DE102015114877A1 - Scratch-resistant antireflective coating - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein transparentes Element mit einer Antireflexbeschichtung (5). Die Antireflexbeschichtung (5) mit vier Lagen (51, 52, 53, 54) ist so ausgebildet, dass der Farbort von reflektiertem Licht eine verminderte Abhängigkeit von Schichtdickenschwankungen aufweist.The invention relates to a transparent element with an antireflection coating (5). The anti-reflection coating (5) with four layers (51, 52, 53, 54) is designed so that the color location of reflected light has a reduced dependence on layer thickness fluctuations.
Description
Die Erfindung betrifft allgemein optische Interferenzbeschichtungen. Insbesondere betrifft die Erfindung Entspiegelungs-, beziehungsweise Antireflexbeschichtungen mit hoher Kratzbeständigkeit. The invention relates generally to optical interference coatings. In particular, the invention relates to antireflection or antireflection coatings with high scratch resistance.
Chemisch vorgespannte Gläser für Anzeigen mobiler elektronischer Geräte, wie Smartphones oder Tablet-PCs sind bekannt. In der Regel werden für diese Anzeigen Alumosilikatgläser als Deckgläser eingesetzt. Diese Alumosilikatgläser weisen typischerweise einen Brechungsindex von größer als 1,5 bei einer Wellenlänge von 550nm auf. Chemically tempered glasses for displays of mobile electronic devices, such as smartphones or tablet PCs are known. As a rule, aluminosilicate glasses are used as coverslips for these displays. These aluminosilicate glasses typically have a refractive index of greater than 1.5 at a wavelength of 550 nm.
Es ist weiterhin bekannt und üblich, Deckgläser für optische Anzeigen chemisch vorzuspannen. Durch das chemische Vorspannen, bei dem Na-Ionen des Glases gegen Kaliumionen aus einem Salzbad ausgetauscht werden, reichert sich das Kalium in einer oberflächennahen Zone von mehreren Mikrometern an. Der Kaliumgehalt liegt dabei im Bereich bis zu wenigen Massenprozenten. Durch das chemische Vorspannen wird eine Erhöhung der Biegefestigkeit sowie der Kratzfestigkeit erzielt. Trotzdem ist nach kurzer Gebrauchszeit eines typischen Produktes eine Schädigung der Oberfläche in Form von Kratzern zu erkennen. Das chemische Vorspannen verhindert zwar das leichte Zerbrechen des Glases bei Biegebelastung, da die Druckvorspannung eine Ausbreitung eines Risses, hervorgerufen beispielsweise durch einen Kratzer verhindert oder verzögert – eine Vermeidung von Kratzern ist jedoch nicht gegeben. It is also known and customary to chemically bias cover glasses for optical displays. By chemical toughening, in which Na ions of the glass are exchanged for potassium ions from a salt bath, the potassium accumulates in a near-surface zone of several micrometers. The potassium content is in the range up to a few percent by mass. By chemical toughening an increase in flexural strength and scratch resistance is achieved. Nevertheless, after a short period of use of a typical product damage to the surface in the form of scratches can be seen. Although chemical tempering prevents easy breakage of the glass under bending stress, since the compressive prestressing prevents or delays propagation of a crack caused by a scratch, for example, scratches are avoided.
Eine Antifingerprintbeschichtung (AFP), die entweder oleophob oder hydrophob oder amphiphob ist, kann auf das Glas appliziert werden, so dass Fingerabrücke nicht entstehen oder sich zumindest sehr leicht abreinigen lassen. Heutige Produkte verfügen typischerweise über eine nicht dauerhaft beständige AFP, so dass der Effekt der leichten Reinigbarkeit oder der reduzierten Fingerabdruckauffälligkeit nach wenigen Monaten nicht mehr gegeben ist. Die AFP ist im Allgemeinen eine teilweise organische Schicht, die sehr dünn aufgetragen ist, so dass sie optisch nicht aktiv ist. Die Reflexion des Produktes ist daher in erster Linie durch die Glasoberfläche gegeben. An der Oberseite des Glases werden daher etwa 4 Prozent des Lichtes bei senkrechtem Einfall reflektiert, was insbesondere bei heller Beleuchtung, wie beispielsweise Sonnenschein, störend ist und die Lesbarkeit des Inhalts des Displays einschränkt. An antifingerprint coating (AFP), which is either oleophobic or hydrophobic or amphiphobic, can be applied to the glass, so that fingerprints do not arise or at least can be cleaned very easily. Today's products typically have a non-durable AFP, so the effect of easy cleanability or reduced fingerprint conspicuousness is lost after a few months. The AFP is generally a partially organic layer that is applied very thin so that it is optically inactive. The reflection of the product is therefore given primarily by the glass surface. At the top of the glass, therefore, about 4 percent of the light is reflected at normal incidence, which is particularly disturbing in bright lighting, such as sunshine, and limits the readability of the content of the display.
Antireflexbeschichtungen zur Entspiegelung von Glasoberflächen sind bekannt. Sie bestehen je nach Ausführungsform aus mehreren Schichten, die einseitig oder beidseitig auf das Glassubstrat aufgebracht werden. Je nach Einsatzgebiet des Produktes ist eine mechanisch stabile, das heißt Schädigungsresistente oder kratzfeste Ausführung des Antireflexsystems wünschenswert. Das allgemeine Ziel einer optischen Antireflexbeschichtung ist es in erster Linie, die Reflexion des sichtbaren Teils des elektromagnetischen Spektrums gleichmäßig zu unterdrücken, so dass es möglichst zu keiner Farbauffälligkeit durch eine ungleichmäßige Restreflexion kommt. Ein Beispiel für eine solche farbneutrale, kratzbeständige Antireflexbeschichtung ist in der
Im Laufe des Handy-Cover Herstellungsprozesses können die genannten Gläser mit einem Dekordruck auf der dem Nutzer abgewandten Seite, der sogenannten Rückseite des Covers versehen werden, der typischerweise schwarz oder weiß ist. Oft wird der Firmenname des Herstellers oder der Produktname in silberfarbenem Schriftzug aufgedruckt. In the course of the mobile phone cover manufacturing process, said glasses can be provided with a decorative print on the side facing away from the user, the so-called back of the cover, which is typically black or white. Often the company name or the product name is printed in silver lettering.
Antireflexsysteme bestehen in der Regel aus mehr als einer Schicht, insbesondere dann, wenn über einen großen Teil des visuellen Spektrums gleichmäßig entspiegelt werden soll und nicht nur bei einer bestimmten Wellenlänge. Zwei aufeinander folgende Schichten haben unterschiedliche Brechungsindizes. Es wechseln sich Schichten mit hohem und niedrigen Brechungsindex ab. Die wellenlängenabhängige Reflektionskurve ist das Ergebnis des Zusammenwirkens der einzelnen Reflektionen an den Grenzflächen. Eine gleichmäßige, farbneutrale Reflektion ist das Ergebnis einer exakt aufeinander abgestimmten Abfolge von optischen Schichtdicken, d.h. dem Produkt aus Brechungsindex und Schichtdicke. Die Änderung einer oder mehrerer Schichtdicken verändert die Reflektionsbedingungen und damit auch das Reflektionsergebnis, insbesondere auch den Farbort der Reflektion. Antireflection systems usually consist of more than one layer, in particular if a large part of the visual spectrum is to be uniformly antireflected and not only at a specific wavelength. Two consecutive layers have different refractive indices. Layers of high and low refractive index alternate. The wavelength-dependent reflection curve is the result of the interaction of the individual reflections at the interfaces. A uniform, color-neutral reflection is the result of a perfectly matched sequence of optical layer thicknesses, i. the product of refractive index and layer thickness. The change of one or more layer thicknesses changes the reflection conditions and thus also the reflection result, in particular also the color location of the reflection.
