DE102011087885B3

DE102011087885B3 - Flash lamp assembly

Info

Publication number: DE102011087885B3
Application number: DE201110087885
Authority: DE
Inventors: Dr. Gross Harald
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne GmbH
Priority date: 2011-12-07
Filing date: 2011-12-07
Publication date: 2013-02-28
Anticipated expiration: 2031-12-08
Also published as: WO2013083356A1

Abstract

Der Erfindung, die eine Blitzlampenanordnung mit mindestens zwei stabförmigen Blitzlampen betrifft, die jeweils eine Längserstreckung aufweisen und zu einem Blitzlampenfeld parallel in einer Ebene zueinander angeordnet und mit einer Halterung mechanisch verbunden sind, liegt die Aufgabe zugrunde, die durch einen Stromfluss in den Blitzlampen hervorgerufenen Kräfte so zu kompensieren, dass sich die mechanische Belastung der Blitzlampen, insbesondere der äußeren Blitzlampen, verringert. Dies wird dadurch gelöst, dass parallel zu den äußeren Blitzlampen des Blitzlampenfeldes neben deren Außenseiten Magnetfeld erzeugende Elemente derart angeordnet sind, dass je ein Magnetfeld eines Elementes zumindest je ein durch die äußeren Blitzlampen generiertes Magnetfeld kompensiert.The invention, which relates to a flash lamp assembly having at least two rod-shaped flash lamps, each having a longitudinal extent and arranged parallel to a flash lamp field in a plane to each other and mechanically connected to a bracket, the task is based, caused by a current flow in the flash lamps forces be compensated so that the mechanical load of the flash lamps, in particular the external flash lamps, reduced. This is achieved by arranging magnetic-field-generating elements parallel to the outer flash lamps of the flash lamp field next to their outer sides in such a way that each magnetic field of an element compensates at least one magnetic field generated by the outer flash lamps.

Description

Die Erfindung betrifft eine Blitzlampenanordnung mit mindestens zwei stabförmigen Blitzlampen, die jeweils eine Längserstreckung aufweisen und zu einem Blitzlampenfeld parallel in einer Ebene zueinander angeordnet sind. Die Blitzlampen sind mit einer Halterung mechanisch verbunden. Die Blitzlampen-Seiten, die mit keiner anderen Blitzlampe benachbart sind, bilden die Außenseite des Blitzlampenfeldes und die diese Außenseite aufweisenden Blitzlampen stellen die äußeren Blitzlampen dar.The invention relates to a flash lamp assembly having at least two rod-shaped flash lamps, each having a longitudinal extent and are arranged parallel to a flash lamp field in a plane to each other. The flash lamps are mechanically connected to a bracket. The flashlight sides, which are not adjacent to any other flashlamp, form the outside of the flashlamp field, and the flashlamps having the outside are the external flashlamps.

Es ist bekannt, Substrate einer schnellen thermischen Bearbeitung, dem sogenannten Rapid Thermal Processing, fachgemäß auch als RTP abgekürzt, zu unterziehen. Eine der bekanntesten Vertreter dieses Verfahrens ist die schnelle thermische Ausheilung, das sogenannte Rapid Thermal Annealing, fachgemäß auch als RTA abgekürzt.It is known to subject substrates to rapid thermal processing, also known as rapid thermal processing, also abbreviated as RTP. One of the most well-known representatives of this process is the rapid thermal annealing, the so-called Rapid Thermal Annealing, also abbreviated as RTA.

Auch wenn das RTP eine vielfältige Anwendung bei der Halbleiterherstellung findet, wird es auch für andere Prozesse, beispielsweise bei der Herstellung photoaktiver Schichten verwendet. Gerade bei dieser Anwendung werden sehr oft großflächige Substrate einem RTP-Prozess zu unterziehen sein.Although the RTP has a diverse application in semiconductor manufacturing, it is also used for other processes, for example, in the production of photoactive layers. Especially in this application are very often large substrates to undergo an RTP process.

Für eine RTP-Anwendung werden Blitzlampen verwendet, wobei für eine flächige Bestrahlung des Substrats mehrere stabförmige Blitzlampen parallel in einer Ebene nebeneinander angeordnet sind. Sie bilden eine Strahlerfläche, die dem zu behandelnden Substrat gegenüberliegend, bei flächigen Substraten parallel zu diesen angeordnet ist. Solche Anordnung sind beispielsweise in der US 2009/0 121 157 A1 , der US 2009/0 263 112 A1 oder der US 2006/0 225 657 A1 , die hier stellvertretend für viele Veröffentlichungen für Blitzlampenanordnungen zur RTP-Behandlung von Substraten stehen.Flash lamps are used for an RTP application, with a plurality of rod-shaped flashlamps being arranged parallel to one another in a plane next to one another for planar irradiation of the substrate. They form a radiator surface, which is arranged opposite the substrate to be treated, in flat substrates parallel to these. Such arrangement are for example in the US 2009/0 121 157 A1 , of the US 2009/0263121 A1 or the US 2006/0 225 657 A1 , which are representative of many publications for flash lamp assemblies for the RTP treatment of substrates.

Da flächige Substrate zur RTP-Behandlung zumeist an der Blitzlampenanordnung vorbeigeführt werden, wobei die Blitzlampen als stabförmige Lampen quer zur Transportrichtung liegen, besteht bei größer werdenden Substraten das Bedürfnis nach immer längeren Blitzlampen.Since flat substrates for RTP treatment are usually passed by the flash lamp arrangement, wherein the flash lamps are arranged as rod-shaped lamps transversely to the transport direction, there is a need for ever longer substrates flash lamps ever larger.

Außer für RTP von Substraten werden Anordnungen von mehreren großen Blitzlampen für die Erzeugung von Laserlicht zur Kernfusion, bei laserbasierten Waffensystemen, für die Belichtung von Solarmodulen (Sonnensimulatoren) und viele andere Zwecke verwendet.Except for RTP of substrates, arrays of several large flashlamps are used for the generation of laser light for nuclear fusion, in laser-based weapon systems, for the exposure of solar modules (solar simulators) and many other purposes.

Werden jedoch längere Blitzlampen z. B. mit einer Länge von über 200 mm parallel und möglichst dicht zueinander angeordnet, so ergeben sich bei hohen Stromdichten magnetische Felder, welche die Lampen bis über deren Bruchgrenze verbiegen können.However, if longer flash lamps z. B. arranged with a length of over 200 mm parallel and as close as possible to each other, so arise at high current densities magnetic fields, which can bend the lamps to beyond the breaking point.

Dies gilt insbesondere, wenn die Lampen nur an deren Enden mechanisch fixiert sind, um den Einfluss der Befestigungselemente auf die Lichtemission nicht zu beeinträchtigen und eine möglichst homogene Belichtung eines Substrats zu gewährleisten.This applies in particular if the lamps are mechanically fixed only at their ends in order not to impair the influence of the fastening elements on the light emission and to ensure the most homogeneous possible exposure of a substrate.

Beispielsweise soll die Länge zweier, parallel angeordneter Blitzlampen 1800 mm betragen, ein maximaler Strom von 17 kA durch jede Lampe fließen und der Abstand der Lampenmitten 40 mm groß sein (Lampeninnendurchmesser: 22 mm), so ergibt sich kurzzeitig eine Kraft von ca. 2500 N.For example, the length of two parallel flashlamps should be 1800 mm, a maximum current of 17 kA should flow through each lamp and the distance between the lamp centers should be 40 mm (internal diameter of the lamp: 22 mm), resulting in a momentary force of approximately 2500 N ,

Zwar tritt diese Kraft nur weniger als 10 Millisekunden lang auf und die träge Masse der Lampe wirkt entgegen dieser Kraft bei der Auslenkung, aber dies kann schon für eine Zerstörung der Lampen ausreichen.Although this force only occurs for less than 10 milliseconds and the inertial mass of the lamp counteracts this force at the deflection, but this may already be sufficient for a destruction of the lamps.

Auch bei kleineren Strömen kommt es zu starken mechanischen Belastungen an den Elektrodenenden, welche aufgrund des Wolfram-Glas-Übergangs nur geringe mechanische Spannungen aufnehmen können. Damit verkürzt sich die Anzahl der maximal möglichen Blitze einer Lampe drastisch.Even with smaller currents, there are strong mechanical stresses on the electrode ends, which can absorb only low mechanical stresses due to the tungsten-glass transition. This drastically shortens the number of maximum possible flashes of a lamp.

Bei den Stromzuleitungen der Blitzlampen ergibt sich diese Problematik nicht, da die Leitungen entweder verdrillt („twisted pair”) oder als Bündel mit vielen Befestigungspunkten installiert werden.This problem does not arise with the power supply lines of the flash lamps, since the cables are either twisted paired or installed as a bundle with many attachment points.

Der Erfindung liegt damit die Aufgabe zugrunde, die durch einen Stromfluss in den Blitzlampen hervorgerufenen Kräfte so zu kompensieren, dass sich die mechanische Belastung der Blitzlampen, insbesondere der äußeren Blitzlampen, verringert.The invention is thus based on the object to compensate for the forces caused by a current flow in the flash lamps forces so that the mechanical load on the flash lamps, in particular the external flash lamps, reduced.

Diese Aufgabe wird durch eine Blitzlampenanordnung mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Die Ansprüche 2 bis 15 zeigen bevorzugte Ausführungen der vorliegenden Erfindung.This object is achieved by a flash lamp assembly having the features of claim 1. Claims 2 to 15 show preferred embodiments of the present invention.

Die erfindungsgemäße Lösung besteht in einer Blitzlampenordnung der eingangs genannten Art, bei der parallel zu den äußeren Blitzlampen neben deren Außenseiten Magnetfeld erzeugende Elemente derart angeordnet sind, dass je ein Magnetfeld eines Elementes zumindest je ein durch die äußeren Blitzlampen generiertes Magnetfeld kompensiert.The solution according to the invention consists in a flash lamp arrangement of the aforementioned type, in which magnetic field generating elements are arranged parallel to the outer flash lamps in addition to their outer sides such that each magnetic field of an element compensates at least one magnetic field generated by the outer flash lamps.

In einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass ein Magnetfeld erzeugendes Element aus Teilelementen besteht, und die Teilelemente derart angeordnet sind, dass die Magnetfelder der Teilelemente durch die Blitzlampen des Blitzlampenfeldes generierte Magnetfelder eines resultierenden Magnetfeldes kompensieren.In one embodiment of the invention, it is provided that a magnetic field generating element consists of sub-elements, and the sub-elements are arranged such that the magnetic fields of the sub-elements compensate magnetic fields generated by the flash lamps of the flash lamp field of a resulting magnetic field.

Durch die beiden Magnetfeld erzeugenden Elemente werden die auftretenden magnetischen Felder in erster Näherung kompensiert. Da jedoch nicht nur die unmittelbar benachbarten äußeren Blitzlampen, sondern alle Blitzlampen des Blitzlampenfeldes sowie die Stromleiter der Blitzlampenanordnung zum einem resultierenden Magnetfeld beitragen, dient die Teilung der Elemente in Teilelemente der Kompensation dieses resultierenden Magnetfeldes. By the two magnetic field generating elements, the magnetic fields occurring are compensated to a first approximation. However, since not only the immediately adjacent external flash lamps, but all flashlamps of the flash lamp field and the current conductors of the flash lamp assembly contribute to a resulting magnetic field, the division of the elements into sub-elements of the compensation of this resulting magnetic field.

In einer günstigen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Magnetfeld erzeugenden Elemente als Stromleiter ausgebildet sind, indem längserstreckte elektrische Stromleiter angeordnet und mit der Halterung mechanisch verbunden sind. Diese Stromleiter sind derart verschaltet, dass durch sie ein betragsmäßig gleicher aber zur jeweilig benachbarten äußeren Blitzlampe entgegengesetzt gerichteter Strom fließt.In a favorable embodiment of the invention, it is provided that the magnetic field generating elements are designed as current conductors by longitudinally extending electrical conductor arranged and mechanically connected to the holder. These current conductors are connected in such a way that they flow in the same amount but opposite to the respective adjacent external flash lamp.

Die zuvor beschriebenen Kräfte in einem Blitzlampenfeld parallel angeordneter Blitzlampen kompensieren sich durch die Gestaltung des Stromflusses gegenseitig, mit Ausnahme der äußeren Blitzlampen. Deren durch den Stromfluss bedingten mechanischen Kräfte werden gemäß der Erfindung durch die an beiden Enden des Lampenfeldes angeordneten Stromleiter kompensiert, durch die der betragsmäßig gleich große aber entgegengesetzt gerichtete Strom fließt.The forces described above in a flash lamp field of parallel arranged flash lamps compensate each other by the design of the current flow, with the exception of the external flash lamps. Their caused by the flow of current mechanical forces are compensated according to the invention by the arranged at both ends of the lamp field conductor, through which flows the magnitude equal but oppositely directed current.

Die Teilung der Elemente in Teilelemente kann mit der Ausgestaltung der Elemente als Stromleiter dadurch realisiert werden, dass zu dem Stromleiter weitere, parallele Stromleiter am Rand des Blitzlampenfeldes angebracht und mit den inneren Blitzlampen des Feldes verschaltet werden, um eine vollständige Kompensation der Magnetfelder zu erreichen und auch die energetischen Verluste durch die Stromleiter für alle Blitzlampen gleich zu halten.The division of the elements into sub-elements can be realized with the design of the elements as a current conductor, that are attached to the current more parallel conductors at the edge of the flash lamp field and connected to the internal flash lamps of the field to achieve a complete compensation of the magnetic fields and also to keep the energy losses due to the current conductors for all flash lamps the same.

In besonders einfacher Weise wird die Bedingung, dass durch die Stromleiter der bezüglich der jeweils benachbarten Blitzlampe betragsmäßig gleich große aber entgegengesetzt gerichtete Strom fließt, dadurch realisiert, dass die Stromleiter mit ihren jeweils benachbarten äußeren Blitzlampen elektrisch in Reihe geschaltet sind, wodurch durch die Stromleiter derselbe elektrische Strom fließt wie durch die äußeren Blitzlampen selbst.In a particularly simple manner, the condition that by the current conductor with respect to the respective adjacent flashlamp magnitude equal but opposite directional current flows, realized in that the conductors are electrically connected in series with their respective external flash lamps, whereby the same through the current conductor Electric current flows as though through the external flash lamps themselves.

In einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Blitzlampen mit einer Stromversorgung derart verschaltet sind, dass der Stromfluss bei Blitzauslösung zweier benachbarter Blitzlampen in jeweiliger Längsrichtung aber zueinander entgegengesetzt gerichtet ist. Damit wird erreicht, dass das resultierende Magnetfeld aller Blitzlampen im Vergleich zu gleichsinniger Stromrichtung nach außen hin gering ist. Damit werden Wirbelströme in benachbarten elektrischen Leitern, wie z. B. in Prozesskammerwänden oder elektrischen Geräten, erheblich reduziert.In one embodiment of the invention, it is provided that the flashlamps are connected to a power supply such that the flow of current at flash triggering of two adjacent flashlamps in each longitudinal direction but is directed opposite to each other. This ensures that the resulting magnetic field of all flashlamps compared to the same direction of current is low towards the outside. This eddy currents in adjacent electrical conductors, such. B. in process chamber walls or electrical equipment, significantly reduced.

In einer Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Blitzlampenanordnung ist vorgesehen, dass die Stromleiter den gleichen Abstand zu ihren jeweils benachbarten äußeren Blitzlampen aufweisen wie die Blitzlampen untereinander. Damit wird in besonderer Weise Sorge dafür getragen, dass die Kompensationskräfte im Gleichgewicht sind.In one embodiment of the flash lamp assembly according to the invention it is provided that the current conductors have the same distance from their respective adjacent external flash lamps as the flash lamps with each other. This ensures in a special way that the compensation forces are in equilibrium.

Es ist möglich, die Stromleiter als massive Metallstäbe auszubilden. Damit wird im Vergleich zu Metallröhren eine höhere Vakuumtauglichkeit erreicht, wobei sich die mechanische Stabilität nur geringfügig unterscheidet.It is possible to form the current conductors as solid metal rods. Thus, a higher vacuum capability is achieved compared to metal tubes, the mechanical stability is only slightly different.

Um die entstehenden Kräfte aufzunehmen, ist es zweckmäßig, die Stromleiter entlang ihrer Längserstreckung abstandsweise mit mehreren elektrisch isolierenden Stützen mit der Halterung zu verbinden. Diese Stützen können eine eigene Isolierfunktion aufweisen und beispielsweise aus Keramik gefertigt sein.In order to absorb the resulting forces, it is expedient to connect the current conductors along their longitudinal extent at intervals with a plurality of electrically insulating supports with the holder. These supports can have their own insulating function and be made for example of ceramic.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Halterung durch eine Wandung einer Prozesskammer, in der das Blitzlampenfeld angeordnet ist, gebildet wird. Damit übernimmt die Kammerwandung auch die kraftaufnehmende und kraftkompensierende Funktion.In a further embodiment of the invention it is provided that the holder is formed by a wall of a process chamber in which the flash lamp field is arranged. Thus, the chamber wall also takes over the force-absorbing and force-compensating function.

Zur leichteren Montage, bei der z. B. die Notwendigkeit der Isolierfunktion der Stützen entfällt, und zur Erhöhung der Sicherheit ist vorgesehen, dass der Stromleiter mit einem elektrischen Isolator umhüllt ist.For easier installation, in the z. B. eliminates the need for the insulating function of the supports, and to increase the security is provided that the conductor is coated with an electrical insulator.

Isolator und Stromleiter können so aufeinander abgestimmt sein, dass der Stromleiter zusammen mit dem Isolator einen mechanisch steifen Körper bildet. Dabei ist es auch möglich, dass der Isolator selbst mechanisch wirkt und der mechanisch steife Körper durch den Isolator gebildet wird. Sowohl elektrisch leitende Stäbe als auch Litzekabel, welche mit einem starren Isolator ummantelt sind, eignen sich somit für die Kompensation der Kräfte.Insulator and conductor can be coordinated so that the conductor together with the insulator forms a mechanically rigid body. It is also possible that the insulator itself acts mechanically and the mechanically rigid body is formed by the insulator. Both electrically conductive rods and stranded cables, which are sheathed with a rigid insulator, are thus suitable for the compensation of forces.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Blitzlampenfeld aus einer ungeraden Anzahl von Blitzlampen gebildet wird. Die Kräfte von den Stromleitern auf die Halterung oder die Kammerwandung kompensieren sich damit gegenseitig.In a preferred embodiment of the invention, it is provided that the flash lamp field is formed from an odd number of flash lamps. The forces from the conductors on the holder or the chamber wall compensate each other.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird die Kompensation der Magnetfelder durch eine galvanisch getrennte Induktionsspule an Stelle der Stromleiter eingesetzt, welche unabhängig vom Stromfluss in den Lampen gesteuert werden kann. Damit ist es möglich die auftretenden Kräfte exakt zu kompensieren ohne den Stromkreis bzw. die aufgenommene elektrische Energie der äußeren Lampen zu beeinflussen.In a further embodiment of the invention, the compensation of the magnetic fields is used by a galvanically isolated induction coil instead of the current conductor, which can be controlled independently of the current flow in the lamps. This makes it possible to compensate for the forces occurring exactly without affecting the circuit or the absorbed electrical energy of the outer lamps.

Es ist auch möglich, eine Kompensation durch Permanentmagneten zu erreichen.It is also possible to achieve compensation by permanent magnets.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. Die zugehörige Zeichnung zeigt eine Prinzipdarstellung einer erfindungsgemäßen Blitzlampenanordnung.The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment. The accompanying drawing shows a schematic diagram of a flash lamp assembly according to the invention.

Die dargestellte Blitzlampenanordnung 1 gleicht hinsichtlich des Blitzlampenfeldes 2 den Darstellungen des Standes der Technik, worauf diese Prinzipdarstellung aufbaut. Diese Blitzlampenanordnung dient der RTP-Behandlung von Substraten und weist Blitzlampen in der eingangs genannten Größe auf. Das Blitzlampenfeld 2 besteht aus mit mindestens zwei, in diesem Fall aus sieben stabförmigen Blitzlampen 3, die jeweils eine Längserstreckung 4 aufweisen. Sie sind zu dem Blitzlampenfeld 2 parallel zueinander angeordnet. Die Blitzlampen sind mit der Wandung 5 einer nicht näher dargestellten Prozesskammer, wobei die Wandung 5 als Halterung dient, mechanisch verbunden. Die die Blitzlampen-Seiten, die mit keiner anderen Blitzlampe 3 benachbart sind, bilden die Außenseite 6 des Blitzlampenfeldes 2 und die diese Außenseite 6 aufweisenden Blitzlampen stellen die äußeren Blitzlampen 7 dar.The illustrated flash lamp assembly 1 is similar in terms of the flash lamp field 2 the representations of the prior art, whereupon this schematic representation builds. This flash lamp assembly is used for the RTP treatment of substrates and has flash lamps in the aforementioned size. The flash lamp field 2 consists of at least two, in this case seven rod-shaped flashlamps 3 , each one longitudinal extension 4 exhibit. They are to the flashbulb field 2 arranged parallel to each other. The flashlamps are with the wall 5 a process chamber, not shown, wherein the wall 5 serves as a holder, mechanically connected. The flashlight pages that with no other flashlamp 3 are adjacent form the outside 6 of the flash lamp field 2 and this outside 6 having flash lamps represent the external flash lamps 7 represents.

Alle Blitzlampen 3; 7 sind mit beiden Enden 8 mit der Wandung 5 der Prozesskammer verbunden.All flashlights 3 ; 7 are with both ends 8th with the wall 5 connected to the process chamber.

Parallel zu den äußeren Blitzlampen 7 sind neben der jeweiligen Außenseite 6 des Blitzlampenfeldes 2 längserstreckte elektrische Stromleiter 9 angeordnet. Diese Stromleiter 9 sind mit ihren jeweils benachbarten äußeren Blitzlampen 7 elektrisch in Reihe geschaltet, so dass durch sie ein betragsmäßig gleicher aber zur jeweilig benachbarten äußeren Blitzlampe 7 entgegengesetzt gerichteter Strom fließt.Parallel to the external flash lamps 7 are next to the respective outside 6 of the flash lamp field 2 elongated electrical conductor 9 arranged. This conductor 9 are with their respective adjacent external flashlamps 7 electrically connected in series, so that through them a magnitude equal but to the respective adjacent external flash lamp 7 oppositely directed current flows.

Die Blitzlampen 3 sind mit einer nicht näher dargestellten Stromversorgung derart verschaltet, dass der Stromfluss bei Blitzauslösung zweier benachbarter Blitzlampen 3; 7 in jeweiliger Längsrichtung aber zueinander entgegengesetzt gerichtet ist. Dies wird dadurch verdeutlicht, dass jeweils eine Elektrode der Blitzlampe Anode A und die andere Katode K ist. Damit ist das resultierende Magnetfeld aller Blitzlampen 3; 7 im Vergleich zu gleichsinniger Stromrichtung nach außen hin gering ist und somit Wirbelströme in benachbarten elektrischen Leitern, wie z. B. der Wandung 5 der Prozesskammer oder in nicht näher dargestellten elektrischen Geräte erheblich reduziert werden.The flashbulbs 3 are connected to a power supply, not shown in such a way that the current flow at flash triggering two adjacent flashlamps 3 ; 7 in each longitudinal direction but is directed opposite to each other. This is illustrated by the fact that in each case one electrode of the flash lamp is anode A and the other cathode is K. This is the resulting magnetic field of all flash lamps 3 ; 7 in comparison to the same direction current direction towards the outside is low and thus eddy currents in adjacent electrical conductors, such. B. the wall 5 the process chamber or in electrical devices not shown significantly reduced.

Idealerweise liegen beide Stromleiter 9 vor der Zündung der Blitzlampen 3 auf Masse. In der Anordnung, wie sie in der Zeichnung dargestellt ist, sind die Kathoden K auf Masse gelegt, wobei die Anoden auf hoher positiver Spannung liegen. Alternativ dazu können die Anoden A mit Masse verbunden werden und die Kathoden K mit hoher negativer Spannung. Um diese Alternative zeichnerisch darzustellen, wären lediglich die jeweiligen Anoden A und Kathoden K der Blitzlampen 3 in der Darstellung miteinander vertauscht. Somit wären auch bei dieser Alternative die Stromleiter 9 weiterhin auf Masse gehalten.Ideally, both conductors are located 9 before the ignition of the flashbulbs 3 on earth. In the arrangement, as shown in the drawing, the cathodes K are grounded, the anodes are at a high positive voltage. Alternatively, the anodes A can be connected to ground and the cathodes K can be connected to a high negative voltage. To illustrate this alternative by way of drawing, only the respective anodes A and K would be the flash lamps 3 reversed in the presentation. Thus, also in this alternative would be the power conductors 9 still held to ground.

Die Stromleiter 9, die als massive Metallstäbe ausgebildet sind, weisen den gleichen Abstand zu ihren jeweils benachbarten äußeren Blitzlampen 7 auf, wie die Blitzlampen 2 untereinander.The power conductors 9 , which are formed as solid metal rods, have the same distance from their respective adjacent external flash lamps 7 on, like the flashbulbs 2 among themselves.

Die Stromleiter 9 sind entlang ihrer Längserstreckung 4 abstandsweise mit mehreren elektrisch isolierenden Stützen 10 aus Keramik mit der Wandung 5 der Prozesskammer verbunden. Die resultierenden Kräfte, die damit auf die Wandung 5 übertragen werden, sind mit den Pfeilen 11 dargestellt.The power conductors 9 are along their longitudinal extent 4 distance-wise with several electrically insulating supports 10 made of ceramic with the wall 5 connected to the process chamber. The resulting forces that are on the wall 5 are transmitted with the arrows 11 shown.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: BlitzlampenanordnungFlash lamp assembly
22: BlitzlampenfeldFlash lamp field
33: Blitzlampeflash lamp
44: Längserstreckunglongitudinal extension
55: Wandung der ProzesskammerWall of the process chamber
66: Außenseite des BlitzlampenfeldesOutside of the flash lamp field
77: äußere Blitzlampeexternal flash lamp
88th: Ende der BlitzlampeEnd of the flash lamp
99: Stromleiterconductor
1010: Stützesupport
1111: Pfeilarrow
AA: Anodeanode
KK: Katodecathode

Claims

Flash lamp arrangement with at least two rod-shaped flash lamps ( 3 ), each having a longitudinal extent ( 4 ) and to a flash lamp field ( 2 ) arranged parallel to one another in a plane and with a holder ( 5 ) are mechanically connected, with the flashlight sides, which with no other flash lamp ( 3 ) are adjacent, the outside ( 6 ) of the flash lamp field ( 2 ) and this outside ( 6 ), the external flash lamps ( 7 ), characterized in that parallel to the external flash lamps ( 7 ) are arranged in addition to the outer sides of magnetic field generating elements such that each magnetic field of an element at least compensates for each one generated by the external flash lamps magnetic field.

Flash lamp arrangement according to claim 1, characterized in that a magnetic field generating element consists of sub-elements, and the sub-elements are arranged such that the magnetic fields of the sub-elements by the flash lamps ( 3 ; 7 ) of the flash lamp field ( 2 ) compensate for generated magnetic fields of a resulting magnetic field.

Flash lamp arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that the magnetic field generating elements as a current conductor ( 9 ) are formed by elongated electrical conductors ( 9 ) and with the holder ( 5 ) are mechanically connected, which are connected in such a way that through them a magnitude equal but to the respective adjacent external flash lamp ( 7 ) oppositely directed current flows.

Flash lamp arrangement according to claim 3, characterized in that the current conductors ( 9 ) with adjacent external flash lamps ( 7 ) are electrically connected in series.

Flash lamp arrangement according to claim 3 or 4, characterized in that the flash lamps ( 3 ; 7 ) are connected to a power supply such that the current flow when flash triggering two adjacent flashlamps ( 3 ; 7 ) in respective longitudinal direction ( 4 ) but directed against each other.

Flash lamp arrangement according to one of claims 3 to 5, characterized in that the current conductors ( 9 ) the same distance to their respective adjacent external flash lamps ( 7 ) like the flashlamps ( 3 ; 7 ) among themselves.

Flash lamp arrangement according to one of claims 3 to 6, characterized in that the current conductors ( 9 ) are formed as solid metal rods.

Flash lamp arrangement according to one of claims 3 to 7, characterized in that the current conductors ( 9 ) along its longitudinal extent with a plurality of electrically insulating supports ( 10 ) with the bracket ( 5 ) are connected.

Flash lamp arrangement according to one of claims 3 to 8, characterized in that the holder by a wall ( 5 ) a process chamber in which the flash lamp field ( 2 ) is formed.

Flash lamp arrangement according to one of claims 3 to 9, characterized in that the current conductor ( 9 ) is enveloped with an electrical insulator.

Flash lamp arrangement according to claim 10, characterized in that the current conductor ( 9 ) forms a mechanically rigid body together with the insulator.

Flash lamp assembly according to claim 11, characterized in that the mechanically rigid body is formed by the insulator.

Flash lamp arrangement according to one of claims 3 to 12, characterized in that the flash lamp field ( 2 ) from an odd number of flashlamps ( 3 ) is formed.

Flash lamp arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that the magnetic field generating elements are formed as galvanically isolated induction coils, which regardless of the current flow in the flash lamps ( 3 ) are controllable.

Flash lamp arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that the magnetic field generating elements are formed as a permanent magnet.