DE102013112687A1

DE102013112687A1 - Verfahren zur Herstellung einer multifunktionellen Schicht, Elektrophorese-Substrat, Konverterplättchen und optoelektronisches Bauelement

Info

Publication number: DE102013112687A1
Application number: DE102013112687.1A
Authority: DE
Inventors: Ion Stoll; Frank Singer; Georg Dirscherl
Original assignee: Osram Opto Semiconductors GmbH
Current assignee: Ams Osram International GmbH
Priority date: 2013-11-18
Filing date: 2013-11-18
Publication date: 2015-05-21
Also published as: JP2018060219A; CN105723806A; WO2015071434A1; US10253950B2; JP6262361B2; DE112014005235A5; US20160273736A1; CN105723806B; JP2016540900A

Abstract

Es wird insbesondere ein Verfahren zur Herstellung einer multifunktionellen Schicht mit den folgenden Schritten angegeben: A) Bereitstellen eines Elektrophorese-Substrats (10) mit einem Träger (15), der eine Vorderseite (11) und eine der Vorderseite (11) abgewandte Rückseite (12) aufweist, wobei eine erste elektrisch leitfähige Schicht (13) und eine zweite elektrisch leitfähige Schicht (14) auf der Vorderseite (11) aufgebracht und bereichsweise in lateraler Richtung (L) voneinander beabstandet angeordnet sind, B) elektrophoretisches Abscheiden eines ersten Materials (1) auf die erste elektrisch leitfähige Schicht (13), C) elektrophoretisches Abscheiden eines zweiten Materials (2) auf die zweite elektrisch leitfähige Schicht (14), D) Anordnen eines Füllmaterials (3) zwischen dem ersten Material (1) und dem zweiten Material (2), wobei das Füllmaterial (3) mit dem ersten Material (1) und dem zweiten Material (2) eine gemeinsame Grenzfläche (4) ausbildet und durch das Füllmaterial (3) Abstände (A) in der lateraler Richtung (L) zwischen dem ersten Material (1) zu dem zweiten Material (2) derart gefüllt werden, dass die durchgehende multifunktionelle Schicht (100) ausgebildet wird, E) Ablösen der multifunktionellen Schicht (100) von dem Elektrophorese-Substrat (10).

Description

Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer multifunktionellen Schicht angegeben. Ferner wird ein Elektrophorese-Substrat, ein Konverterplättchen und ein optoelektronisches Bauelement angegeben.
Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein materialsparendes Verfahren zur Herstellung einer multifunktionellen Schicht anzugeben. Eine weitere zu lösende Aufgabe besteht darin, ein effizientes Konverterplättchen anzugeben. Eine weitere zu lösende Aufgabe besteht darin für das Verfahren ein Elektrophorese-Substrat anzugeben. Eine weitere zu lösende Aufgabe besteht darin ein effizientes optoelektronisches Bauelement anzugeben.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens zur Herstellung einer multifunktionellen Schicht wird in einem Schritt A ein Elektrophorese-Substrat mit einem Träger bereitgestellt. Das Elektrophorese-Substrat kann selbsttragend ausgebildet sein. Das Elektrophorese-Substrat bedarf beispielsweise keiner weiteren mechanisch stützenden oder stabilisierenden Komponenten. Der Träger des Elektrophorese-Substrats kann beispielsweise ein elektrisch isolierendes Material umfassen oder aus einem solchen Material bestehen.
Ferner kann der Träger ein elektrisch leitfähiges Material umfassen, wobei Außenflächen des Trägers elektrisch isolierend ausgebildet sein können. Beispielsweise können die Außenflächen des Trägers eine durchgehende dielektrische Passivierung aufweisen. Denkbar ist, dass der Träger einen elektrisch leitfähigen Kern – beispielsweise leifähiges Silizium – umfasst und der elektrisch leitfähige Kern von einem elektrisch isolierenden Material, beispielsweise Kunststoff, umschlossen ist.
Der Träger kann bevorzugt eines der folgenden Materialien enthalten oder aus einem dieser Materialien bestehen: Glas, GaN, Metall, PTFE (Polytetrafluorethylen), teflonbeschichtete Materialien, Kunststoffe wie Polyolefine (beispielsweise Polyethylen (PE) mit hoher oder niedriger Dichte oder Polypropylen (PP)), Polyvinylchlorid (PVC), Polystyrol (PS), Polyester, Polycarbonat (PC), Polyethylenterephtalat (PET), Polyethersulfon (PES), Polyethylennaphtalat (PEN), Polymethylmetacrylat (PMMA), Polyimid (PI), Polyetherketone (PEEK), Polyamide (beispielsweise Polyphthalamide (PPA)), Polycyclohexylendimethylenterephtalat (PCT), Silikone, Epoxide.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens weist der Träger eine Vorderseite und eine der Vorderseite abgewandte Rückseite auf. Die Vorderseite und die Rückseite sind bevorzugt im Rahmen der Herstellungstoleranz eben ausgebildet. Die Vorderseite kann insbesondere parallel zu der Rückseite verlaufen.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens sind eine erste elektrisch leitfähige Schicht und eine zweite elektrisch leitfähige Schicht auf der Vorderseite des Trägers aufgebracht und bereichsweise in lateraler Richtung voneinander beabstandet angeordnet. Unter "lateraler Richtung" ist man im vorliegenden Zusammenhang eine Richtung zu verstehen, die parallel zu einer Haupterstreckungsrichtung des hier beschriebenen Elektrophorese-Substrats verläuft. Die erste elektrisch leitfähige Schicht und die zweite elektrisch leitfähige Schicht stehen beispielsweise nicht in direktem Kontakt und können beispielsweise durch Gasphasenabscheidung oder Sputtern aufgebracht werden. Des Weiteren kann die erste elektrisch leitfähige Schicht ein gleiches Material wie die zweite elektrisch leitfähige Schicht enthalten. Insbesondere können die erste und die zweite elektrisch leitfähige Schicht aus demselben Material durch Strukturierung gebildet sein. Denkbar ist ferner, dass das erste elektrisch leitfähige Material ein Material umfasst das verschieden von einem Material der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht ist. Die erste elektrisch leitfähige Schicht und die zweite elektrisch leitfähige Schicht sind derart ausgebildet, dass sie zur elektrophoretischen Abscheidung unterschiedlicher Materialien geeignet sind. Bereiche des Trägers auf die keine elektrisch leitfähige Schicht aufgebracht werden soll, können beispielsweise eine Fotolackschicht aufweisen.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird in einem Schritt B ein erstes Material auf die erste elektrisch leitfähige Schicht elektrophoretisch abgeschieden. Hierbei wird die erste elektrisch leitfähige Schicht mit einer Spannung beaufschlagt, sodass sich das erste Material, welches sich beispielsweise in einem Elektrophoresebad befinden kann, auf der ersten elektrisch leitfähigen Schicht abscheidet. Bevorzugt ist die zweite elektrisch leitfähige Schicht potentialfrei oder mit einem anderem Potential beaufschlagt, so dass nur auf der ersten elektrisch leitfähigen Schicht oder zumindest in erhöhtem Maße auf der ersten elektrisch leitfähigen Schicht das erste Material abgeschieden wird. Mit dem ersten Material kann auch gleichzeitig ein Diffusormaterial elektrophoretisch abgeschieden werden, um eine optische Streuung in dem ersten Material zu erreichen. Vorzugsweise ist die Streuung im Bereich des ersten Materials homogen und insbesondere isotrop. Das Diffusormaterial kann beispielsweise SiO₂, Al₂O₃ und/oder TiO₂ enthalten oder aus einem dieser Materialien bestehen. Das Diffusormaterial weist eine mittlere Partikelgröße (d50-Wert) bevorzugt zwischen einschließlich 100 nm bis einschließlich 500 nm auf. Das Diffusormaterial kann ferner in einem weiteren elektrophoretischen Abscheideschritt nach der elektrophoretischen Abscheidung des ersten Materials separat abgeschieden werden.
