DE102008015562A1

DE102008015562A1 - Fotodetektor mit Dunkelstromkorrektur

Info

Publication number: DE102008015562A1
Application number: DE102008015562A
Authority: DE
Inventors: Gim Eng Bayan Lepas Chew; Boon Keat Gelugor Tan; Farn Hin Ipoh Chen
Original assignee: Avago Technologies ECBU IP Singapore Pte Ltd
Current assignee: Avago Technologies International Sales Pte Ltd
Priority date: 2007-03-29
Filing date: 2008-03-25
Publication date: 2008-10-09
Also published as: US7649220B2; US20080239321A1; JP2009010331A; US20100302532A1; CN101276827A; CN100594612C; US7879641B2; TWI357494B; TW200902952A

Abstract

Es werden ein Fotodetektor und ein Verfahren zum Herstellen des Fotodetektors offenbart. Der Fotodetektor enthält ein Substrat mit einer ersten, einer zweiten und einer dritten Fotodiode und einer ersten und einer zweiten Pigmentfilterschicht. Die erste, die zweite und die dritte Fotodiode erzeugen ein erstes, ein zweites bzw. ein drittes Fotodiodenausgabesignal, wobei jedes Fotodiodenausgabesignal eine Lichtintensität, die auf diese Fotodiode auftrifft, und einen Dunkelstrom, der von der Lichtintensität unabhängig ist, anzeigt. Die erste und die zweite Pigmentfilterschicht liegen über der ersten und der zweiten Fotodiode, während eine Schicht, welche sowohl die erste als auch die zweite Pigmentfilterschicht aufweist, über der dritten Fotodiode liegt. Ein Ausgabeschaltkreis kombiniert das erste und das dritte Fotodiodenausgabesignal zu einem ersten korrigierten Ausgabesignal und kombiniert das zweite und das dritte Fotodiodenausgabesignal zu einem zweiten korrigierten Ausgabesignal.

Description

Allgemeiner Stand der Technik
Kostengünstige Fotodetektoren, welche die Intensität von Licht in einer Anzahl von Wellenlängenbändern messen, werden in einer Anzahl von Vorrichtungen benötigt. Zum Beispiel verwenden Lichtquellen, die mit roten, blauen und grünen LEDs arbeiten, um Licht zu erzeugen, das als eine bestimmte Farbe wahrgenommen wird, oft Fotodetektoren in einer Servoschleife, welche die Ausgabe der LEDs auf vorgegebenen Pegeln hält, um das Altern zu kompensieren. Die Fotodetektoren werden dafür verwendet, die Ausgabe jeder LED zu messen. Eine Steuereinheit verändert den durchschnittlichen Strom zu jeder LED dergestalt, dass die gemessenen Ausgaben auf Sollwerten gehalten werden, die durch die wahrgenommene Farbe von zu erzeugendem Licht bestimmt werden.
Bei einem häufig verwendeten Fotodetektor-Typ arbeitet der Fotodetektor mit Fotodioden, die mit Pigmentfiltern bedeckt sind, die das Ansprechen jeder Fotodiode auf Licht in einem entsprechenden Wellenlängenband begrenzen. Die Signale von den verschiedenen Fotodioden werden zu Signalen verarbeitet, welche die Ausgabe jeder LED repräsentieren. Das Signal von jeder Fotodiode wird durch das einfallende Licht, die Bandpassfilter-Kennlinie des Pigments und verschiedene Hintergrundsignale bestimmt, die unabhängig von dem Intensitätswert des Lichts, das die Fotodiode erreicht, vorhanden sind. Die lichtunabhängigen Signale werden oft als der "Dunkelstrom" bezeichnet. Die durch den Dunkelstrom erzeugten Fehler können in einer Reihe von Anwendungen erheblich sein. Darum sind Schemen zum Kompensieren des Dunkelstroms entwickelt worden. Außerdem verbessert das Entfernen der Anteile an den Endsignalen, die aus dem Dunkelstrom resultieren, den Dynamikbereich des Fotodetektors, so dass der Fotodetektor dafür verwendet werden kann, die LEDs über einen größeren Bereich von Lichtintensitäten hinweg zu steuern.
Bei einem Dunkelstromkorrekturschema werden die durch den Dunkelstrom erzeugten Fehler entfernt, indem man die Ausgabe von der Fotodiode misst, wenn kein Licht vorhanden ist, und dann den gemessenen Signalwert von den Signalen subtrahiert, die durch die Fotodiode in Gegenwart von Licht erzeugt werden. In dieser Anordnung haben die Fotodioden einen identischen Aufbau und unterscheiden sich lediglich durch die Art des Pigmentfilters, der über jeder Fotodiode angeordnet ist. Eine zusätzliche Fotodiode, die mit einer opaken Schicht bedeckt ist, die sämtliches Licht sperrt, ist in dem Fotodetektor enthalten. Das Signal von dieser Fotodiode wird dann von dem Signal subtrahiert, das durch die Fotodioden erzeugt wird, die mit den verschiedenen Pigmentfiltern bedeckt sind. Dieses Schema erhöht jedoch beträchtlich die Kosten der Fotodetektoren, weil zusätzliche Maskierungsschritte benötigt werden, um die opake Schicht auf der zusätzlichen Fotodiode aufzubringen.
Kurzdarstellung der Erfindung
Die vorliegende Erfindung weist ein Substrat mit einer ersten, zweiten und dritten Fotodiode und einer ersten und einer zweiten Pigmentfilterschicht auf. Die erste, die zweite und die dritte Fotodiode erzeugen ein erstes, ein zweites bzw. ein drittes Fotodiodenausgabesignal, wobei jedes Fotodiodenausgabesignal eine Lichtintensität, die auf diese Fotodiode auftrifft, und einen Dunkelstrom, der von der Lichtintensität unabhängig ist, anzeigt. Die erste Pigmentfilterschicht überlagert die erste Fotodiode, aber nicht die zweite Fotodiode, und ist für Licht in einem ersten Wellenlängenband durchlässig und für Licht in einem zweiten Wellenlängenband opak. Die zweite Pigmentfilterschicht überlagert die zweite Fotodiode, aber nicht die erste Fotodiode. Die zweite Pigmentfilterschicht ist für Licht in dem zweiten Wellenlängenband durchlässig und für Licht in dem ersten Wellenlängenband opak. Eine Schicht, welche die erste und die zweite Pigmentfilterschicht enthält, überlagert die dritte Fotodiode. Ein Ausgabeschaltkreis kombiniert das erste und das dritte Fotodiodenausgabesignal, um ein erstes korrigiertes Ausgabesignal bereitzustellen, und das zweite und das dritte Fotodiodenausgabesignal, um ein zweites korrigiertes Ausgabesignal bereitzustellen. In einem Aspekt der Erfindung haben die erste, die zweite und die dritte Fotodiode den gleichen Dunkelstrom.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist eine Querschnittsansicht eines zum Stand der Technik gehörenden Fotodetektors, der Pigmentfilter verwendet.
2 ist eine Querschnittsansicht eines Fotodetektors gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
3 ist eine Schemazeichnung einer Fotodiode gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
4 ist eine Schemazeichnung einer Fotodiode gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung
Die Art und Weise, wie die vorliegende Erfindung ihre Vorteile zum Tragen bringt, lässt sich einfacher anhand von 1 verstehen, die eine Querschnittsansicht eines zum Stand der Technik gehörenden Fotodetektors ist, der mit Pigmentfiltern arbeitet. Der Fotodetektor 20 besteht in der Regel aus einem Chip 21 mit 4 darauf hergestellten Fotodioden. Die Fotodioden 22–24 werden zum Messen der Intensität von Licht in drei Wellenlängenbändern verwendet, die jeweils durch die Pigmentfilter 25–27 bestimmt werden. Die Fotodiode 28 ist mit einer opaken Schicht 29 bedeckt und wird zum Messen des Dunkelstroms verwendet. Die Pigmentfilter werden durch fotolithografische Schritte aufgebracht, die eine Reihe von Maskierungs- und Abscheidungsschritten erfordern. Ein ähnlicher fotolithografischer Schritt wird zum Aufbringen der Schicht 29 benötigt.
Wenden wir uns nun 2 zu, die eine Querschnittsansicht eines Fotodetektors gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist. In der Fotodiode 30 ist die opake Schicht, die den Dunkelstromdetektor 28 bedeckte, durch einen Stapel 31 von Pigmentfiltern ersetzt, welche die gleichen Pigmente wie die Filter 25–27 verwenden. Das Signal von der Fotodiode 28 stellt das Dunkelstromsignal bereit, das zuvor unter Verwendung der opaken Schicht 29 gemessen wurde. Somit können durch Subtrahieren des Signals von der Fotodiode 28 von den Signalen, die durch jede der anderen Fotodioden erzeugt wurden, die Fotodiodensignale um den Dunkelstrom korrigiert werden.
Wenden wir uns nun 3 zu, die eine Schemazeichnung einer Fotodiode gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist. Die Fotodiode 40 verwendet den in 2 gezeigten Chip zum Erzeugen von drei korrigierten Fotodiodensignalen 47–49. Die korrigierten Signale werden durch Subtrahieren der Ausgabe der Fotodiode 28 von jeder der Ausgaben der Fotodioden 22–24 unter Verwendung von Subtraktionsschaltungen 42–44 erzeugt.
Die oben beschriebenen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung gehen davon aus, dass das einfallende Licht auf Licht im sichtbaren Teil des optischen Spektrums beschränkt ist. Insbesondere gehen die oben beschriebenen Ausführungsformen davon aus, dass das einfallende Licht kein Licht im infraroten Teil des Spektrums enthält. Die meisten der allgemein verwendeten Fotodioden sprechen auf Licht im infraroten Teil des Spektrums an. Darüber hinaus lassen die Pigmentfilter, die in der Regel verwendet werden, zusätzlich zu dem Licht in dem interessierenden Wellenlängenband auch Licht im infraroten Teil des Spektrums durch.
Wenn jedes der Pigmentfilter im infraroten Bereich des Spektrums im Wesentlichen durchlässig ist, so wird die in 3 gezeigte Anordnung auch eine Korrektur um alle infrarote Strahlung im einfallenden Licht vornehmen In diesem Fall enthält das Signal von jedem der Fotodetektoren auch eine Komponente mit der gleichen Größenordnung wie die der infraroten Strahlung. Da davon ausgegangen wird, dass alle Fotodioden identisch sind, korrigiert die Subtraktion des Signals von der Fotodiode mit den gestapelten Pigmentfiltern die Signale auch um die infrarote Komponente im einfallenden Licht. Wenn Pigmentfilter das infrarote Licht teilweise dämpfen, so kompensiert die Korrektur durch die in 3 gezeigte Ausführungsform die infrarote Komponente im einfallenden Licht lediglich teilweise. Allerdings ist die Korrektur immer noch besser als die Korrektur unter Verwendung einer opaken Schicht über der Fotodiode, die zum Messen des Dunkelstroms verwendet wird.
Es ist anzumerken, dass das in der vorliegenden Erfindung verwendete Dunkelstromkorrekturfilter keine neuen Fertigungsschritte über jene hinaus erfordert, die zum Abscheiden der anderen Bandpass-Pigmentfilter verwendet werden. Zum Beispiel wird in einem lithografischen Abscheidungsverfahren jede Fotodiode mit einem Pigmentfilter versehen, indem die anderen Fotodioden maskiert werden und dann das Pigment über der betreffenden Fotodiode abgeschieden der ausgebildet wird. Die Maske wird dann entfernt, und eine neue Maske, die alle Fotodioden außer der nächstfolgenden bedeckt, wird eingeführt. Dann wird eine Pigmentschicht über den unmaskierten Schichten abgeschieden oder ausgebildet. Der Prozess wird wiederholt, bis jede Fotodiode mit dem Pigment bedeckt ist, das dieser Fotodiode entspricht. Das Dunkelstromfilter der vorliegenden Erfindung kann zur selben Zeit wie die Bandpassfilter hergestellt werden, indem die Fläche über der betreffenden Fotodiode während jedes der Abscheidungsschritte, die zum Abscheiden der anderen Pigmentschichten verwendet werden, unmaskiert bleibt. Somit brauchen keine neuen Masken und Abscheidungsschritte verwendet zu werden.
In einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind die Pigmente die roten, blauen und grünen Pigmente, die normalerweise zur Herstellung von Fotodetektoren verwendet werden. Solche Filter werden in Abbildungsarrays verwendet, die in Digitalkameras verwendet werden, und werden deshalb hier nicht ausführlich besprochen.
Die oben beschriebenen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung verwenden einen Pigmentstapel, der alle Schichten aufweist, die auf die anderen Fotodioden aufgebracht sind, um die opake Schicht herzustellen, die zum Abschirmen der Fotodiode verwendet wird, die zum Erzeugen des Dunkelstromsignals verwendet wird. Es könnte aber auch weniger als das gesamte Set an Pigmentfiltern verwendet werden. Zum Beispiel könnte die Kombination eines blauen und eines roten Bandpassfilters in einigen Fällen hinreichend opak sein, um die benötigte Abschirmung des darunterliegenden Fotodetektors zu bewirken. Dieser eingeschränktere Filterstapel ist in Fällen von Nutzen, in denen der dickere komplette Pigmentfilterstapel aufgrund von Problemen bei dem Erhalten des dickeren Stapels nicht verwendet werden kann. Zum Beispiel könnte sich der dickere Stapel während einer Temperaturwechselbeanspruchung ablösen.
Es ist anzumerken, dass ein solcher beschränkter Stapel aus Filterschichten ebenfalls ohne neue Maskierung- und/oder Abscheidungsschritte hergestellt werden kann. Betrachten wir zum Beispiel den Fall, bei dem das grüne Pigmentfilter aus dem Filterstapel weggelassen werden soll. Die Abscheidung des grünen Pigments enthält drei Schritte. Der erste Schritt scheidet eine strukturierte Maske über den Flächen ab, die im fertigen Fotodetektor nicht durch das grüne Pigment bedeckt werden sollen. Im zweiten Schritt wird das Pigment abgeschieden, und abschließend wird die Maske im dritten Schritt entfernt. Wenn das grüne Pigment aus dem Stapel beseitigt werden soll, so wird die strukturierte Maske so eingestellt, dass sich die Maske über der Fläche oberhalb der Dunkelstromfotodiode erstreckt.
Die oben beschriebenen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung verwenden Fotodioden mit identischem Aufbau sowohl für die Dunkelstrom-Detektionsfotodiode als auch für die Bandpass-Detektionsfotodioden. Es könnten allerdings auch Ausführungsformen verwendet werden, in denen die Fotodioden unterschiedliche Abmessungen aufweisen. Zum Beispiel könnten die Fotodioden Flächen aufweisen, die ganzzahlige Vielfache der Fläche von einer der Fotodioden sind. In solchen Fällen müsste das Verhältnis des Dunkelstroms in der Dunkelstrom-Detektionsfotodiode zu dem Dunkelstrom in den Bandpass-Detektionsfotodioden bekannt sein. Die Ausgabe von der Dunkelstrom-Detektionsfotodiode könnte dann mit einem geeigneten Verstärker oder Dämpfer skaliert werden, um die verschiedenen Strukturen zu berücksichtigen.
Wenden wir uns nun 4 zu, die eine Schemazeichnung einer Fotodiode gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist. Die Fotodiode 50 unterscheidet sich von der oben besprochenen Fotodiode 40 dadurch, dass die Fotodiode 28 durch die Fotodiode 58 ersetzt wird, die eine andere Struktur hat als die übrigen Fotodioden. In diesem Fall hat die Fotodiode 58 einen Dunkelstrom, der sich von den Dunkelströmen der übrigen Fotodioden unterscheidet. Jedoch hat der Dunkelstrom der Fotodiode 58 einen festen Wert, so dass der Dunkelstrom von der Fotodiode 58 trotzdem zum Kompensieren des Dunkelstroms der anderen Fotodioden verwendet werden kann, indem ein geeigneter Verstärker oder Dämpfer verwendet wird, um die Ausgabe der Fotodiode 58 zu skalieren, bevor diese Ausgabe von der Ausgabe jeder anderen Fotodiode subtrahiert wird. Diese Skalierungsoperation wird durch Verstärker 51–53 ausgeführt. Es versteht sich, dass die Verstärker 51–53 Verstärkungen haben könnten, die kleiner als 1 sind, d. h. die Verstärker 51–53 könnten Dämpfer sein.
In der obigen Besprechung werden die Pigmentschichten als "durchlässig" und "opak" für Licht in verschiedenen Wellenlängenbändern bezeichnet. Idealerweise ist eine durchlässige Schicht zu 100% für Licht im relevanten Wellenlängenband durchlässig, und die opake Schicht ist zu 0% für Licht im relevanten Wellenlängenband durchlässig. Es versteht sich jedoch, dass auch Pigmente, die nur teilweise durchlässig oder teilweise opak sind, verwendet werden können und trotzdem noch einen Fotodetektor ergeben, der den zum Stand der Technik Fotodetektoren in bestimmten Anwendungen überlegen ist. Darum beinhaltet der Begriff "durchlässige Schicht" auch Schichten, die genügend Transmission oder Durchlässigkeit besitzen, um es der Fotodiode unter der Schicht zu ermöglichen, Licht in dem relevanten Wellenlängenband in Gegenwart von Licht in einem Band, in dem die Schicht als opak bezeichnet wird, zu messen, selbst wenn die Schicht etwas Durchlässigkeit in dem Band aufweist, für das sie als opak bezeichnet wird. Beispielsweise mag der Begriff "durchlässige Schicht" auch Schichten beinhalten, die genügend Transmission oder Durchlässigkeit besitzen, um es der Fotodiode unter der Schicht zu ermöglichen, Licht in dem relevanten Wellenlängenband in Gegenwart von Licht in einem Band, in dem die Schicht als durchlässig bezeichnet wird, zu messen. Wohingegen der Begriff "opake Schicht" beispielsweise auch Schichten beinhalten mag, die eine geringe Transmission oder Durchlässigkeit besitzen und es der Fotodiode unter der Schicht immer noch ermöglichen, Licht in dem relevanten Wellenlängenband in Gegenwart von Licht in einem Band, in dem die Schicht als opak bezeichnet wird, zu messen. Insbesondere beinhaltet der Begriff "durchlässige Schicht" Schichten, die ein Durchlassvermögen von über 60 Prozent aufweisen. Gleichermaßen beinhaltet der Begriff "opake Schicht" auch Schichten, die ein Durchlassvermögen von weniger als 30 Prozent aufweisen.
Dem Fachmann fallen anhand der obigen Beschreibung und der begleitenden Zeichnungen verschiedene Modifikationen an der vorliegenden Erfindung ein. Dementsprechend ist die vorliegende Erfindung allein durch den Geltungsbereich der folgenden Ansprüche einzuschränken.

Claims

Fotodetektor, der aufweist: ein Substrat mit einer ersten, einer zweiten und einer dritten Fotodiode, die ein erstes, ein zweites bzw. ein drittes Fotodiodenausgabesignal erzeugen, wobei jedes Fotodiodenausgabesignal eine Lichtintensität anzeigt, die auf diese Fotodiode auftrifft; eine erste Pigmentfilterschicht, die über der ersten Fotodiode, aber nicht über der zweiten Fotodiode liegt, wobei die erste Pigmentfilterschicht für Licht in einem ersten Wellenlängenband durchlässig ist und für Licht in einem zweiten Wellenlängenband opak ist; eine zweite Pigmentfilterschicht, die über der zweiten Fotodiode, aber nicht über der ersten Fotodiode liegt, wobei die zweite Pigmentfilterschicht für Licht in dem zweiten Wellenlängenband durchlässig ist und für Licht in dem ersten Wellenlängenband opak ist; eine Schicht, welche die erste und die zweite Pigmentfilterschicht aufweist und die über der dritten Fotodiode liegt; und ein Ausgabeschaltkreis, der das erste und das dritte Fotodiodenausgabesignal zu einem ersten korrigierten Ausgabesignal kombiniert und der das zweite und das dritte Fotodiodenausgabesignal zu einem zweiten korrigierten Ausgabesignal kombiniert.
Fotodetektor nach Anspruch 1, wobei der Ausgabeschaltkreis ein Signal, das ein Vielfaches von dem dritten Fotodiodenausgabesignal ist, von dem ersten und dem zweiten Fotodiodenausgabesignal subtrahiert.
Fotodetektor nach Anspruch 1 oder 2, wobei die erste, die zweite und die dritte Fotodiode Flächen aufweisen, die ganzzahlige Vielfache der Fläche von einer der Fotodioden sind.
Fotodetektor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, der des Weiteren eine vierte Fotodiode und eine dritte Pigmentfilterschicht aufweist, die über der vierten Fotodiode, aber nicht über der ersten und der zweiten Fotodiode liegt, wobei die vierte Fotodiode ein viertes Fotodiodenausgabesignal erzeugt, das eine Lichtintensität, die auf die vierte Fotodiode auftrifft, und einen Dunkelstrom, der von dieser Lichtintensität unabhängig ist, anzeigt, wobei der Ausgabeschaltkreis des Weiteren das dritte und das vierte Fotodiodenausgabesignal zu einem dritten korrigierten Ausgabesignal kombiniert.
Fotodetektor nach Anspruch 4, wobei das dritte korrigierte Ausgabesignal um den Dunkelstrom korrigiert ist.
Fotodetektor nach Anspruch 4 oder 5, wobei die dritte Pigmentschicht auch die dritte Fotodiode überlagert.
Fotodetektor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei jede der Fotodioden einen Dunkelstrom erzeugt, während kein Licht durch die Fotodioden empfangen wird, und wobei das erste und das zweite Ausgabesignal weniger von dem Dunkelstrom abhängig sind als das erste und das zweite Fotodiodenausgabesignal.
Verfahren zum Bestimmen der Lichtintensität eines Lichtsignals in jedem von mehreren Spektralbändern, wobei das Verfahren aufweist: Bereitstellen einer ersten, einer zweiten und einer dritten Fotodiode, die ein erstes, ein zweites bzw. ein drittes Fotodiodenausgabesignal erzeugen, wobei jedes Fotodiodenausgabesignal eine Lichtintensität anzeigt, die auf diese Fotodiode auftrifft; Bereitstellen einer ersten Pigmentfilterschicht, welche die erste Fotodiode aber nicht die zweite Fotodiode überlagert, wobei die erste Pigmentfilterschicht für Licht in einem ersten Wellenlängenband durchlässig ist und für Licht in einem zweiten Wellenlängenband opak ist; Bereitstellen einer zweiten Pigmentfilterschicht, welche die zweite Fotodiode, aber nicht die erste Fotodiode überlagert, wobei die zweite Pigmentfilterschicht für Licht in dem zweiten Wellenlängenband durchlässig ist und für Licht in dem ersten Wellenlängenband opak ist; Bereitstellen einer Schicht, welche die erste und die zweite Pigmentfilterschicht aufweist und die über der dritten Fotodiode liegt; und Kombinieren des ersten und des dritten Fotodiodenausgabesignals zu einer Schätzung der Lichtintensität in dem ersten Wellenlängenband und Kombinieren des zweiten und des dritten Fotodiodenausgabesignals zu einer Schätzung der Lichtintensität in dem zweiten Wellenlängenband.
Verfahren nach Anspruch 8, wobei die erste, die zweite und die dritte Fotodiode Flächen haben, die ganzzahlige Vielfache der Fläche von einer der Fotodioden sind.
Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, das des Weiteren aufweist: Bereitstellen einer vierten Fotodiode und einer dritten Pigmentfilterschicht, die über der vierten Fotodiode, aber nicht über der ersten und der zweiten Fotodiode liegt, wobei die vierte Fotodiode ein viertes Fotodiodenausgabesignal erzeugt, das eine Lichtintensität, die auf die vierte Fotodiode auftrifft, und einen Dunkelstrom, der von dieser Lichtintensität unabhängig ist, anzeigt, wobei das dritte Pigmentfilter in einem dritten Wellenlängenband durchlässig ist, wobei das Verfahren des Weiteren das dritte und das vierte Fotodiodenausgabesignal zu einer Schätzung einer Lichtintensität in dem dritten Wellenlängenband kombiniert.
Verfahren nach Anspruch 10, wobei die Schätzung der Lichtintensität in dem dritten Wellenlängenband um den Dunkelstrom korrigiert ist.
Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, wobei die dritte Pigmentschicht auch die dritte Fotodiode überlagert.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei jede der Fotodioden einen Dunkelstrom erzeugt, wenn kein Licht durch die Fotodioden empfangen wird, und wobei die Schätzungen der Lichtintensitäten in dem ersten und dem zweiten Wellenlängenband weniger von Dunkelstrom abhängig sind als das erste und das zweite Fotodiodenausgabesignal.
Verfahren zum Herstellen eines Fotodetektors, wobei das Verfahren aufweist: Bereitstellen eines Substrat mit einer ersten, einer zweiten und einer dritten Fotodiode, die ein erstes, ein zweites bzw. ein drittes Fotodiodenausgabesignal erzeugen, wobei jedes Fotodiodenausgabesignal eine Lichtintensität anzeigt, die auf diese Fotodiode auftrifft; Abscheiden einer ersten Pigmentfilterschicht, welche die erste Fotodiode und die dritte Fotodiode, aber nicht die zweite Fotodiode überlagert, wobei die erste Pigmentfilterschicht für Licht in einem ersten Wellenlängenband durchlässig ist und für Licht in einem zweiten Wellenlängenband opak ist; und Abscheiden einer zweiten Pigmentfilterschicht, welche die zweite Fotodiode und die dritte Fotodiode, aber nicht die erste Fotodiode überlagert, wobei die zweite Pigmentfilterschicht für Licht in dem zweiten Wellenlängenband durchlässig ist und für Licht in dem ersten Wellenlängenband opak ist.
Verfahren nach Anspruch 14, wobei das Substrat des Weiteren einen Ausgabeschaltkreis aufweist, der das erste und das dritte Fotodiodenausgabesignal kombiniert, um ein erstes korrigiertes Ausgabesignal bereitzustellen und die das zweite und das dritte Fotodiodenausgabesignal kombiniert, um ein zweites korrigierte Ausgabesignal bereitzustellen.
Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, wobei die erste, die zweite und die dritte Fotodiode Flächen aufweisen, die ganzzahlige Vielfache der Fläche von einer der Fotodioden sind.
Verfahren nach Anspruch 15 oder 16, wobei das Substrat des Weiteren eine vierte Fotodiode und eine dritte Pigmentfilterschicht, die über der vierten Fotodiode, aber nicht über der ersten und der zweiten Fotodiode liegt, aufweist, wobei die vierte Fotodiode ein viertes Fotodiodenausgabesignal erzeugt, das eine Lichtintensität, die auf die vierte Fotodiode auftrifft, und einen Dunkelstrom, der von dieser Lichtintensität unabhängig ist, anzeigt, wobei der Ausgabeschaltkreis des Weiteren das dritte und das vierte Fotodiodenausgabesignal kombiniert, um ein drittes korrigierte Ausgabesignal bereitzustellen.
Verfahren nach Anspruch 17, wobei das dritte korrigierte Ausgabesignal um den Dunkelstrom korrigiert ist.
Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, wobei die dritte Pigmentschicht auch die dritte Fotodiode überlagert.
Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 19, wobei jede der Fotodioden einen Dunkelstrom erzeugt, wenn kein Licht durch die Fotodioden empfangen wird, und wobei das erste und das zweite Ausgabesignale weniger von dem Dunkelstrom abhängig sind als das erste und das zweite Fotodiodenausgabesignal.