DE102011006076B4 - Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Silizium-Blöcken - Google Patents
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Abstract
Description
- Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung von Silizium-Blöcken.
- Die Herstellung von großvolumigen Silizium-Blöcken ist ein Schlüsselschritt im Herstellungsprozess von Silizium-Solarzellen. Dieser Verfahrensschritt hat einen entscheidenden Einfluss auf die weiteren Eigenschaften des Halbleiter-Materials, insbesondere auf den erreichbaren Wirkungsgrad der fertigen Solarzellen.
- Vorrichtungen und Verfahren zur Herstellung von Silizium-Blöcken sind beispielsweise aus der
WO 2007/148987 A1 DE 24 61 553 C2 sowie derWO 2010/005 705 A1 JP 2000/327 474 A JP 10-095 688 A - Es besteht jedoch fortwährender Bedarf, derartige Verfahren besser kontrollierbar und reproduzierbar sowie kostengünstiger zu machen.
- Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung von Silizium-Blöcken zu verbessern.
- Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der Ansprüche 1 und 11 gelöst.
- Der Kern der Erfindung besteht darin, den Boden einer Kokille derart auszubilden, dass beim gerichteten Abkühlen von unten die Schmelze in der Kokille an deren Boden einem orts-variablen Temperaturfeld ausgesetzt ist. Erfindungsgemäß wird dies insbesondere dadurch erreicht, dass der Boden der Kokille einen inhomogenen Wärmedurchgangskoeffizienten aufweist.
- Er hat insbesondere mindestens zwei Bereiche mit unterschiedlichen Wärmedurchgangskoeffizienten. Dies führt dazu, dass die Schmelze im Bereich mit einem höheren Wärmedurchgangskoeffizienten schneller abkühlt und somit die Kristallisation der Schmelze an diesen Stellen bevorzugt beginnt. Ein erfindungsgemäßer Vorteil besteht darin, dass dieser Effekt relativ robust bezüglich einer Variabilität des Schmelzofens, insbesondere der Temperatur-Verteilung in diesem ist.
- Auf besonders einfache Weise lassen sich Bereiche mit unterschiedlichen Wärmedurchgangskoeffizienten dadurch erreichen, dass der Boden eine inhomogene, das heißt eine orts-variable Dicke aufweist. Die Wärmeleitfähigkeit des Bodens kann hierbei konstant sein, das heißt der Boden kann homogen, aus einem einzigen Material gefertigt sein.
- Über eine gezielte Anordnung von Ausnehmungen, das heißt Bereiche mit verminderter Dicke, lässt sich sehr spezifisch und gezielt ein Boden mit einer vorgegebenen Wärmedurchgangskoeffizienten-Verteilung herstellen. Um die Variabilität des Wärmedurchgangskoeffizienten in den übrigen Bereichen zu minimieren, weist der Boden abgesehen von den Ausnehmungen vorzugsweise eine homogene Dicke auf. Anstelle der Ausnehmungen können entsprechend auch Verstärkungen vorgesehen sein.
- Sowohl herstellungstechnisch als auch für die Entnahme des Silizium-Blocks aus der Kokille ist es von Vorteil, wenn die Ausnehmungen auf der Außenseite des Bodens angeordnet sind.
- Je nach Material der Kokille sowie den thermischen Eigenschaften der die Kokille umgebenden Isolierung weisen die Ausnehmungen Ausdehnungen in der Größenordnung von Millimetern bis Zentimetern auf.
- Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren wird zum Abkühlen der Silizium-Schmelze in der Kokille Wärme derart durch den Boden der Kokille abgeführt, dass sich im Bereich des Bodens auf der Innenseite der Kokille zumindest zeitweise eine inhomogene Temperatur-Verteilung einstellt. Hierdurch kann der Kristallisations-Vorgang, insbesondere die Keimbildung am Boden der Kokille, gezielt beeinflusst werden.
- Temperatur-Unterschiede von 0,1 bis 50 Kelvin im Bereich des Kokillen-Bodens können die Keimbildung und damit die Volumenkristallisation entscheidend beeinflussen.
- Es ist vorgesehen, die Kokille aus einem keramischen Material herzustellen. Hierzu wird zunächst ein entsprechender Grünling geformt. Gemäß einer ersten Variante ist vorgesehen, den Grünling vor seiner Aushärtung zu strukturieren. Dies hat den Vorteil, dass der Grünling in diesem Zustand noch relativ weich und daher einfach zu bearbeiten ist.
- Gemäß einer Alternative ist vorgesehen, den Grünling erst nach der Aushärtung in einem Nachbearbeitungs-Schritt zu strukturieren. Hierdurch wird eine sehr präzise Strukturierung der Kokille ermöglicht.
- Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung mehrerer Ausführungsbeispiele anhand der Zeichnungen. Es zeigen:
-
1 einen schematischen Querschnitt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel und -
2 bis16 entsprechende Darstellungen weiterer Alternativen der Vorrichtung gemäß1 . - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
1 ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung1 zur Herstellung von Silizium-Blöcken umfasst ein Gefäß2 zur Aufnahme einer Silizium-Schmelze und eine Tragplatte3 für dasselbe. - Beim Gefäß
2 handelt es sich insbesondere um einen Tiegel oder um eine Kokille. Es hat einen Boden4 und mindestens eine Seitenwand5 . Der Boden4 und die mindestens eine Seitenwand5 haben jeweils eine Innenseite6 und eine Außenseite7 . - Das Gefäß
2 ist symmetrisch zu einer Mittel-Längs-Achse8 . Die Mittel-Längs-Achse8 steht insbesondere senkrecht auf dem Boden4 . Das Gefäß2 hat vorzugsweise einen rechteckigen, quadratischen oder einen kreisförmigen Querschnitt. - Das Gefäß
2 ist vorzugsweise aus Keramik und weist insbesondere zumindest einen Anteil an Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Siliziumoxinitrid oder Siliziumcarbid auf. Das Gefäß2 kann auch Anteile an Graphit aufweisen oder aus Graphit bestehen. - Der Boden
4 hat in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 eine Ausdehnung im Bereich von 10 cm bis 200 cm, insbesondere von mindestens 25 cm, vorzugsweise von mindestens 50 cm. Im Bereich des Bodens4 liegt die Wandstärke im Bereich von 1 cm bis 5 cm, insbesondere im Bereich von 2 cm bis 3 cm. In Richtung der Mittel-Längs-Achse8 haben die Seitenwände5 eine Ausdehnung im Bereich von 20 cm bis 150 cm, insbesondere im Bereich von 50 cm bis 110 cm. Die Seitenwände5 schließen mit dem Boden4 einen Winkel b von mindestens 90° ein. Der Winkel b legt vorzugsweise im Bereich von 92° bis 100°, insbesondere im Bereich von 95° bis 98°. Das Gefäß2 erweitert sich somit ausgehend vom Boden in Richtung der Mittel-Längs-Achse8 . Hierdurch wird eine Entnahme des Silizium-Blocks nach Kristallisation desselben vereinfacht. - Die Tragplatte
3 steht zumindest bereichsweise in direktem Kontakt mit dem Boden4 . Sie bildet zusammen mit dem Boden4 eine Basis9 . Die Tragplatte3 kann einteilig oder mehrteilig aufgebaut sein. Sie umfasst insbesondere eine oder mehrere Schichten. Die Tragplatte3 weist eine Dicke DT auf. Sie hat in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 Abmessungen, welche mindestens so groß, insbesondere mindestens 1,1-mal so groß, sind wie die des Bodens4 des Gefäßes2 . Sie steht vorzugsweise in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 über den Boden4 des Gefäßes über. - Die Tragplatte
3 ist aus einem Material mit einer hohen Wärmeleitfähigkeit. Die Wärmeleitfähigkeit des Materials der Tragplatte3 beträgt mindestens 10 W/(mK). Die Tragplatte3 ist insbesondere zumindest teilweise aus Graphit. Sie kann auch vollständig aus Graphit bestehen. - Erfindungsgemäß sind Mittel zur Erzeugung eines inhomogenen Temperaturfeldes auf der Innenseite
6 des Bodens4 vorgesehen. Hierzu ist die Basis9 derart ausgebildet, dass sie einen inhomogenen Wärmedurchgangskoeffizienten U aufweist. Das heißt die Basis9 weist mindestens zwei Bereiche mit unterschiedlichen Wärmedurchgangskoeffizienten U1, U2 bezogen auf die Richtung der Mittel-Längs-Achse8 auf. - Gemäß dem in
1 dargestellten Ausführungsbeispiel wird dies dadurch erreicht, dass der Boden4 mindestens zwei Bereiche mit unterschiedlichen Wärmedurchgangskoeffizienten UB1, UB2 aufweist. Dies wird dadurch erreicht, dass der Boden4 eine inhomogene Dicke DXY aufweist. Unter einer inhomogenen Dicke sei verstanden, dass die Dicke D des Bodens4 in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 nicht konstant ist, das heißt variiert. Anders ausgedrückt weist der Boden4 mindestens einen Bereich mit einer geringeren Dicke als der Rest des Bodens4 auf. - Die Wärmeleitfähigkeit des Bodens
4 kann dahingegen über die gesamte Erstreckung des Bodens4 konstant sein. Der Boden4 kann insbesondere aus einem einzigen Material hergestellt sein und somit eine konstante Wärmeleitfähigkeit aufweisen. Der Boden4 kann auch bereichsweise aus unterschiedlichen Materialien hergestellt sein. - Die Dickenverteilung des Bodens
4 wird dadurch erreicht, dass der Boden4 eine Vielzahl von Ausnehmungen10 aufweist. Gemäß dem in1 dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Ausnehmungen10 auf der Außenseite7 des Bodens4 angeordnet. Abgesehen von den Ausnehmungen10 weist der Boden4 eine homogene Dicke D0 auf. - Die Ausnehmungen
10 sind sacklochartig ausgebildet. Gemäß dem in1 dargestellten Ausführungsbeispiel weisen sie eine zylindrische Form auf. Die Ausnehmungen10 können einen runden, insbesondere einen kreisförmigen, oder einen vieleckigen, insbesondere einen drei-, vier-, sechs- oder mehreckigen, Querschnitt aufweisen. Sie weisen in Richtung der Mittel-Längs-Achse8 eine Tiefe T im Bereich von 0,5 mm bis 2 cm, insbesondere von höchstens 1 cm, insbesondere von höchstens 5 mm auf. In Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 liegt die Ausdehnung der Ausnehmungen10 im Bereich von 1 mm bis 20 cm, insbesondere höchstens 5 cm, insbesondere höchstens 1 cm. - Die Ausnehmungen
