DE102015117450A1 - Prozessieranordnung und Transportanordnung - Google Patents

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Abstract

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung (100a, 200a, 700a) Folgendes aufweisen: zumindest einen Aufnahmebereich (104) zum Aufnehmen jeweils einer Prozessierquelle (114); einen dem Aufnahmebereich (104) zugeordneten Prozessierbereich (101); mehrere Transportrollen zum Transportieren von Substraten entlang einer durch den Prozessierbereich (101) hindurch verlaufenden Transportfläche (111f), von denen zumindest zwei einander benachbarte Transportrollen (102a, 102b) in einem Abstand voneinander angeordnet sind; eine Gastrennstruktur (108), welche zwischen dem zumindest einen Aufnahmebereich (104) und der Transportfläche (111f) angeordnet ist, und welche quer zur Transportfläche (111f) von mehreren Öffnungen (108o) durchdrungen ist, von denen die Transportfläche (111f) zwischen den zwei Transportrollen (102a, 102b) zu einem Großteil freigelegt ist, so dass zwischen den zwei Transportrollen (102a, 102b) durch die Gastrennstruktur (108) hindurch prozessiert werden kann.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Prozessieranordnung und eine Transportanordnung.
  • Im Allgemeinen können Vakuumprozessieranlagen verwendet werden, um Substrate, wie beispielsweise plattenförmige Substrate, Glasscheiben, Wafer oder andere Träger, zu prozessieren, z.B. zu bearbeiten, zu beschichten, zu erwärmen, zu ätzen und/oder strukturell zu verändern. Im Allgemeinen kann es erforderlich sein, ein zu prozessierendes Substrat in der Vakuumprozessieranlage zwischen unterschiedlichen Prozessumgebungen, z.B. unterschiedlichen Umgebungsdrücken und/oder unterschiedlichen Gaszusammensetzungen, zu transportieren.
  • Dazu kann eine Vakuumprozessieranlage (im Folgenden auch als Anlage bezeichnet) mehrere Kammern oder Sektionen (Kompartments), aufweisen, sowie ein Transportsystem zum Transportieren des zu beschichtenden Substrats durch die Vakuumprozessieranlage hindurch. Verschiedene Kammern einer Vakuumprozessieranlage können mittels so genannter Kammerwände oder Schottwände voneinander getrennt sein, beispielsweise bei horizontalen Durchlauf-Beschichtungsanlagen (In-Line-Prozessieranlagen) mittels vertikaler Kammerwände bzw. vertikaler Schottwände. Dabei kann jede Kammerwand (Schottwand) eine Substrat-Transfer-Öffnung (einen Substrat-Transfer-Spalt) derart aufweisen, dass ein Substrat durch die Kammerwand hindurch transportiert werden kann, z.B. von einer ersten Kammer einer Vakuumprozessieranlage mit einer ersten Prozessumgebung in eine zweite Kammer einer Vakuumprozessieranlage mit einer zweiten Prozessumgebung. Durch die Substrat-Transfer-Öffnung hindurch kann dabei ein Austausch von Gas zwischen der ersten Kammer und der zweiten Kammer erfolgen, so dass diese ungenügend voneinander gassepariert sind.
  • Komplexe Prozesse können eine wirkungsvollere Gasseparation (auch als Gastrennung bezeichnet) erfordern als mittels einer Kammerwand mit einer Substrat-Transfer-Öffnung erreicht werden kann. Beispielsweise kann eine Beschichtung von Substraten mit Lagen unterschiedlicher Zusammensetzung (z.B. unterschiedlicher Materialien) verschiedene Prozessbedingungen (z.B. metallisch gegenüber reaktiv/oxydisch oder unterschiedliche Reaktivgaszusammensetzungen wie Ar/N2 gegenüber Ar/O2) und damit verbunden eine wirkungsvolle gastechnische Trennung der Prozessbedingungen voneinander erfordern, welche ein Vermischen der sich voneinander unterscheidenden Prozessbedingungen verringert (Gasseparation).
  • Dazu kann eine zusätzliche Kammer oder zumindest ein zusätzlicher Bereich zwischen sich voneinander unterscheidenden Prozessbedingungen angeordnet werden, z.B. zwischen zwei Prozessierkammern, in welchem das Substrat durch einen engen Kanal hindurch geführt wird, der durch seine Geometrie eine Gasausbreitung und dadurch hervorgerufene Vermischung der Prozessbedingungen, bzw. ein Austausch von Gas zwischen den zwei Prozessbedingungen, erschwert. Während das Substrat durch den Kanal transportiert wird kühlt es allerdings aus, insbesondere wird dem Substrat durch die Wände des Gastrennkanals thermische Energie entzogen.
  • Herkömmlicherweise wird den Wänden des Gastrennkanals zusätzlich Strahlungswärme zugeführt, um den Wärmeverlust des Substrats auszugleichen. Dadurch wird allerdings viel Energie benötigt, da die Wände des Gastrennkanals die Strahlungswärme nur unvollständig weitergeben. Dies erfordert leistungsfähigere Heizer und belastet umliegenden Bauteile durch den hohen Wärmeeintrag. In den Prozessierkammern selbst erfolgt hingegen herkömmlicherweise keine Gastrennung.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Prozessieranordnung bereitgestellt, welche eine bessere Ausnutzung der Strahlungswärme ermöglicht. Dadurch können kleinere Heizer verwendet werden, was Bauraum spart und die Anlage verkleinert. Dadurch wird die thermische Belastung auf die umliegenden Bauteile reduziert, da weniger thermische Energie in die Anlage eingetragen wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Prozessieranordnung bereitgestellt, welche eine zusätzliche Gastrennung in dem Prozessraum ermöglicht. Dadurch werden weniger Pumpen benötigt und es kann auf zusätzliche Gastrennkanäle verzichtet werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine wirksame Gastrennung auch dann ermöglicht, wenn der Kanal, durch den das Substrat transportiert wird, konstruktionsbedingt zu groß für eine wirksame Gastrennung ist. Beispielsweise werden in Anlagen, welche sich durch seitliche Kammerdeckel öffnen lassen, die in den Kammern angeordneten Bauelemente zur Wartung seitlich aus dem Prozessraum herausgefahren. Damit die Bauelemente an dem Transportsystem vorbei passen, welches in der Kammer verbleibt, werden die Bauelemente in einem entsprechenden Abstand von dem Transportsystem angeordnet. Mit anderen Worten bestimmt die Höhe des Transportsystems die minimale Höhe des Kanals. Anschaulich lässt sich gemäß verschiedenen Ausführungsformen in dem Kanal eine Gastrennung vornehmen, ohne die konstruktionsbedingten Vorgaben verändern zu müssen oder das Prozessieren zu beeinträchtigen. Somit lassen sich bestehende Anlagen kostengünstig umrüsten und deren Ausnutzung verbessern.
  • Durch die verbesserte Gastrennung und Anlagennutzung wird anschaulich eine Prozessieranordnung bereitgestellt, welche weniger Gastrennsektionen benötigt, wodurch die Standfläche der Prozessieranordnung verringert werden kann, was Anschaffungskosten und Unterhaltskosten spart.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung Folgendes aufweisen: zumindest einen Aufnahmebereich zum Aufnehmen jeweils einer Prozessierquelle; einen dem Aufnahmebereich zugeordneten Prozessierbereich; mehrere Transportrollen zum Transportieren von Substraten entlang einer durch den Prozessierbereich hindurch verlaufenden Transportebene, von denen zumindest zwei einander benachbarte Transportrollen in einem Abstand voneinander angeordnet sind; eine Gastrennstruktur, welche zwischen dem zumindest einen Aufnahmebereich und der Transportfläche angeordnet ist, und welche quer zur Transportfläche von mehreren Öffnungen durchdrungen ist, von denen die Transportfläche zwischen den zwei Transportrollen zu einem Großteil freigelegt ist, so dass zwischen den zwei Transportrollen durch die Gastrennstruktur hindurch prozessiert werden kann.
  • Zu einem Großteil freigelegt kann verstanden werden, als dass mehr als ungefähr 50% der Transportfläche zwischen den zwei Transportrollen freigelegt ist, z.B. in einem Bereich von ungefähr 50% bis ungefähr 99%, z.B. mehr als ungefähr 60%, z.B. mehr als ungefähr 70%, z.B. mehr als ungefähr 80%, z.B. mehr als ungefähr 90%, z.B. mehr als ungefähr 95%. Beispielsweise kann ein Großteil der Gastrennstruktur (auf die Transportfläche projiziert) von den Öffnungen durchdrungen sein, z.B. in einem Bereich von ungefähr 50% bis ungefähr 99% der Fläche der Gastrennstruktur, z.B. mehr als ungefähr 50%, z.B. mehr als ungefähr 60%, z.B. mehr als ungefähr 70%, z.B. mehr als ungefähr 80%, z.B. mehr als ungefähr 90%, z.B. mehr als ungefähr 95%.
  • Die mehreren Öffnungen können beliebige Querschnittsformen (in einem Querschnitt parallel zu der Transportfläche) aufweisen, wie z.B. rund, eckig, länglich, oval, polygonal, usw. Beispielsweise kann die Gastrennstruktur eine Platte aufweisen, welche flächig entlang der Transportfläche verläuft und von den mehreren Öffnungen durchdrungen ist. Die mehreren Öffnungen können beispielsweise quer zur Transportrichtung erstreckt sein und optional die Gastrennstruktur quer zur Transportrichtung durchdringen.
  • Der Prozessierbereich und der Aufnahmebereich können durch jede Öffnung der mehreren Öffnungen hindurch verbunden sein (z.B. frei von einem Material), z.B. entlang einer Richtung, welche quer zur Transportfläche verläuft. In dem Prozessierbereich kann ein Substrat oder können mehrere Substrate prozessiert (bearbeitet) werden.
  • Die mehreren Transportrollen können mit zumindest einem Antrieb zum Antreiben der mehreren Transportrollen gekuppelt sein.
  • Die mehreren Transportrollen (oder zumindest die zwei Transportrollen) können eine erste Fläche (erste Begrenzungsfläche) definieren, welche an eine erste Seite der mehreren Transportrollen (oder zumindest der zwei Transportrollen) angrenzt und eine zweite Fläche (zweite Begrenzungsfläche) definieren, welche an eine zweite Seite der mehreren Transportrollen (oder zumindest der zwei Transportrollen) angrenzt, wobei die zweite Seite der ersten Seite gegenüberliegt. Zwischen der erste Begrenzungsfläche und der zweite Begrenzungsfläche kann die Transportfläche angeordnet sein.
  • Anschaulich können die mehreren Transportrollen eine Ausdehnung quer zur Transportfläche aufweisen, welche dem Abstand der ersten Begrenzungsfläche von der zweiten Begrenzungsfläche (quer zur Transportfläche) entspricht.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Gastrennstruktur zwischen den zwei Transportrollen erstreckt sein. Mit anderen Worten kann die Gastrennstruktur in einen zwischen der ersten Begrenzungsfläche und der zweiten Begrenzungsfläche gebildeten Spalt erstreckt sein.
  • Anschaulich kann die in dem Aufnahmebereich aufgenommene Prozessierquelle (kann auch als Bearbeitungsvorrichtung bezeichnet werden) durch die Öffnungen, welche die Gastrennstruktur durchdringen, (mit anderen Worten durch die Durchgangsöffnung der Gastrennstruktur) hindurch prozessieren, d.h. auf den Prozessierbereich wirken (mit anderen Worten durch die Durchgangsöffnung der Gastrennstruktur hindurch auf die Transportfläche bzw. entlang dieser transportierte Substrate einwirken).
  • Die Prozessieranordnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen ferner eine Lageranordnung zum Halten der jeweils einen Prozessierquelle in dem Aufnahmebereich aufweisen, wobei die Lageranordnung zum Verlagern der jeweils einen Prozessierquelle an der Gastrennstruktur vorbei und/oder an zumindest einer Transportrolle der zwei Transportrollen vorbei in den Aufnahmebereich hinein und/oder aus dem Aufnahmebereich heraus eingerichtet ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessieranordnung ferner ein Abdeckelement aufweisen, welches in dem Aufnahmebereich angeordnet ist und die mehreren Öffnungen auf einer der Transportfläche gegenüberliegenden Seite der Gastrennstruktur abdeckt, wobei die Lageranordnung zum Verlagern des zumindest einen Abdeckelements an der Gastrennstruktur vorbei und/oder an zumindest einer Transportrolle der zwei Transportrollen vorbei eingerichtet ist.
  • Mit anderen Worten können die Prozessierquelle und/oder das Abdeckelement aus dem Aufnahmebereich heraus bewegt werden, was es z.B. ermöglicht die Prozessierquelle bzw. das Abdeckelement zu warten. Beispielsweise kann die Prozessierquelle bzw. das Abdeckelement mit einer Richtungskomponente, welche in der Transportfläche liegt (und z.B. quer zur Transportrichtung liegt) an der Transportrolle und/oder der Gastrennstruktur vorbei verlagert (anschaulich bewegt) werden. Beispielsweise kann die Lageranordnung zum Verlagern der jeweils einen Prozessierquelle bzw. des Abdeckelements entlang eines Pfades eingerichtet sein, der an der Transportrolle und/oder der Gastrennstruktur vorbei führt, z.B. zumindest mit einer Richtungskomponente, welche parallel zur Transportfläche und quer zu einer Transportrichtung der Transportanordnung (bzw. deren mehreren Transportrollen) verläuft.
  • Die Prozessieranordnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen ferner eine Prozessierkammer aufweisen, in welcher der zumindest eine Aufnahmebereich bereitgestellt ist, wobei die Prozessierkammer eine Prozessierkammeröffnung aufweist, welche den zumindest einen Aufnahmebereich in eine Richtung freilegt, welche parallel zur Transportfläche (mit anderen Worten in der Transportfläche) und quer zu einer Transportrichtung der Transportanordnung (bzw. der mehreren Transportrollen) verläuft. Damit das Innere der Prozessierkammer gewartet werden kann, kann die Prozessierkammer einen abnehmbaren Kammerdeckel aufweisen, welcher es ermöglicht, die Prozessierkammer bzw. deren Prozessierkammeröffnung zu öffnen und/oder zu verschließen. Anschaulich kann die Prozessierquelle seitlich aus dem Aufnahmebereich herausgefahren werden, z.B. wenn die Transportfläche horizontal ausgerichtet ist. Alternativ kann die Transportfläche auch vertikal ausgerichtet sein (in einer so genannte Vertikalanlage), oder in einem beliebigen Winkel zwischen der Vertikalen und der Horizontalen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Lageranordnung ein Wandelement zum Verschließen der Prozessierkammeröffnung aufweisen. Anschaulich kann das Wandelement einen Kammerdeckel aufweisen oder daraus gebildet sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Wandelement, an welchem z.B. die Prozessierquelle befestigt ist, sich quer zu der Transportfläche erstrecken. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Wandelement derart eingerichtet sein, dass zumindest eine Prozessierquelle daran befestigt sein oder werden kann, z.B. mittels einer Halteanordnung (z.B. direkt und/oder mittels eines Kragträgers).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zumindest eine Gastrennstruktur mehrere Gastrennplatten (z.B. Lamellen) aufweisen, welche von der Transportfläche weg erstreckt sind und zwischen denen die mehreren Öffnungen gebildet sind. Anschaulich können die Gastrennplatten eine Gasseparationswirkung (Gastrennwirkung) erhöhen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessieranordnung ferner die jeweils eine Prozessierquelle aufweisen, welche in dem Aufnahmebereich angeordnet ist, wobei die jeweils eine Prozessierquelle zum Emittieren von elektromagnetischer Strahlung (z.B. Wärmestrahlung und/oder Licht, z.B. im sichtbaren Bereich) in den Prozessierbereich eingerichtet ist. Mit anderen Worten kann die Prozessierquelle eine Wärmestrahlungsquelle und/oder eine Lichtquelle aufweisen oder daraus gebildet sein. Die jeweils eine Prozessierquelle kann zum Prozessieren von entlang der Transportfläche transportierten Substraten eingerichtet sein. Die Prozessierquelle kann zum Erzeugen der elektromagnetischen Strahlung eingerichtet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zumindest eine Gastrennstruktur eine erste Gastrennstruktur und/oder eine zweite Gastrennstruktur aufweisen (zwischen denen die Transportfläche verläuft), wobei der zumindest eine Aufnahmebereich einen ersten Aufnahmebereich aufweisen kann, welcher derart angeordnet ist, dass die erste Gastrennstruktur zwischen dem ersten Aufnahmebereich und der Transportfläche angeordnet ist; und/oder wobei der zumindest eine Aufnahmebereich einen zweiten Aufnahmebereich aufweisen kann, welcher derart angeordnet ist, dass die zweite Gastrennstruktur zwischen dem zweiten Aufnahmebereich und der Transportfläche angeordnet ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der zumindest eine Aufnahmebereich den ersten Aufnahmebereich und den zweiten Aufnahmebereich aufweisen, zwischen denen die Transportfläche verläuft; wobei die zumindest eine Gastrennstruktur die erste Gastrennstruktur aufweist, welche zwischen dem ersten Aufnahmebereich und der Transportfläche angeordnet ist, und/oder wobei die zumindest eine Gastrennstruktur die zweite Gastrennstruktur aufweist, welche zwischen dem zweiten Aufnahmebereich und der Transportfläche angeordnet ist.
  • In dem ersten Aufnahmebereich kann eine erste Prozessierquelle angeordnet sein und in dem zweiten Aufnahmebereich kann eine zweite Prozessierquelle angeordnet sein. Die erste Prozessierquelle und die zweite Prozessierquelle können den gleichen Prozessquellentyp aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ können erste Prozessierquelle und die zweite Prozessierquelle einen voneinander verschiedenen Prozessquellentyp aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessierquelle zum Prozessieren von Substraten eingerichtet sein. Das Prozessieren kann zumindest eines von Folgendem aufweisen: Beschichten, Bestrahlen, Abtragen, Reinigen, Erwärmen, Kühlen, Umwandeln (z.B. chemisch und/oder strukturell), Dotieren (z.B. chemisch) und/oder Polieren, Implantieren und/oder Belichten (mit anderen Worten auch eine Kombination davon).
  • Eine Prozessierquelle kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen zumindest einen der folgenden Prozessquellentyp aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Beschichtungsvorrichtung (z.B. ein Magnetron, ein Rohr-Magnetron oder ein Doppelrohr-Magnetron, ein Planarmagnetron oder Doppel-Planarmagnetron, einen Laserstrahlverdampfer, einen Lichtbogenverdampfer, einen Elektronenstrahlverdampfer und/oder einen thermischen Verdampfer, eine Präkursorgasquelle), eine Belichtungsvorrichtung (z.B. eine Lichtquelle, einen Laser, eine Blitzlampe und/oder eine Blitzlampenanordnung), eine Temperiervorrichtung (z.B. eine Heizvorrichtung und/oder eine Kühlvorrichtung), eine Ätzvorrichtung (z.B. eine Ätzgasquelle und/oder eine Ätzplasmaquelle), eine Teilchenstrahlquelle (z.B. eine Elektronenstrahlquelle und/oder eine Ionenstrahlquelle).
  • Eine Beschichtungsvorrichtung kann zum Beschichten zumindest eines Substrats (d.h. eines Substrats oder mehrerer Substrate) eingerichtet sein. Beispielsweise kann die Beschichtungsvorrichtung zum Bereitstellen eines Materialdampfes eingerichtet sein, welcher auf dem zumindest einen Substrat zum Bilden einer Schicht abgeschieden werden kann. Eine Belichtungsvorrichtung kann zum Belichten des zumindest einen Substrats eingerichtet sein (z.B. mit Licht). Beispielsweise kann die Belichtungsvorrichtung zum Erzeugen und Emittieren von Licht eingerichtet sein. Eine Temperiervorrichtung kann zum Übertragen von thermischer Energie auf das zumindest eine Substrat eingerichtet sein.
  • Eine Ätzvorrichtung kann zum Abtragen von Material von dem zumindest einen Substrat eingerichtet sein. Eine Teilchenstrahlquelle kann zum Bereitstellen eines Teilchenstrahls (z.B. aufweisend Ionen oder Elektronen) eingerichtet sein, mit dem das zumindest eine Substrat z.B. bestrahlt werden kann. Eine Präkursorgasquelle kann zum Bereitstellen eines Präkursorgases eingerichtet sein, mittels dessen z.B. eine chemische Gasphasenabscheidung zum Bilden einer Schicht auf dem zumindest einen Substrat erfolgen kann.
  • Zumindest ein Teil der mehreren Transportrollen kann in Transportrichtung (z.B. quer zu deren Drehachse) hintereinander angeordnet sein (z.B. die Transportrollen einer Transportrollenreihe oder die quer zur Transportrichtung längserstreckten Transportrollen). Die mehreren Transportrollen können parallel zueinander verlaufende Drehachsen aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann z.B. ein anderer Teil der mehreren Transportrollen in Transportrichtung (z.B. quer zu deren Drehachse) nebeneinander angeordnet sein (z.B. immer die Transportrollen eines Transportrollenpaars).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Abstand, in dem die zwei Transportrollen voneinander angeordnet sind (Transportrollenabstand), parallel zur Transportfläche und quer zu einer Transportrichtung der Transportanordnung verlaufen. Mit anderen Worten kann der Transportrollenabstand entlang der Drehachse zumindest einer der zwei Transportrollen verlaufen. In dem Fall können die mehreren Transportrollen eine erste Reihe Transportrollen aufweisen, welche die eine der zwei Transportrollen (erste Transportrolle) aufweist, und eine zweite Reihe Transportrollen aufweisen, welche die andere der zwei Transportrollen (zweite Transportrolle) aufweist. Die Gastrennstruktur kann zwischen der ersten Reihe Transportrollen und der zweiten Reihe Transportrollen angeordnet sein. Anschaulich kann die erste Reihe Transportrollen (erste Transportrollenreihe) den Substratträger (auch als Carrier bezeichnet) auf einer Seite und die zweite Reihe Transportrollen (zweite Transportrollenreihe) den Substratträger auf der dazu gegenüberliegenden Seite halten (bzw. stützen). In dem Fall kann die Transportfläche zwischen der ersten Begrenzungsfläche und der zweiten Begrenzungsfläche angeordnet sein. Beispielsweise können die Transportrollen beidseitig der Transportfläche angeordnet sein.
  • Jede Transportrolle der ersten Transportrollenreihe kann einer Transportrolle der zweiten Transportrollenreihe gegenüberliegen, wobei diese ein Transportrollenpaar bilden. Die Transportrollen eines Transportrollenpaars können parallel zueinander verlaufende Drehachsen aufweisen, z.B. eine gemeinsame Drehachse. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportfläche einen Abschnitt aufweisen, welcher zwischen den zwei Transportrollenpaaren verläuft und/oder von einem ersten Transportrollenpaar der zwei Transportrollenpaare zu einem zweiten Transportrollenpaar der zwei Transportrollenpaare erstreckt ist, z.B. in Orthogonal-Projektion auf die Transportfläche von einer Drehachse des ersten Transportrollenpaars zu einer Drehachse des zweiten Transportrollenpaars. Der Abschnitt der Transportfläche kann zu einem Großteil von den mehreren Öffnungen freigelegt sein. Die Gastrennstruktur kann von einem ersten Bereich, welcher zwischen den Transportrollen des ersten Transportrollenpaares angeordnet ist, bis zu einem zweiten Bereich, welcher zwischen den Transportrollen des zweiten Transportrollenpaares angeordnet ist, erstreckt sein. Zwischen dem ersten Transportrollenpaar und dem zweiten Transportrollenpaar können optional ein oder mehrere weitere Transportrollenpaare angeordnet sein.
  • Alternativ kann der Abstand, in dem die zwei Transportrollen voneinander angeordnet sind, parallel zur Transportfläche und parallel zu einer Transportrichtung der Transportanordnung verlaufen. In dem Fall können die mehreren Transportrollen, oder zumindest die zwei Transportrollen, quer zur Transportrichtung längserstreckt sein (z.B. mindestens so breit wie der Substratträger und/oder ein Substrat). In dem Fall kann die Transportfläche mit der ersten Begrenzungsfläche oder der zweiten Begrenzungsfläche zusammenfallen (z.B. identisch sein). Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportfläche zwischen den zwei Transportrollen einen Abschnitt aufweisen, welcher zwischen den zwei Transportrollen verläuft und/oder von einer ersten Transportrolle der zwei Transportrollen zu einer zweiten Transportrolle der zwei Transportrollen erstreckt ist (in Transportrichtung), z.B. in Orthogonal-Projektion auf die Transportfläche von einer Drehachse der ersten Transportrolle zu einer Drehachse der zweiten Transportrolle, z.B. in Orthogonal-Projektion auf die Transportfläche von der ersten Transportrolle zu der zweiten Transportrolle. Der Abschnitt der Transportfläche kann zu einem Großteil von den mehreren Öffnungen freigelegt sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung ferner einen Substratträger zum Halten der Substrate auf Höhe (z.B. in oder auf) der Transportfläche aufweisen. Der Substratträger kann beispielsweise entlang der Transportfläche transportiert werden. Der Substratträger kann mehrere Substrat-Aufnahmebereiche aufweisen, welche z.B. vertieft sind, zum Aufnehmen eines Substrats in jeden der Substrat-Aufnahmebereiche. Dazu kann der Substratträger eine Trägerplatte aufweisen, welche die Substrat-Aufnahmebereiche aufweist.
  • Wird der Substratträger mittels zwei Transportrollenreihen (erste Transportrollenreihe und zweite Transportrollenreihe) gehalten, kann der Substratträger die Substrate in einer Position zwischen der ersten Begrenzungsfläche und der zweiten Begrenzungsfläche halten, z.B. mittig (d.h. auf halbem Abstand) zwischen der ersten Begrenzungsfläche und der zweiten Begrenzungsfläche. Beispielsweise kann die Trägerplatte zwischen der ersten Begrenzungsfläche und der zweiten Begrenzungsfläche gelagert sein oder werden, z.B. mittig zwischen der ersten Begrenzungsfläche und der zweiten Begrenzungsfläche. Beispielsweise kann die Trägerplatte zwischen der ersten Transportrollenreihe und der zweiten Transportrollenreihe gelagert sein oder werden, z.B. mittig zwischen der ersten Transportrollenreihe und der zweiten Transportrollenreihe.
  • Werden die Substrate nicht mittig zwischen der ersten Begrenzungsfläche und der zweiten Begrenzungsfläche gehalten, können diese zwischen der Drehachsenfläche und der ersten Begrenzungsfläche oder zwischen der Drehachsenfläche und der zweiten Begrenzungsfläche gehalten werden. Mit anderen Worten kann die Trägerplatte zwischen der Drehachsenfläche und der ersten Begrenzungsfläche oder zwischen der Drehachsenfläche und der zweiten Begrenzungsfläche gehalten werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung Folgendes aufweisen: mehrere Transportrollen zum Transportieren von Substraten entlang einer Transportfläche, von denen zumindest zwei einander benachbarte Transportrollen in einem Abstand voneinander angeordnet sind, so dass zwischen diesen ein Spalt in der Transportanordnung gebildet ist; zumindest eine Gastrennstruktur, welche sich in dem Spalt erstreckt und quer zur Transportfläche von mehreren Öffnungen durchdrungen ist, von denen zwischen den zwei Transportrollen die Transportfläche zu einem Großteil freigelegt ist. Beispielsweise kann zumindest ein Abschnitt der Transportfläche zu einem Großteil freigelegt sein, der in dem oder über dem Spalt verläuft.
  • Der Spalt kann zwischen der ersten Begrenzungsfläche und der zweiten Begrenzungsfläche angeordnet sein. Mit anderen Worten kann die Gastrennstruktur in einen Spalt zwischen der ersten Begrenzungsfläche und der zweiten Begrenzungsfläche erstreckt sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung Folgendes aufweisen: mehrere drehbar gelagerte Transportrollen, deren Drehachsen in einer Drehachsenfläche liegen und welche an eine dazu parallele Begrenzungsfläche angrenzen; zumindest eine Gastrennstruktur, welche sich zwischen der Drehachsenfläche und der Begrenzungsfläche erstreckt und quer zur Drehachsenfläche zu einem Großteil von mehreren Öffnungen durchdrungen ist.
  • Die Prozessierkammer kann mit einer Pumpenanordnung (aufweisend zumindest eine Vakuumpumpe, z.B. eine Hochvakuumpumpe, z.B. eine Turbomolekularpumpe) gekoppelt sein, welche es ermöglicht, einen Teil des Gases aus dem Inneren der Prozessierkammer, z.B. aus dem Prozessierbereich, abzupumpen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessierkammer zum Bereitstellen eines Vakuums oder zumindest eines Unterdrucks innerhalb der Prozessierkammer eingerichtet sein. Anschaulich kann die Prozessierkammer (z.B. deren Kammerwände) derart stabil eingerichtet sein, dass dieses evakuiert (abgepumpt) werden kann, so dass von außen ein Druck (z.B. der herrschende Luftdruck oder ein Druck welcher mehrere Größenordnungen größer ist als der Druck im Inneren der Prozessierkammer) auf die Prozessierkammer (bzw. deren Kammerwände) wirken kann, wenn dieses evakuiert ist, ohne dass die Prozessierkammer irreversibel verformt und/oder beschädigt wird. Mit anderen Worten kann die Prozessierkammer als Vakuumkammer eingerichtet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die geometrische Form der Gastrennstruktur den Strömungswiderstand, welchen Gas überwinden muss, um entlang der Transportfläche in Transportrichtung zu gelangen, definieren. Beispielsweise können in die Durchgangsöffnungen der Gastrennstruktur gelangende Gasteilchen mehrfach an den Wänden der Durchgangsöffnungen reflektiert werden, so dass deren gerichtete Bewegung gestört wird. Ferner kann ein geringer Abstand der Gastrennstruktur von der Transportfläche, in der der Substratträger transportiert wird, eine gerichtete Bewegung der Gasteilchen stören. Die Überlagerung aller zur Störung der Bewegung beitragenden Prozesse kann durch den Strömungswiderstand der Gastrennstruktur ausgedrückt werden, welcher mit zunehmendem Wert eine größere Gasseparation bewirkt.
  • Die Gasseparation beschreibt anschaulich einen Unterschied im Gasdruck oder in der Gaszusammensetzung zwischen vakuumtechnisch miteinander verbundenen Bereichen (z.B. voneinander gasseparierten Bereichen), zwischen denen z.B. die Gastrennstruktur angeordnet ist. Die Gastrennstruktur und die das Vakuum erzeugende Pumpenanordnung können einen Gleichgewichtszustand definieren, in dem ein Unterschied im Gasdruck oder in der Gaszusammensetzung zwischen den vakuumtechnisch miteinander verbundenen Bereichen (z.B. den gasseparierten Bereichen) aufrecht erhalten werden kann (z.B. stabil). Mit anderen Worten kann ein Gasaustausch zwischen vakuumtechnisch miteinander verbundenen Bereichen mittels der Gastrennstruktur gestört, z.B. verringert, werden, z.B. je größer die Gasseparation zwischen den Bereichen ist.
  • Die Gastrennstruktur kann ein Metall aufweisen oder daraus gebildet sein. Das Metall kann beispielsweise Aluminium aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ oder zusätzlich kann das Metall beispielsweise Eisen aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. in Form einer Eisenlegierung, wie beispielsweise Stahl (z.B. Baustahl und/oder Edelstahl). Alternativ oder zusätzlich kann die Gastrennstruktur ein anderes Material aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine Keramik (wie ein Karbid und/oder ein Nitrid), ein Glas oder ein Verbundmaterial (z.B. Kohlenstofffaserverstärkten Kohlenstoff). Beispielsweise kann die Gastrennstruktur eine keramische Beschichtung aufweisen. Das Material der Gastrennstruktur kann eine Temperaturstabilität (d.h. ohne sich strukturell zu verändern), z.B. eine Schmelztemperatur, von mehr als ungefähr 200°C aufweisen, z.B. mehr als ungefähr 300°C, z.B. mehr als ungefähr 400°C, z.B. mehr als ungefähr 500°C, z.B. mehr als ungefähr 600°C, z.B. mehr als ungefähr 700°C.
  • Einander benachbarte Transportrollen kann verstanden werden, als das zwischen den einander benachbarten Transportrollen keine weitere Transportrolle angeordnet ist.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.
  • Es zeigen
  • 1A und 1B jeweils eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht;
  • 2A und 2B jeweils eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht;
  • 3A und 3B jeweils eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht;
  • 4A und 4B jeweils eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht;
  • 5A und 5B jeweils eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht;
  • 6 eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; und
  • 7A und 7B jeweils eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht.
  • In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
  • Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe "verbunden", "angeschlossen" sowie "gekoppelt" verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
  • 1A veranschaulicht eine Prozessieranordnung 100a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (z.B. quer zur Transportrichtung 111 geschnitten).
  • In dem Aufnahmebereich 104 kann optional (gestrichelt) eine Prozessierquelle 114 angeordnet sein. Dem Aufnahmebereich 104 bzw. der Prozessierquelle 114 kann ein Prozessierbereich 101 zugeordnet sein. Anschaulich kann die Prozessierquelle 114 zum Prozessieren in dem Prozessierbereich 101 eingerichtet sein. Mit anderen Worten kann die Prozessierquelle 114 eine Wirkung hervorrufen, die auf den Prozessierbereich 101 gerichtet ist.
  • Von den mehreren Transportrollen zum Transportieren von Substraten entlang einer durch den Prozessierbereich 101 hindurch verlaufenden Transportfläche 111f (vergleiche 1B), können zumindest zwei einander benachbarte Transportrollen 102a, 102b in einem Abstand 102s voneinander angeordnet sein. Der Abstand 102s, in dem die zwei Transportrollen 102a, 102b voneinander angeordnet sind, kann parallel zur Transportfläche 111f und quer zu der Transportrichtung 111 verlaufen. Mit anderen Worten können die zwei Transportrollen 102a, 102b entlang einer Richtung 103 (Breitenrichtung 103), die parallel zur Transportfläche 111f und quer zu der Transportrichtung 111 verläuft, den Abstand 102s aufweisen.
  • Eine erste Transportrolle 102a der zwei Transportrollen 102a, 102b kann Teil einer ersten Reihe 132a Transportrollen (erste Transportrollenreihe 132a) sein. Eine zweite Transportrolle 102b der zwei Transportrollen 102a, 102b kann Teil einer zweiten Reihe 132b Transportrollen (zweite Transportrollenreihe 132b) sein.
  • Mittels der zwei Transportrollen 102a, 102b kann ein Substratträger 106 transportiert werden, z.B. entlang der Transportfläche 111f in eine Transportrichtung 111. Der Substratträger 106 kann eine Trägerplatte 106p aufweisen, welche zwischen den zwei Transportrollen 102a, 102b angeordnet ist, und einen Haltebereich 106h, in dem der Substratträger 106 eingerichtet ist, mittels der mehreren Transportrollen transportiert zu werden. Der Haltebereich 106h kann eine Aussparung aufweisen, in welche die mehreren Transportrollen hineingreifen, so dass der Haltebereich 106h während des Transports auf den mehreren Transportrollen aufliegt. Beispielsweise kann der Haltebereich 106h die mehreren Transportrollen (oder zumindest die erste Transportrolle und/oder die zweite Transportrolle) umgreifen, wie in 1A veranschaulicht ist. Jede Transportrolle der mehreren Transportrollen kann eine Drehachse aufweisen, um welche die Transportrolle drehbar gelagert ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gastrennstruktur 108 zwischen dem zumindest einen Aufnahmebereich 104 und der Transportfläche 111f angeordnet sein, und quer zur Transportfläche 111f von mehreren Öffnungen 108o (vergleiche 1B) durchdrungen sein.
  • Weist die Prozessierquelle 114 beispielsweise eine Heizvorrichtung auf, kann sich von der Heizvorrichtung erzeugte Wärmestrahlung durch die Öffnungen 108o hindurch in Richtung der Transportfläche 111f ausbreiten. Die Heizvorrichtung kann zum Erzeugen und Emittieren von Wärmestrahlung eingerichtet sein, so dass mittels der Wärmestrahlung ein durch den Prozessierbereich 101 hindurch transportiertes Substrat mittels der Wärmestrahlung erwärmt werden kann. Beispielsweise kann das Substrat auf eine Temperatur von mehr als ungefähr 200°C erwärmt werden.
  • Die Heizvorrichtung kann eine Wärmequelle aufweisen, welche zum Erzeugen von Wärmeenergie eingerichtet ist, z.B. zum Umwandeln von elektrischer Energie in Wärmeenergie (mit anderen Worten einen resistiven Heizer). Optional kann die Heizvorrichtung eine Sekundärheizplatte aufweisen, welche die von der Wärmequelle erzeugte Wärmeenergie aufnimmt und in Form von elektromagnetischer Strahlung (aufweisend Wärmestrahlung) wieder abgibt. Alternativ oder zusätzlich kann die Gastrennstruktur 108 ein Teil der Heizvorrichtung sein. Beispielsweise kann die Gastrennstruktur 108, z.B. deren Gastrennplatten 108p, zum Erzeugen von Wärmeenergie eingerichtet ist, z.B. zum Umwandeln von elektrischer Energie in Wärmeenergie. Dann kann die Gastrennstruktur 108, z.B. deren Gastrennplatten 108p, elektrisch kontaktiert sein zum Versorgen der Gastrennstruktur 108 mit elektrischer Energie. Alternativ oder zusätzlich kann die Gastrennstruktur 108, z.B. deren Gastrennplatten 108p, als Sekundärheizplatte verwendet werden.
  • Die zwei Transportrollen 102a, 102b können eine erste Begrenzungsfläche 102t und eine zweite Begrenzungsfläche 102r definieren, welche jeweils an gegenüberliegenden Seiten an die zwei Transportrollen 102a, 102b angrenzen. Der Abstand 102d der ersten Begrenzungsfläche 102t und der zweiten Begrenzungsfläche 102r voneinander kann gleich einer Ausdehnung 102d (quer zur Transportfläche 111f) der zwei Transportrollen 102a, 102b (z.B. deren Durchmesser) entsprechen.
  • Ein Abstand 104d des Aufnahmebereichs 104 (bzw. der darin aufgenommenen Prozessierquelle 114) von der Transportfläche 111f kann größer sein als ein Abstand der ersten Begrenzungsfläche 102t von der Transportfläche 111f. Mit anderen Worten kann der Aufnahmebereich 104 (bzw. die darin aufgenommenen Prozessierquelle 114) in einem Abstand von der Transportanordnung 102 bzw. deren Transportfläche 111f angeordnet sein, wobei die Transportanordnung 102 die mehreren Transportrollen, z.B. zwei Transportrollen 102a, 102b, aufweist.
  • Die Gastrennstruktur 108 kann in einen Bereich zwischen der ersten Begrenzungsfläche 102t und der zweiten Begrenzungsfläche 102r hinein erstreckt sein oder in dem Bereich zwischen der ersten Begrenzungsfläche 102t und der zweiten Begrenzungsfläche 102r angeordnet sein.
  • Eine Ausdehnung der Gastrennstruktur 108 (quer zur Transportfläche 111f, d.h. anschaulich eine Höhe 108h der Gastrennstruktur 108) kann mehr als die Hälfte eines Abstandes des Aufnahmebereichs 104 (bzw. der darin aufgenommenen Prozessierquelle 114) von der Transportfläche 111f betragen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 50% bis ungefähr 90%, z.B. mehr als ungefähr 60%, z.B. mehr als ungefähr 70%, z.B. mehr als ungefähr 80%.
  • Die Höhe 108h der Gastrennstruktur 108 kann kleiner sein als eine Ausdehnung 102d (quer zur Transportfläche 111f) der zwei Transportrollen 102a, 102b (z.B. deren Durchmesser).
  • Verläuft die Transportfläche 111f mittig, d.h. in einem gleichen Abstand von der erste Begrenzungsfläche 102t und der zweiten Begrenzungsfläche 102r, kann die Höhe 108h der Gastrennstruktur 108 im Wesentlichen einer halben Ausdehnung 102d (quer zur Transportfläche 111f) der zwei Transportrollen 102a, 102b (z.B. deren Durchmesser) entsprechen.
  • Der Begriff "im Wesentlichen" kann verstanden werden, als dass die relative Abweichung zweier Werte voneinander kleiner ist als ungefähr 30%, z.B. kleiner als ungefähr 20%, z.B. kleiner als ungefähr 10%, z.B. kleiner als ungefähr 5%, z.B. kleiner als ungefähr 1%, z.B. dass die relative Abweichung der zwei Werte voneinander verschwindet (d.h. dass die zwei Werte gleich sind).
  • Die Gastrennstruktur 108 kann eine Höhe 108h (Ausdehnung quer zur Transportfläche 111f) aufweisen in einem Bereich von ungefähr 10 mm bis ungefähr 50 mm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 20 mm bis ungefähr 40 mm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 30 mm bis ungefähr 35 mm.
  • Zum Transport des Substratträgers 106 entlang der Transportfläche 111f kann dessen Ausdehnung (quer zur Transportfläche 111f) an der Trägerplatte 106p (anschaulich die Dicke der Trägerplatte 106p) den minimalen Abstand der Gastrennstruktur 108 von dem Substratträger 106 bestimmen, so dass der Substratträger 106 an der Gastrennstruktur 108 vorbei passt. Die Gastrennstruktur 108 kann derart angeordnet sein, dass ein Spalt, der zwischen dem Substratträger 106 und der Gastrennstruktur 108 verbleibt, eine Ausdehnung (quer zur Transportfläche 111f) in einem Bereich von ungefähr 1 mm bis ungefähr 20 mm aufweist, z.B. kleiner als ungefähr 15 mm, z.B. kleiner als ungefähr 10 mm.
  • Die Gastrennstruktur 108 kann einen Abstand (quer zur Transportfläche 111f) von der Transportfläche 111f aufweisen in einem Bereich von ungefähr 10 mm bis ungefähr 30 mm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 20 mm bis ungefähr 25 mm.
  • Die Dicke der Trägerplatte 106p kann in einem Bereich von ungefähr 10 mm bis ungefähr 50 mm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 15 mm bis ungefähr 35 mm, z.B. ungefähr 25 mm.
  • Die Ausdehnung 102d (quer zur Transportfläche 111f) der zwei Transportrollen 102a, 102b (z.B. deren Durchmesser), bzw. der Abstand der erste Begrenzungsfläche 102t und der zweite Begrenzungsfläche 102r voneinander, kann in einem Bereich von ungefähr 80 mm bis ungefähr 200 mm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 mm bis ungefähr 150 mm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 110 mm bis ungefähr 130 mm, z.B. ungefähr 120 mm.
  • Der Abstand 102s der zwei Transportrollen 102a, 102b voneinander kann in einem Bereich von ungefähr 0,5 m bis ungefähr 5 m liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1 m bis ungefähr 3 m.
  • Der Aufnahmebereich 104 kann eine Höhe 104h (Ausdehnung quer zur Transportfläche 111f) aufweisen, welche größer ist als zumindest eines von Folgendem: die Ausdehnung 102d der zwei Transportrollen 102a, 102b; ein Abstand 104d des Aufnahmebereichs 104 von der Transportfläche 111f; eine Höhe 108h der Gastrennstruktur 108; und/oder eine Höhe einer Prozessierquelle. Die Höhe 104h des Aufnahmebereichs 104 kann in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 50 cm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 25 cm bis ungefähr 30 cm.
  • 1B veranschaulicht eine Prozessieranordnung 100b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (z.B. quer zur Transportrichtung 111 geschnitten), z.B. die Prozessieranordnung 100a.
  • Von den Durchgangsöffnungen 108o (Öffnungen 108o) der Gastrennstruktur 108 kann die Transportfläche 111f zwischen den zwei Transportrollen 102a, 102b zu einem Großteil freigelegt sein, so dass zwischen den zwei Transportrollen 102a, 102b durch die Gastrennstruktur 108 hindurch prozessiert werden kann. Mit anderen Worten kann die Prozessierquelle 114 durch die Durchgangsöffnungen 108o hindurch wirken.
  • Die mehreren Durchgangsöffnungen 108o der Gastrennstruktur 108 können entlang der Breitenrichtung 103 längserstreckt sein. Die Öffnungen 108o können die Gastrennstruktur 108 z.B. entlang der Breitenrichtung 103 zumindest abschnittsweise (z.B. teilweise oder vollständig) durchdringen.
  • Beispielsweise kann die Gastrennstruktur 108 mehrere Gastrennplatten 108p (oder Gastrennlamellen 108p) aufweisen, welche von der Transportfläche 111f weg erstreckt sind und zwischen denen die mehreren Durchgangsöffnungen 108o gebildet sind. Beispielsweise können die mehreren Durchgangsöffnungen 108o in Form von mehreren Spalten ausgebildet sein.
  • Die Anzahl und/oder Größe der mehreren Durchgangsöffnungen 108o können an die angestrebte Gastrennwirkung und den Typ der Prozessierquelle 114 angepasst sein oder werden. Alternativ oder zusätzlich kann die Anzahl und/oder Größe der Gastrennplatten 108p an die angestrebte Gastrennwirkung und den Typ der Prozessierquelle 114 angepasst sein oder werden.
  • Die Gastrennplatten 108p können im Wesentlichen parallel zueinander erstreckt sein. Mit anderen Worten können die mehreren Durchgangsöffnungen 108o im Wesentlichen parallel zueinander verlaufende Seitenwände aufweisen.
  • Die erste Transportrollenreihe 132a kann mehrere Transportrollen aufweisen (in der Ansicht nicht sichtbar) und die zweite Transportrollenreihe 132b kann mehrere Transportrollen 102b, 112b, 122b aufweisen.
  • Der Aufnahmebereich 104 (bzw. die darin aufgenommene Prozessierquelle 114) kann eine Ausdehnung entlang der Transportrichtung 111 aufweisen, die größer ist als ein Abstand zweier benachbarter Transportrollen der ersten Transportrollenreihe 132a und/oder der zweite Transportrollenreihe 132b voneinander (z.B. ein Abstand zweier benachbarter Transportrollen 102b, 112b).
  • 2A veranschaulicht eine Prozessieranordnung 200a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1A).
  • Die Prozessieranordnung 200a, bzw. die Transportanordnung 102, welche die mehreren Transportrollen aufweist, kann zum Transportieren von Substraten 206 auf den mehreren Transportrollen eingerichtet sein. Anschaulich können z.B. große plattenförmige Substrate 206 mittels der Prozessieranordnung 200a, bzw. der Transportanordnung 102, transportiert werden, welche z.B. auf den mehreren Transportrollen aufliegen. Alternativ kann zum Transportieren auch ein Substratträger verwendet werden, dessen Trägerplatte auf den mehreren Transportrollen aufliegt. In dem Substratträger können z.B. kleinere Substrate transportiert werden.
  • Anschaulich kann die Transportfläche 111f mit der ersten Begrenzungsfläche 102t zusammenfallen.
  • Die erste Transportrolle 102a und/oder die zweite Transportrolle 102b (in der Ansicht verdeckt) können zwischen dem Aufnahmebereich 104 (bzw. der darin aufgenommenen Prozessierquelle 114) und der Transportfläche 111f angeordnet sein. Die Höhe 108h der Gastrennstruktur 108 kann kleiner sein als eine Ausdehnung 102d der mehreren Transportrollen in eine Richtung quer zur Transportfläche 111f (anschaulich eine Höhe der mehreren Transportrollen).
  • 2B veranschaulicht eine Prozessieranordnung 200b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1B).
  • Von den mehreren Transportrollen zum Transportieren von Substraten 206 entlang einer durch den Prozessierbereich 101 hindurch verlaufenden Transportfläche 111f (kann auch als Transportebene bezeichnet werden), können zumindest zwei einander benachbarte Transportrollen 102a, 102b in einem Abstand 102s voneinander angeordnet sein. Der Abstand 102s, in dem die zwei Transportrollen 102a, 102b voneinander angeordnet sind, kann parallel zur Transportfläche 111f und entlang zu der Transportrichtung 111 verlaufen. Die Transportrichtung 111 kann z.B. quer zu den Drehachsen der Transportrollen 102a, 102b sein.
  • Der Abstand 102s, in dem die zwei Transportrollen 102a, 102b voneinander angeordnet sind, kann in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 1 m liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 0,5 m.
  • Mit anderen Worten können die zwei Transportrollen 102a, 102b entlang einer Transportrichtung 111 den Abstand 102s aufweisen. Zwischen den zwei Transportrollen 102a, 102b kann ein Spalt gebildet sein, in den die Gastrennstruktur 108 hinein erstreckt ist. Die Gastrennstruktur 108 kann in den Bereich zwischen der Transportfläche 111f und der zweiten Begrenzungsfläche 102r erstreckt sein, z.B. in dem Bereich zwischen der Transportfläche 111f und der zweiten Begrenzungsfläche 102r angeordnet sein.
  • Der Aufnahmebereich 104 (bzw. die darin aufgenommene Prozessierquelle 114) kann eine Ausdehnung entlang der Transportrichtung 111 aufweisen, die größer ist als der Abstand 102s der zwei Transportrollen 102a, 102b voneinander.
  • 3A veranschaulicht eine Prozessieranordnung 300a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1A).
  • Die Prozessieranordnung 300a kann ähnlich zu der Prozessieranordnung 100a eingerichtet sein, wobei die Prozessieranordnung 300a zwei Gastrennstrukturen 108a, 108b (erste Gastrennstruktur 108a und zweite Gastrennstruktur 108b) aufweist. Zwischen den zwei Gastrennstrukturen 108a, 108b kann die Transportfläche 111f angeordnet sein.
  • Die erste Gastrennstruktur 108a kann analog zu der Gastrennstruktur 108 eingerichtet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessieranordnung 300a einen Aufnahmebereich 104a aufweisen (analog zu 1A).
  • Ein Abstand der zwei Gastrennstrukturen 108a, 108b voneinander kann größer sein als die Dicke der Trägerplatte 106p. Beispielsweise kann der Abstand der zwei Gastrennstrukturen 108a, 108b voneinander in einem Bereich von ungefähr 15 mm bis ungefähr 90 mm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 25 mm bis ungefähr 70 mm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 45 mm bis ungefähr 50 mm. Zwischen den zwei Gastrennstrukturen 108a, 108b kann ein Substrat-Transportspalt gebildet sein durch den die Transportfläche 111f hindurch verläuft.
  • Optional kann die Prozessieranordnung 300a zwei Aufnahmebereiche 104a, 104b (erster Aufnahmebereich 104a und zweiter Aufnahmebereich 104b) aufweisen, bzw. zwei darin angeordnete Prozessierquellen 114a, 114b (erste Prozessierquelle 114a und zweite Prozessierquelle 114a). Zwischen den zwei Aufnahmebereichen 104a, 104b kann die Transportfläche 111f angeordnet sein. Zwischen den zwei Aufnahmebereichen 104a, 104b können die zwei Gastrennstrukturen 108a, 108b angeordnet sein. Der erste Aufnahmebereich 104a kann analog zu dem Aufnahmebereich 104 eingerichtet sein.
  • Ein Abstand der zwei Aufnahmebereiche 104a, 104b (bzw. der darin aufgenommenen zwei Prozessierquellen 114a, 114b) voneinander kann größer sein als die Höhe 102d der zwei Transportrollen 102a, 102b. Beispielsweise kann der Abstand der zwei Aufnahmebereiche 104a, 104b voneinander in einem Bereich von ungefähr 80 mm bis ungefähr 200 mm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 mm bis ungefähr 150 mm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 110 mm bis ungefähr 130 mm.
  • Der erste Aufnahmebereich 104a (bzw. die darin aufgenommene erste Prozessierquelle 114a) und/oder der zweite Aufnahmebereich 104b (bzw. die darin aufgenommene zweite Prozessierquelle 114b) können eine Ausdehnung entlang der Transportrichtung 111 aufweisen, die größer ist als der Abstand zweier einander benachbarter Transportrollen der ersten Transportrollenreihe 132a und/oder der zweiten Transportrollenreihe 132b.
  • Der zweite Aufnahmebereich 104b kann eine Höhe 304h (Ausdehnung quer zur Transportfläche 111f) aufweisen, welche größer ist als zumindest eines von Folgendem: die Ausdehnung 102d der zwei Transportrollen 102a, 102b; ein Abstand 104d des zweiten Aufnahmebereichs 104b von der Transportfläche 111f; eine Höhe 118h der zweiten Gastrennstruktur 108b; und/oder eine Höhe einer Prozessierquelle. Die Höhe 104h des zweiten Aufnahmebereichs 114 kann in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 50 cm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 25 cm bis ungefähr 30 cm.
  • 3B veranschaulicht eine Prozessieranordnung 300b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1B), z.B. die Prozessieranordnung 300a.
  • Die Prozessieranordnung 300b kann ähnlich zu der Prozessieranordnung 100b eingerichtet sein, wobei die Prozessieranordnung 300b zwei Gastrennstrukturen 108a, 108b (erste Gastrennstruktur 108a und zweite Gastrennstruktur 108b) aufweist. Zwischen den zwei Gastrennstrukturen 108a, 108b kann die Transportfläche 111f angeordnet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessieranordnung 300a einen Aufnahmebereich 104a aufweisen (analog zu 1B).
  • Optional kann die Prozessieranordnung 300b zwei Aufnahmebereiche 104a, 104b (erster Aufnahmebereich 104a und zweiter Aufnahmebereich 104b) aufweisen, bzw. zwei darin angeordnete Prozessierquellen 114a, 114b (erste Prozessierquelle 114a und zweite Prozessierquelle 114a). Zwischen den zwei Aufnahmebereichen 104a, 104b kann die Transportfläche 111f angeordnet sein. Zwischen den zwei Aufnahmebereichen 104a, 104b können die zwei Gastrennstrukturen 108a, 108b angeordnet sein.
  • 4A veranschaulicht eine Prozessieranordnung 400a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1A).
  • Die Prozessieranordnung 400a kann ähnlich zu der Prozessieranordnung 200a eingerichtet sein, wobei die Prozessieranordnung 300a zwei Aufnahmebereiche 104a, 104b aufweist, bzw. zwei darin angeordnete Prozessierquellen 114a, 114b.
  • Beispielsweise kann der erste Aufnahmebereich 104a (bzw. die darin aufgenommene erste Prozessierquelle 114a) in einem kleineren Abstand zu der Transportfläche 111f angeordnet sein als der zweite Aufnahmebereich 104b (bzw. die darin aufgenommene erste Prozessierquelle 114b), z.B. in einem Abstand analog zu einem Abstand der Gastrennstruktur 108, 108a von der Transportfläche 111f der Prozessieranordnung 100a und/oder der Prozessieranordnung 300a. Anschaulich kann die in dem ersten Aufnahmebereich 104a aufgenommene erste Prozessierquelle 114a durch deren geringen Abstand zur Transportfläche 111f zur Gastrennwirkung mit der Gastrennstruktur 108 gemeinsam beitragen.
  • Alternativ kann zwischen dem ersten Aufnahmebereich 104a (bzw. der darin aufgenommene erste Prozessierquelle 114a) und der Transportfläche 111f eine weitere Gastrennstruktur (analog zu der Prozessieranordnung 300a) angeordnet sein, z.B. wenn der erste Aufnahmebereich 104a (bzw. die darin aufgenommene erste Prozessierquelle 114a) konstruktionsbedingt einen zu großen Abstand zu der Transportfläche 111f aufweist (z.B. mehr als ungefähr 20 mm), um eine benötigte Gastrennwirkung bereitzustellen.
  • 4B veranschaulicht eine Prozessieranordnung 400b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1B), z.B. die Prozessieranordnung 400a.
  • Der erste Aufnahmebereich 104a (bzw. die darin aufgenommene erste Prozessierquelle 114a) und/oder der zweite Aufnahmebereich 104b (bzw. die darin aufgenommene zweite Prozessierquelle 114b) können eine Ausdehnung entlang der Transportrichtung 111 aufweisen, die größer ist als der Abstand 102s der zwei Transportrollen 102a, 102b voneinander.
  • Die erste Prozessierquelle 114a kann durch die Öffnungen 108o der Gastrennstruktur 108 hindurch wirken und die zweite Prozessierquelle 114b kann direkt auf die Transportfläche 111f wirken.
  • 5A veranschaulicht eine Prozessieranordnung 500a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1A).
  • Die Prozessieranordnung 500a kann ähnlich zu der Prozessieranordnung 100a eingerichtet sein, wobei die Prozessieranordnung 500a eine Lageranordnung 510 zum Halten der Prozessierquelle 114 in dem Aufnahmebereich 104 aufweist.
  • Die Lageranordnung 501 kann einen Kragträger 504 aufweisen, welcher an einem Wandelement 104w befestigt ist und an welchem die Prozessierquelle 114 befestigt ist (anschaulich z.B. hängend). Alternativ kann auf den Kragträger 504 verzichtet werden, wenn die Prozessierquelle 114 z.B. direkt an dem Wandelement 104w befestigt ist.
  • Die Lageranordnung 510 kann zum Verlagern der Prozessierquelle 114 an der Gastrennstruktur 108 vorbei und/oder an der Transportanordnung 102 (bzw. zumindest an einer der zwei Transportrollen 102a, 102b) vorbei in den Aufnahmebereich 104 hinein und/oder aus dem Aufnahmebereich 104 heraus eingerichtet sein. Mit anderen Worten kann die Lageranordnung 510 die Prozessierquelle 114 beweglich lagern. Der Pfad, entlang dessen die Prozessierquelle 114 beweglich (d.h. zum Verlagern) gelagert ist, kann sich mit zumindest einer Richtungskomponente (z.B. im Wesentlichen) entlang der Breitenrichtung 103 erstrecken.
  • Beispielsweise kann die Prozessierquelle 114 entlang der Breitenrichtung 103 beweglich gelagert sein. Beispielsweise kann die Lageranordnung 510 bzw. das Wandelement 104w in Richtung 103 (z.B. von den zwei Transportrollen 102a, 102b weg) bewegt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessierquelle 114 eine Höhe 114h (Ausdehnung quer zur Transportfläche 111f) in einem Bereich von ungefähr 5 cm bis ungefähr 50 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 30 cm. Eine Temperiervorrichtung kann beispielsweise eine Höhe 114h von ungefähr 10 cm aufweisen.
  • Damit die Prozessierquelle 114 an den zwei Transportrollen 102a, 102b vorbei geführt werden kann, kann die Prozessierquelle 114 in einem Abstand von den zwei Transportrollen 102a, 102b angeordnet sein oder werden. Dadurch können eine Montage und/oder ein Betrieb der Prozessierquelle 114 in einem kleineren Abstand zu der Transportfläche 111f verhindert sein. Mit anderen Worten kann die Transportanordnung 102 (bzw. können die zwei Transportrollen 102a, 102b) den Abstand des Aufnahmebereichs 104 (bzw. der darin angeordneten Prozessierquelle 114) von der Transportfläche 111f definieren. Der Aufnahmebereich 104 (bzw. die darin angeordnete Prozessierquelle 114) kann einen Abstand von der Transportfläche 111f aufweisen, welche größer ist als ein Abstand der erste Begrenzungsfläche 102t von der Transportfläche 111f.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Gastrennstruktur 108, welche zwischen dem Aufnahmebereich 104 (bzw. der darin angeordnete Prozessierquelle 114) und der Transportfläche 111f angeordnet ist, eine bewirkte Gastrennung erhöhen, d.h. einen Ausbreitung von Gasteilchen entlang der Transportrichtung 111 stören (behindern).
  • Die Prozessieranordnung 500a kann eine Trägerstruktur 532 zum Tragen der Gastrennstruktur 108 aufweisen. Beispielsweise kann die Gastrennstruktur 108 in die Trägerstruktur 532 eingehangen sein oder werden. Die Trägerstruktur 532 kann an zumindest einem von Folgendem befestigt sein: der Prozessierkammer 502; der Transportanordnung 102, z.B. deren Träger 702 (vergleiche 7A); einer weiteren Prozessierquelle 604 (vergleiche 6).
  • Die Gastrennstruktur 108 kann an der Transportanordnung 102 gelagert sein. Beispielsweise kann die Gastrennstruktur 108 einen Haltebereich aufweisen, mit dem die Gastrennstruktur 108 an der Trägerstruktur 532 gelagert, z.B. eingehangen ist und/oder befestigt ist, z.B. lösbar. Somit kann die Gastrennstruktur 108 aus der Prozessieranordnung 500a heraus genommen werden, wenn diese geöffnet ist.
  • Das Wandelement 104w kann eingerichtet sein, eine Prozessierkammer 502, in welcher der Aufnahmebereich 104 bereitgestellt ist, zu verschließen, z.B. vakuumdicht. Dazu kann die Prozessierkammer 502 eine Prozessierkammeröffnung 502o aufweisen, welche den zumindest einen Aufnahmebereich 104 in eine Richtung (z.B. die Breitenrichtung 103) freilegt. Das Wandelement 104w kann zum Verschließen der Prozessierkammeröffnung 502o eingerichtet sein, z.B. vakuumdicht.
  • Der Kragträger 504 kann einen Abstand 504h (quer zur Transportfläche 111f) von der Transportfläche 111f aufweisen, welcher größer ist als zumindest eines von Folgendem: die Ausdehnung 102d der zwei Transportrollen 102a, 102b; ein Abstand 104d des Aufnahmebereichs 104 von der Transportfläche 111f; eine Höhe 118h der Gastrennstruktur 108; eine Höhe 104h des Aufnahmebereichs 104a; und/oder eine Ausdehnung der Prozessierquelle 114 (quer zur Transportfläche 111f). Der Abstand 504h des Kragträgers 504 von der Transportfläche 111f kann in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 50 cm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 25 cm bis ungefähr 30 cm.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Abstand 504h des Aufnahmebereichs 104 von der Kammerwand der Prozessierkammer 502 und/oder ein Abstand 504h der Prozessierquelle 114 von der Kammerwand größer sein als eine Ausdehnung des Kragträgers 504 (quer zur Transportfläche 111f), beispielsweise kann diese in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 50 cm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 25 cm. Der Aufnahmebereich 104 und/oder die Prozessierquelle 114 können zwischen der Kammerwand und der Transportfläche 111f angeordnet sein.
  • 5B veranschaulicht eine Prozessieranordnung 500b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1A).
  • Die Prozessieranordnung 500b kann ähnlich zu der Prozessieranordnung 300a eingerichtet sein, wobei die Prozessieranordnung 500b eine Lageranordnung 510 zum Halten der zwei Prozessierquellen 114a, 114b in den zwei Aufnahmebereichen 104a, 104b aufweist.
  • Die Lageranordnung 501 kann einen ersten Kragträger 504a (analog zu dem Kragträger 504) aufweisen, welcher an dem Wandelement 104w befestigt ist und an welchem die erste Prozessierquelle 114a befestigt ist (anschaulich z.B. hängend). Alternativ kann auf den ersten Kragträger 504a verzichtet werden, z.B. wenn die erste Prozessierquelle 114a direkt an dem Wandelement 104w befestigt ist.
  • Die Lageranordnung 501 kann einen zweiten Kragträger 504b aufweisen, welcher an dem Wandelement 104w befestigt ist und an welchem die zweite Prozessierquelle 114b befestigt ist (anschaulich z.B. von unten gestützt). Alternativ kann auf den zweiten Kragträger 504b verzichtet werden, z.B. wenn die zweite Prozessierquelle 114b direkt an dem Wandelement 104w befestigt ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zweite Prozessierquelle 114b eine Höhe 514h (Ausdehnung quer zur Transportfläche 111f) in einem Bereich von ungefähr 5 cm bis ungefähr 50 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 30 cm. Eine Temperiervorrichtung kann beispielsweise eine Höhe 114h von ungefähr 10 cm aufweisen.
  • Die Lageranordnung 510 kann zum Verlagern der zwei Prozessierquellen 114a, 114b an der Gastrennstruktur 108 vorbei und/oder an der Transportanordnung 102 (bzw. zumindest an einer der zwei Transportrollen 102a, 102b) vorbei in den Aufnahmebereich 104 hinein und/oder aus dem Aufnahmebereich 104 heraus eingerichtet sein, wie vorangehend für die Prozessierquelle 114 beschrieben ist.
  • Damit die zwei Prozessierquellen 114a, 114b an den zwei Transportrollen 102a, 102b vorbei geführt werden können, können die zwei Prozessierquellen 114a, 114b jeweils in einem Abstand von den zwei Transportrollen 102a, 102b und voneinander angeordnet sein oder werden. Der Abstand der zwei Prozessierquellen 114a, 114b voneinander kann größer sein, als ein Abstand der erste Begrenzungsfläche 102t von der zweiten Begrenzungsfläche 102r (z.B. größer als eine Ausdehnung 102d der zwei Transportrollen 102a, 102b).
  • Damit eine ausreichende Gastrennung erreicht werden kann, kann zwischen dem ersten Aufnahmebereich 104a (bzw. der darin angeordnete Prozessierquelle 114a) die erste Gastrennstruktur 108a angeordnet sein und/oder zwischen dem zweiten Aufnahmebereich 104b (bzw. der darin angeordnete Prozessierquelle 114b) kann die zweite Gastrennstruktur 108b angeordnet sein. Mit anderen Worten kann zwischen den zwei Prozessierquellen 114a, 114b eine Gastrennstruktur 108 oder können zwei Gastrennstrukturen 108a, 108b angeordnet sein, wie in 5B veranschaulicht ist.
  • Die erste Gastrennstruktur 108a und/oder die zweite Gastrennstruktur 108b können an der Trägerstruktur 532 gelagert sein. Beispielsweise können die erste Gastrennstruktur 108a und/oder die zweite Gastrennstruktur 108b jeweils einen Haltebereich aufweisen, mit dem die erste Gastrennstruktur 108a und/oder die zweite Gastrennstruktur 108b an der Trägerstruktur 532 gelagert, z.B. eingehangen, sind und/oder befestigt sind, z.B. lösbar. Somit können die erste Gastrennstruktur 108a und/oder die zweite Gastrennstruktur 108b aus der Prozessieranordnung 500b heraus genommen werden, z.B. wenn die Prozessieranordnung 500b geöffnet ist. Mit anderen Worten können die erste Gastrennstruktur 108a und/oder die zweite Gastrennstruktur 108b lösbar befestigt sein.
  • Der zweite Kragträger 504b kann einen Abstand 514h (quer zur Transportfläche 111f) von der Transportfläche 111f aufweisen, welcher größer ist als zumindest eines von Folgendem: die Ausdehnung 102d der zwei Transportrollen 102a, 102b; ein Abstand 104d des zweiten Aufnahmebereichs 104b von der Transportfläche 111f; eine Höhe 118h der zweiten Gastrennstruktur 108b; eine Höhe 304h des zweiten Aufnahmebereichs 104b; und/oder eine Ausdehnung der zweiten Prozessierquelle 114b (quer zur Transportfläche 111f). Der Abstand 514h des zweiten Kragträgers 504b von der Transportfläche 111f kann in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 50 cm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 25 cm bis ungefähr 30 cm.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Abstand des zweiten Aufnahmebereichs 104b von einer Kammerwand (nicht dargestellt) und/oder ein Abstand der zweiten Prozessierquelle 114b von der Kammerwand größer sein als eine Ausdehnung des zweiten Kragträgers 504b (quer zur Transportfläche 111f), beispielsweise kann diese in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 50 cm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 25 cm. Der zweite Aufnahmebereich 104b und/oder die zweite Prozessierquelle 114b können zwischen der Kammerwand und der Transportfläche 111f angeordnet sein.
  • 6 veranschaulicht eine Prozessieranordnung 600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1B).
  • Die Prozessieranordnung 600 kann mehrere Kammern und/oder mehrere in einer Kammer bereitgestellte Sektionen aufweisen: einen erste Prozessierkammer 601 (bzw. eine erste Prozessiersektion 601), eine erste Pumpkammer 603, (bzw. eine erste Pumpsektion 603), eine zweite Prozessierkammer 605 (bzw. eine zweite Prozessiersektion 605), eine zweite Pumpkammer 607, (bzw. eine zweite Pumpsektion 607), und eine dritte Prozessierkammer 609 (bzw. eine dritte Prozessiersektion 609).
  • Die Prozessieranordnung 600 kann ferner eine Transportanordnung 102 aufweisen, welche eine Transportfläche 111f der Prozessieranordnung 600 definiert.
  • In der ersten Prozessierkammer 601 (bzw. in der ersten Prozessiersektion 601) kann eine erste Prozessierquelle, z.B. in Form einer Temperiervorrichtung 604 (z.B. aufweisend eine Heizvorrichtung 604 und/oder eine Kühlvorrichtung 604), und eine zweite Prozessierquelle, z.B. in Form einer Beschichtungsvorrichtung 602 (z.B. aufweisend ein Doppelrohr-Magnetron) angeordnet sein.
  • In der zweiten Prozessierkammer 605 (bzw. in der zweiten Prozessiersektion 605) kann eine erste Prozessierquelle, z.B. in Form einer Temperiervorrichtung 604 (z.B. aufweisend eine Heizvorrichtung 604 und/oder eine Kühlvorrichtung 604), und eine zweite Prozessierquelle, z.B. in Form einer Temperiervorrichtung 604 (z.B. aufweisend eine Heizvorrichtung 604 und/oder eine Kühlvorrichtung 604) angeordnet sein. Zwischen der ersten Prozessierquelle und der zweiten Prozessierquelle kann eine erste Gastrennstruktur 108a und eine zweite Gastrennstruktur 108b angeordnet sein.
  • In der dritten Prozessierkammer 609 (bzw. in der dritten Prozessiersektion 609) kann eine erste Prozessierquelle, z.B. in Form einer Beschichtungsvorrichtung 602 (z.B. aufweisend ein Doppelrohr-Magnetron), und eine zweite Prozessierquelle, z.B. in Form einer Temperiervorrichtung 604 (z.B. aufweisend eine Heizvorrichtung 604 und/oder eine Kühlvorrichtung 604) angeordnet sein.
  • In der ersten Pumpkammer 603, (bzw. der ersten Pumpsektion 603) kann eine erste Prozessierquelle, z.B. in Form einer Temperiervorrichtung 604 (z.B. aufweisend eine Heizvorrichtung 604 und/oder eine Kühlvorrichtung 604), und eine zweite Prozessierquelle angeordnet sein, z.B. in Form einer Temperiervorrichtung 604 (z.B. aufweisend eine Heizvorrichtung 604 und/oder eine Kühlvorrichtung 604).
  • In der zweiten Pumpkammer 607, (bzw. der zweiten Pumpsektion 607) kann eine erste Prozessierquelle, z.B. in Form einer Temperiervorrichtung 604 (z.B. aufweisend eine Heizvorrichtung 604 und/oder eine Kühlvorrichtung 604), und eine zweite Prozessierquelle angeordnet sein, z.B. in Form einer Temperiervorrichtung 604 (z.B. aufweisend eine Heizvorrichtung 604 und/oder eine Kühlvorrichtung 604).
  • Die Transportfläche 111f der Prozessieranordnung 600 kann jeweils zwischen der ersten Prozessierquelle und der zweiten Prozessierquelle jeder Kammer (bzw. Sektion) der mehrerer Kammern (bzw. Sektionen) angeordnet sein.
  • Die erste Pumpkammer 603, (bzw. erste Pumpsektion 603) und die zweite Pumpkammer 607 (bzw. zweite Pumpsektion 607) können jeweils mit einer Pumpenanordnung (nicht dargestellt) gekoppelt sein zum Abpumpen der erste Pumpkammer 603, (bzw. erste Pumpsektion 603) und der zweite Pumpkammer 607 (bzw. zweite Pumpsektion 607). Die zwei Pumpkammern 603, 607 können beispielsweise als so genannte Spaltschleusen eingerichtet sein, d.h. dass diese eine Gastrennung ermöglichen, indem diese einen Spalt aufweisen, durch welchen hindurch abgepumpt wird.
  • Zwischen der ersten Prozessierkammer 601 (bzw. Prozessiersektion 601) und der dritten Prozessierkammer 609 (bzw. Prozessiersektion 609) kann ein Gastrennbereich 610 mittels der ersten Pumpkammer 603, (bzw. ersten Pumpsektion 603), der zweiten Prozessierkammer 603 (bzw. zweiten Prozessiersektion 603) und der zweiten Pumpkammer 607 (bzw. zweiten Pumpsektion 607) bereitgestellt sein oder werden, in dem eine Gastrennung der ersten Prozessierkammer 601 (bzw. ersten Prozessiersektion 601) und der dritten Prozessierkammer 609 (bzw. dritten Prozessiersektion 609) voneinander erfolgt.
  • Die Prozessierkammern 601, 605, 609 (bzw. Prozessiersektionen 601, 605, 609) können jeweils eine Öffnung aufweisen, welche mittels eines jeweiligen Wandelements (wie vorangehend beschrieben ist) geöffnet und/oder verschlossen werden können. Die Prozessierquellen der Prozessierkammern 601, 605, 609 (bzw. Prozessiersektionen 601, 605, 609) können an dem jeweiligen Wandelement befestigt sein. Die Öffnungen der Prozessierkammern 601, 605, 609 (bzw. Prozessiersektionen 601, 605, 609) können die Prozessräume (d.h. der Prozessierbereich in jeder Prozessierkammer bzw. Prozessiersektion) entlang der Breitenrichtung 103 freilegen. Dadurch kann der Kanal in dem die Transportfläche 111f verläuft in der zweiten Prozessierkammer 605 (bzw. Prozessiersektionen 605) konstruktionsbedingt größer sein, als in den zwei Pumpkammern 603, 607 (bzw. Pumpsektionen 603, 607).
  • Mittels der zwei Gastrennstrukturen 108a, 108b kann der Kanal in dem die Transportfläche 111f in der zweiten Prozessierkammer 605 verläuft verkleinert werden, was die Gastrennung wirkungsvoll verbessert, ohne die Prozessierung mittels der Temperiervorrichtungen 604 (z.B. der Heizvorrichtungen 604 und/oder Kühlvorrichtungen 604) zu beeinträchtigen.
  • Somit kann eine Vermischung von Gas zwischen dem Prozessierbereich der Beschichtungsvorrichtung 602 der ersten Prozessierkammer 601 (bzw. Prozessiersektion 601) und dem Prozessierbereich der Beschichtungsvorrichtung 602 der dritten Prozessierkammer 609 (bzw. Prozessiersektion 609) verringert oder unterdrückt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Trägerstruktur 532 an (und/oder in) der ersten Pumpkammer 603 und/oder an (und/oder in) der zweiten Pumpkammer 607 befestigt sein oder werden.
  • 7A veranschaulicht eine Prozessieranordnung 700a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1A).
  • Zum Prozessieren eines Substrats oder mehrerer Substrate in der Prozessierkammer 502 der Prozessieranordnung 700a kann die Prozessieranordnung 700a zumindest eine Prozessierquelle (eine Prozessierquelle oder mehrere Prozessierquellen, z.B. zumindest eine erste Prozessierquelle 114a und/oder eine zweite Prozessierquelle 114b) aufweisen.
  • Die erste Gastrennstruktur 108a und/oder die zweite Gastrennstruktur 108a können optional fest mit der Prozessieranordnung 700a, bzw. deren Einbauten verbundenen, sein, z.B. mit der Trägerstruktur 532.
  • Die Transportanordnung 102 kann einen Träger 702 aufweisen, welcher die mehreren Transportrollen hält. An dem Träger 702 der Transportanordnung 102 können die mehreren Transportrollen der Transportanordnung 102 drehbar gelagert sein.
  • Die erste Gastrennstruktur 108a und/oder die zweite Gastrennstruktur 108a können ein Gefach mit dünnen und/oder ebenen Lamellen aufweisen, z.B. derart, dass diese parallel zur Richtung des Heiz- bzw. Kühlleistungseintrages und/oder quer zu der zu unterbindenden Gasausbreitungsrichtung verlaufen.
  • Die Anzahl und/oder Größe der Lamellen kann an die angestrebte Gastrennwirkung und den Typ der ersten Prozessierquelle 114a und/oder an den Typ der zweiten Prozessierquelle 114b angepasst sein oder werden. Beispielsweise kann ein Optimum zwischen erreichbarer Gastrennung und Verminderung des Heiz- bzw. Kühlleistungseintrags in das zu beschichtende Substrat eingestellt sein oder werden.
  • Die Prozessierkammer 502 kann als Vakuumkammer oder als Atmosphärendruckkammer oder als Überdruckkammer eingerichtet sein und/oder betrieben werden. Die Prozessierkammer 502 kann derart eingerichtet sein, dass darin eine Prozessumgebung (aufweisend Prozessdruck, Prozessgaszusammensetzung, Prozesstemperatur, usw.) eingestellt und/oder geregelt werden kann. Beispielsweise kann die Prozessierkammer 502 druckstabil (z.B. bis mindestens 1 bar Druckunterschied), gasdicht und/oder staubdicht eingerichtet sein. Das Bearbeiten eines Substrats und/oder mehrere Substrate kann in einem Überdruck (größer 1 bar), Atmosphärendruck ungefähr 1 bar, Unterdruck (kleiner 1 bar) oder Vakuum (kleiner 0,3 bar), z.B. Feinvakuum (kleiner 1 mbar), z.B. Hochvakuum (kleiner 10–3 bar), z.B. Ultrahochvakuum (kleiner 10–7 bar), erfolgen. Zum Einstellen und/oder Regeln der Prozessgaszusammensetzung kann dem Inneren der Prozessierkammer 502 ein Gas aufweisend zumindest ein Reaktivgas und/oder ein Arbeitsgas zugeführt werden, z.B. mittels einer Gaszuführung. Zum Einstellen und/oder Regeln des Prozessdrucks kann die Prozessierkammer 502 mit einer Pumpenanordnung aufweisend zumindest eine Vorpumpe und/oder eine Vakuumpumpe gekuppelt sein, welche das Innere der Prozessierkammer 502 abpumpen. Zum Einstellen und/oder Regeln der Prozesstemperatur und/oder Substrattemperatur kann die Prozessieranordnung 700a Heizvorrichtungen und/oder Kühlvorrichtungen aufweisen, welche dem Inneren der Prozessierkammer 502, oder zumindest den darin transportierten Substraten 120 thermische Energie zuführen (zum Heizen) oder entziehen (zum Kühlen) können.
  • 7B veranschaulicht eine Prozessieranordnung 700b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1A).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Lageranordnung 510 zumindest ein Abdeckelement 902 aufweisen. Das Abdeckelement 902 kann ein Wandelement aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine Platte. Das Abdeckelement 902 kann, wenn es in dem Aufnahmebereich 104 (auch als erster Aufnahmebereich 104a bezeichnet) angeordnet ist, die mehreren Öffnungen 108o auf einer der Transportfläche 111f gegenüberliegenden Seite der Gastrennstruktur 108 (auch als erste Gastrennstruktur 108a bezeichnet) abdecken. Beispielsweise kann Abdeckelement 902 über die Gastrennstruktur 108 hervor stehen (entlang einer Richtung parallel zur Transportfläche 111f, z.B. beidseitig). Beispielsweise kann das Abdeckelement 902 von dem Kragträger 504 gehalten sein, z.B. anstatt einer Prozessierquelle. Das Abdeckelement 902 kann die Gasseparationswirkung der Gastrennstruktur 108 vergrößern oder erhalten, wenn z.B. keine Prozessierquelle benötigt wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Abdeckelement 902 von der Lageranordnung 510 getragen, z.B. daran befestigt, sein oder werden. Beispielsweise kann das Abdeckelement 902 von dem Kragträger 504 (auch als erster Kragträger 504a bezeichnet) getragen sein oder werden. Beispielsweise kann das Abdeckelement 902 an dem Kragträger 504, 504a befestigt sein oder werden. Alternativ oder zusätzlich kann das Abdeckelement 902 von dem Wandelement 104w getragen, z.B. daran befestigt, sein oder werden.
  • Mit anderen Worten kann die Lageranordnung 510 das Abdeckelement 902 beweglich lagern. Der Pfad, entlang dessen kann das Abdeckelement 902 (zum Verlagern) beweglich gelagert ist, kann sich mit zumindest einer Richtungskomponente (z.B. im Wesentlichen) entlang der Breitenrichtung 103 erstrecken. Beispielsweise kann das Abdeckelement 902 entlang der Breitenrichtung 103 beweglich gelagert sein. Beispielsweise kann die Lageranordnung 510 bzw. das Wandelement 104w in Richtung 103 (z.B. von den zwei Transportrollen 102a, 102b weg) bewegt werden.
  • Das Abdeckelement 902 kann in einem Abstand von der Gastrennstruktur 108 getragen sein oder werden (d.h. in einem Abstand von der Gastrennstruktur 108 angeordnet sein oder werden).
  • Die Lageranordnung 510 kann zum Verlagern des zumindest einen Abdeckelements 902 an zumindest einer Transportrolle der zwei Transportrollen 102a, 102b vorbei in den Aufnahmebereich 104 hinein und/oder aus dem Aufnahmebereich (104) heraus eingerichtet sein.
  • Optional kann die Prozessieranordnung 700b zumindest eines von Folgendem aufweisen: eine weitere Gastrennstruktur 108b (auch als zweite Gastrennstruktur 108b bezeichnet), einen weiteren Aufnahmebereich 104b (auch als zweiter Aufnahmebereich 104b bezeichnet), eine in dem weiteren Aufnahmebereich 104b angeordnete Prozessierquelle 114b (auch als zweite Prozessierquelle 114b bezeichnet), und/oder einen weiteren Kragträger 504b (auch als zweiter Kragträger 504b bezeichnet).
  • Alternativ zu der in dem weiteren Aufnahmebereich 104b angeordneten Prozessierquelle 114b kann die Prozessieranordnung 700b ein in dem weiteren Aufnahmebereich 104b angeordnetes weiteres Abdeckelement (nicht dargestellt) aufweisen.
  • Das Abdeckelement 902 kann, wenn es in dem Aufnahmebereich 104 (auch als erster Aufnahmebereich 104a bezeichnet) angeordnet ist, die mehreren Öffnungen 108o auf einer dem weiteren Aufnahmebereich 104b (bzw. einer darin angeordneten weiteren Prozessierquelle 114b oder einem darin angeordneten weiteren Abdeckelement) gegenüberliegenden Seite der Gastrennstruktur 108 abdecken.

Claims (11)

  1. Prozessieranordnung (100a, 200a, 700a), aufweisend: • zumindest einen Aufnahmebereich (104) zum Aufnehmen jeweils einer Prozessierquelle (114); • einen dem Aufnahmebereich (104) zugeordneten Prozessierbereich (101); • mehrere Transportrollen zum Transportieren von Substraten entlang einer durch den Prozessierbereich (101) hindurch verlaufenden Transportfläche (111f), von denen zumindest zwei einander benachbarte Transportrollen (102a, 102b) in einem Abstand voneinander angeordnet sind; • eine Gastrennstruktur (108), welche zwischen dem zumindest einen Aufnahmebereich (104) und der Transportfläche (111f) angeordnet ist, und welche quer zur Transportfläche (111f) von mehreren Öffnungen (108o) durchdrungen ist, von denen die Transportfläche (111f) zwischen den zwei Transportrollen (102a, 102b) zu einem Großteil freigelegt ist, so dass zwischen den zwei Transportrollen (102a, 102b) durch die Gastrennstruktur (108) hindurch prozessiert werden kann.
  2. Prozessieranordnung(100a, 200a, 700a) gemäß Anspruch 1, ferner aufweisend: eine Lageranordnung (510) zum Halten der jeweils einen Prozessierquelle (114) in dem Aufnahmebereich (104), wobei die Lageranordnung (510) zum Verlagern der jeweils einen Prozessierquelle (114) an zumindest einer Transportrolle der zwei Transportrollen (102a, 102b) vorbei in den Aufnahmebereich (104) hinein und/oder aus dem Aufnahmebereich (104) heraus eingerichtet ist.
  3. Prozessieranordnung(100a, 200a, 700a) gemäß Anspruch 2, ferner aufweisend: ein Abdeckelement (902), welches in dem Aufnahmebereich (104) angeordnet ist und die mehreren Öffnungen (108o) auf einer der Transportfläche (111f) gegenüberliegenden Seite der Gastrennstruktur (108) abdeckt, wobei die Lageranordnung (510) zum Verlagern des zumindest einen Abdeckelements (902) an zumindest einer Transportrolle der zwei Transportrollen (102a, 102b) vorbei in den Aufnahmebereich (104) hinein und/oder aus dem Aufnahmebereich (104) heraus eingerichtet ist.
  4. Prozessieranordnung (100a, 200a, 700a) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, ferner aufweisend: eine Prozessierkammer (502), in welcher der zumindest eine Aufnahmebereich (104) bereitgestellt ist; wobei die Prozessierkammer (502) eine Prozessierkammeröffnung (502o) aufweist, welche den zumindest einen Aufnahmebereich (104) in eine Richtung freilegt, welche parallel zur Transportfläche (111f) und quer zu einer Transportrichtung (111) der mehreren Transportrollen verläuft.
  5. Prozessieranordnung (100a, 200a, 700a) gemäß einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die Lageranordnung (510) ein Wandelement (104w) zum Verschließen der Prozessierkammeröffnung (502o) aufweist.
  6. Prozessieranordnung (100a, 200a, 700a) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die zumindest eine Gastrennstruktur (108) mehrere Gastrennplatten (108p) aufweist, welche von der Transportfläche (111f) weg erstreckt sind und zwischen denen die mehreren Öffnungen (108o) gebildet sind.
  7. Prozessieranordnung (100a, 200a, 700a) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, ferner aufweisend: einen Substratträger (106) zum Halten der Substrate in der Transportfläche (111f).
  8. Prozessieranordnung (100a, 200a, 700a) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, • wobei der zumindest eine Aufnahmebereich (104) einen ersten Aufnahmebereich (104a) und einen zweiten Aufnahmebereich (104b) aufweist, zwischen denen die Transportfläche (111f) verläuft; • wobei die zumindest eine Gastrennstruktur (108) eine erste Gastrennstruktur (108a) aufweist, welche zwischen dem ersten Aufnahmebereich (104a) und der Transportfläche (111f) angeordnet ist, und/oder • wobei die zumindest eine Gastrennstruktur (108) eine zweite Gastrennstruktur (108b) aufweist, welche zwischen dem zweiten Aufnahmebereich (104b) und der Transportfläche (111f) angeordnet ist.
  9. Prozessieranordnung (100a, 200a, 700a) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, ferner aufweisend: die jeweils eine Prozessierquelle (114), welche in dem Aufnahmebereich (104) angeordnet ist, wobei die jeweils eine Prozessierquelle (114) zum Emittieren von elektromagnetischer Strahlung in den Prozessierbereich (101) eingerichtet ist.
  10. Prozessieranordnung (100a, 200a, 700a) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei der Abstand, in dem die zwei Transportrollen (102a, 102b) voneinander angeordnet sind, parallel zur Transportfläche (111f) und quer zu einer Transportrichtung (111) der mehreren Transportrollen verläuft.
  11. Transportanordnung (102), aufweisend: • mehrere Transportrollen (102a, 102b) zum Transportieren von Substraten entlang einer Transportfläche (111f), von denen zumindest zwei einander benachbarte Transportrollen (102a, 102b) in einem Abstand voneinander angeordnet sind, so dass zwischen diesen ein Spalt in der Transportanordnung (102) gebildet ist; • zumindest eine Gastrennstruktur (108), welche sich in dem Spalt erstreckt und quer zur Transportfläche (111f) von mehreren Öffnungen (108o) durchdrungen ist, von denen zwischen den zwei Transportrollen (102a, 102b) die Transportfläche (111f) zu einem Großteil freigelegt ist.
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