DE102008003284A1 - Vorrichtung zum Aufbau eines konfokalen Laser-Raster-Mikroskops basierend auf einem Parabolspiegel - Google Patents

Vorrichtung zum Aufbau eines konfokalen Laser-Raster-Mikroskops basierend auf einem Parabolspiegel Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur konfokalen optischen Untersuchung von Proben, basierend auf einem Parabolspiegel. Diese Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Position des Fokus des Parabolspiegels mittels einer selbstjustierenden Spiegelhalterung im Bezug auf das optische Feld und auf die optische Grundplatte immer gleich bleibt. Die selbstjustierende Spiegelhalterung besteht aus Auflagepunkten, die derart angeordnet sind, dass sie an den Ecken einer rotationssymmetrischen Figur lokalisiert sind, durch deren Mittelpunkt die optische Achse des Parabolspiegels läuft. Bevorzugt besteht die selbstjustierende Spiegelhalterung aus drei Auflagepunkten, die an den Ecken eines gleichseitigen Dreiecks lokalisiert sind. Die Auflagepunkte der selbstjustierenden Spiegelhalterung sind insbesondere aus hartem Material wie z. B. Saphir, Rubin oder Diamant angefertigt und können die Form einer Kugel, die in einem Konus liegt, einer Kugel, die in einer Kerbe liegt, und/oder einer Kugel, die auf einer glatten Oberfläche liegt, aufweisen. In einer besonders bevorzugten Ausführung hat der Parabolspiegel in der Mitte eine Öffnung, die von oben Einblick auf die Probenoberfläche gewährt. Dadurch wird ermöglicht, dass ein interessanter Bereich auf der Probe ausgewählt und in den Fokus positioniert werden kann.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur konfokalen optischen Untersuchung von Proben basierend auf einem Parabolspiegel.
  • In den letzten fünfzehn Jahren haben konfokale Laser-Raster-Mikroskope (CLSM) in der Biologie, Medizin oder Materialprüfung ein weites Anwendungsfeld gefunden. Ihr wesentlicher Vorteil gegenüber klassischen optischen Weitfeldmikroskopen liegt bei der beugungsbegrenzten hohen optischen Ortsauflösung, beim sehr guten Kontrast (Verhältnis von Signal zu Untergrund), der Möglichkeit dreidimensionale Schnittbilder aufzunehmen (Tomographie), bei der zerstörungsfreien Probeninspektion, der Möglichkeit der lokalen Probenanalyse durch optische Spektroskopie, etc..
  • Die meisten CLSM benutzen zur Fokussierung des Lichts auf die Probe und zum Einsammeln des optischen Signals von der Probe ein Mikroskopobjektiv mit hoher numerischer Apertur.
  • Zur Aufnahme eines Bildes wird entweder die Probe oder der Fokus gerastert und das optische Signal Punkt für Punkt aufgezeichnet und von einem Computer schließlich als Bild dargestellt. Hinsichtlich minimaler Fokusgröße (Ortsauflösung), chromatischer Aberration und Reinheit der Polarisation des Lichts im Fokus stellt ein Objektiv allerdings nur einen Kompromiss dar. Aus Sicht der Optik stellt ein Parabolspiegel (eine parabolisch geformte, reflektierende Oberfläche) ein ideales Element zur Fokussierung von Licht auf eine Probe dar. Ein Parabolspiegel hat einen wohl definierten fokalen Punkt, er kann einen radialpolarisierten Laserstrahl zum kleinsten möglichen beugungsbegrenzten Fokus mit wohl definierter longitudinal orientierter Polarisation bündeln [J. Stadler, C. Stanciu, C. Stupperich and A. J. Meixner, Optics Letters, zur Begutachtung eingereicht am 11. 12. 2007] und ist frei von chromatischen Aberationen. Zusätzlich gestattet er, das im Fokus gestreute oder erzeugte Licht im gesamten Halbraum über der Probe einzusammeln (Numerische Apertur: NA = n·1,0, n = Brechungsindex des umgebenden Mediums). Aus diesem Grund wurde der Einsatz eines Parabolspiegels als fokusierendes und lichtsammelndes Element von verschiedenen Autoren beschrieben [M. A. Lieb and A. J. Meixner, Optics Express 8 (2001) 458–474, P. Varga and P. Török, J. Opt. Soc. Am. A17 (2000) 2081–2095, N. Davidson, N. Bokor, Optics Letters 29 (2004) 1318–1320].
  • Lieb et al. haben gezeigt, dass sehr hohe Anforderungen an die Qualität des Eingangsstrahls (Orientierung der Strahlachse parallel zur Parabolspiegelachse, Divergenz, Rotationssymmetrie des Strahlprofils) erforderlich sind, um die Vorteile des Parabolspiegels für die konfokale Mikroskopie zu nutzen. Aus diesem Grund sind eine sehr gute Optik eine reproduzierbare Justierung der optischen Elemente und ein sehr stabiler optischer Aufbau nötig, um den Laserstrahl (Strahlprofil, Orientierung) so genau in den Parabolspiegel zu justieren, dass seine Vorteile zum Tragen kommen.
  • Die wenigen aus dem Stand der Technik bekannten experimentellen Aufbauten konnten das Ziel nicht erreichen und ihre Ortsauflösung bleibt unter derjenigen eines klassischen konfokalen Mikroskops [M. A. Lieb Diss. Universität Siegen, 2001, eDiss: www.ub.uni-siegen.de/epub/diss/lieb.htm, T. Ruckstuhl, S. Seeger, Appl. Opt. 42 (2003) 3277–3283.]
  • Da der Parabolspiegel nur einen wohl definierten fokalen Punkt und keine fokale Ebene wie das Objektiv hat, ergibt sich ein weiteres grundlegendes Problem. Es ist nicht möglich, mit einem Parabolspiegel Weitfeldbilder wie bei einem herkömmlichen optischen Mikroskop aufzunehmen. Somit gestaltet es als äußerst schwierig, die Probe in den Fokus zu bringen und einen interessanten Probenbereich auszuwählen.
  • Damit eine vergleichbar hohe Auflösung wie bei den aus dem Stand der Technik bekannten Mikroskopen zustande kommt, muss der Parabolspiegel den gesamten optischen Halbraum über der Probe abdecken. Die Probe muss einen Durchmesser haben, der wesentlich kleiner ist als derjenige des Parabolspiegels und muss von unten her in den Fokus des Parabolspiegels gebracht werden. Daraus folgt, dass die Probe nur schwer zugänglich ist und dass der Austausch der Probe sowie das Auffinden bestimmter Probenpositionen sehr schwierig sind.
  • Aus diesen Gründen wird der Parabolspiegel bis auf wenige Ausnahmen bislang nicht zum Aufbau eines konfokalen Mikroskops verwendet.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, die Nachteile der bekannten Vorrichtungen zu umgehen und ein CLSM Mikroskop basierend auf einem Parabolspiegel bereit zu stellen, das die Vorteile des Parabolspiegels gegen über einem herkömmlichen Objektiv nutzbar macht und mit dem es möglich ist, die Probe einfach und reproduzierbar in den Fokus zu bringen. Zusätzlich soll es damit möglich sein, einen interessanten Probenbereich auszuwählen und untersuchen zu können.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Position des Parabolspiegels im optischen Strahlengang des Mikroskops genau festgelegt und beim Probenwechsel, bei der Fokussierung und beim Rastern der Probe nicht verändert wird. Dies hat den Vorteil, dass der Strahlengang nur einmal beim Aufbau des Mikroskops optimal justiert wird und nicht nachjustiert werden muss, wenn die Probe ausgetauscht wird. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird nur die Probe bewegt, die Position des Parabolspiegels bleibt unverändert, so dass der Fokus immer an der gleichen Stelle bleibt. Dadurch kann aus Sicht der Optik eine ideale Strahlführung und die maximal mögliche Apertur gegeben durch den halben Raumwinkel über der Probe gewählt werden.
  • Die gleiche Positionierung des Parabolspiegels wird erfindungsgemäß reproduzierbar durch eine selbstjustierende Spiegelhalterung erreicht, über die der Parabolspiegel mit dem optischen Aufbau verbunden wird (1). Dies wird durch den Einsatz von mindestens drei Auflagepunkten ermöglicht, welche den Ort des Fokus und die Orientierung der Rotationsachse des Parabolspiegels genau fest legen, so dass sie exakt auf der optischen Achse der restlichen Optik liegen. Idealerweise wird die selbstjustierende Spiegelhalterung mittels einer Dreipunktlagerung gehalten, wobei drei Auflagepunkte ein gleichseitiges Dreieck bilden, dessen Schwerpunkt mit dem Fokus des Parabolspiegels übereinstimmt und dreizählige Rotationsachse mit der Achse des Parabolspiegels zusammen fällt (2).
  • Die Auflagepunkte sind bevorzugt aus sehr hartem Material (Saphir, Rubin, Diamant) angefertigt, welches mit hoher Präzision bearbeitet werden kann. Sie können z. B. aus einer Kugel, die in einem Konus liegt, einer Kugel, die in einer Kerbe liegt und einer Kugel, die auf einer glatten Oberfläche liegt, bestehen. Sind die Mittelpunkte der Kugeln fest miteinander verbunden, so ist die Lage des Schwerpunktes des Dreiecks, welches sie aufspannen, exakt definiert. Da die Kugeln immer so tief wie möglich in den Konus und in die Kerbe eindringen, ist die Halterung des Parabolspiegels selbstjustierend, sie findet immer wieder an ihre Ursprungsposition zurück.
  • Durch den Einsatz von selbstjustierenden Auflagepunkten kann der Parabolspiegel zum Probenwechsel einfach aus dem Strahlengang entfernt und reproduzierbar durch einen Handgriff wieder in die Lagerung eingesetzt und so mit sehr großer Genauigkeit zurück in seine vorgesehene Lage gebracht werden. Der Strahlengang muss nach diesem Vorgang nicht nachjustiert werden. Einzig eine neu eingesetzte Probe muss wieder in den Fokus gebracht werden.
  • In einer besonders bevorzugten Ausführung hat der Parabolspiegel in der Mitte eine Öffnung, die von oben Einblick auf die Probenoberfläche gewährt. Dadurch wird ermöglicht, dass ein interessanter Bereich auf der Probe ausgewählt und in den Fokus positioniert werden kann. Durch eine Optik mit geeigneter Brennweite (Linse, Objektiv) kann ein großer Bereich der Probenoberfläche in Reflexion im Weitfeld beobachtet werden. Die Auflösung liegt dabei im Bereich von wenigen Mikrometern. Man sieht den durch den Parabolspiegel fokussierten Lichtfleck auf der Probe, dadurch wird es sehr einfach, mit Hilfe des elektromechanischen Stelltisches, der zum Rastern der Probe dient, einen interessanten Probenbereich auszusuchen und in den Fokus des Parabolspiegels zu fahren (1).
  • Die Öffnung in der Mitte des Parabolspiegels hat bevorzugt eine runde Form und ihr Durchmesser beträgt typischerweise 10–20% des Parabolspiegeldurchmessers. Durch die erfindungsgemäße Öffnung in der Mitte des Parabolspiegels hervorgerufene Abbildungsfehler oder Detektionsverluste dürften auch bei sehr hohen Anforderungen aus folgenden zwei Gründen vernachlässigbar sein. Erstens, wird der Parabolspiegel mit einem radial-polarisierten, an die Apertur angepassten Laserstrahl beleuchtet. Das Profil dieses Strahls ist ringförmig, es hat im Zentrum einen dunklen Bereich, so dass die Abschattung durch die Probe oder Strahlverluste durch die Öffnung des Parabolspiegels nicht zum Tragen kommen. Zweitens, beträgt der durch die Öffnung im Parabolspiegel nicht abgedeckte Halbraum nur ca. 1,5% des gesamten Halbraums über dem Fokus. Folglich wäre der Verlust des Signals einer im Fokus befindlichen isotrop ausstrahlenden Lichtquelle nicht größer als 1,5%.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung hat gegenüber den aus dem Stand der Technik bekannten Vorrichtungen den Vorteil, dass es damit zum ersten Mal möglich ist, mit einem CLSM auf Parabolspiegelbasis mit beugungsbegrenzter Auflösung abzubilden, die Probe einfach und reproduzierbar mit einer sehr hohen Genauigkeit in den Fokus zu bringen. Außerdem erlaubt das erfindungsgemäße Mikroskop, einen interessanten Probenbereich einfach auswählen und untersuchen zu können. Mit der erfindungsgemäßen Anordnung sind somit die oben beschriebenen Probleme der bekannten Vorrichtungen gelöst.
  • Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung werden nachstehend anhand der Ausführungsbeispiele mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Die Zeichnungen zeigen:
  • 1: Schema der Strahlführung des erfindungsgemäßen konfokalen Parabolspiegelmikroskops im Bereich des Parabolspiegels mit Probe; gezeigt ist das Beispiel des Parabolspiegels mit einer Öffnung in der Mitte, die Einblick von oben auf die Probenoberfläche gewährt; 1 Parabolspiegel, 2 Halterung auf optischer Grundplatte, 3 Kamera zur Weitfeldbeobachtung der Probe, 4 selbstjustierende Auflagepunkte, 5 Probe, 6 Probenhalterung mit Rastermechanik, 7 Orientierung der elektrischen Feldkoponente des eingehenden Laserstrahls, 8 Richtung des eingehenden Laserstrahls.
  • 2: Detail der selbstjustierenden Spiegelhalterung am Beispiel der drei Auflagepunkte; 1 Parabolspiegel; 2 Zentrale Öffnung im Parabolspiegel, 3 Optische Achse (= Achse des Parabolspiegels), 4a4b Selbstjustierende Auflagepunkte (Dreipunktlagerung), 4a Kugel in Konus, 4b Kugel in Kerbe, 4c Kugel auf glatter Oberfläche.
  • 3: Konfokale Aufnahme einer lithographisch hergestellten Probe mit vier Feldern von Goldkonen (Höhe und Durchmesser der Basis etwa 100 nm) auf einer Silizium-Oberfläche, die schachbrettartig mit Abständen von 1 μm oder 2 μm angeordnet sind.
  • Ausführungsbeispiel
  • Die vorliegende Erfindung wurde am Beispiel des Parabolspiegelmikroskops realisiert, welches ähnlich aufgebaut ist wie ein invertiertes konfokales Mikroskop, bei dem die Probe gerastert wird. Der Parabolspiegel hat einen Durchmesser von rund 20 mm und ist aus Aluminium gefertigt. Der mechanische Aufbau besteht aus rostfreiem Stahl und zeichnet sich durch eine hohe Festigkeit und geringe Empfindlichkeit gegenüber Temperaturschwankungen aus. Die drei Auflagen des Spiegels bestehen mikroskopseitig aus einem Saphir-Ring einer Saphir-Kerbe und einem Saphirplättchen, die mit einer festen Grundplatte des optischen Aufbaus verbunden sind. An der Spiegelhalterung sind sie durch Rubinkugeln mit einem Durchmesser von 1,5 mm realisiert.
  • Es hat sich gezeigt, dass dieser Aufbau sich besonders gut eignet, um Nanostrukturen (Nanopartikel und Fluorescent Beads mit Durchmessern von 40 nm und weniger) bis hin zu einzelnen fluoreszierenden Molekülen beugungsbegrenzt abzubilden. 3 zeigt z. B. eine mit dem beschriebenen Aufbau gemachte konfokale Aufnahme einer lithographisch hergestellten Probe mit vier Feldern von Goldkonen (Höhe und Durchmesser der Basis etwa 100 nm) auf einer Silizium-Oberfläche, die schachbrettartig mit Abständen von 1 μm oder 2 μm angeordnet sind.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - J. Stadler, C. Stanciu, C. Stupperich and A. J. Meixner, Optics Letters, zur Begutachtung eingereicht am 11. 12. 2007 [0004]
    • - M. A. Lieb and A. J. Meixner, Optics Express 8 (2001) 458–474 [0004]
    • - P. Varga and P. Török, J. Opt. Soc. Am. A17 (2000) 2081–2095 [0004]
    • - N. Davidson, N. Bokor, Optics Letters 29 (2004) 1318–1320 [0004]
    • - Lieb et al. [0005]
    • - M. A. Lieb Diss. Universität Siegen, 2001, eDiss: www.ub.uni-siegen.de/epub/diss/lieb.htm [0006]
    • - T. Ruckstuhl, S. Seeger, Appl. Opt. 42 (2003) 3277–3283 [0006]

Claims (11)

  1. Vorrichtung zur konfokalen optischen Untersuchung einer Probe, mit einem Parabolspiegel, der sich auf einer optischen Grundplatte befindet, einer Einrichtung zur Erzeugung und/oder Lenkung eines optischen Felds, und einer Probenhalterung, dadurch gekennzeichnet, dass die Position des Fokus des Parabolspiegels mittels einer selbstjustierende Spiegelhalterung im Bezug auf des optische Feld und auf die optische Grundplatte immer gleich bleibt.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die selbstjustierende Spiegelhalterung aus Auflagepunkten besteht, die derart angeordnet sind, dass sie an den Ecken einer rotationssymmetrischen Figur lokalisiert sind, durch deren Mittelpunkt die optische Achse des Parabolsspiegels läuft.
  3. Vorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die selbstjustierende Spiegelhalterung aus drei Auflagepunkten besteht, die an den Ecken eines gleichseitigen Dreiecks lokalisiert sind.
  4. Vorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflagepunkte der selbstjustierenden Spiegelhalterung aus hartem Material angefertigt sind.
  5. Vorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflagepunkte der selbstjustierenden Spiegelhalterung aus Saphir, Rubin oder Diamant angefertigt sind.
  6. Vorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflagepunkte der selbstjustierenden Spiegelhalterung in Form einer Kugel, die in einem Konus liegt, einer Kugel, die in einer Kerbe liegt, und/oder einer Kugel, die auf einer glatten Oberfläche liegt, ausgebildet sind.
  7. Vorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Parabolspiegel in der Mitte eine Öffnung aufweist.
  8. Vorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung in der Mitte des Parabolspiegels eine runde Form hat.
  9. Vorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser der Öffnung in der Mitte des Parabolspiegels 10–20% des Parabolspiegeldurchmessers beträgt.
  10. Vorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung zur Erzeugung des optischen Felds eine im Fokus des Parabolspiegels befindliche isotrop ausstrahlende Lichtquelle ist.
  11. Vorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Parabolspiegel das Licht aus der Lichtquelle über dem gesamten Halbraum über der Probe einsammelt.
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Non-Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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J. Stadler, C. Stanciu, C. Stupperich and A. J. Meixner, Optics Letters, zur Begutachtung eingereicht am 11. 12. 2007
M. A. Lieb and A. J. Meixner, Optics Express 8 (2001) 458-474
M. A. Lieb Diss. Universität Siegen, 2001, eDiss: www.ub.uni-siegen.de/epub/diss/lieb.htm
N. Davidson, N. Bokor, Optics Letters 29 (2004) 1318-1320
P. Varga and P. Török, J. Opt. Soc. Am. A17 (2000) 2081-2095
T. Ruckstuhl, S. Seeger, Appl. Opt. 42 (2003) 3277-3283

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