DE102013100617A1 - Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas und Handgerät mit der Vorrichtung - Google Patents
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Abstract
Description
- Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas. Im Besonderen ist hierzu eine Steuerschaltung vorgesehen, die zur Anregung eines piezoelektrischen Transformators mit diesem elektrisch verbunden ist.
- Ferner betrifft die Erfindung ein Handgerät zur Plasmabehandlung von Oberflächen. Das Handgerät weist ein Gehäuse und eine Spannungsquelle auf.
- Aus der deutschen Patentschrift
DE 10 2008 018 827 B4 ist eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas mit einem Piezoelement offenbart. Das Piezoelement ist mit einem Primär- und Sekundärbereich ausgestattet. Dabei erfolgt die Ansteuerung des Primärbereichs des Piezoelementes mit Niederspannung und Hochfrequenz. In der Folge wird das Plasma durch die Feldüberhöhung auf der Fläche des Sekundärbereichs des Piezoelements gezündet. Erfindungsgemäß erfolgt die Plasmaführung durch eine auf Erdpotential liegende Gegenelektrode und eine Gasströmung, die am Piezoelement vorbeistreicht. Durch die Gasströmung tritt das Plasma aus der Vorrichtung aus. - Die deutsche Offenlegungsschrift
DE 10 2011 006 764 A1 offenbart einen Piezotransformator mit einem eingangsseitigen piezoelektrischen Wandler, einem ausgangsseitigen piezoelektrischen Wandler mit mindestens zwei Phasen, mindestens einer ersten elektrisch nicht leitenden Schicht, welche zwischen dem eingangsseitigen piezoelektrischen Wandler und dem ausgangsseitigen piezoelektrischen Wandler angeordnet ist und welche den eingangsseitigen piezoelektrischen Wandler und den ausgangsseitigen piezoelektrischen Wandler mechanisch miteinander koppelt. Ferner ist mindestens eine zweite elektrisch nicht leitende Schicht zwischen den Phasen des ausgangsseitigen piezoelektrischen Wandlers angeordnet. - Das US-Patent
US 5,834,882 beschreibt den Aufbau eines piezoelektrischen Vielschicht-Transformators. Ein erstes elektroaktives Element ist mechanisch an dem zweiten elektroaktiven Element durch eine Verbindungsschicht, die zwischen einer ersten Hauptfläche des ersten elektroaktiven Elements und einer ersten Hauptfläche des zweiten elektroaktiven Elements angeordnet ist, verbunden. Die Verbindungsschicht weist eine Vorspanneinrichtung auf, um eine Druckspannung in Längsrichtung auf das erste und das zweite elektroaktive Element aufzubringen. - Die deutsche Offenlegungsschrift
DE 10 2009 023 505 A1 offenbart eine Schaltungsanordnung für einen Piezotransformator und ein Verfahren zum Ansteuern eines Piezotransformators. Die Schaltungsanordnung umfasst einen Treiberschaltkreis, einen Stromsensor, eine Steuereinheit und einen Oszillator. Weiter umfasst die Schaltungsanordnung einen Pulsweitenmodulator. Der Pulsweitenmodulator ist zwischen dem Oszillator und dem Treiberschaltkreis geschaltet. Der Oszillatorausgang ist mit einem Eingang des Pulsweitenmodulators verbunden. Ein Modulatorausgang des Pulsweitenmodulators ist mit dem Treibersignaleingang verbunden. Ein weiterer Modulatorausgang des Pulsweitenmodulators ist mit einem weiteren Treibersignaleingang des Treiberschaltkreises verbunden. Ein Ausgang der Steuereinheit ist mit einem Modulatorsteuereingang des Pulsweitenmodulators verbunden. Am Piezotransformator kann eine sekundärseitige Spannung abgegriffen werden, die z.B. zur Blitzauslösung dient. - In der deutschen Offenlegungsschrift
DE 10 2007 055 014 A1 ist ein Verfahren zur Zündung und Aufrechterhaltung eines Plasmas in einem Gasraum offenbart. Das piezoelektrische Material ragt in einen Hohlraum hinein, wobei das piezoelektrische Material durch eine äußere elektrische Anregung resonant in Schwingungen versetzt wird. Der Hohlraum enthält das zu ionisierende Gas. Außen sind an dem piezoelektrischen Material Elektroden angebracht. Das Verfahren ist zur Realisierung einer Plasmalichtquelle geeignet. - Die chinesische Patentanmeldung
CN 101259036 A offenbart einen Mikro-Plasma-Stift zum Entfernen von Sommersprossen. Der Stift umfasst einen Plasmakopf zur Hautreinigung, ein Griffgehäuse, einen Mikro-Wandler, der im Griffgehäuse angeordnet ist, einen Leistung Controller und ein Leistungsmodul. Der Stift kann eine hohe und variable Plasmaleistung abgeben, wofür eine integrierte Schaltung oder einem Halbleiter-Chip-Mikroprozessor im Griffgehäuse installiert ist, die einen piezoelektrischen Transformator treibt. - Die europäische Patentanmeldung
EP 2 256 835 A2 offenbart einen Impulsgenerator für einen piezoelektrischen Transformator. Eine Endstufe des Verstärkers treibt den piezoelektrischen Transformator bei einer gewünschten Resonanzfrequenz. Zwei Elektroden sind mit dem piezoelektrischen Transformator verbunden. Die sich am piezoelektrischen Transformator ausbildende Spannung reicht aus um eine dielektrische Barriereentladung auszubilden. Der Generator für die dielektrische Barriereentladung besteht aus einer Röhre oder einer Schale. Die Hochspannungselektrode sitzt z.B. in einer auf Erdpotential liegenden Röhre. - Die deutsche Patentschrift
DE 10 2005 032 890 B4 offenbart eine Vorrichtung zur Erzeugung von Atmosphärendruck-Plasma mittels mindestens eines piezoelektrischen Transformators. Ein solcher Transformator besteht aus piezoelektrischem Material, das in Längsrichtung in mindestens einer Anregungszone und mindestens einer Hochspannungszone unterteilt ist. Gemäß der Erfindung weist der piezoelektrische Transformator mindestens eine Öffnung zur Gasführung auf, die mit einem Gasstrom durchströmt wird, wobei in der Öffnung Plasma erzeugt werden kann. - Der Artikel „Piezoelektrische Transformatoren – Schaltungen und Anwendungen" vom C. KAUCZOR / T. SCHULTE / H. GROTSTOLLEN; 47. Internationales Kolloquium, Technische Universität Ilmenau, 23.–26. September 2002. Die piezoelektrischen Transformatoren stellen eine geeignete Alternative zu herkömmlichen Transformatoren dar. Auf der Primärseite wird die treibende Spannung eingekoppelt. Auf der Ausgangsseite (Sekundärseite) wird die Spannung verstärkt.
- Im Artikel „High Efficiency Ozone Production by a Compact Ozoniser Using Piezoelectric Tranformer", von Kenji TERANISHI, Susumu SUZUKI und Haruro ITOH, Chiba Institute of Technology, ist offenbart, dass der piezoelektrische Transformator in Schwingungsknoten gehaltert ist. Die Anregungsenergie wird in einer ersten Hälfte des piezoelektrischen Transformators zugeführt. Die zweite Hälfte des piezoelektrischen Transformators ist zwischen zwei Elektroden für die Barriereentladung positioniert. Eine Plasmaausbildung alleine am freien Ende des piezoelektrischen Transformators ist nicht vorgesehen.
- Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung von Atmosphärendruck-Plasma mittels mindestens eines piezoelektrischen Transformators. Ein solcher Transformator besteht aus piezoelektrischem Material, das in Längsrichtung in mindestens einer Anregungszone und mindestens einer Hochspannungszone unterteilt ist. Gemäß der Erfindung weist der piezoelektrische Transformator mindestens eine Öffnung zur Gasführung auf, die mit einem Gasstrom durchströmt wird, wobei in der Öffnung Plasma erzeugt werden kann. Nach einer anderen Ausführungsform der Erfindung sind die Polarisationsrichtungen der beiden Zonen des Transformators derart ausgebildet, dass an der Oberfläche der Hochspannungszone selbst Plasma erzeugt wird. z.B. zur Lampenstromversorgung mit entsprechenden Elektroden abgegriffen.
- Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung zu schaffen, die einfach und kostengünstig ist, so dass unter Verwendung der Vorrichtung ein Plasma bei Atmosphärendruck erzeugt wird.
- Die obige Aufgabe wird mit einer Vorrichtung gemäß den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
- Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist, ein Handgerät zur Plasmabehandlung von Oberflächen bei Atmosphärendruck vorzuschlagen, das kostengünstig und einfach aufgebaut ist.
- Die obige Aufgabe wird mit einem Handgerät zur Plasmabehandlung von Oberflächen gemäß den Merkmalen des Anspruchs 12 gelöst.
- Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas zeichnet sich durch eine Steuerschaltung aus, die zur Anregung eines piezoelektrischen Transformators mit diesem elektrisch verbunden ist. Der piezoelektrische Transformator ist aus mehreren einzelnen Schichten aufgebaut. Der piezoelektrische Transformators besteht aus einem Stapel von mehreren Folien aus dielektrischen Material, wobei in einem Abschnitt einer jeden Folie eine Leiterbahn bzw. eine leitfähige Fläche aufgebracht ist. Der Abschnitt der Folie mit der Leiterbahn befindet sich ein einem Abschnitt der ersten Endes des piezoelektrischen Transformators. In einem Sinterprozess werden die einzelnen Folien miteinander verbunden und so der piezoelektrische Transformators gebildet.
- Die Steuerschaltung zum Antreiben des piezoelektrischen Transformators ist auf einer Platine realisiert. In der Regel wird der piezoelektrische Transformator mit einer Spannung beaufschlagt, die den piezoelektrischen Transformator gemäß seiner Resonanzfrequenz anregt. Die Steuerschaltung dient ebenfalls zur Nachregelung der Anregungsspannung, falls sich die Resonanzfrequenz des piezoelektrischen Transformators aufgrund von Temperatureinflüssen oder Alterungsprozessen ändert. Ebenso kann sich die Resonanzfrequenz des piezoelektrischen Transformators durch Änderung der dielektrischen Eigenschaften der Umgebung oder durch die Intensität der in die gasförmige Umgebung gezündeten Entladung verschieben. Der piezoelektrische Transformator ist mit einem Bereich eines ersten Endes über der Platine gehaltert bzw. geführt. Durch die Anregungsspannung wird an einem zweiten freien Ende des piezoelektrischen Transformators eine Hochspannung ausgeprägt. Am zweiten freien Ende zündet dann das Plasma bei Atmosphärendruck. Die Halterung für den piezoelektrischen Transformator haltert bzw. führt diesen in einem Schwingungsknoten. Zwischen der Platine und dem piezoelektrischen Transformator ist ein Spalt ausgebildet, so dass der piezoelektrische Transformator und die Platine voneinander beabstandet sind. Mittels dieser Anordnung ist eine mechanische Dämpfung des piezoelektrischen Transformators ausgeschlossen.
- Der piezoelektrische Transformator selbst ist quaderförmig, wobei eine Länge und eine Breite des piezoelektrischen Transformators größer als eine Dicke des piezoelektrischen Transformators sind. Die mehreren Schichten des piezoelektrischen Transformators sind dabei derart orientiert, dass sie im Wesentlichen senkrecht zu den Seitenflächen des piezoelektrischen Transformators sind, die durch die Länge und die Dicke des piezoelektrischen Transformators bestimmt sind.
- An gegenüberliegenden Seitenflächen des piezoelektrischen Transformators ist jeweils ein elektrischer Anschluss für die Anregungsspannung vorgesehen. Bevorzugt wird der elektrische Anschluss in einem Schwingungsknoten des piezoelektrischen Transformators angebracht. Die Halterung für den piezoelektrischen Transformator ist ebenfalls im Schwingungsknoten des piezoelektrischen Transformators vorgesehen. Für den Fall, dass ein separater elektrischer Anschluss für die Anregungsspannung zum Anschlußpad geführt wird, reicht es aus, dass die Halterung aus elastischem Material besteht. Falls die Anregungsenergie für den piezoelektrischen Transformator über die Halterung zugeführt wird, ist das Material der Halterung elastisch und elektrisch leitfähig.
- Ein Strom eines Arbeitsgases wird derart ausbildet, dass er zumindest von dem ersten Ende des auf der Platine gehalterten piezoelektrischen Transformators zum zweiten freien Ende des piezoelektrischen Transformators hin, gerichtet ist. Der Strom von Arbeitsgas dient zur Ausbildung des Plasmas und zur Kühlung des piezoelektrischen Transformators, wobei in den Schwingungsknoten die höchste thermische Verlustleistung auftritt. Ein Lüfter ist vorgesehen, um den Storm des Arbeitsgases über den piezoelektrischen Transformator zum zweiten freien Ende hin zu unterstützen.
- Bei einem mit einer Resonanzfrequenz angeregten, piezoelektrischen Transformator bilden sich mindestens zwei Schwingungsknoten aus, die beide vom ersten Ende bzw. vom zweiten freien Ende beabstandet sind. Gemäß einer Ausführungsform ist auf der Platine jeweils ein elektrischer Anschluss zu je einer Seitenfläche des piezoelektrischen Transformators geführt. Der Anschluss ist mit je einem Anschlußpad verbunden, das in einem Schwingungsknoten an jeder Seitenfläche des piezoelektrischen Transformators vorgesehen ist. Das Anschlußpad ist an demjenigen Schwingungsknoten angebracht, der näher zum ersten Ende als zum zweiten freien Ende hin liegt. Bevorzugt ist an diesem Schwingungsknoten des piezoelektrischen Transformators ein Tempersensor vorgesehen, damit die Temperatur des piezoelektrischen Transformators überwacht werden kann, so dass eine Abschaltung vorgenommen wird, wenn die Temperatur einen gewissen Schwellwert übersteigt.
- Es ist von besonderem Vorteil, wenn die Platine und der piezoelektrische Transformator eine bauliche Einheit bilden. Diese bauliche Einheit kann dann als Ganzes in ein Gehäuse eingesetzt bzw. eingebaut werden.
- Ein Handgerät zur Plasmabehandlung von Oberflächen besitzt zumindest ein Gehäuse und eine Spannungsquelle. Mit dem von dem Handgerät abgegebenen Plasma ist es möglich eine Oberfläche zu reinigen und die Hafteigenschaften von Lack oder Klebstoff zu verbessern. Im Gehäuse ist eine Platine mit einer Steuerschaltung zur Anregung eines piezoelektrischen Transformators angeordnet, wobei der piezoelektrische Transformator mit einem ersten Ende auf der Platine gehaltert ist und somit eine bauliche Einheit mit dieser bildet. Ein zweites freies Ende des piezoelektrischen Transformators ist zu einer Öffnung im Gehäuse hin ausgerichtet. An dem zweiten freien Ende des piezoelektrischen Transformators prägt sich eine Hochspannung aus, so dass das Plasma bei Atmosphärendruck ausgebildet wird. Zu Energieversorgung sind ein Akku und/oder ein Anschluss für ein Standard-Netzteil vorgesehen.
