DE102014202844A1 - Plasmonische Sensorvorrichtung und Verfahren zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie - Google Patents

Plasmonische Sensorvorrichtung und Verfahren zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie Download PDF

Info

Publication number
DE102014202844A1
DE102014202844A1 DE102014202844.2A DE102014202844A DE102014202844A1 DE 102014202844 A1 DE102014202844 A1 DE 102014202844A1 DE 102014202844 A DE102014202844 A DE 102014202844A DE 102014202844 A1 DE102014202844 A1 DE 102014202844A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
metal film
sensor device
incidence
angle
plasmonic sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102014202844.2A
Other languages
English (en)
Inventor
Tim ECHTERMEYER
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE102014202844.2A priority Critical patent/DE102014202844A1/de
Priority to US14/599,322 priority patent/US9752982B2/en
Priority to CN201510238804.XA priority patent/CN105044043B/zh
Publication of DE102014202844A1 publication Critical patent/DE102014202844A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection
    • G01N21/553Attenuated total reflection and using surface plasmons
    • G01N21/554Attenuated total reflection and using surface plasmons detecting the surface plasmon resonance of nanostructured metals, e.g. localised surface plasmon resonance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection
    • G01N21/553Attenuated total reflection and using surface plasmons
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06Illumination; Optics
    • G01N2201/061Sources
    • G01N2201/06113Coherent sources; lasers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine plasmonische Sensorvorrichtung mit einer Lichtquelle, welche dazu ausgebildet ist, kohärentes Licht zu erzeugen; mit einem Metallfilm, der einseitig zumindest teilweise von Analytmolekülen bedeckt ist; mit zumindest einem um mindestens eine Drehachse drehbaren Mikrospiegel, welcher so positioniert und ausgebildet ist, dass das kohärente Licht von der Lichtquelle unter einem Einfallswinkel auf eine Seite des Metallfilms lenkbar ist, wobei der Einfallswinkel durch Drehen des zumindest einen Mikrospiegels um die mindestens eine Drehachse variierbar ist; und mit einem Detektor, der dazu ausgebildet ist, die Intensität des auf den Metallfilm gelenkten und von dort wieder reflektierten Lichts in Abhängigkeit vom Einfallswinkel zu bestimmen; wobei das von der Lichtquelle erzeugte kohärente Licht derart beschaffen ist, dass je nach Einfallswinkel Oberflächenplasmonen in dem Metallfilm anregbar sind.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine auf Mikrospiegeln basierende plasmonische Sensorvorrichtung und ein Verfahren zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie mit einer solchen Sensorvorrichtung.
  • Stand der Technik
  • Trifft kohärentes Licht unter bestimmten Bedingungen auf eine Grenzfläche zwischen einem Dielektrikum (beispielsweise Luft oder Glas) und einem Metallfilm (beispielsweise Gold), kann es die Leitungselektronen nahe der Metalloberfläche zu kollektiven Dichteschwankungen anregen, so genannten Oberflächenplasmonen. Dieser Effekt wird in der Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie (SPR-Spektroskopie) unter anderem dazu genutzt, die Adsorption und die Eigenschaften eines sich auf der Metalloberfläche befindlichen Analyts zu untersuchen. Hierzu wird die Intensität des von der Metalloberfläche reflektierten Lichts in Abhängigkeit vom Einfallswinkel bestimmt. Der Einfallswinkel wird hierbei beispielsweise mittels eines kippbaren bzw. drehbaren Spiegels variiert, über welchen das Licht auf die Metalloberfläche gelenkt wird. Aufgrund der Anregung von Oberflächenplasmonen stellt sich bei einem bestimmten Einfallswinkel ein Intensitätsminimum ein. Der zugehörige Einfallswinkel hängt insbesondere auch von der Beschaffenheit des Analyts ab.
  • Für eine portable Nutzung plasmonischer Analysemethoden bedarf es einer Miniaturisierung der benötigten mechanischen und optischen Komponenten. Aus der Druckschrift EP 1 684 063 A1 ist ein portabler Biochip-Scanner bekannt, der eine SPR-Einheit enthält, welche in Form einer rotierenden Scheibe vorliegt. Aus der Druckschrift US 2007/0139653 A1 ist weiterhin ein Verfahren bekannt, bei dem für einen SPR-basierenden Biosensor ein Mikrospiegel (MEMS) verwendet wird. Zur Variation des Einfallswinkels findet hierbei beispielsweise ein Goniometer Verwendung.
