen Messdateneingabe-Empfangsteil zum Empfangen der Eingabe der Messdaten als eine Mehrzahl von Teilen von Messdaten, die in eine Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert sind; einen Parameterwert-Berechnungsteil zum Berechnen, in Bezug auf jeden der Mehrzahl von Abschnitten, mit welchen die Eingabe empfangen wird, von entsprechenden Parameterwerten für eine Mehrzahl von Parametern, die einen Oberflächenzustand einer Probe betreffen; einen Klassifikationsparameter-Spezifizierteil zum Spezifizieren, aus der Mehrzahl von Parametern, eines Klassifikationsparameters zum Klassifizieren der Messdaten in eine Mehrzahl von Abschnitten, basierend auf der Mehrzahl von berechneten Parameterwerten; und einen Klassifikationsparameter-Anzeigeteil zum Anzeigen zumindest des spezifizierten Klassifikationsparameters auf der Anzeige.
Weiter, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, führt in der Messdaten-Verarbeitungseinheit gemäß dem neunten Aspekt der Klassifikationsparameter-Spezifizierteil statistische Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter durch, basierend auf den berechneten Parameterwerten, und bestimmt die Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz in Bezug auf jeden Parameter, um einen Klassifikations-Parameter basierend auf dem Bestimmungsergebnis zu spezifizieren.
Weiter, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, in der Messdaten-Verarbeitungseinheit gemäß dem neunten Aspekt, bestimmt der Klassifikationsparameter-Spezifizierteil, ob eine Differenz nicht kleiner als ein vorgegebener Schwellenwert in Bezug auf jeden Parameter existiert oder nicht, basierend auf den berechneten Parameterwerten, um einen Klassifikationsparameter basierend auf dem Bestimmungsergebnis zu spezifizieren.
Als Nächstes, um die obige Aufgabe zu lösen, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, ist ein Messdaten-Verarbeitungsverfahren ein Messdaten-Verarbeitungsverfahren, das in einer Messdaten-Verarbeitungseinheit zum Ausführen von Analyseverarbeitung bezüglich einer dreidimensionalen Form einer Probe unter Verwendung von Messdaten ausgeführt werden kann, welche durch Messen der dreidimensionalen Form der Probe erfasste Dreidimensionalform-Information umfassen, um ein Analyseergebnis auf einer Anzeige anzuzeigen, wobei das Verfahren beinhaltet: einen ersten Schritt des Empfangens einer Eingabe der Messdaten als einer Mehrzahl von Teilen von Messdaten, die in einer Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert sind; einen zweiten Schritt des Berechnens in Bezug auf jeden der Mehrzahl von Abschnitten, mit welchen die Eingabe empfangen wird, von entsprechenden Parameterwerten für eine Mehrzahl von Parametern bezüglich eines Oberflächenzustands der Probe; einen dritten Schritt des Spezifizierens, aus der Mehrzahl von Parametern, eines Klassifikationsparameters zum Klassifizieren der Messdaten in eine Mehrzahl von Abschnitten, basierend auf der Mehrzahl von berechneten Parameterwerten; und einen vierten Schritt des Anzeigens zumindest des spezifizierten Klassifikationsparameters auf der Anzeige.
Weiter, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, in dem Messdaten-Verarbeitungsverfahren gemäß dem zwölften Aspekt beinhaltet der dritte Schritt das Ausführen statistischer Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter, basierend auf den berechneten Parameterwerten, und Bestimmen der Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz in Bezug auf jeden Parameter, um einen Klassifikationsparameter basierend auf dem Bestimmungsergebnis zu spezifizieren.
Weiter, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, beinhaltet in dem Messdaten-Verarbeitungsverfahren gemäß dem zwölften Aspekt der dritte Schritt das Bestimmen, ob eine Differenz nicht kleiner als ein vorbestimmter Schwellenwert in Bezug auf jeden Parameter existiert oder nicht, basierend auf den berechneten Parameterwerten, um einen Klassifikationsparameter, basierend auf dem Bestimmungsergebnis, zu spezifizieren.
Als Nächstes, um die obige Aufgabe zu lösen, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, ist ein Computerprogramm ein Computerprogramm, das in einer Messdaten-Verarbeitungseinheit zum Ausführen von Analyseverarbeitung bezüglich einer dreidimensionalen Form einer Probe unter
Verwendung von Messdaten, die durch Messen der dreidimensionalen Form der Probe erfasste Dreidimensionalform-Information beinhaltet, ausgeführt werden kann, um ein Analyseergebnis auf einer Anzeige anzuzeigen, wobei die Messdaten-Verarbeitungseinheit veranlasst wird, zu funktionieren als: ein Messdaten-Eingabeempfangsteil zum Empfangen einer Eingabe der Messdaten als einer Mehrzahl von Teilen von Messdaten, die in eine Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert sind; ein Parameterwert-Berechnungsteil zum Berechnen, in Bezug auf jeden der Mehrzahl von Abschnitten, mit denen die Eingabe empfangen wird, von entsprechenden Parameterwerten für eine Mehrzahl von Parametern bezüglich eines Oberflächenzustands der Probe; ein Klassifikationsparameter-Spezifizierteil zum Spezifizieren, aus der Mehrzahl von Parametern, eines Klassifikationsparameters zum Klassifizieren der Messdaten in eine Mehrzahl von Abschnitten, basierend auf der Mehrzahl von berechneten Parameterwerten; und einen Klassifikationsparameter-Anzeigeteil zum Anzeigen zumindest des spezifizierten Klassifikationsparameters auf der Anzeige.
Weiter, gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung, im Computerprogramm gemäß dem fünfzehnten Aspekt, wird der Klassifikationsparameter-Spezifizierteil veranlasst, als ein Teil zum Ausführen statistischer Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter, basierend auf den berechneten Parameterwerten und Bestimmen der Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz in Bezug auf jeden Parameter zu fungieren, um einen Klassifikationsparameter, basierend auf dem Bestimmungsergebnis, zu spezifizieren.
Weiter, gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung, wird in dem Computerprogramm gemäß dem fünfzehnten Aspekt der Klassifikationsparameter-Spezifizierteil veranlasst, als ein Teil zum Bestimmen zu funktionieren, ob eine Differenz nicht kleiner als ein vorbestimmter Schwellenwert existiert oder nicht, in Bezug auf jeden Parameter, basierend auf den berechneten Parameterwerten, um einen Klassifikationsparameter, basierend auf dem Bestimmungsergebnis, zu spezifizieren.
In den ersten, neunten, zwölften und fünfzehnten Aspekten, durch Verwenden von durch Messen einer dreidimensionalen Form einer Probe erfasster Dreidimensional-Forminformation enthaltender Messdaten, wird Analyseverarbeitung bezüglich der dreidimensionalen Form der Probe ausgeführt, und wird ein Analyseergebnis auf der Anzeige angezeigt. Der Messdaten-Eingabeempfangsteil empfängt die Eingabe der Messdaten als eine Mehrzahl von Teilen von Messdaten, die in eine Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert ist, und berechnet entsprechende Parameterwerte für eine Mehrzahl von Parametern bezüglich eines Oberflächenzustands der Probe in Bezug auf jeden der Mehrzahl von Abschnitten, mit welchen die Eingabe empfangen wird. Dann spezifiziert sie aus der Mehrzahl von Parametern einen Klassifikationsparameter zum Klassifizieren der Messdaten in eine Mehrzahl von Abschnitten, basierend auf der Mehrzahl von berechneten Parameterwerten und zeigt zumindest den spezifizieren Klassifikationsparameter auf der Anzeige an. Entsprechend ist es im Fall der Analyse der Differenz auf der Oberfläche der Probe möglich, einen Klassifikationsparameter zu spezifizieren, der klar die Differenz als die Differenz von Parameterwerten angibt, um so einen Klassifikationsparameter auszuwählen, der eine quantitative Evaluierung der Differenz im Oberflächenzustand der Probe gestattet, wobei der Parameter für den Anwender schwierig auszuwählen ist.
In den zweiten, zehnten, dreizehnten und sechzehnten Aspekten wird eine statistische Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter, basierend auf den berechneten Parameterwerten ausgeführt und wird die Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz in Bezug auf jeden Parameter bestimmt, um einen Klassifikationsparameter basierend auf dem Bestimmungsergebnis zu spezifizieren. Entsprechend kann ein Klassifikationsparameter spezifiziert werden, der statistisch bestimmt ist, dass eine statistisch signifikante Differenz existiert, und daher ist es im Falle des Analysierens der Differenz auf der Oberfläche der Probe möglich, einen Klassifikationsparameter zuverlässig zu spezifizieren, der klar die Differenz als die Differenz von Parameterwerten anzeigt.
In den dritten, elften, vierzehnten und siebzehnten Aspekten wird bestimmt, ob die Differenz nicht kleiner als ein vorgegebener Schwellenwert in Bezug auf jeden Parameter existiert oder nicht, basierend auf den berechneten Parameterwerten, um einen Klassifikationsparameter, basierend auf dem Bestimmungsergebnis, zu spezifizieren. Entsprechend kann ein Klassifikationsparameter spezifiziert werden, dass bestimmt ist, dass die Differenz nicht kleiner als eine gewisse Differenz existiert, und daher ist es im Falle des Analysierens der Differenz in der Oberfläche der Probe möglich, zuverlässig einen Klassifikationsparameter zu spezifizieren, der klar die Differenz als die Differenz von Parameterwerten anzeigt.
Im vierten Aspekt ist eine Abschnittsregion auf der zweidimensionalen Ebene, die dem Abschnitt entspricht, mit welchem die Eingabe empfangen wird, in eine Mehrzahl von Regionen unterteilt und werden entsprechende Parameterwerte für die Mehrzahl von Parametern in Bezug auf jede der Mehrzahl von unterteilten Regionen berechnet. Entsprechend, selbst wenn es nur ein Stück von Messdaten in einer Abschnittsregion gibt, ist es möglich, Parameterwerte in dem Zustand der Abschnittsregion zu berechnen, die in die Mehrzahl von Regionen unterteilt ist, um so genau einen Klassifikationsparameter durch Ausführen der statistischen Verarbeitung zu spezifizieren.
Im fünften Aspekt, da die Bezeichnung einer Region als ein Ziel zum Berechnen der Parameterwerte auf der zweidimensionalen Ebene empfangen wird, um einen Klassifikationsparameter zum Analysieren der Differenz auf der Oberfläche der Probe zu spezifizieren, ist es möglich, eine Region zu spezifizieren, von der aufgenommen wird, dass sie eine qualitative Differenz aufweist.
Im sechsten Aspekt, wenn Analyseergebnisse in einer Matrixform angezeigt werden, wird die Auswahl eines zusätzlich angezeigten Klassifikationsparameters empfangen und daher ist es möglich, den Klassifikationsparameter so anzuzeigen, dass er leicht gemäß den Analyseergebnissen zu sehen ist.
Im siebten Aspekt wird ein Graph, der einen Klassifikationsgrad einer Mehrzahl von Gruppen anzeigt, in Bezug auf jeden spezifizierten Klassifikationsparameter angezeigt, und daher ist es möglich, leicht einen Vergleich bezüglich dem zu machen, welcher Klassifikationsparameter als der Klassifikationsparameter geeignet ist, um so zuverlässig einen Klassifikationsparameter zum Analysieren der Differenz auf der Oberfläche der Probe zu spezifizieren.
Im achten Aspekt wird eine Prioritäts-Reihenfolge zur Anzeige in Assoziierung mit jedem der Klassifikationsparameter gespeichert und werden die Klassifikationsparameter in der Prioritäts-Reihenfolge angezeigt und daher ist es möglich, den optimalen Klassifikationsparameter zum Analysieren der Differenz auf der Oberfläche der Probe zu spezifizieren.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es im Falle des Analysierens der Differenz auf der Oberfläche der Probe möglich, einen Klassifikationsparameter zu spezifizieren, der klar die Differenz als die Differenz von Parameterwerten angibt, um so einen Klassifikationsparameter auszuwählen, der quantitative Evaluierung der Differenz beim Oberflächenzustand der Probe gestattet, wobei der Parameter für den Anwender schwierig zu selektieren ist.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist ein Blockdiagramm, das schematisch eine Konfiguration einer Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
2 ist ein Blockdiagramm, das eine Konfiguration einer Messdaten-Verarbeitungseinheit einer Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung im Falle der Verwendung einer Steuerung wie etwa einer CPU zeigt;
3 ist ein Funktionsblockdiagramm der Messdaten-Verarbeitungseinheit der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
4 ist ein illustratives Diagramm eines Messdateneingabe-Empfangsbildschirms mit Klassifikation in zwei Gruppen auf der Messdaten-Verarbeitungseinheit der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
5 ist ein illustratives Diagramm eines Messdateneingabe-Empfangsbildschirms mit Klassifikation in drei Gruppen auf der Messdaten-Verarbeitungseinheit der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
6 ist ein illustratives Diagramm zum Erläutern eines Berechnungsverfahrens für einen Parameterwert eines Parameters Ra;
7 ist ein illustratives Diagramm zu Erläutern eines Berechnungsverfahrens für einen Parameterwert eines Parameters Rz;
8 ist ein illustratives Diagramm von Linienrauheits-Parametern;
9A und 9B zeigen jeweils ein illustriertes Diagramm eines Bildes zum Erläutern eines Winkelspektrums und ein illustratives Diagramm des Winkelspektrums;
10 ist ein illustratives Diagramm von Ebenen-Rauheitsparametern;
11 ist ein illustratives Diagramm einer Regionsunterteilung durch die Messdaten-Verarbeitungseinheit der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
12 ist ein illustratives Diagramm eines Anzeigebildschirms von Klassifikationsparametern auf der Messdaten-Verarbeitungseinheit der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
13 ist ein schematisches Diagramm im Falle des Anzeigens von Analyseergebnissen in einer Matrixform in der Messdaten-Verarbeitungseinheit der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
14 ist ein schematisches Diagramm im Falle des zusätzlichen Anzeigens von Analyseergebnissen in einer Matrixform in der Messdaten-Verarbeitungseinheit der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
15 ist ein Flussdiagramm, das eine Verarbeitungsprozedur der CPU in der Messdaten-Verarbeitungseinheit der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; und
16 ist ein illustratives Diagramm eines Graphen, der in einer Verteilungsanzeigeregion angezeigt wird.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG VON BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Nachfolgend wird eine Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung spezifisch beschrieben, basierend auf den Zeichnungen. 1 ist ein Blockdiagramm, das schematisch eine Konfiguration der Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
Wie in 1 gezeigt, ist eine Dreidimensionalform-Messapparatur 10 gemäß der vorliegenden Ausführungsform aus einer Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 und einer Dreidimensionalform-Messeinheit 2 aufgebaut. Die Dreidimensionalform-Messeinheit 2 weist eine Laserlichtquelle 52 auf, die Einzelwellenlängenlicht emittiert. Das emittierte Einzelwellenlängenlicht wird durch einen ersten Halbspiegel 56 über ein X-Y-Scan-Optiksystem 54 reflektiert und eine Probe M auf einer Bühne 58 wird mit dem Licht durch eine Objektlinse 20 bestrahlt.
Das von der Probe M reflektierte Licht wird durch den ersten Halbspiegel 56 reflektiert, nachfolgend durch einen zweiten Halbspiegel 24 reflektiert und dann zur ersten bildgebenden Linse 24 geleitet. Nur das durch die erste bildgebende Linse 24 auf eine Position, die mit einem Stiftloch (pinhole) 26 übereinstimmt, fokussierte Licht passiert das Stiftloch 26 als eine konfokale Blende und das, das Stiftloch 26 passiert habende, reflektierte Licht wird in ein Lichtempfangselement 28 eingegeben.
Die Dreidimensionalform-Messeinheit 2 ist auch mit einer Weißlichtquelle 30 versehen. Aus der Weißlichtquelle 30 emittiertes weißes Licht wird durch einen dritten Halbspiegel 32, der zwischen dem ersten Halbspiegel 56 und der Objektlinse 20 vorgesehen ist, reflektiert und die Probe M wird mit dem reflektierten Licht bestrahlt.
Die Dreidimensionalform-Messeinheit 2 ist mit einer Farb-CCD-Kamera 34 versehen, um ein Bild aufzunehmen, das durch eine zweite bildgebende Linse 36 gebildet ist, aus dem Licht, welches den ersten Halbspiegel 56 passiert hat. Das aufgenommene Bild ist ein Objekt zur Analyseverarbeitung in der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1.
Das aus der Laserlichtquelle 52, die eine Punktlichtquelle ist, emittierte Licht passiert das X-Y-Abtast-Optiksystem 54, um ein Betrachtungssichtfeld in X- und Y-Richtungen abzutasten, während das Betrachtungsfeld auf Basis von Abtastpositionen unterteilt ist, und das Lichtempfangselement 28 detektiert Reflektionslicht in Bezug auf jede Abtastposition. Weiter wird die Objektlinse 20 in einer Z-Achsenrichtung (Optikachsenrichtung) angetrieben, wie durch einen Pfeil gezeigt, und ändert ihre Fokusposition in der Z-Achsenrichtung in Bezug auf jede Abtastposition. Daher wird im Lichtempfangselement 28 das Reflektionslicht in Bezug auf jede Position der Objektlinse 20 in der Z-Achsenrichtung detektiert. Weiter wird das aus der Weißlichtquelle 30 hervorgehende reflektierte Licht durch die Farb-CCD-Kamera 34 detektiert und wird Farbinformation der Probe M an der unter Verwendung der Laserlichtquelle 52 detektierten Fokusposition in Bezug auf jede Abtastposition detektiert.
Das Lichtempfangselement 28 und die Farb-CCD-Kamera 34 werden mit der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 verbunden, die aus einem Computer besteht, und Messdatenteile, welche durch das Lichtempfangselement 28 und die Farb-CCD-Kamera 34 detektiert sind, werden an die Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 gesendet. Die Messdaten-Verarbeitungseinheit 1, welche die Messdaten empfangen hat, führt eine Analyseverarbeitung basierend auf den empfangenen Messdaten durch. Das Analyseergebnis wird auf einer Anzeigevorrichtung (Anzeige) 43 der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 angezeigt.
2 ist ein Blockdiagramm, das eine Konfiguration der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 der Dreidimensionalform-Messapparatur 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung im Falle der Verwendung einer Steuerung, wie etwa einer CPU zeigt. Wie in 2 gezeigt, ist die Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform mit einer CPU (Steuerung) 11, welche zumindest ein Steuerprogramm zum Steuern eines Betriebs ausführt, einem Speicher 12, einer Speichervorrichtung 13, einer E/A-Schnittstelle 14, einer Videoschnittstelle 15, eines tragbaren Plattenlaufwerks 16, einer Kommunikationsschnittstelle 17 und einem internen Bus 18 versehen.
Die CPU 11 ist mit jeder Hardware wie oben in der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 der Dreidimensionalform-Messapparatur 10 über den internen Bus 18 verbunden, und während eine Operation jeder oben beschriebenen Hardware gesteuert wird, führt die CPU 11 eine Vielzahl von Software-Funktionen gemäß einem Computerprogramm 100 aus, das in der Speichervorrichtung 13 gespeichert ist. Der Speicher 12 besteht aus einem flüchtigen Speicher wie etwa einem SRAM und einem SDRAM, verteilt ein Lastmodul zum Zeitpunkt der Ausführung des Computerprogramms 100 und speichert zeitweilige Daten und dergleichen, die zur Zeit der Ausführung des Computerprogramms 100 erzeugt werden.
Die Speichervorrichtung 13 besteht aus einer eingebauten Festtyp-Speichervorrichtung (Plattenlaufwerk), einem ROM und dergleichen. Das in der Speichervorrichtung 13 gespeicherte Computerprogramm 100 wird unter Verwendung der tragbaren Plattenlaufwerks 16 aus einem tragbaren Aufzeichnungsmedium 90, wie etwa einer DVD oder einer CD-ROM herunter geladen, welche Informationen wie ein Programm oder Daten speichert, und zum Zeitpunkt der Ausführung wird es aus der Speichervorrichtung 13 zum Speicher 12 gegeben und ausgeführt. Natürlich kann es ein aus einem über die Kommunikationsschnittstelle 17 verbundenen externen Computer herunter geladenes Computerprogramm sein.
Die Speichervorrichtung 13 besteht aus einer Festplatte und dergleichen und ist mit einem Messdatenspeicher 131 und einem Parameter-Informationsspeicher 132 versehen. Messdaten einschließlich dreidimensionaler Forminformation, welche durch Messen einer dreidimensionalen Form einer Probe in der Dreidimensionalform-Messeinheit 2 erfasst werden, werden in dem Messdatenspeicher 131 in Assoziierung mit einer Mehrzahl von Gruppen gespeichert.
Der Parameter-Informationsspeicher 132 berechnet entsprechende Parameterwerte für eine Mehrzahl von Parametern bezüglich eines Oberflächenzustands der Probe in Bezug auf jede der Mehrzahl von Gruppen, mit welchen Eingabe empfangen worden ist, und speichert die berechneten Parameterwerte. Die in dem Parameter-Informationsspeicher 132 gespeicherten Parameterwerte werden statistischer Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter unterworfen, um als Basisdaten zum Bestimmen der Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz oder Bestimmen der Existenz der Differenz nicht kleiner einem vorbestimmten Schwellenwert zu dienen.
Die Kommunikationsschnittstelle 17 ist mit dem internen Bus 18 verbunden und indem sie mit einem externen Netzwerk wie etwa dem Internet, LAN oder WLAN verbunden ist, kann sie Daten zu und aus der Dreidimensionalform-Messeinheit 2 der Dreidimensionalform-Messapparatur 10 oder einem externen Computer oder dergleichen senden und empfangen.
Die E/A-Schnittstelle 14 mit Eingabevorrichtungen wie einer Tastatur 41 und einer Maus 42 verbunden und empfängt eine Eingabe von Parameterinformation und dergleichen, welche für die Analyseverarbeitung erforderlich sind. Die Videoschnittstelle 15 ist mit der Anzeigevorrichtung 53 wie etwa einem LCD verbunden und zeigt eine Liste von Analyseergebnissen an.
3 ist ein Funktionsblockdiagramm der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 der Dreidimensionalform-Messapparatur 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Ein Messdateneingabe-Empfangsteil 301 der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform empfängt die Eingabe von Bilddaten im Lichtempfangselement 28 und der Farb-CCD-Kamera 34 der Dreidimensionalform-Messeinheit 2 als eine Mehrzahl von Messdatenteilen, die in eine Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert sind, wie etwa eine Mehrzahl von Gruppen. Die empfangenen Messdaten werden in dem Messdatenspeicher 131 der Speichervorrichtung 13 gespeichert.
Als ein qualitatives oder quantitatives Objekt für die Klassifikation in eine Mehrzahl von Gruppen (Abschnitten) ist dies irgendeines von Glanz, Berührung, Luftdichtheit, Reibungskraft, Abrieb, Einbrennen, Schmierfähigkeit, Adhäsivität, Anhaftung, Leichtigkeit gegenüber Abrubbeln, Anmutung, Bildklarheit (Helligkeit der lackierten Oberfläche), optische Leistungsfähigkeit, Korrosionswiderstand, Isolierung, Ermüdungsbruchstärke, elektromagnetische Charakteristik, Wärmeleitung der Kontaktoberfläche, elektrischer Widerstand, Verbindungsoberflächen-Solidität, Größenmessgenauigkeit, Textur, Druckqualität, Lärm und Vibration.
4 ist ein illustratives Diagramm eines Messdateneingabe-Empfangsbildschirms mit Klassifikation in zwei Gruppen auf der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 der Dreidimensionalform-Messapparatur 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Wie in 4 gezeigt, werden in einer Messdaten-Anzeigeregion 45 zur Anzeige einer Liste in eine Mehrzahl von Gruppen zu klassifizierenden Messdaten angezeigte Messdaten zu Klassifikationsregionen 46, 47 durch Drag-und-Drop-Operation einer Maus oder dergleichen bewegt. Beispielsweise kann ein "OK-Produkt", das als nicht defektes Produkt bei der Defekt/Nichtdefekt-Bestimmung bestimmt wird, in eine Gruppe 1 klassifiziert werden und kann ein als ein defektes Produkt bestimmtes "NG-Produkt" in eine Gruppe 2 klassifiziert werden. Im Falle eines Tablets oder dergleichen, in dem Messdaten durch Auswahl einer Bedientaste 48 bewegt werden, können die Messdaten in eine Mehrzahl von Gruppen klassifiziert werden und kann eine Eingabe derselben als eine Mehrzahl von Messdatenteilen empfangen werden.
Natürlich ist die Klassifikation in zwei Gruppen nicht beschränkend. 5 ist ein illustratives Diagramm eines Messdateneingabe-Empfangsbildschirms mit Klassifikation in drei Gruppen auf der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 der Dreidimensionalform-Messapparatur 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Wie in 5 gezeigt, werden in der Messdaten-Anzeigeregion 45 zur Anzeige einer Liste von in eine Mehrzahl von Gruppen zu klassifizierenden Messdaten angezeigte Messdaten zu Klassifikationsregionen 46, 47, 49 durch Drag-und-Drop-Operationen der Maus oder dergleichen klassifiziert. Beispielsweise können Daten zu einer Bedingung 1 in eine Gruppe 1 klassifiziert werden, Daten zu einer Bedingung 2 in eine Gruppe 2 und Daten zu einer Bedingung 3 in eine Gruppe 3. Im Falle eines Tablets oder dergleichen, indem Messdaten durch Auswahl der Bedientaste 48 bewegt werden, können die Messdaten in eine Mehrzahl von Gruppen klassifiziert werden und eine Eingabe derselben kann als eine Mehrzahl von Teilen von Messdaten empfangen werden.
Rückkehrend zu 3, berechnet ein Parameter-Berechnungsteil 304 jeweilige Parameterwerte für eine Mehrzahl von Parametern bezüglich des Oberflächenzustands der Probe in Bezug auf jeden der Mehrzahl von Abschnitten, mit welchen die Eingabe empfangen wird. Die Parameterwerte für die Parameter, die in dem Parameter-Berechnungsteil 304 berechnet werden, werden im Parameter-Informationsspeicher 132 der Speichervorrichtung 13 gespeichert.
Ein Berechnungsverfahren für einen Parameterwert ist beispielsweise ein Verfahren, das einen Rauheitsparameter, der ein typischer Parameter ist, verwendet und ein Parameter Ra der eine arithmetische Durchschnittshöhe angebenden Linienrauheit wird als ein Mittelwert von tatsächlichen Werten einer Höhe R(x) in einer Referenzlänge berechnet. 6 ist ein illustratives Diagramm zum Erläutern des Berechnungsverfahrens für einen Parameterwert des Parameters Ra.
Wie in 6 gezeigt, wird der Parameterwert des Parameters Ra als ein Mittelwert von Höhen (Absolutwerten), invertiert Basis einer vorbestimmten Referenzhöhe in Bezug auf eine Profilkurve innerhalb einer Referenzlänge Ir berechnet. Eine Berechnungsformel kann durch eine "Formel 1" ausgedrückt werden, annehmend, dass N Plotpunkte zum Messen der Höhe innerhalb der Referenzlänge Ir existieren. [Mathematische Formel 1]
Natürlich ist der Parameter der Linienrauheit nicht auf den Parameter Ra beschränkt. 7 ist ein illustratives Diagramm zum Erläutern eines Berechnungsverfahrens für einen Parameterwert eines Parameters Rz.
Wie in 7 gezeigt, wird der Parameterwert des Parameters Rz als eine Summe einer Höhe Rp einer Spitze mit der größten Höhe ab einer Referenzhöhe und einer Tiefe Rv eines Tals mit der größten Tiefe ab der Referenzhöhe in Bezug auf eine Profilkurve innerhalb der Referenzlänge Ir berechnet. Eine Berechnungsformel kann durch Formel (2) ausgedrückt werden.
[Mathematische Formel 2]

Rz = Rp + Rv (Formel 2)

Die meisten Anwender haben aktuell Ra oder Rz, beschrieben oben als den Parameter der Linienrauheit, verwendet, und die anderen Parameter unverwendet gelassen, ohne die Bedeutung jener zu verstehen. 8 ist ein illustratives Diagramm von Linienrauheitsparametern. Wie in 8 gezeigt, existiert eine Vielzahl von Parametern außer der Höhe Rp der Spitze mit der größten Höhe ab der Referenzhöhe, der Tiefe Rv des Tals mit der größten Tiefe ab der Referenzhöhe, der Summe von Rz von Rp und Rv und die Arithmetikdurchschnittshöhe Ra, die oben beschrieben wird.
Weiter ist der Parameter nicht auf den Linienrauheitsparameter beschränkt, und kann beispielsweise ein Parameter sein, der Ebenenrauheit angibt. Ein Parameter Sa einer arithmetischen Durchscnittshöhe, ermittelt durch Erweitern des Parameters Ra der Linienrauheit, ist ein typischer Ebenenrauheitsparameter.
Ein Parameterwert des Parameters Sa wird als ein Mittelwert von Absolutwerten von Höhen und Auftragspunkten zum Messen der Höhe in einer Region (Höhen von einer mittleren Ebene der Oberfläche) berechnet. Wenn er durch eine Berechnungsformel ausgedrückt wird, ist er wie im Formel 3.
[Mathematische Formel 3]

Sa = 1 / A∫∫_A|Z(x, y)|dxdy (Formel 3)

Weiter kann ein Parameter Std eines Winkelspektrums verwendet werden, was ein Wert eines Winkels ist, unter welchem die Winkelspektrumsfunktion maximal wird. 9A und 9B sind ein illustratives Diagramm eines Bilds zum Erläutern des Winkelspektrums und ein illustratives Diagramm des Winkelspektrums.
Im in 9A gezeigten Bild wird in einem in einer festen Winkelrichtung gebildeten Knotenmuster ein Flussmuster mit einem anderen Winkel angezeigt. 9B ist ein Verteilungsdiagramm, wo ein Winkelspektrum aus dem in 9A gezeigten Bild gefunden wird. Wie in 9B gezeigt, wird gefunden, dass das in der festen Winkelrichtung gebildete Knotenmuster in einer Richtung von etwas weniger als 170 Grad liegt und dass das Strommuster in einer Richtung von etwas mehr als 110 Grad liegt.
Eine Funktion zum Auffinden des Winkelspektrums ist in Formel 4 definiert, und 9B ist basierend auf Formel 4 berechnet worden. [Mathematische Formel 4]
Natürlich ist der Ebenen-Rauheitsparameter auch nicht auf die vorstehenden Parameter beschränkt. 10 ist ein illustratives Diagramm von Ebenen-Rauheitsparametern. Wie in 10 gezeigt, existiert eine Vielzahl von anderen Parametern als den Parametern Sa der arithmetischen Durchschnittshöhe und des Parameters Std des Winkelspektrums, die oben beschrieben sind.
Rückkehrend zu 3, berechnet der Parameter-Berechnungsteil 304 Parameterwerte für die Parameter bezüglich des Oberflächenzustands der Probe in Bezug auf jede der Mehrzahl von Gruppen (Abschnitten), mit welchen die Eingabe empfangen wird, aber wenn eine Eingabe nur eines Stücks von Bilddaten (Messdaten) in Bezug auf eine Gruppe empfangen wird, kann eine statistische Verarbeitung, insbesondere ein später erwähnter t-Test, nicht ausgeführt werden (als Minimum sind vier Datenstücke erforderlich).
Entsprechend wird es bevorzugt, dass ein Regionsunterteilungsteil 302 vorgesehen ist, um eine Abschnittsregion auf einer zweidimensionalen Ebene (Bildebene), die einer Gruppe (Abschnitt) entspricht, in eine Mehrzahl von Regionen zu unterteilen. Dadurch kann der Parameter-Berechnungsteil 304 entsprechende Parameterwerte für eine Mehrzahl von Parametern in Bezug auf jede der Mehrzahl von unterteilten Regionen berechnen und kann einen Klassifikationsparameter in einem Zustand spezifizieren, bei dem eine Mehrzahl von Parameterwerten in der einen Gruppe existiert.
11 ist ein illustratives Diagramm von Regionsunterteilung durch die Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 der Dreidimensionalform-Messapparatur 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Wie in 11 gezeigt, wird zuerst eine Bezeichnung einer Abschnittsregion 110, für welche Messdaten zu erfassen sind, empfangen. Als Nächstes wird die Abschnittsregion in vier Regionen 111, 112, 113, 114 durch Betätigung der Maus oder dergleichen unterteilt. Dann ist es durch Berechnen entsprechender Parameterwerte für die Mehrzahl von Parametern in Bezug auf jede der Mehrzahl von unterteilten Regionen 111, 112, 113, 114 möglich, zumindest vier Parameter für denselben Parameter in jeder Abschnittsregion zu ermitteln, um so den später erwähnten t-Test zuverlässig auszuführen.
Es ist anzumerken, dass ein Regionsbezeichnungs-Empfangsteil 303 vorgesehen sein kann, um die Bezeichnung einer Region als ein Ziel zum Berechnen eines Parameterwerts aus der Mehrzahl von Regionen, die auf der zweidimensionalen Ebene unterteilt sind, zu empfangen. Es ist möglich, eine durch den Anwender erkannte Region zu bezeichnen, eine quantitative Differenz aufzuweisen, um so zuverlässiger einen Klassifikationsparameter zu spezifizieren, der quantitative Analyse der Differenz auf der Oberfläche der Probe gestattet.
Ein Klassifikationsparameter-Spezifizierteil 305 spezifiziert einen Klassifikationsparameter zum Klassifizieren von Messdaten in eine Mehrzahl von Abschnitten aus einer Mehrzahl von Parametern, basierend auf der Mehrzahl von berechneten und gespeicherten Parameterwerten. Beispielsweise wird die statistische Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter ausgeführt, basierend auf den berechneten Parameterwerten, um einen Klassifikationsparameter zu spezifizieren, mit welchem die Differenz in der Oberfläche der Probe leicht analysiert wird. Als die statistische Verarbeitung wird beispielsweise der bekannte t-Test ausgeführt. Die Art von statistischer Verarbeitung ist nicht besonders beschränkt.
Spezifisch wird die Verarbeitung durch die nachfolgende Prozedur ausgeführt. Zuerst werden ein S-Filter, eine F-Operation und ein L-Filter ausgewählt und auf die in zwei Gruppen klassifizierten Messdaten angewendet.
Der S-Filter ist ein Filter (Tiefpassfilter) zum Entfernen einer kleinmaßstäblichen Komponente und ist ein Filter entsprechend einem Grenzwert λs. Spezifisch kann eine Wellenlänge (Umgekehrtes des Grenzwerts) des Filters beispielsweise anhand der NA der Linse festgelegt werden oder es kann der minimale Grenzwert (Grenzwellenlänge) in einem Standard, der größer als eine horizontale Auflösungsleistung von Daten ist, ausgewählt werden. Weiter kann ein Filter mit der größten statistisch signifikanten Differenz von allen im Standard definierten S-Filtern eingesetzt werden.
Die F-Operation ist ein Filter zum Entfernen einer Form aus der Basisoberfläche und ist ein Filter zum Formentfernen, welches zur Neigungskorrektur korrespondiert. ?
Der L-Filter ist ein Filter (Hochpassfilter) zum Entfernen einer Großmaßstabskomponente und ist ein Filter entsprechend einem Grenzwert λc. Spezifisch kann eine Wellenlänge (Umgekehrtes des Grenzwertes) des Filters beispielsweise anhand der NA der Linse bestimmt werden oder es kann ein Filter mit der größten statistisch signifikanten Differenz aus allen im Standard definierten L-Filtern eingesetzt werden.
Nach der Filterverarbeitung wird ein Parameterwert eines Oberflächentexturparameters (Linien-Rauheitsparameter oder Ebenen-Rauheitsparameter) beispielsweise gemäß dem Standard von ISO 25178 berechnet. Beispielsweise wird ein Parameterwert des Parameters Std des oben beschriebenen Winkelspektrums berechnet, um die Richtung des Knotens des Musters zu spezifizieren.
Als Nächstes wird eine oder eine Mehrzahl von Linien in einer Richtung orthogonal zur spezifizierten Richtung des Knotens gezeichnet und die Grenzwerte λs, λc werden auf Höhendaten jeder Linie angewendet, um Parameterwerte der Linien-Rauheitsparameter zu berechnen, die in 8 gezeigt sind.
Dies wird an Messdaten in jeder Gruppe ausgeführt und der t-Test wird an jedem Parameter durchgeführt, um die Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz in Bezug auf jeden Parameter zu bestimmen.
Der t-Test bedeutet einen Test zum Bestimmen, ob Mittel von zwei Populationen gleich sind oder nicht, unter der Annahme, dass beide der zwei Populationen einer Normalverteilung folgen. Wenn Varianzen von zwei Gruppen als gleich angenommen werden können, wird ein Student-t-Test eingesetzt und wenn sie nicht als gleich angenommen werden können, wird ein Welch-t-Test eingesetzt.
Im Falle, bei dem nicht der t-Test verwendet wird, wird, ob eine Trennung möglich ist oder nicht, in Übereinstimmung damit festgestellt, wie viel Mal eine Distanz zwischen Mittelwerten der zwei Gruppen so groß ist wie eine Summe von Standardabweichungen der zwei Gruppen. Durch Anwenden von Verteilungen der zwei Gruppen auf die Normalverteilung kann das obige auch in Übereinstimmung mit einem Überlappungsgrad der zwei Normalverteilungen bestimmt werden.
Es ist anzumerken, dass selbst im Falle, dass die statistisch signifikanten Differenz als existent bestimmt ist, wenn sie eine statistisch signifikante Irrelevanz-Differenz ist, die statistisch signifikante Differenz als nicht existent angesehen werden kann. Beispielsweise selbst im Fall, in dem die statistisch signifikante Differenz als im Parameter Ra existent festgestellt wird, wenn sie als kleiner als ein vorgegebener Wert aus einer Messbedienung wie etwa einer Linse oder einer Datengröße bestimmt wird, kann sie als ein Fehler angesehen werden. Zu dieser Zeit ist es möglich, festzustellen, dass die statistisch signifikante Differenz nicht existiert.
Weiter ist das Ausführen der statistischen Verarbeitung und Bestimmen der Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz in Bezug auf jeden Parameter nicht restriktiv und ein Klassifikationsparameter kann spezifiziert werden, ohne die statistische Verarbeitung auszuführen. Spezifisch wird ein Klassifikationsparameter durch die nachfolgende Prozedur spezifiziert.
Zuerst wird vorab ein Schwellenwert in Bezug auf jeden Parameter eingestellt. Als Nächstes werden Parameterwerte aller Rauheitsparameter bezüglich der Messdaten in zwei Gruppen berechnet. Wenn die Differenz beim Durchschnittswert des Rauheitsparameters in den zwei Gruppen nicht kleiner als der eingestellte Schwellenwert ist, kann der Parameter bestimmt werden, ein Parameter zu sein, der als ein Klassifikationsparameter spezifiziert werden kann.
Rückkehrend zu 3, zeigt ein Klassifikationsparameter-Anzeigeteil 306 zumindest den spezifizierten Klassifikationsparameter auf dem Anzeigeteil (Anzeige) 43 an. Der Klassifikationsparameter-Anzeigeteil 306 ist nicht auf einen beschränkt, der nur einen Klassifikationsparameter anzeigt, sondern kann auch einer sein, welcher zusätzlich den Klassifikationsparameter zusätzlich zu den Analyseergebnissen anzeigt.
12 ist ein illustratives Diagramm eines Anzeigebildschirms von Klassifikationsparametern auf der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 der Dreidimensionalform-Messapparatur 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Im Beispiel von 12 wird eine Verteilung von Mittelwerten von Parameterwerten der Gruppen durch einen Graphen in der Verteilungs-Anzeigeregion 123 in Bezug auf jeden Parameter 122 angezeigt.
Der eingestellte Schwellenwert jedes Parameters wird in einer Schwellenwert-Anzeigeregion 125 angrenzen. Der Klassifikationsparameter wird gemäß einem Trennungsgrad in Bezug auf den Schwellenwert angezeigt. Das heißt, dass eine Prioritätsreihenfolge in der absteigenden Reihenfolge des Trennungsgrades eingestellt wird und die Graphenanzeige in absteigender Prioritätsreihenfolge in der Verteilungs-Anzeigeregion 123 gemacht wird.
Weiterhin wird ein Trennungsgrad, welcher ein Index ist, der den Grad bezüglich dem anzeigt, ob als ein Klassifikationsparameter einzusetzen oder nicht, in einer Trenngrad-Anzeigeregion 121 in Bezug auf jeden Parameter angezeigt. Im Beispiel von 12 wird der Trenngrad durch "⊙", "O" oder "Δ" angezeigt, und wenn der Trenngrad "⊙" ist, gibt dies an, dass der Parameter als ein Klassifikationsparameter geeignet ist.
Hier kann der Trenngrad durch Formel 5 berechnet werden, wobei die zwei Gruppen als eine Gruppe 1 und eine Gruppe 2 angenommen werden.
[Mathematische Formel 5]

Trenngrad = |Mittelwert von Gruppe 1 – Mittelwert von Gruppe 2| / (Standardabweichung von Gruppe 1 + Standardabweichung von Gruppe 2) (Formel 5)

Beispielsweise wird "⊙" angezeigt, wenn der in Formel 5 berechnete Trenngrad größer als '6' ist, wird "O" angezeigt, wenn er größer als '3' und nicht größer als '6' ist und wird "Δ" angezeigt, wenn er größer als '1' und nicht größer als '3' ist.
Eine Checkbox ist als Klassifikationsparameter-Auswahl-Empfangsteil in einer Auswahlregion 124 vorgesehen. Wenn die Checkbox durch Bedienung der Maus 42 selektiert wird, wird der selektierte Klassifikationsparameter zusätzlich zu den Analyseergebnissen angezeigt.
Zuerst werden im Falle des Anzeigens von Analyseergebnissen in einer Matrixform beispielsweise drei Arten von Einstellinformationen, nämlich drei Teile von Information von Einstellinformationen in Bezug auf jedes Analyseverfahren (nachfolgend als eine Analyseverarbeitungs-Abschnitt-Einstellinformation bezeichnet); Einstellinformationen in Bezug auf alle Messdaten (nachfolgend als eine Dateiauswahl-Einstellinformation bezeichnet); und Einstellinformation zum Einstellen eines anderen Analyseverfahrens in Bezug auf alle Messdaten (nachfolgend als eine Zellaktions-Einstellinformation bezeichnet) kombiniert und angezeigt.
13 ist ein schematisches Diagramm im Falle der Anzeige von Analyseergebnissen in einer Matrixform in der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 der Dreidimensionalform-Messapparatur 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Im Beispiel von 13 werden Analyseergebnisse in Bezug auf alle Messdaten (Datei) in Einheiten von Reihen repräsentiert und werden Analyseergebnisse in Bezug auf jedes Analyseverfahren (Analyseverarbeitung) in Einheiten von Spalten repräsentiert.
In diesem Fall gibt die Analyseverarbeitungs-Abschnitt-Einstellinformation an, welcher Analyseverarbeitung das Analyseergebnis in jeder Spalte entspricht, als ein Analyseverarbeitungs-Abschnitt-Einstellsatz 401, der durch Zusammenfügen einer Mehrzahl von Teilen von Analyseverarbeitungs-Abschnitts-Einstellinformation gebildet ist. Beispielsweise im Falle der Profilmessverarbeitung ist als der Typ von Bildanzeige "Laser + Farbe", "Laser", "Farbe", "Höhe" oder dergleichen die Analyseverarbeitungs-Abschnitts- Einstellinformation.
Die Dateiabschnitts-Einstellinformation gibt an, für welche Analyseinformation die Analyseverarbeitung durch eine Mehrzahl von Analyseverfahren durchgeführt worden ist, um ein Analyseergebnis auf jeder Reihe zu erhalten, als ein Dateiabschnitts-Einstellsatz 402, der durch Zusammenfügen einer Mehrzahl von Teilen von Dateiabschnitts-Einstellinformation gebildet wird. Beispielsweise im Falle der Profilmessverarbeitung sind Messdaten wie etwa Höhendaten und Farbdaten die Dateiabschnitts-Einstellinformation.
Zellabschnitts-Einstellinformation 403 gibt individuelle Einstellinformation einer Datei in Bezug auf jede Analyseverarbeitung an. Mit diesen kombiniert, können die Analyseergebnisse in einer Matrixform angezeigt werden.
Der Klassifikationsparameter, der durch Verwenden der GPS-Selektionsregion 124 von 12 ausgewählt wird, wird zusätzlich zu den Analyseergebnissen, die in einer Matrixform angezeigt sind, angezeigt. 14 ist ein schematisches Diagramm im Falle des zusätzlichen Anzeigens von Analyseergebnissen in einer Matrixform in der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 der Dreidimensionalform-Messapparatur 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Im Beispiel von 14 wird "Laser + Farbe" als die Analyseverarbeitungs-Abschnitts-Einstellinformation ausgewählt und werden entsprechende Analyseergebnisse der Messdaten bezüglich "Laser + Farbinformation" zusammen mit Höhenbilder angezeigt. Wenn ein Parameter Str als ein
Klassifikationsparameter ausgewählt wird, werden entsprechende Parameterwerte der Messdaten zusätzlich angezeigt.
15 ist ein Flussdiagramm, das eine Verarbeitungsprozedur der CPU 11 in der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 der Dreidimensionalform-Messapparatur 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Die CPU 11 der Messdaten-Verarbeitungseinheit 1 empfängt eine Eingabe von Bilddaten im Lichtempfangselement 28 und der Farb-CCD-Kamera 34 der Dreidimensionalform-Messeinheit 2 als eine Mehrzahl von Messdatenteilen, die in einer Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert sind, wie etwa eine Mehrzahl von Gruppen (Schritt S1501) und speichert sie im Messdatenspeicher 131 der Speichervorrichtung 13 (Schritt S1502).
Die CPU 11 bestimmt, ob die Anzahl von Messdatenteilen in einer Gruppe nicht kleiner als Vier ist (Schritt S1503). Wenn die CPU 11 feststellt, dass die Anzahl von Messdatenteilen kleiner als Vier ist (Schritt S1503: NEIN), unterteilt die CPU 11 eine Abschnittsregion auf der zweidimensionalen Ebene, wo die Messdaten erfasst worden sind, in eine Mehrzahl von Regionen (Schritt S1504).
Wenn die CPU 11 feststellt, dass die Anzahl von Messdatenteilen nicht kleiner als Vier ist (Schritt S1503: JA), überspringt die CPU 11 Schritt S1504, berechnet Parameterwerte in Bezug auf jeden Parameter und speichert die berechneten Werte (Schritt S1505). Die CPU 11 führt den t-Test in Bezug auf jeden Parameter durch, basierend auf der Mehrzahl von gespeicherten Parameterwerten (Schritt S1506) und spezifiziert einen Klassifikationsparameter zum Klassifizieren der Messdaten in eine Mehrzahl von Gruppen (Abschnitten) aus einer Mehrzahl von Parametern (Schritt S1507). Beispielsweise wird der t-Test als die statistische Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter ausgeführt, basierend auf den berechneten Parameterwerten, um einen Klassifikationsparameter zu spezifizieren, mit welchem die Differenz in der Oberfläche der Probe leicht analysiert wird.
Die CPU 11 zeigt zumindest den spezifizierten Klassifikationsparameter auf dem Anzeigeteil (Anzeige) 43 an (Schritt S1508). Natürlich kann nur der Klassifikationsparameter angezeigt werden, oder der Klassifikationsparameter mag zusätzlich zu Analyseergebnissen angezeigt werden.
Wie oben beschrieben, ist es gemäß der vorliegenden Ausführungsform im Falle der Analyse der Differenz in der Oberfläche der Probe möglich, einen Klassifikationsparameter zu spezifizieren, der klar die Differenz als die Differenz von Parameterwerten angibt, um so einen Klassifikationsparameter zu selektieren, der eine quantitative Evaluierung der Differenz im Oberflächenzustand gestattet, wobei der Parameter für den Anwender schwierig auszuwählen ist.
Zusätzlich ist die vorliegende Erfindung nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt und eine große Vielzahl von Modifikationen, Verbesserungen und dergleichen sind möglich, solange sie innerhalb des Bereichs der Bedeutung der vorliegenden Erfindung sind. Beispielsweise im Beispiel von 12 wird die Verteilung der Mittelwerte von Parameterwerten in jeder Gruppe durch den Graphen in der Verteilungsanzeigeregion 123 in Bezug auf jeden Parameter 122 angezeigt, aber sie kann durch ein Histogramm angezeigt werden, wenn die Population groß ist. Jedoch, wenn die Population klein ist, kann die Verteilung nicht durch das Histogramm verstanden werden. Daher werden ein Mittelwert und eine indefinite Varianz aus tatsächlichen Daten berechnet und dann als ein Normalverteilungsdiagramm berechnet.
16 ist ein illustratives Diagramm eines Graphen, der in der in 12 gezeigten Verteilungs-Anzeigeregion 123 angezeigt wird. Im Beispiel von 16, wenn nur vier Teile von tatsächlichen Daten 161 existieren, kann die Verteilung nicht angezeigt werden. Daher werden ein Mittelwert und eine Varianz für die vier Teile von tatsächlichen Daten 161 berechnet und wird eine Normalverteilungskurve 162 gefunden und angezeigt.
In der Verteilungs-Anzeigeregion 123 von 12 mag nur die Normalverteilungskurve angezeigt werden oder mögen nur die tatsächlichen Daten oder Beide angezeigt werden. Weiter kann ein sogenannter Kastenauftrag verwendet werden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2013-201399 [0004]

Zitierte Nicht-Patentliteratur

ISO 25178 [0089]

Claims

Dreidimensional-Form-Messapparatur, umfassend: eine Dreidimensionalform-Messeinheit zum Messen einer dreidimensionalen Form einer Probe zum Erfassen von Messdaten einschließlich Dreidimensionalform-Information; eine Messdaten-Verarbeitungseinheit zum Ausführen von Analyseverarbeitung bezüglich der dreidimensionalen Form der Probe unter Verwendung der Messdaten zum Anzeigen eines Analyseergebnisses auf einer Anzeige; einen Messdateneingabe-Empfangsteil zum Empfangen einer Eingabe der Messdaten als einer Mehrzahl von Teilen von Messdaten, die in eine Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert sind; einen Parameterwert-Berechnungsteil zum Berechnen, in Bezug auf jeden der Mehrzahl von Abschnitten, mit denen die Eingabe empfangen wird, entsprechender Parameterwerte für eine Mehrzahl von Parametern bezüglich eines Oberflächenzustands der Probe; einen Klassifikationsparameter-Spezifizierungsteil zum Spezifizieren, aus der Mehrzahl von Parametern, eines Klassifikations-Parameters zum Klassifizieren der Messdaten in eine Mehrzahl von Abschnitten, basierend auf der Mehrzahl von berechneten Parameterwerten; und einen Klassifikationsparameter-Anzeigeteil zum Anzeigen zumindest des spezifizierten Klassifikations-Parameters auf der Anzeige.
Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß Anspruch 1, wobei der Klassifikationsparameter-Spezifizierungsteil eine statistische Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter ausführt, basierend auf den berechneten Parameterwerten, und die Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz in Bezug auf jeden Parameter bestimmt, um einen auf dem Bestimmungsergebnis basierenden Klassifikationsparameter zu spezifizieren.
Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß Anspruch 1, wobei der Klassifikationsparameter-Spezifizierungsteil bestimmt, ob eine Differenz nicht kleiner als ein vorbestimmter Schwellenwert in Bezug auf jeden Parameter existiert oder nicht, basierend auf den berechneten Parameterwerten, um einen Klassifikationsparameter basierend auf dem Bestimmungsergebnis zu spezifizieren.
Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß Anspruch 1, umfassend: einen Regions-Unterteilungsteil zum Unterteilen, in eine Mehrzahl von Regionen, einer Abschnittsregion auf einer zweidimensionalen Ebene, der zu dem Abschnitt korrespondiert, mit welchem die Eingabe empfangen wird, wobei der Parameterwert-Berechnungsteil entsprechende Parameterwerte für die Mehrzahl von Parametern in Bezug auf jede der Mehrzahl von unterteilten Regionen berechnet.
Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß Anspruch 4, umfassend: einen Regionsbezeichnungs-Empfangsteil zum Empfangen der Bezeichnung einer Region auf der zweidimensionalen Ebene, der Region als ein Ziel zum Berechnen des Parameterwerts im Parameterwert-Berechnungsteil.
Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß Anspruch 1, umfassend: einen Klassifikationsparameter-Auswahl-Empfangsteil zum Empfangen der Auswahl eines zusätzlich angezeigten Klassifikationsparameters im Falle des Anzeigens von Analyseergebnissen in einer Matrixform.
Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß Anspruch 1, wobei der Klassifikationsparameter-Anzeigeteil einen Graphen anzeigt, der einen Klassifikationsgrad der Mehrzahl von Abschnitten in Bezug auf jeden spezifizierten Klassifikationsparameter angibt.
Dreidimensionalform-Messapparatur gemäß Anspruch 1, wobei eine Prioritätsreihenfolge zur Anzeige in Assoziierung mit jedem der Klassifikationsparameter gespeichert ist, und der Klassifikationsparameter-Anzeigeteil die Klassifikationsparameter in der Prioritätsreihenfolge anzeigt.
Messdaten-Verarbeitungseinheit, die Analyseverarbeitung bezüglich einer dreidimensionalen Form einer Probe unter Verwendung von Messdaten ausführt, die dreidimensionale Forminformation enthalten, welche durch Messen der dreidimensionalen Form der Probe ermittelt wird, um ein Analyseergebnis auf einer Anzeige anzuzeigen,
wobei die Einheit umfasst: einen Messdateneingabe-Empfangsteil zum Empfangen einer Eingabe der Messdaten als eine Mehrzahl von Messdatenteilen, die in eine Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert sind; einen Parameterwert-Berechnungsteil zum Berechnen, in Bezug auf jeden der Mehrzahl von Abschnitten, mit welchen die Eingabe empfangen wird, entsprechender Parameterwerte für eine Mehrzahl von Parametern bezüglich eines Oberflächenzustands der Probe; einen Klassifikationsparameter-Spezifizierungsteil zum Spezifizieren, aus der Mehrzahl von Parametern, eines Klassifikationsparameters zum Klassifizieren der Messdaten in einer Mehrzahl von Abschnitten, basierend auf der Mehrzahl von berechneten Parameterwerten; und einen Klassifikationsparameter-Anzeigeteil zum Anzeigen zumindest des spezifizierten Klassifikationsparameters auf der Anzeige.
Messdaten-Verarbeitungseinheit gemäß Anspruch 9, wobei der Klassifikationsparameter-Spezifizierungsteil statistische Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter ausführt, basierend auf den berechneten Parameterwerten, und die Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz in Bezug auf jeden Parameter bestimmt, um einen Klassifikationsparameter basierend auf dem Bestimmungsergebnis zu spezifizieren.
Messdaten-Verarbeitungseinheit gemäß Anspruch 9, wobei der Klassifikationsparameter-Spezifizierungsteil feststellt, ob eine Differenz nicht kleiner als ein vorbestimmter Schwellenwert in Bezug auf jeden Parameter existiert oder nicht, basierend auf den berechneten Parameterwerten, um einen auf dem Bestimmungsergebnis basierenden Klassifikationsparameter zu spezifizieren.
Messdaten-Verarbeitungsverfahren, das in einer Messdaten-Verarbeitungseinheit zum Ausführen von Analyseverarbeitung bezüglich einer dreidimensionalen Form einer Probe unter Verwendung von Messdaten ausgeführt werden kann, welche durch Messen der dreidimensionalen Form der Probe erfasste Dreidimensionalform-Information umfassen, um ein Analyseergebnis auf einer Anzeige anzuzeigen, wobei das Verfahren umfasst: einen ersten Schritt des Empfangens einer Eingabe der Messdaten als einer Mehrzahl von Teilen von Messdaten, die in einer Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert sind; einen zweiten Schritt des Berechnens in Bezug auf jeden der Mehrzahl von Abschnitten, mit welchen die Eingabe empfangen wird, von entsprechenden Parameterwerten für eine Mehrzahl von Parametern bezüglich eines Oberflächenzustands der Probe; einen dritten Schritt des Spezifizierens, aus der Mehrzahl von Parametern, eines Klassifikationsparameters zum Klassifizieren der Messdaten in eine Mehrzahl von Abschnitten, basierend auf der Mehrzahl von berechneten Parameterwerten; und einen vierten Schritt des Anzeigens zumindest des spezifizierten Klassifikationsparameters auf der Anzeige.
Messdaten-Verarbeitungsverfahren gemäß Ansprüch 12, wobei der dritte Schritt das Ausführen statistischer Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter, basierend auf den berechneten Parameterwerten, und Bestimmen der Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz in Bezug auf jeden Parameter beinhaltet, um einen Klassifikationsparameter basierend auf dem Bestimmungsergebnis zu spezifizieren.
Messdaten-Verarbeitungsverfahren gemäß Anspruch 12, wobei der dritte Schritt das Bestimmen, ob eine Differenz nicht kleiner als ein vorbestimmter Schwellenwert in Bezug auf jeden Parameter existiert oder nicht, basierend auf den berechneten Parameterwerten beinhaltet, um einen Klassifikationsparameter, basierend auf dem Bestimmungsergebnis, zu spezifizieren.
Computerprogramm, das in einer Messdaten-Verarbeitungseinheit zum Ausführen von Analyseverarbeitung bezüglich einer dreidimensionalen Form einer Probe unter Verwendung von Messdaten, die durch Messen der dreidimensionalen Form der Probe erfasste Dreidimensionalform-Information beinhaltet, ausgeführt werden kann, um ein Analyseergebnis auf einer Anzeige anzuzeigen, wobei die Messdaten-Verarbeitungseinheit veranlasst wird, zu funktionieren als: ein Messdaten-Eingabeempfangsteil zum Empfangen einer Eingabe der Messdaten als einer Mehrzahl von Teilen von Messdaten, die in eine Mehrzahl von Abschnitten klassifiziert sind; ein Parameterwert-Berechnungsteil zum Berechnen, in Bezug auf jeden der Mehrzahl von Abschnitten, mit denen die Eingabe empfangen wird, von entsprechenden Parameterwerten für eine Mehrzahl von Parametern bezüglich eines Oberflächenzustands der Probe; ein Klassifikationsparameter-Spezifizierteil zum Spezifizieren, aus der Mehrzahl von Parametern, eines Klassifikationsparameters zum Klassifizieren der Messdaten in eine Mehrzahl von Abschnitten, basierend auf der Mehrzahl von berechneten Parameterwerten; und einen Klassifikationsparameter-Anzeigeteil zum Anzeigen zumindest des spezifizierten Klassifikationsparameters auf der Anzeige.
Computerprogramm gemäß Anspruch 15, wobei der Klassifikationsparameter-Spezifizierteil veranlasst wird, als ein Teil zum Ausführen statistischer Verarbeitung in Bezug auf jeden Parameter, basierend auf den berechneten Parameterwerten und Bestimmen der Existenz oder Nichtexistenz einer statistisch signifikanten Differenz in Bezug auf jeden Parameter zu fungieren, um einen Klassifikationsparameter, basierend auf dem Bestimmungsergebnis, zu spezifizieren.
Computerprogramm gemäß Anspruch 15, wobei der Klassifikationsparameter-Spezifizierteil veranlasst wird, als ein Teil zum Bestimmen zu funktionieren, ob eine Differenz nicht kleiner als ein vorbestimmter Schwellenwert existiert oder nicht, in Bezug auf jeden Parameter, basierend auf den berechneten Parameterwerten, um einen Klassifikationsparameter, basierend auf dem Bestimmungsergebnis, zu spezifizieren.