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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur automatischen,
berührungslosen, lichtstarken
und schnellen Messung hoher Gangunterschiede R von doppelbrechenden
und durchsichtigen optischen Medien oder Proben und zur gleichzeitigen
Erfassung der Orientierungslage der optischen Achse dieser Proben
(Auslöschungsschiefe)
mit einem Keilkompensator in der ersten Ordnung analog einem Wrightschen
Okular, photoelektrischer Abtastung bei mehreren Wellenlängen und
mechanischer, azimutaler Drehung dieses Mess-Systems, insbesondere
von Folien und anderen Flächengebilden, aber
auch von Fasern und Filamenten, sowohl im Labor, am Mikroskop als
auch online während
des Herstellungsprozesses mit schnellen oder langsamen Veränderungen
(ms- oder Sekundenbereich). Nach dem Verfahren können alle durchsichtigen Folien
und anderen Flächengebilde,
aber auch Fasern und Filamente im noch schmelzeflüssigen Zustand
bei der Herstellung oder im festen und ruhenden Zustand untersucht
werden. Die Messung des Gangunterschiedes R der genannten Proben
ist deshalb wichtig, weil sich daraus mit Hilfe der Dicke D dieser
Proben die Doppelbrechung Δn = R/D (1)ergibt, die
in vielen Fällen
die Orientierung der Makromoleküle
in den Folien und Fasern charakterisiert, deren Kenntnis für Grundlagenuntersuchungen
oder technische Eingriffe wichtig ist (Proportionalität zur Festigkeit,
umgekehrte Proportionalität
zur Reißdehnung;
Gleichmäßigkeit
der Doppelbrechung ist zur Farbgleichmäßigkeit proportional, usw).
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Die
Doppelbrechung Δn
ist dabei im Falle der Fasern immer die Differenz der Brechungsindizes
parallel und senkrecht zur Faserlängsachse, d. h. Δn
= n|| – n⊥. (2)
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Für den Gangunterschied
R gilt dies analog. Im Falle von optisch einachsigen Fasern mit
dem Durchmesser D ist der Gangunterschied R die Differenz der optischen
Lichtwege n||·D und n⊥·D, d.
h. R = (n|| – n⊥)·D. (3)
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Im
ersten Fall (n||·D) schwingt der elektrische Vektor
des Lichtes senkrecht zur Ausbreitungsrichtung, aber parallel zur
Zylinderachse der Faser. Im zweiten Fall schwingt er senkrecht dazu.
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Ist
der Gangunterschied R kleiner als die verwendete Vakuum-Lichtwellenlänge λ, dann nennt man
dieses Gebiet das Gebiet der 1. Ordnung (N + 1 = 1, also N = 0).
Liegt der Gangunterschied zwischen den Wellenlängen λ und 2λ, dann ist dies das Gebiet der
2. Ordnung (N + 1 = 2, also N = 1) usw. Man spricht ganz allgemein
von der optischen Ordnung (N + 1).
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[Stand der Technik]
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Zur
automatischen und berührungslosen
Bestimmung des Gangunterschiedes im Gebiet bis zu einer Wellenlänge wird
vielfach die Senarmont-Methode eingesetzt (
CH342768 ,
DE-AS 1097167 ,
DE 4123936 A1 ,
DE 4235065 A1 und
DE 19529899 A1 ), die
mit monochromatischem Licht arbeitet. Für größere Gangunterschiede ist dieses
Verfahren nicht geeignet.
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Bei
Gangunterschieden von größer als
einer Lichtwellenlänge λ wird deshalb
die Soleil-Babinet-Methode angewendet (
DE 4123935 A1 und
DE 4235065 A1 ),
die mit weißem
Licht arbeitet. Nach
DE 3 129
505 ist der Messbereich sogar auf eine halbe Wellenlänge beschränkt.
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Patente
mit mehreren Wellenlängen
gehen nicht auf die Konvergenz der verschiedenen Ordnungen bei verschiedenen
Wellenlängen
ein (
US 4 973 163 ).
In
US 5 406 371 ist
zwar die Möglichkeit
der Variation der Wellenlängen
vorhanden, sie ist aber nicht gleichzeitig für die im vorliegenden Patent
als Mess- und Hilfswellenlänge bezeichneten
Größen realisierbar.
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Einen
Ausweg bei der Bestimmung des Gangunterschiedes beim Vorliegen von
Falschfarben bietet hier die Senarmont-Methode, allerdings angewendet
mit zwei Wellenlängen.
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Für Gangunterschiede
R > λ wird das
Minimum der Differenz der Gangunterschiede der beiden Strahlen unterschiedlicher
Wellenlängen
bestimmt (
DE 4306050
A1 ). Der Nachteil dieser Methode ist jedoch, daß sie wegen
der zeitlich aufwendigen Bestimmung des Minimums nicht schnell genug
ist, d. h. es sind keine hohen Abtastfrequenzen möglich. Außerdem ist
die Genauigkeit wegen des flachen Maximums eingeschränkt.
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Hohe
Abtastfrequenzen sind aber notwendig, um beim Herstellungsprozeß die schnelle
Verlagerung von besonderen Erscheinungen, z. B. die Schulter (neck
point) beim Schnellspinnen oder beim Verstreckprozeß zu erfassen.
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Außerdem werden
hohe Abtastfrequenzen in der Qualitätsprüfung verlangt, wenn z. B. ein
Monofilament von der Spule abgewickelt wird und die Orientierung
längs des
Fadens bei hoher Abzugsgeschwindigkeit ermittelt werden soll.
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Eine
elegante Methode zur Lösung
dieser Probleme ist die Anwendung des Senarmont-Verfahrens mit mindestens
zwei Wellenlängen
in sehr vielen Winkellagen des Analysators (
DE 198 19 670 A1 ).
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Wird
dieses letztgenannte Verfahren zur Messung des Gangunterschiedes
von glänzenden und
beispielsweise 15 μm
dicken Fasern mit geringster Lichtstreuung eingesetzt, dann ist
die gleichzeitige (simultane) Messung der Lichtintensitäten bei mindestens
zwei Wellenlängen
in sehr vielen Winkellagen (z. B. 10) des Analysators sehr schwierig,
weil sich das gestreute Licht ebenso auf sehr viele Empfänger verteilt.
Dieses beschriebene Verfahren ist also zu lichtschwach und damit
letztlich zu ungenau.
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Ein
neueres Patent (
DE 10 2004
051 247 ) beschreibt ein Verfahren, indem die Senarmont-Methode
simultan oder zeitlich sukzessiv mit der diskreten Fourier-Analyse
(DFA) mit vorzugsweise drei Winkellagen und mindestens zwei Mess-Wellenlängen durchgeführt wird.
Beim Senarmont-Verfahren mit simultaner DFA werden zur Abtastung
des vom zu messenden Objekt kommenden Signals vorzugsweise drei
Winkellagen gleichzeitig realisiert und mindestens drei Lichtleitkabel
mit vorgeschalteter λ/4-Platte und drei Polarisatoren
benötigt.
Beim Senarmont-Verfahren
mit zeitlich sukzessiver DFA werden nur ein Lichtleitkabel, ein
Photoempfänger
und ein elektrischer Verstärker
benötigt.
Damit erhöht sich
die Lichtstärke
gegenüber
dem oben genannten Senarmont-Verfahren mit sehr vielen Winkellagen des
Analysators.
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Nachteilig
ist bei den genannten Verfahren zur Bestimmung kleiner Gangunterschiede,
dass die Orientierung der optischen Achse der Probe nicht gleichzeitig
bestimmt werden kann, weil dazu der Mechanismus fehlt. Aber gerade
die optische Achse ist z. B. am Rande von Folien sowohl bei ihrer
Herstellung als auch bei der Weiterverarbeitung nicht unbedingt
der Abzugsrichtung oder anderer Vorzugsrichtungen parallel (Auslöschungsschiefe).
Ohne Korrektur der Orientierung der Messapparatur können schon
bei Winkelabweichungen bis zu 5° Fehler
beim Gangunterschied von über
2% wirksam werden.
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Bei
den Verfahren zur Bestimmung großer Gangunterschiede muss zusätzlich zur
Negation der Auslöschungsschiefe
die Linearität
der Photoempfänger
vorausgesetzt werden. Sie ist von vornherein nicht immer gegeben.
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Außerdem sind
bei kleinen Proben und dünnen
Fäden die
genannten Verfahren nicht lichtstark genug. Dies betrifft insbeson dere
das Mehrfarben-Senarmont-Verfahren mit diskreter Fourier-Analyse,
weil hier beim Betrieb mit zwei Wellenlängen und drei Kanälen pro
Wellenlänge
sich die zur Messung verfügbare
Lichtintensität
auf sechs Kanäle
verteilt.
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[Aufgabe der Erfindung]
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Aufgabe
der Erfindung ist die Entwicklung eines Verfahrens und einer Vorrichtung
für die
automatische, berührungslose,
lichtstarke und schnelle Messung hoher Gangunterschiede R von doppelbrechenden
und durchsichtigen optischen Medien oder Proben und zur gleichzeitigen
Erfassung der Orientierungslage der optischen Achse dieser Proben
(Auslöschungsschiefe),
wobei die Linearität
der Photoempfänger
nicht vorausgesetzt werden muss, sowohl im Labor, am Mikroskop als
auch on-line während des
Herstellungsprozesses mit schnellen oder langsamen Veränderungen
(ms- oder Sekundenbereich).
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Erfindungsgemäß wird die
Aufgabe dadurch gelöst,
dass die Messung mit einem Keilkompensator in der ersten Ordnung
analog einem Wrightschen Okular, photoelektrischer Abtastung bei
mehreren Wellenlängen
und mechanischer, azimutaler Drehung dieses Mess-Systems durchgeführt wird.
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Die
Verwendung des Keilkompensators in Verbindung mit zwei Wellenlängen und
photoelektrischer Abtastung mittels zweier CCD-Zeilen kommt z. B.
mit nur zwei Kanälen
aus und ist deshalb auch lichtstark, schnell und für die Messung
hoher Gangunterschiede geeignet. Durch die Drehung des Mess-Systems
wird in komplizierten Fällen
die Messung überhaupt
erst möglich
und die Orientierung der optischen Achse der Probe (die Auslöschungsschiefe)
kann angegeben werden.
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Das
Verfahren kann zur automatischen, berührungslosen, lichtstarken und
schnellen Messung des Gangunterschiedes doppel brechender Proben herangezogen
werden, selbst wenn sich die Lage der optischen Achse der Probe ändert. Die
Ausführung des
Verfahrens wird an den folgenden Beispielen erläutert.
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[Beispiele]
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1. Schema des Verfahrens
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1.1 Große Gangunterschiede
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In 1 ist
das Schema des Verfahrens dargestellt, wonach die Strahlung der
Lichtquelle (2) über
den Kondensor (3) und den Polarisator (4) auf die
Probe (5) gelangt, die mit der Linse (6) in die
Zwischenbildebene abgebildet wird. Zur Messung des Gangunterschiedes
bei der Mess-Wellenlänge λ1 wird
ein Keilkompensator (7) (in der ersten Ordnung) analog
einem Wrightschen Okular verwendet. Hinter dem Kompensator (7)
befindet sich der Analysator (8). Durch die Verwendung
der beiden Filter (9) und (10) wird ein Zweiwellenlängen-Mess-Verfahren
garantiert, wobei λ1 die Mess-Wellenlänge und λ2 die Hilfs-Wellenlänge bedeuten.
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Mit
den CCD-Zeilen wird die Intensität
des Lichtes entlang des Keilkompensators verfolgt, getrennt für die Mess-Wellenlänge (11)
und für
die Hilfs-Wellenlänge
(12). Nach der Verstärkung
der Strahlungsintensitäten
mit den Verstärkern
(13) und (14) wird mit dem PC (15) das
jeweilige Intensitätsminimum
für die
Strahlung der Mess-Wellenlänge λ1 und
der Hilfs-Wellenlänge λ2 ermittelt.
Durch die bekannte Zuordnung vom Ort des Intensitätsminimums und
dem Gangunterschied R beim Keilkompensator (7) können die
Gangunterschiede Rλ1(1) und Rλ2(1)
in der ersten Ordnung angegeben werden. Der PC berechnet daraus
die absolute und gerundete Größe N = {Rλ2(1) – Rλ1(1)}/{λ1 – λ2},
woraus sich der Gangunterschied Rλ1 für die Mess-Wellenlänge λ1 zu
Rλ1 = Rλ1(1)
+ N·λ1 ergibt.
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Der
PC dient
- – zum
Aufsuchen des Intensitätsminimums
Iλ1 und Bestimmung
der Zuordnung des Ortes L und des Gangunterschiedes Rλ1(1)
in der ersten Ordnung für
die Mess-Wellenlänge;
- – zum
Aufsuchen des Intensitätsminimums
Iλ2 und Bestimmung
der Zuordnung des Ortes L und des Gangunterschiedes Rλ2(1)
in der ersten Ordnung für
die Hilfs-Wellenlänge;
- – zum
Berechnen der absoluten und gerundeten Größe N = {Rλ2(1) – Rλ1(1)}/{λ1 – λ2}
und schließlich
- – zum
Berechnen des gesuchten Gangunterschiedes für die Wellenlänge λ1 Rλ1 = Rλ1(1)
+ N·λ1.
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Die
mechanische Achse, die in der optischen Achse des Mess-Systems liegt ist
mit einem Schrittmotor gekoppelt, der das gesamte Mess-System azimutal
um den Winkel α drehen
kann. Der Schrittmotor wird solange gedreht, bis das Minimum der
Intensität
der Strahlung der Wellenlänge λ1(Iλ1)
erreicht ist. Dann liegt der Keilkompensator senkrecht zur Probe. Die
Berechnung des gesuchten Gangunterschiedes Rλ1 kann
beginnen Für
die einwandfreie Messung müssen
Probe und Keilkompensator sowie Polarisator und Analysator jeweils
senkrecht aufeinander stehen, wie dies in 2 dargestellt
ist.
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Die
gegenseitige Zuordnung von Dicke D des Keilkompensators (7)
und Gangunterschied R wird im ersten Teilbild von 3 gezeigt.
Der schwarze Balken soll das Lichtintensitätsminimum andeuten.
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In
der gleichen 3 darunter ist die zum Keilkompensator
(7) zugeordnete Lage der CCD-Zeile (11) angegeben,
bei der sich das im Keilkompensator (7) zustandegekommene
Licht-Intensitätsminimum
am Ort L dieser Zeile dokumentiert.
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1.2 Auslöschungsschiefe
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Verstellt
sich die Orientierung der optischen Achse der Probe auf Grund veränderter
technologischer Bedingungen, d. h. liegt sie schief zu einer ausgezeichneten
Vorzugsrichtung (Auslöschungsschiefe),
dann dreht sie sich azimutal um den Winkel α1, siehe 4. Dadurch
verändert
sich die Lichtintensität,
die daraufhin ein Signal zur azimutalen Drehung des Mess-Systems
mit dem Schrittmotor auslöst. Diese
Drehung des Mess-Systems um den Winkel α2 erfolgt solange, bis das Lichtminimum
wieder erreicht ist. Dann ist gleichzeitig α1 = α2. Die neue Messung kann beginnen.
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2. Verfahren für ein 1–1/4-λ-Plättchen
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Für ein 1–1/4-λ-Plättchen ergab
sich der Gangunterschied in der ersten Ordnung mit dem Keilkompensator
(7) bei der Mess-Wellenlänge
589,3
nm zu Rλ1(1)
= 84,7 nm.
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Bei
der Hilfs-Wellenlänge
ergab sich mit dem Keilkompensator (7) für
656,3
nm der Gangunterschied in der ersten Ordnung zu Rλ2(1)
= 24,2 nm.
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Daraus
folgt der absolute und gerundete N-Wert zu N = (24,2–84,7)/(589,3–656,3)
= 0,903 ≈ 1.
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Damit
lässt sich
der Gangunterschied für
das 1–1/4-λ-Plättchen bei
der Mess-Wellenlänge
von 589,3 nm mit N = 1 zu Rλ1 =
84,7 + 1·589,3
= 674 nmberechnen.
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Mit
dem Ehringhaus-Kompensator wurden dazu vergleichsweise 677 nm bestimmt,
d. h. eine gute Übereinstimmung
der Resultate.
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3. Auslöschungsschiefe mit einem λ-Plättchen
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Bei
der Mess-Wellenlänge
von 589,3 nm ergab sich für
ein λ-Plättchen bei
Drehung um den Winkel α nach
vorheriger Minimumstellung folgende Intensitäts-Zunahme: Winkel α Lichtintensität in SKT
| 0° | 7 |
| 10° | 180 |
| 20° | 618 |
| 30° | 1090 |
| 40° | > 1200 |
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Durch
die azimutale Nachdrehung des Mess-Systems um die optische Achse
dieses Systems war in allen Winkellagen die einwandfreie Messung
des Gangunterschiedes möglich.
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4. Variante zum Ausführungsbeispiel 1.1
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In 5 ist
das Schema einer Variante des Verfahrens dargestellt, wonach die
Strahlung der Mess- und der Hilfs-Wellenlänge (λ1 und λ2)
von vornherein durch zwei Laserdioden (19) und (20)
realisiert werden. Beide Strahlungen werden alternativ angeregt,
sodass in einem kurzen Zeitintervall die Mess- und danach die Hilfswellenlänge zur
Verfügung
stehen. Die Hilfswellenlänge
wird über
das Prisma (21) in den Hauptstrahlengang geleitet. Das
Prisma ist da für
den geraden Durchgang der Strahlung der Mess-Wellenlänge λ1 und
für die
90°-Ablenkung
für die
Hilfs-Wellenlänge λ2.
Mess- und Hilfs-Wellenlänge gelangen
zeitlich getrennt über
den Kondensor (3) und den Polarisator (4) auf
die Probe (5), die mit der Linse (6) in die Zwischenbildebene
abgebildet wird. Zur Messung des Gangunterschiedes bei der Mess-Wellenlänge λ1 und
bei der Hilfs-Wellenlänge λ2 wird
ein Keilkompensator (7) (in der ersten Ordnung) analog
einem Wrightschen Okular verwendet. Hinter dem Kompensator (7)
befindet sich der Analysator (8). Mit der CCD-Zeile (22)
wird die Intensität des
Lichtes entlang des Keilkompensators verfolgt, zeitlich getrennt
für die
Mess-Wellenlänge
(19) und für
die Hilfs-Wellenlänge
(20). Nach der Verstärkung der
Strahlungsintensitäten
mit dem Verstärker
(23) wird mit dem PC (15) das jeweilige Intensitätsminimum
für die
Strahlung der Mess-Wellenlänge λ1 und der
Hilfs-Wellenlänge λ2 ermittelt.
Durch die bekannte Zuordnung vom Ort des Intensitätsminimums
und dem Gangunterschied R beim Keilkompensator (7) können die
Gangunterschiede Rλ1(1) und Rλ2(1)
in der ersten Ordnung angegeben werden. Der PC berechnet daraus
die absolute und gerundete Größe N = {Rλ2(1) – Rλ1(1)}/{λ1 – λ2},
woraus sich der Gangunterschied Rλ1 für die Mess-Wellenlänge λ1 zu
Rλ1 = Rλ1(1)
+ N·λ1 ergibt.
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5. Variante zu den Ausführungsbeispielen
1.1 und 4
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6. Vorrichtung zur Messung großer Gangunterschiede
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In 1 ist
das Schema und die Anordnung der Vorrichtung dargestellt, bei der
alle optischen Elemente entlang der optischen Achse (1)
angeordnet sind. Auf die Lichtquelle (2) und den Kondensor
(3) folgen der Polarisator (4) und die Linse (6).
Zwischen Polarisator (4) und Linse (6) befindet
sich die zu messende, laufende oder ruhende Folie (5).
An die Linse (6), die die Abbildung in die Zwischenbildebene übernimmt,
schließt
sich der Keilkompensator (7) an, wonach der Analysator
(8) angeordnet ist. Analysator (8) und Polarisator
(4) sind gekreuzt, d. h. deren Polarisationsrichtungen
stehen senkrecht aufeinander, wie das in (2) gezeigt
ist. Polarisator (4) und Analysator (8) sind deshalb
mit einem Schrittmotor verbunden. Über dem Analysator (8)
befinden sich zwei Filter (9) und (10), die zur
Separation der Mess-Wellenlänge und
der Hilfs-Wellenlänge
dienen. Die darauf folgenden CCD-Zeilen (11) und (12)
sind so angeordnet, dass sie die elektronische Abtastung der Lage
des auf dem Keilkompensator befindlichen Interferenzsteifens übernehmen
können,
deren grundsätzliche
Lage in (3) angegeben ist. Danach
sind die Verstärker
(13) und (14) angeschlossen, damit der Computer
(15) letztlich die optische Ordnung (N + 1) und den gesuchten
Gangunterschied R berechnen kann.
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7. Vorrichtung zur Bestimmung der Auslöschungsschiefe
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Der
in 1 an dritter Position angeordnete Polarisator
(4) und der an siebenter Position angeordnete Analysator
(8) sind um die optische Achse (1) drehbar angebracht,
wobei die Drehung selbst über
die mit ihnen verbundenen Schrittmotoren erfolgt. Genau das ist
für das
Verfahren grundsätzlich wichtig,
damit Polarisator (4) und Analysator (8) einmal
zueinander senkrecht stehen ((2))
und damit sie sich in 45°-Stellung zu den wiederum
zueinander senkrecht zueinander stehenden Elementen Folie (5) und
Keilkompensator (7) befinden können ((2)).
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Nur
so ist es möglich,
dass in einer erneuerten Position der Vorrichtung sich sowohl der
Analysator (8) als auch der Polarisator (4) solange
drehen können,
bis auf Grund der veränderten
Lage der Molekülachsen
in der Folie (5) das vorherige Lichtminimum wieder erreicht
ist.
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Voraussetzung
ist die Kopplung der Schrittmotoren mit dem Computer (15).
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Der
PC dient
- – zum
Aufsuchen des Intensitätsminimums
Iλ1 und Bestimmung
der Zuordnung des Ortes L und des Gangunterschiedes Rλ1(1)
in der ersten Ordnung für
die Mess-Wellenlänge;
- – zum
Aufsuchen des Intensitätsminimums
Iλ2 und Bestimmung
der Zuordnung des Ortes L und des Gangunterschiedes Rλ2(1)
in der ersten Ordnung für
die Hilfs-Wellenlänge;
- – zum
Berechnen der absoluten und gerundeten Größe N = {Rλ2(1) – Rλ1(1)}/{λ1 – λ2}
und schließlich
- – zum
Berechnen des gesuchten Gangunterschiedes für die Wellenlänge λ1 Rλ1 = Rλ1(1)
+ N·λ1.
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Die
mechanische Achse, die in der optischen Achse des Mess-Systems liegt ist
mit einem Schrittmotor gekoppelt, der das gesamte Mess-System azimutal
um den Winkel α drehen
kann. Der Schrittmotor wird solange gedreht, bis das Minimum der
Intensität
der Strahlung der Wellenlänge λ1(Iλ1)
erreicht ist. Dann liegt der Keilkompensator senkrecht zur Probe. Die
Berechnung des gesuchten Gangunterschiedes Rλ1 kann
beginnen
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- 1
- Optische
Achse des Mess-Systems
- 2
- Weiße Lichtquelle
mit Passfilter für
die Wellenlängen λ1 und λ2
- 3
- Kondensorlinse
- 4
- Polarisator
- 5
- Probe
(Folie oder andere doppelbrechende Probe [Flächengebilde])
- 6
- Linse
für die
Zwischenabbildung der Probe 5
- 7
- Keilkompensator
für die
erste Ordnung in der Zwischenbildebene
- 8
- Analysator
- 9
- Filter
für die
Strahlung der Wellenlänge λ1 (Mess-Wellenlänge)
- 10
- Filter
für die
Strahlung der Wellenlänge λ2 (Hilfs-Wellenlänge)
- 11
- CCD-Zeile
für die
Wellenlänge λ1
- 12
- CCD-Zeile
für die
Wellenlänge λ2
-
-
- 13
- Verstärkung für die Strahlung
der Wellenlänge λ1(Iλ1)
für alle
Abschnitte L der CCD-Zeile (11) von L0 bis Lmax
- 14
- Verstärkung für die Strahlung
der Wellenlänge λ2(Iλ2)
für alle
Abschnitte L der CCD-Zeile (12) von L0 bis Lmax
- 15
- PC
- 16
- Mechanische
Achse
- 17
- α1 = Auslöschungsschiefe
der Probe (Schiefe Orientierung der optischen Achse)
- 18
- α2 = Azimutale
Drehung des Mess-Systems bis zum Intensitätsminimum (siehe 13 und 15).
- 19
- Diodenlaser
für die
Mess-Wellenlänge λ1
- 20
- Diodenlaser
für die
Hilfs-Wellenlänge λ2
- 21
- Prisma
- 22
- CCD-Zeile
für die
Abtastung der Strahlung der Wellenlängen λ1 oder λ2
- 23
- Verstärkung für die Strahlung
der Wellenlängen λ1(Iλ1)
oder λ2(Iλ2) für alle Abschnitte der CCD-Zeile
(22) von L0 bis Lmax (entspricht der Wirkung von (12))