- Das Gehäuse trägt einen Lüfter, mit dem ein Luftstrom über den piezoelektrischen Transformator und hin zur Öffnung im Gehäuse erzeugbar ist. Der Lüfter, kann in Abhängigkeit von den baulichen Gegebenheiten des Gehäuses als Axiallüfter ausgebildet sein.
- Das Handgerät kann mit einem zusätzlichen Gasanschluss versehen sein. Über den Gasanschluss kann ein anderes Arbeitsgas als Luft dem zweiten freien Ende des piezoelektrischen Transformators zugeführt werden. Es ist ebenso denkbar, dass das über den Gasanschluss kommende Arbeitsgas mit der Umgebungsluft gemischt wird.
- Es ist von besonderem Vorteil, dass mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ein Atmosphärendruck-Plasma mittels mindestens eines piezoelektrischen Transformators erzeugt werden kann. Der piezoelektrische Transformator besteht aus piezolelektrischem Material, das in Längsrichtung in mindestens eine Anregungszone und mindestens eine Hochspannungszone unterteilt ist, wobei die Anregungszone Anschlußpads aufweist, an die eine Wechselspannung angelegt wird und wobei in der Anregungszone mechanische Schwingungen erzeugt werden die in der Hochspannungszone den Aufbau elektrischer Felder bewirken.
- Gemäß der Erfindung wird das Volumen des pro Zeiteinheit erzeugten Plasmas durch geometrische Strukturen zur lokalen Feldüberhöhung maximiert. Durch eine Strukturierung der Hochspannungsseite des Piezokristalls wird das Volumen des pro Zeiteinheit erzeugten Plasmas maximiert. Die Strukturierung ist in unmittelbaren Formschluss mit der Hochspannungsseite des Piezokristalls. Die Strukturierung ist als gesondertes Bauelement ausgebildet, das mit der Hochspannungsseite des Piezokristalls direkt elektrisch verbunden ist. Im Bereich der Feldüberhöhung wird der Piezokristall (piezoelektrische Transformator) von einem Arbeitsgas (Prozessgas) überströmt.
- Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der nachfolgenden Figuren sowie deren Beschreibungsteile.
- Es zeigen im Einzelnen:
-
1 eine schematische Ansicht des Grundprinzips der erfindungsgemäßen Vorrichtung, mit der ein Plasma bei Atmosphärendruck erzeugt werden kann; -
2 eine perspektivische Schnittansicht, wobei die erfindungsgemäße Vorrichtung von einem Gehäuse umgeben ist; -
3 eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Gehäuse; -
4 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform des Gehäuses, in dem die erfindungsgemäße Vorrichtung untergebracht ist; -
5 eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Vorrichtung; -
6 eine Seitenansicht der erfindungsgemäße Vorrichtung; -
7 eine Seitenansicht des piezoelektrischen Transformators zur Darstellung des Schichtaufbaus; -
8 eine Draufsicht auf die einzelnen Schichten des piezoelektrischen Transformators zur Darstellung der Kontaktierung mit dem seitlichen Anschlüssen zur Zuführung der Anregungsenergie; -
9a –9b schematische Ansichten der unterschiedlichen Möglichkeiten zur Halterung des piezoelektrischen Transformators; -
10 eine Ansicht der unterschiedlichen physikalischen Zustände als Funktion der Länge des piezoelektrischen Transformators; -
11 eine mögliche Ausführungsform eines Handgeräts, das die erfindungsgemäße Vorrichtung umschließt; und -
12 eine weitere Ausführungsform eines Handgeräts, das die erfindungsgemäße Vorrichtung umschließt. - Für gleiche oder gleich wirkende Elemente der Erfindung werden identische Bezugszeichen verwendet. Das dargestellte Ausführungsbeispiel stellt lediglich eine Möglichkeit dar, wie eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas und ein Handgerät, in dem die Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas eingebaut ist, ausgestaltet sein können.
-
1 zeigt eine schematische Ansicht des Grundprinzips der erfindungsgemäßen Vorrichtung1 , mit der ein Plasma bei Atmosphärendruck erzeugt werden kann. In einem Gehäuse30 ist ein piezoelektrischer Transformator5 angeordnet. Ein zweites freies Ende8 des piezoelektrischen Transformators5 ist zu einer Öffnung32 des Gehäuses30 hin gerichtet. Dem Gehäuse30 ist ein Lüfter17 zugeordnet, der einen Strom15 eines Arbeitsgases erzeugt, der zur Öffnung32 des Gehäuses30 hin geführt ist. Der Strom15 des Arbeitsgases ist über die Steuerschaltung3 und den piezoelektrischen Transformator5 geführt und dient in Wesentlichen zur Kühlung des piezoelektrischen Transformators5 . Die in der1 gezeigten Anordnung des Lüfters17 soll nicht als Beschränkung der Erfindung aufgefasst werden. Es ist für einen Fachmann selbstverständlich, dass der Lüfter17 an jeder beliebigen Stelle des Gehäuses30 angebracht werden kann. - An jeder einer Seitenfläche
10 des piezoelektrischen Transformators5 ist je ein Anschlußpad20 vorgesehen, über die der piezoelektrische Transformator5 mit einer derartigen Spannung beaufschlagt wird, so dass der piezoelektrische Transformators5 mit einer Resonanzfrequenz schwingt. Das Anschlußpad20 liegt dabei näher zum ersten Ende6 des piezoelektrischen Transformators5 als zum zweiten freien Ende8 . Wie11 dargestellt ist, bildet der angeregte piezoelektrische Transformator5 zwei Schwingungsknoten14 aus. Bevorzugt sind die Anschlußpads20 in dem Schwingungsknoten14 angebracht, der näher zum ersten Ende6 des piezoelektrischen Transformators5 liegt. Bevorzugt ist der piezoelektrischen Transformator5 derart bemessen, dass sich bei einer Grundmode entlang der Länge des piezoelektrischen Transformators5 zwei Schwingungsknoten14 (siehe9 ) ausbilden. -
2 zeigt eine perspektivische Schnittansicht des Gehäuses30 , das die erfindungsgemäße Vorrichtung1 umgibt. Der piezoelektrische Transformator5 ist, auf einer Platine7 gehaltert, auf der eine Steuerschaltung3 realisiert ist, die ihrerseits aus mehreren elektronischen Bauelementen4 aufgebaut ist, wobei der Übersicht halber nur ein Teil der elektronischen Bauelemente4 dargestellt ist. Der piezoelektrische Transformator5 kann gemäß einer ersten Ausführungsform mit einem Bereich6B des ersten Endes6 der Platine7 gegenüberliegen und ist, wie später beschreiben wird, von dieser beabstandet gehaltert. Das Gehäuse30 hat die Öffnung32 ausgebildet, in der das zweite freie Ende8 des piezoelektrischen Transformator5 endet. An dem zweiten freien Ende8 des piezoelektrischen Transformators5 liegt eine Hochspannung an, so dass sich ein Plasma P (siehe5 ) bei Atmosphärendruck ausbildet. Mit dem Lüfter17 wird, wie bereits beschrieben, ein Strom15 an Arbeitsgas erzeugt, so dass sich mit dem Arbeitsgas am zweiten freien Ende8 des piezoelektrischen Transformators5 das Plasma P ausbilden kann. -
