DE102008051459A1 - Einrichtung zur unmittelbaren Messung bei schichtweiser Bearbeitung von Körpern mittels Laserstrahlung wenigstens eines Lasers - Google Patents

Einrichtung zur unmittelbaren Messung bei schichtweiser Bearbeitung von Körpern mittels Laserstrahlung wenigstens eines Lasers Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft Einrichtungen zur unmittelbaren Messung bei schichtweiser Bearbeitung von Körpern mittels Laserstrahlung wenigstens eines Lasers. Diese zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass die lateralen und/oder vertikalen Geometriedaten des Körpers einfach sowie zeitgleich/zeitnah zur Bearbeitung erfassbar sind. Dazu ist mindestens ein wenigstens einen Bereich der Bearbeitung abbildender Detektor angeordnet und mit einem Datenverarbeitungssystem so zusammengeschaltet, dass ein in Graustufen gewandeltes oder farbechtes/farbkodiertes digitalisiertes Abbild mit oder ohne Höhen-/Tiefeninformationen des Bereichs im Datenverarbeitungssystem vorhanden ist. Das Abbild ist ein wenigstens ein Maß der Bearbeitung repräsentierendes Abbild, ein Abbild als Bestandteil einer Bildfolge nacheinander aufgenommener Abbilder des Bereichs oder wenigstens eine Kombination daraus. Weiterhin ist das Datenverarbeitungssystem ein das Abbild oder die Abbilder mit oder ohne Höhen-/Tiefeninformationen speicherndes und mindestens ein Maß der Bearbeitung ermittelndes Datenverarbeitungssystem.

Description

  • Die Erfindung betrifft Einrichtungen zur unmittelbaren Messung bei schichtweiser Bearbeitung von Körpern mittels Laserstrahlung wenigstens eines Lasers.
  • Aus der DE 10 2006 024 251 A1 ist ein System und ein Verfahren zur dreidimensionalen Bestimmung der Oberfläche eines Objekts bekannt. Dazu befindet sich das Objekt auf einem drehbaren Objekthalter. Weiterhin ist ein Auflicht-Mikroskop zur Aufnahme der Objektoberfläche angeordnet, so dass die Objektoberfläche in Reflexion aufgenommen wird. Über ein mit dem Mikroskop zusammengeschalteten Bildmodul wird für jede Raumrichtung ein dreidimensionaler Bilddatensatz des Oberflächenabschnitts erzeugt. Die Bilddatensätze werden anschließend zu einem dreidimensionalen Gesamtbild kombiniert. Diese Lösung ist auf die dreidimensionale Bestimmung einer Oberfläche beschränkt.
  • Durch die DE 10 2004 052 508 B4 ist ein System und ein Verfahren zum Vermessen und zum Überwachen einer Oberfläche eines Körpers bekannt. Dieses System weist zumindest ein erstes Untersystem und zumindest ein zweites Untersystem auf. Mit dem ersten Untersystem wird eine Dimension des Körpers und eine Position des Körpers innerhalb des ersten Untersystems bestimmt, und mit dem zweiten Untersystem wird eine Oberflächenstruktur des Körpers bestimmt. Beide Untersystem basieren auf einer digitalen Bildverarbeitung und können jeweils eine geeignete elektronische Kameraeinrichtung und eine geeignete Lichtquelle aufweisen. Das System und das Verfahren zum Vermessen und Überwachen basiert auf den beiden Untersystemen, die mit einer Steuerung zusammengeschaltet sind. Nachteilig ist das Erfordernis der beiden Untersysteme, die jeweils aus den aufgeführten Komponenten bestehen. Damit ist ein erhöhter Aufwand sowohl an gerätetechnischen Ausrüstungen als auch der Auswertung gegeben.
  • Der im Patentanspruch 1 angegebenen Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine schichtweise Bearbeitung einer Oberfläche eines Körpers einfach unmittelbar zu erfassen.
  • Diese Aufgabe wird mit den im Patentanspruch 1 aufgeführten Merkmalen gelöst.
  • Die Einrichtungen zur unmittelbaren Messung bei schichtweiser Bearbeitung von Körpern mittels Laserstrahlung wenigstens eines Lasers zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass die lateralen und/oder vertikalen Geometriedaten des Körpers einfach sowie zeitgleich/zeitnah zur Bearbeitung erfassbar sind.
  • Dazu ist mindestens ein wenigstens einen Bereich der Bearbeitung abbildender Detektor angeordnet und mit einem Datenverarbeitungssystem so zusammengeschaltet, dass ein in Graustufen gewandeltes oder farbechtes/farbkodiertes digitalisiertes Abbild mit oder ohne Höhen-/Tiefeninformationen des Bereichs im Datenverarbeitungssystem vorhanden ist. Das Abbild ist ein wenigstens ein Maß der Bearbeitung repräsentierendes Abbild, ein Abbild als Bestandteil einer Bildfolge nacheinander aufgenommener Abbilder des Bereichs oder wenigstens eine Kombination daraus. Weiterhin ist das Datenverarbeitungssystem ein das Abbild oder die Abbilder mit oder ohne Höhen-/Tiefeninformationen speicherndes und mindestens ein Maß der Bearbeitung ermittelndes Datenverarbeitungssystem. Der wesentliche Vorteil besteht in der zeitgleichen/zeitnahen Messung der schichtweisen Bearbeitung von Körpern. Schichtweise Bearbeitung ist das Aufbringen oder das Abtragen einer Schicht auf oder von der Oberfläche eines Körpers mittels wenigstens eines Lasers. Dieser jeweilige Bearbeitungsvorgang wird während der Bearbeitung qualitativ und/oder quantitativ messtechnisch erfasst. Dazu wird das Abbild der Bearbeitungsfläche in ihrer Grundfläche mit oder ohne Höhen-/Tiefeninformationen über einen Detektor oder mehrere Detektoren erfasst und mittels des Datenverarbeitungssystems ausgewertet und/oder gespeichert.
  • Grundlage für die laterale Messung, beispielsweise mit einer Videokamera, bilden insbesondere vorhandene oder sich während der Bearbeitung ausbildende Kanten, die detektiert werden. Kanten werden hierzu im Datenverarbeitungssystem von Farb änderungen und/oder Kontraständerungen im Abbild/in den Abbildern bestimmt. Diese Kanten bilden die Grundlage für die anschließende zeitgleiche/zeitnahe Auswertung, wobei auch einzelne Maße der Bearbeitung ermittelbar sind. Zur Bestimmung von Kanten werden bekannte Detektionsverfahren wie zum Beispiel das Wasserscheidenverfahren genutzt.
  • Höhen-/Tiefeninformationen werden mit alternativen oder zusätzlichen Abstandsdetektoren, beispielsweise Triangulations- oder Konfokalsensoren, erfasst und ebenfalls zeitgleich/zeitnah ausgewertet.
  • Die Erzeugung des Abbildes/der Abbilder der Bearbeitung/Bearbeitungen erfolgt in vorbestimmbaren Zeitintervallen mit einzelnen Bildern oder kontinuierlich als Bildfolge. Ersteres ist wenigstens eine Abbildung des Endzustands der Bearbeitung. Mittels Bildfolgen kann der Bearbeitungsprozess kontinuierlich erfasst werden.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Patentansprüchen 2 bis 11 angegeben.
  • Wenigstens ein Detektor ist nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 2 in den Strahlengang der Laserstrahlen integriert, so dass der Bereich der Bearbeitung in Draufsicht abgebildet und/oder vermessen wird. Damit gilt dieser Bereich der Bearbeitungsstelle als unmittelbar erfasst.
  • Der Detektor ist nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 3 ein konfokaler Sensor zur vertikalen Abbildung eines schichtweisen Auf- oder Abtrags als Bearbeitung. Konfokale Sensoren besitzen vorteilhafterweise eine hohe Auflösung, so dass auch Höhen-/Tiefeninformationen erfassbar sind.
  • Zwischen Bereich der Bearbeitung und einem konfokalen Sensor als Detektor ist nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 4 ein Scanner angeordnet, so dass der Bereich sowohl vertikal als auch lateral abgebildet wird.
  • Damit ist die Bearbeitung des Bereichs dreidimensional erfassbar und im Datenverarbeitungssystem bestimm- und/oder speicherbar.
  • Der konfokale Sensor ist nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 5 als chromatisch konfokaler Sensor ausgebildet. Damit fällt eine ansonsten notwendige zusätzliche mechanische Bewegung im Strahlengang des Sensors weg.
  • Der Detektor ist nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 6 eine Videokamera zur lateralen Abbildung eines schichtweisen Auf- oder Abtrags als Bearbeitung. Damit ist die Bearbeitung des Bereichs kontinuierlich erfassbar und im Datenverarbeitungssystem bewert- und/oder speicherbar. Das ist eine ökonomische und eine einfache Datenübermittlung erlaubende Lösung.
  • Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass verschiedene Objektive einsetzbar sind. Damit können hohe Auflösungen erreicht oder größere Bereiche der Bearbeitung dargestellt werden. Die Objektive können einfach entsprechend der Erfordernisse gewechselt werden.
  • Weiterhin besteht die Möglichkeit, wenigstens einen Filter vor das Objektiv zu platzieren, so dass unerwünschte Wellenlängenbereiche des Lichts des Bereichs der Bearbeitung ausgeblendet werden können.
  • Der Detektor ist nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 7 ein den Bereich vertikal linienweise abbildender Detektor, so dass ein schichtweiser Auf- oder Abtrag erfassbar ist.
  • In Fortführung ist der Detektor nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 8 ein Triangulationssensor. Weiterhin ist der Triangulationssensor an einer Rakel zum schichtweisen Auftragen von Partikeln auf den Bereich angeordnet.
  • Der Detektor ist nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 9 an ein Positioniersystem gekoppelt, so dass der Detektor relativ zum Bereich verfahr- und platzierbar ist. Das Positioniersystem ist vorteilhafterweise ein separates System, das frei im gesamten Bearbeitungsraum platzierbar ist. Die Einrichtung ist damit universell einsetzbar.
  • Wenigstens ein Leuchtmittel ist nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 10 so angeordnet, dass die Lichtstrahlen wenigstens auf den Bereich und die davon reflektierten Lichtstrahlen auf den abbildenden Detektor als Abbild des Bereichs gelangen. Vorhandene oder sich während der Bearbeitung ausbildende Kanten können durch entstehende Schatten kontrastreicher abgebildet werden. Dadurch sind eindeutigere Kantendetektionen im Datenverarbeitungssystem durchführbar. Das ist insbesondere auch bei Materialien gleicher Farbe besonders vorteilhaft.
  • Das Datenverarbeitungssystem ist nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 11 ein den ermittelten Wert des lateralen und/oder vertikalen schichtweisen Ab- oder Auftrags mit einem bestimmten Wert vergleichendes Datenverarbeitungssystem. Weiterhin ist das Datenverarbeitungssystem mit dem Laser so zusammengeschaltet, dass eine Schicht bestimmter Dicke und Kontur auf- oder abgetragen wird. Durch den Vergleich können über das Datenverarbeitungssystem die Bearbeitungsparameter zum Auf- oder Abtrag geändert und angepasst werden, so dass eine Schicht bestimmter Dicke und Kontur auf- oder abgetragen wird. Der Bearbeitungsprozess ist damit an die jeweiligen realen Gegebenheiten anpassbar.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen jeweils prinzipiell dargestellt und wird im Folgenden näher beschrieben.
  • Es zeigen:
  • 1 eine Einrichtung zur unmittelbaren Messung bei schichtweiser Bearbeitung von Körpern mittels Laserstrahlung wenigstens eines Lasers mit einer Videokamera und
  • 2 einen Bereich der Bearbeitung mit geschlossener Außenkante und eingeschlossenem Bereich mit innen liegender Kante.
  • Eine Einrichtung zur unmittelbaren Messung bei schichtweiser Bearbeitung von Körpern 1 mittels Laserstrahlung 3 wenigstens eines Lasers 2 besteht im Wesentlichen aus wenigstens einem abbildenden Detektor und einem Datenverarbeitungssystem 6.
  • Der abbildende Detektor ist so angeordnet, dass wenigstens ein Bereich der Bearbeitung erfasst wird.
  • Der Detektor ist
    • – ein konfokaler Sensor zur vertikalen Messung und mit einem vorgesetzten Scanner zur lateralen Erfassung von Höhen-/Tiefeninformationen der Bearbeitung,
    • – ein Triangulationssensor als Abstandssensor oder
    • – eine Videokamera 7 zur schnellen lateralen Abbildung des Bereichs der Bearbeitung.
  • Der Detektor ist mit dem Datenverarbeitungssystem 6 so zusammengeschaltet, dass das in Graustufen gewandelte oder farbechte/farbkodierte digitalisierte Abbild des Bereichs der Bearbeitung im Datenverarbeitungssystem 6 vorhanden ist.
  • Das Abbild als Einzelbild oder als Bestandteil einer nacheinander aufgenommenen Bildfolge repräsentiert wenigstens ein Maß der Bearbeitung. Im Datenverarbeitungssystem 6 werden die Abbilder gespeichert und wenigstens das eine Maß ermittelt. Grundlage dazu sind Kantendetektionen im Abbild. Dazu werden bekannte Verfahren, wie zum Beispiel das Wasserscheidenverfahren, eingesetzt. Die Kanten sind durch Farbübergänge oder durch unterschiedliche Grauwertstufen bestimmt. Mit der Kantendetektion können die geometrischen Abmaße aus den Abbildungen ermittelt werden.
  • Durch die Abmaße aus den Abbildungen wird über das Datenverarbeitungssystem 6 der Laser 2 gesteuert. Dazu ist das Datenverarbeitungssystem 6
    • – entweder ein den ermittelten Wert des lateralen und vertikalen schichtweisen Abtrags mit einem bestimmten Wert vergleichendes Datenverarbeitungssystem 6, so dass eine Schicht bestimmter Dicke und Kontur abgetragen wird,
    • – oder ein den ermittelten Wert des lateralen und vertikalen schichtweisen Auftrags mit einem bestimmten Wert vergleichendes Datenverarbeitungssystem 6, wobei mittels einer Vorrichtung zum schichtweisen Auftrag von Partikeln auf die Oberfläche des Körpers 1 eine Schicht bestimmter Dicke aufgetragen wird.
  • Der Detektor ist zur Aufnahme des Abbildes ein Bestandteil eines separat zu der Bearbeitungsstelle anordenbares Gerätes.
  • Die 1 zeigt eine Einrichtung zur unmittelbaren Messung bei schichtweiser Bearbeitung von Körpern 1 mittels Laserstrahlung 3 wenigstens eines Lasers 2 mit einer Videokamera 7 in einer prinzipiellen Darstellung.
  • Mit der im Strahlengang 3 des Lasers 2 befindlichen Videokamera 7 wird ein Bild jeweils nach einer abgearbeiteten Schicht während der schichtweisen Bearbeitung in einfacher Weise über einen definierten Spiegel 4 aufgenommen.
  • Dazu besitzt die Videokamera 7 ein Objektiv 8, welches je nach Anwendung einsetzbar ist. Damit können hohe Auflösungen erreicht oder größere Bereiche der Bearbeitung dargestellt werden. Objektive 8 können einfach entsprechend der Erfordernisse gewechselt werden. Vor dem Objektiv 8 ist ein Filter 9 platziert, so dass unerwünschte Wellenlängenbereiche des Lichts des Bereichs der Bearbeitung ausgeblendet werden können.
  • Die Videokamera 7 erlaubt eine schnelle Übermittlung der Bilddaten. Alternativ sind auch andere bildaufnehmende Geräte, die eine schnelle Ausgabe der Bilddaten realisieren, einsetzbar. Die Bearbeitung kann sowohl ein Abtragen als auch ein Aufbau von Strukturen sein. Mit dem Datenverarbeitungssystem 6 und einem darin vorhandenen Modul zur Kantendetektion wird die Übereinstimmung zwischen Soll- und Istwerten ermittelt. Bei Übereinstimmung wird eine nächste Schicht bearbeitet oder die Bearbeitung ist abgeschlossen. Bei einer Differenz wird der gesamte Bereich oder Teile des Bereichs bearbeitet. Für den letzteren Fall werden jeweils nur die durch die Kantendetektion neu ermittelten Bereiche bearbeitet. Hierfür werden ausgehend von den Daten der Kanten Flächen erzeugt, welche dann voneinander subtrahiert werden.
  • Dazu besitzt die Sollstruktur beispielsweise eine geschlossene Außenkante und bildet somit ein durch die Kante eingeschlossenen Bereich A1 (Darstellung in der 2). Nach der Kantendetektion des aufgenommenen Abbildes des Bereichs wurde neben der sollkonformen Außenkante eine weitere innen liegende geschlossene Kante detektiert, dass heißt, während der Bearbeitung wurde ein Teilbereich A2 des abzutragenden/aufzubauenden Bereichs nicht korrekt bearbeitet. Der gebildete Bereich A1 der Ist-Struktur weist damit ein Loch als Teilbereich A2 auf. Durch Subtraktion der Bereiche A1 und A2 erhält man den noch zu bearbeitenden Bereich A2. Dieser wird im Folgenden weiter bearbeitet und über Soll-Ist-Analysen im Datenverarbeitungssystem 6 kontrolliert, bis die Abweichung einen durch den Anwender vorgegebenen Wert erreicht oder unterschreitet.
  • In einer Ausführungsform wird zur Höhendetektion bei einer schichtweisen Bearbei tung nach jeder abgearbeiteten Schicht mittels des konfokalen Sensors im Strahlengang unter Zuhilfenahme des davor angeordneten Scanners in Form eines Galvanometerscanners die Topografie des soeben bearbeiteten Bereichs erstellt. Der konfokale Sensor erlaubt eine sehr genaue Erfassung der Höheninformation. In einer weiteren Ausführungsform als chromatischer konfokaler Sensor werden die Höhendaten ohne zusätzliche mechanische Bewegung im Strahlengang des Sensors schnell erfasst. Die Topografie oder Höheninformation kann aus einer vom Anwender gewünschten/vorgegebenen Zahl von Messpunkten bestehen. Nun wird analog der Kantendetektion ein Soll-Ist-Vergleich der Tiefen durchgeführt. Die Differenzen werden wiederum durch eine Subtraktion, diesmal jedoch der Höhenkarte, gebildet. Bei positiven Abweichungen oberhalb einer gewählten Mess- und Toleranzgrenze, dass heißt es wurde bei einem Abtrag zu wenig abgetragen, muss der durch die Höhensubtraktion bestimmte Teilbereich erneut, auch mit verminderter Leistung, bearbeitet werden. Danach wird ein erneuter Höhenscan durchgeführt. Bei negativen Höhenabweichungen werden diese Teilbereiche aus der nächsten zu bearbeiteten Schicht herausgenommen und damit nicht bearbeitet.
  • In einer weiteren Ausführungsform wird zur Höhendetektion bei einem schichtweisen Auftrag nach jeder gesinterten und nach jeder gerakelten Schicht mittels des Triangulationssensors als Abstandssensor die Topografie des soeben bearbeiteten Bereichs erstellt. Der Triangulationssensor befindet sich dazu an einer Rakel zum Aufbringen von Pulver für die Schicht. Diese Topografie oder Höheninformation kann aus einer vom Anwender gewünschten/vorgegebenen Zahl von Messpunkten bestehen. Der Körper befindet sich dazu in einem Bauraum, dessen Boden absenkbar ist, so dass ein schichtweiser Auftrag von Pulver zur Realisierung des Körpers gegeben ist. Der Aufzug des Pulvers wird mit dem Triangulationssensor detektiert und wenn nötig ohne Bauraumabsenkung wiederholt. Analog zur Kantendetektion wird ein Soll-Ist-Vergleich der Tiefen der gesinterten Struktur durchgeführt. Die Differenzen werden wiederum durch eine Subtraktion, diesmal jedoch der Höhenkarte, gebildet. Bei positiven Abweichungen oberhalb einer gewählten Mess- und Toleranzgrenze, dass heißt es wurde zu wenig aufgetragen, muss der durch die Höhensubtraktion bestimmte Teilbereich erneut bearbeitet werden. Hierzu findet ein Pulveraufzug und eine selektive Bestrahlung statt. Bei einer generellen Höhenab weichung werden die Bauraumabsenkung und damit die Schichtdicke vergrößert sowie die Laserparameter angepasst. Danach wird ein erneuter Höhenscan durchgeführt. Bei negativen Höhenabweichungen werden diese Teilbereiche aus der nächsten zu bearbeiteten Schicht herausgenommen also nicht bearbeitet. Bei einer generellen Höhenabweichung werden die Bauraumabsenkung und damit die Schichtdicke verkleinert sowie die Laserparameter angepasst.
  • In einer weiteren Ausführungsform ist zur verbesserten Bestimmung der Kanten ein Leuchtmittel so angeordnet, dass die Lichtstrahlen auf die Oberfläche des Körpers 1 und die davon reflektierten und gestreuten Lichtstrahlen auf den abbildenden Detektor als Abbild des Bereiches der Oberfläche des Körpers 1 gelangen. Der auf der Oberfläche des Körpers 1 sich abbildende Schatten liefert einen erhöhten Kontrast auf der Oberfläche, so dass eine eindeutige Bestimmung der Kanten im Datenverarbeitungssystem 6 erfolgt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 102006024251 A1 [0002]
    • - DE 102004052508 B4 [0003]

Claims (11)

  1. Einrichtung zur unmittelbaren Messung bei schichtweiser Bearbeitung von Körpern mittels Laserstrahlung wenigstens eines Lasers, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein wenigstens einen Bereich der Bearbeitung abbildender Detektor angeordnet und mit einem Datenverarbeitungssystem (6) so zusammengeschaltet ist, dass das in Graustufen gewandelte oder farbechte/farbkodierte digitalisierte Abbild mit oder ohne Höhen-/Tiefeninformationen des Bereichs im Datenverarbeitungssystem (6) vorhanden ist, dass das ein wenigstens ein Maß der Bearbeitung repräsentierendes Abbild, ein Abbild als Bestandteil einer Bildfolge nacheinander aufgenommener Abbilder des Bereichs des Körpers oder wenigstens eine Kombination daraus ist und dass das Datenverarbeitungssystem (6) ein das Abbild/die Abbilder mit oder ohne Höhen-/Tiefeninformationen speicherndes und mindestens ein Maß der Bearbeitung ermittelndes Datenverarbeitungssystem (6) ist.
  2. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Detektor in den Strahlengang der Laserstrahlen integriert ist, so dass der Bereich der Bearbeitung in Draufsicht abgebildet wird.
  3. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor ein konfokaler Sensor zur vertikalen Abbildung eines schichtweisen Auf- oder Abtrags als Bearbeitung des Bereichs ist.
  4. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Bereich der Bearbeitung und einem konfokalen Sensor als Detektor ein Scanner angeordnet ist, so dass der Bereich sowohl vertikal als auch lateral abgebildet wird.
  5. Einrichtung nach Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der konfokale Sensor ein nach dem chromatisch konfokalem Messprinzip arbeitender Sensor ist.
  6. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor eine Videokamera (7) zur lateralen Abbildung eines schichtweisen Auf- oder Abtrags als Bearbeitung des Bereichs ist.
  7. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor ein den Bereich vertikal linienweise abbildender Detektor ist, so dass ein schichtweiser Auf- oder Abtrag erfassbar ist.
  8. Einrichtung nach Patentanspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor ein Triangulationssensor ist und dass der Triangulationssensor an einer Rakel zum schichtweisen Auftragen von Partikeln auf den Bereich angeordnet ist.
  9. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor an ein Positioniersystem gekoppelt ist, so dass der Detektor relativ zum Bereich verfahr- und platzierbar ist.
  10. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Leuchtmittel so angeordnet ist, dass die Lichtstrahlen wenigstens auf den Bereich und die davon reflektierten Lichtstrahlen auf den abbildenden Detektor als Abbild des Bereichs gelangen.
  11. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Datenverarbeitungssystem (6) ein den ermittelten Wert des lateralen und/oder vertikalen schichtweisen Ab- oder Auftrags mit einem bestimmten Wert vergleichendes Datenverarbeitungssystem (6) ist und dass das Datenverarbeitungssystem (6) mit dem Laser (2) so zusammengeschaltet ist, dass eine Schicht bestimmter Dicke und Kontur auf- oder abgetragen wird.
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