WO2010136351A3 - Sensorelement - Google Patents

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WO2010136351A3
WO2010136351A3 PCT/EP2010/056740 EP2010056740W WO2010136351A3 WO 2010136351 A3 WO2010136351 A3 WO 2010136351A3 EP 2010056740 W EP2010056740 W EP 2010056740W WO 2010136351 A3 WO2010136351 A3 WO 2010136351A3
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Thomas BÜRGLER
Florian Krogmann
Christian Hepp
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Innovative Sensor Technology Ist Ag
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    • G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
    • G01D11/245—Housings for sensors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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Abstract

Es wird ein Sensorelement zur Messung der Temperatur und/oder der Feuchte und/oder der Strömungsgeschwindigkeit und/oder der Gaskonzentration oder der Leitfähigkeit beschrieben, welches mindestens eine aktive Schicht aufweist, die auf einem Substrat aufgebracht ist, wobei das Substrat mit Durchkontaktierungen versehen ist, auf einer der Substratseiten Anschlusskontakte aufgebracht sind, und auf der den Anschlusskontakten abgewandten Seite des Substrats die mindestens eine aktive Schicht aufgebracht ist.
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