  • Für die patientennahe Labordiagnostik (POCT) bedarf es jedoch einer stark miniaturisierten und in sich abgeschlossenen Ausführung, die zugleich einfach herzustellen ist.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung schafft gemäß einem Aspekt eine plasmonische Sensorvorrichtung mit einer Lichtquelle, welche dazu ausgebildet ist, kohärentes Licht zu erzeugen; mit einem Metallfilm, der einseitig zumindest teilweise von Analytmolekülen bedeckt ist; mit zumindest einem um mindestens eine Drehachse drehbaren Mikrospiegel, welcher so positioniert und ausgebildet ist, dass das kohärente Licht von der Lichtquelle unter einem Einfallswinkel auf eine Seite des Metallfilms lenkbar ist, wobei der Einfallswinkel durch Drehen des zumindest einen Mikrospiegels um die mindestens eine Drehachse variierbar ist; und mit einem Detektor, der dazu ausgebildet ist, die Intensität des auf den Metallfilm gelenkten und von dort wieder reflektierten Lichts in Abhängigkeit vom Einfallswinkel zu bestimmen; wobei das von der Lichtquelle erzeugte kohärente Licht derart beschaffen ist, dass je nach Einfallswinkel Oberflächenplasmonen in dem Metallfilm anregbar sind.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie mit einer erfindungsgemäßen plasmonischen Sensorvorrichtung mit den Schritten des Variierens des Einfallswinkels des kohärenten Lichts auf den Metallfilm durch Drehen des zumindest einen Mikrospiegels, wobei je nach Einfallswinkel Oberflächenplasmonen in dem Metallfilm angeregt werden; und des Messens der Intensität des auf den Metallfilm gelenkten und von dort wieder reflektierten kohärenten Lichts mittels eines Detektors in Abhängigkeit vom Einfallswinkel.
  • Vorteile der Erfindung
  • Es ist eine Idee der vorliegenden Erfindung, eine miniaturisierten plasmonische Sensorvorrichtung mit Hilfe von zumindest einem Mikrospiegel zu schaffen, welcher so drehbar gelagert ist, dass der Einfallswinkel des Lichts auf die Metalloberfläche variierbar ist, ohne dass zusätzliche Hilfsmittel wie beispielsweise ein Goniometer notwendig sind. Die Intensität des von der Metalloberfläche reflektierten Lichts wird hierbei von einem in die Sensorvorrichtung integrierten Detektor als Funktion des Einfallswinkels gemessen.
  • Ein erheblicher Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung besteht darin, dass die plasmonische Sensorvorrichtung stark miniaturisiert ausgeführt werden kann. Ein Mikrospiegel ist ein so genanntes MEMS („microelectromechanical system”), welches Ausdehnungen im Mikrometerbereich besitzt. Die Verwendung solcher Mikrospiegel erlaubt eine Dimensionierung der gesamten Sensorvorrichtung im Bereich von wenigen Millimetern bis Zentimetern. Sowohl die Lichtquelle, als auch der Detektor können in einer solchen Sensorvorrichtung integriert werden.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Sensorvorrichtung können die einzelnen Komponenten beim Betrieb der Sensorvorrichtung in ihren Positionen relativ zueinander fixiert sein. Die kohärente Lichtquelle, der Metallfilm, der Detektor und die mindestens eine Drehachse des zumindest einen Mikrospiegels können also relativ zueinander unbeweglich vorgesehen sein, so dass ausschließlich der zumindest eine Mikrospiegel um seine mindestens eine Drehachse gedreht werden kann. Auf diese Weise kann die plasmonische Sensorvorrichtung vorteilhafterweise einfach und kostengünstig miniaturisiert ausgebildet werden.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Sensorvorrichtung kann die Lichtquelle einen Laserstrahl erzeugen. Dieser wird dann über den zumindest einen Mikrospiegel auf den Metallfilm gelenkt. Eine Laserquelle ist eine vorteilhafte kohärente Lichtquelle, die zudem einfach in der Handhabung ist und sich für miniaturisierte Aufbauten eignet.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Sensorvorrichtung ist ein Reflexionsprisma vorgesehen. Dieses kann so positioniert sein, dass dessen Grundfläche an die den Analytmolekülen abgewandten Seite des Metallfilms angrenzt und dass das kohärente Licht von der Lichtquelle kommend an einer Eintrittsfläche in das Reflexionsprisma eintritt, an der von der Grundfläche gebildeten Grenzfläche zwischen Reflexionsprisma und Metallfilm reflektiert wird und an einer Austrittsfläche wieder aus dem Reflexionsprisma austritt, bevor es auf den Detektor trifft. Im prinzipiellen Aufbau entspricht diese Anordnung des Reflexionsprismas der so genannten Kretschmann-Konfiguration, welche in vielen praktischen Anwendungen der Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie genutzt wird. Das Reflexionsprisma dient hierbei zu Ankopplung des kohärenten Lichts an Oberflächenplasmonen.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Sensorvorrichtung kann eine Seite des Metallfilms als Gitterstruktur ausgebildet sein, welche so positioniert ist, dass das kohärente Licht an dieser reflektierbar ist, bevor es in den Detektor trifft. Die Gitterstruktur ist eine alternative Möglichkeit zur Kopplung der Wellenvektoren von Licht und Oberflächenplasmonen. Diese benötigt kein Reflexionsprisma und ist damit vorteilhafterweise einfacher und mit kleineren Dimensionen ausführbar.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Sensorvorrichtung kann der Metallfilm mit Linkern versehen sein. Über die Linker können die Analytmoleküle an den Metallfilm ankoppeln, so dass sich die Anregungsbedingungen für Oberflächenplasmonen bei Reaktionen zwischen Linkern und passenden Analytmolekülen ändern. Linker sind vorteilhafte Hilfsmittel, um ausgewählte Analyte an den Metallfilm anzukoppeln.