DE102010046090A1 - Gehäuse für ein optoelektronisches Halbleiterbauelement und Halbleiterbauelement - Google Patents
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Abstract
Es wird ein Gehäuse (1) für ein optoelektronisches Halbleiterbauelement (10) angegeben. Das Gehäuse (1) weist einen Gehäusekörper (2), einen ersten Anschlussleiter (31) und einen zweiten Anschlussleiter (32) auf, wobei sich der erste Anschlussleiter (31) und der zweite Anschlussleiter (32) in einer vertikalen Richtung jeweils durch den Gehäusekörper (2) hindurch erstrecken. Weiterhin wird ein Halbleiterbauelement (10) mit einem solchen Gehäuse (1) und einem Halbleiterchip (6) angegeben.
Description
- Die vorliegende Anmeldung betrifft ein Gehäuse für ein optoelektronisches Halbleiterbauelement sowie ein Halbleiterbauelement mit einem solchen Gehäuse.
- Für Halbleiterlaserdioden mit Abwärmeleistungen bis in den Watt-Bereich finden oftmals so genannte TO-Gehäuse, beispielsweise TO56-, TO38- oder TO9-Gehäuse Anwendung. Aufgrund des vergleichsweise komplizierten Aufbaus dieser Metallgehäuse sind diese jedoch für Anwendungen im Consumer-Markt zu kostenintensiv.
- Eine Aufgabe ist es ein Gehäuse für ein optoelektronisches Halbleiterbauelement anzugeben, das einfach und kostengünstig herstellbar ist und gleichzeitig eine gute Wärmeabfuhr aus dem Halbleiterbauelement gewährleistet.
- Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand des Patentanspruchs 1 gelöst. Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Patentansprüche.
- Ein Gehäuse für ein optoelektronisches Halbleiterbauelement weist gemäß einer Ausführungsform einen Gehäusekörper, einen ersten Anschlussleiter und einen zweiten Anschlussleiter auf. Der erste Anschlussleiter und der zweite Anschlussleiter erstrecken sich in vertikaler Richtung jeweils durch den Gehäusekörper hindurch.
- Der erste Anschlussleiter und der zweite Anschlussleiter ragen somit jeweils aus zwei gegenüberliegenden Seiten des Gehäusekörpers heraus. Somit können die Anschlussleiter jeweils auf der einen Seite des Gehäusekörpers für die elektrische Kontaktierung eines optoelektronischen Halbleiterchips und auf der gegenüberliegenden Seite des Gehäusekörpers der externen elektrischen Kontaktierung des Halbleiterbauelements dienen. Der erste Anschlussleiter ist vorzugsweise für die Befestigung des Halbleiterchips vorgesehen.
- In einer bevorzugten Ausgestaltung ist der Gehäusekörper ein Kunststoffkörper, der an den ersten Anschlussleiter und an den zweiten Anschlussleiter angeformt ist. Ein solcher Gehäusekörper ist mittels eines Gießverfahrens besonders einfach und kostengünstig herstellbar. Unter einem Gießverfahren wird allgemein ein Verfahren verstanden, mit dem eine Formmasse gemäß einer vorgegebenen Form ausgestaltet werden kann, beispielsweise mittels Gießens, Spritzgießens (injection molding) oder Spritzpressens (transfer molding).
- Unter einer vertikalen Richtung wird im Zweifel insbesondere eine Richtung verstanden, die senkrecht zu einer Haupterstreckungsebene des Gehäusekörpers verläuft. Vorzugsweise verläuft zumindest eine der Hauptflächen des Gehäusekörpers parallel zur Haupterstreckungsebene des Gehäusekörpers.
- In einer bevorzugten Ausgestaltung sind der erste Anschlussleiter und der zweite Anschlussleiter in einer zur vertikalen Richtung senkrecht verlaufenden lateralen Richtung voneinander beabstandet. Die Anschlussleiter sind also lediglich über den Gehäusekörper mechanisch stabil miteinander verbunden. Weiterhin bevorzugt verlaufen der erste Anschlussleiter und der zweite Anschlussleiter parallel zueinander.
- In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist eine entlang der vertikalen Richtung verlaufende Seitenfläche des ersten Anschlussleiters als eine Montagefläche für einen Halbleiterchip vorgesehen. Somit erfolgt die Abstrahlung eines Halbleiterchips, der als kantenemittierender Halbleiterlaserchip ausgebildet ist, in vertikaler Richtung.
- In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung verlaufen der erste Anschlussleiter und der zweite Anschlussleiter in einer Ebene, die durch die vertikale Richtung und durch die laterale Richtung aufgespannt wird. Mit anderen Worten verlaufen die Ebene, in der die Anschlussleiter ausgebildet sind, und die Haupterstreckungsebene des Gehäusekörpers senkrecht zueinander.
- Bei der Herstellung des Gehäuses können der erste Anschlussleiter und der zweite Anschlussleiter in einfacher Weise aus einem ebenen Metallblech hervorgehen. Das Metallblech kann beispielsweise Kupfer oder eine kupferhaltige Legierung enthalten oder aus einem solchen Material bestehen.
- In einer bevorzugten Ausgestaltung ist der erste Anschlussleiter derart ausgebildet, dass die im Betrieb des Halbleiterbauelements im Halbleiterchip erzeugte Abwärme effizient über den ersten Anschlussleiter abgeführt werden kann.
- Vorzugsweise weist der erste Anschlussleiter einen Querschnitt von mindestens 1 mm2 auf. In einem Gehäuse mit einem derartigen ersten Anschlussleiter können auch Halbleiterchips montiert werden, die im Betrieb Abwärmeleistungen von 0,1 W oder mehr erzeugen.
- Der erste Anschlussleiter kann also sowohl der elektrischen als auch der thermischen Kontaktierung des Halbleiterchips dienen. Ein separater Anschluss zur Wärmeabführung ist somit nicht erforderlich.
- In einer bevorzugten Ausgestaltung weist das Gehäuse eine Kappe auf, die den ersten Anschlussleiter und den zweiten Anschlussleiter auf einer Seite des Gehäusekörpers umgibt. Mittels der Kappe kann der Halbleiterchip vor äußeren Einflüssen wie mechanischer Belastung oder Feuchtigkeit geschützt werden. Die Kappe ist vorzugsweise auf den Gehäusekörper steckbar ausgebildet. Nach der Montage des Halbleiterchips in dem Gehäuse kann die Kappe an dem Gehäusekörper befestigt werden. Die Verbindung mit dem Gehäusekörper kann je nach Anwendung dauerhaft oder lösbar, beispielsweise mittels einer Steckverbindung oder einer Rastverbindung, ausgebildet sein.
- Die Kappe weist vorzugsweise einen Deckel und einen den Deckel umlaufenden Mantel auf. Der Deckel ist zweckmäßigerweise für die von dem Halbleiterchip zu erzeugende Strahlung, beispielsweise Strahlung im ultravioletten, sichtbaren und/oder infraroten Spektralbereich durchlässig ausgebildet.
- In einer Ausgestaltungsvariante ist die Kappe einstückig ausgebildet und strahlungsdurchlässig.
- In einer alternativen Ausgestaltungsvariante weisen der Deckel und der Mantel voneinander verschiedene Materialien auf. Der Mantel muss nicht notwendigerweise für die vom Halbleiterchip zu erzeugende Strahlung durchlässig ausgebildet sein.
- Beispielsweise kann der Mantel ein Metall oder eine metallische Legierung enthalten oder aus einem solchen Material bestehen.
- Mittels eines strahlungsundurchlässigen Mantels kann vermieden werden, dass ungewollt Strahlung in lateraler Richtung aus dem Halbleiterbauelement austritt.
- Das beschriebene Gehäuse eignet sich insbesondere für ein Halbleiterbauelement, bei dem ein Halbleiterchip an dem ersten Anschlussleiter befestigt ist. Eine Hauptabstrahlrichtung des Halbleiterchips verläuft vorzugsweise entlang der vertikalen Richtung.
- Der Halbleiterchip ist vorzugsweise frei von einer den Halbleiterchip umgebenden Umhüllung in dem Gehäuse montiert. Gegenüber einer Gehäuseform, bei der der Halbleiterchip nach der Montage an einem Leiterrahmen mit einem Vergussmaterial umgossen wird, zeichnet sich das Halbleiterbauelement durch eine hohe Alterungsstabilität aus. Die Gefahr einer Verringerung der abgestrahlten Strahlungsleistung aufgrund einer Verfärbung oder Eintrübung der Umhüllung, ist kann so ausgeschlossen werden.
- Der Halbleiterchip kann mittels eines Lots am ersten Anschlussleiter befestigt werden. Eine Lotverbindung zeichnet sich durch eine hohe thermische Leitfähigkeit aus.
- Alternativ kann der Halbleiterchip auch mittels eines Klebemittels am ersten Anschlussleiter befestigt sein. Vorzugsweise ist der Halbleiterchip mittels eines mit elektrisch leitfähigen Partikeln hoch gefüllten Klebemittels befestigt. Unter hoch gefüllt wird in diesem Zusammenhang verstanden, dass das Klebemittel zu einem Gewichtsanteil von mindestens 80% elektrisch leitfähige Partikel, beispielsweise Metallpartikel, etwa Silberpartikel, enthält.
- Das Gehäuse ist vorzugsweise derart ausgebildet, dass der Gehäusekörper auf einer vom Halbleiterchip abgewandten Seite eine Auflagefläche bildet, auf der das Gehäuse bei der Montage auf einem Anschlussträger vollflächig oder zumindest bereichsweise aufliegt.
- Weitere Merkmale, Ausgestaltungen und Zweckmäßigkeiten ergeben sich aus der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den Figuren.
- Es zeigen:
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1A bis1C ein erstes Ausführungsbeispiel für ein Halbleiterbauelement mit einem Gehäuse in schematischer Aufsicht (1A ) und in zwei Seitenansichten aus zueinander senkrechten Richtungen in den1B und1C ; -
2A bis2C ein zweites Ausführungsbeispiel für ein Halbleiterbauelement mit einem Gehäuse in schematischer Aufsicht (2A ) und in zwei Seitenansichten aus zueinander senkrechten Richtungen in den2B und2C ; -
3A und3B ein drittes Ausführungsbeispiel für ein Halbleiterbauelement mit einem Gehäuse anhand von zwei Seitenansichten aus zueinander senkrechten Richtungen; und -
4A bis4C ein viertes Ausführungsbeispiel für ein Halbleiterbauelement mit einem Gehäuse in schematischer Aufsicht (4A ) und in zwei Seitenansichten aus zueinander senkrechten Richtungen in den4B und4C . - Gleiche, gleichartige oder gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit denselben Bezugszeichen versehen.
- Die Figuren und die Größenverhältnisse der in den Figuren dargestellten Elemente untereinander sind nicht als maßstäblich zu betrachten. Vielmehr können einzelne Elemente zur verbesserten Darstellbarkeit und/oder zum besseren Verständnis übertrieben groß dargestellt sein.
- Ein erstes Ausführungsbeispiel für ein Halbleiterbauelement
10 mit einem Gehäuse1 und einem an dem Gehäuse befestigten Halbleiterchip6 ist in den1A bis1C schematisch dargestellt. Das Gehäuse1 weist einen Gehäusekörper2 , einen ersten Anschlussleiter31 und einen zweiten Anschlussleiter32 auf. Die Anschlussleiter bilden einen Leiterrahmen für das Gehäuse. Der Gehäusekörper2 weist eine erste Hauptfläche21 und eine zweite Hauptfläche22 auf, zwischen denen sich der Gehäusekörper2 in vertikaler Richtung erstreckt. - Der erste Anschlussleiter
31 und der zweite Anschlussleiter32 verlaufen parallel zueinander und durchdringen den Gehäusekörper2 in vertikaler Richtung, insbesondere senkrecht zu der ersten Hauptfläche. Eine durch die Anschlussleiter aufgespannte Ebene verläuft also senkrecht zur ersten Hauptfläche21 des Gehäusekörpers. Eine in vertikaler Richtung verlaufende Seitenfläche310 des ersten Anschlussleiters31 bildet eine Montagefläche310 , an der der Halbleiterchip6 an dem vorgefertigten Gehäuse1 befestigt ist. Der Halbleiterchip6 ist mittels einer Verbindungsschicht5 an dem ersten Anschlussleiter31 befestigt. Für die Verbindungsschicht eignet sich insbesondere ein Lot oder ein elektrisch leitfähiges Klebemittel. Zur Erhöhung der thermischen und elektrischen Leitfähigkeit ist das Klebemittel vorzugsweise als ein mit elektrisch leitfähigen Partikeln hoch gefülltes Klebemittel ausgeführt. Vorzugsweise enthält das Klebemittel zu einem Gewichtsanteil von mindestens 80% elektrisch leitfähige Partikel. - Der Gehäusekörper
2 ist vorzugsweise als ein Kunststoffkörper ausgebildet, der an die Anschlussleiter31 ,32 angeformt ist. Beispielsweise kann der Gehäusekörper mittels eines Gießverfahrens, etwa durch Gießen, Spritzgießen oder Spritzpressen, hergestellt sein. - Der Kunststoffkörper kann beispielsweise ein Polymermaterial, etwa ein Flüssigkristallpolymermaterial und/oder einen Thermoplast, etwa Polyetheretherketon (PEEK), enthalten oder aus einem solchen Material bestehen.
- Der erste Anschlussleiter
31 und der zweite Anschlussleiter32 können bei der Herstellung aus einem ebenen Metallblech, beispielsweise einem Kupferblech oder einem Blech, das auf einer Kupferlegierung basiert, hergestellt sein. Beispielsweise können der erste Anschlussleiter31 und der zweite Anschlussleiter32 mittels Stanzens auf einfache und reproduzierbare Weise ausgebildet werden. - Der zweite Anschlussleiter
32 ist über eine Verbindungsleitung7 , etwa eine Drahtbondverbindung, mit dem Halbleiterchip6 verbunden. Die seitens der zweiten Hauptfläche22 aus dem Gehäusekörper2 herausragenden Bereiche der Anschlussleiter31 ,32 können somit der externen elektrischen Kontaktierung des Halbleiterbauelements10 dienen. Durch Verbinden der Anschlussleiter mit einer externen Stromquelle können Ladungsträger im Betrieb des Halbleiterbauelements von verschiedenen Seiten in einen zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich (nicht explizit dargestellt) des Halbleiterchips6 injiziert werden und dort unter Emission von Strahlung rekombinieren. - In dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Halbleiterchip
6 als ein kantenemittierender Halbleiterlaserchip ausgebildet. Eine Hauptabstrahlungsrichtung des Halbleiterchips6 ist anhand eines Pfeils9 veranschaulicht. - Die Hauptabstrahlungsrichtung verläuft somit in vertikaler Richtung, also senkrecht zu einer Haupterstreckungsebene des Gehäusekörpers
2 . - Ein Querschnitt des ersten Anschlussleiters
31 ist zweckmäßigerweise derart an die Abwärmeleistung des zu montierenden Halbleiterchips6 angepasst, dass die erzeugte Abwärme effizient aus dem Halbleiterchip abgeführt werden kann. - Vorzugsweise beträgt die Querschnittsfläche mindestens 1 mm2. Beispielsweise hat sich gezeigt, dass mit einem Querschnitt des ersten Anschlussleiters
31 von 1 × 2,5 mm2 aus einem Kupferblech und einem Lot als Verbindungsschicht ein thermischer Widerstand von 50 K/W oder weniger erzielt werden kann. - Das beschriebene Gehäuse
1 eignet sich somit insbesondere für Halbleiterchips, deren Abwärmeleistung 0,1 W oder mehr beträgt. - Das Gehäuse
1 zeichnet sich weiterhin durch seinen besonders einfachen Aufbau und seine kostengünstige Herstellbarkeit aus. Insbesondere können die Anschlussleiter31 ,32 durch einfaches Strukturieren aus einem in ebener Form vorliegenden Grundmaterial hervorgehen. Durch eine Anordnung der Haupterstreckungsebene der Anschlussleiter31 ,32 senkrecht zu der Haupterstreckungsebene des Gehäusekörpers2 ist auf einfache Weise ein Gehäuse realisiert, bei dem ein kantenemittierender Laser in einer zur Haupterstreckungsebene des Gehäuses senkrechten Richtung seine Hauptabstrahlungsrichtung aufweist. - Bei der Montage des Halbleiterbauelements kann das Halbleiterbauelements seitens der zweiten Hauptfläche
22 des Gehäusekörpers2 auf einem Anschlussträger, etwa einer gedruckten Leiterplatte (printed circuit board, PCB), insbesondere vollflächig aufliegen. - In dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Gehäusekörper
2 in Aufsicht kreisförmig ausgebildet. Je nach Anwendung kann aber auch eine andere Grundfläche Anwendung finden, beispielsweise eine Grundfläche mit einer ovalen Grundform oder einer rechteckigen Grundform. - Ein zweites Ausführungsbeispiel für ein Halbleiterbauelement
10 mit einem Gehäuse1 ist in den2A bis2C schematisch dargestellt. Dieses Ausführungsbeispiel entspricht im Wesentlichen dem im Zusammenhang mit1 beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel. - Im Unterschied hierzu weist das Gehäuse
1 zusätzlich zum Gehäusekörper2 eine Kappe8 auf. Die Kappe8 umfasst einen den Gehäusekörper2 in lateraler Richtung umlaufenden Mantel81 und einen parallel zur ersten Hauptfläche21 des Gehäusekörpers verlaufenden Deckel82 . In diesem Ausführungsbeispiel ist die Kappe mit Mantel und Deckel einstückig ausgebildet. - Zweckmäßigerweise ist die Kappe, insbesondere der Deckel, für die vom Halbleiterchip im Betrieb erzeugte Strahlung, beispielsweise Strahlung im ultravioletten, sichtbaren und/oder infraroten Spektralbereich transparent oder zumindest transluzent ausgebildet. Die Kappe kann beispielsweise einen Kunststoff oder ein Glas enthalten oder aus einem solchen Material bestehen.
- Die Kappe
8 dient insbesondere dem Schutz des Halbleiterchips6 vor äußeren Einflüssen wie mechanischer Belastung, Feuchtigkeit oder Staub. - Eine Umhüllung des Halbleiterchips
6 ist hierfür nicht erforderlich. Die Gefahr einer Degradation der emittierten Leistung aufgrund von Alterungseffekten des Umhüllungsmaterials kann so vermieden werden. Der von der Kappe8 und dem Gehäusekörper2 , vorzugsweise dicht, umschlossene Innenraum des Gehäuses1 kann luftgefüllt oder mit einem Schutzgas befüllt sein. Weiterhin kann sich der Innenraum auf normalem Atmosphärendruck, auf einem Unterdruck oder auf einem Überdruck befinden. - Ein drittes Ausführungsbeispiel für ein Halbleiterbauelement mit einem Gehäuse ist in den
3A und3B dargestellt. Dieses dritte Ausführungsbeispiel entspricht im Wesentlichen dem im Zusammenhang mit den2A bis2C dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel. - Im Unterschied hierzu sind der Mantel
81 und der Deckel82 der Kappe8 als gesonderte Bauteile gefertigt. In diesem Fall kann der Mantel auch aus einem für die vom Halbleiterchip6 erzeugte Strahlung undurchlässigen Material gefertigt sein. Beispielsweise kann der Mantel ein Metall oder eine metallische Legierung enthalten oder aus einem solchen Material bestehen. - Zur verbesserten Darstellbarkeit ist der Deckel
8 in den Seitenansichten jeweils lediglich in Schnittansicht dargestellt. - Der Deckel
82 ist in den Mantel81 eingelegt und zweckmäßigerweise mechanisch stabil und dauerhaft mit dem Mantel verbunden. - Je nach Anwendung kann die Kappe
8 an dem Gehäusekörper2 lösbar, beispielsweise abziehbar, befestigt sein oder, beispielsweise mittels eines Klebemittels, dauerhaft mechanisch stabil mit dem Gehäusekörper2 verbunden sein. - Ein viertes Ausführungsbeispiel für ein Halbleiterbauelement ist in den
4A bis4C schematisch dargestellt. Dieses vierte Ausführungsbeispiel entspricht im Wesentlichen dem im Zusammenhang mit den1A bis1C beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel. Im Unterschied hierzu weist der Gehäusekörper2 seitens der zweiten Hauptfläche22 Erhebungen25 auf. Die Erhebungen sind als Auflagepunkte bei der Montage des Halbleiterbauelements, beispielsweise auf einer gedruckten Leiterplatte, vorgesehen. In Aufsicht auf den Gehäusekörper sind die Erhebungen auf gegenüberliegenden Seiten der Anschlussleiter31 ,32 angeordnet. Die Gefahr eines Verkippens des Halbleiterbauelements ist so vermindert. Von der gezeigten Darstellung abweichend können auch mehr als zwei Erhebungen, beispielsweise drei Erhebungen, oder auch nur eine Erhebung zweckmäßig sein. Mittels der zumindest einen Erhebung ist eine genaue Positionierung des Halbleiterbauelements10 bei der Montage vereinfacht. - Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder den Ausführungsbeispielen angegeben ist.
Claims (15)
- Gehäuse (
1 ) für ein optoelektronisches Halbleiterbauelement (10 ), bei dem das Gehäuse (1 ) einen Gehäusekörper (2 ), einen ersten Anschlussleiter (31 ) und einen zweiten Anschlussleiter (32 ) aufweist, wobei sich der erste Anschlussleiter (31 ) und der zweite Anschlussleiter (32 ) in einer vertikalen Richtung jeweils durch den Gehäusekörper (2 ) hindurch erstrecken. - Gehäuse nach Anspruch 1, bei dem der Gehäusekörper ein Kunststoffkörper ist, der an den ersten Anschlussleiter und an den zweiten Anschlussleiter angeformt ist.
- Gehäuse nach Anspruch 1 oder 2, bei dem der erste Anschlussleiter und der zweite Anschlussleiter in einer zur vertikalen Richtung senkrecht verlaufenden lateralen Richtung voneinander beabstandet sind.
- Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem eine entlang der vertikalen Richtung verlaufende Seitenfläche des ersten Anschlussleiters als eine Montagefläche (
310 ) für einen Halbleiterchip vorgesehen ist. - Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem der erste Anschlussleiter und der zweite Anschlussleiter in einer Ebene verlaufen, die durch die vertikale Richtung und durch die laterale Richtung aufgespannt wird.
- Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der erste Anschlussleiter einen Querschnitt von mindestens 1 mm2 aufweist.
- Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem das Gehäuse eine Kappe (
8 ) aufweist, die den ersten Anschlussleiter und den zweiten Anschlussleiter auf einer Seite des Gehäusekörpers umgibt. - Gehäuse nach Anspruch 7, bei dem die Kappe auf den Gehäusekörper steckbar ausgebildet ist.
- Gehäuse nach Anspruch 7 oder 8, bei dem die Kappe einstückig ausgebildet ist und für Strahlung im ultravioletten, sichtbaren und/oder infraroten Spektralbereich durchlässig ist.
- Gehäuse nach Anspruch 7 oder 8, bei dem die Kappe einen Deckel (
82 ) und einen den Deckel umlaufenden Mantel (81 ) aufweist, wobei der Deckel für Strahlung im ultravioletten, sichtbaren und/oder infraroten Spektralbereich durchlässig ist und der Mantel ein Metall enthält. - Halbleiterbauelement mit einem Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei dem ein Halbleiterchip (
6 ) an dem ersten Anschlussleiter befestigt ist. - Halbleiterbauelement nach Anspruch 11, bei dem der Halbleiterchip eine Hauptabstrahlungsrichtung aufweist, die entlang der vertikalen Richtung verläuft.
- Halbeiterbauelement nach Anspruch 11 oder 12, bei dem der Halbleiterchip frei von einer den Halbleiterchip umgebenden Umhüllung in dem Gehäuse montiert ist.
- Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 11 bis 13, bei dem der Halbleiterchip mittels eines Lots am ersten Anschlussleiter befestigt ist.
- Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 11 bis 13, bei dem der Halbleiterchip mittels eines mit elektrisch leitfähigen Partikeln hochgefüllten Klebemittels am ersten Anschlussleiter befestigt ist.
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