Prozesstechnisch bedingte Schichtdickenschwankungen, wie sie beispielsweise an unterschiedlichen Positionen innerhalb eines Probenhalters (engl.: Carrier) oder bei Schwankungen von Produktionslos zu Produktionslos auftreten, können daher zu einer starken Farbortänderung führen. Je nach Stärke der Schichtdickenschwankung kommt es zu stark auffälligen Farbortvariationen, die die Produktionsausbeute herabsetzen. Process-related layer thickness fluctuations, as they occur, for example, at different positions within a sample holder (English: Carrier) or fluctuations of Produktionslos to Produktionslos, therefore, can lead to a strong color change. Depending on the thickness of the layer thickness variation, there are strongly noticeable color location variations, which reduce the production yield.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Antireflexsystem bereitzustellen, das eine gute Adhäsion an das Glassubstrat hat, eine hohe Kratzfestigkeit besitzt, eine gute Basis für eine Antifingerprintbeschichtung darstellt und insbesondere bei typischen prozessbedingten Schichtdickenschwankungen eine nur geringe Änderung des Farbortes aufweist. Die Erfindung betrifft speziell ein transparentes Element mit einer Antireflexbeschichtung mit vier Lagen. Diese Antireflexbeschichtung ist gemäß der oben genannten Aufgabe so ausgebildet, dass der Farbort von reflektiertem Licht eine verminderte Abhängigkeit von Schichtdickenschwankungen aufweist. The invention is therefore based on the object to provide an antireflection system, which has a good adhesion to the glass substrate, has a high scratch resistance, provides a good basis for a Antifingerprintbeschichtung and especially in typical process-related layer thickness variations has only a small change in color location. The invention specifically relates to a transparent element with a four-layer anti-reflection coating. This antireflection coating is designed in accordance with the above-mentioned object so that the color location of reflected light has a reduced dependence on layer thickness fluctuations.
Das antireflektierend wirkende Interferenz-Schichtsystem gemäß der Erfindung umfasst eine Abfolge alternierend hoch- und niedrigbrechender Schichten. Von Lage zu Lage fortschreitend wird der Brechungsindex mithin abwechselnd höher und niedriger. Das Schichtsystem umfasst dabei mindestens vier Lagen. Eine hohe Kratzbeständigkeit wird erzielt, indem ein transparentes Hartstoff-Material für mindestens eine hochbrechende Schicht verwendet wird. The antireflective interference layer system according to the invention comprises a sequence of alternating high and low refractive layers. As the position progresses, the refractive index becomes alternately higher and lower. The layer system comprises at least four layers. High scratch resistance is achieved by using a transparent hard material for at least one high refractive index layer.
Es zeigt sich, dass die schichtdickenabhängige Farbortschwankung bei einer vierlagigen Antireflexbeschichtung durch die Verwendung von mehr als zwei Materialien erreicht werden kann. Dabei sollte die erste, auf dem Substrat aufgebrachte hochbrechende Schicht einen Brechungsindex nm haben der zwischen dem Brechungsindex der weiteren hochbrechenden Schicht nh und dem Brechungsindex der niedrigbrechenden Schicht nn liegt. It can be seen that the layer thickness-dependent chromaticity variation in a four-layer antireflective coating can be achieved by using more than two materials. In this case, the first high-index layer applied to the substrate should have a refractive index n m which lies between the refractive index of the further high-index layer n h and the refractive index of the low-refractive index n n .
Demgemäß sieht die Erfindung ein scheibenförmiges Element mit
- – einem im sichtbaren Spektralbereich transparenten scheibenförmigen Substrat und
- – einer auf dem Substrat abgeschiedenen Antireflexbeschichtung vor, wobei die Antireflexbeschichtung
- – vier aufeinanderfolgende Lagen umfasst, bei welcher aneinander angrenzende Lagen sich jeweils in ihrem Brechungsindex unterscheiden, derart, dass der Brechungsindex von Lage zu Lage abwechselnd ansteigt und abnimmt und sich Lagen mit niedrigerem Brechungsindex mit Lagen mit höherem Brechungsindex abwechseln.
