DE102007012060A1 - Sensoranordnung zur Druckmessung - Google Patents

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    • G01L23/18Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by resistance strain gauges

Abstract

Mit der vorliegenden Erfindung wird eine Sensoranordnung (30) zur Druckmessung im Brennraum eines Verbrennungsmotors vorgeschlagen, mit der sich aufgrund hoher Messempfindlichkeit und großer thermischer Stabilität eine hohe Messgenauigkeit erzielen lässt. Der Aufbau der erfindungsgemäßen Sensoranordnung ermöglicht zudem eine hohe Systemflexibilität und insbesondere eine sehr platzsparende Montage im Brennraum eines Verbrennungsmotors. Dazu umfasst die erfindungsgemäße Sensoranordnung (30) mindestens ein elektrisch leitendes Federelement (31) und mindestens ein elektrisch leitendes Gegenelement (32), - wobei sich das Federelement (31) und das Gegenelement (32) über mindestens einen Kontaktbereich (35) in mechanischem Kontakt befinden, - wobei die Kontaktoberfläche des Federelements (31) ein anderes Krümmungsprofil aufweist als die Kontaktoberfläche des Gegenelements (32), so dass eine Kraft- oder Druckeinwirkung, die eine elastische Deformation des Federelements (31) bewirkt, in einer Größenveränderung des Kontaktbereichs (35) zwischen dem Federelement (31) und dem Gegenelement (32) resultiert, und - wobei die Kontaktoberfläche zumindest eines der beiden Elemente - des Federelements (31) und/oder des Gegenelements - mit einer hochohmigen Beschichtung (311) versehen ist, so dass eine Größenveränderung des Kontaktbereichs (35) in einer Veränderung des Widerstands der auf Federelement (31) und Gegenelement (32) bestehenden Anordnung resultiert.

Description

  • Stand der Technik
  • Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zur Druckmessung im Brennraum eines Verbrennungsmotors.
  • Es ist bekannt, den Verbrennungsprozess eines Verbrennungsmotors zu regeln bzw. zu steuern. Durch Regelung der Kraftstoffeinspritzung kann beispielsweise der Kraftstoffverbrauch eines Dieselmotors optimiert werden und der Geräuschpegel verringert werden. Auch die Emission von Ruß und NOx kann durch eine solche Regelung reduziert werden. Die Motorregelung basiert bevorzugt auf den im Brennraum herrschenden Druckverhältnissen, die mit Hilfe eines Brennraumdrucksensors erfasst werden. Ein solcher Sensor darf keine zu großen Abmessungen haben und muss eine gute thermische Stabilität bei hinreichender Empfindlichkeit aufweisen.
  • Bekannt sind Brennraumdrucksensoren, die mit einem Wandlerelement in Form eines piezoelektrischen Einkristalls, wie Quarz oder Langasit, oder einer Piezokeramik, wie PZT oder BIT, ausgestattet sind. Monokristalle erfordern eine aufwendige mechanische Bearbeitung und haben in der Regel eine relativ niedrige Messempfindlichkeit. Die alternativ verwendeten Piezokeramiken besitzen zwar eine hohe Empfindlichkeit, jedoch treten hier oft Hysterese- und Alterungseffekte auf.
  • Daneben sind piezoresistive Brennraumdrucksensoren bekannt, die Metall-Dehnmessstreifen oder Si-Wandlerelemente umfassen. Metallbasierte Dehnmessstreifen besitzen eine gute thermische Stabilität, eignen sich aber aufgrund ihrer niedrigen Empfindlichkeit und relativ großen Abmessungen nicht optimal für den Einsatz in einem Brennraumdrucksensor eines Verbrennungsmotors. Drucksensoren auf Siliziumbasis verfügen über eine relativ hohe Empfindlichkeit sind aber nur bis Temperaturen von ca. 140°C einsetzbar.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Mit der vorliegenden Erfindung wird eine Sensoranordnung zur Druckmessung im Brennraum eines Verbrennungsmotors vorgeschlagen, mit der sich aufgrund hoher Messempfindlichkeit und großer thermischer Stabilität eine hohe Messgenauigkeit erzielen lässt. Der Aufbau der erfindungsgemäßen Sensoranordnung ermöglicht zudem eine hohe Systemflexibilität und insbesondere eine sehr platzsparende Montage im Brennraum eines Verbrennungsmotors.
  • Dazu umfasst die erfindungsgemäße Sensoranordnung mindestens ein elektrisch leitendes Federelement und mindestens ein elektrisch leitendes Gegenelement, wobei sich das Federelement und das Gegenelement über mindestens einen Kontaktbereich in mechanischem Kontakt befinden. Die Kontaktoberfläche des Federelements weist ein anderes Krümmungsprofil auf als die Kontaktoberfläche des Gegenelements, so dass eine Kraft- oder Druckeinwirkung, die eine elastische Deformation des Federelements bewirkt, in einer Größenveränderung des Kontaktbereichs zwischen dem Federelement und dem Gegenelement resultiert. Außerdem ist die Kontaktoberfläche zumindest eines der beiden Elemente – des Federelements und/oder des Gegenelements – mit einer hochohmigen Beschichtung versehen, so dass eine Größenveränderung des Kontaktbereichs in einer Veränderung des Widerstands der aus Federelement und Gegenelement bestehenden Anordnung resultiert.
  • Bei der erfindungsgemäßen Sensoranordnung handelt es sich um einen piezoresistiven Mikrokontakt-Sensor. Die Umwandlung einer Kraft- bzw. Druckeinwirkungen in ein elektrisches Signal beruht hier darauf, dass der elektrische Widerstand zweier Körper, die sich über eine hochohmige Schicht in mechanischem Kontakt befinden, – hier das Federelement und das Gegenelement – von der Größe des Kontaktbereichs abhängt. Aufgrund der unterschiedlichen Oberflächenprofile der Kontaktflächen von Federelement und Gegenelement ändert sich die Größe des Kontaktbereichs entsprechend der einwirkenden Kraft. Neben den Oberflächenprofilen bestimmen der Aufbau sowie die mechanischen und elektrischen Eigenschaften von Federelement und Gegenelement die Last-Widerstand-Kennlinie der Sensoranordnung, so dass die Last-Widerstand-Kennlinie durch einfache konstruktive Maßnahmen an die Anforderungen der jeweiligen Anwendung angepasst werden kann.
  • Grundsätzlich gibt es verschiedene Möglichkeiten für die Realisierung einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung, sowohl was die einzelnen Komponenten der Sensoranordnung betrifft als auch im Hinblick auf die Anzahl der Komponenten und deren Anordnung.
  • Wie bereits erwähnt, ist die Kontaktoberfläche zumindest eines der beiden leitenden Elemente – des Federelements und/oder des Gegenelements – mit einer hochohmigen Beschichtung versehen. Das Federelement und/oder das Gegenelement sind also als Verbundelement aus mindestens zwei Materialien mit unterschiedlichem spezifischen Widerstand hergestellt, so dass der Gesamtwiderstand der Anordnung aus Federelement und Gegenelement im Wesentlichen durch die hochohmige Beschichtung bestimmt wird. Deshalb ist hier die Fläche des Kontaktbereichs maßgeblich für den Gesamtwiderstand, der dann umgekehrt proportional von der einwirkenden Kraft abhängt. Als Beschichtungsmaterialien eignen sich beispielsweise Halbleitermaterialien, wie SiO2 oder Si3N4. Die Empfindlichkeit der erfindungsgemäßen Sensoranordnung kann durch Verwendung piezoresistiver Beschichtungsmaterialien, wie beispielsweise SiC oder DLC, noch verbessert werden.
  • Im Hinblick auf einen einfachen Aufbau der erfindungsgemäßen Sensoranordnung ist es vorteilhaft, wenn das Gegenelement feststeht und bei einer Kraft- oder Druckeinwirkung keine wesentliche Deformation erfährt.
  • Erfindungsgemäß sollen sich die Krümmungsprofile der Kontaktoberflächen von Federelement und Gegenelement unterscheiden, so dass der mechanische Kontakt nur über einen oder mehrere Kontaktbereiche zustande kommt. Dazu kann eine Kontaktoberfläche beispielsweise homogen verformt sein. Gekrümmte Bereiche in einer Kontaktoberfläche können aber auch durch Einprägen eines definierten Oberflächenprofils erzeugt werden. Aus technologischer Sicht, beispielsweise zum Aufbringen der hochohmigen Beschichtung, kann es von Vorteil sein, wenn die zu beschichtende Kontaktoberfläche eben ist. Wenn die Federwirkung des Federelements durch eine gekrümmte Struktur erzielt wird, kann das Gegenelement vorteilhafter Weise eben ausgebildet sein.
  • Da der Widerstand hochohmiger Schichtmaterialien oftmals stark temperaturabhängig ist, müssen für bestimmte Anwendungen der erfindungsgemäßen Sensoranordnung Maßnahmen zur Temperaturkompensation getroffen werden. In einer besonders vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung wird der Temperatureinfluss durch eine Kombination von konstruktiven Maßnahmen und schaltungstechnischen Maßnahmen korrigiert. Dazu wird die Sensoranordnung spiegelsymmetrisch aufgebaut, so dass sie entweder mindestens ein Gegenelement umfasst, das zwischen zwei Federelementen angeordnet ist, oder mindestens ein Federelement, das zwischen zwei Gegenelementen angeordnet ist. Zwischen zwei aneinander grenzenden Elementen befindet sich jeweils mindestens ein Kontaktbereich, so dass eine derartige Anordnung mindestens zwei Kontaktbereiche zwischen einem Federelement und einem Gegenelement aufweist. Die Widerstände dieser beiden Kontaktbereiche ändern sich bei einer Krafteinwirkung gegenläufig. Sie werden in einer Messbrücke so miteinander verschaltet, dass sich der Temperatureinfluss auf die Messgrößen aufhebt.
  • Es gibt Anwendungen, für die eine Stand-alone-Realisierung der erfindungsgemäßen Sensoranordnung sinnvoll ist, beispielsweise im Brennraum eines Otto-Motors. Die erfindungsgemäße Sensoranordnung lässt sich aber nicht nur einfach montieren sondern auch durch entsprechende konstruktive Maßnahmen in spezielle Anwendungsumgebungen integrieren.
  • Z. B. für die Brennraumdruckerfassung bei Dieselmotoren erweist es sich als vorteilhaft, wenn das mindestens eine Federelement und das mindestens eine Gegenelement der erfindungsgemäßen Sensoranordnung ringförmig ausgebildet sind und das Federelement eine torusförmig gewölbte Kontaktoberfläche aufweist. In diesem Fall kann die Sensoranordnung nämlich einfach in eine Zylinderkopfkomponente integriert werden, insbesondere in eine Glühstiftkerze oder in einen Injektor. Über die offene Ringmitte können Zuleitungen für die Zylinderkopfkomponenten geführt werden, wie z. B. für den Glühstrom bei Integration der Sensoranordnung in eine Glühkerze oder für Kraftstoff bei Integration der Sensoranordnung in einen Injektor.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Wie bereits voranstehend erörtert, gibt es verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu wird einerseits auf die Patentansprüche und andererseits auf die nachfolgende Beschreibung mehrerer Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen verwiesen.
  • 1 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer Messanordnung zur Brennraumdruckerfassung mit Hilfe einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung;
  • 2a/b veranschaulichen das Funktionsprinzip einer piezoresistiven Mikrokontakt-Sensoranordnung;
  • 3a/b zeigen den Aufbau einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung; und
  • 4 bis 6 zeigen schematische Schnittdarstellungen von drei Varianten einer temperaturkompensierten Sensoranordnung entsprechend der Erfindung.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • Bei der in 1 dargestellten Messanordnung 10 dient eine Zylinderkopfkomponente, nämlich ein Glühstift 1, als Druck-Kraft-Wandlerelement. Das eine Ende des Glühstifts 1 ragt in den Brennraum hinein. Am Umfang des dem Brennraum abgewandten Endes des Glühstifts 1 ist ein Stützrohr 2 befestigt, das über dieses Ende des Glühstifts 1 hinausragt. Brennraumseitig ist der Glühstift 1 über eine linear-elastische Dichtungsmembran 3 mit einer Hülse 4 verbunden, die eine Führung für das Stützrohr 2 bildet, so dass der Glühstift 1 in axialer Richtung 11 verschiebbar gelagert ist. Die Hülse 4 ist auf der dem Brennraum abgewandten Seite mit einem ringförmigen Widerlager 5 für das Stützrohr 2 versehen. Das Widerlager 5 dient außerdem als Träger für eine ebenfalls ringförmig ausgebildete Sensoranordnung 6 entsprechend der Erfindung. Bei der hier dargestellten Messanordnung 10 werden die im Brennraum herrschenden Druckverhältnisse als Krafteinwirkung F über den verschiebbar gelagerten Glühstift 1 mit dem Stützrohr 2 direkt auf die Sensoranordnung 6 übertragen. Die Sensoranordnung 6 wird in der Regel zwischen dem Widerlager und dem Stützrohr vorgespannt, so dass bei der Montage entstehende Anzugsmomente und thermisch induzierte mechanische Spannungen im Zylinderkopf nahezu keine Auswirkungen auf die Sensoranordnung 6 haben. Die Glühstromzuleitung 7 für den Glühstift 1 ist durch das Stützrohr 2, die Ringöffnung der Sensoranordnung 6 und des Widerlagers 5 geführt.
  • Das Funktionsprinzip eines Mikrokontakt-Sensorelements, auf dem auch die in 1 dargestellte Sensoranordnung 6 beruht, wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die 2a und 2b erläutert. Eine Mikrokontakt-Sensoranordnung besteht aus mindesten zwei Teilen, hier den Teilen 21 und 22, die sich über mindestens einen Kontaktbereich 23 in mechanischem Kontakt befinden. Die beiden Teile 21 und 22 bilden zusammen einen elektrischen Widerstand, der im Wesentlichen durch die Größe des Kontaktbereichs 23 bestimmt wird. Die Kontaktoberfläche des Teils 21 ist gekrümmt und mit einer hochohmigen Schicht 24 versehen, die einen höheren spezifischen Widerstand besitzt als das elektrisch leitende Trägermaterial des Teils 21. So kann als Trägermaterial beispielsweise ein Metall verwendet werden, das mit einem Halbleitermaterial, wie SiO2 oder Si3N4 beschichtet ist. Im Unterschied dazu ist die Kontaktoberfläche des metallischen Teils 22 im Wesentlichen eben ausgebildet und nicht beschichtet. Deshalb wird der Gesamtwiderstand der beiden Teile 21 und 22 im Wesentlichen durch die hochohmige Schicht 24 und die Größe des Kontaktbereichs 23 bestimmt. Die zu erfassende Kraft F wirkt auf die beiden Teile 21 und 22 ein, wodurch sie gegeneinander gepresst werden und zumindest eines der beiden Teile 21 und/oder 22 elastisch deformiert wird. Dabei verändert sich die Größe des Kontaktbereichs 23 und folglich auch der elektrische Widerstand der gesamten Anordnung. Somit besteht eine definierte Abhängigkeit zwischen dem Widerstand der Sensoranordnung und der auf diese einwirkenden Kraft F. Die Empfindlichkeit der Sensoranordnung kann noch zusätzlich verstärkt werden, wenn ein piezoresistives Schichtmaterial, wie SiC oder DLC, für die hochohmige Schicht 24 verwendet wird.
  • In Verbindung mit den 3a und 3b wird eine Sensoranordnung 30 beschrieben, die für eine Messanordnung gemäß 1 konzipiert ist. Diese Sensoranordnung 30 umfasst ein Federelement 31, das in 3a in Alleinstellung dargestellt ist. Das Federelement 31 ist in Form einer beschichteten ringförmigen Metalltellerfeder 311 realisiert, die torusförmig gewölbt ist. Die nach oben gewölbte Oberfläche der Metalltellerfeder 311 ist mit einer hochohmigen Halbleiterschicht 312 versehen. 3b zeigt das Federelement 31 in einer Anordnung zwischen zwei metallischen lochscheibenförmigen Gegenelementen 32 und 33 mit Anschlüssen 34 für eine Messspannung zum Erfassen des elektrischen Widerstands dieser Sensoranordnung 30. Der für den elektrischen Widerstand maßgebliche Kontaktbereich 35 ist hier kreisringförmig entsprechend der Wölbung des Federelements 31 zwischen der beschichteten Oberfläche des Federelements 31 und dem unteren Gegenelement 32 ausgebildet.
  • Die 4 bis 6 zeigen Weiterbildungen dieser einfachsten Variante einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung, bei denen eine etwaige Temperaturabhängigkeit des Widerstands der hochohmigen Beschichtung des Federelements durch geschickten Aufbau der Sensoranordnung und geschickte Verschaltung kompensiert wird. Bei allen drei in den 4 bis 6 dargestellten Varianten ist die Sensoranordnung spiegelsymmetrisch aufgebaut, so dass in der Sensoranordnung mindestens zwei Kontaktbereiche zwischen einem Federelement und einem Gegenelement ausgebildet sind.
  • So umfasst die in 4 dargestellte Sensoranordnung 40 ein lochscheibenförmiges Gegenelement 41, das zwischen zwei Federelementen 42 und 43 angeordnet ist, die in Form von beschichteten ringförmigen Metalltellerfedern realisiert sind, wie das in 3a dargestellte Federelement 31. Die torusförmig nach oben gewölbten Oberflächen der beiden Federelemente 42 und 43 bilden jeweils die Kontaktoberflächen zum Gegenelement 41, so dass sowohl zwischen dem unteren Federelement 42 und dem Gegenelement 41 als auch zwischen dem oberen Federelement 43 und dem Gegenelement 41 ein kreisringförmiger Kontaktbereich 4142 bzw. 4143 besteht. Die Sensoranordnung 40 umfasst neben dem mittleren Gegenelement 41 noch ein unteres lochscheibenförmiges Gegenelement 44 und ein oberes lochscheibenförmiges Gegenelement 45. Alle Gegenelemente 41, 44 und 45 bestehen aus einem elektrisch leitenden Material, wie z. B. Metall, so dass der Spannungsabfall über den Kontaktbereichen 4142 und 4143 einzeln zwischen den Gegenelementen 41 und 44 bzw. zwischen den Gegenelementen 41 und 45 abgegriffen werden kann.
  • Die den beiden Kontaktbereichen 4142 und 4143 entsprechenden Widerstände sind zu einer Halbbrücke einer Wheatstoneschen Brückenschaltung verschaltet. Zwei definierte Widerstände R1 und R2 bilden die andere Halbbrücke, so dass mit der Brückenschaltung die relativen Widerstandsänderungen der Kontaktbereiche 4142 und 4143 erfasst werden, die temperaturunabhängig sind.
  • Die beiden Federelemente 42 und 43 der Sensoranordnung 40 sind vorgespannt. Die zu messende Kraft wird auf das mittlere Gegenelement 41 eingeleitet und bewirkt eine zusätzliche Be- bzw. Entlastung der Federelemente 42 und 43. Dementsprechend verändert sich die Größe der jeweiligen Kontaktbereiche 4142 bzw. 4143. Wie bereits erwähnt, ist die daraus resultierende relative Widerstandsänderung temperaturunabhängig und kann einfach mit Hilfe der Brückenschaltung erfasst werden.
  • Die in 5 dargestellte Sensoranordnung 50 unterscheidet sich von der in 4 dargestellten Sensoranordnung 40 im wesentlichen nur dadurch, dass hier die beiden ebenen Kontaktflächen des lochscheibenförmigen mittig zwischen den Federelementen 52 und 53 angeordneten Gegenelements 51 mit einer hochohmigen Beschichtung 511 versehen sind und nicht die Kontaktflächen der Federelemente 52 und 53. Dies wirkt sich aber nicht auf die Funktionsweise der Sensoranordnung 50 aus, die der der Sensoranordnung 40 entspricht. Außerdem wurde in 5 auf die Darstellung von weiteren Gegenelementen verzichtet, was ebenfalls unerheblich für die Funktionsweise ist.
  • Im Unterschied zu den in den 4 und 5 dargestellten Varianten zeigt 6 eine Sensoranordnung 60 mit einem Federelement 61, das zwischen zwei Gegenelementen 62 und 63 angeordnet ist. Während die Gegenelemente 62 und 63 wieder in Form von metallischen Lochscheiben realisiert sind, sind hier beide Kontaktoberflächen des ringförmigen Federelements 61 torusförmig gewölbt und mit einer hochohmigen Beschichtung 611 versehen. Der Signalabgriff erfolgt hier wie in Verbindung mit 4 erläutert mit Hilfe einer Messbrücke.
  • Abschließend sei nochmals darauf hingewiesen, dass die erfindungsgemäße Sensoranordnung zur Druckerfassung im Brennraum eines Kraftfahrzeugs sowohl in eine Zylinderkopf komponente integriert werden kann, wie beispielhaft in Verbindung mit 1 beschrieben, als auch als Stand-alone-Komponente eingesetzt werden kann.

Claims (10)

  1. Sensoranordnung (30) zur Druckmessung im Brennraum eines Verbrennungsmotors, mit mindestens einem elektrisch leitenden Federelement (31) und mindestens einem elektrisch leitenden Gegenelement (32), – wobei sich das Federelement (31) und das Gegenelement (32) über mindestens einen Kontaktbereich (35) in mechanischem Kontakt befinden, – wobei die Kontaktoberfläche des Federelements (31) ein anderes Krümmungsprofil aufweist als die Kontaktoberfläche des Gegenelements (32), so dass eine Kraft- oder Druckeinwirkung, die eine elastische Deformation des Federelements (31) bewirkt, in einer Größenveränderung des Kontaktbereichs (35) zwischen dem Federelement (31) und dem Gegenelement (32) resultiert, und – wobei die Kontaktoberfläche zumindest eines der beiden Elemente – des Federelements (31) und/oder des Gegenelements – mit einer hochohmigen Beschichtung (311) versehen ist, so dass eine Größenveränderung des Kontaktbereichs (35) in einer Veränderung des Widerstands der aus Federelement (31) und Gegenelement (32) bestehenden Anordnung resultiert.
  2. Sensoranordnung (30) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die hochohmige Beschichtung (311) aus einem Material besteht, dessen spezifischer Widerstand um mindestens eine Größenordnung höher ist als der spezifische Widerstand des Federelementmaterials und des Gegenelementmaterials, insbesondere aus einem Halbleitermaterial und insbesondere aus SiO2 oder Si3N4.
  3. Sensoranordnung (30) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die hochohmige Beschichtung (311) aus einem piezoresistiven Schichtmaterial besteht, insbesondere aus SiC oder aus diamantartigem Kohlenstoff (DLC).
  4. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Gegenelement feststeht und bei einer Kraft- oder Druckeinwirkung keine wesentliche Deformation erfährt.
  5. Sensoranordnung (30) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktoberfläche des Gegenelements (32) im Wesentlichen eben ist.
  6. Sensoranordnung (40) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Federelement (42, 43) und das mindestens eine Gegenelement (41) spiegelsymmetrisch angeordnet sind, so dass diese Anordnung mindestens zwei Kontaktbereiche (4142, 4143) zwischen einem Federelement (42, 43) und einem Gegenelement (41) umfasst, und dass die beiden durch die Kontaktbereiche (4142, 4143) realisierten Widerstände in einer Messbrücke miteinander verschaltet sind.
  7. Sensoranordnung (40) nach Anspruch 6 mit mindestens einem Gegenelement (41), das zwischen zwei Federelementen (42, 43) angeordnet ist.
  8. Sensoranordnung (60) nach Anspruch 6 mit mindestens einem Federelement (61), das zwischen zwei Gegenelementen (62, 63) angeordnet ist.
  9. Sensoranordnung (30) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Federelement (31) und das mindestens eine Gegenelement (32) ringförmig ausgebildet sind und das Federelement (31) eine torusförmig gewölbte Kontaktoberfläche aufweist.
  10. Sensoranordnung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Federelement und das mindestens eine Gegenelement in eine Zylinderkopfkomponente, insbesondere eine Glühstiftkerze (1), einen Injektor oder eine Zündkerze, integriert sind.
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FR0851544A FR2916273B1 (fr) 2007-03-13 2008-03-11 Dispositif de capteur pour mesurer une pression
JP2008063110A JP5300290B2 (ja) 2007-03-13 2008-03-12 圧力を測定するためのセンサ装置
US12/075,650 US7549343B2 (en) 2007-03-13 2008-03-12 Sensor system for measuring pressure

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FR (1) FR2916273B1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008041937A1 (de) 2008-09-10 2010-03-11 Robert Bosch Gmbh Drucksensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Drucksensoranordnung
DE102008042447A1 (de) 2008-09-29 2010-04-01 Robert Bosch Gmbh Drucksensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Drucksensoranordnung
WO2015086254A1 (de) * 2013-12-11 2015-06-18 Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg Drucksensor

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008042645A1 (de) * 2008-10-07 2010-04-08 Robert Bosch Gmbh Brennraumdrucksensor
US20150020612A1 (en) * 2013-07-17 2015-01-22 Ag Leader Technology Method and means to monitor seeder row unit downforce
JP6399018B2 (ja) * 2016-03-03 2018-10-03 トヨタ自動車株式会社 内燃機関

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2802625C3 (de) * 1978-01-21 1985-07-18 BERU Ruprecht GmbH & Co KG, 7140 Ludwigsburg Glühkerze
US4728920A (en) * 1987-05-29 1988-03-01 Chrysler Motors Corporation Pressure transducer
DE58906413D1 (de) * 1988-07-14 1994-01-27 Blomberg Gmbh Robotertechnik Taktiler Sensor.
JPH04140623A (ja) * 1990-10-01 1992-05-14 Omron Corp 荷重センサ
JPH0650220A (ja) * 1992-07-28 1994-02-22 Texas Instr Japan Ltd 加熱装置および内燃機関用加熱システム
JPH0773958A (ja) * 1993-09-03 1995-03-17 Texas Instr Japan Ltd 加熱装置
JP3619845B2 (ja) * 1994-09-02 2005-02-16 ヴォルケーノ・セラピューテックス・インコーポレイテッド 超小型圧力センサを用いるガイドワイヤ
US5828290A (en) * 1997-08-22 1998-10-27 Cts Corporation Modular position sensor
US6396677B1 (en) * 2000-05-17 2002-05-28 Xerox Corporation Photolithographically-patterned variable capacitor structures and method of making
DE10304138B3 (de) * 2003-02-03 2004-07-15 Robert Bosch Gmbh Zündspule mit einer Verbindungseinrichtung zur Kontaktierung mit einer Zündkerze
DE10333438A1 (de) * 2003-07-23 2005-02-17 Robert Bosch Gmbh Brennraumdrucksensor mit Metallmembran mit piezoresistiver Metalldünnschicht
JP4316474B2 (ja) * 2004-11-02 2009-08-19 株式会社デンソー 燃焼室圧力検出装置
JP2007033383A (ja) * 2005-07-29 2007-02-08 Hitachi Metals Ltd 圧力検出素子
AT503662B1 (de) * 2006-04-20 2007-12-15 Piezocryst Advanced Sensorics Glühkerze mit integriertem drucksensor

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008041937A1 (de) 2008-09-10 2010-03-11 Robert Bosch Gmbh Drucksensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Drucksensoranordnung
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