DE102013209438A1 - Schnüffellecksucher mit nanoporöser Membrane - Google Patents

Schnüffellecksucher mit nanoporöser Membrane Download PDF

Info

Publication number
DE102013209438A1
DE102013209438A1 DE102013209438.8A DE102013209438A DE102013209438A1 DE 102013209438 A1 DE102013209438 A1 DE 102013209438A1 DE 102013209438 A DE102013209438 A DE 102013209438A DE 102013209438 A1 DE102013209438 A1 DE 102013209438A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
gas
leak detector
sniffer
membrane
pores
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102013209438.8A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Ludolf Gerdau
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inficon GmbH Deutschland
Original Assignee
Inficon GmbH Deutschland
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inficon GmbH Deutschland filed Critical Inficon GmbH Deutschland
Priority to DE102013209438.8A priority Critical patent/DE102013209438A1/de
Priority to US14/892,397 priority patent/US20160091386A1/en
Priority to JP2016514331A priority patent/JP2016520196A/ja
Priority to PCT/EP2014/059845 priority patent/WO2014187709A1/de
Priority to CN201480029105.8A priority patent/CN105229439A/zh
Priority to EP14725411.4A priority patent/EP2999950B1/de
Publication of DE102013209438A1 publication Critical patent/DE102013209438A1/de
Priority to JP2018175427A priority patent/JP6725614B2/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • G01M3/205Accessories or associated equipment; Pump constructions

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
DE102013209438.8A 2013-05-22 2013-05-22 Schnüffellecksucher mit nanoporöser Membrane Withdrawn DE102013209438A1 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013209438.8A DE102013209438A1 (de) 2013-05-22 2013-05-22 Schnüffellecksucher mit nanoporöser Membrane
US14/892,397 US20160091386A1 (en) 2013-05-22 2014-05-14 Sniffing Leak Detector Having a Nanoporous Membrane
JP2016514331A JP2016520196A (ja) 2013-05-22 2014-05-14 ナノ多孔質膜を有する嗅気型漏洩検出器
PCT/EP2014/059845 WO2014187709A1 (de) 2013-05-22 2014-05-14 Schnüffellecksucher mit nanoporöser membrane
CN201480029105.8A CN105229439A (zh) 2013-05-22 2014-05-14 具有纳米多孔薄膜的嗅觉泄漏检测器
EP14725411.4A EP2999950B1 (de) 2013-05-22 2014-05-14 Schnüffellecksucher mit nanoporöser membrane
JP2018175427A JP6725614B2 (ja) 2013-05-22 2018-09-19 ナノ多孔質膜を有する嗅気型漏洩検出器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013209438.8A DE102013209438A1 (de) 2013-05-22 2013-05-22 Schnüffellecksucher mit nanoporöser Membrane

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102013209438A1 true DE102013209438A1 (de) 2014-11-27

Family

ID=50771259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102013209438.8A Withdrawn DE102013209438A1 (de) 2013-05-22 2013-05-22 Schnüffellecksucher mit nanoporöser Membrane

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20160091386A1 (https=)
EP (1) EP2999950B1 (https=)
JP (2) JP2016520196A (https=)
CN (1) CN105229439A (https=)
DE (1) DE102013209438A1 (https=)
WO (1) WO2014187709A1 (https=)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017007149A1 (de) * 2017-07-27 2019-01-31 DILO Armaturen und Anlagenbau GmbH Verfahren zur Lokalisierung von Leckstellen
CN118565732A (zh) * 2024-07-30 2024-08-30 安徽诺益科技有限公司 一种质谱检漏仪用嗅探器

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3034192B1 (fr) * 2015-03-23 2017-04-07 Pfeiffer Vacuum Sas Detecteur de fuites et procede de detection de fuites
US10101238B2 (en) * 2016-05-16 2018-10-16 General Electric Company Integrated ventilation and leak detection system and method of assembly
CN107449642A (zh) * 2017-08-28 2017-12-08 广西电网有限责任公司电力科学研究院 六氟化硫气体泄漏带电检测采样装置及采样方法
DE102018201313A1 (de) * 2018-01-29 2019-08-01 Inficon Gmbh Verfahren zur Leckprüfung mit einer Folienkammer mit belüftetem Messvolumen
CN113984292B (zh) * 2021-09-30 2024-02-09 北京航天试验技术研究所 一种液氢阀外漏检测装置及方法
US12117369B2 (en) 2022-06-17 2024-10-15 Packaging Technologies & Inspection, LLC System and method for leak testing a sealed package

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4326267A1 (de) * 1993-08-05 1995-02-09 Leybold Ag Lecksuchgerät
US20020014298A1 (en) * 2000-03-03 2002-02-07 Shigekazu Mase Porous ceramic laminate and production thereof
DE102004050762A1 (de) * 2004-10-16 2006-04-20 Inficon Gmbh Verfahren zur Lecksuche
US20080202210A1 (en) * 2007-02-28 2008-08-28 Varian, Inc. Test gas leak detection using a composite membrane
DE102006045282B4 (de) * 2006-09-22 2008-10-02 Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh Isoporöse Membran und Verfahren zu ihrer Herstellung

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0816634B2 (ja) * 1991-05-16 1996-02-21 日本真空技術株式会社 ガス洩れ検査装置
US5317900A (en) * 1992-10-02 1994-06-07 The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust Ultrasensitive helium leak detector for large systems
JP2612999B2 (ja) * 1992-10-26 1997-05-21 日本電信電話株式会社 質量分析型ガス漏れ検知器
JPH09142964A (ja) * 1995-11-28 1997-06-03 Kyocera Corp アルミナ多孔質膜の製造方法
JP3116830B2 (ja) * 1996-07-31 2000-12-11 株式会社島津製作所 ヘリウムリークディテクタ
JP3675983B2 (ja) * 1996-09-12 2005-07-27 株式会社アルバック ヘリウムリークディテクター
CN100462706C (zh) * 2005-01-06 2009-02-18 清华大学 标准漏孔
DE102005021909A1 (de) * 2005-05-12 2006-11-16 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor
US7497110B2 (en) * 2007-02-28 2009-03-03 Varian, Inc. Methods and apparatus for test gas leak detection
DE102008008262A1 (de) * 2008-02-08 2009-08-13 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher nach dem Referenzmessprinzip
IT1400850B1 (it) * 2009-07-08 2013-07-02 Varian Spa Apparecchiatura di analisi gc-ms.
US20110290006A1 (en) * 2010-05-28 2011-12-01 Charles Perkins Leak test probe for use in industrial facilities
JP5621965B2 (ja) * 2010-06-08 2014-11-12 川研ファインケミカル株式会社 アルミナ複合分離膜及びその製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4326267A1 (de) * 1993-08-05 1995-02-09 Leybold Ag Lecksuchgerät
US20020014298A1 (en) * 2000-03-03 2002-02-07 Shigekazu Mase Porous ceramic laminate and production thereof
DE102004050762A1 (de) * 2004-10-16 2006-04-20 Inficon Gmbh Verfahren zur Lecksuche
DE102006045282B4 (de) * 2006-09-22 2008-10-02 Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh Isoporöse Membran und Verfahren zu ihrer Herstellung
US20080202210A1 (en) * 2007-02-28 2008-08-28 Varian, Inc. Test gas leak detection using a composite membrane

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017007149A1 (de) * 2017-07-27 2019-01-31 DILO Armaturen und Anlagenbau GmbH Verfahren zur Lokalisierung von Leckstellen
CN118565732A (zh) * 2024-07-30 2024-08-30 安徽诺益科技有限公司 一种质谱检漏仪用嗅探器

Also Published As

Publication number Publication date
EP2999950A1 (de) 2016-03-30
JP2019053062A (ja) 2019-04-04
US20160091386A1 (en) 2016-03-31
EP2999950B1 (de) 2019-12-11
CN105229439A (zh) 2016-01-06
WO2014187709A1 (de) 2014-11-27
JP6725614B2 (ja) 2020-07-22
JP2016520196A (ja) 2016-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2999950B1 (de) Schnüffellecksucher mit nanoporöser membrane
DE1909843C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen quantitativen Analyse eines in Flüssigkeitsproben enthaltenen gasförmigen Bestandteils
DE69500524T2 (de) Grundstruktur für einen Entgaser eines Flüssigkeitschromatographen
DE60306920T2 (de) Vorrichtung zur bestimmung der feinheit von mineralfasern
EP2446243B1 (de) Wasserstoffsensor
DE112020000560T5 (de) Flüchtigkeitsaufgelöste chemische Charakterisierung von Schwebstoffen
EP1880184B1 (de) Schnüffellecksucher mit quarzfenstersensor
DE102008008262A1 (de) Schnüffellecksucher nach dem Referenzmessprinzip
DE2926112A1 (de) Testleck-sonde
DE102007043382A1 (de) Schnüffellecksucher
DE102015222554A1 (de) Lecksuche mit Sauerstoff
EP3688438B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur unterscheidung eines aus einem leck austretenden prüfgases von störgas
DE102019101993B4 (de) Verfahren zur Überprüfung von Filtertestanlagen
DE4133300C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen strippbarer Substanzen aus Flüssigkeiten
DE4316196C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Gasanalyse
DE102008047404A1 (de) Einem Partikelzähler vorzuschaltende Einrichtung zur in sich geschlossenen Verdünnung von Aerosolen
EP1045242B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur grössenaufgelösten chemischen und physikalischen Bestimmung von Aerosolpartikeln
DE102013208939A1 (de) Mikromechanische Sensorvorrichtung
DE102012010269B3 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Permeationsrate von Barriere- und Ultrabarriereelementen
DE19755183C2 (de) Mikro-Spaltzelle
DE112019007990T5 (de) Sensoreinrichtung und Verfahren zum Messen eines gasförmigen Fluids
DE10149219A1 (de) Verfahren zur Partialdruck-Kalibrierung und Kalibriereinrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102024129173A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Erkennen eines aus einem Leck austretenden Prüfgases
DE102023129743A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur massenspektrometrischen Hochvakuumlecksuche
DE102023102394A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Stoffanteilen eines fluiden Stoffgemischs sowie medizintechnisches Gerät

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified
R012 Request for examination validly filed
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee