DE102007027188A1 - Ultraschallströmungssensor mit Quadratur-Demodulation - Google Patents

Ultraschallströmungssensor mit Quadratur-Demodulation Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Ultraschallsensor (6), insbesondere zum Bestimmen der Strömungsgeschwindigkeit (v) eines durch eine Rohrleitung (3) strömenden Mediums (1), mit wenigstens einem Ultraschallwandler (A, B) zum Aussenden und/oder Empfangen von Ultraschallsignalen (15), einem mit dem Ultraschallwandler (A, B) verbundenen Oszillator (7) und einer Auswerteeinheit (4), die eine Phasenverschiebung des empfangenen Ultraschallsignals (15) gegenüber einem Referenzsignal (8) ermittelt. Der Messeindeutigkeitsbereich, die Genauigkeit und Zuverlässigkeit eines solchen Ultraschallsensors (6) können erheblich verbessert werden, wenn die Auswerteeinheit (4) mehrere Quadratur-Demodulatoren (23a-23c) aufweist, die mit unterschiedlichen Demodulation und jeweils eine Phaseninformation (u<SUB>1</SUB>, u<SUB>2</SUB>) über das empfangene Ultraschallsignal (15) ermitteln, und eine Noniuseinheit (30) vorgesehen ist, die aus den einzelnen Phaseninformationen (u<SUB>1</SUB>, u<SUB>2</SUB> bzw. alpha<SUB>1</SUB>-alpha<SUB>n</SUB>) einen Phasenwinkel (Phi) oder eine dazu proportionale Größe (t) ermittelt.

Description

  • Stand der Technik
  • Die Erfindung betrifft einen Ultraschall-Strömungssensor zum Bestimmen der Laufzeit eines Ultraschallsignals gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie ein entsprechendes Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 10.
  • Ultraschall-Strömungssensoren dienen insbesondere dazu, den Volumen- oder Massestrom oder die Strömungsgeschwindigkeit eines gasförmigen oder flüssigen Mediums zu messen, das durch eine Rohrleitung oder dgl. strömt. Ein bekannter Typ von Ultraschall-Strömungssensoren umfasst zwei in Strömungsrichtung versetzt angeordnete Ultraschallwandler, die jeweils Ultraschallsignale erzeugen und diese jeweils an den anderen Ultraschallwandler aussenden. Die Ultraschallsignale werden vom jeweils anderen Wandler empfangen und mittels einer Elektronik ausgewertet. Der Laufzeitunterschied zwischen dem Signal in Strömungsrichtung und dem Signal in Gegenrichtung ist dabei ein Maß für die Strömungsgeschwindigkeit des Fluids.
  • 1 zeigt eine typische Anordnung eines Ultraschall-Strömungssensors mit zwei Ultraschallwandlern A, B, die sich in einem Abstand L gegenüber stehen. In der Rohrleitung 3 strömt ein Fluid 1 mit einer Geschwindigkeit v in Richtung des Pfeils 2. Die Messstrecke L ist gegenüber der Strömungsrichtung 2 um einen Winkel δ geneigt. Während einer Messung senden sich die Ultraschallwandler A, B gegenseitig Ultraschallsignale zu, die je nach Richtung von der Strömung entweder verlangsamt oder beschleunigt werden. Die Laufzeiten der Schallsignale sind dabei ein Maß für die zu bestimmende Strömungsgeschwindigkeit.
  • 2 zeigt eine stark vereinfachte schematische Darstellung der elektrischen Auswerteschaltung 4. Die beiden Ultraschallwandler A, B sind mit der Steuer- und Auswerteelektronik 4 verbunden und werden von einem Oszillator mit einer vorgegebenen Taktfrequenz 8 (hier ein Rechtecksignal) angeregt. Die dadurch erzeugten Ultraschallsignale 15 (in der Figur ist nur die Hüllkurve 16 der Ultraschallsignale 15 dargestellt) durchlaufen die Messstrecke L und werden vom jeweils anderen Ultraschallwandler A, B detektiert. Dabei wird die Laufzeit t12 bzw. t21 der Signale 15 gemessen.
  • Zur Bestimmung der Laufzeit von Ultraschallsignalen sind aus dem Stand der Technik verschiedene Verfahren bekannt. Eine erste Art von Verfahren beschäftigt sich damit, den Empfangszeitpunkt eines Ultraschallsignals eindeutig und genau zu bestimmen. Üblicherweise bildet der erste Nulldurchgang des Ultraschallsignals, nachdem die Signalamplitude einen vorgegebenen Schwellenwert überschritten hat, den „Empfangszeitpunkt" des Signals. Alternativ wird auch der Zeitpunkt der maximalen Amplitude des Signals oder z. B. der Schwerpunkt der Hüllkurve des Ultraschallsignals als „Empfangszeitpunkt" herangezogen.
  • Eine zweite Art von Verfahren zur Laufzeitmessung beschäftigt sich damit, die Phase eines empfangenen Ultraschallsignals gegenüber einem Referenztakt zu bestimmen. So ist es beispielsweise bekannt, die Phasenlage (ΔΦ) eines Ultraschallsignals gegenüber einem Referenzsignal mittels eines Quadratur-Demodulationsverfahrens zu bestimmen und die Gesamtlaufzeit des Ultraschallsignals aus der Phasenlage (ΔΦ) und einem Restanteil zu berechnen, der ein ganzzahliges Vielfaches von 2 π ist. Dabei wird das Ultraschallsignal mit Hilfe eines Demodulationssignals und eines phasenverschobenen Demodulationssignals abschnittsweise invertiert. Die abschnittsweise invertierten Signale werden dann vorzugsweise gefiltert bzw. integriert und die Phasenlage (ΔΦ) durch trigonometrische Berechnung ermittelt. Bei diesem Auswerteverfahren ist der Eindeutigkeitsbereich der ausgerechneten Phasen gleich dem Kehrwert der Modulationsfrequenz. Letztere wird jedoch durch die Ultraschallfrequenz bzw. die Eigenschaften der Ultraschallwandler bestimmt. Dies führt daher meist zu einem relativ kleinen Eindeutigkeitsbereich. Bei Signalen mit einer Frequenz von z. B. 200 kHz ergibt sich ein Eindeutigkeitsbereich von nur 5 μs. Der Restanteil (n·2 π) ist i. d. R. sehr aufwendig bestimmbar.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, den Eindeutigkeitsbereich der Phasen- bzw. Laufzeitmessung von Ultraschallsignalen zu vergrößern.
  • Gelöst wird diese Aufgabe gemäß der Erfindung durch die im Patenanspruch 1 sowie im Patentanspruch 10 angegebenen Merkmale. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
  • Ein wesentlicher Aspekt der Erfindung besteht darin, ein empfangenes Ultraschallsignal mehreren parallel geschalteten Quadratur-Demodulatoren zuzuführen, die mit unterschiedlichen Demodulationsfrequenzen arbeiten und jeweils eine Phaseninformation über das empfangene Ultraschallsignal ermitteln, und die einzelnen Phaseninformationen einer Nonius-Einheit zuzuführen, die daraus den Phasenwinkel (ΔΦ) des Ultraschallsignals mit einem größeren Eindeutigkeitsbereich berechnet. Als Referenzwert für die Phasenbestimmung dient vorzugsweise eine Nullphase aller Demodulationsfrequenzen. Die Bestimmung mehrerer Phaseninformationen aus einem Ultraschallsignal und Auswertung mittels eines Noniusverfahrens haben den Vorteil, dass der Phasenwinkel des Ultraschallsignals wesentlich größeren Eindeutigkeitsbereich hat als mit bekannten Verfahren. Dadurch kann z. B. ein Eindeutigkeitsbereich von 150 μs und mehr erreicht werden.
  • Die erfindungsgemäße Auswerteeinheit umfasst vorzugsweise drei oder mehr Quadratur-Demodulatoren. Grundsätzlich kann die Qualität der Messung mit höherer Anzahl von Quadratur-Demodulatoren verbessert werden. Allerdings entstehen dadurch auch höhere Kosten.
  • Im Rahmen der Quadratur-Demodulation wird das Ultraschallsignal mit der jeweiligen Demodulationsfrequenz und einem um 90° phasenverschobenen Demodulationssignal multipliziert. Das resultierende Signal entspricht jeweils dem Realteil bzw. Imaginärteil des gesuchten Phasenwinkels. Nach den einzelnen Quadratur-Demodulatoren ist vorzugsweise jeweils ein Sinc-Filter vorgesehen, der den hochfrequenten Störanteil des Realteils und Imaginärteils, z. B. Rauschen, unterdrückt.
  • Bei einer Anordnung von drei Quadratur-Demodulatoren ist eine der Demodulationsfrequenzen vorzugsweise gleich der Oszillatorfrequenz bzw. Resonanzfrequenz des Ultraschallsignals, eine zweite Demodulationsfrequenz kleiner als die Resonanzfrequenz, und eine dritte Demodulationsfrequenz größer als die Resonanzfrequenz. Die einzelnen Demodulationsfrequenzen werden vorzugsweise in Abhängigkeit von der Bandbreite der Ultraschallsignale, der Abtastfrequenzen eines Analog/Digital-Wandlers und der Fehlertoleranz der Noniuseinheit ausgewählt.
  • Die empfangenen Ultraschallsignale werden vorzugsweise mittels eines Analog/Digital-Wandlers digitalisiert, der am Eingang der Quadratur-Demodulatoren vorgesehen ist.
  • Die Abtastfrequenz des Analog/Digital-Wandlers ist vorzugsweise durch das ganzzahlige 4-fache aller verwendeten Demodulationsfrequenzen teilbar. Durch diese Wahl der Demodulationsfrequenzen kann die Fehlertoleranz des Noniusverfahrens optimiert werden.
  • In jeder der Quadratur-Demodulatoren ist vorzugsweise eine erste Einheit vorgesehen, mittels derer das empfangene, digitalisierte Ultraschallsignal mit einem Demodulationssignal moduliert wird, sowie eine zweite Einheit vorgesehen, an der das empfangene Ultraschallsignal mit dem um 90° Phasen verschobenen Demodulationssignal moduliert wird.
  • Wenn die Abtastfrequenz des A/D-Wandlers nicht genau der vorstehend genannten Bedingung entspricht, d. h., wenn der Quotient aus Abtastfrequenz und den Demodulationsfrequenzen z. B. ein ganzzahliges Vielfaches von zwei ist, kann es bei dem resultierenden Signal zu einem Phasenfehler kommen. Dieser Phasenfehler (Δ) kann mittels einer einfachen Phasenkorrektur eliminiert werden. In diesem Fall umfasst die Auswerteeinheit eine optionale Elektronik zur Phasenkorrektur. Aus dem gefilterten Signal lässt sich dann in einfacher Weise der Phasenfehler herausrechnen. Die Einheit zur Phasenkorrektur ist vorzugsweise als integrierte Schaltung realisiert.
  • Nach dem Quadratur-Demodulator bzw. – sofern vorhanden – der Einheit zur Phasenkorrektur ist vorzugsweise eine CORDIC-Einheit vorgesehen, die vorzugsweise eine Arcus-Tangens-Berechnung durchführt und aus der zugeführten Phaseninformation die einzelnen Phasenwinkel berechnet. Die Phasenwinkel haben dabei die Kehrwerte der Demodulationsfrequenzen als Eindeutigkeitsbereich (0–2 pi). Die einzelnen Phasenwinkel bilden dann die Eingangsgrößen für die Noniuseinheit, die daraus die Phasenverschiebung des Ultraschallsignals berechnet.
  • Aus dem Stand der Technik sind verschiedenste Noniusverfahren zur Signalauswertung bekannt. Im Rahmen der Erfindung wird vorzugsweise ein Noniusverfahren mittels linearer Abbildungen eingesetzt. Dieses ist insbesondere wegen seiner höheren Fehlertoleranz und der höheren Robustheit vorteilhaft gegenüber den anderen bekannten Noniusverfahren. Bei dem Noniusverfahren mittels linearer Abbildungen wird aus mehreren Phasenwinkeln ein gewichteter Mittelwert gebildet. Parallel dazu wird eine winkelbereichsabhängige Konstante mit Hilfe von mehreren linearen Abbildungen und einer Quantisierung ermittelt. Die gesuchte Messgröße, d. h. der Phasenwinkel bzw. die Laufzeit des Ultraschallsignals werden dann vorzugsweise durch Addition modulo 2n dieser Werte gebildet.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die Erfindung wird nachstehend anhand der beigefügten Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 einen aus dem Stand der Technik bekannten Ultraschall-Strömungssensor mit zwei Ultraschallwandlern;
  • 2 einen Ultraschall-Strömungssensor mit zugehöriger Steuer- und Empfangselektronik;
  • 3 den Signalverlauf eines einzelnen Ultraschallsignals und dessen Hüllkurve;
  • 4 eine Blockdarstellung eines Ultraschall-Strömungssensors mit Auswerteelektronik,
  • 5 eine schematische Darstellung des Aufbaus einer Quadratur-Demodulator-Einheit mit mehreren Quadratur-Demodulatoren;
  • 6 eine schematische Darstellung des Aufbaus eines einzelnen Quadratur-Demodulators;
  • 7 eine schematische Darstellung der Phasenmessung eines Ultraschallsignals;
  • 8 eine schematische Darstellung eines Noniusverfahrens mittels linearer Abbildungen; und
  • 9 den Frequenzgang eines Ultraschallsignals mit Demodulationsfrequenzen.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • Bezüglich der Erläuterung der 1 bis 3 wird auf die Beschreibungseinleitung verwiesen.
  • 4 zeigt einen schematischen Überblick über eine Anordnung zur Messung der Phase bzw. Laufzeit eines Ultraschallsignals 15. Die Anordnung umfasst (von links nach rechts) einen Sensor 26, wie z. B. einen Wandler A bzw. B, eine Demodulator-Einheit 27 mit mehreren Quadratur-Demodulatoren (siehe 5), eine optionale Einheit 28 zur Phasenkorrektur der von der Demodulator-Einheit 27 gelieferten Signale, einen CORDIC-Algorithmus, der eine Arcus-Tangens-Berechnung durchführt, und eine Noniuseinheit 30, die aus den einzelnen Phasenwinkeln α1–αn die Phasenlage Φ bzw. Laufzeit t des Ultraschallsignals 15 berechnet.
  • 5 zeigt die Demodulator-Einheit 27 von 4 im Detail. Die Demodulator-Einheit 27 umfasst einen A/D-Wandler 14, mit dem das empfangene Ultraschallsignal 15 digitalisiert wird, sowie mehrere parallel geschaltete Quadratur-Demodulatoren 23a23c, die jeweils das digitalisierte Signal verarbeiten. Die Funktion eines Quadratur-Demodulators wird im Folgenden anhand von 6 näher erläutert.
  • 6 zeigt einen Ultraschall-Strömungssensor 6 mit zwei Ultraschallwandlern A, B und einer Steuer- und Auswerteelektronik 4. Die Elektronik 4 umfasst einen Oszillator 7, der ein Taktsignal 8 erzeugt, mit dem die Wandler A, B angeregt werden. (Die Ultraschallsignale könnten wahlweise auch mit Hilfe eines kurzen Burst-Signals erzeugt werden.) Die beiden Wandler A, B erzeugen dadurch Ultraschallsignale 15, die zum jeweils anderen Wandler übertragen und dort detektiert werden. Aus der Laufzeit t12 eines Signals 15 in die eine Richtung und der Laufzeit t21 in die andere Richtung wird schließlich die Strömungsgeschwindigkeit v oder der Massestrom des strömenden Mediums 1 berechnet. Die Laufzeit der Signale ergibt sich aus der Phase der Ultraschallsignale 15 gegenüber einem Referenztakt, z. B. dem Taktsignal 8, plus einem ganzzahligen Vielfachen einer Periodendauer.
  • Zur Bestimmung der Phasenlage ΔΦ wird das empfangene Ultraschallsignal 15 zunächst einem A/D-Wandler 14 zugeführt und digitalisiert. Das digitalisierte Empfangssignal wird dann in zwei Signalpfade aufgeteilt und mit einem Demodulationssignal 18 und einem um pi/2 (90°) Phasen verschobenen Demodulationssignal 19 moduliert und dabei entweder unverändert weitergegeben oder invertiert. Das digitalisierte Empfangssignal 15 wird z. B. im Zustand „high" der Demodulationssignale 18, 19 unverändert weitergegeben und im Zustand „low" invertiert. Die Demodulationssignale 18, 19 werden von einer Einheit 17 aus dem Oszillatortakt 8 erzeugt. Die unveränderte Weitergabe bzw. Invertierung des digitalisierten Empfangssignals 15 entspricht einer Multiplikation mit den Werten +1 und –1. Die zugehörige Signaloperation ist daher durch zwei Multiplizierer 10 und 11 dargestellt. Die abschnittsweise invertierten Signale werden dann Tiefpassfiltern 12 bzw. 13 zugeführt, die zur Filterung hochfrequenter Störsignale dienen. Die Größen u1 bzw. u2 entsprechen dem Real- bzw. Imaginärteil des Phasenwinkels ΔΦ.
  • Die Demodulations-Einheit 27 von 5 umfasst drei solcher Quadratur-Demodulatoren 23a23c, die mit unterschiedlichen Demodulationsfrequenzen f1–f3 arbeiten. Die Demodulationsfrequenzen stehen dabei in einer bestimmten Relation zueinander, wie später noch anhand von 9 erläutert werden wird. Die abschnittsweise invertierten Signale (nach den Multiplizierern 10 bzw. 11) werden gemäß 5 jeweils einem zugehörigen Sinc-Filter 24a24c zugeführt, der im Wesentlichen als Tiefpassfilter wirkt.
  • Die Sinc-Filter 24a24c erzeugen an ihrem Ausgang jeweils ein Signal u1 und u2. Diese Werte u1, u2 stellen dabei die Komponenten eines Vektors u dar, dessen Winkel im Koordinatensystem gerade die Phasenlage ΔΦ bzw. α ist. 7a zeigt den Vektor u und die Komponenten u1, u2, sowie eine Phasenlage α1 des empfangenen Ultraschallsignals 15.
  • Die Robustheit bzw. Fehlertoleranz des Auswerteverfahrens kann erhöht werden, wenn die Abtasffrequenz des A/D-Wandlers 14 so gewählt wird, dass sie durch das ganzzahlige 4-fache aller verwendeten Demodulationsfrequenzen f1–f3 teilbar ist. Wird diese Bedingung nicht exakt erfüllt, kann es je nach Art des Demodulationssignals zu einem Phasenfehler Δ kommen. Dieser kann mittels einer einfachen Phasenkorrektur (siehe Block 28 in 4) eliminiert werden, wie sie im Folgenden erläutert werden wird. Dadurch ergeben sich größere Freiheiten bei der Wahl der Demodulationsfrequenzen und in Folge eine größere Fehlertoleranz des Noniusverfahrens.
  • Die Demodulationssignale 18, 19 können beispielsweise mit cos(ωt) und sin(ωt + Δ) angesetzt werden. Das mit der Demodultionsfrequenz f1–f3 modulierte Signal ergibt sich somit zu cos(ωt + φ) bzw. sin(ωt + φ + Δ). Nach den Sinc-Filtern 24a24c ergibt sich daraus u1 = 0,5·cos(φ) bzw. u2 = Im = 0,5·sin(Δ – φ).
  • Mittels der Korrektureinheit 28 können diese Werte phasenkorrigiert werden. Danach ergibt sich für die einzelnen Signale u1,kor = Re = 0,5·cos(φ) bzw. u2kor = Im = u1·tan(Δ) – Im·1/cos(Δ) = 0,5·sin(φ).
  • Diese Korrektur lässt sich mit sehr geringem Aufwand, beispielsweise in einer integrierten Schaltung, realisieren.
  • Am Ausgang der Demodulationseinheit 27 ist ein Multiplexer 25 vorgesehen. Die serielle Ausgabe der einzelnen Phaseninformationen u1, u2 mittels eines Multiplexers 25 wurde hier vor allem aus Kostenerwägungen gewählt. Alternativ könnten die folgenden Einheiten 29, etc. natürlich auch mehrfach parallel ausgeführt sein.
  • Die einzelnen Phaseninformationen u1, u2 aus den Sinc-Filtern 24a24c werden dann einem Cordic-Algorithmus 29 zugeführt, der eine Arcus-Tangens-Berechnung durchführt. Ergebnis dieser Berechnung sind jeweils ein Phasenwinkel α1–αn. Die einzelnen Phasenwinkel α1–αn an werden dann der Noniuseinheit 30 zugeführt.
  • 8 zeigt eine genauere Darstellung des Noniusverfahrens mittels linearer Abbildungen. Darin wird in Block 34 aus den Phasenwinkeln α1–αn ein gewichteter Mittelwert gebildet. Parallel dazu wird im unteren Ast zunächst eine erste lineare Abbildung durchgeführt (Block 31), bei der ein n-dimensionaler Vektor zunächst in einen n-1-dimensionalen Vektor T abgebildet wird. Nach einer Quantisierung im Modul 32 folgt eine weitere lineare Abbildung (Block 33), die einen Skalar erzeugt. (Bei weniger als drei Quadratur-Demodulatoren dient Einheit 33 als Gewichtungsfaktor). Im Block 35 werden dann der gewichtete Mittelwert und der aus der linearen Abbildung erzeugte Skalar modulo 2n addiert. In Block 36 wird das Ergebnis dann durch 2n dividiert. Dieses Verfahren liefert schließlich die Phasenlage ΔΦ bzw. den Phasenwinkel Φ des empfangenen Ultraschallsignals.
  • 8 zeigt den Frequenzgang eines empfangenen Ultraschallsignals 15 mit verschiedenen Demodulationsfrequenzen f1–f3. Die Frequenz f2 entspricht dabei der Resonanzfrequenz des Ultraschallsignals 15. Die Demodulationsfrequenz f3 ist höher und die Ferquenz f3 niedriger als die Resonanzfrequenz f2.

Claims (10)

  1. Ultraschallstömungssensor (6), insbesondere zum Bestimmen der Strömungsgeschwindigkeit (v) eines durch eine Rohrleitung (3) strömenden Mediums (1), umfassend wenigstens einen Ultraschallwandler (A, B) zum Aussenden und/oder Empfangen von Ultraschallsignalen (15), eine mit dem Ultraschallwandler (A, B) verbundene Anregungseinheit (7) und eine Auswerteeinheit (4), die eine Phasenverschiebung (ΔΦ) des empfangenen Ultraschallsignals (15) gegenüber einem Referenzsignal (8) oder einem Referenzwert ermittelt, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinheit (4) mehrere Quadratur-Demodulatoren (23a23c), die mit unterschiedlichen Demodulationsfrequenzen (f1–f3) arbeiten und jeweils eine Phaseninformation (Re/Im) über das empfangene Ultraschallsignal (15) ermitteln, und eine Noniuseinheit (30) umfasst, die aus den zugehörigen Phasenwinkeln (α1–αn) die gesuchte Phasenverschiebung (ΔΦ) oder eine dazu proportionale Größe (t) ermittelt.
  2. Ultraschallströmungssensor (6) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass drei oder mehr Quadratur-Demodulatoren (23a23c) vorgesehen sind.
  3. Ultraschallströmungssensor (6) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine der Demodulationsfrequenzen (f1–f3) der Resonanz- bzw. Oszillatorfrequenz entspricht, eine zweite der Demodulationsfrequenzen kleiner ist als die Resonanz- bzw. Oszillatorfrequenz und eine dritte der Demodulationsfrequenzen größer ist als die Resonanz- bzw. Oszillatorfrequenz.
  4. Ultraschallströmungssensor (6) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass am Eingang eines der Quadratur-Demodulatoren (23a23c) ein Analog/Digital-Wandler (22) vorgesehen ist, der das von einem Wandler (A, B) empfangene Ultraschallsignal (15) digitalisiert.
  5. Ultraschallströmungssensor (6) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Abtastfrequenz des Analog/Digital-Wandlers (22) durch das 4-fache oder Zweifache aller verwendeten Demodulationsfrequenzen (f1–f3) teilbar ist.
  6. Ultraschallströmungssensor (6) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jeder der Quadratur-Demodulatoren (23a23c) eine Einheit (10), die das empfangene und digitalisierte Ultraschallsignal (15) mit einem Demodulationssignal (f1–f3) moduliert, und eine Einheit (11) aufweist, die das empfangene und digitalisierte Ultraschallsignal (15) mit dem um 90° phasenverschobenen Demodulationssignal (f1–f3) moduliert.
  7. Ultraschallströmungssensor (6) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach den Quadratur-Demodulatoren (23a23c) eine Einheit zur Phasenkorrektur (28) vorgesehen ist.
  8. Ultraschallströmungssensor (6) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Nonius-Einheit (30) ein Nonius-Verfahren mittels linearer Abbildungen anwendet.
  9. Ultraschallströmungssensor (6) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einheit (29) zur Berechnung von Phasenwinkeln (α1–α3) vorgesehen ist, die aus der von den Quadratur-Demodulatoren (23a23c) gelieferten Phaseninformation jeweils einen Phasenwinkel (α1–α3) berechnet.
  10. Verfahren zum Bestimmen der Laufzeit (t) eines Ultraschallsignals (15), das von einem Ultraschallwandler (A, B) in eine Messstrecke (L) eingekoppelt wurde, wobei die Phasenverschiebung (ΔΦ) des Ultraschallsignals (15) gegenüber einem Referenzsignal als Maß für die Laufzeit (t) ermittelt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das von einem Wandler (A, B) empfangene Ultraschallsignal (15) digitalisiert und mehreren Quadratur-Demodulatoren (23a23c) zugeführt wird, die jeweils mit einem Demodulationssignal (f1–f3) unterschiedlicher Frequenz arbeiten und jeweils eine Phaseninformation (Re/Im) über das empfangene Ultraschallsignal (15) ermitteln, und dass aus den einzelnen Phaseninformationen (Re/Im) mittels eines Noniusverfahrens der Phasenwinkel (ΔΦ) oder eine dazu proportionale Größe (t) ermittelt wird.
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