DE102006061066B4

DE102006061066B4 - Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung

Info

Publication number: DE102006061066B4
Application number: DE102006061066.0A
Authority: DE
Inventors: Hans-Jürgen Dobschal
Original assignee: Carl Zeiss AG
Current assignee: Tooz Technologies GmbH
Priority date: 2006-12-22
Filing date: 2006-12-22
Publication date: 2021-02-25
Anticipated expiration: 2026-12-23
Also published as: WO2008077533A1; DE102006061066A1

Abstract

Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung, welche aus zwei diffraktiven Strukturen zusammengesetzt ist, die zur Mitte eines Strahlenganges ausgerichtet sindwobei das Gitter eines ersten DOE1 auf einer Lichteintrittsfläche eines transparenten Trägers und das Gitter eines zweiten DOE2 auf einer Lichtaustrittsfläche eines transparenten Trägers aufgebracht sind, wobei das erste DOE1 und das zweite DOE2 einen Abstand voneinander haben, weiterhin die Gitter des ersten DOE1 und des zweiten DOE2 in der Mitte des Strahlenganges eine gleiche Liniendichte zwischen 500 und 2000 Linien pro mm aufweisen, welche eine hochfrequente Trägerfrequenz ist, und die Liniendichte eines oder beider der Gitter zum Rand des Strahlenganges hin zunimmt, wodurch sich ein Verlauf von Gesamtfrequenzen ergibt, wobei die Gesamtfrequenz für das erste DOE1 aus der Summe der Trägerfrequenz und einer niederfrequenten Modulationsfrequenz des Gitters des ersten DOE1 und die Gesamtfrequenz für das zweite DOE2 aus der Summe der Trägerfrequenz und einer niederfrequenten Modulationsfrequenz des Gitters des zweiten DOE2 sich ergeben.

Description

Die Erfindung betrifft eine Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung, welche aus zwei diffraktiven Strukturen zusammengesetzt ist.
Seit geraumer Zeit werden zunehmend diffraktiv-optische Elemente (DOEs) für Abbildungssysteme eingesetzt. Ziel ist es hierbei, die Anzahl optischer Bauelemente, das Bauvolumen und die Kosten zu reduzieren. Dabei wird der Umstand ausgenutzt, dass DOEs verglichen zu refraktiven Elementen ein anormales Dispersionsverhalten besitzen und somit mit relativ geringem Aufwand eine Achromatisierung bei breitbandigen Anwendungen möglich ist. Auch andere Bildfehler, wie z.B. Öffnungsfehler, können gleichzeitig minimiert werden. Auf dem Markt haben sich derartige Elemente allerdings noch nicht genügend durchsetzen können. Die Gründe hierfür liegen vor allem darin, dass DOEs über eine stark wellenlängenabhängige Beugungseffizienz verfügen. Im allgemeinen wird die Profilform des Gitters so ausgelegt, dass bei einer VIS-Anwendung bei Grün eine Beugungseffizienz von > 95% erreicht wird und zu den spektralen Rändern hin bei Blau bzw. Rot nur noch 75-80% erreicht werden. Das Problematische hierbei ist weniger die absolute Höhe der Effizienz als die Tatsache, dass das nicht in die erste Ordnung gebeugte Licht in der Nullten-Beugungsordnung und in mehreren höheren Beugungsordnungen (größer 1 und kleiner 0) als Falschlicht den Kontrast vermindert. Korrektionsbedingt besitzen diese DOEs nur eine relativ geringe Strichzahl, was bedeutet, dass die nicht gewünschten Beugungsordnungen einen nur gering anderen Beugungswinkel als die gewünschte Ordnung besitzen. Im Zusammenhang mit dem Gesamtoptiksystem ergeben sich damit mehrere longitudinal versetzte Foki, die relativ eng zum Soll-Fokus liegen und somit eine deutliche Verwaschung des Bildes bewirken. Der Falschlichtanteil ist hierbei so hoch, dass die Kontrastminderung des Optiksystems an den spektralen Rändern zumindest bei anspruchsvolleren Systemen nicht mehr zu tolerieren ist.
Es gibt zu dieser Problematik mehrere Lösungsansätze.
Bekannt ist aus der DE 195 33 591 A1 ein Multi-Layer-Gitter, dessen Schichtsystem soangepasst ist, dass der Phasenhub beim Durchlaufen des DOEs nahezu konstant bleibt und man somit immer in der Nähe der optimalen Beugungseffizienz liegt.
Nachteilig ist hierbei, dass die Herstellung solch eines Multilayer-Systems relativ schwer zu beherrschen ist und auch geeignete Materialkombinationen nicht beliebig verfügbar sind.
Weitere gattungsgemäße Gitteranordnungen sind in den Druckschriften EP 1 186 914 A2 , EP 1 072 906 A2 , US 5 428 445 A und DE 197 54 595 A1 beschrieben.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung zu schaffen, die einfach aufgebaut und kostengünstig herstellbar ist, über einen breiten spektralen Bereich eine hohe Effizienz aufweist und insbesondere geringe Streulichtverluste aufweist.
Die Aufgabe der Erfindung wird mit den Merkmalen des Hauptanspruchs 1 gelöst. Die Ansprüche 2 bis 11 sind vorteilhafte Ausgestaltungen des Hauptanspruchs.
Die Grundidee der Erfindung besteht darin, zwei DOEs in einem Abstand zueinander zu stellen und ihre Strukturen so zu kombinieren, dass eine Doppel-DOE-Anordnung entsteht, welche eine starke Separierung der ungewünschten Ordnungen bewirkt, welche dann beim weiteren Durchlaufen des Optiksystems in Lichtausbreitungsrichtung des Nutzlichts durch Linsenfassungen und/oder Blenden geblockt werden oder zumindest beim Durchlaufen des optischen Systems außerhalb des vorgesehenen genutzten Bildbereiches ankommen.
Das Grundprinzip der Diffraktiv-optischen Elemente-Anordnung kann man mit der aus der Rundfunktechnik bekannten Aufmodulierung eines NF-Tonsignals auf eine HF-Frequenz vergleichen. In Analogie stellen ein erstes DOE1 den Modulator und ein zweites DOE2 den Demodulator dar.
Es wird zunächst eine hochfrequente „Trägerfrequenz“ für die beiden Gitter des DOE1 und des DOE2 eingeführt. Das heißt, beide hochfrequenten Gitter besitzen eine radiale äquidistante Linienzahlverteilung von z.B. 1000 L/mm, was einem diffraktiven Axicon entspricht. Somit ist die Gesamtwirkung auf die Abbildung zunächst gleich Null, da sich die Beugung für die erste Ordnung für alle Farben aufhebt.
Einem oder beiden der hochfrequenten Gitter ist weiterhin eine niedere Frequenz überlagert, die im wesentlichen der Frequenz eines bekannten Single-Layer-DOEs entspricht, wobei die niedere Frequenz entweder nur auf eines der beiden Gitter moduliert wird oder auf beide Gitter verteilt werden kann.
Bei einer Trägerfrequenz von 1000 L/mm auf den beiden DOEs steigt die Modulationsfrequenz auf einem der DOEs von 0 im Strahlzentrum (innen) bis zum Rand hin auf zum Beispiel 50 an, das heißt es entsteht ein Gesamtfrequenzverlauf von 1000 L/mm auf 1050 L/mm.
Insbesondere bewegt sich die Frequenz eines der Gitter DOE1 oder DOE2 oder beider Gitter DOE1 und DOE2 im Bereich von 1000 L/mm in der Mitte bis zu 1030 L/mm am Rand.
Das Gitter des ersten DOE1 ist auf die Lichteintrittsfläche einer Planplatte und das Gitter des zweiten DOE2 ist auf die Lichtaustrittsfläche einer Planplatte aufgebracht. Im einfachsten Fall sind das die Vorder- und Rückseite einer Planparallelplatte. Im weiteren Fall wird für jedes DOE jeweils eine Planplatte verwendet, wobei die Planplatten einen Luftabstand oder eine Kittfläche haben.
Der Vorteil dieser Methodik ist, dass alle höheren Beugungsordnungen deutlich von der gewünschten ersten Beugungsordnung separiert werden, mit dem Effekt, daß sie entweder an den Linsenfassungen bzw. Blenden geblockt werden oder außerhalb des genutzten Bildfeldes erscheinen.
Wenn die DOEs z.B. 80% in die 1.Ordnung und 20% in die 0.Ordnung beugen, sind nach Durchgang durch die beiden DOEs 64% in der 1. Ordnung und 4% in der 0.Ordnung, was einem Falschlichtverhältnis von 1:16 entspricht; gegenüber einem Verhältnis 1:4 für ein Single-DOE (idealisiert, unter der Annahme, daß keine Absorption auftritt).
Das Einzige noch verbleibende Falschlicht entsteht für den Fall, daß am ersten DOE1 und am zweiten DOE2 jeweils mit der gleichen Beugungsordnung gebeugt wird. Durch die relativ hohe Trägerfrequenz kommt hierfür außer der 0.Ordnung nur noch die 2.Ordnung in Frage, da alle weiteren höheren Ordnungen nicht entstehen.
Daher sieht die Erfindung weiterhin vor, das noch verbleibende Reststreulicht durch weitere Maßnahmen zu minimieren.
Nachfolgend werden vier Varianten angegeben:

Eine erste Variante sieht vor, daß durch Schaffung eines Abstandes zwischen beiden DOEs ein Hohlraum entsteht, in dem sich nur die 0.Ordnung befindet und man durch eine Zentralabschattungsblende auf dem zweiten DOE dieses Licht vollständig blockt. Das Nutzlicht läuft hierbei auf einem Ring um das geblockte Licht außen herum.

Eine zweite Variante sieht vor, daß durch Aufbringen von Prismen auf beiden inneren Seiten der DOEs bei geeigneter Wahl des Prismenwinkel eine Totalreflektion der 0.Ordnung erreicht wird. Die 0.Ordnung wird hierbei wieder rückwärts aus dem System gespiegelt.
Eine dritte Variante sieht vor, daß ein speziell auf die Richtung der ersten Ordnung nach dem DOE1 ausgelegten Schicht zwischen den beiden DOEs eine teilweise Filterung der 0.Ordnung erreicht.
Eine vierte Variante sieht vor, daß durch Aufbringen der beiden DOEs auf getrennte mit einem Luftabstand versehenen Planplatten die höheren Ordnungen (zweite und evtl. dritte, falls vorhanden) an der Rückseite des Trägers von DOE1 totalreflektiert werden
Die Varianten 1. und 2. eignen sich besonders für die Varianten, in denen das Falschlicht vorwiegend in der 0.Ordnung liegt, während Variante 4. insbesondere für den Fall geeignet ist, dass das Falschlicht hauptsächlich in den höheren Ordnungen vorkommt.
Das Gitterprofil der DOEs kann so optimiert werden, daß entstehendes Falschlicht in wesentlichen Anteilen entweder in höhere Ordnungen oder in die 0.Ordnung geleitet wird. Testrechnungen haben gezeigt, dass man die Beugungseffizienz für die 0.Ordnung pro DOE unter 1% drücken kann, womit die Gesamteffizienz für die 0.Ordnung nicht größer als 0.01% wird. Die höheren Ordnungen würden dann nach der Variante 4. total reflektiert werden.
Vorteilhafterweise wird das Profil der DOEs so ausgelegt, daß sich das Falschlicht gleichmäßig auf die 0.Ordnung und die 2.Ordnung mit jeweils 10% verteilt. Dann resultieren für das obige Beispiel nur 2% Streulichtanteil.
Natürlich wird die „Trägerfrequenz“ nicht höher als unbedingt notwendig gewählt, da hochfrequente Gitter schwieriger herstellbar sind. Im Falle, daß die beiden DOEs in der Nähe einer Blende stehen, reicht es aus, dafür zu sorgen daß alle Falschlichtordnungen mit einem Winkel, der größer als der größte vorkommende Feldwinkel ist, gebeugt werden. Das können durchaus bereits 200 L/mm sein.
Weiterhin muß die Struktur, welche die „Trägerfrequenz“ ausbildet, nicht notwendigerweise radialsymmetrisch sein. Sie kann auch wie ein gewöhnliches aus der Spektroskopie bekanntes Lineargitter ausgebildet werden, dem die Modulationsfrequenz überlagert wird, so daß die Aufspaltungen nur in einer Ebene erfolgen.
Die Erfindung wird nachfolgend an Hand von Figuren beschrieben.
Es zeigen:

1: Prinzipdarstellung eines klassischen Achromats
2: Strahlabweichung des klassischen Achromats
3: Prinzipdarstellung eines Achromat in Kombination mit einer Doppel-DOE-Anordnung
4: Strahlabweichung der Kombination aus Achromat und einer Doppel-DOE-Anordnung
5: Prinzipdarstellung einer Doppel-DOE-Anordnung auf zwei Trägerplatten
6: Prinzipdarstellung einer Doppel-DOE-Anordnung auf einer Trägerplatte
7: Draufsicht auf das erste DOE und das zweite DOE mit der Trägerfrequenz
8: Draufsicht auf das zweite DOE mit der Superposition der Trägerfrequenz- und Korrekturverteilungen auf dem zweiten DOE
9: Trägerfrequenzverteilung für das erste DOE und das zweite DOE einer Doppel-DOE-Anordnung mit 20mm Durchmesser
10: Korrekturverteilung auf dem zweiten DOE für die abbildende Wirkung
11: Superposition der Trägerfrequenz- und Korrekturverteilungen auf dem zweiten DOE
12: Doppel-DOE-Anordnung mit Zentralabschattung der 0.Ordnung durch eine Zentralblende
13: Doppel-DOE-Anordnung mit Totalreflexion der 0.Ordnung an Mikroprismen
14: Doppel-DOE-Anordnung mit Totalreflexion der höheren Ordnungen
15: Doppel-DOE-Anordnung mit Filterschicht zwischen den beiden DOE

Die Erfindung wird an Beispielen eines Kollimators für Weißlicht beschrieben.
1 zeigt eine Prinzipdarstellung eines klassischen Achromats, bestehend aus NSK2 und F2.
Die Systemdaten für den bekannten Achromat sind:

Fläche Radius Distanz Medium

5 34.85 (cx) 3.0 NSK2

6 16.7 (cx) 2.0 F2

7 266.36 (cx) 50.0
Der Durchmesser des parallelen Eintrittsbündels auf der Fläche 5 ist 10,0 mm.
2 zeigt die Strahlabweichungen des klassischen Achromats nach der 1.
3 zeigt eine Prinzipdarstellung eines Achromats in Kombination mit einer erfindungsgemäßen Doppel-DOE-Anordnung, bestehend aus einer Kombination eines ersten DOE1 und eines zweiten DOE2, welche einen Abstand zueinander haben.
Die Systemdaten für die Kombination aus Achromat und Doppel-DOE-Anordnung sind:

Fläche Radius Distanz Medium

1 Plan (mit DOE 1) 0,5 NBK7

2 plan 0,1

3 plan 0,5 NBK7

4 plan (mit DOE 2)

5 29.35 (cx) 3,0 NSK2

6 18.595 (cx) 2,0 F2

7 441.5 (cc) 50,0
Der Durchmesser des parallelen Eintrittsbündels am ersten DOE1 ist 10,0 mm
4 zeigt die Strahlabweichungen der Kombination aus Achromat und Doppel-DOE-Anordnung. Im Vergleich zu 2 erkennt man die deutliche Reduzierung der Fehleranteile.
5 zeigt eine Doppel-DOE-Anordnung gemäß 3 im Detail, wobei jeweils ein DOE auf einer Trägerplatte aufgebracht ist und die zwei Trägerplatten in einem festen Abstand zueinander stehen. Das erste DOE1 und das zweite DOE2 sind jeweils auf den Außenseiten 1 und 4 der durch einen Abstand getrennten Platten aufgebracht. Der Abstand kann ein Luftabstand oder eine Kittschicht sein, wobei eine oder beide der gegenüberstehenden optisch wirksamen Flächen weitere optische Wirkungen haben können.
6 zeigt eine weitere Doppel-DOE-Anordnung deren DOE1 und DOE2 auf den beiden Außenflächen einer planparallelen Platte aufgebracht sind.
7 zeigt die Abbildung einer DOE-Oberfläche des ersten DOE1, wobei die gleiche Trägerfrequenz auf den ersten DOE1 und dem zweiten DOE2 aufgebracht ist.
8 zeigt eine Abbildung einer DOE-Oberfläche, wobei auf dem zweiten DOE2 die Trägerfrequenz des ersten DOE1 und dieser zusätzlich überlagert, eine Modulationsfrequenz aufgebracht ist.
Die Phasenfunktionen der beiden DOE einer erfindungsgemäßen Doppel-DOE-Anordnung werden wie folgt beschrieben: $Phase (r) : = a_{1} \cdot r+ \sum_{i=2}^{n} [a_{i} \cdot r^{2 \cdot (i - 1)}]$
und davon abgeleitet die Linienzahl pro Millimeter $(r) = \frac{α_{1} + \sum_{i = 2}^{n} [2 (i - 1) α_{i} r^{2 (i - 1) - 1}]}{λ_{0}}$
r ist die radiale Höhe, bezogen auf die Mitte des DOE; der spezielle Phasenkoeffizient a1 bestimmt den hochfrequenten Anteil (Trägerfrequenz) während der Summenanteil durch die Koeffizienten a_j (i > 1) die niederfrequente Korrektionsphase (Modulationsfrequenz) darstellt; λ₀ ist die Bezugswellenlänge in mm. Die Zahl n ist mit 8 ausreichend bemessen.
In dem Beispiel ist die Modulationsfrequenz nur für das DOE2 ungleich Null: Phasenverteilung des ersten DOE1:

a1 = 4,0000E-01
Bezugswellenlänge λ₀: 457,9 nm

Phasenverteilung des zweiten DOE2:

a1 = -4,0000E-01
a2 = -4,4960E-06
a3 = 7,1669E-07
a4 = 4,7936E-09
a5 = -9,4819E-11
Bezugswellenlänge: 457,9nm

9 zeigt die gleiche Trägerfrequenz auf den beiden DOE1 und DOE2, die über der gesamten Ausdehnung bei 1000 liegt.
10 zeigt die Korrekturverteilung, die nur auf dem zweiten DOE2 zusätzlich aufgebracht ist.
11 zeigt die resultierende Gesamtverteilung auf dem zweiten DOE2.
12 zeigt eine erste Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Doppel-DOE-Anordnung auf einer planparallelen Platte 2, mit dem ersten DOE1 auf der optischen Fläche 1 und dem zweiten DOE2 auf der optischen Fläche 4, bei der die verbliebene 0.-Beugungsordnung durch eine zentrale Ringblende 8 geblockt wird. Die Ringblende 8 ist im zentralen Bereich der Fläche 4 aufgebracht, auf der im übrigen das zweite DOE2 aufgebracht ist Der Strahlengang wird nach Außen durch die Ringblende 4, die auf der optischen Fläche 4 aufgebracht ist, begrenzt. In diesem Beispiel sind die Gitter so dimensioniert, daß technisch gesehen nur die 0.-Beugungsordnung und die 1.-Beugungsordnung entstehen (die anderen Beugungsordnungen sind praktisch vernachlässigbar).
Es wird eine Gitterkombination verwendet, welche in den 6 bis 11 beschrieben ist. Der Durchmesser des einfallenden Lichtbündels beträgt 5 mm, die Dicke der planparallelen Platte ist 10 mm, die Lochblende 8 hat einen Durchmesser von 10 mm.
13 zeigt eine weitere Variante einer erfindungsgemäßen Doppel-DOE-Anordnung, bei der die DOE jeweils auf den Flächen 1 und 4 zweier planparalleler Platten 2 und 3 aufgebracht sind. Die Platten 2 und 3 haben einen Luftabstand, in dem zwei Prismenarrays 11 und 13 angeordnet sind. Das erste Prismenarray 11 liegt mit einer Basis an der Planfläche 10 der planparallelen Platte 2. Dieses Prismenarray 11 reflektiert die 0.-Beugungsordnung total und bricht die 1.-Beugungsordnung zum zweiten DOE2 hin. Das zweite Prismenarray 13 liegt mit einer Basis an der Planfläche 12 der planparallelen Platte 3. Dieses Prismenarray 13 lenkt die 1.-Beugungsordnung zum zweiten DOE2 hin ab. Die Prismenarrays 11 und 13 bestehen aus gleichschenkligen Prismen und sind gegeneinander so versetzt angeordnet, daß die Spitzen des einen Prismenarrays in die Senken des anderen Prismenarrays ragen. Zwischen den Prismenarrays 11 und 13 ist ein Luftabstand von 0,2 mm; bei einer Schenkellänge der Prismen von 1 mm.
14 zeigt eine Anordnung mit jeweils einem DOE auf einer der planparallelen Platten 2 und 3, wobei die Planflächen 10 und 12 einen Luftabstand haben. An der Planfläche 10 erfolgt eine Totalreflektion der höheren Beugungsordnungen 14 (größer der 1.-Beugungsordnung) zurück. Die Transmission der 0.-Beugungsordnung ist kleiner 0,01 %.
15 zeigt eine Anordnung mit jeweils einem DOE auf einer der planparallelen Platten 2 und 3, wobei die Planflächen 10 und 12 keinen Luftabstand haben. Zwischen den Planflächen 10 und 12 befindet sich eine Filterschicht 15 welche die 0.-Beugungsordnung und die höheren Beugungsordnungen 14 (größer der 1.-Beugungsordnung) im Wesentlichen ausfiltern. Die Transmission der 0.-Beugungsordnung sowie die der 2. Beugungsordnung ist kleiner 0,01 %.
Bezugszeichenliste

1: optische Fläche für das erste DOE1
2: planparallele Platte
3: planparallele Platte
4: optische Fläche für das zweite DOE2
5: optische Fläche
6: optische Fläche
7: optische Fläche
8: Ringblende
9: Lochblende
10: Planfläche
11: Prismenarray
12: Planfläche
13: Prismenarray
14: reflektierte höhere Beugungsordnung
15: Filterschicht
a₁: spezieller Phasenkoeffizient, der die Höhe der Trägerfrequenz beschreibt
a_j: Koeffizienten, welche die Modulationsfrequenz beschreiben
r: radiale Höhenkoordinate, bezogen auf die Mitte des DOE
λ₀: Bezugswellenlänge

Claims

Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung, welche aus zwei diffraktiven Strukturen zusammengesetzt ist, die zur Mitte eines Strahlenganges ausgerichtet sind wobei das Gitter eines ersten DOE1 auf einer Lichteintrittsfläche eines transparenten Trägers und das Gitter eines zweiten DOE2 auf einer Lichtaustrittsfläche eines transparenten Trägers aufgebracht sind, wobei das erste DOE1 und das zweite DOE2 einen Abstand voneinander haben, weiterhin die Gitter des ersten DOE1 und des zweiten DOE2 in der Mitte des Strahlenganges eine gleiche Liniendichte zwischen 500 und 2000 Linien pro mm aufweisen, welche eine hochfrequente Trägerfrequenz ist, und die Liniendichte eines oder beider der Gitter zum Rand des Strahlenganges hin zunimmt, wodurch sich ein Verlauf von Gesamtfrequenzen ergibt, wobei die Gesamtfrequenz für das erste DOE1 aus der Summe der Trägerfrequenz und einer niederfrequenten Modulationsfrequenz des Gitters des ersten DOE1 und die Gesamtfrequenz für das zweite DOE2 aus der Summe der Trägerfrequenz und einer niederfrequenten Modulationsfrequenz des Gitters des zweiten DOE2 sich ergeben.
Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Modulationsfrequenz durch eine kontinuierliche Verdichtung der Linien des Gitters von einer Mitte zu einem Rand des Trägers bestimmt ist.
Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Liniendichte gemäß der Funktion $Linienzahl (r) = \frac{α_{1} + \sum_{i = 2}^{n} [2 (i - 1) α_{i} r^{2 (i - 1) - 1}]}{λ_{0}}$
zunimmt, wobei λ₀ die Bezugswellenlänge ist, der Phasenkoeffizient a_i die Trägerfrequenz bestimmt und der Summenanteil durch die Koeffizienten a_i die Modulationsfrequenz bestimmt.
Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger eine einzige Platte für das erste DOE1 und das zweite DOE2 ist.
Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger eine erste Platte für das erste DOE1 und eine zweite Platte für das zweite DOE2 ist.
Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Platte planparallel ist.
Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Platte eine zusätzliche refraktive Wirkung hat.
Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zunahme der Linienverteilung von der Mitte bis zum Rand des Strahlenganges zwischen 0,5% und 5% liegt.
Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass für den Wellenlängenbereich von 450 nm bis 650 nm die Liniendichte zwischen 0 und 50 Linien ausgehend von der Mitte bis zum Rand des Strahlenganges zunimmt, welche die Modulationsfrequenz ist.
Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerfrequenz durch radialsymmetrische Rillen oder ein Liniengitter gebildet ist.
Diffraktiv-optische Elemente-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Modulationsfrequenz durch radialsymmetrische Rillen oder ein Liniengitter gebildet ist.