Eine Dicke des ersten Materials, das sich auf der ersten elektrisch leitfähigen Schicht elektrophoretisch abscheidet, kann insbesondere durch eine Dauer der Spannungsbeaufschlagung kontrolliert beziehungsweise bestimmt werden. Unter "Dicke" ist man im vorliegenden Zusammenhang eine Ausdehnung quer, bevorzugt senkrecht, zu der lateralen Richtung zu verstehen. Das elektrophoretische Abscheiden des ersten Materials auf die erste elektrisch leitfähige Schicht kann durch Abschalten der Spannung beendet werden.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird in einem Schritt C ein zweites Material auf die zweite elektrisch leitfähige Schicht elektrophoretisch abgeschieden. Hierzu kann die zweite elektrisch leitfähige Schicht mit der Spannung beaufschlagt werden. Bevorzugt ist hierbei die erste elektrisch leitfähige Schicht potentialfrei oder mit einem anderem Potential beaufschlagt, so dass nur auf der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht oder zumindest in erhöhtem Maße auf der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht das zweite Material abgeschieden wird. Die elektrophoretische Abscheidung des zweiten Materials kann in einem weiteren Elektrophoresebad, welches das zweite Material enthält, durchgeführt werden. Das elektrophoretische Abscheiden des zweiten Materials auf die zweite elektrisch leitfähige Schicht kann wie hier bereits beschrieben durch die Dauer der Spannungsbeaufschlagung kontrolliert beziehungsweise durch das Abschalten der Spannung beendet werden.
Enthält der Träger beispielsweise ein elektrisch leitfähiges Material so können Bereiche des Trägers, auf denen keine elektrophoretische Abscheidung erwünscht ist ein elektrisch isolierendes Material (zum Beispiel SiO₂, Al₂O₃) aufweisen. Des Weiteren können diese Bereiche des Trägers insbesondere mittels einer Fotolackschicht bedeckt werden.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens kann das erste Material ein konvertierendes Material und/oder das zweite Material ein lichtstreuendes und/oder lichtabsorbierendes Material enthalten. Das konvertierende Material und das lichtstreuende und/oder lichtabsorbierende Material erfüllen unterschiedliche Funktionen. Das erste Material kann beispielsweise ein auf es auftreffendes Licht hinsichtlich seiner Wellenlänge verändern. Unter "verändern" ist im vorliegenden Zusammenhang eine insbesondere optische wahrnehmbare Wellenlängenveränderung zu verstehen. Wohingegen das zweite Material ein auf es auftreffendes Licht hinsichtlich der Wellenlänge nicht verändert, sondern es streut und/oder absorbiert.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird in einem Schritt D ein Füllmaterial zwischen dem ersten Material und dem zweiten Material angeordnet. Das Füllmaterial kann beispielsweise lichtdurchlässig sein.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens bildet das Füllmaterial mit dem ersten Material und dem zweiten Material eine gemeinsame Grenzfläche aus. Die gemeinsame Grenzfläche verläuft beispielsweise parallel zu der Vorderseite des Träger und kann zu der Rückseite des Trägers abgewandt sein. Die gemeinsame Grenzfläche ist bevorzugt im Rahmen einer Herstellungstoleranz eben ausgebildet.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens werden durch das Füllmaterial Abstände in der lateraler Richtung zwischen dem ersten Material zu dem zweiten Material derart gefüllt, dass die durchgehende multifunktionelle Schicht ausgebildet wird. Unter "lateraler Richtung" versteht man im vorliegenden Zusammenhang eine Richtung, die parallel zu der Haupterstreckungsrichtung des hier beschriebenen Elektrophorese-Substrats verläuft. Wie bereits hier beschrieben sind die erste elektrisch leitfähige Schicht und die zweite elektrisch leitfähige Schicht voneinander beabstandet angeordnet. Entsprechende Abstände sind auch zwischen dem ersten Material und den zweiten Material nach der elektrophoretischen Abscheidung vorhanden. Diese Abstände können mit dem Füllmaterial befüllt werden. Hierbei kann das Füllmaterial beispielsweise mit dem ersten Material und dem zweiten Material vernetzen. Insbesondere kann das Füllmaterial mit dem ersten Material und dem zweiten Material eine stoffschlüssige Verbindung eingehen, so dass die durchgehende multifunktionelle Schicht ausgebildet wird. Die durchgehende multifunktionelle Schicht kann insbesondere einstückig sein.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird in einem Schritt E die multifunktionelle Schicht von dem Elektrophorese-Substrat abgelöst. Beispielsweise kann die durchgehende multifunktionelle Schicht nach einem Aushärten des Füllmaterials durch ein Abziehen oder ein Umlaminieren einfach von dem Elektrophorese-Substrat abgelöst werden. Ferner kann zum Ablösen der multifunktionellen Schicht insbesondere eine Saugpinzette eingesetzt werden.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform wird das Verfahren in einer hier angegebenen Reihenfolge A bis E durchgeführt.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens zur Herstellung einer multifunktionellen Schicht wird in einem Schritt A ein Elektrophorese-Substrat mit einem Träger, der eine Vorderseite und eine der Vorderseite abgewandte Rückseite aufweist, bereitgestellt, wobei eine erste elektrisch leitfähige Schicht und eine zweite elektrisch leitfähige Schicht auf der Vorderseite aufgebracht und bereichsweise voneinander beabstandet angeordnet sind. In einem Schritt B wird ein erstes Material auf die erste elektrisch leitfähige Schicht elektrophoretisch abgeschieden. In einem Schritt C wird ein zweites Material auf die zweite elektrisch leitfähige Schicht elektrophoretisch abgeschieden. In einem Schritt D wird ein Füllmaterial zwischen dem ersten Material und dem zweiten Material angeordnet, wobei das Füllmaterial mit dem ersten Material und dem zweiten Material eine gemeinsame Grenzfläche ausbildet und durch das Füllmaterial Abstände in der lateraler Richtung zwischen dem ersten Material zu dem zweiten Material derart gefüllt werden, dass die durchgehende multifunktionelle Schicht ausgebildet wird. Anschließend wird in einem Schritt E die multifunktionelle Schicht von dem Elektrophorese-Substrat abgelöst.
Um ein Verfahren zur Herstellung einer multifunktionellen Schicht anzugeben, macht das hier beschriebene Verfahren unter anderem von der Idee Gebrauch, Materialien mit unterschiedlichen Funktionen und/oder Eigenschaften separat auf vorbestimmte Bereiche elektrisch leitfähiger Schichten eines Elektrophorese-Substrats elektrophoretisch abzuscheiden, wobei die elektrisch leitfähigen Schichten voneinander elektrisch isoliert und unabhängig voneinander mit einer Spannung beaufschlagbar sind. Beispielsweise können durch das hier beschriebene Verfahren unter Verwendung des hier beschriebenen Elektrophorese-Substrats Konverterplättchen hergestellt werden. Die Konverterplättchen können lichtkonvertierende Bereiche und lichtstreuende und/oder lichtabsorbierende Bereiche aufweisen, die innerhalb des Konverterplättchens in lateraler Richtung benachbart sind. Es kann somit mittels des Verfahrens insbesondere ein übersprecharmes Konverterplättchen hergestellt werden, da durch die lichtstreuende und/oder lichtabsorbierende Bereiche besonders bevorzugt kein Licht hindurchtreten kann. Vorteilhaft bei der elektrophoretischen Abscheidung ist unter anderem, dass Materialien beziehungsweise Partikel besonders dicht, also in einer besonders hohen Konzentration, abgeschieden werden können. Ferner können durch das hier beschriebene Elektrophorese-Substrat unterschiedliche Materialien besonders nahe zueinander abgeschieden werden.
Unter dem Begriff "Licht" ist vorliegend eine elektromagnetische Strahlung zu verstehen, die den ultravioletten, sichtbaren und infraroten Spektralbereich umfasst.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird die multifunktionelle Schicht in einzelne Plättchen vereinzelt, wobei Trennlinien bei der Vereinzelung durch das Füllmaterial hindurch verlaufen. Beispielsweise kann es sich bei dem Plättchen um ein Konverterplättchen handeln. Die Vereinzelung kann insbesondere mechanisch durch Stanzen, Sägen oder Schneiden beziehungsweise physikalisch durch Lasertrennen erfolgen. Während der Vereinzelung werden insbesondere das erste Material und das zweite Material hinsichtlich ihrer chemisch-physikalischen Eigenschaften nicht verändert, da die Vereinzelung durch das Füllmaterial hindurch erfolgt.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens enthält das erste Material einen Leuchtstoff oder eine Mischung aus mehreren Leuchtstoffen. Bei der Mischung aus mehreren Leuchtstoffen werden zumindest zwei Leuchtstoffe gleichzeitig oder nacheinander elektrophoretisch abgeschieden. Dadurch ergibt sich die Mischung oder eine Schichtung der unterschiedlichen Leuchtstoffe. Die Leuchtstoffe können bevorzugt eine mittlere Partikelgröße (d50-Wert) von einschließlich 5 µm bis einschließlich 25 µm, besonders bevorzugt einen d50-Wert von einschließlich 7 µm bis einschließlich 13 µm, aufweisen.
Als Leuchtstoff kann beispielsweise eines der folgenden Materialien verwendet werden: mit seltenen Erden dotierte Granate, mit seltenen Erden dotierte Erdalkalisulfide, mit seltenen Erden dotierte Thiogallate, mit seltenen Erden dotierte Aluminate, mit seltenen Erden dotierte Silikate, mit seltenen Erden dotierte Orthosilikate, mit seltenen Erden dotierte Chlorosilikate, mit seltenen Erden dotierte Erdalkalisiliziumnitride, mit seltenen Erden dotierte Oxynitride, mit seltenen Erden dotierte Aluminiumoxinitride, mit seltenen Erden dotierte Siliziumnitride, mit seltenen Erden dotierte Sialone. Insbesondere sind Ce³⁺-dotierte Granate, etwa YAG:Ce und LuAG:Ce als Leuchtstoffe geeignet. Als geeigneter LuAG:Ce Leuchtstoff sei etwa (Y,Lu)₃(Al,Ga)₅O₁₂:Ce³⁺ genannt. Weiterhin sind insbesondere Eu²⁺-dotierte Nitride, wie CaAlSiN₃:Eu²⁺, (Ba,Sr)₂Si₅N₈:Eu²⁺; Eu²⁺-dotierte Sulfide, SiONe, SiAlON, Orthosilikate, wie beispielsweise (Ba,Sr)₂SiO₄:Eu²⁺, Chlorosilikate, Chlorophosphate, BAM (Bariummagnesiumaluminat:Eu) und/oder SCAP, Halophosphate als Leuchtstoffe geeignet.
Nach dem elektrophoretischen Abscheiden des Leuchtstoffs kann auch ein hochreflektives Material – beispielsweise TiO₂, Al₂O₃, ZrO₂, insbesondere mit einem Coating um die fotokatalytische Aktivität zu reduzieren – abgeschieden werden, um in Draufsicht eine weiße Körperfarbe der multifunktionellen Schicht zu erzeugen. Ebenso können Pigmente oder Partikel mit einer anderen Körperfarbe abgeschieden werden, um eine gewünschte Körperfarbe in der Draufsicht zu erzeugen. Als anorganische Pigmente oder Partikel kommen zum Beispiel Übergangsmetalle und Seltenerdenoxide, Sulfide oder Zyanide in Frage.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens enthält das zweite Material lichtstreuende und/oder lichtabsorbierende Partikel. Als lichtstreuende Partikel werden besonders bevorzugt Titanoxid oder Aluminiumoxid verwendet. Als lichtabsorbierende Partikel werden besonders bevorzugt schwarze Pigmente, Graphit, Fullerene oder Kohlenstoff-Nanoröhren verwendet. Diese Materialien verfügen insbesondere über sehr gute Absorptionseigenschaften. Insbesondere wird von dem zweiten Material Licht lediglich absorbiert oder gestreut, aber nicht wie bei einem Leuchtstoff reemittiert. Das zweite Material zeigt keine Emission von Licht einer Wellenlänge, die sich von der Wellenlänge des einfallenden Lichts unterscheidet, wobei von absorptionsbedingter Wärmestrahlung abgesehen wird.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens ist das Füllmaterial ein Parylen oder Silikon oder enthält ein Parylene oder Silikone. Parylene oder Silikone eignen sich besonders gut um die Abstände in der lateralen Richtung zwischen dem ersten und zweiten leitfähigen Material zu befüllen. Dies kann insbesondere auf die geringe Oberflächenspannung dieser Materialien zurückgeführt werden. Ferner können diese Materialien lichtdurchlässig ausgebildet sein. Insbesondere Parylene sind besonders resistent gegen Feuchtigkeit, Schadgase, Sauerstoff, Säuren oder Laugen. Ferner sind Parylene besonders in einem Temperaturbereich zwischen –200 °C und 150 °C mechanisch stabil. Parylene weisen ferner eine hohe UV-Beständigkeit auf, insbesondere bei den Parylen-Typen: Typ 4, AF4, HAT (teilweise D). Insbesondere weist Typ D eine Brechzahl größer 1.65 auf.
Ferner werden ein Konverterplättchen und ein Elektrophorese-Substrat beschrieben. Beispielsweise kann das hier beschriebene Konverterplättchen mittels des hier beschriebenen Verfahrens hergestellt werden. Des Weiteren kann zur Herstellung der multifunktionellen Schicht das hier beschriebene Elektrophorese-Substrat eingesetzt werden. Das heißt, die für das hier beschriebene Verfahren aufgeführten Merkmale sind auch für das hier beschriebene Konverterplättchen und das hier beschriebene Elektrophorese-Substrat offenbart und umgekehrt.
Das hier beschriebene Verfahren verwendet insbesondere das hier beschriebenen Elektrophorese-Substrats. Ein Aufbau der hier beschriebenen multifunktionellen Schicht beziehungsweise des hier beschriebenen Konverterplättchens basiert insbesondere auf dem Aufbau des hier beschriebenen Elektrophorese-Substrats. Insbesondere die Anordnung des ersten Materials und des zweiten Materials innerhalb der multifunktionellen Schicht ist insbesondere direkt von der geometrischen Anordnung der ersten elektrisch leitfähigen Schicht zu der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht des Elektrophorese-Substrats abhängig. Eine Beschaffenheit der multifunktionellen Schicht kann also von der Bauweise des Elektrophorese-Substrats unmittelbar abhängen.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Konverterplättchens umfasst dieses lichtkonvertierende Bereiche und lichtstreuende und/oder lichtabsorbierende Bereiche, wobei die lichtkonvertierenden Bereiche und die lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereiche innerhalb des Konverterplättchens in der lateralen Richtung benachbart angeordnet sind und sich zwischen den lichtkonvertierenden Bereichen und den lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereichen in der lateralen Richtung das Füllmaterial befindet. Die lichtkonvertierenden Bereiche des Konverterplättchens sind insbesondere dazu geeignet, ein in sie eintretendes Licht hinsichtlich ihrer Wellenlänge zu verändern. Die lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereiche sind insbesondere dazu geeignet, die auf sie auftreffendes Licht in Richtung der lichtkonvertierenden Bereiche zu streuen oder zu absorbieren.
Die lichtkonvertierenden Bereiche und die lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereiche können innerhalb des Konverterplättchens in der lateralen Richtung insbesondere alternierend zueinander angeordnet sein. Hierbei können sich lichtkonvertierende Bereiche zu den lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereiche in der lateralen Richtung abwechseln, wobei sich weiterhin zwischen den lichtkonvertierenden Bereichen und den lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereichen das Füllmaterial befinden kann.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Konverterplättchens weist dieses eine Lichtaustrittsfläche und eine der Lichtaustrittsfläche abgewandte Lichteintrittsfläche sowie Seitenflächen auf, die die Lichtaustrittsfläche mit der Lichteintrittsfläche verbinden und die zumindest eine Seitenfläche Spuren eines physikalischen und/oder mechanischen Materialabtrags aufweist. Die Lichtaustrittsfläche und die Lichteintrittsfläche des Konverterplättchens können insbesondere im Rahmen der Herstellungstoleranz eben ausgebildet sein. Insbesondere verläuft die Lichtaustrittsfläche zu der Lichteintrittsfläche in der lateralen Richtung parallel. Ferner sind die Lichteintrittsfläche und die Lichtaustrittsfläche durchgehend ausgebildet. Die Seitenflächen verbinden insbesondere in vertikaler Richtung die Lichtaustrittsfläche mit der Lichteintrittsfläche. Unter "vertikaler Richtung" ist im vorliegenden Zusammenhang eine Richtung zu verstehen, die quer, bevorzugt senkrecht, zu der lateralen Richtung verläuft.
Die Spuren des physikalischen und/oder mechanischen Materialabtrags können insbesondere auf den hier beschriebenen Vereinzelungsprozess des Verfahrens durch mechanische Prozesse wie beispielsweise Stanzen, Sägen oder Schneiden beziehungsweise physikalische Prozesse, zum Beispiel Lasertrennen, zurückgeführt werden.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Konverterplättchens enthalten die lichtkonvertierenden Bereiche einen Leuchtstoff, der Licht einer ersten Wellenlänge in Licht einer von der ersten Wellenlänge verschiedenen zweiten Wellenlänge umwandelt und die lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereiche sind frei vom dem Leuchtstoff. Beispielsweise können in den lichtkonvertierenden Bereiche blaues Licht in gelbes Licht umgewandelt werden.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform kann das Konversionsplättchen zunächst auf eine UV-Folie und dann auf eine Thermoreleasefolie umgeklebt werden. Anschließend können die Koverterplättchen über einen sogenannten Layertransferschnitt auf beispielsweise einen lichtemittierenden Halbleiterkörper, beispielsweise eine Leuchtdiode oder Laserdiode, aufgesetzt werden.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Bauelements umfasst dieses den lichtemittierenden Halbleiterkörper und das hier beschriebene Konverterplättchen. Das Konverterplättchen wird mittels der Lichteintrittsfläche auf den lichtemittierenden Halbleiterkörper angeordnet. Der lichtemittierende Halbleiterkörper kann insbesondere eine weitere Lichtaustrittsfläche aufweisen, die entsprechend den lichtkonvertierenden Bereichen und den lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereichen des Konverterplättchens unterteilt ist.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Elektrophorese-Substrats umfasst dieses den Träger, der die Vorderseite und die der Vorderseite abgewandte Rückseite aufweist sowie die erste elektrisch leitfähige Schicht und die zweite elektrisch leitfähige Schicht umfasst. Die erste und die zweite elektrisch leitfähige Schicht sind auf der Vorderseite des Trägers angeordnet. Die erste elektrisch leitfähige Schicht und die zweite elektrisch leitfähige Schicht sind in der lateralen Richtung benachbart angeordnet und weisen zueinander den Abstand auf. Ferner sind die erste elektrisch leitfähige Schicht und die zweite elektrisch leitfähige Schicht voneinander elektrisch isoliert und unabhängig voneinander mit der Spannung beaufschlagbar.
Die folgenden Ausführungsbeispiele beziehen sich auf das hier beschriebene Elektrophorese-Substrat als auch auf das hier beschriebene Verfahren zur Herstellung der multifunktionellen Schicht.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform beträgt der Abstand zwischen der ersten elektrisch leitfähigen Schicht und der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht zwischen einschließlich 3 µm und einschließlich 15 µm. Durch den hier beschriebenen Abstand kann insbesondere der Abstand zwischen den lichtkonvertierenden und den lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereichen des Konverterplättchens derart klein gehalten werden, dass ein Übersprechen von zueinander benachbarten lichtkonvertierenden Bereichen des Konverterplättchens unterbunden werden kann. Insbesondere können Bereiche im Fernfeld durch ein Nachschalten eines solchen Konverterplättchens auf den lichtemittierenden Halbleiterkörper trennscharf beleuchtet beziehungsweise ein Überstrahlen benachbarter Bereiche im Fernfeld kann vermieden werden.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist die erste elektrisch leitfähige Schicht und die zweite elektrisch leitfähige Schicht eine Dicke zwischen einschließlich 50 nm und einschließlich 500 nm auf. Besonders bevorzugt weisen die erste und zweite elektrisch leitende Schicht eine Dicke zwischen einschließlich 50 nm und einschließlich 300 nm auf. Unter Dicke versteht man im vorliegenden Zusammenhang eine Ausdehnung der ersten und zweiten elektrisch leitfähigen Schicht parallel zu der hier beschriebenen vertikalen Richtung. Bevorzugt weisen die erste elektrisch leitfähige Schicht und die zweite elektrisch leitfähige Schicht eine elektrische Leitfähigkeit von mindestens 1 Siemens/Meter auf. Eine derartige elektrische Leitfähigkeit ermöglicht einen ausreichenden Ladungstransport auch bei vergleichsweise dünnen elektrisch leitfähigen Schichten, die eine Dicke zwischen einschließlich 50 nm und einschließlich 500 nm aufweisen.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform enthalten die erste elektrisch leitfähige Schicht und die zweite elektrisch leitfähige Schicht ein Metall, eine Metalllegierung, ein Halbmetall oder ein Halbleitermaterial. Beispielsweise weisen die erste elektrisch leitfähige Schicht und die zweite elektrisch leitfähige Schicht eines der folgenden Materialien auf oder sind aus einem der folgenden Materialien gebildet: Lithium, Natrium, Kalium, Rubidium, Cäsium, Beryllium, Calcium, Magnesium, Strontium, Barium, Scandium, Titan, Aluminium, Silizium, Gallium, Zinn, Zirkonium, Zinkoxid, Zinksulfid, Zinkselenid, Zinktellurid, Zinnoxid.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform sind Bereiche der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht über die Vorderseite und die erste elektrisch leitfähige Schicht mittels zumindest einer Durchkontaktierung durch den Träger hindurch über die Vorderseite oder über die Rückseite elektrisch kontaktierbar, wobei die Bereiche der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht auf der Vorderseite eine gitterartige Struktur ausbilden und bevorzugt die erste elektrisch leitfähige Schicht bereichsweise inselartig in der gitterartigen Struktur der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht angeordnet ist und vorzugsweise Elektroden zur elektrischen Kontaktierung der ersten elektrisch leitfähigen Schicht und der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht auf derselben Seite des Trägers, besonders bevorzugt auf der Vorderseite, angeordnet sind. Durch die hier beschriebene Anordnung der ersten und zweiten elektrisch leitfähigen Schicht können insbesondere gleichmäßig verteilte lichtkonvertierende und lichtstreuende und/oder lichtabsorbierende Bereiche des Konverterplättchens beziehungsweise der multifunktionellen Schicht hergestellt werden. Des Weiteren kann der hier beschriebene Vereinzelungsprozess auf Basis der gitterförmigen Struktur automatisiert werden, da insbesondere das Füllmaterial gleichmäßig in den Abständen zwischen der ersten und zweiten elektrisch leitfähigen Schicht angeordnet ist.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist das Elektrophorese-Substrat wiederverwendbar. Insbesondere kann das hier beschriebene Elektrophorese-Substrat für das hier beschriebene Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von multifunktionellen Schichten eingesetzt werden. Dadurch ist das hier beschriebene Verfahren zur Herstellung der multifunktionellen Schicht beziehungsweise des Konverterplättchens besonders kosteneffizient.
Im Folgenden wird das hier beschriebene Verfahren zur Herstellung einer multifunktionellen Schicht, ein Konverterplättchen, ein Elektrophorese-Substrat und ein optoelektronisches Bauelement anhand von Ausführungsbeispielen mit dazugehörigen Figuren erläutert.
Die 1A, 1B, 2A, 2B, 3A, 3B, 4A, 4B, 5, 6A und 6B zeigen schematische Darstellungen einzelner Verfahrensschritte A bis E zur Herstellung einer multifunktionellen Schicht.
Die 6A und 6B zeigen ferner Plättchen, die auf einen Vereinzelungsprozess der multifunktionellen Schicht basieren.
Die 7A und 7B zeigen schematische Darstellungen eines Konverterplättchens, das mit dem hier beschriebenen Verfahren hergestellt werden kann.
Die 7C zeigt eine schematische Darstellung eines optoelektronischen Bauelements.
Die 8 und 9 zeigen schematische Darstellungen weiterer möglicher Ausführungsformen eines Elektrophorese-Substrats.
Gleiche, gleichartige oder gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Die Figuren und die Größenverhältnisse der in den Figuren dargestellten Elemente untereinander sind nicht als maßstäblich zu betrachten. Vielmehr können einzelne Elemente zur besseren Darstellbarkeit und/oder für eine bessere Verständlichkeit übertrieben groß dargestellt sein.
Das Ausführungsbeispiel der 1A zeigt eine Aufsicht auf ein Elektrophorese-Substrat 10 mit einem Träger 15, der eine Vorderseite 11 und eine der Vorderseite abgewandte Rückseite 12 aufweist (siehe 1B). Das in der 1A gezeigte Elektrophorese-Substrat 10 wird in dem Verfahrensschritt A zur Herstellung der multifunktionellen Schicht 100 bereitgestellt. Ferner zeigt diese Figur eine erste elektrisch leitfähige Schicht 13 und eine zweite elektrisch leitfähige Schicht 14, wobei die erste elektrisch leitfähige Schicht 13 und die zweite elektrisch leitfähige Schicht 14 auf der Vorderseite 11 des Trägers 15 angeordnet sind. Bereiche der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht 14 sind über die Vorderseite 11 und die erste elektrisch leitfähige Schicht 13 ist mittels zumindest einer Durchkontaktierung 16 des Trägers 15 über die Rückseite 12 elektrisch kontaktierbar ausgebildet.
Die Bereiche der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht 14 weisen auf der Vorderseite 11 des Trägers 15 eine gitterartige Struktur 17 auf und die erste elektrisch leitfähige Schicht 13 ist bereichsweise inselartig in der gitterartigen Struktur 17 angeordnet. Elektroden 19 zur elektrischen Kontaktierung der ersten elektrisch leitfähigen Schicht 13 und der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht 14 sind in der 1A auf der Vorderseite 11 des Trägers 15 angeordnet. Die erste elektrisch leitfähige Schicht 13 und die zweite elektrisch leitfähige Schicht 14 sind voneinander elektrisch isoliert und unabhängig voneinander mit einer Spannung beaufschlagbar.
Die inselartigen Bereiche der ersten elektrisch leitfähigen Schicht 13 sind in lateraler Richtung L zu den Bereichen der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht 14 benachbart angeordnet und weisen zueinander einen Abstand A auf. Der Abstand A zwischen der ersten elektrisch leitfähigen Schicht 13 und der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht 14 beträgt beispielsweise 5 µm. Unter "lateraler Richtung L" versteht man eine Richtung, die parallel zu einer Haupterstreckungsrichtung des Elektrophorese-Substrats 10 verläuft. Die erste elektrisch leitfähige Schicht 13 und die zweite elektrisch leitfähige Schicht 14 können eine Dicke D zwischen einschließlich 50 nm und einschließlich 500 nm aufweisen.
Beispielsweise kann der Träger 15 ein elektrisch isolierendes Material 18 umfassen oder aus dem elektrisch isolierenden Material 18 bestehen. Die erste elektrisch leitfähige Schicht 13 und die zweite elektrisch leitfähige Schicht 14 können ein Metall, eine Metalllegierung, ein Halbmetall oder ein Halbleitermaterial enthalten oder aus einem dieser Materialien bestehen.
Die 1B zeigt eine schematische Seitenansicht des Elektrophorese-Substrats 10. Die Durchkontaktierungen 16 des Trägers 15 erstrecken sich durch den Träger 15 hindurch. Die Elektroden 19 sind entweder mit der ersten elektrisch leitfähigen Schicht 13 oder mit der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht 14 verbunden.
Das in der 1A beziehungsweise 1B gezeigte Elektrophorese-Substrat 10 kann für das hier beschriebene Verfahren zur Herstellung der multifunktionellen Schicht 100 verwendet werden.
Die 2A zeigt eine Aufsicht und die 2B zeigt eine Seitenansicht des Verfahrensschritts B. In der 2A beziehungsweise 2B ist das Elektrophorese-Substrat 10 der 1A und 1B gezeigt mit dem Unterschied, dass auf der ersten elektrisch leitfähigen Schicht 13 ein erstes Material 1 elektrophoretisch abgeschieden worden ist. Das erste Material 1 kann insbesondere einen Leuchtstoff 7 umfassen.
Die 3A zeigt eine Aufsicht und die 3B zeigt eine Seitenansicht des Verfahrensschritts C, wobei sich die 3A und 3B zu den 2A und 2B dahingehend unterscheiden, dass ein zweites Material 2 auf die zweite elektrisch leitfähige Schicht 14 elektrophoretisch abgeschieden worden ist. Das zweite Material 2 kann lichtstreuende Partikel 8 und/oder lichtabsorbierende Partikel 9 enthalten oder aus diesen Partikeln bestehen. Der Träger 15 ist an der Vorderseite 11 frei von dem ersten Material 1 und dem zweiten Material 2. Das elektrophoretische Abscheiden erfolgt somit ausschließlich auf der elektrisch leitfähigen Schicht 13 und der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht 14. Mit anderen Worten bilden sich zwischen dem ersten Material 1 und dem zweiten Material 2 Spalten aus. Eine laterale Ausdehnung der Spalten entspricht hierbei den hier beschriebenen Abständen A zwischen der ersten elektrisch leitenden Schicht 13 und der zweiten elektrisch leitenden Schicht 14.
Die 4A zeigt eine Aufsicht und die 4B zeigt eine Seitenansicht des Verfahrensschritts D. In den 4A und 4B ist ferner ein Füllmaterial 3 gezeigt, das zwischen dem ersten Material 1 und dem zweiten Material 2 angeordnet ist, wobei das Füllmaterial 3 mit dem ersten Material 1 und dem zweiten Material 1 eine gemeinsame Grenzfläche 4 ausbildet. Durch das Füllmaterial 3 werden insbesondere die Abstände A in der lateralen Richtung L zwischen dem ersten Material 1 und dem zweiten Material 2 derart gefüllt, dass die durchgehende multifunktionelle Schicht 100 ausgebildet wird.
In der 5 ist der Verfahrensschritt E gezeigt. Wie in der 5 dargestellt wird die multifunktionellen Schicht 100 von dem Elektrophorese-Substrat 10 abgelöst. Somit kann das Elektrophorese-Substrat 10 zur Herstellung einer weiteren multifunktionellen Schicht wiederverwendet werden. Die in der 5 gezeigte multifunktionelle Schicht 100 kann hinsichtlich des ersten Materials 1 einen Leuchtstoff 7 oder eine Mischung aus mehreren Leuchtstoffen 7 enthalten. Das zweite Material 2 kann insbesondere ein lichtstreuendes Material 8 oder ein lichtabsorbierendes Material 9 enthalten. Das Füllmaterial, welches den Leuchtstoff 7 und beispielsweise die lichtstreuenden Partikel 8 miteinander stoffschlüssig verbindet, kann ein Parylen oder Silikon sein oder enthalten. In der 5 ist somit unter anderem die multifunktionelle Schicht 100 gezeigt, die beispielsweise eine Vielzahl von einzelnen Konverterplättchen 20 umfassen kann.
Die 6A zeigt eine Seitenansicht und die 6B zeigt eine Aufsicht eines Vereinzelungsprozesses der multifunktionelle Schicht 100 in einzelne Plättchen 5. In den 6A und 6B wird die multifunktionelle Schicht 100 in einzelne Plättchen vereinzelt, wobei Trennlinien 6 bei der Vereinzelung durch das Füllmaterial 3 hindurch verlaufen. Durch den Vereinzelungsprozess können Plättchen 5 und abhängig von den Materialeigenschaften des ersten Materials 1 und des zweiten Materials 2 beispielsweise Konverterplättchen 20 hergestellt werden.
In den 7A und 7B ist ein Konverterplättchen 20 gezeigt. Die 7A zeigt hierbei eine Seitenansicht und die 7B eine Aufsicht auf das Konverterplättchen 20. Das in den 7A und 7B gezeigte Konverterplättchen umfasst lichtkonvertierende Bereiche 21 und lichtstreuende und/oder lichtabsorbierende Bereiche 22. Die lichtkonvertierenden Bereiche 21 und die lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereiche 22 sind innerhalb des Konverterplättchens 20 in der lateralen Richtung L benachbart angeordnet. Zwischen den lichtkonvertierenden Bereichen 21 und den lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereichen 22 befindet sich in der lateralen Richtung L das Füllmaterial 3. Das in den 7A und 7B gezeigte Konverterplättchen basiert insbesondere auf die in den 1 bis 6 gezeigten Verfahrensschritte A bis E. Somit basiert die Herstellung des hier beschriebenen Konverterplättchens 20 auf das hier beschriebene Verfahren und dem hier gezeigten Elektrophorese-Substrat 10.
Das Konverterplättchen 20 weist eine Lichtaustrittsfläche 23 und eine der Lichtaustrittsfläche 23 abgewandte Lichteintrittsfläche 24 sowie Seitenflächen 25 auf. Die zumindest eine Seitenfläche 26 des Konverterplättchens 20 kann insbesondere Spuren eines physikalischen und/oder mechanischen Materialabtrags 26 aufweisen. Mittels der Lichteintrittsfläche 24 kann das Konverterplättchen insbesondere auf eine weitere Lichtaustrittsfläche eines lichtemittierenden Halbleiterkörpers, beispielsweise ein Leuchtdiodenchip (LED), aufgebracht werden. Die lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereiche 22 verhindern dabei, dass sich das Licht aus den konvertierenden Bereiche 21 insbesondere im Fernfeld nicht überlagert.
Die Dicke des Konverterplättchens kann beispielsweise zwischen einschließlich 15 µm bis einschließlich 250 µm betragen. Die laterale Ausdehnung des konvertierenden Bereichs 21 kann einschließlich 25 bis einschließlich 150 µm betragen. Die laterale Ausdehnung der lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereiche 22 kann insbesondere einschließlich 5 µm bis einschließlich 50 µm betragen. Die Abstände zwischen den lichtkonvertierenden Bereichen 21 und den lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereichen 22 kann bereits wie hier beschrieben zwischen einschließlich 3 µm und einschließlich 15 µm betragen.
In der 7C ist anhand einer Seitenansicht eine Ausführungsform des optoelektronischen Bauelements 50 gezeigt. In der 7C ist das Konverterplättchen 20 mittels der Lichteintrittsfläche 24 auf einem lichtemittierenden Halbleiterkörper 30 angeordnet.
In der 8 ist anhand einer Seitenansicht eine weitere Variante des hier beschriebenen Elektrophorese-Substrats 10 gezeigt. Das in der 8 gezeigte Elektrophorese-Substrat 10 umfasst den Träger 15. Der Träger 15 enthält beispielsweise ein Mehrlagen FR4, Teflon, PET oder Epoxymaterial oder besteht aus einem elektrisch isolierenden Material 18. Bei dem Elektrophorese-Substrat 10 ist somit die Rückseite 12 des Trägers 15 vollständig durch das elektrisch isolierendes Material 18 ausgebildet.
In der 9 ist anhand einer Seitenansicht eine weitere Variante des hier beschriebenen Elektrophorese-Substrats 10 gezeigt. In der 9 ist der Träger 15 zumindest stellenweise durch ein elektrisch leitfähiges Material 18 umschlossen. Der in der 9 gezeigte Träger 15 umfasst somit einen elektrisch leitenden Kern und ein elektrisch leitendes Material 18, wobei das elektrisch isolierende Material 18 den elektrisch leitenden Kern des Trägers 15 im Hinblick auf die erste und zweite elektrisch leitfähige Schicht 13, 14 elektrisch isoliert.