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Sensorvorrichtung kann der Detektor ein CCD-Sensor oder ein CMOS-Sensor sein. Beide Sensor-Technologien sind vorteilhaft für den miniaturisierten Betrieb und kostengünstig zu konfektionieren. Die Ausdehnung der aktiven Fläche eines solchen Detektors kann vorteilhafterweise so groß gewählt werden, dass eine durch Variation des Einfallswinkels gleichzeitig hervorgerufene Variation des Einfallsortes kompensiert werden kann, indem die auftreffende Lichtmenge über die ganze aktive Fläche integriert wird. Dadurch bedingt misst der Detektor die Lichtintensität ausschließlich als Funktion des Einfallswinkels.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Sensorvorrichtung kann der Metallfilm Gold und/oder Silber enthalten. Alternativ können aber auch andere geeignete Metalle vorgesehen sein, wie beispielsweise Kupfer oder Titan. Gold und Silber haben besonders vorteilhafte Eigenschaften für die Plasmonik aufgrund ihrer Leitfähigkeit und einfachen Verarbeitbarkeit.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Sensorvorrichtung kann der Metallfilm mit dem Licht durch Drehen des zumindest einen Mikrospiegels zweidimensional abtastbar sein. Ferner kann gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung der Sensorvorrichtung der Metallfilm als Teststreifen ausgebildet sein. Auf diesen Teststreifen können nebeneinander angeordnete Analytgebiete aus Analytmolekülen aufgebracht sein. Diese vorteilhafte Ausführungsform erlaubt die Gestaltung der plasmonischen Sensorvorrichtung als Diagnosegerät ähnlich einem herkömmlichen Point-Of-Care-Test (POCT), wie beispielweise einem Blutzuckermessgerät. Lichtquelle, Mikrospiegel und Detektor können fest in das Gerät integriert sein, während der Teststreifen (beispielsweise ein Goldfilm) nach Aufbringen einer zu analysierenden Substanz in das Gerät eingeführt wird und nach dem Test wieder entfernt wird. Aufgrund der zweidimensionalen Abtastbarkeit des Teststreifens, kann dieser beispielsweise mit verschiedenen Linkern versehen werden, so dass auf verschiedene Substanzen getestet werden kann. Weiterhin erlaubt diese Ausführungsform beispielsweise das Versehen des Teststreifens mit Referenzstrukturen, die für eine automatische Positionskorrektur des Teststreifens gegenüber den anderen Bauteilen genutzt werden kann. Alternativ können auf dem Teststreifen reservierte Bereiche vorgesehen sein für Referenzmessungen.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Sensorvorrichtung ist zumindest ein weiterer um mindestens eine weitere Drehachse drehbarer Mikrospiegel vorgesehen. Dieser zumindest eine weitere Mikrospiegel kann so positioniert und ausgebildet sein, dass das kohärente Licht von der Lichtquelle mittels mehrfacher Reflexion an den Mikrospiegeln unter einem Einfallswinkel auf einen Einfallsort auf einer Seite des Metallfilms lenkbar ist. Der Einfallswinkel und der Einfallsort können hierbei durch individuelles Drehen der Mikrospiegel um die Drehachsen variierbar sein. Diese Mehrspiegelkonfiguration schafft vorteilhafterweise zusätzliche Freiheitsgrade bezüglich der Manipulation des Einfallwinkels und des Einfallortes gegenüber einer Ausführung mit nur einem Mikrospiegel mit nur einer Drehachse. Insbesondere müssen die verschiedenen Drehachsen nicht parallel zueinander liegen.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung des Verfahrens zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie ist weiterhin das Abtasten des Metallfilms durch Variieren des Einfallsortes des kohärente Lichts mittels Drehens des zumindest einen Mikrospiegels vorgesehen.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand von Ausführungsformen mit Bezug auf die Figuren erläutert.
  • Es zeigen:
  • 1 schematischer Querschnitt einer plasmonischen Sensorvorrichtung mit Reflexionsprisma gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 2 schematische Darstellung zweier Intensitätsverläufe als Funktion des Einfallswinkels, wie sie gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auftreten;
  • 3 schematischer Querschnitt einer plasmonischen Sensorvorrichtung mit Gitterstruktur gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 4 schematische Draufsicht auf einen Teststreifen einer plasmonischen Sensorvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
  • 5 schematischer Querschnitt einer plasmonischen Sensorvorrichtung mit Reflexionsprisma und drei Mikrospiegeln gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente.
  • 1 zeigt einen schematischen Querschnitt einer plasmonischen Sensorvorrichtung 9 mit Reflexionsprisma 7 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Diese umfasst eine Lichtquelle 1, einen Mikrospiegel 2 mit Drehachse 15, ein Metallfilm 6, ein Reflexionsprisma 7, einen Detektor 8 sowie an dem Metallfilm 6 befestigte Linker 5, an welche Analytmoleküle 4 angekoppelt sind. Die Lichtquelle 1 sendet einen Lichtstrahl 3 aus kohärentem Licht 3 aus, welcher am rotierbaren Mikrospiegel 2 reflektiert wird und auf das Reflexionsprisma 7 unter einem durch den Mikrospiegel 2 vorgegebenen Einfallswinkel 13 geleitet wird. Dort tritt der Lichtstrahl 3 über die eine Eintrittsfläche 17 ein, wird an einer Grundfläche 16 reflektiert und tritt an einer Austrittsfläche 18 wieder aus. Danach trifft der Lichtstrahl 3 auf den Detektor 8.
