DE102011017331A1

DE102011017331A1 - Verfahren zum Polieren der glatten Oberfläche eines Musters und Einrichtung zum Polieren der glatten Oberfläche eines Musters

Info

Publication number: DE102011017331A1
Application number: DE201110017331
Authority: DE
Inventors: Anmelder Gleich
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2011-04-16
Filing date: 2011-04-16
Publication date: 2012-10-18

Abstract

Die Erfindung gehört sowohl zur elektronischen, optischen Mikroskopie als auch zur Rastermikroskopie und ist eine Weiterentwicklung des aus der unter DE 10 2010 051 136 bekannten Verfahrens und der dortigen Einrichtung. Wenn die Elektromagnete 7 nicht mit Strom gespeist werden, halten die Federn 6 den Teller 1 in einer bestimmten Entfernung von dem Basisstück 5 hoch. Wenn die Elektromagnete 7 mit Strom gespeist werden, wird der Stahlboden des Tellers 1 zum Basisstück 5 herangezogen. Dabei dreht sich auch der Teller 1 dank der Federn 6 in Richtung gegen den Uhrzeigersinn um. In der angegebenen Entfernung des Bodens des Tellers 1 vom Basisstück 5 (diese wird vom Geber 9 der Steuereinheit 8 mitgeteilt) wird die Speisung der Magnete 7 abgebrochen. Jetzt bewegt sich der Teller 1 unter der Wirkung der zurückkehrenden Federn 6 in die Ausgangsposition nach oben und gleichzeitig dreht sich der Teller 1 in Richtung Uhrzeigersinn um. Dabei wirkt das Stück 4 mit seiner Seitenoberfläche mit der Seitenoberfläche des Tellers 1 zusammen und dreht sich um die eigene Achse. Dabei geschieht das Aufreiben der Oberfläche des Musters 2 mittels seiner komplizierten Umstellungen der Oberfläche des Spiegels des Tellers 1 nach, was eine hohe Qualität der bearbeiteten Oberfläche gewährleistet

Description

Die Erfindung gehört sowohl zur elektronischen, optischen Mikroskopie als auch zur Rastermikroskopie und ist eine Weiterentwicklung des aus der unter DE 10 2010 051 136 bekannten Verfahrens und der dortigen Einrichtung.
Es ist aus DE 10 2010 051 136 bekannt das Verfahren zum Polieren der glatten Oberfläche eines Musters, einschließend Platzieren eines Schleifmaterials auf eine horizontale flache Oberfläche, Auferlegen auf des Musters mit der zu polierenden Seite nach unten diese Oberfläche über das Schleifmaterial, Umstellung des Musters über der Schicht des Schleifmaterials parallel der erwähnten Oberfläche, wobei die erwähnte Oberfläche mit einer Ringborte ausgestattet ist, über das Muster ein Stück platziert wird, das außen eine ringförmige senkrechte Oberfläche hat, wobei der Durchmesser diesen Rings kleiner ist als der Durchmesser der Ringborte, der erwähnten Oberfläche einige Drehschwingungsbewegungen beigegeben werden.
Es ist aus DE 20 2010 015 369.7 bekannt auch die Einrichtung zum Polieren der flachen Oberfläche eines Musters, die eine horizontale flache Oberfläche einschließt, auf die ein Schleifmaterial aufgebracht wird, wobei das zu polierende Muster parallel dieser Oberfläche versetzt wird, wobei die erwähnte Oberfläche mit einer Ringborte ausgestattet ist, über das Muster ein Stück platziert wird, das außen eine ringförmige senkrechte Oberfläche hat, wobei der Durchmesser diesen Rings kleiner ist, als der Durchmesser der Ringborte, sie mit einer Einrichtung zum Beibringen der erwähnten Oberfläche einer Drehschwingungsbewegung ausgestattet ist
Das bekannte Verfahren und die bekannte Einrichtung haben einen wesentlichen Mangel. Beim Polieren der Oberflächen der Muster sind nicht nur horizontale, sondern auch vertikale variable Belastungen zweckmäßig, die mit Hilfe des bekannten Verfahrens und der bekannten Einrichtung unmöglich zu bekommen sind.
Der Autor schlägt ein Verfahren und eine Einrichtung vor, die es erlauben, der erwähnt Mangel zu beseitigen. Sie sind mittels der Merkmale der Ansprüche beschrieben.
Auf der 1 ist die vorgeschlagene Einrichtung, die das vorgeschlagene Verfahren verwirklicht, im Schnitt, auf der 2 ist dasselbe, Draufsicht, abgebildet.
Die vorgeschlagene Einrichtung enthält einen Teller 1, auf dessen Spiegel eine Schleifpasta platziert wird. Der Teller kann aus zwei Teilen bestehen: Ein polierter Spiegel und eine abnehmbare Seitenoberfläche, was für die Möglichkeit des Polieren des Spiegels des Tellers wichtig ist. Der Boden des Tellers 1 ist aus einem magnetweichen Material, zum Beispiel aus Stahl, ausgeführt. Auf den Spiegel des Tellers 1, über die Schleifpasta, wird ein Muster 2 platziert mit der zu polierenden Oberfläche nach unten. Über das Muster 2 wird mittels, zum Beispiel, Wachses 3 ein Stück 4 befestigt, das eine ringförmige senkrechte Seitenoberfläche hat. Das Stück 4 wird so platziert, dass sein Schwerpunkt sich über dem Schwerpunkt des Musters 2 befindet. Der Teller 1 ist über einem Basisstück 5 angeordnet und ist mit ihm mittels dreier flacher Federn 6 verbunden, wobei jede der Federn 6 mit einem Ende zum Basisstück 5, und mit anderem zum Boden des Tellers 1 befestigt ist. Im Basisstück 5 sind einige Elektromagnete 7 eingerichtet, die von einer Steuereinheit 8 gespeist werden, und ein Geber 9, der die Entfernungen des Bodens des Tellers 1 vom Basisstück 5 misst und dessen Ausgang mit dem Eingang des Blocks 8 verbunden ist.
Die vorgeschlagene Einrichtung arbeitet folgendermaßen:
Wenn die Elektromagnete 7 nicht mit Strom gespeist werden, halten die Federn 6 den Teller 1 in einer bestimmten Entfernung von dem Basisstück 5 hoch. Wenn die Elektromagnete 7 mit Strom gespeist werden, wird der Stahlboden des Tellers 1 zum Basisstück 5 herangezogen. Dabei dreht sich auch der Teller 1 dank der Federn 6 in Richtung gegen den Uhrzeigersinn um. In der angegebenen Entfernung des Bodens des Tellers 1 vom Basisstück 5 (diese wird vom Geber 9 der Steuereinheit 8 mitgeteilt) wird die Speisung der Magnete 7 abgebrochen. Jetzt bewegt sich der Teller 1 unter der Wirkung der zurückkehrenden Federn 6 in die Ausgangsposition nach oben und gleichzeitig dreht sich der Teller 1 in Richtung Uhrzeigersinn um. Dabei wirkt das Stück 4 mit seiner Seitenoberfläche mit der Seitenoberfläche des Tellers 1 zusammen und dreht sich um die eigene Achse. Dabei geschieht das Aufreiben der Oberfläche des Musters 2 mittels seiner komplizierten Umstellungen der Oberfläche des Spiegels des Tellers 1 nach, was eine hohe Qualität der bearbeiteten Oberfläche gewährleistet
Das Vorhandensein der steuerbaren Elektromagnete 7 ermöglicht es, die Geschwindigkeit der Bewegung des Tellers 1 nach unten und, entsprechend, die Geschwindigkeit seiner Drehbewegung zu regulieren. Wenn der Boden des Tellers 1 als permanenter Magnet ausgeführt wird oder am Boden des Tellers 1 einige permanente Magnete befestigen werden, entsteht die Möglichkeit auch die Geschwindigkeit der Bewegung des Tellers 1 nach oben zu steuern. Das ermöglicht es, die optimalen Bedingungen des Polieren der Muster auszuwählen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

DE 102010051136 [0001, 0002]
DE 202010015369 [0003]

Claims

Verfahren zum Polieren der glatten Oberfläche eines Musters nach DE 10 2010 051 136 , dadurch gekennzeichnet, dass der erwähnten Oberfläche zusätzlich einige hin- und hergehenden Bewegungen in der senkrechten Richtung beigegeben werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Geschwindigkeiten der erwähnten sowohl hin- und hergehend als auch Drehschwingungsbewegungen in ihrem Lauf reguliert werden.
Einrichtung zum Polieren der flachen Oberfläche eines Musters, die eine horizontale flache Oberfläche einschließt, auf die ein Schleifmaterial aufgebracht wird, wobei das zu polierende Muster parallel dieser Oberfläche versetzt wird, wobei die erwähnte Oberfläche mit einer Ringborte ausgestattet ist, über das Muster ein Stück platziert wird, das außen eine ringförmige senkrechte Oberfläche hat, wobei der Durchmesser diesen Rings kleiner ist, als der Durchmesser der Ringborte, dadurch gekennzeichnet, dass sie zusätzlich mit einer Einrichtung zum Beigeben der erwähnten Oberfläche einiger hin- und hergehenden Bewegungen in der senkrechten Richtung ausgestattet ist.
Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass sie zusätzlich mit einer Einrichtung zum Regulieren der Geschwindigkeit der erwähnten hin- und hergehenden Bewegungen und Drehschwingungsbewegungen im Laufe dieser Bewegungen ausgestattet ist
Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die erwähnte Einrichtung zum Beigeben der erwähnten Oberfläche einiger hin- und hergehenden Bewegungen in der senkrechten Richtung der Drehschwingungsbewegungen als ein Basisstück, das unter der erwähnten Oberfläche eingerichtet ist und mit ihr mittels einigen flachen Federn verbunden ist, ausgeführt wird, wobei ein Ende von jeder Feder zum Basisstück und das andere Ende zur erwähnten Oberfläche oder dem Träger dieser Oberfläche befestigt ist, und auch mit einer Einrichtung der zwangsweisen Umstellung der erwähnten Oberfläche relativ dem Basisstück ausgestattet ist.
Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die erwähnte Einrichtung der zwangsweisen Umstellung der erwähnten Oberfläche relativ dem Basisstück als ein magnetisches Paar ausgeführt ist, dessen einer Teil auf dem Basisstück angeordnet ist, und der andere auf der erwähnten Oberfläche oder ihren Träger angeordnet ist, wobei wenigstens einer der Teile des Paares regulierbar ausgeführt ist.