DE102014215184A1 - Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln Download PDF

Info

Publication number
DE102014215184A1
DE102014215184A1 DE102014215184.8A DE102014215184A DE102014215184A1 DE 102014215184 A1 DE102014215184 A1 DE 102014215184A1 DE 102014215184 A DE102014215184 A DE 102014215184A DE 102014215184 A1 DE102014215184 A1 DE 102014215184A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
plasma
magnetic
magnetic nanoparticles
coating
cooling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102014215184.8A
Other languages
English (en)
Inventor
Andreas Kanitz
Marek Maleika
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Healthcare GmbH
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE102014215184.8A priority Critical patent/DE102014215184A1/de
Priority to PCT/EP2015/067714 priority patent/WO2016016444A1/de
Publication of DE102014215184A1 publication Critical patent/DE102014215184A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/26—Plasma torches
    • H05H1/32—Plasma torches using an arc
    • H05H1/42—Plasma torches using an arc with provisions for introducing materials into the plasma, e.g. powder, liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/05—Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles
    • B22F1/054—Nanosized particles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/10—Metallic powder containing lubricating or binding agents; Metallic powder containing organic material
    • B22F1/102—Metallic powder coated with organic material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/14—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes using electric discharge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4417—Methods specially adapted for coating powder
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/0036—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties showing low dimensional magnetism, i.e. spin rearrangements due to a restriction of dimensions, e.g. showing giant magnetoresistivity
    • H01F1/0045—Zero dimensional, e.g. nanoparticles, soft nanoparticles for medical/biological use
    • H01F1/0054—Coated nanoparticles, e.g. nanoparticles coated with organic surfactant
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32055—Arc discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32357—Generation remote from the workpiece, e.g. down-stream
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/3266—Magnetic control means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2999/00—Aspects linked to processes or compositions used in powder metallurgy
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C2202/00—Physical properties
    • C22C2202/02—Magnetic

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
  • Hard Magnetic Materials (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln wie z.B. Fe, Co, Ni, Fe3O4/γ-Fe2O3 NPs. Dazu wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur effektiven Herstellung von NPs im kontinuierlichen Prozess unter Einsatz eines Lichtbogenremote-Plasmas in Kombination mit einer magnetischen Falle offenbart.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln wie z.B. Fe, Co, Ni, Fe3O4/γ-Fe2O3 NPs.
  • Magnetische Nanopartikel (NPs) sind für eine Vielzahl technischer Anwendungen interessant. In der Medizin stellen magnetische Nanopartikel ein vielversprechendes Hilfsmittel dar, zum Beispiel als Kontrastmittel beim MRI, als magnetische Markierungen oder für die Krebstherapie, wo die Partikel als Transportmittel für Arzneistoffe dienen, die mit einem Magnetfeld gezielt in den Tumor dirigiert werden.
  • Zum anderen werden Ferromagnetpartikel, in denen dauerhaft magnetische Zustände herrschen, zur Datenspeicherung genutzt und bilden die Grundlage heutiger und zukünftiger magnetischer Speichermedien (z.B. Festplatten).
  • Nanoskalige dauermagnetische Partikel können auch aufgrund eines geeigneten atomaren und kristallographischen Aufbaus (nanoskalige Eindomänenteilchen) als Materialien für Dauermagnete eingesetzt werden. Solche Permanentmagnete könnten wegen ihrer guten Verfügbarkeit und ihres geringen Preises die selteneren und teuren Neodymmagnete ablösen. Dies würde neue Anwendungen der Permanentmagnete z.B. in der Energieerzeugung, (Generatoren), bei der Automatisierung (Schrittmotoren), in der Speichertechnik usw. ermöglichen.
  • Es gibt eine Vielzahl von verschiedenen Synthesemöglichkeiten für die Herstellung von magnetischen Nanopartikeln. Beispielsweise können die Teilchen über Mitfällung, thermische Zersetzung, Reduktion, Hydrothermalsynthese oder Laserpyrolyse hergestellt werden. Da die herzustellenden Metall-NPs (wie z.B. Fe- oder Co-NPs) sehr reaktiv sind (auch pyrogen), müssen die Synthesen unter Inertgasbedingungen durchgeführt werden.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung der magnetischen Nanopartikel wie z.B. Fe, Co, Ni, Fe3O4/γ-Fe2O3 NPs anzugeben.
  • Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand der vorliegenden Erfindung, wie sie in der Beschreibung, den Ansprüchen und der Figur offenbart ist, gelöst.
  • Dementsprechend ist Gegenstand der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung zur Herstellung nanoskaliger ferromagnetischer Teilchen im Lichtbogenremoteplasma, einen Plasmagenerator mit angeschlossener Kühlung und Magnetfalle, sowie die erforderlichen Zu- und Ableitungen umfassend. Außerdem ist Gegenstand der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln, bei dem die Nanopartikel im Lichtbogenplasma erzeugt und magnetisiert werden und im Anschluss über eine magnetische Falle die magnetisierten Partikel aus dem Gasstrom abgeschieden werden.
  • Als Plasmagenerator wird ein Generator für die Lichtbogenentladung eingesetzt. Diese werden beispielsweise unter folgenden Bedingungen betrieben: atmosphärischer Druck, Plasma Cycle Time (PCT) 5–100 % und Plasma-Frequenz zwischen 15–25 KHz. Diese Generatoren sind handelsüblich beispielsweise über die Firma Plasmatreat oder Diener zugänglich.
  • Es können alle folgenden Formen von Precursormaterialien verwendet werden: gasförmig, flüssig oder in Pulverform.
  • Erfindungsgemäß wird im Plasmagenerator mit H2/Argon, H2/He oder H2/N2 ein Plasma erzeugt in das verschiedene Precursormaterialien wie Eisenpentacarbonyl Fe(CO)5; Eisenformiat Fe(HCOO)2; Cobaltoctacarbonyl Co2(CO)8; Cobaltformiat Co(HCOO)2; Nickeltetracarbonyl Ni(Co)4; Nickelformiat Ni(HCOO)4 unter Atmosphärendruck eingebracht werden.
  • Es hat sich bewährt, die NPs sofort nach ihrer Entstehung zu beschichten, da die NPs eine hohe Oxidationsempfindlichkeit haben und durch die sofortige Beschichtung im Plasma bzw. im Remoteplasma mit kohlenstoffhaltigen Precursoren wie Acetylen, Ethen, Methan und/oder siliziumhaltigen Precursoren wie z.B. Hexamethyldisilan, HMDS, Vinyltrimethylsilan VTMS, Trifluoromethyltrimethylsilane TFMTMS oder Alkylphosphonate eingesetzt werden. Auch anorganische Beschichtungen auf Basis von Borsäureesterprecursoren sind möglich.
  • Durch die Beschichtung wird eine dauerhafte Oxidationsbarriere erreicht.
  • Um die hergestellten magnetischen NPs von den bei der Synthese anfallenden Nebenprodukten zu trennen, wurde eine magnetische Falle eingebaut, damit die hergestellten magnetischen NPs von den bei der Synthese anfallenden Nebenprodukten abtrennbar sind.
  • Die vorgeschlagenen Synthese- und Beschichtungsmethoden zur Erzeugung metallischer NPs stellen eine wirksame und v.a. kostengünstige und dauereffiziente Lösung zur Herstellung von nanopartikulären Permanentmagneten dar. Die Herstellung kann im kontinuierlichen Prozess geführt werden.
  • Die mit Hilfe der Vorrichtung erzeugten metallischen NPs können in einem Schritt oxidfrei mit einer Barriereschicht erzeugt werden.
  • Auf diese Weise verfügen die erhaltenen NPs über einen dauerhaften Oxidationsschutz und können gleich nach der Herstellung gefahrlos aus der Anlage entnommen werden, da oxygene/pyrogene Reaktionen an Luft nicht mehr befürchtet werden müssen.
  • Insbesondere auch die angeschlossene magnetische Falle dient im Prozess dazu, dass das Verfahren kontinuierlich geführt werden kann und die Produkte quantitativ von den Nebenprodukten abtrennbar sind.
  • Im Folgenden wird die Erfindung noch anhand einer Figur, die ein Ausführungsbeispiel der Vorrichtung zeigt, näher erläutert:
    Die Figur zeigt einen Plasmagenerator 1, in den ein H2/Argon, H2/He oder H2/N2 Ionengasgemisch eingeleitet wird. Im Anschluss an den Plasmagenerator 1 wird das Ionengasgemisch mit Precursormaterialien wie Eisenpentacarbonyl Fe(CO)5; Eisenformiat Fe(HCOO)2; Cobaltoctacarbonyl Co2(CO)8; Cobaltformiat Co(HCOO)2; Nickeltetracarbonyl Ni(Co)4; Nickelformiat Ni(HCOO)4 unter Atmosphärendruck in ein elektrisches Feld eingebracht.
  • In der Reaktionskammer 2 erfolgt die Zersetzung der Precursormoleküle zu Metallatomen und zu gasförmigen Nebenprodukten (z.B. CO oder CO2). Anschließend verbinden sich die einzelnen Metallatome zu größeren Agglomeraten und bilden somit die geforderten nanoskalige Partikeln.
  • Direkt angeschlossen an die Reaktionskammer 2 befindet sich die Beschichtungskammer 3, in der kohlenstoffhaltige Beschichtungs-Precursoren wie Acetylen, Ethen, Methan und/oder siliziumhaltigen Precursoren wie z.B. Hexamethyldisilan, HMDS, Vinyltrimethylsilan VTMS, Trifluoromethyltrimethylsilan TFMTMS und/oder Alkylphosphonate, sowie anorganische Spezies wie Borsäureesterprecursoren zur Beschichtung mit den NPs umgesetzt werden.
  • Danach werden die beschichteten NPs mit allen Nebenprodukten in der Kühlung 4 gekühlt und in eine magnetische Falle 5 eingeleitet. In der magnetischen Falle 5 schlagen sich die magnetischen NPs an den magnetischen Außenwänden 6 nieder, wohingegen die Nebenprodukte des Herstellungsprozesses im Gasstrom die Vorrichtung über die Ableitung 7 verlassen.
  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln wie z.B. Fe, Co, Ni, Fe3O4/γ-Fe2O3 NPs. Dazu werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur effektiven Herstellung von NPs im kontinuierlichen Prozess unter Einsatz eines Lichtbogenremote-Plasmas in Kombination mit einer magnetischen Falle offenbart.

Claims (11)

  1. Vorrichtung zur Herstellung nanoskaliger ferromagnetischer Teilchen im Lichtbogenremoteplasma, einen Plasmagenerator (1) mit angeschlossener Reaktionskammer (2) und folgender Kühlung (4) mit Magnetfalle (5), sowie die erforderlichen Zu- und Ableitungen umfassend.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei zwischen dem Plasmagenerator (1), der Reaktionskammer (2) zur Herstellung der magnetisierten Nanopartikel einerseits und der Kühlung (4) andererseits eine Beschichtungskammer (3) vorgesehen ist, in der die gerade erzeugten magnetischen Nanopartikel zur Ausbildung einer Oxidationsbarriere beschichtet werden.
  3. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der die Magnetfalle (5) in die Kühlung (4) integriert ist.
  4. Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln, bei dem die magnetischen Nanopartikel im Lichtbogenplasma erzeugt werden, wobei im Anschluss an die Erzeugung der magnetischen Partikel im Plasmagasstrom diese über eine magnetische Falle aus dem Gasstrom mit allen Nebenprodukten abgetrennt werden.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, bei dem die magnetischen Nanopartikel in einer Beschichtungskammer (3) mit kohlenstoffhaltigen Precursoren zur Ausbildung einer dauerhaften Oxidationsbarriere beschichtet werden.
  6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, wobei zur Erzeugung des Plasmas ein H2/Argon, H2/He oder H2/N2 Gasstrom in den Plasmagenerator eingeleitet wird.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei Precursoren wie Eisenpentacarbonyl Fe(CO)5; Eisenformiat Fe(HCOO)2; Cobaltoctacarbonyl Co2(CO)8; Cobaltformiat Co(HCOO)2; Nickeltetracarbonyl Ni(Co)4; Nickelformiat Ni(HCOO)4 in der Reaktionskammer (2) mit dem Lichtbogenplasma aus dem Plasmagenerator (1) umgesetzt werden.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 7, das unter Atmosphärendruck, Plasma Cycle Time (PCT) 5–100 % und Plasma-Frequenz zwischen 15–25 KHz durchgeführt wird.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 8, wobei in einer an die Reaktionskammer (2) anschließenden Beschichtungskammer (3) die erzeugten magnetischen Nanopartikel in situ beschichtet werden.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 9, wobei die Beschichtung mit kohlenstoffhaltigen Precursoren wie Acetylen, Ethen, Methan und/oder siliziumhaltigen Precursoren wie z.B. Hexamethyldisilan, HMDS, Vinyltrimethylsilan VTMS, Trifluoromethyltrimethyl-silan TFMTMS und/oder Alkylphosphonate, sowie anorganischen Spezies wie Borsäureesterprecursoren zur Beschichtung in der Beschichtungskammer (3) umgesetzt werden.
  11. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der die magnetischen Nanopartikel in der Kühlung (4) auf oder unter die jeweilige materialspezifische Curie-Temperatur abgekühlt werden.
DE102014215184.8A 2014-08-01 2014-08-01 Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln Withdrawn DE102014215184A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014215184.8A DE102014215184A1 (de) 2014-08-01 2014-08-01 Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln
PCT/EP2015/067714 WO2016016444A1 (de) 2014-08-01 2015-07-31 Vorrichtung und verfahren zur herstellung von magnentischen nanopartikeln

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014215184.8A DE102014215184A1 (de) 2014-08-01 2014-08-01 Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102014215184A1 true DE102014215184A1 (de) 2016-02-04

Family

ID=53776611

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102014215184.8A Withdrawn DE102014215184A1 (de) 2014-08-01 2014-08-01 Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102014215184A1 (de)
WO (1) WO2016016444A1 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10899958B2 (en) 2016-07-22 2021-01-26 Halliburton Energy Services, Inc. Liquid gas treatment fluids for use in subterranean formation operations

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2182530A1 (de) * 2007-08-30 2010-05-05 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Weichmagnetisches material, pulverkern, verfahren zur herstellung des weichmagnetischen materials und verfahren zur herstellung des pulverkerns
US20120049100A1 (en) * 2010-08-27 2012-03-01 Kabushiki Kaisha Toshiba Metal-containing particle aggregate, metal-containing particle composite member, and method of manufacturing the aggregate and the composite member

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4732369A (en) * 1985-10-30 1988-03-22 Hitachi, Ltd. Arc apparatus for producing ultrafine particles
US5472749A (en) * 1994-10-27 1995-12-05 Northwestern University Graphite encapsulated nanophase particles produced by a tungsten arc method
US6398125B1 (en) * 2001-02-10 2002-06-04 Nanotek Instruments, Inc. Process and apparatus for the production of nanometer-sized powders
US20070085053A1 (en) * 2005-10-14 2007-04-19 Gergely John S Process for preparing superparamagnetic transition metal nanoparticles
KR100783656B1 (ko) * 2006-03-07 2007-12-10 한국기계연구원 플라즈마 하전입자 충돌을 이용한 나노분말 합성 장치 및 그 방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2182530A1 (de) * 2007-08-30 2010-05-05 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Weichmagnetisches material, pulverkern, verfahren zur herstellung des weichmagnetischen materials und verfahren zur herstellung des pulverkerns
US20120049100A1 (en) * 2010-08-27 2012-03-01 Kabushiki Kaisha Toshiba Metal-containing particle aggregate, metal-containing particle composite member, and method of manufacturing the aggregate and the composite member

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Bica, I.: Plasma device for magnetic nanoparticles production. In: Journal of Magnetism and Magnetic Materials, 201, 1999, S. 45-48. *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2016016444A1 (de) 2016-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102019111339B4 (de) Verfahren zur herstellung eines massenmaterials auf basis von nitrid
DE102009048397A1 (de) Atmosphärendruckplasmaverfahren zur Herstellung oberflächenmodifizierter Partikel und von Beschichtungen
DE602004008958T2 (de) Herstellung von metallnanodrähten
WO2009060009A2 (de) Expandierter graphit und verfahren zu seiner herstellung
DE60319508T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von kohlenstoffnanostrukturen
Ouyang et al. Structure and magnetic properties of iron oxide films deposited by excimer laser ablation of a metal-containing polymer
DE102014215184A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von magnetischen Nanopartikeln
David et al. Preparation of iron/graphite core–shell structured nanoparticles
WO1993023587A9 (de) Verfahren und vorrichtung zur impulsbeaufschlagung einer festkör peroberfläche
DE895060C (de) Verfahren zur Herstellung von Metallpulvern kleiner Teilchengroesse aus Metallcarbonylen
Amagasa et al. Mössbauer study of iron carbide nanoparticles produced by laser ablation in alcohols
AT15637U1 (de) Verfahren zur additiven Fertigung
DE1905058B2 (de) Vorrichtung fuer die beschichtung von werkstuecken durch hochfrequenzplasmazerstaeubung von werkstoffen im vakuum
EP1899499B1 (de) Verfahren zum herstellen einer nanopartikel aufweisenden schicht auf einem substrat
DD142568A1 (de) EINRICHTUNG ZUM REAKTIVEN BESCHICHTEN MIT DEM PLASM&TRON
EP2325351B1 (de) Verfahren zur Beschichtung einer metallischen Substratoberfläche eines Werkstücks mit einer durch einen ALD-Prozess aufgebrachten Materialschicht
DE102008056968B4 (de) Verfahren zum Abscheiden einer Nanoverbund-Schicht auf einem Substrat mittels chemischer Dampfabscheidung
DE102007041328A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen unter Einsatz eines Lichtbogens
WO2010003571A2 (de) Verfahren zur modifizierung von expandiertem graphit und verwendung des modifizierten expandierten graphits
Toparli et al. Iron-nickelcobalt (Fe-Ni-Co) alloy particles prepared by ultrasonic spray pyrolysis and hydrogen reduction (USP-HR) method
DE102011109896A1 (de) Einrichtung zur Ozongewinnung
KR101220404B1 (ko) 열플라즈마에 의한 실리카가 코팅된 마그네타이트 나노분말의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 실리카가 코팅된 마그네타이트 나노분말
Yamada et al. Iron oxide and iron carbide particles produced by the polyol method
EP2350344B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum aufbringen oder einbetten von partikeln auf oder in eine durch plasmabeschichtung aufgebrachte schicht
DE9828520T1 (de) Herstellung von zerstäubungsgas, verfahren und vorrichtung zur bildung von neuem material durch zerstäubungsgasabgabe

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: SIEMENS HEALTHCARE GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT, 80333 MUENCHEN, DE

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee