DE102007035693A1 - Monolithisches, poröses Bauteil aus im wesentlichen parallelen Nanoröhren, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung desselben - Google Patents

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines monolithischen, porösen Bauteils aus im wesentlichen parallelen Nanoröhren mit einem Durchmesser im Bereich von 1 bis 1000 nm, welches die Schritte umfaßt: (i) Bereitstellen eines im wesentlichen parallelen Poren aufweisenden Templat-Materials; (ii) Abscheiden zumindest eines Feststoffs in den Poren zur Ausbildung von Röhren und zumindest auf im wesentlichen senkrecht zu den Poren angeordneten Außeroberflächen des Templats zur Ausbildung von Deckschichten, wobei der Feststoff aus einem atomaren/molekularen Vorläufer erzeugt wird; (iii) optional Formgebung des in Schritt (ii) beschichteten Templats auf eine vorgegebene Form und Größe und (iv) Entfernen des Templats.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein monolithisches, pöroses Bauteil aus im wesentlichen parallelen Nanoröhren, ein Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendungen desselben.
  • Reaktoren für die chemische Synthese, die im Mikrometermaßstab strukturiert sind, bezeichnet man als Mikroreaktoren. Sie werden in den letzten Jahren verstärkt in der Prozeßentwicklung und -optimierung eingesetzt und gewinnen immer mehr an industriellem Interesse. Solche Reaktoren zeichnen sich durch dreidimensionale Reaktionsräume aus, die ein Behältnis von nur wenigen Millilitern Volumen und darunter darstellen. Diese Reaktionsräume, die bislang hauptsächlich über verschiedene Lithographie- und Ätzmethoden hergestellt werden, besitzen zumeist Kanäle in der Größenordnung mehrere Mikrometer, durch die ein Fluid strömt und in denen eine Reaktion stattfindet. Zahlreiche Reaktionstypen – katalysiert und nicht-katalysiert, ein- oder mehrphasig – wurden bis heute bereits in Mikroreaktoren realisiert. Daneben zeigt sich auch für die Mikro-Bioverfahrenstechnik unter Verwendung von Mikroorganismen und Zellen als Biokatalysatoren ein enormes Potential.
  • Das Verhältnis von Oberfläche zu Volumen stellt dabei einen Schlüsselparameter dar und besitzt bei herkömmlichen Industriereaktoren eine Größenordnung von etwa 1.000 m2/m3, bei mikrostrukturierten Reaktoren ist eine Steigerung auf einen Bereich von 10.000 bis 50.000 m2/m3 möglich.
  • Auch sind im Stand der Technik Mikroreaktoren bekannt, in deren Kanälen Nanoröhren erzeugt werden. Diese Nanoröhren sind typischerweise im Bereich zwischen etwa 10–200 nm im Durchmesser. Sie bieten den Vorteil der Erhöhung der inneren Oberfläche des Reaktionsraumes, um darin Katalysatorpartikel aufzubringen und eine bessere Wärmezu- und -abfuhr zu ermöglichen, bei gleichzeitig gesteigertem Massentransfer. Jedoch konnte diese bislang nicht sehr parallel zueinander ausgerichtet werden, weisen variierende Längen im Durchmesser auf und besitzen materialseitige Unterschiede zum Reaktormaterial, was für die Einsatzzwecke solcher Mikroreaktoren nachteilig sein kann.
  • Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein monolithisches, pöroses Bauteil bereitzustellen, das die Nachteile des Standes der Technik überwindet und insbesondere als Nanoreaktor sowie für weitere Verwendungsmöglichkeiten einsetzbar ist. Insbesondere soll das Verhältnis von Oberfläche zu Volumen deutlich erhöht werden. Darüberhinaus soll es ermöglicht werden, materialseitige Unterschiede zwischen innerer Oberfläche des Bauteils und der Bauteilhülle aufzuheben.
  • Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteils bereitzustellen und Verwendungsmöglichkeiten aufzuzeigen.
  • Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zum Herstellen eines monolithischen, pörosen Bauteils aus im wesentlichen parallelen Nanoröhren mit einem Durchmesser im Bereich von 1 bis 1000 nm, welches die Schritte umfaßt: (i) Bereitstellen eines im wesentlichen parallele Poren aufweisenden Templat-Materials; (ii) Abscheiden zumindest eines Feststoffs in den Poren zur Ausbildung von Röhren und zumindest auf im wesentlichen senkrecht zu den Poren angeordneten Außenoberflächen des Templats zur Ausbildung von Deckschichten, wobei der Feststoff aus einem atomaren/molekularen Vorläufer erzeugt wird; (iii) optional Formgebung des in Schritt (ii) beschichteten Templats auf eine vorgegebene Form und Größe; und (iv) Entfernen des Templats.
  • Ferner ist vorgesehen, daß das Entfernen des Templats durch Ätzen mit Basen oder Säuren, bevorzugt Flußsäure, durchgeführt wird.
  • Es ist bevorzugt, daß das Templat-Material ausgewählt wird aus Aluminiumoxid, Titandioxid, Silizium, Siliziumdioxid und Verbindungshalbleitern der Gruppe 12/16 des Periodensystems, wie CdS, CdSe und CdTe.
  • Bevorzugter ist vorgesehen, daß der abzuscheidende Feststoff ausgewählt wird aus Kohlenstoff, Metallen, Elementen der Gruppen 13–16 des Periodensystems, Polymeren sowie Kombinationen der genannten Stoffe, optional unter Zugabe von Wasserstoff. Kombinationen mit Wasserstoff ermöglichen Kohlenwasserstoffe und Polymer.
  • Ebenso ist bevorzugt, daß der Feststoff aus der Gasphase oder kondensierten Phase abgeschieden wird.
  • In einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, daß das Abscheiden durch chemische Dampfabscheidung (CVD), Metallverdampfung, über Polymere, Sol-Gel-Verfahren oder elektrochemische Abscheidung erfolgt. Die Abscheidung über Sol-Gel-Verfahren oder Polymere wurde bereits vielfach beschrieben und sollte dem Fachmann daher gut bekannt sein, siehe beispielsweise C. J. Brinker und G. W. Scherer, „Sol-Gel Science – The Physics and Chemistry of Sol-Gel Processing", Academic Press, New York, 1990; Lu & Schüth, „Nanocasting: A Versatile Strategy for Creating Nanostructured porous Materials" Adv. Matr. 2006, 18, 1793-1805. Eine elektrochemische Abscheidung wird beispielsweise von C. Martin, Chem. Mater 1996, 8, 1739-1746 beschrieben.
  • Ferner kann vorgesehen sein, daß als Deckschichten und in den Poren gleichartige oder unterschiedliche Feststoffe abgeschieden werden. Im Grunde ist es wichtig, daß Deckschichten und Porenfüllungen in einem Arbeitsschritt abgeschieden werden. Anschließend ist es möglich, die Deckschichten weiter aufzubauen (z. B. für eine Kontaktierung oder Stabilisierung des Bauteils) oder die Poren zu füllen (z. B. zur Stabilisierung).
  • Außerdem ist bevorzugt, daß eine die abzuscheidenden Feststoffe tragende Strömung im wesentlichen parallel zur Längsachse der Poren des Templats ist. Die parallele Strömung ist insbesondere für Abscheidungsverfahren aus der Gasphase (wie z. B. CVD-Verfahren) wichtig, jedoch von weniger Bedeutung für Abscheidungen aus der Flüssigphase (wie z. B. Sol-Gel-Verfahren) oder eine elektrochemische Abscheidung.
  • In einer Ausführungsform ist bevorzugt, daß das Templat in Schritt (ii) erwärmt wird, vorzugsweise auf eine Temperatur von 700 bis 1000°C.
  • Ferner wird vorgeschlagen, daß Deckschichten und Nanoröhren in einem Arbeitsschritt erzeugt werden.
  • Schließlich kann vorgesehen sein, daß mehrere Außenoberflächen des Templats zur Ausbildung einer Deckschichthülle mit zumindest einem Feststoff beschichtet werden. Die Beschichtung der Außenflächen kann ebenfalls variabel gestaltet werden. Zum Beispiel kann die Beschichtung von zwei gegenüberliegenden Seitenflächen sinnvoll sein. Die Beschichtung sämtlicher Außenoberflächen würde den Reaktionsraums abschließen.
  • Erfindungsgemäß ist auch ein monolithisches, pöroses Bauteil, das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt wird.
  • Das Entfernen des Templats wird bevorzugt durch Ätzen mit Säure durchgeführt. Das Ätzen wird üblicherweise mit Hilfe von Flußsäure (HF) durchgeführt. Es könnten jedoch auch andere Mineralsäuren, z. B. Phosphorsäure, eingesetzt werden. Darüber hinaus können unter Umständen auch Basen, wie KOH oder NaOH, verwendet werden.
  • Es ist bevorzugt, daß das Innere der Röhren zur Außenoberfläche hin offen ist.
  • Vorgeschlagen wird auch, daß die Röhren des Bauteils gefüllt sind, vorzugsweise mit einem kompakten oder anderen porösen Material.
  • Auch kann vorgesehen sein, daß das Innere der Röhren vollständig gefüllt ist. Dadurch ist es möglich, in den Poren Stäbe zu erzeugen, deren Füllmaterial ebenfalls porös sein kann. Vorgeschlagen wird deshalb auch, daß die Poren des Bauteils, vorzugsweise mit einem kompakten oder anderen porösen Material gefüllt sind.
  • Bevorzugt weist das Bauteil ein Verhältnis von Oberfläche zu Volumen von 50.000–100.000.000 m2/m3, bevorzugt 500.000 bis 10.000.000 m2/m3 auf.
  • Besonders bevorzugt ist, daß es aus Kohlenstoff aufgebaut ist.
  • Röhren und Deckschichten können aus gleichartigen oder unterschiedlichen Materialien aufgebaut sein.
  • Auch wird vorgeschlagen, daß die gesamte Außenoberfläche mit der Deckschicht versehen ist. In sich daran anschließenden Arbeitsschritten kann die Außenoberfläche in definierten Bereichen gezielt wieder entfernt werden.
  • Vorteilhaft weist das monolithische, poröse Bauteil eine Länge und/oder Breite von 0,1 mm bis 5 cm und eine Dicke von 1 μm bis 1 mm auf.
  • Das erfindungsgemäße Bauteil kann Substanzen aufnehmen oder von diesen durchströmt werden. Das erfindungsgemäße Bauteil kann daher als Strömungs- oder Reaktionsraum verwendet werden, wobei abgeschiedene Deckflächen die Strömung räumlich begrenzen. Daher ist besonders bevorzugt ein kontinuierlicher oder diskontinuierlicher Betrieb des erfindungsgemäßen Bauteils möglich.
  • Bevorzugt kann die Verwendung als Nanoreaktor, Sensor, Wärmetauscher oder eine Kombination derselben vorgesehen sein. Es soll hervorgehoben werden, daß bei Verwendung des erfindungsgemäßen Bauteils der zuvor mit Templat gefüllte Raum und nicht das Innere der Nanoröhrchen durchströmt wird.
  • Bei Verwendung des erfindungsgemäßen Bauteils wird eine Strömungsführung ermöglicht, bei der die Strömung senkrecht zu den Röhrenachsen des Bauteils verläuft und die individuellen Röhren des Bauteils außen umströmt. Durch die erzeugten Deckschichten kann die Strömung auch räumlich begrenzt werden. Besonders bevorzugt kann die Verwendung als Bauteil mit System- und Integrationsbezug vorgesehen werden, um eine Schnittstelle zwischen typischen Abmessungen der Nanotechnik und denen der Mikrostrukturtechnik zu schaffen.
  • Überraschenderweise wurden für das erfindungsgemäße Bauteil die folgenden Vorteile und Besonderheiten aufgefunden. Die Struktur des Bauteils weist einen hohen Ordnungsgrad auf, da die Nanoröhren durch das Templat sehr gerade hergestellt werden können. Ferner weisen die Nanoröhren eine definierte Länge auf, da die Länge der Nanoröhren über die Dicke des Templats festgelegt wird und gleichmäßig ist. Der Außendurchmesser der im Bauteil hergestellten Nanoröhren entspricht dem Porendurchmesser des Templats, der Innendurchmesser der Röhren kann über die Abscheidungszeit leicht variiert werden, so daß definierte Durchmesser und Wanddicken einstellbar sind. Ebenfalls ist das sogenannte Aspektverhältnis, d. h. das Verhältnis von Länge zu Durchmesser, sehr gut einstellbar. Besonders hervorzuheben ist, daß mit dem erfindungsgemäßen Bauteil ein skalenübergreifender Nano-Mikro-Makro-Übergang erreicht und gewährleistet werden kann aus im wesentlichen makroskopisch angeordneten parallelen Nanoröhren. Besonders bevorzugt kann eine Verwendung des Bauteils mit System- und Integrationsbezug vorgesehen werden, um eine Schnittstellt zwischen Nanotechnik und Mikrostrukturtechnik zu schaffen. Dies kann insbesondere in Form eines Sensors, Wärmetasuchers, chemischen Reaktors oder einer Kombination derselben vorgesehen sein.
  • Die Nanoröhren enden in einer zumindest oberen und unteren Deckschicht, die im wesentlichen senkrecht zur Längsachse der Röhren verlaufen. Dies ermöglicht eine dreidimensionale Anordnung der Röhren, hält die Röhren zusammen und bietet auch eine Kontaktierungsmöglichkeit durch die beiden Deckschichten. Weiterhin können die Röhren durch Bereitstellung der Deckschichten gut gehandhabt und eine Strömung innerhalb des Bauteils durch die Deckschichten begrenzt werden.
  • Bei Verwendung von Kohlenstoff als auf dem Templat abzuscheidenden Feststoff ist der Grad der Graphitisierung des Kohlenstoffs über die Temperaturführung während des Abscheidens einstellbar, wodurch eine zusätzliche spätere Funktionalisierung der gebildeten Röhren gesteuert werden kann. Weiterhin kann der Grad der Graphitisierung auch nach dem Abscheiden durch Temperaturbehandlung verändert werden. Die Anordnung der Röhren und die Abstände derselben sind über die Gestalt des Templats, insbesondere dessen Porosität, einstellbar.
  • Ferner treten keine Verunreinigungen durch Katalysatorpartikel in den abgeschiedenen Röhren auf, wenn diese durch nicht-katalytische Abscheidungsverfahren aus der Gasphase hergestellt werden.
  • Die Röhren können beidseitig offen hergestellt werden, so daß der Innenraum der Röhren nach der Herstellung des Bauteils zugänglich ist. Auch können Röhren und Deckschichten aus demselben Material oder aus unterschiedlichen Materialien hergestellt werden.
  • Weitere Merkmale und Vorteile des erfindungsgemäßen Bauteils ergeben sich aus der folgenden detaillierten Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die Zeichnung, in der
  • 1.11.3 Schnittansichten eines porösen Templats bzw. des erfindungsgemäßen Bauteils während des Herstellungsverfahrens zeigen;
  • 2.12.2 weitere Schnittansichten durch ein poröses Templat und erfindungsgemäße Bauteile zeigen; und
  • 3 eine rasterelektronenmikroskopische Aufnahme eines erfindungsgemäßen Bauteils zeigt.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren kann in einem Reaktor wie folgt durchgeführt werden:
    Es wird ein Reaktor mit einem Reaktorkopf eingesetzt, welcher Reaktorkopf aus zwei ineinander geschraubten Kohlenstoffteilen besteht, die über Induktion geheizt werden können. Über ein Metallrohr tritt ein Zuführungsgas (Trägergas und Gas enthaltend die zur Abscheidung vorgesehenen Feststoffe) in den Reaktorkopf ein. Im Reaktorkopf befindet sich eine scheibenförmige Membran aus Aluminiumoxid, die als Templat für die Herstellung des erfindungsgemäßen Bauteils dient. Die Scheibe ist so angeordnet, daß die Gasströmung im wesentlichen senkrecht auf die flache Scheibenoberfläche auftrifft. Bei einer Temperatur von 700–1000°C werden als Zuführungsgas 10–20 sccm Propylen und 10–20 sccm (sccm = Standardkubikzentimeter pro Minute) Argon durch das Metallrohr in den Reaktorkopf geleitet. Dabei führen die hohen Temperaturen zu einer Fragmentierung des die abzuscheidenden Stoffe enthaltenden Gases und begünstigen die Bildung eines Feststoffs auf der Oberfläche und in den Poren der Scheibe, wobei sich im vorliegenden Fall Kohlenstoff auf dem Templat abscheidet. Überschüssige Gasspezies werden über eine Pumpe abgesaugt.
  • Der Reaktor weist die Besonderheit auf, daß, wie schon ausgeführt, die Strömung senkrecht zur Membranoberfläche verläuft, die Strömung also in derselben Richtung geführt wird, wie die Längsachse der Poren des Templats. Ferner treten hohe Temperaturen nur lokal auf, da die Membran direkt auf den beheizten Kohlenstoffelementen des Reaktorkopfs aufliegt. Zeitlich unterschiedliche Temperaturverläufe sind durch die verwendete Induktionsheizung darstellbar. In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Bauteils ist es möglich, daß die gesamte Oberfläche des Bauteils mit einer Deckschicht versehen ist. Dabei können im Herstellungsverfahren zunächst die oberen und unteren Deckschichten und in einem weiteren Arbeitsschritt die seitlichen Deckschichten aufgebracht werden. Ferner können die Materialien der oberen, unteren und seitlichen Deckschichten verschieden sein.
  • Bevorzugt wird als Templat poröses Aluminiumoxid verwendet, das sich durch seine zylinderförmigen Poren mit einer engen Porenverteilung auszeichnet. Außerdem ist es bei Aluminiumoxid günstig, daß die parallel verlaufenden Poren in Ebenen enden, die senkrecht zur Porenachse sind. Dadurch ergeben sich zwei parallele Ebenen, die senkrecht auf den Porenachsen und dadurch auch auf den erzeugten Röhrenachsen liegen. Durch Wahl der Syntheseparameter kann die Porengröße und Dicke des Aluminiumoxids in weiten Bereichen variiert und somit die Gestalt der Zielstruktur eingestellt werden.
  • Vor oder nach dem Abscheiden des Feststoffs auf dem Templat kann dieses durch geeignete Mittel (z. B. Laser- oder Plasmaverfahren) in eine gewünschte Größe und Form gebracht werden. Anschließend können weitere Feststoffe auf das in die gewünschte Form gebrachte Templat aufgebracht werden. Anschließend wird das ursprüngliche Templat zugänglich gemacht, indem an mindestens einer Stelle die abgeschiedenen Feststoffe entfernt werden und das Templat über diese Öffnung entfernt wird, was beispielsweise durch Ätzen mit Säure oder Lauge erreicht werden kann.
  • Die bereitgestellte(n) Öffnung(en) kann bzw. können später zum Ein- bzw. Ausführen der Substanzen dienen, die das erfindungsgemäße Bauteil aufnehmen soll oder von denen das erfindungsgemäße Bauteil durchströmt werden soll.
  • Alternativ kann das Templat bereits vor Abscheidung des Feststoffs durch geeignete Mittel in eine gewünschte Größe und Form gebracht werden und der Feststoff anschließend abgeschieden werden. Anschließend muß die abgeschiedene Deckschicht auch an mindestens einer Stelle entfernt werden, um das ursprüngliche Templat zugänglich zu machen und entfernen zu können.
  • Schließlich kann die äußere Oberfläche der erzeugten Röhren weitergehend funktionalisiert werden (z. B. Beschichtung mit Katalysatoren), um Reaktionen von Molekülen oder zu untersuchenden Spezies, die das Bauteil durchströmen sollen, mit der höheren Oberfläche zu begünstigen.
  • 1.1 zeigt eine Schnittansicht durch ein poröses Templat 1, das eine Vielzahl durchgängiger Poren 2 aufweist. In 1.2 wurde das poröse Templat 1 mit einer Deckschicht 3 beschichtet, während in 1.3 das poröse Templat 1 durch Ätzen entfernt worden ist. Die einzelnen Röhren sind über eine Deckschicht verbunden.
  • 2.1 zeigt eine weitere schematische Schnittansicht, ausgehend von einem porösen Templat 1 mit durchgängigen Poren 2. 2.2 zeigt auf der linken Seite parallele Röhren, die durch eine obere Deckschicht 4 und eine untere Deckschicht 5 miteinander verbunden und zur Außenoberfläche hin geschlossen sind. In einer alternativen, rechts gezeigten Ausführungsform ist es möglich, daß die Poren des Templats durch abgeschiedenen Feststoff 6 komplett ausgefüllt sind.
  • Schließlich zeigt 3 eine rasterelektronenmikroskopische Aufnahme eines erfindungsgemäßen Bauteils, aus der obere und untere Deckschichten sowie dazwischen angeordnete, im wesentlichen parallele Röhren klar zu erkennen sind.
  • Zur Verwendung der erfindungsgemäßen Bauteile ist es möglich, mehrere solche Bauteile hintereinander zu schalten.
  • Das erfindungsgemäße Bauteil kann beispielsweise als nanostrukturierter Mikroreaktor verwendet werden, wobei Eduktspezies zum Ziel einer chemischen Reaktion in das Bauteil eingeführt werden können, wie es vergleichbar in einem bekannten Mikroreaktor realisiert ist. Besonders geeignet sind solche nanostrukturierten Mikroreaktoren bei Reaktionen mit hohem Gefährdungspotential, beispielsweise stark exotherm reagierenden oder sehr toxischen Substanzen, zur Optimierung von Anlagen, die bereits in Betrieb sind oder für Screening-Funktionen, beispielsweise für Katalysatoren oder in der Pharmaindustrie.
  • Das erfindungsgemäße Bauteil kann beispielsweise als Nano-Mikrostruktur integrierter Reaktor verwendet werden, wobei eine oder mehrere Eduktspezies in das Bauteil eingeführt werden, zum Ziel einer Reaktion dieser Spezies untereinander, an der Oberfläche der (unter Umständen funktionalisierten) Röhren oder einer Kombination derselben. Ein integriertes Reaktionsmonitoring von Mikroreaktoren erfolgt üblicherweise mittels UV/VIS, IR, NMR, MS und LC/MS.
  • Darüberhinaus bietet das erfindungsgemäße Bauteil eine Beobachtung der im Bauteil ablaufenden Prozesse an, in dem eine Kontaktierung der oberen und unteren Deckschicht gleichzeitig durchgeführt wird. Dabei müssen die seitlichen Deckschichten entfernt sein oder aus unterschiedlichen Materialien verglichen zu den kontaktierten Deckschichten bestehen. Eine Messung der ablaufenden Prozesse erfolgt dann ausschließlich über die Röhren des Bauteils hinweg, z. B. durch eine zeitlich aufgelöste Betrachtung des elektrischen Widerstands/Leitwerts.
  • Besonders geeignet sind solche voll integrierten nano-mikrostrukturierten Reaktoren bei Reaktionen mit hohem Gefährungspotential, beispielsweise exothermem Reaktionsverlauf oder auch der Handhabung sehr toxischer Substanzen.
  • Durch einen hohen Wärmeübergang ergibt sich die Möglichkeit einer schnellen Zu- und Abführung von Wärme in den Reaktor und aus dem Reaktor heraus. Die Reaktionen können somit isotherm gefahren werden, und die Bildung von sogenannten Hot-Spots und damit das Auftreten von beispielsweise sogenannten Runaway-Reaktionen kann vermieden werden. Unerwünschte Nebenreaktionen werden unterdrückt, was häufig eine Steigerung der Selektivität, Ausbeute und damit Produktqualität zur Folge hat.
  • Darüber hinaus ist das Bauteil auch für einen Einsatz als chemischer Sensor für Gase oder auch Reaktanten in kondensierter Phase vorgesehen. Weiterhin für Screening-Funktionen, beispielsweise für Katalysatoren oder in der Pharmaindustrie oder für das Detektieren von Biomolekülen, z. B. über das Schlüssel-Schloss-Prinzip durch auf der Röhrenoberfläche aufgebrachten Moleküle, die ein bevorzugtes Andocken spezifischer Spezies aus dem Fluidraum begünstigen.
  • Eine weitere Verwendungsmöglichkeit ist als ein Wärmetauscher. Das erfindungsgemäße Bauteil kann zur Wärmezu- und -abfuhr genutzt werden, da der Wärmeübergangskoeffizient umgekehrt proportional zu den Dimensionen der Struktur des Wärmetauschers ist.
  • Auch ist die Verwendung zur Extraktion, Rektifikation oder als Mischer (wenn in dem Bauteil zwei oder mehr Ströme in Gleich- oder Gegenstrom geführt werden) möglich.
  • Schließlich ist auch die Verwendung des erfindungsgemäßen Bauteils beispielsweise als Sensor möglich. Dabei kann das Bauteil als Sensor zu Charakterisierungszwecken verwendet werden. Eine Notwendigkeit solcher chemischen Sensoren wird unter anderem für Beobachtungen der Umwelt, für die Kontrolle von chemischen Prozessen und für landwirtschaftliche und medizinische Applikationen gefordert.
  • Röhren aus Kohlenstoff zeigen beispielsweise als Sensorelement eine um Größenordnungen erhöhte Sensitivität und eine schnellere Systemantwort gegenüber herkömmlichen Solid-State-Sensoren. Dabei absorbieren die zu untersuchenden Moleküle an die Kohlenstoffnano röhrenwand und rufen eine starke, molekülspezifische Veränderung des elektrischen Leitwerts der Kohlenstoffstruktur hervor, die gemessen werden kann. Das erfindungsgemäße Bauteil ermöglicht in diesem Zusammenhang insbesondere eine äußerst präzise Positionierung der Kohlenstoffnanoröhrchen und eine einfache Kontaktierung der Röhren über die Deckschichten, was bislang technisch äußert problematisch war und einen wirtschaftlichen Einsatz solcher Bauteile bisher in größerem Maße verhindert hat. Diese Nachteile werden durch das erfindungsgemäße Bauteil jedenfalls überwunden. Durch die Möglichkeit der zusätzlichen chemischen Funktionalisierung der Kohlenstoffnanoröhrenwände kann diese Veränderung in weiten Grenzen gezielt beeinflußt und gesteuert werden.
  • Ebenfalls besteht für die Verwendung des erfindungsgemäßen Bauteils die Möglichkeit, die oben genannten Verwendungen zu kombinieren. So kann zum Beispiel eine Reaktion innerhalb des Bauteils ablaufen und gleichzeitig die Wärme abgeführt werden. Weiterhin kann eine Reaktion stattfinden und gleichzeitig charakterisiert werden. Zudem ist eine Parallelschaltung und/oder Serienschaltung mehrerer Funktionseinheiten möglich.
  • Zusammenfassend zeichnet sich das erfindungsgemäße Bauteil durch eine besondere Kompaktheit durch seine nano-mikrostrukturierte Bauweise und damit ebenfalls verbunden einer Möglichkeit einer einfachen, skalenübergreifenden Systemintegration und deutlich verbesserter struktureller Eigenschaften durch die besondere Anordnung der Nanoröhren im Bauteil und deren direkte Verbindung mit der Deckschicht aus. Dies ermöglicht darüberhinaus verbesserte Eigenschaften für Handling- und Montagetechniken eines solchen Nano-Mikrostruktur-integrierten Bauteils.
  • Die in der vorstehenden Beschreibung, der Zeichnung und in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in jeder beliebigen Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungsformen wesentlich sein.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
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    • - C. Martin, Chem. Mater 1996, 8, 1739-1746 [0012]

Claims (23)

  1. Verfahren zum Herstellen eines monolithischen, porösen Bauteils aus im wesentlichen parallelen Nanoröhren mit einem Durchmesser im Bereich von 1 bis 1000 nm, welches die Schritte umfaßt: (i) Bereitstellen eines im wesentlichen parallele Poren aufweisenden Templat-Materials; (ii) Abscheiden zumindest eines Feststoffs in den Poren zur Ausbildung von Röhren und zumindest auf im wesentlichen senkrecht zu den Poren angeordneten Außenoberflä chen des Templats zur Ausbildung von Deckschichten, wobei der Feststoff aus einem atomaren/molekularen Vorläufer erzeugt wird; (iii) optional Formgebung des in Schritt (ii) beschichteten Templats auf eine vorgegebene Form und Größe; und (iv) Entfernen des Templats.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Entfernen des Templats durch Ätzen mit Basen oder Säuren, bevorzugt Flußsäure, durchgeführt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Templat-Material ausgewählt wird aus Aluminiumoxid, Titandioxid, Silizium, Siliziumdioxid und Verbindungshalbleitern der Gruppe 12/16 des Periodensystems, wie CdS, CdSe und CdTe.
  4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der abzuscheidende Feststoff ausgewählt wird aus Kohlenstoff, Metallen, Elementen der Gruppen 13–16 des Periodensystems, Polymeren sowie Kombinationen der genannten Stoffe, optional unter Zusatz von Wasserstoff.
  5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Feststoff aus der Gasphase oder kondensierten Phase abgeschieden wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Abscheiden durch chemische Dampfabscheidung (CVD), Metallverdampfung, über Polymere, Sol-Gel-Verfahren oder elektrochemische Abscheidung erfolgt.
  7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Deckschichten und in den Poren gleichartige oder unterschiedliche Feststoffe abgeschieden werden.
  8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine die abzuscheidenden Feststoffe tragende Strömung im wesentlichen parallel zur Längsachse der Poren des Templats ist.
  9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Templat in Schritt (ii) erwärmt wird, vorzugsweise auf eine Temperatur von 700 bis 1000°C.
  10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Deckschichten und Nanoröhren in einem Arbeitsschritt erzeugt werden.
  11. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Außenoberflächen des Templats zur Ausbildung einer Deckschichthülle mit zumindest einem Feststoff beschichtet werden.
  12. Monolithisches, poröses Bauteil aus im wesentlichen parallelen Nanoröhren mit einem Durchmesser im Bereich von 1 bis 1000 nm, hergestellt nach einem Verfahren der Ansprüche 1 bis 11.
  13. Monolithisches, poröses Bauteil nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Innere der Röhren zur Außenoberfläche hin offen ist.
  14. Monolithisches, poröses Bauteil nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Innere der Röhren vollständig gefüllt ist.
  15. Monolithisches, poröses Bauteil nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Röhren des Bauteils gefüllt sind, vorzugsweise mit einem kompakten oder anderen porösen Material.
  16. Monolithisches, poröses Bauteil nach einem der Ansprüche 12 bis 15, gekennzeichnet durch ein Verhältnis von Oberfläche zu Volumen von 50.000–100.000.000 m2/m3, bevorzugt 500.000–10.000.000 m2/m3.
  17. Monolithisches, poröses Bauteil nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß es aus Kohlenstoff aufgebaut ist.
  18. Monolithisches, poröses Bauteil nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß Röhren und Deckschichten aus gleichartigen oder unterschiedlichen Materialien aufgebaut sind.
  19. Monolithisches, poröses Bauteil nach einem der Ansprüche 12 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die gesamte Außenoberfläche mit der Deckschicht versehen ist.
  20. Monolithisches, poröses Bauteil nach einem der Ansprüche 12 bis 19, mit einer Länge und/oder Breite von 0,1 mm bis 5 cm und einer Dicke von 1 μm bis 1 mm.
  21. Verwendung des monolithischen, porösen Bauteils nach einem der Ansprüche 12 bis 20 zur Aufnahme oder Durchströmung von Substanzen.
  22. Verwendung nach Anspruch 21 in einem kontinuierlichen oder diskontinuierlichen Betrieb.
  23. Verwendung nach Anspruch 21 oder 22 als Nanoreaktor, Sensor, Wärmetauscher oder Kombinationen derselben.
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