- - A transparent in the visible spectral disc-shaped substrate and
- An anti-reflection coating deposited on the substrate, the anti-reflection coating
- Comprises four successive layers in which adjacent layers each differ in their refractive index, such that the refractive index alternately increases and decreases from layer to layer, and layers of lower refractive index alternate with layers of higher refractive index.
Die unterste der vier Lagen ist eine Lage mit höherem Brechungsindex und weist demzufolge einen höheren Brechungsindex auf, als die benachbarte zweitunterste Lage. The lowermost of the four layers is a layer of higher refractive index and thus has a higher refractive index than the adjacent second lowest layer.
Die vier Lagen weisen nun mindestens drei verschiedene Brechungsindices auf, derart, dass der Brechungsindex der untersten, dem Substrat nächsten Lage mit höherem Brechungsindex niedriger ist, als der Brechungsindex der weiteren Lage mit höherem Brechungsindex. Dabei wird die unterste Lage mit höherem Brechungsindex vorzugsweise aus einem sauerstoffhaltigen Material gebildet. Durch diese Merkmale zeigt das scheibenförmige Element insbesondere eine geringe Farbortänderung bei Schichtdickenschwankung. The four layers now have at least three different refractive indices such that the refractive index of the lowermost layer of the higher refractive index layer is lower than the refractive index of the further layer of higher refractive index. In this case, the lowermost layer with a higher refractive index is preferably formed from an oxygen-containing material. As a result of these features, the disk-shaped element shows, in particular, a slight color change in the case of layer thickness variation.
Die unterste, dem Substrat nächste Lage der Antireflexbeschichtung ist vorzugsweise eine Oxinitrid-Lage oder auch eine Oxid-Lage. Oxinitrid-Lagen mit Silizium oder Aluminium oder mit einer Mischung aus beiden Materialien sind besonders geeignet, da diese Materialien sehr transparent und gleichzeitig hart sind, wobei der Brechungsindex über den Sauerstoffgehalt beim Beschichtungsprozess gut eingestellt und angepasst werden kann. Allgemein können auch mehrere Komponenten für die Zusammensetzung der Lage verwendet werden. So ist gemäß einer Ausführungsform der Erfindung vorgesehen, dass die unterste Lage mindestens drei verschiedene Komponenten in oxinitridischer oder oxidischer Form enthält, die zu mehr als 1 Atomprozent zur Gesamtzusammensetzung beitragen. The lowermost, the substrate next layer of the antireflection coating is preferably an oxynitride layer or an oxide layer. Oxinitride layers with silicon or aluminum or with a mixture of both materials are particularly suitable because these materials are very transparent and at the same time hard, whereby the refractive index can be well adjusted and adjusted by the oxygen content during the coating process. In general, several components can be used for the composition of the layer. Thus, according to one embodiment of the invention, it is provided that the lowest layer contains at least three different components in oxinitridischer or oxidic form, which contribute to more than 1 atomic percent of the total composition.
Die Verwendung von Oxinitriden erleichtert die Herstellung eines mehrlagigen Antireflex-Schichtsystems dahingehend, dass auch für die weitere Hartstoff-Lage mit höherem Brechungsindex Siliziumoxinitrid oder Aluminiumnitrid, Aluminiumoxinitrid oder ein Nitrid oder Oxinitrid aus einem Gemisch von Aluminium und Silizium verwendet werden kann. Da deren Brechungsindex höher sein soll, ist dementsprechend auch der Sauerstoff-Gehalt niedriger. Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist daher vorgesehen, dass beide Lagen mit höherem Brechungsindex Siliziumoxinitrid-Lagen oder Aluminiumoxinitrid-Lagen oder ein Gemisch aus Silizium- und Aluminiumoxinitrid sind, wobei die unterste Lage mit höherem Brechungsindex einen höheren Sauerstoff-Gehalt aufweist, als die weitere Lage mit höherem Brechungsindex. The use of oxynitrides facilitates the production of a multilayer antireflective layer system in that silicon oxynitride or aluminum nitride, aluminum oxynitride or a nitride or oxynitride of a mixture of aluminum and silicon can also be used for the further refractive index hard material layer. Since their refractive index should be higher, the oxygen content is correspondingly lower. According to one embodiment of the invention, it is therefore provided that both layers with a higher refractive index are silicon oxynitride layers or aluminum oxynitride layers or a mixture of silicon and aluminum oxynitride, wherein the lowermost layer with a higher refractive index has a higher oxygen content than the further layer with higher refractive index.
