DE102014113036A1 - Anordnung und Verfahren zur Beschichtung eines bandförmigen Substrats - Google Patents

Anordnung und Verfahren zur Beschichtung eines bandförmigen Substrats Download PDF

Info

Publication number
DE102014113036A1
DE102014113036A1 DE102014113036.7A DE102014113036A DE102014113036A1 DE 102014113036 A1 DE102014113036 A1 DE 102014113036A1 DE 102014113036 A DE102014113036 A DE 102014113036A DE 102014113036 A1 DE102014113036 A1 DE 102014113036A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
shaped substrate
substrate
band
coating
roll
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE102014113036.7A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Hans-Jürgen Heinrich
Carsten Deus
Jaroslava Salomon
Robert Künanz
Falk Heyne
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Von Ardenne GmbH
Original Assignee
Von Ardenne GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Von Ardenne GmbH filed Critical Von Ardenne GmbH
Priority to DE102014113036.7A priority Critical patent/DE102014113036A1/de
Publication of DE102014113036A1 publication Critical patent/DE102014113036A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
DE102014113036.7A 2014-09-10 2014-09-10 Anordnung und Verfahren zur Beschichtung eines bandförmigen Substrats Ceased DE102014113036A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014113036.7A DE102014113036A1 (de) 2014-09-10 2014-09-10 Anordnung und Verfahren zur Beschichtung eines bandförmigen Substrats

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014113036.7A DE102014113036A1 (de) 2014-09-10 2014-09-10 Anordnung und Verfahren zur Beschichtung eines bandförmigen Substrats

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102014113036A1 true DE102014113036A1 (de) 2015-08-20

Family

ID=53758793

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102014113036.7A Ceased DE102014113036A1 (de) 2014-09-10 2014-09-10 Anordnung und Verfahren zur Beschichtung eines bandförmigen Substrats

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102014113036A1 (un)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016112867A1 (de) * 2016-07-13 2018-01-18 Von Ardenne Gmbh Transportanordnung und Prozessieranordnung sowie Verfahren zum Betreiben dieser
DE102016112865A1 (de) * 2016-07-13 2018-01-18 Von Ardenne Gmbh Transportanordnung und Prozessieranordnung
CN107705922A (zh) * 2017-10-30 2018-02-16 苏州东利鸿电子科技有限公司 极细电缆护套膜的分切卷绕制装置及其分切卷绕制工艺
CN114956592A (zh) * 2022-06-28 2022-08-30 河北光兴半导体技术有限公司 超薄柔性玻璃制造方法及制造系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4485125A (en) * 1982-03-19 1984-11-27 Energy Conversion Devices, Inc. Method for continuously producing tandem amorphous photovoltaic cells
DE4104591A1 (de) * 1990-03-05 1991-09-12 Northrop Corp Verfahren und vorrichtung zum kontinuierlichen chemischen aufdampfen eines ueberzugs auf ein substrat
JPH06184748A (ja) * 1992-12-24 1994-07-05 Canon Inc ロール状基体の真空処理装置
DE10157186C1 (de) 2001-11-22 2003-01-16 Ardenne Anlagentech Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten von bandförmigen Material
DE102007009615A1 (de) 2007-02-26 2008-08-28 Leybold Optics Gmbh Anlage und Verfahren zur Vakuumbehandlung von bandförmigen Substraten

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4485125A (en) * 1982-03-19 1984-11-27 Energy Conversion Devices, Inc. Method for continuously producing tandem amorphous photovoltaic cells
DE4104591A1 (de) * 1990-03-05 1991-09-12 Northrop Corp Verfahren und vorrichtung zum kontinuierlichen chemischen aufdampfen eines ueberzugs auf ein substrat
JPH06184748A (ja) * 1992-12-24 1994-07-05 Canon Inc ロール状基体の真空処理装置
DE10157186C1 (de) 2001-11-22 2003-01-16 Ardenne Anlagentech Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten von bandförmigen Material
DE102007009615A1 (de) 2007-02-26 2008-08-28 Leybold Optics Gmbh Anlage und Verfahren zur Vakuumbehandlung von bandförmigen Substraten

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP H06 184 748 A

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016112867A1 (de) * 2016-07-13 2018-01-18 Von Ardenne Gmbh Transportanordnung und Prozessieranordnung sowie Verfahren zum Betreiben dieser
DE102016112865A1 (de) * 2016-07-13 2018-01-18 Von Ardenne Gmbh Transportanordnung und Prozessieranordnung
DE102016112867B4 (de) 2016-07-13 2020-07-09 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Transportanordnung und Prozessieranordnung sowie Verfahren zum Betreiben dieser
CN107705922A (zh) * 2017-10-30 2018-02-16 苏州东利鸿电子科技有限公司 极细电缆护套膜的分切卷绕制装置及其分切卷绕制工艺
CN114956592A (zh) * 2022-06-28 2022-08-30 河北光兴半导体技术有限公司 超薄柔性玻璃制造方法及制造系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3036011A1 (de) Verfahren und einrichtung zur beschichtung eines schichttraegers durch kathodenzerstaeubung
EP2176442B1 (de) Vakuumbehandlung von bandförmigen substraten
DE102014113036A1 (de) Anordnung und Verfahren zur Beschichtung eines bandförmigen Substrats
DE19735603C1 (de) Vakuumbeschichtungsanlage für Mehrschichtsysteme
DE10157186C1 (de) Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten von bandförmigen Material
WO2014060468A1 (de) Mehrfachbeschichtungseinrichtung für bandsubstrate und bandsubstrat-vakuumbeschichtungsanlage
EP1561837B1 (de) Bandbeschichtungsanlage mit einer Vakuumkammer und einer Beschichtungswalze
DE2260683A1 (de) Vorrichtung am einlass und/oder auslass einer anlage zur kontinuierlichen behandlung von metallstreifen bzw. -bahnen unter vakuum
WO2009127373A1 (de) Transparentes barriereschichtsystem
DE102005024180A1 (de) Vakuumbeschichtungsanlage und Transferkammer dafür
DE102014105747B4 (de) Modulare Vorrichtung zum Bearbeiten von flexiblen Substraten
DE2747061A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum beschichten von baendern in vakuumanlagen mit schleuseneinrichtungen
DE102010002839A1 (de) Beschichtungsanlage und Verfahren zur Beschichtung von Halbleiterscheiben in Beschichtungsanlagen
DE102010022277A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Reaktivgastrennung in in-line-Beschichtungsanlagen
WO2011026997A1 (de) Vorrichtung zum transport bandförmigen materials
DE102014109265A1 (de) Vakuumbehandlungsanlage
DE102015114187B4 (de) Durchlauf-Folienbehandlungsanlage vertikal ausgerichteter Substrate
DE102013112068A1 (de) Substratbehandlungsanlage
DE102014107623B4 (de) Prozessieranlage
DE102013112067B4 (de) Bandsubstratbehandlungsanlage
DE102013107690B4 (de) Bandsubstratbehandlungsanlage
DE102014113041A1 (de) Anordnung und Verfahren zum Transport bandförmiger Substrate in einer Vakuumbeschichtungsanlage
DE102008018396A1 (de) Vakuum-Beschichtungsanlage
EP2984204B1 (de) Vorrichtung zum bearbeiten von flexiblen substraten
DE102009052873B4 (de) Vorrichtung zum kontinuierlichen bewegten Einschleusen eines Bandsubstrats ins Hochvakuum

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R082 Change of representative

Representative=s name: PATENTANWAELTE LIPPERT, STACHOW & PARTNER, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: PATENTANWAELTE LIPPERT, STACHOW & PARTNER, DE

R230 Request for early publication
R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final