3 zeigt eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung1 im Gehäuse30 . Wie bereits aus2 und ebenso aus3 ersichtlich ist, bilden der piezoelektrische Transformator5 und die Platine7 , die die Steuerschaltung3 trägt, die aus mehreren elektronischen Bauelementen4 aufgebaut ist, eine bauliche Einheit. Somit kann die erfindungsgemäße Vorrichtung1 als die bauliche Einheit vorproduziert und dann in das dafür vorgesehene Gehäuse30 eingebaut werden. In dieser Darstellung ist ein freier Spalt18 zwischen der Platine7 und dem piezoelektrische Transformator5 zu erkennen. - In
4 ist eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform des Gehäuses30 dargestellt, In dem Gehäuse30 ist die erfindungsgemäße Vorrichtung1 untergebracht. In der hier gezeigten Darstellung von der erfindungsgemäßen Vorrichtung1 ist lediglich das zweite freie Ende8 des piezoelektrischen Transformators5 zu sehen, das in der Öffnung32 des Gehäuses30 endet. - Eine schematische Draufsicht auf die erfindungsgemäße Vorrichtung
1 ist in5 dargestellt. Wie bereits mehrfach in der vorangehenden Beschreibung erwähnt, ist die erfindungsgemäße Vorrichtung1 eine bauliche Einheit aus dem piezoelektrischen Transformator5 und der Platine7 . Die Platine7 realisiert mit einer Vielzahl von elektronischen Bauelementen4 eine Steuerschaltung3 . Mit der Steuerschaltung3 ist es möglich den piezoelektrischen Transformator5 mit seiner Resonanzfrequenz anzuregen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung1 kann mit einer externen Energieversorgung verbunden werden, die ein herkömmliches Standard-Netzteil (nicht dargestellt) ist, das über ein Kabel21 mit der erfindungsgemäße Vorrichtung1 verbunden wird. Ebenso kann die Erfindungsgemäße Vorrichtung mit einem Akku versehen werden. Eine Kombination aus Akku und Standard-Netzteil ist ebenfalls denkbar. Die Ansteuerspannung wird von der Steuerschaltung3 der Platine7 über je einen elektrischen Anschluss12 an je eine Seitenfläche10 des piezoelektrischen Transformators5 angelegt. Durch die an den Seitenflächen10 des piezoelektrischen Transformators5 anliegenden Anregungsspannung bildet sich am zweiten freien Ende8 des piezoelektrischen Transformators5 eine Hochspannung aus. Der der erfindungsgemäßen Vorrichtung1 zugeordnete Lüfter17 erzeugt einen Strom15 aus Arbeitsgas, mit dem das Plasma P am zweiten freien Ende8 gezündet und aufrecht erhalten wird. Das Plasma P tritt durch die Öffnung32 des Gehäuses aus, in dem sich die erfindungsgemäße Vorrichtung1 befindet. Die Zündung und die Aufrechterhaltung des Plasmas P erfolgt bei Atmosphärendruck. - Die Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung
1 ist in6 dargestellt. Auf der Platine7 ist die Steuerschaltung3 mit einer Vielzahl von elektrischen Bauelementen4 realisiert. Der piezoelektrische Transformator5 ist mit dem Bereich6B des ersten Endes6 frei über der Platine7 angeordnet. An jeder der Seitenflächen10 des piezoelektrischen Transformators5 ist das Anschlußpad20 für den elektrischen Anschluss12 von der Platine7 angebracht. Die elektrischen Anschlußpads20 sind an beiden Seitenflächen10 des piezoelektrischen Transformators5 und im Schwingungsknoten14 (siehe9 ) desselben angebracht. Ebenso erfolgt die mechanische Halterung bzw. Führung des piezoelektrischen Transformators5 im Schwingungsknoten14 . Die Halterung bzw. Führung des piezoelektrischen Transformators5 ist also derart, dass zwischen der Platine7 und dem piezoelektrischen Transformator5 ein Spalt18 vorliegt. Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung1 ist es am zweiten freien Ende8 des piezoelektrischen Transformators5 eine Hochspannung zu erzeugen wenn in den beiden Auschlußpads20 eine Niederspannung von z. B.12V Wechselspannung (12V Peak-to-Peak) angelegt wird. Wie bereits mehrfach erwähnt, ist der Platine7 ein Lüfter17 zugeordnet, der für den zur Kühlung des piezoelektrischen Transformators5 erforderlichen Luftstrom sorgt. Dem Anschlußpad20 kann ein Temperatursensor24 zugeordnet sein, der die Temperatur im Bereich des Anschlußpads20 bestimmt. Die Signale des Temperatursensors24 können über eine Verbindung11 zur Platine7 geführt werden. Wie in der Beschreibung zu11 klargestellt ist, ist im Bereich des Anschlußpads20 (Lage des Schwingungsknotens14 ) die thermische Verlustleistung am größten. In6 ist das Messprinzip des Temperatursensors2 als ein berührungsloses Messprinzip dargestellt. Es ist ebenfalls denkbar, dass der Temperatursensor24 im Anschlußpad20 eingelötet ist. Wie in der Beschreibung zu5 und6 zu erkennen ist, hat der piezoelektrischen Transformator5 eine Breite B und eine Dicke D. - In
7 ist eine Seitenansicht des piezoelektrischen Transformators5 schematisch wiedergegeben, die den Schichtaufbau des piezoelektrischen Transformators5 verdeutlicht. Der piezoelektrische Transformator5 ist zumindest zum Teil über seine Länge L aus mehreren Schichten S1, S2, ..., SN, aufgebaut, die im Wesentlichen senkrecht zur der aus Länge L und der Dicke D des piezoelektrischen Transformators5 definierten Seitenfläche10 liegen. Der piezoelektrische Transformators5 besteht aus einem Stapel von mehreren Folien aus dielektrischen Material, wobei in einem Abschnitt einer jeden Folie eine Leiterbahn aufgebracht ist. In einem Sinterprozess werden die einzelnen Folien miteinander verbunden und so der piezoelektrische Transformators gebildet. Die elektrische Kontaktierung der einzelnen Schichten S1, S2, ..., SN ist in8 dargestellt. Wie bereits in der vorangehenden Beschreibung erwähnt, ist an jeder der Seitenflächen10 ein Anschlußpad20 vorgesehen, das sich über die gesamte Dicke D des piezoelektrischen Transformators5 erstreckt. Jeder der Schichten S1, S2, ..., SN ist mit einer L-förmigen Leiterschicht27 versehen. Die L-förmigen Leiterschichten27 sind im Schichtsystem derart angeordnet, dass alternierend eines der beiden Anschlußpads20 kontaktiert wird, woraus eine Parallelschaltung der einzelnen Schichten S1, S2, ..., SN resultiert. Wie bereits erwähnt sind die Anschlußpads20 auf beiden Seitenflächen10 des piezoelektrischen Transformators5 in dessen Schwingungsknoten angebracht. - In den