Soll ein rein oxidisches Schichtsystem über einen Sputterprozess hergestellt werden, so kann nur Sauerstoff als Reaktivgas verwendet werden. Eine Mischung des Reakivgases scheidet aus. Trotzdem ist es möglich ein erfindungsgemäßes Antireflex-Schichtsystem herzustellen, indem ein Legierungstarget verwendet wird, das aus mindestens zwei Materialien besteht derart, dass das Oxid des einen Materials hochbrechend ist und das Oxid des anderen Materials niedrigbrechend ist. Durch geschickte Wahl der Zusammensetzung des Legierungstargets kann nun ein Mischoxid über den Sputterprozess in sauerstoffhaltiger Prozessatmosphäre hergestellt werden, das der oben genannten Anforderungen hinsichtlich eines höheren Brechungsindex, der jedoch niedriger als der Brechungsindex der weiteren hochbrechenden Schicht ist, genügt. Als Beispiel ohne Beschränkung auf weitere Möglichkeiten sei hier ein Target aus Silizium mit einer Beimischung von Zirkonium genannt oder ein Target aus Aluminium mit einer Beimischung von Zirkonium. If a purely oxidic layer system is to be produced via a sputtering process, then only oxygen can be used as the reactive gas. A mixture of the reactive gas is eliminated. Nevertheless, it is possible to produce an antireflective layer system according to the invention by using an alloy target which consists of at least two materials such that the oxide of one material is high-refractive and the oxide of the other material is low-refractive. By skillful choice of composition of the Alloy targets can now be a mixed oxide produced by the sputtering process in oxygen-containing process atmosphere, which meets the above requirements for a higher refractive index, but lower than the refractive index of the other high refractive index layer is sufficient. As an example, without limitation to other possibilities here is a target of silicon with an admixture of zirconium called or a target of aluminum with an admixture of zirconium.
Wie oben bereits gesagt, können auch mehr als zwei Komponenten am Aufbau der untersten Lage beteiligt sein. Im Speziellen können mindestens drei verschiedene Komponenten in oxinitridischer oder oxidischer Form enthalten sein, die zu mehr als 1 Atomprozent zur Gesamtzusammensetzung beitragen. Beispielsweise kann also neben Si und Al eine weitere Komponente mit ein oder mehr Atomprozent vorhanden und in oxidischer oder oxinitridischer Form eingebunden sein. As already stated above, more than two components can also be involved in the construction of the lowest layer. In particular, at least three different components may be present in oxinitridic or oxidic form, contributing to greater than 1 atomic percent of the total composition. For example, in addition to Si and Al, a further component with one or more atomic percent may be present and incorporated in oxidic or oxinitridischer form.
Die Sequenz der vier Lagen der Antireflexbeschichtung wird besonders bevorzugt direkt auf das Substrat aufgebracht. The sequence of the four layers of the antireflection coating is particularly preferably applied directly to the substrate.
Demgemäß grenzt die Substratoberfläche direkt an die Sequenz der vier Lagen der Antireflexbeschichtung an. Accordingly, the substrate surface directly adjoins the sequence of the four layers of the antireflective coating.
Auf der Antireflexbeschichtung kann gemäß einer besonders bevorzugten Weiterbildung der Erfindung eine fluororganische Schicht aufgebracht sein. Insbesondere kann eine solche Schicht auch als Monolage fluororganischer Moleküle ausgebildet sein, bevorzugt mit einer Schichtdicke von 1 nm bis 20 nm, besonders bevorzugt mit einer Schichtdicke von 1 nm bis 10 nm. Bei der fluororganischen Schicht kann es sich beispielsweise um eine oleophobe Beschichtung handeln On the antireflection coating according to a particularly preferred embodiment of the invention, a fluoroorganic layer can be applied. In particular, such a layer can also be formed as a monolayer of fluoroorganic molecules, preferably with a layer thickness of 1 nm to 20 nm, particularly preferably with a layer thickness of 1 nm to 10 nm. The fluoroorganic layer can be, for example, an oleophobic coating
Es hat sich gezeigt, dass ein Schichtsystem, bei dem auf eine Antireflexionsbeschichtung mit einer dicken, oberen Hartstoffschicht, insbesondere mit der größten Schichtdicke der Antireflexionsbeschichtung, noch eine zusätzliche fluororganische Schicht hinzugefügt ist, nicht nur wirksam ist, Fingerabdruckauffälligkeiten zu reduzieren oder sich leicht reinigen zu lassen, sondern dass das derart beschichtete, chemisch vorgespannte Glassubstrat und damit das erfindungsgemäße Element insbesondere die Vermeidung von Kratzern unterstützt. It has been found that a layer system in which an additional fluoroorganic layer is added to an antireflection coating with a thick, upper layer of hard material, in particular with the largest layer thickness of the antireflection coating, is not only effective in reducing fingerprinting or cleaning easily let, but that the thus coated, chemically toughened glass substrate and thus the element according to the invention supports in particular the avoidance of scratches.
Dies wird darauf zurückgeführt, dass die zusätzliche fluororganische Schicht vermutlich den Reibwert der Oberfläche so reduziert, dass eine Schädigung der Oberfläche geringer ausfällt. This is attributed to the fact that the additional fluoroorganic layer presumably reduces the coefficient of friction of the surface so that damage to the surface is less pronounced.
Um die Antireflexbeschichtung gemäß der Erfindung abzuscheiden, wird vorzugsweise Sputtern, insbesondere reaktives Sputtern eingesetzt. In order to deposit the antireflection coating according to the invention, it is preferable to use sputtering, in particular reactive sputtering.
Die Erfindung wird nachfolgend genauer anhand der Figuren und anhand von Ausführungsbeispielen erläutert. In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder ähnliche Schichten. The invention will be explained in more detail below with reference to the figures and exemplary embodiments. In the figures, like reference characters designate the same or similar layers.
Es zeigen: Show it:
Die Antireflexbeschichtung
Die unterste der vier Lagen
Ohne Beschränkung auf das spezielle Ausführungsbeispiel der
Die vier Lagen
Die Bezeichnungen „niedrigerer Brechungsindex“ und „höherer Brechungsindex“ gelten relativ zu den angrenzenden Lagen. Eine Lage mit niedrigerem Brechungsindex grenzt folglich an eine Lage (wenn die niedrigbrechende Lage das Schichtsystem abschließt) oder an zwei Lagen (wenn die niedrigbrechende Lage an beiden Grenzflächen an weitere Lagen des Schichtsystems angrenzt) mit höherem Brechungsindex an. The terms "lower refractive index" and "higher refractive index" apply relative to the adjacent layers. A layer with a lower refractive index consequently adjoins one layer (when the low-index layer completes the layer system) or two layers (when the low-index layer adjoins other layers of the layer system at both interfaces) with a higher refractive index.
Das Substrat
Es zeigt sich, dass eine gute Anbindung der ersten Hartstoffschicht an das Substrat erzielt werden kann, wenn es sich um eine oxidische Hartstoffschicht handelt (beispielsweise ZrO2 oder ein Zr-Si-Mischoxid, d.h. ein Gemisch aus ZrO2 und SiO2 oder ein Mischoxid mit ZrO2 und Al2O3) oder wenn es sich bei der ersten Hartstoffschicht um ein sauerstoffhaltiges Nitrid in Form eines Oxinitrides handelt. Geeignete Oxinitride sind beispielsweise Siliziumoxinitrid (SiOxNy) oder Aluminiumoxinitrid (AlOxNy) oder Silizium-Aluminium-Oxinitrid (Si AlOxNy). It can be seen that a good bonding of the first hard material layer to the substrate can be achieved if it is an oxidic hard material layer (for example ZrO 2 or a Zr-Si mixed oxide, ie a mixture of ZrO 2 and SiO 2 or a mixed oxide with ZrO 2 and Al 2 O 3 ) or when the first hard material layer is an oxygen-containing nitride in the form of an oxynitride. Suitable oxynitrides are, for example, silicon oxynitride (SiO x N y ) or aluminum oxynitride (AlO x N y ) or silicon aluminum oxynitride (Si AlO x N y ).
Diese genannten Materialien, ZrO2 bzw. ein Gemisch aus ZrO2 und SiO2 oder Al2O3) und Oxinitride von Silizium oder Aluminium oder einem Gemisch aus Aluminium und Silizium werden für die unterste Lage mit höherem Brechungsindex besonders bevorzugt. ZrO2 kann beispielsweise mit einer TiO2-Lage als weiterer, bzw. oberer Lage mit höherem Brechungsindex kombiniert werden. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, für die untere Lage mit höherem Brechungsindex ein Titan enthaltendes Oxid, beispielsweise ein Mischoxid mit Titan und einem weiteren Element zu verwenden. Eine Möglichkeit ist ein Titan/Silizium-Mischoxid. Eine bevorzugte Variante eines erfindungsgemäßen Antireflex-Systems sieht die Verwendung einer ZrO2-Lage als oberste Lage mit höherem Brechungsindex vor in Kombination mit einem Mischoxid aus Zirkonium und Silizium oder Zirkonium und Aluminium oder Zirkonium und Silizium und Aluminium als unterer Lage
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung ist daher die unterste, dem Substrat
Jedenfalls sind die beiden Lagen
Dabei können beide Lagen
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung basiert dabei darauf, dass beide Lagen
Im Falle einer Oxinitridschicht zeigt sich, dass eine ausreichende Haftung der Schicht bereits bei einem niedrigen Sauerstoffanteil von etwa 5–10 Atomprozent im Vergleich zu Stickstoff erzielt werden kann. Mit anderen Worten liegt gemäß dieser Ausführungsform der Erfindung der Gehalt von Sauerstoff zu Stickstoff in der untersten Lage
Allgemein, ohne Beschränkung auf die Ausführungsbeispiele kann in allen siliziumhaltigen Schichten neben Silizium auch Aluminium enthalten sein. Vorzugsweise ist in den oberen drei Lagen, also den Lagen
Für die unterste Lage
Die Kratzbeständigkeit der Antireflexbeschichtung kann weiter verbessert werden, indem auf eine erfindungsgemäße Antireflexbeschichtung
Die erhöhte Kratzbeständigkeit wird darauf zurückgeführt, dass die zusätzliche fluororganische Schicht vermutlich den Reibwert der Oberfläche so reduziert, dass eine Schädigung der Oberfläche geringer ausfällt. The increased scratch resistance is attributed to the fact that the additional fluoroorganic layer presumably reduces the coefficient of friction of the surface so that damage to the surface is less pronounced.
Bei dem Ausführungsbeispiel der
Als Lagen
Beim Ausführungsbeispiel der
Als Ausgangspunkt zur Verdeutlichung der Erfindung dient als Beispiel ein Abdeckglas mit einer aus dem Stand der Technik bekannten Antireflexbeschichtung mit der Schichtabfolge Glas/Si3N4/SiO2/Si3N4/SiO2. Dementsprechend wird auf einer Glasscheibe als Substrat
Ein optimaler Fall gleichmäßiger Reflektion liegt beispielsweise vor, wenn für das Substrat
In diesem Fall lässt sich ein Farbort gemäß CIE-Lab auf dem reinen Glas ohne Dekor, beziehungsweise ohne lichtabsorbierende Beschichtung
Weicht man in den Schichtdicken um + 1nm ab (16nm (Lage
Mit einem schwarzen Dekor, beziehungsweise im Bereich einer wie in
Die Farbwerte des optimalen Falls liegen hier bei:
a = –0,2, b = 2,1 (Messwert
a = 1,7 und b = –0,7 (Messwert
a= –2,6 und b = 4,6 (Messwert
a = -0.2, b = 2.1 (measured value
a = 1.7 and b = -0.7 (measured value
a = -2.6 and b = 4.6 (measured value
Diese stärkere Schwankung und Abhängigkeit von der Schichtdicke ist auf den durch das Dekor ausgeblendeten Rückseitenreflex zurück zu führen. Im Falle des reinen Glases reflektiert dessen Rückseite etwa 4% (gleichmäßig über den Wellenlängenbereich des sichtbaren Lichtes) und trägt damit etwa zehnmal so viel zum Gesamtreflex bei wie die entspiegelte Vorderseite (ca. 0,5%). Die durch die Schichtdickenschwankung hervorgerufenen Farbortvariationen werden durch die Rückseite "überstrahlt" und sind weniger auffällig. Im Falle eines schwarzen Rückseitendekors wird der Rückseitenreflex nahezu unterdrückt. Somit wird der Farbort fast ausschließlich durch die Antireflexbeschichtung
Die Messwerte
Die erste Schicht der erfindungsgemäßen Antireflexbeschichtungen
Die Messwerte
Ein konkretes Beispiele für ein erfindungsgemäßes Antireflexsystem mit gegenüber dem Stand der Technik aufgebauten AR-Systemen geringerer Farbortschwankung bei Schichtdickenschwankung ist in folgender Tabelle aufgeführt:
Auch diese Antireflexbeschichtungen
Im vorliegenden Fall wurde für die unterste Lage
Ein mögliches Beispiel für den Aufbau eines erfindungsgemäßen AR-Systems aus den zuvor genannten Materialien SiOxNy, SiO2 und TiO2 ist exemplarisch in folgender Tabelle gegeben:
Es ergibt sich ein ähnliches Bild wie bei den Beispielen der
Gute Entspiegelungseigenschaften können auch noch erzielt werden, wenn die oben angegebenen Schichtdicken jeweils um 10% abweichen. Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung betragen daher die Schichtdicken für die unterste Lage
Anhand dieser Beispiele wird deutlich, dass es günstig ist, wenn ein gewisser Mindestunterschied der Brechungsindizes der beiden Lagen
Nach unten hin wird dieser Unterschied durch den Brechungsindex der Lagen mit niedrigerem Brechungsindex begrenzt. Je nach verwendeten Materialien im Aufbau des Antireflex-Systems sind hierbei für die unterste Lage
Der Brechungsindex der Schicht
Bei dem dargestellten Beispiel handelt es sich um ein mobiles Gerät in Form eines Tablet-PCs. In gleichem Maße geeignet ist die Erfindung auch für Mobiltelefone, insbesondere sogenannte Smart-Phones, mobile Navigationsgeräte und mobile Medienwiedergabegeräte, wie insbesondere Musik- und Videoabspielgeräte, sowie für Smartwatches. The example shown is a mobile device in the form of a tablet PC. To the same extent, the invention is also suitable for mobile phones, in particular so-called smart phones, mobile navigation devices and mobile media players, in particular music and video players, and for smart watches.
Besondere mechanische Belastungen treten bei solchen Geräten insbesondere auch dann auf, wenn die Geräte mit einer Benutzerschnittstelle mit einem berührungsempfindlichen Bildschirm ausgestattet sind, so dass die Seite
Häufig soll das Abdeckglas der elektronischen Anzeige nicht vollständig transparent sein, sondern, wie auch anhand der
Es ist dem Fachmann ersichtlich, dass die Erfindung nicht auf die Ausführungsbeispiele, wie sie in den Figuren dargestellt sind, beschränkt ist, sondern vielmehr vielfältig im Rahmen des Gegenstands der Patentansprüche variiert werden kann. Insbesondere können die Merkmale der einzelnen Ausführungsbeispiele auch miteinander kombiniert werden. So kann für ein mobiles elektronisches Gerät
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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