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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten, welche durch eine Beschichtungskammer bewegt und dabei beschichtet werden, umfassend einem Transportsystem zum Transport des Substrats durch die Beschichtungskammer, sowie einem Tiegelsystem, welches zur Aufnahme von Verdampfungsmaterial einen beweglichen Tiegel aufweist.
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Die Vorrichtung dient dazu, insbesondere auf großflächigen Substraten Schichten von Elementen, Verbindungen und Mischschichten mit gleichmäßiger Schichtdicke aufzubringen.
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Für die Beschichtung großflächiger Substrate, insbesondere im bis zu einige Tage dauernden kontinuierlichen Betrieb, werden bisher Vielquellensysteme, Linienquellen oder Flächenquellen als Verdampfer eingesetzt, mit denen unter Verwendung von Energiequellen auf der Oberfläche des Verdampfungsmaterials Quellen des auf dem Substrat abzuscheidenden Dampfes, nachfolgend als Dampfquelle bezeichnet, erzeugt werden, wodurch eine gleichmäßige Schichtdickenverteilung bei einem vorgegebenen Verhältnis von Bedampfungsabstand zu Substratbreite durch Verteilung dieser Dampfquellen hinsichtlich deren Position und Intensität erreicht wird.
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Zur Erzielung von Verdampfungsraten, die über lange Zeiten hinweg konstant bleiben, ist es bekannt, das Verdampfungsmaterial während des Verdampfungsprozesses in einer Richtung oder in mehreren Richtungen zu bewegen, wobei die Position der Dampfquelle, hinsichtlich der Position zur Beschichtungskammer, stationär bleibt.
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Zur Bewegung von Verdampfungsmaterial in mehrere Richtungen wird in einer bekannten Ausführungsform ein Tiegel, geeignet zur Aufnahme von Verdampfungsmaterial, zum einen um seine Rotationsachse gedreht und zum anderen entlang der Substrattransportrichtung geradlinig hin und her bewegt, so dass durch eine Überlagerung beider Bewegungen eine spiralförmige Bewegungsbahn auf der Oberfläche des Verdampfungsmaterials mit der Rotationsachse des Tiegels als Zentrum entsteht. Es sind auch andere Ausführungsformen bekannt, bei denen statt einer Drehbewegung eine Translation des Tiegels ausgeführt wird, welche von weiteren Drehbewegungen oder Translationen überlagert sein kann.
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Für die Ausführung einer Drehbewegung des Tiegels sind verschiedene Ausgestaltungen einer Antriebseinrichtung bekannt.
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Regelmäßig sind die alle aktiven Antriebskomponenten der Antriebseinrichtung, wie beispielsweise rotierende oder lineare Motoren, außerhalb der Beschichtungskammer angeordnet und über geeignete Getriebe mit dem Tiegel im Inneren der Beschichtungskammer verbunden. Diese Form der Anordnung ist darin begründet, dass der überwiegende Teil dieser aktiven Antriebskomponenten so ausgelegt ist, um bei Normbedingungen der Umgebung optimal zu funktionieren. Dementsprechend und in Verbindung mit einer großen Tiegelmasse müssen die Getriebe zur Leistungsübertragung auf den Tiegel ausreichend dimensioniert sein. Dadurch werden einerseits die von der aktiven Antriebskomponente zu bewegende Masse und andererseits aber auch die mechanischen Spiele der Antriebseinrichtung größer, was in Überlagerung zu nachteiligen Auswirkungen hinsichtlich der Gleichförmigkeit der Tiegelbewegung, im Sinne einer gleichförmigen Bewegung mit einem konstanten Betrag des Geschwindigkeitsvektors, und damit zu einer inhomogenen Verdampfung führt.
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In Abhängigkeit der ausgeführten Getriebe können die Ungleichförmigkeiten der Tiegelbewegung noch verstärkt werden. So kann beispielsweise die Ausführung eines Getriebes bei dem als Zugmittel eine Kette oder ein Zahnriemen eingesetzt werden, der sogenannten Polygoneffekt auftreten. Dabei kann dieses Zugmittel auf einem Antriebsrad nicht kreisrund auf- und ablaufen, sodass es zu Abwinkelungen dieses Zugmittels kommt. Dadurch entsteht aus dem kreisrunden Antriebsrad ein Polygon (Vieleck) mit unterschiedlich vielen Sehnen entsprechend dem Durchmesser des Antriebsrades. Durch diese Polygonauflage des Zugmittels entstehen, bei sich mit konstanter Winkelgeschwindigkeit drehendem Antriebsrad, unterschiedliche Wirkradien, so dass die Geschwindigkeit des Zugmittels periodisch um die mittlere Geschwindigkeit schwankt. Durch Erregungen in Längs- und Querrichtung des Zugmittels können so auch nachteilige Schwingungen entstehen, welche im Resonanzfall sogar zur Zerstörung der Antriebseinrichtung führen können.
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Weithin nachteilig ist ebenfalls die Notwendigkeit einer Anordnung sogenannter Drehdurchführungen in Wänden der Beschichtungskammer, damit eine Leistungsübertragung von außerhalb der Beschichtungskammer, wo die aktive Antriebskomponente angeordnet ist, ins Innere der Beschichtungskammer, wo Tiegel angeordnet sind, ausgeführt werden kann und dabei nicht zu einem Druckausgleich zwischen der Umgebung der Beschichtungskammer und dem Inneren der Beschichtungskammer führt, falls es sich um eine Beschichtungskammer, welche mit Unterdruck arbeitet.
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In bekannten Antriebssystemen ist mitunter an einer Seite des Tiegels eine Tiegelwelle angeordnet, deren dem Tiegel gegenüberliegendes Tiegelwellenende so gestaltet ist, dass es als Anker einer elektromagnetisch wirkenden Maschine benutzt werden kann und dementsprechend einen Direktantrieb des Tiegels darstellt. Zwar kann dabei von der Benutzung eines zusätzlichen Getriebes abgesehen werden, dennoch weist sie auf Grund der direkten Kopplung von Antriebseinrichtung und Tiegel erhebliche Nachteile bezüglich der Gleichförmigkeit der Bewegung und damit der Homogenität der Verdampfung auf. Diese Nachteile entstehen maßgeblich aus der exponierten Anordnung der Antriebseinrichtung im Inneren der Beschichtungskammer, wodurch sie u. U. selbst einer Beschichtung durch das Verdampfungsmittel ausgesetzt ist, und andererseits auch aus einer erhöhten Empfindlichkeit zur Schwingungsanregung des Tiegels durch die hohe Steifigkeit der Antriebseinrichtung und dem damit direkt verbundenen Tiegel.
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Dementsprechend sind bekannte Vorrichtungen nachteilig für die Gleichförmigkeit einer Tiegelbewegung und damit auch nachteilig für die Homogenität der Schichtdickenverteilung auf einem zu beschichtenden Substrat.
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Der Erfindung liegt somit die Aufgabenstellung zu Grunde, eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten anzugeben, so dass die Inhomogenität der Verdampfung, welche aus einer Ungleichförmigkeit einer Tiegelbewegung resultiert, reduziert wird und somit eine homogenere Schichtdickenverteilung auf einem zu beschichtenden Substrat abgeschieden werden kann.
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Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten in einer Beschichtungskammer mit einem Tiegelsystem, welches zur Aufnahme von Verdampfungsmaterial zumindest einen beweglichen Tiegel aufweist, so dass die Oberfläche des Verdampfungsmaterials einem zu beschichtenden Substrat gegenüber liegend angeordnet ist, eine Antriebseinrichtung zur Ausführung einer Drehbewegung oder einer Translation des Tiegels aufweist, welche in einer luftdicht gegenüber dem Inneren der Beschichtungskammer ausgeführten Antriebskammer angeordnet sowie über Mittel der Leistungsübertragung mit dem Tiegel außerhalb der Antriebskammer verbunden ist.
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Erfindungsgemäß wird die Antriebseinrichtung hierdurch näher am zu bewegenden Objekt, beispielsweise einen Tiegel, angeordnet, wodurch lange Übertragungswege, z.B. in Form von Zahnstangen oder Kettengetrieben oder anderen Übertragungsmitteln, entfallen und weitere, effektivere Antriebskonzepte verwendbar sind.
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Weist die Antriebseinrichtung beispielsweise ein Spannungswellengetriebe auf, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass es ein elastisches Übertragungselement umfasst und sich durch hohe Übersetzung und Steifigkeit auszeichnet. In Verbindung mit einer aktiven Komponente der Antriebseinrichtung, z.B. in Form eines Elektromotors, können so hochpräzise Drehbewegungen ausgeführt werden.
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Auch für translatorische Bewegungen des Tiegels, beispielsweise in Form eines Linearantriebs, bestehend aus einem Elektromotor, einem Spannungswellengetriebe sowie einem Spindelantrieb entstehen durch die Verlagerung der aktiven Komponenten der Antriebseinrichtung näher zum zu bewegenden Objekt gleichförmigere Bewegungen, welche wiederum zu einer gesteigerten Homogenität der Schichtdickenverteilung auf dem zu beschichtenden Substrat führt.
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Dabei kann die aktive Komponente der Antriebseinrichtung beispielsweise auch als pneumatische oder hydraulische Komponente ausgeführt sein.
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Die aktive Komponente der Antriebseinrichtung ist in einer Antriebskammer angeordnet, welche luftdicht gegenüber dem Inneren der Beschichtungskammer ausgeführt ist. Dadurch können die aktiven Komponenten in gleicher Weise benutzt werden, als würden sie sich außerhalb der Beschichtungskammer befinden, wobei die dortige Umgebung näherungsweise Normbedingungen für Luftdruck, Lufttemperatur sowie Luftfeuchtigkeit aufweist. Demnach ist die Anordnung der aktiven Komponenten der Antriebseinrichtung im Inneren der Antriebskammer besonders vorteilhaft, wenn die Vorrichtung zur Beschichtung eine Beschichtungskammer aufweist, deren Luftdruck niedriger als der Luftdruck der Umgebung der Beschichtungskammer ist, wie beispielsweise in einer Vakuum-Beschichtungskammer.
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Um die Dichtheit der Antriebskammer zu gewährleisten, weist diese für die Durchführung der Mittel zur Leistungsübertragung der Antriebseinrichtung im Inneren der Antriebskammer zum Tiegel außerhalb der Antriebskammer in einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung zumindest eine Drehdurchführung oder Vakuum-Drehdurchführung auf. Die Anzahl der Drehdurchführungen korreliert in einer Ausführungsform der Erfindung mit der Anzahl der Tiegel des Tiegelsystems.
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Zudem bietet die Antriebskammer den Vorteil, dass die Antriebseinrichtung sowie teilweise die Mittel zur Leistungsübertragung durch diese vor einer ungewollten Beschichtung mit Verdampfungsmaterial im Inneren der Beschichtungskammer geschützt werden. Dadurch kann die Lebensdauer und ggf. das Inspektionsintervall der entsprechenden Komponenten verlängert werden. Ein weiterer erfindungsgemäßer Vorteil der Antriebskammer ist, dass die mechanischen Eigenschaften, beispielsweise in Form von Reibungskoeffizienten, der Mittel zur Leistungsübertragung durch eine nahezu auszuschließende ungewollte Beschichtung mit Verdampfungsmaterial annähernd konstant bleiben.
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Zweckmäßig ist die Ausführung der Mittel zur Leistungsübertragung für die Ausführung einer Drehbewegung als Wälzkörpergetriebe, im Besonderen als Reibradgetriebe. An der Antriebseinrichtung, welche eine aktive Komponente beispielsweise in Form eines Elektromotors sowie ein Spannungswellengetriebe umfasst, wird dazu ein Antriebsrad angeordnet, welches auf seiner leistungsübertragenden Oberfläche ein Material aufweist, dass einen hohen Reibungskoeffizienten aufweist. Das Abtriebsrad, welches über eine Tiegelwelle und eine Drehdurchführung mit dem Tiegel außerhalb der Antriebskammer verbunden ist, umfasst auf seiner leistungsübertragenden Oberfläche ebenfalls ein Material, welches einen hohen Reibungskoeffizienten aufweist.
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Die Steifigkeit der Reibradpaarung kann weiter erhöht werden, indem die Antriebseinrichtung an einer Zustelleinrichtung angeordnet ist, durch welche die Antriebseinrichtung mit dem Antriebsrad radial dem Abtriebsrad zugestellt werden kann und somit ein Pressung zwischen Antriebsrad und Abtriebsrad erzeugt wird, was zu einer wesentlichen Verbesserung der Gleichförmigkeit der Drehbewegung führt. Die Zustelleinrichtung umfasst dabei einen Aktuator, beispielsweise in Form eines Hydraulikzylinders oder Pneumatikzylinders, welcher die Antriebseinrichtung radial dem Abtriebsrad zustellt.
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Um die Gleichförmigkeit der Bewegung weiter zu erhöhen, kann der Antriebseinrichtung erfindungsgemäß eine Schlupfüberwachungseinrichtung zugeordnet werden. Über zumindest einen Drehzahlsensor des Abtriebsrades sowie eine Drehzahlrückmeldung der aktiven Komponente der Antriebseinrichtung oder zumindest einen zweiten Drehzahlsensor am Antriebsrad kann somit der Schlupf, d.h. die Geschwindigkeitsdifferenz der leistungsübertragenden Flächen von Antriebsrad und Abtriebsrad minimiert werden. Dazu wird beispielsweise die Pressung des Antriebsrades und des Antriebsrades durch eine Steigerung der Zustellkraft der Zustelleinrichtung erhöht.
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Zweckmäßig ist es, dass das Tiegelsystem relativ zur Beschichtungskammer beweglich ausgeführt ist.
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Da es vorteilhaft ist das Verdampfungsmaterial während des Verdampfungsprozesses in mehreren Richtungen zu bewegen, kann einer Drehbewegung oder einer Translation des Tiegels eines Tiegelsystems eine weitere Bewegung, in Form einer Drehbewegung oder Translation des Tiegelsystems selbst, überlagert werden.
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In einer Ausführungsform der Erfindung ist die Antriebskammer dabei so angeordnet, dass sich das Tiegelsystem relativ zur Antriebskammer bewegt. Die Durchführung einer Wand der Antriebskammer für Mittel zur Leistungsübertragung ist so gestaltet, dass eine Relativbewegung von Tiegelsystem und Antriebskammer möglich ist und die Dichtheit der Antriebskammer gegenüber dem Inneren der Beschichtungskammer erhalten bleibt. Eine derartige Durchführung ist beispielsweise eine Drehdurchführung zur Leistungsübertragung. Das Tiegelsystem umfasst zumindest eine Antriebseinrichtung und Mittel zur Leistungsübertragung für eine Drehbewegung oder Translation des zum Tiegelsystem gehörenden Tiegels. Zur Ausführung einer Drehbewegung oder Translation des Tiegelsystems weist die Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten eine Tiegelsystemantriebseinrichtung sowie weitere Mittel zur Leistungsübertragung von der Tiegelsystemantriebseinrichtung auf das Tiegelsystem auf.
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Bewegt sich das Tiegelsystem relativ zur Antriebskammer, so sind die Tiegelsystemantriebseinrichtung und die Mittel zur Leistungsübertragung auf das Tiegelsystem in einer Ausführungsform der Erfindung in der Antriebskammer angeordnet, während die Tiegelsystemantriebseinrichtung und teilweise die Mittel zur Leistungsübertragung auf das Tiegelsystem in einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung außerhalb der Beschichtungskammer angeordnet sind.
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Um die Homogenität der Schichtdickenverteilung auf dem zu beschichtenden Substrat zu erhöhen, muss die Gleichförmigkeit der Bewegung des Tiegelsystems ebenfalls erhöht werden. Dazu eignen sich die im Zusammenhang mit der Erhöhung der Gleichförmigkeit der Tiegelbewegung aufgeführten Antriebseinrichtungen und Mittel zur Leistungsübertragung. Die Wahl der Antriebseinrichtungen und Mittel zur Leistungsübertragung für Tiegel und Tiegelsystem können dabei unabhängig voneinander getroffen werden. So ist maßgeblich die auszuführende Form der Bewegung, also ob eine Drehbewegung oder Translation ausgeführt werden soll, die Entscheidungsgrundlage für die Auswahl geeigneter Antriebseinrichtungen und Mittel zur Leistungsübertragung.
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Zweckmäßig ist es, dass das Tiegelsystem zusammen mit der Antriebskammer relativ zur Beschichtungskammer beweglich ist.
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In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist das Tiegelsystem stationär gegenüber der Antriebskammer positioniert, während diese ihre Position relativ zur Beschichtungskammer ändert. Die Mittel zur Leistungsübertragung, welche die Antriebseinrichtung im Inneren der Antriebskammer mit dem Tiegel außerhalb der Antriebskammer verbinden, werden hierbei über eine Drehdurchführung durch eine Wand der Antriebskammer geführt.
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Als Tiegelsystemantriebseinrichtung und Mittel zur Leistungsübertragung von der Tiegelsystemantriebseinrichtung auf ein Tiegelsystem eignen sich die im Zusammenhang mit der Erhöhung der Gleichförmigkeit der Tiegelbewegung aufgeführten Antriebseinrichtungen und Mittel zur Leistungsübertragung, wobei die Wahl der Antriebseinrichtungen und Mittel zur Leistungsübertragung für Tiegel und Tiegelsystem zusammen mit der Antriebskammer dabei unabhängig voneinander getroffen wird.
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Unabhängig davon, ob die Antriebskammer ihre Position relativ zur Beschichtungskammer ändert oder nicht, muss das Innere der Antriebskammer über Medienanschlüsse mit dem Äußeren der Beschichtungskammer verbunden sein.
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Durch die, beispielsweise als Schläuche ausgebildeten, Medienanschlüsse können elektrische Leiter, Luftdruckschläuche, Wasserschläuche, Hydraulikschläuche oder andere Medienführungselemente geführt sein, so dass damit beispielsweise eine aktive Komponente der Antriebseinrichtung im Inneren der Antriebskammer mit elektrischer Energie, Energie in Form von Druckluft oder Energie in Form von unter Druck stehender Hydraulikflüssigkeit versorgt und/ oder mit Wasser gekühlt werden kann. Über die Medienanschlüsse wird ebenfalls die Zustelleinheit mit der von ihr benötigten Energie versorgt. Außerhalb der Beschichtungskammer die aufgeführten Medienanschlüsse an Versorgungseinrichtungen für die entsprechenden Energien angeschlossen.
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In Abhängigkeit von dem in der Beschichtungskammer ausgeführten Beschichtungsprozess kann die Temperatur im Inneren der Beschichtungskammer auf Werte steigen, bei denen es notwendig wird das Tiegelsystem zumindest teilweise zu kühlen. Dies betrifft insbesondere die Antriebseinrichtung und teilweise die Mittel zur Leistungsübertagung, welche im Inneren der Antriebskammer angeordnet sind. Durch Verbinden des Inneren der Antriebskammer beispielsweise mit einem geeigneten Gebläse außerhalb der Beschichtungskammer über Medienanschlüsse findet ein steter Luftwechsel im Inneren der Antriebskammer statt, wodurch die Temperatur im Inneren der Antriebskammer zweckmäßig gesteuert werden kann.
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In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung umfasst das Tiegelsystem zumindest zwei Tiegel, wobei die Bewegung der Tiegel unabhängig voneinander ist.
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Mittels Anordnung von zwei oder mehr Tiegeln an einem Tiegelsystem wird die Homogenität der Schichtdickenverteilung auf dem zu beschichtenden Substrat weiter erhöht, da die Größe eines Tiegels unabhängig von der Größe eines zu beschichtenden Substrates ist.
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Es ist zweckmäßig, dass die Beschichtungskammer einer Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten zumindest eine verschließbare Öffnung aufweist, durch welche ein Tiegelsystem entnehmbar ist.
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Durch die Möglichkeit zum Austausch eines Tiegelsystems durch ein anderes, welches beispielsweise eine andere Anzahl von Tiegeln aufweist, kann flexibel auf Änderungen der Substrateigenschaften, wie z.B. die geometrischen Abmessungen, reagiert werden. Des Weiteren bietet sich dadurch ebenfalls die Möglichkeit einer Vereinfachten Zugänglichkeit zum Tiegelsystem, im Falle einer Inspektion oder Reparatur.
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In einer Ausgestaltung der Erfindung ist ein Tiegelsystem dabei direkt an den Verschluss der verschließbaren Öffnung angeordnet, so dass diese gemeinsam bewegt werden können und dass Tiegelsystem wie eine Art Schublade aus der Beschichtungskammer entnehmbar ist.
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In einer anderen Weiterbildung ist der Verschluss der verschließbaren Öffnung einzeln an der Beschichtungskammer angeordnet, so dass ein Tiegelsystem separat entnommen werden kann.
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Die Erfindung soll nachfolgend lediglich beispielhaft, nicht jedoch beschränkend, anhand einer Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten mittels Elektronenstrahlverdampfung erläutert werden.
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Die zugehörigen Zeichnungen zeigen in der
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Fig. die schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Beschichtungsvorrichtung.
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Die Beschichtungsvorrichtung gemäß Fig. umfasst eine Vakuumkammer 1, die mit einem Vakuumerzeuger 2 verbunden ist, um das für die Beschichtung mittels Verdampfung erforderliche Vakuum herzustellen. Ein Substrat 3 wird mittels eines Transportsystems 5 in einer Richtung, nachfolgend als Substrattransportrichtung 4 bezeichnet, durch die Vakuumkammer 1 und an einer Dampfquelle 23 des abzuscheidenden Materials vorbei bewegt. Die Ebene, in welcher das Substrat angeordnet ist, wird allgemein als Substratebene bezeichnet.
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Die Dampfquelle 23 ist durch das Verdampfungsmaterial 21 gebildet, auf welches der Elektronenstrahl 7 einer Elektronenstrahleinrichtung 6 gerichtet ist und das infolge der damit erzielten Erwärmung am Auftreffort des Elektronenstrahls 7 verdampft. Die Elektronenstrahleinrichtung 6 enthält eine Axialkanone, deren Strahlerzeugungssystem sich außerhalb der Vakuumkammer 1 in einer separat evakuierbaren Strahlerzeugungskammer befindet. Die Dampfquelle 23 ist unterhalb der Substratebene angeordnet, so dass sich über der Dampfquelle 23 eine von der Temperatur des Verdampfungsmaterials 21 am Auftreffort, den Vakuumverhältnissen und der Quellgeometrie abhängiger Dampfstrom 22 zum Substrat 3 hin ausbildet. Das Substrat 3 wird durch diesen Dampfstrom 22 hindurch bewegt und liegt dabei stets der Dampfquelle 23 gegenüber.
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Ein Tiegelsystem 8, im Inneren der Vakuumkammer 1, ist über eine Tiegelsystemhaltevorrichtung 11 mit einem Vakuumkammerverschluss 9, welcher die Vakuumkammer 1 verschließt, verbunden, so dass das Tiegelsystem 8 aus der Vakuumkammer 1 entnehmbar ist.
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Das Tiegelsystem 8 umfasst eine Antriebskammer 28, deren Inneres über einen Medienanschluss 29 mit der Umgebung der Vakuumkammer 1 verbunden ist. Über den Medienanschluss 29 wird Luft zwischen dem Inneren der Antriebskammer 28 und der Umgebung der Vakuumkammer 1 mittels einer nicht dargestellten Luftfördereinrichtung ausgetauscht.
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Eine an der Vakuumkammer 1 angeordnete Tiegelsystembewegungseinrichtung 24, die über Mittel zur Leistungsübertragung 26 sowie eine zweite Vakuum-Drehdurchführung 25 mit dem Tiegelsystem 1 verbunden ist, dient zur Bewegung des Tiegelsystems 1 in eine kollinear zur Substrattransportrichtung 4 zeigende Tiegelbewegungsrichtung 27.
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Das Tiegelsystem 8 umfasst einen Tiegel 12 außerhalb der Antriebskammer 28, welcher über eine Tiegelwelle 16 sowie eine erste Vakuum-Drehdurchführung 17 mit einem Abtriebsrad 15 im Inneren der Antriebskammer 1 verbunden ist. Über eine hydraulisch bewegte Zustelleinrichtung 18 wird eine Antriebseinrichtung 13, welche einen nicht dargestellten Elektromotor und ein Spannungswellengetriebe zum Ausführen einer Bewegung des Tiegels in eine erste Tiegelbewegungsrichtung 19 aufweist, sowie ein an der Antriebseinrichtung 13 angeordnetes Antriebsrad 14 dem Abtriebsrad 15 zugestellt, wodurch sich eine Pressung zwischen Antriebsrad 14 und Abtriebsrad 15 einstellt. Die Rotationsachsen des Antriebsrades 14 und des Abtriebsrades 15 liegen dabei parallel zueinander. Mittels einer nicht dargestellte Schlupfüberwachungseinrichtung wird der Schlupf zwischen Antriebsrad 14 und Abtriebsrad 15 minimiert.
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Aus der Überlagerung der linearen Tiegelsystembewegungsrichtung 27 mit der ersten Tiegelbewegungsrichtung 19 oder zweiten Tiegelbewegungsrichtung 20 bildet die Dampfquelle 23 demnach eine spiralförmige Spur auf der dem Substrat 3 zugewandten Seite der Oberfläche des Tiegels 12.
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Die Versorgung der Zustelleinheit 18 mit Hydraulikflüssigkeit sowie die Versorgung der Antriebseinrichtung 13 mit elektrischer Energie über nicht dargestellte Versorgungsleitungen erfolgt durch den Medienanschluss 29 von außerhalb der Vakuumkammer 1.
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Die Beschichtungsvorrichtung gemäß Fig. umfasst dabei jeweils die doppelte Anzahl der folgenden, in Funktion und Anordnung zueinander bereits beschriebenen, Komponenten; die Elektronenstrahleinrichtung 6, der Tiegel 12, das Verdampfungsmaterial 21, die Tiegelwelle 16, die erste Vakuum-Drehdurchführung 17, das Abtriebsrad 15, das Antriebsrad 14, die Antriebseinrichtung 13, die Zustelleinheit 18, die Dampfquelle 23 sowie der Dampfstrom 22. Die doppelt vorhandenen Komponenten sind spiegelsymmetrisch zur Symmetrieebene 30 des Substrates oder Bandes 30 angeordnet, wobei die erste Tiegelbewegungsrichtung 19 unabhängig von der zweiten Tiegelbewegungsrichtung 20 ist.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Vakuumkammer
- 2
- Vakuumerzeuger
- 3
- Substrat, Band
- 4
- Substrattransportrichtung
- 5
- Transportsystem
- 6
- Elektronenstrahleinrichtung
- 7
- Elektronenstrahl
- 8
- Tiegelsystem
- 9
- Vakuumkammerverschluss
- 10
- Tiegelsystementnahmerichtung
- 11
- Tiegelsystemhaltevorrichtung
- 12
- Tiegel
- 13
- Antriebseinrichtung
- 14
- Antriebsrad
- 15
- Abtriebsrad
- 16
- Tiegelwelle
- 17
- erste Vakuum-Drehdurchführung
- 18
- Zustelleinrichtung
- 19
- erste Tiegelbewegungsrichtung
- 20
- zweite Tiegelbewegungsrichtung
- 21
- Verdampfungsmaterial
- 22
- Dampfstrom
- 23
- Dampfquelle
- 24
- Tiegelsystemantriebseinrichtung
- 25
- zweite Vakuum-Drehdurchführung
- 26
- Mittel zu Leistungsübertragung
- 27
- Tiegelsystembewegungsrichtung
- 28
- Antriebskammer
- 29
- Medienanschluss
- 30
- Symmetrieebene des Substrates oder Bandes
