KR20170031043A - Scratch resistant anti-reflective coating - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 일반적으로 광간섭 코팅에 관한 것이다. 더 구체적으로, 본 발명은 내스크래치성이 높은 반사 방지 코팅에 관한 것이다.The present invention relates generally to optical interference coatings. More specifically, the present invention relates to an anti-reflective coating having high scratch resistance.
스마트폰 또는 태블릿 PC 등의 휴대용 전자 디바이스의 디스플레이를 위한 화학적 강화 유리는 공지되어 있다. 통상적으로, 그러한 디스플레이의 커버 유리로서 알루미노실리케이트 유리가 사용된다. 이러한 알루미노실리케이트 유리는 전형적으로 파장 550 nm에서 1.5 초과의 굴절률을 갖는다.Chemical tempered glasses for display of portable electronic devices such as smart phones or tablet PCs are known. Aluminosilicate glass is typically used as the cover glass of such a display. Such aluminosilicate glasses typically have a refractive index above 1.5 at a wavelength of 550 nm.
또한, 영상 디스플레이용 커버 유리를 화학적으로 강화시키는 것도 공지되어 있고 통상적으로 실시되고 있다. 유리의 Na 이온이 염욕으로부터의 칼륨 이온으로 교환되는 동안의 화학적 강화로 인해, 표면 부근의 몇 마이크로미터 두께의 영역에 칼륨 이온이 농축된다. 그곳에서의 칼륨 함량은 수 질량% 이하의 범위이다. 화학적 강화에 의해 굽힘 강도 및 내스크래치성의 증가가 달성된다. 그러나, 일반적인 제품은 단기간 사용한 후에도, 스크래치 형태의 표면 손상이 확인된다. 압축 사전 응력이, 스크래치에 의해 생긴 균열이, 예를 들어 확산되는 것을 방지하거나 늦추기 때문에, 화학적 강화가, 유리가 굽힘 응력에 노출될 때 쉽게 파괴되는 것을 막는다고 해도, 스크래치가 방지되는 것은 아니다.It is also known and commonly practiced to chemically strengthen the cover glass for image display. Because of the chemical strengthening during which Na ions in the glass are exchanged for potassium ions from the bath, potassium ions are concentrated in the area of several micrometers thick near the surface. The potassium content therein is in the range of several mass% or less. An increase in bending strength and scratch resistance is achieved by chemical strengthening. However, a scratch type surface damage is confirmed even after a short use of a general product. Scratching is not prevented even if the pre-stress compressive prevents the glass from being easily broken when the glass is exposed to the bending stress because the pre-stress prevents or slows down the cracks caused by the scratches, for example, from diffusing.
지문이 생기지 않거나 적어도 아주 쉽게 닦이도록 소유성 또는 소수성 또는 양혐성인 지문 방지 코팅(anti-fingerprint coating; AFP)이 유리에 적용될 수 있다. 오늘날의 제품은 일반적으로 영구적 내성이 아닌 AFP를 갖기 때문에, 쉬운 클리닝 및 지문 자국 현저성 저감 효과는 몇 개월밖에 지속되지 않는다. AFP는, 일반적으로, 광학적 비활성이 되도록 매우 얇게 적용되는 부분적 유기 층이다. 따라서, 제품의 반사율은 주로 유리 표면에 의해 정해진다. 그러므로, 수직 입사에서, 빛의 약 4%가 유리 표면에서 반사되며, 이것은 특히 햇빛 등의 밝은 조건에서 문제가 되고 디스플레이 컨텐츠의 가독성을 제한한다.An anti-fingerprint coating (AFP) can be applied to the glass to prevent fingerprints or at least to be very easy to clean. Because today's products generally have AFP, rather than permanent immunity, the ease of cleaning and tonic effects of fingerprinting lasts only a few months. AFP is generally a partially organic layer that is applied very thinly to be optically inactive. Therefore, the reflectance of the product is mainly determined by the glass surface. Therefore, at normal incidence, about 4% of the light is reflected off the glass surface, which is especially problematic in bright conditions such as sunlight and limits the readability of display content.
반사 방지 코팅은 유리 표면에서의 반사를 방지하기 위한 것으로 알려져 있었다. 구현예에 따라, 반사 방지 코팅은 몇 개의 층으로 이루어지고, 이 층들은 유리 기판의 한면 또는 양면에 적용된다. 제품의 용도에 따라, 반사 방지 시스템의, 기계적으로 안정한, 즉, 내손상성 또는 내스크래치성의 설계가 바람직하다. 광학적 반사 방지 코팅의 종합적 목적은 주로, 전자기 스펙트럼의 가시부의 반사를 균등하게 억제해서, 가능하다면, 불균등한 잔류 반사에 기인하는 색 인식이 생기지 않도록 하는 것이다. 그러한 컬러 뉴트럴 내스크래치성 반사 방지 코팅의 일례가 US 2012/0212826 A1에 개시되어 있다.The antireflective coating is known to prevent reflection on the glass surface. According to an embodiment, the antireflective coating consists of several layers, which are applied to one or both sides of the glass substrate. Depending on the intended use of the product, the design of a mechanically stable, i.e., abrasion-resistant or scratch-resistant, antireflection system is desirable. The overall purpose of optical anti-reflective coatings is primarily to evenly suppress the reflection of the visible portion of the electromagnetic spectrum, if possible, so that no color perception due to uneven residual reflection occurs. An example of such a scratch resistant antireflective coating in a color neutral is disclosed in US 2012/0212826 A1.
휴대폰 커버의 제조 공정 시에, 상기에 언급한 유리에, 사용자를 향하지 않는 쪽의 면, 즉, 커버의 배면에, 일반적으로 흑색 또는 백색의 장식 프린트가 제공될 수 있다. 종종, 제조업체의 회사명이나 제품명이 실버 레터링으로 프린팅된다.During the manufacturing process of the cellular phone cover, the aforementioned glass may be provided with a decorative print, generally black or white, on the side facing away from the user, that is, the back side of the cover. Often, the manufacturer's name or product name is printed with silver lettering.
반사 방지 시스템은, 특히, 특정 파장에서만 아니라, 가시 스펙트럼의 대부분에 대하여 반사를 균등하게 방지하고자 의도된다면, 통상적으로 1개보다 많은 층으로 이루어진다. 2개의 연속 층은 상이한 굴절률을 갖는다. 높은 굴절률을 갖는 층과 낮은 굴절률을 갖는 층이 교대로 존재한다. 파장 의존적 반사율 프로파일은 계면에서의 개개의 반사율의 상호작용의 결과이다. 균일한 컬러 뉴트럴 반사는, 광학층 두께의 완벽 매칭 시퀀스의 결과, 즉, 굴절률과 층 두께의 곱이다. 하나 이상의 층 두께가 변경된다면, 반사 조건 및 그에 따른 반사는, 특히 반사의 색 좌표(color coordinate) 또는 색 위치(color location)를 변화시킬 것이다.An antireflective system typically consists of more than one layer, especially if it is intended to prevent reflection equally, not only at a particular wavelength, but also for most of the visible spectrum. The two continuous layers have different refractive indices. A layer having a high refractive index and a layer having a low refractive index are alternately present. The wavelength dependent reflectance profile is the result of the interaction of the individual reflectances at the interface. The uniform color neutral reflection is the product of the perfect matching sequence of the optical layer thickness, i.e., the product of the refractive index and the layer thickness. If one or more layer thicknesses are changed, the reflection conditions and hence the reflection will change, in particular, the color coordinate or color location of the reflection.