10 sind vorzugsweise gleichmäßig, insbesondere in einem regelmäßigen Muster am Boden4 des Gefäßes2 angeordnet. Sie sind insbesondere symmetrisch zur Mittel-Längs-Achse8 angeordnet. Als Muster für die Anordnung der Ausnehmungen10 kommt insbesondere ein trianguläres, ein quadratisches oder ein hexagonales Muster in Frage. Eine kreisförmige Anordnung der Ausnehmungen10 ist ebenso möglich. Gemäß dem dargestellten Ausführungsbeispiel haben alle Ausnehmungen10 identische Abmessungen. In einer alternativen Ausführungsform kann jedoch auch vorgesehen sein, dass verschiedene Ausnehmungen10 unterschiedliche Abmessungen, insbesondere unterschiedliche Tiefen T oder unterschiedliche Ausdehnungen in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 aufweisen. - Die Ausnehmungen
10 sind in einem wechselseitigen Abstand A zu einander angeordnet. Der Abstand A liegt im Bereich von 3 cm bis 30 cm, insbesondere im Bereich von 5 cm bis 20 cm. Hierbei sind die Anzahl der Ausnehmungen10 , deren Abmessungen und deren Verteilung am Boden4 derart aufeinander abgestimmt, dass die Ausnehmungen10 keinen nachweisbaren Einfluss auf das Temperaturfeld an der Innenseite6 des Bodens4 im Bereich benachbarter Ausnehmungen10 haben. Der Einfluss einer Ausnehmung10 auf das Temperaturfeld an der Innenseite6 des Bodens4 liegt im Bereich von 0,1 K bis 50 K. - Die Anzahl der Ausnehmungen
10 im Boden4 liegt im Bereich von 1 bis 500, insbesondere im Bereich von 4 bis 100, vorzugsweise im Bereich bis 50. - Im Folgenden wird das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen von Silizium-Blöcken beschrieben. Zunächst wird das Gefäß
2 zur Aufnahme einer Silizium-Schmelze bereitgestellt und mit einer Silizium-Schmelze befüllt. Hierzu kann auch Silizium in dem Gefäß2 aufgeschmolzen werden. Zum Auskristallisieren der Silizium-Schmelze wird diese ausgehend vom Boden4 des Gefäßes2 langsam abgekühlt. Unter einer langsamen Abkühlung sei eine Abkühlung von höchstens 0,3 °C/s, insbesondere höchstens 0,1 °C/s verstanden. Hierbei wird Wärme durch den Boden4 des Gefäßes2 abgeführt. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das Abführen der Wärme derart erfolgt, dass sich im Bereich des Bodens4 auf der Innenseite6 des Gefäßes2 zumindest zeitweise, insbesondere zumindest zu Beginn des Kristallisation-Vorgangs der Silizium-Schmelze, eine inhomogene Temperatur-Verteilung einstellt. Aufgrund der Bereiche mit unterschiedlichen Wärmedurchgangskoeffizienten UB1, UB2 bilden sich im Bereich des Bodens4 auf der Innenseite6 des Gefäßes2 insbesondere Bereiche mit höherer und Bereiche mit niedrigerer Temperatur. - Die Ausnehmungen
10 führen beim Abkühlen der Silizium-Schmelze in diesen Bereichen zu einer erhöhten Wärmeabstrahlung im Vergleich zu Bereichen des Bodens4 ohne Ausnehmungen10 und dadurch zu einer größeren Wärmeabfuhr. - Die Temperatur-Verteilung an der Innenseite
6 des Bodens4 umfasst hierbei einen Temperatur-Bereich von mindestens 0,1 K bis 50 K, insbesondere mindestens 1 K, insbesondere mindestens 5 K und höchstens 20 K, insbesondere höchstens 10 K. - Die Bereiche mit niedrigerer Temperatur bilden Keimbildungs-Zentren, an welchen die Kristallisation der Silizium-Schmelze bevorzugt einsetzt. Nach der Ausbildung von Kristallisationskeimen in den Bereichen mit niedrigerer Temperatur wird die Temperatur der Silizium-Schmelze an der Innenseite
6 des Bodens4 weiter so langsam abgesenkt, dass die von den Keimbildungs-Zentren in den Bereichen niedrigerer Temperatur aus anwachsenden Kristalle die Bereiche mit höherer Temperatur vollständig überwachsen haben, bevor die Temperatur so niedrig ist, dass es in letzteren Bereichen zu einer heterogenen Keimbildung kommt. - Zur Herstellung des Gefäßes
2 wird zunächst ein Grünling des Gefäßes2 hergestellt. Gemäß einer ersten Alternative wird der Boden4 des Gefäßes2 vor Aushärtung des Grünlings strukturiert. In einer anderen Alternative wird der Boden4 des Gefäßes2 erst nach der Aushärtung des Grünlings strukturiert. Hierzu sind Nachbearbeitungs-Schritte, insbesondere Bohren, Fräsen oder Schleifen, vorgesehen. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf die
2 eine Alternative der Vorrichtung1a beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß1 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten a. Bei der Alternative gemäß2 haben die Ausnehmungen10a eine konische Form. Ihre Ausdehnung in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 nimmt zur Außenseite7 des Bodens4a hin zu. Sie sind insbesondere derart angeordnet, dass zwei benachbarte Ausnehmungen10a gerade an der Außenseite7 des Bodens4a aneinanderstoßen. Sie können jedoch auch beabstandet zueinander angeordnet sein. Vorzugsweise sind die Ausnehmungen10a in einem triangulären, quadratischen oder hexagonalen Muster angeordnet. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
3 eine weitere Alternative der Vorrichtung1b beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß1 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten b. Bei der Alternative gemäß3 sind die Ausnehmungen10b auf der Innenseite6 des Bodens4b angeordnet. Die Außenseite7 des Bodens4 ist insbesondere plan ausgebildet. Prinzipiell ist es auch denkbar, die Ausnehmungen10b auf der Innenseite6 des Bodens4b mit Ausnehmungen10 ,10a auf der Außenseite7 des Bodens4b zu kombinieren. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
4 eine weitere Alternative der Vorrichtung1c beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß1 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten c. Bei der Alternative gemäß4 sind zur Beeinflussung des Wärmedurchgangskoeffizienten U des Bodens4c Verstärkungen11 vorgesehen. Der Boden4c weist somit eine lokal erhöhte Dicke gegenüber der Dicke D0 auf. Die Verstärkungen sind auf der Innenseite6 des Gefäßes2c angeordnet. Die Verstärkungen11 führen je nach ihrer Ausdehnung in Richtung der Mittel-Längs-Achse8 zu einer Verringerung des Wärmedurchgangskoeffizienten U des Bodens4c . - Die Verstärkungen
11 sind vorzugsweise kegelförmig ausgebildet. Zylindrische Verstärkungen11 sind jedoch ebenso denkbar. - Prinzipiell ist es auch möglich, die Verstärkungen
11 als Schablone auszubilden, welche auch nachträglich in eine Kokillen oder einen Tiegel eingesetzt werden kann. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
5 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie beim ersten Ausführungsbeispiel, auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten d. Beim Ausführungsbeispiel gemäß5 weist die Tragplatte3 Erhebungen12 auf, welche passend zu den Ausnehmungen10 ausgebildet sind. Die Erhebungen12 passen insbesondere formschlüssig in die Ausnehmungen10 im Boden4 des Gefäßes2 . Die dem Boden4 des Gefäßes2 zugewandte Seite der Tragplatte3b bildet somit ein inverses Abbild Letzterer. - Bei diesem Ausführungsbeispiel steht das Gefäß
2 im gesamten Bereich des Bodens4 in direktem Kontakt mit der Tragplatte3d . Durch den direkten Kontakt zwischen dem Boden4 und der Tragplatte3d auch im Bereich der Ausnehmungen10 wird der Wärmefluss im Bereich der Ausnehmungen10 erhöht. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
6 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie beim ersten Ausführungsbeispiel, auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten e. Beim Ausführungsbeispiel gemäß6 setzen sich die Ausnehmungen10e ausgehend vom Boden4e des Gefäßes2e durch die Tragplatte3e hindurch fort. Sie umfassen jeweils eine Tragplatten-Ausnehmung13 in der Tragplatte3e . Gemäß dem in6 dargestellten Ausführungsbeispiel durchdringen die Tragplatten-Ausnehmungen13 die Tragplatte3e in Richtung der Mittel-Längs-Achse8 vollständig. Die Tragplatten-Ausnehmungen13 sind insbesondere fluchtend mit dem im Boden4a des Gefäßes2a angeordneten Teil der Ausnehmungen10e ausgebildet. - Anders ausgedrückt erstrecken sich die Ausnehmungen
10e ausgehend von der dem Boden4e des Gefäßes2e abgewandten Seite der Tragplatte3e in Richtung der Mittel-Längs-Achse8 durch die Tragplatte3e hindurch bis in den Boden4e des Gefäßes2e hinein. Gemäß der in6 dargestellten Ausführungsform sind die Ausnehmungen10e kegelstumpfförmig ausgebildet. Sie erweitern sich stetig, wobei sie im Bereich des Bodens4e geringere Abmessungen aufweisen als im Bereich der Tragplatte3e . Mit den einseitig offenen Ausnehmungen10e in der Basis9e wird insbesondere die Wärmeabfuhr durch Wärmestrahlung erhöht. - Bei diesem Ausführungsbeispiel weist somit auch die Tragplatte
3e zumindest zwei Bereiche mit unterschiedlichen Wärmedurchgangskoeffizienten UT1, UT2 auf. Die Tragplatte3e weist insbesondere eine inhomogene Dicke DTxy auf. - Bei diesem Ausführungsbeispiel gilt DT < T < DT + D0.
- Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
7 eine weitere Alternative der Vorrichtung1f beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß6 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten f. Bei der Alternative gemäß7 sind die Ausnehmungen10f mit den Tragplatten-Ausnehmungen13f identisch. Sie durchdringen die die Tragplatte3f in Richtung der Mittel-Längs-Achse8 vollständig. Sie reichen jedoch nicht in den Boden4f des Gefäßes2f hinein. Die Tiefe T der Ausnehmungen10f ist bei dieser Alternative genauso groß wie die Dicke DT der Tragplatte3f . Bei der Alternative gemäß7 kann die Außenseite7 des Bodens4f plan ausgebildet sein. Sie kann insbesondere planparallel zur Innenseite6 des Bodens4f ausgebildet sein. Der Boden4f kann bei diesem Ausführungsbeispiel somit eine homogene Dicke DB aufweisen. - Selbstverständlich ist es auch bei der Alternative gemäß
7 möglich, Ausnehmungen10 im Boden4f anzuordnen. Insbesondere ist eine Kombination mit einer Ausführungsform gemäß einer der in den1 bis4 dargestellten Alternativen möglich. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
8 eine weitere Alternative der Vorrichtung beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß7 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten g. Bei der Variante gemäß8 erstrecken sich die Ausnehmungen10g in Richtung der Mittel-Längs-Achse8 lediglich über einen Teil der Tragplatte3g . Die Tiefe T der Ausnehmungen10g ist insbesondere kleiner als die Dicke DT der Tragplatte3g , T < DT. Es gilt insbesondere T < 0,9 DT, insbesondere T < 0,7 DT. Die Tragplatte3g hat an ihrer dem Boden4g zugewandten Seite eine plane Oberfläche. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
9 eine weitere Alternative der Vorrichtung beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß8 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten h. Bei der Variante gemäß8 sind die Ausnehmungen10h mit einer ersten Beschichtung15 versehen. Sie sind insbesondere mit der ersten Beschichtung15 ausgekleidet, vorzugsweise vollständig ausgekleidet. - Die erste Beschichtung
15 dient der Erhöhung der Emissivität. Durch die erste Beschichtung15 wird somit die Wärmeabstrahlung im Bereich der Ausnehmungen10h vergrößert. Die erste Beschichtung5 ist derart ausgebildet, dass der Emissionsgrad der Tragplatte3h im Bereich der Ausnehmungen10h um mindestens 5 %, insbesondere um mindestens 10 % gegenüber einer unbeschichteten Tragplatte3 erhöht ist. - Alternativ oder zusätzlich zu der ersten Beschichtung
15 im Bereich der Ausnehmungen10h kann eine zweite Beschichtung16 in den dazwischen liegenden Bereichen, insbesondere auf der dem Boden4f abgewandten Seite der Tragplatte3h , vorgesehen sein. Die zweite Beschichtung16 dient der Verringerung der Emissivität in den Bereichen zwischen den Ausnehmungen10h . Die zweite Beschichtung16 ist derart ausgebildet, dass der Emissionsgrad der Tragplatte3h in den Bereichen zwischen den Ausnehmungen10h um mindestens 5 %, insbesondere mindestens 10 % gegenüber einer unbeschichteten Tragplatte3 verringert ist. - Anstelle der ersten Beschichtung
15 kann vorgesehen sein, die Oberfläche der Tragplatte3h im Bereich der Ausnehmungen10h aufgerauht auszubilden. Entsprechend kann die Oberfläche der Tragplatte3h anstelle der zweiten Beschichtung16 in den Bereichen zwischen den Ausnehmungen10h besonders glatt, insbesondere poliert, ausgebildet sein. Die zweite Beschichtung16 kann auch als Verspiegelung ausgebildet sein. In diesem Fall wird die Reflexion zurück in die Tragplatte3h erhöht und damit die Abstrahlung in den Bereichen zwischen den Ausnehmungen10h verringert. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
10 eine weitere Alternative der Vorrichtung beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß7 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten i. Beim Ausführungsbeispiel gemäß10 sind die Ausnehmungen10i mit einer Füllung17 aufgefüllt. Die Füllung17 weist eine Wärmeleitfähigkeit auf, welche sich von der Wärmeleitfähigkeit der Tragplatte3i in den Bereichen außerhalb der Ausnehmungen10i unterscheidet. Die Wärmeleitfähigkeit der Füllung17 kann insbesondere höher oder niedriger als die der Grundplatte3i in den restlichen Bereichen der Tragplatte3i sein. Die Wärmeleitfähigkeit der Füllung17 unterscheidet sich insbesondere um mindestens 5 %, insbesondere mindestens 10 %, insbesondere mindestens 20 %, von der Wärmeleitfähigkeit in den übrigen Bereichen der Tragplatte3i . - Die Füllung
17 ist aus einem Material, dessen Schmelzpunkt höher liegt als der Schmelzpunkt von Silizium. Der Schmelzpunkt der Füllung17 liegt insbesondere bei mindestens 1500° C, insbesondere bei mindestens 1600°C, vorzugsweise bei mindestens 1700°C. Für die Füllung17 kommt beispielsweise Molybdän, Wolfram oder ein Spezialstahl, insbesondere mit einem Anteil an mindestens einem dieser Elemente infrage. - Bei diesem Ausführungsbeispiel reichen die Ausnehmungen
10i vorzugsweise durch die gesamte Tiefe DT der Tragplatte3i . Somit stehen auch die Füllungen17 vorzugsweise in direktem Kontakt mit dem Boden4f des Gefäßes2f . - Wie in
10 dargestellt, können die Ausnehmungen10i hohlzylindrisch ausgebildet sein. Eine kegelstumpf- oder konusförmige Ausbildung wie bei den im Vorhergehenden beschriebenen Alternativen ist selbstverständlich ebenso möglich. Ebenso können die Ausnehmungen10 bis10h bei den vorhergehend beschriebenen Alternativen auch hohlzylindrisch ausgebildet sein. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
11 eine weitere Alternative der Vorrichtung beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß5 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten j. Wie bei der Alternative gemäß5 weist auch bei der Alternative gemäß11 die Tragplatte3j einen Grundkörper18 und Erhebungen12 auf. Die Erhebungen12 sind auf der dem Boden4f des Gefäßes2f zugewandten Seite der Tragplatte3j angeordnet. Wie in11 dargestellt, kann die Außenseite7 des Bodens4f plan ausgebildet sein. Der Boden4f steht somit ausschließlich im Bereich der Erhebungen12 in direktem Kontakt mit der Tragplatte3d . Bei dem in11 dargestellte Variante sind die Erhebungen12 jeweils in einem wechselseitigen Abstand AE angeordnet, welcher größer ist als die Ausdehnung der Erhebungen12 in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 . Der Abstand AE ist insbesondere mindestens anderthalbmal so groß, vorzugsweise mindestens doppelt so groß wie die Ausdehnung der Erhebungen12 in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 . - Aufgrund der Erhebungen
12 ist der Boden4f des Gefäßes2f beabstandet zum Grundkörper18 der Tragplatte3j angeordnet. Beim Ausführungsbeispiel gemäß11 kann das Medium zwischen dem Boden4f des Gefäßes2f und dem Grundkörper18 der Tragplatte3j in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 zirkulieren, das heißt ein- und ausströmen. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
12 eine weitere Alternative der Vorrichtung beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß11 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten k. Bei der Alternative gemäß12 sind die Ausnehmungen10k als Tragplatten-Ausnehmungen13k an der dem Boden4f des Gefäßes2f zugewandten Seite der Tragplatte3k angeordnet. Sie bilden somit Hohlräume, welche einerseits von der Tragplatte3k , andererseits vom Boden4f begrenzt, insbesondere vollständig abgeschlossen werden. Die Hohlräume sind mit einem Material mit einem Wärmeleitkoeffizienten, welcher unterschiedlich vom Wärmeleitkoeffizienten des Materials der Tragplatte3k ist, gefüllt. Sie sind vorzugsweise mit einem Gas, insbesondere mit einem Inert-Gas oder mit Luft gefüllt. Der Wärmeleitkoeffizient des Materials in den Ausnehmungen10k weist insbesondere einen niedrigeren Wärmeleitkoeffizienten auf als das Material der Tragplatte3k . - Die Ausnehmungen sind in einem wechselseitigen Abstand AA in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse
8 angeordnet, welcher insbesondere größer ist als die Ausdehnung der Ausnehmungen10k in dieser Richtung. Der Abstand AA ist insbesondere mindestens anderthalbmal so groß, insbesondere mindestens doppelt so groß wie die Ausdehnung der Ausnehmungen10k in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 . - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
13 eine weitere Alternative der Vorrichtung beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß12 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten l. Bei der Variante gemäß13 umfasst die Tragplatte3l eine zwischen dem Grundkörper18 und dem Boden4f des Gefäßes2f angeordnete Zwischenschicht19 . Die Zwischenschicht weist Bereiche mit unterschiedlicher Wärmeleitfähigkeit auf. Sie umfasst die Ausnehmungen10l . Die Ausnehmungen10l sind vorzugsweise hohlzylindrisch oder konusförmig ausgebildet. Sie sind entsprechend dem in10 dargestellten Variante mit Füllungen17 aus einem Material höherer oder niedrigerer Wärmeleitfähigkeit als die des restlichen Materials der Zwischenschicht19 aufgefüllt. Die Wärmeleitfähigkeit des Füllungen17 unterscheidet sich insbesondere um mindestens 5 %, insbesondere mindestens 10 %, insbesondere mindestens 20 %, von der Wärmeleitfähigkeit in den übrigen Bereichen der Zwischenschicht19 . - Die Füllungen
17 sind aus einem Material, dessen Schmelzpunkt höher liegt als der Schmelzpunkt von Silizium. Der Schmelzpunkt der Füllungen17 liegt insbesondere bei mindestens 1500° C, insbesondere bei mindestens 1600°C, vorzugsweise bei mindestens 1700°C. Für die Füllung17 kommt beispielsweise Molybdän, Wolfram oder ein Spezialstahl, insbesondere mit einem Anteil an mindestens einem dieser Elemente infrage. - Selbstverständlich können die Ausnehmungen
10l auch leer oder mit einem Gas gefüllt sein. In diesem Fall handelt es sich bei der Zwischenschicht19 um eine Lochplatte. Mittels einer derartigen Lochplatte sind auch bereits bestehende Vorrichtungen zur Herstellung von Silizium-Blöcken auf einfache Weise nachrüstbar. - Die Zwischenschicht
19 hat in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 Abmessungen, welche grade denen des Bodens4f des Gefäßes2f entsprechen. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
14 eine weitere Alternative der Vorrichtung beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß7 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten n. Bei der Variante gemäß14 ist die Ausnehmung10n als Kühlkanal in der Tragplatte3n ausgebildet. Der Kühlkanal ist an eine Kühl-Einrichtung22 angeschlossen, welche in der14 nur schematisch dargestellt ist. Der Kühlkanal ist insbesondere mittels der Kühl-Einrichtung22 mit einem Kühlmedium23 beaufschlagbar. Es handelt sich somit um eine aktive Kühlung zum Abführen der Wärme durch den Boden4f . Beim Betrieb der Kühl-Einrichtung22 durchströmt das Kühl-Medium23 den Kühlkanal in einer Strömungsrichtung24 . Vorzugsweise ist ein geschlossener Kühl-Keislauf25 für das Kühl-Medium23 vorgesehen. - Der Kühlkanal ist insbesondere mäanderförmig in der Tragplatte
3n angeordnet. Er weist Abschnitte mit unterschiedlichen Abständen zum Boden4f des Gefäßes2f auf. Aufgrund der unterschiedlichen Abstände zum Boden4f führt der Kühlkanal durch Bereiche der Basis9n , welche beim Abkühlen der Schmelze unterschiedliche Temperaturen aufweisen. Der Kühlkanal ist somit derart in der Basis9n angeordnet, dass beim Abkühlen der Schmelze ein bereichsweise unterschiedlicher Temperatur-Gradient zwischen der Innenseite6 des Bodens4f und dem Kühlkanal besteht. Dies führt zu einer bereichsweise erhöhten Wärmeabfuhr durch den Boden4f . - Prinzipiell kann der Kühlkanal bis an den Boden
4f des Gefäßes2f reichen. Er wird in diesem Fall bereichsweise vom Boden4f des Gefäßes2f begrenzt. Der Kühlkanal kann auch, wie in der14 dargestellt, vollständig in der Tragplatte3n angeordnet sein. - Vorzugsweise weist der Kühlkanal über seine gesamte Länge im Bereich der Tragplatte
3n eine in Richtung der Mittel-Längs-Achse8 konstante Ausdehnung auf. Ein konstanter Strömungs-Querschnitt ist ebenso möglich. Alternativ ist jedoch auch möglich die Ausdehnung des Kühlkanals in Richtung der Mittel-Längs-Achse8 über seine Länge zu variieren. Auch hierdurch kann die Wärmeabfuhr durch den Boden beeinflusst werden. - Als Kühlmedium
23 ist insbesondere ein Fluid, vorzugsweise ein Gas, insbesondere ein Inertgas, beispielsweise Helium oder Argon, vorgesehen. - Es ist außerdem möglich, mehrere Kühlkanäle in der Tragplatte
3m vorzusehen. Diese können von einer gemeinsamen Kühl-Einrichtung22 oder von mehreren Kühl-Einrichtungen22 mit Kühl-Medium23 beaufschlagt werden. - Mittels des Kühlkanals ist eine besonders effiziente Wärmeabfuhr aus der Tragplatte
3n möglich. Mittels der Kühl-Einrichtung22 lässt sich an der dem Boden4f des Gefäßes2f zugewandten Seite der Tragplatte3n und damit auch sowohl an der Außenseite7 als auch an der Innenseite6 des Bodens4f ein inhomogenes Temperaturfeld erzeugen. - Besonders vorteilhaft an der Ausführungsform gemäß
14 ist, dass die bereichsweise Erhöhung der Wärmeabfuhr durch den Boden4f des Gefäßes2f mittels der Kühl-Einrichtung22 kontrollierbar ist. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
15 eine weitere Alternative der Vorrichtung beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß8 , auf dessen Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten n. Bei der Alternative gemäß15 sind die Ausnehmungen10o in der Tragplatte3o entsprechend den Ausführungsbeispielen gemäß einer der6 bis9 ausgebildet. Zur aktiven Kühlung, das heißt Wärmeabfuhr, im Bereich der Ausnehmungen10o , sind wie beim Ausführungsbeispiel gemäß14 ein oder mehrere Kühl-Einrichtungen22o vorgesehen. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist für jede der Ausnehmungen10o ein eigener Kühl-Kreislauf25o vorgesehen. Der Kühl-Kreislauf25o umfasst jeweils eine zentral in der Ausnehmung10o angeordnete Kühlmittel-Zufuhr-Leitung26 und eine Kühlmittel-Rückfuhr-Leitung27 . - Die Kühlmittel-Zufuhr-Leitung
26 ist vorzugsweise jeweils in Richtung parallel zur Mittel-Längs-Achse8 ausgerichtet. Die Kühlmittel-Rückfuhr-Leitung27 ist im Bereich der Ausnehmung10o jeweils konzentrisch zur Kühlmittel-Zufuhr-Leitung26 angeordnet. Die Zufuhr des Kühlmediums23 kann somit im Wesentlichen entlang des Temperatur-Gradienten erfolgen. Ebenso kann die Abfuhr des Kühlmediums23 im Wesentlichen entlang des Temperatur-Gradienten erfolgen. - Die Kühl-Kreisläufe
25o weisen jeweils eine separate Kühl-Einrichtung22o auf. Eine gemeinsame Kühl-Einrichtung22o ist jedoch ebenso möglich. - Bei dieser Alternative ist der Volumenstrom des Kühlmediums
23 durch die Basis9o in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 variabel, das heißt abhängig von der Position bezüglich der Mittel-Längs-Achse8 . - Bei der dargestellten Alternative weisen die Ausnehmungen
10o eine Tiefe T auf, welche geringer ist als die Tiefe DT der Tragplatte3o . Entsprechend den vorhergehend beschriebenen Ausführungsbeispielen können die Ausnehmungen10o auch bis an den Boden4f des Gefäßes2f reichen, T = DT, oder bis in den Boden4f des Gefäßes2f hineinreichen, DT + D0 > T > DT. - Auch die Geometrie der Ausnehmungen
10o kann entsprechend den vorhergehend beschriebenen Alternativen variiert werden. Die Ausnehmungen10o können insbesondere kegelstumpfförmig oder zylindrisch ausgebildet sein. - Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf
16 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. Identische Teile erhalten dieselben Bezugszeichen wie beim Ausführungsbeispiel gemäß1 , auf deren Beschreibung hiermit verwiesen wird. Funktionell gleichartige, jedoch konstruktiv unterschiedliche Teile erhalten dieselben Bezugszeichen mit einem nachgestellten p. Während die Innenseite6 des Bodens4 beim Ausführungsbeispiel gemäß1 plan ausgebildet ist, sind die Ausnehmungen10p beim Ausführungsbeispiel gemäß16 sowohl auf der Innenseite6p als auch auf der Außenseite7p des Bodens4p angeordnet. Hierbei liegen die Ausnehmungen10p auf der Innenseite6p nicht gegenüber den Vertiefungen10p auf der Außenseite7p . Die Ausnehmungen10p auf der Innenseite6p sind mit anderen Worten jeweils in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse8 zu denen auf der Außenseite7p versetzt angeordnet. Unter einer versetzten Anordnung sei verstanden, dass die Ausnehmungen10p auf der Innenseite6p und der Außenseite7p des Bodens4p in Richtung der Mittel-Längs-Achse8 zumindest nicht exakt miteinander fluchten. Sie können jedoch teilweise überlappend angeordnet sein. Vorzugsweise sind die Ausnehmungen10p auf der Innenseite6p und der Außenseite7p des Bodens4p in Richtung der Mittel-Längs-Achse8 überlappungsfrei angeordnet. Entsprechend sind die Ausnehmungen10p auf der Außenseite7p selbstverständlich ebenfalls versetzt zu denen auf der Innenseite6p angeordnet. Wie bei den vorhergehend beschriebenen Ausführungsbeispielen ist eine Vielzahl von Ausnehmungen10p vorgesehen, welche beim Betrieb der Vorrichtung Wärmesenken bilden und somit eine Vielzahl von Keimbildungsorten vorgeben. In der16 ist eine Ausführungsform mit zylindrisch ausgebildeten Ausnehmungen10p dargestellt. Selbstverständlich können die Ausnehmungen10p eine hiervon abweichende Geometrie aufweisen. Sie können insbesondere trichter- oder kegelstumpfförmig oder pyramidal ausgebildet sein. Die Ausnehmungen10p auf der Innenseite6p des Bodens4p können identisch zu den Ausnehmungen10p auf der Außenseite7p des Bodens4p ausgebildet sein. Die Ausnehmungen10p auf der Innenseite6p des Bodens4p können auch eine geometrische Ausbildung aufweisen, welche von der der Ausnehmungen10p auf der Außenseite7p des Bodens4p abweicht. - Selbstverständlich können die Details der in den verschiedenen Figuren dargestellten Alternativen beliebig miteinander kombiniert werden. So ist es insbesondere möglich, die Strukturierung des Bodens
4 bis4e des Gefäßes2 bis2e gemäß einem der in den1 bis6 dargestellten Alternativen beliebig mit den Ausbildungen der Tragplatte3 bis3o gemäß einem der dargestellten Alternativen zu kombinieren. - Ebenso kann eine oder mehrere Kühl-Einrichtungen
22 , wie in den14 und15 dargestellt, bei allen übrigen Alternativen ebenso vorgesehen sein. - Auf besonders einfache Weise kann die Zwischenschicht
19 gemäß dem in13 dargestellten Alternative mit den übrigen Ausführungsbeispielen kombiniert werden. - Beschichtungen
15 ,16 , wie im Zusammenhang mit der Alternative gemäß9 beschrieben, können auch bei den übrigen Alternativen vorgesehen sein. Sie können insbesondere auch im Bereich des Bodens4 bis4f des Gefäßes2 bis2f vorgesehen sein. Ebenso kann der Boden4 bis4f bereichsweise aufgeraut oder poliert ausgebildet sein. - Weitere Kombinationen sind ebenfalls möglich.
Claims (12)
- Vorrichtung zur Herstellung von Silizium-Blöcken umfassend a. ein Gefäß (
2 ;2e ;2p ) zur Aufnahme einer Silizium-Schmelze mit i. einem Boden (4 ;4e ;4p ), ii. einer Innenseite (6 ), iii. einer Außenseite (7 ) und iv. einer Mittel-Längs-Achse (8 ), b. wobei der Boden (4 ;4e ;4p ) i. eine Erstreckung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse (8 ) aufweist und ii. über seine Erstreckung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse (8 ) mindestens zwei Bereiche mit unterschiedlichen Wärmedurchgangskoeffizienten (UB1, UB2) aufweist, c. wobei der Boden (4 ;4e ;4p ) eine Vielzahl von sacklochartigen Ausnehmungen (10 ;10e ;10p ) aufweist und d. wobei die Ausnehmungen (10 ;10e ;10p ) eine zylindrische Form aufweisen. - Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (
10 ;10e ;10p ) mit einer Beschichtung (15 ) versehen sind. - Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Boden (
4 ;4e ;4p ) eine inhomogene Dicke (Dxy) aufweist. - Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Boden (
4 ;4e ;4p ) eine konstante Wärmeleitfähigkeit aufweist. - Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Boden (
4 ;4e ;4p ) abgesehen von den Ausnehmungen (10 ;10e ;10p ) eine homogene Dicke (D0) aufweist. - Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (
10 ;10e ;10p ) auf der Außenseite (7 ) des Bodens (4 ;4e ;4p ) vorgesehen ist. - Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Boden (
4p ) sowohl auf der Innenseite (6p ) als auch auf der Außenseite (7p ) Ausnehmungen (10p ) aufweist. - Vorrichtung gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (
10p ) auf der Innenseite (6p ) des Bodens (4p ) jeweils in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse (8 ) versetzt zu den Ausnehmungen (10p ) auf der Außenseite (7p ) des Bodens (4p ) angeordnet sind. - Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (
10 ;10e ;10p ) in Richtung der Mittel-Längs-Achse (8 ) eine Tiefe (T) im Bereich von 0,5 mm bis 2 cm, insbesondere von höchstens 1 cm, insbesondere von höchstens 5 mm aufweist. - Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (
10 ;10e ;10p ) in Richtung senkrecht zur Mittel-Längs-Achse (8 ) eine Ausdehnung im Bereich von 1 mm bis 20 cm, insbesondere von höchstens 5 cm, insbesondere von höchstens 1 cm aufweist. - Verfahren zum Herstellen von Silizium-Blöcken umfassend die folgenden Schritte: – Bereitstellen einer Vorrichtung gemäß einem Ansprüche 1 bis 10, – Bereitstellen einer Silizium-Schmelze in dem Gefäß (
2 ;2e ;2p ), – Abführen von Wärme durch den Boden (4 ;4e ;4p ) des Gefäßes (2 ;2e ;2p ) zum Abkühlen der Silizium-Schmelze, – wobei das Abführen der Wärme derart erfolgt, dass sich im Bereich des Bodens (4 ;4e ;4p ) auf der Innenseite (6 ) des Gefäßes (2 ;2e ;2p ) zumindest zeitweise eine inhomogene Temperatur-Verteilung einstellt. - Verfahren gemäß Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur-Verteilung einen Temperatur-Bereich von mindestens 0,1 K, insbesondere mindestens 1 K, insbesondere mindestens 5 K und höchstens 50 K, insbesondere höchstens 10 K umfasst.
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