  • Die Lichtquelle 1 kann beispielsweise ein Laser sein, d. h. der Lichtstrahl 3 in 1 entspricht in diesem Fall dem Laserstrahl. Mittels des Reflexionsprismas 6, welches beispielsweise aus Glas oder Plastik bestehen kann, kann der Lichtstrahl 3 an Oberflächenplasmonen in dem Metallfilm 6 angekoppelt werden. Für einen gewissen Einfallswinkel 13 stehen Lichtstrahl 3 und Oberflächenplasmonen in Resonanz, so dass die Intensität des Lichtstrahls 3 maximal abgeschwächt wird. Die Intensität des Lichtstrahls 3 wird vom Detektor 8 gemessen. Dieser kann beispielsweise ein CCD-Sensor oder ein CMOS-Sensor sein, welcher die Lichtintensität durch Integration über die aktive Sensorfläche bestimmt. Durch das Drehen des Mikrospiegels 2 wird neben dem Einfallswinkel 13 auch gleichzeitig der Einfallsort 14 des Laserstrahls verändert. Aufgrund der Integration über die ausgedehnte aktive Fläche ist die vom Detektor 8 gemessene Intensität allerdings unabhängig vom Einfallsort 14, so dass dieser die Intensität des Lichtstrahls 3 als Funktion des Einfallswinkels misst. In der vorliegenden Ausführungsform ist ausschließlich der Mikrospiegel 2 beweglich.
  • Alle anderen Bauteile sind relativ zueinander fixiert, so dass die plasmonische Sensorvorrichtung stark miniaturisiert ausführbar ist. Typische Mikrospiegel 2 (MEMS) sind im Mikrometerbereich dimensioniert. Eine typische plasmonische Sensorvorrichtung 9, wie er in 1 gezeigt wird, hat eine Ausdehnung von wenigen Millimetern senkrecht zum Metallfilm 6. In der Breite in Richtung der Ebene des Metallfilms 6 erstreckt sich die plasmonische Sensorvorrichtung 9 beispielsweise über wenige Zentimeter.
  • Die Linker 5 dienen zur Ankopplung der Analytmoleküle 4 an den Metallfilm 6. Dergestalt angekoppelte Analytmoleküle 4 beeinflussen die Anregungseigenschaften des Metallfilms 6 für Oberflächenplasmonen, d. h. insbesondere wird der Einfallswinkel 13 verschoben, bei dem eine minimale Intensität des Lichtstrahls 3 vorliegt. Beispielsweise kann der Metallfilm 6 aus Gold, Silber oder einem entsprechenden geeigneten Metall bestehen.
  • Diese erste Ausführungsform der plasmonischen Sensorvorrichtung 9 ist beispielhaft zu sehen, prinzipiell sind verschiedene Anordnungen der elementaren Bauteile sowie verschiedene Ausführungen derselben vorgesehen. Es sind unter anderem Ausführungen mit mehreren Mikrospiegeln 2 vorgesehen, welche dabei entweder kontinuierlich oder in diskreten Schritten drehbar bzw. kippbar sind. Des Weiteren sind prinzipiell Mikrospiegel 2 vorgesehen, die in verschiedene Richtungen um verschiedene Drehachsen 15 gedreht bzw. gekippt werden können.
  • 2 zeigt beispielhaft eine schematische Darstellung zweier Intensitätsverläufe als Funktion des Einfallswinkels 13, wie sie gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auftreten.
  • Einer der Intensitätsverläufe entspricht dem Fall, dass Analytmoleküle 4 über die Linker 5 an den Metallfilm 6 angekoppelt sind, der andere dem Fall, dass keine Analytmoleküle 4 angekoppelt sind. 2 macht deutlich, dass das Intensitätsminimum verschoben ist für den Fall, dass Analytmoleküle 4 an dem Metallfilm 6 angekoppelt sind. Die in 2 abgebildete Veränderung des Intensitätsminimums ist beispielhaft zu sehen. Generell werden die Anregungsbedingungen von Oberflächenplasmonen in dem Metallfilm 6 von der Beschaffenheit der Analytmoleküle 4 beeinflusst. Prinzipiell hängt der Verlauf der Intensität als Funktion des Einfallswinkels vom Aufbau der Sensorvorrichtung ab, insbesondere vom gewählten Metall und der Ankopplung des Analyten. Solch eine plasmonische Sensorvorrichtung 9 eignet sich zur Analyse verschiedenster Analyte und deren Eigenschaften und kann somit in vielfältigen Bereichen zur Anwendung kommen, beispielsweise im Bereich in der medizinischen Diagnose als portabler Point-Of-Care-Test (POCT). Weitere Anwendungsgebiete finden sich in der Arzneimittelforschung, beispielsweise zur Untersuchung der Bindungseigenschaften von Wirkstoffen, oder in der Biosensorik. Die Erfindung ist grundsätzlich für den Einsatz in Flüssigkeiten und gasförmigen Medien geeignet und kann somit überall dort eingesetzt werden, wo geringe Konzentrationen von Substanzen direkt vor Ort detektiert werden sollen. Insbesondere ist durch die starke Miniaturisierung der Sensorvorrichtung die Anwendung außerhalb von Laboren praktikabel. Beispielsweise lässt sich eine solche plasmonische Sensorvorrichtung in Mobiltelefone, Tablets etc. integrieren.
  • 3 zeigt einen schematischen Querschnitt einer plasmonischen Sensorvorrichtung 9 mit Gitterstruktur 10 gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Ähnlich wie die erste Ausführungsform in 1 umfasst diese eine Lichtquelle 1, einen Mikrospiegel 2 mit Drehachse 15, ein Metallfilm 6, einen Detektor 8 sowie an dem Metallfilm 6 befestigte Linker 5, an welche Analytmoleküle 4 angekoppelt sind. Anders als die Ausführungsform in 1 befinden sich die Linker 5 und die daran gekoppelten Analytmoleküle 4 allerdings auf der dem Detektor 8 und der Lichtquelle 1 zugewandten Seite des Metallfilms 6. Im Unterschied zu der Ausführung in 1 ist hier zudem kein Reflexionsprisma 7 vorgesehen. Vielmehr ist der Metallfilm 6 auf der bestrahlten Seite mit einer Gitterstruktur 10 versehen. Ähnlich wie das Reflexionsprisma 7 in 1 dient auch die Gitterstruktur 10 zur Ankopplung des kohärenten Lichts 3 an Oberflächenplasmonen, benötigt aber weniger Platz als ein typisches Reflexionsprisma 7. Die auf 3 gezeigte Anordnung der Bauteile der plasmonischen Sensorvorrichtung 9 ist beispielhaft zu sehen, prinzipiell sind verschiedene Anordnungen der elementaren Bauteile sowie verschiedene Ausführungen derselben vorgesehen. Insbesondere sind Ausführungen vorgesehen mit mehreren Mikrospiegeln 2. Die Mikrospiegel 2 sind dabei entweder kontinuierlich oder in diskreten Schritten drehbar bzw. kippbar. Darüber hinaus sind auch Ausführungsformen vorgesehen, bei denen sich die Linker 5 sowie die Analytmoleküle 4 ähnlich zu der Ausführungsform in 1 auf der nicht bestrahlten Seite des Metallfilms 6 befinden.
  • Darüber hinaus ist die Funktionsweise der zweiten Ausführungsform dieselbe wie von jener ersten Ausführungsform in 1. Auch hier sendet die Lichtquelle 1 einen Lichtstrahl 3 aus kohärentem Licht 3 aus, welcher am rotierbaren Mikrospiegel 2 reflektiert wird und auf das Reflexionsprisma 7 unter einem durch den Mikrospiegel 2 vorgegebenen Einfallswinkel 13 geleitet wird. Dort tritt der Lichtstrahl 3 über die eine Eintrittsfläche 17 ein, wird an einer Grundfläche 16 reflektiert und tritt an einer Austrittsfläche 18 wieder aus dem Reflexionsprisma 7 aus. Danach trifft der Lichtstrahl 3 auf den Detektor 8, welcher die Intensität des Lichtstrahls 3 als Funktion des Einfallswinkels 13 bestimmt.
  • Die Analyse eines Analyten umfasst also folgende Schritte. Zuerst wird von der Lichtquelle 1 kohärentes Licht 3 erzeugt. Dieses wird am Mikrospiegel 2 reflektiert und auf die als Gitter strukturierte Unterseite des Metallfilms 6 gelenkt. Der Einfallswinkel 13 des Lichtstrahls 3 auf den Metallfilm 6 wird durch Drehen bzw. Kippen des Mikrospiegels 2 variiert, wobei je nach Einfallswinkel 13 Oberflächenplasmonen in dem Metallfilm 6 an der Grenzfläche zwischen Metallfilm 6 und Analytmolekülen 4 angeregt werden. Die Intensität des auf den Metallfilm 6 gelenkten und von dort wieder reflektierten Lichtstrahls 3 wird vom Detektor 8 gemessen und darauf aufbauend der Verlauf der Intensität des Lichts 3 als Funktion des Einfallswinkels 13 bestimmt.
  • 4 zeigt eine schematische Draufsicht auf einen Teststreifen 11 einer plasmonischen Sensorvorrichtung 9 gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Die plasmonische Sensorvorrichtung 9 kann beispielsweise ähnlich jener aus 3 sein, welche eine Gitterstruktur 10 zur Kopplung von Licht 3 und Oberflächenplasmonen vorsieht. In 4 ist ein Metallfilm 6 zu sehen, auf die vier nebeneinander angeordnete, streifenförmige Analytgebiete 12 aus Analytmolekülen 4 aufgebracht sind. Beispielsweise können alle vier Analytgebiete 12 aus verschiedenen Analyten bestehen. Dementsprechend sind in diesem Fall auch vier verschiedene Typen von Linkern 5 vorgesehen, an die die jeweiligen Analytmoleküle 4 ankoppeln können.
  • In der dritten Ausführungsform ist vorgesehen, dass die plasmonische Sensorvorrichtung 9 der Metallfilm 6 zweidimensional abtasten kann. Dies ist durch Drehen von mehreren vorgesehenen Mikrospiegeln 2 möglich oder durch Drehen eines einzelnen Mikrospiegels 2 in verschiedene Richtungen. Diese Ausführung ist vorteilhaft für eine Ausgestaltung der Sensorvorrichtung als Diagnosegerät, beispielsweise einem Point-Of-Care-Test. In dieser Form kann das Diagnosegerät ähnlich einem Blutzuckermessgerät oder Chipkarten-Leser verwendet werden. Lichtquelle 1, Mikrospiegel 2 und Detektor 8 sind in dieser Variante fest in das Diagnosegerät integriert. Der Teststreifen 11 wird nach Aufbringen einer oder mehrerer Substanzen in das Gerät eingeführt und nach der Analyse wieder entfernt. Die zweidimensionale Abtastbarkeit des Teststreifens 11 ermöglicht folglich das Testen auf verschiedene Substanzen, welche beispielsweise über entsprechende Linker 5 an dem Teststreifen 11 angekoppelt werden. In anderen Ausführungen der plasmonischen Sensorvorrichtung 9 und des Teststreifens 11 sind Referenzstrukturen vorgesehen, die beispielsweise für eine automatische Positionskorrektur des Teststreifens 11 gegenüber den anderen Bauteilen genutzt werden bzw. für eine automatische Ausrichtung des Teststreifen und der optischen Komponenten geeignet sind. Weiterhin sind auf dem Teststreifen 11 reservierte Bereiche vorgesehen, die für Referenzmessungen nutzbar sind.
