Die Erfindung betrifft eine Prozesskammerabdeck-Anordnung und eine Prozesskammer-Anordnung. The invention relates to a Prozesskammerabdeck arrangement and a process chamber arrangement.
Im Allgemeinen können Verarbeitungsgüter, z.B. Substrate, Platten, Gläser, Wafer, Halbzeuge und/oder Werkzeuge einer Wärmebehandlung unterzogen werden, z.B. mittels einer sogenannten RTP-Behandlung (Rapid-Thermal-Processing). Eine Wärmebehandlung kann beispielsweise im Vakuum, bei Normaldruck oder bei Überdruck mittels Blitzlampen in Prozesskammern erfolgen. Dabei werden die Blitzlampen beispielsweise in eine Prozesskammer eingebaut und beispielsweise durch seitliche Öffnungen in der Prozesskammer hindurch mit Kühlwasser und/oder elektrischer Energie versorgt. Die elektrische Energie wird beispielsweise mittels Kabeln den Blitzlampen gepulst zugeführt. In general, processed goods, e.g. Substrates, plates, glasses, wafers, semi-finished products and / or tools are subjected to a heat treatment, e.g. by means of a so-called RTP treatment (Rapid Thermal Processing). A heat treatment can be carried out in process chambers, for example, in vacuum, at atmospheric pressure or at overpressure by means of flash lamps. In this case, the flash lamps are installed, for example, in a process chamber and supplied for example by lateral openings in the process chamber through with cooling water and / or electrical energy. The electrical energy is supplied pulsed, for example by means of cables to the flash lamps.
Ein Aspekt verschiedener Ausführungsformen kann anschaulich darin gesehen werden, eine Prozessieranordnung mit einer Blitzlampen-Anordnung für eine Prozessierkammer in modularer Form bereitzustellen, z.B. für eine Vakuum-Prozessierkammer oder eine Atmosphärendruck-Prozessierkammer. Dabei kann die Blitzlampen-Anordnung an einem lösbar mit der Prozesskammer verbundenen Wandelement (einer Prozesskammerabdeckung) der Prozesskammer montiert sein, wobei das Wandelement der Prozesskammer gemeinsam mit der daran montierten Blitzlampen-Anordnung von der Prozesskammer demontiert werden kann. Dabei kann das Wandelement derart eingerichtet sein, eine zugehörige Öffnung in der Prozesskammer abzudecken, z.B. luftdicht oder vakuumdicht zu verschließen. Somit kann die Blitzlampen-Anordnung beispielsweise in modulare Prozesskammer-Konzepte, z.B. in eine In-Line-Prozessier-Anlage, durch welche ein Substrat hindurch transportiert werden kann und wobei das Substrat nacheinander in verschiedenen Bereichen der In-Line-Prozessier-Anlage prozessiert (z.B. gereinigt, beschichtet, geätzt, erwärmt, belichtet, usw.) wird, integriert werden. One aspect of various embodiments can be seen illustratively in providing a processing arrangement with a flashlamp assembly for a processing chamber in modular form, e.g. for a vacuum processing chamber or an atmospheric pressure processing chamber. In this case, the flash lamp assembly may be mounted on a detachably connected to the process chamber wall element (a process chamber cover) of the process chamber, wherein the wall element of the process chamber can be disassembled together with the flash lamp assembly mounted thereon of the process chamber. In this case, the wall element may be arranged to cover an associated opening in the process chamber, e.g. airtight or vacuum-tight to close. Thus, the flash lamp assembly may be used, for example, in modular process chamber concepts, e.g. in an in-line processing plant, through which a substrate can be transported through and wherein the substrate is successively processed in different areas of the in-line processing plant (eg cleaned, coated, etched, heated, exposed, etc.) will be integrated.
Ferner kann ein anderer Aspekt verschiedener Ausführungsformen anschaulich darin gesehen werden, eine Blitzlampen-Anordnung an einem lösbar mit der Prozesskammer verbundenen Wandelement der Prozesskammer zu montieren und die Blitzlampen-Anordnung durch das Wandelement hindurch mit Kühlmittel und/oder elektrischer Energie zu versorgen. Anschaulich kann auch ein Teil der Versorgung für die Blitzlampen-Anordnung in die modulare Prozessieranordnung integriert sein. Further, another aspect of various embodiments may be illustratively embodied in mounting a flashlamp assembly to a wall member of the process chamber releasably connected to the process chamber and providing the flashlamp assembly with coolant and / or electrical energy through the wall member. Clearly, part of the supply for the flash lamp arrangement can also be integrated into the modular processing arrangement.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammerabdeck-Anordnung Folgendes aufweisen: eine Prozesskammerabdeckung zum Abdecken einer Öffnung einer Prozesskammer; und eine Blitzlampenanordnung mit mindestens einer Blitzlampe, wobei die Blitzlampenanordnung an der Prozesskammerabdeckung an ihrer Prozesskammerseite befestigt ist. According to various embodiments, a process chamber cover assembly may include: a process chamber cover for covering an opening of a process chamber; and a flashlamp assembly having at least one flashlamp, wherein the flashlamp assembly is attached to the process chamber cover at its process chamber side.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer eine Vakuumkammer sein und die Prozesskammerabdeckung kann eine Vakuumkammerabdeckung sein. According to various embodiments, the process chamber may be a vacuum chamber and the process chamber cover may be a vacuum chamber cover.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Blitzlampenanordnung mehrere Blitzlampen aufweisen. According to various embodiments, the flash lamp assembly may include a plurality of flash lamps.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung lösbar an der Prozesskammer befestigt sein. According to various embodiments, the process chamber cover may be releasably attached to the process chamber.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner einen Energieversorgungsschaltkreis aufweisen zum Bereitstellen von Energie (elektrischer Energie) an die mindestens eine Blitzlampe der Blitzlampenanordnung. According to various embodiments, the process chamber cover assembly may further include a power supply circuit for providing power (electrical energy) to the at least one flashlamp of the flash lamp assembly.
Ferner kann der Energieversorgungsschaltkreis auf der der Prozesskammerseite abgewandten Seite der Prozesskammerabdeckung angeordnet sein. Furthermore, the energy supply circuit can be arranged on the side of the process chamber cover facing away from the process chamber side.
Ferner kann der Energieversorgungsschaltkreis lösbar an der Prozesskammerabdeckung befestigt sein. Further, the power supply circuit may be detachably attached to the process chamber cover.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner eine Kontaktierungsstruktur aufweisen zum elektrischen Kontaktieren der Blitzlampenanordnung, wobei die Kontaktierungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung hindurch verläuft. Anschaulich können der Energieversorgungsschaltkreis und die Blitzlampenanordnung miteinander mittels der Kontaktierungsstruktur gekoppelt sein. According to various embodiments, a process chamber cover assembly may further comprise a contacting structure for electrically contacting the flash lamp assembly, the contacting structure passing through the process chamber cover. Illustratively, the power supply circuit and the flash lamp arrangement can be coupled to one another by means of the contacting structure.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner eine Kühlmittelversorgungsstruktur aufweisen zum Bereitstellen von Kühlmittel an die mindestens eine Blitzlampe der Blitzlampenanordnung. According to various embodiments, the process chamber cover assembly may further include a coolant supply structure for providing coolant to the at least one flashlamp of the flash lamp assembly.
Ferner kann die Kühlmittelversorgungsstruktur auf der der Prozesskammerseite abgewandten Seite der Prozesskammerabdeckung angeordnet sein. Furthermore, the coolant supply structure can be arranged on the side of the process chamber cover facing away from the process chamber side.
Ferner kann die Kühlmittelversorgungsstruktur lösbar an der Prozesskammerabdeckung befestigt sein. Further, the coolant supply structure may be releasably attached to the process chamber cover.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner eine Kühlungsstruktur aufweisen zum thermischen Kontaktieren der Blitzlampenanordnung, wobei die Kühlungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung hindurch verläuft. In accordance with various embodiments, a process chamber cover assembly may further include a cooling structure for thermally contacting the flash lamp assembly, the cooling structure passing through the process chamber cover.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner mindestens eine Sockelstruktur aufweisen zum Halten und Versorgen der mindestens einen Blitzlampe, wobei die Sockelstruktur an der Prozesskammerseite der Prozesskammerabdeckung angeordnet (montiert oder befestigt) ist. According to various embodiments, a process chamber cover assembly may further include at least one pedestal structure for holding and providing the at least one flashlamp, wherein the pedestal structure is disposed (mounted or mounted) on the process chamber side of the process chamber cover.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Sockelstruktur mehrere Sockelstrukturen aufweisen (oder die Prozesskammerabdeck-Anordnung kann mehrere Sockelstrukturen aufweisen) zum Halten mehrerer Blitzlampen, wobei die mehreren Sockelstrukturen an einer gemeinsamen Haltestruktur angeordnet (montiert oder befestigt) sind, und wobei die gemeinsame Haltestruktur an der Prozesskammerseite der Prozesskammerabdeckung angeordnet (montiert oder befestigt) ist. According to various embodiments, the at least one pedestal structure may include a plurality of pedestal structures (or the process chamber cover assembly may have a plurality of pedestal structures) for holding a plurality of flashlamps, wherein the plurality of pedestal structures are disposed (mounted or mounted) on a common support structure, and wherein the common support structure is at the Process chamber side of the process chamber cover arranged (mounted or attached) is.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner mindestens einen optischen Reflektor aufweisen, der zwischen der Blitzlampenanordnung und der Prozesskammerabdeckung angeordnet ist. According to various embodiments, a process chamber cover assembly may further include at least one optical reflector disposed between the flash lamp assembly and the process chamber cover.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung ein Kupplungselement aufweisen zum Befestigen einer Hebeeinrichtung zum Heben der Prozesskammerabdeck-Anordnung von der Öffnung der Prozesskammer. Anschaulich kann die Prozesskammerabdeckung beispielsweise eine Öse oder ein Gewinde zum Einschrauben einer Öse aufweisen, in welche beispielsweise ein Haken eines Krans eingreifen kann, so dass die Prozesskammerabdeck-Anordnung von der Öffnung der Prozesskammer abgehoben werden kann. According to various embodiments, the process chamber cover may include a coupling element for attaching a lifting device for lifting the process chamber cover assembly from the opening of the process chamber. Illustratively, the process chamber cover can have, for example, an eyelet or a thread for screwing in an eyelet into which, for example, a hook of a crane can engage, so that the process chamber cover arrangement can be lifted off the opening of the process chamber.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeck-Anordnung nach oben von der Prozesskammer abgehoben werden, oder nach unten von der Prozesskammer entfernt (z.B. abgesenkt) werden oder zu einer Seite hin von der Prozesskammer entfernt (verschoben) werden. Anschaulich kann die Prozesskammerabdeckung ein Seitenwandelement der Prozesskammer, ein Deckenelement der Prozesskammer, oder ein Bodenelement der Prozesskammer sein. According to various embodiments, the process chamber capping assembly may be lifted upwardly from the process chamber, or downwardly away from the process chamber (e.g., lowered), or moved away to one side from the process chamber. Illustratively, the process chamber cover may be a side wall element of the process chamber, a ceiling element of the process chamber, or a bottom element of the process chamber.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung ein Deckel zum Verschließen und/oder zum Abdichten einer Öffnung der Prozesskammer sein. According to various embodiments, the process chamber cover may be a lid for closing and / or sealing an opening of the process chamber.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammer-Anordnung Folgendes aufweisen: eine Prozesskammer mit einer Öffnung (zum Aufnehmen einer Prozesskammerabdeck-Anordnung), und eine Prozesskammerabdeck-Anordnung. According to various embodiments, a process chamber assembly may include: a process chamber having an opening (for receiving a process chamber capping assembly), and a process chamber capping assembly.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer-Anordnung ferner eine Vakuumpumpenanordnung aufweisen, mittels derer die mit der Prozesskammerabdeckung der Prozesskammerabdeck-Anordnung abgedichtete Prozesskammer evakuiert werden kann. According to various embodiments, the process chamber assembly may further include a vacuum pump assembly by means of which the process chamber sealed to the process chamber cover of the process chamber cap assembly may be evacuated.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung (eine Prozesskammer-Anordnung) Folgendes aufweisen: ein Wandelement (eine Prozesskammerabdeckung) zum Abdecken und/oder Abdichten einer Öffnung eines Prozesskammergehäuses, mindestens eine Blitzlampe, welche an dem Wandelement des Kammergehäuses derart befestigt ist, dass beim Montieren des Wandelements an dem Prozesskammergehäuse die mindestens eine Blitzlampe durch die Öffnung des Prozesskammergehäuses hindurch gebracht wird, und wobei im montierten Zustand des Wandelements an dem Prozesskammergehäuse die mindestens eine Blitzlampe von dem Wandelement in dem Prozesskammergehäuse gehalten wird und das Wandelement die Öffnung des Prozesskammergehäuses vakuumdicht oder luftdicht verschließt. According to various embodiments, a processing assembly (a process chamber assembly) may include: a wall member (a process chamber cover) for covering and / or sealing an opening of a process chamber housing, at least one flashlamp attached to the wall member of the chamber housing such that when assembling the process chamber Wall element on the process chamber housing, the at least one flash lamp is brought through the opening of the process chamber housing, and wherein in the mounted state of the wall element to the process chamber housing the at least one flashlamp is held by the wall element in the process chamber housing and the wall element closes the opening of the process chamber housing vacuum-tight or airtight ,
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Prozesskammergehäuse mit einer Vakuumpumpenanordnung gekoppelt sein, so dass das abgedichtete Prozesskammergehäuse evakuiert werden kann. According to various embodiments, the process chamber housing may be coupled to a vacuum pump assembly so that the sealed process chamber housing may be evacuated.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below.
