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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines
Sensorelements und ein nach diesem Verfahren hergestelltes Sensorelement. Bei
dem Sensorelement kann es sich um einen Sensor zur Bestimmung der
Temperatur und/oder der Feuchte und/oder der Strömungsgeschwindigkeit und/oder
der Gaskonzentration handeln.
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Zur
Bestimmung der Temperatur, Feuchte, Strömungsgeschwindigkeit oder Gaskonzentration eines
Mediums kommen häufig
Sensorelemente zum Einsatz, welche in Dünn- oder Dickfilmtechnik auf
ein Substrat aufgebrachte Beschichtungen aufweisen.
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Zur
Kontaktierung der Schichten werden Kontaktierungsflächen auf
der Substratoberfläche aufgebracht.
Nach dem Einbau des Substrats in eine Leiterplatte werden die Kontaktierungsflächen in
einem der üblichen
Verfahren durch Drähte
mit den Leiterbahnen der Leiterplatten verbunden. Drähte stellen
in manchen Anwendungsbereichen unerwünschte Widerstände dar
und können
zudem abreißen.
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Eine
alternative Kontaktierungsmöglichkeit ist,
das Substrat so auf die Leiterplatte zu montieren, dass seine aktive
Fläche
der Leiterplatte zugewandt ist, sodass die Kontaktierungsflächen auf
zuvor auf der Leiterplatte aufgebrachte Lötstellen zu liegen kommen.
Hierzu ist es allerdings erforderlich, entsprechende Aussparungen
für die
auf das Substrat aufgebrachte aktive Schicht des Sensorelements
in der Leiterplatte anzubringen.
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Eine
weitere Kontaktierungsmethode besteht darin, zwei gegenüberliegende
Substratseiten mit einer Lotschicht zu beschichten, sodass die Kontaktierungsfläche von
der Substratoberfläche
zur Substratunterseite hin weitergeführt wird und mit entsprechenden
Lötstellen
auf der Leiterplatte in Kontakt gebracht wird. Bei dieser Methode
besteht der Nachteil darin, dass sie nicht uneingeschränkt anwendbar
ist. Beispielsweise ist bei Sensoren, bei welchen die auf dem Substrat
aufgebrachte aktive Schicht aus einem hitzeempfindlichen Material
besteht, das Aufbringen einer solchen Lotschicht nicht möglich, da
die hierzu erforderliche Hitze die aktive Schicht zerstören würde. Da
die beiden Substratseiten komplett beschichtet werden ist es zudem
nur möglich,
höchstens
zwei Kontaktierungsflächen
auf diese Weise zur Substratunterseite hin weiter zu führen. Daher
ist es nicht möglich,
Sensorelemente, welche mehr als zwei Kontaktierungsflächen benötigen, auf
diese Weise zu kontaktieren.
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Die
Aufgabe der Erfindung besteht daher darin, ein Verfahren und ein
nach diesem Verfahren hergestelltes Sensorelement bereit zu stellen,
mit welchem es möglich
ist, ein Sensorelement mit einer beliebigen Anzahl an Kontaktierungen
in einer zeitsparenden und einfachen Art und Weise herzustellen.
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Die
Aufgabe wird gelöst
durch ein Verfahren, wobei ein Substrat mit Durchkontaktierungen
versehen wird, wobei auf einer Seite des Substrats Anschlusskontakte
aufgebracht werden, und wobei auf der den Anschlusskontakten abgewandten
Seite des Substrats mindestens eine aktive Schicht aufgebracht wird.
Die Aufgabe wird weiterhin gelöst
durch ein nach diesem Verfahren hergestelltes Sensorelement.
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In
einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird ein Substrat
mit Durchkontaktierungen versehen. Hierzu werden Bohrungen, beispielsweise
durch punktförmiges
Bestrahlen mit einem Laser, in das Substrat eingebracht. Die Bohrungen
werden in einem Dickschichtverfahren mit einer Paste versehen, welche
bevorzugt aus AgPd besteht. Es versteht sich von selbst, dass auch
andere metallische Materialien hierfür zum Einsatz kommen können. Unter
einer Durchkontaktierung ist also eine metallisierte Bohrung zu
verstehen.
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Die
Durchkontaktierungen können
beispielsweise zylinderförmig
ausgestaltet sein und liegen bei rechteckiger Substratgrundfläche bevorzugt
in den Eckbereichen des Substrats. Auf diese Weise steht der Mittelbereich
des Substrats für
die Beschichtung mit der für
den jeweiligen Anwendungsbereich des Sensorelements sensitiven,
aktiven Schicht zur Verfügung.
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Unter
der aktiven Schicht ist eine Schicht zu verstehen, welche an der
Bestimmung der zu bestimmenden Messgröße teilnimmt. Im Falle eines
Temperatursensors kann dies beispielsweise ein Platinmäander sein,
der in einer Dünnschichttechnik
aufgetragen wurde.
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Das
Einbringen der Durchkontaktierungen im Substrat geschieht vor dessen
Beschichtung mit der aktiven Schicht. Auf diese Weise kann eine
Beschädigung
oder Zerstörung
der aktiven Schicht vermieden werden.
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In
einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden auf einer
Seite des mit den Durchkontaktierungen versehenen Substrats Anschlusskontakte
aufgebracht. Die Seite des Substrats, welch die Anschlusskontakte
trägt,
wird im Folgenden als Rückseite
des Substrats bezeichnet. Bei den Anschlusskontakten handelt es
sich um ein oder mehrere metallische Materialien, welche in einer Dünn- oder Dickschichttechnik
oder in einem Siebdruckverfahren auf das Substrat aufgetragen werden.
Das Aufbringen der Anschlusskontakte kann vor oder nach dem Aufbringen
der aktiven Schicht/en, sowie zwischen zwei Verfahrensschritten
erfolgen.
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In
einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird/werden
auf der Seite des Substrats, welche den Anschlusskontakten gegenüberliegt,
die aktive Schicht/die aktiven Schichten aufgetragen. Diese die
aktive Schicht/aktiven Schichten tragende Seite des Substrats wird
im Folgenden als Vorderseite des Substrats bezeichnet. Das Aufbringen
der aktiven Schichtaktiven Schichten geschieht in Dünn- oder Dickschichttechnik,
wobei die Schichten auch nacheinander bei dazwischen liegenden Aushärtephasen
aufgebracht werden können.
Das Aufbringen von Schichten wie Passivierungen oder Zwischenschichten
kann auch durch ein Siebdruckverfahren und/oder Sinterprozesse erfolgen.
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Das
im erfindungsgemäßen Verfahren
hergestellte Sensorelement kann durch die günstige Anordnung der Anschlusskontakte
auf der Rückseite des
Substrats in einem Pick-and-Place-Verfahren weiterverarbeitet werden.
Dieses Verfahren, bei dem Bauteile automatisiert aufgenommen und
auf einer Leiterplatte platziert werden, ist besonders Platz und Zeit
sparend.
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Eine
Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Sensorelements
sieht vor, dass das Substrat, welches als Träger der aktiven Schichten des
Sensorelements dient, Durchkontaktierungen aufweist. Die Durchkontaktierungen
umfassen metallisierte Bohrungen, welche durchgängig von einer Substratseite zur
gegenüberliegenden
Substratseite reichen. In dieser Ausgestaltung weisen die Durchkontaktierungen
keine zusätzliche
Beschichtung im Innenbereich auf, es sind jedoch Anwendungen denkbar,
bei denen eine zusätzliche
Beschichtung, beispielsweise aus einem lötbaren, schweißbaren oder
bondbaren Material, aufgebracht wird.
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Auf
einer Seite des Substrats, der Rückseite, sind
an den Endpunkten der Durchkontaktierungen Anschlusskontakte angebracht.
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Die
aktive Schicht/aktiven Schichten, die auf der Vorderseite des Substrats
aufgebracht ist/sind, wird/werden von der Rückseite des Substrats her über die
Durchkontaktierungen und die Anschlusskontakte kontaktiert.
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Hierdurch
ergibt sich der Vorteil, dass ein starkes Erhitzen, welches beispielsweise
beim Aufbringen einer leitfähigen
Schicht an den Seitenbereichen des Substrats, um die Kontakte von
der Substratvorderseite zur Substratrückseite hin zu führen nötig wäre, nicht
erforderlich ist. Auf diese Weise wird gewährleistet, dass Schichten aus
hitzeempfindlichen Materialien, wie beispielsweise Polymere, nicht durch
das Aufbringen der Kontaktierungen zerstört werden.
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Bei
einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Sensorelements ist das
leitfähige
Material der Anschlusskontakte in einer Schicht oder in mehreren Schichten
auf dem Substrat aufgebracht.
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Gemäß einer
Ausgestaltung der Erfindung sind die Anschlusskontakte lötbar und/oder
schweißbar
und/oder bondbar.
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Eine
Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass das Substrat zu einem
Anteil zwischen 96% und 99,6% aus Al2O3 besteht. Al2O3 eignet sich wegen einer Vielzahl vorteilhafter
Eigenschaften wie hoher thermischer und chemischer Beständigkeit.
Zudem weist es keine Halbleitereigenschaften auf und ist kostengünstig erhältlich.
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Eine
weitere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass das Substrat
im Wesentlichen aus ZrO2 besteht. Da ZrO2 eine geringe thermische Leitfähigkeit
aufweist, wird durch ein ZrO2-Substrat eine thermische
Entkopplung von auf dem Substrat aufgebrachten Elementen wie beispielsweise
einem Heizer und einem Temperatursensor gewährleistet.
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Eine
Weiterbildung des erfindungsgemäßen Sensorelements
sieht vor, dass das Substrat aus Silizium oder einem Glas besteht.
Glas eignet sich besonders wegen seiner hohen chemischen Beständigkeit
und geringen thermischen Leitfähigkeit
als Substrat. Zudem weist es keine Halbleitereigenschaften auf und
ermöglicht
wegen seiner geringen Oberflächenrauheit
auch das Aufbringen von Strukturen geringer Größe. Da es zudem in vielen Varianten
und kostengünstig
erhältlich
ist, trägt
dessen Verwendung zu einem kostengünstigen Sensorelement bei. Silizium
bringt den Vorteil mit sich, dass neben aktiven Schichten auch elektronische
Bauteile auf das Substrat aufgebracht werden können.
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Eine
weitere Weiterbildung des erfindungsgemäßen Sensorelements beinhaltet,
dass es sich bei dem Sensorelement um einen Feuchtesensor zur Messung
der relativen Feuchte handelt. Bevorzugt handelt es sich dabei um
einen kapazitiven Feuchtesensor, der eine feuchtesensitive Schicht
aufweist. Bevorzugt handelt es sich bei der feuchtesensitiven Schicht
um ein Polymer als Dielektrikum.
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Gemäß einer
Ausgestaltung der Erfindung handelt es sich bei dem erfindungsgemäßen Sensorelement
um einen Gas- oder Strömungssensor,
dem ein thermisches Prinzip zu Grunde liegt. In einer bevorzugten
Ausgestaltung weist dieser Gas- oder Strömungssensor mindestens eine
mäanderförmige Platinstruktur
auf, wobei mindestens eine der Platinstrukturen als Heizelement
ausgestaltet ist.
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Gemäß einer
weiteren Ausgestaltung der Erfindung handelt es sich bei dem Sensorelement
um einen Temperatursensor, welcher bevorzugt eine mäanderförmige Platinstruktur
aufweist.
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Eine
weitere Ausgestaltung sieht vor, dass das Sensorelement eine Kombination
von mindestens zwei Sensortypen umfasst, beispielsweise Temperatur-
und Feuchtesensor oder Gas- und Strömungssensor oder Temperatur-
und Strömungssensor.
Hierbei sind Ausgestaltungen denkbar, in denen die mindestens zwei
Sensortypen nebeneinander auf der Vorderseite des Substrats angeordnet
sind oder dass mindestens zwei Sensortypen übereinander in einer Art Sandwichkonstruktion
angeordnet sind.
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Eine
Weiterbildung des erfindungsgemäßen Sensorelements
sieht vor, dass es sich bei dem Material der Durchkontaktierungen
um AgPd handelt. AgPd zeichnet sich durch eine gute Beständigkeit
gegenüber
der hohen Prozesstemperaturen aus und ist zudem kostengünstig erhältlich.
Es versteht sich von selbst, dass auch andere metallische Materialien
an Stelle von AgPd das Material der Durchkontaktierungen bilden
können.
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Die
Erfindung wird anhand der nachfolgenden Figuren näher erläutert.
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1 zeigt
einen erfindungsgemäßen kombinierten
Temperatur- und Feuchtesensor, wobei die aktiven Schichten von Temperatursensor
und Feuchtesensor übereinander
in einer Sandwichkonstruktion angeordnet sind,
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2 zeigt
einen erfindungsgemäßen Strömungssensor,
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3 zeigt
die Rückseite
eines erfindungsgemäßen Sensorelements
in Draufsicht.
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1 zeigt
ein Ausführungsbeispiel
eines erfindungsgemäßen Sensorelements.
Gezeigt sind ein Temperatursensor 20 und ein Feuchtesensor 30 in
einer Sandwichkonstruktion. Auf der Vorderseite 11 des
Substrats 1 ist eine mäanderförmige Widerstandstruktur 2 aus
Platin zur Messung der Temperatur in einer Dünnfilmtechnik aufgebracht.
Neben Platin sind auch andere temperaturabhängige metallische Widerstände denkbar.
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Die
Luftfeuchte wird mit dem kapazitiven Sensor 30 bestimmt.
Der kapazitive Sensor 30 enthält eine Grundelektrode 4,
eine feuchtedurchlässige Deckelektrode 6 und
eine feuchtesensitive Schicht 5. Bei der feuchtesensitiven
Schicht handelt es sich in diesem Beispiel um ein Polymer, welches
das Dielektrikum des kapazitiven Feuchtesensors (30) darstellt, und
dessen Dielektrizitätskonstante
feuchteabhängig ist,
sodass das vom Feuchtesensor 30 gelieferte elektrische
Signal von der Umgebungsfeuchte abhängt. Um eine mögliche Temperaturabhängigkeit der
Dielektrizitätskonstanten
korrigieren zu können, ist
der Temperatursensor 20 in unmittelbarer Nähe des Feuchtesensors 30 angeordnet.
In dem hier abgebildeten Ausführungsbeispiel
sind Temperatursensor 20 und Feuchtesensor 30 in
einer Sandwichkonstruktion übereinander
angeordnet. Diese Anordnung spart Platz gegenüber einer Anordnung von Temperatursensor 20 und
Feuchtesensor 30 nebeneinander auf dem Substrat 1.
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Zwischen
der Widerstandstruktur 2 des Temperatursensors 20 und
der Grundelektrode 4 des Feuchtesensors 30 ist
eine Passivierung in Form einer Zwischenschicht 3 zur elektrischen
Isolierung aufgebracht.
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Zur
Kontaktierung der beiden Elektroden 4 und 6 des
Feuchtesensors 30 und der Widerstandstruktur 2 des
Temperatursensors 20 sind vier Kontaktierungen erforderlich.
Hierzu befinden sich in den vier Eckbereichen des rechteckigen Substrats 1 die jeweiligen
Anschlussbereiche der beiden Elektroden 4 und 6,
sowie der Widerstandstruktur 2. Über vier Durchkontaktierungen 71 im
Substrat 1 werden diese Anschlussbereiche zur Rückseite 12 des
Substrats 1 geführt.
Die Rückseite 12 des
Substrats 1 mit den dortigen Anschlusskontakten 72 ist
in den Erläuterungen
zu 3 beschrieben.
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In 2 ist
ein erfindungsgemäßer Strömungssensor 40 gezeigt.
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Um
die Strömungsgeschwindigkeit
eines Mediums zu bestimmen wird hier ein Heißfilmanemometer verwendet.
Dieses enthält
ein Heizelement, welches durch das vorbei fließende Medium abgekühlt wird,
sodass die Heizleistung, die zum Erhalt einer durch einen Temperatursensor
bestimmten Temperatur nötig
ist, ein direktes Maß für die Strömungsgeschwindigkeit
darstellt. Das Heizelement ist in dem hier dargestellten Strömungssensor 40,
wie auch der Temperatursensor, in Form einer Platinstruktur 2' ausgebildet.
Zur elektrischen Isolierung vom Substrat 1 ist zwischen
dem Substrat 1 und der Platinstruktur 2' eine Glasschicht 8 aufgebracht.
Um den Einsatz des Strömungssensors 40 in
einer Flüssigkeit
zu ermöglichen,
ist die Platinstruktur 2' von
einer Passivierung in Form einer feuchteundurchlässigen Deckschicht 9 umgeben.
Die Kontaktierung der Platinstruktur 2' erfolgt über die Durchkontaktierungen 71.
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3 zeigt
die der aktiven Schicht/den aktiven Schichten abgewandte Rückseite 12 eines
erfindungsgemäßen Sensorelements.
Die vier Durchkontaktierungen sind mit vier Anschlusskontakten 72 bedeckt.
Bei den Anschlusskontakten 72 handelt es sich um eine Schicht
oder mehrere Schichten aus leitfähigem
Material. Zudem ist das Material der Anschlusskontakte 72 lötbar, sodass
die Anschlusskontakte 72 beispielsweise in einem Reflow-Verfahren mit
entsprechenden Kontakten auf einer Leiterplatte verbindbar sind.
Die Anschlusskontakte können
auch aus einem schweißbaren
Material oder einem bondbaren Material bestehen, sodass die Anschlusskontakte 72 durch
Schweißen
oder Bonden mit den Kontakten auf der Leiterplatte verbindbar sind.
Die Anschlusskontakte 72 werden bevorzugt aus Nickel, Chrom,
Aluminium, Gold, Palladium, Titan, Wolfram oder Verbindungen aus
zwei oder mehr dieser Materialien gebildet. Die Durchkontaktierungen
bestehen aus einem metallischen Material, insbesondere hat sich
eine Silber-Palladium-Verbindung
als vorteilhaft erwiesen.
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- 1
- Substrat
- 2
- Widerstandstruktur
- 2'
- Platinstruktur
- 3
- Zwischenschicht
- 4
- Grundelektrode
des Feuchtesensors
- 5
- Feuchtesensitive
Schicht
- 6
- Deckelektrode
des Feuchtesensors
- 71
- Durchkontaktierung
- 72
- Anschlusskontakte
- 8
- Glasschicht
- 9
- Deckschicht
- 10
- Sensorelement
- 11
- Vorderseite
des Substrats
- 12
- Rückseite
des Substrats
- 20
- Temperatursensor
- 30
- Feuchtesensor
- 40
- Strömungssensor