DE102012019158A1

DE102012019158A1 - Aktuator und optisches Scanngerät

Info

Publication number: DE102012019158A1
Application number: DE102012019158A
Authority: DE
Inventors: Hisamichi Sekine; Hisanori Aga; Yuki Maruyama
Original assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Current assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Priority date: 2011-09-30
Filing date: 2012-09-27
Publication date: 2013-04-04
Also published as: CN103036471A; JP2013078219A; US9130146B2; DE102012019158A8; JP5790384B2; CN103036471B; US20130083382A1

Abstract

Ein Aktuator enthält: einen Antriebsbalken; eine untere Elektrode, die auf dem Antriebsbalken ausgebildet ist; ein piezoelektrisches Element, das auf der unteren Elektrode vorgesehen ist; eine obere Elektrode, die auf dem piezoelektrischen Element vorgesehen ist; eine obere elektrische Leitung, die die obere Elektrode und eine elektrische Leitung für eine Spannungszufuhr zur oberen Elektrode verbindet; und ein Isolationselement, das eine elektrische Isolation zwischen der oberen Elektrode und der unteren Elektrode bereitstellt und unter der oberen elektrischen Leitung so ausgebildet ist, dass es ein Ende der unteren Elektrode bedeckt. Das Isolationselement enthält isolierende Fortsatzelemente, die sich an gegenüberliegenden Seiten der oberen elektrischen Leitung in einer Breitenrichtung der oberen elektrischen Leitung erstrecken.

Description

GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Aktuator, der einen Antriebsbalken, eine auf dem Antriebsbalken ausgebildete untere Elektrode, ein auf der unteren Elektrode vorgesehenes piezoelektrisches Element und eine auf dem piezoelektrischen Element vorgesehene obere Elektrode umfasst, sowie ein optisches Scangerät.
HINTERGRUND
Die Patentschrift 1 offenbart ein optisches Scangerät, bei dem ein Spiegelelement zum Reflektieren einfallenden Lichts durch einen Aktuator um eine Rotationsachse gedreht wird, der eine obere Elektrode auf einer oberen Fläche eines piezoelektrischen Körpers und eine untere Elektrode auf einer unteren Fläche des piezoelektrischen Körpers umfasst, so dass ein Scanvorgang mit dem reflektierten Licht durchgeführt wird. Dieser Aktuator enthält eine mit der oberen Elektrode verbundene obere elektrische Leitung und eine mit der unteren Elektrode verbundene untere elektrische Leitung, um die Spannung an den piezoelektrischen Körper anzulegen.
1 ist eine Darstellung zur Erläuterung der oberen elektrischen Leitung des Aktuators gemäß dem Stand der Technik. Der in 1 veranschaulichte Aktuator 10 weist einen vielschichtigen Aufbau auf, so dass der piezoelektrische Körper zwischen der unteren Elektrode 11 und der oberen Elektrode 12 ausgebildet ist. Die untere Elektrode 11 ist mit einer gemeinsamen unteren elektrischen Leitung verbunden (nicht dargestellt). Die obere Elektrode 12 ist mit einer oberen elektrischen Leitung 13 verbunden. Gemäß dem Aktuator 10 wird der piezoelektrische Körper durch Anlegen einer Spannung zwischen der gemeinsamen unteren elektrischen Leitung und der oberen elektrischen Leitung 13 angesteuert.
Gemäß dem herkömmlichen Aktuator, wie er in 1 dargestellt ist, erstreckt sich ferner ein Endbereich (äußerer Rand) 11T der unteren Elektrode 11 unter der oberen Elektrode 12 ausgehend von der oberen Elektrode 12, wenn die untere Elektrode 11 und die obere Elektrode 12 übereinander geschichtet sind. Daher ist in dem Aktuator 10 ein Isolationselement 14 so ausgebildet, dass es den Endbereich 11T der unteren Elektrode 11 dort bedeckt, wo die obere elektrische Leitung 13 ausgebildet ist, um einen Kontakt zwischen der unteren Elektrode 11 und der oberen Elektrode 12 zu verhindern.
[Patentschrift 1] Offengelegtes japanisches Patent, Veröffentlichungsnummer 2010-259213 .
Offenbarung der Erfindung
Durch die Erfindung gelöste Aufgabe
Gemäß der herkömmlichen Technik besteht Gefahr, dass das Isolationselement 14 bricht (elektrischer Durchschlag), wenn eine so große Spannung angelegt wird, die eine Spannungsdifferenz zwischen der unteren Elektrode 11 und der oberen Elektrode 12 erzeugt, wenn der Unterschied t3 zwischen der Breite t1 des Isolationselements 14 und der Breite t2 der oberen elektrischen Leitung nicht ausreicht.
Die vorliegende Erfindung wurde angesichts des oben beschriebenen Kontexts gemacht und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung betrifft das Bereitstellen eines Aktuators, der einen elektrischen Durchschlag verhindern kann.
Mittel zum Lösen der Aufgabe
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Aktuator angegeben, der Folgendes enthält: einen Antriebsbalken; eine auf dem Antriebsbalken ausgebildete untere Elektrode; ein auf der unteren Elektrode vorgesehenes piezoelektrisches Element; eine auf dem piezoelektrischen Element vorgesehene obere Elektrode; eine obere elektrische Leitung, die die obere Elektrode und eine elektrische Leitung für eine Spannungszufuhr zur oberen Elektrode verbindet; und ein Isolationselement, das eine elektrische Isolation zwischen der oberen Elektrode und der unteren Elektrode bereitstellt und unter der oberen elektrischen Leitung so ausgebildet ist, dass es ein Ende der unteren Elektrode bedeckt, wobei das Isolationselement isolierende Fortsatzelemente umfasst, die sich auf gegenüberliegenden Seiten der oberen elektrischen Leitung in einer Breitenrichtung der oberen elektrischen Leitung erstrecken.
Vorteile der Erfindung
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird es möglich, einen elektrischen Durchschlag zu verhindern.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine Darstellung zur Erläuterung der oberen elektrischen Leitung des Aktuators gemäß dem Stand der Technik.
2 ist eine Darstellung zur Erläuterung eines optischen Scangeräts gemäß einem Ausführungsbeispiel.
3 ist eine weitere Darstellung zur Erläuterung eines optischen Scangeräts gemäß einem Ausführungsbeispiel.
4 ist eine vergrößerte Darstellung eines Bereichs A in 2.
5 ist eine Schnittansicht entlang Linie B-B in 4.
6 ist eine Darstellung zur Veranschaulichung eines Aufbaus eines Isolationsfilms.
7 ist eine Darstellung zur Veranschaulichung einer Leckstrom-Charakteristik des Isolationsfilms.
8 ist eine weitere Darstellung zur Veranschaulichung eines Aufbaus eines Isolationsfilms.
BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben. 2 ist eine Darstellung zur Erläuterung eines optischen Scangeräts gemäß einem Ausführungsbeispiel und 3 ist eine weitere Darstellung zur Erläuterung eines optischen Scangeräts gemäß einem Ausführungsbeispiel.
In 2 und 3 enthält das optische Scangerät 100 einen Spiegel 110, ein Spiegelträgerelement 120, Torsionsbalken 130, einen Verbindungsbalken 140, erste Antriebsbalken 150, einen beweglichen Rahmen 160, zweite Antriebsbalken 170 und einen feststehenden Rahmen 180. Wie in 2 dargestellt, enthalten die ersten Antriebsbalken 150 des Weiteren Antriebsquellen 151 und die zweiten Antriebsbalken 170 Antriebsquellen 171.
Das optische Scangerät 100 enthält ferner Rippen 121, die auf der Rückseite des Spiegelträgerelements 120 vorgesehen sind, und Rippen 178 zum Verhindern einer Überlagerung der harmonischen Komponenten, die auf den Rückseiten der zweiten Antriebsbalken 170 vorgesehen sind, wie es in 3 dargestellt ist.
Das Spiegelträgerelement 120 gemäß dem Ausführungsbeispiel weist Schlitze 122 auf, die entlang des Umfangs des Spiegels 110 ausgebildet sind. Mit den Schlitzen 122 kann die Drehung der Torsionsbalken 130 auf den Spiegel 110 übertragen werden, während das Gewicht des Spiegelträgerelements 120 reduziert ist. Außerdem weisen die zweiten Antriebsbalken 170 gemäß dem Ausführungsbeispiel konkave Bereiche 179 auf den Rückseiten davon auf. Die konkaven Bereiche 179 können eine Form eines dreieckigen Stabs aufweisen, wie es in 3 dargestellt ist. Vorzugsweise sind die konkaven Bereiche 179 auf der Rückseite des beweglichen Rahmens 160 ausgebildet. Das Ausbilden der konkaven Bereiche 179 im beweglichen Rahmen 160 trägt zur Gewichtsreduktion des beweglichen Rahmens 160 bei, während die Stabilität des beweglichen Rahmens 160 aufrecht erhalten wird.
In 2 und 3 ist der Spiegel 110 auf der Oberfläche des Spiegelträgerelements 120 ausgebildet und das Spiegelträgerelement 120 ist mit den Enden der Torsionsbalken 130 verbunden, die auf den gegenüberliegenden Seiten des Spiegelträgerelements 120 vorgesehen sind. Die Torsionsbalken 130 definieren eine Schwenkachse und erstrecken sich in Achsenrichtung, um das Spiegelträgerelement 120 in Achsenrichtung an den gegenüberliegenden Seiten zu stützen. Wenn die Torsionsbalken 130 verdreht werden, wird der auf dem Spiegelträgerelement 120 gelagerte Spiegel 110 schwenkend bewegt, so dass der Scanvorgang mit dem reflektierten Licht von dem auf den Spiegel 110 eingestrahlten Licht durchgeführt wird. Die Torsionsbalken 130 sind mit dem Verbindungsbalken 140 verbunden und durch diesen gelagert und sind mit den ersten Antriebsbalken 150 verbunden.
Die ersten Antriebsbalken 150, der Verbindungsbalken 140, die Torsionsbalken 130, das Spiegelträgerelement 120 und der Spiegel 110 sind vom beweglichen Rahmen 160 umgeben. Die ersten Antriebsbalken 150 werden durch den beweglichen Rahmen 160 an einer Seite gelagert und erstrecken sich einwärts, so dass sie mit dem Verbindungsbalken 140 verbunden sind. Die ersten Antriebsbalken 150 sind als Paar vorgesehen, so dass der Spiegel 110 und das Spiegelträgerelement 120 zwischen den ersten Antriebsbalken 150 in einer Richtung senkrecht zu den Torsionsbalken 130 angeordnet sind.
Jede Antriebsquelle 151 ist auf der Oberfläche des entsprechenden ersten Antriebsbalkens 150 ausgebildet. Die Antriebsquelle 151 enthält eine obere Elektrode und eine untere Elektrode. Die obere Elektrode ist auf der oberen Fläche des dünnen Films des piezoelektrischen Elements ausgebildet, das auf der Oberfläche der ersten Antriebsbalken 150 vorgesehen ist und als Membran fungiert. Die untere Elektrode ist auf der unteren Fläche des piezoelektrischen Elements ausgebildet. Die Antriebsquelle 151 dehnt sich aus und zieht sich zusammen gemäß der Polarität der zwischen der oberen Elektrode und der unteren Elektrode angelegten Spannung. Wenn daher Spannungen mit verschiedenen Phasen an den ersten Antriebsbalken 150 auf der linken Seite und an den ersten Antriebsbalken 150 auf der rechten Seite angelegt werden, werden die ersten Antriebsbalken 150 in Schwingungen versetzt, so dass der erste Antriebsbalken 150 auf der linken Seite des Spiegels 110 und der erste Antriebsbalken 150 auf der rechten Seite des Spiegels 110 abwechselnd nach oben bewegt werden, wodurch der Spiegel 110 um die durch die Torsionsbalken 130 definierte Achse geschwenkt wird.