Es zeigen Show it
1A eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit einer Blitzlampe in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 1A a process chamber cover assembly with a flash lamp in a schematic side view or cross-sectional view from a first direction, according to various embodiments;
1B eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit einer Blitzlampe in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer zweiten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 1B a Prozesskammerabdeck arrangement with a flashlamp in a schematic side view or cross-sectional view from a second direction, according to various embodiments;
1C eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit mehreren Blitzlampen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 1C a process chamber cover assembly having a plurality of flashlamps in a schematic side view or cross-sectional view from a first direction, according to various embodiments;
1D eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit mehreren Blitzlampen in einer schematischen Draufsicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 1D a process chamber cover assembly with a plurality of flash lamps in a schematic plan view, according to various embodiments;
1E eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit mehreren Blitzlampen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 1E a process chamber cover assembly having a plurality of flashlamps in a schematic side view or cross-sectional view from a first direction, according to various embodiments;
1F eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit einer Blitzlampe und einer Versorgungsvorrichtung in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 1F a process chamber cover assembly having a flash lamp and a supply device in a schematic side view or cross-sectional view from a first direction, according to various embodiments;
2A eine Prozesskammer-Anordnung in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 2A a process chamber arrangement in a schematic side view or cross-sectional view from a first direction, according to various embodiments;
2B eine Prozesskammer-Anordnung in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 2 B a process chamber arrangement in a schematic side view or cross-sectional view from a first direction, according to various embodiments;
3A und 3B jeweils eine Prozesskammer-Anordnung in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 3A and 3B each a process chamber arrangement in a schematic side view or cross-sectional view, according to various embodiments;
3C eine Prozesskammer-Anordnung in einer perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 3C a process chamber arrangement in a perspective view, according to various embodiments;
3D eine Prozesskammer-Anordnung in einer detaillierten schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 3D a process chamber arrangement in a detailed schematic side view or cross-sectional view, according to various embodiments;
4A und 4B jeweils eine Prozesskammer-Anordnung in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 4A and 4B each a process chamber arrangement in a schematic side view or cross-sectional view from a first direction, according to various embodiments;
4C und 4D jeweils eine Prozesskammer-Anordnung in einer perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; und 4C and 4D each a process chamber arrangement in a perspective view, according to various embodiments; and
4E jeweils eine Prozesskammer-Anordnung in einer Seitenansicht oder Querschnittsansicht und in einer entsprechenden perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen. 4E each a process chamber arrangement in a side view or cross-sectional view and in a corresponding perspective view, according to various embodiments.
In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert. In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part hereof, and in which is shown by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. is used with reference to the orientation of the described figure (s). Because components of embodiments can be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is illustrative and is in no way limiting. It should be understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made without departing from the scope of the present invention. It should be understood that the features of the various exemplary embodiments described herein may be combined with each other unless specifically stated otherwise. The following detailed description is therefore not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe "verbunden", "angeschlossen" sowie "gekoppelt" verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist. As used herein, the terms "connected," "connected," and "coupled" are used to describe both direct and indirect connection, direct or indirect connection, and direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference numerals, as appropriate.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen werden eine Prozesskammerabdeck-Anordnung und eine Prozesskammer-Anordnung bereitgestellt mittels derer Substrate oder Träger, wie beispielsweise Wafer, Folien, Glassubstrate, Bandsubstrate, Metallbänder oder Werkstücke einer Temperaturbehandlung oder einer Lichtbehandlung unterzogen werden können. Mittels Belichtens kann ein zu behandelndes Substrat oder ein zu behandelnder Träger beispielsweise ausschließlich erwärmt werden, oder die chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften des zu behandelnden Substrats oder Trägers können verändert werden. Mittels Blitzlampen können beispielsweise derart hohe Strahlungsleistungen erzeugt werden, dass diese in RTP-Anlagen (engl. rapid thermal processing, RTP) zum Behandeln von Substraten oder Trägern mittels Licht eingesetzt werden können. Ferner kann mittels Blitzlampen eine UV-Behandlung (z.B. Strahlenhärtung oder UV-Härtung) durchgeführt werden. According to various embodiments, a process chamber cover arrangement and a process chamber arrangement are provided by means of which substrates or substrates, such as wafers, films, glass substrates, tape substrates, metal strips or workpieces, can be subjected to a temperature treatment or a light treatment. By means of exposure, for example, a substrate to be treated or a support to be treated can be heated exclusively, or the chemical and / or physical properties of the substrate or support to be treated can be changed. By means of flash lamps, for example, such high radiation powers can be generated that they can be used in RTP systems (rapid thermal processing, RTP) for treating substrates or carriers by means of light. Further, flash lamps may be subjected to UV treatment (e.g., radiation curing or UV curing).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird ein Blitzlampenmodul (eine Prozesskammerabdeck-Anordnung) bereitgestellt, welches in eine Beschichtungsanlage (z.B. in eine Glasbeschichtungsanlage oder Folienbeschichtungsanlage) integriert werden kann. Mit Hilfe einer einfachen Adapterplatte kann das Blitzlampenmodul beispielsweise auf verschiedene Versionen der sich im Einsatz befindlichen Beschichtungsanlage angepasst werden. Anschaulich kann eine Prozesskammer eine (in Größe, Form und Lage) vordefinierte Öffnung aufweisen, wobei das Blitzlampenmodul passend zu einer derartigen Öffnung in der Prozesskammer bereitgestellt wird. According to various embodiments, a flashlamp module (a process chamber cover assembly) is provided which is incorporated in one Coating plant (eg in a glass coating plant or film coating plant) can be integrated. Using a simple adapter plate, the flash lamp module can be adapted, for example, to different versions of the coating system in use. Illustratively, a process chamber may have a predefined opening (in size, shape and location), the flash lamp module being provided to fit such an opening in the process chamber.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Blitzlampenmodul (die Prozesskammerabdeck-Anordnung) ein oder mehrere Blitzlampenschwingkreise aufweisen, z.B. montiert auf oder an dem Deckel des Blitzlampenmodul (auf der Prozesskammerabdeckung der Prozesskammerabdeck-Anordnung), so dass die mindestens eine Blitzlampe (oder die mehreren Blitzlampen) effizient betrieben werden können, z.B. mit möglichst geringer Verlustleistung. Anschaulich kann es aufgrund der hohen zum Blitzen benötigten elektrischen Ströme von mehreren Kiloampere pro Blitzlampe günstig sein, die Blitzlampenschwingkreise zum Erzeugen der hohen Ströme möglichst nah an den Blitzlampen anzuordnen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können der Ladekondensator und die Induktivität des jeweiligen Schwingkreises für eine Blitzlampe auf, an oder in dem Deckel montiert sein oder werden, z.B. in das Blitzlampenmodul integriert sein oder werden. Die Stromversorgung für den jeweiligen Blitzlampenschwingkreis hingegen, von welcher nur Ströme im Bereich von wenigen Ampere pro Blitzlampe zum Ladekondensator fließen, kann an einer beliebigen Stelle räumlich entfernt von dem Blitzlampenmodul installiert sein oder werden. According to various embodiments, the flash lamp module (the process chamber cover assembly) may include one or more flash lamp resonant circuits, e.g. mounted on or on the lid of the flashlamp module (on the process chamber cover of the process chamber cover assembly) so that the at least one flashlamp (or flashlamps) can be operated efficiently, e.g. with the lowest possible power loss. Clearly, due to the high electrical currents of several kiloamps per flash lamp required for flashing, it may be advantageous to arrange the flashlamp resonant circuits as close as possible to the flashlamps in order to generate the high currents. According to various embodiments, the charging capacitor and the inductance of the respective oscillating circuit for a flashlamp may be mounted on or in the lid, e.g. be integrated into the flash lamp module or be. In contrast, the power supply for the respective flashlamp oscillating circuit, from which only currents in the range of a few amperes per flashlamp flow to the charging capacitor, can be or will be installed anywhere remote from the flashlamp module.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können mehrere Blitzlampen in einer Blitzlampenanordnung als austauschbares Wechselbauteil bereitgestellt sein oder werden, so dass eine einfache Separation von dem Deckel mit den Kondensatoren und Spulen von den Blitzlampen möglich ist und die Kassette alleine auch per Luftfracht aufgrund des geringen Gewichts zu moderaten Kosten versendet werden kann. Anschaulich können mehrere Blitzlampen gemeinsam von einem Rahmen oder Träger gehalten werden, wobei der Rahmen oder Träger lösbar an dem Deckel (an der Prozesskammerabdeckung) befestig sein kann oder werden kann. Ferner können die Blitzlampen der mehreren Blitzlampen jeweils einzeln lösbar an dem Rahmen oder Träger befestigt sein oder werden. According to various embodiments, a plurality of flash lamps may be provided in a flashlamp assembly as an exchangeable interchangeable member, so that a simple separation of the lid with the capacitors and coils of the flashlamps is possible and the cassette alone by air freight due to the low weight shipped at a moderate cost can be. Illustratively, a plurality of flashlamps may be commonly held by a frame or carrier, wherein the frame or carrier may be releasably attachable to the lid (to the process chamber cover) or may be. Further, the flashlamps of the plurality of flashlamps may each be individually detachably attached to the frame or support.
Als Blitzlampen können beispielsweise Gasentladungslampen oder Hochdruck-Gasentladungslampen genutzt werden, welche mit einer maximalen Pulsleistung im Kilowatt-Bereich bis Gigawatt-Bereich betrieben werden können. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Blitzlampe eine elektrische Energie in einem Bereich von ungefähr 1 kJ bis ungefähr 250 kJ pro Lichtblitz umsetzten. Ferner kann eine Blitzlampe eine Lichtbogenlänge in einem Bereich von ungefähr einigen Zentimetern bis ungefähr einigen Metern aufweisen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 80 cm bis ungefähr 500 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 350 cm bis ungefähr 450 cm. Ferner kann mittels einer Blitzlampe eine Strahlungsenergie in einem Bereich von ungefähr 0,4 kJ bis ungefähr 100 kJ erzeugt werden, oder beispielsweise können 30 % bis 50 % der elektrischen Leistung in Strahlungsleistung umgesetzt werden, bzw. 30 % bis 50 % der elektrischen Energie können in Strahlungsenergie umgesetzt werden. Aufgrund des kurzen Lichtblitzes (z.B. im Millisekunden-Bereich) kann die Strahlungsleistung groß sein, z.B. im Gigawatt-Bereich. As flash lamps, for example, gas discharge lamps or high-pressure gas discharge lamps can be used, which can be operated with a maximum pulse power in the kilowatt range to gigawatt range. According to various embodiments, a flash lamp may convert electrical energy in a range of about 1 kJ to about 250 kJ per flash of light. Further, a flashlamp may have an arc length in a range of about a few centimeters to about a few meters, for example, in a range of about 80 cm to about 500 cm, e.g. in a range of about 350 cm to about 450 cm. Further, by means of a flashlamp, a radiant energy can be generated in a range of about 0.4 kJ to about 100 kJ or, for example, 30% to 50% of the electric power can be radiated, or 30% to 50% of the electric power be converted into radiation energy. Due to the short flash of light (e.g., in the millisecond range), the radiant power can be large, e.g. in the gigawatt range.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann beim Blitzen mittels der Blitzlampen (abhängig von der Leistung oder Leistung pro Länge) UV-Licht im Wellenlängenbereich von ungefähr 200 nm bis ungefähr 400 nm erzeugt werden, was beispielsweise zur UV-Behandlung von Substraten oder Trägern genutzt werden kann. Ferner kann beim Blitzen mittels der Blitzlampen (abhängig von der Leistung oder Leistung pro Länge) sichtbares Licht und/oder Infrarotlicht erzeugt werden. According to various embodiments, when flashed by flash lamps (depending on power or power per length), UV light may be generated in the wavelength range of about 200 nm to about 400 nm, which may be used, for example, for UV treatment of substrates or substrates. Further, when flashing by means of the flashlamps (depending on the power or power per length) visible light and / or infrared light can be generated.