따라서, 예를 들어, 샘플 캐리어의 서로 다른 위치에서 발생할 수 있는 것과 같은, 층 두께의 공정 관련 편차(variation) 또는 생산 로트 간의 편차는, 색 위치에 있어서의 큰 변경을 초래할 수 있다. 층 두께 편차의 강도에 따라, 특히 색 위치에 있어서의 현저한 편차가 유발되어, 생산 수율이 감소될 것이다.Thus, for example, process-related variations in layer thickness or deviations between production lots, such as may occur at different locations of the sample carrier, can result in large changes in color location. The intensity of the layer thickness deviation will cause a significant deviation, especially in the color position, and the production yield will be reduced.
따라서, 본 발명은, 유리 기판에 대한 우수한 접착력, 높은 내스크래치성을 나타내고, 지문 방지 코팅을 위한 좋은 기초가 되고, 특히, 층 두께의 전형적 공정 관련 편차가 있어도 색 위치의 변경을 약간만 나타내는 반사 방지 시스템을 제공하는 것에 기초한 것이다. 본 발명은 구체적으로 4개 층을 갖는 반사 방지 코팅을 포함하는 투명 부재에 관한 것이다. 이러한 반사 방지 코팅은, 상기 목적을 감안하여, 반사된 빛의 색 위치가 층 두께 편차에 대한 의존성을 적게 나타내도록 설계된다.Therefore, the present invention provides an antireflection coating which exhibits excellent adhesion to a glass substrate, high scratch resistance, provides a good basis for anti-fingerprint coatings, and in particular, exhibits only a slight change in color position even with typical process- System. ≪ / RTI > The present invention relates specifically to a transparent member comprising an antireflective coating having four layers. Such an antireflection coating is designed in such a way that the color position of the reflected light is less dependent on the layer thickness deviation, in view of the above objects.
본 발명에 따른 반사 방지 간섭층 시스템은 고굴절률층과 저굴절률층이 교대로 존재하는 연속체를 포함한다. 따라서, 굴절률이 층에서 층으로 교대로 증감한다. 상기 층 시스템은 적어도 4개의 층을 포함한다. 높은 내스크래치성은 적어도 하나의 고굴절률층에 투명한 경질 재료를 사용하여 달성한다.The antireflection interference layer system according to the present invention includes a continuum in which a high refractive index layer and a low refractive index layer alternate. Thus, the refractive index alternately changes from layer to layer. The layer system comprises at least four layers. High scratch resistance is achieved by using a rigid material that is transparent to at least one high refractive index layer.
4층 반사 방지 코팅에 있어서, 색 위치의 층 두께 의존적 편차의 감소가 2종 초과의 재료를 사용하는 것에 의해 얻어질 수 있다는 것을 발견하였다. 기판 위에 적용되는 제1 고굴절률층은, 다른 고굴절률층의 굴절률 nhigh과 저굴절률층의 굴절률 nlow 사이인, 굴절률 nmedium을 가져야 한다. It has been found that for a four layer antireflective coating, a reduction in layer thickness dependent variation of color location can be obtained by using more than two materials. The first high refractive index layer is applied over the substrate, it should have a refractive index of the other high-refractive-index layer and high refractive index n between the n low in the low refractive index layer, the refractive index n medium.
따라서, 본 발명은, 시트형 부재로서,Accordingly, the present invention provides a sheet-
- 가시 스펙트럼 영역에서 투명한 기판; 및A transparent substrate in the visible spectrum region; And
- 상기 기판 위에 침적된 반사 방지 코팅- an antireflective coating deposited on the substrate
을 포함하며, 상기 반사 방지 코팅은, Wherein the anti-reflective coating
- 굴절률이 층에서 층으로 교대로 증감하여 저굴절률을 갖는 층과 고굴절률을 갖는 층이 교대로 존재하도록 각각의 인접한 층들의 굴절률이 서로 다른 4개의 연속 층- the refractive index is alternately increased or decreased from the layer to the layer so that the refractive indices of the respective adjacent layers are alternately arranged so that the layer having the low refractive index and the layer having the high refractive index alternate,
을 포함하는 것인 시트형 부재를 제공한다.And a sheet-like member.
4개 층 중 최저층은 고굴절률층이고, 그에 따라 인접하는 제2 최저층보다 굴절률이 높다.The lowest layer among the four layers is a high refractive index layer, and thus has a higher refractive index than the adjacent second lowest layer.
상기 4개 층은, 기판에 인접하고 고굴절률을 갖는 최저층의 굴절률이 다른 고굴절률층의 굴절률보다 작도록 3개 이상의 상이한 굴절률을 갖는다.The four layers have three or more different refractive indices such that the refractive index of the lowest layer adjacent to the substrate and having the highest refractive index is smaller than that of the other high refractive index layers.
고굴절률을 갖는 최저층은 바람직하게는 산소 함유 재료로 제조된다. 이러한 특징들로 인해, 시트형 부재는, 특히, 층 두께 편차가 있어도 색 좌표에서 적은 편차를 나타낸다.The lowermost layer having a high refractive index is preferably made of an oxygen-containing material. Because of these features, the sheet-like member exhibits small deviations in color coordinates, especially with a layer thickness deviation.
기판에 인접한 반사 방지 코팅의 최저층은 바람직하게는 산질화물층 또는 산화물층이다. 규소 또는 알루미늄 또는 상기 두 재료의 혼합물을 포함하는 산질화물층이, 이들 재료가 투명성이 높으면서 동시에 경질이기 때문에 특히 적합하며, 코팅 공정 시에 산소 함량을 통해 굴절률이 잘 조정되고 적합화될 수 있다. 일반적으로, 층 조성물에 복수의 성분을 사용하는 것도 가능하다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 최저층이 산질화물 또는 산화물 형태로 3종 이상의 상이한 성분들을 포함하는 것이 고려되며, 그 양은 전체 조성물의 1 원자% 초과이다.The lowest layer of the antireflective coating adjacent to the substrate is preferably an oxynitride layer or an oxide layer. Silicon or aluminum or an oxynitride layer comprising a mixture of the two materials is particularly suitable because these materials are both highly transparent and hard, and the refractive index can be well tuned and adapted through the oxygen content during the coating process. In general, it is also possible to use a plurality of components in the layer composition. For example, according to one embodiment of the present invention, it is contemplated that the bottom layer comprises three or more different components in oxynitride or oxide form, the amount being greater than 1 atomic% of the total composition.
