DE102009055675B4 - Photovoltaik-Modulstruktur für die Dünnschichtphotovoltaik mit einer elektrischen Leitungsverbindung und Verfahren zur Herstellung der elektrischen Leitungsverbindung - Google Patents
Photovoltaik-Modulstruktur für die Dünnschichtphotovoltaik mit einer elektrischen Leitungsverbindung und Verfahren zur Herstellung der elektrischen Leitungsverbindung Download PDFInfo
- Publication number
- DE102009055675B4 DE102009055675B4 DE102009055675.3A DE102009055675A DE102009055675B4 DE 102009055675 B4 DE102009055675 B4 DE 102009055675B4 DE 102009055675 A DE102009055675 A DE 102009055675A DE 102009055675 B4 DE102009055675 B4 DE 102009055675B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrical line
- contact
- layer
- structuring
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 4
- 239000003973 paint Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 6
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011149 active material Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000013517 stratification Methods 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1828—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof the active layers comprising only AIIBVI compounds, e.g. CdS, ZnS, CdTe
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/142—Energy conversion devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/142—Energy conversion devices
- H01L27/1421—Energy conversion devices comprising bypass diodes integrated or directly associated with the device, e.g. bypass diode integrated or formed in or on the same substrate as the solar cell
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/036—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes
- H01L31/0392—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including thin films deposited on metallic or insulating substrates ; characterised by specific substrate materials or substrate features or by the presence of intermediate layers, e.g. barrier layers, on the substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/036—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes
- H01L31/0392—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including thin films deposited on metallic or insulating substrates ; characterised by specific substrate materials or substrate features or by the presence of intermediate layers, e.g. barrier layers, on the substrate
- H01L31/03923—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including thin films deposited on metallic or insulating substrates ; characterised by specific substrate materials or substrate features or by the presence of intermediate layers, e.g. barrier layers, on the substrate including AIBIIICVI compound materials, e.g. CIS, CIGS
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
- H01L31/0445—PV modules or arrays of single PV cells including thin film solar cells, e.g. single thin film a-Si, CIS or CdTe solar cells
- H01L31/046—PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate
- H01L31/0463—PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate characterised by special patterning methods to connect the PV cells in a module, e.g. laser cutting of the conductive or active layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
- H01L31/0445—PV modules or arrays of single PV cells including thin film solar cells, e.g. single thin film a-Si, CIS or CdTe solar cells
- H01L31/046—PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate
- H01L31/0465—PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate comprising particular structures for the electrical interconnection of adjacent PV cells in the module
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L31/072—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PN heterojunction type
- H01L31/073—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PN heterojunction type comprising only AIIBVI compound semiconductors, e.g. CdS/CdTe solar cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/541—CuInSe2 material PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/543—Solar cells from Group II-VI materials
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
Photovoltaik-Modulstruktur (1) für die Dünnschichtphotovoltaik, wobei die Modulstruktur (1) zumindest zwei photovoltaisch wirksame Bereiche (2', 2'') aufweist, wobei jeder Bereich (2', 2'') in vertikaler Richtung zumindest eine optisch aktive Schicht (5', 5'') aufweist, die zwischen zwei elektrischen ersten und zweiten Kontakten (4', 4'', 6', 6'') angeordnet ist, wobei die Kontakte (4', 4'', 6', 6'') jeweils zumindest eine elektrisch leitende Schicht umfassen, wobei die zwei Bereiche (2', 2'') horizontal so aneinander mit einem Übergang (7) angrenzen, dass der Übergang (7) zwischen den zwei Bereichen (2', 2'') eine horizontale Abfolge einer ersten elektrischen Leitungsunterbrechung (8) zwischen den ersten Kontakten (4', 4'') des ersten (2') und zweiten Bereichs (2''), einer elektrischen Leitungsverbindung (9) zwischen dem zweiten Kontakt (6') des ersten Bereichs (2') und dem ersten Kontakt (4'') des zweiten Bereichs (2'') und eine zweite elektrische Leitungsunterbrechung (10) zwischen den zweiten Kontakten (6', 6'') des ersten (2') und zweiten Bereichs (2'') umfasst, so dass die beiden Bereiche (2', 2'') in Reihe verschaltet sind, wobei die Photovoltaik-Modulstruktur (1) auf einem transparenten Substrat angeordnet ist, wobei zumindest die elektrische Leitungsverbindung (9) und die zweite elektrische Leitungsunterbrechung (10) direkt aneinander angrenzen, wobei die elektrische Leitungsverbindung (9) in vertikaler Richtung zwischen dem zweiten Kontakt (6') des ersten Bereichs (2') und dem ersten Kontakt (4'') des zweiten Bereichs (2'') angeordnet ist, wobei die optisch aktiven Schichten (5', 5'') und die elektrischen ersten (4', 4'') und zweiten Kontakte (6', 6'') als horizontal einheitlich abgeschiedene Photoschicht (5) und erste (4) und zweite Kontaktschichten (6) ausgebildet sind, die Photoschicht (5) die Materialien CdTe und CdS, die erste Kontaktschicht (4) ein transparentes leitendes Oxid und die zweite Kontaktschicht (6) Mo aufweisen, die erste elektrische Leitungsunterbrechung (8) als elektrisch isolierendes Füllmaterial Lacke oder Photoresist umfasst und die zweite elektrische Leitungsunterbrechung (10) als elektrisch isolierendes Füllmaterial Luft umfasst, wobei die erste Kontaktschicht (4) eine Dicke im Bereich von 0,01 bis 1 μm aufweist, die zweite Kontaktschicht (6) eine Dicke im Bereich von 0,01 bis 1 μm aufweist, die Photoschicht (5) eine Dicke im Bereich von 0,1 bis 10 μm aufweist, die erste elektrische Leitungsunterbrechung (8) eine Breite im Bereich von 5 bis 100 μm aufweist und die zweite elektrische Leitungsunterbrechung (10) eine Breite im Bereich von 5 bis 100 μm aufweist und die elektrische Leitungsverbindung (9) eine Breite im Bereich von 0,01 μm bis 40 μm aufweist und Material der ersten (4) und/oder zweiten Kontaktschicht (6) umfasst.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Photovoltaik-Modulstruktur für die Dünnschichtphotovoltaik mit einer elektrischen Leitungsverbindung sowie ein Verfahren zum Herstellen der elektrischen Leitungsverbindung.