1A veranschaulicht eine Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in einer Seitenansicht aus einer Richtung 103 quer zu den Richtungen 101 und 105, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 beispielsweise eine Prozesskammerabdeckung 102 aufweisen kann zum Abdecken einer Öffnung einer Prozesskammer. Die Prozesskammerabdeckung 102 kann beispielsweise im Wesentlichen plattenförmig sein, so dass mittels der Prozesskammerabdeckung 102 eine Öffnung in einer Prozesskammer abgedeckt (z.B. vollständig überlappt) werden kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung 102 (der Deckel 102) derart eingerichtet sein, dass diese eine Prozesskammer komplettiert, beispielsweise derart, dass ein Substrat innerhalb der Prozesskammer prozessiert werden kann, wenn die Prozesskammer mittels der Prozesskammerabdeckung 102 abgedeckt ist. Dazu kann die Prozesskammerabdeckung 102 beispielsweise mindestens eine Dichtfläche 102d (oder Dichtbereich) oder Auflagefläche 102d (oder Auflagebereich) aufweisen, beispielsweise am Rand der Prozesskammerabdeckung 102 und um die Prozesskammerabdeckung 102 umlaufend, wobei beim Montieren der Prozesskammerabdeckung 102 (oder der gesamten Prozesskammerabdeck-Anordnung 100) an einer Prozesskammer die mindestens eine Dichtfläche 102d oder Auflagefläche 102d mit einer entsprechend passenden Dichtfläche oder Auflagefläche der Prozesskammer in Kontakt gebracht werden kann, so dass die Prozesskammerabdeckung 102 die Prozesskammer mittels der Dichtfläche 102d oder Auflagefläche 102d zumindest in diesem Bereich luftdicht oder vakuumdicht abschließt. 1A illustrates a process chamber cover assembly 100 in a side view from one direction 103 across the directions 101 and 105 According to various embodiments, wherein the Prozesskammerabdeck arrangement 100 for example, a process chamber cover 102 may comprise for covering an opening of a process chamber. The process chamber cover 102 For example, it may be substantially plate-shaped, so that by means of the process chamber cover 102 an opening in a process chamber can be covered (eg completely overlapped). According to various embodiments, the process chamber cover 102 (the lid 102 ) be set up such that it completes a process chamber, for example, such that a substrate can be processed within the process chamber, when the process chamber by means of the process chamber cover 102 is covered. For this, the process chamber cover 102 For example, at least one sealing surface 102d (or sealing area) or bearing surface 102d (or support area), for example, at the edge of the process chamber cover 102 and the process chamber cover 102 circumferential, wherein when mounting the process chamber cover 102 (or the entire process chamber cover assembly 100 ) At a process chamber, the at least one sealing surface 102d or bearing surface 102d be brought into contact with a correspondingly appropriate sealing surface or bearing surface of the process chamber can, so the process chamber cover 102 the process chamber by means of the sealing surface 102d or bearing surface 102d closes airtight or vacuum-tight at least in this area.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Dichtfläche 102d oder Auflagefläche 102d plan sein, z.B. geschliffen und/oder poliert, so dass diese auf einer weiteren planen Dichtfläche oder Auflagefläche ohne zusätzliches elastisches Dichtungselement luftdicht oder vakuumdicht aufliegen kann oder so dass diese an einer weiteren planen Dichtfläche oder Auflagefläche ohne zusätzliches elastisches Dichtungselement luftdicht oder vakuumdicht anliegen kann. Dabei kann die Prozesskammerabdeckung 102 ein Metall oder eine Metalllegierung aufweisen oder daraus bestehen, z.B. Aluminium, eine Aluminiumverbindung, z.B. Stahl, z.B. Baustahl, z.B. Edelstahl, oder dergleichen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer, an welche die Prozesskammerabdeckung 102 (oder die gesamte Prozesskammerabdeck-Anordnung 100) montiert werden soll, ebenfalls ein Metall oder eine Metalllegierung aufweisen oder daraus bestehen, z.B. Aluminium, eine Aluminiumverbindung, z.B. Stahl, z.B. Baustahl, z.B. Edelstahl, oder dergleichen. According to various embodiments, the at least one sealing surface 102d or bearing surface 102d be plan, for example, ground and / or polished so that it can rest airtight or vacuum-tight on another flat sealing surface or support surface without additional elastic sealing element or so that they can abut air-tight or vacuum-tight on another flat sealing surface or support surface without additional elastic sealing element. In this case, the process chamber cover 102 comprise or consist of a metal or a metal alloy, eg aluminum, an aluminum compound, eg steel, eg structural steel, eg stainless steel, or the like. According to various embodiments, the process chamber to which the process chamber cover 102 (or the entire Prozesskammerabdeck arrangement 100 ), also comprise or consist of a metal or a metal alloy, eg aluminum, an aluminum compound, eg steel, eg structural steel, eg stainless steel, or the like.
Ferner kann die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 beispielsweise eine elastische Dichtungsstruktur aufweisen (nicht dargestellt), z.B. an der Dichtfläche 102d oder der Auflagefläche 102d der Prozesskammerabdeckung 102. Eine elastische vakuumtaugliche Dichtungsstruktur kann beispielsweise einen Kunststoff oder ein Polymer aufweisen, z.B. ein Polymer oder Co-Polymer gebildet aus Vinyliden-(di)-fluorid (VDF) (auch bezeichnet als Viton). Furthermore, the Prozesskammerabdeck arrangement 100 For example, have an elastic sealing structure (not shown), for example on the sealing surface 102d or the bearing surface 102d the process chamber cover 102 , An elastic vacuum-compatible sealing structure may for example comprise a plastic or a polymer, for example a polymer or co-polymer formed from vinylidene (di) fluoride (VDF) (also referred to as Viton).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung 102 eine Innenseite 102i (eine Prozesskammerseite 102i) aufweisen, wobei die Dichtfläche 102d oder die Auflagefläche 102d auf der Innenseite 102i der Prozesskammerabdeckung 102 bereitgestellt sein können. Die Innenseite 102i der Prozesskammerabdeckung 102 kann beispielsweise beim Montieren der Prozesskammerabdeckung 102 an einer Prozesskammer dem Inneren der Prozesskammer zugewandt sein. Entsprechend kann die Prozesskammerabdeckung 102 eine Außenseite 102a (eine der Prozesskammerseite 102i angewandte Seite) aufweisen, gegenüberliegend zur Innenseite 102i der Prozesskammerabdeckung 102. According to various embodiments, the process chamber cover 102 an inside 102i (a process chamber side 102i ), wherein the sealing surface 102d or the bearing surface 102d on the inside 102i the process chamber cover 102 can be provided. The inside 102i the process chamber cover 102 For example, when mounting the process chamber cover 102 be facing on a process chamber to the interior of the process chamber. Accordingly, the process chamber cover 102 an outside 102 (one of the process chamber side 102i applied side), opposite to the inside 102i the process chamber cover 102 ,
Wie in 1A veranschaulicht ist, kann eine Blitzlampenanordnung mit mindestens einer Blitzlampe 106 an der Innenseite der Prozesskammerabdeckung 102 befestigt (z.B. lösbar befestigt) oder montiert sein. Dazu kann beispielsweise eine Halterung 102h verwendet werden, welche die mindestens eine Blitzlampe 106 der Blitzlampenanordnung an der Prozesskammerabdeckung 102 hält oder fixiert. As in 1A Illustrated is a flash lamp assembly having at least one flash lamp 106 on the inside of the process chamber cover 102 fastened (eg releasably attached) or mounted. For this example, a holder 102h to be used, which is the at least one flashlamp 106 the flash lamp assembly on the process chamber cover 102 holds or fixes.
Die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 kann beispielsweise ferner mindestens einen optischen Reflektor, z.B. eine oder mehrere lichtreflektierende Flächen, aufweisen (nicht dargestellt), wobei der optische Reflektor beispielsweise zwischen der Blitzlampe 106 und der Prozesskammerabdeckung 102 angeordnet sein kann. Mittels des optischen Reflektors kann beispielsweise die Lichtabstrahlung 106L der mindestens einen Blitzlampe 106 in eine Richtung weg von der Prozesskammerabdeckung 102 vergrößert werden. Somit kann beispielsweise ein Substrat in der Prozesskammer effizient belichtet werden. Ferner kann eine Erwärmung der Prozesskammerabdeckung 102 aufgrund des von der mindestens einen Blitzlampe 106 abgestrahlten Lichts 106L mittels des optischen Reflektors vermindert werden. Dabei kann als optischer Reflektor auch ein Reflektor im infraroten Bereich des Lichts und/oder im ultravioletten Bereich des Lichts (neben dem sichtbaren Licht) verstanden werden. The process chamber cover assembly 100 For example, it may further include at least one optical reflector, eg, one or more light reflecting surfaces (not shown), the optical reflector being between the flashlamp, for example 106 and the process chamber cover 102 can be arranged. By means of the optical reflector, for example, the light emission 106L the at least one flash lamp 106 in a direction away from the process chamber cover 102 be enlarged. Thus, for example, a substrate can be efficiently exposed in the process chamber. Furthermore, heating of the process chamber cover 102 due to the at least one flash lamp 106 emitted light 106L be reduced by means of the optical reflector. In this case, a reflector in the infrared region of the light and / or in the ultraviolet region of the light (in addition to the visible light) can be understood as an optical reflector.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung ein Kupplungselement oder mehrere Kupplungselemente (z.B. eine Kupplungsstruktur) aufweisen zum Befestigen einer Hebeeinrichtung an der Prozesskammerabdeckung 102, so dass die Prozesskammerabdeckung 102 (oder die gesamte Prozesskammerabdeck-Anordnung 100) von der Prozesskammer demontiert werden kann (beispielsweise anschaulich mittels eines Hallenkrans). According to various embodiments, the process chamber cover may include one or more coupling elements (eg, a coupling structure) for attaching a lifting device to the process chamber cover 102 so that the process chamber cover 102 (or the entire Prozesskammerabdeck arrangement 100 ) can be dismantled from the process chamber (illustratively by means of a hall crane).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung 102 eine Breite entlang der Richtung 101 in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 150 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 30 cm bis ungefähr 100 cm. According to various embodiments, the process chamber cover 102 a width along the direction 101 in a range of about 10 cm to about 150 cm, for example in a range of about 30 cm to about 100 cm.
1B veranschaulicht beispielsweise die in 1A dargestellte Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in einer weiteren Seitenansicht aus einer Richtung 101 quer zu den Richtungen 103, 105. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 eine Länge entlang der Richtung 103 (quer zur Richtung 101) in einem Bereich von ungefähr 50 cm bis ungefähr 500 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 500 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 200 cm bis ungefähr 500 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 450 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 350 cm bis ungefähr 450 cm. 1B illustrates, for example, the in 1A illustrated process chamber cover assembly 100 in a further side view from one direction 101 across the directions 103 . 105 , According to various embodiments, the process chamber cover 102 the process chamber cover assembly 100 a length along the direction 103 (transverse to the direction 101 ) in a range of about 50 cm to about 500 cm, for example in a range of about 100 cm to about 500 cm, for example in a range of about 200 cm to about 500 cm, for example in a range of about 100 cm to about 450 cm, for example in a range of about 350 cm to about 450 cm.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 entlang deren Längserstreckung (in Richtung 103) von zwei Halterungen 102h eingefasst sein, z.B. von zwei Sockelelementen 102h, welche eine Sockelstruktur 102h für die mindestens eine Blitzlampe 106 bilden. Somit kann die mindestens eine Blitzlampe 106 beispielsweise beim Zünden stabilisiert sein oder werden. Die Halterungen 102h können wie dargestellt an der Prozesskammerabdeckung 102 montiert sein, so dass anschaulich die mindestens eine Blitzlampe 106 an der Prozesskammerabdeckung 102 befestigt oder montiert sein kann oder werden kann. Dabei kann die jeweilige Halterung 102h einstückig sein und beispielsweise an die Prozesskammerabdeckung 102 angeschraubt oder geklemmt sein. According to various embodiments, the at least one flashlamp 106 along whose longitudinal extent (in the direction 103 ) of two brackets 102h be enclosed, for example, of two base elements 102h which has a pedestal structure 102h for the at least one flashlamp 106 form. Thus, the at least one flash lamp 106 be stabilized when ignited, for example. The brackets 102h can be attached to the process chamber cover as shown 102 be mounted so that vividly the at least one flash lamp 106 at the process chamber cover 102 can be fixed or mounted or can be. In this case, the respective holder 102h be integral and, for example, to the process chamber cover 102 be screwed or clamped.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die jeweilige Halterung 102h Teil einer Kontaktierungsstruktur sein zum elektrischen Kontaktieren der mindestens einen Blitzlampe 106 der Blitzlampenanordnung, wobei sich die Kontaktierungsstruktur beispielsweise durch die Prozesskammerabdeckung 102 hindurch erstrecken kann. Ferner kann die jeweilige Halterung 102h Teil einer Kühlungsstruktur sein zum thermischen Kontaktieren der mindestens einen Blitzlampe 106 der Blitzlampenanordnung, wobei sich die Kühlungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung hindurch erstrecken kann. Beispielsweise kann unter Verwendung der jeweiligen Halterung 102h der mindestens einen Blitzlampe 106 ein Kühlmittel sowie elektrische Energie zugeführt werden. Dabei kann die mindestens eine Blitzlampe 106 derart eingerichtet sein, dass diese entlang deren Längserstreckung von dem Kühlmittel durchflossen werden kann. According to various embodiments, the respective holder 102h Part of a contacting structure for electrically contacting the at least one flash lamp 106 the flash lamp assembly, wherein the contacting structure, for example, by the process chamber cover 102 can extend through. Furthermore, the respective holder 102h Part of a cooling structure for the thermal contacting of the at least one flash lamp 106 the flash lamp assembly, wherein the cooling structure may extend through the process chamber cover. For example, using the respective bracket 102h the at least one flash lamp 106 a coolant and electrical energy are supplied. In this case, the at least one flash lamp 106 be set up so that it can be traversed along the longitudinal extent of the coolant.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 ein transparentes Innenrohr aufweisen (z.B. aus Quarzglas), wobei das transparente Innenrohr eine Anodenstruktur und eine Kathodenstruktur aufweist und derart eingerichtet ist (z.B. mit Gas gefüllt ist), dass innerhalb des Innenrohrs eine Gasentladung gezündet werden kann. Ferner kann die mindestens eine Blitzlampe 106 ein transparentes Außenrohr aufweisen, z.B. koaxial zum Innenrohr eingerichtet, so dass zwischen dem Innenrohr und dem Außenrohr ein Kühlmittel geleitet werden kann. According to various embodiments, the at least one flashlamp 106 a transparent inner tube (eg made of quartz glass), wherein the transparent inner tube has an anode structure and a cathode structure and is set up (eg filled with gas) that within the inner tube, a gas discharge can be ignited. Furthermore, the at least one flash lamp 106 have a transparent outer tube, for example, arranged coaxially with the inner tube, so that between the inner tube and the outer tube, a coolant can be passed.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die jeweilige Halterung 102h das Innenrohr und das Außenrohr der mindestens einen Blitzlampe 106 tragen, sowie eine elektrische Kontaktierung der Anode und der Kathode der mindestens einen Blitzlampe 106 ermöglichen, sowie das Einleiten von Kühlmittel zu der mindestens einen Blitzlampe 106 hin und das Ableiten von Kühlmittel von der mindestens einen Blitzlampe 106 weg ermöglichen. According to various embodiments, the respective holder 102h the inner tube and the outer tube of the at least one flash lamp 106 wear, as well as an electrical contacting of the anode and the cathode of the at least one flash lamp 106 allow, as well as the introduction of coolant to the at least one flash lamp 106 towards and the discharge of coolant from the at least one flash lamp 106 allow away.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 (oder können mehrere an der Prozesskammerabdeckung 102 befestigte Blitzlampen 106 jeweils) eine Länge entlang der Richtung 103 (quer zur Richtung 101) in einem Bereich von ungefähr 50 cm bis ungefähr 500 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 500 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 200 cm bis ungefähr 500 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 450 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 350 cm bis ungefähr 450 cm. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 entlang deren Längserstreckung (z.B. entlang der Richtung 103) kürzer sein als die Längserstreckung (z.B. entlang der Richtung 103) der Prozesskammerabdeckung 102. According to various embodiments, the at least one flashlamp 106 (or can several at the process chamber cover 102 attached flashlights 106 each) a length along the direction 103 (transverse to the direction 101 ) in a range of about 50 cm to about 500 cm, for example in a range of about 100 cm to about 500 cm, for example in a range of about 200 cm to about 500 cm, for example in a range of about 100 cm to about 450 cm, for example in a range of about 350 cm to about 450 cm. According to various embodiments, the at least one flashlamp 106 along its longitudinal extent (eg along the direction 103 ) be shorter than the longitudinal extent (eg along the direction 103 ) of the process chamber cover 102 ,
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 (oder können mehrere an der Prozesskammerabdeckung 102 befestigte Blitzlampen 106 jeweils) einen Durchmesser (quer zur Längserstreckung) in einem Bereich von ungefähr 0,5 cm bis ungefähr 5,0 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1,0 cm bis ungefähr 3,0 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1,5 cm bis ungefähr 2,0 cm. According to various embodiments, the at least one flashlamp 106 (or can several at the process chamber cover 102 attached flashlights 106 each) have a diameter (transverse to the longitudinal extent) in a range of about 0.5 cm to about 5.0 cm, for example in a range of about 1.0 cm to about 3.0 cm, for example in a range of about 1 , 5 cm to about 2.0 cm.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 (oder können mehrere an der Prozesskammerabdeckung 102 befestigte Blitzlampen 106 jeweils) rohrförmig sein, z.B. zylindrisch oder prismatisch rohrförmig (z.B. mit einer vieleckigen Grundfläche quer zur Längserstreckung der jeweiligen Blitzlampe 106). According to various embodiments, the at least one flashlamp 106 (or can several at the process chamber cover 102 attached flashlights 106 each) be tubular, for example cylindrical or prismatic tubular (eg with a polygonal base transversely to the longitudinal extent of the respective flash lamp 106 ).
1C veranschaulicht eine Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in einer Seitenansicht aus einer Richtung 103 quer zu den Richtungen 101 und 105, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mehrere Blitzlampen 106 aufweist. Mit anderen Worten kann die Blitzlampenanordnung der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mehrere Blitzlampen 106 aufweisen. 1C illustrates a process chamber cover assembly 100 in a side view from one direction 103 across the directions 101 and 105 According to various embodiments, wherein the Prozesskammerabdeck arrangement 100 several flashlamps 106 having. In other words, the flash lamp assembly of the Prozesskammerabdeck arrangement 100 several flashlamps 106 exhibit.
1D veranschaulicht beispielsweise die in 1C dargestellte Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mit mehreren Blitzlampen 106 in einer Draufsicht aus der Richtung 105 quer zu den Richtungen 101, 103. 1D illustrates, for example, the in 1C illustrated process chamber cover assembly 100 with several flash lamps 106 in a plan view from the direction 105 across the directions 101 . 103 ,
Dabei können die mehreren Blitzlampen 106 jeweils an deren Endabschnitten mittels einer Halterung 102h (wie vorangehend beschrieben) gehalten werden oder an der Prozesskammerabdeckung 102 befestigt werden. Ferner können die mehreren Blitzlampen 106 jeweils an deren axialen Endabschnitten mittels einer Vielzahl von Halterungen 102h gehalten werden oder an der Prozesskammerabdeckung 102 befestigt werden. Beispielsweise kann jede Blitzlampe 106 der mehreren Blitzlampen 106 an deren axialen Endabschnitten mittels jeweils zwei Halterungen 102h gehalten werden. The multiple flash lamps can do this 106 each at their end portions by means of a holder 102h (as described above) or at the process chamber cover 102 be attached. Furthermore, the multiple flash lamps 106 each at their axial end portions by means of a plurality of brackets 102h or at the process chamber cover 102 be attached. For example, any flash lamp 106 the several flash lamps 106 at their axial end sections by means of two brackets 102h being held.
Anschaulich kann jede der Blitzlampen 106 mittels zweier Sockelelemente einer Sockelstruktur gehalten und/oder versorgt werden, wobei die jeweilige Sockelstruktur beispielsweise direkt an der Prozesskammerseite 102i der Prozesskammerabdeckung 102 angeordnet sein kann. In diesem Fall kann beispielsweise jede der Blitzlampen 106 einzeln ausgewechselt werden (z.B. bei einem Defekt der Blitzlampe 106 oder bei einer verminderten Funktionalität der Blitzlampe 106), indem beispielsweise die jeweils zwei Sockelelemente der Sockelstruktur der zugehörigen Blitzlampe 106 von der Prozesskammerabdeckung 102 demontiert werden. Illustratively, each of the flashlamps 106 held and / or supplied by means of two base elements of a base structure, wherein the respective base structure, for example, directly to the process chamber side 102i the process chamber cover 102 can be arranged. In this case, for example, each of the flashlamps 106 be replaced individually (eg in case of a defect of the flash lamp 106 or at a reduced functionality of the flash lamp 106 ), for example, by the respective two base elements of the base structure of the associated flash lamp 106 from the process chamber cover 102 be dismantled.
Alternativ können die Sockelelemente der mehreren Sockelstrukturen jeweils auf einer Seite der Blitzlampen 106 an einer gemeinsamen Haltestruktur befestigt sein oder werden, wobei die gemeinsame Haltestruktur an der Prozesskammerseite 102i der Prozesskammerabdeckung 102 befestigt sein kann oder werden kann. In diesem Fall kann sowohl eine einzelne Blitzlampe 106 ausgewechselt werden, indem beispielsweise die jeweils zwei Sockelelemente der Sockelstruktur der zugehörigen Blitzlampe 106 von der gemeinsamen Haltestruktur demontiert werden, als auch alle Blitzlampen 106 gleichzeitig ausgewechselt werden, indem jeweils die beiden Haltestrukturelemente (an den axialen Endabschnitten der Blitzlampen 106) der gemeinsamen Haltestruktur von der Prozesskammerabdeckung 102 demontiert werden, wobei die mehreren Blitzlampen gemeinsam mit den jeweiligen Sockelelementen (Sockelstrukturen) von der Prozesskammerabdeckung 102 demontiert werden, wie beispielsweise in 1E veranschaulicht ist. Alternatively, the pedestals of the multiple pedestal structures may each be on one side of the flashlamps 106 be attached to a common support structure or, wherein the common support structure on the process chamber side 102i the process chamber cover 102 can be fixed or can be. In this case, both a single flashlamp 106 be replaced by, for example, the two base elements of the base structure of the associated flash lamp 106 be dismantled from the common support structure, as well as all flash lamps 106 be replaced at the same time, by each of the two holding structure elements (at the axial end portions of the flashlamps 106 ) of the common support structure from the process chamber cover 102 dismounted, wherein the plurality of flashlamps together with the respective base elements (base structures) of the process chamber cover 102 be dismantled, such as in 1E is illustrated.
1E veranschaulicht eine Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in einer Seitenansicht aus einer Richtung 103 quer zu den Richtungen 101 und 105, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mehrere Blitzlampen 106 aufweist, wobei jede der mehreren Blitzlampen 106 mittels eines Sockelelements 102s (eines Lampensockels 102s) einer Sockelstruktur an einem gemeinsamen Haltestrukturelement 102sh (einem Sockelelementhalter 102sh) einer Haltestruktur (z.B. lösbar) befestigt ist und wobei das Haltestrukturelement 102sh an der Prozesskammerabdeckung 102 (z.B. lösbar) befestigt ist. Dies ermöglicht eine große Flexibilität bei Wartungsprozessen, da entweder effizient alle Blitzlampen 106 ausgetauscht werden können oder falls nötig auch nur eine Blitzlampe 106 oder mehrere einzelne Blitzlampen 106 der Blitzlampenanordnung ausgetauscht werden können. 1E illustrates a process chamber cover assembly 100 in a side view from one direction 103 across the directions 101 and 105 According to various embodiments, wherein the Prozesskammerabdeck arrangement 100 several flashlamps 106 each having a plurality of flash lamps 106 by means of a base element 102s (a lamp socket 102s ) of a socket structure on a common support structure element 102sh (a pedestal element holder 102sh ) is secured to a support structure (eg releasably) and wherein the support structure element 102sh at the process chamber cover 102 (eg releasably) is attached. This allows a great deal of flexibility in maintenance processes, as either efficient all flash lamps 106 can be replaced or if necessary only a flash lamp 106 or several individual flash lamps 106 the flash lamp assembly can be replaced.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Blitzlampenanordnung bereitgestellt, wobei die Blitzlampenanordnung mehrere Blitzlampen 106 aufweisen kann, wobei die mehreren Blitzlampen 106 mittels jeweils einer Sockelstruktur an einer gemeinsamen Haltestruktur lösbar befestigt sind. Ferner kann die gemeinsame Haltestruktur eine Rahmenstruktur sein, so dass die Blitzlampenanordnung als eine vormontierte Baugruppe bereitgestellt sein kann oder werden kann. Beispielsweise kann die gesamte Blitzlampenanordnung als Verschleiß- oder Verbrauchsmaterial modular bereitgestellt und gewechselt werden. According to various embodiments, a flash lamp assembly is provided, wherein the flash lamp assembly includes a plurality of flash lamps 106 may have, wherein the multiple flash lamps 106 are releasably secured by a respective base structure to a common support structure. Further, the common support structure may be a frame structure such that the flash lamp assembly may or may be provided as a preassembled assembly. For example, the entire flash lamp assembly can be provided as a consumable or consumable modular and changed.
1F veranschaulicht eine Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in einer Seitenansicht aus einer Richtung 103 quer zu den Richtungen 101 und 105, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mindestens eine Blitzlampe 106 (oder analog mehrere Blitzlampen 106) aufweist, wie hierin beschrieben ist. 1F illustrates a process chamber cover assembly 100 in a side view from one direction 103 across the directions 101 and 105 According to various embodiments, wherein the Prozesskammerabdeck arrangement 100 at least one flash lamp 106 (or analogous to several flash lamps 106 ) as described herein.
Die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 kann ferner eine Versorgungsvorrichtung 108 aufweisen, wobei die Versorgungsvorrichtung 108 auf der Außenseite 102a der Prozesskammerabdeckung 102 gegenüber der Innenseite 102i bereitgestellt sein kann. Dabei kann die Versorgungsvorrichtung 108 mehrere Komponenten aufweisen, welche in einer gemeinsamen Häusung bereitgestellt sein können. Dabei kann die Versorgungsvorrichtung 108 lösbar an der Prozesskammerabdeckung 102 befestigt sein, so dass diese leicht von der Prozesskammerabdeckung 102 demontiert oder an der Prozesskammerabdeckung 102 montiert werden kann. Alternativ kann die Versorgungsvorrichtung 108 auch räumlich entfernt von der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 bereitgestellt sein oder werden. The process chamber cover assembly 100 may further include a supply device 108 have, wherein the supply device 108 on the outside 102 the process chamber cover 102 opposite the inside 102i can be provided. In this case, the supply device 108 have multiple components, which may be provided in a common housing. In this case, the supply device 108 detachable at the process chamber cover 102 be attached so that these are easily removed from the process chamber cover 102 dismantled or at the process chamber cover 102 can be mounted. Alternatively, the supply device 108 also spatially removed from the Prozesskammerabdeck arrangement 100 be or be provided.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Versorgungsvorrichtung 108 einen Energieversorgungsschaltkreis aufweisen zum Bereitstellen von elektrischer Energie an die mindestens eine Blitzlampe 106. Ferner kann die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 eine Kontaktierungsstruktur zum elektrischen Kontaktieren der mindestens einen Blitzlampe 106 aufweisen, wobei die Kontaktierungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung 102 hindurch verlaufen kann. Die Kontaktierungsstruktur kann beispielsweise jeweils eine Anode und/oder eine Kathode der mindestens einen Blitzlampe 106 mit dem Energieversorgungsschaltkreis verbinden. Dabei kann jeder Blitzlampe 106 jeweils ein Energieversorgungsschaltkreis zugeordnet sein. Die Blitzlampe 106 kann in dem Energieversorgungsschaltkreis als Schalter fungieren, wobei in diesem Fall das Zünden der Blitzlampe 106 zusätzlich getriggert (ausgelöst) werden muss, beispielsweise mittels eines zusätzlichen elektrischen Feldes oder eines Spannungspulses, so dass in der Blitzlampe 106 eine Gasentladung erzeugt wird. Alternativ kann der Energieversorgungsschaltkreis einen oder mehrere Schalter zum Betreiben (Blitzen) der mindestens einen Blitzlampe 106 aufweisen. According to various embodiments, the supply device 108 a power supply circuit for providing electrical energy to the at least one flash lamp 106 , Furthermore, the Prozesskammerabdeck arrangement 100 a contacting structure for electrically contacting the at least one flashlamp 106 wherein the contacting structure through the process chamber cover 102 can pass through. The contacting structure can, for example, in each case an anode and / or a cathode of the at least one flash lamp 106 connect to the power supply circuit. Every flashlamp can do this 106 each associated with a power supply circuit. The flashlamp 106 may act as a switch in the power supply circuit, in which case the ignition of the flashlamp 106 additionally triggered (triggered), for example by means of an additional electric field or a Voltage pulse, so in the flash lamp 106 a gas discharge is generated. Alternatively, the power supply circuit may include one or more switches for operating (flashing) the at least one flashlamp 106 exhibit.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Versorgungsvorrichtung 108 ferner eine Kühlungsstruktur aufweisen zum thermischen Kontaktieren (z.B. zum Kühlen) der mindestens einen Blitzlampe 106, wobei die Kühlungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung 102 hindurch verlaufen kann. According to various embodiments, the supply device 108 further comprising a cooling structure for thermal contacting (eg cooling) of the at least one flashlamp 106 wherein the cooling structure through the process chamber cover 102 can pass through.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Energieversorgungsschaltkreis eine Kondensatoranordnung aufweisen mit einem Kondensator oder mit mehreren Kondensatoren (z.B. parallel geschaltet), wobei die Kondensatoranordnung allmählich aufgeladen werden kann mittels einer externen Strom-/Spannungsquelle und (zum Erzeugen des Lichtblitzes mittels der Blitzlampe 106) durch die mindestens eine Blitzlampe 106 entladen werden kann. According to various embodiments, the power supply circuit may comprise a capacitor arrangement with a capacitor or with a plurality of capacitors (eg connected in parallel), wherein the capacitor arrangement may be gradually charged by means of an external current / voltage source and (for generating the flash of light by means of the flashlamp 106 ) through the at least one flash lamp 106 can be unloaded.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Energieversorgungsschaltkreis eine Spulenanordnung aufweisen mit eine Spule oder mit mehreren Spulen (z.B. parallel oder in Reihe geschaltet), wobei die Spulenanordnung derart eingerichtet ist, dass diese das Entladen der Kondensatoranordnung durch die mindestens eine Blitzlampe 106 hindurch beeinflusst. Anschaulich kann die Blitzlampe 106 mittels einer gepulsten Hochstromquelle betrieben werden, wobei die gepulste Hochstromquelle in die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 integriert sein kann. According to various embodiments, the power supply circuit may comprise a coil arrangement with a coil or with a plurality of coils (eg connected in parallel or in series), wherein the coil arrangement is arranged such that it discharges the capacitor arrangement by the at least one flashlamp 106 influenced. The flash lamp can be very clear 106 be operated by means of a pulsed high current source, wherein the pulsed high current source in the Prozesskammerabdeck arrangement 100 can be integrated.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Energieversorgungsschaltkreis eine elektrische Spannung zwischen der Anode und der Kathode der mindestens einen Blitzlampe 106 bereitstellen in einem Bereich von ungefähr 1 kV bis ungefähr 40 kV, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10 kV bis ungefähr 40 kV, z.B. in einem Bereich von ungefähr 20 kV bis ungefähr 40 kV. According to various embodiments, the power supply circuit may provide an electrical voltage between the anode and the cathode of the at least one flashlamp 106 provide in a range of about 1 kV to about 40 kV, eg in a range of about 10 kV to about 40 kV, for example in a range of about 20 kV to about 40 kV.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Energieversorgungsschaltkreis einen gepulsten Maximalstrom zwischen der Anode und der Kathode der mindestens einen Blitzlampe 106 in einem Bereich von ungefähr 100 A bis ungefähr 10 kA ermöglichen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1 kA bis ungefähr 10 kA, z.B. in einem Bereich von ungefähr 4 kA bis ungefähr 6 kA. According to various embodiments, the power supply circuit may provide a pulsed maximum current between the anode and the cathode of the at least one flashlamp 106 in a range of about 100 A to about 10 kA, for example, in a range of about 1 kA to about 10 kA, for example, in a range of about 4 kA to about 6 kA.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halterung 102h (z.B. mit den Sockelelementen 102s und optional der gemeinsamen Haltestruktur 102sh) derart eingerichtet sein, mehrere rohrförmige Blitzlampen aufzunehmen, zu halten und/oder zu versorgen (elektrisch zu versorgen und/oder zu kühlen), z.B. zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, oder mehr als zehn Blitzlampen, z.B. mehr als 12 Blitzlampen oder mehr als 20 Blitzlampen. According to various embodiments, the holder 102h (eg with the base elements 102s and optionally the common support structure 102sh ) are adapted to receive, hold and / or supply (electrically power and / or cool) a plurality of tubular flashlamps, eg, two, three, four, five, six, seven, eight, nine, ten, or more ten flashlamps, eg more than 12 flashlamps or more than 20 flashlamps.
Dabei können die mehreren Blitzlampen 106 nebeneinander angeordnet sein, z.B. quer zu deren Längsrichtung nebeneinander (vgl. 1D). Jede der mehreren Blitzlampen 106 kann eine Länge in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 500 cm aufweisen. Jede der mehreren Blitzlampen 106 kann einen Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 0,5 cm bis ungefähr 5,0 cm aufweisen. The multiple flash lamps can do this 106 be arranged side by side, for example, transverse to their longitudinal direction next to each other (see. 1D ). Each of the several flash lamps 106 may have a length in a range of about 100 cm to about 500 cm. Each of the several flash lamps 106 may have a diameter in a range of about 0.5 cm to about 5.0 cm.
2A veranschaulicht eine Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen Seitenansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 an einer Prozesskammer 200p montiert ist. 2A illustrates a process chamber arrangement 200 in a schematic side view, according to various embodiments, wherein the Prozesskammerabdeck arrangement 100 at a process chamber 200p is mounted.
Dabei kann die Prozesskammerabdeckung 102 an einer Kammerwand 200w der Prozesskammer 200p montiert sein oder werden. Wie vorangehend beschrieben, kann die Prozesskammer 200p eine Öffnung 200g aufweisen, wobei die mindestens eine Blitzlampe 106 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 im montierten Zustand zum Inneren 106s (zu einem Prozessierbereich 106s oder Belichtungsbereich 106s in der Prozesskammer) freiliegt. Dabei können/kann sich die Halterung 102h für die mindestens eine Blitzlampe 106 und/oder die mindestens eine Blitzlampe 106 durch die Öffnung 200g in einer Kammerwand der Prozesskammer 200p hindurch erstrecken. In this case, the process chamber cover 102 on a chamber wall 200w the process chamber 200p be or be mounted. As described above, the process chamber 200p an opening 200 g have, wherein the at least one flash lamp 106 the process chamber cover assembly 100 in the assembled state to the interior 106s (to a processing area 106s or exposure area 106s in the process chamber). This can / can the holder 102h for the at least one flashlamp 106 and / or the at least one flashlamp 106 through the opening 200 g in a chamber wall of the process chamber 200p extend through.
Wie in 2A veranschaulicht, kann die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 auf der Prozesskammer 200p aufliegen oder an der Prozesskammer 200p befestigt sein, z.B. angeschraubt oder geklemmt sein. Dabei kann die Blitzlampenanordnung 106 mit deren Auflagefläche 102d oder Dichtfläche 102d auf der passenden Auflagefläche 200d oder Dichtfläche 200d der Prozesskammer 200p aufliegen oder angrenzen. Somit kann der Bereich zwischen der Prozesskammer 200p (oder Prozesskammerwand 200w) und der Prozesskammerabdeckung 102 vakuumdicht oder luftdicht abgedichtet sein oder werden. Dabei kann die Auflagefläche 200d oder Dichtfläche 200d der Prozesskammer 200p die Öffnung 200g umgeben oder eingrenzen. Es versteht sich, dass die Öffnung 200g in der Prozesskammer 200p (oder in einer Prozesskammerwand 200w der Prozesskammer 200p) passend zur Blitzlampenanordnung bereitgestellt ist. As in 2A illustrates, the process chamber cover 102 the process chamber cover assembly 100 on the process chamber 200p rest or at the process chamber 200p be attached, eg screwed or clamped. In this case, the flash lamp assembly 106 with its bearing surface 102d or sealing surface 102d on the matching support surface 200d or sealing surface 200d the process chamber 200p rest or adjoin. Thus, the area between the process chamber 200p (or process chamber wall 200w ) and the process chamber cover 102 be vacuum tight or hermetically sealed. In this case, the bearing surface 200d or sealing surface 200d the process chamber 200p the opening 200 g surround or confine. It is understood that the opening 200 g in the process chamber 200p (or in a process chamber wall 200w the process chamber 200p ) is provided to match the flash lamp assembly.
Alternativ kann der Bereich zwischen der Prozesskammer 200p (oder Prozesskammerwand 200w) und der Prozesskammerabdeckung 102 (z.B. zusätzlich) mittels einer elastischen Dichtung abgedichtet sein oder werden. Alternatively, the area between the process chamber 200p (or process chamber wall 200w ) and the process chamber cover 102 (eg additionally) be sealed by an elastic seal or be.
2B veranschaulicht eine Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen Seitenansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in die Prozesskammer 200p eingebracht 205 (eingeschoben oder abgesenkt) werden kann. Im montierten Zustand kann die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 formschlüssig auf der Prozesskammer 200p aufliegen, wobei die mindestens eine Blitzlampe 106 innerhalb der Prozesskammer 200p gehalten wird, so dass ein Substrat 220 in einem Belichtungsbereich 106s der Prozesskammer 200p mittels der mindestens einen Blitzlampe 106 belichtet werden kann. 2 B illustrates a process chamber arrangement 200 in a schematic side view, according to various embodiments, wherein the Prozesskammerabdeck arrangement 100 in the process chamber 200p brought in 205 (inserted or lowered) can be. When assembled, the process chamber cover 102 the process chamber cover assembly 100 positive fit on the process chamber 200p rest, with the at least one flashlamp 106 within the process chamber 200p is held, leaving a substrate 220 in an exposure area 106s the process chamber 200p by means of the at least one flash lamp 106 can be exposed.
Dabei kann das Substrat 220 beispielsweise entlang einer planaren (oder auch gekrümmten) Transportfläche 101e geführt werden, z.B. mittels einer oder mehrerer Rollen 210 (Transportrollen). In this case, the substrate 220 For example, along a planar (or curved) transport surface 101e be guided, for example by means of one or more roles 210 (Transport rollers).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer 200p eine Vakuumprozesskammer 200p zum Belichten (Bestrahlen) eines Substrats 220 in einem Vakuum sein. Dabei kann mittels der Vakuumprozesskammer 200p ein Vakuum im Bereich des Grobvakuums, des Feinvakuums, des Hochvakuums oder des Ultrahochvakuums bereitgestellt sein oder werden. Das Vakuum (oder allgemein Unterdruck) kann beispielsweise mittels einer Vakuumpumpenanordnung bereitgestellt sein oder werden (nicht dargestellt), wobei die Vakuumpumpenanordnung beispielsweise eine Vorvakuumpumpe (z.B. eine Wälzkolbenpumpe, Membranpumpe oder Drehschieberpumpe) und/oder eine Hochvakuumpumpe (z.B. Turbomolekularpumpe) aufweisen kann. Ein jeweiliger Prozessdruck kann innerhalb der Vakuumprozesskammer 200p dynamisch bereitgestellt sein oder werden, wobei während des Prozessierens sowohl mindestens ein Gas (z.B. Prozessgase, Reaktivgas, oder Inertgas) in die Vakuumprozesskammer 200p eingeleitet wird, als auch das eingeleitete Gas wieder aus der Vakuumprozesskammer 200p mittels der Vakuumpumpenanordnung abgepumpt wird. Dabei kann sich ein Gleichgewicht einstellen, wodurch der Prozessdruck (z.B. ein Druck des Prozessgases) festgelegt werden kann. Der Gasfluss durch die Vakuumprozesskammer 200p hindurch und/oder der Prozessdruck kann dabei mittels Ventilen und/oder Sensoren (einer Regelung) geregelt und/oder gesteuert werden. According to various embodiments, the process chamber 200p a vacuum process chamber 200p for exposing (irradiating) a substrate 220 be in a vacuum. In this case, by means of the vacuum process chamber 200p a vacuum in the range of the rough vacuum, the fine vacuum, the high vacuum or the ultrahigh vacuum be or become. The vacuum (or generally negative pressure) may or may not be provided by a vacuum pumping arrangement (not shown), for example, the vacuum pumping arrangement may comprise a backing pump (eg, Roots pump, diaphragm pump, or rotary vane pump) and / or a high vacuum pump (eg, turbomolecular pump). A respective process pressure may be within the vacuum process chamber 200p be provided dynamically, wherein during the processing both at least one gas (eg, process gases, reactive gas, or inert gas) in the vacuum process chamber 200p is introduced, as well as the gas introduced again from the vacuum process chamber 200p is pumped by the vacuum pump assembly. In this case, a balance can be set, whereby the process pressure (eg, a pressure of the process gas) can be set. The gas flow through the vacuum process chamber 200p through and / or the process pressure can be regulated and / or controlled by means of valves and / or sensors (a control).
Alternativ kann die Prozesskammer 200p eine Atmosphärendruck-Prozesskammer zum Belichten eines Substrats an Normaldruck (tatsächlicher herrschender Luftdruck außerhalb der Prozesskammer 200p) oder bei leichtem Überdruck (z.B. ungefähr 1 hPa bis ungefähr 100 hPa über dem tatsächlich herrschenden Luftdruck außerhalb der Prozesskammer 200p) sein. Ferner kann die Prozesskammer 200p eine Überdruck-Prozesskammer sein, wobei Substrate unter einem Druck von mehr als 1200 hPa prozessiert werden können, z.B. in einem Prozessgas. Alternatively, the process chamber 200p an atmospheric pressure processing chamber for exposing a substrate to normal pressure (actual prevailing air pressure outside the process chamber 200p ) or at a slight overpressure (eg, about 1 hPa to about 100 hPa above the actual atmospheric pressure outside the process chamber 200p ) be. Furthermore, the process chamber 200p be an overpressure process chamber, wherein substrates can be processed under a pressure of more than 1200 hPa, for example in a process gas.
Die Befestigungsvorrichtung 102h (die Halterung 102h) zum Befestigen der mindestens einen Blitzlampe 106 kann beispielsweise entsprechende Lampensockel aufweisen zum Halten der jeweiligen Blitzlampe sowie zum elektrischen Versorgen der jeweiligen Blitzlampe, wie vorangehend beschrieben. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Befestigungsvorrichtung 102h derart eingerichtet sein, mehrere rohrförmige Blitzlampen aufzunehmen, in der Prozesskammer 200p zu halten und/oder zu versorgen (elektrisch zu versorgen und/oder zu kühlen), z.B. zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, oder mehr als zehn Blitzlampen, z.B. mehr als 12 Blitzlampen oder mehr als 20 Blitzlampen. Dabei können die mehreren Blitzlampen 106 nebeneinander angeordnet sein, z.B. quer zu deren Längsrichtung nebeneinander. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die mehreren Blitzlampen 106 (z.B. aufgrund deren Länge und deren relativen Anordnung zueinander) ein Belichtungsfeld 106s oder einen Belichtungsraum 106s definieren, in dem das Substrat 220 belichtet werden kann. The fastening device 102h (the holder 102h ) for attaching the at least one flash lamp 106 For example, it may have corresponding lamp sockets for holding the respective flashlamp and for electrically powering the respective flashlamp, as described above. According to various embodiments, the fastening device 102h be adapted to receive a plurality of tubular flash lamps in the process chamber 200p to hold and / or to supply (electrically and / or to cool), eg two, three, four, five, six, seven, eight, nine, ten, or more than ten flashlamps, eg more than 12 flashlamps or more as 20 flash lamps. The multiple flash lamps can do this 106 be arranged side by side, for example, transverse to their longitudinal direction next to each other. According to various embodiments, the plurality of flash lamps 106 (Eg due to their length and their relative arrangement to each other) an exposure field 106s or an exposure room 106s define in which the substrate 220 can be exposed.
Beispielsweise kann ein Substrat 220 quer zur Längsrichtung 103 der mindestens einen Blitzlampe 106 (z.B. entlang der Richtung 101) durch den Prozessierbereich 106s (Belichtungsbereich) hindurch transportiert werden. Die räumliche Ausdehnung der Prozesskammer 200p entlang der Richtung 101 (z.B. entlang einer Substrat-Transportrichtung) kann in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 600 cm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 40 cm bis ungefähr 100 cm. Ferner kann die Breite (z.B. die räumliche Ausdehnung entlang der Richtung 103 quer zur Transportrichtung 101) der Prozesskammer 200p in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 600 cm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 450 cm (dabei muss die Breite jedoch mindestens größer sein als die Länge der mindestens einen Blitzlampe 106 in die gleiche Richtung). For example, a substrate 220 transverse to the longitudinal direction 103 the at least one flash lamp 106 (eg along the direction 101 ) through the processing area 106s (Exposure area) are transported through. The spatial extent of the process chamber 200p along the direction 101 (eg, along a substrate transport direction) may range from about 20 cm to about 600 cm, eg, in a range from about 40 cm to about 100 cm. Furthermore, the width (eg the spatial extent along the direction 103 transverse to the transport direction 101 ) of the process chamber 200p in a range of about 20 cm to about 600 cm, for example in a range of about 100 cm to about 450 cm (but the width must be at least greater than the length of the at least one flash lamp 106 in the same direction).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Öffnung 200g in der Prozesskammer 200p eine Breite (entlang der Richtung 103, z.B. entlang der Längsrichtung der mindestens einen Blitzlampe 106) aufweisen, welche größer als die Länge der mindestens einen Blitzlampe 106 und welche kleiner als die Breite (entlang der Richtung 103, z.B. entlang der Längsrichtung der mindestens einen Blitzlampe 106) der Prozesskammerabdeckung 102 ist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Öffnung 200g in der Prozesskammer 200p eine Länge (entlang der Richtung 101, z.B. quer zur Längsrichtung der mindestens einen Blitzlampe 106) aufweisen, welche größer als der Durchmesser der mindestens einen Blitzlampe 106 (oder als die Blitzlampenanordnung 106) und welche kleiner als die Länge (entlang der Richtung 101, z.B. quer zur Längsrichtung der mindestens einen Blitzlampe 106) der Prozesskammerabdeckung 102 ist. Ferner kann die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 derart an der Prozesskammer 200p montiert sein oder werden, dass die Blitzlampen 106 mit deren Längserstreckung (entlang der Richtung 103) quer zur Transportrichtung 101 (entlang der Breitenrichtung 103 der Prozesskammer 200p) ausgerichtet sind. According to various embodiments, the opening 200 g in the process chamber 200p a width (along the direction 103 , eg along the longitudinal direction of the at least one flash lamp 106 ), which are larger than the length of the at least one flash lamp 106 and which are smaller than the width (along the direction 103 , eg along the longitudinal direction of the at least one flash lamp 106 ) of the process chamber cover 102 is. According to various embodiments, the opening 200 g in the process chamber 200p a length (along the direction 101 , For example, transversely to the longitudinal direction of the at least one flash lamp 106 ) which are larger than the diameter of the at least one flash lamp 106 (or as the flash lamp assembly 106 ) and which smaller than the length (along the direction 101 , For example, transversely to the longitudinal direction of the at least one flash lamp 106 ) of the process chamber cover 102 is. Furthermore, the Prozesskammerabdeck arrangement 100 like that at the process chamber 200p be mounted or be that the flashlamps 106 with its longitudinal extent (along the direction 103 ) transverse to the transport direction 101 (along the width direction 103 the process chamber 200p ) are aligned.
Wie in 2B veranschaulicht ist, können mehrere Blitzlampen 106 in der Prozesskammer 200p mittels der Befestigungsvorrichtung 102h gehalten und durch die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 hindurch mit elektrischer Energie und/oder Kühlmittel versorgt werden. Während des Betriebs der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 (während des Blitzens der Blitzlampen 106) kann das Substrat 220 entlang einer Transportebene 101e in der Prozesskammer 200p (in den Prozessierbereich 106s hinein und aus dem Prozessierbereich 106s heraus) transportiert werden, z.B. entlang der Richtung 101. Ferner kann auch ein Bandsubstrat entlang der beispielsweise zumindest teilweise gekrümmten Transportebene 101e in der Prozesskammer 200p (in den Prozessierbereich 106s hinein und aus dem Prozessierbereich 106s heraus) transportiert werden. As in 2 B Illustrated is, several flash lamps 106 in the process chamber 200p by means of the fastening device 102h held and through the process chamber cover 102 the process chamber cover assembly 100 be supplied with electrical energy and / or coolant through. During operation of the process chamber cover assembly 100 (during the flash of the flashlamps 106 ) may be the substrate 220 along a transport plane 101e in the process chamber 200p (in the processing area 106s into and out of the processing area 106s out), eg along the direction 101 , Furthermore, a tape substrate along the example, at least partially curved transport plane 101e in the process chamber 200p (in the processing area 106s into and out of the processing area 106s out).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer-Anordnung 200 eine Transportvorrichtung 210 aufweisen, beispielsweise mehrere Transportrollen 210. Dabei kann das Substrat 210 beim Transportieren beispielsweise nur zu ringförmigen Abschnitten der Transportrollen körperlichen Kontakt haben, wobei die ringförmigen Abschnitte radial von der Transportrolle hervorstehen. According to various embodiments, the process chamber arrangement 200 a transport device 210 have, for example, several transport rollers 210 , In this case, the substrate 210 when transporting, for example, only to annular portions of the transport rollers have physical contact, wherein the annular portions project radially from the transport roller.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer 200p entsprechende mindestens eine Eingangsschleuse und/oder mindestens eine Ausgangsschleuse aufweisen zum Transportieren des Substrats 220 in die Prozesskammer 200p hinein oder aus der Prozesskammer 200p heraus. According to various embodiments, the process chamber 200p corresponding at least one entrance lock and / or at least one exit lock have for transporting the substrate 220 in the process chamber 200p into or out of the process chamber 200p out.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer 200p derart eingerichtet sein, dass diese lichtdicht ist oder lichtdicht betrieben werden kann, so dass beispielsweise beim Blitzen keine elektromagnetische Strahlung (z.B. UV-Licht) aus der Prozesskammer 200p austreten kann. According to various embodiments, the process chamber 200p be set up so that it is light-tight or can be operated in a light-tight manner, so that, for example, when flashed no electromagnetic radiation (eg UV light) from the process chamber 200p can escape.
Die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 kann beispielsweise Teil einer Vakuumbeschichtungsanlage sein, z.B. Teil einer Glas-, Metallband- oder Folienbeschichtungsanlage. The process chamber cover assembly 100 For example, it can be part of a vacuum coating plant, eg part of a glass, metal strip or film coating plant.
Der Deckel 102 (die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100) kann dichtend mit der Vakuumbeschichtungsanlage verbunden sein oder werden. Ferner kann der Deckel 102 derart eingerichtet sein, dass dieser auf bei einer Vakuumbeschichtungsanlage üblicherweise vorhandene Öffnungen passt, auf die z.B. auch ein Magnetron oder ein Vakuumpumpdeckel gesetzt werden. Dabei kann der Deckel 102 fest verschraubt, lose aufgelegt oder angelegt werden, wobei das Anbringen von oben, unten oder seitlich möglich sein kann. The lid 102 (the process chamber cover 102 the process chamber cover assembly 100 ) may or may not be sealingly connected to the vacuum coating equipment. Furthermore, the lid 102 be set up so that this fits on a vacuum coating system usually existing openings on which, for example, a magnetron or a Vakuumpumpdeckel be set. The lid can 102 firmly screwed, loosely laid or created, the attachment of the top, bottom or side may be possible.
Die Blitzlampenanordnung 106 kann beispielsweise ein oder mehrere transparente Mantelrohre aufweisen (z.B. pro Blitzlampe 106 ein Mantelrohr, wobei das Mantelrohr hochtransparentes Material aufweise, wie z.B. Quarzglas, und wobei jeweils eine Gasentladungslampe 106 in dem Mantelrohr angeordnet ist, so dass die Gasentladungslampe 106 beim Betrieb mittels Wassers gekühlt werden kann. The flash lamp arrangement 106 may for example have one or more transparent jacket tubes (eg per flash lamp 106 a jacket tube, wherein the jacket tube highly transparent material such as quartz glass, and wherein in each case a gas discharge lamp 106 is arranged in the jacket tube, so that the gas discharge lamp 106 can be cooled during operation by means of water.
Ferner kann die Gasentladungslampe 106 ein langgestrecktes mit einem Gas gefülltes Lampenrohr aufweisen mit zwei in dem Lampenrohr jeweils am Ende des Lampenrohres angeordneten Elektroden, wobei eine Elektrode als Anode, die andere als Kathode bezeichnet oder betrieben wird. An den beiden Endabschnitten der Gasentladungslampe 106 können vakuumdicht auf dem Deckel montierte, dichtend mit dem Mantelrohr verbundene Endstücke 102h angeordnet sein, in welchen die Gasentladungslampe und das Mantelrohr gelagert und durch welche Kühlwasser in einen Ringspalt zwischen Gasentladungslampe und Mantelrohr ein- bzw. ausströmen kann. Furthermore, the gas discharge lamp 106 an elongate filled with a gas lamp tube having two in the lamp tube respectively arranged at the end of the lamp tube electrodes, wherein one electrode is referred to as an anode, the other as cathode or operated. At the two end portions of the gas discharge lamp 106 can vacuum-tight on the lid mounted, sealingly connected to the casing pipe end pieces 102h be arranged, in which the gas discharge lamp and the jacket tube mounted and through which cooling water in an annular gap between the gas discharge lamp and the jacket tube on and can flow out.
Somit können beispielsweise Kühlwasser und elektrische Energie innerhalb der Endstücke 102h an die Gasentladungslampe geführt werden. Optional kann auch ein Zünddraht auf der Anodenseite eingerichtet sein oder ein elektrisches Potential zur Selbstzündungsunterdrückung auf der Kathodenseite innerhalb der Endstücke bereitgestellt sein oder werden. Thus, for example, cooling water and electrical energy within the tails 102h be guided to the gas discharge lamp. Optionally, a firing wire may also be established on the anode side or an electric potential may be provided for autoignition suppression on the cathode side within the tails.
Um einen einfachen und schnellen Wechsel des Lampenfeldes mit den Endstücken vornehmen zu können, können die Endstücke 102s (die Sockelelemente) auf beiden Seiten jeweils mit einem zusammenfassenden Element 102sh, z.B. einer Zwischenplatte, montiert werden und dann als Einheit an den Vakuumdeckel 102 montiert werden. In diesen Zwischenplatten 102sh kann z.B. die Verteilung des Kühlwassers auf die einzelnen Endstücke 102 erfolgen, vgl. dazu 1E. Die jeweilige Zwischenplatte 102sh (die eine Zwischenplatte 102sh oder der eine Zwischenrahmen 102sh oder die mehreren Zwischenplatten 102sh) kann zu den Endstücken 102s und dem Deckel 102 abgedichtet sein. Die Endstücke 102s und Zwischenplatten 102sh können ein elektrisch isolierendes und gegen starke Lichtstrahlung resistentes, temperaturfestes Material aufweisen, wie z.B. Keramik oder Fluor-Kunststoff (PTFE oder PVDF). In order to make a simple and quick change of the lamp field with the end pieces, the end pieces 102s (The base elements) on both sides each with a summary element 102sh , eg an intermediate plate, and then as a unit to the vacuum lid 102 to be assembled. In these intermediate plates 102sh For example, the distribution of cooling water on the individual end pieces 102 take place, cf. to 1E , The respective intermediate plate 102sh (the one intermediate plate 102sh or the one intermediate frame 102sh or the several intermediate plates 102sh ) can to the tails 102s and the lid 102 be sealed. The tails 102s and intermediate plates 102sh can have an electrically insulating and resistant to strong light radiation, temperature-resistant material, such as ceramic or fluorine plastic (PTFE or PVDF).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann Blitzlampenanordnung 106 mindestens eine Lampe 106, ein Mantelrohr, Endstücke 102s, einen Zünddraht, eine elektrische Lampenkontaktierung als eine gemeinsame Lampeneinheit aufweisen, wobei mehrere Lampeneinheiten als ein gemeinsames Lampenfeld bereitgestellt sein können oder werden können. According to various embodiments, flash lamp assembly 106 at least one lamp 106 , a casing pipe, tails 102s , a firing wire, an electrical lamp contacting as a common lamp unit, wherein a plurality of lamp units may or may be provided as a common lamp array.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 derart eingerichtet sein oder betrieben werden, dass die Zündung der Gasentladungslampen 106 möglichst synchron erfolgt, beispielsweise mit Hilfe eines Hochspannungsimpulses welcher z.B. über einen Zünddraht, der sich im mit Wasser gefülltem Ringspalt zwischen Gasentladungslampe und Mantelrohr befindet, möglichst nahe an die Gasentladungslampe übertragen wird. Der Zünddraht kann auf der Anodenseite kontaktiert werden und parallel zur Gasentladungslampe 106 verlegt werden, so dass der Zünddraht mit einem ausreichenden Abstand (ca. 20cm) zur Kathode endet. According to various embodiments, the process chamber cover assembly 100 be set up or operated so that the ignition of the gas discharge lamps 106 as synchronously as possible, for example by means of a high-voltage pulse which is transmitted as close as possible to the gas discharge lamp via an ignition wire which is located in the water-filled annular gap between the gas discharge lamp and the jacket tube. The ignition wire can be contacted on the anode side and parallel to the gas discharge lamp 106 be laid so that the ignition wire ends with a sufficient distance (about 20cm) to the cathode.
Ferner kann eine Simmerzündung, eine Über-Kopf-Zündung oder ein auf Zündspannung gelegter Deckelreflektor zum Zünden der mindestens einen Blitzlampe 106 genutzt werden. Furthermore, a simmer ignition, an over-head ignition or an ignition voltage applied to the cover reflector for igniting the at least one flash lamp 106 be used.
Ferner kann die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 oder die Prozesskammer 200p Reflektoren aufweisen, derart eingerichtet, dass diese die in der Gasentladungslampe entstehende hochenergetische Lichtstrahlung auf das zu behandelnde Substrat möglichst wirksam reflektieren (konzentrieren). Furthermore, the Prozesskammerabdeck arrangement 100 or the process chamber 200p Have reflectors, set up so that they reflect as effective as possible in the gas discharge lamp high-energy light radiation on the substrate to be treated (concentrate).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Reflektoren auf der den Gasentladungslampen 106 zugewandten Oberfläche hochreflektierend und wassergekühlt sein und sich vom Substrat aus betrachtet hinter dem Lampenfeld befinden (ein so genannter Rück- oder Deckelreflektor) und zumindest seitlich des Lampenfeldes. According to various embodiments, the reflectors on the gas discharge lamps 106 facing surface to be highly reflective and water-cooled and viewed from the substrate behind the lamp field are (a so-called back or cover reflector) and at least the side of the lamp array.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung 102 einen Deckelreflektor zwischen der mindestens einen Blitzlampe 106 und der Prozesskammerabdeckung 102 aufweisen, wobei der Deckelreflektor an der Prozesskammerabdeckung 102 montiert sein kann. Ferner kann der Deckelreflektor unabhängig von der Prozesskammerabdeckung 102 in die Vakuumbeschichtungsanlage eingebaut sein oder werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die elektrische Energie für die kurze Gasentladung in den Lampen 106 mittels Kondensatoren bereitgestellt sein oder werden, so dass für eine kurze Zeit sehr hohe elektrische Ströme (ca. 5000 A) fließen können. Die Leistung der Gasentladung über die Zeit wird von einer Drosselspule mit einer vordefinierten Induktivität eingestellt. Die Kondensatoren werden mit einem zentralen oder jeweils einzelnen zugeordneten Kondensatorlader aufgeladen. According to various embodiments, the process chamber cover 102 a lid reflector between the at least one flash lamp 106 and the process chamber cover 102 wherein the lid reflector on the process chamber cover 102 can be mounted. Further, the lid reflector can be independent of the process chamber cover 102 be installed in the vacuum coating system or be. According to various embodiments, the electrical energy for the short gas discharge in the lamps 106 be provided by capacitors, so that for a short time very high electrical currents (about 5000 A) can flow. The power of the gas discharge over time is set by a choke coil with a predefined inductance. The capacitors are charged with a central or each individual associated capacitor charger.
Um die elektrischen Leitungsverluste gering zu halten, können die elektrischen Leiter zwischen Gasentladungslampe 106 und dem Kondensator bzw. Drosselspule möglichst kurz gehalten sein oder werden, indem die Kondensatoren und Spulen in unmittelbarer Nähe zur Gasentladungslampe 106, als zusammengefasste Einheit 108 (L-C-Einheit) auf der Prozesskammerabdeckung 102 montiert werden. In order to keep the electrical line losses low, the electrical conductors between the gas discharge lamp 106 and be kept as short as possible or the capacitor or inductor by the capacitors and coils in close proximity to the gas discharge lamp 106 , as a combined entity 108 (LC unit) on the process chamber cover 102 to be assembled.
Die L-C-Einheit 108 kann fest mit dem Vakuumdeckel 102 (der Prozesskammerabdeckung 102) verbunden sein oder leicht trennbar davon gestaltet sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die L-C-Einheit 108 mechanisch und elektrisch leicht von der Prozesskammerabdeckung 102 trennbar eingerichtet sein, so dass die L-C-Einheit 108 z.B. mit Hilfe eines Kranes, vom Vakuumdeckel heruntergehoben werden kann. Die elektrische Kontaktierung zwischen der L-C-Einheit 108 und den einzelnen Gasentladungslampen 106 kann mittels eines Steckkontakts (oder mittels mehrerer Steckkontakte) erfolgen, der (die) beim Montieren der L-C-Einheit 108 an dem Vakuumdeckel 102 kontaktiert oder über eine manuelle Verbindung erfolgen, z.B. in Form von herkömmlichen Steckkupplungen oder Schraubkontakten. The LC unit 108 Can firmly with the vacuum lid 102 (the process chamber cover 102 ) or easily separable therefrom. According to various embodiments, the LC unit 108 mechanically and electrically slightly from the process chamber cover 102 be separable, so that the LC unit 108 eg with the help of a crane, can be lifted down from the vacuum lid. The electrical contact between the LC unit 108 and the individual gas discharge lamps 106 can be done by means of a plug contact (or by means of several plug contacts), the (the) when mounting the LC unit 108 on the vacuum lid 102 contacted or via a manual connection, for example in the form of conventional plug-in couplings or screw contacts.
Im Folgenden werden verschiedene Modifikationen und Konfigurationen der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 bzw. der Prozesskammer-Anordnung 200 und Details zu der Blitzlampenanordnung 106 und der Prozesskammerabdeckung 102 beschrieben, wobei sich die bezüglich der 1A bis 1F, 2A und 2B beschriebenen grundlegenden Merkmale und Funktionsweisen analog einbeziehen lassen. Ferner können die nachfolgend beschriebenen Merkmale und Funktionsweisen analog auf die in den 1A bis 1F, 2A und 2B beschriebene Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 bzw. der Prozesskammer-Anordnung 200 übertragen werden oder mit der in den 1A bis 1F, 2A und 2B beschriebenen Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 bzw. der Prozesskammer-Anordnung 200 kombiniert werden. The following are various modifications and configurations of the process chamber cover assembly 100 or the process chamber arrangement 200 and details about the flash lamp assembly 106 and the process chamber cover 102 described, with respect to the 1A to 1F . 2A and 2 B analogous to the basic features and functions described above. Furthermore, the features and functions described below can analogously to those in the 1A to 1F . 2A and 2 B described process chamber cover assembly 100 or the process chamber arrangement 200 be transferred or with the in the 1A to 1F . 2A and 2 B described process chamber cover assembly 100 or the process chamber arrangement 200 be combined.
Die 3A bis 3D zeigen verschiedene Ansichten einer Prozesskammer-Anordnung 200, gemäß verschiedenen Ausführungsformen. The 3A to 3D show different views of a process chamber arrangement 200 according to various embodiments.
3A veranschaulicht die Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen Seitenansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 an der Prozesskammer 200p (einer Vakuumprozesskammer) montiert ist. 3A illustrates the process chamber arrangement 200 in a schematic side view, according to various embodiments, wherein the Prozesskammerabdeck arrangement 100 at the process chamber 200p (a vacuum processing chamber) is mounted.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann auf der Außenseite der Prozesskammerabdeckung 102 eine L-C-Einheit 108 (Induktivität, L, Kapazität, C) zum elektrischen Versorgen der Blitzlampen 106 (des Blitzlampenfeldes 106) montiert sein oder werden. An der L-C-Einheit 108 (z.B. an einer Außenseite einer Häusung der L-C-Einheit 108) können Elektroanschlüsse 314 für die L-C-Einheit 108 bereitgestellt sein, z.B. zum Aufladen der Kondensatoren der L-C-Einheit 108 mittels einer externen Ladevorrichtung. Anschaulich kann die L-C-Einheit 108 eine Puls-Strom-/Spannungsquelle sein. Die Prozesskammerabdeckung 102 (der Deckel 102) kann unter Verwendung einer Deckeldichtung 102d, 202d an der Prozesskammer 200p montiert sein oder werden. According to various embodiments, on the outside of the process chamber cover 102 an LC unit 108 (Inductance, L, capacitance, C) for supplying electric flash lamps 106 (of the flash lamp field 106 ) or be mounted. At the LC unit 108 (For example, on an outside of a housing of the LC unit 108 ) can be electrical connections 314 for the LC unit 108 be provided, eg for charging the capacitors of the LC unit 108 by means of an external charging device. Clearly, the LC unit 108 be a pulse current / voltage source. The process chamber cover 102 (the lid 102 ) can be done using a lid seal 102d . 202d at the process chamber 200p be or be mounted.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer-Anordnung 200 (z.B. die Prozesskammer 200p) eine Zentriervorrichtung 312 aufweisen, mittels derer die Prozesskammerabdeckung 102 und die L-C-Einheit 108 an der Prozesskammer 200p montiert werden können. According to various embodiments, the process chamber arrangement 200 (eg the process chamber 200p ) a centering device 312 by means of which the process chamber cover 102 and the LC unit 108 at the process chamber 200p can be mounted.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann sich eine elektrische Kontaktierung 310 (Kontaktstruktur) zum elektrischen Kontaktieren der Blitzlampenanordnung 106 durch die Prozesskammerabdeckung 102 hindurch erstrecken und beispielsweise die Blitzlampen 106 mit der L-C-Einheit 108 verbinden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die L-C-Einheit 108 mehrere Spulen und/oder Kondensatoren aufweisen, so dass die Gasentladungslampen 106 gepulst als Blitzlampen 106 betrieben werden können. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können beispielsweise für jede Blitzlampe 106 eine Spule und ein Kondensator bereitgestellt sein oder werden, wobei die Spule in Reihe zu der Blitzlampe 106 geschaltet sein kann und der Kondensator parallel zur Blitzlampe 106 (oder parallel zur Blitzlampe 106 und zur Spule) geschaltet sein kann. According to various embodiments, an electrical contact 310 (Contact structure) for electrically contacting the flash lamp assembly 106 through the process chamber cover 102 extend through and, for example, the flash lamps 106 with the LC unit 108 connect. According to various embodiments, the LC unit 108 Have a plurality of coils and / or capacitors, so that the gas discharge lamps 106 pulsed as flash lamps 106 can be operated. According to various embodiments, for example, for each flash lamp 106 a coil and a capacitor may or may not be provided, with the coil in series with the flashlamp 106 can be switched and the capacitor in parallel with the flash lamp 106 (or parallel to the flash lamp 106 and to the coil).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer-Anordnung 200 eine Transportrolle 210 oder mehrere Transportrollen 210 aufweisen, z.B. eine oder mehrere Scheibentransportrollen, wie beispielsweise auch in 3B in einer zur 3A zugehörigen Schnittansicht B-B veranschaulicht ist. According to various embodiments, the process chamber arrangement 200 a transport role 210 or several transport rollers 210 have, for example, one or more disc transport rollers, such as in 3B in a to 3A corresponding sectional view BB is illustrated.
Ferner kann die Prozesskammer-Anordnung 200 mehrere Reflektoren oder Reflektor-Strukturen aufweisen, z.B. einen Stirnseiten-Reflektor 308rs (vgl. 3B), einen Seitenreflektor 308r, einen Deckelreflektor 308rd, und einen Gegenreflektor 308g. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer 200p derart eingerichtet sein, dass das Substrat zwischen den Transportrollen 210 und der Blitzlampenanordnung 106 bzw. auf den Transportrollen 210 zwischen dem Gegenreflektor 308g und der Blitzlampenanordnung 106 transportiert werden kann. Furthermore, the process chamber arrangement 200 have multiple reflectors or reflector structures, such as a front-side reflector 308rs (see. 3B ), a side reflector 308R , a lid reflector 308rd , and a counter reflector 308g , According to various embodiments, the process chamber 200p be set up so that the substrate between the transport rollers 210 and the flash lamp assembly 106 or on the transport rollers 210 between the counter reflector 308g and the flash lamp assembly 106 can be transported.
3C veranschaulicht die Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 auf der Prozesskammer 200p montiert ist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 im Wesentlichen die gleichen seitlichen Abmessungen aufweisen, wie die Prozesskammer 200p. Ferner kann eine Prozessier-Anlage mehrere miteinander verbundene Prozesskammern 200p aufweisen, welche ein gemeinsames Kammersystem bildet, z.B. eine In-Line-Beschichtungsanlage (Durchlaufbeschichtungsanlage). In einer Prozessier-Anlage mit mehreren miteinander verbundene Prozesskammern 200p können beispielsweise eine oder mehrere Prozesskammern 200p mit der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 bestückt sein oder werden und weitere Prozesskammern 200p können beispielsweise mit Magnetrons oder anderen Vakuumkomponenten, z.B. einer Pump-Anordnung, bestückt sein oder werden. 3C illustrates the process chamber arrangement 200 in a schematic perspective view, according to various embodiments, wherein the Prozesskammerabdeck arrangement 100 on the process chamber 200p is mounted. According to various embodiments, the process chamber cover 102 the process chamber cover assembly 100 have substantially the same lateral dimensions as the process chamber 200p , Furthermore, a processing plant can have several interconnected process chambers 200p have, which forms a common chamber system, for example an in-line coating plant (continuous coating plant). In a processing plant with several interconnected process chambers 200p For example, one or more process chambers 200p with the Prozesskammerabdeck arrangement 100 be equipped or become and more process chambers 200p For example, they may or may not be populated with magnetrons or other vacuum components such as a pumping arrangement.
3D veranschaulicht eine Detailansicht X der Prozesskammer-Anordnung 200 (vgl. 3B), gemäß verschiedenen Ausführungsformen. 3D illustrates a detail view X of the process chamber assembly 200 (see. 3B ), according to various embodiments.
Wie vorangehend beschrieben, kann eine Blitzlampenanordnung 106 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mehrere Blitzlampen 106 aufweisen, welche mittels entsprechender Endstücke 102s (Sockelelemente) und einer Zwischenplatte 102sh (einer Haltestruktur) als Lampenfeld an der Prozesskammerabdeckung 102 montiert sein können oder werden können, wie vorangehend beschrieben. Die Zwischenplatte 102sh kann beispielsweise unter Verwendung einer Zwischenplatten-Dichtung 304dh an der Prozesskammerabdeckung 102 montiert sein oder werden. Ferner kann jeweils das Endstück 102s unter Verwendung einer Endstück-Dichtung 304ds an der Zwischenplatte 102sh montiert sein oder werden. As previously described, a flash lamp assembly 106 the process chamber cover assembly 100 several flashlamps 106 having, which by means of corresponding end pieces 102s (Base elements) and an intermediate plate 102sh (a holding structure) as a lamp array on the process chamber cover 102 may be mounted or may be as described above. The intermediate plate 102sh For example, using an intermediate plate seal 304dh at the process chamber cover 102 be or be mounted. Furthermore, in each case the tail 102s using a Tail Seal 304ds at the intermediate plate 102sh be or be mounted.
Ferner kann jeweils eine Blitzlampe 106 der Blitzlampenanordnung 106 in einem Mantelrohr 306m angeordnet sein, und mittels einer Dichtung 306d abgedichtet sein, so dass beispielsweise Kühlwasser in dem Mantelrohr 306m (z.B. ein Quarzglas-Rohr) geführt werden kann. Optional kann in oder an dem Mantelrohr 306m oder in der Blitzlampe 106 ein Zünddraht angeordnet sein zum Zünden der Blitzlampe 106. Furthermore, each one flash lamp 106 the flash lamp assembly 106 in a jacket pipe 306m be arranged, and by means of a seal 306d be sealed, so for example Cooling water in the jacket pipe 306m (For example, a quartz glass tube) can be performed. Optionally, in or on the jacket tube 306m or in the flashlamp 106 a firing wire may be arranged to ignite the flashlamp 106 ,
Die 4A bis 4D zeigen verschiedene Ansichten der in den 3A bis 3D beschriebenen Prozesskammer-Anordnung 200 in demontiertem oder teilweise montiertem Zustand, gemäß verschiedenen Ausführungsformen. The 4A to 4D show different views of the in the 3A to 3D described process chamber arrangement 200 in disassembled or partially assembled condition, according to various embodiments.
4A und 4B veranschaulichen jeweils die Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen Seitenansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Versorgungsvorrichtung 108 (oder die L-C-Einheit) von der Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 demontiert (z.B. abgehoben) ist und wobei ferner die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 von der Prozesskammer 200p demontiert (z.B. abgehoben) ist. 4A and 4B each illustrate the process chamber arrangement 200 in a schematic side view, according to various embodiments, wherein the supply device 108 (or the LC unit) from the process chamber cover 102 the process chamber cover assembly 100 disassembled (eg, lifted off) and further wherein the process chamber cover 102 the process chamber cover assembly 100 from the process chamber 200p dismantled (eg lifted) is.
Dabei kann das Montieren und Demontieren der Prozesskammer-Anordnung 200 unter Verwendung der Zentriervorrichtung 312 erfolgen, wobei sich die Zentriervorrichtung 312 im montierten Zustand der Prozesskammer-Anordnung 200 beispielsweise durch entsprechend passende Durchgangslöcher in der Prozesskammerabdeckung 102 und in der Versorgungsvorrichtung 108 hindurch erstrecken kann. In this case, the mounting and dismounting of the process chamber arrangement 200 using the centering device 312 take place, with the centering device 312 in the assembled state of the process chamber arrangement 200 for example, by appropriately matching through holes in the process chamber cover 102 and in the supply device 108 can extend through.
4C veranschaulicht die Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Versorgungsvorrichtung 108 (oder die L-C-Einheit) von der Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 demontiert (z.B. abgehoben) ist und wobei ferner die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 von der Prozesskammer 200p demontiert (z.B. abgehoben) ist. Anschaulich können diese Komponenten der Prozesskammer-Anordnung 200 modular bereitgestellt sein oder werden. 4C illustrates the process chamber arrangement 200 in a schematic perspective view, according to various embodiments, wherein the supply device 108 (or the LC unit) from the process chamber cover 102 the process chamber cover assembly 100 disassembled (eg, lifted off) and further wherein the process chamber cover 102 the process chamber cover assembly 100 from the process chamber 200p dismantled (eg lifted) is. Illustratively, these components of the process chamber arrangement 200 be provided modular or be.
4D veranschaulicht die Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 gemeinsam mit der Versorgungsvorrichtung 108 (oder die L-C-Einheit) von der Prozesskammer 200p demontiert (z.B. abgehoben) ist. Die Versorgungsvorrichtung 108 kann beispielsweise fest in die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 integriert sein. 4D illustrates the process chamber arrangement 200 in a schematic perspective view, according to various embodiments, wherein the process chamber cover 102 the process chamber cover assembly 100 together with the supply device 108 (or the LC unit) from the process chamber 200p dismantled (eg lifted) is. The supply device 108 For example, can firmly into the Prozesskammerabdeck arrangement 100 be integrated.
4E veranschaulicht die Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, mit der an der Prozesskammer 200p montierten L-C-Einheit 108 (Versorgungsvorrichtung 108). Die L-C-Einheit 108 oder die Versorgungsvorrichtung 108 kann beispielsweise mehrere Kondensatoren 408k aufweisen und mehrere Spulen 408s (z.B. Drosselspulen), welche in einer Häusung 408g angeordnet sein können. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die L-C-Einheit 108 mit den Kondensatoren 408k und den Spulen 408s auf der Prozesskammerabdeckung 102 als Modul montiert sein oder werden. Es versteht sich, dass die Kondensatoren 408k und die Spulen 408s der L-C-Einheit 108 auch in anderer Form und/oder Anordnung bereitgestellt sein können oder werden können. Ferner kann in die L-C-Einheit 108 auch eine Kühlmittelführung oder eine Kühlvorrichtung zum Kühlen der Blitzlampen 106 und/oder der L-C-Einheit 108 integriert sein. 4E illustrates the process chamber arrangement 200 in a schematic perspective view, according to various embodiments, with the at the process chamber 200p mounted LC unit 108 (Source apparatus 108 ). The LC unit 108 or the supply device 108 for example, several capacitors 408k have and several coils 408S (eg inductors), which in a housing 408g can be arranged. According to various embodiments, the LC unit 108 with the capacitors 408k and the coils 408S on the process chamber cover 102 be mounted as a module or be. It is understood that the capacitors 408k and the coils 408S the LC unit 108 can also be provided in other form and / or arrangement. Furthermore, in the LC unit 108 also a coolant guide or a cooling device for cooling the flash lamps 106 and / or the LC unit 108 be integrated.
Das Montieren der verschiedenen Komponenten und Bauteile, wie hierin beschrieben, kann beispielsweise aufweisen: Stecken, Klemmen, Auflegen, Anlegen, Kleben, Verschrauben oder ein mechanisch unlösbares Verbinden (z.B. Schweißen). Ferner können/kann die Prozesskammer 200p und/oder die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 weitere Bauteile aufweisen, z.B. Sensoren, Vakuumpumpen, Kühlvorrichtungen, Heizer und Ähnliches. The mounting of the various components and components as described herein may include, for example, mating, clamping, laying, applying, gluing, bolting, or mechanically non-releasable bonding (eg, welding). Furthermore, the process chamber can / can 200p and / or the Prozesskammerabdeck arrangement 100 have other components, such as sensors, vacuum pumps, cooling devices, heaters and the like.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Blitzlampen senkrecht zur Transportrichtung ausgerichtet sein. Ferner kann der Deckel derart eingerichtet sein, z.B. massive Wandungen und/oder einen massiven Grundkörper aufweisen, dass die Anordnung im Deckel elektromagnetisch abgeschirmt wird (EMV-Abschirmung), insbesondere in Richtung der Prozesskammer. According to various embodiments, the flash lamps may be aligned perpendicular to the transport direction. Further, the lid may be configured such as e.g. Have massive walls and / or a solid body that the arrangement is shielded electromagnetically in the lid (EMC shielding), especially in the direction of the process chamber.
Die hierin beschriebene Prozesskammerabdeck-Anordnung oder Blitzlampenanordnung ermöglicht einen modularen Aufbau einer Prozessieranlage. The process chamber cover arrangement or flash lamp arrangement described herein enables a modular structure of a processing plant.
Der Versorgung der Blitzlampen kann in dem kleinen Bauraum des Deckels angeordnet sein (z.B. kompakt in dem Deckel angeordnet sein). Beispielsweise kann der Hochstromkreis zum Versorgen der Blitzlampen kompakt in dem Deckel angeordnet sein (Arbeitsschutz). Daher können kurze Leitungen im Hochstromkreis bereitgestellt werden mit kleinen parasitären Induktivitäten und/oder Kapazitäten. Ferner können dünne Zuleitungen außerhalb des Deckels (mit kleinem Querschnitt) verwendet werden, da nur kleine Ströme (z.B. Gleichstrom mit ungefähr 2 A) für den Hochstromkreis im Deckel bereitgestellt werden müssen, wobei ferner (z.B. aufgrund der vergleichsweise geringen Stromstärken) Standardstecker am Deckel verwendet werden können. The supply of the flash lamps may be arranged in the small installation space of the cover (for example, be arranged compactly in the cover). For example, the high-current circuit for supplying the flash lamps can be arranged compactly in the lid (occupational safety). Therefore, short lines in the high current circuit can be provided with small parasitic inductances and / or capacitances. Furthermore, thin leads outside the lid (with a small cross-section) can be used, since only small currents (eg DC with about 2 A) must be provided for the high current circuit in the lid, further (eg due to the comparatively low currents) using standard plugs on the lid can be.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein elektrischer Steckverbinder zwischen einer Blitzlampe und dem zugehörigen Anschlusskopf oder geschraubte Verbindung verwendet werden. According to various embodiments, an electrical connector may be used between a flashlamp and the associated terminal head or threaded connection.
Anschaulich kann die Stromversorgung (z.B. die Hochstromversorgung) für die Blitzlampen eine große Baugröße erfordern, z.B. mehr als 1 m3, wobei diese bei herkömmlichen Anordnungen beispielsweise direkt neben der Anlage platziert werden müssten, wo allerdings ein Platzmangel herrschen kann. Die hierin beschriebene Prozesskammerabdeck-Anordnung kann es beispielsweise ermöglichen, dass die Stromversorgung an einem beliebigen Ort aufgestellt werden kann. Clearly, the power supply (eg the high current supply) for the flash lamps require a large size, eg more than 1 m 3 , which would have to be placed in conventional arrangements, for example, directly next to the system, where, however, there may be a lack of space. The process chamber cover assembly described herein may, for example, allow the power supply to be located anywhere.