9a und9b sind verschiedene Ausführungsformen der Halterung bzw. Führung des piezoelektrischen Transformators5 offenbart.9a zeigt die Halterung25 des piezoelektrischen Transformators5 gemäß der Durchsteckmontage (through-hole technology, THT) Die Halterung25 besteht gemäß dieser Ausführungsform aus zwei Stiften die den Durchlass für die Duschsteckmontage bilden, in den der piezoelektrische Transformator5 eingesteckt und gehalten wird. Die in9b gezeigte Art der Halterung des piezoelektrischen Transformators5 , ist die eines oberflächenmontierten Bauelements (surface-mounted device, SMD). Die elektrischen Anschlüsse12 werden mittels lötfähiger Anschlussflächen direkt auf der Platine (hier nicht dargestellt) montiert. Die elektrischen Anschlüsse12 halten den piezoelektrischen Transformators5 an dessen Anschlußpads20 mittels entsprechender Elemente, die die Halterung25 bilden. Die Halterung25 besteht gemäß der in9b gezeigten Ausführungsform aus flächigen Elementen. Es ist von Vorteil wenn das Material der die Halterung25 aus elastisch und elektrisch leitfähig ist.10 zeigt eine Ansicht der unterschiedlichen physikalischen Zustände als Funktion der Länge des piezoelektrischen Transformators5 . Die Erregung piezoelektrischen Transformators5 im Bereich seiner Resonanzfrequenz führt zur Ausbildung einer Schwingungsmode13 , die zwei Schwingungsknoten14 im piezoelektrischen Transformator5 ausbildet. Die Anschlußpads20 sind an demjenigen Schwingungsknoten14 positioniert, den näher zum ersten Ende6 des piezoelektrischen Transformators5 liegt. Durch die Schwingung des piezoelektrischen Transformators5 bildet sich eine thermische Verlustleistung40 aus, die am Schwingungsknoten14 im Bereich des ersten Endes6 des piezoelektrischen Transformators5 am größten ist. An jedem Schwingungsknoten14 tritt eine thermische Verlustleistung40 auf. Am zweiten freien Ende8 des piezoelektrischen Transformators5 ist der E-Feldverlauf41 derart, dass sich dort ein Maximum ausbildet. Die Strömungsgeschwindigkeit42 des Arbeitsgases ist am Schwingungsknoten14 im Bereich des ersten Endes6 am größten. Ab dem Schwingungsknoten14 , im Bereich des zweiten freien Endes6 , nimmt die Strömungsgeschwindigkeit42 bis zum zweiten freien Ende8 zu. -
11 zeigt eine mögliche Ausführungsform eines Handgeräts100 , das die erfindungsgemäße Vorrichtung1 umschließt. Das Handgerät100 ist kabellos und wird über einen Akku101 (in der Regel 12V) zur Anregung des piezoelektrischen Transformators5 mit Energie versorgt. Zusätzlich kann einer Gasanschluss102 vorgesehen sein, über den das Handgerät100 mit einem Arbeitsgas versorgt wird, das nicht Luft ist. Ferner ist eine Lüfter17 vorgesehen, der in Richtung einer Achse A der erfindungsgemäßen Vorrichtung1 wirkt. Der Lüfter17 sorgt dafür, dass innerhalb des Handgeräts100 die das Arbeitsgas (in der Regel Umgebungsluft) zum zweiten freien Ende des piezoelektrischen Transformators5 transportiert wird. Das strömende Arbeitsgas sorgt ebenfalls für eine Kühlung des piezoelektrischen Transformators5 und somit einem Abtransport der thermischen Verlustleistung. Das Handgerät100 hat ein Gehäuse30 , in dem die Vorrichtung1 als Bauteil aufgenommen wird. -
12 ist eine weitere Ausführungsform eines Handgeräts100 , das die erfindungsgemäße Vorrichtung1 umschließt. Das Handgerät100 ist mit einem Anschluss103 für ein Kabel eines Standard-Netzteils ausgebildet. Ebenso kann ein zusätzlicher Gasanschluss102 vorgesehen sein, über den das Handgerät100 mit einem Arbeitsgas (außer Umgebungsluft) versorgt wird. Das Handgerät100 hat zylindrische Form, so dass sind in Inneren des Gehäuses30 ebenfalls eine Lüfter (hier nicht dargestellt) anbietet, der das Arbeitsgas in Richtung der Öffnung32 des Gehäuses30 bzw. zu zweiten freien Ende8 des piezoelektrischen Transformators5 drängt. - Obwohl in der gegenwärtigen Beschreibung lediglich zwei Ausführungsformen für Handgeräte
100 offenbart sind, soll die nicht als Beschränkung der Erfindung aufgefasst werden. Es ist für einen Fachmann selbstverständlich, dass das Gehäuse30 des Handgeräts100 unterschiedliche Formen annehmen kann. Einschneidend ist lediglich, dass eine Öffnung32 im Gehäuse30 ausgebildet ist, so dass das Plasma P bei Atmosphärendruck austreten kann. - Bezugszeichenliste
-
- 1
- Vorrichtung
- 3
- Steuerschaltung
- 4
- elektronische Bauelemente
- 5
- piezoelektrischer Transformator
- 6
- erstes Ende
- 6B
- Bereich
- 7
- Platine
- 8
- zweites freies Ende
- 10
- Seitenfläche
- 11
- Verbindung
- 12
- elektrischer Anschluss
- 13
- Schwingungsmode
- 14
- Schwingungsknoten
- 15
- Strom eines Arbeitsgases
- 17
- Lüfter
- 18
- Spalt
- 20
- Anschlußpad
- 21
- Kabel von Netzteil
- 24
- Tempersensor
- 25
- Halterung
- 27
- Leiterschicht
- 28
- Umhüllung
- 30
- Gehäuse
- 32
- Öffnung
- 40
- thermische Verlustleistung
- 41
- E-Feldverlauf
- 42
- Strömungsgeschwindgkeit
- 50
- Spannungsquelle
- 100
- Handgerät
- 101
- Akku
- 102
- Gasanschluß
- 103
- Anschluss
- A
- Achse der Vorrichtung
- L
- Länge
- B
- Breite
- D
- Dicke
- P
- Plasma
- S1, S2, ..., SN
- Schichten
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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- Zitierte Patentliteratur
-
- DE 102008018827 B4 [0003]
- DE 102011006764 A1 [0004]
- US 5834882 [0005]
- DE 102009023505 A1 [0006]
- DE 102007055014 A1 [0007]
- CN 101259036 A [0008]
- EP 2256835 A2 [0009]
- DE 102005032890 B4 [0010]
- Zitierte Nicht-Patentliteratur
-
- „Piezoelektrische Transformatoren – Schaltungen und Anwendungen“ vom C. KAUCZOR / T. SCHULTE / H. GROTSTOLLEN; 47. Internationales Kolloquium, Technische Universität Ilmenau, 23.–26. September 2002 [0011]
- „High Efficiency Ozone Production by a Compact Ozoniser Using Piezoelectric Tranformer“, von Kenji TERANISHI, Susumu SUZUKI und Haruro ITOH, Chiba Institute of Technology [0012]
Claims (16)
- Vorrichtung (
1 ) zur Erzeugung eines Plasmas (P) mit einer Steuerschaltung (3 ), die zur Anregung eines piezoelektrischen Transformators (5 ) mit diesem elektrisch verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische Transformator (5 ) aus mehreren Schichten (S1, S2, ..., SN) aufgebaut ist wobei jede Schicht (S1, S2, ..., SN) zumindest zum Teil mit einer Leiterschicht (27 ) versehen ist; auf einer Platine (7 ) die Steuerschaltung (3 ) realisiert ist; der piezoelektrische Transformator (5 ) mit einem Bereich (6B ) eines ersten Endes (6 ) derart in Bezug zur Platine (7 ) gehaltert ist, dass der piezoelektrische Transformator (5 ) durch einen Spalt (18 ) von der Platine (7 ) beabstandet ist und an einem zweiten freien Ende (8 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ) eine Hochspannung ausprägbar und das Plasma (P) bei Atmosphärendruck zündbar ist. - Vorrichtung (
1 ) nach Anspruch 1, wobei der piezoelektrische Transformator (5 ) quaderförmig ist und eine Länge (L) und eine Breite (B) des piezoelektrischen Transformators (5 ) größer ist als eine Dicke (D) des piezoelektrischen Transformators (5 ). - Vorrichtung (
1 ) nach Anspruch 1 bis 2, wobei an gegenüberliegenden Seitenflächen (10 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ), die durch die Länge (L) und die Dicke (D) des piezoelektrischen Transformators (5 ) bestimmt sind, jeweils ein elektrisches Anschlusspad (20 ) für eine Anregungsspannung in einem Schwingungsknoten (14 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ) angebracht ist. - Vorrichtung (
1 ) nach Anspruch 3, wobei eine Halterung (25 ) den piezoelektrischen Transformator (5 ) im Schwingungsknoten (14 ) über der Platine (7 ) trägt und die Halterung (25 ) aus elastischem Material ist. - Vorrichtung (
1 ) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein Strom (15 ) eines Arbeitsgases derart ausgebildet ist, dass er zumindest von dem ersten Ende (6 ) des auf der Platine (7 ) gehalterten piezoelektrischen Transformators (5 ) zum zweiten freien Ende (8 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ) hin, gerichtet ist. - Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei ein Lüfter (
17 ) vorgesehen ist, der den Storm (15 ) des Arbeitsgases über den piezoelektrischen Transformator (5 ) zum zweiten, freien Ende (8 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ) hin unterstützt. - Vorrichtung (
1 ) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei in einem mit einer Resonanzfrequenz angeregten, piezoelektrischen Transformator (5 ) mindestens zwei Schwingungsknoten (14 ) ausbildbar sind, die beide von ersten Ende (6 ) bzw. vom zweiten freien Ende (8 ) beabstandet sind. - Vorrichtung (
1 ) nach Anspruch 7, wobei von der Platine (7 ) jeweils ein elektrischer Anschluss (12 ) zu je einer Seitenfläche (10 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ) geführt ist und mit je einem Anschlußpad (20 ) verbunden ist, das in einem Schwingungsknoten (14 ) an jeder Seitenfläche (10 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ) vorgesehen ist, wobei der Schwingungsknoten (14 ) näher zum ersten Ende (6 ) als zum zweiten Ende (8 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ) hin liegt. - Vorrichtung (
1 ) nach Anspruch 7, wobei mindestens einem Schwingungsknoten (14 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ) ein Temperatursensor (24 ) zugeordnet ist. - Vorrichtung (
1 ) nach Anspruch 7, wobei der elektrische Anschluss (12 ) die Halterung (25 ) für den piezoelektrische Transformator (5 ) und die Halterung (25 ) aus einem Material ist, das elastisch und elektrisch leitfähig ist. - Vorrichtung (
1 ) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Platine (7 ) und der piezoelektrische Transformator (5 ) eine bauliche Einheit bilden. - Handgerät (
100 ) zur Plasmabehandlung von Oberflächen das ein Gehäuse (30 ) und eine Spannungsquelle (50 ) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass im Gehäuse (30 ) eine Platine (7 ) mit einer Steuerschaltung (3 ) zur Anregung eines piezoelektrischen Transformators (5 ) angeordnet ist, wobei der piezoelektrische Transformator (5 ) mit einem ersten Ende mit einer Halterung (25 ) über der Platine (7 ) geführt ist und somit eine bauliche Einheit bildet, und dass ein zweites freies Ende (8 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ) zu einer Öffnung (32 ) im Gehäuse (30 ) hin ausgerichtet ist, wobei am zweiten freien Ende (8 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ) eine Hochspannung ausprägbar und das Plasma (P) bei Atmosphärendruck zündbar ist. - Handgerät (
100 ) nach Anspruch 12, wobei, ein Akku (101 ) und/oder ein Anschluss (103 ) für ein Standard-Netzteil vorgesehen sind, womit eine Energieversorgung des Handgeräts (100 ) durchführbar ist. - Handgerät (
100 ) nach den Ansprüchen 12 bis 13, wobei das Gehäuse (30 ) einen Lüfter (17 ) trägt, mit dem ein Luftstrom über den piezoelektrischen Transformator (5 ) hin zur Öffnung (32 ) im Gehäuse (30 ) erzeugbar ist. - Handgerät (
100 ) nach Anspruch 14, wobei der Lüfter (17 ) ein Axiallüfter ist. - Handgerät (
100 ) nach den Ansprüchen 12 bis 15, wobei ein zusätzlicher Gasanschluss (102 ) vorgesehen ist, über den ein anderes Arbeitsgas als Luft dem zweiten freien Ende (8 ) des piezoelektrischen Transformators (5 ) zuführbar ist.
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017016853A1 (de) * | 2015-07-29 | 2017-02-02 | Epcos Ag | Verfahren zur frequenzregelung eines piezoelektrischen transformators sowie schaltungsanordnung mit einem piezoelektrischen transformator |
DE102015119656A1 (de) * | 2015-11-13 | 2017-05-18 | Epcos Ag | Piezoelektrischer Transformator |
DE102015120160A1 (de) * | 2015-11-20 | 2017-05-24 | Epcos Ag | Piezoelektrischer Transformator |
DE102016102488A1 (de) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | Epcos Ag | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Transformators und piezoelektrischer Transformator |
DE102016102585A1 (de) * | 2016-02-15 | 2017-08-17 | Epcos Ag | Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas |
DE102016120324A1 (de) * | 2016-10-25 | 2018-04-26 | Epcos Ag | Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas |
US11337295B2 (en) | 2019-03-21 | 2022-05-17 | Relyon Plasma Gmbh | Device and component for generating a high voltage or high field strength |
LU501366B1 (en) * | 2022-01-31 | 2023-07-31 | Univ Ljubljani | Plasma jet hand tool |
DE102015017460B4 (de) | 2015-11-20 | 2024-08-22 | Tdk Electronics Ag | Piezoelektrischer Transformator |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10232561B2 (en) | 2012-09-18 | 2019-03-19 | Oc10, Llc | Materials, methods and devices for joining lines |
WO2014116696A2 (en) | 2013-01-22 | 2014-07-31 | Oc10, Llc | Method and apparatus for joining a fishing line to another fishing component, for adjusting the buoyancy of fishing components, and for cutting a fishing line |
DE102014117799A1 (de) * | 2014-12-03 | 2016-06-09 | Epcos Ag | Vorrichtung und Verfahren zur verbesserten Verbrennung |
JP2016169122A (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-23 | 株式会社村田製作所 | オゾン発生装置 |
DE102015113656A1 (de) * | 2015-08-18 | 2017-02-23 | Epcos Ag | Plasmagenerator und Verfahren zur Einstellung eines Ionenverhältnisses |
DE102015119574A1 (de) * | 2015-11-12 | 2017-05-18 | Epcos Ag | Ansteuerschaltung und Verfahren zur Ansteuerung eines piezoelektrischen Transformators |
USD824441S1 (en) | 2016-03-04 | 2018-07-31 | Oc10, Llc | Cartridge |
USD828860S1 (en) * | 2016-03-04 | 2018-09-18 | Oc10, Llc | Hand-held device |
DE102016104104A1 (de) | 2016-03-07 | 2017-09-07 | Epcos Ag | Verfahren zur Herstellung von Ozon und Vorrichtung zur Ozongenerierung |
DE102016104490B3 (de) * | 2016-03-11 | 2017-05-24 | Epcos Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmas |
EP3289993A1 (de) * | 2016-09-02 | 2018-03-07 | Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V. | Vorrichtung und verfahren zur erzeugung eines plasmastrahls |
DE102016010619A1 (de) | 2016-09-05 | 2018-03-08 | bdtronic GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines atmosphärischen Plasmas |
CN110036696B (zh) * | 2016-10-21 | 2024-03-08 | 海别得公司 | 等离子体电动工具 |
DE102017105430A1 (de) | 2017-03-14 | 2018-09-20 | Epcos Ag | Vorrichtung zur Erzeugung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmas und Wirkraum |
DE102017105410A1 (de) * | 2017-03-14 | 2018-09-20 | Epcos Ag | Plasmagenerator |
DE102017105401B4 (de) * | 2017-03-14 | 2019-01-31 | Tdk Electronics Ag | Vorrichtung zur Erzeugung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmas |
DE102017105415B4 (de) * | 2017-03-14 | 2018-10-11 | Epcos Ag | Vorrichtung zur Erzeugung eines nicht-thermischen Atmosphärendruck-Plasmas und Verfahren zur Frequenzregelung eines piezoelektrischen Transformators |
DE102017116925B4 (de) * | 2017-07-26 | 2021-04-22 | Tdk Electronics Ag | Harte PZT-Keramik, piezoelektrisches Vielschichtbauelement und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Vielschichtbauelements |
JP6958213B2 (ja) * | 2017-10-16 | 2021-11-02 | Tdk株式会社 | プラズマ発生装置 |
KR101922507B1 (ko) * | 2017-11-29 | 2018-11-28 | 주식회사 서린메디케어 | 프락셔널 플라즈마를 이용한 피부 치료장치 |
DE102018000588B4 (de) | 2018-01-25 | 2020-01-30 | Lohmann Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Vorbehandlung vom Materialien für den Flexodruck mittels mobiler Niedertemperaturplasmaanwendung |
DE102018112473B4 (de) * | 2018-05-24 | 2024-01-25 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Dosierventil |
DE102018113190B4 (de) * | 2018-06-04 | 2020-03-12 | Epcos Ag | Vorrichtung mit einem elektrokeramischem Bauteil |
DE102018005315B4 (de) | 2018-07-05 | 2022-08-11 | Lohmann Gmbh & Co. Kg | Flexible Corona- oder Plasma-Bewegungseinheit |
KR102106776B1 (ko) * | 2018-09-04 | 2020-05-06 | (주)펨토사이언스 | 휴대형 플라즈마 발생장치 |
DE102019135497B4 (de) * | 2019-12-20 | 2021-11-11 | Nova Plasma Ltd | Piezoelektrischer Plasmagenerator und Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrischen Plasmagenerators |
US20230156899A1 (en) * | 2020-04-24 | 2023-05-18 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Irradiator and plasma apparatus |
CN113597075A (zh) * | 2021-07-13 | 2021-11-02 | 西安交通大学 | 便携式大气压冷等离子体射流装置 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5834882A (en) | 1996-12-11 | 1998-11-10 | Face International Corp. | Multi-layer piezoelectric transformer |
JP2003297295A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Haruo Ito | 発光素子及び表示装置 |
DE202008008980U1 (de) * | 2008-07-04 | 2008-09-04 | Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas |
CN101259036A (zh) | 2007-03-06 | 2008-09-10 | 徐小羚 | 微型等离子皮肤去斑笔 |
DE102005032890B4 (de) | 2005-07-14 | 2009-01-29 | Je Plasmaconsult Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung von Atmosphärendruck-Plasmen |
DE102007055014A1 (de) | 2007-11-14 | 2009-05-28 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Verfahren und Einrichtung zur Zündung und Aufrechterhaltung eines Plasmas |
DE102008063052A1 (de) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | Melitta Haushaltsprodukte Gmbh & Co Kommanditgesellschaft | Vorrichtung zur Reinigung von Raumluft und Behälter |
DE102008018827B4 (de) | 2008-04-15 | 2010-05-12 | Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas |
EP2256835A2 (de) | 2009-05-27 | 2010-12-01 | Lockheed Martin Corporation (Maryland Corp.) | Leistungsstarkes Miniaturnetzteil zur Erzeugung von Plasma |
DE102009023505A1 (de) | 2009-06-02 | 2010-12-09 | Austriamicrosystems Ag | Schaltungsanordnung für einen Piezotransformator und dazugehörendes Verfahren |
DE102011006764A1 (de) | 2011-04-05 | 2012-10-11 | Robert Bosch Gmbh | Piezotransformator, Verfahren zum Herstellen eines Piezotransformators und Inverter mit einem Piezotransformator |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0851242A (ja) * | 1994-08-05 | 1996-02-20 | Hitachi Ferrite Denshi Kk | 圧電トランスの実装方法 |
JP3687881B2 (ja) * | 1997-07-08 | 2005-08-24 | 富士通株式会社 | 放電管及び放電管の放電方法 |
US6127771A (en) * | 1998-10-15 | 2000-10-03 | Face International Corp. | Multi-layer piezoelectric transformer mounting device |
US8267884B1 (en) * | 2005-10-07 | 2012-09-18 | Surfx Technologies Llc | Wound treatment apparatus and method |
DE102006004289A1 (de) * | 2006-01-31 | 2007-08-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrischer Aktor mit integriertem Piezoelektrischem Transformator |
DE102006011312B4 (de) * | 2006-03-11 | 2010-04-15 | Fachhochschule Hildesheim/Holzminden/Göttingen - Körperschaft des öffentlichen Rechts - | Vorrichtung zur Plasmabehandlung unter Atmosphärendruck |
JP2007281356A (ja) * | 2006-04-11 | 2007-10-25 | Fujifilm Holdings Corp | 圧電セラミックトランス装置およびこれを用いる光源装置 |
US8350182B2 (en) * | 2006-09-11 | 2013-01-08 | Hypertherm, Inc. | Portable autonomous material processing system |
WO2009012735A1 (de) * | 2007-07-23 | 2009-01-29 | Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Plasmaversorgungseinrichtung |
US7777151B2 (en) * | 2008-02-14 | 2010-08-17 | Adventix Technologies Inc. | Portable plasma sterilizer |
WO2009146432A1 (en) * | 2008-05-30 | 2009-12-03 | Colorado State University Research Foundation | Plasma-based chemical source device and method of use thereof |
JP5434180B2 (ja) * | 2009-03-23 | 2014-03-05 | 株式会社Ihi | プラズマ貯蔵装置 |
WO2011015538A1 (de) * | 2009-08-03 | 2011-02-10 | Leibniz-Institut Für Plasmaforschung Und Technologie E. V. | Vorrichtung zur erzeugung eines nichtthermischen atmosphärendruck-plasmas |
DE102009038563B4 (de) * | 2009-08-22 | 2013-06-06 | Reinhausen Plasma Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung eines Plasmastrahls |
JP5637402B2 (ja) * | 2010-07-07 | 2014-12-10 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | プラズマ照射処理装置 |
US20120255932A1 (en) * | 2010-07-15 | 2012-10-11 | Massood Tabib-Azar | Nanofabrication device and method for manufacture of a nanofabrication device |
US8884525B2 (en) * | 2011-03-22 | 2014-11-11 | Advanced Energy Industries, Inc. | Remote plasma source generating a disc-shaped plasma |
US10225919B2 (en) * | 2011-06-30 | 2019-03-05 | Aes Global Holdings, Pte. Ltd | Projected plasma source |
EP2756517B1 (de) * | 2011-09-15 | 2018-05-02 | Cold Plasma Medical Technologies, Inc. | Kaltplasmabehandlungsvorrichtungen |
DE102012003563B4 (de) * | 2012-02-23 | 2017-07-06 | Drägerwerk AG & Co. KGaA | Einrichtung zur desinfizierenden Wundbehandlung |
US9181788B2 (en) * | 2012-07-27 | 2015-11-10 | Novas Energy Group Limited | Plasma source for generating nonlinear, wide-band, periodic, directed, elastic oscillations and a system and method for stimulating wells, deposits and boreholes using the plasma source |
-
2013
- 2013-01-22 DE DE102013100617.5A patent/DE102013100617B4/de active Active
-
2014
- 2014-01-08 WO PCT/IB2014/058115 patent/WO2014115050A1/de active Application Filing
- 2014-01-08 CN CN201480008370.8A patent/CN105103319B/zh active Active
- 2014-01-08 JP JP2015553198A patent/JP6644550B2/ja active Active
- 2014-01-08 EP EP14704656.9A patent/EP2948991B1/de active Active
-
2015
- 2015-07-22 US US14/806,241 patent/US9788404B2/en active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5834882A (en) | 1996-12-11 | 1998-11-10 | Face International Corp. | Multi-layer piezoelectric transformer |
JP2003297295A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Haruo Ito | 発光素子及び表示装置 |
DE102005032890B4 (de) | 2005-07-14 | 2009-01-29 | Je Plasmaconsult Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung von Atmosphärendruck-Plasmen |
CN101259036A (zh) | 2007-03-06 | 2008-09-10 | 徐小羚 | 微型等离子皮肤去斑笔 |
DE102007055014A1 (de) | 2007-11-14 | 2009-05-28 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Verfahren und Einrichtung zur Zündung und Aufrechterhaltung eines Plasmas |
DE102008018827B4 (de) | 2008-04-15 | 2010-05-12 | Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas |
DE102008063052A1 (de) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | Melitta Haushaltsprodukte Gmbh & Co Kommanditgesellschaft | Vorrichtung zur Reinigung von Raumluft und Behälter |
DE202008008980U1 (de) * | 2008-07-04 | 2008-09-04 | Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas |
EP2256835A2 (de) | 2009-05-27 | 2010-12-01 | Lockheed Martin Corporation (Maryland Corp.) | Leistungsstarkes Miniaturnetzteil zur Erzeugung von Plasma |
DE102009023505A1 (de) | 2009-06-02 | 2010-12-09 | Austriamicrosystems Ag | Schaltungsanordnung für einen Piezotransformator und dazugehörendes Verfahren |
DE102011006764A1 (de) | 2011-04-05 | 2012-10-11 | Robert Bosch Gmbh | Piezotransformator, Verfahren zum Herstellen eines Piezotransformators und Inverter mit einem Piezotransformator |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
"High Efficiency Ozone Production by a Compact Ozoniser Using Piezoelectric Tranformer", von Kenji TERANISHI, Susumu SUZUKI und Haruro ITOH, Chiba Institute of Technology |
"Piezoelektrische Transformatoren - Schaltungen und Anwendungen" vom C. KAUCZOR / T. SCHULTE / H. GROTSTOLLEN; 47. Internationales Kolloquium, Technische Universität Ilmenau, 23.-26. September 2002 |
CN 101259036 A |
TERANISHI, Kenji ; SUZUKI, Susumu ; ITOH, Haruro: High efficiency ozone production by a compact ozoniser using piezoelectric tranfomer. In: Chiba Institute of Technology. * |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10638590B2 (en) | 2015-07-29 | 2020-04-28 | Epcos Ag | Method for frequency control of a piezoelectric transformer and circuit arrangement comprising a piezoelectric transformer |
WO2017016853A1 (de) * | 2015-07-29 | 2017-02-02 | Epcos Ag | Verfahren zur frequenzregelung eines piezoelektrischen transformators sowie schaltungsanordnung mit einem piezoelektrischen transformator |
EP3349264A1 (de) * | 2015-07-29 | 2018-07-18 | Epcos AG | Verfahren zur frequenzregelung eines piezoelektrischen transformators sowie schaltungsanordnung mit einem piezoelektrischen transformator |
DE102015119656A1 (de) * | 2015-11-13 | 2017-05-18 | Epcos Ag | Piezoelektrischer Transformator |
US11101426B2 (en) | 2015-11-13 | 2021-08-24 | Epcos Ag | Piezoelectric transformer |
DE102015120160B4 (de) | 2015-11-20 | 2023-02-23 | Tdk Electronics Ag | Piezoelektrischer Transformator |
DE102015120160A1 (de) * | 2015-11-20 | 2017-05-24 | Epcos Ag | Piezoelektrischer Transformator |
DE102015017460B4 (de) | 2015-11-20 | 2024-08-22 | Tdk Electronics Ag | Piezoelektrischer Transformator |
DE102016102488A1 (de) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | Epcos Ag | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Transformators und piezoelektrischer Transformator |
US11476407B2 (en) | 2016-02-12 | 2022-10-18 | Epcos Ag | Method for producing a piezoelectric transformer and piezoelectric transformer |
US10531552B2 (en) | 2016-02-15 | 2020-01-07 | Epcos Ag | Device for generating an atmospheric-pressure plasma |
DE102016102585A1 (de) * | 2016-02-15 | 2017-08-17 | Epcos Ag | Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas |
US10856399B2 (en) | 2016-02-15 | 2020-12-01 | Epcos Ag | Device for generating an atmospheric-pressure plasma |
DE102016120324A1 (de) * | 2016-10-25 | 2018-04-26 | Epcos Ag | Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas |
DE102016120324B4 (de) * | 2016-10-25 | 2020-12-17 | Tdk Electronics Ag | Verfahren zur Bereitstellung einer Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas |
US10506699B2 (en) | 2016-10-25 | 2019-12-10 | Epcos Ag | Apparatus for generating an atmospheric pressure plasma |
KR20190075007A (ko) * | 2016-10-25 | 2019-06-28 | 에프코스 아게 | 대기압 플라즈마 발생 장치 |
KR102604950B1 (ko) * | 2016-10-25 | 2023-11-22 | 티디케이 일렉트로닉스 아게 | 대기압 플라즈마 발생 장치 |
WO2018077754A1 (de) * | 2016-10-25 | 2018-05-03 | Epcos Ag | Vorrichtung zur erzeugung eines atmosphärendruck-plasmas |
US11337295B2 (en) | 2019-03-21 | 2022-05-17 | Relyon Plasma Gmbh | Device and component for generating a high voltage or high field strength |
LU501366B1 (en) * | 2022-01-31 | 2023-07-31 | Univ Ljubljani | Plasma jet hand tool |
EP4221467A3 (de) * | 2022-01-31 | 2023-10-25 | Univerza V Ljubljani | Tragbares plasmastrahlhandwerkzeug |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014115050A1 (de) | 2014-07-31 |
CN105103319B (zh) | 2018-03-16 |
CN105103319A (zh) | 2015-11-25 |
DE102013100617A9 (de) | 2014-10-23 |
US9788404B2 (en) | 2017-10-10 |
US20150373824A1 (en) | 2015-12-24 |
EP2948991B1 (de) | 2019-05-01 |
JP6644550B2 (ja) | 2020-02-12 |
DE102013100617B4 (de) | 2016-08-25 |
WO2014115050A4 (de) | 2014-09-25 |
EP2948991A1 (de) | 2015-12-02 |
JP2016510483A (ja) | 2016-04-07 |
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