DE102008060211A1

DE102008060211A1 - Verfahren zur Metallkontaktierung einer Solarzelle oder Verfahren zur Herstellung eines Solarmoduls und Laserauftragsschweiß-Anlage

Info

Publication number: DE102008060211A1
Application number: DE102008060211A
Authority: DE
Inventors: Rüdiger Dr. Meyer; Sonja Hermann
Original assignee: Stiebel Eltron GmbH and Co KG
Current assignee: Stiebel Eltron GmbH and Co KG
Priority date: 2008-12-04
Filing date: 2008-12-04
Publication date: 2010-06-10

Abstract

Es wird ein Verfahren zur Metallkontaktierung einer Solarzelle vorgesehen. Ein Laserauftragsschweißen wird zum Aufbringen von Metallkontaktierungen durchgeführt. Metallpartikel werden durch einen Pulverstrahl auf ein Substrat geblasen und ein Laserstrahl kann diese Partikel schmelzen und mit einer Oberfläche der Solarzelle verschweißen.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Metallkontaktierung einer Solarzelle, ein Verfahren zur Herstellung eines Solarmoduls und eine Laserauftragsschweiß-Anlage.
Eine Solarzelle stellt ein Halbleiterbauelement zur Umwandlung von Lichtenergie in elektrische Energie dar. Eine Solarzelle weist typischerweise zwei unterschiedlich leitfähige Bereiche auf, die zur Folge haben, dass Licht in elektrische Energie umgewandelt werden kann. Schließlich muss die in der Zelle generierte elektrische Energie aus der Zelle herausgeführt werden. Es ist bei der Solarzelle notwendig, dass die zwei unterschiedlich leitfähigen Bereiche getrennt voneinander kontaktiert werden. Herkömmlicherweise erfolgt dies durch ein Auftragen von Metallen oder metallhaltigen Schichten. Die entsprechend kontaktierten Bereiche stellen einen Plus- und einen Minuspol der Solarzelle dar. Da die Solarzelle üblicherweise lediglich eine begrenzte Ausgangsleistung aufweist, werden Solarzellen nicht einzeln vorgesehen, sondern in einer Vielzahl zu einem Solarmodul verbunden. Dazu werden die Solarzellen typischerweise mit Verbindungsstreifen in Reihe verlötet. Bei Solarzellen mit einem Leistungsbereich von mehreren Watt kann der dabei erzeugte Strom im Bereich bis über 10 Ampere liegen. Für die elektrische Kontaktierung der Plus- und Minuspole der Solarzellen und die elektrischen Leiterbahnen auf der Solarzelle zum Abtransport eines derartigen Stroms werden typischerweise leitfähige Schichten mit einer Schichtdicke von ≥ 10 μm benötigt. Alternativ dazu können aber auch noch dünnere Schichten verwendet werden.
Das Herstellen der entsprechenden Kontakte kann beispielsweise mittels Siebdruck, mittels einer direkten Galvanik, mittels eines galvanischen Verstärkens von Saatschichten oder durch Verdampfen oder Sputtern von Metallen ermöglicht werden. Bei der Kontaktierung von Solarzellen werden üblicherweise Aluminium, Nickel, Titan, Kupfer und/oder Silber verwendet.
Ferner wird zur Verbindung der einzelnen Solarzellen in dem Solarmodul ein Verfahren verwendet, bei dem Kontaktierflächen aus lötfähigem Material aufgebracht werden. Durch diese Kontaktierflächen werden die Solarzellen in dem Solarmodul beispielsweise mittels angelöteter verzinnter Kupferbändchen verbunden.
Mit den oben genannten Verfahren kann somit eine entsprechende Kontaktierung der Solarzellen und die Verbindung im Solarmodul derart erfolgen, dass ein Abtransport des in den Solarzellen erzeugten Stroms ohne Weiteres ermöglicht wird. Nachteilig bei dem oben genannten Verfahren ist jedoch, dass Schablonen oder Maskierungen benötigt werden, um eine Unterscheidung bzw. Trennung zwischen den Plus- und den Minusbereichen zu gewährleisten. Hierbei kann der Justieraufwand zum Justieren dieser Maskierungen erheblich sein. Bei berührenden Verfahren wie beispielsweise beim Siebdruck kann es bei dünnen Substraten zu Brüchen des Substrates kommen. Bei dem Galvanikverfahren muss eine nachfolgende Reinigung der Zellen erfolgen, um die Solarzelle von den Chemikalien zu säubern.