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele auf diese beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.

Claims

Verfahren zur Herstellung einer multifunktionellen Schicht (100) umfassend folgende Schritte: A) Bereitstellen eines Elektrophorese-Substrats (10) mit einem Träger (15), der eine Vorderseite (11) und eine der Vorderseite (11) abgewandte Rückseite (12) aufweist, wobei eine erste elektrisch leitfähige Schicht (13) und eine zweite elektrisch leitfähige Schicht (14) auf der Vorderseite (11) aufgebracht und bereichsweise in lateraler Richtung (L) voneinander beabstandet angeordnet sind, B) elektrophoretisches Abscheiden eines ersten Materials (1) auf die erste elektrisch leitfähige Schicht (13), C) elektrophoretisches Abscheiden eines zweiten Materials (2) auf die zweite elektrisch leitfähige Schicht (14), D) Anordnen eines Füllmaterials (3) zwischen dem ersten Material (1) und dem zweiten Material (2), wobei das Füllmaterial (3) mit dem ersten Material (1) und dem zweiten Material (2) eine gemeinsame Grenzfläche (4) ausbildet und durch das Füllmaterial (3) Abstände (A) in der lateraler Richtung (L) zwischen dem ersten Material (1) zu dem zweiten Material (2) derart gefüllt werden, dass die durchgehende multifunktionelle Schicht (100) ausgebildet wird, E) Ablösen der multifunktionellen Schicht (100) von dem Elektrophorese-Substrat (10).
Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die multifunktionelle Schicht (100) in einzelne Plättchen (5) vereinzelt wird, wobei Trennlinien (6) bei der Vereinzelung durch das Füllmaterial (3) hindurch verlaufen.
Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem das erste Material (1) einen Leuchtstoff (7) oder eine Mischung aus mehreren Leuchtstoffen enthält.
Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem das zweite Material (2) lichtstreuende Partikel (8) und/oder lichtabsorbierende Partikel (9) enthält.
Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem das Füllmaterial (3) ein Parylen oder ein Silikon ist oder ein Parylen oder Silikon enthält.
Elektrophorese-Substrat (10) mit – einem Träger (15), der eine Vorderseite (11) und eine der Vorderseite (11) abgewandte Rückseite (12) aufweist, – einer ersten elektrisch leitfähigen Schicht (13) und – einer zweiten elektrisch leitfähigen Schicht (14), wobei – die erste elektrisch leitfähige Schicht (13) und die zweite elektrisch leitfähige Schicht (14) auf der Vorderseite (11) des Trägers (15) angeordnet sind, – die erste elektrisch leitfähige Schicht (13) und die zweite elektrisch leitfähige Schicht (14) in lateraler Richtung (L) benachbart angeordnet sind und einen Abstand (A) zueinander aufweisen, und – die erste elektrisch leitfähige Schicht (13) und die zweite elektrisch leitfähige Schicht (14) voneinander elektrisch isoliert und unabhängig voneinander mit einer Spannung beaufschlagbar sind.
Elektrophorese-Substrat (10) gemäß Anspruch 6, wobei der Abstand (A) zwischen der ersten elektrisch leitfähigen Schicht (13) und der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht (14) zwischen einschließlich 3 µm und einschließlich 15 µm beträgt.
Elektrophorese-Substrat (10) gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die erste elektrisch leitfähige Schicht (13) und die zweite elektrisch leitfähige Schicht (14) eine Dicke zwischen einschließlich 50 nm und einschließlich 500 nm aufweist.
Elektrophorese-Substrat (10) gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei Bereiche der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht (14) über die Vorderseite (11) und die erste elektrisch leitfähige Schicht (13) mittels zumindest einer Durchkontaktierung (16) durch den Träger (15) hindurch über die Vorderseite (11) oder über die Rückseite (12) elektrisch kontaktierbar sind, wobei – die Bereiche der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht (14) auf der Vorderseite (11) eine gitterartige Struktur (17) ausbilden und bevorzugt die erste elektrisch leitfähige Schicht (11) bereichsweise inselartig in der gitterartigen Struktur (17) angeordnet ist, und – vorzugsweise Elektroden (19) zur elektrischen Kontaktierung der ersten elektrisch leitfähigen Schicht (13) und der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht (14) auf derselben Seite des Trägers (15), besonders bevorzugt auf der Vorderseite (11), angeordnet sind.
Elektrophorese-Substrat (10) gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Elektrophorese-Substrat (10) wiederverwendbar ist.
Verwendung des Elektrophorese-Substrats (10) gemäß den Ansprüchen 6 bis 10 für das Verfahren gemäß den Ansprüchen 1 bis 5.
Konverterplättchen (20) mit lichtkonvertierenden Bereichen (21) und lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereichen (22), wobei – die lichtkonvertierenden Bereiche (21) und die lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereiche (22) innerhalb des Konverterplättchen (20) in lateraler Richtung (L) benachbart angeordnet sind und – sich zwischen den lichtkonvertierenden Bereichen (21) und den lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereichen (22) in der lateralen Richtung (L) ein Füllmaterial (3) befindet.
Konverterplättchen (20) gemäß Anspruch 12, wobei das Konverterplättchen (20) eine Lichtaustrittsfläche (23) und eine der Lichtaustrittsfläche (23) abgewandte Lichteintrittsfläche (24) sowie Seitenflächen (25) aufweist, die die Lichtaustrittsfläche (23) mit der Lichteintrittsfläche (24) verbinden und die zumindest eine Seitenfläche (25) Spuren eines physikalischen und/oder mechanischen Materialabtrags (26) aufweist.
Konverterplättchen (20) gemäß Anspruch 12 oder 13, wobei die lichtkonvertierenden Bereiche (21) einen Leuchtstoff (7) enthalten, der Licht einer ersten Wellenlänge in Licht einer von der ersten Wellenlänge verschiedenen zweiten Wellenlänge umwandelt und die lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Bereiche (22) frei vom dem Leuchtstoff (7) sind.
Optoelektronisches Bauelement (50) mit einem lichtemittierenden Halbleiterkörper (30) und einem Konverterplättchen (20) gemäß den Ansprüchen 12 bis 14.