산질화물의 사용은, 규소 산질화물 또는 알루미늄 질화물, 알루미늄 산질화물, 또는 알루미늄과 규소의 혼합물의 질화물 또는 산질화물이 또한 다른 고굴절률 경질 재료층에 사용될 수 있다는 점에서, 다층 반사 방지 코팅 시스템의 제조를 용이하게 한다. 후자의 굴절률이 더 높아야 하기 때문에, 그 산소 함량은 그에 따라 더 적다. 따라서, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 2개의 고굴절률층이 규소 산질화물층 또는 알루미늄 산질화물층 또는 규소 산질화물과 알루미늄 산질화물의 혼합물인 것이 고려되며, 이 때 최저 고굴절률층은 다른 고굴절률층보다 산소 함량이 더 높다.The use of an oxynitride is advantageous in that a nitride or oxynitride of silicon oxynitride or aluminum nitride, aluminum oxynitride, or a mixture of aluminum and silicon can also be used in another high refractive index hard material layer, . Since the refractive index of the latter must be higher, its oxygen content is accordingly less. Therefore, according to one embodiment of the present invention, it is contemplated that the two high refractive index layers are a silicon oxynitride layer or an aluminum oxynitride layer or a mixture of silicon oxynitride and aluminum oxynitride, The oxygen content is higher than the refractive index layer.
스퍼터링법을 이용하여 순수한 산화물층 시스템을 제조하기를 원한다면, 반응성 기체로서 산소만을 사용할 수 있다. 반응성 기체의 혼합물은 배제된다. 그러나, 한 재료의 산화물이 높은 굴절률을 갖고 다른 재료의 산화물이 낮은 굴절률을 갖도록 2종 이상의 재료로 이루어지는 합금 타겟을 이용함으로써, 본 발명에 따른 반사 방지 층 시스템을 제조하는 것이 가능하다. 합금 타겟의 조성을 신중하게 선택함으로써, 산소 함유 처리 분위기 하에 스퍼터링법에 의해 혼합 산화물을 제조하는 것이 가능하고, 이것은 상대적으로 높지만 다른 고굴절률층의 굴절률보다 굴절률이 낮다는 점에서 상기 요건을 충족시킨다. 여기서, 지르코늄과 혼합된 규소 타겟, 또는 지르코늄과 혼합된 알루미늄 타겟을 예로서 언급할 수 있지만, 다른 옵션을 배제하는 것은 아니다.If it is desired to produce a pure oxide layer system using the sputtering method, only oxygen can be used as the reactive gas. Mixtures of reactive gases are excluded. However, it is possible to manufacture an antireflection layer system according to the present invention by using an alloy target composed of two or more materials such that the oxide of one material has a high refractive index and the oxide of another material has a low refractive index. By carefully selecting the composition of the alloy target, mixed oxides can be produced by sputtering under an oxygen-containing processing atmosphere, which satisfies the above requirement in that the refractive index is lower than that of the other high refractive index layers. Here, a silicon target mixed with zirconium, or an aluminum target mixed with zirconium can be mentioned as an example, but other options are not excluded.
앞서 이미 언급한 바와 같이, 2종 초과의 성분을 최저층의 형성에 사용하는 것도 가능하다. 구체적으로, 3종 이상의 상이한 성분들이 산질화물 또는 산화물 형태에 포함될 수 있으며, 그 양은 전체 조성물의 1 원자% 초과에 이른다. 예를 들어, Si 및 Al 이외에도 1종의 추가 성분이 1 이상의 원자%의 비율로 포함될 수 있고 산화물 또는 산질화물 형태로 도입될 수 있다.As already mentioned above, it is also possible to use more than two components in the formation of the lowermost layer. In particular, three or more different components may be included in the oxynitride or oxide form, the amount of which amounts to more than 1 atomic percent of the total composition. For example, in addition to Si and Al, one additional component may be included at a ratio of at least 1 atomic% and may be introduced in the form of an oxide or an oxynitride.
반사 방지 코팅으로 된 4개 층의 연속체를 기판에 직접 도포하는 것이 가장 바람직하다. 따라서, 기판 표면은 반사 방지 코팅의 4개 층의 연속체에 바로 인접한다.It is most preferred to apply the four layer continuum of antireflective coating directly to the substrate. Thus, the substrate surface immediately adjoins a continuum of four layers of anti-reflective coating.
본 발명의 특히 바람직한 실시형태에 따르면, 불소 함유 유기층이 반사 방지 코팅에 도포되어도 좋다. 그러한 층은 특히 불소 함유 유기 분자의 단층으로서, 바람직하게는 1 nm∼20 nm의 층 두께로, 더 바람직하게는 1 nm∼10 nm의 층 두께로 형성될 수 있다. 불소 함유 유기층은 예를 들어 소유성 코팅일 수 있다.According to a particularly preferred embodiment of the present invention, a fluorine-containing organic layer may be applied to the antireflection coating. Such a layer may be formed as a single layer of a fluorine-containing organic molecule, preferably a layer thickness of 1 nm to 20 nm, more preferably a layer thickness of 1 nm to 10 nm. The fluorine-containing organic layer may be, for example, an oleophobic coating.
특히 반사 방지 코팅의 최대 두께를 갖는 두꺼운 상부 경질 재료층을 포함하는 반사 방지 코팅 상에 추가의 불소 함유 유기층이 부가된 층 시스템이, 지문 자국 현저성을 감소시키고 쉬운 클리닝성을 제공할 뿐만 아니라 그렇게 코팅된 화학적 강화 유리 기판과 그에 따른 본 발명의 부재가 특히 스크래치를 방지하는 데 도움이 된다는 것이 확인되었다.A layer system with an additional fluorine-containing organic layer added onto an antireflective coating comprising a thicker top rigid material layer, especially with a maximum thickness of the antireflective coating, reduces fingerprint marks and provides easy cleaning, It has been found that the coated chemically tempered glass substrate and thus the inventive element are particularly helpful in preventing scratches.
이것은 추가의 불소 함유 유기층이 추정컨대 표면의 마찰 계수를 감소시켜서 표면에의 손상이 감소하게 되는 사실에 기인한다고 생각된다.This is believed to be due to the fact that the additional fluorine-containing organic layer reduces the friction coefficient of the surface, presumably reducing the damage to the surface.
본 발명에 따른 반사 방지 코팅을 침적시키기 위해, 바람직하게는 스퍼터링법, 특히 반응성 스퍼터링을 이용한다.In order to deposit the antireflective coating according to the invention, preferably sputtering, in particular reactive sputtering, is used.
이하에서는, 도면을 참조하고 예시적인 실시형태를 이용하여 본 발명을 설명한다. 도면에서, 동일한 도면 부호는 동일하거나 유사한 층을 나타낸다. 이 도면에서,
도 1은 4층 반사 방지 코팅을 갖는 기판을 도시하고;
도 2는 도 1의 실시형태의 변형예를 도시하고;
도 3은 광 흡수 배면 코팅을 갖는 본 발명의 개량예를 도시하고;
도 4는 반사 방지 코팅의 구조 및 광 흡수 배면 코팅의 존부에 따른, 상이한 부재에 대한 색 위치의 편차를 도시하고;
도 5는, SiO2/TiO2 층을 포함하는 반사 방지 코팅 시스템에 대한 색 위치의 편차를 도시하고;
도 6은 전자 디바이스에 있어서의 본 발명의 적용을 도시한다.Hereinafter, the present invention will be described using exemplary embodiments with reference to the drawings. In the drawings, the same reference numerals designate the same or similar layers. In this figure,
Figure 1 shows a substrate having a four-layer antireflective coating;
Fig. 2 shows a modification of the embodiment of Fig. 1;
Figure 3 shows an improved version of the invention with a light absorbing back coating;
Figure 4 shows the deviation of color positions for different members, depending on the structure of the antireflective coating and the presence of the light absorbing back coating;
And Figure 5 shows a variation of the color location of the anti-reflective coating system comprising a SiO 2 / TiO 2 layer;
6 shows the application of the present invention to an electronic device.
도 1은 본 발명에 따른 시트형 부재의 일례를 도시한다. 예시된 특정 예에 한정되는 것은 아니지만, 부재(1)는 일반적으로 가시 스펙트럼 영역에서 투명한 기판(3)과, 기판(1)의 한 면(30) 상에 침적된 반사 방지 코팅(5)을 포함한다.Fig. 1 shows an example of a sheet-like member according to the present invention. Although not limiting to the specific example illustrated, the
반사 방지 코팅(5)은 4개의 연속 층(51, 52, 53, 54)을 포함한다. 개개의 인접 층은 그 굴절률이 서로 다르다. 더 구체적으로, 굴절률이 교대로 증감하도록 굴절률이 층마다 변화한다. 기판(3)을 향해 상부로부터 하부로 층을 지나갈 때, 굴절률은 최고층(54)에서부터 제2 최고층(53)으로 증가하고, 다음 층(52)에서는 감소하고, 다시, 최저층(51)에서는 증가하되, 단, 층(53)의 굴절률 수준보다는 낮게 유지된다.The
4개 층(51, 52, 53, 54) 중 최저층(즉, 층(51))은 고굴절률층이고, 따라서, 인접하는 제2 최저층(52)보다 굴절률이 더 크다.The lowest layer (i.e., layer 51) of the four
도 1의 특정 예시적 실시형태에 한정되는 것은 아니지만, 본 발명에 따른 반사 방지 코팅에 있어서 각각의 임의의 경우에, 그와 같은 4개 층(51, 52, 53, 54)의 연속체가 제공된다. 바람직하게는, 코팅(5)은 광학 활성 층으로서 이들 4개 층만을 포함한다. 그러나, 추가 층이 아래 및/또는 위에, 즉, 이 연속체의 기판 측 상에 존재하는 것도 배제되지 않는다.Although not limiting to the particular exemplary embodiment of FIG. 1, in each case in each case an antireflective coating according to the invention, a continuum of such four
4개 층(51, 52, 53, 54)은, 기판(3)에 인접한 최저 고굴절률층(51)이 다른 고굴절률층(53)의 굴절률보다 작도록 3개 이상의 상이한 굴절률을 갖는다. 최저 고굴절률층(51)은 바람직하게는 산소 함유 재료로 형성된다.The four
용어 "저굴절률(lower refractive index)" 및 "고굴절률(higher refractive index)"은 인접한 층들과 관련하여 사용되는 의미이다. 따라서, 저굴절률층이 하나의 고굴절률층에 인접하여 배치되거나(그 저굴절률층이 층 시스템의 끝일 경우) 2개의 고굴절률층에 인접하게 된다(그 저굴절률층이 층 시스템의 인접한 다른 층들과의 2개 계면을 가질 경우).The terms " lower refractive index "and" higher refractive index "are used in reference to adjacent layers. Thus, a low refractive index layer is disposed adjacent to one high refractive index layer (if the low refractive index layer is the end of the layer system) or adjacent two high refractive index layers, which are adjacent to other layers of the layer system If you have two interfaces.
기판(3)은 무기 산화물 기판, 특히 유리 기판인 것이 가장 바람직하다. 본 발명의 반사 방지 코팅 시스템은 화학적 강화 유리 기판에 특히 적합하다.The
기판에 대한 제1 경질 재료의 우수한 접착력은, 제1 경질 재료가 산화물 경질 재료층(예를 들어, ZrO2, 또는 Zr-Si 혼합 산화물, 즉 ZrO2와 SiO2의 혼합물 또는 ZrO2와 Al2O3의 혼합 산화물)일 경우 또는 제1 경질 재료층이 산질화물 형태의 산소 함유 질화물일 경우에 얻어질 수 있다는 것이 확인되었다. 적절한 산질화물은, 예를 들어, 규소 산질화물(SiOxNy) 또는 알루미늄 산질화물(AlOxNy) 또는 규소 알루미늄 산질화물(SiAlOxNy)을 포함한다.The first high adhesive strength of the hard material on the substrate, the first hard material is an oxide hard material layer (e.g., ZrO 2, or a Zr-Si mixed oxide, that is a mixture of ZrO 2 and SiO 2 or ZrO 2 and Al 2 O 3 ), or it can be obtained when the first hard material layer is an oxygen-containing nitride in the form of an oxynitride. Suitable oxynitrides include, for example, silicon oxynitride (SiO x N y ) or aluminum oxynitride (AlO x N y ) or silicon aluminum oxynitride (SiAlO x N y ).
이러한 상기 재료, 즉 ZrO2, 또는 ZrO2와 SiO2 또는 Al2O3의 혼합물, 및 규소 또는 알루미늄, 또는 알루미늄과 규소의 혼합물의 산질화물이 최저 고굴절률층에 특히 바람직하다. ZrO2가, 예를 들어, 추가의 또는 위쪽의 고굴절률층으로서의 TiO2 층과 조합될 수 있다. 또 다른 옵션은, 아래쪽의 고굴절률층에 티탄 함유 산화물, 즉, 티탄과 추가 원소를 포함하는 혼합 산화물을 사용하는 것이다. 가능한 한 가지 예로 티탄/규소 혼합 산화물이 있다. 본 발명에 따른 반사 방지 시스템의 바람직한 변형예에 따르면, 아래쪽의 고굴절률층(51)으로서의 지르코늄과 규소 또는 지르코늄과 알루미늄 또는 지르코늄과 규소와 알루미늄의 혼합 산화물과 함께, 위쪽의 고굴절률층으로서 ZrO2 층을 사용하는 것이 고려된다.Such materials, such as ZrO 2 , or a mixture of ZrO 2 and SiO 2 or Al 2 O 3 , and an oxynitride of silicon or aluminum, or a mixture of aluminum and silicon, are particularly preferred for the lowest refractive index layer. ZrO 2 is, for example, be combined with a TiO 2 layer as a high refractive index layer of the additional or top. Another option is to use a titanium-containing oxide, that is, a mixed oxide containing titanium and an additional element, in the lower high refractive index layer. One possible example is a titanium / silicon mixed oxide. According to a preferred modification of the antireflection system according to the present invention, zirconium as the lower high
따라서, 본 발명의 바람직한 실시형태에 따르면, 기판(3) 다음의 반사 방지 코팅(5)의 최저층(51)은 산질화물 또는 산화물 층이다. 이 층은, 특히, 원소 규소, 알루미늄, 또는 이들의 혼합물 중 적어도 하나의 산화물 또는 산질화물로 형성된다. 최저 고굴절률층(51)으로서의 산화물층이 알루미늄 및/또는 규소와 함께 티탄 및/또는 지르코늄의 산화물로 형성될 수 있다. 이로써 일반적으로, 화학적 강화 유리 기판에 대해 특히 우수한 접착력이 또한 얻어진다.Thus, according to a preferred embodiment of the present invention, the
어느 경우에나, 2개 층(51, 53)은 고굴절률층이지만, 전술한 바와 같이, 2개 층의 굴절률이 상이하다는 점에서 서로 다르다.In any case, the two
그러나, 2개 층(51, 53)이 동일한 구성성분을, 단, 상이한 조성으로 포함하는 것도 실제로 가능하다. 구성성분이 적어도 부분적으로 동일할 경우, 원칙적으로 두 층을 동일한 제조 공정을 이용하여 침적시킬 수 있고 공정 파라미터를 적합화시키는 것만 필요하기 때문에, 공정이 촉진될 수 있다.However, it is also practically possible that the two
본 발명의 바람직한 실시형태는, 양쪽의 고굴절률층(51, 53)이 규소, 질소, 및 산소를 함유하는 층이고, 이 때 최저 고굴절률층(51)이 다른 고굴절률층(53)보다 더 높은 산소 함량을 갖는다는 특징에 기초한다.The preferred embodiment of the present invention is characterized in that both high refractive index layers 51 and 53 are layers containing silicon, nitrogen and oxygen and the lowest
산질화물층의 경우, 층의 충분한 접착력이, 질소에 대하여 약 5∼10 원자%의 낮은 산소 함량으로 이미 달성된다는 것이 확인되었다. 다시 말해서, 본 발명의 이러한 실시형태에 따르면, 최저층(51)의 질소에 대한 산소 함량이 5 원자% 이상 10 원자% 미만이다. 또 다른 실시형태에 따르면, 산질화물, 바람직하게는 규소 산질화물의 질소에 대한 산소의 함량비(원자%로 제공된 함량)는 0.41∼1.02 범위이다.In the case of an oxynitride layer, it has been found that sufficient adhesion of the layer is already achieved with a low oxygen content of about 5 to 10 atomic% with respect to nitrogen. In other words, according to this embodiment of the present invention, the oxygen content of the
일반적으로, 예시적인 실시형태에 한정되는 것은 아니지만, 모든 규소 함유 층이 규소 이외에도 알루미늄을 포함할 수 있다. 위쪽 3개 층, 즉 층(52, 53, 54)에서, 각각의 경우 원자%로 나타낸 알루미늄의 비율은 바람직하게는 규소의 비율보다 적다. 규소 양에 대한 알루미늄 양의 비는 바람직하게는 0.05 초과, 더 바람직하게는 0.08 초과이며, 다만 이 때, 규소 양이 알루미늄 양보다 많다. 바람직하게는, 규소 양에 대한 알루미늄 양의 비는 약 0.075∼0.5이고, 더 바람직하게는 약 0.1이다.Generally, though not limited to the exemplary embodiment, all silicon-containing layers may comprise aluminum in addition to silicon. In the upper three layers, i.e. layers 52, 53 and 54, the proportion of aluminum in each case in atomic% is preferably less than the proportion of silicon. The ratio of the amount of aluminum to the amount of silicon is preferably more than 0.05, more preferably more than 0.08, but the amount of silicon is more than that of aluminum. Preferably, the ratio of the amount of aluminum to the amount of silicon is about 0.075 to 0.5, more preferably about 0.1.
상기에 제시된 양의 비가, 최저 고굴절률층(51)에도 적용될 수 있지만, 단, Al 및 Si의 양의 임의의 다른 비도 적합하다.The amount ratio given above can also be applied to the lowermost high
반사 방지 코팅의 내스크래치성은 본 발명에 따른 반사 방지 코팅(5) 상에 추가의 불소 함유 유기층(6)을 적용함으로써 더 개선시킬 수 있다. 이러한 불소 함유 유기층은 또한 지문 자국 현저성을 감소시키고 쉬운 클리닝성을 촉진하는 데 유효하다.The scratch resistance of the antireflective coating can be further improved by applying an additional fluorine containing
향상된 내스크래치성은, 추가적인 불소 함유 유기층으로 인해 표면의 마찰 계수가 감소하여 표면 손상이 줄어든 것에 기인하는 것이라고 생각된다.It is believed that the improved scratch resistance is due to a decrease in the surface friction due to the additional fluorine-containing organic layer, resulting in reduced surface damage.
도 2는 도 1의 실시형태의 변형예를 도시한다. 도 1과 도 2 둘 다, 4층 반사 방지 코팅(5)의 제2 최고층(53)인 위쪽의 고굴절률층이 층(51, 52)보다 더 두꺼운 층 두께를 갖는 것인 본 발명의 실시형태의 예를 도시한다.Fig. 2 shows a modification of the embodiment of Fig. Embodiments of the present invention in which both the upper and lower high refractive index layers of the four-
그러나, 도 2의 예시적인 실시형태에서, 제2 최고층(53)의 두께는 도 1에 도시된 예보다 현저히 더 크다. 일반적으로, 고굴절률층 중 하나가 매우 두껍지만 여전히 우수한 반사 방지 특성을 갖는 층 설계를 찾아볼 수 있다. 경질의 고굴절률층 중 하나, 바람직하게는 제2 최고층(53)의 큰 두께는, 층 시스템의 높은 내스크래치성으로 귀결된다. 그러나, 제2 최고층(53)의 두께가 4개 층(51, 52, 53, 54) 전부의 총 두께의 1/2보다 크지 않은 것이 유익한 것으로 확인되었다. 또한 도 2의 예에서 구현되는 또 다른 실시형태에 따르면, 2개의 고굴절률층(51, 53) 사이에 삽입되는 저굴절률층인 층(52)가 4개 층 중 최소 두께를 갖는다. 실제로 이 층은, 층 두께 편차가 있는 경우에도 최소 색 위치 편차를 달성하기 위해 가능한 한 얇게 선택되는 것이 바람직한 것으로 드러났다.However, in the exemplary embodiment of FIG. 2, the thickness of the second
예시적인 특정 실시형태에 한정되는 것은 아니지만, 저굴절률층(52, 54)은 일반적으로 SiO2 층을 포함할 수 있다. 다시 말해서, 4층 반사 방지 코팅(5)에 있어서, 최고층(54) 및 제2 최저층(52)은 이 경우 SiO2로 형성된다. 상대적으로 낮은 굴절률로 인해, 반사 방지 코팅의 계면에서 높은 굴절률 급상승을 얻기 위해서는 규소 산화물이 특히 적합하다. 이러한 규소 산화물층은 바람직하게는 적은 비율의 Al2O3를 포함할 수 있고, 이 때 원자%로 나타낸 규소에 대한 알루미늄의 함량비는 0.05∼0.3 범위, 바람직하게는 약 0.1 범위이다. SiO2에 Al2O3가 이처럼 소량 섞인 것은 단지 굴절률을 아주 약간 증가시킨다.The low refractive index layers 52 and 54 may generally comprise a SiO 2 layer, although the invention is not limited to any particular embodiment. In other words, for the four-
도 2의 예시적인 실시형태에서, 본 발명의 또 다른 실시형태가 구현된다. 이러한 실시형태에 따르면, 최저층(51)의 층 두께는 제2 최저층(52)의 층 두께보다 두껍다. 굴절률 설계와 함께, 층 두께의 이러한 일반적인 관계가 또한, 제조와 관련된 층 두께 편차가 있는 경우에도 반사 방지 효과의 안정성을 개선한다. 이 실시형태는 도 2에 예시된 특정한 층 두께에 독립적이다.In the exemplary embodiment of FIG. 2, another embodiment of the present invention is implemented. According to this embodiment, the layer thickness of the
도 3은 본 발명의 개량예를 도시한다. 이 실시형태에 따르면, 일반적으로, 광 흡수 코팅(7), 바람직하게는 흑색 코팅이 반사 방지 코팅(5)이 제공되는 면(30) 반대쪽의 기판(3)의 면(31)에 도포된다. 이 장식 코팅은 바람직하게는 불투명한 장식으로서의 기능을 하며, 일반적으로, LCD 또는 OLED 디스플레이와 같은 디스플레이가 관찰자에게 보일 수 있는 디스플레이 영역(32)의 프레임을 한정한다. 불투명 장식은 기판(3)의 주변부 어태치먼트와 같은 구성요소들 또는 디스플레이의 주변 영역에 배치된 연결부를 감춘다.Figure 3 shows an improvement of the invention. According to this embodiment, a
본 발명을 예시하기 위한 출발점으로서의 역할을 하는 실시예는, 선행 기술에 공지되어 있는 유리/Si3N4/SiO2/Si3N4/SiO2의 층 연속체를 갖는 반사 방지 코팅이 제공된 커버 유리이다. 따라서, 기판(3)으로서의 유리 시트 상에 먼저 규소 질화물층이 층(51)로서 침적되고, 그 다음으로 SiO2 층이 층(52)로서, 그 다음으로 다른 규소 질화물층(53)이 침적되고, 그 위에 SiO2 층이 반사 방지 코팅의 최고층(54)으로서 침적된다. 도 1에 예시된 바와 같이, 불소 함유 유기층은 반사 방지 코팅(5)의 최고층(54)에 추가로 적용될 수 있다.An embodiment serving as a starting point for illustrating the present invention is a cover glass provided with an antireflective coating having a layer continuum of glass / Si 3 N 4 / SiO 2 / Si 3 N 4 / SiO 2 known in the prior art to be. The silicon nitride layer is first deposited as
도 4는, 반사 방지 코팅(5)의 구조와, 기판(3)의 면(31) 상의 광 흡수 또는 광 차단 코팅(7)의 존부에 따라 달라지는, 상이한 부재(1) 상의 색 위치 편차를 도시한다. 측정값은 괄호 안에 참조 번호를 기재하여 각각 나타낸다.4 shows the color positional deviation on the
예를 들어, 알루미노실리케이트 유리가 기판(3)에 사용될 경우, 균일한 반사의 최적 케이스가 제공되며, 유리로부터 시작하는 층 두께는 다음과 같다:For example, when an aluminosilicate glass is used in the
이 경우, CIE-Lab에 따른 색 위치가, 광 흡수 코팅(7)이 없음을 의미하는 순수한 비장식 유리 상에서 각각 1.0 및 3.7의 좌표 a 및 b로 측정된다(측정값 40). In this case, the color positions according to CIE-Lab are measured at coordinates a and b of 1.0 and 3.7 respectively on a pure non-decorative glass, meaning that there is no light absorbing coating 7 (measured value 40).
층 두께가 +1 nm만큼 변경될 경우(16 nm(층 51), 33 nm(층 52), 133 nm(층 53), 88 nm(층 54)), 색 위치 값 1.5 및 2.8이 확인된다(측정값 41). 층 두께가 1 nm만큼 감소할 경우(14 nm, 31 nm, 131 nm, 86 nm), a 및 b는 각각 0.1 및 4.7로 확인된다. 상기에 언급한 3개의 측정값(40, 41, 42)은 도 4에 삼각형 기호로 표시된다.When the layer thickness is changed by +1 nm (16 nm (layer 51), 33 nm (layer 52), 133 nm (layer 53), 88 nm (layer 54)), color position values of 1.5 and 2.8 are identified Measured value 41). When the layer thickness decreased by 1 nm (14 nm, 31 nm, 131 nm, 86 nm), a and b were found to be 0.1 and 4.7, respectively. The above-mentioned three measured values (40, 41, 42) are indicated by triangular symbols in Fig.
흑색 장식 코팅을 갖거나, 도 3에 도시된 바와 같이 커버 유리의 배면 상에 광 흡수 코팅(7)을 갖는 부위에서는, 동일한 코팅의 경우에도 색 위치 값이 현저히 큰 편차를 나타낸다. 해당 측정값(43, 44, 45)은 다이아몬드 기호로 표시된다. 또한, 오프 상태, 이 경우 어두운 상태, 그리고, 예를 들어 어두운 배경의 경우와 같은 온 상태의 디스플레이의 어두운 영역의 디스플레이에 있어서 더 강한 색 위치 편차가 발생한다.In a region having a black decorative coating or having a
이 경우, 최적 케이스의 색가는 다음과 같다: a = -0.2, b = 2.1(측정값 43); In this case, the color of the best case is: a = -0.2, b = 2.1 (measured value 43);
+1 nm 층 두께의 경우: a = 1.7 및 b = -0.7(측정값 44); For +1 nm layer thickness: a = 1.7 and b = -0.7 (measured value 44);
-1 nm 층 두께의 경우: a = -2.6 및 b = 4.6(측정값 45).For the -1 nm layer thickness: a = -2.6 and b = 4.6 (measured value 45).
이러한 더 큰 편차와 층 두께에 대한 의존성은, 장식 코팅에 의해 억제되는 배면 반사의 결여에 기인할 수 있다. 순수한 유리의 경우, 약 4%가 그 배면으로부터 다시 반사되고(가시광의 파장 영역에 걸쳐 균일하게), 이것은 반사 방지 전면(약 0.5%)의 약 10배로 총 반사에 기여한다. 층 두께 편차에 의해 유발되는 색 위치의 편차가 배면에 의해 "능가"되어, 덜 현저해진다. 흑색 배면 장식의 경우, 배면 반사가 거의 억제된다. 따라서, 색 위치는 반사 방지 코팅(5)에 의해 거의 전적으로 결정되며, 층 두께 편차에 의해 유발되는 색 위치 편차가 더 큰 비중을 갖는다.This greater deviation and dependence on layer thickness can be attributed to a lack of back reflection which is suppressed by the decorative coating. In the case of pure glass, about 4% is reflected back from the back side (uniform over the wavelength range of visible light), which contributes to total reflection at about 10 times the antireflective front (about 0.5%). The deviation of the color position caused by the layer thickness deviation is "surpassed" by the backside, becoming less noticeable. In the case of black backing, the back reflection is almost suppressed. Thus, the color position is almost entirely determined by the
비교를 위한 것으로, 측정값(60∼62)(X 기호) 및 63∼65(사각형 기호)는 동일한 층 두께 편차를 나타내는 본 발명에 따른 반사 방지 코팅(5)의 계산된 색 위치 편차이다.For comparison, the measured
각각의 경우, 본 발명의 반사 방지 코팅(5)의 제1 층은, 산소 대 질소 비, 즉 O/N이, 550 nm에서 약 1.71의 굴절률이 얻어지도록 조정되는, 산소 함유 규소 질화물층이다. Si3N4 쪽으로 굴절률이 높을 때, 색 위치 편차가 증가한다. SiOxNy에 과잉 산소가 있는 경우, 4층 반사 방지 코팅은 우수한 반사 방지 조건을 더 이상 나타내지 않는다. 일반적으로, 최저층(51)의 조성에 제한이 있는 것은 아니지만, 최저 고굴절률층(51)의 굴절률이 1.665∼1.795인 것이 유익하다. 이 경우 굴절률이 1.790보다 작은 것이 더 바람직하고, 1.785보다 작은 것이 가장 바람직하다.In each case, the first layer of the
측정값 60∼62는 장식 코팅이 없는 유리 기판에 관한 것이며, 따라서, 측정값 40, 41, 42에 비교할 수 있다. 동일한 층 두께 편차를 갖는 본 발명의 층 시스템에 있어서, 색 위치들이, 유사한 고굴절률층을 포함하는 반사 방지 코팅에 대한 것보다 현저히 서로 더 가깝다. 광 흡수 코팅(7)을 갖는 영역에서, 재료 및 굴절률 면에서 상이한 고굴절률층(51, 53)을 포함하는 본 발명의 반사 방지 코팅(5)에 대해, 색 위치 편차(측정값 63∼65)가 또한 증가한다. 그러나 이 경우에도, 색 위치의 편차는 재료 및 굴절률이 유사한 고굴절률층(51, 53)을 갖는 반사 방지 코팅에 대한 것보다 현저히 더 적다.Measurements 60-62 are for glass substrates without decorative coatings and thus can be compared to
층 두께 편차가 있는 경우 선행 기술 AR 시스템보다 더 적은 색 위치 편차를 나타내는 본 발명의 반사 방지 시스템의 구체적인 예를 하기 표에 기재한다:Specific examples of antireflective systems of the present invention that exhibit less color position deviations than prior art AR systems with layer thickness variations are described in the following table:
도 5는, TiO2/SiO2에 기초한 반사 방지 코팅을 갖는 기판으로부터의 광 반사의 색 위치를 도시한다. 색 위치는 역시 그 배면 상에 광 흡수 코팅(7)이 제공된 시트형 부재(1)에 대해 계산된 것이었다.Figure 5, shows a color location of the light reflected from the substrate having an anti-reflection coating based on TiO 2 / SiO 2. The color position was also calculated for the sheet-
또한, 이들 반사 방지 코팅(5) 각각은 4개 층을 포함한다. 고굴절률층(51, 53)에 대해서는, 도 5에 나타낸 색 위치 값(46, 47, 48)의 경우 이산화티탄층(TiO2)이 사용되었다. 색 위치 값(66, 67, 68)은, 코팅의 4개 층(51, 52, 53, 54)이, 기판(3) 다음의 최저 고굴절률층(51)이 다른 고굴절률층(53)의 굴절률보다 작도록 적어도 3가지의 상이한 굴절률을 갖는, 본 발명에 따른 코팅(5)에 속하며, 이 때 최저 고굴절률(51)은 산소 함유 재료로 형성된다.In addition, each of these
본 발명의 경우, SiOxNy, 즉, 약 1.77의 굴절률을 갖는 산소 함유 규소 질화물을 최저층(51)에 선택하였다. 이와는 달리, 순수한 규소 질화물은 약 n = 2의 굴절률을 갖는다. 값이 1.77인 경우, 층(51)의 굴절률은 SiO2의 값(즉, 층(52, 54)의 굴절률)과 TiO2의 값(즉, 층(53)의 굴절률) 사이이다.For the present invention, an oxygen-containing silicon nitride having a refractive index of SiO x N y , i.e., about 1.77, was selected for the
상기에 언급한 재료 SiOxNy, SiO2, 및 TiO2로 제조된, 본 발명에 따른 AR 시스템의 구조에 대한 가능한 한 가지 예가, 하기 표에 예로서 제시된다.Possible examples of the structure of the AR system according to the invention, made of the abovementioned materials SiO x N y , SiO 2 , and TiO 2 , are given as examples in the table below.
이 결과는 도 4의 예에 대한 것과 유사하다. 4층 AR 시스템에 단 2가지의 굴절률이 사용될 경우(색 위치 값 46, 47, 48), 층의 ± nm의 층 두께 편차에 대한 색 위치의 편차는, 3가지의 굴절률(색 위치 값 66, 67, 68)이 사용되고, 이들이 상기에 기재된 바와 같이 기판으로부터 볼 때 nmedium, nlow, nhigh, nlow의 순서로 배열되는 경우보다 크다. 도 2에 도시된 예에서, 층 두께의 관계는 상기 표의 값에 상응한다.This result is similar to the example of Fig. If only two refractive indices are used in the 4-layer AR system (color position values 46, 47 and 48), the deviation of the color position with respect to the layer thickness deviation of the layer +/- nm results in three refractive indices (color position values 66, 67, and 68 are used, and they are larger than when they are arranged in the order of n medium , n low , n high , and n low as viewed from the substrate as described above. In the example shown in Fig. 2, the relationship of the layer thickness corresponds to the value of the above table.
상기에 기재된 층 두께가 10% 벗어난 경우에도 우수한 반사 방지 특성을 얻을 수 있다. 그러므로, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 층 두께가 최저층(51)의 경우 61±6.1 nm이고, 제2 최저층(52)의 경우 10±1 nm이며, 위쪽 고굴절률층(53)의 경우 102±10.2 nm이고, 최고층(54)의 경우 89±8.9 nm이다.Excellent antireflection characteristics can be obtained even when the layer thickness described above is deviated by 10%. Therefore, according to one embodiment of the present invention, the layer thickness is 61 ± 6.1 nm for the
이러한 실시예들로부터, 2개의 고굴절률층(51, 53)은 굴절률에 일정한 최소 차이를 갖는 것이 유리하다는 것이 명백하다. 일반적으로, 도면을 참조하여 설명한 실시예에 한정되는 것은 아니지만, 본 발명의 개량예에 따르면, 반사 방지 코팅(5)의 4개 층(51, 52, 53, 54) 중 최저층(51)의 굴절률이 1.79보다 작고 동시에 인접 층(52)이 1∼20 nm, 바람직하게는 5∼15 nm의 두께를 갖도록 조정되어야 하는 것이 고려된다. 층(52)의 작은 층 두께가, 층 두께를 변화시킬 때, 색 위치의 편차에 대한 AR 시스템의 민감성을 감소시키는 데 특히 유효한 것으로 확인되었다. 따라서, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 2개의 고굴절률층(51, 53) 사이에 배치되고 제2 최저층을 구성하는 저굴절률층(52)의 두께가 20 nm 미만, 바람직하게는 18 nm 미만, 더 바람직하게는 15 nm 미만인 것이 고려된다.It is clear from these embodiments that it is advantageous for the two high refractive index layers 51 and 53 to have a constant minimum difference in refractive index. In general, although not limited to the embodiments described with reference to the drawings, according to an improved embodiment of the present invention, the refractive index of the
굴절률 차이의 하한은 저굴절률층의 굴절률에 의해 제공된다. 반사 방지 시스템의 구조에 사용되는 재료에 따라, 여기서는, 최저층(51)의 굴절률이 1.66 이상인 것이 바람직하다.The lower limit of the refractive index difference is provided by the refractive index of the low refractive index layer. Depending on the material used in the structure of the antireflection system, the refractive index of the
따라서, 층(51)의 굴절률은 바람직하게는 1.66∼1.79 범위이다.Therefore, the refractive index of the
도 6은 본 발명의 전형적인 적용예를 도시한다. 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 예시된 실시예에 한정되는 것은 아니지만, 휴대용 전자 디바이스(20)에 전자 디스플레이(21), 바람직하게는 매트릭스 디스플레이 또는 화소 조절 디스플레이가 제공되고, 전자 디바이스(20)는, 전자 디스플레이(21)를 커버하는 본 발명에 따른 시트형 부재(1)를 포함하며, 이 때 시트형 부재(1)의, 반사 방지 코팅(5)이 제공된 면(30)이 외측을 향한다. 이러한 방식으로, 반사 방지 코팅(5)은 한편으로 교란하는 광반사를 감소시키고 다른 한편으로 외적인 기계적 충격으로 인한 스크래칭으로부터 보호하는 데 유효할 수 있다.Figure 6 shows an exemplary application of the present invention. According to an embodiment of the present invention, an
예시된 실시예는 태블릿 PC 형태의 휴대용 디바이스이다. 본 발명은 또한 휴대폰, 특히 소위 스마트폰, 휴대용 네비게이션 디바이스 및 휴대용 미디어 플레이어, 예컨대 특히 뮤직 및 비디오 플레이어와, 또한 스마트워치에도 적합하다.The illustrated embodiment is a portable device in the form of a tablet PC. The invention is also suitable for mobile phones, particularly so-called smart phones, portable navigation devices and portable media players such as music and video players in particular, as well as smartwatches.
이와 같은 디바이스는, 특히 디바이스에 터치 감응 스크린을 비롯한 유저 인터페이스가 장착될 경우 특정 기계적 응력에 노출되어, 본 발명에 따른 부재(1)의 반사 방지 코팅(5)을 갖는 면(30)이 동시에 인터페이스의 오퍼레이팅 면을 구성한다. 특히, 본 발명의 이러한 실시형태에서는, 상기에 언급되고 도 1의 실시예에 도시된 불소 함유 유기층(6) 형태의 추가 코팅이 유익하다.Such a device is particularly susceptible to mechanical stresses when the device is equipped with a user interface including a touch sensitive screen so that the
도 3을 참조하여 위에서 설명한 바와 같이, 전자 디스플레이의 커버 유리가 완전히 투명한 것이 아니라 오히려 특정 부위를 감추는 것이 종종 바람직하다. 이러한 목적을 위해, 부재(1)의 주변부를 커버하고 전자 디스플레이(21)의 프레임을 제공하는 광 흡수 코팅(7)이 제공된다. 특히, 광 차단 코팅이 제공된, 도 6에 흑색으로 예시된 이러한 주변부에 있어서, 도 4 및 5의 실시예에 의해 입증된 바와 같이, 색 위치의 편차가 특히 명백히 가시적이다. 실제로, 반사 방지 코팅(5)으로 인해, 광 반사 자체는 매우 약하다. 그러나, 광 흡수 코팅으로 인해, 어두운 배경은 높은 컨트라스트를 유발하여, 더욱 더 약한 광 반사가 인식되어질 것이다. 본 발명에 따른, 반사 방지 코팅(5)의 설계는, 잔류 가시광이 균일한 색으로 나타나도록 확실히 한다.As described above with reference to Fig. 3, it is often desirable that the cover glass of the electronic display is not completely transparent, but rather hides a particular area. For this purpose, there is provided a
본 발명은 도면에 예시된 예시적인 실시형태에 한정되는 것은 아니고 청구범위의 대상의 범위 내에서 변경될 수 있다는 것이 당업자에게 명백할 것이다. 특히, 개개의 예시적 실시형태의 특징들이 조합될 수 있다. 예를 들어, 휴대용 전자 디바이스(20)의 경우, 도 1에 도시된 코팅과 도 2의 실시예의 추가 특징이 둘 다 이용될 수 있다. 예시된 실시형태 각각에 불소 함유 유기 코팅(6)이 제공될 수 있다. 이 옵션이 더 분명히 바람직하다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention is not limited to the exemplary embodiments illustrated in the drawings but may be varied within the scope of the subject matter of the claims. In particular, the features of the individual exemplary embodiments may be combined. For example, in the case of the portable
Claims (17)
- 가시 스펙트럼 영역에서 투명한 기판(3); 및
- 상기 기판(1) 위에 침적된 반사 방지 코팅(5)
을 포함하며, 상기 반사 방지 코팅(5)은
- 굴절률이 층에서 층으로 교대로 증감하여 저굴절률층(52, 54)과 고굴절률층(51, 53)이 교대로 존재하도록 각각의 인접한 층의 굴절률이 서로 다른 4개의 연속 층(51, 52, 53, 54)
을 포함하고, 여기서,
- 4개 층(51, 52, 53, 54) 중 최저층(51)은 인접한 제2 최저층(52)보다 굴절률이 큰 고굴절률층이고;
- 4개 층(51, 52, 53, 54)은, 기판(3)에 인접한 최저 고굴절률층(51)의 굴절률이 다른 고굴절률층(53)의 굴절률보다 작도록 3개 이상의 상이한 굴절률을 가지며, 최저 고굴절률층(51)은 산소 함유 재료로 제조되고,
이로써 상기 시트형 부재(1)는, 특히, 층 두께 편차가 있어도 색 위치에 있어서 작은 편차를 나타내는 것인 시트형 부재(1).As the sheet-like member 1,
A transparent substrate 3 in the visible spectrum region; And
- an antireflective coating (5) deposited on the substrate (1)
, The anti-reflection coating (5) comprising:
Refractive index layers 52 and 54 and high refractive index layers 51 and 53 are alternately arranged so that the refractive indexes of the adjacent layers 51 and 52 are different from each other such that the refractive indexes of the adjacent layers 51 and 52 , 53, 54)
, ≪ / RTI >
The lowest layer 51 of the four layers 51, 52, 53 and 54 is a high refractive index layer having a higher refractive index than the adjacent second lowest layer 52;
The four layers 51, 52, 53 and 54 have three or more different refractive indices such that the refractive index of the lowermost high refractive index layer 51 adjacent to the substrate 3 is smaller than the refractive index of the other high refractive index layer 53 , The lowermost high refractive index layer 51 is made of an oxygen-containing material,
Thus, the sheet-like member 1 exhibits, in particular, a small deviation in color position even when there is a layer thickness deviation.
4개의 연속 층 중 최저층(51)에 대해 61±6.1 nm,
4개의 연속 층 중 제2 최저층(52)에 대해 10±1 nm,
4개의 연속 층 중 위쪽의 고굴절률층(53)에 대해 102±10.2 nm,
4개의 연속 층 중 최고층(54)에 대해 89±8.9 nm.14. The sheet-like member (1) according to any one of claims 1 to 13, wherein the antireflective coating (5) has a layer thickness as follows:
61 ± 6.1 nm for the lowest layer 51 among the four continuous layers,
10 < RTI ID = 0.0 > 1 < / RTI > nm for the second lowest layer 52 of the four consecutive layers,
The refractive index of the upper high refractive index layer 53 of the four consecutive layers was 102 ± 10.2 nm,
89 ± 8.9 nm for the top layer 54 of the four continuous layers.
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