Es ist somit eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Metallkontaktierung einer Solarzelle und ein Verfahren zum Herstellen von Solarmodulen vorzusehen, welches eine einfachere Herstellung ermöglicht.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 und 4 sowie durch eine Laserauftragsschweiß-Anlage gemäß Anspruch 8 gelöst.
Somit wird ein Verfahren zur Metallkontaktierung einer Solarzelle vorgesehen. Ein Laserauftragsschweißen wird zum Aufbringen von Laserkontaktierungen durchgeführt. Metallpartikel werden durch einen Pulverstrahl auf ein Substrat gebracht, insbesondere geblasen, und ein Laserstrahl schmilzt diese Partikel und verschweißt sie mit der Oberfläche der Solarzelle.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist der Pulverstrahl wenigstens teilweise koaxial um den Laserstrahl angeordnet. Der Pulverstrahl und der Laserstrahl können somit leichter relativ zueinander fokussiert werden. Bei einer entsprechenden Vorrichtung ist die Austrittsöffnung des Laserstrahls in der Mitte der Pulverdüse angordnet. Die Fokussierung des Pulvers erfolgt in einem Ausführungsbeispiel durch eine Drallbildung. In einem anderen Ausführungsbespiel sind mehrere einzelne Düsen um den Laserstrahl angeordnet und sprühen das Pulver fokussiert auf eine Punktfläche.
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Saatschicht aus Metall auf der Oberfläche des Substrats aufgebracht und das Laserauftragsschweißen erfolgt auf der Saatschicht. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein Verfahren zum Herstellen eines Solarmoduls. Das Solarmodul weist eine Mehrzahl von Solarzellen auf, bei welchen Laserkontaktierungen durch ein Laserauftragsschweißen aufgebracht worden sind. Hierbei werden Metallpartikel durch einen Pulverstrahl auf ein Substrat geblasen und ein Laserstrahl schmilzt diese Partikel und verschweißt sie mit der Oberfläche der Solarzelle.
Die Erfindung betrifft ebenfalls eine Laserauftragsschweißanlage mit einer Lasererzeugungseinheit zum Erzeugen eines Laserstrahls, einer ersten Optikeinheit mit einer Umlenkspiegeleinheit zum Fokussieren und Richten des Laserstrahls auf ein Substrat, einer Düse zum Blasen eines Pulver-Gasstrahles auf die Oberfläche des Substrats und einer Steuereinheit zum Steuern des Laserauftragsschweißens von Metallkontaktierungen auf einer Solarzelle, wobei Metallpartikel durch einen Pulverstrahl auf das Substrat geblasen werden und ein Laserstrahl diese Partikel schmilzt und mit einer Oberfläche der Solarzelle verschweißt.
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung weist die Laserauftragsschweißanlage eine zweite Lasererzeugungseinheit und eine zweite Optikeinheit auf. Die zweite Optikeinheit dient zum Lenken des Laserstrahls auf die Oberfläche des Substrats, um die Oberfläche des Substrats vorzubehandeln. Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird durch die zweite Lasererzeugungseinheit und die zweite Optikeinheit eine vorhandene dünne Oberflächenschicht von der Substratschicht entfernt, um anschließend einen Laserauftragsschweißvorgang durchführen zu können.
Die Erfindung betrifft den Gedanken, die für eine Solarzelle benötigten Metallkontakte mittels Laserauftragsschweißen aufzubringen. Somit betrifft die Erfindung ebenfalls eine Verwendung von Laserauftragsschweißen zur Herstellung von Solarzellen bzw. Solarmodulen mit einer Vielzahl von Solarzellen. Dabei wird gesprühtes Metallpulver mittels eines Lasers geschmolzen und mit dem Substrat oder mit einer metallischen Saatschicht auf der Solarzelle verschweißt. Das Metallpulver wird mittels einer Düse auf das Substrat gerichtet und der Laserstrahl wird auf die Oberfläche des Substrates fokussiert. Wenn der Laser und der Partikelstrom zusammentreffen, werden die Partikel des Pulverstroms geschmolzen und es wird Energie in die oberen Bereiche des Substrates eingetragen, so dass das Substrat und die Partikel des Partikelstroms verschweißt werden.
In einem Ausführungsbeispiel werden Metallschichten lokal in einem auf die Solarzelle bezogenen kleinen Bereich aufgetragen. Der Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, dass keine Maskierungen zum Herstellen der Kontaktierungen benötigt werden. Der Laserstrahl kann durch eine entsprechen de Laseranlage beispielsweise mit Umlenkspiegeln dazu gebracht werden, jeden Punkt der Solarzelle abzufahren. Falls Pulver nach dem Laserauftragsschweißen der Solarzelle übrig geblieben ist, so kann dieses Pulver weggeblasen und ggf. wieder verwendet werden.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Vorteile und Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.
1 zeigt eine schematische Darstellung des Laserauftragsschweißens an einer Solarzelle gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel,
2 zeigt eine schematische Darstellung des Laserauftragsschweißens an einer Solarzelle mit einem Lötpad oder Schweißpad gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel,
3 zeigt eine schematische Darstellung des Laserauftragsschweißens an einer Solarzelle mit einer Saatsschicht gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel,
4 zeigt eine schematische Darstellung des Laserauftragsschweißens einer Solarzelle gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel und
5 zeigt eine schematische Darstellung einer Anlage zum Laserauftragsschweißen gemäß einem fünften Ausführungsbeispiel.
1 zeigt eine schematische Darstellung des Laserauftragsschweißens an einer Solarzelle gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel. Ein Pulver-Gas-Strahl PGS wird mittels einer Düse D auf die Oberfläche eines Substrats S (beispielsweise Silizium) aufgesprüht. Ein Laserstrahl LS trifft auf den Partikelstrom des Pulver-Gas-Strahls PGS und die Partikel des Strahles werden in einem Schmelzbereich SB geschmolzen und mit dem oberen Bereich des Substrats S verschweißt. Somit wird eine Schicht SC, beispielsweise eine Metallisierungs schicht, auf dem Substrat S ausgebildet. Zwischen dem Substrat und der Schicht SC entsteht eine stabile Verbindungszone VZ.
Der Laserstrahl wird auf die Oberfläche des Substrats S fokussiert. Unterhalb der Verbindungszone wird eine Wärmeeintragszone WEZ ausgebildet. Die Ausdehnung dieser Wärmeeintragszone WEZ stellt dabei typischerweise lediglich ein Drittel der Tiefe der erzeugten Schicht dar. Die Eindringtiefe der Wärmeeintragszone WEZ kann durch die Verweildauer des Lasers auf der Oberfläche variiert werden. Vorzugsweise wird lediglich eine kurze Verweilzeit des Lasers auf der Oberfläche bei einer kleinen Wärmeeintragsfläche vorgesehen. Die Leistung des Laserstrahls kann z. B. bis 1000 Watt (oder mehr) betragen, insbesondere ca. 20 bis 300 W Der Wärmeeintrag hängt des Weiteren von der durch das Lasersystem vorgegebenen Leistungsdichte ab, die z. B. von der Fokussierung, der bestrahlten Fläche und der Geschwindigkeit, mit der der Laser über das Substrat oder die Oberfläche bewegt wird, abhängt. Die Bewegung erfolgt in die Bewegungsrichtung BL durch Bewegung des Lasers und/oder in die Bewegungsrichtung BS durch Bewegung des Substrates. Die Leistungsdichte liegt vorzugsweise in einem Bereich von ca. 1.
Der Laserstrahl LS und der Partikelstrom können durch einen entsprechenden Umlenkmechanismus im Wesentlichen frei auf der Oberfläche des Substrats bewegt werden, so dass eine beliebige Struktur der Metallisierung ermöglicht werden kann. Das Substrat S kann aus verschiedenen Materialien bestehen. Das Substrat S stellt vorzugsweise eine Oberfläche einer Solarzelle dar. Die Oberfläche kann somit entweder Silizium oder ein Saatmetall bzw. eine Saatschicht darstellen. Vorzugsweise treffen der Partikelstrom und der Laserstrahl an etwa der gleichen Stelle auf der Oberfläche auf. Es erfolgt somit eine Zufuhr des Partikelstroms oder der Partikel auf die Oberfläche oder in die Nähe der Oberfläche nahezu gleichzeitig mit dem Einwirken des Laserstrahls. In einem Ausführungsbeispiel trifft der Laserstrahl zunächst auf die noch nicht auf der Oberfläche befindlichen Partikel, die Partikel, die sich sozusagen noch in der Luft befinden und dort schon vom der Energie des Laserstrahl vorbehandelt werden. Gemäß einem anderen Gedanken der Erfindung wird zumindest ein Teil oder der ganze Parti kelstrom in Bewegungsrichtung vor dem Laser auf die Oberfläche aufgebracht und erst danach, insbesondere unmittelbar danach, mit dem Laser bestrahlt.
2 zeigt eine schematische Darstellung des Laserauftragsschweißens an einer Solarzelle mit einem Lötpad oder einem Schweißpad gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel. Auf dem Substrat S kann eine Kontaktschicht KS vorgesehen werden.
Ein Lötpad oder ein Schweißpad kann auf der Kontaktschicht KS aufgebracht werden. Mittels des Laserstrahls LS und dem Partikelstrom PGS wird ein insbesondere lötfähiges Material auf die Kontaktschicht KS aufgebracht. Das Lötpad oder Schweißpad dient gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel dazu, elektrische Leitungen an die Solarzelle insbesondere anzulöten oder anzuschweißen.
3 zeigt eine schematische Darstellung eines Laserauftragsschweißens an einer Solarzelle mit einer Saatschicht gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel. Das Laserauftragsschweißen gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel basiert im Wesentlichen auf dem Laserauftragsschweißen gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel, wobei jedoch eine Saatschicht SS auf dem Substrat S vorgesehen wird und das Laserauftragsschweißen in Verbindung mit der Saatschicht SS erfolgt. Somit kann eine Verbindungszone VZ zwischen der Saatschicht SS und der Metallisierungsschicht SC entstehen. Die Wärmeeintragszone WEZ kann ferner in der Saatschicht SS vorhanden sein.
Gemäß 3 kann eine Saatschicht eine komplett durchgängige Metallschicht darstellen, welche aufgrund ihrer geringen Dicke von üblicherweise bis zu 3 μm nicht für den Stromtransport, jedoch für einen elektrischen Kontakt des Siliziums verwendet werden kann. Eine derartige Saatschicht kann beispielsweise mittels Sputtern aufgetragen werden.
Wenn eine dünne Saatschicht gemäß 3 vorgesehen wird, dann kann diese auf bekannte Art und Weise aufgebracht werden und mittels des Laserauftragsschweißens verstärkt werden. Dies hat den Vorteil, dass das Silizium der Solar zelle nicht angegriffen wird und eine gute Kontaktqualität gewährleistet werden kann. Durch die Verdickung aufgrund des Laserauftragsschweißens kann ein ausreichendes Volumen für den Stromtransport ermöglicht werden.
Wenn die Saatschicht durchgängig grenzflächig ist, dann kann die durch das Laserauftragsschweißen erzeugte Verdickung strukturiert ausgeführt werden und als Ätzschutz für die Kontaktfläche dienen. Die Saatschicht kann dann in nicht verdickten Bereichen, z. B. durch Ätzen, entfernt werden, so dass ein strukturierter Kontakt entstehen kann.
Alternativ zu dem oben Gesagten kann das Laserauftragsschweißen jedoch ebenfalls ohne eine Saatschicht direkt auf der Oberfläche des Substrats erfolgen.
4 zeigt eine schematische Darstellung des Laserauftragsschweißens einer Solarzelle gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel. Das Laserauftragsschweißen gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel basiert im Wesentlichen auf einem Laserauftragsschweißen gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel, d. h. eine Saatschicht SS wird auf einem Substrat S vorgesehen. Zusätzlich zu einem ersten Laserstrahl LS für das Laserauftragsschweißen kann ein zweiter Laserstrahl LS2 vorgesehen werden, welcher auf eine Oberfläche IS der Saatschicht SS gerichtet wird, um die Oberfläche IS vorzubehandeln.
Alternativ besteht die Möglichkeit, einen Teil des ersten Laserstrahls LS direkt auf die Oberfläche IS zu lenken und/oder das Metallpulver nur teilweise in den Laserstrahl LS zu geben, so dass ein Teil des Laserstrahl direkt auf die Oberfläche IS trifft und die diese behandelt, insbesondere entfernt. In vorteilhafter Weise wird das Pulver bezüglich der Bewegungsrichtung B des Lasers dann im hinteren Teil des Laserstrahls LS eingeblasen, so dass der Vorderteil des Laserstrahls LS direkt auf die Oberfläche IS trifft.
5 zeigt eine schematische Darstellung einer Laseranlage zum Laserauftragsschweißen gemäß einem fünften Ausführungsbeispiel. Die Laseranlage weist eine Lasererzeugungseinheit LA, ein Lichtleitkabel LLK, eine Optikeinheit OE mit einer Umlenkspiegeleinheit US sowie eine Kamera K auf, welche mit der Optikeinheit OE gekoppelt ist und die Bearbeitung eines Substrats optisch erfasst. Dabei kann mittels der Optikeinheit OE das aufgezeichnete sichtbare Licht an die Kamera K weitergeleitet werden. Mittels der Umlenkspiegeleinheit US kann der Laserstrahl auf im Wesentlichen jeden beliebigen Punkt auf dem Substrat gerichtet werden. Eine Steuereinheit SE wird zum Steuern der Optikeinheit OE vorgesehen, um das Laserauftragsschweißen zu steuern.
In der Laseranlage ist ferner eine Düse D zum Erzeugen eines Pulver-Gas-Strahles PGS vorgesehen. Die Umlenkspiegeleinheit US kann optionalerweise für sichtbares Licht durchlässig sein, um eine gleichzeitige optische Kontrolle des Laserauftragsschweißens zu ermöglichen. Mittels des Laserstrahles LS können Strukturbreiten von 40 μm bis 300 μm erzeugt werden. Falls breitere Strukturen benötigt werden, dann können Spuren nebeneinander aufgebracht werden.
Wenn nach dem Laserauftragsschweißen noch Pulverreste in der Anlage bzw. auf der Substratoberfläche vorhanden sind, dann können sie abgeblasen und wieder verwendet werden. Dies ist insbesondere dahingehend vorteilhaft, als dass kein weiterer oder zusätzlicher Reinigungsschritt sowie eine entsprechende Entsorgung benötigt wird.
Die Positionierung des Laserstrahls erfolgt mit Hilfe der Kamera sowie einer entsprechenden Bilderkennungseinheit beispielsweise basierend auf einer Bilderkennungssoftware. Mittels dieser Bilderkennungssoftware kann die Zelle geometrisch vermessen werden, das Laserauftragsschweißen kann überwacht und die Mustergeometrie der Zellgeometrie angepasst werden.
Zum Vorsehen der Metallisierungen, sowie der Kontakte kann beispielsweise Aluminium mittels des Pulver-Gas-Strahles PGS auf das Substrat gebracht, insbesondere geblasen werden. Falls zusätzlich dazu noch Kontaktierflächen für eine spätere Verbindung mit anderen Zellen vorgesehen werden sollen, dann kann Zinn oder ein anderes, lötfähiges Material ebenfalls durch Laserauftragsschweißen aufgetragen werden.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung wird zunächst eine aufgedampfte Aluminiumsaatschicht vorgesehen und anschließend erfolgt ein Laserauftragsschweißen mit Aluminiumpulver, um die Saatschicht teilweise zu verstärken. Anschließend können Kontaktierflächen an den gewünschten Positionen mittels eines Laserauftragsschweißens von Zinn vorgesehen werden. Die überschüssige Metallschicht zwischen den verstärkten Bereichen kann mit einem kurzen Ätzschritt entfernt werden.
Es können auch auf einer aufgedampften oder anderweitig aufgebrachten dicken Al-Schicht mittels Laserauftragsschweißen Zinn- oder andere lötbare Schichten als Kontaktierflächen aufgebracht werden.
Die Laserauftragsschweißanlage kann z. B. gemäß 4 eine zweite Lasererzeugungseinheit und eine zweite Optikeinheit aufweisen. Durch die zweite Lasererzeugungseinheit und die zweite Optikeinheit kann ein zweiter Laserstrahl LS2 auf das Substrat gelenkt werden und die Oberfläche des Substrats kann entsprechend vorbehandelt werden, damit das Laserauftragsschweißen an dieser Position erleichtert wird. Hierbei kann eine vorhandene und den Laserauftragsschweißprozess erschwerende dünne Oberflächenschicht von der Substratoberflache entfernt werden, damit ein Laserauftragsschweißvorgang unmittelbar darauf an derselben Position erfolgen kann.
Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel kann das Laserauftragsschweißen gemäß dem ersten und zweiten Ausführungsbeispiel insbesondere bei einer Rückkontakt-Solarzelle mit einer Rückseitenkontaktgeometrie durchgeführt werden. Das Laserauftragsschweißen kann beispielsweise nach einer nasschemischen Kontakttrennung der dünnen Aluminiumsaatschicht erfolgen.
Der Vorteil des Laserauftragsschweißens beim Herstellen von Metallkontaktierungen bei einer Solarzelle besteht insbesondere darin, dass keine Maskierungen benötigt werden und der Prozess vollständig berührungsfrei ist.

Claims

Verfahren zur Metallkontaktierung einer Solarzelle mit den Schritten Durchführen eines Laserauftragsschweißens zum Aufbringen von Metallkontaktierungen, wobei Metallpartikel durch einen Pulverstrahl auf das Substrat gebracht werden und ein Laserstrahl diese Partikel schmilzt und mit einer Oberfläche der Solarzelle verschweißt.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei eine Saatschicht aus Metall auf der Oberfläche des Substrats aufgebracht ist und das Laserauftragsschweißen auf der Saatschicht erfolgt.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Metallkontaktierung als Lötpad oder als Schweißstelle mit einem lötfahigen oder schweißbaren Material vorgesehen ist.
Verfahren zum Herstellen eines Solarmoduls, mit den Schritten Vorsehen einer Vielzahl von Solarzellen und Metallkontaktieren der Vielzahl der Solarzellen nach einem Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2.
Solarzelle, hergestellt oder herstellbar nach einem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2.
Solarmodul, herstellbar oder hergestellt durch ein Verfahren gemäß Anspruch 3.
Verwendung von Laserauftragsschweißen zum Herstellen von Metallkontaktierungen in einer Solarzelle.
Laserauftragsschweiß-Anlage zum Herstellen von Metallkontaktierungen in einer Solarzelle, mit einer ersten Lasererzeugungseinheit (LA) zum Erzeugen eines Laserstrahls (LS), einer ersten Optikeinheit (OE) mit einer Umlenkspiegeleinheit (US) zum Fokussieren und Richten des Laserstrahls (LS) auf ein Substrat (S) der Solarzelle, einer Düse (D) zum Blasen eines Pulver-Gas-Strahles (PGS) auf die Oberfläche des Substrats, und einer Steuereinheit (SE) zum Steuern eines Laserauftragsschweißens zum Aufbringen von Metallkontaktierungen auf der Solarzelle, wobei Metallpartikel durch einen Pulverstrahl auf das Substrat geblasen werden und ein Laserstrahl diese Partikel schmilzt und mit einer Oberfläche der Solarzelle verschweißt.
Laserauftragsschweiß-Anlage nach Anspruch 8, ferner mit einer zweiten Lasererzeugungseinheit und einer zweiten Optikeinheit zum Lenken des Laserstrahls auf das Substrat und zum Vorbehandeln der Oberfläche des Substrates derart, dass das Laserauftragsschweißen an dieser Position erleichtert wird.
Laserauftragsschweiß-Anlage nach Anspruch 9, wobei eine vorhandene und den Laserauftragsschweißprozess erschwerende dünne Oberflächenschicht von der Substratoberfläche entfernt wird und der Laserauftragsschweißvorgang unmittelbar darauf folgend an derselben Position durchgeführt wird.
Laserauftragsschweiß-Anlage nach Anspruch 8, 9 oder 10 wobei die Austrittsöffnung des Laserstrahls in der Mitte der Pulverdüse angordnet ist.