WO2010136351A3 - Sensorelement - Google Patents

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WO2010136351A3
WO2010136351A3 PCT/EP2010/056740 EP2010056740W WO2010136351A3 WO 2010136351 A3 WO2010136351 A3 WO 2010136351A3 EP 2010056740 W EP2010056740 W EP 2010056740W WO 2010136351 A3 WO2010136351 A3 WO 2010136351A3
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Thomas BÜRGLER
Florian Krogmann
Christian Hepp
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Innovative Sensor Technology Ist Ag
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    • G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
    • G01D11/245—Housings for sensors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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Abstract

Es wird ein Sensorelement zur Messung der Temperatur und/oder der Feuchte und/oder der Strömungsgeschwindigkeit und/oder der Gaskonzentration oder der Leitfähigkeit beschrieben, welches mindestens eine aktive Schicht aufweist, die auf einem Substrat aufgebracht ist, wobei das Substrat mit Durchkontaktierungen versehen ist, auf einer der Substratseiten Anschlusskontakte aufgebracht sind, und auf der den Anschlusskontakten abgewandten Seite des Substrats die mindestens eine aktive Schicht aufgebracht ist.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011085310A1 (de) * 2011-10-27 2013-05-02 Innovative Sensor Technology Ist Ag Verfahren zur Bestimmung mindestens einer intrinsischen Eigenschaften eines flüssigen Mediums und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102011089608A1 (de) * 2011-12-22 2013-06-27 Horst Siedle Gmbh & Co. Kg Gehäuseteil für einen elektrischen Sensorsowie Verfahren zur Herstellung des Gehäuseteils
DE102012106939A1 (de) 2012-07-30 2014-01-30 Innovative Sensor Technology Ist Ag Vorrichtung zur kapazitiven Bestimmung des Feuchtegehalts und Verfahren zum Betreiben der Vorrichtung
DE102015114314A1 (de) 2015-08-28 2017-03-02 Innovative Sensor Technology Ist Ag Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors
DE102016117088A1 (de) 2016-09-12 2018-03-15 Innovative Sensor Technology Ist Ag Vorrichtung zur kapazitiven Bestimmung des Feuchtegehalts und Verfahren zum Betreiben der Vorrichtung
DE102017130950A1 (de) 2017-12-21 2019-06-27 Innovative Sensor Technology Ist Ag Thermischer Strömungssensor zum Bestimmen der Temperatur und der Strömungsgeschwindigkeit eines strömenden Messmediums
EP3767285A4 (de) * 2018-07-04 2021-12-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Verbundsensor
DE102019127915A1 (de) * 2019-10-16 2021-04-22 Tdk Electronics Ag Sensorelement und Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1990004171A1 (de) * 1988-10-14 1990-04-19 Robert Bosch Gmbh SENSORELEMENT FÜR GRENZSTROMSENSOREN ZUR BESTIMMUNG DES μ-WERTES VON GASGEMISCHEN
DE102006021432A1 (de) * 2005-06-11 2006-12-14 Moos, Ralf, Prof. Dr. Ing. Integration von bereits gebrannten Substratkeramiken mit LTCC-Folien
WO2008009347A1 (de) * 2006-07-21 2008-01-24 Georg Bernitz Temperaturmesssensor und verfahren zu dessen herstellung

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD275538A1 (de) * 1988-09-12 1990-01-24 Feutron Greiz Veb Verfahren zur herstellung eines kapazitiven sorptionsfeuchtesensors
DE3941837C2 (de) * 1989-12-19 1994-01-13 Bosch Gmbh Robert Widerstandsmeßfühler zur Erfassung des Sauerstoffgehaltes in Gasgemischen und Verfahren zu seiner Herstellung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1990004171A1 (de) * 1988-10-14 1990-04-19 Robert Bosch Gmbh SENSORELEMENT FÜR GRENZSTROMSENSOREN ZUR BESTIMMUNG DES μ-WERTES VON GASGEMISCHEN
DE102006021432A1 (de) * 2005-06-11 2006-12-14 Moos, Ralf, Prof. Dr. Ing. Integration von bereits gebrannten Substratkeramiken mit LTCC-Folien
WO2008009347A1 (de) * 2006-07-21 2008-01-24 Georg Bernitz Temperaturmesssensor und verfahren zu dessen herstellung

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