DE102015209487A1

DE102015209487A1 - Verfahren zum Ermitteln eines korrigierten Intensitätsverhältnisses

Info

Publication number: DE102015209487A1
Application number: DE102015209487.1A
Authority: DE
Inventors: Thomas Böttger
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2015-05-22
Filing date: 2015-05-22
Publication date: 2015-07-23

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ermitteln eines korrigierten Intensitätsverhältnisses. Das Intensitätsverhältnis bezieht sich auf eine erste und zweite Intensität einer elektromagnetischen Strahlung vor und nach einer Wechselwirkung mit einem Objekt. Bei dem Verfahren werden spektrale Intensitätsmessungen durchgeführt, wobei Messwerte der ersten und zweiten Intensität bereitgestellt werden. Die bereitgestellten Messwerte der ersten Intensität weisen einen Störungsanteil auf, welcher bei den bereitgestellten Messwerten der zweiten Intensität verringert oder nicht vorhanden ist. Das Verfahren umfasst ferner ein Bereitstellen von Werten des Intensitätsverhältnisses unter Verwendung der bereitgestellten Messwerte der ersten und zweiten Intensität. Weitere Schritte des Verfahrens sind ein Approximieren von bereitgestellten Werten des Intensitätsverhältnisses mit einer glatten Funktion, mit deren Hilfe der Störungsanteil unterdrückbar ist, und ein Ermitteln einer Korrekturfunktion auf der Grundlage von Abweichungen zwischen der approximierten glatten Funktion und bereitgestellten Werten des Intensitätsverhältnisses. Unter Verwendung der Korrekturfunktion wird des Weiteren eine Korrektur von Werten des Intensitätsverhältnisses durchgeführt.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ermitteln eines korrigierten Intensitätsverhältnisses. Das Intensitätsverhältnis bezieht sich auf eine erste und zweite Intensität einer elektromagnetischen Strahlung vor und nach einer Wechselwirkung mit einem Objekt.
Ein optisches Bauelement zur Reflexion von elektromagnetischer Strahlung im EUV-Bereich (extrem ultraviolette Strahlung) kann ein Substrat mit einem reflektierenden Mehrfachschichtsystem aufweisen. Solche Bauelemente können für die EUV-Lithographie zum Einsatz kommen. Bei der Entwicklung und Herstellung der Bauelemente werden üblicherweise Schichtreflektivitätsmessungen durchgeführt. Die Messergebnisse werden zur Schichtanalyse oder Schichtmodellerstellung genutzt.
Eine Reflektivitätsmessung an einem Objekt basiert darauf, die Intensität der einfallenden Strahlung vor dem Objekt und die Intensität der reflektierten Strahlung nach dem Objekt zu erfassen. Der Reflexionsgrad ergibt sich aus dem Verhältnis der Intensitäten von reflektierter zu einfallender Strahlung.
Zur Untersuchung von reflektierenden Bauelementen für den EUV-Bereich werden u.a. spektrale Reflektivitätsmessungen durchgeführt. Hierbei werden Werte des Reflexionsgrades in einem Spektralbereich bei verschiedenen Wellenlängen gewonnen. Die dazugehörigen Intensitätsmessungen werden mit Hilfe von EUV-Reflektometern durchgeführt. Solche Messsysteme können eine Einrichtung zum Erzeugen eines Plasmas als Strahlungsquelle, einen Monochromator mit einem optischen Gitter zum Durchstimmen der Wellenlänge der Strahlung, und einen oder mehrere Detektoren zur Strahlungserfassung aufweisen.
Reflektierende Objekte für den EUV-Bereich besitzen ein spektral schmalbandiges Reflexionsvermögen, und stellen somit Spektralfilter dar. Hierbei wird hauptsächlich Strahlung im Bereich einer Nutzwellenlänge (beispielsweise 13,5 nm) reflektiert. Von einem Monochromator eines EUV-Reflektometers kommt nicht nur Strahlung mit der jeweils eingestellten Wellenlänge, sondern auch ein Falschlichtanteil. Hierzu gehören zum Beispiel Beugungen höherer Ordnung (beispielsweise zweite Gitterordnung bei 13,5 nm / 2 = 6,75 nm) sowie Streulicht.
Da die Wirkung von Absorptionsfiltern im Strahlengang von EUV-Reflektometern zumeist unzureichend oder mit zu großen Intensitätsverlusten behaftet ist, wodurch deren Verwendung gegebenenfalls entfällt, kann bei der Messung der einfallenden Strahlung der Falschlichtanteil mit erfasst werden. Bei der Messung der reflektierten Strahlung ist dies aufgrund der spektralen Filterwirkung nicht oder nur vermindert der Fall.
Da ein Plasma ein linienreiches Emissionsspektrum besitzt, weist der Falschlichtanteil einzelne Intensitätspeaks im Spektrum auf. Die Intensitätspeaks können sich ferner aufgrund von zum Beispiel einem Verbrauch in der Strahlungsquelle, einem neuen Blendensetting, einer neuen Quellen- bzw. Gerätejustage, usw. zeitlich verändern. Dies hat zur Folge, dass der erfasste Reflexionsgrad eines Objekts einen Störungsanteil in Form einzelner Peaks bzw. Schwankungen aufweist. Somit ist der gewonnene Verlauf des Reflexionsgrades verfälscht und kann deutlich von einem erwarteten nominellen Verlauf abweichen. Eine hierauf basierende Schichtanalyse oder Schichtmodellerstellung kann daher fehlerbehaftet sein.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren zum Ermitteln eines möglichst unverfälschten Intensitätsverhältnisses anzugeben.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zum Ermitteln eines korrigierten Intensitätsverhältnisses vorgeschlagen. Das Intensitätsverhältnis bezieht sich auf eine erste und zweite Intensität einer elektromagnetischen Strahlung vor und nach einer Wechselwirkung mit einem Objekt. Bei dem Verfahren werden spektrale Intensitätsmessungen durchgeführt, wobei Messwerte der ersten und zweiten Intensität bereitgestellt werden. Die bereitgestellten Messwerte der ersten Intensität weisen einen Störungsanteil auf, welcher bei den bereitgestellten Messwerten der zweiten Intensität verringert oder nicht vorhanden ist. Das Verfahren umfasst ferner ein Bereitstellen von Werten des Intensitätsverhältnisses unter Verwendung der bereitgestellten Messwerte der ersten und zweiten Intensität. Weitere Schritte des Verfahrens sind ein Approximieren von bereitgestellten Werten des Intensitätsverhältnisses mit einer glatten Funktion, mit deren Hilfe der Störungsanteil unterdrückbar ist, und ein Ermitteln einer Korrekturfunktion auf der Grundlage von Abweichungen zwischen der approximierten glatten Funktion und bereitgestellten Werten des Intensitätsverhältnisses. Unter Verwendung der Korrekturfunktion wird des Weiteren eine Korrektur von Werten des Intensitätsverhältnisses durchgeführt.
Bei dem Verfahren werden mit Hilfe von spektralen Intensitätsmessungen Messwerte der ersten und zweiten Intensität bereitgestellt. Die Messwerte der ersten Intensität sind mit einem Störungsanteil behaftet, welcher bei den Messwerten der zweiten Intensität nicht oder in verminderter Form vorhanden ist.
Das Auftreten des Störungsanteils kann von einem zum Durchführen der spektralen Intensitätsmessungen eingesetzten Messsystem herrühren. Bei der Messung kann eine einfallende Strahlung, deren Wellenlänge durchgestimmt wird, einen Falschlichtanteil bei einer oder mehreren Wellenlängen aufweisen, wobei diese Wellenlängen von der jeweils eingestellten Wellenlänge abweichen. Die unterschiedliche Ausprägung des entsprechenden Störungsanteils in den Messwerten der ersten und zweiten Intensität kann von einer spektralen Filterwirkung eines in dem Verfahren gemessenen Objekts, oder wie weiter unten angegeben mehrerer gemessener Objekte, herrühren. Dies hat zur Folge, dass der Störungsanteil in den Messwerten der ersten Intensität enthalten ist, und in den Messwerten der zweiten Intensität nicht oder in verringertem Ausmaß vorliegt.
Die basierend auf den Messwerten der ersten und zweiten Intensität bereitgestellten Werte des Intensitätsverhältnisses sind in gleicher Weise mit dem wellenlängenabhängigen Störungsanteil behaftet. Der Störungsanteil kann in Form von Peaks bzw. Schwankungen bei einzelnen Wellenlängen vorliegen, wodurch die Werte des Intensitätsverhältnisses an diesen Stellen in entsprechender Weise verfälscht sein und von einem erwarteten Werteverlauf abweichen können. Hierbei kann es sich um einen systematischen Fehler handeln, welcher sich auch bei Wiederholungsmessungen in Form eines übereinstimmenden Musters bemerkbar machen kann.
Bei dem Verfahren werden bereitgestellte Werte des Intensitätsverhältnisses mit einer glatten Funktion approximiert. Hierbei handelt es sich um eine Funktion ohne Sprünge und Ecken, mit deren Hilfe der Werteverlauf des Intensitätsverhältnisses ohne bzw. möglichst ohne den Störungsanteil wiedergegeben, und daher der Störungsanteil unterdrückt werden kann. Hierauf basierend bzw. auf der Grundlage von Abweichungen zwischen der approximierten glatten Funktion und bereitgestellten Werten des Intensitätsverhältnisses wird eine Korrekturfunktion ermittelt. Die Korrekturfunktion stellt ein Maß für die Abweichungen und damit für den Störungsanteil dar, so dass die Abweichungen bzw. der Störungsanteil mit Hilfe der Korrekturfunktion wiedergegeben werden können.
Aufgrund dieser Eigenschaft wird die Korrekturfunktion bei dem Verfahren zur Korrektur von Werten des Intensitätsverhältnisses genutzt, welche mit dem Störungsanteil behaftet sind. Unter Verwendung der Korrekturfunktion können korrigierte Werte des Intensitätsverhältnisses bereitgestellt werden, bei welchen der Störungsanteil nicht mehr vorhanden oder zumindest weitgehend unterdrückt ist.
Das Verfahren kann ohne Absorptionsfilter zur Verringerung des Falschlichtanteils durchgeführt werden. Die Korrektur kann auf diese Weise ohne Intensitätsverlust erfolgen.
Im Folgenden werden weitere mögliche Ausführungsformen und Details des Verfahrens näher beschrieben.
Das Bereitstellen von Werten des Intensitätsverhältnisses kann eine Verhältnisbildung von Messwerten der zweiten und ersten Intensität umfassen. Möglich ist ferner eine Vorverarbeitung der durch die Verhältnisbildung gebildeten Werte und/oder der zugrundliegenden Messwerte.
Bei der glatten Funktion kann es sich zum Beispiel um eine Polynomfunktion handeln. Möglich ist es auch, dass eine modellbasierte Funktion zum Einsatz kommt. Eine solche Funktion kann auf einem Modell eines in dem Verfahren gemessenen Objekts basieren, und infolgedessen die Wechselwirkung von Strahlung mit dem betreffenden Objekt wiedergegeben.
Das Ermitteln der Korrekturfunktion kann eine Division von Werten des Intensitätsverhältnisses und bezüglich der Wellenlänge entsprechenden Werten der approximierten glatten Funktion, oder umgekehrt eine Division von Werten der glatten Funktion und entsprechenden Werten des Intensitätsverhältnisses umfassen. Möglich ist ferner eine anschließende Interpolation der Quotienten, so dass die Korrekturfunktion in Form einer kontinuierlichen Funktion bzw. Kurve bereitgestellt werden kann.
Die Korrektur von Werten des Intensitätsverhältnisses kann dementsprechend eine Division, oder eine Multiplikation, von Werten des Intensitätsverhältnisses und bezüglich der Wellenlänge entsprechenden Werten der Korrekturfunktion umfassen.
In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens wird das Approximieren von bereitgestellten Werten des Intensitätsverhältnisses in einem Wellenlängenbereich durchgeführt, in welchem das Intensitätsverhältnis ein Maximum bzw. einen Peak aufweist. Hierbei kann der für das Approximieren genutzte Wellenlängenbereich kleiner sein als ein Wellenlängenbereich, in welchem Werte des Intensitätsverhältnisses bereitgestellt werden. Durch die Nutzung eines Wellenlängenbereichs, in welchem das Intensitätsverhältnis maximal ist, kann der Einfluss von Rauschen, mit welchem Messwerte der ersten und zweiten Intensität und damit Werte des Intensitätsverhältnisses gegebenenfalls behaftet sein können, unterdrückt werden. In diesem Zusammenhang ist es zum Beispiel möglich, den Wellenlängenbereich, in welchem das Approximieren durchgeführt wird, anhand eines minimalen Grenzwerts des Intensitätsverhältnisses festzulegen.
In einer weiteren Ausführungsform werden mehrere Datensätze von Werten des Intensitätsverhältnisses bereitgestellt. Ferner werden für jeden Datensatz der mehreren Datensätze zugehörige Werte des Intensitätsverhältnisses mit einer eigenen glatten Funktion approximiert. Das Ermitteln der Korrekturfunktion wird auf der Grundlage von Abweichungen zwischen den approximierten glatten Funktionen und zugehörigen Werten des Intensitätsverhältnisses durchgeführt. Diese Ausführungsform des Verfahrens ermöglicht ein Bereitstellen der Korrekturfunktion und damit Durchführen der Korrektur für einen relativ großen Wellenlängenbereich.
Die mehreren Datensätze können dahingehend bereitgestellt werden, dass ein Maximum des Intensitätsverhältnisses jeweils bei einer anderen Wellenlänge liegt. Um den Einfluss von Rauschen zu unterdrücken, kann das Approximieren von Werten des Intensitätsverhältnisses der einzelnen Datensätze jeweils in einem Wellenlängenbereich durchgeführt werden, in welchem das Intensitätsverhältnis das entsprechende Maximum aufweist. Die für das Approximieren genutzten Wellenlängenbereiche können kleiner sein als die Wellenlängenbereiche der einzelnen Datensätze. Die Wellenlängenbereiche, in welchen das Approximieren jeweils durchgeführt wird, können zum Beispiel anhand eines minimalen Grenzwerts des Intensitätsverhältnisses festgelegt werden. Des Weiteren ist es möglich, dass die für das Approximieren genutzten Wellenlängenbereiche aneinander grenzen. Möglich ist auch ein Überlappen, wie es bei der folgenden Ausführungsform vorgesehen ist.
In einer weiteren Ausführungsform werden mehrere Datensätze von Werten des Intensitätsverhältnisses bereitgestellt. Ferner werden für jeden Datensatz der mehreren Datensätze zugehörige Werte des Intensitätsverhältnisses mit einer eigenen glatten Funktion approximiert. Das Approximieren von Werten der mehreren Datensätze wird in überschneidenden Wellenlängenbereichen durchgeführt. Das Ermitteln der Korrekturfunktion wird auf der Grundlage von gemittelten Abweichungen zwischen den approximierten glatten Funktionen und zugehörigen Werten des Intensitätsverhältnisses durchgeführt. Auch diese Ausführungsform ermöglicht ein Bereitstellen der Korrekturfunktion und damit Durchführen der Korrektur für einen relativ großen Wellenlängenbereich. Da das Approximieren in überschneidenden Wellenlängenbereichen erfolgt und anhand einer Mittelwertbildung eine gemittelte Korrekturfunktion gebildet wird, kann die mit Hilfe der Korrekturfunktion durchgeführte Korrektur darüber hinaus mit einer hohen Genauigkeit und Zuverlässigkeit erfolgen.
Bei der vorgenannten Ausführungsform kann bereits das Bereitstellen der Datensätze in überschneidenden Wellenlängenbereichen durchgeführt werden. Des Weiteren können auch hier die mehreren Datensätze dahingehend bereitgestellt werden, dass ein Maximum des Intensitätsverhältnisses jeweils bei einer anderen Wellenlänge liegt. Um den Einfluss von Rauschen zu unterdrücken, kann das Approximieren von Werten des Intensitätsverhältnisses der einzelnen Datensätze jeweils in einem Wellenlängenbereich durchgeführt werden, in welchem das Intensitätsverhältnis das entsprechende Maximum aufweist. Die für das Approximieren genutzten Wellenlängenbereiche können kleiner sein als die Wellenlängenbereiche der einzelnen Datensätze. Die Wellenlängenbereiche, in welchen das Approximieren jeweils durchgeführt wird, können zum Beispiel anhand eines minimalen Grenzwerts des Intensitätsverhältnisses festgelegt werden.
In einer weiteren Ausführungsform, welche in diesem Zusammenhang zur Anwendung kommen kann, bezieht sich die Korrektur auf wenigstens einen Datensatz der mehreren Datensätze, d.h. dass unter Verwendung der Korrekturfunktion Werte des Intensitätsverhältnisses von wenigstens einem Datensatz der mehreren Datensätze korrigiert werden. Hierbei werden die mehreren Datensätze zunächst dazu genutzt, um die gemittelte Korrekturfunktion zu ermitteln, und wird diese Korrekturfunktion anschließend zu Korrekturzwecken auf wenigstens einen Datensatz angewendet.
Bei Verwendung von mehreren Datensätzen von Werten des Intensitätsverhältnisses kann das Ermitteln der Korrekturfunktion eine Division von Werten des Intensitätsverhältnisses und bezüglich der Wellenlänge entsprechenden Werten der jeweils zugehörigen approximierten glatten Funktionen, oder umgekehrt eine Division von Werten der jeweils zugehörigen glatten Funktionen und entsprechenden Werten des Intensitätsverhältnisses umfassen. Eine gemittelte Korrekturfunktion kann gebildet werden, indem die zuvor gebildeten Quotienten einer Mittelwertbildung unterzogen werden, zum Beispiel durch die Anwendung eines gleitenden Mittelwerts. Durch eine Interpolation der gegebenenfalls gemittelten Quotienten kann die Korrekturfunktion ferner in Form einer kontinuierlichen Funktion bzw. Kurve bereitgestellt werden.
In einer weiteren Ausführungsform werden unter Verwendung der Korrekturfunktion Werte des Intensitätsverhältnisses korrigiert, welche auf der Grundlage von weiteren spektralen Intensitätsmessungen bereitgestellt werden. Hierbei können ebenfalls Messwerte der ersten und zweiten Intensität bereitgestellt werden, wobei im Wesentlichen oder ausschließlich die Messwerte der ersten Intensität den Störungsanteil aufweisen, und infolgedessen die hierauf basierenden und für die Korrektur vorgesehenen Werte des Intensitätsverhältnisses mit dem Störungsanteil behaftet sein können.
In Bezug auf die vorgenannte Verfahrensvariante können erste und gegebenenfalls in mehreren Datensätzen enthaltene Werte des Intensitätsverhältnisses bereitgestellt werden, anhand derer, basierend auf wenigstens einer Approximation, die gegebenenfalls gemittelte Korrekturfunktion ermittelt wird. Ferner können weitere bzw. zweite Werte des Intensitätsverhältnisses bereitgestellt werden, welche mit Hilfe der Korrekturfunktion korrigiert werden. Diese Vorgehensweise kann zum Beispiel zur Anwendung kommen, wenn sich lediglich die ersten Werte des Intensitätsverhältnisses zuverlässig mit einer glatten und gegebenenfalls modellbasierten Funktion approximieren lassen, und diese Eigenschaft nicht oder nur in ungenügender Form auf die zweiten Werte des Intensitätsverhältnisses zutrifft.
In einer weiteren Ausführungsform wird die Korrekturfunktion auf der Grundlage von spektralen Intensitätsmessungen ermittelt, welche an einem Objekt oder an mehreren Objekten durchgeführt werden. Die Verwendung von mehreren Objekten kann zum Beispiel in Betracht kommen, um wie oben angegeben mehrere Datensätze von Werten des Intensitätsverhältnisses mit einem Maximum des Intensitätsverhältnisses bei verschiedenen Wellenlängen bereitzustellen. Dies kann erreicht werden, indem bei den mehreren Objekten eine unterschiedliche Wechselwirkung mit elektromagnetischer Strahlung vorliegt. Solche unterschiedlichen Datensätze von Werten des Intensitätsverhältnisses können jedoch auch an einem einzelnen Objekt gewonnen werden. Hierbei kann das Objekt zum Beispiel mehrere und den spektralen Intensitätsmessungen ausgesetzte Bereiche aufweisen, welche sich hinsichtlich der Wechselwirkung mit elektromagnetischer Strahlung voneinander unterscheiden. Eine weitere Möglichkeit, mehrere Datensätze mit einem Maximum des Intensitätsverhältnisses bei verschiedenen Wellenlängen bereitzustellen, besteht darin, die spektralen Intensitätsmessungen an einem Objekt unter verschiedenen Winkeln durchzuführen.
In einer weiteren Ausführungsform werden Werte des Intensitätsverhältnisses unter Verwendung der Korrekturfunktion korrigiert, welche auf der Grundlage von spektralen und an einem weiteren Objekt durchgeführten Intensitätsmessungen bereitgestellt werden. Bei dieser Verfahrensvariante können erste und gegebenenfalls in mehreren Datensätzen enthaltene Werte des Intensitätsverhältnisses anhand von Intensitätsmessungen an einem oder mehreren ersten Objekten bereitgestellt werden, anhand derer, basierend auf wenigstens einer Approximation, die gegebenenfalls gemittelte Korrekturfunktion ermittelt wird. Ferner können weitere bzw. zweite Werte des Intensitätsverhältnisses anhand von Intensitätsmessungen an einem weiteren bzw. zweiten Objekt bereitgestellt werden, welche mit Hilfe der Korrekturfunktion korrigiert werden. Diese Vorgehensweise kann zum Beispiel zur Anwendung kommen, wenn sich lediglich die ersten Werte des Intensitätsverhältnisses zuverlässig mit einer glatten und gegebenenfalls modellbasierten Funktion approximieren lassen, und diese Eigenschaft nicht oder nur in ungenügender Form auf die zweiten Werte des Intensitätsverhältnisses zutrifft.
In einer weiteren Ausführungsform ist das Intensitätsverhältnis ein Reflexionsgrad. Zum Bereitstellen von Werten des Reflexionsgrades werden spektrale Reflektivitätsmessungen durchgeführt. Hierbei kann die direkt reflektierte Strahlung oder auch die gestreute bzw. diffus reflektierte Strahlung erfasst werden.
In einer weiteren Ausführungsform werden die spektralen Intensitätsmessungen, auf deren Grundlage Werte des Intensitätsverhältnisses bereitgestellt werden können, bei Wellenlängen im EUV-Bereich (extrem ultraviolette Strahlung) durchgeführt. In dieser Verfahrensvariante kann es sich bei dem Intensitätsverhältnis um einen Reflexionsgrad handeln. In diesem Zusammenhang kann das Verfahren ferner bei der Entwicklung und Herstellung von reflektierenden Bauelementen bzw. Spiegeln für die EUV-Lithographie zum Einsatz kommen.
Reflektierende Bauelemente des EUV-Bereichs können ein reflektierendes Mehrfachschichtsystem aufweisen. In diesem Zusammenhang können mit Hilfe des Verfahrens korrigierte Werte des Reflexionsgrades zum Beispiel zur Schichtanalyse oder Schichtmodellerstellung genutzt werden. Aufgrund der mit dem Verfahren erzielten Korrektur lassen sich die Schichtanalyse bzw. Schichtmodellerstellung, und damit das Bestimmen von Schichtmodellparametern, möglichst unverfälscht und mit einer hohen Genauigkeit durchführen.
Hierbei kann die Korrekturfunktion zum Beispiel auf der Grundlage von Werten des Reflexionsgrades ermittelt werden, welche basierend auf Messungen an einem oder auch mehreren reflektierenden Objekten mit einem periodischen Mehrfachschichtsystem gewonnen werden. Bei einem periodischen Mehrfachschichtsystem kann der unverfälschte spektrale Reflexionsgrad einen glatten Verlauf aufweisen, wodurch sich bereitgestellte und mit dem Störungsanteil behaftete Werte des Reflexionsgrades für eine zuverlässige Approximation eignen.
Die Korrekturfunktion kann des Weiteren zur Korrektur von Werten des Reflexionsgrades genutzt werden, welche anhand von spektralen Intensitätsmessungen an einem reflektierenden Objekt mit einem aperiodischen Mehrfachschichtsystem gewonnen werden. Bei einem solchen Objekt kann der spektrale Reflexionsgrad, auch ohne den Störungsanteil, einen stellenweise stark schwankenden Verlauf aufweisen, wodurch eine zuverlässige Approximation nicht möglich ist. Die Anwendung der Korrekturfunktion bietet in diesem Zusammenhang die Möglichkeit, trotz des schwankenden Verlaufs eine zuverlässige Korrektur durchzuführen.
Es ist auch möglich, die Korrekturfunktion zur Korrektur von Werten des Reflexionsgrades anzuwenden, welche anhand von spektralen Intensitätsmessungen an einem reflektierenden Objekt mit einem periodischen Mehrfachschichtsystem gewonnen werden.
In Bezug auf die Anwendung des Verfahrens im EUV-Bereich können die spektralen Intensitätsmessungen unter Verwendung eines Messsystems durchgeführt werden, welches eine Einrichtung zum Erzeugen eines Plasmas als Strahlungsquelle und einen Monochromator mit einem optischen Gitter zum Durchstimmen der Wellenlänge der Strahlung aufweist. In dieser Ausgestaltung kann das Auftreten des Störungsanteils zum Beispiel von einem linienreichen Emissionsspektrum des Plasmas mit mehreren Spektrallinien im Zusammenspiel mit einer nicht vollständig wellenlängenseparierenden Betriebsweise des Monochromators verursacht sein. Hierbei kann der Monochromator nicht nur Strahlung mit der jeweils eingestellten Wellenlänge, sondern auch einen Strahlungsanteil bei einer oder mehreren anderen Wellenlängen liefern.
Das Verfahren kann nicht nur im EUV-Bereich, sondern auch in Bezug auf andere Spektralbereiche, zum Beispiel den Bereich des sichtbaren Lichts oder den UV-Bereich, eingesetzt werden.
In einer weiteren Ausführungsform ist das Intensitätsverhältnis ein Transmissionsgrad. Zum Bereitstellen von Werten des Transmissionsgrades werden spektrale Transmissionsmessungen durchgeführt. Hierbei kann die reflektierte, die transmittierte oder auch die transmittierte und zusätzlich gestreute Strahlung erfasst werden.
Die spektralen Intensitätsmessungen, anhand derer die Korrekturfunktion ermittelt sowie zu korrigierende Werte des Intensitätsverhältnisses bereitgestellt werden, können bei übereinstimmenden Messbedingungen durchgeführt werden. Auf diese Weise kann der Störungsanteil jeweils gleich bzw. im Wesentlichen übereinstimmend sein, und kann die Korrektur infolgedessen mit einer hohen Zuverlässigkeit und Genauigkeit erfolgen. Hierfür können die spektralen Intensitätsmessungen zum Beispiel in einem Zeitraum durchgeführt werden, in welchem das Muster des Falschlicht- bzw. Störungsanteils zeitlich stabil bleibt. In einem Messbetrieb kann es in diesem Zusammenhang ferner in Betracht kommen, die Korrekturfunktion regelmäßig oder permanent zu ermitteln, und hierauf basierend die Richtigkeit bzw. Stabilität der Korrekturfunktion zu überwachen.
Die spektralen Intensitätsmessungen können jeweils unter Verwendung desselben Messsystems durchgeführt werden. Möglich ist es jedoch auch, die spektralen Intensitätsmessungen unter Verwendung mehrerer vom Messprinzip übereinstimmender Messsysteme durchzuführen. Diese können vergleichbare optische Eigenschaften aufweisen, wodurch auch der von den Messsystemen herrührende und mit Hilfe des Verfahrens korrigierbare Störungsanteil gleich bzw. im Wesentlichen übereinstimmend sein kann.
Die vorstehend erläuterten und/oder in den Unteransprüchen wiedergegebenen vorteilhaften Aus- und Weiterbildungen der Erfindung können – außer zum Beispiel in Fällen eindeutiger Abhängigkeiten oder unvereinbarer Alternativen – einzeln oder aber auch in beliebiger Kombination miteinander zur Anwendung kommen.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand der schematischen Figuren näher erläutert. Es zeigen:
1 ein System zum Durchführen von Reflektivitätsmessungen;
2 ein Ablaufdiagramm mit Schritten eines Verfahrens zum Ermitteln eines korrigierten Intensitätsverhältnisses;
3 einen simulierten Störungsanteil eines Reflexionsgrades;
4 simulierte Werte des Reflexionsgrades, eine hieran approximierte glatte Funktion, und eine anhand von Abweichungen zwischen den Werten des Reflexionsgrades und der approximierten glatten Funktion gebildete Korrekturfunktion;
5 weitere simulierte Werte des Reflexionsgrades und mit Hilfe der Korrekturfunktion von 4 korrigierte Werte des Reflexionsgrades;
6 mehrere Datensätze von simulierten Werten des Reflexionsgrades, hieran approximierte glatte Funktionen, und eine anhand von Abweichungen zwischen den Werten des Reflexionsgrades und den approximierten glatten Funktionen gebildete gemittelte Korrekturfunktion;
7 weitere simulierte Werte des Reflexionsgrades und mit Hilfe der Korrekturfunktion von 6 korrigierte Werte des Reflexionsgrades; und
8 ein System zum Durchführen von Transmissionsmessungen.
Im Folgenden werden Ausgestaltungen eines Verfahrens zum Ermitteln eines korrigierten Intensitätsverhältnisses beschrieben. Das Intensitätsverhältnis bezieht sich auf eine erste und eine zweite Intensität einer elektromagnetischen Strahlung vor und nach einer Wechselwirkung mit einem Objekt. Das Verfahren dient dazu, eine Verfälschung von Werten des Intensitätsverhältnisses in Form eines Störungsanteils zu korrigieren. Werte des Intensitätsverhältnisses werden auf der Grundlage von spektralen Intensitätsmessungen bereitgestellt.
Das Verfahren kann bei der Entwicklung und Herstellung von reflektierenden Komponenten bzw. Spiegeln im Bereich der EUV-Lithographie (extrem ultraviolette Strahlung) zur Anwendung kommen. Hierbei ist das Intensitätsverhältnis ein Reflexionsgrad, also das Verhältnis der Intensitäten von reflektierter und einfallender Strahlung. In entsprechender Weise werden Reflektivitätsmessungen durchgeführt.
Solche Messungen können mit dem in 1 schematisch dargestellten Messsystem durchgeführt werden. Hierbei kommt eine Bestrahlungseinrichtung 110 zum Einsatz, mit deren Hilfe eine Oberfläche eines reflektierenden Objekts 130 unter einem Einfallswinkel α mit einer elektromagnetischen Strahlung 120 bestrahlt werden kann. Die einfallende Strahlung 120 weist eine Intensität I₀ auf. Die an dem Objekt 130 reflektierte Strahlung 120 weist eine Intensität I_M auf. Die bestrahlte Seite des Objekts 130 kann ebenflächig, gekrümmt oder strukturiert ausgebildet sein.
Die Bestrahlungseinrichtung 110 kann eine Strahlungsquelle zur Strahlungserzeugung und einen Monochromator umfassen (nicht dargestellt). Der Monochromator kann ein optisches Gitter zur wellenlängenabhängigen Strahlungsaufspaltung aufweisen. Mit Hilfe eines solchen, primärseitig (also vor dem Objekt 130) angeordneten Monochromators kann eine Wellenlänge der einfallenden Strahlung 120 durchgestimmt, also variabel eingestellt werden. Hierdurch können spektrale Intensitätsmessungen bei verschiedenen Wellenlängen durchgeführt werden, und können in entsprechender Weise Werte des Reflexionsgrades in einem Wellenlängenbereich bei verschiedenen Wellenlängen bereitgestellt werden.
Eine weitere Messkomponente der in 1 gezeigten Anordnung ist ein Detektor 115 zum Messen der Strahlungsintensität. In 1 sind zwei mögliche Messpositionen des Detektors 115 angedeutet, in welchen die reflektierte Strahlungsintensität I_M gemessen werden kann. In einer Position wird unter einem dem Einfallswinkel α entsprechenden Ausfallswinkel α’ die Intensität I_M der an dem Objekt 130 direkt reflektierten Strahlung 120 erfasst. In einer anderen Position wird unter einem sich von α unterscheidenden Ausfallswinkel β’ die Intensität I_M der an dem Objekt 130 gestreuten, gebeugten oder diffus reflektierten Strahlung 120 erfasst.
Das Ermitteln des Reflexionsgrades in einem Wellenlängenbereich erfordert es, nicht nur die reflektierte Strahlungsintensität I_M, sondern auch die einfallende Strahlungsintensität I₀ bei verschiedenen Wellenlängen zu erfassen. Zu diesem Zweck kann zum Beispiel der Detektor 115, oder ein weiterer Detektor, in einer zum Erfassen der einfallenden Strahlung 120 geeigneten Messposition, zum Beispiel nach einem Strahlteiler, zum Einsatz kommen (nicht dargestellt). Die Werte des Reflexionsgrades können auf der Grundlage einer Verhältnisbildung der Messwerte der Intensitäten I_M und I₀ gebildet werden.
In Bezug auf den EUV-Bereich kann das in 1 gezeigte Messsystem ein EUV-Reflektometer sein. Die Bestrahlungseinrichtung 110 kann eine Einrichtung zum Erzeugen eines Plasmas aufweisen, wobei das Plasma als Strahlungsquelle zum Emittieren von EUV-Strahlung 120 dient. Das gemessene Objekt 130 kann ein Substrat und ein auf dem Substrat angeordnetes reflektierendes Mehrfachschichtsystem, zum Beispiel ein Mo/Si-Mehrfachschichtsystem, aufweisen (jeweils nicht dargestellt). Hierbei kann das Objekt 130 ein schmalbandiges Reflexionsvermögen besitzen, wodurch die Strahlung 120 hauptsächlich im Bereich einer Nutzwellenlänge, welche zum Beispiel 13,5 nm betragen kann, reflektiert wird und somit ein restlicher Anteil der Strahlung 120 weitestgehend ausgefiltert wird.
In Bezug auf eine Anwendung des Verfahrens im EUV-Bereich wird ergänzend darauf hingewiesen, dass Reflektivitätsmessungen abweichend von der schematischen Darstellung in 1 bei kleineren oder auch bei größeren Winkeln α, α’, β’ durchgeführt werden können.
Das Auftreten eines verfälschenden Störungsanteils in Werten des Intensitätsverhältnisses, bei den Reflektivitätsmessungen im EUV-Bereich also in Werten des Reflexionsgrades, kann folgende Ursachen haben. Die Bestrahlungseinrichtung 110 bzw. deren Monochromator können nicht nur Strahlung 120 mit der jeweils eingestellten Wellenlänge, sondern auch einen Falschlichtanteil abstrahlen. Hierunter fallen zum Beispiel Beugungen höherer Gitterordnung sowie ein Streulichtanteil. Ein als Strahlungsquelle verwendetes Plasma kann ein linienreiches Emissionsspektrum mit mehreren Spektrallinien besitzen. Dadurch kann der Falschlichtanteil ausgeprägte Intensitätspeaks im Spektrum aufweisen. Bei der Messung der einfallenden Strahlungsintensität I₀ kann der Falschlichtanteil mit erfasst werden. Wenn das Objekt 130 ein schmalbandiges Reflexionsvermögen besitzt bzw. als spektraler Filter wirkt, wie es bei einer reflektieren EUV-Komponente der Fall ist, kann der Falschlichtanteil (weitgehend) ausgefiltert werden. Auf diese Weise wird der Falschlichtanteil bei der Messung der reflektierten Strahlungsintensität I_M (im Wesentlichen) nicht erfasst. Infolgedessen können die bei den Reflektivitätsmessungen gewonnenen Messwerte der einfallenden Strahlungsintensität I₀ einen entsprechenden wellenlängenabhängigen Störungsanteil aufweisen, welcher in den Messwerten der reflektierten Strahlungsintensität I_M nicht oder in verringertem Ausmaß vorhanden ist.
Werte des Reflexionsgrades, welche basierend auf einer Verhältnisbildung der Messwerte I_M und I₀ bereitgestellt werden können, können daher in gleicher Weise, abhängig von der jeweiligen Wellenlänge, mit dem Störungsanteil behaftet sein. Hierbei können Peaks bzw. Schwankungen bei einzelnen Wellenlängen vorliegen, so dass der gewonnene Reflexionsgrad an diesen Stellen verfälscht ist. Eine solche Verfälschung kann mit dem im Folgenden erläuterten Verfahren korrigiert werden.
2 zeigt ein Ablaufdiagramm, in welchem bei dem Verfahren durchgeführte Schritte 101, 102, 103 zusammengefasst sind. Da das Verfahren nicht nur in Bezug auf Reflektivitätsmessungen, sondern wie weiter unten beschrieben auch in Bezug auf Transmissionsmessungen zur Anwendung kommen kann (vgl. 8), wird im Folgenden zum Teil wieder der allgemeinere Begriff „Intensitätsverhältnis“ verwendet.
In einem Schritt 101 werden Werte des Intensitätsverhältnisses, d.h. je nach Ausgestaltung des Verfahrens des Reflexionsgrades oder des Transmissionsgrades, bereitgestellt. Der Schritt 101 umfasst ein Durchführen von spektralen Intensitätsmessungen, um Messwerte einer ersten und einer zweiten Intensität bereitzustellen. Die Intensitätsmessungen werden an (wenigstens) einem Objekt durchgeführt. Die erste Intensität bezieht sich auf eine einfallende Strahlung, und die zweite Intensität, je nach Ausgestaltung des Verfahrens, auf eine reflektierte oder eine transmittierte Strahlung. Die Messwerte der ersten Intensität (einfallende Strahlung) weisen messungsbedingt einen Störungsanteil auf, welcher bei den Messwerten der zweiten Intensität (reflektierte oder transmittierte Strahlung) nicht oder in kleinerem Ausmaß enthalten ist. Basierend auf den Messwerten der ersten und zweiten Intensität bzw. basierend auf einer Verhältnisbildung werden die Werte des Intensitätsverhältnisses bereitgestellt. Es ist ferner möglich, die durch die Verhältnisbildung gebildeten Werte und/oder die zugrundeliegenden Messwerte in dem Schritt 101 zusätzlich einer Vorverarbeitung zu unterziehen.
In einem Schritt 102 wird eine Korrekturfunktion ermittelt. Der Schritt 102 umfasst ein Approximieren von in dem Schritt 101 bereitgestellten Werten des Intensitätsverhältnisses mit einer glatten Funktion. Mit Hilfe der approximierten glatten Funktion ist es möglich, einen Werteverlauf des Intensitätsverhältnisses ohne bzw. im Wesentlichen ohne den Störungsanteil wiederzugeben, und somit den Störungsanteil zu unterdrücken. Auf der Grundlage von Abweichungen zwischen der approximierten glatten Funktion und den dazugehörigen angenäherten Werten des Intensitätsverhältnisses wird die Korrekturfunktion gebildet. Die Korrekturfunktion stellt somit ein Maß für die Abweichungen und damit für den Störungsanteil dar.
Infolgedessen kann die Korrekturfunktion zur Korrektur des Störungsanteils eingesetzt werden. Dies erfolgt in einem Schritt 103, in welchem Werte des Intensitätsverhältnisses unter Verwendung der Korrekturfunktion korrigiert werden.
Im Folgenden werden mögliche Details und Varianten des Verfahrens beschrieben, welche auf dem anhand von 2 skizzierten grundsätzlichen Verfahrensablauf basieren. In diesem Zusammenhang wird auf die Möglichkeit hingewiesen, dass Merkmale und Aspekte, welche in Bezug auf eine Verfahrensvariante genannt werden, auch bei einer anderen Verfahrensvariante angewendet werden können sowie dass Merkmale von mehreren Verfahrensvarianten miteinander kombiniert werden können.
In einer Ausgestaltung des Verfahrens handelt es sich bei den in dem Schritt 103 korrigierten Werten des Intensitätsverhältnisses um weitere bzw. zusätzliche Werte des Intensitätsverhältnisses, welche nicht im Rahmen des Schritts 101 gewonnen und daher auch nicht zum Ermitteln der Korrekturfunktion in dem Schritt 102 eingesetzt werden, sondern welche auf der Grundlage von weiteren spektralen Intensitätsmessungen bereitgestellt werden. Hierbei können die zum Ermitteln der Korrekturfunktion verwendeten Werte des Intensitätsverhältnisses und die zu korrigierenden Werte des Intensitätsverhältnisses durch Messungen an unterschiedlichen Objekten gewonnen werden. Die Messungen können jeweils unter Verwendung desselben Messsystems durchgeführt werden.
Bei dieser Verfahrensvariante können in dem Schritt 101 erste Werte des Intensitätsverhältnisses durch Messungen an einem ersten Objekt bereitgestellt werden, anhand derer in dem Schritt 102 die Korrekturfunktion ermittelt wird. Ferner können zweite Werte des Intensitätsverhältnisses durch Messungen an einem zweiten Objekt bereitgestellt werden, welche in dem Schritt 103 mit Hilfe der Korrekturfunktion korrigiert werden.
Das Durchführen dieser Verfahrensvariante kann zum Beispiel in Betracht kommen, wenn lediglich die ersten Werte des Intensitätsverhältnisses zuverlässig mit einer glatten Funktion approximiert und dadurch der Störungsanteil unterdrückt werden kann, dies bei den zweiten Werten des Intensitätsverhältnisses jedoch nicht möglich ist. Hinsichtlich des EUV-Bereichs ist diese Verfahrensvariante zum Beispiel in Bezug auf reflektierende Objekte mit einem periodischen und mit einem aperiodischen Mehrfachschichtsystem denkbar. Ein aperiodisches Mehrfachschichtsystem ermöglicht im Vergleich zu einem periodischen Mehrfachschichtsystem eine Reflexion mit einer spezifischen Charakteristik (zum Beispiel Breitbandigkeit).
Bei einem periodischen Mehrfachschichtsystem kann der unverfälschte spektrale Reflexionsgrad einen glatten Verlauf aufweisen, wodurch sich mit dem Störungsanteil behaftete bereitgestellte Werte des Reflexionsgrades zuverlässig approximieren lassen. Bei einem aperiodischen Mehrfachschichtsystem kann der spektrale Reflexionsgrad selbst ohne den Störungsanteil einen stellenweise stark schwankenden Verlauf aufweisen, so dass eine zuverlässige Approximation nicht möglich ist.
Somit kann die Korrekturfunktion hierbei auf der Grundlage von Werten des Reflexionsgrades ermittelt werden, welche an einem Objekt mit einem periodischen Mehrfachschichtsystem gewonnen werden. Die Korrekturfunktion kann zur Korrektur von Werten des Reflexionsgrades eingesetzt werden, welche an einem Objekt mit einem aperiodischen Mehrfachschichtsystem gewonnen werden.
Dadurch ist es trotz des schwankenden Verlaufs möglich, eine zuverlässige Korrektur durchzuführen.
Das vorstehend erläuterte Vorgehen wird im Folgenden anhand der 3 bis 5, welche sich auf Simulationen bzw. auf simulierte Reflektivitätsmessungen von reflektierenden Komponenten im EUV-Bereich beziehen, näher erläutert.
Hierfür wurde der in dem Diagramm von 3 gezeigte simulierte und von der Wellenlänge WL abhängige Störungsanteil 190, mit welchem der gemessene Reflexionsgrad R aus den oben genannten Gründen behaftet sein kann, zu Grunde gelegt. Der Störungsanteil 190 besitzt einen stark schwankenden Verlauf mit mehreren Peaks. Ein Hauptpeak des Störungsanteils 190 bei einer Wellenlänge WL von 13,5 nm führt vorliegend zu einer maximalen relativen Verfälschung des Reflexionsgrades R von 15%. Es wird darauf hingewiesen, dass der Störungsanteil 190 lediglich als Beispiel anzusehen ist, und dass abweichend hiervon bei tatsächlichen Messungen andere bzw. kleinere Störungen vorliegen können.
4 zeigt ein Diagramm mit simulierten Werten 140 (Kreuze als Datenpunkte) des Reflexionsgrades R in Abhängigkeit der Wellenlänge WL. Hierbei gilt für die Größe des Reflexionsgrades R die linke Ordinate. Bei einer tatsächlichen Anwendung des Korrekturverfahrens können solche Werte 140, wie oben zu dem Schritt 101 angegeben, auf der Grundlage von spektralen Intensitäts- bzw. Reflektivitätsmessungen, also bei verschiedenen Wellenlängen durchgeführten Messungen einer einfallenden und einer reflektierten Strahlungsintensität, bereitgestellt werden. Hierbei kann es sich um Messungen an einem reflektierenden Objekt mit einem periodischen Mehrfachschichtsystem handeln. Die Messungen können mit einem Messaufbau entsprechend 1 durchgeführt werden. Aufgrund des Störungsanteils 190 von 3 sind die Werte 140 hauptsächlich in dem Bereich um die Wellenlänge WL von 13,5 nm stark verfälscht bzw. weist der Werteverlauf an dieser Stelle Peaks bzw. Schwankungen auf.
4 zeigt des Weiteren anhand einer gestrichelten Linie eine glatte Funktion 150, mit welcher die Werte 140 des Reflexionsgrades R entsprechend des Schritts 102 approximiert worden sind.
Vorliegend wurde eine Polynomfunktion (Ausgleichspolynom) verwendet.
Das Approximieren der Werte 140 mit der glatten Funktion 150 führt dazu, dass der in den Werten 140 enthaltene Störungsanteil 190 weitgehend unterdrückt werden kann. Gemäß 4 wird dies daran deutlich, dass die angenäherte glatte Funktion 150 in dem Wellenlängenbereich bei 13,5 nm, in welchem die Werte 140 stark schwanken, einen glatten Verlauf aufweist. Hierbei kann die glatte Funktion 150 einem erwarteten und unverfälschten Verlauf des Reflexionsgrades R im Wesentlichen entsprechen. Dies ist möglich, wenn die zugrundeliegenden Messungen, wie oben angegeben, an einem Objekt mit einem periodischen Mehrfachschichtsystem durchgeführt werden.
Das Approximieren in dem Schritt 102 kann, wie in 4 anhand des Wertebereichs der glatten Funktion 150 veranschaulicht ist, in einem Wellenlängenbereich durchgeführt werden, in welchem der Reflexionsgrad R maximal ist bzw. ein Maximum besitzt. Dieser Wellenlängenbereich, welcher kleiner ist als der Wellenlängenbereich, in welchem die Werte 140 zunächst bereitgestellt werden, kann zum Beispiel anhand eines minimalen Grenzwerts des Reflexionsgrades R festgelegt werden. Der Grenzwert kann zum Beispiel bei einem Reflexionsgrad R von 0,35 liegen. Auf diese Weise kann der Einfluss von Rauschen unterdrückt werden.
4 zeigt ferner anhand einer durchgezogenen Linie eine Korrekturfunktion 160, welche entsprechend des Schritts 102 auf der Grundlage von Restabweichungen zwischen der approximierten glatten Funktion 150 und Werten 140 des Reflexionsgrades R ermittelt worden ist. Hierbei gilt für die Korrekturfunktion 160 die rechte und mit K bezeichnete Ordinate. Das Erstellen der Korrekturfunktion 160 umfasst vorliegend ein Dividieren von Werten 140 und bei entsprechenden Wellenlängen WL liegenden Werten der glatten Funktion 150. Anschließend wurde eine Interpolation der Quotienten durchgeführt, wodurch die Korrekturfunktion 160 in Form einer kontinuierlichen Funktion bzw. Kurve vorliegen kann, wie es auch in 4 angedeutet ist. Über die Korrekturfunktion 160 können Abweichungen zwischen den Werten 140 und der hieran angenäherten glatten Funktion 150 abgebildet werden, wodurch die Korrekturfunktion 160 ein Maß für den Störungsanteil 190 darstellt. Diese Eigenschaft wird auch anhand der einander entsprechenden Verläufe des Störungsanteils 190 von 3 und der Korrekturfunktion 160 von 4 deutlich.
5 zeigt ein Diagramm mit weiteren simulierten Werten 170 (Kreuze als Datenpunkte) des Reflexionsgrades R. Die Werte 170 können bei einer tatsächlichen Anwendung des Korrekturverfahrens auf der Grundlage von weiteren spektralen Reflektivitätsmessungen bereitgestellt werden, wobei erneut der Messaufbau von 1 zur Anwendung kommen kann. Hierbei kann es sich um Messungen an einem reflektierenden Objekt mit einem aperiodischen Mehrfachschichtsystem handeln. Die Werte 170 des Reflexionsgrades R sind ebenfalls mit dem Störungsanteil 190 von 3 behaftet, so dass im Bereich um die Wellenlänge WL von 13,5 nm eine Verfälschung vorliegt. Aufgrund des aperiodischen Mehrfachschichtsystems kann der Reflexionsgrad R in diesem Bereich auch ohne den Störungsanteil 190 einen schwankenden Verlauf aufweisen. Daher ist eine zuverlässige Approximation der Werte 170 zur Unterdrückung des Störungsanteils 190 nicht möglich.
Zum Zwecke der Korrektur kommt daher die Korrekturfunktion 160 von 4 zum Einsatz. In 5 sind in diesem Zusammenhang korrigierte Werte 180 (kreisförmige Punkte als Datenpunkte) des Reflexionsgrades R gezeigt, welche entsprechend des Schritts 103 durch eine Anwendung der Korrekturfunktion 160 auf die Werte 170 gebildet worden sind. Dieser Vorgang umfasst vorliegend ein Dividieren von Werten 170 und bei entsprechenden Wellenlängen WL liegenden Werten der Korrekturfunktion 160. Die Korrektur hat zur Folge, dass bei den korrigierten Werten 180 der Störungsanteil 190 nicht mehr bzw. im Wesentlichen nicht mehr vorhanden ist, und die korrigierten Werte 180 daher einen (weitgehend) unverfälschten Verlauf des Reflexionsgrades R wiedergeben. Unter Verwendung der korrigierten Werte 180 ist es daher zum Beispiel möglich, eine genaue und unverfälschte Schichtanalyse oder Schichtmodellerstellung durchzuführen.
Eine weitere mögliche Ausgestaltung des Verfahrens von 2 besteht darin, in dem Schritt 101 mehrere Datensätze von Werten des Intensitätsverhältnisses bereitzustellen, in dem Schritt 102 die Korrekturfunktion anhand der mehreren Datensätze zu erstellen, und in dem Schritt 103 diese Korrekturfunktion zur Korrektur von Werten des Intensitätsverhältnisses einzusetzen. Auch hierbei können zugrundeliegende Messungen jeweils unter Verwendung desselben Messsystems durchgeführt werden. In dieser Verfahrensvariante werden in dem Schritt 102 für jeden Datensatz zugehörige Werte des Intensitätsverhältnisses mit einer eigenen glatten Funktion approximiert, und wird die Korrekturfunktion auf der Grundlage von Abweichungen zwischen den approximierten glatten Funktionen und zugehörigen Werten des Intensitätsverhältnisses ermittelt.
Bei Verwendung von mehreren Datensätzen kann das Ermitteln der Korrekturfunktion für einen relativ großen Wellenlängenbereich erfolgen. Hierfür können die mehreren Datensätze im Hinblick auf ein Vorliegen eines Maximums des Intensitätsverhältnisses bei verschiedenen Wellenlängen bereitgestellt werden. Ferner kann es in Betracht kommen, das Approximieren von Werten der unterschiedlichen Datensätze in überschneidenden Wellenlängenbereichen durchzuführen, und eine gemittelte Korrekturfunktion auf der Grundlage von gemittelten Abweichungen zwischen den approximierten glatten Funktionen und zugehörigen Werten des Intensitätsverhältnisses zu erstellen. Dies macht es möglich, die Korrektur verfälschter Werte des Intensitätsverhältnisses in dem Schritt 103 mit einer hohen Genauigkeit und Zuverlässigkeit durchzuführen.
Das vorstehend erläuterte Vorgehen wird im Folgenden anhand der 6 und 7, welche sich erneut auf simulierte Reflektivitätsmessungen von reflektierenden Komponenten im EUV-Bereich beziehen, näher erläutert.
6 zeigt ein zu 4 vergleichbares Diagramm, allerdings mit mehreren Datensätzen von simulierten Werten 140, 141, 142 des Reflexionsgrades R in Abhängigkeit der Wellenlänge WL. Zusätzlich zu dem bereits in 4 gezeigten Datensatz mit simulierten Werten 140 (Kreuze als Datenpunkte) sind in 6 ferner ein Datensatz mit simulierten Werten 141 (Quadrate als Datenpunkte) sowie ein Datensatz mit simulierten Werten 142 (Dreiecke als Datenpunkte) dargestellt. Bei einer tatsächlichen Anwendung des Korrekturverfahrens können solche Werte 140, 141, 142 in dem Schritt 101 auf der Grundlage von spektralen Reflektivitätsmessungen bereitgestellt werden, welche mit einem Messaufbau entsprechend 1 an einem Objekt oder auch an mehreren Objekten, d.h. entsprechend der drei gezeigten Datensätze an drei Objekten, durchgeführt werden können.
Hierbei kann es sich um ein Objekt bzw. um mehrere Objekte mit einem periodischen Mehrfachschichtsystem handeln, so dass ein zuverlässiges Approximieren und Unterdrücken des Störungsanteils 190 in dem nachfolgenden Schritt 102 möglich ist. Durch den auch bei dieser Simulation angewendeten Störungsanteil 190 von 3 sind sämtliche Werte 140, 141, 142 hauptsächlich in dem Bereich um die Wellenlänge WL von 13,5 nm verfälscht, was insbesondere bei den Werten 140 im Reflektivitätsmaximum erkennbar ist.
Die mehreren und bezüglich der Wellenlänge WL überlappenden Datensätze von Werten 140, 141, 142 sind dahingehend bereitgestellt, dass das Maximum des Reflexionsgrades R jeweils bei einer anderen Wellenlänge WL liegt. Bei Verwendung von mehreren bzw. drei gemessenen Objekten kann diese Gegebenheit durch eine unterschiedliche Wechselwirkung bzw. durch ein unterschiedliches Reflexionsverhalten der Objekte mit einer einfallenden Strahlung erzielt werden. Hierzu können die Objekte bzw. kann das bei den Objekten vorhandene Mehrfachschichtsystem unterschiedlich ausgebildet sein. Bei Verwendung von einem einzelnen gemessenen Objekt können Datensätze mit einem Maximum des Reflexionsgrades R bei verschiedenen Wellenlängen bereitgestellt werden, indem das Objekt mehrere reflektierende Bereiche für das Durchführen der Intensitätsmessungen umfasst. Die mehreren Bereiche können unterschiedlich ausgebildet sein bzw. einen unterschiedlichen Aufbau des Mehrfachschichtsystems aufweisen, so dass eine unterschiedliche Wechselwirkung mit einer einfallenden Strahlung erreicht werden kann. Eine weitere Möglichkeit, solche unterschiedlichen Datensätze bereitzustellen, besteht darin, die spektralen Intensitätsmessungen an einem einzelnen Objekt unter verschiedenen Winkeln durchzuführen.
Bei mehreren bereitgestellten Datensätzen wird in dem Schritt 102 jeder Datensatz mit einer eigenen glatten Funktion approximiert. In 6 ist dieser Vorgang anhand der mit unterschiedlich gestrichelten bzw. gepunkteten Linien gekennzeichneten glatten Funktionen 150, 151, 152 veranschaulicht. Hierbei sind die Werte 140 mit der Funktion 150, die Werte 141 mit der Funktion 151 und die Werte 142 mit der Funktion 152 approximiert. Bei den glatten Funktionen 150, 151, 152 handelt es sich vorliegend um Polynomfunktionen.
Das Approximieren hat zur Folge, dass der in den Werten 140, 141, 142 enthaltene Störungsanteil 190 weitgehend unterdrückt werden kann, und die glatten Funktionen 150, 151, 152 jeweils im Wesentlichen einen erwarteten und unverfälschten Verlauf des Reflexionsgrades R wiedergeben können. Dies ist möglich, wenn die zugrundeliegenden Messungen, wie oben angegeben, an einem Objekt oder an mehreren Objekten mit einem periodischen Mehrfachschichtsystem durchgeführt werden.
In 6 ist ferner anhand der verschiedenen Wertebereiche der glatten Funktionen 150, 151, 151 veranschaulicht, das Approximieren jeweils in einem Wellenlängenbereich durchzuführen, in welchem der Reflexionsgrad R maximal ist, um den Einfluss eines Rauschens zu unterdrücken. Hierbei kann ein minimaler Grenzwert des Reflexionsgrades R von zum Beispiel 0,35 festgelegt werden, um den für die Approximation jeweils vorgesehenen Wellenlängenbereich zu definieren. Des Weiteren überschneiden sich die Wellenlängenbereiche, in welchen die Approximation mit Hilfe der Funktionen 150, 151, 152 erfolgt ist. Dies wird im Folgenden zum Bereitstellen einer gemittelten Korrekturfunktion 165 genutzt.
Die Korrekturfunktion 165, welche in 6 anhand einer durchgezogenen Linie (mit der zugehörigen rechten Ordinate) dargestellt ist, wird in dem Schritt 102 bei Verwendung der mehreren Datensätze auf der Grundlage von gemittelten Abweichungen zwischen den jeweils approximierten glatten Funktionen 150, 151, 152 und zugehörigen Werten 140, 141, 142 des Reflexionsgrades R ermittelt. Vorliegend umfasst das Erstellen der glatten Funktion 165 ein Dividieren von Werten 140, 141, 142 und bei entsprechenden Wellenlängen WL liegenden Werten der jeweils zugehörigen glatten Funktionen 150, 151, 152 sowie eine Mittelwertbildung der hierbei gebildeten Quotienten. Dies ist vorliegend durch die Anwendung eines gleitenden Mittelwerts erfolgt. Ferner wurde eine Interpolation der gemittelten Quotienten durchgeführt, wodurch die Korrekturfunktion 165 in Form einer kontinuierlichen Funktion bzw. Kurve vorliegen kann, wie es auch in 6 angedeutet ist. Über die gemittelte Korrekturfunktion 165 können Abweichungen zwischen den Werten 140, 141, 142 und den hieran angenäherten glatten Funktionen 150, 151, 152 abgebildet werden, wodurch die Korrekturfunktion 160 ein Maß für den Störungsanteil 190 darstellt.
Eine entsprechend des Schritts 103 durchgeführte Anwendung der Korrekturfunktion 165 ist in dem Diagramm von 7 veranschaulicht. Hier dargestellt sind erneut die simulierten Werte 170 (Kreuze als Datenpunkte) des Reflexionsgrades R von 5, welche mit dem Störungsanteil 190 von 3 behaftet sind, und welche auf der Grundlage von Messungen mit dem Messaufbau von 1 an einem reflektierenden Objekt mit einem aperiodischen Mehrfachschichtsystem gewonnen werden können. Daher ist eine zuverlässige Approximation der Werte 170 zur Unterdrückung des Störungsanteils 190 nicht möglich.
Eine stattdessen mit Hilfe der Korrekturfunktion 165 von 6 durchgeführte Korrektur der Werte 170 ist in 7 anhand von korrigierten Werten 185 (kreisförmige Punkte als Datenpunkte) gezeigt. Dies umfasst vorliegend ein Dividieren von Werten 170 und bei entsprechenden Wellenlängen WL liegenden Werten der Korrekturfunktion 165. Die Korrektur führt dazu, dass bei den korrigierten Werten 185 der Störungsanteil 190 nicht mehr bzw. im Wesentlichen nicht mehr vorhanden ist, und infolgedessen die korrigierten Werte 185 einen (weitgehend) unverfälschten Verlauf des Reflexionsgrades R wiedergeben. Die korrigierten Werte 185 können daher zum Beispiel eingesetzt werden, um eine genaue und unverfälschte Schichtanalyse oder Schichtmodellerstellung durchzuführen.
Das vorstehend beschriebene Erstellen einer gemittelten Korrekturfunktion anhand von mehreren Datensätzen bietet die Möglichkeit, die Korrektur mit einer hohen Genauigkeit und Zuverlässigkeit durchzuführen. Dieser Vorteil kann deutlich hervortreten, wenn anstelle von drei eine größere Anzahl an Datensätzen von Werten des Intensitätsverhältnisses mit einem Maximum des Intensitätsverhältnisses bei verschiedenen Wellenlängen bereitgestellt werden, und hierauf basierend entsprechend des vorstehend beschriebenen Vorgehens eine gemittelte Korrekturfunktion ermittelt wird.
In Bezug auf die anhand der 4 bis 7 erläuterten Verfahrensvarianten wurde angegeben, Reflektivitätswerte R zu korrigieren, welche durch Messungen an einem Objekt mit aperiodischem Mehrfachschichtsystem gewonnen werden. Möglich ist es jedoch auch, die Korrektur von Werten durchzuführen, welche durch Messungen an einem Objekt mit einem periodischen Mehrfachschichtsystem gewonnen werden.
Bei Verwendung von mehreren Datensätzen kann es in Betracht kommen, die hierauf basierende gemittelte Korrekturfunktion nicht nur zur Korrektur von weiteren Werten des Intensitätsverhältnisses einzusetzen, sondern mit Hilfe der gemittelten Korrekturfunktion (auch) die Werte von zumindest einem Datensatz zu korrigieren. In Bezug auf die anhand der 6, 7 erläuterte Verfahrensvariante bedeutet dies, die gemittelte Korrekturfunktion 165 auf wenigstens einen der drei Datensätze von Werten 140, 141, 142 anzuwenden (nicht dargestellt). Die Verwendung der gemittelten Korrekturfunktion 165 macht es in diesem Zusammenhang möglich, eine genauere Unterdrückung des Störungsanteils 190 zu erzielen als bei einer bloßen Approximation mit einer den Werten 140, 141, 142 zugeordneten glatten Funktion 150, 151, 152. Auch dieser Vorteil kann deutlich hervortreten, wenn anstelle von drei eine größere Anzahl an Datensätzen zur Anwendung kommt.
Das Korrekturverfahren bzw. dessen unterschiedliche Varianten sind nicht nur auf den EUV-Bereich eingeschränkt, sondern können auch zum Beispiel im Hinblick auf den Bereich des sichtbaren Lichts, den UV-Bereich oder den Röntgenbereich eingesetzt werden. Des Weiteren lässt sich das Verfahren im Zusammenhang mit Transmissionsmessungen anwenden, welche zum Ermitteln eines Transmissionsgrades, also dem Verhältnis der Intensitäten von transmittierter und einfallender Strahlung, dienen. Bei einer solchen Anwendung werden mit Hilfe des Verfahrens verfälschte Werte des Transmissionsgrades korrigiert. Für eine solche Ausgestaltung des Verfahrens können oben erläuterte Aspekte und Merkmale in entsprechender Weise zur Anwendung kommen.
Transmissionsmessungen können mit dem in 8 schematisch dargestellten Messsystem durchgeführt werden. Hierbei kommt ebenfalls eine Bestrahlungseinrichtung 110 zum Einsatz, mit deren Hilfe eine Oberfläche eines durchstrahlbaren Objekts 131 unter einem Einfallswinkel α mit einer elektromagnetischen Strahlung 120 bestrahlt werden kann. Die einfallende Strahlung 120 weist eine Intensität I₀ auf. Die durch das Objekt 131 transmittierte Strahlung 120 weist eine Intensität I_M auf. Das Objekt 131 bzw. dessen bestrahlte Seite und/oder die hierzu entgegen gesetzte Seite können ebenflächig, gekrümmt oder strukturiert ausgebildet sein.
Die Bestrahlungseinrichtung 110 kann auch in dieser Ausgestaltung eine Licht- bzw. Strahlungsquelle zur Strahlungserzeugung und einen primärseitig angeordneten Monochromator umfassen (nicht dargestellt), so dass eine Wellenlänge der einfallenden Strahlung 120 durchgestimmt werden kann. Hierdurch können spektrale Intensitätsmessungen bei verschiedenen Wellenlängen durchgeführt werden, und können in entsprechender Weise Werte des Transmissionsgrades in einem Wellenlängenbereich bei verschiedenen Wellenlängen bereitgestellt werden.
Das Messen der Strahlungsintensität erfolgt mit Hilfe eines Detektors 115. In 8 sind zwei mögliche Messpositionen angedeutet, in welchen die transmittierte Strahlungsintensität I_M erfasst werden kann. In einer Position wird unter einem dem Einfallswinkel α entsprechenden Ausfallswinkel β die Intensität I_M der das Objekt 131 durchdringenden Strahlung 120 erfasst. In einer anderen Position wird unter einem Winkel β’ ungleich β die Intensität I_M der das Objekt 131 durchdringenden und zusätzlich gebeugten oder gestreuten Strahlung 120 erfasst. In diesem Zusammenhang wird ferner auf die nicht gezeigte Möglichkeit hingewiesen, das Objekt 131 senkrecht, d.h. unter einem Winkel α = 0° mit der Strahlung 120 zu bestrahlen.
Um auch die einfallende Strahlungsintensität I₀ zu messen, kann zum Beispiel der Detektor 115, oder ein weiterer Detektor, in einer zum Erfassen der einfallenden Strahlung 120 geeigneten Messposition, zum Beispiel nach einem Strahlteiler, zum Einsatz kommen (nicht dargestellt). Möglich ist auch ein Durchführen der Messung der Intensität I₀ bei aus dem Strahlengang entferntem Objekt 131. Die Werte des Transmissionsgrades können auf der Grundlage einer Verhältnisbildung der Messwerte der Intensitäten I_M und I₀ gebildet werden.
Das Auftreten eines verfälschenden Störungsanteils in Werten des Transmissionsgrades kann vergleichbare Ursachen haben, wie sie oben zu den Reflektivitätsmessungen bzw. dem EUV-Bereich erläutert wurden. Die Bestrahlungseinrichtung 110 bzw. deren Monochromator können nicht nur Strahlung 120 mit der jeweils eingestellten Wellenlänge, sondern auch einen Falschlichtanteil abstrahlen. Wenn ferner die Strahlungsquelle ein linienreiches Emissionsspektrum besitzt, kann der Falschlichtanteil ausgeprägte Intensitätspeaks im Spektrum aufweisen. Wenn zusätzlich das Objekt 131 ein schmalbandiges Transmissionsvermögen besitzt bzw. als spektraler Filter wirkt, können bei den Transmissionsmessungen gewonnene Messwerte der einfallenden Strahlungsintensität I₀ einen entsprechenden wellenlängenabhängigen Störungsanteil aufweisen, welcher in den Messwerten der transmittierten Strahlungsintensität I_M nicht oder in verringertem Ausmaß vorhanden ist.
Werte des Transmissionsgrades, welche basierend auf einer Verhältnisbildung der Messwerte I_M und I₀ bereitgestellt werden, können daher in gleicher Weise, abhängig von der jeweiligen Wellenlänge, mit dem Störungsanteil behaftet sein. Hierbei können Peaks bzw. Schwankungen bei einzelnen Wellenlängen vorliegen, so dass der gewonnene Transmissionsgrad an diesen Stellen verfälscht ist.
Eine solche Verfälschung kann mit dem anhand von 2 erläuterten Verfahrensablauf korrigiert werden, d.h. dass Werte des Transmissionsgrades bereitgestellt werden (Schritt 101), hierauf basierend bzw. basierend auf einer Approximation eine Korrekturfunktion ermittelt wird (Schritt 102), und die Korrekturfunktion zur Korrektur von Werten des Transmissionsgrades eingesetzt wird (Schritt 103). In entsprechender Weise können die oben beschriebenen Verfahrensvarianten, welche anhand des grundsätzlichen Verfahrensablaufs von 2 erläutert wurden, zur Anwendung kommen.
Beispielsweise kann es sich bei den in dem Schritt 103 korrigierten Werten um weitere Werte des Transmissionsgrades handeln, welche nicht im Rahmen des Schritts 101 gewonnen und daher auch nicht zum Ermitteln der Korrekturfunktion in dem Schritt 102 eingesetzt werden, sondern welche auf der Grundlage von weiteren spektralen Intensitätsmessungen bereitgestellt werden. Auch können die zum Ermitteln der Korrekturfunktion verwendeten Werte und die zu korrigierenden Werte des Transmissionsgrades durch Messungen an unterschiedlichen Objekten gewonnen werden.
Das Approximieren in dem Schritt 102 kann in einem Wellenlängenbereich durchgeführt werden, in welchem der Transmissionsgrad maximal ist bzw. ein Maximum besitzt.
Ferner können in dem Schritt 101 mehrere Datensätze von Werten des Transmissionsgrades mit einem Maximum des Transmissionsgrades bei verschiedenen Wellenlängen sowie in überschneidenden Wellenlängenbereichen bereitgestellt werden, was durch Messungen an einem oder mehreren Objekten erfolgen kann. In dem Schritt 102 kann jeder Datensatz mit einer eigenen glatten Funktion approximiert werden, wobei das Approximieren der Datensätze in überschneidenden Wellenlängenbereichen erfolgen kann, und kann anhand von gemittelten Abweichungen zwischen den jeweils approximierten glatten Funktionen und zugehörigen Werten des Transmissionsgrades eine Korrekturfunktion ermittelt werden. Die gemittelte Korrekturfunktion kann in dem Schritt 103 zur Korrektur verwendet werden.
Die vorstehend beschriebenen und anhand der Figuren erläuterten Ausführungsformen stellen bevorzugte bzw. beispielhafte Ausführungsformen der Erfindung dar. Neben den beschriebenen und abgebildeten Ausführungsformen sind weitere Ausführungsformen vorstellbar, welche weitere Abwandlungen und/oder Kombinationen von Merkmalen umfassen können.
Bei der Approximation kann wie oben angegeben eine Polynomfunktion zum Einsatz kommen. Möglich ist auch die Verwendung einer modellbasierten Funktion, welche auf einem Modell des (wenigstens) einen gemessenen Objekts basieren kann, und über welche die Wechselwirkung von Strahlung mit dem Objekt wiedergegeben werden kann.
Das Durchführen von spektralen Intensitätsmessungen, um Werte des betrachteten Intensitätsverhältnisses bereitzustellen, welche als Grundlage zum Ermitteln einer Korrekturfunktion verwendet werden und welche mit der Korrekturfunktion korrigiert werden, kann wie, oben angedeutet, jeweils unter Verwendung desselben Messsystems erfolgen. Alternativ lassen sich die spektralen Intensitätsmessungen auch unter Verwendung mehrerer vom Messprinzip übereinstimmender Messsysteme durchführen. Hierbei weisen die mehreren Messsysteme vergleichbare optische Eigenschaften auf, so dass der Störungsanteil jeweils gleich bzw. im Wesentlichen übereinstimmend sein kann, und sich infolgedessen der Störungsanteil mit Hilfe der Korrekturfunktion zuverlässig korrigieren lässt.
Um zu erreichen, dass der Störungsanteil jeweils gleich bzw. im Wesentlichen übereinstimmend ist, ist ferner vorgesehen, die spektralen Intensitätsmessungen, anhand derer die Korrekturfunktion ermittelt wird, sowie auch weitere Intensitätsmessungen zum Bereitstellen von zu korrigierenden Werten des Intensitätsverhältnisses, bei übereinstimmenden Messbedingungen durchzuführen. Auf diese Weise kann die Korrektur mit einer hohen Zuverlässigkeit und Genauigkeit erfolgen. Zu diesem Zweck werden die spektralen Intensitätsmessungen in einem Zeitraum durchgeführt, in welchem das Muster des Störungsanteils zeitlich stabil bleibt. In einem Messbetrieb im EUV-Bereich kann der Zeitraum zum Beispiel wenige Wochen betragen. Hierbei erfolgt keine Gerätewartung. Des Weiteren ist es möglich, die Korrekturfunktion regelmäßig oder permanent zu ermitteln, und hierauf basierend eine Überwachung der Richtigkeit bzw. Stabilität der Korrekturfunktion durchzuführen.
In Bezug auf die anhand der 1, 8 erläuterten Messsysteme, mit deren Hilfe die zugrundeliegenden Reflektivitäts- bzw. Transmissionsmessungen durchgeführt werden, können weitere Ausgestaltungen in Betracht kommen. Es ist zum Beispiel möglich, dass ein Monochromator nicht primärseitig, also vor dem gemessenen Objekt 130, 131, sondern sekundärseitig, also dem Objekt 130, 131 nachgeschaltet, angeordnet ist. Hierbei kann der Detektor 115 mit einem solchen sekundärseitigen Monochromator kombiniert sein. Möglich ist ferner eine doppelseitige Monochromatoranordnung mit einem primärseitig und einem sekundärseitig angeordneten Monochromator.
Bei solchen Ausgestaltungen der Messsysteme können mit Hilfe des Detektors 115 sowie gegebenenfalls eines weiteren Detektors ebenfalls entsprechende Intensitätswerte gemessen werden. Auch kann das unterschiedliche Auftreten des Störungsanteils in den Messwerten der ersten und zweiten Intensität auf einem linienreichen Emissionsspektrum der Strahlungsquelle der Beleuchtungseinrichtung 110 im Zusammenspiel mit einer nicht vollständig wellenlängenseparierenden Betriebsweise des bzw. der Monochromatoren verursacht sein.

Claims

Verfahren zum Ermitteln eines korrigierten Intensitätsverhältnisses, welches sich auf eine erste und zweite Intensität (I₀, I_M) einer elektromagnetischen Strahlung (120) vor und nach einer Wechselwirkung mit einem Objekt (130, 131) bezieht, umfassend die Verfahrensschritte: Durchführen von spektralen Intensitätsmessungen, wobei Messwerte der ersten und zweiten Intensität (I₀, I_M) bereitgestellt werden, wobei die bereitgestellten Messwerte der ersten Intensität (I₀) einen Störungsanteil aufweisen, welcher bei den bereitgestellten Messwerten der zweiten Intensität (I_M) verringert oder nicht vorhanden ist; Bereitstellen von Werten (140, 141, 142) des Intensitätsverhältnisses unter Verwendung der bereitgestellten Messwerte der ersten und zweiten Intensität (I₀, I_M); Approximieren von bereitgestellten Werten (140, 141, 142) des Intensitätsverhältnisses mit einer glatten Funktion (150, 151, 152), mit deren Hilfe der Störungsanteil unterdrückbar ist; Ermitteln einer Korrekturfunktion (160, 165) auf der Grundlage von Abweichungen zwischen der approximierten glatten Funktion (150, 151, 152) und bereitgestellten Werten (140, 141, 142) des Intensitätsverhältnisses; und Durchführen einer Korrektur von Werten (170) des Intensitätsverhältnisses unter Verwendung der Korrekturfunktion (160, 165).
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Approximieren von bereitgestellten Werten (140, 141, 142) des Intensitätsverhältnisses in einem Wellenlängenbereich durchgeführt wird, in welchem das Intensitätsverhältnis ein Maximum aufweist.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei mehrere Datensätze von Werten (140, 141, 142) des Intensitätsverhältnisses bereitgestellt werden, wobei für jeden Datensatz der mehreren Datensätze zugehörige Werte (140, 141, 142) des Intensitätsverhältnisses mit einer eigenen glatten Funktion (150, 151, 152) approximiert werden, und wobei das Ermitteln der Korrekturfunktion (165) auf der Grundlage von Abweichungen zwischen den approximierten glatten Funktionen (150, 151, 152) und zugehörigen Werten (140, 141, 142) des Intensitätsverhältnisses durchgeführt wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei mehrere Datensätze von Werten (140, 141, 142) des Intensitätsverhältnisses bereitgestellt werden, wobei für jeden Datensatz der mehreren Datensätze zugehörige Werte (140, 141, 142) des Intensitätsverhältnisses mit einer eigenen glatten Funktion (150, 151, 152) approximiert werden, wobei das Approximieren von Werten (140, 141, 142) der mehreren Datensätze in überschneidenden Wellenlängenbereichen durchgeführt wird, und wobei das Ermitteln der Korrekturfunktion (165) auf der Grundlage von gemittelten Abweichungen zwischen den approximierten glatten Funktionen (150, 151, 152) und zugehörigen Werten (140, 141, 142) des Intensitätsverhältnisses durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 4, wobei Werte des Intensitätsverhältnisses von wenigstens einem Datensatz der mehreren Datensätze korrigiert werden.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei Werte (170) des Intensitätsverhältnisses korrigiert werden, welche auf der Grundlage von weiteren spektralen Intensitätsmessungen bereitgestellt werden.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Korrekturfunktion auf der Grundlage von spektralen Intensitätsmessungen ermittelt wird, welche an einem Objekt oder an mehreren Objekten durchgeführt werden.
Verfahren nach Anspruch 7, wobei Werte des Intensitätsverhältnisses korrigiert werden, welche auf der Grundlage von spektralen und an einem weiteren Objekt durchgeführten Intensitätsmessungen bereitgestellt werden.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Intensitätsverhältnis ein Reflexionsgrad oder ein Transmissionsgrad ist.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die spektralen Intensitätsmessungen bei Wellenlängen im EUV-Bereich durchgeführt werden.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die spektralen Intensitätsmessungen jeweils unter Verwendung desselben Messsystems oder unter Verwendung vom Messprinzip übereinstimmender Messsysteme durchgeführt werden.