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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von organischen Leuchtdioden oder organischen photovoltaischen Elementen, bei dem nebeneinander angeordnete organische Leuchtdioden oder organische photovoltaische Elemente elektrisch in Reihe geschaltet werden.
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Aus fertigungsökonomischen Gesichtspunkten und wegen der gewünschten Eigenschaften, ist es gewünscht großflächige elektromagnetische Strahlung emittierende oder elektromagnetische Strahlung in elektrische Energie umwandelnde Elemente zur Verfügung zu stellen. Bei solchen Lichtquellen ist eine gleichmäßige Beleuchtung über die Fläche gewünscht. Bei photovoltaischen Elementen soll eine erhöhte elektrische Spannung erreicht werden. Dies kann in beiden Fällen durch eine elektrische Reihenschaltung mehrerer Elemente erreicht werden.
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Dies bereitet aber bei den üblicherweise eingesetzten Herstellungsverfahren Probleme. Es ist zwar eine großflächige Schichtausbildung für die Herstellung der Elektroden und des jeweiligen organischen Schichtaufbaus einfach mit den unterschiedlichsten Herstellungsverfahren möglich. Es gibt aber Probleme bei der Strukturierung, die für die elektrische Reihenschaltung erforderlich ist.
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So ist es aus
DE 10 2010 013 755 A1 bekannt, zwei unterschiedliche Polymere übereinander als Strukturelement auf Elektroden aufzubringen, mit denen dann nachträglich mindestens eine später darüber ausgebildete Elektrodenschicht zertrennt werden kann, wenn diese über die gesamte Fläche aufgetragen bzw. abgeschieden wird. Dabei handelt es sich bei dem Polymer, das unterhalb des oberhalb angeordneten Polymers angeordnet ist, um ein solches, das leichter durch ein Ätzverfahren, als das oberhalb angeordnete Polymer entfernt werden kann. Bei einer Ätzung bildet sich im Querschnitt betrachtet eine pilzförmige Struktur der Strukturelemente aus, mit der ein Abreißen der oberhalb als Elektrode ausgebildeten Schicht erreicht werden kann, um einzelne organische Leuchtdioden oder photovaltische Elemente neben einem Strukturelement erhalten zu können.
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Dieses Verfahren ist aufwändig, bedingt eine gute Haftung der Polymere auf Substraten und limitiert die Schichtdicke der OLED- oder der Stapel organischer photovoltaischer Elemente auf 2 μm. Aufgrund der fragilen Struktueren kommt es häufig zu Defekten (z. B. bei Reinigungsschritten oder der Handhabung).
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Aus der nicht vorveröffentlichten
DE 10 2011 106 390 A1 ist es bekannt, solche Strukturelemente durch ein Druckverfahren mit steilen Kanten auszubilden, so dass auf den Einsatz unterschiedlicher Polymere verzichtet werden kann. Auch diese Technologie weist die vorab genannten Nachteile auf.
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Bei diesen bekannten Verfahren ist auch keine gleichzeitige oder direkt im Anschluss erfolgende Möglichkeit einer elektrischen Reihenschaltung vorgesehen.
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Dieses Problem aufgreifend wird in
EP 2 355 199 A1 vorgeschlagen, Strukturelemente auszubilden, die höher als der aus den Elektroden und einem organischen Schichtaufbau gebildete Aufbau organischer Leuchtdioden oder organischer photovoltaischen Elemente sind, so dass diese nebeneinander angeordnete organische Leuchtdioden oder organische photovoltaischen Elemente voneinander trennen, wenn eine vollflächige Beschichtung mit Elektrodenwerkstoff und den einzelnen organischen Schichtwerkstoffen erfolgt.
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Diese Strukturelemente erheben sich aber nach der Herstellung bis oberhalb der Oberfläche, so dass es zumindest zu einem Schatteneffekt kommt.
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Für die Ausbildung der elektrischen Reihenschaltung erfolgt eine Bestrahlung mit einem Laserstrahl neben den Strukturelementen, so dass der Elektrodenwerkstoff der oberen Elektrode durch den organischen Mehrschichtaufbau bis hin zur unteren Elektrode gelangt und eine elektrisch leitende Verbindung zwischen den beiden Elektroden hergestellt wird.
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Auch hier treten die bereits genannten Probleme auf.
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Generell ist es problematisch, dass bei den bekannten technischen Lösungen eine Beeinträchtigung bzw. Beschädigung der übereinander ausgebildeten Schichten nicht vermieden werden kann. Außerdem treten bei den so voneinander getrennten organischen Leuchtdioden oder organischen photovoltaischen Elementen zwischen diesen relativ große Zwischenräume auf, die einmal den optischen Effekt nachteilig beeinflussen, eine homogene Beleuchtung über die Fläche beeinträchtigen und zum anderen die nutzbare Fläche reduzieren.
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So ist ein Verfahren zur Herstellung photovoltaischer Elemente auf der Basis halbleitender Stoffe aus
US 4 726 849 A bekannt, bei dem für die Ausbildung elektrischer Reihenschaltungen benachbarter Elemente Isolatoren und Konduktoren ausgebildet sind und bei dem ein Energiestrahl zur Entfernung von Werkstoff eingesetzt wird.
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In
JP S63-287076 A ist ein Mehrschichtaufbau für photovoltaische Elemente beschrieben.
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Eine Anordnung organsicher Leuchtdioden mit verbesserter Leistungsverteilung ist aus
US 7 498 735 B2 bekannt.
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Es ist daher Aufgabe der Erfindung, Möglichkeiten für die Herstellung elektrisch in Reihe geschalteter organischer Leuchtdioden oder organischer photovoltaischer Elemente anzugeben, bei denen eine flexible und sichere Fertigung erreicht und zusätzlich Einfluss auf die optischen Eigenschaften genommen werden kann.
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Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Verfahren, das die Merkmale des Anspruchs 1 verwirklicht, gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung können mit in untergeordneten Ansprüchen bezeichneten Merkmalen realisiert werden.
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Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird so vorgegangen, dass auf ein elektrisch leitfähiges Substrat oder eine auf einer Substratoberfläche ausgebildete elektrisch leitende Schicht, die die untere Elektroden bildet, ausgebildet wird. Darauf werden zur späteren Verschaltung zwischen einzelne organische Leuchtdioden oder photovoltaische Elemente Strukturelemente aus dielektrischen Werkstoffen aufgebracht werden. Die Strukturelemente erheben sich über die Oberfläche der Substratoberfläche oder die elektrisch leitende Schicht.
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Im Anschluss daran wird über die gesamte Fläche erst ein organischer Mehrschichtaufbau für organische Leuchtdioden oder organische photovoltaische Elemente und darüber eine geschlossene elektrisch leitfähige Schicht ausgebildet. Mit der geschlossenen elektrisch leitfähigen Schicht werden später die oberen Elektroden von nebeneinander angeordneten organischen Leuchtdioden oder organischen photovoltaischen Elementen ausgebildet. Ein solches Halbzeug hat eine geschlossene Oberfläche und weist im Bereich der Strukturelemente Erhebungen auf.
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Im Anschluss daran wird mit einem Energiestrahl, bevorzugt einem Laserstrahl zumindest die die oberen Elektroden bildende Schicht im Bereich eines Strukturelements soweit entfernt, dass keine elektrisch leitende Verbindung zwischen den beiden neben dem jeweiligen Strukturelement angeordneten oberen Elektroden mehr besteht.
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Mit einem Energiestrahl, bevorzugt einem Laserstrahl wird an oder neben einem Strukturelement elektrisch leitender Werkstoff einer oberen Elektrode erwärmt und dabei der Werkstoff des organischen Mehrschichtaufbaus in dem bestrahlten Bereich entfernt, so dass mit dem erwärmten Werkstoff von oberen Elektroden eine elektrisch leitende Verbindung zum elektrisch leitfähigen Substrat oder einer auf einem Substrat ausgebildeten elektrisch leitfähigen Schicht, die als untere Elektrode fungiert, hergestellt wird.
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Der Werkstoff der oberen Elektroden sollte dabei soweit erwärmt werden, dass lokal begrenzt eine ausreichende Fließfähigkeit oder Verformbarkeit erreicht worden ist, mit der er im vom Energiestrahl erwärmten Bereich entweder verformt oder soweit flüssig gemacht worden ist, dass er bis zum die jeweilige untere Elektrode bildenden Substrat oder der darauf ausgebildeten elektrisch leitfähigen Schicht gelangt und so eine elektrisch leitende Verbindung von einer oberen zu einer unteren Elektrode hergestellt worden ist.
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Vor der Ausbildung von Strukturelementen kann eine Strukturierung des Substrats oder einer auf der Oberfläche des Substrats ausgebildeten elektrisch leitfähigen Schicht durchgeführt werden, um untere Elektroden für organische Leuchtdioden oder organische photovoltaische Elemente herstellen zu können.
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Bei der Erfindung können vorteilhaft ungleichförmige und/oder ungleichgroße organische Leuchtdioden oder organische photovoltaische Elemente erhalten werden. Dabei werden die Strukturelemente entsprechend appliziert. Dadurch können Bereiche einer/eines mit einer Mehrzahl gebildeten organischen Leuchtdioden oder organischen photovoltaischen Elementen gebildeten Reihenanordnung oder Arrays erhalten werden, die unterschiedlich groß sind und bei organischen Leuchtdioden können diese dann eine unterschiedliche Beleuchtungsstärke aufweisen, da kleinere organische Leuchtdioden in der Regel, wegen einer höheren elektrischen Stromdichte heller emittieren. Dies ermöglicht beispielsweise Farb- und/oder Helligkeitsvariationen oder aus Einzelelementen aufgebaute Strukturen können zur Informationsvermittlung, wie z. B. als Logo oder Schriftzeichen genutzt werden. Strukturelemente können so ausgebildet werden, dass organische Leuchtdioden oder organische photovoltaische Elemente mit unterschiedlichen Geometrien und/oder unterschiedlich großer aktiver Fläche (Dimensionierung) hergestellt werden. Dadurch können Anpassungen an den jeweils gewünschten elektrischen Strom, der zu organischen Leuchtdioden mit unterschiedlich großer Fläche geführt werden, um dann annähernd gleiche bzw. unterschiedliche Helligkeiten der emittierten elektromagnetischen Strahlung zu erreichen. Bei unterschiedlichen organischen photovoltaischen Elementen können dadurch gleiche elektrische Stromdichten eingehalten werden.
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Die geometrische Gestaltung und Anordnung der aus dielektrischem Werkstoff gebildeten Strukturelemente kann sich dabei nach den Anforderungen der elektrischen Verschaltung der organischen Leuchtdioden oder den photovaltischen Elementen richten. Es können aber auch andere Aspekte berücksichtigt werden. So können Strukturelemente auch in Bereichen ausgebildet werden, in denen Sie keinen elektrischen Effekt hervorrufen. Dort werden lediglich Erhebungen ausgebildet, die nachfolgend nicht dem Einfluss der Energiestrahlung zum Abtrag des Werkstoffs mit dem oberer Elektroden gebildet werden, ausgesetzt werden. Diese Erhebungen bleiben in der Regel sichtbar und es können je nach für die Ausbildung der Strukturelemente gewähltem dielektrischem Werkstoff weitere Effekte genutzt werden. So kann es an den Bereichen mit Strukturelementen zu einer veränderten Lichtaus- bzw. -einkopplung kommen und daher ein veränderter optischer Eindruck für einen Betrachter hervor gerufen werden kann. Dadurch können die aufgebrachten Strukturen auch zur Informationsvermittlung, z. B. als Logos etc, genutzt werden.
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Dabei werden Oberflächenbereiche von Strukturelementen über die Fläche lediglich bereichsweise unter den Einfluss des Energie- bzw. Laserstrahls gebracht.
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Diese Effekte können aber auch ausgenutzt werden, wenn die elektrische Trennung durch den Abtrag des Elektrodenwerkstoffs an der Oberfläche erfolgt ist.
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Für die Ausbildung der Strukturelemente kann ein Werkstoff eingesetzt werden, der von organischen Leuchtdioden emittierte elektromagnetische Strahlung streut, reflektiert, im zumindest größten Teil des Wellenlängenspektrums des sichtbaren Lichts optisch transparent ist, elektromagnetische Strahlung einer ausgewählten Wellenlänge oder in einem ausgewählten Wellenlängenbereich absorbiert oder reflektiert. So kann durch Streuung ein optischer Effekt erreicht werden, der dort für diffuseres Licht führt.
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Bei einer Reflexion kann ein Verlust an elektromagnetischer Strahlung vermieden werden, da diese entweder durch Reflexion austritt oder reflektierte Strahlung photovoltaisch genutzt werden kann.
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Ein optisch transparenter Werkstoff führt zu verringerten Verlusten, wobei die Transparenz auf bestimmte ausgewählte Wellenlängen oder Wellenlängenbereiche begrenzt sein kann. So muss ein Werkstoff beispielsweise nicht zwingend im Wellenlängenspektrum des UV- oder des Infrarot-Lichts transparent sein oder er soll für ein Wellenlängenbereich des sichtbaren Lichts nicht oder gerade transparent und für andere nicht transparent sein. In solchen Bereichen oder bei solchen Wellenlängen kann der Werkstoff die jeweilige elektromagnetische Strahlung dann absorbieren oder reflektieren.
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Die elektromagnetische Strahlung des Energie- oder Laserstrahls sollte vom Werkstoff mit dem Strukturelemente ausgebildet werden, mit mehr als 50% absorbiert werden, um einen ausreichenden Schutz der unteren Elektrode zu gewährleisten.
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Die Strukturelemente können aus einem Werkstoff ausgebildet werden, der ausgewählt ist aus Polyimiden, Epoxidharzen und Polymeren, die ggf. mit mindestens einem Additiv versehen sind und zumindest einen Teil der Laserstrahlung absorbieren. Geeignete Additive können Farbstoffe oder Farbpigmente sein. Es können beispielsweise ein Phthalocyanin oder Phosphore als Additiv eingesetzt werden. Die Auswahl kann unter Berücksichtigung der Wellenlänge der eingesetzten Strahlung und deren Absorption des Werkstoffs erfolgen. So kann beispielsweise mit Phosphoren ein lumineszierender Effekt erreicht werden.
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Im Werkstoff können Partikel eingebettet sein, die eine streuende oder absorbierende Wirkung für elektromagnetische Strahlung haben können.
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Dabei können Strukturelemente unterschiedliche Additive und/oder Partikel enthalten, so dass organische Leuchtdioden oder organische photovoltaische Elemente mit unterschiedlicher Erscheinung (Wahrnehmbarkeit) oder unterschiedlichen Eigenschaften an einem Substrat erhalten werden können.
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Die Strukturelemente können vorzugsweise durch eines der folgenden Verfahren ausgebildet werden:
Druckverfahren (z. B. Siebdruck, Inkjet-Druck, Gravurdruck u. a.), Dispensen und/oder Verdampfungsprozesse
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Sämtliche andere Schichten, die Elektroden oder den organischen Mehrschichtaufbau bilden, können mit herkömmlichen Verfahren und Stoffen ausgebildet werden. Dabei kann die Beschichtung auch bei bewegten Substraten und insbesondere auch von Rolle zu Rolle ausgebildet werden.
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Die Erwärmung mit dem Laserstrahl, die zur Ausbildung der elektrisch leitenden Verbindung zwischen oberen und unteren Elektroden führt kann, wie dies aus
EP 2 355 199 A1 bekannt ist, durchgeführt werden.
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Die Elektroden können aus den verschiedensten bekannten Werkstoffen, wie reinen Metallen, Metalllegierungen, Metallschichtstapel (z. B. MAM), so genannten TCO's (transparente elektrisch leitende Oxide, z. B. ITO) oder organischen Verbindungen (z. B. PEDOT:PSS, PANI), die dann für die jeweils gewünschte Strahlung reflektierend sind oder mit einer Schichtdicke, bei der eine ausreichende Transparenz vorhanden ist, gebildet sein.
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Der Abtrag oder die Verformung des Werkstoffs für obere Elektroden kann vor oder nach einer Verkapselung, bei der insbesondere die organischen Komponenten vor dem Umgebungseinfluss und insbesondere vor Sauerstoff und Feuchtigkeit geschützt werden, erfolgen. Ist bereits eine Verkapselung erfolgt, kann der Energiestrahl durch einen zumindest im bestrahlten Bereich für die Strahlung des Energiestrahls transparenten Bereich der Verkapselung auf den Elektrodenwerkstoff gerichtet werden. Dieser Verfahrensschritt kann aber auch bereits während des Beschichtungsprozesses, also vor der Verkapselung durchgeführt werden. In diesem Fall können freigesetzte Stoffe und Komponenten abgeführt werden. Es kann dabei in inerter Atmosphäre, beispielsweise durch Zufuhr eines Schutzgases, mit einer Absaugung oder unter Vakuumbedingungen gearbeitet werden. So kann eine Beeinträchtigung der organischen Leuchtdioden oder photovoltaischen Elemente durch die freigesetzten Stoffe oder Komponenten vermieden werden.
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Es besteht auch die Möglichkeit, nach der Herstellung einer Reihenanordnung oder eines Arrays, wie vorab beschrieben, darüber eine zweite Reihenanordnung oder ein zweites Array mit organischen elektronischen Elementen, wie dies z. B. organische Leuchtdioden oder organische photovoltaische Elemente sind, auszubilden. Es kann auch eine die Ein- oder Auskopplung von elektromagnetischer Strahlung verbessernde Beschichtung auf die nach außen weisende Oberfläche aufgetragen werden, wie dies beispielsweise antireflektierende Schichten sind.
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Mit Hilfe der Strukturelemente können auch zusätzliche Informationen vermittelt werden. Sie können beispielsweise als Piktogramm oder Logo ausgebildet sein.
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Bei der Erfindung kann die Bearbeitung mit dem Energiestrahl unter Vakuumbedingungen oder in einer Schutzgasatmosphäre durchgeführt werden, wodurch eine Beeinflussung der Schichtwerkstoffe durch chemische Reaktionen, insbesondere mit Elementen der Umgebungsatmosphäre vermieden werden kann.
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Es besteht auch die Möglichkeit, nach der Bearbeitung mit dem Energiestrahl eine oder mehrere weitere Schichten auszubilden, mit denen oberhalb von vorab hergestellten organischen Leuchtdioden oder organischen photovoltaischen Elementen weitere organische Leuchtdioden oder organische photovoltaische Elemente oder eine Auskoppelschicht, ausgebildet werden kann/können, so dass ein Mehrschichtaufbau mit gleicher oder unterschiedlicher Funktion erhalten werden kann.
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Das erfindungsgemäße Verfahren kann auch als kontinuierliches oder chargenweises Durchlaufverfahren durchgeführt werden, indem ein Substrat oder mehrere Substrate durch eine Durchlaufbeschichtungsanlage geführt werden und dabei dann bevorzugt auch die Bearbeitung mit dem Energiestrahl erfolgen kann.
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Es kann auch ein sich ein von einer Rolle ab- und auf eine weitere Rolle aufgewickeltes Substrat (z. B. eine Metall- oder Polymerfolie bzw. ein flexibel verformbares Glas) so prozessiert werden.
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Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden.
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Dabei zeigen:
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1 in schematischer Form ein Beispiel für die Herstellung organischer Leuchtdioden, die elektrisch in Reihe geschaltet werden können und
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2 ein weiteres Beispiel, bei dem die Herstellung an bereits verkapselten organischen Leuchtdioden durchgeführt wird.
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In 1 ist beispielhaft ein elektrisch leitfähiges Substrat 7, aus einem mit einem TCO beschichteten Glas gezeigt. Auf der Oberfläche des Substrats 7, das unteren Elektroden von organischen Leuchtdioden bildet, ist bei diesem Beispiel ein linienförmiges Strukturelement 2 aus Epoxidharz aufgebracht, mit dem zwei nebeneinander herzustellende organische Leuchtdioden voneinander getrennt werden können. Das Strukturelement 2 hat eine Breite von 10 μm bis 1000 μm, wobei eine Breite von 50 μm bis 200 μm bevorzugt wird. Die Höhe des Strukturelements 2 sollte im Bereich von 1 μm bis 20 μm liegen, um einen ausreichenden Schutz der unteren Elektrode bei der Separation der oberen Elektrode zu gewährleisten.
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Darauf ist ein für die Herstellung organischer Leuchtdioden typischer Mehrschichtaufbau 6 über die gesamte Fläche als geschlossener Mehrschichtaufbau ausgebildet worden. Auf diesen Mehrschichtaufbau 6 ist eine ebenfalls vollflächig geschlossene elektrisch leitende Schicht ausgebildet, mit der später die oberen Elektroden 3 und 4 der beiden mit dem Strukturelement 2 voneinander getrennten organischen Leuchtdioden gebildet werden.
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In nichtdargestellter Form besteht auch die Möglichkeit, ein Substrat 7 aus einem dielektrischen Werkstoff einzusetzen, dessen Oberfläche mit einer elektrisch leitenden Schicht versehen ist, mit der die unteren Elektroden der organischen Leuchtdioden ausgebildet werden können. Diese elektrisch leitende Schicht kann bevorzugt, die Ausbildung von Strukturelementen 2 und dementsprechend auch die Größe und Form der jeweiligen organischen Leichtdioden berücksichtigend strukturiert werden, um die Lage und Größe von unteren Elektroden vorzugeben.
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Je nach dem, ob die Emission der von den organischen Leuchtdioden emittierten Strahlung durch das Substrat 7 hindurch oder in die entgegen gesetzte Richtung erfolgen soll, kann ein optisch transparenter Werkstoff für das Substrat 7 und die unteren Elektroden oder eine die elektromagnetische Strahlung reflektierende Schicht, beispielsweise aus Silber mit einer Schichtdicke im Bereich zwischen 80 nm bis 10 μm für die unteren Elektroden eingesetzt werden.
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Auf dem organischen Mehrschichtaufbau 6 wird eine weitere elektrisch leitfähige Schicht ausgebildet, die ebenfalls als vollflächige geschlossene Schicht ausgebildet ist. Auch bei dieser Schicht kann diese so gewählt werden, dass sie das Emissionsverhalten berücksichtigt, also entweder optisch transparent oder für die emittierte Strahlung reflektierend sein kann.
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Nach der Ausbildung dieses Aufbaus erfolgt eine Bestrahlung mit einem Laserstrahl 1. Dadurch wird Werkstoff der oberen elektrisch leitenden Schicht abgetragen, um die beiden neben dem Strukturelement 2 angeordneten organischen Leuchtdioden voneinander zu separieren. Bei dem gezeigten Beispiel erfolgt die Bestrahlung in der ausgehend vom Substrat 7 höchsten Ebene im Bereich des Strukturelements 2. Durch die Trennung der elektrisch leitfähigen oberen Schicht werden die oberen Elektroden 3 und 4 der beiden nebeneinander angeordneten organischen Leuchtdioden erhalten.
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In nichtdargestellter Form, kann mit diesem Laserstrahl 1 auch ein Teilbereich des organischen Mehrschichtaufbaus 6 entfernt werden, der die unteren Elektroden freilegt und es elektrisch leitfähigem Werkstoff einer der beiden oberen Elektroden 3 oder 4 erlaubt sich in Richtung der jeweiligen unteren Elektrode zu nähern, bis eine elektrisch leitende Verbindung zwischen der jeweiligen oberen Elektrode 3 oder 4 und der unteren Elektrode hergestellt worden ist, mit der die beiden nebeneinander angeordneten organischen Leuchtdioden elektrisch in Reihe geschaltet worden sind.
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Dieser Vorgang kann mit demselben Laserstrahl 1 durchgeführt werden, mit dem auch die Separation erreicht worden ist. Er kann hierfür seitlich versetzt an einer Seite des Strukturelements 2 mit seinem Brennfleck wirken, um die elektrisch leitende Verbindung herzustellen.
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Bei dem in 2 gezeigten Beispiel kann genauso vorgegangen werden, wie beim Beispiel nach 1. Die Laserbestrahlung erfolgt dabei jedoch durch eine Verkapselung 5 hindurch, mit der die organischen Leuchtdioden gegenüber der Umgebung fluiddicht abgeschlossen sind. Hierfür ist lediglich eine optische Transparenz des Werkstoffs der Verkapselung 5 für die Laserstrahlung erforderlich. Sollte die von den organischen Leuchtdioden emittierte Strahlung ebenfalls durch die Verkapselung 5 austreten, sollte diese natürlich auch für diese Strahlung transparent sein.
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Selbstverständlich können auch mehr als zwei organische Leuchtdioden so bearbeitet werden, um eine entsprechende Reihenanordnung oder ein Array mehrerer organischer Leuchtdioden herstellen zu können.
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Bei der Ausbildung der Trennung der oberen elektrisch leitenden Schicht für die oberen Elektroden 3 und 4 wurde mit folgenden Parametern gearbeitet.
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Bei herzustellenden organischen Leuchtdioden mit einer Schichtdicke der organischen Komponenten von ca. 300 nm und einer Kathodenschichtdicke von ca. 100 nm wurde mit einem gepulst betriebenen Laserstrahlung bei einer Frequenz von 1000 kHz, einer Leistung von 0,9 W und einer Pulsenergie: 0,9 μJ die obere Schicht im Bereich von Strukturelementen entfernt. Es handelte sich um einen Picosekunden Laser mit einer Wellenlänge von 355 nm.