Die Schwenkrichtung des Spiegels 110 um die durch die Torsionsbalken 130 definierte Achse wird im Folgenden als horizontale Richtung bezeichnet. Beispielsweise kann der horizontale Antrieb durch die ersten Antriebsbalken 150 durch die Resonanzschwingung realisiert werden und der Spiegel 110 kann so angetrieben werden, dass er mit einer hohen Geschwindigkeit schwingt. Des Weiteren weist jeder zweite Antriebsbalken 170 ein mit der Außenseite des beweglichen Rahmens 160 verbundenes Ende auf. Der zweite Antriebsbalken 170 enthält Balkenelemente in einem Zickzackmuster in der Gesamtheit, so dass die Balkenelemente, die sich parallel mit den ersten Antriebsbalken 150 erstrecken, Enden aufweisen, die mit den benachbarten Balkenelementen verbunden sind.
Das andere Ende des zweiten Antriebsbalkens 170 ist mit der Innenseite des feststehenden Rahmens 180 verbunden. Gleichzeitig sind die zweiten Antriebsbalken 170 als Paar vorgesehen, so dass der bewegliche Rahmen 160 links und rechts zwischen den zweiten Antriebsbalken 170 angeordnet ist. Die Oberfläche des zweiten Antriebsbalkens 170 weist dünne Filme der piezoelektrischen Elemente auf, die als die Antriebsquellen 171 auf einer rechteckigen Abschnittsfläche ohne die gekrümmten Bereiche ausgebildet sind.
Durch Anlegen der Spannungen mit verschiedenen Phasen an die benachbarten Antriebsquellen 171 auf einer rechteckigen Abschnittsfläche werden die benachbarten rechteckigen Balken abwechselnd in die obere Richtung deformiert und daher kann die Häufung der Bewegungen der jeweiligen Balken in die obere Richtung auf den beweglichen Rahmen 160 übertragen werden. Daher kann der Spiegel 110 so bewegt werden, dass er in die Richtung senkrecht zur horizontalen Richtung schwingt, d. h. in vertikaler Richtung. Beispielsweise können die Antriebskräfte der zweiten Antriebsbalken 170 durch nicht-resonante Vibration erzeugt werden.
Im Folgenden werden die Antriebsquelle 151 und die Antriebsquelle 171 beschrieben. Gemäß dem Ausführungsbeispiel enthalten sowohl die Antriebsquelle 151 als auch die Antriebsquelle 171 eine obere Elektrode und eine untere Elektrode. Die obere Elektrode und die untere Elektrode der Antriebsquelle 151 sind jeweils mit einer oberen elektrischen Leitung und einer unteren elektrischen Leitung verbunden, die sich von den auf dem feststehenden Rahmen 180 vorgesehenen Anschlussgruppen T1 und T2 erstrecken.
Gemäß dem Ausführungsbeispiel wird der elektrische Durchschlag auch dann verhindert, wenn eine solche Spannung angelegt wird, die eine große Potenzialdifferenz zwischen der unteren Elektrode und der oberen Elektrode erzeugen kann, um die Antriebskraft der zweiten Antriebsbalken 170 durch die nicht-resonante Vibration zu erzeugen.
Im Folgenden werden die obere Elektrode und die untere Elektrode beschrieben. 4 ist eine vergrößerte Darstellung eines Bereichs A in 2 und 5 ist eine Schnittansicht entlang einer Linie B-B in 4. In 4 und 5 ist beispielhaft die Antriebsquelle 171 beschrieben.
Die Antriebsquelle 171 ist so aufgebaut, dass eine untere Elektrode 172, ein piezoelektrisches Element 173 und eine obere Elektrode 174 auf dem zweiten Antriebsbalken 170 übereinander geschichtet sind, wodurch eine Membran gebildet wird. Die obere Elektrode 174 ist über eine obere elektrische Leitung 175 mit einer elektrischen Leitung verbunden, die sich von der äußeren Antriebsspannungszufuhr des optischen Scangeräts 100 erstreckt. Die untere Elektrode 172 ist über eine gemeinsame untere elektrische Leitung 176 mit der äußeren Antriebsspannungszufuhr des optischen Scangeräts 100 verbunden.
Gemäß dem Ausführungsbeispiel ist ferner ein Isolationselement 177 ausgebildet, um eine elektrische Verbindung zwischen der unteren Elektrode 172 und der oberen Elektrode 174 zu verhindern.
Das Isolationselement 177 enthält gemäß dem Ausführungsbeispiel isolierende Fortsatzelemente 177A und 177B, die sich in einer Richtung weg von der oberen elektrischen Leitung 175 erstrecken. Die Fortsatzelemente 177A und 177B sind an gegenüberliegenden Seiten der oberen elektrischen Leitung 175 ausgebildet, so dass sie nicht mit den auf dem zweiten Antriebsbalken 170 ausgebildeten elektrischen Leitungen in Kontakt kommen. Wenn angenommen wird, dass die Breiten der isolierenden Fortsatzelemente 177A und 177B gemäß dem Ausführungsbeispiel jeweils TA und TB sind und die Breite der oberen elektrischen Leitung 175 TC ist, sind die Breiten TA und TB vorzugsweise größer als oder gleich wie das Dreifache der Breite TC.
Da das Isolationselement 177 so gestaltet ist, dass es die isolierenden Fortsatzelemente 177A und 177B enthält, kann gemäß dem Ausführungsbeispiel der elektrische Durchbruch sogar dann verhindert werden, wenn eine so große Spannung angelegt wird, dass die Potenzialdifferenz zwischen der oberen Elektrode 174 und der unteren Elektrode 172 erzeugt wird.
Auch wenn sich ein Endbereich (äußerer Rand) 172T der unteren Elektrode 172 von der oberen Elektrode 174 erstreckt, ist es gemäß dem Ausführungsbeispiel möglich, eine Ausfallsicherheit der elektrischen Verbindung zwischen der oberen Elektrode 174 und der unteren Elektrode 172 sicherzustellen, während das Anlegen einer großen Spannung an die Antriebsquelle 171 ermöglicht wird.
Daher ist es gemäß dem Ausführungsbeispiel auch möglich, die Antriebskraft des zweiten Antriebsbalken 170 mit der nicht-resonanten Vibration zu erzeugen, die das Anlegen einer großen Spannung erfordert, die die Potenzialdifferenz zwischen der oberen Elektrode 174 und der unteren Elektrode 172 erzeugen kann. Es wird angemerkt, dass gemäß dem Ausführungsbeispiel die große Spannung in einem Bereich von 80 V bis 150 V liegen kann. Des Weiteren können die Breiten TA und TB kleiner sein als das Dreifache der Breite TC. In dem Ausführungsbeispiel können die Breiten TA und TB beispielsweise in einem Bereich von ca. 10 μm bis ungefähr 150 μm liegen.
Außerdem sind in dem Ausführungsbeispiel die Breiten TA und TB gleich; dieses Verhältnis ist jedoch nicht unerlässlich. Beispielsweise kann die Breite TA größer sein als die Breite TB und umgekehrt.
In dem Ausführungsbeispiel kann dieselbe Ausgestaltung nicht nur für das Element A der Antriebsquelle 171 vorgesehen sein, sondern auch für alle Stellen, an denen die obere Elektrode 174 und die untere Elektrode 172 verbunden sind. Außerdem ist in diesem Ausführungsbeispiel nur die Antriebsquelle 171 erklärt; die Antriebsquelle 151 ist jedoch dieselbe. Insbesondere sind Isolationselemente, die die isolierenden Fortsatzelemente enthalten, an den Stellen vorgesehen, an denen die oberen Elektroden und die unteren Elektroden der Antriebsquellen 151 verbunden sind.
Als nächstes wird ein Isolationsfilm des Isolationselements 177 gemäß dem Ausführungsbeispiel erklärt. Gemäß dem Ausführungsbeispiel kann der Isolationsfilm des Isolationselements 177 durch Schichtung eines anorganischen Isolationsfilms und eines organischen Isolationsfilms ausgestaltet sein, die verschiedene dielektrische Konstanten aufweisen.
6 ist eine Darstellung zur Erläuterung eines Aufbaus eines Isolationsfilms. Im Folgenden wird ein Weg zum Ausbilden des Isolationsfilms beschrieben.
Der anorganische Isolationsfilm wird durch Anwendung eines ALD Verfahrens (atomic layer deposition, atomare Schichtabscheidung), eines CVD Verfahrens (chemical vapor deposition, chemische Gasabscheidung-), eines Sputterverfahrens, etc. auf einem Wafer ausgebildet, auf dem die untere Elektrode 172 ausgebildet ist. Der verwendete anorganische Isolationsfilm ist ein metallisches Oxid oder ein metallisches Nitrit.
Nach Ausbildung des anorganischen Isolationsfilms wird der organische Isolationsfilm durch ein Spincoating-Verfahren oder ein Tauchverfahren (dip method) ausgebildet. Der verwendete organische Isolationsfilm basiert auf BCB, Novolac, Acryl, Polyimid, Polyamid, etc. Nach dem Ausbilden des organischen Isolationsfilms wird wiederum der anorganische Isolationsfilm auf dem organischen Isolationsfilm ausgebildet.
In einem Beispiel wurde ein Al₂O₃ Film mit einer Dicke von 50 nm durch das ALD Verfahren auf dem Wafer ausgebildet, auf dem beispielsweise die untere Elektrode 172 ausgebildet war. Die dielektrische Konstante des Al₂O₃ Films lag zwischen 9,0 und 10. Des Weiteren wurde in diesem Beispiel auf dem Al₂O₃ Film ein BCB-Harzfilm (CYCLOTENE, kommerziell erhältlich von Dow Chemical Company) mit einer Dicke von 2 μm durch ein Spincoating-Verfahren ausgebildet. Die dielektrische Konstante des BCB-Harzfilms lag zwischen 2,5 bis 3,0. Danach wurde ein weiterer Al₂O₃ Film mit einer Dicke von 50 nm auf dem BCB-Harzfilm ausgebildet.
7 ist eine Darstellung zur Veranschaulichung einer Leckstrom-Charakteristik des Isolationsfilms. Wie aus 7 klar hervorgeht, weist der Isolationsfilm, in dem der organische Isolationsfilm und die anorganischen Isolationsfilme aufgeschichtet sind, eine erhöhte Belastungswiderstandskraft in Bezug auf einen Isolationsfilm auf, der nur eine Schicht des organischen Isolationsfilm enthält.
Daher weist das Isolationselement 177 gemäß dem Ausführungsbeispiel die erhöhte Isolationsbelastungswiderstandskraft auf, so dass der elektrische Durchbruch verringert werden kann. Des Weiteren verfügt das Isolationselement 177 gemäß dem Ausführungsbeispiel über verbesserte Widerstandskraft gegen chemische Einflüsse und Feuchtigkeit in Bezug auf den Isolationsfilm, der nur eine Schicht des organischen Isolationsfilms enthält.
Es wird angemerkt, dass in dem Beispiel der Isolationsfilm so gestaltet ist, dass er drei Schichten aus dem anorganischen Isolationsfilm, dem organischen Isolationsfilm und dem anorganischen Isolationsfilm aufweist; dies ist jedoch nicht unerlässlich. Beispielsweise kann ein zweischichtiger Aufbau möglich sein, wie es in 8 dargestellt ist. 8 ist eine weitere Darstellung zur Veranschaulichung eines Aufbaus des Isolationsfilms.
In dem in 8 veranschaulichten Beispiel wird ein organischer Isolationsfilm auf einem Wafer ausgebildet, auf dem die untere Elektrode 172 ausgebildet ist, und ein anorganischer Isolationsfilm wird auf dem organischen Isolationsfilm ausgebildet. Anschließend wird die obere Elektrode 174 auf dem anorganischen Isolationsfilm ausgebildet.
Die vorliegende Erfindung ist mit Bezug auf die bevorzugten Ausführungsbeispiele offengelegt. Es sollte jedoch selbstverständlich sein, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt ist, und dass Abwandlungen und Modifikationen vorgenommen werden können, ohne vom Schutzbereich der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2010-259213 [0004]

Claims

Aktuator, umfassend: einen Antriebsbalken; eine untere Elektrode, die auf dem Antriebsbalken ausgebildet ist; ein piezoelektrisches Element, das auf der unteren Elektrode vorgesehen ist; eine obere Elektrode, die auf dem piezoelektrischen Element vorgesehen ist; eine obere elektrische Leitung, die mit der oberen Elektrode und einer elektrischen Leitung für eine Spannungszufuhr zur oberen Elektrode verbunden ist; und ein Isolationselement, das eine elektrische Isolation zwischen der oberen Elektrode und der unteren Elektrode bereitstellt und unter der oberen elektrischen Leitung so ausgebildet ist, dass es ein Ende der unteren Elektrode bedeckt; wobei das Isolationselement isolierende Fortsatzelemente enthält, die sich an gegenüberliegenden Seiten der oberen elektrischen Leitung in einer Breitenrichtung der oberen elektrischen Leitung erstrecken.
Aktuator nach Anspruch 1, wobei die Breite der isolierenden Fortsatzelemente größer ist als oder gleich ist wie das Dreifache der Breite der oberen elektrischen Leitung.
Aktuator nach Anspruch 1 oder 2, wobei das isolierende Element einen anorganischen Isolationsfilm und einen organischen Isolationsfilm enthält.
Aktuator nach Anspruch 3, wobei der anorganische Isolationsfilm zwischen organischen Isolationsfilmen angeordnet ist.
Optisches Scangerät, umfassend: einen Aktuator, der einen Antriebsbalken, eine auf dem Antriebsbalken ausgebildete untere Elektrode, ein auf der unteren Elektrode vorgesehenes piezoelektrisches Element und eine auf dem piezoelektrischen Element vorgesehene obere Elektrode enthält; und ein Spiegelelement, das durch den Aktuator schwenkend beweglich ist, um einfallendes Licht so zu reflektieren, dass ein Scanvorgang mit dem reflektierten Licht durchführbar ist, wobei der Aktuator ferner umfasst: eine obere elektrische Leitung, die die obere Elektrode und eine elektrische Leitung für eine Spannungszufuhr zur oberen Elektrode verbindet; und ein Isolationselement, das eine elektrische Isolation zwischen der oberen Elektrode und der unteren Elektrode bereitstellt und unter der oberen elektrischen Leitung so ausgebildet ist, dass es ein Ende der unteren Elektrode bedeckt; wobei das Isolationselement isolierende Fortsatzelemente umfasst, die sich an gegenüberliegenden Seiten der oberen elektrischen Leitung in einer Breitenrichtung der oberen elektrischen Leitung erstrecken.