NL1016779C2 - Matrijs, werkwijze voor het vervaardigen van precisieproducten met behulp van een matrijs, alsmede precisieproducten, in het bijzonder microzeven en membraanfilters, vervaardigd met een dergelijke matrijs. - Google Patents

Matrijs, werkwijze voor het vervaardigen van precisieproducten met behulp van een matrijs, alsmede precisieproducten, in het bijzonder microzeven en membraanfilters, vervaardigd met een dergelijke matrijs. Download PDF

Info

Publication number
NL1016779C2
NL1016779C2 NL1016779A NL1016779A NL1016779C2 NL 1016779 C2 NL1016779 C2 NL 1016779C2 NL 1016779 A NL1016779 A NL 1016779A NL 1016779 A NL1016779 A NL 1016779A NL 1016779 C2 NL1016779 C2 NL 1016779C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
mold
precision product
profile
manufacturing
solution
Prior art date
Application number
NL1016779A
Other languages
English (en)
Inventor
Matthias Wessling
Wietze Nijdam
Cornelis Johannes Maria V Rijn
Jonathan Nathaniel Barsema
Original Assignee
Cornelis Johannes Maria V Rijn
Aquamarijn Holding B V
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cornelis Johannes Maria V Rijn, Aquamarijn Holding B V filed Critical Cornelis Johannes Maria V Rijn
Priority to NL1016779A priority Critical patent/NL1016779C2/nl
Priority to EP01998434A priority patent/EP1341655B1/en
Priority to US10/433,275 priority patent/US7531120B2/en
Priority to DE60136215T priority patent/DE60136215D1/de
Priority to AT01998434T priority patent/ATE411150T1/de
Priority to AU2002219704A priority patent/AU2002219704A1/en
Priority to PCT/NL2001/000874 priority patent/WO2002043937A2/en
Application granted granted Critical
Publication of NL1016779C2 publication Critical patent/NL1016779C2/nl

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0081—After-treatment of organic or inorganic membranes
    • B01D67/0088—Physical treatment with compounds, e.g. swelling, coating or impregnation
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L27/00—Materials for grafts or prostheses or for coating grafts or prostheses
    • A61L27/50—Materials characterised by their function or physical properties, e.g. injectable or lubricating compositions, shape-memory materials, surface modified materials
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L27/00—Materials for grafts or prostheses or for coating grafts or prostheses
    • A61L27/50—Materials characterised by their function or physical properties, e.g. injectable or lubricating compositions, shape-memory materials, surface modified materials
    • A61L27/56—Porous materials, e.g. foams or sponges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0002—Organic membrane manufacture
    • B01D67/0009—Organic membrane manufacture by phase separation, sol-gel transition, evaporation or solvent quenching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0002—Organic membrane manufacture
    • B01D67/0009—Organic membrane manufacture by phase separation, sol-gel transition, evaporation or solvent quenching
    • B01D67/00091—Organic membrane manufacture by phase separation, sol-gel transition, evaporation or solvent quenching by evaporation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0002—Organic membrane manufacture
    • B01D67/0009—Organic membrane manufacture by phase separation, sol-gel transition, evaporation or solvent quenching
    • B01D67/0018—Thermally induced processes [TIPS]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0002—Organic membrane manufacture
    • B01D67/002—Organic membrane manufacture from melts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0069—Inorganic membrane manufacture by deposition from the liquid phase, e.g. electrochemical deposition
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0072—Inorganic membrane manufacture by deposition from the gaseous phase, e.g. sputtering, CVD, PVD
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0081—After-treatment of organic or inorganic membranes
    • B01D67/0093—Chemical modification
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0081—After-treatment of organic or inorganic membranes
    • B01D67/0093—Chemical modification
    • B01D67/00931—Chemical modification by introduction of specific groups after membrane formation, e.g. by grafting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D69/02—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor characterised by their properties
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D69/08—Hollow fibre membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D69/12—Composite membranes; Ultra-thin membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D69/12—Composite membranes; Ultra-thin membranes
    • B01D69/1213—Laminated layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02—Inorganic material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02—Inorganic material
    • B01D71/0215—Silicon carbide; Silicon nitride; Silicon oxycarbide
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/06—Organic material
    • B01D71/58—Other polymers having nitrogen in the main chain, with or without oxygen or carbon only
    • B01D71/62—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain
    • B01D71/64—Polyimides; Polyamide-imides; Polyester-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/06—Organic material
    • B01D71/66—Polymers having sulfur in the main chain, with or without nitrogen, oxygen or carbon only
    • B01D71/68—Polysulfones; Polyethersulfones
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/0093—Microreactors, e.g. miniaturised or microfabricated reactors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/508—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above
    • B01L3/5085—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above for multiple samples, e.g. microtitration plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/0033—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor constructed for making articles provided with holes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C41/00—Shaping by coating a mould, core or other substrate, i.e. by depositing material and stripping-off the shaped article; Apparatus therefor
    • B29C41/34—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C41/38—Moulds, cores or other substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C67/00—Shaping techniques not covered by groups B29C39/00 - B29C65/00, B29C70/00 or B29C73/00
    • B29C67/02—Moulding by agglomerating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B81C99/0075—Manufacture of substrate-free structures
    • B81C99/008—Manufacture of substrate-free structures separating the processed structure from a mother substrate
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/416—Systems
    • G01N27/447—Systems using electrophoresis
    • G01N27/44704—Details; Accessories
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61F—FILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F2/00—Filters implantable into blood vessels; Prostheses, i.e. artificial substitutes or replacements for parts of the body; Appliances for connecting them with the body; Devices providing patency to, or preventing collapsing of, tubular structures of the body, e.g. stents
    • A61F2/02—Prostheses implantable into the body
    • A61F2/04—Hollow or tubular parts of organs, e.g. bladders, tracheae, bronchi or bile ducts
    • A61F2/06—Blood vessels
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61F—FILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F2/00—Filters implantable into blood vessels; Prostheses, i.e. artificial substitutes or replacements for parts of the body; Appliances for connecting them with the body; Devices providing patency to, or preventing collapsing of, tubular structures of the body, e.g. stents
    • A61F2/02—Prostheses implantable into the body
    • A61F2/04—Hollow or tubular parts of organs, e.g. bladders, tracheae, bronchi or bile ducts
    • A61F2002/044—Oesophagi or esophagi or gullets
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61F—FILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F2/00—Filters implantable into blood vessels; Prostheses, i.e. artificial substitutes or replacements for parts of the body; Appliances for connecting them with the body; Devices providing patency to, or preventing collapsing of, tubular structures of the body, e.g. stents
    • A61F2/02—Prostheses implantable into the body
    • A61F2/04—Hollow or tubular parts of organs, e.g. bladders, tracheae, bronchi or bile ducts
    • A61F2002/046—Tracheae
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2323/00—Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/06—Specific viscosities of materials involved
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2323/00—Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/08—Specific temperatures applied
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2323/00—Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/08—Specific temperatures applied
    • B01D2323/081—Heating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2323/00—Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/08—Specific temperatures applied
    • B01D2323/082—Cooling
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2323/00—Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/30—Cross-linking
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2323/00—Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/60—Co-casting; Co-extrusion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2325/00—Details relating to properties of membranes
    • B01D2325/02—Details relating to pores or porosity of the membranes
    • B01D2325/022—Asymmetric membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2325/00—Details relating to properties of membranes
    • B01D2325/02—Details relating to pores or porosity of the membranes
    • B01D2325/022—Asymmetric membranes
    • B01D2325/0231—Dense layers being placed on the outer side of the cross-section
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2325/00—Details relating to properties of membranes
    • B01D2325/04—Characteristic thickness
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00783—Laminate assemblies, i.e. the reactor comprising a stack of plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00819—Materials of construction
    • B01J2219/00824—Ceramic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00819—Materials of construction
    • B01J2219/00833—Plastic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00819—Materials of construction
    • B01J2219/00835—Comprising catalytically active material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00819—Materials of construction
    • B01J2219/00844—Comprising porous material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00851—Additional features
    • B01J2219/00858—Aspects relating to the size of the reactor
    • B01J2219/0086—Dimensions of the flow channels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00851—Additional features
    • B01J2219/00858—Aspects relating to the size of the reactor
    • B01J2219/00864—Channel sizes in the nanometer range, e.g. nanoreactors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00905—Separation
    • B01J2219/00907—Separation using membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/12—Specific details about manufacturing devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0809—Geometry, shape and general structure rectangular shaped
    • B01L2300/0819—Microarrays; Biochips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/02—Burettes; Pipettes
    • B01L3/0241—Drop counters; Drop formers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C41/00—Shaping by coating a mould, core or other substrate, i.e. by depositing material and stripping-off the shaped article; Apparatus therefor
    • B29C41/02—Shaping by coating a mould, core or other substrate, i.e. by depositing material and stripping-off the shaped article; Apparatus therefor for making articles of definite length, i.e. discrete articles
    • B29C41/08—Coating a former, core or other substrate by spraying or fluidisation, e.g. spraying powder
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2105/00—Condition, form or state of moulded material or of the material to be shaped
    • B29K2105/0058—Liquid or visquous
    • B29K2105/0073—Solution
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
    • B29L2031/00—Other particular articles
    • B29L2031/737—Articles provided with holes, e.g. grids, sieves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/10—Microfilters, e.g. for gas or fluids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C2201/00—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
    • B81C2201/01—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate
    • B81C2201/0101—Shaping material; Structuring the bulk substrate or layers on the substrate; Film patterning
    • B81C2201/0111—Bulk micromachining
    • B81C2201/0115—Porous silicon
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C2201/00—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
    • B81C2201/03—Processes for manufacturing substrate-free structures
    • B81C2201/034—Moulding
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]

Description

Matrijs, werkwijze voor het vervaardigen van precisieproducten met behulp van een matrijs, alsmede precisieproducten, in het bijzonder microzeven en membraaniïlters, vervaardigd met een dergelijke matrijs.
5 De uitvinding heeft betrekking op een innovatieve werkwijze ter vervaardiging van precisieproducten met behulp van een matrijs, zoals microzeven, membraanfllters en nozzleplaten.
De matrijs omvat een vlakke drager met een profiel, en wordt bij voorkeur met behulp van Micro Systeem Technologie gemaakt. De uitvinding heeft voorts betrekking op innovatief 10 verbeterde precisieproducten vervaardigd met een dergelijke matrijs.
Het vervaardigen van precisieproducten verkregen met een matrijs is onder meer beschreven in www.jo-mikrotechnik.com. Hierin wordt beschreven hoe een matrijs gebruikt wordt voor het vervaardigen van polymeren precisieproducten. Hierbij wordt bijvoorbeeld de te 15 verkrijgen precisiestructuur direct gestempeld (hot embossing) in een relatief dikke polymeren folie met een minimale dikte van 200 pm bij een temperatuur boven de glasovergangstemperatuur van het poymeer. Deze techniek is helaas niet goed geschikt voor het bewerken van dunnere folies daar een dunne folie vaak scheurt tijdens het lossen. Ook kunnen geen volledig geperforeerde precisieproducten worden gemaakt met deze werkwijze. 25 De pinachtige structuren van het profiel van de matrijs kunnen nimmer geheel door het folie heen worden gestempeld. Een ander nadeel van hot embossing is dat het relatief lang duurt (minimaal 5-20 minuten) voordat de matrijs en de folie, het temperatuurtraject van verhitting tot boven de glasovergangstemperatuur en de afkoeling tot ver beneden deze temperatuur hebben doorlopen, waardoor efficiënte opschaling van de productie niet goed 25 mogelijk is.
De uitvinding beoogt te voorzien in een werkwijze waarbij aan genoemde bezwaren wordt tegemoetgekomen.
De uitvinding beoogt tevens te voorzien in een werkwijze waarmee in één productiestap nozzleplaten, microzeven en membraaniïlters met een verstevigingsraster met behulp van een matrijs gemaakt kunnen worden.
De uitvinding beoogt tevens te voorzien in een werkwijze waarmee op een zeer economische wijze precisieproducten gemaakt kunnen worden.
101 6779 -
V
De werkwijze volgens de uitvinding heeft hierbij als kenmerk, dat een oplossing van een geschikt materiaal, uniform over het profiel van de matrijs wordt verdeeld, waarbij de oplossing zich vervolgens op de matrijs tot een vast precisieproduct vormt, waarna het precisieproduct van de matrijs wordt gelost.
De polymeeroplossing kan met behulp van een kam over de matrijs worden gestreken, maar kan ook uniform door middel van ‘spincoating’, dompelen of door middel van sproeivernevelen worden aangebracht. Het voordeel van het gebruik van een polymeeroplossing heeft het voordeel dat deze in de regel de matrijs zeer goed ‘wet’, zodat 1 vrijwel automatisch een uniforme en goed aansluitende polymeer oplossing op de matrijs wordt aangebracht. Het verwijderen van een gedeelte van het oplosmiddel kan bijvoorbeeld eenvoudig door verdamping geschieden, maar ook op andere wijzen. Ook hoeft geen verdamping op te treden maar kan bijvoorbeeld een UV gevoelige polymeer oplossing direct uitharden op de matrijs met behulp van UV licht.
15
Een voorkeursuitvoering van de werkwijze heeft hierbij als kenmerk, dat de matrijs met de oplossing in contact wordt gebracht met een vloeistof bad, waarbij een faseovergang van de oplossing optreedt, waarna bij nagenoeg volledige faseovergang het precisieproduct wordt gelost van de matrijs.
'() Het vloeistofbad kan bijvoorbeeld een component bevatten die doordringt in de polymeeroplossing en het vast worden van het precisieproduct initieert.
Het aanbrengen van de polymeeroplossing en de faseovergang van de polymeeroplossing kan relatief snel plaats vinden, vaak binnen 1 minuut, waardoor een zeer economisch en voordelige werkwijze voorhanden komt voor het produceren van polymeerproducten. In voorkomende gevallen kan het vloeistofbad ook vervangen worden door een dampfase, waarbij de dampmoleculen uitwisselen met de oplossing.
Een verdere voorkeursuitvoeringsvorm heeft hierbij het kenmerk, dat de matrijs met de polymeeroplossing in contact wordt gebracht met een coagulatie medium, waarbij fase inversie van de polymeer oplossing optreedt.
Het coagulatie medium bevat in de regel een component (een niet-oplosmiddei) waarin het oplosmiddel van het polymeer wel oplost maar het polymeer zelf niet. Het coagulatiemedium kan onder meer een water of een glycerine bad, of ook een water, ethanol of methanol damp zijn.
1016779’ '•'v
Er zijn in het fase inversie proces twee verschillende processen te onderscheiden: 1 verwijdering van oplosmiddel uit de polymeeroplossing, dit leidt tot een verhoging van de polymeerconcentratie in de polymeeroplossing en op het moment dat deze zo hoog wordt dat 5 de maximale oplosbaarheid wordt bereikt vindt fase inversie plaats, het polymeer coaguleert (uitvlokking).
2 penetratie van het coagulatie medium in de polymeeroplossing, dit leidt weer tot fase inversie als het gehalte niet-oplosmiddel een bepaald punt bereikt.
10 De oplosbaarheid/mengbaarheid van het oplosmiddel/niet-oplosmiddel, bepaalt de snelheid waarmee het oplosmiddel uit de polymeeroplossing trekt, en de oplosbaarheid van het polymeer in het ontstane oplosmiddel/niet-oplosmiddel mengsel, bepaalt wanneer coagulatie van het polymeer plaatsvindt. De oplosbaarheid is in de regel sterk temperatuurafhankelijk.
15 Precisieproducten die verkregen zijn door fase inversie worden gekenmerkt door een microporeuze structuur, waarbij de grootte van de microporiën kan variëren tussen 1 nanometer en 10 micrometer. Dergelijke microporeuze precisieproducten zijn dan ook direct toe te passen als een ultra- of micro filtratie membraan. In principe is de werkwijze geschikt voor vrijwel alle polymeer soorten, mits hiervoor geschikte oplosmiddelen voorhanden zijn. 20 Zo kan bijvoorbeeld een microporeus hydrofoob membraanfilter worden verkregen uitgaande van een polyimidoplossing en een hydrofiel membraanfilter met behulp van een polyethersulfon/polyvinylpyrolidon oplossing.
Er zal altijd een zekere mate van porositeit aanwezig zijn in het ontstane precisieproduct bij 25 fase inversie, al hoeven de poreuze cellen niet altijd met elkaar verbonden te zijn. Door de keuze van coagulatie medium is een hele reeks aan verschillende porositeiten te krijgen. Ook is het mogelijk om tijdens de fase inversie een dichte toplaag te laten ontstaan op het precisieproduct, door bijvoorbeeld eerst een hoeveelheid oplosmiddel te laten verdampen. Ook is het natuurlijk mogelijk om de dichte toplaag na het fase inversie proces aan te 5 brengen. Het voordeel van precisieproducten met een dichte toplaag is dat geen uitwisseling van stoffen in en uit het precisieproduct mogelijk is.
Een verdere voorkeursuitvoeringsvorm heeft hierbij het kenmerk, dat de matrijs met de polymeeroplossing in contact wordt gebracht met een coagulatiemedium, waarbij een sterke krimp van de oplossing optreedt, waardoor een ‘bovenste’ gedeelte van het profiel niet meer bedekt blijft met de oplossing, zodat een geperforeerd precisieproduct wordt verkregen.
1016770
V
s I4-
Het coagulatiemedium dringt hier ten dele door in de polymeer oplossing en veroorzaakt een conformatieverandering van de polymeerketens in de oplossing, waardoor in de regel de oplossing op de matrijs sterk krimpt. Een initiële laag met een dikte van 30 pm kan indien 5 gewenst krimpen naar een laag met een dikte van minder dan 10 pm.
Met deze wijze kunnen op een zeer efficiënte manier geperforeerde microzeven en/of nozzleplaten worden verkregen met een hoge precisie en een hoge uniformiteit in porie of nozzle-grootte.
0 Een voorkeursuitvoeringsvorm van de werkwijze volgens de uitvinding heeft het kenmerk, dat de polymeer oplossing met een kam over het profiel van de matrijs wordt verdeeld, waarbij de kam het profiel niet raakt, en dat vervolgens een oplosmiddel van de polymeer oplossing wordt verwijderd, waarbij althans een gedeelte van het profiel van de matrijs niet meer bedekt blijft met de polymeer oplossing.
15
Na het verdelen van de polymeer oplossing met de kam over de matrijs dient eerst een deel van het oplosmiddel te worden verwijderd, zodanig dat de polymeer oplossing terugzakt tot onder het hoogste profiel niveau, welke verantwoordelijk zijn voor de perforaties.
Een buitengewoon voordeel van deze werkwijze is dat de matrijs nimmer beschadigd of ?0 versleten raakt doordat de kam niet in mechanisch contact wordt gebracht met de precisie profilering van de matrijs.
Het is mogelijk gebleken om met deze werkwijze volgens de uitvinding polymeren microzeven te maken met een poriegrootte van 1-10 micron en een dikte tussen 2 en 5 micron.
De uitvinding beoogt voorts onder meer in een matrijs te voorzien met een profiel waarbij stempel, giet of pers precisieproducten, in het bijzonder zeer dunne polymeren films, met een plaatselijke dikte minder dan 5 micron, op een zeer eenvoudige wijze kunnen worden verkregen. De uitvinding beoogt tevens te voorzien in een matrijs, waarbij het profiel van de 50 matrijs dusdanig is aangepast dat producten met een uniforme porie of nozzlediameter op een eenvoudige en verbeterde wijze plaatsvindt. Tevens beoogt de uitvinding een matrijs te vervaardigen met een verbeterde mechanische sterkte. De uitvinding beoogt tevens te voorzien in een relatief eenvoudige en betrouwbare werkwijze om de matrijs dusdanig uit te voeren, waardoor continue productie van precisieproducten mogelijk wordt.
101G/ /J t 5
De matrijs volgens de uitvinding heeft daartoe het kenmerk dat het profiel, een profielperforatiedeel bestemd voor perforaties in het precisieproduct en een supportdeel bestemd voor een verstevigingssraster omvat. Het supportdeel bevat geen perforaties waardoor het totale precisieproduct indien het zeer dun is uitgevoerd zonder scheuren 3 eenvoudig gelost kan worden uit de matrijs.
Een bijzonder voorkeursuitvoeringsvorm heeft het kenmerk dat het supportdeel verzonken is aangebracht in de drager ten opzichte van het profielperforatiedeel. Hierdoor wordt het mogelijk om het supportdeel van het preciesieproduct dikker uit te voeren dan het perforatiedeel waardoor het breukvrij lossen nog eenvoudiger wordt, in het bijzonder 10 wanneer het perforatiedeel zeer dun uitgevoerd (tussen 0.1 en 5 micron) dient te worden.
In het geval dat het profielperforatiedeel van de matrijs ten minste één, en bij voorkeur tien of meer, profielperforatiedeelgebieden met een uniform profiel afgewisseld met supportdelen omvat, is het mogelijk om de grootte van de perforatiedelen in het precisieproduct zeer klein te kiezen, bijvoorbeeld kleiner dan 100 bij 100 micrometer. Hierdoor blijft de stevigheid van 15 het precisieproduct gegarandeerd.
In voorkomende gevallen kan een deel van het profielperforatiedeelgebied grenzend aan een supportdeel een afwijkend grenslaagprofiel omvatten van de matrijs. De aansluiting van het supportdeel met het perforatiedeel van het precisieproduct is dan zo te kiezen dat optimale stevigheid gewaarborgd kan worden.
Uitvoeringsvoorbeeld voor het vervaardigen van een precisieproduct met de matrijs.
Een polymeren microzeef wordt gemaakt door een dunne film van een polymeer oplossing te strijken over de matrijs en deze vervolgens in contact te brengen met een coagulatie bad. De gebruikte oplossing bestaat uit een polymeer, een oplosmiddel voor het polymeer en een derde laagkokende component die goed mengt met de polymeer/oplosmiddel oplossing. Als coagulatie medium wordt een vloeistof gebruikt waarin het polymeer niet oplost maar dat goed mengt met het oplosmiddel.
In de periode tussen het aanbrengen van de film en het moment dat deze in contact wordt gebracht met het coagulatie bad verdampt een dee] van de laagkokende component. Dit leidt tot een densificatie van de top laag van de film.
Na coagulatie wordt de microzeef van de matrijs verwijderd en gedroogd. Tijdens dit droogproces worden de laatste resten oplosmiddel uit de zeef verwijderd. Figuur 1 en 2 tonen een bovenaanzicht en een dwarsdoorsnede van een microzeef.
101 67 7 9^ 6
Voorbeeld 1:
Samenstelling polymeer oplossing : 3.75 g Matrimid 5218 polyimide (CIBA) 25 g N-methylpyrilidone 25 g aceton 5 Coagulatie medium : water (25 °C)
Matrijs : Profielperforatiedeel, paaltjes diameter 2 μηι, hoogte 8 pm Supportdeel breedte 100 pm, diepte 30 pm Strijkdikte : 20 pm ί l Verdampings tijd : 10 seconden
Precisieproduct : Microzeef met verstevigingsraster en poriediam. 2pm
Voorbeeld 2:
Samenstelling polymeer oplossing : 3.75g Matrimid 5218 polyimide (CIBA) ί 5 25g N-methylpyrilidone 20g aceton
Coagulatie medium : Glycerine (25°C) gevolgd door water (25°C)
Matrijs : Profielperforatiedeel, paaltjes diameter 10 pm, hoogte 20 pm Supportdeel breedte 100 pm, diepte 30 pm Strijkdikte : 50 pm
Verdampings tijd : 60 seconden
Precisieproduct : Microzeef met verstevigingsraster en poriediam. 10pm Voorbeeld 3:
Samenstelling polymeer oplossing : 3.2 g Polyethersulfon 0.6 g Polyvinylpyrolidon 25 g N-methylpyrilidone 12.5 g aceton ' i Coagulatie medium : Water (25°C)
Matrijs : Profielperforatiedeel, paaltjes diameter 4 pm, hoogte 12 pm Supportdeel breedte 100 pm, diepte 30 pm Strijkdikte : 30 pm 3:> Verdampings tijd : 120 seconden
Precisieproduct : Microzeef met verstevigingsraster en poriediam. 4pm 10167 7 9 ^ 7 »
Het zal duidelijk zijn dat de uitvinding niet beperkt wordt door de gegeven uitvoeringsvoorbeelden, maar dat voor de vakman binnen het kader van de uitvinding vele variaties mogelijk zijn. Zo kan bijvoorbeeld het materiaal van het membraanfllter, microzeef of nozzleplaat anorganisch, glasachtig, keramisch, een polymeer, een halfgeleider, een metaal of legering zijn. Zeer veel materialen zijn op te lossen in een daarvoor geschikt medium. Ook kunnen componenten worden toegevoegd aan de oplossing die de lossing tussen de matrijs en het precisieproduct bevorderen, bijvoorbeeld teflonachtige producten. Bij voorkeur wordt een hydrofoob respectievelijk hydrofiel precisieproduct van een hydrofiele respectievelijk 10 hydrofobe matrijs gelost. Het profiel in de matrijs behoeft niet uitsluitend via een masker te worden verkregen, maar kan gezien de regelmatige aard van het profiel ook direct met behulp van een interferentiepatroon of met behulp van een gemoduleerde laserstraal worden aangebracht. Ook is de uitvinding niet beperkt tot het gebruik van optische lithografie maar zijn andere lithografische technieken met nog hogere resoluties (submicron), zoals 'Electron Beam' en 'X-Ray' eveneens geschikt. Ook de volgorde van werkwijzestappen kunnen soms anders worden gekozen. De uitvinding is evenmin beperkt tot één membraanlaag met één support, zonder bezwaar kan een membraanlaag voorzien worden van meerdere supports. Ook kunnen een of meer oplosmiddelen tegelijkertijd verdampen uit de polymeeroplossing. Een vloeistof- of waterbad kan ook vervangen worden door diffusie van water uit een water-' 0 verzadigde gasfase boven het profiel van de matrijs in de polymeer oplossing. De laatstgenoemde processen kunnen evenzeer tegelijkertijd plaatsvinden.
Mengbare mengsels van polymeren, zoals polyethersulfon en polyvinylpyrolidon zijn toepasbaar, maar evenzeer kunnen ook niet mengbare mengsels worden toegepast.
Het toepassen van een mengsel van oplosmiddelen heeft het voordeel dat een laagkokend oplosmiddel eerst wordt verwijderd uit de oplossing terwijl de hoogkokende component langer achterblijft in de oplossing. Precisieproducten die verkregen zijn door het eerst volledig verwijderen van het laagkokende oplosmiddel voordat coagulatie optreedt zijn in de regel minder poreus en sterker.
Verkregen precisieproducten kunnen gecured worden bij verhoogde temperatuur, waarbij reaterende oplosmiddelen grotendeels worden verwijderd. Mengsels met zout zijn evenzeer toepasbaar, bijvoorbeeld polyvinyldifluoride-oplossingen waarin LiCl gebruikt wordt.
Veel membraanreceptures zijn te vinden in: R.W. Baker, Membrane Technology and Applications, McGraw-Hill, 2000 en R.E. Resting, Synthetic polymeric membranes: a structural perspective, Wiley 1985.
1016779^ 8
Door het toepassen van fasesinversie kunnen ook microporeuze precisieproducten worden gemaakt zoals microporeuze membraanfllters met een gemiddelde poriegrootte tussen lnm en 10 pm, ook kunnen bij continue productie lange en brede verstevigde microporeuze folies worden gemaakt, bijvoorbeeld voor toepassing van ‘ademende’ textielstof. Ook kunnen deze 5 microporeuze producten voorzien worden van een extra ultrafiltratie, gasscheidende of katalysatorlaag, bijvoorbeeld, platina of palladium voor diverse toepassingen.
Een inrichting voor grootschalige productie kan eenvoudig gemaakt worden rekening houdende met dat de polymeeroplossing eerst wordt aangebracht op een geschikt dragermateriaal (non-woven, woven, plaat etc.), waarna vervolgens met een roterende 10 matrijs een profiel in de oplossing wordt gedrukt, terwijl vrijwel tegelijkertijd het product in contact wordt gebracht met een geschikt coagulatiemedium.
De hier geschetste vervaardigingswijzen voor precisieproducten zijn een zeer bruikbaar alternatief voor de bekende technieken als ‘hot embossing’ en ‘injection moulding’ voor de vervaardiging van Compact Disc’s. De precisieproducten kunnen geperforeerde producten 1 5 zijn zoals microzeven voor microflltratie van bier en melk en nozzleplaten voor dead-end en cross flow emulsifïcatie toepassingen, maar ook gestructureerde folies voor brandstofcel-membranen van bijvoorbeeld Nation, of voor electrisch geleidende membranen van bijvoorbeeld polyacetyleen, polyfenyleen en polythiofeen of andere geconjugeerde polymeren. Een flexibele printplaat is eenvoudig te vervaardigen door op de matrijs over een eerste 20 electrisch geleidende polymeerstructuur een tweede electrisch isolerende polymeerstructuur aan te brengen volgens de uitvinding. LIGA en Micro Systeem Technologische componenten, zoals onder meer micromixers, microtitratieplaten, microverstuivers, een microzeef voor nanostencilling, een microzeef voor microbiologische analyse, een PCR sampleprobe voor DNA-materiaal met een microzeef, en optische componenten zoals schakelaars, golfgeleiders 25 en fotonische kristallen, zijn eveneens met de uitvinding economisch verantwoord te produceren.
1 01 67 7 Q

Claims (33)

1. Matrijs, voor het vervaardigen van een precisieproduct, omvattende een vlakke drager en een profiel, met het kenmerk dat het profiel, een profïelperforatiedeel bestemd voor 5 perforaties in het product en een supportdeel bestemd voor een verstevigingssraster omvat.
2. Matrijs, volgens conclusie 1, met het kenmerk dat het supportdeel verzonken is aangebracht in de drager ten opzichte van het profïelperforatiedeel. 10 3) Matrijs, volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat het profïelperforatiedeel ten minste één, en bij voorkeur tien of meer, profïelperforatiedeelgebieden met een uniform profiel afgewisseld met supportdelen omvat.
4. Matrijs, volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat een deel van het 1 5 profielperforatiedeelgebied grenzend aan een supportdeel een afwijkend grenslaagprofiel omvat.
5. Matrijs, volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat het grenslaagprofiel dieper is uitgevoerd.
6. Matrijs, volgens conclusie 4 of 5, met het kenmerk, dat het grenslaagprofiel opstaande structuren omvat die minder breed zijn uitgevoerd dan vergelijkbare opstaande structuren in de resterende profielperforatie delen.
7. Matrijs, volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de matrijs op een buitenzijde van een cilinder is aangebracht.
8. Inrichting voor het continue produceren van polymeren precisieproducten, met het kenmerk dat de inrichting ten minste één matrijs volgens conclusie 7 omvat.
10. Werkwijze voor het vervaardigen van een matrijs omvattende de volgende stappen -het aanbrengen van een eerste fotogevoelige laag op een glad substraat -het belichten van de eerste laag met een geschikte lichtbron en een masker of een holografisch patroon met een profielperforatie patroon -het ontwikkelen en indien nodig curen van de eerste fotogevoelige laag Λ O. -4 C ''.V ^ : I Ü ( U .· : * -het anisotroop etsen van het profielperforatie patroon tot een bepaalde diepte, bijvoorbeeld tussen 0.1 en 10 micrometer in het substraat -het aanbrengen van een tweede laag fotogevoelige lak op het substraat -het belichten van de tweede laag met een geschikte lichtbron en een masker of een holografisch patroon met een support patroon -het ontwikkelen en indien nodig curen van de tweede fotogevoelige laag -het anisotroop etsen van het support patroon tot een bepaalde diepte, bijvoorbeeld tussen 5 en 500 micrometer in het substraat.
21. Werkwijze ter vervaarding van een precisieproduct, waarbij een matrijs met een profiel wordt toegepast, met het kenmerk, dat een oplossing van een geschikt materiaal, uniform over het profiel van de matrijs wordt verdeeld, waarbij de oplossing zich vervolgens op de matrijs tot een vast precisieproduct vormt, waarna het precisieproduct van de matrijs wordt gelost.
22. Werkwijze ter vervaarding van een precisieproduct volgens conclusie 21, met het kenmerk, dat de oplossing van een geschikt materiaal een polymeer oplossing is.
23. Werkwijze ter vervaarding van een precisieproduct volgens conclusie 21 of 22, met het kenmerk, dat de oplossing uniform over het profiel van de matrijs wordt verdeeld door middel van dippen of dompelen.
23. Werkwijze ter vervaarding van een precisieproduct volgens conclusie 21,22 of 23, met het kenmerk, dat de oplossing uniform over het profiel van de matrijs wordt verdeeld met 25 behulp van ‘spincoating’.
24. Werkwijze ter vervaarding van een precisieproduct volgens conclusie 21,22 of 23, met het kenmerk, dat de oplossing uniform over het profiel van de matrijs wordt verdeeld met behulp van sproeivernevelen. ' (i
25. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens conclusie 21,22,23 of 24, met het kenmerk, dat de matrijs met de oplossing in contact wordt gebracht met een vloeistof- of dampbad, alvorens het precisieproduct van de matrijs wordt gelost. 1 r ^ E W' · ' 1 ]
26. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens conclusie 21,22,23,24 of 25, met het kenmerk, dat ten minste een gedeelte van een oplosmiddel van de oplossing wordt verwijderd, alvorens het precisieproduct van de matrijs wordt gelost. 5 27) Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens conclusie 21,22,23,24,25 of 26, met het kenmerk, dat het oplosmiddel ten dele in het vloeistofbad oplost.
28. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens conclusie 10 21,22,23,24,25,26 of 27, met het kenmerk, dat ten minste een deel van de vloeistof van het vloeistofbad doordringt in de oplossing, waarbij faseovergang van het materiaal, waarna bij nagenoeg volledige faseovergang het precisieproduct wordt gelost van de matrijs.
29. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens een der 15 voorgaande conclusies 25-28, met het kenmerk, dat het vloeistofbad een component bevat, die het vast worden van het precisieproduct initieert.
30. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens een der voorgaande conclusies 21-29, met het kenmerk, dat een ‘bovenste’ gedeelte van het profiel O van de matrijs tijdens het uniform aanbrengen van de oplossing niet bedekt raakt met de oplossing, zodat een geperforeerd precisieproduct wordt verkregen.
31. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens een der voorgaande conclusies 21-30, met het kenmerk, dat de matrijs met de polymeeroplossing in contact wordt gebracht met een coagulatiemedium, waarbij fase inversie van de polymeer oplossing optreedt.
32. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens een der voorgaande conclusies 21-31, met het kenmerk, dat de matrijs met de polymeeroplossing in 0 contact wordt gebracht met een coagulatiemedium, waarbij een sterke krimp van de oplossing optreedt, waardoor een ‘bovenste’ gedeelte van het profiel niet meer bedekt blijft met de oplossing, zodat een geperforeerd precisieproduct wordt verkregen.
33. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens een der 35 voorgaande conclusies 31 of 32, met het kenmerk, dat het coagulatiemedium via een dampfase wordt aangeboden. 10167791 »
34. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens een der voorgaande conclusies 21-33, met het kenmerk, dat de oplossing met een kam over het profiel wordt verdeeld, waarbij de kam de het profiel niet raakt, en dat vervolgens een oplosmiddel van de oplossing ten dele verdampt, waarbij althans een gedeelte van het profiel van de 5 matrijs niet meer bedekt blijft met de oplossing.
35. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens conclusie 34, met het kenmerk, dat de kam cilindervormig is uitgevoerd en over het profiel van de matrijs wordt gerold. 10
36. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens conclusie 35, met het kenmerk, dat de kam met een hoogte tussen 1 en 250 micrometer over de structuur van de matrijs wordt gerold. 15 37) Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens een der voorgaande conclusies 21-36, met het kenmerk, dat alle genoemde werkwijzestappen nagenoeg bij kamertemperatuur worden uitgevoerd.
38. Werkwijze voor het vervaardigen van een precisieproduct, volgens een der voorgaande conclusies 21-36, met het kenmerk, dat de matrijs met de polymeeroplossing in contact wordt gebracht met een verwarmd coagulatiemedium, waarbij fase inversie van de polymeer oplossing optreedt door afkoeling.
40. Precisieprodukt vervaardigd met een werkwijze volgens een der voorgaande conclusies.
41. Precisieproduct volgens conclusie 40, met het kenmerk, dat het precisieproduct ten minste één nozzlegat heeft, waarbij de dikte van het precisieproduct ter plaatse van het nozzlegat aanzienlijk kleiner is dan de gemiddelde dikte van het precisieproduct.
42. Precisieproduct volgens conclusie 40, met het kenmerk, dat het precisieproduct een microporeuze structuur heeft met een poriegrootte tussen 1 nm en 10 pm.
43. Precisieproduct volgens conclusie 40, met het kenmerk, dat het precisieproduct een 2 5 microporeuze inwendige structuur heeft met een poriegrootte tussen 1 nm en 10 pm en een dichte toplaag. 10167791
44. Precisieproduct volgens een der conclusies 40-43, met het kenmerk, dat het precisieproduct een LIGA of een Micro Systeem Technologische component is. 5 45) Precisieproduct volgens een der conclusies 40-43, met het kenmerk, dat het precisieproduct een micromixer, een microtitratïeplaat, een microverstuiver, een microzeef voor microbiologische analyse, een PCR sampleprobe voor DNA-materiaal met een microzeef, een microzeef voor nanostencilling, een brandstofcelmembraan, een permeatie membraan, een katalytisch membraan of een electrisch geleidend membraan is. 10
46. Precisieproduct volgens een der conclusies 40-43, met het kenmerk, dat het precisieproduct een optische component is, zoals bijvoorbeeld een optische schakelaar, een optische golfgeleider of een fotonisch kristal is. 15 47) Precisieproduct volgens een der conclusies 40-43, met het kenmerk, dat het precisieproduct een dampdoorlatend textïelachtig materiaal is.
48. Precisieproduct volgens een der conclusies 40-43, met het kenmerk, dat het precisieproduct bestemd is voor digitale dataverwerking en dataopslag. 20
49. Precisieproduct volgens een der conclusies 40-48, met het kenmerk, dat het precisieproduct ten minste twee verschillende diktes heeft, of dat het precisieproduct een meerlaags structuur heeft omvattende ten minste twee polymeersorten, zoals bijvoorbeeld een flexibele printplaat. 1 0 1 677 9 ·*
NL1016779A 2000-12-02 2000-12-02 Matrijs, werkwijze voor het vervaardigen van precisieproducten met behulp van een matrijs, alsmede precisieproducten, in het bijzonder microzeven en membraanfilters, vervaardigd met een dergelijke matrijs. NL1016779C2 (nl)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1016779A NL1016779C2 (nl) 2000-12-02 2000-12-02 Matrijs, werkwijze voor het vervaardigen van precisieproducten met behulp van een matrijs, alsmede precisieproducten, in het bijzonder microzeven en membraanfilters, vervaardigd met een dergelijke matrijs.
EP01998434A EP1341655B1 (en) 2000-12-02 2001-12-03 Method of making a product with a micro or nano sized structure
US10/433,275 US7531120B2 (en) 2000-12-02 2001-12-03 Method of making a product with a micro or nano sized structure and product
DE60136215T DE60136215D1 (de) 2000-12-02 2001-12-03 Verfahren zur herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten produktes
AT01998434T ATE411150T1 (de) 2000-12-02 2001-12-03 Verfahren zur herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten produktes
AU2002219704A AU2002219704A1 (en) 2000-12-02 2001-12-03 Method of making a product with a micro or nano sized structure and product
PCT/NL2001/000874 WO2002043937A2 (en) 2000-12-02 2001-12-03 Method of making a product with a micro or nano sized structure and product

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1016779A NL1016779C2 (nl) 2000-12-02 2000-12-02 Matrijs, werkwijze voor het vervaardigen van precisieproducten met behulp van een matrijs, alsmede precisieproducten, in het bijzonder microzeven en membraanfilters, vervaardigd met een dergelijke matrijs.
NL1016779 2000-12-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1016779C2 true NL1016779C2 (nl) 2002-06-04

Family

ID=19772513

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1016779A NL1016779C2 (nl) 2000-12-02 2000-12-02 Matrijs, werkwijze voor het vervaardigen van precisieproducten met behulp van een matrijs, alsmede precisieproducten, in het bijzonder microzeven en membraanfilters, vervaardigd met een dergelijke matrijs.

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7531120B2 (nl)
EP (1) EP1341655B1 (nl)
AT (1) ATE411150T1 (nl)
AU (1) AU2002219704A1 (nl)
DE (1) DE60136215D1 (nl)
NL (1) NL1016779C2 (nl)
WO (1) WO2002043937A2 (nl)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113866331A (zh) * 2021-08-26 2021-12-31 天津大学 色谱材料及制备方法、微型色谱柱及涂覆方法和微型气相色谱仪

Families Citing this family (426)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR876M (nl) 1960-10-12 1961-10-16
US7713297B2 (en) 1998-04-11 2010-05-11 Boston Scientific Scimed, Inc. Drug-releasing stent with ceramic-containing layer
WO2000037077A1 (en) * 1998-12-23 2000-06-29 Glaxo Group Limited Assays for ligands for nuclear receptors
WO2001041905A1 (en) 1999-12-08 2001-06-14 Baxter International Inc. Microporous filter membrane, method of making microporous filter membrane and separator employing microporous filter membranes
US20030168396A1 (en) * 1999-12-08 2003-09-11 Jacobson James D. Monolithic filter body and fabrication technique
US7410637B2 (en) * 2000-06-20 2008-08-12 Phycotransgenics, Llc Transgenic algae for delivering antigens to an animal
NL1016030C1 (nl) 2000-08-28 2002-03-01 Aquamarijn Holding B V Sproei inrichting met een nozzleplaat, een nozzleplaat, alsmede werkwijzen ter vervaardiging en voor toepassing van een dergelijke nozzleplaat.
US20020143403A1 (en) * 2001-01-02 2002-10-03 Vaidyanathan K. Ranji Compositions and methods for biomedical applications
US7027304B2 (en) * 2001-02-15 2006-04-11 Integral Technologies, Inc. Low cost thermal management device or heat sink manufactured from conductive loaded resin-based materials
US7601286B2 (en) * 2001-03-26 2009-10-13 Lawrence Livermore National Security, Llc Polymer-based platform for microfluidic systems
WO2003015836A1 (en) * 2001-08-16 2003-02-27 Purdue Research Foundation Material and method for promoting tissue growth
US7622129B1 (en) 2002-08-05 2009-11-24 Purdue Research Foundation Nano-structured polymers for use as implants
KR100407377B1 (ko) * 2001-10-30 2003-11-28 전자부품연구원 마이크로 소자의 제조 방법 및 그를 성형하기 위한 금형의제조 방법
US6955738B2 (en) * 2002-04-09 2005-10-18 Gyros Ab Microfluidic devices with new inner surfaces
US7294397B2 (en) 2002-05-29 2007-11-13 E.I. Du Pont De Nemors And Company Fibrillar microstructure for conformal contact and adhesion
PT1518011E (pt) * 2002-06-28 2013-07-15 Neokidney Holding B V Método para a preparação de fibras porosas funcionais
US6962822B2 (en) 2002-08-07 2005-11-08 International Business Machines Corporation Discrete nano-textured structures in biomolecular arrays, and method of use
US8236443B2 (en) 2002-08-09 2012-08-07 Infinite Power Solutions, Inc. Metal film encapsulation
US8021778B2 (en) * 2002-08-09 2011-09-20 Infinite Power Solutions, Inc. Electrochemical apparatus with barrier layer protected substrate
US8404376B2 (en) 2002-08-09 2013-03-26 Infinite Power Solutions, Inc. Metal film encapsulation
US8394522B2 (en) * 2002-08-09 2013-03-12 Infinite Power Solutions, Inc. Robust metal film encapsulation
US8431264B2 (en) 2002-08-09 2013-04-30 Infinite Power Solutions, Inc. Hybrid thin-film battery
US9793523B2 (en) 2002-08-09 2017-10-17 Sapurast Research Llc Electrochemical apparatus with barrier layer protected substrate
US20070264564A1 (en) 2006-03-16 2007-11-15 Infinite Power Solutions, Inc. Thin film battery on an integrated circuit or circuit board and method thereof
US8445130B2 (en) 2002-08-09 2013-05-21 Infinite Power Solutions, Inc. Hybrid thin-film battery
US6946362B2 (en) * 2002-09-06 2005-09-20 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and apparatus for forming high surface area material films and membranes
WO2004022338A2 (en) 2002-09-09 2004-03-18 International Business Machines Corporation Printing method using rubber stamp
US7039263B2 (en) * 2002-09-24 2006-05-02 Intel Corporation Electrooptic assembly
JP4897192B2 (ja) * 2002-10-30 2012-03-14 株式会社日立製作所 柱状微小突起群を備えた機能性基板とその製造方法
US20040125266A1 (en) * 2002-10-30 2004-07-01 Akihiro Miyauchi Functioning substrate with a group of columnar micro pillars and its manufacturing method
FR2847175A1 (fr) * 2002-11-14 2004-05-21 Centre Nat Rech Scient Procede de preparation de membranes microporeuses
US7245435B2 (en) 2002-12-16 2007-07-17 3M Innovative Properties Company Lens array sheet and molding method
JP2004198536A (ja) * 2002-12-16 2004-07-15 Three M Innovative Properties Co レンズアレイシート及び成形方法
KR100518270B1 (ko) * 2002-12-18 2005-10-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 인쇄방식에 의한 패턴형성방법
GB0302302D0 (en) * 2003-01-31 2003-03-05 Glaxo Group Ltd Microfluidic apparatus and method
US7759609B2 (en) * 2003-03-06 2010-07-20 Yissum Research Development Company Of The Hebrew University Of Jerusalem Method for manufacturing a patterned structure
US7993412B2 (en) * 2003-03-27 2011-08-09 Purdue Research Foundation Nanofibers as a neural biomaterial
US8728285B2 (en) 2003-05-23 2014-05-20 Demaray, Llc Transparent conductive oxides
ATE358733T1 (de) * 2003-06-02 2007-04-15 Check Points Holding B V Schnell-verfahren zur detektion von mikroorganismen in lebensmittelproben
JP4464664B2 (ja) * 2003-06-13 2010-05-19 独立行政法人理化学研究所 生体分子マイクロアレイ用基板、生体分子マイクロアレイ、相互作用促進用装置および方法、ならびに、相互作用の検出方法
US7531261B2 (en) 2003-06-30 2009-05-12 Corning Incorporated Textured electrolyte sheet for solid oxide fuel cell
FR2862882B1 (fr) * 2004-03-04 2006-08-11 Commissariat Energie Atomique Microdispositif de diagnostic et de therapie in vivo.
EP1703925A1 (fr) * 2003-11-27 2006-09-27 Commissariat A L'Energie Atomique Microdispositif de diagnostic et de therapie in vivo
US8551391B2 (en) 2004-02-17 2013-10-08 Avery Dennison Corporation Method of making microneedles
JP4580664B2 (ja) * 2004-03-01 2010-11-17 大日本印刷株式会社 マイクロリアクターおよびその製造方法
US20050228491A1 (en) * 2004-04-12 2005-10-13 Snyder Alan J Anti-adhesive surface treatments
US7773404B2 (en) 2005-01-07 2010-08-10 Invisage Technologies, Inc. Quantum dot optical devices with enhanced gain and sensitivity and methods of making same
US7746681B2 (en) 2005-01-07 2010-06-29 Invisage Technologies, Inc. Methods of making quantum dot films
US7742322B2 (en) * 2005-01-07 2010-06-22 Invisage Technologies, Inc. Electronic and optoelectronic devices with quantum dot films
US20050251198A1 (en) * 2004-05-06 2005-11-10 Scimed Life Systems, Inc. Intravascular filter membrane and method of forming
US7452491B2 (en) * 2004-05-13 2008-11-18 Chung Yuan Christian University Method for forming scaffolds
CN100583434C (zh) 2004-06-07 2010-01-20 先锋生物科技股份有限公司 用于微流体器件的光学透镜系统和方法
US7534633B2 (en) * 2004-07-02 2009-05-19 Cree, Inc. LED with substrate modifications for enhanced light extraction and method of making same
DE102004033424A1 (de) * 2004-07-10 2006-02-02 Ovd Kinegram Ag Verfahren zur Modifikation einer Mikrostruktur eines Gegenstandes
US7697808B2 (en) * 2004-07-27 2010-04-13 Ut-Battelle, Llc Multi-tipped optical component
US7697807B2 (en) * 2006-06-01 2010-04-13 Ut-Battelle, Llc Multi-tipped optical component
US20060051265A1 (en) * 2004-09-08 2006-03-09 Health Research, Inc. Apparatus and method for sorting microstructures in a fluid medium
DE102004048201B4 (de) * 2004-09-30 2009-05-20 Infineon Technologies Ag Halbleiterbauteil mit Haftvermittlerschicht, sowie Verfahren zu deren Herstellung
US8329202B2 (en) 2004-11-12 2012-12-11 Depuy Products, Inc. System and method for attaching soft tissue to an implant
US20060105550A1 (en) * 2004-11-17 2006-05-18 Manish Sharma Method of depositing material on a substrate for a device
US8399331B2 (en) 2007-10-06 2013-03-19 Solexel Laser processing for high-efficiency thin crystalline silicon solar cell fabrication
US8420435B2 (en) 2009-05-05 2013-04-16 Solexel, Inc. Ion implantation fabrication process for thin-film crystalline silicon solar cells
US9508886B2 (en) 2007-10-06 2016-11-29 Solexel, Inc. Method for making a crystalline silicon solar cell substrate utilizing flat top laser beam
TWI331634B (en) * 2004-12-08 2010-10-11 Infinite Power Solutions Inc Deposition of licoo2
US7959769B2 (en) * 2004-12-08 2011-06-14 Infinite Power Solutions, Inc. Deposition of LiCoO2
US20060125144A1 (en) * 2004-12-14 2006-06-15 Jan Weber Stent and stent manufacturing methods
US20060148066A1 (en) * 2005-01-05 2006-07-06 Senecal Kris J Electrospun nanofibrous membrane assembly for use in capturing chemical and/or biological analytes
CA2519608A1 (en) * 2005-01-07 2006-07-07 Edward Sargent Quantum dot-polymer nanocomposite photodetectors and photovoltaics
US8535702B2 (en) 2005-02-01 2013-09-17 Boston Scientific Scimed, Inc. Medical devices having porous polymeric regions for controlled drug delivery and regulated biocompatibility
US7465335B2 (en) * 2005-02-02 2008-12-16 United Technologies Corporation Fuel deoxygenation system with textured oxygen permeable membrane
WO2006087744A1 (en) * 2005-02-21 2006-08-24 Consiglio Nazionale Delle Ricerche - Infm Istituto Nazionale Per La Fisica Della Materia A method of fabricating tridimensional micro- and nano­structures as well as optical element assembly having a tridimensional convex structure obtained by the method
US20100132790A1 (en) * 2005-05-09 2010-06-03 Solaris Nanosciences, Inc. Rechargeable Dye Sensitized Solar Cell
US20060249201A1 (en) * 2005-05-09 2006-11-09 Solaris Nanosciences, Inc. Rechargeable dye sensitized solar cell
JP4682691B2 (ja) * 2005-05-13 2011-05-11 凸版印刷株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
US7349140B2 (en) * 2005-05-31 2008-03-25 Miradia Inc. Triple alignment substrate method and structure for packaging devices
GB0513978D0 (en) * 2005-07-08 2005-08-17 Avecia Inkjet Ltd Process
US7378523B2 (en) * 2005-08-25 2008-05-27 National Starch And Chemical Investment Holding Corporation Quinolinols as fluxing and accelerating agents for underfill compositions
US7556776B2 (en) * 2005-09-08 2009-07-07 President And Fellows Of Harvard College Microfluidic manipulation of fluids and reactions
EP1764116A1 (en) 2005-09-16 2007-03-21 Debiotech S.A. Porous coating process using colloidal particles
NL1030081C2 (nl) * 2005-09-30 2007-04-02 Stork Veco Bv Zeefmateriaal uit metaal en werkwijze voor de vervaardiging daarvan.
KR101265321B1 (ko) * 2005-11-14 2013-05-20 엘지디스플레이 주식회사 스탬프 제조 방법, 그를 이용한 박막트랜지스터 및액정표시장치의 제조 방법
US8076125B2 (en) * 2005-11-15 2011-12-13 Worcester Polytechnic Institute Imagewise patterning of films and devices comprising the same
GB2432721B (en) * 2005-11-25 2011-06-22 Seiko Epson Corp Electrochemical cell structure and method of fabrication
GB2432722A (en) * 2005-11-25 2007-05-30 Seiko Epson Corp Electrochemical cell and method of manufacture
GB2432723B (en) * 2005-11-25 2010-12-08 Seiko Epson Corp Electrochemical cell and method of manufacture
TWI295102B (en) * 2006-01-13 2008-03-21 Ind Tech Res Inst Multi-functional substrate structure
US20070172941A1 (en) * 2006-01-25 2007-07-26 Amir Porat Disposable vessels or tips having ultra-thin areas therein, and methods for manufacture of same
US7947579B2 (en) 2006-02-13 2011-05-24 Stc.Unm Method of making dense, conformal, ultra-thin cap layers for nanoporous low-k ILD by plasma assisted atomic layer deposition
WO2007096986A1 (ja) * 2006-02-24 2007-08-30 Ibiden Co., Ltd. 端面加熱装置、ハニカム集合体の端面乾燥方法、及び、ハニカム構造体の製造方法
US20070224235A1 (en) 2006-03-24 2007-09-27 Barron Tenney Medical devices having nanoporous coatings for controlled therapeutic agent delivery
US8187620B2 (en) * 2006-03-27 2012-05-29 Boston Scientific Scimed, Inc. Medical devices comprising a porous metal oxide or metal material and a polymer coating for delivering therapeutic agents
KR101530379B1 (ko) * 2006-03-29 2015-06-22 삼성전자주식회사 다공성 글래스 템플릿을 이용한 실리콘 나노 와이어의제조방법 및 이에 의해 형성된 실리콘 나노 와이어를포함하는 소자
US7824602B2 (en) * 2006-03-31 2010-11-02 Massachusetts Institute Of Technology Ceramic processing and shaped ceramic bodies
WO2007117668A2 (en) * 2006-04-07 2007-10-18 Qd Vision, Inc. Methods and articles including nanomaterial
WO2007120840A2 (en) * 2006-04-14 2007-10-25 Wake Forest University Health Sciences Methods and compositions for printing biologically compatible nanotube composites
WO2007120877A2 (en) * 2006-04-14 2007-10-25 Qd Vision, Inc. Transfer surface for manufacturing a light emitting device
WO2008030284A2 (en) * 2006-06-02 2008-03-13 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Soft mems
US20070284779A1 (en) * 2006-06-13 2007-12-13 Wei Wu Imprint lithography apparatus and methods
WO2008108798A2 (en) 2006-06-24 2008-09-12 Qd Vision, Inc. Methods for depositing nanomaterial, methods for fabricating a device, and methods for fabricating an array of devices
WO2008105792A2 (en) * 2006-06-24 2008-09-04 Qd Vision, Inc. Methods for depositing nanomaterial, methods for fabricating a device, methods for fabricating an array of devices and compositions
WO2008111947A1 (en) * 2006-06-24 2008-09-18 Qd Vision, Inc. Methods and articles including nanomaterial
US8815275B2 (en) 2006-06-28 2014-08-26 Boston Scientific Scimed, Inc. Coatings for medical devices comprising a therapeutic agent and a metallic material
CA2655793A1 (en) 2006-06-29 2008-01-03 Boston Scientific Limited Medical devices with selective coating
WO2008004827A1 (en) * 2006-07-05 2008-01-10 Postech Academy-Industry Foundation Method for fabricating superhydrophobic surface and solid having superhydrophobic surface structure by the same method
WO2008020397A2 (en) * 2006-08-15 2008-02-21 Koninklijke Philips Electronics N.V. Phase-separated composite for microfluidic applications
WO2008033388A2 (en) * 2006-09-12 2008-03-20 Qd Vision, Inc. A composite including nanoparticles, methods, and products including a composite
CA2662808A1 (en) 2006-09-14 2008-03-20 Boston Scientific Limited Medical devices with drug-eluting coating
DE102006045282C5 (de) * 2006-09-22 2012-11-22 Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material-und Küstenforschung GmbH Isoporöse Membran und Verfahren zu ihrer Herstellung
US7820332B2 (en) 2006-09-27 2010-10-26 Corning Incorporated Electrolyte sheet with regions of different compositions and fuel cell device including such
EP2067163A4 (en) * 2006-09-29 2009-12-02 Infinite Power Solutions Inc MASKING FLEXIBLE SUBSTRATES AND RESTRICTING MATERIALS TO APPLY BATTERY LAYERS TO THESE
US20100304521A1 (en) * 2006-10-09 2010-12-02 Solexel, Inc. Shadow Mask Methods For Manufacturing Three-Dimensional Thin-Film Solar Cells
US8293558B2 (en) * 2006-10-09 2012-10-23 Solexel, Inc. Method for releasing a thin-film substrate
US8193076B2 (en) 2006-10-09 2012-06-05 Solexel, Inc. Method for releasing a thin semiconductor substrate from a reusable template
US7999174B2 (en) * 2006-10-09 2011-08-16 Solexel, Inc. Solar module structures and assembly methods for three-dimensional thin-film solar cells
US8035028B2 (en) * 2006-10-09 2011-10-11 Solexel, Inc. Pyramidal three-dimensional thin-film solar cells
US20080264477A1 (en) * 2006-10-09 2008-10-30 Soltaix, Inc. Methods for manufacturing three-dimensional thin-film solar cells
US8512581B2 (en) * 2006-10-09 2013-08-20 Solexel, Inc. Methods for liquid transfer coating of three-dimensional substrates
US8084684B2 (en) 2006-10-09 2011-12-27 Solexel, Inc. Three-dimensional thin-film solar cells
US8287895B1 (en) * 2008-04-24 2012-10-16 Hrl Laboratories, Llc Three-dimensional biological scaffold compromising polymer waveguides
US8197930B1 (en) 2007-05-10 2012-06-12 Hrl Laboratories, Llc Three-dimensional ordered open-cellular structures
US8114267B2 (en) * 2006-10-27 2012-02-14 Acreo Ab Method of monitoring a substrate patterning process
US8197781B2 (en) * 2006-11-07 2012-06-12 Infinite Power Solutions, Inc. Sputtering target of Li3PO4 and method for producing same
US20080294236A1 (en) * 2007-05-23 2008-11-27 Boston Scientific Scimed, Inc. Endoprosthesis with Select Ceramic and Polymer Coatings
US7981150B2 (en) * 2006-11-09 2011-07-19 Boston Scientific Scimed, Inc. Endoprosthesis with coatings
EP2090331A4 (en) * 2006-11-22 2012-04-18 Toppan Printing Co Ltd MICRONADEL ARRANGEMENT AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
US20080128341A1 (en) * 2006-12-04 2008-06-05 Electronics And Telecommunications Research Institute Micro filtration device for separating blood plasma and fabrication method therefor
US7850382B2 (en) * 2007-01-18 2010-12-14 Sanford, L.P. Valve made from two materials and writing utensil with retractable tip incorporating same
US8394483B2 (en) 2007-01-24 2013-03-12 Micron Technology, Inc. Two-dimensional arrays of holes with sub-lithographic diameters formed by block copolymer self-assembly
US7488130B2 (en) * 2007-02-01 2009-02-10 Sanford, L.P. Seal assembly for retractable instrument
US8070797B2 (en) 2007-03-01 2011-12-06 Boston Scientific Scimed, Inc. Medical device with a porous surface for delivery of a therapeutic agent
US8431149B2 (en) 2007-03-01 2013-04-30 Boston Scientific Scimed, Inc. Coated medical devices for abluminal drug delivery
US8083953B2 (en) 2007-03-06 2011-12-27 Micron Technology, Inc. Registered structure formation via the application of directed thermal energy to diblock copolymer films
US8557128B2 (en) 2007-03-22 2013-10-15 Micron Technology, Inc. Sub-10 nm line features via rapid graphoepitaxial self-assembly of amphiphilic monolayers
US20080258036A1 (en) * 2007-03-30 2008-10-23 Labrador Research Llc System for dimensional stability of elastomeric microdevices
US8067054B2 (en) 2007-04-05 2011-11-29 Boston Scientific Scimed, Inc. Stents with ceramic drug reservoir layer and methods of making and using the same
US8294139B2 (en) 2007-06-21 2012-10-23 Micron Technology, Inc. Multilayer antireflection coatings, structures and devices including the same and methods of making the same
US7959975B2 (en) * 2007-04-18 2011-06-14 Micron Technology, Inc. Methods of patterning a substrate
US8097175B2 (en) 2008-10-28 2012-01-17 Micron Technology, Inc. Method for selectively permeating a self-assembled block copolymer, method for forming metal oxide structures, method for forming a metal oxide pattern, and method for patterning a semiconductor structure
US8372295B2 (en) * 2007-04-20 2013-02-12 Micron Technology, Inc. Extensions of self-assembled structures to increased dimensions via a “bootstrap” self-templating method
US7976915B2 (en) 2007-05-23 2011-07-12 Boston Scientific Scimed, Inc. Endoprosthesis with select ceramic morphology
US20080290535A1 (en) * 2007-05-24 2008-11-27 Molock Jr Frank F Reduction of excess polymeric flash ring
US8404124B2 (en) 2007-06-12 2013-03-26 Micron Technology, Inc. Alternating self-assembling morphologies of diblock copolymers controlled by variations in surfaces
DE102007027998A1 (de) * 2007-06-14 2008-12-18 Leonhard Kurz Gmbh & Co. Kg Heißprägen von Leiterbahnen auf Photovoltaik-Silizium-Wafer
US8080615B2 (en) 2007-06-19 2011-12-20 Micron Technology, Inc. Crosslinkable graft polymer non-preferentially wetted by polystyrene and polyethylene oxide
KR101672553B1 (ko) * 2007-06-25 2016-11-03 큐디 비젼, 인크. 조성물 및 나노물질의 침착을 포함하는 방법
US20090016935A1 (en) * 2007-07-09 2009-01-15 Andrianov Alexander K Coating formulations including polyphosphazene polyelectrolytes and biologically active agents and asperities coated with such formulations
US8002823B2 (en) 2007-07-11 2011-08-23 Boston Scientific Scimed, Inc. Endoprosthesis coating
US7942926B2 (en) * 2007-07-11 2011-05-17 Boston Scientific Scimed, Inc. Endoprosthesis coating
EP2187988B1 (en) 2007-07-19 2013-08-21 Boston Scientific Limited Endoprosthesis having a non-fouling surface
US8748085B2 (en) * 2007-07-25 2014-06-10 The Regents Of The University Of California Use of photosensitized Epon epoxy resin 1002F for MEMS and bioMEMS applications
WO2009018167A1 (en) * 2007-07-27 2009-02-05 The Regents Of The University Of California A micro-patterned plate composed of an array of releasable elements surrounded with solid or gel walls
US8815273B2 (en) 2007-07-27 2014-08-26 Boston Scientific Scimed, Inc. Drug eluting medical devices having porous layers
US7931683B2 (en) 2007-07-27 2011-04-26 Boston Scientific Scimed, Inc. Articles having ceramic coated surfaces
DE102007035693A1 (de) * 2007-07-30 2009-02-05 Technische Universität Darmstadt Monolithisches, poröses Bauteil aus im wesentlichen parallelen Nanoröhren, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung desselben
WO2009018340A2 (en) 2007-07-31 2009-02-05 Boston Scientific Scimed, Inc. Medical device coating by laser cladding
EP2185103B1 (en) 2007-08-03 2014-02-12 Boston Scientific Scimed, Inc. Coating for medical device having increased surface area
US20090048659A1 (en) * 2007-08-17 2009-02-19 Boston Scientific Scimed, Inc. Medical devices having sol-gel derived ceramic regions with molded submicron surface features
JP5277471B2 (ja) * 2007-10-19 2013-08-28 川崎重工業株式会社 ポリエーテルスルホンからなる分離膜、その製造方法および製膜原液
US8029554B2 (en) 2007-11-02 2011-10-04 Boston Scientific Scimed, Inc. Stent with embedded material
US7938855B2 (en) * 2007-11-02 2011-05-10 Boston Scientific Scimed, Inc. Deformable underlayer for stent
US20090118818A1 (en) * 2007-11-02 2009-05-07 Boston Scientific Scimed, Inc. Endoprosthesis with coating
US8216632B2 (en) 2007-11-02 2012-07-10 Boston Scientific Scimed, Inc. Endoprosthesis coating
WO2009102363A2 (en) * 2007-11-15 2009-08-20 Stc.Unm Ultra-thin microporous/hybrid materials
US8487428B2 (en) * 2007-11-20 2013-07-16 Fujitsu Limited Method and system for providing a reliable semiconductor assembly
GB2454928B (en) * 2007-11-23 2009-11-18 Iti Scotland Ltd Light guides
JP2011504591A (ja) * 2007-11-26 2011-02-10 アトノミックス アクティーゼルスカブ 信号対ノイズ比を増すための手段および方法を備える、統合型分離および検出カートリッジ
KR20150128817A (ko) 2007-12-21 2015-11-18 사푸라스트 리써치 엘엘씨 전해질 막을 위한 표적을 스퍼터링하는 방법
US8268488B2 (en) 2007-12-21 2012-09-18 Infinite Power Solutions, Inc. Thin film electrolyte for thin film batteries
JP5705549B2 (ja) 2008-01-11 2015-04-22 インフィニット パワー ソリューションズ， インコーポレイテッド 薄膜電池および他のデバイスのための薄膜カプセル化
JP5500831B2 (ja) * 2008-01-25 2014-05-21 富士フイルム株式会社 レリーフ印刷版の作製方法及びレーザー彫刻用印刷版原版
US8999492B2 (en) 2008-02-05 2015-04-07 Micron Technology, Inc. Method to produce nanometer-sized features with directed assembly of block copolymers
US8101261B2 (en) 2008-02-13 2012-01-24 Micron Technology, Inc. One-dimensional arrays of block copolymer cylinders and applications thereof
WO2009102484A2 (en) 2008-02-14 2009-08-20 Wake Forest University Health Sciences Inkjet printing of tissues and cells
DE102008009184B4 (de) * 2008-02-15 2015-10-22 Boehringer Ingelheim Vetmedica Gmbh Vorrichtung und Verfahren mit einem Sensor-Array und mit einem Stempel sowie deren Verwendung
KR101479996B1 (ko) * 2008-02-21 2015-01-08 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 제조 방법
CN101552295A (zh) * 2008-04-03 2009-10-07 清华大学 太阳能电池
CN101562203B (zh) * 2008-04-18 2014-07-09 清华大学 太阳能电池
CN101527327B (zh) * 2008-03-07 2012-09-19 清华大学 太阳能电池
CN101552297B (zh) * 2008-04-03 2012-11-21 清华大学 太阳能电池
CN101562204B (zh) * 2008-04-18 2011-03-23 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 太阳能电池
TWI459568B (zh) * 2008-03-21 2014-11-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 太陽能電池
US8426313B2 (en) 2008-03-21 2013-04-23 Micron Technology, Inc. Thermal anneal of block copolymer films with top interface constrained to wet both blocks with equal preference
US8425982B2 (en) 2008-03-21 2013-04-23 Micron Technology, Inc. Methods of improving long range order in self-assembly of block copolymer films with ionic liquids
KR101033273B1 (ko) * 2008-03-27 2011-05-09 서울대학교산학협력단 초소수성 폴리머 구조물의 제조
US8226312B2 (en) * 2008-03-28 2012-07-24 Sanford, L.P. Valve door having a force directing component and retractable instruments comprising same
CN101983469B (zh) 2008-04-02 2014-06-04 无穷动力解决方案股份有限公司 与能量采集关联的储能装置的无源过电压/欠电压控制和保护
US20090250097A1 (en) * 2008-04-07 2009-10-08 Eric Ting-Shan Pan Solar-To-Electricity Conversion System
WO2009127912A1 (en) * 2008-04-14 2009-10-22 Hafid Mezdour Plastic support for electrophoresis gels
WO2009129441A2 (en) * 2008-04-17 2009-10-22 Massachusetts Institute Of Technology Symmetric thermocentric flexure with minimal yaw error motion
US8173038B2 (en) * 2008-04-18 2012-05-08 Corning Incorporated Methods and systems for forming microstructures in glass substrates
US8114300B2 (en) 2008-04-21 2012-02-14 Micron Technology, Inc. Multi-layer method for formation of registered arrays of cylindrical pores in polymer films
WO2009131911A2 (en) 2008-04-22 2009-10-29 Boston Scientific Scimed, Inc. Medical devices having a coating of inorganic material
WO2009132176A2 (en) 2008-04-24 2009-10-29 Boston Scientific Scimed, Inc. Medical devices having inorganic particle layers
WO2009134395A2 (en) 2008-04-28 2009-11-05 President And Fellows Of Harvard College Microfluidic device for storage and well-defined arrangement of droplets
US8114301B2 (en) 2008-05-02 2012-02-14 Micron Technology, Inc. Graphoepitaxial self-assembly of arrays of downward facing half-cylinders
US9845455B2 (en) 2008-05-15 2017-12-19 Ge Healthcare Bio-Sciences Ab Method for cell expansion
US20100144080A1 (en) * 2008-06-02 2010-06-10 Solexel, Inc. Method and apparatus to transfer coat uneven surface
EP2303350A2 (en) 2008-06-18 2011-04-06 Boston Scientific Scimed, Inc. Endoprosthesis coating
WO2010009234A1 (en) 2008-07-16 2010-01-21 Wisconsin Alumni Research Foundation Metal substrates including metal oxide nanoporous thin films and methods of making the same
US8241549B2 (en) * 2008-08-07 2012-08-14 Frankel Thomas E Fluorinated elastomeric gas diffuser membrane
WO2010019577A1 (en) 2008-08-11 2010-02-18 Infinite Power Solutions, Inc. Energy device with integral collector surface for electromagnetic energy harvesting and method thereof
JP2010045140A (ja) * 2008-08-11 2010-02-25 Nec Electronics Corp リードフレーム、リードフレームの製造方法及び半導体装置の製造方法
US9108880B2 (en) * 2008-08-18 2015-08-18 The Regents Of The University Of California Nanostructured superhydrophobic, superoleophobic and/or superomniphobic coatings, methods for fabrication, and applications thereof
WO2010021291A1 (ja) * 2008-08-22 2010-02-25 コニカミノルタオプト株式会社 基板の製造方法、その製造方法により製造された基板、及びその基板を用いた磁気記録媒体
WO2010025515A1 (en) * 2008-09-04 2010-03-11 Polymers Crc Ltd. Method for fabricating microstructured cell culture devices
JP5650646B2 (ja) 2008-09-12 2015-01-07 インフィニット パワー ソリューションズ， インコーポレイテッド 電磁エネルギーを介したデータ通信のための一体型伝導性表面を有するエネルギーデバイスおよび電磁エネルギーを介したデータ通信のための方法
US8508193B2 (en) 2008-10-08 2013-08-13 Infinite Power Solutions, Inc. Environmentally-powered wireless sensor module
WO2013154750A1 (en) 2012-04-10 2013-10-17 The Trustees Of Columbia Unversity In The City Of New York Systems and methods for biological ion channel interfaces
GB2464916B (en) 2008-10-21 2013-07-31 Iti Scotland Ltd Light Guides
US9055752B2 (en) 2008-11-06 2015-06-16 Intercontinental Great Brands Llc Shelf-stable concentrated dairy liquids and methods of forming thereof
US8221012B2 (en) * 2008-11-07 2012-07-17 Sanford, L.P. Retractable instruments comprising a one-piece valve door actuating assembly
EP2356675B1 (en) 2008-11-13 2016-06-01 Solexel, Inc. Three dimensional thin film solar cell and manufacturing method thereof
US8288195B2 (en) * 2008-11-13 2012-10-16 Solexel, Inc. Method for fabricating a three-dimensional thin-film semiconductor substrate from a template
MY160251A (en) * 2008-11-26 2017-02-28 Solexel Inc Truncated pyramid -structures for see-through solar cells
GB0821927D0 (en) * 2008-12-01 2009-01-07 Ucl Business Plc Article and method of surface treatment of an article
US8231980B2 (en) 2008-12-03 2012-07-31 Boston Scientific Scimed, Inc. Medical implants including iridium oxide
US9474831B2 (en) 2008-12-04 2016-10-25 Gearbox, Llc Systems, devices, and methods including implantable devices with anti-microbial properties
US8926803B2 (en) * 2009-01-15 2015-01-06 Solexel, Inc. Porous silicon electro-etching system and method
US9076642B2 (en) 2009-01-15 2015-07-07 Solexel, Inc. High-Throughput batch porous silicon manufacturing equipment design and processing methods
US8906218B2 (en) 2010-05-05 2014-12-09 Solexel, Inc. Apparatus and methods for uniformly forming porous semiconductor on a substrate
US20100183523A1 (en) 2009-01-22 2010-07-22 Wagner Richard E Dental composition and method
CN102292382A (zh) * 2009-01-22 2011-12-21 巴斯夫欧洲公司 通过溶剂诱导沉淀或溶剂诱导结晶改变塑料表面可湿性的方法
DE102009006065A1 (de) * 2009-01-26 2010-07-29 Technische Universität Chemnitz Mikrofluidische Einrichtung und Verfahren zur Herstellung einer mikrofluidischen Einrichtung
US8393814B2 (en) * 2009-01-30 2013-03-12 Sanford, L.P. Retractable instrument having a two stage protraction/retraction sequence
MY162405A (en) * 2009-02-06 2017-06-15 Solexel Inc Trench Formation Method For Releasing A Thin-Film Substrate From A Reusable Semiconductor Template
KR101433292B1 (ko) 2009-02-17 2014-08-22 더 보드 오브 트러스티즈 오브 더 유니버시티 오브 일리노이 마이크로구조 제조방법
US8071156B2 (en) 2009-03-04 2011-12-06 Boston Scientific Scimed, Inc. Endoprostheses
GB2468411A (en) 2009-03-05 2010-09-08 Iti Scotland Ltd Light guide with heat sink
JP2012519931A (ja) 2009-03-05 2012-08-30 アイティーアイ スコットランド リミテッド 光ガイド
US8828517B2 (en) 2009-03-23 2014-09-09 Solexel, Inc. Structure and method for improving solar cell efficiency and mechanical strength
US20100259826A1 (en) * 2009-04-10 2010-10-14 Lightwave Power, Inc. Planar plasmonic device for light reflection, diffusion and guiding
WO2010120850A1 (en) * 2009-04-14 2010-10-21 Solexel, Inc. High efficiency epitaxial chemical vapor deposition (cvd) reactor
US8287937B2 (en) 2009-04-24 2012-10-16 Boston Scientific Scimed, Inc. Endoprosthese
EP2422836B1 (en) * 2009-04-24 2015-10-07 MEDRx Co., Ltd. Medication liquid supporting jig and method of applying medication to micro-needle using same
US9099584B2 (en) * 2009-04-24 2015-08-04 Solexel, Inc. Integrated three-dimensional and planar metallization structure for thin film solar cells
FR2944713A1 (fr) * 2009-04-27 2010-10-29 Centre Nat Rech Scient Substrats poreux microstructures, leur procede de preparation et leurs utilisations.
US9318644B2 (en) 2009-05-05 2016-04-19 Solexel, Inc. Ion implantation and annealing for thin film crystalline solar cells
WO2010129719A1 (en) 2009-05-05 2010-11-11 Solexel, Inc. High-productivity porous semiconductor manufacturing equipment
KR101093008B1 (ko) * 2009-05-15 2011-12-13 (유)에스엔티 태양전지의 제조 방법
US8445314B2 (en) * 2009-05-22 2013-05-21 Solexel, Inc. Method of creating reusable template for detachable thin film substrate
US8551866B2 (en) * 2009-05-29 2013-10-08 Solexel, Inc. Three-dimensional thin-film semiconductor substrate with through-holes and methods of manufacturing
EP2260943A1 (en) 2009-06-11 2010-12-15 Innosieve Diagnostics B.V. Microfilter centrifuge tube
US8283840B2 (en) * 2009-06-15 2012-10-09 Farrokh Mohamadi High-efficiency compact miniaturized energy harvesting and storage device
KR101792287B1 (ko) * 2009-09-01 2017-10-31 사푸라스트 리써치 엘엘씨 집적된 박막 배터리를 갖는 인쇄 회로 보드
WO2011056742A1 (en) 2009-11-04 2011-05-12 Ssw Holding Company, Inc. Cooking appliance surfaces having spill containment pattern and methods of making the same
CN102763225B (zh) 2009-12-09 2016-01-20 速力斯公司 使用半导体晶片的高效率光伏背结背触点太阳能电池结构和制造方法
KR101822672B1 (ko) * 2010-01-13 2018-01-26 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 점탄성 도광체를 구비한 조명 장치
EP2523802A1 (en) * 2010-01-13 2012-11-21 3M Innovative Properties Company Optical films with microstructured low refractive index nanovoided layers and methods therefor
WO2011092262A1 (en) * 2010-01-28 2011-08-04 Universität Zürich Method and device for modelling tendinous tissue into a desired shape
CN106945202A (zh) * 2010-02-11 2017-07-14 谭永杰 一种用于制造微型结构的系统和方法
EP2534700A4 (en) 2010-02-12 2015-04-29 Solexel Inc DOUBLE-SIDED REUSABLE SHAPE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES FOR MANUFACTURING PHOTOVOLTAIC CELLS AND MICROELECTRONIC DEVICES
US8648324B2 (en) * 2010-03-19 2014-02-11 International Business Machines Corporation Glassy carbon nanostructures
EP2553454A1 (en) * 2010-03-29 2013-02-06 Analogic Corporation Optical detection system and/or method
US8349727B2 (en) * 2010-04-08 2013-01-08 Liang Guo Integrated method for high-density interconnection of electronic components through stretchable interconnects
DK2563450T3 (da) 2010-04-28 2017-11-13 Kimberly Clark Co Apparat til administration af rheumatoid-arthritis-medikament
US9526883B2 (en) * 2010-04-28 2016-12-27 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Composite microneedle array including nanostructures thereon
EP2563451B1 (en) 2010-04-28 2017-11-01 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. MEDICAL DEVICES FOR DELIVERY OF siRNA
MX2012012567A (es) 2010-04-28 2012-11-21 Kimberly Clark Co Metodo para aumentar la permeabilidad de una barrera epitelial.
US10232374B2 (en) 2010-05-05 2019-03-19 Miroculus Inc. Method of processing dried samples using digital microfluidic device
KR101930561B1 (ko) 2010-06-07 2018-12-18 사푸라스트 리써치 엘엘씨 재충전 가능한 고밀도 전기 화학 장치
KR20130051013A (ko) 2010-06-09 2013-05-16 솔렉셀, 인크. 고생산성 박막 증착 방법 및 시스템
AU2011273506B2 (en) 2010-06-29 2015-09-17 Vito Nv Gas diffusion electrode, method of producing same, membrane electrode assembly comprising same and method of producing membrane electrode assembly comprising same
US9168679B2 (en) * 2010-07-16 2015-10-27 Northwestern University Programmable soft lithography: solvent-assisted nanoscale embossing
WO2013055307A2 (en) 2010-08-05 2013-04-18 Solexel, Inc. Backplane reinforcement and interconnects for solar cells
US8304493B2 (en) 2010-08-20 2012-11-06 Micron Technology, Inc. Methods of forming block copolymers
WO2012026973A2 (en) 2010-08-23 2012-03-01 Carnegie Mellon University Micro-fiber arrays with tip coating and transfer method for preparing same
US9118272B2 (en) * 2010-09-08 2015-08-25 Momentive Performance Materials Inc. Light trapping photovoltaic cells
UA112972C2 (uk) 2010-09-08 2016-11-25 Інтерконтінентал Грейт Брендс ЛЛС Рідкий молочний концентрат з високим вмістом сухих речовин
US20120070570A1 (en) * 2010-09-16 2012-03-22 Xerox Corporation Conductive thick metal electrode forming method
KR101151326B1 (ko) 2010-09-24 2012-06-08 한국광기술원 자립형 ｉｉｉ족 질화물계 기판을 이용한 유무기 하이브리드 광소자 및 이의 제조방법
CA2813090C (en) 2010-10-01 2019-11-12 The Governing Council Of The University Of Toronto Digital microfluidic devices and methods incorporating a solid phase
KR101926204B1 (ko) 2010-10-20 2018-12-06 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 나노공극형 중합체 층을 포함하는 광대역 반경면 미러 필름
KR101033276B1 (ko) 2010-10-26 2011-05-09 서울대학교산학협력단 초소수성 폴리머 구조물의 제조
GB201019577D0 (en) * 2010-11-18 2010-12-29 Univ Cork Method
TWI442014B (zh) 2010-11-24 2014-06-21 Ind Tech Res Inst 散熱元件及散熱元件的處理方法
WO2012087352A2 (en) * 2010-12-20 2012-06-28 The Regents Of The University Of California Superhydrophobic and superoleophobic nanosurfaces
KR101898746B1 (ko) * 2010-12-22 2018-09-13 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 표면-개질된 지르코니아 나노입자
EP2663862A4 (en) 2011-01-11 2015-01-21 Univ Columbia SYSTEMS AND METHODS FOR DETECTION OF A SINGLE MOLECULE USING NANOTUBES
CA2829331C (en) * 2011-02-15 2019-01-22 Daniel Brassard 3d microfluidic devices based on open-through thermoplastic elastomer membranes
CN103380369B (zh) 2011-02-23 2016-12-28 纽约市哥伦比亚大学理事会 使用纳米孔进行单分子检测的系统和方法
WO2012122628A1 (en) * 2011-03-15 2012-09-20 National Research Council Of Canada Microfluidic system having monolithic nanoplasmonic structures
US9748414B2 (en) 2011-05-20 2017-08-29 Arthur R. Zingher Self-activated front surface bias for a solar cell
WO2012166053A1 (en) * 2011-05-31 2012-12-06 National University Of Singapore A filtering membrane
EP2726870B1 (en) 2011-06-29 2018-10-03 Academia Sinica The capture, purification and release of biological substance using a surface coating
US8956757B2 (en) 2011-07-20 2015-02-17 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Transparent electrochemical energy storage devices
DE102011108981B4 (de) * 2011-08-01 2016-02-18 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Struktureinrichtung mit einem Bauelement, Vorrichtung zur Applikation des Bauelements, Verfahren zur Herstellung der Struktureinrichtung und Verfahren zur Applikation des Bauelements
JP2013036156A (ja) 2011-08-05 2013-02-21 San Diego State Univ Research Foundation 電流活性化先端基焼結（ｃａｔｓ）を使用して製造されるデバイス
US9415562B1 (en) * 2011-08-17 2016-08-16 Hrl Laboratories, Llc Ultra-light micro-lattices and a method for forming the same
WO2013031086A1 (ja) * 2011-08-30 2013-03-07 パナソニック株式会社 テープ状光記録媒体の金型、テープ状光記録媒体およびその裁断装置
CN103043597B (zh) * 2011-10-13 2015-05-20 聊城大学 以ZnO晶体为模型制备金属微纳米阵列电极的方法
WO2013055234A1 (en) 2011-10-14 2013-04-18 Digital Sensing Limited Arrays and methods of manufacture
US20170246439A9 (en) 2011-10-27 2017-08-31 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Increased Bioavailability of Transdermally Delivered Agents
DK3542851T3 (da) 2011-10-27 2022-03-14 Sorrento Therapeutics Inc Implanterbare indretninger til levering af bioaktive midler
JP6100271B2 (ja) * 2011-10-27 2017-03-22 キンバリー クラーク ワールドワイド インコーポレイテッド 高粘性生理活性薬剤の経皮的送達
US8900963B2 (en) 2011-11-02 2014-12-02 Micron Technology, Inc. Methods of forming semiconductor device structures, and related structures
US11092977B1 (en) 2017-10-30 2021-08-17 Zane Coleman Fluid transfer component comprising a film with fluid channels
US9539773B2 (en) 2011-12-06 2017-01-10 Hrl Laboratories, Llc Net-shape structure with micro-truss core
AU2012274016B2 (en) * 2011-12-13 2014-09-04 Cytiva Us Llc Membrane with localized asymmetries
US9266066B2 (en) * 2011-12-13 2016-02-23 Pall Corporation Membrane with localized asymmetries
KR101926539B1 (ko) * 2011-12-13 2018-12-10 엘지이노텍 주식회사 나노와이어 격자구조물 및 나노와이어 제조방법
JP5518039B2 (ja) * 2011-12-28 2014-06-11 株式会社日立製作所 フィルター、及びその製造方法
CN103183886B (zh) * 2011-12-28 2015-07-01 清华大学 碳纳米管复合膜的制备方法
CN103183888B (zh) * 2011-12-28 2015-07-29 清华大学 碳纳米管复合材料的制备方法
JP2013149747A (ja) * 2012-01-18 2013-08-01 Sumitomo Electric Ind Ltd 導波路型の光半導体素子
KR101622864B1 (ko) * 2012-03-13 2016-05-19 더블유.엘. 고어 앤드 어소시에이트스, 인코포레이티드 벤팅 어레이 및 제조 방법
US9017806B2 (en) 2012-03-23 2015-04-28 Hrl Laboratories, Llc High airflow micro-truss structural apparatus
WO2013158280A1 (en) * 2012-04-20 2013-10-24 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Systems and methods for single-molecule nucleic-acid assay platforms
GB201211309D0 (en) * 2012-06-26 2012-08-08 Fujifilm Mfg Europe Bv Process for preparing membranes
KR101438890B1 (ko) * 2012-06-28 2014-09-15 현대자동차주식회사 소수성을 향상한 고분자 전해질 막-전극 접합체 및 그 제조방법
WO2014031523A2 (en) * 2012-08-19 2014-02-27 University Of Rochester Method for preparing microfluidic device with reduced channel height
US9087699B2 (en) 2012-10-05 2015-07-21 Micron Technology, Inc. Methods of forming an array of openings in a substrate, and related methods of forming a semiconductor device structure
TWI485452B (zh) * 2012-10-31 2015-05-21 Compal Electronics Inc 複合導光板的製造方法
TWI452071B (zh) * 2012-11-23 2014-09-11 中原大學 類矽石氣體分離膜及其形成方法
US10040018B2 (en) 2013-01-09 2018-08-07 Imagine Tf, Llc Fluid filters and methods of use
US9061463B2 (en) * 2013-02-28 2015-06-23 Eastman Kodak Company Embossed micro-structure with cured transfer material method
US8932474B1 (en) * 2013-03-05 2015-01-13 Eastman Kodak Company Imprinted multi-layer micro structure method
US8916038B2 (en) 2013-03-13 2014-12-23 Gtat Corporation Free-standing metallic article for semiconductors
US8936709B2 (en) 2013-03-13 2015-01-20 Gtat Corporation Adaptable free-standing metallic article for semiconductors
DE202013101302U1 (de) * 2013-03-26 2013-05-06 Mst Microsieve Technologies Gmbh Filtrationsvorrichtung
EP2988854B1 (en) * 2013-04-26 2018-05-30 Curtin University Of Technology Channeled articles and methods for their manufacture
US9229328B2 (en) 2013-05-02 2016-01-05 Micron Technology, Inc. Methods of forming semiconductor device structures, and related semiconductor device structures
DE202013004189U1 (de) 2013-05-03 2013-06-13 Nephro-Solutions Ag Semipermeable Kapillarmembran mit wellenförmig ausgebildeter innerer aktiver Austauschfläche
CN105744982A (zh) * 2013-07-22 2016-07-06 金拓 相转化微针片的制备过程
US9341639B2 (en) 2013-07-26 2016-05-17 Industrial Technology Research Institute Apparatus for microfluid detection
ITGE20130096A1 (it) * 2013-09-27 2015-03-28 Consiglio Nazionale Ricerche Membrane ricoperte da microemulsioni bicontinue polimerizzate per il trattamento delle acque.
US9177795B2 (en) 2013-09-27 2015-11-03 Micron Technology, Inc. Methods of forming nanostructures including metal oxides
US20150160072A1 (en) * 2013-12-06 2015-06-11 Rensselaer Polytechnic Institute Oriented backscattering wide dynamic-range optical radiation sensor
WO2015091189A1 (en) * 2013-12-16 2015-06-25 Koninklijke Philips N.V. Selective patterning of filtration membranes
JP6203393B2 (ja) 2013-12-16 2017-09-27 サビック グローバル テクノロジーズ ビー．ブイ． 処理済み混合マトリックス高分子膜
EP3057689A4 (en) 2013-12-16 2016-08-31 Sabic Global Technologies Bv POLYMERIC MEMBRANES TREATED BY ULTRAVIOLET AND THERMALLY RADIATION
US9828284B2 (en) 2014-03-28 2017-11-28 Ut-Battelle, Llc Thermal history-based etching
TW201623605A (zh) 2014-04-01 2016-07-01 中央研究院 用於癌症診斷及預後之方法及系統
US9861920B1 (en) 2015-05-01 2018-01-09 Imagine Tf, Llc Three dimensional nanometer filters and methods of use
US10730047B2 (en) 2014-06-24 2020-08-04 Imagine Tf, Llc Micro-channel fluid filters and methods of use
US9381292B2 (en) * 2014-07-24 2016-07-05 Kamal Ahmed ALJOHANI Diabetes regulator
EP2998026B1 (en) 2014-08-26 2024-01-17 Academia Sinica Collector architecture layout design
US10124275B2 (en) 2014-09-05 2018-11-13 Imagine Tf, Llc Microstructure separation filters
KR102316548B1 (ko) * 2014-09-16 2021-10-22 고려대학교 산학협력단 나노섬유형 콜라겐 필라멘트로 이루어진 매크로/나노 다공성 콜라겐 지지체 제조를 위한 2단계 상분리 기반 3d 바이오플라팅 기술
US10583677B2 (en) 2014-11-25 2020-03-10 Massachusetts Institute Of Technology Nanoporous stamp printing of nanoparticulate inks
WO2016086098A2 (en) * 2014-11-25 2016-06-02 Massachusetts Institute Of Technology Nanoporous stamp for flexographic printing
WO2016105581A1 (en) 2014-12-23 2016-06-30 South Dakota Board Of Regents Electrospun three-dimensional nanofibrous scaffolds with interconnected and hierarchically structured pores
WO2016122959A2 (en) 2015-01-26 2016-08-04 The Regents Of The University Of California Method for manufacturing re-entrant microstructures
US10953370B2 (en) * 2015-02-05 2021-03-23 The Penn State Research Foundation Nano-pore arrays for bio-medical, environmental, and industrial sorting, filtering, monitoring, or dispensing
US10758849B2 (en) 2015-02-18 2020-09-01 Imagine Tf, Llc Three dimensional filter devices and apparatuses
AU2016233335B2 (en) * 2015-03-17 2021-03-25 President And Fellows Of Harvard College Automated membrane fabrication system
US9553001B2 (en) * 2015-04-28 2017-01-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method of forming a molding layer for semiconductor package
CA2983918A1 (en) 2015-04-29 2016-11-03 Ixcela, Inc. Methods and devices for quantitating blood samples
US10464067B2 (en) 2015-06-05 2019-11-05 Miroculus Inc. Air-matrix digital microfluidics apparatuses and methods for limiting evaporation and surface fouling
CN208562324U (zh) 2015-06-05 2019-03-01 米罗库鲁斯公司 空气基质数字微流控(dmf)装置
CN108027335B (zh) 2015-06-25 2021-05-04 罗斯韦尔生物技术股份有限公司 生物分子传感器和方法
US10118842B2 (en) 2015-07-09 2018-11-06 Imagine Tf, Llc Deionizing fluid filter devices and methods of use
US10479046B2 (en) 2015-08-19 2019-11-19 Imagine Tf, Llc Absorbent microstructure arrays and methods of use
US20170105832A1 (en) * 2015-10-15 2017-04-20 Kenneth Samuel Rosenblum Porous membrane structures and related techniques
US11213791B2 (en) * 2015-10-23 2022-01-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Nano wire microporous structure
US11786914B2 (en) 2015-10-27 2023-10-17 The Trustees Of The University Of Pennsylvania Magnetic separation filters and microfluidic devices using magnetic separation filters
EP3408220A4 (en) 2016-01-28 2019-09-04 Roswell Biotechnologies, Inc METHOD AND DEVICE FOR MEASURING ANALYTES USING LARGE CALCULAR MOLECULAR ELECTRONIC SENSOR ARRAYS
JP7080489B2 (ja) 2016-01-28 2022-06-06 ロズウェル バイオテクノロジーズ，インコーポレイテッド 超パラレルｄｎａ配列決定装置
KR102385828B1 (ko) * 2016-01-29 2022-04-11 충남대학교산학협력단 다공성 금속 모세관의 제조방법 및 그에 따라 제조된 다공성 금속 모세관
WO2017139493A2 (en) 2016-02-09 2017-08-17 Roswell Biotechnologies, Inc. Electronic label-free dna and genome sequencing
US10597767B2 (en) 2016-02-22 2020-03-24 Roswell Biotechnologies, Inc. Nanoparticle fabrication
US10107726B2 (en) 2016-03-16 2018-10-23 Cellmax, Ltd. Collection of suspended cells using a transferable membrane
US10373704B2 (en) 2016-06-03 2019-08-06 International Business Machines Corporation Reduction of surface nucleotide hybridization by optimizing a biosensor sensing surface area
US10712308B2 (en) 2016-06-03 2020-07-14 International Business Machines Corporation Biosensor for electrical detection of a nucleotide sequence
US10718758B2 (en) * 2016-06-03 2020-07-21 International Business Machines Corporation Biosensor for optical detection of nucleotide sequence
KR101774353B1 (ko) 2016-06-23 2017-09-04 서강대학교산학협력단 이중 다공성 구조체 및 이의 제조 방법, 및 이를 포함하는 광전기화학전지용 전극
US9829456B1 (en) 2016-07-26 2017-11-28 Roswell Biotechnologies, Inc. Method of making a multi-electrode structure usable in molecular sensing devices
DE102016113956A1 (de) * 2016-07-28 2018-02-01 Leibniz-Institut Für Neue Materialien Gemeinnützige Gmbh Vorrichtung mit einer strukturierten Beschichtung
EP3500375A4 (en) * 2016-08-17 2020-06-03 The University of North Carolina at Chapel Hill FLEXIBLE CONDUCTIVE TRANSPARENT FILMS, ARTICLES, AND METHODS OF MAKING SAME
EP3500660A4 (en) 2016-08-22 2020-03-04 Miroculus Inc. FEEDBACK SYSTEM FOR CONTROLLING PARALLEL DROPLETS IN A DIGITAL MICROFLUIDIC DEVICE
KR102547143B1 (ko) 2016-09-27 2023-06-23 일루미나, 인코포레이티드 임프린팅된 기판
CN106249321B (zh) * 2016-09-30 2017-11-10 深圳市太赫兹系统设备有限公司 一种太赫兹超材料波导及器件
JP6676184B2 (ja) * 2016-11-07 2020-04-08 富士フイルム株式会社 蛍光体含有フィルムおよびバックライトユニット
DE102016224200A1 (de) * 2016-12-06 2018-06-07 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren zum Reparieren von reflektiven optischen Elementen für die EUV-Lithographie
CA3046211A1 (en) 2016-12-07 2018-06-14 Northwestern University Liquid masks for microfabrication processes
JP2020515815A (ja) 2016-12-28 2020-05-28 ミロキュラス インコーポレイテッド デジタルマイクロ流体デバイスおよび方法
US10758380B2 (en) * 2016-12-30 2020-09-01 Bvw Holding Ag Stents with improved fixation
CA3052062A1 (en) 2017-01-10 2018-07-19 Roswell Biotechnologies, Inc. Methods and systems for dna data storage
KR20230158636A (ko) 2017-01-19 2023-11-20 로스웰 바이오테크놀로지스 인코포레이티드 2차원 레이어 재료를 포함하는 솔리드 스테이트 시퀀싱 디바이스들
US11623219B2 (en) 2017-04-04 2023-04-11 Miroculus Inc. Digital microfluidics apparatuses and methods for manipulating and processing encapsulated droplets
US10508296B2 (en) 2017-04-25 2019-12-17 Roswell Biotechnologies, Inc. Enzymatic circuits for molecular sensors
CN110546276A (zh) 2017-04-25 2019-12-06 罗斯威尔生命技术公司 用于分子传感器的酶电路
KR101900323B1 (ko) 2017-04-26 2018-09-19 건국대학교 산학협력단 중공 구조를 갖는 친수성의 Pt-금속 산화물 및 Pt-C를 포함하는 이중 촉매 전극, 및 이를 포함하는 막 전극 접합체
US20200180991A1 (en) * 2017-04-28 2020-06-11 Corning Incorporated Glass structure, glass structure forming system, and method of making glass structure
US11261085B2 (en) 2017-05-03 2022-03-01 Nanotech Security Corp. Methods for micro and nano fabrication by selective template removal
CA3014989C (en) * 2017-05-03 2020-03-24 Nanotech Security Corp. Methods for micro and nano fabrication by selective template removal
EP3622086A4 (en) 2017-05-09 2021-04-21 Roswell Biotechnologies, Inc LINK PROBE CIRCUITS FOR MOLECULAR SENSORS
US10109526B1 (en) 2017-05-31 2018-10-23 Globalfoundries Inc. Etch profile control during skip via formation
KR101970745B1 (ko) * 2017-06-14 2019-04-23 조선대학교산학협력단 유치관용 조성물 및 이를 이용한 항균성 유치관과 그 제조방법
CN110892258A (zh) 2017-07-24 2020-03-17 米罗库鲁斯公司 具有集成的血浆收集设备的数字微流控系统和方法
KR101960383B1 (ko) * 2017-08-03 2019-03-20 고려대학교 산학협력단 구조적 특성을 이용한 발수유성 박막 및 이의 제조방법
KR20200039795A (ko) 2017-08-30 2020-04-16 로스웰 바이오테크놀로지스 인코포레이티드 Dna 데이터 저장을 위한 진행성 효소 분자 전자 센서들
CN111050913B (zh) * 2017-09-01 2022-04-12 深圳华大智造科技有限公司 与硅基传感器集成的注射成型的微流体/流体盒
CA3073058A1 (en) 2017-09-01 2019-03-07 Miroculus Inc. Digital microfluidics devices and methods of using them
WO2019075100A1 (en) 2017-10-10 2019-04-18 Roswell Biotechnologies, Inc. METHODS, APPARATUS AND SYSTEMS FOR STORING DNA DATA WITHOUT AMPLIFICATION
CN108096699B (zh) * 2017-12-28 2020-12-01 浙江大学台州研究院 用于药物传输和体液采集的空心微针阵列及其制备方法
WO2019135757A1 (en) * 2018-01-05 2019-07-11 Massachusetts Institute Of Technology Apparatus and methods for contact-printing using electrostatic nanoporous stamps
DE102018203065A1 (de) * 2018-03-01 2019-09-05 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Injektors
CA3105242C (en) * 2018-03-16 2023-12-12 Nano-Dimension Technologies, Ltd. Inkjet printing of three-dimensional ceramic pattern
DE102018107810A1 (de) * 2018-04-03 2019-10-10 Helmholtz-Zentrum Dresden - Rossendorf E.V. Transparenter Objektträger
JP7120664B2 (ja) * 2018-05-21 2022-08-17 ザ・ユニバーシティ・オブ・シドニー 鋳造物を加工する方法
CN108977763B (zh) * 2018-06-20 2020-02-14 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 有源矩阵有机发光二极管精细荫罩组件及其制造方法
CN109849247B (zh) * 2018-12-06 2021-05-11 南京构合材料科技有限公司 一种滚塑聚烯烃制件表面上的固定结构及其制备工艺
CN116649888A (zh) * 2018-12-14 2023-08-29 智能隐形眼镜公司 用于监测眼内压的可佩戴接触镜的方法和装置
WO2020130596A1 (ko) * 2018-12-18 2020-06-25 ㈜아모레퍼시픽 복수의 관통홀을 포함한, 피부에 부착 가능한 플렉서블 패치 및 상기 플렉서블 패치를 제조하는 방법
US11173486B2 (en) * 2019-02-13 2021-11-16 International Business Machines Corporation Fluidic cavities for on-chip layering and sealing of separation arrays
CN110018142B (zh) * 2019-03-20 2021-10-22 西南交通大学 复合荧光基底、复合荧光基底的制备方法以及应用
US11738345B2 (en) 2019-04-08 2023-08-29 Miroculus Inc. Multi-cartridge digital microfluidics apparatuses and methods of use
RU191627U1 (ru) * 2019-04-09 2019-08-14 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский горный университет" Прессовое устройство формования и обезвоживания торфяного сырья
DE102019113119A1 (de) * 2019-05-17 2020-11-19 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Optoelektronischer Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips
KR102242524B1 (ko) 2019-06-07 2021-04-20 연세대학교 산학협력단 전기화학적 물질 반응의 영역제한을 이용하는 패턴 형성 장치 및 방법
CN110164630A (zh) * 2019-06-13 2019-08-23 大连海事大学 一种微尺度ito电极的加工装置和方法
US11524298B2 (en) 2019-07-25 2022-12-13 Miroculus Inc. Digital microfluidics devices and methods of use thereof
KR102241590B1 (ko) * 2019-09-06 2021-04-16 영남대학교 산학협력단 기판 구조체 및 이를 제조하는 방법
WO2021079362A1 (en) * 2019-10-24 2021-04-29 B.G. Negev Technologies And Applications Ltd., At Ben-Gurion University A method for imprinting micropatterns on a substrate of an organic polymer
CN110787647B (zh) * 2019-11-11 2024-01-19 上海输血技术有限公司 一种血小板去白细胞过滤膜及其制备方法
DE102019130988A1 (de) * 2019-11-15 2021-05-20 Leibniz-Institut Für Neue Materialien Gemeinnützige Gmbh Haftsystem für raue Oberflächen
DE102020002684A1 (de) 2020-05-05 2021-11-11 Felix Schiefer Einspritzdüse und Vorrichtung zur Beladung eines Kraftstoffes mit Gas
CN113772619B (zh) * 2020-06-10 2023-07-11 宝山钢铁股份有限公司 一种微孔通道膜及其制备方法
CN111701629B (zh) * 2020-07-03 2021-04-02 清华大学 超疏水微坑阵列芯片及其制备方法和装置
TWI781450B (zh) * 2020-09-24 2022-10-21 國立中央大學 複合刺激生物反應器
DE102020216542A1 (de) * 2020-12-23 2022-06-23 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Membran für eine mikrofluidische Kartusche mit Ausnehmungen für einen Mikrokanal oder ein Sensorelement und Verfahren zur Herstellung einer Membran und einer Kartusche mit Membran
CN112973816B (zh) * 2021-04-15 2022-10-04 上海理工大学 一种微分分流装置及其制备方法和应用
US11857961B2 (en) 2022-01-12 2024-01-02 Miroculus Inc. Sequencing by synthesis using mechanical compression
CN115207205B (zh) * 2022-07-27 2023-04-25 广东工业大学 一种薄膜振动装置及其制备方法、应用其的清洗装置
CN115558897A (zh) * 2022-09-13 2023-01-03 华中科技大学 一种气敏传感器及其制备方法与应用
CN116731563B (zh) * 2023-05-22 2024-03-01 北京北方世纪纤维素技术开发有限公司 一种柔性改性硝酸纤维素铸膜液、硝酸纤维素膜及其制备方法和用途

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1584589A (en) * 1976-07-23 1981-02-11 Dynatech Holdings Ltd Microtitration plate
US4872888A (en) * 1987-02-13 1989-10-10 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh Microporous membrane filter and method of producing same
JPH0273545A (ja) * 1988-09-09 1990-03-13 Seiko Epson Corp フォーマット入り光メモリー用ガラスマスターの製造方法
EP0382420A2 (en) * 1989-02-10 1990-08-16 Minnesota Mining And Manufacturing Company Microstructure-bearing composite plastic articles and method of making
US5256360A (en) * 1992-03-25 1993-10-26 Panasonic Technologies, Inc. Method of manufacturing a precision micro-filter
US5281511A (en) * 1991-08-05 1994-01-25 Gerhardt International A/S Process for producing an embossing die in roll form
JPH06170187A (ja) * 1992-12-08 1994-06-21 Sumitomo Electric Ind Ltd マイクロフィルターの製造方法
JPH07266353A (ja) * 1994-03-29 1995-10-17 Toppan Printing Co Ltd 多孔フィルムの製造方法
US5660680A (en) * 1994-03-07 1997-08-26 The Regents Of The University Of California Method for fabrication of high vertical aspect ratio thin film structures
US5868976A (en) * 1997-03-14 1999-02-09 Koch Membrane Systems, Inc. Process of making a dialysis membrane
EP1002830A2 (en) * 1998-11-19 2000-05-24 Air Products And Chemicals, Inc. Nanoporous polymers films
US6119751A (en) * 1998-01-26 2000-09-19 Reflexite Corporation Apparatus and method for producing retroreflective material having printed patterns thereon

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3429957A (en) * 1965-07-06 1969-02-25 Gulf General Atomic Inc Process for continuously casting a semi-permeable membrane
DE3518569A1 (de) * 1985-05-23 1986-11-27 Hohenloher Spulenkörperfabrik, 7110 Öhringen Verfahren zur herstellung eines elektrischen bauteils aus thermoplastischem kunststoff
US4770777A (en) 1987-01-29 1988-09-13 Parker Hannifin Corporation Microporous asymmetric polyamide membranes
US4970034A (en) * 1988-09-23 1990-11-13 W. R. Grace & Co.-Conn. Process for preparing isotropic microporous polysulfone membranes
FR2694119B1 (fr) * 1992-07-24 1994-08-26 Sgs Thomson Microelectronics Circuit de lecture pour mémoire, avec recharge et équilibrage avant lecture.
US5228994A (en) * 1992-10-13 1993-07-20 Millipore Corporation Composite microporous membranes
CA2187634A1 (en) 1994-05-06 1995-11-16 Anit Dutta Three-dimensional seamless waterproof breathable flexible composite articles
DE4421871C2 (de) 1994-06-23 1997-06-19 Seitz Filter Werke Mehrschichtige Mikrofiltrationsmembran mit integrierter Vorfilterschicht und Verfahren zu ihrer Herstellung
EP0946250B1 (en) * 1996-11-12 2004-06-30 Whatman Inc. Hydrophilic polymeric phase inversion membrane
US6132858A (en) * 1997-01-28 2000-10-17 Omonics, Inc. Membrane coated paper
CA2297842C (en) 1997-07-23 2007-05-22 Akzo Nobel Nv Integrally asymmetrical polyolefin membrane for gas transfer
AU767122B2 (en) 1998-06-10 2003-10-30 Georgia Tech Research Corporation Microneedle devices and methods of manufacture and use thereof
US6423252B1 (en) * 2000-06-23 2002-07-23 Ethicon, Inc. Methods of making micropatterned foams

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1584589A (en) * 1976-07-23 1981-02-11 Dynatech Holdings Ltd Microtitration plate
US4872888A (en) * 1987-02-13 1989-10-10 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh Microporous membrane filter and method of producing same
JPH0273545A (ja) * 1988-09-09 1990-03-13 Seiko Epson Corp フォーマット入り光メモリー用ガラスマスターの製造方法
EP0382420A2 (en) * 1989-02-10 1990-08-16 Minnesota Mining And Manufacturing Company Microstructure-bearing composite plastic articles and method of making
US5281511A (en) * 1991-08-05 1994-01-25 Gerhardt International A/S Process for producing an embossing die in roll form
US5256360A (en) * 1992-03-25 1993-10-26 Panasonic Technologies, Inc. Method of manufacturing a precision micro-filter
JPH06170187A (ja) * 1992-12-08 1994-06-21 Sumitomo Electric Ind Ltd マイクロフィルターの製造方法
US5660680A (en) * 1994-03-07 1997-08-26 The Regents Of The University Of California Method for fabrication of high vertical aspect ratio thin film structures
JPH07266353A (ja) * 1994-03-29 1995-10-17 Toppan Printing Co Ltd 多孔フィルムの製造方法
US5868976A (en) * 1997-03-14 1999-02-09 Koch Membrane Systems, Inc. Process of making a dialysis membrane
US6119751A (en) * 1998-01-26 2000-09-19 Reflexite Corporation Apparatus and method for producing retroreflective material having printed patterns thereon
EP1002830A2 (en) * 1998-11-19 2000-05-24 Air Products And Chemicals, Inc. Nanoporous polymers films

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 014, no. 267 (P - 1058) 8 June 1990 (1990-06-08) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 018, no. 506 (C - 1252) 22 September 1994 (1994-09-22) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1996, no. 02 29 February 1996 (1996-02-29) *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113866331A (zh) * 2021-08-26 2021-12-31 天津大学 色谱材料及制备方法、微型色谱柱及涂覆方法和微型气相色谱仪

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002043937A2 (en) 2002-06-06
US7531120B2 (en) 2009-05-12
DE60136215D1 (de) 2008-11-27
AU2002219704A1 (en) 2002-06-11
EP1341655B1 (en) 2008-10-15
US20040028875A1 (en) 2004-02-12
ATE411150T1 (de) 2008-10-15
EP1341655A2 (en) 2003-09-10
WO2002043937A3 (en) 2002-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL1016779C2 (nl) Matrijs, werkwijze voor het vervaardigen van precisieproducten met behulp van een matrijs, alsmede precisieproducten, in het bijzonder microzeven en membraanfilters, vervaardigd met een dergelijke matrijs.
Vogelaar et al. Phase separation micromolding: a new generic approach for microstructuring various materials
US5753014A (en) Membrane filter and a method of manufacturing the same as well as a membrane
Liang et al. Temperature-sensitive polypropylene membranes prepared by plasma polymerization
EP0257012B1 (en) Asymmetric gas separation membranes having graded density skins
CN103157382B (zh) 具有局部非均匀性的膜
JP5350327B2 (ja) 空間的に制御された改質多孔膜
EP0566046B1 (en) Patterned porous polymeric product and process
WO2015048442A1 (en) Novel nano-patterned thin film membranes and thin film composite membranes, and methods using same
Marbelia et al. Preparation of patterned flat-sheet membranes using a modified phase inversion process and advanced casting knife construction techniques
EP0259288A2 (en) Process and dope for forming asymmetric gas separation membranes having graded density skins
JPH03186325A (ja) 侵入型網状構造重合体から形成した親水性表面を有する多孔性膜及びその製造方法
CA3001413A1 (en) Polymer membranes having open through holes, and method of fabrication thereof
CN103907056A (zh) 独立自支撑膜的制造及其在纳米颗粒图案合成中的应用
Wang et al. Thermally on− off switching membranes prepared by pore-filling poly (n-isopropylacrylamide) hydrogels
US20140342271A1 (en) Micromold Methods For Fabricating Perforated Substrates and for Preparing Solid Polymer Electrolyte Composite Membranes
CA2810018C (en) Large pore polymeric membrane
Yao et al. Filtration-based synthesis of micelle-derived composite membranes for high-flux ultrafiltration
Kee et al. Modification of cellulose acetate membrane using monosodium glutamate additives prepared by microwave heating
Russo et al. Microfabricated plastic devices from silicon using soft intermediates
JP5078073B2 (ja) ３次元構造が形成された樹脂フィルムの製造方法
WO2004096896A2 (en) Microfabrication of polymer microparticles
Bikel et al. Shrinkage effects during polymer phase separation on microfabricated molds
Lakshminarayanan Micro/nano patterning on polymers using soft lithography technique
Jahn et al. Polymer microsieves manufactured by inkjet technology

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
VD1 Lapsed due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20050701