  • 5 zeigt einen schematischen Querschnitt einer plasmonischen Sensorvorrichtung 9 mit Reflexionsprisma 7 und drei Mikrospiegeln 2 in einer Mehrspiegelkonfiguration gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Prinzipiell sind Aufbau und Funktionsweise der Sensorvorrichtung 9 ähnlich jener in 1 abgebildeten. Die Sensorvorrichtung 9 umfasst eine Lichtquelle 1, Mikrospiegel 2, 2a, 2b mit Drehachsen 15, 15a, 15b, ein Metallfilm 6, ein Reflexionsprisma 7, einen Detektor 8 sowie an dem Metallfilm 6 befestigte Linker 5, an welche Analytmoleküle 4 angekoppelt sind. Die Lichtquelle 1 sendet einen Lichtstrahl 3 aus kohärentem Licht 3 aus, welcher an den rotierbaren Mikrospiegeln 2, 2a, 2b reflektiert wird und auf das Reflexionsprisma 7 unter einem durch die Mikrospiegel 2, 2a, 2b vorgegebenen Einfallswinkel 13 geleitet wird. Dort tritt der Lichtstrahl 3 über die eine Eintrittsfläche 17 ein, wird an einer Grundfläche 16 reflektiert und tritt an einer Austrittsfläche 18 wieder aus. Danach trifft der Lichtstrahl 3 auf den Detektor 8, welcher die Intensität des Lichtstrahls 3 als Funktion des Einfallswinkels 13 bestimmt. Der Lichtstrahl 3 trifft zuerst auf einen ersten Mikrospiegel 2. Dieser lenkt den Lichtstrahl 3 je nach Winkel auf einen der beiden weiteren Mikrospiegel 2a, 2b, welche ihn dann jeweils weiter auf das Reflexionsprisma 7 leiten. Die hier verwendete Mehrspiegelkonfiguration schafft zusätzliche Freiheitsgrade bezüglich der Manipulation des Einfallswinkels 13 und des Einfallortes 14 gegenüber der Ausführung mit nur einem Mikrospiegel 2 in 1. In der vierten Ausführungsform sind die Drehachsen 15, 15a, 15b der drei Mikrospiegel 2, 2a, 2b parallel zueinander. Die vorliegende Erfindung sieht darüber hinaus allerdings auch Ausführungen vor, bei welchen die Drehachsen 15, 15a, 15b und Mikrospiegel 2, 2a, 2b in verschiedene Richtungen ausgerichtet sind. Durch entsprechende Konfigurierung der Mikrospiegel 2, 2a, 2b ist es unter anderem so möglich, dass der Metallfilm 6 nicht nur in der Abbildungsebene eindimensional abgetastet wird, sondern insbesondere auch senkrecht zur Bildebene, d. h. zweidimensional. Hierdurch kann ein Teststreifen 11, wie er beispielsweise in 4 gezeigt wird, zweidimensional abgetastet werden und so für vielfältige Zwecke genutzt werden. Es sind Ausführungen der plasmonischen Sensorvorrichtung 9 vorgesehen, welche aus einer Konfiguration aus N + 1 Mikrospiegeln 2, 2a, 2b bestehen. Aufgrund der miniaturisierten Ausführung der Mikrospiegel 2, 2a, 2b sind auch solche Ausführungen einfach und platzsparend gestaltbar.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • EP 1684063 A1 [0003]
    • US 2007/0139653 A1 [0003]

Claims (13)

  1. Plasmonische Sensorvorrichtung mit: einer Lichtquelle (1), welche dazu ausgebildet ist, kohärentes Licht (3) zu erzeugen; einem Metallfilm (6), der einseitig zumindest teilweise von Analytmolekülen (4) bedeckt ist; zumindest einem um mindestens eine Drehachse (15) drehbaren Mikrospiegel (2), welcher so positioniert und ausgebildet ist, dass das kohärente Licht (3) von der Lichtquelle (1) unter einem Einfallswinkel (13) auf eine Seite des Metallfilms (6) lenkbar ist, wobei der Einfallswinkel (13) durch Drehen des zumindest einen Mikrospiegels (2) um die mindestens eine Drehachse (15) variierbar ist; und einem Detektor (8), der dazu ausgebildet ist, die Intensität des auf den Metallfilm (6) gelenkten und von dort wieder reflektierten Lichts (3) in Abhängigkeit vom Einfallswinkel (13) zu bestimmen; wobei das von der Lichtquelle (1) erzeugte kohärente Licht (3) derart beschaffen ist, dass je nach Einfallswinkel (13) Oberflächenplasmonen in dem Metallfilm (6) anregbar sind.
  2. Plasmonische Sensorvorrichtung nach Anspruch 1, wobei beim Betrieb der plasmonischen Sensorvorrichtung (9) die Lichtquelle (1), der Metallfilm (6), der Detektor (8) und die mindestens eine Drehachse (15) des zumindest einen Mikrospiegels (2) in ihren relativen Positionen zueinander fixiert sind.
  3. Plasmonische Sensorvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Lichtquelle (1) einen Laserstrahl (3) erzeugt.
  4. Plasmonische Sensorvorrichtung nach Anspruch 1 bis 3 weiterhin mit: einem Reflexionsprisma (7), welches so positioniert ist, dass dessen Grundfläche (16) an die den Analytmolekülen (4) abgewandten Seite des Metallfilms (6) angrenzt und dass das kohärente Licht (3) an einer Eintrittsfläche (17) in das Reflexionsprisma (7) eintritt, an der von der Grundfläche (16) gebildeten Grenzfläche zwischen Reflexionsprisma (7) und Metallfilm (6) reflektiert wird und an einer Austrittsfläche (18) wieder aus dem Reflexionsprisma (7) austritt, bevor es auf den Detektor (8) trifft.
  5. Plasmonische Sensorvorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, wobei der Metallfilm (6) auf einer Seite als Gitterstruktur (10) ausgebildet ist, welche so positioniert ist, dass das kohärente Licht (3) an dieser reflektierbar ist, bevor es in den Detektor trifft.
  6. Plasmonische Sensorvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Metallfilm (6) mit Linkern (5) versehen ist, über welche die Analytmoleküle (4) an den Metallfilm (6) ankoppelbar sind.
  7. Plasmonische Sensorvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Detektor (8) ein CCD-Sensor oder ein CMOS-Sensor ist.
  8. Plasmonische Sensorvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Metallfilm (6) Gold und/oder Silber enthält.
  9. Plasmonische Sensorvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Metallfilm (6) mit dem kohärenten Licht (3) durch Drehen des zumindest einen Mikrospiegels (2) zweidimensional abtastbar ist.
  10. Plasmonische Sensorvorrichtung nach Anspruch 9, wobei der Metallfilm (6) als Teststreifen (11) ausgebildet ist, auf welchen nebeneinander angeordnete Analytgebiete (12) mit Analytmolekülen (4) aufgebracht sind.
  11. Plasmonische Sensorvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche weiterhin mit zumindest einem weiteren um mindestens eine weitere Drehachse (15a; 15b) drehbaren Mikrospiegel (2a; 2b), welcher so ausgebildet und angeordnet ist, dass das kohärente Licht (3) mittels mehrfacher Reflexion an den Mikrospiegeln (2; 2a; 2b) unter einem Einfallswinkel (13) auf einen Einfallsort (14) auf einer Seite des Metallfilms (6) lenkbar ist, wobei der Einfallswinkel (13) und der Einfallsort (14) durch individuelles Drehen der Mikrospiegel (2; 2a; 2b) um die Drehachsen (15; 15a; 15b) variierbar sind.
  12. Verfahren zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie mit einer plasmonischen Sensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11 mit den Schritten: Variieren des Einfallswinkels (13) des kohärenten Lichts (3) auf den Metallfilm (6) durch Drehen des zumindest einen Mikrospiegels (2; 2a; 2b), wobei je nach Einfallswinkel (13) Oberflächenplasmonen in dem Metallfilm (6) angeregt werden; und Messen der Intensität des auf den Metallfilm (6) gelenkten und von dort wieder reflektierten kohärenten Lichts (3) mittels eines Detektors (8) in Abhängigkeit vom Einfallswinkel (13).
  13. Verfahren zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie nach Anspruch 12 weiterhin mit dem Schritt: Abtasten des Metallfilms (6) durch Variieren des Einfallsortes (14) des kohärente Lichts (3) mittels Drehens des zumindest einen Mikrospiegels (2; 2a; 2b).
DE102014202844.2A 2014-02-17 2014-02-17 Plasmonische Sensorvorrichtung und Verfahren zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie Withdrawn DE102014202844A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014202844.2A DE102014202844A1 (de) 2014-02-17 2014-02-17 Plasmonische Sensorvorrichtung und Verfahren zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie
US14/599,322 US9752982B2 (en) 2014-02-17 2015-01-16 Plasmonic sensor device and method for surface plasmon resonance spectroscopy
CN201510238804.XA CN105044043B (zh) 2014-02-17 2015-02-15 等离子体传感器装置和用于表面等离子体共振光谱学的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014202844.2A DE102014202844A1 (de) 2014-02-17 2014-02-17 Plasmonische Sensorvorrichtung und Verfahren zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102014202844A1 true DE102014202844A1 (de) 2015-08-20

Family

ID=53758859

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102014202844.2A Withdrawn DE102014202844A1 (de) 2014-02-17 2014-02-17 Plasmonische Sensorvorrichtung und Verfahren zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9752982B2 (de)
CN (1) CN105044043B (de)
DE (1) DE102014202844A1 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10241102B2 (en) * 2015-02-13 2019-03-26 Hossein FADAEI System and method for determining properties of an oil material
US10281397B2 (en) * 2015-11-10 2019-05-07 Schlumberger Technology Corporation Optical sensors using surface plasmon resonance to determine at least one property relating to phase change of a hydrocarbon-based analyte
US10254216B2 (en) 2016-06-30 2019-04-09 Schlumberger Technology Corporation Systems, methods and apparatus for analysis of reservoir fluids using surface plasmon resonance
CN109799209B (zh) * 2019-01-31 2022-04-29 马佑桥 一种基于抛物面反光镜的简化棱镜spr激发装置
US10551313B1 (en) * 2019-04-15 2020-02-04 The Florida International University Board Of Trustees Surface plasmon resonance based mechanical sensing of beating heart cells

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1684063A1 (de) 2005-01-19 2006-07-26 Samsung Electronics Co.,Ltd. Tragbarer Biochip-Scanner unter Verwendung von Oberflächenplasmonenresonanz
US20070139653A1 (en) 2005-06-07 2007-06-21 Guan Hann W MEMS Micromirror Surface Plasmon Resonance Biosensor and Method

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3706265B2 (ja) * 1998-12-21 2005-10-12 富士写真フイルム株式会社 表面プラズモンセンサー
DE10163657B4 (de) * 2001-12-21 2008-05-08 Gedig, Erk, Dr. Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung dünner Schichten
US7265844B2 (en) * 2003-04-10 2007-09-04 Wisconsin Alumni Research Foundation Horizontal surface plasmon resonance instrument with improved light path
US7187446B2 (en) * 2004-07-26 2007-03-06 Fuji Photo Film Co., Ltd. Measuring apparatus
CN100575927C (zh) * 2006-05-18 2009-12-30 中国科学院化学研究所 光激发彩色表面等离子体共振成像仪
CN101477046B (zh) * 2009-01-09 2011-09-14 清华大学 基于表面等离子体共振传感的细胞分层检测方法及系统
DE102009003548A1 (de) * 2009-02-27 2010-09-02 Leibniz-Institut für Analytische Wissenschaften-ISAS-e.V. Verfahren zur hochaufgelösten Erfassung von Nanopartikeln auf zweidimensionalen Messflächen
EP2325634B1 (de) * 2009-11-19 2015-03-18 Seiko Epson Corporation Sensorchip, Sensorkartusche und Analysevorrichtung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1684063A1 (de) 2005-01-19 2006-07-26 Samsung Electronics Co.,Ltd. Tragbarer Biochip-Scanner unter Verwendung von Oberflächenplasmonenresonanz
US20070139653A1 (en) 2005-06-07 2007-06-21 Guan Hann W MEMS Micromirror Surface Plasmon Resonance Biosensor and Method

Also Published As

Publication number Publication date
CN105044043A (zh) 2015-11-11
CN105044043B (zh) 2020-05-19
US9752982B2 (en) 2017-09-05
US20150233823A1 (en) 2015-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1257809B1 (de) Spr-sensor und spr-sensoranordnung
DE102005062174B3 (de) Meßchip
EP1131618B1 (de) Messanordnung und messmethode zum parallelen auslesen von spr-sensoren
DE112014000683T5 (de) Faseroptische Sonde für die Fernspektroskopie
DE102014202844A1 (de) Plasmonische Sensorvorrichtung und Verfahren zur Oberflächenplasmonen-Resonanzspektroskopie
DE102007039845A1 (de) Spektroskopie-System
DE102006050959A1 (de) Spektroskopie-System
DE10145701A1 (de) Fluoreszenz-Biosensorchip und Fluoreszenz-Biosensorchip-Anordnung
DE102016008084A1 (de) Scanner für räumlich versetzte Raman-Spektroskopie
DE102015001032A1 (de) Raman-Spektroskopie-Beleuchtungs- und Auslesesystem
DE102014008098A1 (de) Spektral flexible, schnell umschaltbare optische Filtervorrichtung
WO2002088819A2 (de) Vorrichtung und verfahren zur optischen messung von chemischen und/oder biologischen proben
DE102016225808B4 (de) Lichtabgabe- und Sammelvorrichtung zum Messen einer Raman-Streuung einer Probe
WO2017125374A1 (de) Vorrichtung zur detektion und charakterisierung von organischen molekülen in einem flüssigen probenvolumen
EP3543681A1 (de) Detektionssystem zur detektion von spezifischen kleinen organischen teilchen auf unbeschichtetem oder beschichtetem glas mit hohem durchsatz
EP2430415A1 (de) Miniaturisiertes konfokales spektrometer
EP2271961B1 (de) Verfahren zum kalibrieren einer ablenkeinheit in einem tirf-mikroskop, tirf-mikroskop und verfahren zu dessen betrieb
AT18115U1 (de) Vorrichtung zur spektroskopischen Untersuchung von Fluiden
DE102004034354B3 (de) Ultrakompaktes Raman-Spektrometer
DE102011082469B4 (de) Spektrometer mit wenigstens einem Zerstreuungselement
DE102019106194B4 (de) Vorrichtung zur spektroskopischen Bestimmung der Bindungskinetik eines Analyten
DE102012106867A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur resonator-verstärkten optischen Absorptionsmessung an Proben mit kleinem Absorptionswirkungsquerschnitt
DE10052165A1 (de) SPR-Sensorsystem
DE102018115200A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum optischen Messen einer in einem Probenröhrchen mit konischem Boden angeordneten Probe
DE102019112346A1 (de) System zur Messung des Vorhandenseins und/oder der Konzentration einer in Körperflüssigkeit gelösten Analysesubstanz

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee