DE102009056436B4 - Chloridhaltiges Silicium - Google Patents

Abstract

Amorphes chloriertes Polysilan mit der empirischen Formel SiClx mit x = 0,01 bis 0,8.

Description

• Chloridhaltiges Silicium ist in einigen Varianten bekannt. Weiterhin ist beispielsweise aus der WO 2006/125425 A1 ein Verfahren zur Herstellung von Silicium aus Halogensilan bekannt, bei dem in einem ersten Schritt das Halogensilan unter Erzeugung einer Plasmaentladung zu einem halogenierten Polysilan umgesetzt wird, das nachfolgend in einem zweiten Schritt unter Erhitzen zu Silicium zersetzt wird. Zur Zersetzung des halogenierten Polysilans wird dieses vorzugsweise auf eine Temperatur von 400°C–1.500°C erhitzt. In den Ausführungsbeispielen finden Temperaturen von 800°C, 700°C, 900°C und wiederum 800°C Verwendung. Was den eingesetzten Druck anbetrifft, so wird vorzugsweise bei vermindertem Druck gearbeitet, wobei in den Ausführungsbeispielen unter Vakuum gearbeitet wird. Mit diesem Verfahren wird die Herstellung von möglichst reinem Silicium angestrebt.
• Eine spezielle Variante von chloridhaltigem Silicium stellen chlorierte Polysilane (PCS) dar. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine weitere Variante von derartigen chlorierten Polysilanen zur Verfügung zu stellen.
• Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch amorphes chloriertes Polysilan mit der empirischen Formel SiCl_x mit x = 0,01 bis 0,8 gelöst.
• Bei dem chlorierten Polysilan der empirischen bzw. analytischen Formel SiCl_x mit x = 0,2 bis 0,8 handelt es sich um ein stark vernetztes, chloriertes Polysilan, da x < 1 ist. Damit weist die Verbindung ein räumliches Silicium-Gerüst auf, das neben Silicium-Zentren mit einem oder mehreren Chlor-Substituenten ebenfalls Silicium-Zentren besitzen muss, die keinen Chlor-Substituenten aufweisen, sondern nur Bindungen zu weiteren Silicium-Zentren bzw. -Atomen. Bei chlorierten Polysilanen der empirischen bzw. analytischen Formel SiCl_x mit 1 < x < 2 hingegen handelt es sich um Verbindungen, die nur eine leichtere Vernetzung aufweisen, da im Mittel jedes Silicium-Atom mindestens einen Chlor-Substituenten besitzt. Diese Polysilane können beispielsweise durch eine flächige, zweidimensionale Struktur gekennzeichnet sein, die im Vergleich zu Verbindungen mit einer Ketten- und/oder Ringstruktur und x ≥ 2 zusätzlich Vernetzungsstellen aufweist.
• Vorzugsweise beträgt x 0,5 bis 0,7.
• Das erfindungsgemäße chlorierte Polysilan besitzt einen besonders hohen Vernetzungsgrad. Es handelt sich um eine amorphe Substanz. Die amorphe Konsistenz wurde durch Röntgenpulverdiffraktometrie ermittelt.
• Bei dem erfindungsgemäßen chlorierten Polysilan handelt es sich im weitesten Sinne ebenfalls um chloridhaltiges Silicium.
• Das erfindungsgemäße chlorierte Polysilan kann auch wasserstoffhaltig sein.
• Das erfindungsgemöße stark vernetzte chlorierte Polysilan wird nachfolgend anhand von SiCl_0,7 näher erläutert. IR-spektroskopische Messungen (ATR-Technik, Diamant Einfachreflektion) an diesem chloridhaltigen Silicium zeigen ein Signal bei 1.029 cm^–1 (1). Die Stärke ist abhängig vom jeweiligen Chloridgehalt des chlorierten Polysilans und nimmt bei steigendem Chloridgehalt zu.
• NMR-spektroskopische Untersuchungen zeigen folgende Ergebnisse:
  ²⁹Si-NMR (Festkörper): δ ppm; 3,53; -0,37, -4,08, -6,47, -7,82, -18,67, -45,81, -79,91 (scharf); 40 bis -21 und -60 bis -118 (breit)
  ¹H-NMR (Festkörper) eines aus plasmachemisch hergestelltem chlorierten Polysilan erhaltenen Produktes: Das Produkt zeigt im ¹H-NMR ein sehr breites, schwaches Signal bei 3 bis 10 ppm, insbesondere bei 5 bis 10 ppm. Dieses wird durch den Restwasserstoffgehalt des Produktes verursacht, wobei die Signalform für dieses Produkt typisch ist. Weiterhin ist die Signalintensität erwartungsgemäß gering, da auch in der Ausgangssubstanz Wasserstoff nur in geringen Mengen vorhanden war. Die chemische Verschiebung von 3 bis 10 ppm umfasst den erwarteten Verschiebungsbereich für das erfindungsgemäße Produkt. Daher ist das beobachtete ¹H-NMR-Spektrum für das erfindungsgemäße Produkt, welches durch das erfindungsgemäße Verfahren aus plasmachemisch hergestelltem chlorierten Polysilan erhalten wurde, charakteristisch.
• Röntgenpulverdiffraktometrische Untersuchungen ergaben, dass die Substanz röntgenamorph ist.
• Das erfindungsgemäße amorphe stark vernetzte chlorierte Polysilan lässt sich durch thermolytische Zersetzung von chloriertem Polysilan herstellen, insbesondere in einem Temperaturbereich von 350°C–1.200°C.
• Ausführungsbeispiel
• In einer kontinuierlichen Thermolyse wurde die Temperatur in einem geeigneten Reaktionsgefäß auf 450°C eingestellt, und das Reaktionsgefäß wurde bis auf 250 mbar evakuiert. Ein Polychlorsilangemisch mit einer durchschnittlichen Summenformel von Si_nCl_2n(⌀n = 18) wurde in Form einer 80%-igen Lösung in SiCl₄ vor der Thermolysezone bei einer lokalen Temperatur von 120°C eingetropft. Das Polychlorsilangemisch wurde mittels einer Vorschubeinrichtung durch die heiße Zone der Apparatur (450°C) geführt. Dabei wandelte sich das Polychlorsilangemisch zu einem festen, stark vernetzten chlorierten Polysilan (chloridhaltigem Silicium) der Summenformel SiCl_0,7 und kurzkettigen Chlorsilanen um. Das SiCl_0,7 wurde in einem Sammelbehälter gesammelt. Das Verdünnungsmittel SiCl₄ und durch die Thermolyse entstandene kurzkettige Chlorsilane (SiCl₄, Si₂Cl₆, Si₃Cl₈) wurden als Dampf abgeleitet und kondensiert.
• Ausbeuten bezogen auf den Ausgangsstoff: 20 Massen% SiCl_0,7 und 80 Massen% kurzkettige Chlorsilane (Verdünnungsmittelmange nicht eingeschlossen).
• Die nachfolgenden 1 und 2 zeigen IR-Spektren von einem chloridhaltigen Silicium der Zusammensetzung SiCl_0,05 bis SiCl_0,07 (1) und von SiCl_0,7 (2). Die 2 und 4 zeigen ²⁹Si-Festkörper-NMR-Spektren von einem chloridhaltigen Silicium mit der empirischen Formel SiCl_0,7. 5 zeigt das 1H-Festkörper-NMR-Spektrum zum chloridhaltigen Silicium mit der empirischen Formel SiCl_0,7, das auf TMS = 0 ppm referenziert wurde.
• Anschließend sind die Spektraldaten von chloridhaltigem Silicium (SiCl_0,7) (3 und 4) wiedergegeben.
• Chlozidhaltiges Silicium
• ²⁹Si-Festkörper MAS-NMR: Daten des Real- und Imaginärteil
• (Beschreibung: 29Si HPD∝, v rot = 7000 Hz, Extern auf TMS = 0 ppm referenziert)

• Realteil	Imaginärteil
  –559366.812500	–179484.671875
  –258646.203125	330723.906250
  –524387.625000	380826.562500
  –714843.562500	143961.609375
  –806394.437500	753349.812500
  –906023.812500	122178.210938
  –768257.812500	–179706.953125
  –1053545.375000	176301.812500
  –918530.937500	95072.867188
  –222172.984375	–559237.500000
  –770330.812500	–262371.656250
  –306297.406250	57229.730469
  –682773.625000	69999.523438
  –171422.593750	–191350.187500
  –684949.625000	328896.343750
  –568885.062500	601279.875000
  –726118.062500	455288.968750
  –557814.125000	306372.218750
  –852955.875000	630819.312500
  –635895.500000	453669.000000
  –357647.531250	118018.382813
  –660730.625000	–147649.781250
  –798719.750000	–177938.39062
  –559126.250000	437431.031250
  –559734.187500	93940.414063
  –59357.605469	285774.843750
  103278.921875	206750.421875
  –540204.687500	–19110.115234
  –216095.140625	401489.218750
  –694866.687500	260139.890625
  –286993.593750	526446.562500
  –678071.937500	490303.968750
  –549469.812500	437838.906250
  –158519.359375	104748.195313
  –702605.812500	319087.562500
  –690564.500000	–120499.640625
  –250952.843750	166395.375000
  –286319.031250	263206.625000
  –350987.593750	–109564.921875
  –356639.156250	296798.656250
  197863.203125	178029.687500
  –476959.531250	28532.316406
  –278008.406250	76979.257813
  –293347.031250	355219.531250
  –863550.000000	366237.437500
  –762298.375000	189135.390625
  –219087.281250	494229.125000
  –713907.250000	300084.437500
  –649126.187500	272755.125000
  –476448.468750	116762.351563
  –230089.140625	209762.437500
  –600470.437500	205945.281250
  –134082.859375	6450.782715
  –565513.687500	155404.406250
  –139935.156250	662950.562500
  –355823.312500	249686.765625
  –340020.281250	234678.968750
  –228196.515625	554451.562500
  –494673.906250	340087.031250
  –484088.218750	392712.812500
  –399418.437500	423457.468750
  –617399.875000	81006.234375
  –335138.437500	152360.984375
  –683159.562500	220154.484375
  –591657.937500	121052.320313
  –465547.843750	292841.312500
  –565892.750000	379929.593750
  –390607.843750	684478.437500
  126418.390625	330513.281250
  –465883.500000	276009.812500
  –408449.500000	839840.062500
  –195573.265625	560361.312500
  –327650.156250	483749.125000
  –12863.619141	396107.906250
  –384235.656250	–67347.375000
  –888429.062500	490133.062500
  –455357.937500	303605.000000
  –611130.187500	438708.031250
  –164202.390625	203473.453125
  –249632.312500	369096.968750
  –327294.343750	556804.000000
  –252173.078125	125423.203125
  –353940.000000	193298.953125
  –345778.968750	596688.750000
  –376395.218750	603019.625000
  –270947.843750	808665.312500
  –48394.011719	206050.062500
  –879722.375000	214542.171875
  –562298.375000	482923.437500
  –223858.468750	733814.875000
  –662906.875000	552592.937500
  –482057.718750	120261.882813
  –72470.648438	643313.187500
  –264522.312500	132346.765625
  –463085.281250	466042.906250
  –382721.656250	404797.812500
  –204707.625000	545774.375000
  –471684.000000	697502.312500
  18651.759766	489092.312500
  –508999.562500	439620.062500
  –438349.718750	717761.812500
  –493701.968750	374511.562500
  –558337.562500	540392.812500
  –451915.468750	694730.437500
  –630745.125000	510623.406250
  –338529.125000	388357.812500
  –394184.187500	662725.000000
  –585685.312500	585194.125000
  –83747.718750	744710.000000
  –125267.335938	671725.000000
  –177433.453125	415218.875000
  –346946.312500	442313.218750
  –192074.500000	854233.562500
  –607235.187500	364172.406250
  –780418.937500	863491.437500
  –212475.546875	816926.437500
  –417665.156250	556517.437500
  –486673.312500	805367.187500
  –639090.750000	476297.250000
  –535050.375000	330387.656250
  –659731.125000	967563.937500
  –687253.687500	862498.187500
  –177355.671875	825768.187500
  –575485.875000	1207836.375000
  –162321.265625	1047205.062500
  –231356.078125	1001563.750000
  12991.659180	780238.250000
  –468675.593750	1283810.250000
  –569085.000000	1079341.500000
  –2075.572510	840180.312500
  –323573.562500	1033266.250000
  –405564.000000	985181.375000
  –236931.250000	929170.812500
  –469887.406250	950497.125000
  –320301.781250	823200.937500
  –53100.574219	1117870.125000
  –273639.968750	1374302.375000
  –312724.093750	987261.187500
  18238.990234	1193289.750000
  59010.464844	1383911.375000
  87014.031250	1483751.875000
  –240232.140625	1096065.625000
  192149.937500	1258683.750000
  –100944.656250	925869.187500
  33418.738281	1577562.500000
  –228651.765625	1110815.750000
  15794.107422	1133020.875000
  428709.343750	1075813.875000
  –92697.914063	1072200.500000
  32790.925781	1173112.625000
  173030.000000	1358980.250000
  220947.734375	944463.375000
  459919.750000	1569651.625000
  –18668.345703	949541.625000
  141653.593750	1491575.250000
  207015.015625	1368033.125000
  99311.343750	1436319.000000
  436512.062500	1634083.250000
  373935.156250	1159303.000000
  224324.031250	1284618.250000
  396813.093750	1095097.875000
  403908.406250	1400042.500000
  355075.156250	1180153.875000
  503091.781250	1424811.500000
  578445.875000	1038818.562500
  527659.875000	1278475.250000
  713356.437500	1582102.000000
  137111.156250	1346458.750000
  773608.125000	1264337.375000
  601410.500000	1279248.125000
  525800.125000	1646783.875000
  1073612.500000	1178456.875000
  547865.000000	1037993.125000
  430606.343750	1111003.125000
  668822.812500	1237813.750000
  509722.750000	1089566.625000
  937733.000000	1246097.750000
  599163.500000	1518257.000000
  878852.687500	988527.312500
  915091.750000	1118014.750000
  839086.125000	1389303.500000
  599871.250000	1033912.125000
  752228.312500	1757782.875000
  738937.500000	1460023.875000
  1195459.500000	1352668.750000
  598139.062500	1110526.625000
  714289.625000	1378956.625000
  665072.812500	1774177.375000
  950514.125000	1256994.500000
  746916.250000	1340549.750000
  706069.750000	1970118.875000
  789875.250000	1707042.250000
  1314908.875000	2109634.750000
  1175142.625000	2494419.750000
  1218158.000000	2512371.250000
  2003214.375000	2926634.500000
  2713220.500000	2931274.000000
  2949940.250000	2843627.000000
  3852611.000000	2454422.000000
  4202685.000000	1553656.250000
  4168293.250000	992146.500000
  4458652.500000	349424.656250
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  –200523.843750	–181013.718750
  –10119.390625	–602965.375000
  –554336.062500	–486033.781250
  –589628.500000	–3349.834717
  –172004.906250	–450800.031250
  –496277.906250	–672234.187500
  –689586.625000	–183559.390625
  –240495.359375	–505608.343750
  –826515.250000	–786344.187500
  –617931.062500	–709572.312500
  –760354.937500	–141025.281250
  –268851.343750	–573423.812500
  –285793.937500	–258471.421875
  –192428.546875	–570801.625000
  –114153.335938	–527576.250000
  –143335.609375	–427938.406250
  –909939.125000	–367292.812500
  –320511.562500	–366102.312500
  –266159.875000	–57119.832031
  –557906.812500	–261146.906250
  –609984.750000	–320115.187500
  –592683.000000	–789149.125000
  –577497.750000	–465932.218750
  –412021.562500	–478571.093750
  –684796.125000	–498007.781250
  –625225.625000	–906279.562500
  –151783.250000	–452541.187500
  –674889.437500	–698152.625000
  –549454.625000	–102481.234375
  –734681.687500	–57006.640625
  –286686.625000	–47744.992188
  –411052.093750	–49198.082031
  –226884.046875	57846.253906
  –900990.437500	–509143.843750
  –669762.000000	–283126.562500
  –504153.562500	–199196.140625
  –169237.125000	–619106.437500
  –781355.687500	–646925.000000
  –639761.375000	–648686.687500
  –409083.843750	–208349.062500
  –629540.812500	–480176.906250
  –473192.625000	–545458.625000
  –379683.437500	80320.757813
  –456367.343750	–161973.796875
  –462737.125000	209203.968750
  –767521.750000	–14982.400391
  –747666.875000	–105697.492188
  –1001822.812500	–65210.644531
  –785374.625000	–122160.671875
  –1335813.750000	–140299.593750
  –641413.937500	–454773.906250
  –707667.812500	–635611.125000
  –383327.312500	–276674.687500
  –574210.187500	–332213.718750

  ²⁹Si-Festkörper MAS-NMR: Daten des Spektrums als chemische Verscheibung (in ppm)

  chemische Verschiebung in ppm	Intensität
  102.225304	–530573.250000
  101.736870	–296321.375000
  101.248436	–559576.875000
  100.760010	–724018.000000
  100.271576	–881857.687500
  99.783142	–907531.875000
  99.294708	–744961.125000
  98.806274	–1059997.375000
  98.317841	–913208.812500
  97.829414	–164043.046875
  97.340981	–729578.375000
  96.852547	–312331.781250
  96.364113	–675425.312500
  95.875679	–153960.031250
  95.387245	–712996.687500
  94.898819	–629898.937500
  94.410385	–766153.875000
  93.921951	–590001.062500
  93.433517	–912368.250000
  92.945084	–679216.937500
  92.456657	–370695.218750
  91.968224	–635926.250000
  91.479790	–769281.500000
  90.991356	–601869.375000
  90.502922	–559919.937500
  90.014488	–94478.296875
  89.526062	74566.234375
  89.037628	–526957.750000
  88.549194	–261951.921875
  88.060760	–711977.062500
  87.572327	–347952.250000
  87.083893	–722308.500000
  86.595467	–591197.375000
  86.107033	–176038.359375
  85.618599	–726123.250000
  85.130165	–666033.500000
  84.641731	–272077.843750
  84.153305	–312469.250000
  83.664871	–333335.937500
  83.176437	–383743.187500
  82.688004	169413.093750
  82.199570	–469629.781250
  81.711136	–286476.281250
  81.222710	–333843.875000
  80.734276	–887870.062500
  80.245842	–773092.750000
  79.757408	–280515.125000
  79.268974	–736543.250000
  78.780540	–670129.562500
  78.292114	–485015.125000
  77.803680	–255323.890625
  77.315247	–611451.875000
  76.826813	–137525.437500
  76.338379	–574365.812500
  75.849945	–215272.015625
  75.361519	–376619.781250
  74.873085	–363481.312500
  74.384651	–291109.156250
  73.896217	–525714.875000
  73.407784	–522928.031250
  72.919357	–443244.062500
  72.430923	–617352.375000
  71.942490	–353497.437500
  71.454056	–697503.687500
  70.965622	–597875.000000
  70.477188	–494469.000000
  69.988762	–600335.875000
  69.500328	–460816.406250
  69.011894	81606.750000
  68.523460	–490057.875000
  68.035027	–496627.437500
  67.546593	–256831.312500
  67.058167	–377056.281250
  66.569733	–62189.671875
  66.081299	–374871.843750
  65.592865	–927728.812500
  65.104431	–485729.125000
  64.616005	–650055.875000
  64.127571	–189899.468750
  63.639137	–290718.593750
  63.150703	–383166.312500
  62.662270	–262216.812500
  62.173840	–372697.125000
  61.685406	–410373.968750
  61.196976	–439746.687500
  60.708542	–357599.750000
  60.220108	–75413.609375
  59.731678	–887797.812500
  59.243244	–612768.250000
  58.754810	–309412.468750
  58.266380	–710639.687500
  57.777946	–489401.937500
  57.289513	–149089.046875
  56.801083	–277178.000000
  56.312649	–507942.343750
  55.824215	–422968.187500
  55.335785	–266447.781250
  54.847351	–540672.625000
  54.358917	–42221.515625
  53.870487	–550915.500000
  53.382053	–513655.312500
  52.893623	–530155.750000
  52.405190	–613654.375000
  51.916756	–526013.187500
  51.428326	–677334.312500
  50.939892	–381769.781250
  50.451458	–465792.125000
  49.963028	–640591.250000
  49.474594	–169982.984375
  48.986160	–199254.093750
  48.497730	–222318.671875
  48.009296	–393570.062500
  47.520863	–288629.843750
  47.032433	–638595.125000
  46.543999	–864656.062500
  46.055565	–306744.375000
  45.567135	–477292.250000
  45.078701	–571303.000000
  44.590267	–681975.250000
  44.101837	–569432.250000
  43.613403	–760690.125000
  43.124973	–772333.875000
  42.636539	–274141.687500
  42.148106	–700161.312500
  41.659676	–279159.781250
  41.171242	–340590.656250
  40.682808	–82052.687500
  40.194378	–604870.937500
  39.705944	–677490.937500
  39.217510	–103269.000000
  38.729080	–437039.312500
  38.240646	–510300.250000
  37.752213	–340287.843750
  37.263783	–567874.750000
  36.775349	–409918.468750
  36.286915	–183742.531250
  35.798485	–421588.500000
  35.310051	–415797.625000
  34.821621	–119847.664063
  34.333187	–100263.257813
  33.844753	–80892.906250
  33.356323	–355387.125000
  32.867889	44353.585938
  32.379456	–205473.500000
  31.891024	–146320.656250
  31.402592	–345411.437500
  30.914160	–111691.796875
  30.425726	295654.656250
  29.937294	–209119.187500
  29.448862	–98672.039063
  28.960428	19486.314453
  28.471996	110826.109375
  27.983564	274404.937500
  27.495132	–121119.242188
  27.006699	–28235.296875
  26.518267	50150.519531
  26.029835	–62224.750000
  25.541401	245785.609375
  25.052969	239004.234375
  24.564537	79198.828125
  24.076103	266755.000000
  23.587671	241108.671875
  23.099239	219794.921875
  22.610807	338179.593750
  22.122374	454322.781250
  21.633942	376408.625000
  21.145510	525455.375000
  20.657076	285973.093750
  20.168644	619877.562500
  19.680212	449489.156250
  19.191780	337722.500000
  18.703346	922987.812500
  18.214914	426847.875000
  17.726482	303070.500000
  17.238049	520761.093750
  16.749617	383404.281250
  16.261185	780963.375000
  15.772752	427209.093750
  15.284319	758052.875000
  14.795887	775905.875000
  14.307454	673175.625000
  13.819022	478292.187500
  13.330589	545919.875000
  12.842156	569732.437500
  12.353724	1024213.187500
  11.865292	469409.468750
  11.376860	549138.812500
  10.888427	461407.718750
  10.399994	797143.312500
  9.911562	586908.375000
  9.423129	479734.656250
  8.934697	592482.937500
  8.446264	1057312.250000
  7.957832	884585.812500
  7.469399	928957.250000
  6.980967	1650543.250000
  6.492534	2348799.750000
  6.004102	2599291.000000
  5.515669	3529434.000000
  5.027237	3976431.750000
  4.538804	4008658.500000
  4.050372	4363218.500000
  3.561939	4579480.500000
  3.073507	4722701.500000
  2.585074	3121629.500000
  2.096642	2299859.250000
  1.608209	2092970.250000
  1.119777	1389122.250000
  0.631344	1721003.750000
  0.142912	1353726.250000
  –0.345521	1633847.750000
  –0.833953	1557042.500000
  –1.322386	1107417.375000
  –1.810818	735037.562500
  –2.299251	1072330.000000
  –2.787683	781327.500000
  –3.276116	549753.375000
  –3.764548	168865.203125
  –4.252981	7527678.500000
  –4.741413	1012583.812500
  –5.229846	1023732.875000
  –5.718278	1163446.375000
  –6.206711	1047177.125000
  –6.495143	5544628.500000
  –7.183576	390813.625000
  –7.672008	452028.750000
  –8.160440	3277336.500000
  –8.648873	886714.000000
  –9.137305	503518.000000
  –9.625738	401005.093750
  –10.114171	405451.406250
  –10.602603	701279.562500
  –11.091036	1265994.375000
  –11.579468	260173.359375
  –12.067901	516427.187500
  –12.556334	645051.625000
  –13.044765	393250.937500
  –13.533198	969971.500000
  –14.021630	543602.187500
  –14.510063	301963.375000
  –14.998495	471525.562500
  –15.486928	555731.562500
  –15.975361	312543.406250
  –16.463793	358387.718750
  –16.952225	577463.250000
  –17.440659	603212.250000
  –17.929090	171148.906250
  –18.417522	–166508.500000
  –18.905956	7259736.000000
  –19.394388	617581.625000
  –19.882820	83474.687500
  –20.371254	645617.562500
  –20.859686	292134.906250
  –21.348118	347689.750000
  –21.836550	279295.531250
  –22.324984	53623.046875
  –22.813416	169121.781250
  –23.301847	–122875.820313
  –23.790281	286656.593750
  –24.278713	269147.000000
  –24.767145	230851.843750
  –25.255577	–60403.832031
  –25.744011	–39959.960938
  –26.232443	473476.937500
  –26.720875	157574.328125
  –27.209309	–197126.968750
  –27.697741	–91891.125000
  –28.186172	–164400.734375
  –28.674606	365513.968750
  –29.163038	–116628.414063
  –29.651470	–215239.187500
  –30.139902	–307419.906250
  –30.628336	–235017.578125
  –31.116768	–73032.039063
  –31.605200	11059.059570
  –32.093632	–23479.912109
  –32.582066	96916.289063
  –33.070499	221084.718750
  –33.558929	124717.585938
  –34.047363	293347.500000
  –34.535797	–376811.937500
  –35.024227	–137071.968750
  –35.512661	–149985.234375
  –36.001095	–639081.000000
  –36.489525	125746.351563
  –36.977959	–318885.593750
  –37.466389	143289.484375
  –37.954823	–115669.148438
  –38.443256	–212278.921875
  –38.931686	–159450.765625
  –39.420120	–67344.273438
  –39.908554	–218365.062500
  –40.396984	210551.937500
  –40.885418	–78385.757813
  –41.373852	–102670.117188
  –41.862282	320561.156250
  –42.350716	–218203.062500
  –42.839149	61353.628906
  –43.327579	–334390.718750
  –43.816013	256204.562500
  –44.304447	–277328.718750
  –44.792877	560649.625000
  –45.281311	79063.523438
  –45.769741	438742.968750
  –46.258175	845851.312500
  –46.746609	369232.656250
  –47.235039	270863.843750
  –47.723473	–49749.218750
  –48.211906	–134773.296875
  –48.700336	171627.234375
  –49.188770	–311025.343750
  –49.677204	53453.980469
  –50.165634	–33764.503906
  –50.654068	175338.812500
  –51.142502	–369092.437500
  –51.630932	315560.156250
  –52.119366	210711.968750
  –52.607800	211136.062500
  –53.096230	698360.437500
  –53.584663	214479.796875
  –54.073097	250759.515625
  –54.561527	–157390.343750
  –55.049961	596883.062500
  –55.538391	208779.265625
  –56.026825	232491.218750
  –56.515259	36899.914063
  –57.003689	166770.328125
  –57.492123	180060.859375
  –57.980556	468637.093750
  –58.468987	699052.750000
  –58.957420	450690.468750
  –59.445854	532823.250000
  –59.934284	360644.812500
  –60.422718	179738.750000
  –60.911152	455096.187500
  –61.399582	581477.187500
  –61.888016	569265.125000
  –62.376450	326290.625000
  –62.864880	231165.843750
  –63.353313	676194.000000
  –63.841743	502217.937500
  –64.330177	608734.125000
  –64.818611	305777.812500
  –65.307045	665623.187500
  –65.795479	699129.687500
  –66.283905	797734.750000
  –66.772339	557275.250000
  –67.260773	513755.906250
  –67.749207	787505.000000
  –68.237640	697968.062500
  –68.726067	615969.875000
  –69.214500	839265.500000
  –69.702934	506464.156250
  –70.191368	649049.187500
  –70.679802	1039705.375000
  –71.168236	618292.250000
  –71.656662	647316.875000
  –72.145096	829846.000000
  –72.633530	637544.687500
  –73.121964	652507.500000
  –73.610397	623200.687500
  –74.098831	1041081.562500
  –74.587257	902353.750000
  –75.075691	449065.406250
  –75.564125	1002218.937500
  –76.052559	587247.000000
  –76.540993	601318.687500
  –77.029419	946367.875000
  –77.517853	518802.437500
  –78.006287	635781.562500
  –78.494720	882219.812500
  –78.983154	988698.687500
  –79.471588	806726.812500
  –79.960014	1148744.250000
  –80.448448	1375396.125000
  –80.936882	1162699.375000
  –81.425316	1314108.375000
  –81.913750	1155600.250000
  –82.402184	1054643.500000
  –82.890610	1061041.625000
  –83.379044	1283541.750000
  –83.867477	1300834.000000
  –84.355911	966251.437500
  –84.844345	1343788.625000
  –85.332779	1115534.750000
  –85.821205	900497.562500
  –86.309639	820814.812500
  –86.798073	1052118.875000
  –87.286507	788858.187500
  –87.774940	1232209.500000
  –88.263367	647272.250000
  –88.751801	876589.687500
  –89.240234	783947.187500
  –89.728668	215356.421875
  –90.217102	827131.000000
  –90.705536	603458.250000
  –91.193962	483055.437500
  –91.682396	259343.375000
  –92.170830	705259.875000
  –92.659264	603406.312500
  –93.147697	393696.343750
  –93.636131	529450.250000
  –94.124557	862672.625000
  –94.612991	361568.031250
  –95.101425	822558.187500
  –95.589859	165239.453125
  –96.078293	726205.062500
  –96.566719	376493.593750
  –97.055153	96490.335938
  –97.543587	439207.812500
  –98.032021	467670.375000
  –98.520454	–85529.578125
  –99.008888	299241.250000
  –99.497314	274955.687500
  –99.985748	279195.687500
  –100.474182	524150.312500
  –100.962616	517044.281250
  –101.451050	173558.109375
  –101.939484	222901.296875
  –102.427910	541597.687500
  –102.916344	–257941.015625
  –103.404778	263488.031250
  –103.893211	–124810.093750
  –104.381645	255713.609375
  –104.870071	3017.252197
  –105.358505	46998.078125
  –105.846939	–103216.570313
  –106.335373	267821.843750
  –106.823807	426844.625000
  –107.312241	442102.656250
  –107.800667	–155583.406250
  –108.289101	271276.187500
  –108.777534	16271.313477
  –109.265968	–47518.503906
  –109.754402	–133676.609375
  –110.242836	–177795.671875
  –110.731262	–287011.781250
  –111.219696	–263568.562500
  –111.708130	–448221.875000
  –112.196564	–125106.773438
  –112.684998	137114.875000
  –113.173424	–523988.281250
  –113.661858	–418182.218750
  –114.150291	–289817.718750
  –114.638725	–268658.593750
  –115.127159	–358796.593750
  –115.615593	–319614.375000
  –116.104019	–276605.312500
  –116.592453	–223377.437500
  –117.080887	–356925.656250
  –117.569321	–432541.718750
  –118.057755	–517145.437500
  –118.546188	–631222.250000
  –119.034615	–230956.312500
  –119.523048	–473079.187500
  –120.011482	–275920.562500
  –120.499916	–540006.187500
  –120.988350	–672766.187500
  –121.476776	–180343.531250
  –121.965210	52554.812500
  –122.453644	–491629.750000
  –122.942078	–578091.812500
  –123.430511	–122108.546875
  –123.918945	–416555.937500
  –124.407372	–658811.000000
  –124.895805	–185183.734375
  –125.384239	–724096.062500
  –125.872673	–534082.062500
  –126.361107	–731713.500000
  –126.849541	–203860.109375
  –127.337967	–252755.156250
  –127.826401	–125723.625000
  –128.314835	–56242.351563
  –128.803268	–96602.617188
  –129.291702	–848075.562500
  –129.780136	–280023.656250
  –130.268570	–261276.203125
  –130.757004	–520183.500000
  –131.245422	–563908.562500
  –131.733856	–498028.718750
  –132.222290	–521133.656250
  –132.710724	–356663.781250
  –133.199158	–615633.000000
  –133.687592	–513986.187500
  –134.176025	–105754.726563
  –134.664459	–586337.875000
  –135.152893	–531810.500000
  –135.641327	–714279.437500
  –136.129761	–281117.000000
  –136.618195	–402252.781250
  –137.106613	–234446.484375
  –137.595047	–827591.000000
  –138.083481	–632777.375000
  –138.571915	–479165.187500
  –139.060349	–688423.937500
  –139.548782	–698412.375000
  –140.037216	–561682.937500
  –140.525650	–383218.625000
  –141.014084	–563212.125000
  –141.502518	–407461.406250
  –141.990952	–385819.750000
  –142.479370	–433185.000000
  –142.967804	–481892.625000
  –143.456238	–753801.000000
  –143.944672	–729149.562500
  –144.433105	–983274.312500
  –144.921539	–767802.562500
  –145.409973	–1296978.500000
  –145.898407	–586074.937500
  –146.386841	–629032.187500
  –146.875275	–350991.125000
  –147.363708	–526368.250000

Claims (6)

1. Amorphes chloriertes Polysilan mit der empirischen Formel SiCl_x mit x = 0,01 bis 0,8.
2. Polysilan nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass x 0,5 bis 0,7 beträgt.
3. Polysilan nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass es zusätzlich Wasserstoff enthält.
4. Polysilan nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es durch thermolytische Zersetzung von chloriertem Polysilan hergestellt ist.
5. Polysilan nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es aus thermisch hergestelltem chlorierten Polysilan gewonnen ist.
6. Polysilan nach einem der Ansprüche 1–4, dadurch gekennzeichnet, dass es aus plasmaschemisch hergestelltem chlorierten Polysilan gewonnen ist.

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