- Photovoltaik-Module kommen heute in großem Umfang zum Einsatz, wobei trotz eines etwas geringeren Wirkungsgrades Dünnschichtphotovoltaik-Modulstrukturen wegen Ihres deutlich geringeren Materialbedarfs starke Bedeutung erlangt haben.
- Solche Dünnschichtphotovoltaik-Modulstrukturen weisen photoaktive Schichten mit Schichtdicken in der Größenordnung von μm auf und als Halbleitermaterialien kommen neben den reinen Halbleitern Silizium und Germanium auch Verbindungshalbleiter wie CdTe oder Cu(In,Ga)(S,Se)2 (kurz CIS oder CIGS genannt) zum Einsatz.
- Üblicherweise weist eine solche Photovoltaik-Modulstruktur mehrere photovoltaik-wirksame Bereiche auf, die miteinander in Reihe verschaltet sind, um eine genügend große Spannung zu erzeugen. Die in-Reihe-Verschaltung wird dabei üblicherweise dadurch erzeugt, dass zwischen zwei photovoltaisch wirksamen Bereichen, die in einer Ebene verlaufende Kontaktschichten aufweisen, ein Übergang vorgesehen wird, bei dem die untere Kontaktschicht des einen Bereichs mit der oberen Kontaktschicht des anderen Bereichs elektrisch leitend verbunden wird, so wie es beispielsweise in der
EP 0 749 161 B1 gezeigt ist. - Üblicherweise werden zur Erzeugung eines solchen Übergangs drei Strukturierungsschritte vorgenommen, die gewöhnlich durch Laserstrukturierung erfolgen, wie im Folgenden anhand
1 beispielhaft beschrieben wird. Dazu wird auf einem Substrat20 eine erste elektrisch leitende Kontaktschicht21 aufgebracht, die mittels Laserstrukturierung, beispielsweise entlang einer Linie, unterbrochen wird. Vorzugsweise wird auch gleich die optisch aktive Schicht22 auf der ersten elektrisch leitenden Kontaktschicht21 aufgebracht und ebenfalls durch diesen ersten Strukturierungsschritt unterbrochen. Danach wird der so gebildete Graben23 mit einer elektrisch isolierenden Schicht24 verfüllt und anschließend in einem zweiten Laserstrukturierungsschritt nur die optisch aktive Schicht22 unterbrochen. Dann wird über der gesamten Modulstruktur eine zweite elektrisch leitende Kontaktschicht25 aufgebracht, die den bei dem zweiten Laserstrukturierungsschritt hergestellten Graben26 verfüllt und dadurch einen elektrisch leitenden Kontakt27 zwischen erster 21 und zweiter elektrisch leitender Kontaktschicht25 herstellt. In einem dritten Schritt werden schließlich die zweite elektrisch leitende Kontaktschicht25 und die darunter liegende optisch aktive Schicht22 durch einen dritten Laserstrukturierungsschritt unterbrochen 28, wodurch sich ein Übergang29 zwischen den zwei photovoltaisch wirksamen Bereichen30 ,31 ergibt, der eine horizontale Abfolge aufweist mit einer Unterbrechung24 in der ersten elektrisch leitenden Kontaktschicht21 , einer elektrisch leitenden Verbindung 27 zwischen erster 21 und zweiter elektrisch leitender Kontaktschicht25 und einer Unterbrechung28 in der zweiten elektrisch leitenden Kontaktschicht25 . Hierdurch wird der Stromfluss S durch die Photovoltaik-Modulstruktur32 so gesteuert, dass sich eine Reihenverschaltung benachbarter photovoltaisch wirksamer Bereiche30 ,31 ergibt, wie dies in1 reinschematisch dargestellt ist. - Nachteilig an dieser bekannten Struktur
32 und dem dafür verwendeten Herstellungsverfahren ist es, dass hierbei zum einen drei Strukturierungsschritte erforderlich sind, die in unterschiedlichen Anlagen durchgeführt werden. Außerdem erfolgen die drei Strukturierungsschritte voneinander örtlich getrennt, so dass innerhalb der Photovoltaik-Modulstruktur32 optisch inaktive Bereiche A, B erzeugt werden, die üblicherweise etwa 200 μm breit sind, um eine Positionierungstoleranz für die Strukturierung zu bilden, und einen Wirkungsgradverlust bedingen. - Weitere Photovoltaikstrukturen sind bekannt aus
DE 43 24 318 C1 ,DE 199 34 560 A1 ,US 4 954 181 A ,US 4 968 354 A ,US 4 517 403 A ,WO 2009/082 141 A2 US 2009/0 260 671 A1 KR 10 2009 0 067 351 A - Die
DE 43 24 318 C1 zeigt ein Verfahren zur Serienverschaltung einer integrierten Dünnfilmsolarzellenanordnung, wobei ein erster Strukturierungsprozess für die Frontelektrodenschicht erfolgt, anschließend erfolgt eine erste Laserbestrahlung zur Erzeugung eines Strukturgrabens und daran anschließend eine zweite Laserbestrahlung, wodurch über eine Phasenumwandlung des Halbleitermaterials im bestrahlten Bereich ein niederohmiger Bereich entsteht. - Die
DE 199 34 560 A1 offenbart ebenfalls drei Strukturierungsprozesse, wobei zuerst Kontakte strukturiert werden, danach erfolgt ein zweiter Strukturierungsschritt für die photovoltaisch aktive Schicht und zum Schluss wird das ganze hierauf aufgebrachte Frontkontaktmaterial mittels eines dritten Strukturierungsprozesses unterteilt. - Die
US 4 954 181 A offenbart eine Laserstrukturierung hinsichtlich der transparenten Elektroden, wobei anschließend gleichzeitig mittels Laserstrukturierungen Durchbrechungen in der gegenüberliegenden Elektrode und dem photovoltaisch aktiven Material erzeugt werden und in einem dritten Strukturierungsschritt ein partielles Aufschmelzen in einzelnen Bereichen erfolgt, um die Reihenschaltung zu komplettieren. Auch dieUS 4 968 354 A offenbart im Wesentlichen ein solches Vorgehen. - Die
US 4 517 403 A verwendet ebenfalls drei Strukturierungsschritte, wobei zum einen die transparente leitfähige Schicht mittels Laserstrukturierung unterteilt wird, danach eine schon strukturierte Rückseitenelektrode aufgedruckt wird und schließlich sowohl die Rückelektrode, als auch die photovoltaisch aktive Schicht mittels eines Laserstrahls erhitzt werden, wodurch Elektrodenmaterial in die aktive Schicht eindiffundiert und eine leitende Schicht ausgebildet wird. - Die
WO 2009/082 141 A2 - Die
US 2009/0 260 671 A1 - Die
KR 10 2009 0 067 351 A KR 10 2009 0 067 351 A - Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Photovoltaik-Modulstruktur und ein Verfahren zum Herstellen einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen zwei voneinander beabstandeten Kontaktschichten bereitzustellen, mit denen diese Nachteile überwunden werden. Insbesondere soll die Photovoltaik-Modulstruktur einen höheren Wirkungsgrad ermöglichen und das Herstellungsverfahren soll die Herstellung kostengünstigerer Photovoltaik-Modulstrukturen gestatten.
- Diese Aufgabe wird gelöst mit einer Photovoltaik-Modulstruktur gemäß Anspruch 1 und einem Herstellungsverfahren gemäß Anspruch 5. Vorteilhafte Weiterbildungen sind jeweils in den abhängigen Unteransprüchen angegeben.
- Die erfindungsgemäße Photovoltaik-Modulstruktur für die Dünnschichtphotovoltaik, weist zumindest zwei photovoltaisch wirksame Bereiche auf, wobei jeder Bereich in vertikaler Richtung zumindest eine optisch aktive Schicht aufweist, die zwischen zwei elektrischen ersten und zweiten Kontakten angeordnet ist, wobei die Kontakte jeweils zumindest eine elektrisch leitende Schicht umfassen, wobei die zwei Bereiche horizontal so aneinander mit einem Übergang angrenzen, dass der Übergang zwischen den zwei Bereichen eine horizontale Abfolge einer ersten elektrischen Leitungsunterbrechung zwischen den ersten Kontakten des ersten und zweiten Bereichs, einer elektrischen Leitungsverbindung zwischen dem zweiten Kontakt des ersten Bereichs und dem ersten Kontakt des zweiten Bereichs und eine zweite elektrische Leitungsunterbrechung zwischen den zweiten Kontakten des ersten und zweiten Bereichs umfasst, so dass die beiden Bereiche in Reihe verschaltet sind, wobei zumindest die elektrische Leitungsverbindung und die zweite elektrische Leitungsunterbrechung direkt aneinander angrenzen. Dadurch wird der Wirkungsgrad erhöht, weil keine inaktiven Bereiche mehr zwischen der elektrischen Leitungsverbindung und der zweiten elektrischen Leitungsunterbrechung mehr vorliegen. Die Photovoltaik-Modulstruktur ist auf einem transparenten Substrat, insbesondere Glas angeordnet, weil dann sowohl eine Laserstrukturierung durch das Substrat erfolgen kann als auch die Photovoltaik-Modulstruktur von der Substratseite her aktiv ist.
- Zweckmäßig ist der Übergang als im Wesentlichen vertikale Strukturierung ausgebildet. Dann lässt er sich besonders einfach erzeugen.
- Bevorzugt ist die erste elektrische Leitungsunterbrechung ebenfalls in der optisch aktiven Schicht des ersten Bereichs vorgesehen und bevorzugt als in eine Strukturierung eingebrachter isolierender Füllstoff ausgebildet, da dadurch der Wirkungsgrad verbessert werden kann.
- Ebenfalls ist es vorteilhaft, wenn die zweite elektrische Leitungsunterbrechung durch eine strukturierte Unterbrechung in der zweiten Kontaktschicht des zweiten Bereichs gebildet ist, wobei die Unterbrechung sich bevorzugt zumindest auch über die optisch aktive Schicht des zweiten Bereichs erstreckt. Dann kein der Wirkungsgrad ebenfalls verbessert werden.
- Die elektrische Leitungsverbindung weist eine Breite im Bereich von 0,01 bis 40 μm auf und beträgt insbesondere 30 μm. Dadurch lässt sich eine besonders kostengünstige Herstellung ermöglichen unter gleichzeitiger Sicherstellung eines ausreichend hohen Stromflusses in der Reihenschaltung.
- Die optisch aktiven Schichten und die elektrischen ersten und zweiten Kontakte sind als horizontal einheitlich abgeschiedene Photoschicht bzw. erste und zweite Kontaktschichten ausgebildet.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Photoschicht die Materialien CdTe und CdS, die erste Kontaktschicht ein transparentes leitendes Oxid, bevorzugt ITO, und die zweite Kontaktschicht Mo aufweisen, die erste elektrische Leitungsunterbrechung als elektrisch isolierendes Füllmaterial Lacke, Photorestist und dgl. umfasst und die zweite elektrische Leitungsunterbrechung als elektrisch isolierendes Füllmaterial Luft umfasst, wobei die erste Kontaktschicht eine Dicke im Bereich von 0,01 bis 1 μm, bevorzugt 0,05 bis 0,5 μm aufweist und insbesondere 0,25 μm beträgt, die zweite Kontaktschicht eine Dicke im Bereich von 0,01 bis 1 μm, bevorzugt 0,1 bis 0,8 μm aufweist und insbesondere 0,5 μm beträgt, die Photoschicht eine Dicke im Bereich von 0,1 bis 10 μm, bevorzugt 1 bis 5 μm aufweist und insbesondere 3 μm beträgt, die erste elektrische Leitungsunterbrechung eine Breite im Bereich von 5 bis 100 μm, bevorzugt 20 bis 80 μm aufweist und insbesondere 50 μm beträgt und die zweite elektrische Leitungsunterbrechung eine Breite im Bereich von 5 bis 100 μm, bevorzugt 20 bis 80 μm aufweist und insbesondere 30 μm beträgt. Selbstverständlich können die Bereiche auch in Form von horizontal nicht einheitlich ausgebildeten Schichten hergestellt sein, wobei dennoch die eben genannten Materialien bevorzugt sind.
- Selbständiger Schutz wird beansprucht für ein Verfahren zum Herstellen der elektrischen Leitungsverbindung der erfindungsgemäßen Photovoltaik-Modulstruktur, wobei ein asymmetrischer Strukturierungsschritt vorgenommen wird zur gleichzeitigen Erzeugung der elektrischen Leitungsverbindung und einer direkt angrenzenden elektrischen Leitungsunterbrechung in einer der beiden Kontaktschichten. Durch den asymmetrischen Strukturierungsimpuls können in einem einzigen Strukturierungsschritt sowohl die elektrischen Leitungsverbindung als auch eine direkt angrenzende elektrische Leitungsunterbrechung erzeugt werden, wodurch das Herstellungsverfahren einfacher und kostengünstiger wird gegenüber bisherigen Herstellungsverfahren. Vor allem wird ein Positionierungsschritt zwischen dem zweiten und dritten Laserstrukturierungsschritt eingespart, da beide Strukturierungsschritte nun gleichzeitig erfolgen. Dadurch werden Positionierungsprobleme umgangen, die im industriellen Maßstab große Bedeutung haben, denn dabei wird üblicherweise zur Erzielung hohen Durchsatzes ein einzelner Laserstrahl mit Hilfe eines Spiegels auf das zu strukturierende Schichtpaket gelenkt, um seriell viele, beispielsweise linienförmige Gräben zu erzeugen und dadurch viele photovoltaisch wirksame Bereiche festzulegen. Zur Anpassung an Positionierungsfehler werden Toleranzen benötigt, die über die inaktiven Bereiche A, B mit ca. 200 μm Breite bereitgestellt werden. Zumindest eine solche Positionierungstoleranz ist nun entbehrlich, was den Durchsatz deutlich erhöht.
- Dabei soll die Strukturierungsintensität des Strukturierungspulses in einem äußeren Bereich des Strukturierungspulses soviel geringer sein, als in den übrigen Bereichen, dass sich in den mit geringerer Strukturierungsintensität erzeugten Strukturbereichen die elektrisch leitende Verbindung zwischen der ersten und zweiten Kontaktschicht ausbildet, wobei die elektrisch leitende Verbindung Material der ersten und/oder zweiten Kontaktschicht umfasst.
- Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die elektrische Leitungsverbindung zwischen dem zweiten Kontakt des ersten Bereichs und dem ersten Kontakt des zweiten Bereichs der erfindungsgemäßen Photovoltaik-Modulstruktur erzeugt.
- Besonders zweckmäßig wird der Strukturierungsschritt mittels Laserstrukturierung durchgeführt und die Bereiche unterschiedlicher Strukturierungsintensität werden dadurch erzeugt, dass ein asymmetrisches optisches Element verwendet wird und/oder dass zumindest zwei Laser verwendet werden, die eine unterschiedliche Intensität aufweisen und/oder das ein asymmetrisches Filterelement eingesetzt wird. „Optisches Element” heißt in diesem Zusammenhang, dass Brechung, Beugung, Streuung und/oder Reflektion erfolgen sollen. Ein solches optisches Element könnte beispielsweise für eine linienförmige Strukturierung ein über einen gewissen Teilbereich planparalleles Glas sein, dessen Dicke sich in dem anderen Bereich beispielsweise bogenförmig verjüngt. Als weitere optische Elemente können auch Spiegel oder andere Reflektoren eingesetzt werden oder Fesnel-Linsen, durch die eine asymmetrische Intensitätsverteilung eingestellt wird. Das asymmetrische optische Element soll also in einem Bereich durch Brechung, Beugung, Reflektion und/oder Streuung eine Intensitätsreduzierung bewirken.
- „Filterelement” heißt in diesem Zusammenhang, dass durch Absorption die Intensität verringert wird, was beispielsweise durch einen Graustufenfilter erfolgen kann. Andererseits kann auch alternativ oder zusätzlich eine vollständige bzw. teilweise Filterung von einzelnen Frequenzen erfolgen, wodurch die Intensität ebenfalls herabgesetzt werden kann. Eine solche Frequenzfilterung ist beispielsweise mit einem Bragg-Filter möglich.
- Die Merkmale sowie weitere Vorteile der vorliegenden Erfindung werden im Weiteren anhand der Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels gemäß
2 deutlich werden, wobei darin eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Photovoltaik-Modulstruktur rein schematisch im Schnitt dargestellt ist. Außerdem wird in3 ein bevorzugtes optisches Filterelement rein schematisch dargestellt. - Die Photovoltaik-Modulstruktur
1 weist zwei photovoltaisch wirksame Bereiche2' ,2'' auf, die horizontal gesehen nebeneinander auf einem Glassubstrat3 aufgebracht sind. Jeder der beiden Bereiche2' ,2'' weist ausgehend vom Glassubstrat3 einen ersten elektrisch leitfähigen Kontakt4' ,4'' , eine optisch aktive Schicht5' ,5'' und einen zweiten elektrisch leitfähigen Kontakt6' ,6'' auf. Zwischen den beiden Bereichen2' ,2'' ist in horizontaler Richtung ein Übergang7 vorgesehen. Der Übergang7 weist dabei eine erste elektrische Leitungsunterbrechung8 auf, die zwischen den beiden ersten elektrisch leitenden Kontakten4' ,4'' der beiden Bereiche2' ,2'' vorgesehen ist und sich im Wesentlichen vollständig entlang der Dicke der optisch aktiven Schicht5' des ersten Bereichs2' erstreckt. Getrennt durch einen Teil11 der optische aktiven Schicht5' des Bereichs2' ist eine elektrische Leitungsverbindung9 zwischen dem zweiten Kontakt6' des ersten Bereichs2' und dem ersten Kontakt4'' des zweiten Bereichs2'' angeordnet, an den sich unmittelbar angrenzend eine zweite elektrisch Leitungsunterbrechung10 anschließt, die die beiden zweiten Kontakte6' ,6'' der beiden Bereiche2' ,2'' elektrisch unterbricht und sich im Wesentlichen über die gesamte Tiefe der optisch aktiven Schicht5'' des zweiten Bereichs2'' bis zum ersten Kontakt4'' des zweiten Bereichs2'' erstreckt. - Auf Grund des unmittelbaren aneinander Angrenzens der elektrischen Leitungsverbindung
9 und der zweiten elektrischen Leitungsunterbrechung10 wird in der erfindungsgemäßen Photovoltaik-Modulstruktur der Wirkungsgrad gegenüber der in1 gezeigten herkömmlichen Photovoltaik-Modulstruktur32 dadurch erhöht, dass der unwirksame Bereich B entfällt. - Bevorzugt handelt es sich bei dem Substrat 3 um ein Glassubstrat
3 , die ersten Kontakte4' ,4'' bestehen aus einem transparent leitfähigen Oxid, beispielsweise ITO, die zweiten Kontakte6' ,6'' bestehen aus Mo und die optisch aktiven Schichten5' ,5'' weisen vom Substrat3 aus betrachtet eine Schichtung zwischn CdS und CdTe auf, die durch Temperierung aktiviert wurde. Als Material für die erste elektrische Leitungsunterbrechung8 wird bevorzugt ein organisches, isolierendes Material gewählt, beispielsweise ein Photoresist. - Gemäß einer verbesserten Ausgestaltung (nicht gezeigt) werden auch die erste Leitungsunterbrechung
8 und die elektrische Leitungsverbindung9 unmittelbar aneinander angrenzend ausgebildet unter Beseitigung des Teils11 der optisch aktiven Schicht5' , so dass der Wirkungsgrad dahingehend weiter verbessert ist, dass auch der unwirksame Bereich A in1 beseitigt ist. Dies könnte zum Beispiel dadurch erfolgen, dass der asymmetrische Strukturierungsschritt mit einer solchen Beabstandung und Breite ausgeführt wird, so dass sich die elektrische Leitungsverbindung9 direkt angrenzend an die erste elektrische Leitungsunterbrechung8 ausbildet, wobei dann die Breite der elektrischen Leitungsunterbrechung8 so zu wählen ist, dass Positionierungstoleranzen bei der Laserstrukturierung gewährleistet werden. - Obwohl die in
2 gezeigte Photovoltaik-Modulstruktur1 auf den ersten Blick nahe liegend erscheint, ist sie für den Fachmann dennoch überraschend, da sie mit dem bisher verwendeten Dreischritt-Strukturierungsverfahren im industriellen Maßstab auf Grund von Positionierungsungenauigkeiten und deshalb notwendigen Positionierungstoleranzen nicht herstellbar ist. Erst die Erfinder stellen ein überraschend einfaches Verfahren zur Herstellung einer solchen Struktur zur Verfügung. - Das erfindungsgemäße Verfahren ist deshalb für den Fachmann überraschend, da es auf einem erst durch die Erfinder analysierten Fehler innerhalb der herkömmlichen Photovoltaik-Modulstruktur
32 gemäß1 beruht, der nun vorteilhaft zur Erzeugung der erfindungsgemäßen Photovoltaik-Modulstruktur1 eingesetzt wird. Im Detail haben die Erfinder festgestellt, dass sich bei dem bekannten Dreischritt-Laserstrukturierungsverfahren Wirkungsgradverluste ergeben, die nicht ohne Weiteres mit den ungenutzten Bereichen A, B zu erklären sind. Im Rahmen von REM-Analysen in Verbindung mit EDX-Mapping wurde festgestellt, dass sich im Lasergraben der im dritten Strukturierungsschritt erzeugten zweiten elektrischen Leitungsunterbrechung28 Nebenanschlüsse („shunts”) dadurch ausgebildet haben, dass an der Laserkante zum ersten Bereich30 Abschnitte bestehen, in denen Material des zweiten Kontakts26 sich bis zum ersten Kontakt21 erstreckt und dadurch einen lokalen Kurzschluss herstellt. - Dieser Effekt wird dadurch erklärt, dass in diesem Bereich an der Laserkante der zur Strukturierung verwendete Laserimpuls eine geringere Intensität aufgewiesen hat als in den anderen Bereichen, so dass an dieser Stelle Material des ersten Kontakts
21 umgelagert wird. Man kann sich den Effekt wohl so veranschaulichen, dass beim Schneiden durch einen Kuchen mit aufgebrachter Glasur die Glasur an dem Schnitt herunter läuft bzw. herunter gezogen wird. Dies wird dadurch erklärt, dass in diesem Bereich der Strukturierungsimpuls zu schwach ist. - Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wird nun also durch einen asymmetrisch ausgebildeten Strukturierungsschritt Material des zweiten Kontakts
6' des ersten Bereichs2' entlang der Schnittkante zum ersten Kontakt4'' des zweiten Bereichs2'' hin verlagert, um die elektrische Leitungsverbindung9 zu erzeugen. Bei geeigneter Strukturierung wird es allerdings auch möglich sein, das Material des ersten Kontakts6'' des zweiten Bereichs2'' entlang der Schnittkante zu verteilen, um so eine Kontaktierung des ersten Kontakts6' des ersten Bereichs2' zu erreichen. - Durch Untersuchungen des Übergangs
7 wurde festgestellt, dass sich einerseits eine durchgehende elektrische Leitungsverbindung9 ausbildet und andererseits die zweite elektrische Leitungsunterbrechung10 an der abgewandten Seite bezüglich der elektrischen Leitungsverbindung9 ein scharfes, isolierendes Profil aufweist. - Auch wenn hier davon ausgegangen wird, dass der Strukturierungsimpuls im Bereich der Kontaktierung durch die elektrische Leitungsverbindung
9 schwächer ist als im Bereich der zweiten elektrischen Leitungsunterbrechung10 , ist es prinzipiell auch denkbar, dass der Strukturierungsimpuls im Bereich der elektrischen Leitungsverbindung9 stärker ist als im Bereich der elektrischen Leitungsunterbrechung10 . Prinzipiell liegt also das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren darin begründet, dass eine einheitlicher, aber asymmetrischer Strukturierungsimpuls hinsichtlich der zu strukturierenden Bereiche der elektrischen Leitungsverbindung9 und elektrischen Leitungsunterbrechung10 vorgenommen wird. Die Strukturierungsintensität soll also unterschiedlich hoch sein. - Das Verfahren kann beispielsweise mit einem optischen Element
40 gemäß3 ausgeführt werden, wobei das optische Element40 einen ersten Bereich41 aufweist, in dem planparallele Grenzflächen und somit eine konstante Dicke D vorliegen, und einen zweiten Bereich42 , in dem sich die Dicke ausgehend von der Dicke D des ersten Bereichs41 sukzessive bogenförmig verjüngt. In Bezug auf die Normale des ersten Bereichs41 parallel durchtretende Laserstrahlen verändern ihre Richtung hinter dem optischen Element40 nach Durchtritt durch den ersten Bereich41 nicht, während durch den zweiten Bereich42 durchtretende Laserstrahlen hinter einem Fokuspunkt divergieren. Dadurch wird ein erster Bereich41 mit gleicher Intensität bereitgestellt und ein zweiter Bereich42 , in dem die Intensität durch Strahlaufweitung verringert ist. - Auch wenn vorstehend stets von einer Laserstrukturierung ausgegangen wurde, können natürlich auch andere bekannte Strukturierungsmethoden Verwendung finden, wie beispielsweise eine Elektronenstrahlstrukturierung oder eine Ionenstrahlstrukturierung.
- Dadurch, dass die Photovoltaik-Modulstruktur
1 von2 durch das erfindungsgemäße Verfahren nicht den ungenutzten Bereich B der Photovoltaik-Modulstruktur aus1 aufweist, wurde ein absoluter Wirkungsgradgewinn von etwa 0,2% erreicht. Dies bedeutet, dass der Wirkungsgradzugewinn relativ um etwa 2% erhöht werden konnte, was einen bedeutenden Fortschritt in der Herstellung von Photovoltaik-Modulstrukturen darstellt. Außerdem lassen sich durch die erfindungsgemäße Photovoltaik-Modulstruktur1 , insbesondere unter Verwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens zwei Prozessschritte einsparen. Zum einen ist nämlich nur ein einziger Strukturierungsschritt, bevorzugt durch Laserstrahlstrukturierung, für die Erzeugung der Strukturen für die elektrische Leitungsverbindung9 und die zweite elektrische Leitungsunterbrechung10 erforderlich und zum anderen kann auf das Einbringen von leitfähigen Material in die Struktur der elektrischen Leitungsverbindung9 verzichtet werden, da sich diese elektrische Leitungsverbindung9 während des asymmetrischen Strukturierungsschrittes von selbst ausbildet. Hier wird also auch Material und Zeit eingespart. - Aus dem Vorstehenden ist klar geworden, dass sich mit der erfindungsgemäßen Photovoltaik-Modulstruktur
1 und durch Bereitstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Herstellen einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen voneinander beabstandeten Kontaktschichten besonders einfach und kostengünstig wirkungsgradoptimierte Photovoltaik-Modulstrukturen1 ergeben, wobei der Wirkungsgradzugewinn bedeutend ist.
Claims (6)
- Photovoltaik-Modulstruktur (
1 ) für die Dünnschichtphotovoltaik, wobei die Modulstruktur (1 ) zumindest zwei photovoltaisch wirksame Bereiche (2' ,2'' ) aufweist, wobei jeder Bereich (2' ,2'' ) in vertikaler Richtung zumindest eine optisch aktive Schicht (5' ,5'' ) aufweist, die zwischen zwei elektrischen ersten und zweiten Kontakten (4' ,4'' ,6' ,6'' ) angeordnet ist, wobei die Kontakte (4' ,4'' ,6' ,6'' ) jeweils zumindest eine elektrisch leitende Schicht umfassen, wobei die zwei Bereiche (2' ,2'' ) horizontal so aneinander mit einem Übergang (7 ) angrenzen, dass der Übergang (7 ) zwischen den zwei Bereichen (2' ,2'' ) eine horizontale Abfolge einer ersten elektrischen Leitungsunterbrechung (8 ) zwischen den ersten Kontakten (4' ,4'' ) des ersten (2' ) und zweiten Bereichs (2'' ), einer elektrischen Leitungsverbindung (9 ) zwischen dem zweiten Kontakt (6' ) des ersten Bereichs (2' ) und dem ersten Kontakt (4'' ) des zweiten Bereichs (2'' ) und eine zweite elektrische Leitungsunterbrechung (10 ) zwischen den zweiten Kontakten (6' ,6'' ) des ersten (2' ) und zweiten Bereichs (2'' ) umfasst, so dass die beiden Bereiche (2' ,2'' ) in Reihe verschaltet sind, wobei die Photovoltaik-Modulstruktur (1 ) auf einem transparenten Substrat angeordnet ist, wobei zumindest die elektrische Leitungsverbindung (9 ) und die zweite elektrische Leitungsunterbrechung (10 ) direkt aneinander angrenzen, wobei die elektrische Leitungsverbindung (9 ) in vertikaler Richtung zwischen dem zweiten Kontakt (6' ) des ersten Bereichs (2' ) und dem ersten Kontakt (4'' ) des zweiten Bereichs (2'' ) angeordnet ist, wobei die optisch aktiven Schichten (5' ,5'' ) und die elektrischen ersten (4' ,4'' ) und zweiten Kontakte (6' ,6'' ) als horizontal einheitlich abgeschiedene Photoschicht (5 ) und erste (4 ) und zweite Kontaktschichten (6 ) ausgebildet sind, die Photoschicht (5 ) die Materialien CdTe und CdS, die erste Kontaktschicht (4 ) ein transparentes leitendes Oxid und die zweite Kontaktschicht (6 ) Mo aufweisen, die erste elektrische Leitungsunterbrechung (8 ) als elektrisch isolierendes Füllmaterial Lacke oder Photoresist umfasst und die zweite elektrische Leitungsunterbrechung (10 ) als elektrisch isolierendes Füllmaterial Luft umfasst, wobei die erste Kontaktschicht (4 ) eine Dicke im Bereich von 0,01 bis 1 μm aufweist, die zweite Kontaktschicht (6 ) eine Dicke im Bereich von 0,01 bis 1 μm aufweist, die Photoschicht (5 ) eine Dicke im Bereich von 0,1 bis 10 μm aufweist, die erste elektrische Leitungsunterbrechung (8 ) eine Breite im Bereich von 5 bis 100 μm aufweist und die zweite elektrische Leitungsunterbrechung (10 ) eine Breite im Bereich von 5 bis 100 μm aufweist und die elektrische Leitungsverbindung (9 ) eine Breite im Bereich von 0,01 μm bis 40 μm aufweist und Material der ersten (4 ) und/oder zweiten Kontaktschicht (6 ) umfasst. - Photovoltaik-Modulstruktur (
1 ) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dassdie Breite der elektrischen Leitungsverbindung (9 ) 30 μm beträgt und/oder der Übergang (7 ) als im Wesentlichen vertikale Strukturierung ausgebildet ist. - Photovoltaik-Modulstruktur (
1 ) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die erste elektrische Leitungsunterbrechung (8 ) ebenfalls in der optisch aktiven Schicht (5' ) des ersten Bereichs (2' ) vorgesehen ist und bevorzugt als in eine Strukturierung eingebrachter isolierender Füllstoff ausgebildet ist. - Photovoltaik-Modulstruktur (
1 ) nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite elektrische Leitungsunterbrechung (10 ) durch eine strukturierte Unterbrechung in der zweiten Kontaktschicht (6'' ) des zweiten Bereichs (2'' ) gebildet ist, wobei die Unterbrechung sich bevorzugt zumindest auch über die optisch aktive Schicht (5'' ) des zweiten Bereichs (2'' ) erstreckt. - Verfahren zur Herstellung der elektrischen Leitungsverbindung (
9 ) zwischen dem zweiten Kontakt (6' ) des ersten Bereichs (2' ) und dem ersten Kontakt (4'' ) des zweiten Bereichs (2'' ) einer Photovoltaik-Modulstruktur (1 ) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei ein asymmetrischer Strukturierungsschritt vorgenommen wird zur gleichzeitigen Erzeugung der elektrischen Leitungsverbindung (9 ) und einer direkt angrenzenden elektrischen Leitungsunterbrechung in einer der beiden Kontaktschichten (4 ,6 ), bei dem die Strukturierungsintensität des Strukturierungspulses in einem äußeren Bereich des Strukturierungspulses soviel geringer ist, als in den übrigen Bereichen, dass sich in den mit geringerer Strukturierungsintensität erzeugten Strukturbereichen die elektrisch leitende Verbindung (9 ) zwischen der ersten (4 ) und zweiten Kontaktschicht (6 ) ausbildet, wobei durch den asymmetrischen Strukturierungsschritt Material der ersten Kontaktschicht (4 ) zur zweiten Kontaktschicht (6 ) hin oder von der zweiten Kontaktschicht (6 ) zur ersten Kontaktschicht (4 ) hin so umgelagert wird, dass die elektrisch leitende Verbindung (9 ) Material der ersten (4 ) und/oder zweiten Kontaktschicht (6 ) umfasst. - Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Strukturierungsschritt mittels Laserstrukturierung durchgeführt wird und die Bereiche unterschiedlicher Strukturierungsintensität dadurch erzeugt werden, dass ein asymmetrisches optisches Element verwendet wird, um durch Brechung, Beugung, Reflektion und/oder Streuung eine Intensitätsreduzierung zu erreichen, insbesondere ein Glas, das in einem ersten Bereich planparallel ist und dessen Dicke sich in einem zweiten Bereich bogenförmig verjüngt, und/oder dass zumindest zwei Laser verwendet werden, die eine unterschiedliche Intensität aufweisen, und/oder dass ein asymmetrisches Filterelement eingesetzt wird.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009055675.3A DE102009055675B4 (de) | 2009-11-25 | 2009-11-25 | Photovoltaik-Modulstruktur für die Dünnschichtphotovoltaik mit einer elektrischen Leitungsverbindung und Verfahren zur Herstellung der elektrischen Leitungsverbindung |
PCT/EP2010/006841 WO2011063894A2 (de) | 2009-11-25 | 2010-11-10 | Photovoltaik-modulstruktur und verfahren zum herstellen einer elektrisch leitenden verbindung zwischen zwei voneinander beabstandeten kontaktschichten, insbesondere in der photovoltaik-modulstruktur |
US13/512,134 US9202966B2 (en) | 2009-11-25 | 2010-11-10 | Photovoltaic module structure and method for producing an electrically conductive connection |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009055675.3A DE102009055675B4 (de) | 2009-11-25 | 2009-11-25 | Photovoltaik-Modulstruktur für die Dünnschichtphotovoltaik mit einer elektrischen Leitungsverbindung und Verfahren zur Herstellung der elektrischen Leitungsverbindung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102009055675A1 DE102009055675A1 (de) | 2011-05-26 |
DE102009055675B4 true DE102009055675B4 (de) | 2016-05-19 |
Family
ID=43902143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102009055675.3A Expired - Fee Related DE102009055675B4 (de) | 2009-11-25 | 2009-11-25 | Photovoltaik-Modulstruktur für die Dünnschichtphotovoltaik mit einer elektrischen Leitungsverbindung und Verfahren zur Herstellung der elektrischen Leitungsverbindung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9202966B2 (de) |
DE (1) | DE102009055675B4 (de) |
WO (1) | WO2011063894A2 (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011104020A1 (de) * | 2011-06-11 | 2012-12-13 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Verfahren zur Herstellung einer Kontaktschicht eines Solarmoduls und auf diese Weise hergestelltes Solarmodul |
WO2019232034A1 (en) * | 2018-05-30 | 2019-12-05 | Erten Eser | Thin-film photovoltaic device structure and method of monolithically interconnecting photovoltaic cells in modules utilizing such structure |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4517403A (en) * | 1983-05-16 | 1985-05-14 | Atlantic Richfield Company | Series connected solar cells and method of formation |
US4954181A (en) * | 1984-10-05 | 1990-09-04 | Fuji Electric Company Ltd. | Solar cell module and method of manufacture |
US4968354A (en) * | 1987-11-09 | 1990-11-06 | Fuji Electric Co., Ltd. | Thin film solar cell array |
DE4324318C1 (de) * | 1993-07-20 | 1995-01-12 | Siemens Ag | Verfahren zur Serienverschaltung einer integrierten Dünnfilmsolarzellenanordnung |
DE19934560A1 (de) * | 1999-07-22 | 2001-02-01 | Zsw | Photovoltaikmodul mit integriert serienverschalteten Zellen und Herstellungsverfahren hierfür |
KR20090067351A (ko) * | 2007-12-21 | 2009-06-25 | 주성엔지니어링(주) | 박막형 태양전지 및 그 제조방법 |
WO2009082141A2 (en) * | 2007-12-21 | 2009-07-02 | Jusung Engineering Co., Ltd. | Thin film type solar cell and method for manufacturing the same |
US20090260671A1 (en) * | 2007-12-13 | 2009-10-22 | First Solar, Inc. | Systems and methods of parallel interconnection of photovoltaic modules |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3653800B2 (ja) | 1995-06-15 | 2005-06-02 | 株式会社カネカ | 集積化薄膜太陽電池の製造方法 |
US20080047599A1 (en) * | 2006-03-18 | 2008-02-28 | Benyamin Buller | Monolithic integration of nonplanar solar cells |
-
2009
- 2009-11-25 DE DE102009055675.3A patent/DE102009055675B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-11-10 WO PCT/EP2010/006841 patent/WO2011063894A2/de active Application Filing
- 2010-11-10 US US13/512,134 patent/US9202966B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4517403A (en) * | 1983-05-16 | 1985-05-14 | Atlantic Richfield Company | Series connected solar cells and method of formation |
US4954181A (en) * | 1984-10-05 | 1990-09-04 | Fuji Electric Company Ltd. | Solar cell module and method of manufacture |
US4968354A (en) * | 1987-11-09 | 1990-11-06 | Fuji Electric Co., Ltd. | Thin film solar cell array |
DE4324318C1 (de) * | 1993-07-20 | 1995-01-12 | Siemens Ag | Verfahren zur Serienverschaltung einer integrierten Dünnfilmsolarzellenanordnung |
DE19934560A1 (de) * | 1999-07-22 | 2001-02-01 | Zsw | Photovoltaikmodul mit integriert serienverschalteten Zellen und Herstellungsverfahren hierfür |
US20090260671A1 (en) * | 2007-12-13 | 2009-10-22 | First Solar, Inc. | Systems and methods of parallel interconnection of photovoltaic modules |
KR20090067351A (ko) * | 2007-12-21 | 2009-06-25 | 주성엔지니어링(주) | 박막형 태양전지 및 그 제조방법 |
WO2009082141A2 (en) * | 2007-12-21 | 2009-07-02 | Jusung Engineering Co., Ltd. | Thin film type solar cell and method for manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011063894A2 (de) | 2011-06-03 |
US20120280349A1 (en) | 2012-11-08 |
DE102009055675A1 (de) | 2011-05-26 |
US9202966B2 (en) | 2015-12-01 |
WO2011063894A4 (de) | 2011-12-15 |
WO2011063894A3 (de) | 2011-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3121350A1 (de) | "verfahren zum herstellen einer sonnenbatterie" | |
DE102007032283A1 (de) | Dünnschichtsolarzellen-Modul und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102009041941A1 (de) | Dünnschichttyp-Solarzelle und Verfahren zum Herstellen derselben | |
EP2507834B1 (de) | Verfahren zum zumindest bereichsweisen entfernen einer schicht eines schichtenstapels | |
DE102013105426A1 (de) | Verfahren zum Laserritzen einer Solarzelle | |
DE112009001168T5 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilmsolarbatteriemoduls sowie Dünnfilmsolarbatteriemodul | |
DE102009041905A1 (de) | Serielle Verschaltung von Dünnschichtsolarzellen | |
EP2058870A2 (de) | Kontaktierung und Modulverschaltung von Dünnschichtsolarzellen auf polymeren Trägern | |
DE102012017564A1 (de) | Vorrichtung zur nicht-permanenten elektrischen Kontaktierung von Solarzellen zur Messung elektrischer Eigenschaften | |
DE112012006015T5 (de) | Herstellungsverfahren für Solarzelle | |
DE102011122281A1 (de) | Solarzellenmodul und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102009055675B4 (de) | Photovoltaik-Modulstruktur für die Dünnschichtphotovoltaik mit einer elektrischen Leitungsverbindung und Verfahren zur Herstellung der elektrischen Leitungsverbindung | |
DE102008053595A1 (de) | Schichtmaterialabtragverfahren mittels Laserstrahlung | |
WO2015027996A1 (de) | Verfahren zur herstellung von sub-solarmodulen durch elektrisch isolierende isoliergräben in einem dünnschichtsolarmodul und verfahren zur herstellung eines dünnschichtsolarmoduls mit derartigen isoliergräben | |
EP3039718B1 (de) | Teiltransparente dünnschichtsolarmodule | |
DE3234925C2 (de) | ||
DE69833167T2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer integrierten Dünnschicht-Solarzellenbatterie | |
DE3714920C1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Duennschicht-Solarzellenanordnung | |
DE102008029107B4 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Metallstruktur auf einer Oberfläche eines Halbleitersubstrates | |
DE102019122637B4 (de) | Verfahren zur Herstellung einer metallischen Kontaktierungsstruktur einer photovoltaischen Solarzelle | |
DE102016125637A1 (de) | Photovoltaik-Modul und Verfahren zur Herstellung eines Photovoltaik-Moduls | |
DE102011108070A1 (de) | Solarzelle und Verfahren zur Herstellung derselben | |
EP2352171A1 (de) | Solarzellenanordnung und Dünnschichtsolarmodul, sowie Herstellungsverfahren hierfür | |
DE102015114135A1 (de) | Photovoltaische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer photovoltaischen Vorrichtung | |
EP2442361A2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Verbindungen in einem Dünnschichtfotovoltaikmodul und Dünnschichtfotovoltaikmodul |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R082 | Change of representative |
Representative=s name: HECHT, JAN-DAVID, DIPL.-PHYS. DR. RER. NAT., DE |
|
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R079 | Amendment of ipc main class |
Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0031050000 Ipc: H01L0031046500 |
|
R020 | Patent grant now final | ||
R082 | Change of representative | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: TS GROUP GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: CALYXO GMBH, 06766 BITTERFELD-WOLFEN, DE |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |